JP7200887B2 - Methods for preparing analytical samples and methods for quantifying liquid samples - Google Patents

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Description

本発明は、分析試料の作製方法、および液体試料の定量方法に関する。 The present invention relates to a method of preparing an analytical sample and a method of quantifying a liquid sample.

液体試料中の所定元素の濃度を定量する方法として、例えば誘導結合プラズマ発光分光分析法(Inductively coupled plazma optical emission spectrometry、以下では「ICP/OES」ともいう)がある。この方法で定量を行う場合、前処理として、測定対象である液体試料を、全量ピペットを使用して全量フラスコに移し入れ、適当な酸を添加して純水で一定量に定容する操作が必要となる。この希釈操作は30分間から1時間程度の時間を要するため、測定効率を低下させる要因となる。 Methods for quantifying the concentration of a predetermined element in a liquid sample include, for example, inductively coupled plasma optical emission spectrometry (hereinafter also referred to as “ICP/OES”). When performing quantitative determination by this method, as a pretreatment, the liquid sample to be measured is transferred to a volumetric flask using a volumetric pipette, an appropriate acid is added, and pure water is added to a constant volume. necessary. Since this dilution operation takes about 30 minutes to 1 hour, it becomes a factor of lowering the measurement efficiency.

上述のICP/OESより迅速な測定法としては、前処理に要する時間が少ない蛍光X線分析法(X-ray fluorescence analysis、以下、単に「XRF」ともいう)が挙げられる(例えば、非文献特許1参照)。XRFは、試料にX線を照射し、当該試料から発生する二次X線(蛍光X線)を用いて、当該試料を構成する元素の定性・定量分析を行う方法である。XRFは、前処理を伴う化学分析法やICP/OES等と比較すると、短時間で分析結果を得ることが可能である。このため、分析コストの削減や、分析結果の迅速な工程へのフィードバックを目的として、原材料の品質管理法として広く利用されている。 As a measurement method more rapid than the above-mentioned ICP/OES, there is a fluorescent X-ray analysis method (X-ray fluorescence analysis, hereinafter simply referred to as “XRF”) that requires less time for pretreatment (for example, non-document patent 1). XRF is a method of irradiating a sample with X-rays and using secondary X-rays (fluorescent X-rays) generated from the sample to perform qualitative/quantitative analysis of elements constituting the sample. XRF can obtain analysis results in a short period of time compared to chemical analysis methods, ICP/OES, and the like that involve pretreatment. For this reason, it is widely used as a quality control method for raw materials for the purpose of reducing analysis costs and quickly feeding back analysis results to processes.

XRFを用いて固体の試料を分析する場合には、装置への試料のセットが容易であり、真空中での測定が可能である。例えば特許文献1には、自動粉砕装置、自動プレス装置などを備えた、蛍光X線自動分析システムについて記載されており、XRFは自動化、省力化が可能であるという観点からも、プロセス操業中の分析方法として好適であることが知られている。 When a solid sample is analyzed using XRF, it is easy to set the sample in the device, and measurement in vacuum is possible. For example, Patent Document 1 describes a fluorescent X-ray automatic analysis system equipped with an automatic crushing device, an automatic press device, etc., and from the viewpoint that XRF can be automated and labor-saving, It is known to be suitable as an analytical method.

一方、XRFを用いて液体の試料を分析する場合には、液体が揮発するため真空系での測定が困難である。そこで、液体試料の場合は、ヘリウム雰囲気下で測定を行う。大気雰囲気下で測定を行うと、液体試料中の軽元素から発生する長波長のX線が空気によって吸収され、精度よく測定を行えないので、高価ではあるがX線を吸収しにくいヘリウムを用いることになる。 On the other hand, when analyzing a liquid sample using XRF, measurement in a vacuum system is difficult because the liquid volatilizes. Therefore, in the case of a liquid sample, the measurement is performed under a helium atmosphere. When measurements are performed in the atmosphere, air absorbs the long-wavelength X-rays generated from light elements in the liquid sample, making accurate measurements difficult. Therefore, helium, which is expensive but does not easily absorb X-rays, is used. It will be.

しかし、XRFを用いて液体試料を測定する場合、X線照射により液体試料が加熱されて気泡が生じることによって、測定誤差が生じたりすることがある。また、試料の溶解に使用する酸によっては測定に悪影響を及ぼすこともあり、測定誤差を生じさせることがある。このようにXRFを用いて液体試料の測定を行う場合、得られる定量値にばらつきが生じ、測定の再現性が低くなることがある。 However, when XRF is used to measure a liquid sample, the liquid sample may be heated by the X-ray irradiation and air bubbles may be generated, resulting in measurement errors. Also, depending on the acid used to dissolve the sample, the measurement may be adversely affected, resulting in measurement error. When XRF is used to measure a liquid sample in this way, the obtained quantitative values may vary, and the reproducibility of the measurement may be low.

測定の再現性を高く維持する観点からは、液体試料に内標準元素を含む内標準物質を添加し、所定元素と内標準成分との二次X線(蛍光X線)強度の比率(強度比)から、所定元素の濃度を定量する方法が提案されている(例えば特許文献2や非特許文献1など)。 From the viewpoint of maintaining high measurement reproducibility, an internal standard substance containing an internal standard element is added to a liquid sample, and the secondary X-ray (fluorescent X-ray) intensity ratio (intensity ratio ), a method for quantifying the concentration of a predetermined element has been proposed (for example, Patent Document 2 and Non-Patent Document 1).

また、X線照射による気泡発生や酸による影響を抑制する観点から、液体試料を例えばろ紙に滴下し乾燥させた後に、当該ろ紙に析出する析出物にXRFを適用して所定元素の濃度を定量する方法(いわゆる、ろ紙滴下法)が提案されている。 In addition, from the viewpoint of suppressing the generation of bubbles due to X-ray irradiation and the effects of acid, for example, after dropping the liquid sample on a filter paper and drying it, XRF is applied to the precipitate deposited on the filter paper to quantify the concentration of the predetermined element. A method (so-called filter paper dropping method) has been proposed.

特開平01-059043号公報JP-A-01-059043 特開2017-181309号公報JP 2017-181309 A

中井泉、「蛍光X線分析の実際」、朝倉書店、2005年10月20日、初版第1刷Izumi Nakai, "Actuality of Fluorescent X-ray Analysis", Asakura Shoten, October 20, 2005, 1st edition, 1st printing

しかし、本発明者の検討によると、液体試料に内標準元素を添加し、ろ紙滴下法により測定対象元素の濃度を定量する場合、滴下した液体試料を乾燥させたときに、測定対象元素を含む塩と内標準元素を含む塩とが同じ割合で析出せず、どちらか一方の塩が偏析することが確認された。つまり、乾燥により得られる析出物において、場所によって、測定対象元素と内標準元素との比率が異なることがあった。そのため、析出物にX線を照射したときに、その照射位置によって蛍光X線強度の強度比が変動し、定量結果にばらつきが生じることがあった。 However, according to the study of the present inventor, when adding an internal standard element to a liquid sample and quantifying the concentration of the element to be measured by the filter paper dropping method, when the dropped liquid sample is dried, it contains the element to be measured It was confirmed that the salt and the salt containing the internal standard element did not precipitate at the same rate, and one of the salts segregated. In other words, in the precipitate obtained by drying, the ratio between the element to be measured and the internal standard element was sometimes different depending on the location. Therefore, when the precipitate is irradiated with X-rays, the intensity ratio of the fluorescent X-ray intensity fluctuates depending on the irradiation position, and the quantitative results may vary.

本発明は、上述した課題に鑑みてなされたものであり、液体試料中の所定成分の濃度を精度よく、かつ再現性高く定量する方法を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the problems described above, and an object of the present invention is to provide a method for quantifying the concentration of a predetermined component in a liquid sample with high accuracy and high reproducibility.

本発明者らは上述の課題を解決するために研究を行った。その結果、測定対象元素を含む塩と内標準元素を含む塩との偏析は、各元素を含む塩の水への溶解度の差に起因していることが見出された。具体的に説明すると、水への溶解度が低い塩は、乾燥の際に、比較的早く析出し始める一方、水への溶解度が高い塩は、遅く析出し始める。このため、測定対象元素を含む塩と、内標準元素を含む塩との溶解度の差が大きいと、一方の塩が先に析出して他方の塩が後に析出するといったように、各塩の析出するタイミングが異なることがある。 The present inventors conducted research to solve the above problems. As a result, it was found that the segregation between the salt containing the element to be measured and the salt containing the internal standard element was caused by the difference in the solubility in water of the salt containing each element. Specifically, salts with low water solubility begin to precipitate relatively quickly during drying, while salts with high water solubility start to precipitate later. For this reason, if there is a large difference in solubility between the salt containing the element to be measured and the salt containing the internal standard element, one salt precipitates first and the other salt later. Timing may vary.

また、液滴を乾燥させる場合、コーヒーリング効果により塩がより偏析しやすくなる。コーヒーリング効果とは、液滴を乾燥させたときに、析出物がリング状に析出することを示す。液滴の乾燥においては、液滴の中心部分から乾燥が始まり、徐々に外側に向かって乾燥が進むことになる。この乾燥過程で、液滴は外側ほど濃縮されるので、液滴の内側よりも外側ほど析出物が多くなり、塩がリング状に析出することになる。 Also, when the droplets are dried, the salt is more likely to segregate due to the coffee ring effect. The coffee ring effect indicates that a deposit is deposited in a ring shape when the droplet is dried. In the drying of droplets, drying starts from the central portion of the droplet and gradually progresses toward the outside. In this drying process, the droplets are more concentrated toward the outside, so that the amount of precipitates increases toward the outside of the droplets rather than inside, resulting in the salt being deposited in a ring shape.

このように、測定対象元素や内標準元素を含む液滴を乾燥させる場合、各元素が形成する塩の溶解度の違いから、溶解度の高い塩が析出物の外縁部に析出しやすく、その結果として測定対象元素および内標準元素の偏析が生じてしまう。 Thus, when drying a droplet containing the element to be measured or the internal standard element, the difference in the solubility of the salts formed by each element makes it easy for the highly soluble salt to precipitate at the outer edge of the precipitate. Segregation of the element to be measured and the internal standard element will occur.

このことから、本発明者は、測定対象元素と内標準元素との偏析を抑制するには、各元素を含む塩の水への溶解度を近似させるとよく、内標準元素としては、塩を形成したときに、測定対象元素の塩と溶解度が近似するような元素を選択するとよいことを見出した。このような内標準元素によれば、測定対象元素の塩との溶解度差を少なくし、析出し始めるタイミングのずれを低減することができる。これにより、内標準元素と測定対象元素とを同じ比率で析出させて、一方の塩の偏析を抑制することができる。そして、析出物においては、測定対象元素と内標準元素との比率のばらつきを抑制することができる。このような析出物によれば、X線を照射して蛍光X線を測定するときに、X線の照射位置によらず、一定の強度比を得られるので、XRFで繰り返し測定を行ったときに、定量結果の再現性を向上させることができる。本発明は、上記知見に基づいて成されたものである。 From this, the present inventors have found that in order to suppress segregation between the measurement target element and the internal standard element, it is preferable to approximate the solubility of the salt containing each element in water, and the internal standard element should form a salt. It was found that it is preferable to select an element whose solubility is similar to that of the salt of the element to be measured. With such an internal standard element, it is possible to reduce the difference in solubility from the salt of the element to be measured, and reduce the deviation of the timing at which precipitation starts. As a result, the internal standard element and the element to be measured can be precipitated at the same ratio, and segregation of one salt can be suppressed. In addition, in precipitates, it is possible to suppress variations in the ratio between the element to be measured and the internal standard element. According to such a precipitate, when X-rays are irradiated and fluorescent X-rays are measured, a constant intensity ratio can be obtained regardless of the irradiation position of X-rays. In addition, the reproducibility of quantitative results can be improved. The present invention has been made based on the above findings.

すなわち、本発明の第1の態様は、
蛍光X線分析用の分析試料を作製する方法であって、
液体試料として測定対象元素を含む水溶液を準備する準備工程と、
前記液体試料に、内標準元素を含む内標準物質を添加し、混合することにより、混合溶液を形成する混合工程と、
前記混合溶液を試料保持体に滴下する滴下工程と、
前記試料保持体に滴下した前記混合溶液を乾燥させ、前記測定対象元素を含む塩と前記内標準元素を含む塩とを析出させることにより、これらの塩を含む析出物が前記試料保持体に保持された分析試料を形成する乾燥工程と、を有し、
前記内標準元素は、前記乾燥工程において、水への溶解度が、前記測定対象元素を含む塩の水への溶解度に対して8倍以下となるような塩を形成する、前記測定対象元素とは異なる元素である、
分析試料の作製方法が提供される。
That is, the first aspect of the present invention is
A method for preparing an analysis sample for fluorescent X-ray analysis, comprising:
A preparation step of preparing an aqueous solution containing the element to be measured as a liquid sample;
A mixing step of adding an internal standard substance containing an internal standard element to the liquid sample and mixing to form a mixed solution;
a dropping step of dropping the mixed solution onto the sample holder;
By drying the mixed solution that has been dropped onto the sample holder to precipitate a salt containing the element to be measured and a salt containing the internal standard element, the precipitate containing these salts is held on the sample holder. and a drying step to form the analyzed sample,
The internal standard element forms a salt having a solubility in water that is 8 times or less the solubility in water of the salt containing the element to be measured in the drying step. are different elements,
A method for preparing an analytical sample is provided.

本発明の第2の態様は、第1の態様の分析試料の作製方法において、
前記測定対象元素および前記内標準元素は、互いに異なる遷移金属元素である。
A second aspect of the present invention is the method for preparing an analysis sample according to the first aspect,
The element to be measured and the internal standard element are transition metal elements different from each other.

本発明の第3の態様は、第1又は第2の態様の分析試料の作製方法において、
前記測定対象元素および前記内標準元素は、Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、CuおよびZnからなる群から選択され、互いに異なる元素である。
A third aspect of the present invention is the method for preparing an analysis sample according to the first or second aspect,
The element to be measured and the internal standard element are selected from the group consisting of Sc, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu and Zn and are different elements.

本発明の第4の態様は、第1~第3の態様のいずれかの分析試料の作製方法において、
前記液体試料が硫酸イオンを含み、
前記乾燥工程で析出させる各塩が硫酸塩である。
A fourth aspect of the present invention is the method for preparing an analysis sample according to any one of the first to third aspects,
wherein the liquid sample contains sulfate ions;
Each salt precipitated in the drying step is a sulfate.

本発明の第5の態様は、第1~第4の態様のいずれかの分析試料の作製方法において、
前記滴下工程では、前記混合溶液の滴下量を、前記試料保持体の面積1cmあたり150μg以下とする。
A fifth aspect of the present invention is the method for preparing an analysis sample according to any one of the first to fourth aspects,
In the dropping step, the amount of the mixed solution to be dropped is set to 150 μg or less per 1 cm 2 of the area of the sample holder.

本発明の第6の態様は、第1~第5の態様のいずれかの分析試料の作製方法において、
前記試料保持体がろ紙である。
A sixth aspect of the present invention is the method for preparing an analysis sample according to any one of the first to fifth aspects,
The sample holder is filter paper.

本発明の第7の態様は、
液体試料に含まれる所定元素の濃度を定量する定量方法であって、
前記液体試料として測定対象元素を含む水溶液を準備する準備工程と、
前記液体試料に、内標準元素を含む内標準物質を添加し、混合することにより、混合溶液を形成する混合工程と、
前記混合溶液を試料保持体に滴下する滴下工程と、
前記試料保持体に滴下した前記混合溶液を乾燥させ、前記測定対象元素を含む塩と前記内標準元素を含む塩とを析出させることにより、これらの塩を含む析出物が前記試料保持体に保持された分析試料を形成する乾燥工程と、
前記分析試料における前記析出物にX線を照射し、前記測定対象元素および前記内標準元素のそれぞれのX線強度を測定し、その強度比から、前記測定対象元素の濃度を定量する定量工程と、を有し、
前記内標準元素は、前記乾燥工程において、水への溶解度が、前記測定対象元素を含む塩の水への溶解度に対して8倍以下となるような塩を形成する、前記測定対象元素とは異なる元素である、
液体試料の定量方法が提供される。
A seventh aspect of the present invention is
A quantification method for quantifying the concentration of a predetermined element contained in a liquid sample,
a preparation step of preparing an aqueous solution containing an element to be measured as the liquid sample;
A mixing step of adding an internal standard substance containing an internal standard element to the liquid sample and mixing to form a mixed solution;
a dropping step of dropping the mixed solution onto the sample holder;
By drying the mixed solution that has been dropped onto the sample holder to precipitate a salt containing the element to be measured and a salt containing the internal standard element, the precipitate containing these salts is held on the sample holder. a drying step to form a filtered analytical sample;
a quantification step of irradiating the precipitate in the analysis sample with X-rays, measuring the X-ray intensities of the element to be measured and the internal standard element, and quantifying the concentration of the element to be measured from the intensity ratio; , has
The internal standard element forms a salt having a solubility in water that is 8 times or less the solubility in water of the salt containing the element to be measured in the drying step. are different elements,
A method for quantifying a liquid sample is provided.

本発明によれば、液体試料中の所定成分の濃度を精度よく、かつ再現性高く定量することができる。 According to the present invention, it is possible to quantify the concentration of a predetermined component in a liquid sample with high accuracy and high reproducibility.

図1は、蛍光X線測定装置を用いて試料を測定する場合を説明するための図である。FIG. 1 is a diagram for explaining a case of measuring a sample using a fluorescent X-ray measuring device. 図2は、実施例1において液体試料を蛍光X線分析するときの操作のフロー図である。FIG. 2 is a flow chart of operations when performing fluorescent X-ray analysis of a liquid sample in Example 1. FIG. 図3は、実施例1で作製した分析試料の、電子線マイクロアナライザによる面分析結果の写真である。FIG. 3 is a photograph of a surface analysis result of the analysis sample prepared in Example 1 by an electron probe microanalyzer. 図4は、比較例1で作製した分析試料の、電子線マイクロアナライザによる面分析結果の写真である。FIG. 4 is a photograph of a surface analysis result of an analysis sample prepared in Comparative Example 1 by an electron probe microanalyzer. 図5は、実施例1で用いた検量線を示す図である。5 is a diagram showing a calibration curve used in Example 1. FIG.

<本発明の一実施形態>
以下、本発明の一実施形態について説明をする。本実施形態では、液体試料から分析試料を作製した後、その分析試料について蛍光X線分析を行うことにより、液体試料に含まれる所定成分の濃度を定量する場合を説明する。本実施形態の液体試料の定量方法は、準備工程、混合工程、滴下工程、乾燥工程、および定量工程を有する。以下、各工程について詳述する。
<One embodiment of the present invention>
An embodiment of the present invention will be described below. In this embodiment, a case will be described in which the concentration of a predetermined component contained in a liquid sample is quantified by preparing an analysis sample from a liquid sample and then performing fluorescent X-ray analysis on the analysis sample. The liquid sample quantification method of the present embodiment has a preparation process, a mixing process, a dropping process, a drying process, and a quantification process. Each step will be described in detail below.

(準備工程)
まず、被測定溶液である液体試料と、内標準物質とを準備する。
(Preparation process)
First, a liquid sample, which is a solution to be measured, and an internal standard are prepared.

液体試料は、測定対象元素を含む水溶液である。このような液体試料としては、測定対象元素などの含有成分が明らかなものであれば特に限定されない。例えば機能性材料を構成する金属化合物を酸溶液に溶解させた水溶液などが挙げられる。 A liquid sample is an aqueous solution containing the element to be measured. Such a liquid sample is not particularly limited as long as the contained components such as the element to be measured are clear. For example, an aqueous solution obtained by dissolving a metal compound constituting the functional material in an acid solution can be used.

測定対象元素は、蛍光X線分析(XRF)で測定される測定強度が同じような挙動でばらつき、かつ十分な測定感度が得られるものであれば、特に限定されず、実用的にはNa(Z=11)以上の原子番号を持つ元素であれば良い。機能性材料などの金属化合物を溶解させた場合であれば、測定対象元素は遷移金属元素となる。例えば、Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、CuおよびZnからなる群から選択される、少なくとも1つ以上の遷移金属元素となる。 The element to be measured is not particularly limited as long as the measurement intensity measured by X-ray fluorescence analysis (XRF) varies with similar behavior and sufficient measurement sensitivity can be obtained, and practically Na ( Any element having an atomic number of Z=11) or more may be used. In the case of dissolving a metal compound such as a functional material, the element to be measured is a transition metal element. For example, at least one transition metal element selected from the group consisting of Sc, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu and Zn.

なお、液体試料には、測定対象元素以外に、他の成分(以下、共存成分ともいう)が存在していてもよい。このような共存成分としては、例えば、金属化合物を溶解させるときに用いた酸成分に由来する成分などが挙げられる。酸成分として例えば硫酸を用いる場合、共存成分として硫酸イオンが含まれる。また、硝酸であれば、共存成分として硝酸イオンが含まれ、塩酸であれば共存成分として塩化物イオンが含まれる。その他の陰イオンとしては、無機イオンでは、炭酸イオンや水酸化物イオンなどがある。また、酸成分として有機酸を用いた場合であれば、有機酸に由来する陰イオンとしては、例えばギ酸イオン、酢酸イオン、シュウ酸イオンおよびクエン酸イオンなどが挙げられる。 In addition to the element to be measured, the liquid sample may contain other components (hereinafter also referred to as coexisting components). Such coexisting components include, for example, components derived from the acid component used when dissolving the metal compound. For example, when sulfuric acid is used as the acid component, sulfate ions are included as coexisting components. Nitric acid contains nitrate ions as a coexisting component, and hydrochloric acid contains chloride ions as a coexisting component. Other anions include inorganic ions such as carbonate ions and hydroxide ions. In addition, when an organic acid is used as the acid component, anions derived from the organic acid include, for example, formate ion, acetate ion, oxalate ion and citrate ion.

内標準物質は、内標準元素を含むものである。内標準元素は、液体試料には含まれない元素であって、混合溶液の乾燥の際、水への溶解度が、前記測定対象元素を含む塩の水への溶解度に対して8倍以下となるような塩を形成する、測定対象元素とは異なる元素である。 The internal standard substance contains an internal standard element. The internal standard element is an element that is not contained in the liquid sample, and when the mixed solution is dried, the solubility in water is 8 times or less the solubility in water of the salt containing the element to be measured. It is an element different from the element to be measured, which forms such a salt.

内標準物質は、例えば以下のように選択するとよい。まず、試料溶液に含まれる測定対象元素の種類と、その測定対象元素が混合溶液の乾燥で生成する塩の種類(例えば硫酸塩や硝酸塩など)と、その溶解度と、を特定する。次に、内標準元素が混合溶液を乾燥させたときに生成する塩のうち、その溶解度が、測定対象元素が生成する塩との比率で所定の範囲となる元素を抽出し、その中から適当な元素を内標準元素として選択する。 The internal standard substance may be selected, for example, as follows. First, the type of the element to be measured contained in the sample solution, the type of salt (for example, sulfate, nitrate, etc.) generated by drying the mixed solution of the element to be measured, and the solubility thereof are specified. Next, among the salts generated when the mixed solution of the internal standard element is dried, the elements whose solubility is within a predetermined range in terms of the ratio to the salt generated by the element to be measured are extracted, and appropriate Select an element with a similarity as the internal standard element.

ここで、塩とその溶解度について説明する。 Here, salts and their solubility are explained.

本実施形態における塩とは、混合溶液を乾燥させたときに、各元素が析出して形成される析出物を示す。塩の種類は、液体試料に含まれる成分によって変動するため特に限定されない。例えば、液体試料に硫酸イオンが含まれる場合であれば、塩は硫酸塩となる。 The salt in the present embodiment means a precipitate formed by precipitation of each element when the mixed solution is dried. The type of salt is not particularly limited as it varies depending on the components contained in the liquid sample. For example, if the liquid sample contains sulfate ions, the salt will be sulfate.

また、塩の水への溶解度は、温度20℃の純水100gに対して溶解させることのできる塩の量を示す。内標準元素を含む塩の溶解度は、測定対象元素を含む塩の溶解度と近似しており、測定対象元素を含む塩の溶解度に対する、内標準元素を含む塩の溶解度の比率が8倍以下であればよい。具体的には、測定対象元素を含む塩の溶解度をA、内標準元素を含む塩の溶解度をBとしたとき、B/Aが8以下であればよい。なお、溶解度の比率の下限値は特に限定されないが、B/Aは1/8以上であることが好ましい。塩の偏析をより確実に抑制する観点からは、溶解度の比率(B/A)が1/3以上3以下であることがより好ましい。 The solubility of salt in water indicates the amount of salt that can be dissolved in 100 g of pure water at a temperature of 20°C. The solubility of the salt containing the internal standard element is close to the solubility of the salt containing the element to be measured. Just do it. Specifically, where A is the solubility of the salt containing the element to be measured, and B is the solubility of the salt containing the internal standard element, B/A should be 8 or less. Although the lower limit of the solubility ratio is not particularly limited, B/A is preferably 1/8 or more. From the viewpoint of more reliably suppressing salt segregation, the solubility ratio (B/A) is more preferably 1/3 or more and 3 or less.

内標準元素は、測定対象元素の種類に応じて適宜変更するとよく、特に限定されない。測定対象元素が遷移金属元素、具体的にはSc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、CuおよびZnからなる群から選択される場合、内標準元素は、測定対象元素とは互いに異なる種類の遷移金属元素から選択することが好ましい。このように選択することにより、内標準元素を、測定対象元素と近い原子量を有する元素から選択することができる。測定対象元素と原子量が近い内標準元素によれば、液体試料に内標準物質を添加して乾燥させたときに、他の共存成分による吸収や励起の影響の受け方を近似させることができる。これにより、最終的に得られる試料をXRFで測定するときに、測定対象元素および内標準元素の各X線強度から求められるX線強度比をより安定させることができる。 The internal standard element may be appropriately changed according to the type of the element to be measured, and is not particularly limited. When the element to be measured is selected from the group consisting of transition metal elements, specifically Sc, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu and Zn, the internal standard element is the element to be measured It is preferable to select from different types of transition metal elements. By selecting in this way, the internal standard element can be selected from elements having an atomic weight close to that of the element to be measured. By using an internal standard element whose atomic weight is close to that of the element to be measured, it is possible to approximate the influence of absorption and excitation by other coexisting components when the internal standard substance is added to the liquid sample and dried. As a result, when the finally obtained sample is measured by XRF, the X-ray intensity ratio obtained from the X-ray intensities of the element to be measured and the internal standard element can be made more stable.

(混合工程)
続いて、液体試料に内標準物質を添加し、混合することにより、混合溶液を形成する。得られた混合溶液には、例えば測定対象元素、内標準元素、および共存成分が含まれることになる。
(Mixing process)
Subsequently, an internal standard substance is added to the liquid sample and mixed to form a mixed solution. The resulting mixed solution contains, for example, the element to be measured, the internal standard element, and the coexisting component.

内標準物質は、予め純水に添加して溶解させたうえで、内標準元素を含む溶液(内標準溶液)として添加するとよい。例えば、内標準物質を一定量正確に秤量した後、一定の重量の純水に添加して溶解させることで、所定濃度を有する内標準溶液を液体試料に添加するとよい。 The internal standard substance may be dissolved in pure water in advance, and then added as a solution containing the internal standard element (internal standard solution). For example, an internal standard solution having a predetermined concentration may be added to a liquid sample by accurately weighing a predetermined amount of an internal standard substance and then adding and dissolving it in a predetermined weight of pure water.

(滴下工程)
続いて、試料保持体として例えばろ紙を準備する。このろ紙に対して混合溶液を滴下し、含浸させる。試料保持体としては、ろ紙に限定されず、混合溶液を乾燥させたときに、析出する析出物を保持できるようなものであれば特に限定されない。例えば、ろ紙やガラス部材などを用いることができる。ただ、ガラス部材などは、XRFで測定するときに、ガラスに由来する蛍光X線を発生させて測定精度を低下させるおそれがあるので、測定精度を高く維持する観点からは、ろ紙が好ましい。
(Dripping process)
Subsequently, for example, filter paper is prepared as a sample holder. The mixed solution is dripped onto the filter paper to impregnate it. The sample holder is not limited to filter paper, and is not particularly limited as long as it can hold precipitates that precipitate when the mixed solution is dried. For example, filter paper, a glass member, or the like can be used. However, when measuring with XRF, a glass member or the like may generate fluorescent X-rays derived from the glass and reduce the measurement accuracy, so filter paper is preferable from the viewpoint of maintaining high measurement accuracy.

滴下工程では、ろ紙に滴下する液体試料の滴下量を150μg/cm以下とすることが好ましい。このような量で液体試料を滴下することにより、試料保持体において縦方向(厚さ方向)での測定対象元素や内標準元素の濃度勾配を低減できるだけでなく、横方向(平面方向)へも均一に分散させることができる。これにより、定量精度をより高めることができる。 In the dropping step, the amount of the liquid sample dropped onto the filter paper is preferably 150 μg/cm 2 or less. Dropping the liquid sample in this amount not only reduces the concentration gradient of the element to be measured and the internal standard element in the vertical direction (thickness direction) of the sample holder, but also reduces the concentration gradient in the horizontal direction (planar direction). It can be evenly distributed. Thereby, the quantification accuracy can be further improved.

(乾燥工程)
続いて、混合溶液を滴下した試料保持体を乾燥させる。これにより、混合溶液中の溶媒(例えば水分など)を揮発させ、測定対象元素を含む塩と、内標準元素を含む塩とを析出させる。その結果、これらの塩を含む析出物が試料保持体に保持された、XRF用の分析試料を得る。この分析試料は、混合溶液を滴下した領域に、各元素の塩を含む析出物が付着した状態となっている。
(Drying process)
Subsequently, the sample holder onto which the mixed solution has been dropped is dried. As a result, the solvent (for example, moisture) in the mixed solution is volatilized, and the salt containing the element to be measured and the salt containing the internal standard element are precipitated. As a result, an analytical sample for XRF is obtained in which precipitates containing these salts are held on the sample holder. This analysis sample is in a state in which precipitates containing salts of each element are attached to the region where the mixed solution is dropped.

本実施形態では、内標準元素として、混合溶液の乾燥させたときに、水への溶解度が、測定対象元素を含む塩の水への溶解度に対して8倍以下となるような塩を形成する、測定対象元素とは異なる元素を選択している。このため、混合溶液を乾燥させるときに、測定対象元素を含む塩と、内標準元素を含む塩とを、同程度の割合で析出させることができる。これにより、混合溶液の乾燥により得られる析出物において、測定対象元素および内標準元素を面内で均一な割合で分散するように析出させることができる。 In this embodiment, the internal standard element forms a salt whose solubility in water is 8 times or less the solubility in water of the salt containing the element to be measured when the mixed solution is dried. , an element different from the element to be measured is selected. Therefore, when the mixed solution is dried, the salt containing the element to be measured and the salt containing the internal standard element can be precipitated at approximately the same ratio. As a result, in the precipitate obtained by drying the mixed solution, the element to be measured and the internal standard element can be precipitated so as to be uniformly dispersed in the plane.

混合溶液の乾燥温度は、試料保持体を変形させないような温度であれば特に限定されない。ろ紙の場合であれば、乾燥温度は80℃以下とすることが好ましい。一方、乾燥時間を短縮させる観点からは乾燥温度を高くするとよく、50℃以上とすることが好ましい。 The drying temperature of the mixed solution is not particularly limited as long as the temperature does not deform the sample holder. In the case of filter paper, the drying temperature is preferably 80° C. or lower. On the other hand, from the viewpoint of shortening the drying time, it is preferable to increase the drying temperature, preferably 50° C. or higher.

なお、乾燥方法としては、自然乾燥、ドライヤーを用いた乾燥等でも可能であるが、迅速且つ均一な乾燥を行う観点からは、乾燥機を用いた乾燥が好ましい。 As a drying method, natural drying, drying using a dryer, or the like can be used, but drying using a dryer is preferable from the viewpoint of performing rapid and uniform drying.

(定量工程)
続いて、得られた分析試料を蛍光X線測定装置に導入し、蛍光X線分析を行う。ここで、分析試料を蛍光X線測定装置に導入し、測定を行う場合を図1を用いて説明する。図1は、蛍光X線測定装置を用いて分析試料を測定する場合を説明するための図である。
(Quantification process)
Subsequently, the obtained analysis sample is introduced into a fluorescent X-ray measuring device and subjected to fluorescent X-ray analysis. Here, a case where an analysis sample is introduced into a fluorescent X-ray measuring apparatus and measurement is performed will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a diagram for explaining the case of measuring an analysis sample using a fluorescent X-ray measuring device.

まず、図1に示すように、分析試料26を試料ホルダ20に設置する。試料ホルダ20は、分析試料26を収容する筒状の枠体21と、枠体21の底部に設けられ、分析試料26を支持する支持部22とを備えて構成され、支持部22には、その中心部分に分析試料26を露出させる穴部23が形成されている。この試料ホルダ20に対して、枠体21の支持部22上に、マスク穴部25が設けられたリング状のマスク24を介して分析試料26を載置する。分析試料26は、その周縁部が支持部22で支持され、穴部23から一部が露出するように、試料ホルダ20に載置されることになる。このとき、分析試料26における混合溶液を滴下して析出物が付着している領域が穴部23から露出するように、分析試料26を配置する。なお、リング状のマスク24は、ワッシャーとして作用するものであり、支持部22にワッシャー構造を付与することで、マスク24を省略してもよい。 First, as shown in FIG. 1, the analysis sample 26 is placed on the sample holder 20 . The sample holder 20 includes a cylindrical frame 21 that accommodates an analysis sample 26, and a support portion 22 that is provided at the bottom of the frame 21 and supports the analysis sample 26. The support portion 22 includes: A hole 23 for exposing an analysis sample 26 is formed in its central portion. An analysis sample 26 is placed on the support portion 22 of the frame 21 of the sample holder 20 via a ring-shaped mask 24 having a mask hole 25 . The analysis sample 26 is placed on the sample holder 20 such that its peripheral portion is supported by the support portion 22 and is partially exposed from the hole portion 23 . At this time, the analysis sample 26 is arranged so that the region where the mixed solution in the analysis sample 26 is dripped and the precipitate is attached is exposed from the hole portion 23 . The ring-shaped mask 24 functions as a washer, and the mask 24 may be omitted by providing the support portion 22 with a washer structure.

次に、載置した分析試料26上に重し28を載せて、分析試料26に対して均一に荷重をかける。分析試料26をマスク24と重し28とで挟持することにより、測定中における分析試料26の変形や位置ずれ等を抑制することができる。また、分析試料26がろ紙の場合、その平滑性を担保することができる。 Next, a weight 28 is placed on the mounted analysis sample 26 to apply a uniform load to the analysis sample 26 . By sandwiching the analysis sample 26 between the mask 24 and the weight 28, deformation and displacement of the analysis sample 26 during measurement can be suppressed. Moreover, when the analysis sample 26 is filter paper, its smoothness can be ensured.

この重し28としては、測定対象元素および内標準元素を含まず、これらの元素が発生する蛍光X線の検出を妨害するような波長の蛍光X線を発生しなければ、特に限定されない。このような重し28としては、例えば、PTFE、PFA、PCTFE、PVDF、PVF、ETFE、ECTFE等のフッ素樹脂からなる部材を用いることができる。 The weight 28 is not particularly limited as long as it does not contain the element to be measured and the internal standard element and does not generate fluorescent X-rays of wavelengths that interfere with the detection of the fluorescent X-rays generated by these elements. As such a weight 28, for example, a member made of a fluororesin such as PTFE, PFA, PCTFE, PVDF, PVF, ETFE, ECTFE, or the like can be used.

続いて、X線管10で発生させた一次X線Xを分析試料26に対して照射する。具体的には、試料ホルダ20から露出する分析試料26の一部の領域に一次X線Xを照射する。この照射により、分析試料26に付着する析出物に含まれる元素が、それぞれ、固有の蛍光X線Xを発生させる。そして、発生した蛍光X線XをX線検出器30にて検出し、測定対象元素および内標準元素のそれぞれに固有の蛍光X線XのX線強度を測定する。また、これらの強度比を求める。 Subsequently, the analysis sample 26 is irradiated with primary X-rays X1 generated by the X-ray tube 10 . Specifically, a partial region of the analysis sample 26 exposed from the sample holder 20 is irradiated with primary X-rays X1. Due to this irradiation, the elements contained in the precipitates adhering to the analysis sample 26 each generate their own unique fluorescent X - rays X2. Then, the generated fluorescent X - rays X2 are detected by the X-ray detector 30, and the X - ray intensity of the fluorescent X-rays X2 peculiar to each of the element to be measured and the internal standard element is measured. Also, the intensity ratio of these is obtained.

続いて、予め作成した、測定対象元素および内標準元素についての、濃度比とX線強度比との相関を示す検量線を用いて、求められたX線強度比から、液体試料に含まれる測定対象元素の濃度を定量する。 Subsequently, using a previously prepared calibration curve showing the correlation between the concentration ratio and the X-ray intensity ratio for the element to be measured and the internal standard element, the measurement contained in the liquid sample is determined from the obtained X-ray intensity ratio. Quantify the concentration of the target element.

検量線は、例えば以下のように作成するとよい。具体的には、測定対象元素を所定の濃度で含む溶液と内標準物質とを混合し、測定対象元素と内標準元素とのX線強度比を求めることを、測定対象元素を含む溶液の採取量を変化させて繰り返し行い、各採取量でのX線強度比を求めることにより、測定対象元素と内標準元素についての、濃度比とX線強度比との相関を示す検量線を作成するとよい。 A calibration curve may be prepared, for example, as follows. Specifically, a solution containing the element to be measured at a predetermined concentration is mixed with an internal standard material, and the X-ray intensity ratio between the element to be measured and the internal standard element is obtained. It is preferable to prepare a calibration curve showing the correlation between the concentration ratio and the X-ray intensity ratio for the element to be measured and the internal standard element by repeatedly changing the amount and obtaining the X-ray intensity ratio at each sampling amount. .

以上により、液体試料における析出物に含まれる測定対象元素の濃度を、内標準元素に基づいて、測定し、液体試料に含まれる測定対象元素の濃度を定量することができる。 As described above, the concentration of the element to be measured contained in the precipitate in the liquid sample can be measured based on the internal standard element, and the concentration of the element to be measured contained in the liquid sample can be quantified.

<本実施形態に係る効果>
本実施形態によれば、以下に示す1つ又は複数の効果を奏する。
<Effects of this embodiment>
According to this embodiment, one or more of the following effects can be obtained.

内標準物質として、測定対象元素を含む塩の水への溶解度と大きく隔たるような溶解度を有する塩を形成する元素を含む化合物を使用する場合、混合溶液を乾燥させて、その溶媒を揮発させるときに、水への溶解度が低い塩が先に析出し始め、水への溶解度が高い塩が遅れて析出し始める。その結果、水への溶解度が高い塩ほど、混合溶液を滴下した領域において、中心部分よりも外側で析出することになる。このように、測定対象元素を含む塩と、内標準元素を含む塩とは、水への溶解度の違いに起因して、析出の仕方が異なり、一方の塩が偏析することになる。一方の塩が析出していると、析出物においてX線を照射する箇所によって、測定対象元素と内標準元素との比率が変動し、測定対象元素の濃度を、精度よく、かつ再現性高く定量することができない。 When using as an internal standard substance a compound containing an element that forms a salt with a solubility that is greatly different from the solubility in water of the salt containing the element to be measured, the mixed solution is dried to evaporate the solvent. Sometimes salts with low water solubility start to precipitate first, and salts with high water solubility start to precipitate later. As a result, the higher the water solubility of the salt, the more the salt is deposited outside the central portion in the area where the mixed solution is dropped. Thus, the salt containing the element to be measured and the salt containing the internal standard element precipitate differently due to the difference in water solubility, and one of the salts segregates. If one salt is precipitated, the ratio of the element to be measured and the internal standard element varies depending on the part of the precipitate that is irradiated with X-rays, and the concentration of the element to be measured can be quantified with high accuracy and high reproducibility. Can not do it.

これに対して、本実施形態では、内標準物質として、測定対象元素とは異なり、かつ、液体試料に混合して乾燥させた際に、水への溶解度が、測定対象元素を含む塩の水への溶解度に対して8倍以下となるような塩を形成する元素を含む化合物を使用している。これにより、測定対象元素を含む塩と内標準元素を含む塩との溶解度を近似できるので、混合溶液を乾燥させたときに、各塩が析出するタイミングのずれを減らし、各塩を同じ割合で析出させることができる。この結果、各元素の塩を含む析出物が付着する領域において、測定対象元素と内標準元素との比率を均一にすることができる。このように測定対象元素と内標準元素とが領域内で均一に析出している試料によれば、X線を照射する位置によらず、測定対象元素と内標準元素との強度比を一定で得られるので、測定対象元素の濃度を、精度よく、かつ再現性高く定量することができる。 On the other hand, in the present embodiment, the internal standard substance is salt water containing the element to be measured, which is different from the element to be measured and has a solubility in water when mixed with a liquid sample and dried. A compound containing an element that forms a salt that is 8 times or less than the solubility in water is used. This makes it possible to approximate the solubility of the salt containing the element to be measured and the salt containing the internal standard element. can be precipitated. As a result, the ratio between the element to be measured and the internal standard element can be made uniform in the region where the precipitate containing the salt of each element adheres. According to the sample in which the element to be measured and the internal standard element are uniformly precipitated in the region in this way, the intensity ratio between the element to be measured and the internal standard element can be kept constant regardless of the X-ray irradiation position. Therefore, the concentration of the element to be measured can be quantified with high accuracy and high reproducibility.

測定対象元素および内標準元素は、ともに遷移金属であることが好ましく、Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、CuおよびZnからなる群から選択され、互いに異なる元素であることがより好ましい。測定対象元素が遷移金属元素であっても、内標準元素として、塩の水への溶解度が近い遷移金属元素を選択することにより、精度よく定量することができる。 Both the element to be measured and the internal standard element are preferably transition metals, are selected from the group consisting of Sc, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu and Zn, and are different elements. is more preferred. Even if the element to be measured is a transition metal element, it can be quantified with high accuracy by selecting a transition metal element whose solubility in salt water is close to that of salt as an internal standard element.

試料保持体に滴下する混合溶液の滴下量は、試料保持体の面積1cmあたり150μg以下とすることが好ましい。これにより、分析試料の析出物において、測定対象元素や内標準元素の厚さ方向での濃度勾配を低減するとともに、平面方向でも均一に分散させることができる。この結果、定量精度をより高めることができる。 The amount of the mixed solution dropped onto the sample holder is preferably 150 μg or less per 1 cm 2 of area of the sample holder. As a result, in the precipitates of the analysis sample, the concentration gradient of the element to be measured and the internal standard element can be reduced in the thickness direction, and can be uniformly dispersed in the planar direction. As a result, it is possible to further improve the quantification accuracy.

試料保持体としては、ろ紙を用いることが好ましい。ろ紙によれば、例えばガラスのように、測定対象元素や内標準元素から発生する蛍光X線の検出を阻害しないので、測定対象元素の濃度をより高い精度で定量することができる。 Filter paper is preferably used as the sample holder. Unlike glass, for example, filter paper does not interfere with the detection of fluorescent X-rays generated from the element to be measured or the internal standard element, so it is possible to quantify the concentration of the element to be measured with higher accuracy.

<変形例>
以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は、上述した実施形態に何等限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々に改変することができる。
<Modification>
Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be modified in various ways without departing from the gist of the present invention.

例えば、混合工程では、重量法を採用して混合溶液を調製するとよい。具体的には、重量として正確に秤量された液体試料に対して、内標準物質を正確に秤量したうえで添加して撹拌することにより、混合するとよい。重量法によれば、混合溶液を形成するまでの過程で、液体重量の秤量操作を行うだけで、液体容量の測定が必要なくなるので、測定精度を高くできるとともに、定量分析に要する時間を短縮することができる。 For example, in the mixing step, a mixed solution may be prepared using a gravimetric method. Specifically, it is preferable to add an accurately weighed internal standard substance to a liquid sample that has been accurately weighed, and to mix the mixture by stirring. According to the gravimetric method, it is not necessary to measure the liquid volume by simply weighing the liquid weight in the process of forming the mixed solution, so the measurement accuracy can be improved and the time required for quantitative analysis can be shortened. be able to.

具体的に説明すると、液体試料の一定容量を分取するような操作では、作業者のプッシュボタン式液体用微量体積計(いわゆる、マイクロピペット)の操作習熟度が未熟な場合には、分取誤差が大きくなり、結果として精確な測定が行えない場合がある。これに対し、液体重量を秤量する操作であれば、たとえ操作習熟度が未熟な場合であっても、誤差が小さく、より厳密な測定操作が容易に可能になる。 Specifically, in an operation to aliquot a certain volume of a liquid sample, if the operator's skill in operating a push-button microvolume meter for liquids (so-called micropipette) is inexperienced, aliquoting may be difficult. The error increases, and as a result, accurate measurement may not be possible. On the other hand, in the operation of weighing the weight of a liquid, the error is small and a more precise measurement operation can be easily performed even if the operator is unskilled in the operation.

しかも、重量法によれば、混合溶液を形成した段階で、液体試料に含まれる測定対象元素と内標準源との比率を、厳密に決定することができる。この結果、混合溶液の一定容量を試料保持体上に滴下する際、未熟な操作習熟度をもって液体容量の測定操作をおこなったとしても、所定元素と内部標準元素との比率自体は保持される。従って、測定精度を低下させることなく、たとえ未熟な操作習熟度であったとしても、液体容量の測定操作方法をもって当該混合溶液を取り扱うことが出来る。 Moreover, according to the gravimetric method, the ratio between the element to be measured and the internal standard source contained in the liquid sample can be strictly determined at the stage of forming the mixed solution. As a result, when a fixed volume of the mixed solution is dropped onto the sample holder, the ratio between the predetermined element and the internal standard element is maintained even if the liquid volume is measured with an inexperienced operating skill. Therefore, the mixed solution can be handled by the liquid volume measurement operation method without lowering the measurement accuracy, even if the operator is unskilled in operation.

以下、本発明をさらに詳細な実施例に基づき説明するが、本発明は、これら実施例に限定されない。 The present invention will be described below based on more detailed examples, but the present invention is not limited to these examples.

(実施例1)
実施例1では、固体試料である硫酸ニッケル(II)に含まれるNi濃度を定量すべく、図2に示すフローにしたがって、硫酸ニッケル(II)を溶解して液体試料を調製し、蛍光X線分析用の分析試料を作製した。
(Example 1)
In Example 1, in order to quantify the Ni concentration contained in nickel (II) sulfate, which is a solid sample, nickel (II) sulfate was dissolved to prepare a liquid sample according to the flow shown in FIG. An analytical sample was prepared for analysis.

具体的には、まず、予め、硫酸ニッケル(II)を水で溶解して、Ni濃度が50~130g/Lの範囲で一定濃度となるように調製し、液体試料1(硫酸ニッケル(II)溶液)を準備した。次に、ポリスチレン製試験管へ、液体試料1mLを、精密天秤を用いて0.1mgの桁まで精確に量り取った。次に、内標準元素としてMnを選択し、ポリスチレン製試験管へ、Mn濃度が40g/Lの内標準溶液(硫酸マンガン(II)溶液)3mLを、精密天秤を用いて0.1mgの桁まで精確に量り取った。そして、ポリスチレン製試験管を密栓し、攪拌して混合溶液1-1を得た。この操作をさらに9回繰り返し行い、合計10個の混合溶液1-1~1-10を調製した。 Specifically, first, nickel (II) sulfate is dissolved in water in advance to prepare a constant Ni concentration in the range of 50 to 130 g / L, liquid sample 1 (nickel sulfate (II) solution) was prepared. Next, 1 mL of the liquid sample was accurately weighed to the order of 0.1 mg into a polystyrene test tube using a precision balance. Next, Mn is selected as an internal standard element, and 3 mL of an internal standard solution (manganese (II) sulfate solution) with a Mn concentration of 40 g / L is added to a polystyrene test tube using a precision balance to the order of 0.1 mg. Weighed accurately. Then, the polystyrene test tube was sealed and stirred to obtain a mixed solution 1-1. This operation was repeated nine times to prepare a total of ten mixed solutions 1-1 to 1-10.

調製した混合溶液1-1~1-10のそれぞれを、マイクロピペットを用いて20μLずつ分取し、外径50mmを有する円形ろ紙(No.5C)の中心部へ滴下した。滴下して30秒間以上放置した後、混合溶液を含浸させた円形ろ紙を、庫内の温度を50℃に設定した自然対流方式定温乾燥機へ装填し、60分間の加熱を行って乾燥させて、実施例1に係る10個の分析試料1―1~1-10を得た。 20 μL of each of the prepared mixed solutions 1-1 to 1-10 was dispensed using a micropipette and dropped onto the center of a circular filter paper (No. 5C) having an outer diameter of 50 mm. After dripping and leaving for 30 seconds or more, the circular filter paper impregnated with the mixed solution is loaded into a natural convection type constant temperature dryer with the temperature inside the chamber set at 50 ° C. and dried by heating for 60 minutes. , 10 analytical samples 1-1 to 1-10 according to Example 1 were obtained.

分析試料1―1~1-10を、それぞれ試料ホルダ(内径52mmの枠体)内に設置した。そして、分析試料のX線管と相対しない側に、重しとして径50mmを有し40mmの厚みを有するPTFEを載置した。 Analytical samples 1-1 to 1-10 were placed in sample holders (frames with an inner diameter of 52 mm). Then, PTFE having a diameter of 50 mm and a thickness of 40 mm was placed as a weight on the side of the analysis sample not facing the X-ray tube.

分析試料1―1~1-10が設置されPTFEの重しが載置された試料ホルダを、XRF測定装置に装填した。そして、分析試料1-1~1-10の10個のNiおよびMnの蛍光X線強度を測定して、NiとMnとのX線強度比を算出し、混合溶液中のNi濃度を定量した。そして、10個の分析試料のそれぞれで測定されたNi濃度から、XRFの繰り返し測定精度として、相対標準偏差(RSD)を求めた。その結果、相対標準偏差(RSD)が0.15%であり、実施例1ではXRFの繰り返し精度が優れていることが確認された。 A sample holder on which analysis samples 1-1 to 1-10 were placed and a PTFE weight was placed was loaded into the XRF measurement device. Then, the fluorescent X-ray intensities of 10 Ni and Mn in analytical samples 1-1 to 1-10 were measured, the X-ray intensity ratio between Ni and Mn was calculated, and the Ni concentration in the mixed solution was quantified. . Then, the relative standard deviation (RSD) was obtained as the XRF repeated measurement accuracy from the Ni concentration measured for each of the 10 analytical samples. As a result, the relative standard deviation (RSD) was 0.15%, and it was confirmed that Example 1 had excellent XRF repeatability.

なお、Ni濃度は、図5に示す検量線を用いて算出した。この検量線は、図2のフローをもとに、Ni濃度が50~130g/Lの範囲で既知濃度の硫酸ニッケル(II)溶液の採取量を変化させて、各採取量でのNiとMnとのX線強度比を求めることで作成した。検量線の相関係数を算出したところ1.000であり、当該検量線の直線性は非常に良好であることが確認された。 Incidentally, the Ni concentration was calculated using the calibration curve shown in FIG. Based on the flow in FIG. 2, this calibration curve was obtained by changing the amount of nickel (II) sulfate solution with a known concentration in the Ni concentration range of 50 to 130 g / L, and the Ni and Mn It was created by obtaining the X-ray intensity ratio with When the correlation coefficient of the calibration curve was calculated, it was 1.000, and it was confirmed that the linearity of the calibration curve was very good.

(比較例1)
比較例1では、内標準元素としてFeを選択し、Fe濃度が40g/Lの内部標準溶液(硫酸鉄(III)溶液)を用いたこと以外は実施例1と同様の手順で、分析試料2-1~2-10を作製し、この分析試料についてNiおよびFeの蛍光X線強度を測定することにより、NiとFeとのX線強度比を算出し、混合溶液中のNi濃度を求めた。そして、実施例1と同様に、分析試料2-1~2-10のそれぞれで測定されたNi濃度から、XRFの繰り返し測定精度として、相対標準偏差(RSD)を求めた。その結果、比較例1では、RSDが0.60%であり、実施例1と比べて、XRFの繰り返し測定で得られる定量値が大きくばらつくことが確認された。
(Comparative example 1)
In Comparative Example 1, Fe was selected as the internal standard element, and an analysis sample 2 was prepared in the same manner as in Example 1 except that an internal standard solution (iron (III) sulfate solution) having a Fe concentration of 40 g / L was used. -1 to 2-10 were prepared, and the X-ray intensity ratio between Ni and Fe was calculated by measuring the fluorescent X-ray intensity of Ni and Fe for this analysis sample, and the Ni concentration in the mixed solution was obtained. . Then, in the same manner as in Example 1, the relative standard deviation (RSD) was obtained from the Ni concentration measured for each of the analytical samples 2-1 to 2-10 as the XRF repeated measurement accuracy. As a result, in Comparative Example 1, the RSD was 0.60%, and compared with Example 1, it was confirmed that the quantitative values obtained by repeated XRF measurements varied greatly.

実施例1と比較例1との、XRFによる繰り返し測定精度の違いを検討すべく、実施例1と比較例1のそれぞれで作製した分析試料を電子線マイクロアナライザ(EPMA)により測定した。実施例1で作製した分析試料の、電子線マイクロアナライザによる面分析結果の写真を図3に、比較例1で作製した分析試料の、電子線マイクロアナライザによる面分析結果の写真を図4に、それぞれ示す。 In order to examine the difference in repeated measurement accuracy by XRF between Example 1 and Comparative Example 1, the analytical samples prepared in Example 1 and Comparative Example 1 were measured with an electron probe microanalyzer (EPMA). FIG. 3 shows a photograph of the surface analysis result of the analysis sample prepared in Example 1 by an electron probe microanalyzer, and FIG. 4 shows a photograph of the surface analysis result of the analysis sample prepared in Comparative Example 1 by an electron probe microanalyzer. each shown.

図4に示すように、内標準元素をFeとした場合、内標準元素を含む塩(硫酸鉄(III))に由来するFeやSが、ろ紙上の混合溶液を滴下した部分の周辺部(ろ紙の中心の周辺部)に濃縮して偏析することが確認された。すなわち、硫酸鉄(III)に由来するFeおよびSと、測定対象元素を含む塩(硫酸ニッケル(II))に由来するNiおよびSとが、分析試料上の混合溶液を滴下した部分において、一様に分布していないことが確認された。 As shown in FIG. 4, when the internal standard element is Fe, Fe and S derived from the salt containing the internal standard element (iron (III) sulfate) are present in the peripheral area ( It was confirmed that it was concentrated and segregated in the central peripheral part of the filter paper). That is, Fe and S derived from iron (III) sulfate and Ni and S derived from the salt containing the element to be measured (nickel (II) sulfate) are present at the same time in the portion of the analysis sample to which the mixed solution is dropped. It was found that they were not evenly distributed.

比較例1において、塩が偏析したのは、測定対象元素を含む塩である硫酸ニッケル(II)の水への溶解度と、内標準元素を含む塩である硫酸鉄(III)の水への溶解度とが大きく乖離するため、と推測される。具体的には、下記表1に示すように、硫酸ニッケル(II)の温度20℃における水への溶解度は、44.4gであり、硫酸鉄(III)の温度20℃における水への溶解度は、440gであり、これらの塩の溶解度の比率は約9.9である。つまり、比較例1で内標準元素として選択したFeは、測定対象元素であるNiに比べて、溶解度が高く、かつ水分を揮発させにくく、乾燥の際に析出しにくい塩を形成する。このような溶解度を有するNiおよびFeを含む混合溶液を乾燥させて溶媒(水分)を揮発させる場合、Niを含む塩が析出しやすいのに対して、Feを含む塩は析出しにくくなるので、混合溶液を滴下した領域の外側にFeが濃縮して析出しやすくなる。この結果、混合溶液を滴下した領域において、NiとFeとが同じ割合で析出していないため、X線の照射位置によってX線強度比(Ni/Fe)が一定とならず、XRFで繰り返し測定を行ったときに各定量値のばらつきが大きくなったものと考えられる。 In Comparative Example 1, the segregation of the salts occurred due to the solubility in water of nickel (II) sulfate, which is the salt containing the element to be measured, and the solubility in water of iron (III) sulfate, which is the salt containing the internal standard element. This is presumed to be due to the large divergence between Specifically, as shown in Table 1 below, the solubility of nickel (II) sulfate in water at a temperature of 20°C is 44.4 g, and the solubility of iron (III) sulfate in water at a temperature of 20°C is , 440 g, and the solubility ratio of these salts is about 9.9. That is, Fe, which was selected as the internal standard element in Comparative Example 1, has higher solubility than Ni, which is the element to be measured, and forms a salt that is less likely to volatilize water and precipitate during drying. When the mixed solution containing Ni and Fe having such solubility is dried to volatilize the solvent (moisture), the salt containing Ni is likely to precipitate, whereas the salt containing Fe is difficult to precipitate. Fe is concentrated and tends to precipitate outside the region where the mixed solution is dropped. As a result, in the region where the mixed solution was dropped, Ni and Fe were not precipitated at the same ratio, so the X-ray intensity ratio (Ni / Fe) was not constant depending on the X-ray irradiation position, and repeated measurements by XRF It is considered that the dispersion of each quantitative value increased when the

これに対して、実施例1では、図3に示すように、内標準元素をMnとした場合、内標準元素を含む塩(硫酸マンガン(II))に由来するMnやSと、測定対象元素を含む塩(硫酸ニッケル(II))に由来するNiやSとが、ろ紙上の混合溶液の滴下部に偏析せずに、一様に分布していることが確認された。 On the other hand, in Example 1, as shown in FIG. 3, when the internal standard element is Mn, Mn and S derived from a salt containing the internal standard element (manganese (II) sulfate) It was confirmed that Ni and S derived from the salt (nickel (II) sulfate) containing Ni and S are uniformly distributed without segregation in the dropping portion of the mixed solution on the filter paper.

これは、実施例1では、内標準元素として、塩を形成したときに、測定対象元素であるNiを含む塩(硫酸ニッケル(II))と近い溶解度を有するMnを使用しているため、と推測される。具体的には、下記表1に示すように、硫酸ニッケル(II)の温度20℃における水への溶解度は、44.4gであり、硫酸マンガン(II)の温度20℃における水への溶解度は、62.9gであり、これらの塩の溶解度の比率は約1.4である。つまり、実施例1で内標準元素として選択したMnと、測定対象元素であるNiとは、溶解度が同程度であるので、塩として析出し始めるタイミングのずれが小さい。そのため、NiおよびMnを含む混合溶液を乾燥させて溶媒(水分)を揮発させる場合、NiおよびMnを同時に析出させ始めることができるので、混合溶液を滴下した領域において、NiおよびMnを同じ割合で一様に析出させることができる。これにより、X線の照射位置によらず、X線強度比(Ni/Mn)を一定にすることができるので、XRFで繰り返し測定を行ったときに各定量値のばらつきを小さくすることができる。 This is because in Example 1, Mn, which has a solubility close to that of a salt containing Ni (nickel sulfate (II)), which is the element to be measured, is used as the internal standard element when a salt is formed. guessed. Specifically, as shown in Table 1 below, the solubility of nickel (II) sulfate in water at a temperature of 20°C is 44.4 g, and the solubility of manganese (II) sulfate in water at a temperature of 20°C is , 62.9 g, and the solubility ratio of these salts is about 1.4. That is, since Mn selected as the internal standard element in Example 1 and Ni, which is the element to be measured, have the same degree of solubility, the difference in the timing of starting to precipitate as a salt is small. Therefore, when the mixed solution containing Ni and Mn is dried to volatilize the solvent (moisture), Ni and Mn can start to precipitate at the same time. It can be uniformly deposited. As a result, the X-ray intensity ratio (Ni/Mn) can be kept constant regardless of the X-ray irradiation position, so that the variation in each quantitative value can be reduced when XRF is repeatedly measured. .

Figure 0007200887000001
Figure 0007200887000001

なお、表1中、各物質の溶解度は、温度20℃の純水100gに対して溶解する各物質の溶解量[g]を示す。 In Table 1, the solubility of each substance indicates the amount [g] of each substance dissolved in 100 g of pure water at a temperature of 20°C.

以上説明したように、内標準元素として、塩を形成したときに、測定対象元素を含む塩と近い溶解度を有する元素を選択することにより、測定対象元素および内標準元素を含む混合溶液を乾燥させるときに、一方の塩の偏析を抑制し、各元素の割合が面内で均一な蛍光X線分析用の分析試料を形成することができる。このような分析試料によれば、X線の照射位置によらず、各元素のX線強度比を一定で得られるので、所定元素の濃度を精度よく、かつ再現性よく定量することができる。 As described above, the mixed solution containing the element to be measured and the internal standard element is dried by selecting, as the internal standard element, an element having a solubility close to that of the salt containing the element to be measured when a salt is formed. Occasionally, it is possible to suppress the segregation of one salt and form an analysis sample for fluorescent X-ray analysis in which the ratio of each element is uniform in the plane. According to such an analysis sample, a constant X-ray intensity ratio of each element can be obtained regardless of the X-ray irradiation position, so that the concentration of the predetermined element can be quantified with high accuracy and good reproducibility.

10:X線管
20:試料ホルダ
21:枠体
22:支持部
23:穴部
24:マスク
25:マスク穴部
26:分析試料(ろ紙)
28:重し
30:X線検出器
:一次X線
:蛍光X線
10: X-ray tube 20: Sample holder 21: Frame 22: Support 23: Hole 24: Mask 25: Mask hole 26: Analysis sample (filter paper)
28: Weight 30: X-ray detector X1: Primary X-ray X2: Fluorescent X - ray

Claims (7)

蛍光X線分析用の分析試料を作製する方法であって、
液体試料として測定対象元素を含む水溶液を準備する準備工程と、
前記液体試料に、内標準元素を含む内標準物質を添加し、混合することにより、混合溶液を形成する混合工程と、
前記混合溶液を試料保持体に滴下する滴下工程と、
前記試料保持体に滴下した前記混合溶液を乾燥させ、前記測定対象元素を含む塩と前記内標準元素を含む塩とを析出させることにより、これらの塩を含む析出物が前記試料保持体に保持された分析試料を形成する乾燥工程と、を有し、
前記内標準元素は、前記乾燥工程において、水への溶解度が、前記測定対象元素を含む塩の水への溶解度に対して8倍以下となるような塩を形成する、前記測定対象元素とは異なる元素である、
分析試料の作製方法。
A method for preparing an analysis sample for fluorescent X-ray analysis, comprising:
A preparation step of preparing an aqueous solution containing the element to be measured as a liquid sample;
A mixing step of adding an internal standard substance containing an internal standard element to the liquid sample and mixing to form a mixed solution;
a dropping step of dropping the mixed solution onto the sample holder;
By drying the mixed solution that has been dropped onto the sample holder to precipitate a salt containing the element to be measured and a salt containing the internal standard element, the precipitate containing these salts is held on the sample holder. and a drying step to form the analyzed sample,
The internal standard element forms a salt having a solubility in water that is 8 times or less the solubility in water of the salt containing the element to be measured in the drying step. are different elements,
A method for preparing an analytical sample.
前記測定対象元素および前記内標準元素は、互いに異なる遷移金属元素である、
請求項1に記載の分析試料の作製方法。
The element to be measured and the internal standard element are transition metal elements different from each other,
The method for preparing an analysis sample according to claim 1.
前記測定対象元素および前記内標準元素は、Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、CuおよびZnからなる群から選択され、互いに異なる元素である、
請求項1又は2に記載の分析試料の作製方法。
The element to be measured and the internal standard element are selected from the group consisting of Sc, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu and Zn and are different elements.
The method for preparing an analysis sample according to claim 1 or 2.
前記液体試料が硫酸イオンを含み、
前記乾燥工程で析出させる各塩が硫酸塩である、
請求項1~3のいずれか1項に記載の分析試料の作製方法。
wherein the liquid sample contains sulfate ions;
Each salt precipitated in the drying step is a sulfate,
A method for preparing an analysis sample according to any one of claims 1 to 3.
前記滴下工程では、前記混合溶液の滴下量を、前記試料保持体の面積1cmあたり150μg以下とする、
請求項1~4のいずれか1項に記載の分析試料の作製方法。
In the dropping step, the amount of the mixed solution to be dropped is set to 150 μg or less per 1 cm 2 of the area of the sample holder.
A method for preparing an analysis sample according to any one of claims 1 to 4.
前記試料保持体がろ紙である、
請求項1~5のいずれか1項に記載の分析試料の作製方法。
wherein the sample holder is filter paper;
A method for preparing an analysis sample according to any one of claims 1 to 5.
液体試料に含まれる所定元素の濃度を定量する定量方法であって、
前記液体試料として測定対象元素を含む水溶液を準備する準備工程と、
前記液体試料に、内標準元素を含む内標準物質を添加し、混合することにより、混合溶液を形成する混合工程と、
前記混合溶液を試料保持体に滴下する滴下工程と、
前記試料保持体に滴下した前記混合溶液を乾燥させ、前記測定対象元素を含む塩と前記内標準元素を含む塩とを析出させることにより、これらの塩を含む析出物が前記試料保持体に保持された分析試料を形成する乾燥工程と、
前記分析試料における前記析出物にX線を照射し、前記測定対象元素および前記内標準元素のそれぞれのX線強度を測定し、その強度比から、前記測定対象元素の濃度を定量する定量工程と、を有し、
前記内標準元素は、前記乾燥工程において、水への溶解度が、前記測定対象元素を含む塩の水への溶解度に対して8倍以下となるような塩を形成する、前記測定対象元素とは異なる元素である、
液体試料の定量方法。
A quantification method for quantifying the concentration of a predetermined element contained in a liquid sample,
a preparation step of preparing an aqueous solution containing an element to be measured as the liquid sample;
A mixing step of adding an internal standard substance containing an internal standard element to the liquid sample and mixing to form a mixed solution;
a dropping step of dropping the mixed solution onto the sample holder;
By drying the mixed solution that has been dropped onto the sample holder to precipitate a salt containing the element to be measured and a salt containing the internal standard element, the precipitate containing these salts is held on the sample holder. a drying step to form a filtered analytical sample;
a quantification step of irradiating the precipitate in the analysis sample with X-rays, measuring the X-ray intensities of the element to be measured and the internal standard element, and quantifying the concentration of the element to be measured from the intensity ratio; , has
The internal standard element forms a salt having a solubility in water that is 8 times or less the solubility in water of the salt containing the element to be measured in the drying step. are different elements,
A quantitative method for liquid samples.
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