JP7193676B1 - discharge lamp - Google Patents

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Abstract

【課題】ランプ点灯の間、コーティング機能を効果的に発揮することができるコーティングを電極表面に施した放電ランプを提供する。【解決手段】放電ランプ10において、電極30の胴体部34の表面にコーティング層44を形成し、コーティング層44の表面にタングステン粒子を点在、散在させるように付着させている。そして、タングステン粒子の付着量が電極軸Cに沿って電極先端側に近いほど多くなるような濃度分布をもつ。【選択図】図2Kind Code: A1 A discharge lamp is provided in which a coating is applied to the surface of an electrode so that the coating function can be effectively exhibited during lamp operation. A discharge lamp (10) has a coating layer (44) formed on the surface of a body (34) of an electrode (30). It has a concentration distribution such that the amount of tungsten particles adhered along the electrode axis C increases toward the tip of the electrode. [Selection drawing] Fig. 2

Description

本発明は、ショートアーク型放電ランプなどの放電ランプに関し、特に、電極表面に対するコーティングに関する。 The present invention relates to discharge lamps, such as short arc discharge lamps, and in particular to coatings on electrode surfaces.

放電ランプは、点灯中に電極先端部が高温となり、タングステンなどの電極材料が溶融、蒸発し、放電管が黒化して、ランプ照度低下を招く。電極先端部を含めた電極の過熱を防ぐため、例えば、電極胴体部側面をネジ状の溝で表面積を大きくし、その溝の上に、タングステンの粉末を焼結させ、放熱層を形成する(特許文献1参照)。 When the discharge lamp is lit, the tip of the electrode reaches a high temperature, and the electrode material such as tungsten melts and evaporates, blackening the discharge tube, and lowering the illumination of the lamp. In order to prevent overheating of the electrode, including the electrode tip, for example, the side surface of the electrode body is formed with a threaded groove to increase the surface area, and tungsten powder is sintered on the groove to form a heat dissipation layer ( See Patent Document 1).

また、放熱部材を電極本体部に焼結させた放電ランプが知られている(特許文献2参照)。そこでは、電極本体部よりも熱電導性の高いセラミックス材料から成る中空円筒状の放熱部材を電極本体に焼結させ、電極側面側から放熱させることにより、電極温度の上昇を抑える。 Also, a discharge lamp is known in which a heat radiating member is sintered to an electrode main body (see Patent Document 2). Here, a hollow cylindrical heat dissipation member made of a ceramic material having a higher thermal conductivity than the electrode main body is sintered to the electrode main body, and heat is dissipated from the side surface of the electrode, thereby suppressing an increase in electrode temperature.

特開2000-306546号公報JP-A-2000-306546 特開2008-186790号公報JP 2008-186790 A

ランプ点灯中、電極過熱によって電極材料(例えばタングステンなど)の一部が蒸発し、その蒸発物の一部は電極表面に付着する。これは、電極表面がセラミックス材料から成る放熱部材表面で形成されていても、同じである。このような電極材料の電極表面への付着は、セラミックス材料による放熱機能を低下させることに繋がる。 During lamp operation, electrode overheating evaporates a portion of the electrode material (such as tungsten), and a portion of the vapor adheres to the electrode surface. This is the same even if the electrode surface is formed on the surface of a heat radiating member made of a ceramic material. Adhesion of such an electrode material to the electrode surface leads to deterioration of the heat dissipation function of the ceramic material.

したがって、ランプ点灯の間、電極表面からの放熱機能を効果的に発揮することができる放電ランプを提供することが求められる。 Therefore, there is a need to provide a discharge lamp that can effectively dissipate heat from the electrode surfaces during lamp operation.

本発明の一態様である放電ランプは、放電管と、放電管内に対向配置される一対の電極とを備え、少なくとも一方の電極において、セラミックスを含み、層表面にタングステンが付着しているコーティング層が、電極胴体部表面の少なくとも一部に形成され、コーティング層において、電極先端側に近い箇所に付着しているタングステンの付着量が、電極支持棒側に近い箇所に付着しているタングステンの付着量よりも相対的に多い。 A discharge lamp, which is one aspect of the present invention, comprises a discharge tube and a pair of electrodes arranged opposite to each other in the discharge tube, wherein at least one of the electrodes contains a coating layer containing ceramics and having tungsten adhered to the layer surface. is formed on at least a part of the electrode body surface, and in the coating layer, the amount of tungsten adhering to a portion near the electrode tip side is the same as the amount of tungsten adhering to a portion near the electrode support rod side Relatively more than quantity.

コーティング層の形成位置は様々であり、例えば、コーティング層は、電極の軸方向中央部分を跨ぐように電極胴体部表面に形成することができる。この場合、軸方向中央部分よりも電極先端側の層表面に付着しているタングステンの付着量が、軸方向中央部分よりも電極支持棒側の層表面に付着しているタングステンの付着量よりも多くなるように、構成することが可能である。 The coating layer can be formed at various positions, and for example, the coating layer can be formed on the surface of the electrode body so as to straddle the central portion of the electrode in the axial direction. In this case, the amount of tungsten attached to the layer surface closer to the tip of the electrode than the central portion in the axial direction is greater than the amount of tungsten attached to the layer surface closer to the electrode support rod than the central portion in the axial direction. It can be configured to have more.

電極先端側と電極支持棒側との間でタングステンの付着量に相違を設ける方法は、様々な態様が可能であり、定められた濃度分布をもつようにすることが可能である。例えば、コーティング層において、電極支持棒側から電極先端側に向けて、タングステンの付着量が、徐々に多くなるようなグラデーションをもつように、タングステンの付着量を定めることが可能である。 Various modes are possible for the method of providing a difference in the amount of deposited tungsten between the electrode tip side and the electrode support rod side, and it is possible to have a defined concentration distribution. For example, in the coating layer, it is possible to determine the deposition amount of tungsten so as to have a gradation in which the deposition amount of tungsten gradually increases from the electrode supporting rod side toward the electrode tip side.

コーティング層としては、素材として1つまたは複数のセラミックスが含まれる単層のコーティング層と、複数のコーティング層が含まれる。また、複数のコーティング層に関しては、各層に対し、素材として1つのセラミックスが含まれる、あるいは、複数のセラミックスが含まれる構成となる。 The coating layer includes a single coating layer containing one or more ceramics as a material and a plurality of coating layers. In addition, with respect to a plurality of coating layers, each layer includes one ceramic as a material, or a plurality of ceramics.

複数のコーティング層としての構成は様々であり、例えば、1つのコーティング層(例えば最下層)にセラミックスと電極素材(タングステン、モリブデンなど)が含まれる一方、他のコーティング層(例えば最下層の上に形成されるコーティング層)にはセラミックス成分のみ、あるいはセラミックスと電極素材以外の成分が含まれるように構成することが可能である。あるいは、ランプ軸方向に沿って電極先端側と後端側とで成分を変えた複数のコーティング層を構成することも可能である。 The configuration of multiple coating layers can vary, for example, one coating layer (e.g. bottom layer) contains ceramics and electrode material (tungsten, molybdenum, etc.) while another coating layer (e.g. bottom layer) contains The coating layer to be formed) can be configured to contain only the ceramic component or components other than the ceramic and the electrode material. Alternatively, it is also possible to configure a plurality of coating layers with different components on the electrode front end side and the electrode rear end side along the lamp axial direction.

コーティング層に含まれるセラミックスは、窒化物、酸化物、ホウ化物、炭化物、ケイ化物のうち少なくともいずれか1つから成るようにすればよい。すなわち、窒化物、酸化物、ホウ化物、炭化物、ケイ化物のいずれか1つのセラミックス、あるいは2つ以上のセラミックスから成るようにすることができる。 The ceramics contained in the coating layer may consist of at least one of nitrides, oxides, borides, carbides and silicides. That is, it can be made of one of nitrides, oxides, borides, carbides, and silicides, or two or more ceramics.

例えば、セラミックスが、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ジルコニウム、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、炭化ジルコニウム、炭化ケイ素、珪化タンタル、ホウ化ジルコニウムの少なくともいずれか1つから成るように構成することができる。 For example, the ceramics can be composed of at least one of silicon nitride, aluminum nitride, zirconium nitride, aluminum oxide, zirconium oxide, zirconium carbide, silicon carbide, tantalum silicide, and zirconium boride.

コーティング層については、有彩色にすることが可能である。例えば、窒化ジルコニウムの窒素とジルコニウムの原子数濃度の比が、0.2<N/Zr<0.9の範囲で調整することにより、有彩色にすることができる。 The coating layer can be chromatic. For example, a chromatic color can be obtained by adjusting the atomic concentration ratio of nitrogen to zirconium in zirconium nitride in the range of 0.2<N/Zr<0.9.

本発明によれば、ランプ点灯の間、放熱機能を効果的に発揮することができる放電ランプを提供することができる。 Advantageous Effects of Invention According to the present invention, it is possible to provide a discharge lamp that can effectively exhibit a heat dissipation function during lamp lighting.

本実施形態である放電ランプの概略的平面図である。1 is a schematic plan view of a discharge lamp according to this embodiment; FIG. 本実施形態の電極を部分的に示す概略的平面図である。FIG. 4 is a schematic plan view partially showing an electrode of the present embodiment; 実施例と比較例の照度維持率を示したグラフである。4 is a graph showing illuminance maintenance ratios of Examples and Comparative Examples.

ショートアーク型放電ランプ10は、高輝度の光を出力可能な大型放電ランプであり、透明な石英ガラス製の略球状放電管(発光管)12を備え、放電管12内には、タングステン製の一対の電極20、30が対向(同軸)配置される。放電管12の両側には、石英ガラス製の封止管13A、13Bが放電管12と連設し、一体的に形成されている。放電管12内の放電空間DSには、水銀とハロゲンやアルゴンガスなどの希ガスが封入されている。 The short-arc discharge lamp 10 is a large-sized discharge lamp capable of outputting high-intensity light, and includes a substantially spherical discharge tube (arc tube) 12 made of transparent quartz glass. A pair of electrodes 20 and 30 are arranged facing each other (coaxially). On both sides of the discharge tube 12, quartz glass sealing tubes 13A and 13B are connected to the discharge tube 12 and integrally formed. A discharge space DS in the discharge tube 12 is filled with mercury and a rare gas such as halogen or argon gas.

陰極である電極20は、電極支持棒17Aによって支持されている。封止管13Aには、電極支持棒17Aが挿通されるガラス管(図示せず)と、外部電源と接続するリード棒15Aと、電極支持棒17Aとリード棒15Aを接続する金属箔16Aなどが封止されている。陽極である電極30についても同様に、電極支持棒17Bが挿通されるガラス管(図示せず)、金属箔16B、リード棒15Bなどのマウント部品が封止されている。また、封止管13A、13Bの端部には、口金19A、19Bがそれぞれ取り付けられている。 Electrode 20, which is a cathode, is supported by electrode support rod 17A. The sealing tube 13A includes a glass tube (not shown) through which the electrode support rod 17A is inserted, a lead rod 15A connected to an external power source, a metal foil 16A connecting the electrode support rod 17A and the lead rod 15A, and the like. Sealed. Similarly, for the electrode 30, which is the anode, mount parts such as a glass tube (not shown) through which the electrode support rod 17B is inserted, the metal foil 16B, and the lead rod 15B are sealed. In addition, caps 19A and 19B are attached to the ends of the sealing tubes 13A and 13B, respectively.

一対の電極20、30に電圧が印加されると、電極20、30の間でアーク放電が発生し、放電管12の外部に向けて光が放射される。ここでは、1kW以上の電力が投入される。放電管12から放射された光は、反射鏡(図示せず)によって所定方向へ導かれる。 When a voltage is applied to the pair of electrodes 20 , 30 , arc discharge is generated between the electrodes 20 , 30 and light is emitted outside the discharge tube 12 . Here, power of 1 kW or more is applied. Light emitted from the discharge tube 12 is guided in a predetermined direction by a reflecting mirror (not shown).

図2は、電極(陽極)30を部分的に示す概略的平面図である。なお、電極(陰極)20についても同様の構造にすることが可能である。 FIG. 2 is a schematic plan view partially showing the electrode (anode) 30. FIG. The electrode (cathode) 20 can also have a similar structure.

電極30は、電極先端面32Tを有し、テーパー形状となる部分(以下、先端側テーパー部という)32と、電極支持棒17Bと繋がる柱状部分(以下、胴体部という)34から構成されている。電極30は、タングステンやモリブデンあるいはこれらの合金などから構成することができる。ここでは、電極30が一体的に構成されている。 The electrode 30 has an electrode distal end surface 32T and is composed of a tapered portion (hereinafter referred to as a distal tapered portion) 32 and a columnar portion (hereinafter referred to as a trunk portion) 34 connected to the electrode support rod 17B. . The electrode 30 can be made of tungsten, molybdenum, or alloys thereof. Here, the electrode 30 is constructed integrally.

胴体部34の側面34Sには、コーティング層44が形成されている。ここでは、胴体部34全体、すなわち、胴体部34の電極先端側端部34E1から電極支持棒側端部(図2では図示せず)に渡って、コーティング層44が形成されている。なお、図2では、コーティングされている部分を斜線で示している。 A coating layer 44 is formed on the side surface 34S of the body portion 34 . Here, the coating layer 44 is formed over the entire body portion 34, that is, from the electrode tip side end portion 34E1 of the body portion 34 to the electrode support rod side end portion (not shown in FIG. 2). In addition, in FIG. 2, the coated portion is indicated by oblique lines.

コーティング層44は、熱性能(耐熱性、放熱性を含む)のあるセラミックスを含むコーティング層として構成されている。特に2000℃以上の高融点であることが好ましく、セラミックスとしては、窒化ジルコニウム(ZrN)、窒化ケイ素(Si3N4)、窒化アルミニウム(AlN)などの窒化物、酸化アルミニウム(Al2O3)、酸化ジルコニウム(ZrO2)などの酸化物、炭化ジルコニウム(ZrC)、炭化ケイ素(SiC)などの炭化物、珪化タンタル(TaSi2)などのケイ化物、または、ホウ化ジルコニウム(ZrB2)などのホウ化物によって構成することが可能であり、もしくはこれらの少なくとも2つ以上の組み合わせで構成することも可能である。 The coating layer 44 is configured as a coating layer containing ceramics having thermal performance (including heat resistance and heat dissipation). In particular, a high melting point of 2000° C. or higher is preferable, and ceramics include nitrides such as zirconium nitride (ZrN), silicon nitride (Si3N4), aluminum nitride (AlN), aluminum oxide (Al2O3), and zirconium oxide (ZrO2). oxides such as zirconium carbide (ZrC), carbides such as silicon carbide (SiC), silicides such as tantalum silicide (TaSi), or borides such as zirconium boride (ZrB). , or a combination of at least two or more thereof.

ここでは、窒化ジルコニウムまたは炭化ジルコニウムから成るセラミックス、もしくはそれら両方から成るセラミックスが、コーティング層44に含まれている。なお、コーティング層44には、タングステンやモリブデンなど電極30と同じ金属を含有してもよい。 Here, the coating layer 44 includes ceramics made of zirconium nitride or zirconium carbide, or both. The coating layer 44 may contain the same metal as the electrode 30, such as tungsten or molybdenum.

窒化ジルコニウムの特性により、コーティング層44は有彩色のある側面領域として視認される。すなわち、電極素地とは異なる色として識別される。そのため、色ムラや膜の具合を外観から確認することが容易となり、放射率測定、点灯実験を行うことなく、コーティング層44が適切に形成されているか否かを検査することが可能となる。 Due to the properties of zirconium nitride, coating layer 44 is visible as colored side areas. That is, it is identified as a color different from that of the electrode base. Therefore, it becomes easy to check the color unevenness and the state of the film from the appearance, and it becomes possible to inspect whether the coating layer 44 is properly formed without measuring the emissivity and performing lighting experiments.

例えば、窒化ジルコニウムの窒素とジルコニウムの原子数濃度の比が、0.2<N/Zr<0.9の範囲であれば、コーティング層44は茶系色の有彩色として形成される。なお、原子数濃度の比は、胴体部34の表面を、例えばエネルギー分散型X線分析(EDS)を利用して測定、分析することにより、明らかにすることができる。 For example, if the atomic concentration ratio of nitrogen to zirconium in zirconium nitride is in the range of 0.2<N/Zr<0.9, the coating layer 44 is formed in a brownish chromatic color. The atomic number concentration ratio can be clarified by measuring and analyzing the surface of the body portion 34 using, for example, energy dispersive X-ray spectroscopy (EDS).

コーティング層44の表面(以下、層表面という)には、タングステンの粒子(符号W参照)が付着している。ここでは、コーティング層44の層表面全体に渡って、点在(散在)する。さらに、コーティング層44の層表面におけるタングステン粒子の付着に関し、その付着量は、電極軸Cに沿って胴体部34の電極支持棒側端部から電極先端側端部34E1に向けて、徐々に多くなるように構成されている。 On the surface of the coating layer 44 (hereinafter referred to as layer surface), particles of tungsten (refer to symbol W) are adhered. Here, they are interspersed (interspersed) over the entire layer surface of the coating layer 44 . Furthermore, regarding the deposition of tungsten particles on the layer surface of the coating layer 44, the deposition amount gradually increases along the electrode axis C from the electrode support rod side end portion of the body portion 34 toward the electrode tip end portion 34E1. is configured to be

別の言い方をすれば、点在(散在)するタングステンの電極軸Cに沿った濃度が、電極支持棒側端部から電極先端側端部34E1に近づくほど高く、グラデーションに近い濃度分布を形成している。図2では、タングステン粒子の付着量(濃度)の違いを、拡大部(符号A1、A2)によって模式的に示している。 In other words, the concentration of scattered (scattered) tungsten along the electrode axis C becomes higher as it approaches the electrode tip end 34E1 from the electrode support rod side end, forming a concentration distribution close to gradation. ing. In FIG. 2, the difference in the adhesion amount (concentration) of the tungsten particles is schematically shown by enlarged portions (reference numerals A1 and A2).

このようなタングステン粒子の付着量を電極先端側に向けて徐々に増加させたコーティング層44を設けることによって、ランプ点灯中におけるコーティング層44の放熱機能の低下を抑制することができる。以下、これについて説明する。 By providing the coating layer 44 in which the adhesion amount of tungsten particles is gradually increased toward the tip end of the electrode, it is possible to suppress deterioration of the heat dissipation function of the coating layer 44 during lamp operation. This will be explained below.

ショートアーク型放電ランプ10の陽極30は、上述したように、タングステンを電極素材として含むように構成されている。そのため、ランプ点灯中、電極30が高温になることで、電極30の成分であるタングステンが一部蒸発する。蒸発したタングステンは、放電管12内におけるガス(符号F参照)の対流に沿って移動し、その中の一部はコーティング層44の層表面に付着する。 The anode 30 of the short arc discharge lamp 10 is configured to contain tungsten as an electrode material, as described above. As a result, the temperature of the electrode 30 increases during lamp operation, and tungsten, which is a component of the electrode 30, partially evaporates. The evaporated tungsten moves along the convection of the gas (see symbol F) in the discharge tube 12 and some of it adheres to the layer surface of the coating layer 44 .

一方、コーティング層44に付着させたタングステン粒子は、電極素材であるタングステンとは異なる物質であるため、素材(母材)と一体的にならず、あくまでも付着することに留まるため、結合が弱い。したがって、あらかじめコーティング層44の層表面に濃度分布をもつよう付着させたタングステン粒子に関しても、ランプ点灯による電極30の高温化により、その一部が蒸発する。そして、蒸発したタングステンの一部は、コーティング層44の層表面に付着する。 On the other hand, the tungsten particles adhered to the coating layer 44 are a different substance from tungsten, which is the material of the electrode. Therefore, even the tungsten particles previously attached to the surface of the coating layer 44 so as to have a concentration distribution are partially evaporated due to the temperature rise of the electrode 30 due to the lighting of the lamp. A part of the evaporated tungsten adheres to the layer surface of the coating layer 44 .

ここで、コーティング層44の層表面に付着したタングステン粒子が結晶成長していくか否かは、熱力学的に全体の系が安定な方向に進んでいくか否かに依るものであって、安定化するか否かの境目にある臨界核が安定核となり、結晶成長を辿ることが必要となる。臨界核の中から安定核となるタングステンの発生頻度が、結晶成長に大きく関係する。 Here, whether the tungsten particles adhering to the surface of the coating layer 44 undergo crystal growth depends on whether the entire system is thermodynamically stable. A critical nucleus at the boundary between stabilization and non-stabilization becomes a stable nucleus, and it is necessary to follow the crystal growth. The frequency of occurrence of tungsten, which becomes a stable nucleus from critical nuclei, is closely related to crystal growth.

上述したように、コーティング層44の層表面では、電極先端側に近いほどタングステン粒子の付着量が多くなるように構成されている。したがって、電極30から蒸発するタングステンも、電極先端側に近いほど多い。すなわち、コーティング層44の層表面付近におけるタングステンの濃度が高い。タングステン濃度が高いほど、コーティング層44の層表面に到達するタングステンの安定核が形成される確率が高くなる。これは、コーティング層44の層表面において、電極先端側に近いほど安定核が多いことを意味する。 As described above, the layer surface of the coating layer 44 is configured such that the closer to the tip side of the electrode, the greater the adhesion amount of the tungsten particles. Therefore, the amount of tungsten that evaporates from the electrode 30 is also greater the closer it is to the tip of the electrode. That is, the concentration of tungsten near the layer surface of the coating layer 44 is high. The higher the tungsten concentration, the higher the probability that tungsten stable nuclei reaching the layer surface of the coating layer 44 will be formed. This means that there are more stable nuclei on the layer surface of the coating layer 44 closer to the tip side of the electrode.

そして、コーティング層44の層表面に形成される安定核が多いほど、層表面に引き寄せられて吸着したタングステン粒子が再び蒸発して離れていく確率が下がり、層表面に落ち着く。その結果、結晶成長が早くなって、成長が盛んになり、タングステン濃度が高くなる。付着するタングステンの電極軸Cに沿った濃度分布は、ランプ点灯前と略同等の濃度分布、すなわちグラデーションのかかった濃度分布となる。 As the number of stable nuclei formed on the layer surface of the coating layer 44 increases, the probability that the tungsten particles attracted to and adsorbed to the layer surface will evaporate again and leave the layer surface will decrease and settle on the layer surface. As a result, the crystal growth becomes faster, the growth becomes active, and the tungsten concentration becomes high. The density distribution of the deposited tungsten along the electrode axis C is substantially the same density distribution as before the lamp is turned on, that is, a density distribution with gradation.

電極30の電極支持棒側に近いほど、タングステン粒子の付着量が少ない。そのため、コーティング層44は、その放熱機能を発揮し、放射率の低下が抑えられる。一方、電極30の電極先端側に近いほどタングステン粒子の付着量が多いことにより、蒸発したタングステンが放電管12内のガスの流れに伴って放電管12の内壁に付着して黒化するのを抑える効果をもたらす。 The closer to the electrode support rod side of the electrode 30, the less the amount of tungsten particles attached. Therefore, the coating layer 44 exerts its heat dissipation function, and a decrease in emissivity is suppressed. On the other hand, the closer to the electrode tip side of the electrode 30, the greater the amount of tungsten particles attached, which prevents the evaporated tungsten from adhering to the inner wall of the discharge tube 12 and blackening as the gas flows in the discharge tube 12. produce a restraining effect.

以上説明したように、本実施形態の放電ランプ10では、電極30の胴体部34の表面にコーティング層44を形成し、コーティング層44の表面にタングステン粒子を点在、散在させるように付着させている。そして、タングステン粒子の付着量が電極軸Cに沿って電極先端側に近いほど多くなるような濃度分布をもつ。 As described above, in the discharge lamp 10 of the present embodiment, the coating layer 44 is formed on the surface of the body portion 34 of the electrode 30, and the tungsten particles are attached to the surface of the coating layer 44 so as to be scattered and scattered. there is It has a concentration distribution such that the amount of tungsten particles adhered along the electrode axis C increases toward the tip of the electrode.

本実施形態では、コーティング層44を電極30の胴体部34に対して表面全体に形成しているが、一部表面にコーティング層44を形成してもよい。ショートアーク型放電ランプ10が直状に(鉛直方向に沿って)配置された状態でガスの対流が生じていることを考慮すれば、電極30の胴体部34の電極軸Cに沿った中央部CLに跨ってコーティング層44を形成すればよい。一方で、中央部CLよりも電極先端側にコーティング層44を形成してもよい。 Although the coating layer 44 is formed on the entire surface of the body portion 34 of the electrode 30 in this embodiment, the coating layer 44 may be formed on a part of the surface. Considering that gas convection occurs when the short arc discharge lamp 10 is arranged straight (along the vertical direction), the central portion of the body portion 34 of the electrode 30 along the electrode axis C A coating layer 44 may be formed across CL. On the other hand, the coating layer 44 may be formed closer to the tip of the electrode than the central portion CL.

なお、グラデーションのような濃度分布をもつようにタングステンをコーティング層44の層表面に付着させる構成だけでなく、それ以外のバリエーションも可能である。コーティング層44の層表面の形成された表面領域において、相対的に電極先端側に近い箇所でのタングステン付着量が、相対的に電極支持棒側に近い箇所でのタングステン付着量が多くなるようにすればよい。例えば、電極支持棒側に近い箇所よりも、中央部CL付近のタングステン付着量が多い構成も可能である。なお、粒径は一定である必要はなく、例えば、約0.1~20μmの間で構成可能である。例えば、電極軸Cに沿って電極先端側に近いほど粒径の大きいタングステンを付着させ、電極支持棒側に近いほど小さいタングステンを付着させる構成にしてもよい。 In addition to the configuration in which tungsten is deposited on the layer surface of the coating layer 44 so as to have a concentration distribution like a gradation, other variations are possible. In the surface region where the layer surface of the coating layer 44 is formed, the amount of tungsten deposited at a location relatively close to the electrode tip side is increased so that the amount of tungsten deposited at a location relatively close to the electrode support rod side is increased. do it. For example, a configuration is possible in which the amount of tungsten deposited near the central portion CL is larger than that near the electrode supporting rod side. The particle size does not have to be constant, and can be, for example, between about 0.1 and 20 μm. For example, a configuration may be adopted in which tungsten having a larger grain size is deposited closer to the tip of the electrode along the electrode axis C, and tungsten having a smaller grain size is deposited closer to the electrode supporting rod.

このような放電ランプの電極30は、以下のように製造することができる。 The electrode 30 of such a discharge lamp can be manufactured as follows.

まず、柱状の胴体部と先端側テーパー部を有する電極を成形する。次に、塗布によってコーティング層を形成する。層表面にタングステン粒子を付着させる方法は、任意の方法で可能である。例えば、タングステン粉末を溶媒に分散させ、それを噴霧することでタングステンを付着させる。タングステン量を変えて段階的に噴霧することで、濃度分布を調整することができる。その他、タングステン粉末を振りかける方法、タングステン濃度を変えた溶剤にディッピングする方法などが可能である。 First, an electrode having a columnar body portion and a tapered portion on the distal end side is molded. Next, a coating layer is formed by application. Any method can be used to attach the tungsten particles to the layer surface. For example, tungsten is deposited by dispersing tungsten powder in a solvent and spraying it. The concentration distribution can be adjusted by changing the amount of tungsten and spraying in stages. In addition, a method of sprinkling tungsten powder, a method of dipping in a solvent with a different tungsten concentration, and the like are possible.

コーティング層44の上から別成分のコーティング層を重ねて、複数層のコーティング層を形成してもよい。例えば、窒化ジルコニウムから成る下層にタングステン粒子やモリブデン粒子などを含有させて、同じく窒化ジルコニウムから成る表層にはタングステン粒子やモリブデン粒子を含有させないように、組成を変えた複数層にしてもよいし、炭化ジルコニウムから成るコーティング層の上に窒化ジルコニウムから成るコーティング層を形成し、素材の異なる複数層にしてもよい。複数層のうちいずれかのコーティング層にセラミックスを含むように構成することも可能である。 A coating layer of another component may be overlaid on the coating layer 44 to form a multiple-layer coating layer. For example, the lower layer made of zirconium nitride may contain tungsten particles or molybdenum particles, while the surface layer made of zirconium nitride may not contain tungsten particles or molybdenum particles. A coating layer made of zirconium nitride may be formed on a coating layer made of zirconium carbide to form a plurality of layers made of different materials. It is also possible to configure one of the multiple layers to contain ceramics.

先端側テーパー部32を有する部材と胴体部34を有する部材とを、拡散接合などの固相接合によって接合し、電極30を構成することが可能である。また、中間部材を介して接合することも可能である。 It is possible to form the electrode 30 by joining the member having the tip end side tapered portion 32 and the member having the body portion 34 by solid phase bonding such as diffusion bonding. It is also possible to join via an intermediate member.

胴体部34の側面34Sあるいはテーパー部側面32Sには、放熱構造を設けてもよい。放熱構造は、素地表面、すなわち特別な放熱構造をあえて採用していない表面と比べて放射率が高く、放熱性を高める機能をもつ。放熱構造は、例えば周方向(電極軸周り)に沿った溝を所定ピッチで形成した構成とし、溝は、例えばレーザや切削などによって形成することが可能である。あるいは、電極軸方向に沿った溝で構成してもよい。また、溝以外の放熱構造を採用してもよい。 A heat dissipation structure may be provided on the side surface 34S of the body portion 34 or the tapered portion side surface 32S. The heat dissipating structure has a higher emissivity than the base surface, that is, the surface that does not have a special heat dissipating structure, and has the function of enhancing heat dissipation. The heat dissipation structure is, for example, configured by forming grooves along the circumferential direction (around the electrode axis) at a predetermined pitch, and the grooves can be formed, for example, by laser or cutting. Alternatively, it may be composed of grooves along the axial direction of the electrode. Also, a heat dissipation structure other than the groove may be employed.

例えば、胴体部34の電極先端側端部34E1からランプ軸C方向に沿って所定距離だけ離れた位置をコーティング層44の端部とし、その端部と電極先端側端部34E1との間では放熱構造を形成する一方、コーティング層44を形成しないようにすることができる。アーク放電の熱によるコーティング層44の剥がれを防止することができる。なお、所定距離の値は、電極の大きさや定格電力の値などに応じて定められる。 For example, the end of the coating layer 44 is positioned at a predetermined distance along the direction of the lamp axis C from the electrode tip end 34E1 of the body 34, and heat is dissipated between that end and the electrode tip end 34E1. It is possible to avoid forming the coating layer 44 while forming the structure. It is possible to prevent peeling of the coating layer 44 due to the heat of the arc discharge. Note that the value of the predetermined distance is determined according to the size of the electrode, the value of the rated power, and the like.

以下、実施例を用いて、コーティング層を形成した電極の放熱性能について説明する。 Hereinafter, the heat dissipation performance of the electrode having the coating layer formed thereon will be described using examples.

実施例の放電ランプは、上記実施形態に相当する構成の電極(陽極)を備えたショートアーク型放電ランプであり、電極は、ランプ軸方向に沿った胴体部長さが57mm、径35mmのサイズで構成される。電極の胴体部側面の一部に、コーティング層を形成している。 The discharge lamp of the example is a short arc discharge lamp having an electrode (anode) having a configuration corresponding to that of the above embodiment. Configured. A coating layer is formed on a part of the side surface of the body of the electrode.

コーティング層は、窒化ジルコニウムの粉末を、エチルセルロースの含まれる溶媒に溶かして胴体部側面に塗布し、乾燥させた後、加熱処理することによって形成されている。そのコーティング層の上から、上述した方法でタングステン粒子を付着させている。 The coating layer is formed by dissolving zirconium nitride powder in a solvent containing ethyl cellulose, coating it on the side surface of the body, drying it, and then heat-treating it. Tungsten particles are deposited over the coating layer by the method described above.

上述した実施例と、比較例の放電ランプとの比較実験を行った。比較例の放電ランプの電極形状に関しては、実施例の電極と実質的に等しい。一方、比較例では、実施例のコーティング層による放熱機能を確認するために、コーティング層の形成されていない電極を用いた。 A comparative experiment was conducted between the above-described embodiment and the discharge lamp of the comparative example. The electrode shape of the discharge lamp of the comparative example is substantially the same as that of the electrode of the example. On the other hand, in the comparative example, an electrode without a coating layer was used in order to confirm the heat dissipation function of the coating layer of the example.

図3は、実施例と比較例の照度維持率を示したグラフである。放電ランプを600時間点灯し、放電管の黒化状態を視認した。点灯開始から600時間経過の時点で、照度維持率が比較例69%に対し、実施例は76%となった。このことから、比較例と比べて、実施例の方が黒化を抑制できたことが確認された。 FIG. 3 is a graph showing the illuminance maintenance rate of the example and the comparative example. The discharge lamp was lit for 600 hours, and the blackened state of the discharge tube was visually observed. After 600 hours from the start of lighting, the illuminance maintenance rate was 69% in the comparative example and 76% in the example. From this, it was confirmed that blackening could be suppressed more in the example than in the comparative example.

実施例の電極において効果的な黒化抑制を実現できたことは、コーティング層表面上に付着させたタングステンが黒化現象に積極的に寄与していないことを示唆し、コーティング層以外の電極素材からのタングステン蒸発が抑えられている、すなわち、コーティング層による放熱機能が効果的に発揮されたことを示している。コーティング層を形成していない比較例の電極においてこのような結果が得られたことは、コーティング層のみ形成し、本実施例のようなタングステン付着のない電極と比較した場合においても、本実施例の電極の方が、放射機能に関してより効果的であるといえる。 The fact that effective blackening suppression was achieved in the electrodes of the examples suggests that the tungsten deposited on the surface of the coating layer does not actively contribute to the blackening phenomenon, and electrode materials other than the coating layer This indicates that the evaporation of tungsten from the coating layer was suppressed, that is, the heat dissipation function of the coating layer was effectively exhibited. The fact that such a result was obtained in the electrode of the comparative example in which no coating layer was formed indicates that even when compared with the electrode in which only the coating layer was formed and no tungsten was deposited as in this example, It can be said that the electrode of 1 is more effective with respect to the radiating function.

10 放電ランプ
30 電極(陽極)
44 コーティング層
10 discharge lamp 30 electrode (anode)
44 coating layer

Claims (5)

放電管と、
前記放電管内に対向配置される一対の電極とを備え、
少なくとも一方の電極において、セラミックスを含み、層表面にタングステンが付着しているコーティング層が、電極胴体部表面の少なくとも一部に形成され、
前記コーティング層において、電極先端側に近い箇所に付着しているタングステンの付着量が、電極支持棒側に近い箇所に付着しているタングステンの付着量よりも相対的に多いことを特徴とする放電ランプ。
a discharge tube;
A pair of electrodes arranged oppositely in the discharge tube,
In at least one electrode, a coating layer containing ceramics and having tungsten adhered to the layer surface is formed on at least a part of the surface of the electrode body,
In the coating layer, the amount of tungsten adhering to a portion near the electrode tip side is relatively larger than the amount of tungsten adhering to a portion near the electrode support rod side Discharge characterized by that lamp.
前記コーティング層が、前記電極の軸方向中央部分を跨ぐように電極胴体部表面に形成され、
軸方向中央部分よりも電極先端側の層表面に付着しているタングステンの付着量が、軸方向中央部分よりも電極支持棒側の層表面に付着しているタングステンの付着量よりも多いことを特徴とする請求項1に記載の放電ランプ。
The coating layer is formed on the surface of the electrode body so as to straddle the central portion of the electrode in the axial direction,
that the amount of tungsten adhering to the layer surface closer to the tip of the electrode than the central portion in the axial direction is greater than the amount of tungsten adhering to the surface of the layer closer to the electrode support rod than the central portion in the axial direction; 2. A discharge lamp as claimed in claim 1.
前記コーティング層において、電極支持棒側から電極先端側に向けて、タングステンの付着量が、徐々に多くなることを特徴とする請求項1に記載の放電ランプ。 2. The discharge lamp according to claim 1, wherein the amount of tungsten deposited on said coating layer gradually increases from the side of the electrode support rod toward the tip of the electrode. 前記コーティング層が、有彩色であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の放電ランプ。 4. A discharge lamp as claimed in any one of claims 1 to 3, characterized in that the coating layer is chromatic. 前記セラミックスが、窒化物、酸化物、ホウ化物、炭化物、ケイ化物のうち少なくともいずれか1つから成ることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の放電ランプ。

4. The discharge lamp according to any one of claims 1 to 3, wherein said ceramics comprises at least one of nitrides, oxides, borides, carbides and silicides.

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