JP7193426B2 - Optical waveguide module and light source module - Google Patents

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Description

本開示は、光導波路モジュール及び光源モジュールに関するものである。 The present disclosure relates to optical waveguide modules and light source modules.

従来、下地基板上に光導波路と発光素子実装部とが設けられた光導波路モジュール、これに発光素子を実装した光源モジュールが利用されている。
特許文献1-3には、基板上に配置された2つの光学素子の光路が接続するように工夫された発明が記載されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, an optical waveguide module in which an optical waveguide and a light emitting element mounting portion are provided on a base substrate, and a light source module in which a light emitting element is mounted on the optical waveguide module have been used.
Patent Documents 1 to 3 describe inventions designed to connect the optical paths of two optical elements arranged on a substrate.

特開2007-133011号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-133011 特開2001-298199号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-298199 特許第6196583号公報Japanese Patent No. 6196583

下地基板上に積層された光導波路のコアの入射端面に、同下地基板上に実装される発光素子の光路を接続することを考える。このとき、コアの入射端面に発光素子の発光部の高さ等の位置を合わせる必要がある。
その際、発光素子実装部は、特別な材料や複雑な構造を新たに導入することなく構成することが望まれる。
また、難しい位置調整作業を要することなく容易に、発光素子を安定して位置精度よく実装することができることが望まれる。
Consider connecting an optical path of a light-emitting element mounted on a base substrate to an incident end surface of a core of an optical waveguide laminated on the base substrate. At this time, it is necessary to align the height of the light emitting portion of the light emitting element with the incident end surface of the core.
In that case, it is desired that the light-emitting element mounting portion be configured without newly introducing a special material or a complicated structure.
In addition, it is desired that the light emitting element can be stably and easily mounted with high positional accuracy without requiring difficult positional adjustment work.

本開示の1つの態様の光導波路モジュールは、下地基板と、前記下地基板上に位置する光導波路と、発光素子を実装する発光素子実装部と、を備えており、前記光導波路は、前記下地基板から順に第1の下部クラッド層、入射端面を有したコア及び上部クラッド層が積層方向に積層された積層部と、前記下地基板上に位置する第2の下部クラッド層を有しているとともに、前記積層部の側面から積層面方向に延び出して位置する延出部と、を有しており、前記積層部の前記第1の下部クラッド層は、前記下地基板から順に積層された第1層及び第2層を有しており、前記延出部の前記第2の下部クラッド層は、前記第1の下部クラッド層の前記第1層と繋がっており、前記延出部の前記第2の下部クラッド層の厚みは、前記第1層の厚みと略同じであり、前記積層部の側面は、前記入射端面を含み、前記発光素子は、その側面に発光部を有しており、前記発光素子実装部は、前記発光素子の下面に当接する搭載面を有しており、前記搭載面は、前記延出部の上面の全部又は一部に位置しており、前記積層方向において、前記発光素子の下面から前記発光部までの高さの範囲が、前記搭載面から前記コアの入射端面の高さの範囲内とされており、前記搭載面に前記発光素子の下面が当接して固定された状態において、前記発光素子の光路が前記コアの入射端面に接続されるように構成されている。 An optical waveguide module according to one aspect of the present disclosure includes a base substrate, an optical waveguide positioned on the base substrate, and a light-emitting element mounting portion for mounting a light-emitting element, wherein the optical waveguide is mounted on the base substrate. It has a laminated portion in which a first lower clad layer, a core having an incident end surface, and an upper clad layer are laminated in order from the substrate in the lamination direction, and a second lower clad layer positioned on the underlying substrate. , and an extension portion extending from the side surface of the lamination portion in the direction of the lamination surface, and the first lower clad layer of the lamination portion is a first clad layer laminated in order from the base substrate. and a second layer, wherein the second lower clad layer of the extension is connected to the first layer of the first lower clad layer, and the second The thickness of the lower clad layer of is substantially the same as the thickness of the first layer, the side surface of the laminated portion includes the incident end surface, the light emitting element has a light emitting portion on the side surface, and the The light-emitting element mounting portion has a mounting surface that abuts on the lower surface of the light-emitting element, and the mounting surface is located on all or part of the upper surface of the extension . A height range from the lower surface of the light emitting element to the light emitting portion is within a height range from the mounting surface to the incident end surface of the core, and the lower surface of the light emitting element is abutted and fixed to the mounting surface. The optical path of the light emitting element is connected to the incident end face of the core in the closed state.

本開示の1つの態様の光源モジュールは、上記光導波路モジュールと、下面と光路とを有する発光素子とを備え、前記積層方向において、前記発光素子の前記下面から当該発光素子の発光部までの距離が、前記搭載面から前記コアの入射端面までの距離以下とされ、前記発光素子は、前記下面が前記搭載面に当接されるとともに前記コアの入射端面に前記光路を接続して前記発光素子実装部に実装されている。 A light source module according to one aspect of the present disclosure includes the optical waveguide module described above and a light emitting element having a lower surface and an optical path. is equal to or less than the distance from the mounting surface to the incident end surface of the core, and the light emitting element is configured such that the lower surface is in contact with the mounting surface and the optical path is connected to the incident end surface of the core. Implemented in the implementation part.

本開示の光導波路モジュールによれば、下部クラッド層により発光素子の位置規制構造を構成できるので、特別な材料や複雑な構造を新たに導入することなく、また難しい位置調整作業を要することなく容易に、発光素子を安定して位置精度よく実装することができる。 According to the optical waveguide module of the present disclosure, since the position regulation structure of the light emitting element can be configured by the lower cladding layer, it is easy to do without introducing a new special material or complicated structure and without requiring difficult position adjustment work. In addition, the light emitting element can be stably mounted with high positional accuracy.

本開示の光源モジュールによれば、低コストに高伝搬効率の光源モジュールを実現できる。 According to the light source module of the present disclosure, it is possible to realize a light source module with high propagation efficiency at low cost.

本開示の第1実施形態に係る光源モジュールの断面図である。1 is a cross-sectional view of a light source module according to a first embodiment of the present disclosure; FIG. 本開示の第1実施形態に係る光源モジュールの平面図である。1 is a plan view of a light source module according to a first embodiment of the present disclosure; FIG. 本開示の第2実施形態に係る光源モジュールの断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of a light source module according to a second embodiment of the present disclosure; 本開示の第2実施形態に係る光源モジュールの平面図である。FIG. 4 is a plan view of a light source module according to a second embodiment of the present disclosure; 本開示の第3実施形態に係る光源モジュールの断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of a light source module according to a third embodiment of the present disclosure; 本開示の第3実施形態に係る光源モジュールの平面図である。FIG. 11 is a plan view of a light source module according to a third embodiment of the present disclosure; 本開示の第4実施形態に係る光源モジュールの断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view of a light source module according to a fourth embodiment of the present disclosure; 本開示の第4実施形態に係る光源モジュールの平面図である。FIG. 11 is a plan view of a light source module according to a fourth embodiment of the present disclosure; 本開示の第5実施形態に係る光源モジュールの断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view of a light source module according to a fifth embodiment of the present disclosure; 本開示の第5実施形態に係る光源モジュールの平面図である。FIG. 11 is a plan view of a light source module according to a fifth embodiment of the present disclosure; 発光素子搭載部に関する補足図面である。It is supplementary drawing regarding a light emitting element mounting part.

図面を参照して本開示の実施形態につき説明する。なお、「上面」「下面」等の上下を指す文言は、単に下地基板側を下とした文言に過ぎず、下記モジュールを使用する際の配置を特定するものではない。 Embodiments of the present disclosure will be described with reference to the drawings. It should be noted that terms such as "upper surface" and "lower surface" that refer to the upper and lower sides are simply terms that refer to the base substrate side downward, and do not specify the arrangement when using the modules described below.

〔第1実施形態〕
まず、本開示の第1実施形態の光導波路モジュール201及び該光導波路モジュール201を具備するRGB光源モジュール101について説明する。
図1、図2及び図11に示すように本実施形態のRGB光源モジュール101は、光導波路モジュール201と、発光素子301-303とを備える。
光導波路モジュール201は、下地基板1と、下地基板1上に位置する光導波路100と、発光素子301-303を実装する発光素子実装部301M-303Mとを備えている。光導波路100は、下地基板1から順に、積層された下部クラッド層10と、下部クラッド層10(第1の下部クラッド層111)上の一部領域に積層されたコア20と、下部クラッド層10(第1の下部クラッド層111))及びコア20上に積層された上部クラッド層30とを有する積層部50と、コア20は、光を入射する入射端面20aを含んでいる。下部クラッド層10は、第1の下部クラッド層111および第2の下部クラッド層112を有している。また、積層部50の第1の下部クラッド層111は、下地基板1から順に積層された第1層(下部クラッド層の下部11の一部)及び第2層(下部クラッド層の上部12)を有しており、後述する延出部11aの第2の下部クラッド層112は、第1の下部クラッド層111の第1層と繋がっていてもよい。また、延出部11aの第2の下部クラッド層112の厚みは、第1層の厚みと略同じであってもよい。また、延出部11aの第2の下部クラッド層112の厚みは、第1の下部クラッド層111の厚みと略同じであってもよい。なお、以下、第1の下部クラッド層111および第2の下部クラッド層112はまとめて下部クラッド層10として説明する。
RGB光源モジュール101は、赤色(R)光の発光素子301、緑色(G)光の発光素子302及び青色(B)光の発光素子303と、出射光学系401とを備える。
発光素子301,302,303は、端面発光型の発光素子であってもよく例えば、LD(Laser Diode)、LED(Light Emitting Diode)等である。
[First Embodiment]
First, the optical waveguide module 201 of the first embodiment of the present disclosure and the RGB light source module 101 including the optical waveguide module 201 will be described.
As shown in FIGS. 1, 2 and 11, the RGB light source module 101 of this embodiment comprises an optical waveguide module 201 and light emitting elements 301-303.
The optical waveguide module 201 includes a base substrate 1, an optical waveguide 100 positioned on the base substrate 1, and light emitting element mounting portions 301M-303M for mounting light emitting elements 301-303. The optical waveguide 100 includes, in order from the base substrate 1, a lower clad layer 10 laminated, a core 20 laminated in a partial region on the lower clad layer 10 (first lower clad layer 111), and the lower clad layer 10. (first lower clad layer 111)) and an upper clad layer 30 laminated on the core 20, and the core 20 includes an incident end surface 20a for incident light. The lower clad layer 10 has a first lower clad layer 111 and a second lower clad layer 112 . In addition, the first lower clad layer 111 of the laminated part 50 includes a first layer (a part of the lower part 11 of the lower clad layer) and a second layer (an upper part 12 of the lower clad layer) laminated in order from the base substrate 1. The second lower clad layer 112 of the extension portion 11 a described later may be connected to the first layer of the first lower clad layer 111 . Also, the thickness of the second lower clad layer 112 of the extending portion 11a may be substantially the same as the thickness of the first layer. Also, the thickness of the second lower clad layer 112 of the extension portion 11 a may be substantially the same as the thickness of the first lower clad layer 111 . Note that the first lower clad layer 111 and the second lower clad layer 112 will be collectively referred to as the lower clad layer 10 hereinafter.
The RGB light source module 101 includes a red (R) light emitting element 301 , a green (G) light emitting element 302 , a blue (B) light emitting element 303 , and an emission optical system 401 .
The light-emitting elements 301, 302, and 303 may be edge-emitting light-emitting elements such as LDs (Laser Diodes) and LEDs (Light Emitting Diodes).

また、光導波路モジュール201は、下地基板1上の敷設された配線材41を備える。
図には、発光素子301-303が発光素子実装部301M-303Mに実装されたものが示されている。発光素子301-303が、半田等の接合材42を介して配線材41の上面に接合されている。
The optical waveguide module 201 also includes wiring members 41 laid on the underlying substrate 1 .
The figure shows light emitting elements 301 to 303 mounted on light emitting element mounting portions 301M to 303M. Light emitting elements 301 to 303 are bonded to the upper surface of wiring material 41 via bonding material 42 such as solder.

下部クラッド層10は延出部11aを有する。当該延出部11aは、当該延出部11aより積層方向の上方に位置した積層部50の側面51より積層面方向に延び出しており、当該側面51は、コア20の入射端面20aを含む。なお、積層方向はZ方向であり、積層面方向はX,Y方向である。
発光素子実装部301M-303Mにおいて、発光素子301-303の下面に当接して積層方向の位置を規制する搭載面11bが、延出部11aの上面の全部又は一部とされている。本実施形態では、搭載面11bは延出部11aの上面の一部とされている。
コア20の入射端面20aが搭載面11bより所定の高さに配置されている。
本実施形態では延出部11aは、下部クラッド層10を、積層方向の所定位置で上部12と下部11に分けたときの下部11である。
The lower clad layer 10 has an extension 11a. The extending portion 11 a extends in the stacking surface direction from a side surface 51 of the stacking portion 50 positioned above the extending portion 11 a in the stacking direction. The stacking direction is the Z direction, and the stacking surface directions are the X and Y directions.
In the light emitting element mounting portions 301M to 303M, the mounting surface 11b that contacts the lower surfaces of the light emitting elements 301 to 303 to regulate the positions in the stacking direction is all or part of the upper surface of the extension portion 11a. In this embodiment, the mounting surface 11b is a part of the upper surface of the extending portion 11a.
The incident end surface 20a of the core 20 is arranged at a predetermined height from the mounting surface 11b.
In this embodiment, the extending portion 11a is the lower portion 11 when the lower clad layer 10 is divided into the upper portion 12 and the lower portion 11 at a predetermined position in the stacking direction.

光導波路モジュール201は、延出部11aの上面に開口する溝部11cを有する。搭載面11bは、溝部11cの開口周囲の上面の全部又は一部とされている。
配線材41は、発光素子301-303の下面の電極と接合材42を介して接合する。これにより、発光素子301-303は、光導波路モジュール201に対して機械的に固定されるとともに、電気的に接続する。
この配線材41が、溝部11cの底に配置されている。
The optical waveguide module 201 has a groove portion 11c that opens to the upper surface of the extension portion 11a. The mounting surface 11b is all or part of the upper surface around the opening of the groove 11c.
The wiring material 41 is bonded to the electrodes on the lower surfaces of the light emitting elements 301 to 303 via the bonding material 42 . As a result, the light emitting elements 301 to 303 are mechanically fixed and electrically connected to the optical waveguide module 201 .
This wiring member 41 is arranged at the bottom of the groove portion 11c.

発光素子301-303の下面から当該発光素子301-303の発光部61までの高さの範囲が、搭載面11bからコア20の入射端面20aの高さの範囲内とされている。つまり、積層方向において、発光素子301-303の下面から発光素子301-303の発光部61までの距離が、搭載面11bからコア20の入射端面20aまでの距離以下となっている。
発光素子301-303は、下面が搭載面11bに当接して固定されるとともにコア20の入射端面20aに光路を接続して発光素子実装部301M-303Mに実装されている。
そして、発光素子301-303の下面の電極と配線材41とが、搭載面11bと配線材41の上面との落差により生じている隙間に配置された接合材42を介して接合されている。
なお、図2に示すように、発光素子301-303の上面の電極には、配線301a-303aが接続される。発光素子301-303の下面の電極は、配線材41を介して、配線301b-303bにより引き出されている。配線301a-303a、配線301b-303bが図示しない駆動回路に接続され、発光素子301-303は発光駆動可能にされる。
The range of height from the lower surface of each of the light emitting elements 301 to 303 to the light emitting portion 61 of the corresponding light emitting element 301 to 303 is within the range of the height of the incident end surface 20a of the core 20 from the mounting surface 11b. In other words, the distance from the bottom surface of the light emitting elements 301 to 303 to the light emitting portions 61 of the light emitting elements 301 to 303 is less than or equal to the distance from the mounting surface 11b to the incident end surface 20a of the core 20 in the stacking direction.
The light emitting elements 301 to 303 are mounted on the light emitting element mounting portions 301M to 303M with their lower surfaces abutting and fixed to the mounting surface 11b and optical paths connected to the incident end surface 20a of the core 20. FIG.
The electrodes on the lower surfaces of the light emitting elements 301 to 303 and the wiring member 41 are joined together via a jointing member 42 arranged in a gap caused by the drop between the mounting surface 11b and the upper surface of the wiring member 41. FIG.
As shown in FIG. 2, wirings 301a-303a are connected to the electrodes on the upper surfaces of the light-emitting elements 301-303. Electrodes on the lower surfaces of the light emitting elements 301 to 303 are led out by wirings 301b to 303b through the wiring material 41. FIG. The wirings 301a-303a and the wirings 301b-303b are connected to a driving circuit (not shown), and the light-emitting elements 301-303 can be driven to emit light.

搭載面11bの平坦性が下地基板1の平坦性より高い。これは、CVDや火炎堆積法等でクラッド層10,30、コア20を成膜することにより、自ずと達成されるので容易に実施可能である。下地基板1の上面の凹凸を吸収して下部クラッド層10の構成素材が堆積することで、搭載面11bの平坦性が下地基板1の平坦性より高くなる。
下部クラッド層10のうち下部11までを成膜後、延出部11aの以外の領域上に上部12を成膜することで、搭載面11bの平坦性を実現してもよい。また、下部クラッド層10の成膜後、上部12をエッチングバックすることで搭載面11bを形成し、搭載面11bの平坦性を実現してもよい。
The flatness of the mounting surface 11b is higher than the flatness of the underlying substrate 1 . This can be easily achieved by forming the clad layers 10 and 30 and the core 20 by CVD, flame deposition, or the like. By absorbing the unevenness of the upper surface of the base substrate 1 and depositing the constituent material of the lower clad layer 10 , the flatness of the mounting surface 11 b becomes higher than the flatness of the base substrate 1 .
After forming the lower cladding layer 10 up to the lower portion 11, the upper portion 12 may be formed on a region other than the extension portion 11a to realize the flatness of the mounting surface 11b. Further, after forming the lower clad layer 10, the mounting surface 11b may be formed by etching back the upper portion 12 to realize the flatness of the mounting surface 11b.

以上の構成によれば、接合材42の量的なバラつきによらず、発光素子301-303の下面の高さ位置が、搭載面11bにより決定する。すなわち、下部クラッド層10により発光素子301-303の位置規制構造を構成できるので、特別な材料や複雑な構造を新たに導入することなく、また難しい位置調整作業を要することなく容易に、発光素子301-303を安定して位置精度よく実装することができる。そのため、発光素子301-303とコア20との接続における光損失を低減することができ、低コストに高伝搬効率の光源モジュールを構成することができる。
なお、発光素子の側面に電極を配置する場合等においては、溝部11cを設けなくてもよい。その場合でも、発光素子301-303の下面を搭載面11bに当接して位置規制することで、発光素子301-303の下面の高さ位置が、搭載面11bにより決定し、同様の効果が得られる。
According to the above configuration, the height positions of the lower surfaces of the light emitting elements 301 to 303 are determined by the mounting surface 11b regardless of the amount of the bonding material 42 being varied. That is, since the position regulating structure of the light emitting elements 301 to 303 can be configured by the lower clad layer 10, the light emitting elements can be easily manufactured without newly introducing a special material or a complicated structure and without requiring difficult position adjustment work. 301-303 can be stably mounted with high positional accuracy. Therefore, it is possible to reduce the optical loss in the connection between the light emitting elements 301 to 303 and the core 20, and to construct a light source module with high propagation efficiency at low cost.
Note that the groove portion 11c may not be provided when electrodes are arranged on the side surfaces of the light emitting element. Even in that case, the lower surfaces of the light emitting elements 301 to 303 are placed in contact with the mounting surface 11b to regulate the positions thereof, so that the height positions of the lower surfaces of the light emitting elements 301 to 303 are determined by the mounting surface 11b, and the same effect can be obtained. be done.

また以上の構成によれば、搭載面11bの平坦性が下地基板1の平坦性より高いので、発光素子301-303の実装時の傾きのバラつきを精度よく抑制することができる。 Further, according to the above configuration, since the flatness of the mounting surface 11b is higher than the flatness of the underlying substrate 1, it is possible to accurately suppress variations in tilts during mounting of the light emitting elements 301-303.

また以上の構成によれば、延出部11aは、下部クラッド層10を積層方向の所定位置で上部12と下部11に分けたときの下部11であるので、搭載面11bの下地基板1に対する高さを任意に選択することができ、発光素子301-303の発光部61をコア20の入射端面20aに位置整合させる対応力が大きい。 Further, according to the above configuration, the extending portion 11a is the lower portion 11 when the lower clad layer 10 is divided into the upper portion 12 and the lower portion 11 at a predetermined position in the stacking direction. The thickness can be arbitrarily selected, and the corresponding force for aligning the light emitting portions 61 of the light emitting elements 301 to 303 with the incident end surface 20a of the core 20 is large.

発光素子301-303の発光部61を有する前面を、積層部50の側面51に突き当てることで、光軸方向(X)の方向の実装位置を決めることができる。すなわち、コア20の入射端面20aを含むこの側面51により、発光素子301-303の発光部61を有する面に当接して積層面方向(X)の位置を規制する前方規制面が構成されている。 By abutting the front surfaces of the light emitting elements 301 to 303 having the light emitting portions 61 against the side surfaces 51 of the laminated portion 50, the mounting positions in the direction of the optical axis (X) can be determined. That is, the side surface 51 including the incident end surface 20a of the core 20 constitutes a front restricting surface that abuts against the surface having the light emitting portion 61 of the light emitting elements 301 to 303 and restricts the position in the lamination surface direction (X). .

その他の部分の説明は以下の通りである。
光導波路(10,20,30)の構成素材は、例えば、石英などのガラス、樹脂等であってもよい。コア20と、クラッド10,30を構成する材料は、どちらもガラスあるいは樹脂であってもよいし、一方がガラスで一方が樹脂であってもよい。この場合には、コア20と、クラッド10,30の屈折率が異なっており、コア20は、クラッド10,30よりも屈折率が高いのがよい。この屈折率の違いを利用して、光の全反射をさせる。つまり、屈折率の高い材料で路を作り、周りを屈折率の低い材料で囲んでおくと、光は屈折率の高い路に閉じ込めることができる。
コア20は、複数の入射端面20a,20a,20aと一つの出射端面20bとの間を、入射端面20aを一端とする複数の分割路と、当該複数の分割路が会合する合波部と、出射端面20bを一端とする統合路とを介して繋ぐ合波路を形成している。
以上の合波路の構成、3色の発光素子の適用等は説明上の具体的一例に過ぎず、本開示の光導波路モジュール及び光源モジュールは、これに限定されるものではない。
The description of other parts is as follows.
The constituent material of the optical waveguides (10, 20, 30) may be, for example, glass such as quartz, resin, or the like. Both the materials forming the core 20 and the clads 10 and 30 may be glass or resin, or one may be glass and the other resin. In this case, the core 20 and the clads 10 and 30 have different refractive indices, and the core 20 should preferably have a higher refractive index than the clads 10 and 30 . This difference in refractive index is used to cause total reflection of light. In other words, if a path is made of a material with a high refractive index and surrounded by a material with a low refractive index, light can be confined in the path with a high refractive index.
The core 20 includes a plurality of split paths, one end of which is the incident end face 20a, and a combining portion where the plurality of split paths meet, A multiplexing path is formed which is connected through an integration path whose one end is the output end face 20b.
The configuration of the multiplexing path, the application of the three-color light-emitting elements, and the like described above are merely specific examples for explanation, and the optical waveguide module and the light source module of the present disclosure are not limited to this.

〔第2実施形態〕
次に本開示の第2実施形態の光導波路モジュール202及び該光導波路モジュール202を具備するRGB光源モジュール102について説明する。本実施形態は以下の点で上記第1実施形態と異なり、その他は上記第1実施形態と同様に実施する。
図3及び図4に示すように本実施形態の光導波路モジュール202にあっては、延出部11aの層厚は、下部クラッド層10の層厚の全部である。
このように、延出部11aの層厚として、下部クラッド層10の層厚の全部を選択して実施してもよい。したがって、下部クラッド層10を2段に分けて形成する必要が無く、構造が単純化し、形成工程が簡単である。
また本実施形態では、発光素子301-303の発光部61は、当該発光素子の上面より当該発光素子の下面に近い。これにより、発光部61の搭載面11bからの高さのバラつきを抑制することができる。
[Second embodiment]
Next, the optical waveguide module 202 of the second embodiment of the present disclosure and the RGB light source module 102 including the optical waveguide module 202 will be described. This embodiment is different from the above-described first embodiment in the following points, and is otherwise carried out in the same manner as the above-described first embodiment.
As shown in FIGS. 3 and 4, in the optical waveguide module 202 of this embodiment, the layer thickness of the extending portion 11a is the entire layer thickness of the lower clad layer 10. As shown in FIG.
In this manner, the thickness of the extending portion 11a may be selected to be the entire thickness of the lower clad layer 10 . Therefore, it is not necessary to form the lower clad layer 10 in two stages, which simplifies the structure and the formation process.
Also, in this embodiment, the light emitting portions 61 of the light emitting elements 301-303 are closer to the bottom surface of the light emitting elements than to the top surface of the light emitting elements. As a result, variations in the height of the light emitting section 61 from the mounting surface 11b can be suppressed.

〔第3実施形態〕
次に本開示の第3実施形態の光導波路モジュール203及び該光導波路モジュール203を具備するRGB光源モジュール103について説明する。本実施形態は以下の点で上記第1実施形態と異なり、その他は上記第1実施形態と同様に実施する。
図5及び図6に示すように本実施形態の光導波路モジュール203にあっては、発光素子実装部301M-303Mは、発光素子301-303の発光部61を有する面の反対面に当接して積層面方向(X)の位置を規制する後方規制面71を有する。後方規制面71は、積層部70の側面のうち積層面方向に略垂直な面領域に位置し延出部11aより積層方向上位の積層部70の側面(71)で構成されている。
上記第1及び第2実施形態にあっては、X方向に発光素子301-303を規制する面としては、前方規制面51しかなかった。これに対し本実施形態によれば、前方規制面51及び後方規制面71があるので、この2面51,71により発光素子301-303をX方向に挟み込むように位置規制できる。したがって、発光素子301-303のX方向の位置決めが容易であり、発光素子301-303のX方向及びZ方向の位置を安定させた状態で、接合材42による接合工程を実施することができる。これにより、発光素子301-303の実装位置精度が向上する。
なお、延出部11aとして下部クラッド層の層厚の全部を適用するか、一部を適用するかは任意である(第4、第5実施形態についても同じ)。
[Third Embodiment]
Next, the optical waveguide module 203 of the third embodiment of the present disclosure and the RGB light source module 103 including the optical waveguide module 203 will be described. The present embodiment differs from the above-described first embodiment in the following points, and is otherwise carried out in the same manner as the above-described first embodiment.
As shown in FIGS. 5 and 6, in the optical waveguide module 203 of this embodiment, the light emitting element mounting portions 301M to 303M are in contact with the opposite surface of the light emitting elements 301 to 303 having the light emitting portion 61. It has a rear restricting surface 71 that restricts the position in the stacking surface direction (X). The rear restricting surface 71 is formed of a side surface (71) of the laminated portion 70 which is located in a surface area substantially perpendicular to the lamination surface direction of the side surfaces of the laminated portion 70 and which is higher in the lamination direction than the extending portion 11a.
In the first and second embodiments, the front restricting surface 51 is the only surface that restricts the light emitting elements 301 to 303 in the X direction. On the other hand, according to this embodiment, since there are the front restricting surface 51 and the rear restricting surface 71, these two surfaces 51, 71 can positionally restrict the light emitting elements 301 to 303 so as to sandwich them in the X direction. Therefore, the positioning of the light emitting elements 301 to 303 in the X direction is easy, and the bonding process using the bonding material 42 can be performed while the positions of the light emitting elements 301 to 303 in the X and Z directions are stabilized. This improves the mounting position accuracy of the light emitting elements 301-303.
It is optional whether the entire thickness of the lower clad layer is applied as the extending portion 11a or a part of the thickness is applied (the same applies to the fourth and fifth embodiments).

〔第4実施形態〕
次に本開示の第4実施形態の光導波路モジュール204及び該光導波路モジュール204を具備するRGB光源モジュール104について説明する。本実施形態は以下の点で上記第3実施形態と異なり、その他は上記第3実施形態と同様に実施する。
図7及び図8に示すように本実施形態の光導波路モジュール204にあっては、発光素子実装部301M-303Mは、発光素子301-303の発光部61を有する面に隣接した側面に当接して積層方向(Z)及び発光素子の光軸方向Xに垂直な方向(Y)の位置を規制する側方規制面72を有する。側方規制面72は、積層部70の側面のうち積層方向及び発光素子301-303の光軸方向に略平行な面領域に位置しており、延出部11aより積層方向上位の積層部70の側面(72)で構成されている。
上記第3実施形態にあっては、Y方向に発光素子301-303を位置規制する面を有さない。これに対し本実施形態によれば、前方規制面51及び後方規制面71に加え、発光素子301-303をY方向に挟み込むように位置規制する一対の側方規制面72,72を有する。この2面72,72により発光素子301-303をY方向に挟み込むように位置規制できる。したがって、発光素子301-303のX方向及びY方向の位置決めが容易であり、発光素子301-303のX方向、Y方向及びZ方向の位置を安定させた状態で、接合材42による接合工程を実施することができる。これにより、発光素子301-303の実装位置精度が向上する。
[Fourth Embodiment]
Next, the optical waveguide module 204 of the fourth embodiment of the present disclosure and the RGB light source module 104 including the optical waveguide module 204 will be described. This embodiment is different from the above-described third embodiment in the following points, and is otherwise carried out in the same manner as the above-described third embodiment.
As shown in FIGS. 7 and 8, in the optical waveguide module 204 of this embodiment, the light emitting element mounting portions 301M to 303M are in contact with the side surfaces of the light emitting elements 301 to 303 adjacent to the surface having the light emitting portion 61. It has side regulating surfaces 72 for regulating the position in the stacking direction (Z) and in the direction (Y) perpendicular to the optical axis direction X of the light emitting element. The side regulating surface 72 is located in a surface region of the side surfaces of the laminated portion 70 substantially parallel to the lamination direction and the optical axis direction of the light emitting elements 301 to 303, and is positioned above the extension portion 11a in the lamination direction. The sides (72) of the
In the third embodiment, there is no surface for restricting the position of the light emitting elements 301-303 in the Y direction. On the other hand, according to this embodiment, in addition to the front restricting surface 51 and the rear restricting surface 71, a pair of side restricting surfaces 72, 72 are provided to restrict the positions of the light emitting elements 301 to 303 so as to sandwich them in the Y direction. The positions of the light emitting elements 301 to 303 can be regulated so as to sandwich the light emitting elements 301 to 303 in the Y direction. Therefore, it is easy to position the light emitting elements 301 to 303 in the X direction and the Y direction, and the bonding process using the bonding material 42 can be performed while the positions of the light emitting elements 301 to 303 in the X direction, the Y direction, and the Z direction are stabilized. can be implemented. This improves the mounting position accuracy of the light emitting elements 301-303.

〔第5実施形態〕
次に本開示の第5実施形態の光導波路モジュール205及び該光導波路モジュール205を具備するRGB光源モジュール105について説明する。本実施形態は以下の点で上記第4実施形態と異なり、その他は上記第4実施形態と同様に実施する。
図9及び図10に示すように本実施形態の光導波路モジュール205にあっては、発光素子実装部301M-303Mは、側方規制面72に加え、側方規制面52を有する。
ここで、側方規制面72は、発光素子301-303の後端部において側面を規制する。本実施形態で加えられた側方規制面52は、発光素子301-303の前端部において側面を規制する。
なお、側方規制面52は、延出部11aより積層方向に上方に位置した積層部50の側面(52)で構成されている。
本実施形態によれば、上記第4実施形態に比較してもさらに発光素子301-303のY方向の位置精度、その安定性が向上する。
[Fifth embodiment]
Next, the optical waveguide module 205 of the fifth embodiment of the present disclosure and the RGB light source module 105 including the optical waveguide module 205 will be described. The present embodiment differs from the above fourth embodiment in the following points, and is otherwise carried out in the same manner as the above fourth embodiment.
As shown in FIGS. 9 and 10, in the optical waveguide module 205 of the present embodiment, the light emitting element mounting portions 301M to 303M have side regulating surfaces 52 in addition to the side regulating surfaces 72 .
Here, the side regulation surface 72 regulates the side surfaces at the rear end portions of the light emitting elements 301-303. The side restraint surfaces 52 added in this embodiment restrain the sides at the front ends of the light emitting elements 301-303.
The side regulating surface 52 is formed by a side surface (52) of the laminated portion 50 located above the extending portion 11a in the lamination direction.
According to this embodiment, the positional accuracy and stability of the light emitting elements 301 to 303 in the Y direction are further improved as compared with the fourth embodiment.

以上本開示の実施形態を説明したが、この実施形態は、例として示したものであり、この他の様々な形態で実施が可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、構成要素の省略、置き換え、変更を行うことができる。
以上の前方規制面51、後方規制面71、側方規制面52及び側方規制面72のうち、いずれか1つ又は2以上を選択して、任意の組み合わせを実施することができる。
上記実施形態では側方規制面52と側方規制面72とは別れているが、側方規制面52と側方規制面72とを連続した一面で構成してもよい。
上記延出部11aは、積層方向に上方に位置した積層部(50、70)に対して積層面方向に飛び出した部分であり、延出部11aは一体に繋がっていてもよいし、複数の部分に分離していてもよい。下地基板1上の配線材41に接続するための開口を確保できれば、延出部11aは一体に繋がっていてもよい。また、発光素子301-303への配線接続構造が下地基板1上の配線材を経由するものでなければ、延出部11aは一体に繋がっていてもよいし、さらには開口のないものであってもよい。
Although the embodiment of the present disclosure has been described above, this embodiment is shown as an example, and can be implemented in various other forms. , can be replaced and changed.
Any one or more of the front regulating surface 51, the rear regulating surface 71, the side regulating surface 52, and the side regulating surface 72 can be selected and any combination thereof can be implemented.
In the above-described embodiment, the lateral regulation surface 52 and the lateral regulation surface 72 are separated, but the lateral regulation surface 52 and the lateral regulation surface 72 may be configured as one continuous surface.
The extending portion 11a is a portion projecting in the stacking plane direction from the stacking portions (50, 70) positioned above in the stacking direction. It may be separated into parts. The extending portions 11a may be integrally connected as long as an opening for connecting to the wiring member 41 on the underlying substrate 1 can be secured. In addition, if the wiring connection structure to the light emitting elements 301 to 303 does not pass through the wiring material on the base substrate 1, the extending portion 11a may be integrally connected, or may have no opening. may

1 下地基板
10 下部クラッド層
11 下部クラッド層の下部
111 第1の下部クラッド層
112 第2の下部クラッド層
11a 延出部
11b 搭載面
11c 溝部
12 下部クラッド層の上部
20 コア
20a 入射端面
20b 出射端面
30 上部クラッド層
41 配線材
42 接合材
50 積層部
51 側面(前方規制面)
52 側方規制面
61 発光部
70 積層部
71 後方規制面
72 側方規制面
100 光導波路
101 RGB光源モジュール
102 RGB光源モジュール
103 RGB光源モジュール
104 RGB光源モジュール
105 RGB光源モジュール
201 光導波路モジュール
202 光導波路モジュール
203 光導波路モジュール
204 光導波路モジュール
205 光導波路モジュール
301,302,303 発光素子
301M-303M 発光素子実装部
1 base substrate 10 lower clad layer 11 lower clad layer 111 first lower clad layer 112 second lower clad layer 11a extension 11b mounting surface 11c groove 12 upper portion of lower clad layer 20 core 20a incident end surface 20b exit end surface 30 Upper clad layer 41 Wiring material 42 Joining material 50 Laminated part 51 Side surface (front restricting surface)
52 Side regulating surface 61 Light-emitting portion 70 Laminated portion 71 Rear regulating surface 72 Side regulating surface 100 Optical waveguide 101 RGB light source module 102 RGB light source module 103 RGB light source module 104 RGB light source module 105 RGB light source module 201 Optical waveguide module 202 Optical waveguide Module 203 Optical waveguide module 204 Optical waveguide module 205 Optical waveguide modules 301, 302, 303 Light emitting elements 301M to 303M Light emitting element mounting portion

Claims (9)

下地基板と、
前記下地基板上に位置する光導波路と、
発光素子を実装する発光素子実装部と、を備えており、
前記光導波路は、
前記下地基板から順に第1の下部クラッド層、入射端面を有したコア及び上部クラッド層が積層方向に積層された積層部と、
前記下地基板上に位置する第2の下部クラッド層を有しているとともに、前記積層部の側面から積層面方向に延び出して位置する延出部と、を有しており、
前記積層部の前記第1の下部クラッド層は、前記下地基板から順に積層された第1層及び第2層を有しており、
前記延出部の前記第2の下部クラッド層は、前記第1の下部クラッド層の前記第1層と繋がっており、
前記延出部の前記第2の下部クラッド層の厚みは、前記第1層の厚みと略同じであり、
前記積層部の側面は、前記入射端面を含み、
前記発光素子は、その側面に発光部を有しており、
前記発光素子実装部は、前記発光素子の下面に当接する搭載面を有しており、
前記搭載面は、前記延出部の上面の全部又は一部に位置しており、
前記積層方向において、前記発光素子の下面から前記発光部までの高さの範囲が、前記搭載面から前記コアの入射端面の高さの範囲内とされており、
前記搭載面に前記発光素子の下面が当接して固定された状態において、前記発光素子の光路が前記コアの入射端面に接続されるように構成されている光導波路モジュール。
an underlying substrate;
an optical waveguide located on the underlying substrate;
and a light-emitting element mounting portion for mounting the light-emitting element,
The optical waveguide is
a laminated portion in which a first lower clad layer, a core having an incident end face, and an upper clad layer are laminated in the lamination direction in order from the base substrate;
a second lower cladding layer positioned on the base substrate, and an extension part extending from the side surface of the lamination part in the direction of the lamination plane,
The first lower cladding layer of the laminated portion has a first layer and a second layer laminated in order from the base substrate,
The second lower clad layer of the extension is connected to the first layer of the first lower clad layer,
The thickness of the second lower clad layer of the extending portion is substantially the same as the thickness of the first layer,
the side surface of the laminated portion includes the incident end surface;
The light emitting element has a light emitting part on its side surface,
The light emitting element mounting portion has a mounting surface that contacts the lower surface of the light emitting element,
The mounting surface is located on all or part of the upper surface of the extension ,
In the stacking direction, the range of height from the lower surface of the light emitting element to the light emitting section is within the range of the height of the incident end surface of the core from the mounting surface,
An optical waveguide module configured such that an optical path of the light-emitting element is connected to an incident end face of the core in a state where the lower surface of the light-emitting element is fixed to the mounting surface in contact with the mounting surface .
前記発光素子の電極と接合する配線材を更に備えており、
前記延出部は、前記上面に開口する溝部を有し、
前記搭載面は、前記延出部の前記上面のうち前記溝部の開口周囲の全部又は一部に位置し、
前記配線材が、前記溝部の底に配置されている請求項1に記載の光導波路モジュール。
It further comprises a wiring material that joins with the electrode of the light emitting element,
The extending portion has a groove opening to the upper surface,
the mounting surface is located on the upper surface of the extension part on all or part of the periphery of the opening of the groove part,
2. The optical waveguide module according to claim 1, wherein the wiring material is arranged on the bottom of the groove.
前記発光素子実装部は、前記発光素子の発光部を有する面に当接する前方規制面を更に有しており、
当該前方規制面は、前記コアの入射端面を含む前記側面に位置している請求項1又は請求項に記載の光導波路モジュール。
The light-emitting element mounting portion further has a front restricting surface that abuts on the surface of the light-emitting element having the light-emitting portion,
3. The optical waveguide module according to claim 1, wherein the front restricting surface is positioned on the side surface including the incident end surface of the core.
前記発光素子実装部は、前記発光素子の発光部を有する面の反対面に当接する後方規制面を更に有しており、
当該後方規制面は、前記積層部の側面のうち前記積層面方向に略垂直な面領域に位置している請求項1から請求項のうちいずれか一に記載の光導波路モジュール。
The light-emitting element mounting portion further has a rear restricting surface that abuts against a surface of the light-emitting element opposite to the surface having the light-emitting portion,
4. The optical waveguide module according to any one of claims 1 to 3 , wherein the rear regulating surface is located in a surface region of the side surface of the lamination portion substantially perpendicular to the direction of the lamination surface.
前記発光素子実装部は、前記発光素子の発光部を有する面に隣接した側面に当接する側方規制面を更に有しており、
当該側方規制面は、前記積層部の側面のうち前記積層方向及び前記発光素子の光軸方向に略平行な面領域に位置している請求項1から請求項のうちいずれか一に記載の光導波路モジュール。
The light-emitting element mounting portion further has a side regulating surface that contacts a side surface of the light-emitting element adjacent to the surface having the light-emitting portion,
5. The side regulating surface according to any one of claims 1 to 4 , wherein the side regulating surface is located in a surface region of the side surface of the lamination portion that is substantially parallel to the lamination direction and the optical axis direction of the light emitting element. optical waveguide module.
前記搭載面の平坦性が前記下地基板の平坦性より高い請求項1から請求項のうちいずれか一に記載の光導波路モジュール。 6. The optical waveguide module according to claim 1 , wherein the flatness of the mounting surface is higher than the flatness of the underlying substrate. 請求項1から請求項のうちいずれか一に記載の光導波路モジュールと、下面と光路とを有する発光素子とを備え、
前記積層方向において、前記発光素子の前記下面から当該発光素子の発光部までの距離が、前記搭載面から前記コアの入射端面までの距離以下とされ、
前記発光素子は、前記下面が前記搭載面に当接されるとともに前記コアの入射端面に前記光路を接続して前記発光素子実装部に実装された光源モジュール。
An optical waveguide module according to any one of claims 1 to 6 , and a light emitting element having a lower surface and an optical path,
In the stacking direction, the distance from the lower surface of the light emitting element to the light emitting portion of the light emitting element is set to be equal to or less than the distance from the mounting surface to the incident end surface of the core,
A light source module in which the light emitting element is mounted on the light emitting element mounting portion with the lower surface abutting against the mounting surface and the optical path being connected to the incident end surface of the core.
請求項2に記載の光導波路モジュールと、上面、下面、光路及び前記下面に位置する電極とを有する発光素子とを備え、
前記積層方向において、前記発光素子の前記下面から当該発光素子の発光部までの距離が、前記搭載面から前記コアの入射端面までの距離以下とされ、
前記発光素子は、前記下面が前記搭載面に当接されるとともに前記コアの入射端面に前記光路を接続して前記発光素子実装部に実装され、
前記発光素子の前記電極と前記配線材とが、前記搭載面と前記配線材の上面との間に配置された接合材を介して接合されている光源モジュール。
An optical waveguide module according to claim 2, and a light-emitting element having an upper surface, a lower surface, an optical path, and an electrode located on the lower surface,
In the stacking direction, the distance from the lower surface of the light emitting element to the light emitting portion of the light emitting element is set to be equal to or less than the distance from the mounting surface to the incident end surface of the core,
the light emitting element is mounted on the light emitting element mounting portion with the lower surface in contact with the mounting surface and the optical path connected to the incident end surface of the core;
A light source module, wherein the electrode of the light emitting element and the wiring member are bonded via a bonding material disposed between the mounting surface and the upper surface of the wiring member.
前記発光素子の発光部は、当該発光素子の前記上面より当該発光素子の前記下面に近く位置しており、
当該下面が前記搭載面に当接している請求項又は請求項に記載の光源モジュール。
the light-emitting portion of the light-emitting element is positioned closer to the bottom surface of the light-emitting element than the top surface of the light-emitting element;
9. The light source module according to claim 7 , wherein the lower surface is in contact with the mounting surface.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023162964A1 (en) * 2022-02-22 2023-08-31 京セラ株式会社 Optical circuit board

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060093002A1 (en) 2004-11-03 2006-05-04 Park Mahn Y Hybrid type integrated optical device
JP2006119659A (en) 2005-12-05 2006-05-11 Hitachi Ltd Polymer optical waveguide and method of manufacturing the same
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06201930A (en) * 1993-01-07 1994-07-22 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Hybrid optical waveguide circuit and its manufacture
JP3381892B2 (en) * 1996-07-31 2003-03-04 日本電信電話株式会社 Method for manufacturing mounting substrate for hybrid optoelectronic integration

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060093002A1 (en) 2004-11-03 2006-05-04 Park Mahn Y Hybrid type integrated optical device
JP2006119659A (en) 2005-12-05 2006-05-11 Hitachi Ltd Polymer optical waveguide and method of manufacturing the same
JP2008089879A (en) 2006-09-29 2008-04-17 Sony Corp Optical coupler, optical connector, and receptacle type optical transmission module

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