JP2007072307A - Optical module - Google Patents
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Description
本発明は、光モジュールに関するものである。 The present invention relates to an optical module.
従来、光素子と、コアおよびクラッドを有し、前記光素子と光学的に結合する光導波路基板と、前記光素子および前記光導波路基板が実装される配線基板とを備えた光モジュールが知られている。 Conventionally, there has been known an optical module including an optical element, an optical waveguide substrate having a core and a clad, and optically coupled to the optical element, and a wiring substrate on which the optical element and the optical waveguide substrate are mounted. ing.
例えば、特許文献1には、光導波路基板の下面が配線基板に接合されるとともに、光導波路基板の上面に窪み部が形成され、その光導波路基板の窪み部に光素子が接合されることにより、光導波路基板を介して光素子が配線基板に実装された光モジュールが記載されている。なお、この特許文献1には、コアの光素子側の端部をテーパー状にした光モジュールも記載されている。
前記光モジュールでは、光素子が光導波路基板に接合されるようになっているので、光素子と光導波路基板とを直接的に位置合わせして、光素子と光導波路基板との光結合効率を高く保つことができるが、光素子を配設する位置には必ず光導波路基板が必要となるため、光導波路基板を自由に設計することができなかった。 In the optical module, since the optical element is bonded to the optical waveguide substrate, the optical element and the optical waveguide substrate are directly aligned to increase the optical coupling efficiency between the optical element and the optical waveguide substrate. Although it can be kept high, an optical waveguide substrate is always required at the position where the optical element is disposed, and thus the optical waveguide substrate cannot be freely designed.
そこで、光導波路基板の設計の自由度を向上させるために、光素子と光導波路基板とを別々に配線基板に実装したいという要望がある。しかし、この場合には、光素子と光導波路基板との位置ずれが生じて、これにより光結合効率が低下するおそれがある。 Therefore, in order to improve the degree of freedom in designing the optical waveguide substrate, there is a demand for mounting the optical element and the optical waveguide substrate separately on the wiring substrate. However, in this case, the optical element and the optical waveguide substrate may be misaligned, which may reduce the optical coupling efficiency.
本発明は、このような事情に鑑み、光素子と光導波路基板とを別々に配線基板に実装したときの位置ずれによる光結合効率の低下を抑制することができる光モジュールを提供することを目的とする。 In view of such circumstances, an object of the present invention is to provide an optical module capable of suppressing a decrease in optical coupling efficiency due to a positional shift when an optical element and an optical waveguide substrate are separately mounted on a wiring substrate. And
前記課題を解決するために、本発明の光モジュールは、光素子と、コアおよびクラッドを有し、前記光素子と光学的に結合する光導波路基板と、前記光素子および前記光導波路基板が実装される配線基板とを備えた光モジュールであって、前記光導波路基板と前記配線基板とに、光導波路基板を配線基板に実装するときの位置決め部を設けるとともに、光導波路基板のコアの少なくとも光素子側の端部を、光素子に近づくに連れて前記配線基板に平行な方向の幅寸法が大きくなるテーパー状にしたことを特徴とするものである。 In order to solve the above problems, an optical module of the present invention includes an optical element, an optical waveguide substrate having a core and a clad, and optically coupled to the optical element, and the optical element and the optical waveguide substrate are mounted. An optical module including a wiring board, wherein a positioning portion for mounting the optical waveguide board on the wiring board is provided on the optical waveguide board and the wiring board, and at least the light of the core of the optical waveguide board is provided. The end portion on the element side is tapered so that the width dimension in the direction parallel to the wiring board increases as the optical element is approached.
ミラー部を有する光導波路基板においても実装位置ずれによる光結合効率の変動を小さくするために、前記光導波路基板はミラー部を有しており、前記コアはこのミラー部につながっており、ミラー部におけるコアの形状を光素子側を幅広とする台形状とすることが好ましい。 In order to reduce the fluctuation of the optical coupling efficiency due to the mounting position shift also in the optical waveguide substrate having the mirror portion, the optical waveguide substrate has a mirror portion, and the core is connected to the mirror portion. It is preferable that the shape of the core is a trapezoidal shape with the optical element side being wide.
光素子と光導波路基板との光結合効率を向上させるために、前記ミラー部から光素子の近傍まで延在する延在コアを設け、この延在コアを、前記コアの延在する方向から見たときに光素子側の幅寸法が大きくなるテーパー状にすることが好ましい。 In order to improve the optical coupling efficiency between the optical element and the optical waveguide substrate, an extended core extending from the mirror portion to the vicinity of the optical element is provided, and the extended core is viewed from the extending direction of the core. It is preferable to form a taper that increases the width on the optical element side.
実装コストを安く抑えて光結合効率を向上させるために、前記光素子と前記コアとの間に、光素子から発光される光を前記配線基板に垂直な方向で集光してコア内に導く集光部を設けることが好ましい。 In order to reduce the mounting cost and improve the optical coupling efficiency, the light emitted from the optical element is condensed between the optical element and the core in a direction perpendicular to the wiring board and guided into the core. It is preferable to provide a condensing part.
本発明によれば、光導波路基板と配線基板とに、光導波路基板を配線基板に実装するときの位置決め部を設けたから、光素子と光導波路基板とを別々に配線基板に実装しても、光導波路基板と光素子とが大きく位置ずれすることがない。従って、位置ずれによる光結合効率の低下を抑制しながら、光導波路基板の設計の自由度を向上させることができる。しかも、コアの少なくとも光素子側の端部を、光素子に近づくに連れて幅寸法が大きくなるテーパー状にしたから、たとえ光素子と光導波路基板とが位置ずれしたとしても、そのテーパー部分によって光素子から発光される光の大部分がコア内に導かれることになるため、位置ずれによる光結合効率の変動が小さくなる。 According to the present invention, the optical waveguide substrate and the wiring substrate are provided with the positioning portion when the optical waveguide substrate is mounted on the wiring substrate. Therefore, even if the optical element and the optical waveguide substrate are separately mounted on the wiring substrate, There is no significant displacement between the optical waveguide substrate and the optical element. Therefore, it is possible to improve the degree of freedom in designing the optical waveguide substrate while suppressing a decrease in optical coupling efficiency due to the displacement. Moreover, since at least the end of the core on the optical element side is tapered such that the width dimension increases as it approaches the optical element, even if the optical element and the optical waveguide substrate are misaligned, Since most of the light emitted from the optical element is guided into the core, fluctuations in the optical coupling efficiency due to misalignment are reduced.
以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。 Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
図1(a)(b)および図2に示すように、本発明の第1実施形態に係る光モジュール1Aは、光素子2と、この光素子2と光学的に結合する光導波路基板3と、光素子2および光導波路基板3が実装されるプリント配線基板4とを備えている。
As shown in FIGS. 1A, 1B, and 2, an
プリント配線基板4の上面には、所定の配線パターンで電気配線41が形成されているとともに、光素子2が実装される位置に、電気配線41に電気的に接続されるように一対のボンディングパット46が形成されている。そして、このボンディングパット46の上に光素子2が半田バンプ5によって接合されている。
On the upper surface of the printed
光素子2は、例えばフォトダイオードであり、平面視で矩形の直方体状をなしている。そして、光素子2の下面が半田バンプ5およびボンディングパッド46を介して電気配線41に電気的に接続されている。また、光素子2は、端面に発光部を有していて、図1(a)中に矢印cで示すように、プリント配線基板4に平行な方向、すなわちプリント配線基板4の上面に沿う方向(図1(a)では右方向)に光を発光するようになっている。
The
光導波路基板3は、平面視で光素子2の発光方向(図1(a)では左右方向)に延びる直方体形状をなしており、左側の端面が光素子2と僅かな距離を隔てて対向するようにプリント配線基板4の上面に実装されている。この光導波路基板3は、光素子2から発光された光を導波するコア31と、このコア31を当該コア31の延在する方向と直交する方向で囲繞するクラッド32とを有している。コア31の屈折率は、例えば1.53、クラッド32の屈折率は、例えば1.51である。
The
光導波路基板3とプリント配線基板4とには、光導波路基板3をプリント配線基板4に実装するときの位置決め部が設けられている。具体的には、前記位置決め部として、プリント配線基板4の上面に、光素子2の発光方向と直交する方向に並ぶ一対のボンディングパッド45が設けられている一方、光導波路基板3の下面に、ボンディングパッド45と対応する一対のボンディングパッド35が設けられている。なお、光導波路基板3は、透明な材料で構成されていて、ボンディングパッド35は上面から見えるようになっている。
The
そして、光導波路基板3を実装するときには、図2に示す状態から光導波路基板3を上下逆にし、ボンディングパッド35とボンディングパッド45とが合致するように、光導波路基板3とプリント配線基板4とを位置合わせして、半田バンプ6によりボンディングパッド35,45同士を接合する。前記位置合わせは、CCDカメラなどを用いて画像処理を行いながら機械によって光導波路基板3の位置を調整することにより行う。また、半田バンプ6による接合後には、プリント配線基板4の上面に、光導波路基板3を縁取るように光学接着剤を塗布して、光導波路基板3とプリント配線基板4とを強固に接着する。
When mounting the
コア31の光素子側の端部31aは、光素子2に近づくに連れてプリント配線基板4に平行な方向(図1(a)では上下方向)の幅寸法が大きくなるテーパー状になっている。
The
LAN通信などに使用される光通信では、高速性や伝送距離などから判断して、光接続が容易なマルチモード光信号を用いることが多い。この場合、コア31の断面形状は、30〜100μm□の範囲が一般的であり、発光素子の発光部のサイズと受光素子の受光部のサイズにより決定される。本実施形態では、コア31の高さ寸法およびテーパー部分以外の部分の幅寸法は、約100μmに設定されており、テーパー部分の長さは約5mm、最大幅寸法は約200μmに設定されている。
In optical communication used for LAN communication or the like, a multi-mode optical signal that is easy to optically connect is often used, judging from high speed and transmission distance. In this case, the cross-sectional shape of the
本実施形態の光モジュール1Aでは、光導波路基板3とプリント配線基板4とに、光導波路基板3をプリント配線基板4に実装するときの位置決め部であるボンディングパッド35,45を設けたから、光素子2と光導波路基板3とを別々にプリント配線基板4に実装しても、光導波路基板3と光素子2とが大きく位置ずれすることがない。従って、位置ずれによる光結合効率の低下を抑制しながら、光導波路基板3の設計の自由度を向上させることができる。
In the
ここで、本実施形態では、コア31の光素子側の端部31aをテーパー状にしているが、コア31が全長に亘って直線状となっている場合には、図3中の曲線aで示すように、光素子2と光導波路基板3とが位置ずれした場合、換言すれば、光素子2の発光部の光軸中心とコア31の光軸中心とがずれた場合には、光結合効率が極端に減少し、さらにコア31の幅寸法以上の位置ずれが生じると、光結合効率がほとんど0になる。光素子2の実装位置と光導波路基板3の実装位置は、プリント配線基板4に垂直な方向では半田バンプ5,6の高さ寸法によって決まるため、その方向での位置ずれ量は小さいが、プリント配線基板4に平行な方向での位置ずれ量は、ボンディングパッド35,45同士が完全に合致していなければ大きくなる。
Here, in this embodiment, the
そこで、本実施形態のように、コア31の光素子側の端部31aを、光素子に近づくに連れて幅寸法が大きくなるテーパー状にすることにより、たとえ光素子2と光導波路基板3とが位置ずれしたとしても、そのテーパー部分によって光素子2から発光される光の大部分がコア31内に導かれることになるため、図3中の曲線bで示すように、位置ずれによる光結合効率の変動が小さくなる。さらには、そのテーパー部分によって、図1(a)中に矢印dで示す拡散光までをもコア31内に導くことができるため、光素子2と光導波路基板3とを離間させた場合でも、拡散光による光結合効率の低下を抑制することができる。
Therefore, as in the present embodiment, the
なお、前記実施形態では、コア31の光素子側の端部31aをテーパー状にしているが、コア31が全長に亘ってテーパー状になっていてもよく、少なくとも光素子側の端部31aがテーパー状になっていればよい。
In the embodiment, the
また、位置決め部としては、ボンディングパッド35,45以外にも、種々のものを採用することができる。例えば、図4(a)(b)に示す変形例の光モジュール1A’のように、位置決め部を嵌合形状で構成することも可能である。
In addition to the
すなわち、プリント配線基板4の上面にサブマウント基板7が実装されたものを配線基板とし、このサブマウント基板7に、サブマウント基板7の上面から窪み、光素子2の発光部よりも下方部分が嵌合する平面視で矩形状の凹部71と、サブマウント基板7の右側の端面から中央付近まで左右方向に延在し、光導波路基板3の下部が嵌合する溝部72とを設け、この溝部72と光導波路基板3の幅方向の端面とで位置決め部を構成してもよい。
That is, the printed
サブマウント基板7は、樹脂成形により形成される三次元立体回路(MID;Molded Interconnect Device)である。MIDは、射出成形樹脂の上に回路が立体的に形成されたものであるので、立体形状を高精度に形成することが可能である。
The
なお、溝部72および光導波路基板3の形状は適宜選定可能であり、例えば図5に示すように、溝部72および光導波路基板3を平面視で略T字状にしてもよい。このようにすれば、光素子2の発光方向においても位置決めすることが可能となる。
In addition, the shape of the
前記実施形態では、光素子2として発光素子が採用されていて、コア31の光素子側の端部31aが光素子2に近づくに連れて幅寸法が大きくなるテーパー状になっている形態を示したが、光素子2として受光素子を採用した場合には、前記実施形態とは逆に、コア31の光素子側の端部31aを光素子2に近づくに連れて幅寸法が小さくなるテーパー状にすればよい。
In the said embodiment, the light emitting element is employ | adopted as the
次に、図6(a)(b)を参照して、本発明の第2実施形態に係る光モジュール1Bを説明する。
Next, an
この光モジュール1Bでは、光素子2として、上面からプリント配線基板4に垂直な方向(図6(b)では上方向)に発光するVCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser)が採用されている。このVCSELは、例えば、外径寸法が0.27×0.22mm、高さ0.185mm、発光エリアが15μmφで、発振波長が850nmである。そして、光素子2のボンディングパッド21は、プリント配線基板4上の電気配線41にワイヤーボンディング42で電気的に接続されている。
In the
光導波路基板3は、平面視で長方形の形状を有しており、光素子2の上面の一部を覆った状態で下面3bがプリント配線基板4の上面に接合されている。このプリント配線基板4の上面と、光導波路基板3の下面3bとには、図示は省略するが、第1実施形態で示したボンディングパッド35,45などの位置決め部が設けられている。
The
また、光導波路基板3は、光素子2の発光部の真上にミラー部3aを有しており、コア31は、光導波路基板3のミラー部3aと反対側の端面からミラー部3aに至るまでプリント配線基板4に平行な方向(図6(b)では左右方向)に延在している。さらに、光導波路基板3には、ミラー部3aにおけるコア31の到達位置から光素子2の近傍まで光素子2の発光方向に延在する延在コア31’が設けられている。そして、光素子2の発光部から真上に発光された光は、延在コア31’内を伝搬してミラー部3aに至り、このミラー部3aで90度方向に反射されて、コア31内をコア31の延在方向の他端部(図6(b)では右端部)の方向に伝搬されるようになる。
In addition, the
ミラー部3aは、光導波路基板3における光素子2の発光部の真上に位置する部分が45度でカットされて構成されており、このカット面に金属膜や誘電体膜をコートして、反射率を向上させている。
The
コア31の光素子側の端部31aは、光素子2に近づくに連れてプリント配線基板4に平行な方向(図6(a)では上下方向)の幅寸法が大きくなるテーパー状になっている。コア31の端部31aは、直線状に戻ることなくテーパー状のままミラー部3aにつながっているので、図7(a)(b)に示すように、ミラー部3aにおけるコア31の形状は、光素子側を幅広とする台形状となっている。
The
延在コア31’は、図7(c)に示すように、コア31の延在する方向から見たときに光素子側の幅寸法が大きくなるテーパー状となっている。
As shown in FIG. 7C, the extending
このように、ミラー部3aにおけるコア31の形状を光素子側を幅広とする台形状とすることにより、ミラー部3aを有する光導波路基板3においても、コア31の少なくとも光素子側の端部31aをテーパー状にして、実装位置ずれによる光結合効率の変動を小さくすることができる。
Thus, by forming the shape of the core 31 in the
なお、延在コア31’を省略して延在コア31’の存していた部分をクラッド32で充填しても、光素子2から発光された光はクラッド32を通過した後にミラー部3aで反射されてコア31内を伝搬するようになるが、この場合には光がコア31の下部のクラッド32を通過する際に広がって、光結合効率が低下する。これに対し、本実施形態のように延在コア31’を設けることによって光が下部のクラッド32中で広がらないので、光素子2と光導波路基板3との光結合効率が向上するようになる。さらに、延在コア31’を光素子側が幅広となるテーパー状にしたから、さらに大きな位置ずれに対しても対応可能となる。
Even if the
次に、図8(a)(b)を参照して、本発明の第3実施形態に係る光モジュール1Cを説明する。この光モジュール1Cでは、光素子2と光導波路基板3との間に、シリンドリカルレンズ8が配置されている。なお、この光モジュール1Cでは、コア31が端部31aだけでなく全長に亘ってテーパー状になっているとともに、図示は省略するが第1実施形態と同様に、プリント配線基板4の上面と光導波路基板3の下面に、ボンディングパッド35,45などの位置決め部が設けられている。
Next, an
シリンドリカルレンズ8は、光素子2の発光方向と直交する方向(図8(a)では上下方向)に延在しており、側面視で光素子側および光導波路基板側に凸となっている。そして、光素子2から発光された光は、図8(b)に示すように、シリンドリカルレンズ8によってプリント配線基板4に垂直な方向(図8(b)では上下方向)に集光されてコア31内に導かれる。
The cylindrical lens 8 extends in a direction (vertical direction in FIG. 8A) orthogonal to the light emitting direction of the
三次元の自由曲面で構成されたレンズを用いて集光した場合には、レンズ中心と光素子2の位置合わせ精度がシビアになり、実装コストが高くなるが、プリント配線基板4に垂直な方向で集光するシリンドリカルレンズ8を用いることによって、その方向のみの位置合わせ精度を出せばよく、実装コストを安く抑えることができる。そして、このように集光することにより、光結合効率を向上させることができる。
When light is collected using a lens composed of a three-dimensional free-form surface, the alignment accuracy between the lens center and the
なお、この効果は、光素子2と光導波路基板3との間にシリンドリカルレンズ8を配置する以外にも、光素子2とコア31との間に、光素子2から発光される光をプリント配線基板4に垂直な方向で集光してコア31内に導く集光部を設けることによって得ることができる。
This effect is not limited to the arrangement of the cylindrical lens 8 between the
例えば、図9(a)(b)に示す変形例の光モジュール1C’のように、クラッド32を、コア31の光素子側の端面31bを覆う形状に形成するとともに、光素子側の端面32aを側面視で光素子側に凸となる凸面としてもよい。あるいは、凸面を有する部分であるコア31の端面31bから光素子側の部分を別部材として成形し、この別部材を図8(a)(b)で示した光導波路基板3の光素子側の端面に接合してもよい。
For example, like the
このようにしても、凸面で光素子2から発光される光を集光してコア31内に導くことは可能である。
Even in this case, the light emitted from the
1A,1A’,1A”,1B,1C,1C’ 光モジュール
2 光素子
3 光導波路基板
3a ミラー部
31 コア
31a 端部
31’ 延在コア
32 クラッド
32a 凸面(集光部)
35 ボンディングパッド(位置決め部)
4 配線基板
45 ボンディングパッド(位置決め部)
48 窪み部
5,6 半田バンプ
7 サブマウント基板
72 溝部(位置決め部)
8 シリンドリカルレンズ(集光部)
1A, 1A ′, 1A ″, 1B, 1C, 1C ′
35 Bonding pad (positioning part)
4 Wiring
48
8 Cylindrical lens (condenser)
Claims (4)
前記光導波路基板と前記配線基板とに、光導波路基板を配線基板に実装するときの位置決め部を設けるとともに、光導波路基板のコアの少なくとも光素子側の端部を、光素子に近づくに連れて前記配線基板に平行な方向の幅寸法が大きくなるテーパー状にしたことを特徴とする光モジュール。 An optical module comprising: an optical element; an optical waveguide substrate having a core and a clad, and optically coupled to the optical element; and a wiring substrate on which the optical element and the optical waveguide substrate are mounted,
The optical waveguide substrate and the wiring substrate are provided with a positioning portion for mounting the optical waveguide substrate on the wiring substrate, and at least the end of the core of the optical waveguide substrate on the optical element side is brought closer to the optical element. An optical module having a tapered shape in which a width dimension in a direction parallel to the wiring board is increased.
2. A condensing unit that condenses light emitted from the optical element in a direction perpendicular to the wiring substrate and guides the light into the core between the optical element and the core. 4. The optical module according to any one of 3 above.
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Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009086258A (en) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Molex Inc | Plug |
JP2009086227A (en) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Molex Inc | Hybrid connector |
JP2009198804A (en) * | 2008-02-21 | 2009-09-03 | Sony Corp | Optical module and optical waveguide |
WO2011125658A1 (en) * | 2010-04-06 | 2011-10-13 | 住友ベークライト株式会社 | Optical waveguide structure and electronic apparatus |
JP2012194401A (en) * | 2011-03-16 | 2012-10-11 | Nitto Denko Corp | Opto-electric hybrid substrate and manufacturing method of the same |
JP2014048493A (en) * | 2012-08-31 | 2014-03-17 | Hitachi Chemical Co Ltd | Optical member and optical device |
WO2016175124A1 (en) * | 2015-04-27 | 2016-11-03 | 京セラ株式会社 | Optical transmission substrate and optical transmission module |
WO2020003189A1 (en) * | 2018-06-29 | 2020-01-02 | 3M Innovative Properties Company | Apparatus and method for maintaining optical ferrule alignment during thermal expansion or contraction |
US11692263B2 (en) | 2018-09-28 | 2023-07-04 | Viavi Solutions Inc. | Coating control using forward parameter correction and adapted reverse engineering |
WO2023195129A1 (en) * | 2022-04-07 | 2023-10-12 | セーレンKst株式会社 | Synthesized light generation device |
-
2005
- 2005-09-08 JP JP2005261112A patent/JP2007072307A/en active Pending
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009086258A (en) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Molex Inc | Plug |
JP2009086227A (en) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Molex Inc | Hybrid connector |
JP2009198804A (en) * | 2008-02-21 | 2009-09-03 | Sony Corp | Optical module and optical waveguide |
US8100589B2 (en) | 2008-02-21 | 2012-01-24 | Sony Corporation | Optical module and optical waveguide |
WO2011125658A1 (en) * | 2010-04-06 | 2011-10-13 | 住友ベークライト株式会社 | Optical waveguide structure and electronic apparatus |
JP2012194401A (en) * | 2011-03-16 | 2012-10-11 | Nitto Denko Corp | Opto-electric hybrid substrate and manufacturing method of the same |
US9265141B2 (en) | 2011-03-16 | 2016-02-16 | Nitto Denko Corporation | Opto-electric hybrid board and manufacturing method therefor |
JP2014048493A (en) * | 2012-08-31 | 2014-03-17 | Hitachi Chemical Co Ltd | Optical member and optical device |
WO2016175124A1 (en) * | 2015-04-27 | 2016-11-03 | 京セラ株式会社 | Optical transmission substrate and optical transmission module |
JPWO2016175124A1 (en) * | 2015-04-27 | 2017-11-30 | 京セラ株式会社 | Optical transmission board and optical transmission module |
US10180548B2 (en) | 2015-04-27 | 2019-01-15 | Kyocera Corporation | Optical transmission substrate and optical transmission module |
WO2020003189A1 (en) * | 2018-06-29 | 2020-01-02 | 3M Innovative Properties Company | Apparatus and method for maintaining optical ferrule alignment during thermal expansion or contraction |
CN112352179A (en) * | 2018-06-29 | 2021-02-09 | 3M创新有限公司 | Apparatus and method for maintaining alignment of optical ferrules during thermal expansion or contraction |
US11543603B2 (en) | 2018-06-29 | 2023-01-03 | 3M Innovative Properties Company | Apparatus and method for maintaining optical ferrule alignment during thermal expansion or contraction |
US11692263B2 (en) | 2018-09-28 | 2023-07-04 | Viavi Solutions Inc. | Coating control using forward parameter correction and adapted reverse engineering |
WO2023195129A1 (en) * | 2022-04-07 | 2023-10-12 | セーレンKst株式会社 | Synthesized light generation device |
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