JP7192270B2 - Optical waveguides, optical modules and electronics - Google Patents

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JP7192270B2 JP2018124898A JP2018124898A JP7192270B2 JP 7192270 B2 JP7192270 B2 JP 7192270B2 JP 2018124898 A JP2018124898 A JP 2018124898A JP 2018124898 A JP2018124898 A JP 2018124898A JP 7192270 B2 JP7192270 B2 JP 7192270B2
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Description

本発明は、光導波路、光モジュールおよび電子機器に関するものである。 The present invention relates to optical waveguides, optical modules and electronic devices.

光導波路では、コア部の一端から導入された光が、クラッド部との境界で反射しながら他端に搬送される。光導波路の入射側には半導体レーザー等の発光素子が配置され、出射側にはフォトダイオード等の受光素子が配置される。発光素子から入射された光は光導波路を伝搬し、受光素子により受光され、受光した光の明滅パターンまたはその強弱パターンに基づいて光通信を行う。 In the optical waveguide, light introduced from one end of the core portion is conveyed to the other end while being reflected at the boundary with the clad portion. A light-emitting element such as a semiconductor laser is arranged on the incident side of the optical waveguide, and a light-receiving element such as a photodiode is arranged on the outgoing side. Light incident from the light-emitting element propagates through the optical waveguide, is received by the light-receiving element, and performs optical communication based on the flickering pattern of the received light or its intensity pattern.

このような光通信では、外部環境や経時変化等の理由によって発光素子の特性が変化し、それに伴って光導波路に入射する光強度が変化することがある。このような光強度の変化は、光通信の安定性を低下させる原因となる。 In such optical communication, the characteristics of the light-emitting element may change due to factors such as the external environment and aging, and the intensity of light incident on the optical waveguide may change accordingly. Such a change in light intensity causes deterioration in the stability of optical communication.

そこで、特許文献1には、発光素子と、発光素子から出射する光を伝搬させる主導波路コアと、主導波路コアから分岐するモニター用導波路コアと、モニター用導波路コアから出射する光を受光する受光素子と、主導波路コアを伝搬する光の伝搬方向を変換する反射面となる空孔と、を備える光導波路モジュールが開示されている。この光導波路モジュールは、主導波路コアから分岐するモニター用導波路コアを備えているため、発光素子の発光強度の経時変化を察知することができる。これにより、例えば発光強度が一定になるように発光素子の駆動を制御することが可能になる。 Therefore, in Patent Document 1, a light emitting element, a main waveguide core for propagating light emitted from the light emitting element, a monitor waveguide core branched from the main waveguide core, and a light emitted from the monitor waveguide core and a hole serving as a reflecting surface for changing the propagation direction of light propagating through the main waveguide core. Since this optical waveguide module has a monitoring waveguide core branched from a main waveguide core, it is possible to perceive the temporal change in the light emission intensity of the light emitting element. This makes it possible to control the driving of the light-emitting element so that the light emission intensity becomes constant, for example.

特開2007-057760号公報JP 2007-057760 A

しかしながら、特許文献1に記載の光導波路モジュールでは、主導波路コア(本線コア部)と空孔との界面(反射部)におけるフレネル反射を利用して、光導波路の面内において光の伝搬方向を変換している。このため、空孔やモニター用導波路コア(支線コア部)を配置するためのスペースを広く確保する必要があり、それに伴って光導波路モジュールの小型化が難しくなるという問題がある。特に、光導波路モジュールの小型化を図る場合、空孔についても小型化する必要があり、そうするとモニター用導波路コアから出射する光強度を十分に確保することができない。また、空孔を設ける分、主導波路コアの幅もある程度広くしておく必要があり、主導波路コアを並列して配置する場合の配置密度を高めることが難しいという問題もある。 However, in the optical waveguide module described in Patent Document 1, Fresnel reflection at the interface (reflection portion) between the main waveguide core (main line core portion) and the air holes is used to change the propagation direction of light within the plane of the optical waveguide. are converting. For this reason, it is necessary to secure a large space for arranging holes and waveguide cores (branch line core portions) for monitoring, which makes it difficult to reduce the size of the optical waveguide module. In particular, in order to miniaturize the optical waveguide module, it is necessary to miniaturize the air holes as well. In addition, the width of the main waveguide core must be widened to some extent for the provision of the holes, and there is also the problem that it is difficult to increase the arrangement density when the main waveguide cores are arranged in parallel.

さらに、微小な反射面の面精度を高めることは容易ではないことから、フレネル反射を利用した光路変換では、過剰損失が大きいという問題がある。 Furthermore, since it is not easy to improve the surface accuracy of minute reflecting surfaces, there is a problem that excessive loss is large in optical path conversion using Fresnel reflection.

本発明の目的は、過剰損失が小さく小型化が図られた光導波路、ならびに、かかる光導波路を備える信頼性の高い光モジュールおよび電子機器を提供することにある。 SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a miniaturized optical waveguide with a small excess loss, and a highly reliable optical module and electronic equipment having such an optical waveguide.

このような目的は、下記(1)~(9)の本発明により達成される。
(1) 内部に第1反射部を備える第1光路変換コア部と、
前記第1光路変換コア部から延在するとともに前記第1反射部と光学的に接続され、前記第1光路変換コア部および前記第1反射部の双方よりも幅が小さい本線コア部と、
前記第1光路変換コア部から延在するとともに前記第1反射部と光学的に接続され、前記第1光路変換コア部および前記第1反射部の双方よりも幅が小さく、かつ、前記本線コア部から離間している支線コア部と、
内部に第2反射部を備える第2光路変換コア部と、
を備える分岐パターンが形成されているコア層を有し、
前記本線コア部の長さは、前記支線コア部の長さよりも長くなっており、
前記コア層の平面視において、前記本線コア部の延長線の幅の全体、および、前記支線コア部の延長線の幅の一部が、前記第1反射部と交差するように前記分岐パターンが形成されており、
前記第1反射部を介して発光素子からの光が前記本線コア部および前記支線コア部に入射されるとともに、前記第2反射部を介して前記支線コア部からの光が受光素子に入射するように用いられることを特徴とする光導波路。
Such objects are achieved by the present invention of the following (1) to (9).
(1) a first optical path changing core portion having a first reflecting portion inside;
a main line core portion extending from the first optical path-changing core portion and optically connected to the first reflecting portion and having a width smaller than both the first optical path-changing core portion and the first reflecting portion ;
Extending from the first optical path-changing core portion and optically connected to the first reflecting portion, having a smaller width than both the first optical path-changing core portion and the first reflecting portion , and the main line core a branch line core portion spaced apart from the portion;
a second optical path changing core portion having a second reflecting portion inside;
having a core layer formed with a branched pattern comprising
The length of the main line core portion is longer than the length of the branch line core portion,
In a plan view of the core layer, the branch pattern is such that the entire width of the extension line of the main line core portion and part of the width of the extension line of the branch line core portion intersect the first reflecting portion. is formed and
Light from the light-emitting element enters the main line core portion and the branch line core portion through the first reflecting portion, and light from the branch line core portion enters the light receiving element through the second reflecting portion. An optical waveguide characterized by being used as follows.

(2) 前記本線コア部の幅は、20~80μmである上記(1)に記載の光導波路。
(3) 前記コア層の主材料は、樹脂材料である上記(1)または(2)に記載の光導波路。
(2) The optical waveguide according to (1) above, wherein the main line core portion has a width of 20 to 80 μm.
(3) The optical waveguide according to (1) or (2) above , wherein the main material of the core layer is a resin material .

(4) 前記支線コア部の長さは、800~10000μmである上記(1)ないし(3)のいずれかに記載の光導波路。 (4) The optical waveguide according to any one of (1) to (3) above, wherein the branch line core portion has a length of 800 to 10000 μm.

(5) 前記本線コア部のうち、前記光路変換コア部との境界における幅の中心点と、前記光路変換コア部から50μmの位置における幅の中心点と、を結ぶ直線を仮想直線とし、
前記支線コア部の幅の中心点の集合体を支線中心軸としたとき、
前記支線コア部は、その延在方向に沿って前記光路変換コア部から遠ざかるように移動するとき、前記コア層の平面視において前記支線中心軸の接線と前記仮想直線とのなす角度の鋭角側が徐々に小さくなるように曲がっている第1形状曲線部と、前記コア層の平面視において前記支線中心軸の接線と前記仮想直線とのなす角度の鋭角側が徐々に大きくなるように曲がっている第2形状曲線部と、を含む上記(1)ないし(4)のいずれかに記載の光導波路。
(5) A straight line connecting the center point of the width of the main line core portion at the boundary with the optical path-changing core portion and the center point of the width at a position 50 μm from the optical path-changing core portion is defined as a virtual straight line,
When the aggregate of the center points of the width of the branch line core portion is defined as the branch line central axis,
When the branch line core portion moves away from the optical path changing core portion along its extending direction, the acute angle side of the angle formed by the tangent to the central axis of the branch line and the imaginary straight line in plan view of the core layer is A first curved portion that gradually decreases in size, and a second curved portion that gradually increases in angle formed by a tangent to the central axis of the branch line and the imaginary straight line in a plan view of the core layer. and a two-shaped curved portion.

(6) 前記コア層を厚さ方向に貫通する第1凹部および第2凹部を備え、
前記第1反射部は、前記第1凹部の内面の一部であり、
前記第2反射部は、前記第2凹部の内面の一部である上記(1)ないし(5)のいずれかに記載の光導波路。
(6) comprising a first recess and a second recess penetrating the core layer in the thickness direction ;
The first reflecting portion is a part of the inner surface of the first concave portion,
The optical waveguide according to any one of (1) to (5) above, wherein the second reflecting portion is part of the inner surface of the second concave portion.

(7) 前記コア層は、前記本線コア部の延在方向に交差する方向に沿って並ぶ複数の前記分岐パターンを備えている上記(1)ないし(6)のいずれかに記載の光導波路。 (7) The optical waveguide according to any one of (1) to (6) above, wherein the core layer includes a plurality of branch patterns arranged along a direction crossing the extending direction of the main line core portion.

(8) 上記(1)ないし(7)のいずれかに記載の光導波路と、
前記反射部と光学的に接続されている発光素子と、
前記支線コア部と光学的に接続されている受光素子と、
を有することを特徴とする光モジュール。
(8) the optical waveguide according to any one of (1) to (7);
a light emitting element optically connected to the reflecting section;
a light receiving element optically connected to the branch line core portion;
An optical module characterized by comprising:

(9) 上記(1)ないし(7)のいずれかに記載の光導波路を備えることを特徴とする電子機器。 (9) An electronic device comprising the optical waveguide according to any one of (1) to (7) above.

本発明によれば、過剰損失が小さく小型化が図られた光導波路が得られる。
また、本発明によれば、信頼性の高い光モジュールおよび電子機器が得られる。
According to the present invention, it is possible to obtain a compact optical waveguide with a small excess loss.
Moreover, according to the present invention, a highly reliable optical module and electronic equipment can be obtained.

本発明の光モジュールの実施形態を示す断面図である。1 is a cross-sectional view showing an embodiment of an optical module of the present invention; FIG. 図1に示す光モジュールのうち筐体やレセプタクルを除く部位を示す平面図である。2 is a plan view showing a portion of the optical module shown in FIG. 1 excluding a housing and a receptacle; FIG. 図2に示す光導波路の平面図である。3 is a plan view of the optical waveguide shown in FIG. 2; FIG. 図3に示す光導波路の部分拡大斜視図である。4 is a partially enlarged perspective view of the optical waveguide shown in FIG. 3; FIG. 図3に示す支線コア部を拡大して示す図である。It is a figure which expands and shows the branch line core part shown in FIG. 図5に示す第2形状曲線部を模式的に強調して示す図である。FIG. 6 is a diagram schematically emphasizing a second shape curved portion shown in FIG. 5; 図5に示す第1形状曲線部を模式的に強調して示す図である。FIG. 6 is a diagram schematically emphasizing a first shape curved portion shown in FIG. 5;

以下、本発明の光導波路、光モジュールおよび電子機器について添付図面に示す好適実施形態に基づいて詳細に説明する。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An optical waveguide, an optical module, and an electronic device according to the present invention will be described below in detail based on preferred embodiments shown in the accompanying drawings.

<光モジュール>
まず、本発明の光モジュールの実施形態および本発明の光導波路の実施形態について説明する。
<Optical module>
First, embodiments of the optical module of the present invention and embodiments of the optical waveguide of the present invention will be described.

図1は、本発明の光モジュールの実施形態を示す断面図である。また、図2は、図1に示す光モジュールのうち筐体やレセプタクルを除く部位を示す平面図である。 FIG. 1 is a cross-sectional view showing an embodiment of an optical module of the present invention. 2 is a plan view showing a portion of the optical module shown in FIG. 1, excluding a housing and a receptacle.

図1に示す光モジュール100(実施形態に係る光モジュール)は、光導波路1(実施形態に係る光導波路)と、電気基板2と、光導波路1と光学的に接続されている発光素子31および受光素子32と、制御素子4と、レンズアレイ5と、レセプタクル61と、筐体7と、を有している。このような光モジュール100では、発光素子31で出射した光を光導波路1に導入するとともに内部で通信用の光とモニター用の光とに分配する。そして、モニター用の光を受光素子32で受光し、その光強度を監視しつつ、通信用の光に十分な光強度を確保して、高品質な光通信が可能になっている。 The optical module 100 (optical module according to the embodiment) shown in FIG. It has a light receiving element 32 , a control element 4 , a lens array 5 , a receptacle 61 and a housing 7 . In such an optical module 100, the light emitted from the light emitting element 31 is introduced into the optical waveguide 1, and is internally divided into light for communication and light for monitoring. The light for monitoring is received by the light receiving element 32, and while monitoring the light intensity, sufficient light intensity is ensured for the light for communication, thereby enabling high-quality optical communication.

このうち、図1に示す電気基板2は、絶縁基板21と、絶縁基板21の上面に設けられた導電層22および接点23と、を備えている。 Among these, the electric board 2 shown in FIG.

また、図1に示す電気基板2の上面には、発光素子31と、受光素子32と、制御素子4と、が搭載されている。これらの素子と導電層22との間は、図示しないボンディングワイヤーを介して電気的に接続されている。なお、この接続構造は、ボンディングワイヤーに限定されず、その他の構造、例えばフリップチップボンディング等で代替されてもよい。 A light-emitting element 31, a light-receiving element 32, and a control element 4 are mounted on the upper surface of the electric substrate 2 shown in FIG. These elements and the conductive layer 22 are electrically connected via bonding wires (not shown). Note that this connection structure is not limited to bonding wires, and may be replaced by other structures such as flip-chip bonding.

発光素子31としては、例えば、面発光レーザー(VCSEL)、発光ダイオード(LED)、有機EL素子等が挙げられる。 Examples of the light emitting element 31 include a surface emitting laser (VCSEL), a light emitting diode (LED), an organic EL element, and the like.

また、受光素子32としては、例えば、フォトダイオード(PD、APD)、フォトトランジスター等が挙げられる。 Moreover, as the light receiving element 32, for example, a photodiode (PD, APD), a phototransistor, or the like can be used.

また、制御素子4としては、例えば、ドライバーIC、トランスインピーダンスアンプ(TIA)、リミッティングアンプ(LA)、またはこれらの素子を複合したコンビネーションIC等が挙げられる。 Also, the control element 4 may be, for example, a driver IC, a transimpedance amplifier (TIA), a limiting amplifier (LA), or a combination IC combining these elements.

なお、電気基板2には、上述した素子以外に、CPU(中央演算処理装置)、MPU(マイクロプロセッサーユニット)、LSI、IC、RAM、ROM、コンデンサー、コイル、抵抗、ダイオード等が搭載されていてもよい。 In addition to the elements described above, the electric board 2 is equipped with a CPU (central processing unit), MPU (microprocessor unit), LSI, IC, RAM, ROM, capacitors, coils, resistors, diodes, and the like. good too.

また、図1に示す電気基板2の左端には、導電層22と電気的に接続された接点23が設けられている。そして、この接点23が設けられた部分は、図1に示す電気配線81の右端に取り付けられた電気コネクター82に挿入され、嵌合している。これにより、電気コネクター82を介して電気基板2と電気配線81との間が電気的に接続されている。その結果、光モジュール100に対して外部からの電気的接続が図られる。 A contact 23 electrically connected to the conductive layer 22 is provided at the left end of the electric substrate 2 shown in FIG. The portion provided with the contact 23 is inserted into and engaged with an electrical connector 82 attached to the right end of the electrical wiring 81 shown in FIG. Thus, electrical connection is established between the electrical board 2 and the electrical wiring 81 via the electrical connector 82 . As a result, the optical module 100 is electrically connected to the outside.

一方、図1、2に示す光導波路1は、シート状をなしており、内部に形成されたコア部14が導光路になっている。 On the other hand, the optical waveguide 1 shown in FIGS. 1 and 2 has a sheet shape, and a core portion 14 formed inside serves as an optical waveguide.

また、光導波路1の右端には、MT型光コネクター62が装着されている。このMT型光コネクター62は、レセプタクル61に対してその左側から挿入されている。すなわち、レセプタクル61の左側には、MT型受容部611が形成されており、そのMT型受容部611にMT型光コネクター62が挿入されている。 An MT type optical connector 62 is attached to the right end of the optical waveguide 1 . This MT type optical connector 62 is inserted into the receptacle 61 from its left side. That is, an MT type receiving portion 611 is formed on the left side of the receptacle 61 and the MT type optical connector 62 is inserted into the MT type receiving portion 611 .

また、光導波路1には、反射部16a(第1反射部)が形成されている。この反射部16aを介して図1の左右方向に延在する光路P1が、図1の上下方向に延在する光路P2に変換されている。この光路P2により、光導波路1と発光素子31および受光素子32との間がそれぞれ光学的に接続されている。なお、図1に示す光路P1、P2は、それぞれ光が伝搬する経路の一例を示している。 Further, the optical waveguide 1 is formed with a reflecting portion 16a (first reflecting portion) . The optical path P1 extending horizontally in FIG. 1 is converted into an optical path P2 extending vertically in FIG. The optical path P2 optically connects the optical waveguide 1 with the light emitting element 31 and the light receiving element 32, respectively. The optical paths P1 and P2 shown in FIG. 1 are examples of paths along which light propagates.

レンズアレイ5は、光導波路1と電気基板2との間に設けられている。図1に示すレンズアレイ5は、底部51と、底部51の縁から下方に向かって立設された壁部52と、を備えている。そして、壁部52の下面が電気基板2の上面に接合され、底部51の上面に光導波路1が接合されている。これにより、底部51、壁部52および電気基板2で取り囲まれた空洞53が形成される。また、この空洞53には、前述した発光素子31、受光素子32および制御素子4が収まっている。これにより、発光素子31、受光素子32および制御素子4を外部環境や異物付着等から保護することができる。 A lens array 5 is provided between the optical waveguide 1 and the electric substrate 2 . The lens array 5 shown in FIG. 1 includes a bottom portion 51 and a wall portion 52 erected downward from the edge of the bottom portion 51 . The bottom surface of the wall portion 52 is bonded to the top surface of the electric substrate 2 , and the optical waveguide 1 is bonded to the top surface of the bottom portion 51 . Thereby, a cavity 53 surrounded by the bottom portion 51, the wall portion 52 and the electric substrate 2 is formed. Further, the light emitting element 31, the light receiving element 32, and the control element 4 described above are accommodated in this cavity 53. As shown in FIG. As a result, the light emitting element 31, the light receiving element 32, and the control element 4 can be protected from the external environment, adhesion of foreign matter, and the like.

レンズアレイ5は、光透過性を有しており、光路P2を通過させることができる。また、底部51にはレンズ54が形成されている。このレンズ54は、例えば凸レンズであり、光路P2を伝搬する光を目的とする位置に集束することができる。 The lens array 5 is light transmissive and allows the optical path P2 to pass therethrough. A lens 54 is formed on the bottom portion 51 . This lens 54 is, for example, a convex lens, and can focus the light propagating along the optical path P2 to a target position.

なお、レンズアレイ5には、レンズ54の他に、回折格子、偏光子、プリズム、フィルター等が設けられていてもよい。 In addition to the lens 54, the lens array 5 may be provided with a diffraction grating, a polarizer, a prism, a filter, and the like.

また、レセプタクル61の右側には、MPO型受容部612が形成されている。そして、このMPO型受容部612には、光ファイバー91の左端に取り付けられたMPO型光コネクター92が挿入され、嵌合している。これにより、光ファイバー91と光導波路1との間が光学的に接続されている。その結果、光モジュール100に対して外部からの光学的接続が図られる。 An MPO type receiving portion 612 is formed on the right side of the receptacle 61 . An MPO type optical connector 92 attached to the left end of the optical fiber 91 is inserted and fitted into the MPO type receiving portion 612 . Thereby, the optical fiber 91 and the optical waveguide 1 are optically connected. As a result, the optical module 100 is optically connected to the outside.

筐体7は、電気配線81や電気コネクター82および光ファイバー91やMPO型光コネクター92を除く各部を収納する箱状の部材である。このような筐体7に収納することにより、各部を外部環境から保護し、光モジュール100の信頼性および可搬性を高めることができる。 The housing 7 is a box-shaped member that accommodates each part except for the electric wiring 81 , the electric connector 82 , the optical fiber 91 and the MPO type optical connector 92 . By housing the optical module 100 in such a housing 7, each part can be protected from the external environment, and the reliability and portability of the optical module 100 can be enhanced.

なお、筐体7の一部には貫通孔が設けられ、そこから電気基板2の接点23が設けられた部分が突出している。これにより、接点23に対して電気コネクター82を容易に装着することができる。また、同様に、筐体7の一部に設けられた貫通孔からレセプタクル61のMPO型受容部612が露出している。これにより、MPO型受容部612に対してMPO型光コネクター92を挿入するだけで、光モジュール100に対して光ファイバー91を容易に接続することができる。 A through hole is provided in a part of the housing 7, and a portion of the electric board 2 provided with the contact 23 protrudes therefrom. Thereby, the electrical connector 82 can be easily attached to the contact 23 . Similarly, an MPO type receiving portion 612 of the receptacle 61 is exposed through a through hole provided in a portion of the housing 7 . As a result, the optical fiber 91 can be easily connected to the optical module 100 simply by inserting the MPO type optical connector 92 into the MPO type receiving portion 612 .

筐体7の構成材料としては、例えばステンレス鋼、アルミニウム合金、チタン合金のような金属材料の他、各種樹脂材料、各種セラミックス材料等が挙げられる。
<光導波路>
次に、光導波路1について説明する。
Examples of materials constituting the housing 7 include metal materials such as stainless steel, aluminum alloys, and titanium alloys, as well as various resin materials and various ceramic materials.
<Optical waveguide>
Next, the optical waveguide 1 will be explained.

図3は、図2に示す光導波路の平面図である。また、図4は、図3に示す光導波路の部分拡大斜視図である。 3 is a plan view of the optical waveguide shown in FIG. 2. FIG. 4 is a partially enlarged perspective view of the optical waveguide shown in FIG.

前述したように、光導波路1は、シート状をなしており、図3の下から上に向かって出射された光を、コア部14に入射させ、通信することが可能になっている。 As described above, the optical waveguide 1 has a sheet shape, and allows the light emitted from the bottom to the top in FIG. 3 to enter the core portion 14 for communication.

本実施形態に係る光導波路1は、図4の下側から、下側保護層17、クラッド層11、コア層13、クラッド層12、および上側保護層18がこの順で積層されてなる積層体10を備えている。また、コア層13中には、図3の上下方向に延在する長尺状のコア部14と、コア層13の厚さ方向から見てコア部14の側面に隣接して設けられた側面クラッド部15と、が形成されている。 The optical waveguide 1 according to the present embodiment is a laminate in which a lower protective layer 17, a clad layer 11, a core layer 13, a clad layer 12, and an upper protective layer 18 are laminated in this order from the bottom of FIG. 10. In the core layer 13, an elongated core portion 14 extending in the vertical direction in FIG. A cladding portion 15 is formed.

一方、図3、4に示す光導波路1は、前述したように、図1に示す光路P1と光路P2との間を相互に変換する反射部16aを備えている。この反射部16aは、図4に示すように、積層体10の上面に開口し、コア層13を貫通する凹部160の内面の一部である。すなわち、反射部16aは、空洞である凹部160とコア部14との界面の一部である。このため、反射部16aでは、屈折率差に基づくフレネル反射によって光路P1と光路P2との間を相互に変換することができる。具体的には、図1の左右方向に延在する光路P1と、図1の上下方向に延在する光路P2と、の間が相互に変換される。 On the other hand, the optical waveguide 1 shown in FIGS. 3 and 4 includes the reflecting portion 16a for converting between the optical path P1 and the optical path P2 shown in FIG. 1, as described above. As shown in FIG. 4, the reflecting portion 16a is a part of the inner surface of a concave portion 160 that opens in the upper surface of the laminate 10 and penetrates the core layer 13. As shown in FIG. In other words, the reflecting portion 16a is a portion of the interface between the hollow recess 160 and the core portion 14 . Therefore, in the reflecting portion 16a, the light path P1 and the light path P2 can be mutually converted by Fresnel reflection based on the refractive index difference. Specifically, the optical path P1 extending in the horizontal direction in FIG. 1 and the optical path P2 extending in the vertical direction in FIG. 1 are mutually converted.

以下、光導波路1の各部についてさらに詳述する。
-コア層-
図4に示すコア層13中に形成されているコア部14は、その側面が、側面クラッド部15およびクラッド層11、12で囲まれている。そして、コア部14の屈折率は、側面クラッド部15やクラッド層11、12の屈折率よりも高くなっている。これにより、コア部14に光を閉じ込めて伝搬させることができる。
Each part of the optical waveguide 1 will be described in further detail below.
-Core layer-
Core portion 14 formed in core layer 13 shown in FIG. The refractive index of the core portion 14 is higher than that of the side clad portion 15 and the clad layers 11 and 12 . Thereby, light can be confined in the core portion 14 and propagated.

コア層13において、光路P1に直交する面内における屈折率分布は、いかなる分布であってもよく、例えば屈折率が不連続的に変化したいわゆるステップインデックス(SI)型の分布であってもよく、屈折率が連続的に変化したいわゆるグレーデッドインデックス(GI)型の分布であってもよい。 In the core layer 13, the refractive index distribution in the plane orthogonal to the optical path P1 may be any distribution, for example, a so-called step index (SI) type distribution in which the refractive index changes discontinuously. , a so-called graded index (GI) type distribution in which the refractive index changes continuously.

また、コア部14の光路P1に直交する面による断面形状は、特に限定されず、図示した四角形以外に、真円、楕円形、長円形等の円形、三角形、四角形、五角形、六角形等の多角形、その他の異形状であってもよい。 In addition, the cross-sectional shape of the core portion 14 perpendicular to the optical path P1 is not particularly limited, and other than the quadrangle shown in the figure, it may be a circle such as a perfect circle, an ellipse, an oval, a triangle, a quadrangle, a pentagon, a hexagon, or the like. Polygons and other irregular shapes may also be used.

また、コア層13を厚さ方向から見たとき、コア部14は、後述する拡幅部141において2つに分岐している。これにより、光信号を2つに分配することができる。なお、この分岐構造については後に詳述する。 Further, when the core layer 13 is viewed from the thickness direction, the core portion 14 is branched into two at a widened portion 141 which will be described later. Thereby, the optical signal can be divided into two. This branch structure will be detailed later.

また、コア層13の平均厚さは、特に限定されないが、1~200μm程度であるのが好ましく、5~100μm程度であるのがより好ましく、10~70μm程度であるのがさらに好ましい。これにより、光導波路1の伝送効率の低下を抑えつつ光導波路1の薄型化を図ることができる。 Although the average thickness of the core layer 13 is not particularly limited, it is preferably about 1 to 200 μm, more preferably about 5 to 100 μm, even more preferably about 10 to 70 μm. As a result, it is possible to reduce the thickness of the optical waveguide 1 while suppressing a decrease in the transmission efficiency of the optical waveguide 1 .

コア層13の構成材料(主材料)としては、例えば、アクリル系樹脂、メタクリル系樹脂、ポリカーボネート、ポリスチレン、エポキシ系樹脂やオキセタン系樹脂のような環状エーテル系樹脂、ポリアミド、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ポリシラン、ポリシラザン、シリコーン系樹脂、フッ素系樹脂、ポリウレタン、ポリオレフィン系樹脂、ポリブタジエン、ポリイソプレン、ポリクロロプレン、ポリエチレンテレフタレート(PET)やポリブチレンテレフタレート(PBT)のようなポリエステル、ポリエチレンサクシネート、ポリサルフォン、ポリエーテル、また、ベンゾシクロブテン系樹脂やノルボルネン系樹脂等の環状オレフィン系樹脂のような各種樹脂材料等が挙げられる。なお、樹脂材料には、異なる組成のものを組み合わせた複合材料も用いられる。 Examples of the constituent material (main material) of the core layer 13 include acrylic resin, methacrylic resin, polycarbonate, polystyrene, cyclic ether resin such as epoxy resin and oxetane resin, polyamide, polyimide, polybenzoxazole, Polysilane, polysilazane, silicone resin, fluorine resin, polyurethane, polyolefin resin, polybutadiene, polyisoprene, polychloroprene, polyester such as polyethylene terephthalate (PET) and polybutylene terephthalate (PBT), polyethylene succinate, polysulfone, poly Various resin materials such as ethers and cyclic olefin resins such as benzocyclobutene resins and norbornene resins can be used. Composite materials, in which resin materials having different compositions are combined, are also used.

-クラッド層-
クラッド層11、12の平均厚さは、それぞれ1~200μm程度であるのが好ましく、3~100μm程度であるのがより好ましく、5~60μm程度であるのがさらに好ましい。これにより、光導波路1が必要以上に厚膜化するのを防止しつつ、クラッド層11、12としての機能が確保される。
-Clad layer-
The average thickness of each of the clad layers 11 and 12 is preferably about 1 to 200 μm, more preferably about 3 to 100 μm, even more preferably about 5 to 60 μm. As a result, the functions of the clad layers 11 and 12 are ensured while preventing the optical waveguide 1 from becoming thicker than necessary.

また、クラッド層11、12の構成材料としては、例えば、前述したコア層13の構成材料と同様の材料を用いることができるが、特に(メタ)アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、シリコーン系樹脂、ポリイミド系樹脂、フッ素系樹脂、およびポリオレフィン系樹脂からなる群から選択される少なくとも1種であるのが好ましく、(メタ)アクリル系樹脂またはエポキシ系樹脂がより好ましい。 As the constituent material of the clad layers 11 and 12, for example, the same material as the constituent material of the core layer 13 can be used. At least one selected from the group consisting of polyimide resins, fluorine resins, and polyolefin resins is preferable, and (meth)acrylic resins or epoxy resins are more preferable.

なお、クラッド層11、12は、必要に応じて設けられればよく、省略されてもよい。このとき、例えばコア層13が外気(空気)に曝されていれば、その外気がクラッド層11、12として機能する。 Note that the clad layers 11 and 12 may be provided as required, and may be omitted. At this time, for example, if the core layer 13 is exposed to the outside air (air), the outside air functions as the clad layers 11 and 12 .

-保護層-
図4に示す光導波路1では、下側保護層17および上側保護層18が、コア層13やクラッド層11、12を保護し、外部環境等に起因したコア部14の伝送効率の低下を抑制することができる。
- Protective layer -
In the optical waveguide 1 shown in FIG. 4, the lower protective layer 17 and the upper protective layer 18 protect the core layer 13 and the clad layers 11 and 12, thereby suppressing deterioration of the transmission efficiency of the core portion 14 due to the external environment and the like. can do.

下側保護層17および上側保護層18の構成材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリエチレン、ポリプロピレンのようなポリオレフィン、ポリイミド、ポリアミド等の各種樹脂を含む材料が挙げられる。 Materials constituting the lower protective layer 17 and the upper protective layer 18 include, for example, polyolefins such as polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), polyethylene and polypropylene, and materials containing various resins such as polyimide and polyamide. mentioned.

下側保護層17および上側保護層18の平均厚さは、特に限定されないが、5~500μm程度であるのが好ましく、10~400μm程度であるのがより好ましい。 Although the average thickness of the lower protective layer 17 and the upper protective layer 18 is not particularly limited, it is preferably about 5 to 500 μm, more preferably about 10 to 400 μm.

また、下側保護層17および上側保護層18は、互いに同じ構成であっても互いに異なる構成であってもよい。 Also, the lower protective layer 17 and the upper protective layer 18 may have the same configuration or different configurations.

なお、下側保護層17および上側保護層18は、それぞれ必要に応じて設けられればよく、少なくとも一方が省略されていてもよい。 The lower protective layer 17 and the upper protective layer 18 may be provided as required, and at least one of them may be omitted.

-凹部-
凹部160は、コア部14の延在方向の端部に設けられている。そして、凹部160の内面に設けられた反射部16aは、コア部14の光路P1に対して傾斜する面である。この反射部16aの傾斜角度に応じて、光路P1の変換角度を調整することができる。
- concave part -
The recess 160 is provided at the end in the extending direction of the core portion 14 . Reflecting portion 16 a provided on the inner surface of recess 160 is a surface that is inclined with respect to optical path P 1 of core portion 14 . The conversion angle of the optical path P1 can be adjusted according to the inclination angle of the reflecting portion 16a.

図4に示す凹部160は、コア層13の面内において光路P1と直交する方向から見たとき、下方に頂点を持つ三角形に準じた形状をなしている。そして、反射部16aは、図4に示すように、クラッド層11からコア層13およびクラッド層12を経て上側保護層18に至るまでの間に連続して形成された平坦面である。なお、凹部160の形状は、図4に示す形状に限定されず、いかなる形状であってもよい。 The concave portion 160 shown in FIG. 4 has a triangular shape with a downward vertex when viewed from a direction perpendicular to the optical path P1 in the plane of the core layer 13 . As shown in FIG. 4, the reflective portion 16a is a flat surface formed continuously from the clad layer 11 through the core layer 13 and the clad layer 12 to the upper protective layer 18 . Note that the shape of the recess 160 is not limited to the shape shown in FIG. 4, and may be any shape.

また、反射部16aの傾斜角度は、特に限定されないが、図1に示す光導波路1の下面を基準面としたとき、基準面と反射部16aとがなす角度の鋭角側は、30~60°程度であるのが好ましく、40~50°程度であるのがより好ましい。傾斜角度を前記範囲内に設定することにより、反射部16aにおいてコア部14の光路P1を効率よく変換し、光路変換に伴う損失を抑制することができる。 The angle of inclination of the reflecting portion 16a is not particularly limited, but when the lower surface of the optical waveguide 1 shown in FIG. It is preferably about 40 to 50°, more preferably about 40 to 50°. By setting the inclination angle within the above range, the optical path P1 of the core portion 14 can be efficiently converted at the reflecting portion 16a, and the loss associated with the optical path conversion can be suppressed.

なお、凹部160の最深部の位置、すなわち三角形の頂点の位置は、特に限定されないが、少なくともコア層13よりもクラッド層11側であるのが好ましい。 The position of the deepest part of the concave portion 160 , that is, the position of the vertex of the triangle is not particularly limited, but is preferably at least closer to the clad layer 11 than the core layer 13 .

また、本実施形態に係るコア層13には、凹部160に対応する位置に設けられ、コア部14よりも幅が広い拡幅部141(第1光路変換コア部)が形成されている。すなわち、図3に示すように、コア層13を平面視したとき、拡幅部141は、凹部160を内包するような長方形をなしており、かつ、コア部14の図3における上端に隣接している。この拡幅部141の屈折率は、コア部14と同様、側面クラッド部15やクラッド層11、12の屈折率よりも高くなっている。このような拡幅部141を設けることにより、反射部16aのうち、コア層13の断面に露出する材料は、側面クラッド部15やクラッド層11、12よりも屈折率の高い材料となる。このため、反射部16aにおける屈折率差をより大きくすることができ、反射率を高めるとともに、反射損失を低減することができる。 Further, the core layer 13 according to the present embodiment is provided with a widened portion 141 ( first optical path changing core portion) which is provided at a position corresponding to the concave portion 160 and is wider than the core portion 14 . That is, as shown in FIG. 3, when the core layer 13 is viewed from above, the widened portion 141 has a rectangular shape that includes the concave portion 160, and is adjacent to the upper end of the core portion 14 in FIG. there is The refractive index of the widened portion 141 is higher than that of the side clad portion 15 and the clad layers 11 and 12, like the core portion . By providing such a widened portion 141 , the material of the reflecting portion 16 a exposed in the cross section of the core layer 13 has a higher refractive index than the side clad portion 15 and the clad layers 11 and 12 . Therefore, the refractive index difference in the reflecting portion 16a can be increased, thereby increasing the reflectance and reducing the reflection loss.

また、本実施形態に係る光導波路1は、図3に示すように、後述する支線コア部194の下方に設けられ、光路P1と光路P2との間を相互に変換する反射部16b(第2反射部)を備えている。この反射部16bは、図4に示す積層体10の上面に開口し、コア層13を貫通する凹部161の内面の一部である。すなわち、反射部16bは、空洞である凹部161とコア部14との界面の一部である。このため、反射部16bでは、屈折率差に基づくフレネル反射によって光路P1と光路P2との間を相互に変換することができる。具体的には、図1の左右方向に延在する光路P1と、図1の上下方向に延在する光路P2と、の間が相互に変換される。 Further, as shown in FIG. 3, the optical waveguide 1 according to the present embodiment is provided below a branch line core portion 194 to be described later, and the reflection portion 16b (second reflective part) . The reflecting portion 16b is a part of the inner surface of a recess 161 that opens in the upper surface of the laminate 10 shown in FIG. 4 and penetrates the core layer 13 . In other words, the reflecting portion 16b is a part of the interface between the hollow recess 161 and the core portion 14 . Therefore, in the reflecting portion 16b, the optical path P1 and the optical path P2 can be mutually converted by Fresnel reflection based on the refractive index difference. Specifically, the optical path P1 extending in the horizontal direction in FIG. 1 and the optical path P2 extending in the vertical direction in FIG. 1 are mutually converted.

また、本実施形態に係るコア層13には、凹部161に対応する位置に設けられ、コア部14よりも幅が広い拡幅部142(第2光路変換コア部)が形成されている。すなわち、図3に示すように、コア層13を平面視したとき、拡幅部142は、凹部161を内包するような長方形をなしており、かつ、コア部14の図3における下端に隣接している。この拡幅部142の屈折率は、コア部14と同様、側面クラッド部15やクラッド層11、12の屈折率よりも高くなっている。このような拡幅部142を設けることにより、反射部16bのうち、コア層13の断面に露出する材料は、コア部14を構成する材料、すなわち、側面クラッド部15やクラッド層11、12よりも屈折率の高い材料となる。このため、反射部16bにおける屈折率差をより大きくすることができ、反射率を高めるとともに、反射損失を低減することができる。 Further, the core layer 13 according to the present embodiment is provided with a widened portion 142 (second optical path changing core portion) which is provided at a position corresponding to the concave portion 161 and is wider than the core portion 14 . That is, as shown in FIG. 3, when the core layer 13 is viewed from above, the widened portion 142 has a rectangular shape that includes the concave portion 161, and is adjacent to the lower end of the core portion 14 in FIG. there is The refractive index of the widened portion 142 is higher than that of the side clad portion 15 and the clad layers 11 and 12, like the core portion . By providing such a widened portion 142, the material exposed in the cross section of the core layer 13 in the reflective portion 16b is less than the material constituting the core portion 14, that is, the side clad portion 15 and the clad layers 11 and 12. It becomes a material with a high refractive index. Therefore, the refractive index difference in the reflecting portion 16b can be increased, thereby increasing the reflectance and reducing the reflection loss.

なお、本実施形態では、凹部160、161内を空気が占めているが、その代わりにコア部14よりも低屈折率の材料で占められていてもよい。 Although air occupies the interiors of the recesses 160 and 161 in the present embodiment, they may be occupied with a material having a lower refractive index than the core portion 14 instead.

また、凹部160、161に代えて、コア層13の厚さ方向に光路を曲げる湾曲導波路が設けられていてもよい。 A curved waveguide that bends the optical path in the thickness direction of the core layer 13 may be provided instead of the concave portions 160 and 161 .

-分岐パターン-
図3に示す光導波路1は、前述したように分岐構造を含む複数のコア部14と拡幅部141および拡幅部142とが形成されたコア層13を有している。すなわち、コア層13は、分岐パターン19に形成された複数のコア部14と拡幅部141および拡幅部142とを有している。
-Branch pattern-
The optical waveguide 1 shown in FIG. 3 has the core layer 13 in which the plurality of core portions 14 including the branch structure and the widened portions 141 and 142 are formed as described above. That is, the core layer 13 has a plurality of core portions 14 formed in the branch pattern 19 and widened portions 141 and 142 .

この分岐パターン19は、内部に反射部16aを備える拡幅部141(第1光路変換コア部)と、拡幅部141から延在するとともに反射部16aと光学的に接続され、拡幅部141よりも幅が小さい本線コア部193と、拡幅部141から延在するとともに反射部16aと光学的に接続され、拡幅部141よりも幅が小さく、かつ、本線コア部193から離間している支線コア部194と、支線コア部194に隣接する拡幅部142と、を備えている。 The branch pattern 19 includes a widened portion 141 ( first optical path conversion core portion) having a reflecting portion 16a therein, and a widened portion 141 extending from the widened portion 141 and optically connected to the reflective portion 16a. and a branch line core portion 194 extending from the widened portion 141 and optically connected to the reflecting portion 16a, having a width smaller than that of the widened portion 141 and spaced apart from the main line core portion 193. and a widened portion 142 adjacent to the branch line core portion 194 .

このうち、拡幅部141は、前述したように、反射部16aを内部に備えている。内部に備えるとは、コア層13を平面視したとき、拡幅部141の内側に反射部16aを内包している状態を指す。このようにして反射部16aを内部に備えることにより、反射部16aにおいて側面クラッド部15やクラッド層11、12よりも屈折率の高い材料が露出している面積を大きく確保することができる。その結果、反射部16aにおいて反射損失が小さい領域をより大きく確保することができる。 Among them, the widened portion 141 includes the reflecting portion 16a therein, as described above. "Internally provided" refers to a state in which the reflecting portion 16a is included inside the widened portion 141 when the core layer 13 is viewed from above. By providing the reflective portion 16a inside in this way, it is possible to ensure a large area where the material having a higher refractive index than the side clad portion 15 and the clad layers 11 and 12 is exposed in the reflective portion 16a. As a result, it is possible to secure a larger region with a small reflection loss in the reflecting portion 16a.

このような分岐パターン19が形成されていることにより、反射部16aに入射した光は、2つに分配され、本線コア部193と支線コア部194からそれぞれ出射する。したがって、例えば本線コア部193から通信用の光を取り出す一方、支線コア部194からモニター用の光を取り出すことができる。このモニター用の光は、通信用の光に影響を与えることなく、例えば反射部16aから入射した光の品質を検査するために用いられる。したがって、例えばモニター用の光の光強度を検出することにより、発光素子31の健全性を監視することができる。 By forming such a branch pattern 19, the light incident on the reflecting portion 16a is divided into two, and emitted from the main line core portion 193 and the branch line core portion 194, respectively. Therefore, for example, light for communication can be taken out from the main line core portion 193 and light for monitoring can be taken out from the branch line core portion 194 . This monitor light is used for inspecting the quality of the light incident from, for example, the reflecting portion 16a without affecting the communication light. Therefore, the soundness of the light emitting element 31 can be monitored by detecting the light intensity of the monitor light, for example.

なお、光学的に接続とは、接続対称の2つの部位同士が、コア部14を構成する材料、すなわち相対的に屈折率が大きい材料でつながっている状態をいう。 Optically connected means a state in which two symmetrically connected portions are connected to each other by the material forming the core portion 14, that is, the material having a relatively high refractive index.

また、拡幅部141から延在する本線コア部193の線形は、特に限定されないが、拡幅部141から少なくとも所定の長さの範囲では直線的であるのが好ましい。これにより、反射部16aから本線コア部193に入射する光の入射効率を特に高めることができる。その結果、過剰損失を抑制することができる。このとき、所定の長さは、例えば50μmとされる。以下、本線コア部193のうち、拡幅部141から直線的に延在する部分を、基準部分191という。 Further, although the linearity of the main wire core portion 193 extending from the widened portion 141 is not particularly limited, it is preferable that the main wire core portion 193 is straight within at least a predetermined length range from the widened portion 141 . Thereby, the incidence efficiency of the light incident on the main line core portion 193 from the reflecting portion 16a can be particularly enhanced. As a result, excessive loss can be suppressed. At this time, the predetermined length is, for example, 50 μm. A portion of the main wire core portion 193 that extends linearly from the widened portion 141 is hereinafter referred to as a reference portion 191 .

また、本線コア部193のうち、拡幅部141との境界を入射端部1931としたとき、入射端部1931における幅の中心点を光入射点1931aとする。さらに、本線コア部193のうち、入射端部1931から50μmの位置における幅の中心点を基準部分出射点1931bとする。このとき、光入射点1931aと基準部分出射点1931bとを結ぶ直線を仮想直線VLという。 Further, when the boundary between the main line core portion 193 and the widened portion 141 is defined as an incident end portion 1931, the center point of the width of the incident end portion 1931 is defined as a light incident point 1931a. Further, the central point of the width of the main line core portion 193 at a position of 50 μm from the incident end portion 1931 is defined as a reference portion output point 1931b. At this time, a straight line connecting the light incident point 1931a and the reference portion outgoing point 1931b is called a virtual straight line VL.

なお、本明細書における過剰損失とは、光導波路1に入射した光強度のうち、本線コア部193および支線コア部194で出射する光強度以外の損失分のことをいう。
ここで、本実施形態に係る分岐パターン19は、以下の3つの条件を満たしている。
The term "excess loss" as used herein refers to a loss of the light intensity incident on the optical waveguide 1 other than the light intensity emitted from the main line core portion 193 and the branch line core portion 194 .
Here, the branch pattern 19 according to this embodiment satisfies the following three conditions.

[1]本線コア部193および支線コア部194が、それぞれ拡幅部141(第1光路変換コア部)から延在し、かつ、反射部16aと光学的に接続されていること [1] The main line core portion 193 and the branch line core portion 194 each extend from the widened portion 141 ( first optical path changing core portion) and are optically connected to the reflecting portion 16a.

[2]本線コア部193の幅および支線コア部194の幅が、それぞれ拡幅部141(第1光路変換コア部)の幅よりも小さいこと [2] The width of the main line core portion 193 and the width of the branch line core portion 194 are each smaller than the width of the widened portion 141 ( first optical path changing core portion).

[3]本線コア部193と支線コア部194とが互いに離間していること
以下、[1]~[3]について順次説明する。
[3] The main line core portion 193 and the branch line core portion 194 are separated from each other [1] to [3] will be sequentially described below.

[1]本線コア部193および支線コア部194が、それぞれ拡幅部141(第1光路変換コア部)から延在し、かつ、反射部16aと光学的に接続されていること
拡幅部141は、前述したように、図3においてコア部14の上端に隣接している部位であって、内部に反射部16aを備えている。そして、本線コア部193および支線コア部194は、それぞれ拡幅部141から図3の下方に向かって延在している。したがって、拡幅部141と本線コア部193との間、および、拡幅部141と支線コア部194との間は、それぞれ屈折率の高い領域でつながっている。このため、反射部16aと本線コア部193との間、および、反射部16aと支線コア部194との間は、それぞれ光学的に接続されている。
[1] The main line core portion 193 and the branch line core portion 194 each extend from the widened portion 141 ( first optical path-changing core portion) and are optically connected to the reflecting portion 16a. As described above, the portion adjacent to the upper end of the core portion 14 in FIG. 3 includes the reflecting portion 16a inside. The main line core portion 193 and the branch line core portion 194 each extend downward in FIG. 3 from the widened portion 141 . Therefore, the widened portion 141 and the main line core portion 193 and the widened portion 141 and the branch line core portion 194 are connected by areas having a high refractive index. Therefore, the reflection portion 16a and the main line core portion 193 and the reflection portion 16a and the branch line core portion 194 are optically connected.

このような分岐パターン19によれば、反射部16aを、本線コア部193と支線コア部194の双方に対して、損失を抑えつつ光学的に接続することができる。このため、反射部16aに入射した光を、効率よく、本線コア部193と支線コア部194に振り分けることができ、過剰損失が小さい光導波路1を実現することができる。 According to such a branch pattern 19, the reflecting portion 16a can be optically connected to both the main line core portion 193 and the branch line core portion 194 while suppressing loss. Therefore, the light incident on the reflecting portion 16a can be efficiently distributed to the main line core portion 193 and the branch line core portion 194, and the optical waveguide 1 with small excess loss can be realized.

[2]本線コア部193の幅および支線コア部194の幅が、それぞれ拡幅部141(第1光路変換コア部)の幅よりも小さいこと
本線コア部193の幅および支線コア部194の幅が、それぞれ拡幅部141の幅よりも小さいため、裏を返すと、拡幅部141の幅は、本線コア部193の幅および支線コア部194の幅よりそれぞれ大きい。このため、拡幅部141は、図3に示すように、余裕を持って、本線コア部193の入射端部1931および支線コア部194の入射端部1943の双方に隣接することができる。また、それに伴って、拡幅部141の内部に設けられる反射部16aについても、その幅を十分に広げることができるので、反射部16aで反射した光を、本線コア部193および支線コア部194の双方に対して効率よく導入することができる。
[2] The width of the main line core portion 193 and the width of the branch line core portion 194 are each smaller than the width of the widened portion 141 ( first optical path changing core portion). , respectively, are smaller than the width of the widened portion 141 , so that when turned inside out, the width of the widened portion 141 is larger than the width of the main line core portion 193 and the width of the branch line core portion 194 . Therefore, as shown in FIG. 3, the widened portion 141 can be adjacent to both the incident end portion 1931 of the main line core portion 193 and the incident end portion 1943 of the branch line core portion 194 with a margin. Further, along with this, the width of the reflecting portion 16 a provided inside the widened portion 141 can be sufficiently widened, so that the light reflected by the reflecting portion 16 a is reflected by the main line core portion 193 and the branch line core portion 194 . It can be efficiently introduced to both.

拡幅部141の幅は、入射端部1931の幅の150~500%であるのが好ましく、200~400%であるのがより好ましい。これにより、拡幅部141は、本線コア部193と支線コア部194の双方に対して隣接することができる程度の十分な幅を有することになる。特に、拡幅部141は、反射部16aを内包する部位であるため、拡幅部141の幅を前記範囲内に設定することにより、反射部16aの幅も十分に広く確保することができる。その結果、例えば反射部16aの幅の中心を仮想直線VLに合わせた場合でも、反射部16aの幅の端を支線コア部194の入射端部1943に合わせることができる。換言すれば、反射部16aの幅の中心は、比較的面精度が高い傾向があるため、この領域を本線コア部193の入射端部1931に合わせることによって、伝搬モードが揃った光を本線コア部193に入射することができる。これにより、伝送効率が高くパルスの鈍りも発生しにくい、高品質な光通信を実現することができる。 The width of the widened portion 141 is preferably 150-500%, more preferably 200-400%, of the width of the incident end portion 1931 . Thereby, the widened portion 141 has a width sufficient to be adjacent to both the main line core portion 193 and the branch line core portion 194 . In particular, since the widened portion 141 is a portion that includes the reflective portion 16a, by setting the width of the widened portion 141 within the above range, the width of the reflective portion 16a can be secured sufficiently wide. As a result, for example, even when the center of the width of the reflecting portion 16a is aligned with the virtual straight line VL, the edge of the width of the reflecting portion 16a can be aligned with the incident end portion 1943 of the branch line core portion 194 . In other words, since the center of the width of the reflecting portion 16a tends to have a relatively high surface accuracy, by aligning this area with the incident end portion 1931 of the main line core portion 193, light with uniform propagation modes can be transmitted to the main line core. It can be incident on the portion 193 . As a result, high-quality optical communication with high transmission efficiency and less occurrence of blunting of pulses can be realized.

これに対し、反射部16aの幅の端は、比較的面精度が低い傾向があるため、反射部16aの幅の端で反射した光は、高次モードを多く含む可能性がある。このため、この領域で反射した光を通信用の光として利用した場合、光通信の品質が低下しやすいという問題がある。 On the other hand, since the edge of the width of the reflecting portion 16a tends to have relatively low surface accuracy, the light reflected at the edge of the width of the reflecting portion 16a may include many high-order modes. Therefore, when the light reflected in this region is used as light for communication, there is a problem that the quality of optical communication tends to deteriorate.

その一方、反射部16aの幅の端で反射した光をモニター用の光として利用する分には、特に問題がない。したがって、反射部16aの幅の端を支線コア部194の入射端部1943に合わせることにより、従来は活用することができていなかった光を有効利用することができる。その結果、通信用の光の光強度を著しく減少させることなく、モニター用の光の光強度を確保することができる。 On the other hand, there is no particular problem in using the light reflected at the edge of the width of the reflecting portion 16a as the light for monitoring. Therefore, by aligning the end of the width of the reflecting portion 16a with the incident end portion 1943 of the branch line core portion 194, it is possible to effectively utilize the light that could not be utilized conventionally. As a result, the light intensity of the monitor light can be ensured without significantly reducing the light intensity of the communication light.

なお、拡幅部141の幅が前記上限値を上回ってもよいが、その場合、反射部16aの幅の中心を仮想直線VLに合わせた場合、反射部16aの幅の端が仮想直線VLから大きく離れることになる。このため、過剰損失が増大するとともに、分岐パターン19の配置密度を高めることが難しくなるおそれがある。 In addition, the width of the widened portion 141 may exceed the upper limit value. will leave. As a result, excessive loss increases, and it may become difficult to increase the arrangement density of branch patterns 19 .

また、本線コア部193の幅および支線コア部194の幅が、それぞれ拡幅部141(第1光路変換コア部)の幅以上である場合、反射部16aから本線コア部193と支線コア部194に光を導入する際、双方に対して光を導入することができないおそれがある。 Further, when the width of the main line core portion 193 and the width of the branch line core portion 194 are each equal to or greater than the width of the widened portion 141 ( first optical path changing core portion), the main line core portion 193 and the branch line core portion 194 from the reflecting portion 16a When introducing light, there is a possibility that the light cannot be introduced to both.

また、本線コア部193の幅は、特に限定されないが、20~80μmであるのが好ましく、25~75μmであるのがより好ましい。これにより、複数の分岐パターン19を並列させるとき、その密度を高めるとともに、小型化を図ることができる。また、伝送効率が低くなるのを抑制することができる。 Although the width of the main wire core portion 193 is not particularly limited, it is preferably 20 to 80 μm, more preferably 25 to 75 μm. As a result, when a plurality of branch patterns 19 are arranged in parallel, the density can be increased and the size can be reduced. Also, it is possible to prevent the transmission efficiency from being lowered.

すなわち、本線コア部193の幅が前記下限値を下回ると、本線コア部193の伝送効率が低下するおそれがある。一方、本線コア部193の幅が前記上限値を上回ると、本線コア部193の配置密度を十分に高めることができないおそれがある。 That is, when the width of the main line core portion 193 is less than the lower limit value, the transmission efficiency of the main line core portion 193 may decrease. On the other hand, if the width of the main wire core portions 193 exceeds the upper limit, there is a possibility that the arrangement density of the main wire core portions 193 cannot be sufficiently increased.

なお、本線コア部193の幅とは、仮想直線VLに直交する方向における長さのことをいう。 The width of the main line core portion 193 refers to the length in the direction orthogonal to the virtual straight line VL.

また、本線コア部193の幅は、その全長にわたって本線コア部193の入射端部1931の幅の80~120%であるのが好ましく、90~110%であるのがより好ましい。これにより、本線コア部193の幅は、全体でほぼ一定になるため、過剰損失が小さく、高品質な光通信を実現可能なものとなる。 The width of the main line core portion 193 is preferably 80 to 120%, more preferably 90 to 110%, of the width of the incident end portion 1931 of the main line core portion 193 over its entire length. As a result, the width of the main line core portion 193 is substantially constant as a whole, so that excess loss is small and high-quality optical communication can be realized.

また、支線コア部194の幅は、本線コア部193の幅と同じであっても、狭くてもよいが、本線コア部193の幅より広いことが好ましい。これにより、通信用の光の光強度を減少させることなく、モニター用の光の光強度を十分に確保することができる。その結果、本線コア部193から出射する通信用の光の光強度と支線コア部194から出射するモニター用の光の光強度とのバランスが良好になる。 Also, the width of the branch line core portion 194 may be the same as or narrower than the width of the main line core portion 193 , but is preferably wider than the width of the main line core portion 193 . As a result, the light intensity of the monitor light can be sufficiently ensured without reducing the light intensity of the communication light. As a result, the light intensity of the communication light emitted from the main line core portion 193 and the light intensity of the monitor light emitted from the branch line core portion 194 are well balanced.

具体的には、支線コア部194の幅は、本線コア部193の入射端部1931の幅の100%超であるのが好ましく、101~200%であるのがより好ましく、110~150%であるのがさらに好ましい。支線コア部194の幅が前記下限値を下回ると、支線コア部194の幅を広げた効果を十分に享受することができないおそれがある。一方、支線コア部194の幅が前記上限値を上回ると、支線コア部194の幅が過剰に広くなるため、分岐パターン19の配置密度を十分に高めることができないおそれがある。 Specifically, the width of the branch line core portion 194 is preferably more than 100%, more preferably 101 to 200%, and more preferably 110 to 150% of the width of the incident end portion 1931 of the main line core portion 193. It is more preferable to have If the width of the branch line core portion 194 is less than the lower limit value, there is a possibility that the effect of widening the width of the branch line core portion 194 cannot be fully enjoyed. On the other hand, when the width of the branch line core portion 194 exceeds the upper limit value, the width of the branch line core portion 194 becomes excessively wide, so there is a possibility that the arrangement density of the branch patterns 19 cannot be sufficiently increased.

[3]本線コア部193と支線コア部194とが互いに離間していること
本線コア部193と支線コア部194とが互いに離間しているとは、本線コア部193と支線コア部194との間に側面クラッド部15が介挿されている状態をいう。
[3] The main line core portion 193 and the branch line core portion 194 are separated from each other The main line core portion 193 and the branch line core portion 194 are separated from each other A state in which the side clad portion 15 is interposed therebetween.

本線コア部193と支線コア部194とが互いに離間していることにより、本線コア部193を伝搬する光が支線コア部194に漏れ出すことが抑制される。これにより、通信用の光の光強度が減少するのを抑制することができる。また、本線コア部193から側面クラッド部15に光が漏れ出したり、反射部16aから側面クラッド部15に光が入射したりした場合でも、これらの漏れ光を支線コア部194に取り込むことができる。これにより、漏れ光が本線コア部193に入射することを抑制し、光通信の品質が低下するのを防止することができる。すなわち、漏れ光を支線コア部194に閉じ込めることにより、漏れ光による光通信への影響を最小限に留めることができる。 Since the main line core portion 193 and the branch line core portion 194 are separated from each other, leakage of light propagating through the main line core portion 193 to the branch line core portion 194 is suppressed. Thereby, it is possible to suppress the decrease in the light intensity of the light for communication. Further, even when light leaks from the main line core portion 193 to the side clad portion 15 or light enters the side clad portion 15 from the reflection portion 16a, the leaked light can be taken into the branch line core portion 194. . As a result, it is possible to suppress the leakage light from entering the main line core portion 193 and prevent the quality of optical communication from deteriorating. That is, by confining the leaked light in the branch line core portion 194, the influence of the leaked light on optical communication can be minimized.

本線コア部193と支線コア部194との離間距離Sは、特に限定されないが、2~30μmであるのが好ましく、4~10μmであるのがより好ましい。離間距離Sを前記範囲内に設定することにより、分岐パターン19の配置密度を高めつつ、本線コア部193から支線コア部194に漏れ出す光の光強度を最小限に留めることができる。その結果、光導波路1の小型化と光通信の高品質化とを両立させることができる。 A distance S between the main line core portion 193 and the branch line core portion 194 is not particularly limited, but is preferably 2 to 30 μm, more preferably 4 to 10 μm. By setting the separation distance S within the above range, the light intensity of light leaking from the main line core portion 193 to the branch line core portion 194 can be minimized while increasing the arrangement density of the branch patterns 19 . As a result, it is possible to achieve both miniaturization of the optical waveguide 1 and high quality of optical communication.

なお、離間距離Sが前記下限値を下回ると、本線コア部193から支線コア部194に漏れ出す光の光強度が増加するおそれがある。一方、離間距離Sが前記上限値を上回ると、側面クラッド部15に漏れ出す光の光強度が増加し、過剰損失が増加するおそれがある。 If the separation distance S is less than the lower limit value, the light intensity of light leaking from the main line core portion 193 to the branch line core portion 194 may increase. On the other hand, if the separation distance S exceeds the upper limit value, the light intensity of the light leaking to the side clad portion 15 increases, and there is a possibility that the excess loss increases.

以上のような3つの条件を満たすことにより、光導波路1は、過剰損失が小さく、かつ、小型化が図られたものとなる。 By satisfying the above three conditions, the optical waveguide 1 has a small excess loss and is miniaturized.

また、光モジュール100は、前述したように、光導波路1と、電気基板2と、光導波路1と光学的に接続されている発光素子31および受光素子32と、を有している。このような光モジュール100では、光導波路1においてモニター用の光を受光素子32で受光し、その光強度を監視しつつ、通信用の光に十分な光強度を確保して、高品質な光通信が可能になっている。つまり、モニター用の光に十分な光強度を確保しつつ、通信用の光を高めることができるので、これらのバランスを良好に保ち、しかも、光導波路1における過剰損失が小さいため、高品質な光通信を可能にしつつ、発光素子31の健全性を常時監視可能であるという付加価値も有している。また、光モジュール100は、小型化も可能であり、様々な電子機器に搭載可能である。したがって、かかる光モジュール100は、信頼性の高いものとなる。 Further, the optical module 100 has the optical waveguide 1, the electric substrate 2, and the light emitting element 31 and the light receiving element 32 optically connected to the optical waveguide 1, as described above. In such an optical module 100, light for monitoring is received by the light receiving element 32 in the optical waveguide 1, and while monitoring the light intensity, sufficient light intensity is secured for light for communication, and high quality light is obtained. Communication is enabled. In other words, since the light for communication can be enhanced while securing sufficient light intensity for the light for monitoring, the balance between these can be maintained well, and since the excess loss in the optical waveguide 1 is small, high quality can be achieved. While enabling optical communication, it also has the added value of being able to constantly monitor the soundness of the light emitting element 31 . Also, the optical module 100 can be miniaturized and can be mounted on various electronic devices. Therefore, such an optical module 100 has high reliability.

なお、制御素子4は、受光素子32によってモニター用の光の光強度を監視し、例えば光強度が閾値を下回った場合には、警告を発報したり、発光素子31の駆動を停止したりしてもよい。また、光強度の変動によって、発光素子31の劣化状況を予測し、不具合に至る前に発光素子31の交換を促すことも可能である。 In addition, the control element 4 monitors the light intensity of the light for monitoring by the light receiving element 32, and, for example, when the light intensity falls below a threshold value, issues a warning or stops driving the light emitting element 31. You may It is also possible to predict the deterioration state of the light-emitting element 31 based on the fluctuation of the light intensity, and to encourage the replacement of the light-emitting element 31 before failure occurs.

また、支線コア部194の長さL1は、800~10000μmであるのが好ましく、900~8000μmであるのがより好ましく、1000~7000μmであるのがさらに好ましい。長さL1を前記範囲内に設定することにより、光導波路1や光モジュール100の小型化を図ることができる。なお、長さL1が前記下限値を下回ると、本線コア部193や支線コア部194をより大きな曲率で曲げなければ、支線コア部194の出射端部1944に隣接して設けられた拡幅部142に必要なスペースを確保することが難しくなるおそれがある。そして、大きな曲率で曲げた場合、本線コア部193や支線コア部194における曲げ損失が増大し、光導波路1の過剰損失が増大するおそれがある。 Also, the length L1 of the branch line core portion 194 is preferably 800 to 10000 μm, more preferably 900 to 8000 μm, even more preferably 1000 to 7000 μm. By setting the length L1 within the above range, the size of the optical waveguide 1 and the optical module 100 can be reduced. If the length L1 is less than the lower limit, the widened portion 142 provided adjacent to the output end portion 1944 of the branch line core portion 194 must bend the main line core portion 193 and the branch line core portion 194 with a larger curvature. It may be difficult to secure the necessary space for When the optical waveguide 1 is bent with a large curvature, the bending loss increases in the main line core portion 193 and the branch line core portion 194, and the excess loss of the optical waveguide 1 may increase.

なお、支線コア部194の長さL1は、支線コア部194の仮想直線VLに沿った長さのことをいう。 The length L1 of the branch line core portion 194 refers to the length of the branch line core portion 194 along the imaginary straight line VL.

また、本線コア部193の長さL2は、支線コア部194の長さL1より短くてもよいが、長いことが好ましい。これにより、本線コア部193の出射端部1932に前述したMT型光コネクター62を装着するとき、MT型光コネクター62が反射部16bに干渉してしまうのを防止することができる。 Also, the length L2 of the main line core portion 193 may be shorter than the length L1 of the branch line core portion 194, but is preferably longer. This prevents the MT optical connector 62 from interfering with the reflecting portion 16b when the MT optical connector 62 is attached to the output end portion 1932 of the main line core portion 193 .

なお、長さL2は、特に限定されないが、1000μm~100mmであるのが好ましく、1500μm~50mmであるのがより好ましい。これにより、光導波路1および光モジュール100の十分な小型化が図られる。 Although the length L2 is not particularly limited, it is preferably 1000 μm to 100 mm, more preferably 1500 μm to 50 mm. Thereby, the optical waveguide 1 and the optical module 100 can be sufficiently miniaturized.

また、図3に示す支線コア部194は、曲がる方向が異なる2つの部位として、第1形状曲線部1941および第2形状曲線部1942を含んでいる。 Further, the branch line core portion 194 shown in FIG. 3 includes a first shape curved portion 1941 and a second shape curved portion 1942 as two portions that bend in different directions.

図5は、図3に示す支線コア部194を拡大して示す図である。また、図6は、図5に示す第2形状曲線部1942を模式的に強調して示す図であり、図7は、図5に示す第1形状曲線部1941を模式的に強調して示す図である。なお、図5~7では、それぞれ支線コア部194の線形における曲率を図3に比べて強調している。 FIG. 5 is an enlarged view of the branch line core portion 194 shown in FIG. Moreover, FIG. 6 is a diagram schematically emphasizing the second shape curved portion 1942 shown in FIG. 5, and FIG. 7 schematically emphasizing the first shape curved portion 1941 shown in FIG. It is a diagram. 5 to 7, the linear curvature of the branch line core portion 194 is emphasized compared to FIG.

図3に示す支線コア部194は、図5に強調して示すように、拡幅部141から延出する第2形状曲線部1942と、そこから延出する第1形状曲線部1941と、を含んでいる。 The branch line core portion 194 shown in FIG. 3 includes a second shape curved portion 1942 extending from the widened portion 141 and a first shape curved portion 1941 extending therefrom, as shown emphasized in FIG. I'm in.

ここで、支線コア部194の幅の中心点の集合体を支線中心軸C2とする。このとき、図3に示す支線コア部194は、その延在方向に沿って拡幅部141から遠ざかるように移動するとき、コア層13の平面視において、図6に示すように、支線中心軸C2の接線TL21、TL22、TL23と仮想直線VLとのなす角度のうち鋭角側の角度β1、β2、β3が徐々に大きくなるように曲がっている第2形状曲線部1942と、図7に示すように、支線中心軸C2の接線TL11、TL12、TL13と仮想直線VLとのなす角度のうち鋭角側の角度α1、α2、α3が徐々に小さくなるように曲がっている第1形状曲線部1941と、を含む。 Here, a set of center points of the width of the branch line core portion 194 is defined as a branch line central axis C2. At this time, when the branch line core portion 194 shown in FIG. 3 moves away from the widened portion 141 along its extending direction, in a plan view of the core layer 13, as shown in FIG. of the angles formed by the tangents TL21, TL22, TL23 and the imaginary straight line VL, the angles β1, β2, β3 on the acute side gradually increase, and , and a first shape curve portion 1941 that curves so that angles α1, α2, and α3 on the acute side of the angles formed by the tangent lines TL11, TL12, and TL13 of the branch center axis C2 and the imaginary straight line VL gradually decrease. include.

このうち、図6に示す第2形状曲線部1942では、支線中心軸C2上の互いに離れた3点について接線TL21、TL22、TL23を引いている。この接線TL21、TL22、TL23は、拡幅部141側からこの順で並んでいる。そして、接線TL21と仮想直線VLとのなす角度のうち鋭角側の角度をβ1とし、接線TL22と仮想直線VLとのなす角度のうち鋭角側の角度をβ2とし、接線TL23と仮想直線VLとのなす角度のうち鋭角側の角度をβ3としたとき、β1<β2<β3の関係を満たしている。 Of these, in the second shape curved portion 1942 shown in FIG. 6, tangent lines TL21, TL22, and TL23 are drawn at three mutually separated points on the branch line central axis C2. The tangent lines TL21, TL22, and TL23 are arranged in this order from the widened portion 141 side. Among the angles formed by the tangent line TL21 and the imaginary straight line VL, the angle on the acute side is defined as β1. When the acute angle is β3, the relationship β1<β2<β3 is satisfied.

このような第2形状曲線部1942を含むことにより、支線コア部194を本線コア部193から徐々に離すことができる。これにより、支線コア部194における曲げ損失を抑制することができる。また、支線コア部194の出射端部1944を接続する反射部16bとして、十分な大きさの反射部16bを設けるためのスペースを確保することができる。その結果、反射部16bにおける反射損失を十分に抑制することができる。 By including such a second shape curved portion 1942 , the branch line core portion 194 can be gradually separated from the main line core portion 193 . Thereby, the bending loss in the branch line core portion 194 can be suppressed. In addition, it is possible to secure a space for providing a reflecting portion 16b having a sufficient size as the reflecting portion 16b connecting the output end portion 1944 of the branch line core portion 194. FIG. As a result, it is possible to sufficiently suppress the reflection loss in the reflecting portion 16b.

一方、図7に示す第1形状曲線部1941では、支線中心軸C2上の互いに離れた3点について接線TL11、TL12、TL13を引いている。この接線TL11、TL12、TL13は、拡幅部141側からこの順で並んでいる。そして、接線TL11と仮想直線VLとのなす角度のうち鋭角側の角度をα1とし、接線TL12と仮想直線VLとのなす角度のうち鋭角側の角度をα2とし、接線TL13と仮想直線VLとのなす角度のうち鋭角側の角度をα3としたとき、α1>α2>α3の関係を満たしている。 On the other hand, in the first shape curved portion 1941 shown in FIG. 7, tangent lines TL11, TL12, and TL13 are drawn at three mutually separated points on the branch line central axis C2. The tangent lines TL11, TL12, and TL13 are arranged in this order from the widened portion 141 side. Among the angles formed by the tangent line TL11 and the imaginary straight line VL, the angle on the acute side is α1, the angle formed by the tangent line TL12 and the imaginary line VL on the acute side is α2, and Assuming that the angle on the acute side of the formed angle is α3, the relationship of α1>α2>α3 is satisfied.

このような第1形状曲線部1941を含むことにより、支線コア部194を本線コア部193に向けて徐々に近づけることができる。これにより、双方の離間距離が広くなりすぎるのを防止して、分岐パターン19の幅を最適化することができる。 By including such a first shape curved portion 1941 , the branch line core portion 194 can be gradually brought closer to the main line core portion 193 . As a result, the width of the branch pattern 19 can be optimized by preventing the distance between the two from becoming too wide.

以上のことから、第1形状曲線部1941および第2形状曲線部1942を含むことにより、小型化を図りつつ、曲げ損失および反射損失を抑え、過剰損失の小さい光導波路1を実現することができる。 From the above, by including the first shape curved portion 1941 and the second shape curved portion 1942, it is possible to realize the optical waveguide 1 with small excessive loss by suppressing bending loss and reflection loss while achieving miniaturization. .

なお、第1形状曲線部1941および第2形状曲線部1942の曲率は、曲げ損失の観点のみからするとできるだけ小さい方がよい。すなわち、曲率半径はできるだけ大きい方がよい。しかしながら、曲率半径が大きいと、拡幅部142を配置するスペースを確保するために、長さL1を非常に長くすることが求められる。そうすると、光導波路1や光モジュール100の小型化が困難になるおそれがある。 It is preferable that the curvatures of the first shape curved portion 1941 and the second shape curved portion 1942 are as small as possible only from the viewpoint of bending loss. That is, the radius of curvature should be as large as possible. However, if the radius of curvature is large, the length L1 must be made very long in order to secure a space for arranging the widened portion 142 . If so, it may become difficult to miniaturize the optical waveguide 1 and the optical module 100 .

そこで、第1形状曲線部1941および第2形状曲線部1942の曲率半径は、それぞれ0.30~5.0mmであるのが好ましく、0.50~3.0mmであるのがより好ましく、1.0~2.5mmであるのがさらに好ましい。曲率半径を前記範囲内に設定することにより、曲げ損失を許容範囲内に抑えつつ、光導波路1の十分な小型化を図ることができる。 Therefore, the radius of curvature of the first curved portion 1941 and the second curved portion 1942 is preferably 0.30 to 5.0 mm, more preferably 0.50 to 3.0 mm. More preferably 0 to 2.5 mm. By setting the radius of curvature within the above range, it is possible to sufficiently reduce the size of the optical waveguide 1 while suppressing the bending loss within the allowable range.

なお、第1形状曲線部1941および第2形状曲線部1942の曲率半径は、支線中心軸C2の曲率半径として求められる。 The curvature radii of the first shape curved portion 1941 and the second shape curved portion 1942 are obtained as the curvature radius of the branch line central axis C2.

また、支線コア部194は、第1形状曲線部1941および第2形状曲線部1942以外の部位として、直線状に延在する部位を含んでいてもよい。 In addition, branch line core portion 194 may include a linearly extending portion as a portion other than first shape curved portion 1941 and second shape curved portion 1942 .

また、本実施形態では、図3に示すように、本線コア部193が仮想直線VLに沿って直線状に伸びている。このとき、仮想直線VLと支線中心軸C2との最大距離L3は、50~150μmであるのが好ましく、75~125μmであるのがより好ましい。これにより、分岐パターン19の幅を十分に狭くすることができる。このため、例えば図3に示すように複数の分岐パターン19を並列に配置したとき、配置の密度を高めやすくなる。その結果、小型化と多チャンネル化とを両立させた光導波路1および光モジュール100を実現することができる。 In addition, in the present embodiment, as shown in FIG. 3, the main wire core portion 193 extends linearly along the imaginary straight line VL. At this time, the maximum distance L3 between the virtual straight line VL and the branch line central axis C2 is preferably 50 to 150 μm, more preferably 75 to 125 μm. Thereby, the width of the branch pattern 19 can be sufficiently narrowed. Therefore, for example, when a plurality of branch patterns 19 are arranged in parallel as shown in FIG. 3, the arrangement density can be easily increased. As a result, it is possible to realize the optical waveguide 1 and the optical module 100 that are both compact and multi-channel.

なお、最大距離L3が前記下限値を下回ると、拡幅部142に必要なスペースを確保することができず、そこに設けられる凹部161の幅も制限されることとなる。その結果、反射部16bを介した光路変換に伴う反射損失が増大するおそれがある。一方、最大距離L3が前記上限値を上回ると、分岐パターン19の配置密度が低下し、小型化と多チャンネル化との両立が困難になるおそれがある。また、支線コア部194の線形において曲率をより大きくする必要が生じるため、モニター用の光の光強度が減少するおそれがある。 If the maximum distance L3 is less than the lower limit, the space required for the widened portion 142 cannot be secured, and the width of the recessed portion 161 provided therein is also limited. As a result, there is a risk that the reflection loss associated with the optical path change via the reflecting portion 16b will increase. On the other hand, if the maximum distance L3 exceeds the upper limit value, the arrangement density of the branch patterns 19 is lowered, and it may become difficult to achieve both miniaturization and multi-channel. Further, since it is necessary to increase the curvature in the linear shape of the branch line core portion 194, the light intensity of the light for monitoring may decrease.

また、本線コア部193が直線状に伸びている場合、曲げ損失がないため、通信用の光の光強度を実質的に最大化することができる。なお、本線コア部193は、図示した形状に限定されず、曲線状に伸びていてもよいし、直線状に伸びている部位と曲線状に伸びている部位の双方を含んでいてもよい。 Further, when the main line core portion 193 extends linearly, there is no bending loss, so the optical intensity of the light for communication can be substantially maximized. Note that the main wire core portion 193 is not limited to the illustrated shape, and may extend in a curved shape, or may include both a linearly extending portion and a curved portion.

また、図3に示す分岐パターン19は、コア層13の平面視において、本線コア部193の延長線193Eおよび支線コア部194の延長線194Eの双方が反射部16aと交差している。すなわち、本線コア部193を拡幅部141側に延長してなる延長線193E、および、支線コア部194を拡幅部141側に延長してなる延長線194Eは、図3に示すコア層13の平面視において、それぞれ反射部16aと重なっている。これにより、例えば反射部16aで反射した光を、効率よく本線コア部193および支線コア部194に導入することができる。また、拡幅部141自体を光の分岐構造として用いることもできる。したがって、小型であっても過剰損失が小さい光導波路1が得られる。 In the branch pattern 19 shown in FIG. 3, both the extension line 193E of the main line core portion 193 and the extension line 194E of the branch line core portion 194 intersect the reflecting portion 16a in plan view of the core layer 13 . That is, an extension line 193E formed by extending the main line core portion 193 toward the widened portion 141 side and an extended line 194E formed by extending the branch line core portion 194 toward the widened portion 141 side are the plane of the core layer 13 shown in FIG. Visually, they overlap with the reflecting portions 16a. Thereby, for example, the light reflected by the reflecting portion 16 a can be efficiently introduced into the main line core portion 193 and the branch line core portion 194 . Also, the widened portion 141 itself can be used as a light branching structure. Therefore, it is possible to obtain the optical waveguide 1 having a small excess loss even if it is small.

なお、延長線193Eについては、その幅の全体が反射部16aと交差することが好ましい。これにより、本線コア部193に導入される光強度を十分に確保することができる。一方、延長線194Eについては、その幅の全体が反射部16aと交差していてもよいが、その幅の一部が反射部16aと交差していることが好ましい。これにより、支線コア部194に導入される光強度を必要かつ十分に確保しつつ、反射部16aで反射されても無駄になってしまう光を減らすことができる。その結果、過剰損失が小さい光導波路1が得られる。 It is preferable that the extension line 193E intersects the reflecting portion 16a over its entire width. Thereby, the intensity of the light introduced into the main line core portion 193 can be sufficiently ensured. On the other hand, the extension line 194E may cross the reflecting portion 16a over its entire width, but it is preferable that a part of its width crosses the reflecting portion 16a. As a result, the necessary and sufficient intensity of light introduced into the branch line core portion 194 can be ensured, and the amount of light that is wasted even if reflected by the reflecting portion 16a can be reduced. As a result, an optical waveguide 1 with small excess loss is obtained.

なお、延長線193E、194Eは、反射部16aの傾斜角度等によっては、必ずしも上記のような配置になっていなくてもよい。また、延長線193E、194Eについては、図3において斜線を付して示している。 Note that the extension lines 193E and 194E do not necessarily have to be arranged as described above depending on the inclination angle of the reflecting portion 16a. Further, the extension lines 193E and 194E are hatched in FIG.

また、本実施形態に係るコア層13は、仮想直線VLに交差する方向に沿って並ぶ複数の分岐パターン19を備えている。これにより、各分岐パターン19に対して、互いに独立した複数の光信号を同時に入射することができるので、例えば多チャンネルの光ファイバーに対しても接続可能になり、大容量の光通信が可能になる。なお、コア層13中に形成される分岐パターン19の数は、特に限定されないが、1~100本程度であるのが好ましい。なお、分岐パターン19の数が多い場合は、必要に応じて光導波路1を多層化してもよい。具体的には、図4に示すクラッド層12上に、さらにコア層とクラッド層とを交互に重ねることにより多層化することができる。 Further, the core layer 13 according to this embodiment includes a plurality of branch patterns 19 arranged along the direction intersecting the virtual straight line VL. As a result, a plurality of mutually independent optical signals can be simultaneously input to each branch pattern 19, so that, for example, multi-channel optical fibers can be connected, enabling large-capacity optical communication. . Although the number of branch patterns 19 formed in the core layer 13 is not particularly limited, it is preferably about 1 to 100. If the number of branch patterns 19 is large, the optical waveguide 1 may be multi-layered as necessary. More specifically, a multilayer structure can be formed by alternately stacking core layers and clad layers on the clad layer 12 shown in FIG.

なお、隣り合う分岐パターン19同士の離間距離、すなわち、図3に示す隣り合う分岐パターン19の仮想直線VL同士の距離L4は、特に限定されないが、100~250μmであるのが好ましく、150~250μmであるのがより好ましい。これにより、分岐パターン19同士の干渉を避けつつ、分岐パターン19の配置密度を十分に高めることができる。その結果、光導波路1の小型化と多チャンネル化とを両立させることができる。このため、モニター用の光の光強度の検出精度が低下したり、光通信の品質が低下したりするのを抑制することができる。 The distance between the adjacent branch patterns 19, that is, the distance L4 between the virtual straight lines VL of the adjacent branch patterns 19 shown in FIG. is more preferable. Thereby, the arrangement density of the branch patterns 19 can be sufficiently increased while avoiding interference between the branch patterns 19 . As a result, it is possible to achieve both miniaturization and multi-channeling of the optical waveguide 1 . Therefore, it is possible to prevent deterioration in the detection accuracy of the light intensity of the monitor light and deterioration in the quality of optical communication.

また、本線コア部193から出射する光強度を本線出射強度とし、支線コア部194から出射する光強度を支線出射強度とするとき、本線出射強度に対する支線出射強度の比(分岐比)は、-25dB以上であることが好ましく、-20~-10dBであることがより好ましい。このような分岐比であれば、本線コア部193から出射する通信用の光の光強度と、支線コア部194から出射するモニター用の光の光強度と、のバランスが特に良好になる。すなわち、光通信の品質を著しく低下させることなく、モニター用の光の光強度を十分に確保することができる。その結果、良好な光通信を行いながら、同時に、発光素子31の健全性をより正確に監視し続けることができる。 Further, when the light intensity emitted from the main line core portion 193 is defined as the main line output intensity, and the light intensity emitted from the branch line core portion 194 is defined as the branch line output intensity, the ratio of the branch line output intensity to the main line output intensity (branch ratio) is − It is preferably 25 dB or more, more preferably -20 to -10 dB. With such a branching ratio, the light intensity of the communication light emitted from the main line core portion 193 and the light intensity of the monitor light emitted from the branch line core portion 194 are particularly well balanced. In other words, the light intensity of the monitor light can be sufficiently ensured without remarkably degrading the quality of optical communication. As a result, it is possible to continue to monitor the soundness of the light emitting element 31 more accurately while performing good optical communication.

<電子機器>
上述したような本発明の光導波路によれば、前述したように、モニター用の光の光強度を監視可能になっており、かつ、通信用の光の光強度を十分に確保することができるので、電子機器に対して、発光素子31の健全性を監視する機能を容易に付与可能である。しかも、光導波路1は、過剰損失が小さく、かつ、小型化が図られているため、高品質な光通信が可能で、かつ、電子機器の小型化を容易にする。したがって、本発明の光導波路を備えることにより、信頼性の高い電子機器(本発明の電子機器)が得られる。
<Electronic equipment>
According to the optical waveguide of the present invention as described above, as described above, the light intensity of the monitor light can be monitored, and the light intensity of the communication light can be sufficiently secured. Therefore, the function of monitoring the soundness of the light emitting element 31 can be easily imparted to the electronic device. Moreover, since the optical waveguide 1 has a small excess loss and is miniaturized, high-quality optical communication is possible, and miniaturization of electronic equipment is facilitated. Therefore, by providing the optical waveguide of the present invention, a highly reliable electronic device (the electronic device of the present invention) can be obtained.

本発明の電子機器としては、例えば、スマートフォン、タブレット端末、携帯電話、ゲーム機、ルーター装置、WDM装置、パソコン、テレビ、サーバー、スーパーコンピューター等の電子機器類が挙げられる。 Examples of the electronic device of the present invention include electronic devices such as smart phones, tablet terminals, mobile phones, game machines, router devices, WDM devices, personal computers, televisions, servers, and supercomputers.

以上、本発明の光導波路、光モジュールおよび電子機器を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。 Although the optical waveguide, optical module, and electronic device of the present invention have been described above based on the illustrated embodiments, the present invention is not limited to these.

例えば、前記実施形態では、光導波路と受発光素子との間にレンズを配置しているが、このレンズは必要に応じて設けられればよく、省略されてもよい。また、光モジュールの筐体も、省略されてもよい。 For example, in the above embodiments, a lens is arranged between the optical waveguide and the light emitting/receiving element, but this lens may be provided as required and may be omitted. Also, the housing of the optical module may be omitted.

また、光モジュールが備える光コネクターの形状は、特に限定されず、いかなる形状であってもよい。また、光コネクターは、必要に応じて設けられればよく、例えば光導波路と光ファイバーとが直接接続されていてもよいし、光導波路に設けられた反射部を介して光ファイバーと接続されていてもよい。 Also, the shape of the optical connector included in the optical module is not particularly limited, and may be any shape. Also, the optical connector may be provided as necessary, for example, the optical waveguide and the optical fiber may be directly connected, or the optical connector may be connected to the optical fiber via a reflector provided in the optical waveguide. .

また、電気基板は、リジッド基板、フレキシブル基板のような樹脂基板がよく用いられるが、セラミックス基板やガラス基板等であってもよい。 Moreover, as the electric substrate, a resin substrate such as a rigid substrate or a flexible substrate is often used, but a ceramic substrate, a glass substrate, or the like may also be used.

1 光導波路
2 電気基板
4 制御素子
5 レンズアレイ
7 筐体
10 積層体
11 クラッド層
12 クラッド層
13 コア層
14 コア部
15 側面クラッド部
16a 反射部
16b 反射部
17 下側保護層
18 上側保護層
19 分岐パターン
21 絶縁基板
22 導電層
23 接点
31 発光素子
32 受光素子
51 底部
52 壁部
53 空洞
54 レンズ
61 レセプタクル
62 MT型光コネクター
81 電気配線
82 電気コネクター
91 光ファイバー
92 MPO型光コネクター
100 光モジュール
141 拡幅部
142 拡幅部
160 凹部
161 凹部
191 基準部分
193 本線コア部
193E 延長線
194 支線コア部
194E 延長線
611 MT型受容部
612 MPO型受容部
1931 入射端部
1931a 光入射点
1931b 基準部分出射点
1932 出射端部
1941 第1形状曲線部
1942 第2形状曲線部
1943 入射端部
1944 出射端部
C2 支線中心軸
L3 最大距離
L4 距離
P1 光路
P2 光路
S 離間距離
TL11 接線
TL12 接線
TL13 接線
TL21 接線
TL22 接線
TL23 接線
VL 仮想直線
1 Optical waveguide 2 Electric substrate 4 Control element 5 Lens array 7 Case 10 Laminate 11 Cladding layer 12 Cladding layer 13 Core layer 14 Core portion 15 Side clad portion 16a Reflecting portion 16b Reflecting portion 17 Lower protective layer 18 Upper protective layer 19 Branch pattern 21 Insulating substrate 22 Conductive layer 23 Contact 31 Light emitting element 32 Light receiving element 51 Bottom 52 Wall 53 Cavity 54 Lens 61 Receptacle 62 MT optical connector 81 Electrical wiring 82 Electrical connector 91 Optical fiber 92 MPO optical connector 100 Optical module 141 Widening Part 142 Widened part 160 Recessed part 161 Recessed part 191 Reference part 193 Main line core part 193E Extension line 194 Branch line core part 194E Extension line 611 MT type receiving part 612 MPO type receiving part 1931 Incidence end 1931a Light incidence point 1931b Reference part emission point 1932 Output End 1941 First shape curved portion 1942 Second shape curved portion 1943 Incident end 1944 Output end C2 Branch line central axis L3 Maximum distance L4 Distance P1 Optical path P2 Optical path S Spacing distance TL11 Tangent line TL12 Tangent line TL13 Tangent line TL21 Tangent line TL22 Tangent line TL23 Tangent line VL virtual straight line

Claims (9)

内部に第1反射部を備える第1光路変換コア部と、
前記第1光路変換コア部から延在するとともに前記第1反射部と光学的に接続され、前記第1光路変換コア部および前記第1反射部の双方よりも幅が小さい本線コア部と、
前記第1光路変換コア部から延在するとともに前記第1反射部と光学的に接続され、前記第1光路変換コア部および前記第1反射部の双方よりも幅が小さく、かつ、前記本線コア部から離間している支線コア部と、
内部に第2反射部を備える第2光路変換コア部と、
を備える分岐パターンが形成されているコア層を有し、
前記本線コア部の長さは、前記支線コア部の長さよりも長くなっており、
前記コア層の平面視において、前記本線コア部の延長線の幅の全体、および、前記支線コア部の延長線の幅の一部が、前記第1反射部と交差するように前記分岐パターンが形成されており、
前記第1反射部を介して発光素子からの光が前記本線コア部および前記支線コア部に入射されるとともに、前記第2反射部を介して前記支線コア部からの光が受光素子に入射するように用いられることを特徴とする光導波路。
a first optical path-changing core portion having a first reflecting portion inside;
a main line core portion extending from the first optical path-changing core portion and optically connected to the first reflecting portion and having a width smaller than both the first optical path-changing core portion and the first reflecting portion;
Extending from the first optical path-changing core portion and optically connected to the first reflecting portion, having a smaller width than both the first optical path-changing core portion and the first reflecting portion, and the main line core a branch line core portion spaced apart from the portion;
a second optical path changing core portion having a second reflecting portion inside;
having a core layer formed with a branched pattern comprising
The length of the main line core portion is longer than the length of the branch line core portion,
In a plan view of the core layer, the branch pattern is such that the entire width of the extension line of the main line core portion and part of the width of the extension line of the branch line core portion intersect the first reflecting portion. is formed and
Light from the light-emitting element enters the main line core portion and the branch line core portion through the first reflecting portion, and light from the branch line core portion enters the light receiving element through the second reflecting portion. An optical waveguide characterized by being used as follows.
前記本線コア部の幅は、20~80μmである請求項1に記載の光導波路。 2. The optical waveguide according to claim 1, wherein the main line core portion has a width of 20 to 80 μm. 前記コア層の主材料は、樹脂材料である請求項1または2に記載の光導波路。 3. The optical waveguide according to claim 1, wherein the main material of said core layer is a resin material. 前記支線コア部の長さは、800~10000μmである請求項1ないし3のいずれか1項に記載の光導波路。 4. The optical waveguide according to any one of claims 1 to 3, wherein the branch line core portion has a length of 800 to 10000 µm. 前記本線コア部のうち、前記光路変換コア部との境界における幅の中心点と、前記光路変換コア部から50μmの位置における幅の中心点と、を結ぶ直線を仮想直線とし、
前記支線コア部の幅の中心点の集合体を支線中心軸としたとき、
前記支線コア部は、その延在方向に沿って前記光路変換コア部から遠ざかるように移動するとき、前記コア層の平面視において前記支線中心軸の接線と前記仮想直線とのなす角度の鋭角側が徐々に小さくなるように曲がっている第1形状曲線部と、前記コア層の平面視において前記支線中心軸の接線と前記仮想直線とのなす角度の鋭角側が徐々に大きくなるように曲がっている第2形状曲線部と、を含む請求項1ないし4のいずれか1項に記載の光導波路。
A straight line connecting a center point of the width of the main line core portion at the boundary with the optical path-changing core portion and a center point of the width at a position 50 μm from the optical path-changing core portion is defined as a virtual straight line,
When the aggregate of the center points of the width of the branch line core portion is defined as the branch line central axis,
When the branch line core portion moves away from the optical path changing core portion along its extending direction, the acute angle side of the angle formed by the tangent to the central axis of the branch line and the imaginary straight line in plan view of the core layer is A first curved portion that gradually decreases in size, and a second curved portion that gradually increases in angle formed by a tangent to the central axis of the branch line and the imaginary straight line in a plan view of the core layer. 5. The optical waveguide according to any one of claims 1 to 4, comprising a two-shaped curved portion.
前記コア層を厚さ方向に貫通する第1凹部および第2凹部を備え、
前記第1反射部は、前記第1凹部の内面の一部であり、
前記第2反射部は、前記第2凹部の内面の一部である請求項1ないし5のいずれか1項に記載の光導波路。
A first recess and a second recess penetrating the core layer in the thickness direction ,
The first reflecting portion is a part of the inner surface of the first concave portion,
The optical waveguide according to any one of claims 1 to 5, wherein the second reflecting portion is part of the inner surface of the second concave portion.
前記コア層は、前記本線コア部の延在方向に交差する方向に沿って並ぶ複数の前記分岐パターンを備えている請求項1ないし6のいずれか1項に記載の光導波路。 7. The optical waveguide according to any one of claims 1 to 6, wherein the core layer has a plurality of branch patterns arranged along a direction crossing the extending direction of the main line core portion. 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の光導波路と、
前記反射部と光学的に接続されている発光素子と、
前記支線コア部と光学的に接続されている受光素子と、
を有することを特徴とする光モジュール。
an optical waveguide according to any one of claims 1 to 7;
a light emitting element optically connected to the reflecting section;
a light receiving element optically connected to the branch line core portion;
An optical module characterized by comprising:
請求項1ないし7のいずれか1項に記載の光導波路を備えることを特徴とする電子機器。 An electronic device comprising the optical waveguide according to any one of claims 1 to 7.
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