JP7185756B2 - 電磁場のアクロマティックな干渉重畳による干渉分光法 - Google Patents
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Description
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5.L.Genzel、J.Kuhl共著、Infrared Physics 18,2(1978年)
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15.T.W.Haensch、B.Couillaud共著、Opt.Commun.35,3(1980年)
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17.M.Scotoni、A.Rossi、D.Bassi、R.Buffa、S.Iannotta、A.Boschetti共著、Appl.Phys.B 82,3(2006年)
18.A.Loberau、W.Kaiser共著、Rev.Mod.Phys.50,3(1978年)
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20.J.Ye、S.T.Cundiff共著、Femtosecond Optical Frequency Comb Technology(Springer,2005年)
21.M.Tonouchi著、Nat.Phot.1,2(2007年)
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23.A.A.Lanin、A.A.Voronin、A.B.Fedotov、A.M.Zheltikov共著、Sci.Rep.4(2014年)
24.I.Pupeza、M.Huber、W.Schweinberger、M.Trubetskov、S.A.Hussain、L.Vamos、O.Pronin、F.Habel、V.Pervak、N.Karpowicz、M.Zigman、F.Krausz共著、2017 European Conference on Lasers and Electro-Optics-European Quantum Electronics Conference(Optical Society of America,2017年),paper CH-2.4
-基板の厚さ及び材料は、s偏光入力ビームに対する約20%の反射率、及び60゜の入射角(AOI)、並びに望ましくない反射を空間フィルタリングするための第1及び第2の表面からの反射間の妥当な空間的分離を有するように選択された
-ソースは、例えば、56MHzの繰返し率及び1550nmを中心とする300mWの平均出力を有する市販のエルビウムファイバ発振器である
-市販のレーザシステムの出力は、高非線形ファイバ(詳細は、[28]参照)内で、950nm~2100nmをスパンする11fsパルスまで圧縮される
-干渉計の上部ポートに入る光は、アーム1におけるビームスプリッタの第1の表面から反射され、且つアーム2におけるビームコンバイナの第2の表面から反射される
-アーム1内の光は、アーム2における第2の表面からの反射に起因する追加的な物質の通過を補償するために、厚さ6mmのNBK7ウィンドウを通過する
-干渉計の上部ポートにおいて、アーム2及びアーム1からの光は、アーム1では、ビームスプリッタからの反射が光学的に密度のより低い物質(空気)と光学的に密度のより高い物質(NBK7)との境界で発生して、位相の変化πを生じさせることに起因して、相殺的に干渉する
-これに対して、アーム2では、ビームコンバイナからの反射が光学的に密度のより高い物質(NBK7)と光学的に密度のより低い物質(空気)との境界で発生して、位相の変化が発生しない
-干渉計の下部ポートにおいて、アーム2及びアーム1からの光は、アーム2では光が2回透過され且つアーム1では光が各々ビームスプリッタ及びビームコンバイナの第1の表面から反射されることに起因して、建設的に干渉する
⇒両アーム間の位相差は、2πである
-調和した反射は、エタロン効果を回避するために、各ウィンドウ後に垂直かみそり刃で空間フィルタリングされる
-干渉計は、双方のアームが同じ光路長を有する場合にのみ広帯域干渉を示す
-これは、圧電トランスデューサ(PZT)でアーム1の長さを制御するアクティブなフィードバックループを介して保証される
-フィードバックループのためのHansch-Couillaud[29]エラー信号は、エルビウム発振器のビーム経路をオフセットされたビーム高さで正確に辿る独立した補助レーザ(cwレーザ、1550nmで20mW)から生成される
-補助レーザの入力偏光は、双方のアームが、アーム2における2回の透過及びアーム1における2回の反射の後、建設的ポートにおいて異なる偏光で終わるように、45゜である
-広帯域干渉にとっては、等しいアーム長の他に、干渉計内の光学コンポーネントのアラインメントが非常に重要である
-理想的には、干渉計の全ての光学コンポーネントが互いに平行であるべきである
-これは、相殺的ポートにおける2つのアームの強度が均衡され、且つ全てのNBK7ウィンドウに対するAOIが等しいことに起因して分散効果が同じであることを保証する
-全ての光学コンポーネントが平行である場合、2つのアーム内のビーム経路が正確にミラーリングされ、よって2つのアームの空間的オーバーラップが影響を受けないことから、ビームポインティングの不安定性による変動も最小限に抑えられる。
Claims (19)
- 二光束パス干渉計を有する、電磁場のアクロマティックな干渉重畳用に構成される干渉計装置であって、
入力ビームを、少なくとも1つの偏向ミラーを含む第1の干渉計アーム(A1)に沿って伝搬する第1のビームと、少なくとも1つの偏向ミラーを含む第2の干渉計アーム(A2)に沿って伝搬する第2のビームとに分割するように配置されるビームスプリッタであって、前記第1及び第2の干渉計アームは、同一の光路長を有する、ビームスプリッタと、
前記第1及び第2のビームを建設的出力及び相殺的出力に再結合するように配置されるビームコンバイナと、を備え、
前記ビームスプリッタ及び前記ビームコンバイナの反射表面は、前記第1の干渉計アームにおいて、前記第2の干渉計アームと比較して、光学的に密な媒体内に1つの追加的なフレネル反射が提供され、前記第1及び第2のビームの前記電磁場の伝搬が、前記ビームコンバイナにより再結合されると、前記相殺的出力に対する前記第1及び第2の干渉計アームの寄与間に波長非依存の位相差πをもたらすように配置され、且つ、
前記第1の干渉計アームは、前記第1及び第2の干渉計アームにおける色分散とフレネル損失とを均衡させるように配置される透過均衡エレメントを含み、
前記透過均衡エレメントは、当該干渉計装置を利用する干渉計測の全体を通して一定の位置及び方向性を有し、
前記入力ビームは、干渉計測の全体を通して、1オクターブの少なくとも1%の周波数間隔をスパンする広帯域スペクトルを有する、
干渉計装置。 - 前記第1及び第2の干渉計アームのうちの少なくとも一方において、逆位相を有さない電磁場の前記伝搬を抑制するように配置される、少なくとも1つの空間フィルタをさらに含む、請求項1に記載の干渉計装置。
- フレネル反射に使用されない前記ビームスプリッタ及び前記ビームコンバイナの反射表面のうちの少なくとも1つに、少なくとも1つの反射防止コーティングが施されている、請求項1又は2に記載の干渉計装置。
- 前記光学的に密な媒体における前記追加的なフレネル反射は、前記ビームスプリッタにおいて提供される、請求項1~3のいずれか一項に記載の干渉計装置。
- 前記光学的に密な媒体における前記追加的なフレネル反射は、前記ビームコンバイナにおいて提供される、請求項1~3のいずれか一項に記載の干渉計装置。
- 前記光路長、ミラー位置、ミラー配向、ビームスプリッタ位置、ビームスプリッタ配向、ビームコンバイナ位置、ビームコンバイナ配向、及び透過均衡エレメント配向のうちの少なくとも1つを制御するように配置される安定化デバイスをさらに含む、請求項1~5のいずれか一項に記載の干渉計装置。
- 前記安定化デバイスは、前記建設的出力及び前記相殺的出力の一方と結合されるフィードバックループ制御を含む、請求項6に記載の干渉計装置。
- 前記二光束パス干渉計は、減圧環境内に配置される、請求項1~7のいずれか一項に記載の干渉計装置。
- 前記透過均衡エレメントは、透明板を備える、請求項1~8のいずれか一項に記載の干渉計装置。
- 前記第1及び第2の干渉計アームは、空間内で互いに交差する、請求項1~9のいずれか一項に記載の干渉計装置。
- 前記入力ビーム、前記相殺的出力及び前記建設的出力のうちの少なくとも1つに配置される少なくとも1つの位相設定エレメントをさらに含む、請求項1~10のいずれか一項に記載の干渉計装置。
- 前記第1及び第2の干渉計アームにおける前記電磁場の横断プロファイルを形成するように配置される結像光学系をさらに含む、請求項1~11のいずれか一項に記載の干渉計装置。
- 前記結像光学系は、前記入力ビーム、前記相殺的出力及び前記建設的出力のうちの少なくとも1つの前記電磁場の前記横断プロファイルを形成するように配置される、請求項12に記載の干渉計装置。
- 干渉計測装置であって、
請求項1~13のいずれか一項に記載の干渉計装置と、
前記入力ビームを生成するように配置される放射線源と、
前記相殺的出力を検出するように配置される第1の検出デバイスと、を備える干渉計測装置。 - 前記放射線源は、前記第1及び第2の干渉計アームの前記光路長を超えるコヒーレンス長を有するパルスレーザ又は熱放射線源を備える、請求項14に記載の干渉計測装置。
- 前記建設的出力を検出するように配置される第2の検出デバイスをさらに含む、請求項14~15のいずれか一項に記載の干渉計測装置。
- 請求項1~13のいずれか一項に記載の干渉計装置、又は請求項14~16のいずれか一項に記載の干渉計測装置を利用する干渉計測方法であって、
前記第1及び第2の干渉計アームのうちの一方に調査されるべきサンプルを配置するステップと、
前記第1及び第2の干渉計アームのうちの他方に参照サンプルを配置するステップと、
前記入力ビームを生成して前記サンプル及び前記参照サンプルを照射するステップと、
前記ビームコンバイナの前記建設的出力及び前記相殺的出力のうちの少なくとも一方を検出するステップと、を含み、
前記透過均衡エレメントは、干渉計測の全体を通して一定の位置及び方向性を有し、
前記入力ビームは、干渉計測の全体を通して、1オクターブの少なくとも1%の周波数間隔をスパンする広帯域スペクトルを有する、
干渉計測方法。 - 前記電磁場のアクロマティックな干渉の減算を含む、請求項17に記載の干渉計測方法。
- 前記電磁場のアクロマティックな干渉の加算を含む、請求項17又は18に記載の干渉計測方法。
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