JP7170613B2 - 液膜維持装置及びセンサ装置 - Google Patents
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims description 295
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 title claims description 46
- 239000013076 target substance Substances 0.000 claims description 57
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 32
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 24
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 15
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 13
- 230000009471 action Effects 0.000 claims description 5
- 239000012620 biological material Substances 0.000 claims description 5
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 claims description 3
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 3
- 230000003993 interaction Effects 0.000 claims description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 155
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 43
- 108020003175 receptors Proteins 0.000 description 31
- 102000005962 receptors Human genes 0.000 description 31
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 20
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 15
- 230000008859 change Effects 0.000 description 14
- 102000012547 Olfactory receptors Human genes 0.000 description 8
- 108050002069 Olfactory receptors Proteins 0.000 description 8
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 7
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 7
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 7
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 4
- 239000003446 ligand Substances 0.000 description 4
- 241001465754 Metazoa Species 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002981 blocking agent Substances 0.000 description 3
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 3
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- -1 polydimethylsiloxane Polymers 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 3
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 3
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003275 alpha amino acid group Chemical group 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 2
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 239000012777 electrically insulating material Substances 0.000 description 2
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 2
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 239000002608 ionic liquid Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 2
- 108091008104 nucleic acid aptamers Proteins 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 2
- 238000003380 quartz crystal microbalance Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 239000012855 volatile organic compound Substances 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000255925 Diptera Species 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000238631 Hexapoda Species 0.000 description 1
- 241000282412 Homo Species 0.000 description 1
- 241000699670 Mus sp. Species 0.000 description 1
- 241000244206 Nematoda Species 0.000 description 1
- 102000015636 Oligopeptides Human genes 0.000 description 1
- 108010038807 Oligopeptides Proteins 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000251539 Vertebrata <Metazoa> Species 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 150000001299 aldehydes Chemical class 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- ROUIDRHELGULJS-UHFFFAOYSA-N bis(selanylidene)tungsten Chemical compound [Se]=[W]=[Se] ROUIDRHELGULJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001721 carbon Chemical group 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 1
- 230000008034 disappearance Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003205 fragrance Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003018 immunoassay Methods 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical class [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 150000002632 lipids Chemical class 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- CWQXQMHSOZUFJS-UHFFFAOYSA-N molybdenum disulfide Chemical compound S=[Mo]=S CWQXQMHSOZUFJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052982 molybdenum disulfide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 239000002070 nanowire Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 108020004707 nucleic acids Proteins 0.000 description 1
- 102000039446 nucleic acids Human genes 0.000 description 1
- 150000007523 nucleic acids Chemical class 0.000 description 1
- 235000019645 odor Nutrition 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 239000003016 pheromone Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 1
- 229920001495 poly(sodium acrylate) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920002577 polybenzoxazole Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 102000004196 processed proteins & peptides Human genes 0.000 description 1
- 108090000765 processed proteins & peptides Proteins 0.000 description 1
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 description 1
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 1
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- NNMHYFLPFNGQFZ-UHFFFAOYSA-M sodium polyacrylate Chemical compound [Na+].[O-]C(=O)C=C NNMHYFLPFNGQFZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000002198 surface plasmon resonance spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
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Description
以下、実施形態のセンサ装置について説明する。
図1は、第1の実施形態のセンサ装置の一例を示す断面図、図2は、第1の実施形態のセンサ装置の一例を示す平面図である。なお、図2は、図1に示す液体供給部11の細管21の他端側の開口22と、液体排出部13の第1部材29のセンサ素子側端部31とを除いて、液膜維持装置7の他の構成を省略してある。
いくつかの実施形態において、第1部材29は、液体供給部11と、センサ素子3a、3b及び3cとを結ぶ線上に配置される。このように配置された第1部材29によって、液体供給部11により形成される液膜9が、センサ素子3a、3b及び3c上に拡がって形成される。このため、液膜9を媒体として、後述する気体試料49を、センサ素子3a、3b及び3c上に運ぶことができる。
図3に示すように、センサ素子3aは、基板33を備えている。基板33の表面33a上には、感応膜35と、感応膜35の一端に接続されたソース電極37と、感応膜35の他端に接続されたドレイン電極39が設けられている。ソース電極37とドレイン電極39との間、及び感応膜35の表面35aには、第1の絶縁体層41を介してゲート電極43が設けられている。基板33の表面33a上には、第2の絶縁体層45が設けられている。感応膜35の表面35aには、受容体47が接続されている。受容体47は、液膜9に接触するか、又は浸漬する。
第2の絶縁体層45は、例えば、上述した基体5と同じ材料から形成されている。
以下、上記各工程を行うことによって標的物質を検出する原理について説明する。
図4において、気体試料49の液膜9への接触によって標的物質51が液膜9に入り込み(図4の(a)、(b))、受容体47に結合する(図4の(c))。一方、夾雑物53は、受容体47に結合しない(図4の(d))。標的物質51と受容体47との結合(図4の(c))によって感応膜35の物性が変化する。
また、図5において、気体試料49の標的物質51は、受容体47に直接到達して結合する(図5の(e))。夾雑物53は、受容体47に結合しない(図5の(d))。ここで物性とは、例えば、感応膜の電気抵抗等である。
図6は、第2の実施形態のセンサ装置の一例を示す断面図である。図6に示すセンサ装置1は、ポンプ55を備えていることを除いて図1に示すセンサ装置と同様な構造を有する。
図7は、第3の実施形態のセンサ装置の一例を示す断面図、図8は、第3の実施形態のセンサ装置の一例を示す平面図である。なお、図8は、図7に示す液体供給部11の細管21の他端側の開口22、流動制御部57、及び保水材59と、液体排出部13の第1部材29のセンサ素子側端部31、及び突出部61とを除いて、液膜維持装置7の他の構成を省略してある。
保水材59は、液体供給部11から供給された液体を保持する。保水材59は、例えば、上述した第1部材29と同じ材料から形成されている。
いくつかの実施形態において、保水材59は、液体排出部13と、センサ素子3a、3b及び3cとを結ぶ線上に配置される。このように配置された保水材59によって、液体供給部11により形成される液膜9が、センサ素子3a、3b及び3c上に拡がって形成される。このため、液膜9を媒体として、後述する気体試料49を、センサ素子3a、3b及び3c上に運ぶことができる。
図9は、第4の実施形態のセンサ装置の一例を示す断面図である。図9に示すセンサ装置1は、基体5の表面5aの一部とセンサ素子3b上に保水層63が設けられていることを除いて、図1に示すセンサ装置と同様な構造を有する。
図10は、第4の実施形態のセンサ装置の一例を示す断面図である。図10に示すセンサ装置1は、ポンプ55が設けられていること、基体5上に第1の流路65、第2の流路67、及び第3の流路69を規定するカバー材71が設けられていること、第1の流路65の吸気口73にフィルタ75が設けられていること、第3の流路69の排気口77に気流発生装置79が設けられていること、及び液体排出部13の第1部材29の一部が第3の流路69において配置していることを除いて図1に示すセンサ装置と同様な構造を有する。
以下に、本願出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
[1]
センサ素子上に液体を供給して、液膜を形成する液体供給部と、
前記液膜中の液体を排出する液体排出部と
を備える液膜維持装置。
[2]
前記センサ素子は、感応膜を備え、
前記液体供給部は、前記センサ素子の前記感応膜上に前記液膜を形成する[1]に記載の液膜維持装置。
[3]
前記液体供給部は、液体を収容する第1の容器と、一端が前記第1の容器内に収容された液体に接触し、他端が前記センサ素子上に配置された細管とを備え、前記細管による毛細管現象を利用して、前記センサ素子上に液体を供給する[1]又は[2]に記載の液膜維持装置。
[4]
前記液体排出部は、前記液膜から排出された液体を回収する空間と、一端が前記空間内に配置され、他端が前記センサ素子上に配置された第1部材を備え、前記第1部材によって、前記液膜中の液体を排出する[1]~[3]のいずれか1項に記載の液膜維持装置。
[5]
前記第1部材は、前記液体供給部と、前記センサ素子とを結ぶ線上に配置される[4]に記載の液膜維持装置。
[6]
前記液体供給部は、前記センサ素子上への液体の供給流量を調節するポンプをさらに備える[1]~[5]のいずれか1項に記載の液膜維持装置。
[7]
前記ポンプは、前記液体排出部の前記液膜中の液体の排出速度よりも小さい供給流量に設定される[6]に記載の液膜維持装置。
[8]
前記液体供給部は、前記液膜中の液体の流れを制御する流動制御部をさらに備える[1]~[7]のいずれか1項に記載の液膜維持装置。
[9]
前記流動制御部は、前記液体供給部から供給された液体の拡がりを抑制する[8]に記載の液膜維持装置。
[10]
前記流動制御部には、前記液体供給部から供給された液体を保持する保水材が配置されている[8]又は[9]に記載の液膜維持装置。
[11]
前記保水材は、前記液体排出部と、前記センサ素子とを結ぶ線上に配置される[10]に記載の液膜維持装置。
[12]
前記液体排出部の第1部材は、前記液体供給部に向かって突出する突出部を備える[4]~[11]のいずれか1項に記載の液膜維持装置。
[13]
センサ素子と、
[1]~[12]のいずれか1項に記載の液膜維持装置と
を備えるセンサ装置。
[14]
前記センサ素子は、前記液体供給部と前記液体排出部との間に配置されている[13]に記載のセンサ装置。
[15]
前記センサ素子上には、前記液膜中の液体を保持する保水層が設けられている[13]又は[14]に記載のセンサ装置。
[16]
気体試料を取り込む第1の流路と、
前記気体試料を前記センサ素子上に導入する第2の流路と、
前記気体試料をセンサ装置の外部に送る第3の流路と
をさらに備え、
前記第1の流路、前記第2の流路、及び前記第3の流路は連通している[13]~[15]のいずれか1項に記載のセンサ装置。
[17]
前記第1の流路から、前記第2の流路を通過して、前記第3の流路へ向かう気流を発生させる気流発生装置をさらに備える[16]に記載のセンサ装置。
[18]
前記液体排出部の第1部材の一部が、前記第3の流路内に配置されている[16]又は[17]に記載のセンサ装置。
[19]
前記センサ素子は、感応膜と、前記感応膜上に接続された生体物質とを備え、
前記生体物質は、気体試料中の標的物質と結合する[13]~[18]のいずれか1項に記載のセンサ装置。
[20]
前記感応膜は、グラフェン膜であり、
前記グラフェン膜は、π-π相互作用により生体物質を接続している[19]に記載のセンサ装置。
[21]
前記センサ素子は、グラフェンFET、カーボンナノチューブFET、イオン感応性、SPR、又はSAWのいずれかである[13]~[20]のいずれか1項に記載のセンサ装置。
3a、3b、3c…センサ素子
7…液膜維持装置
11…液体供給部
13…液体排出部
Claims (20)
- センサ素子上に液体を供給して、液膜を形成する液体供給部と、
前記液膜中の液体を排出する液体排出部とを備え、
前記液体供給部は、前記液膜中の液体の流れを制御する流動制御部をさらに備える液膜維持装置。 - 前記センサ素子は、感応膜を備え、
前記液体供給部は、前記センサ素子の前記感応膜上に前記液膜を形成する請求項1に記載の液膜維持装置。 - 前記液体供給部は、液体を収容する第1の容器と、一端が前記第1の容器内に収容された液体に接触し、他端が前記センサ素子上に配置された細管とを備え、前記細管による毛細管現象を利用して、前記センサ素子上に液体を供給する請求項1又は2に記載の液膜維持装置。
- 前記液体排出部は、前記液膜から排出された液体を回収する空間と、一端が前記空間内に配置され、他端が前記センサ素子上に配置された第1部材を備え、前記第1部材によって、前記液膜中の液体を排出する請求項1~3のいずれか1項に記載の液膜維持装置。
- 前記第1部材は、前記液体供給部と、前記センサ素子とを結ぶ線上に配置される請求項4に記載の液膜維持装置。
- 前記液体供給部は、前記センサ素子上への液体の供給流量を調節するポンプをさらに備える請求項1~5のいずれか1項に記載の液膜維持装置。
- 前記ポンプは、前記液体排出部の前記液膜中の液体の排出速度よりも小さい供給流量に設定される請求項6に記載の液膜維持装置。
- 前記流動制御部は、前記液体供給部から供給された液体の拡がりを抑制する請求項1に記載の液膜維持装置。
- 前記流動制御部には、前記液体供給部から供給された液体を保持する保水材が配置されている請求項1又は8に記載の液膜維持装置。
- 前記保水材は、前記液体排出部と、前記センサ素子とを結ぶ線上に配置される請求項9に記載の液膜維持装置。
- 前記液体排出部の第1部材は、前記液体供給部に向かって突出する突出部を備える請求項4~10のいずれか1項に記載の液膜維持装置。
- センサ素子と、
請求項1~11のいずれか1項に記載の液膜維持装置と
を備えるセンサ装置。 - 前記センサ素子は、前記液体供給部と前記液体排出部との間に配置されている請求項12に記載のセンサ装置。
- 前記センサ素子上には、前記液膜中の液体を保持する保水層が設けられている請求項12又は13に記載のセンサ装置。
- 気体試料を取り込む第1の流路と、
前記気体試料を前記センサ素子上に導入する第2の流路と、
前記気体試料をセンサ装置の外部に送る第3の流路と
をさらに備え、
前記第1の流路、前記第2の流路、及び前記第3の流路は連通している請求項12~14のいずれか1項に記載のセンサ装置。 - 前記第1の流路から、前記第2の流路を通過して、前記第3の流路へ向かう気流を発生させる気流発生装置をさらに備える請求項15に記載のセンサ装置。
- 前記液体排出部の第1部材の一部が、前記第3の流路内に配置されている請求項15又は16に記載のセンサ装置。
- 前記センサ素子は、感応膜と、前記感応膜上に接続された生体物質とを備え、
前記生体物質は、気体試料中の標的物質と結合する請求項12~17のいずれか1項に記載のセンサ装置。 - 前記感応膜は、グラフェン膜であり、
前記グラフェン膜は、π-π相互作用により生体物質を接続している請求項18に記載のセンサ装置。 - 前記センサ素子は、グラフェンFET、カーボンナノチューブFET、イオン感応性、
SPR、又はSAWのいずれかである請求項12~19のいずれか1項に記載のセンサ装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019168663A JP7170613B2 (ja) | 2019-09-17 | 2019-09-17 | 液膜維持装置及びセンサ装置 |
US16/818,075 US11874244B2 (en) | 2019-09-17 | 2020-03-13 | Apparatus for maintaining liquid membrane and sensor apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019168663A JP7170613B2 (ja) | 2019-09-17 | 2019-09-17 | 液膜維持装置及びセンサ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021047051A JP2021047051A (ja) | 2021-03-25 |
JP7170613B2 true JP7170613B2 (ja) | 2022-11-14 |
Family
ID=74868213
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019168663A Active JP7170613B2 (ja) | 2019-09-17 | 2019-09-17 | 液膜維持装置及びセンサ装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11874244B2 (ja) |
JP (1) | JP7170613B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022132756A (ja) * | 2021-03-01 | 2022-09-13 | 株式会社東芝 | ケミカルセンサ装置およびケミカルセンサモジュール |
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JP2018155155A (ja) | 2017-03-16 | 2018-10-04 | アイシン精機株式会社 | オイル供給システム |
JP2018155693A (ja) | 2017-03-21 | 2018-10-04 | 株式会社東芝 | 分子検出装置および分子検出方法 |
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JP2019074461A (ja) | 2017-10-18 | 2019-05-16 | 株式会社Provigate | 電荷の遷移差を利用した抗原抗体反応検出装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US7422646B2 (en) * | 2001-10-22 | 2008-09-09 | Perkinelmer Las, Inc. | Electrochemical sensor with dry ionomer membrane and methodfor making the same |
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USRE44887E1 (en) * | 2005-05-19 | 2014-05-13 | Perkinelmer Health Sciences, Inc. | Sample component trapping, release, and separation with membrane assemblies interfaced to electrospray mass spectrometry |
JP5497587B2 (ja) * | 2010-03-23 | 2014-05-21 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | マイクロ流路チップ及びマイクロアレイチップ |
CA2940900C (en) * | 2015-09-03 | 2024-01-02 | Watershed Geosynthetics Llc | Process and container for solidification and disposal of liquid waste |
GB201611770D0 (en) * | 2016-07-06 | 2016-08-17 | Oxford Nanopore Tech | Microfluidic device |
JP2019168289A (ja) * | 2018-03-22 | 2019-10-03 | 株式会社東芝 | ガスセンシング方法、ガスセンサ、及びガスセンシングシステム |
JP7110392B2 (ja) * | 2018-04-25 | 2022-08-01 | リージェンツ・オブ・ザ・ユニバーシティ・オブ・ミネソタ | グラフェンの非共有結合性静電表面修飾を有する化学的バラクタに基づくセンサ |
JP6896685B2 (ja) | 2018-09-18 | 2021-06-30 | 株式会社東芝 | 液膜維持装置及びケミカルセンサ |
-
2019
- 2019-09-17 JP JP2019168663A patent/JP7170613B2/ja active Active
-
2020
- 2020-03-13 US US16/818,075 patent/US11874244B2/en active Active
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JP2012112724A (ja) | 2010-11-22 | 2012-06-14 | Sharp Corp | 送液装置 |
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JP2018155155A (ja) | 2017-03-16 | 2018-10-04 | アイシン精機株式会社 | オイル供給システム |
JP2018155693A (ja) | 2017-03-21 | 2018-10-04 | 株式会社東芝 | 分子検出装置および分子検出方法 |
US20190112643A1 (en) | 2017-08-04 | 2019-04-18 | Keck Graduate Institute | Immobilized RNPs for sequence-specific nucleic acid capture and digital detection |
JP2019074461A (ja) | 2017-10-18 | 2019-05-16 | 株式会社Provigate | 電荷の遷移差を利用した抗原抗体反応検出装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11874244B2 (en) | 2024-01-16 |
JP2021047051A (ja) | 2021-03-25 |
US20210080416A1 (en) | 2021-03-18 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210903 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220427 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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|
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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