JP7169893B2 - rolling diaphragm pump - Google Patents

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Description

本発明はローリングダイアフラムポンプに関し、特にポンプヘッドの構造に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to rolling diaphragm pumps, and more particularly to the structure of the pump head.

ローリングダイアフラムポンプは、ローリングダイアフラムを変形させることによってポンプ室内の容積を変化させるポンプであり、吐出量を高精度で一定に維持することができるという利点を持つ。ローリングダイアフラムポンプは更に、ローリングダイアフラムを含め、ポンプ室の全体をフッ素樹脂で形成することが可能である。これによりローリングダイアフラムポンプは、金属またはゴムとの接触が好ましくない流体の移送に利用されることが多い。ローリングダイアフラムポンプの代表的な用途としては、半導体、液晶、有機EL、太陽電池等の製造プロセスにおいて、純水もしくは溶剤等の薬液の塗布、または調合が挙げられる。 A rolling diaphragm pump is a pump that changes the volume in a pump chamber by deforming a rolling diaphragm, and has the advantage of being able to maintain a constant discharge rate with high accuracy. Furthermore, the rolling diaphragm pump can be made of fluorine resin for the entire pump chamber, including the rolling diaphragm. As a result, rolling diaphragm pumps are often used to transport fluids that do not want to come into contact with metal or rubber. Typical uses of rolling diaphragm pumps include application or preparation of chemical solutions such as pure water or solvents in the manufacturing processes of semiconductors, liquid crystals, organic ELs, solar cells, and the like.

ローリングダイアフラムポンプの駆動機構としては、たとえば特許文献1-3に開示された電動式が知られている。この方式ではモータがピストンを往復運動させる。ピストンの移動に伴い、それに接続されたローリングダイアフラムが変位してポンプ室の容積を変化させる。 As a rolling diaphragm pump drive mechanism, for example, an electric type disclosed in Patent Documents 1 to 3 is known. In this method, a motor reciprocates the piston. As the piston moves, a rolling diaphragm connected to it is displaced to change the volume of the pump chamber.

特開2015-098855号公報JP 2015-098855 A 特開2016-061169号公報JP 2016-061169 A 特開2018-003712号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2018-003712

半導体プロセスにおいては、不純物によるウェハ表面の汚染を防ぐことが極めて重要である。不純物にはたとえば、微粒子(パーティクル)、金属、有機物が含まれる。不純物によるウェハ表面の汚染を防ぐ目的で、ローリングダイアフラムポンプは定期的なメンテナンス時にフラッシングを受ける必要がある。フラッシングとは、洗浄液または純水をポンプに循環させてポンプ室内を洗浄した後、窒素ガスまたは不活性ガス等の気体をポンプ室へ送り込んでポンプ室内を乾燥させることをいう。ポンプ室には一般に液溜まりがあるので、ここに残留した薬液または純水(以下、薬液等と略す。)がフラッシングで強制排除されねばならない。液溜まりとは、ポンプ室の容積が最も小さくなる位置までピストンが移動した際にも液体が抜けきらずに残るポンプの接液部の隙間をいう。液溜まりには、たとえば、ローリングダイアフラムとポンプ室との隙間、および、吸入口と吐出口とのそれぞれに設置された継手の隙間が含まれる。ポンプが停止すると、液溜まりには一般に薬液等が残る。これらの残留液から水分が蒸発すると、溶質が固化してパーティクルとなる。これらのパーティクルは時折、液溜まりから薬液等へ混入し、ウェハ表面まで到達する危険性がある。これらのパーティクルを液溜まりから除去するのが、フラッシングの主な役割である。 In semiconductor processes, it is extremely important to prevent contamination of the wafer surface by impurities. Impurities include, for example, fine particles (particles), metals, and organic substances. In order to prevent contaminants from contaminating the wafer surface, rolling diaphragm pumps must undergo flushing during regular maintenance. Flushing means circulating a cleaning liquid or pure water through a pump to wash the inside of the pump chamber, and then sending a gas such as nitrogen gas or an inert gas into the pump chamber to dry the inside of the pump chamber. Since there is generally a liquid pool in the pump chamber, residual chemical liquid or pure water (hereinafter abbreviated as chemical liquid or the like) must be forcibly removed by flushing. A liquid pool is a gap in the wetted part of the pump in which the liquid remains even when the piston moves to the position where the volume of the pump chamber becomes the smallest. Liquid puddles include, for example, the gap between the rolling diaphragm and the pump chamber, and the gaps in the joints located at the inlet and outlet, respectively. When the pump stops, the chemical solution or the like generally remains in the liquid pool. As water evaporates from these residual liquids, the solute solidifies into particles. There is a risk that these particles will sometimes mix into the chemical liquid from the liquid pool and reach the wafer surface. The primary role of flushing is to remove these particles from the pool.

パーティクルによる薬液等の汚染を確実に防いで、ポンプに高い信頼性を維持させるには、液溜まりでパーティクルが成長する前にフラッシングが繰り返されねばならない。しかし、フラッシングによって液溜まりから残留液を除去する作業には時間も手間もかかるので、ポンプのユーザには負担が大きい。 In order to reliably prevent contamination of the chemical solution by particles and maintain high reliability of the pump, flushing must be repeated before particles grow in the liquid pool. However, the task of removing the residual liquid from the liquid pool by flushing is time-consuming and labor-intensive, which imposes a heavy burden on the user of the pump.

本発明の目的は上記の課題を解決することであり、特に、フラッシングによって液溜まりから残留液が除去される確実性を高めることにより、信頼性を高く維持したまま、メンテナンスにかかるユーザの負担を軽減することが可能なローリングダイアフラムポンプを提供することにある。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above problems, and in particular, by increasing the certainty that residual liquid is removed from a liquid pool by flushing, the user's burden of maintenance can be reduced while maintaining high reliability. To provide a rolling diaphragm pump that can be lightened.

本発明の1つの観点におけるローリングダイアフラムポンプは、吸入口および吐出口を含むヘッドと、そのヘッドで一端が閉じられたシリンダと、ヘッドとシリンダとの間を仕切ってヘッドの中に、吸入口および吐出口に連通したポンプ室を形成している変位可能な部材であり、変位により流体を吸入口からポンプ室へ、またはポンプ室から吐出口へ移動させるローリングダイアフラムと、シリンダの中を往復運動可能にローリングダイアフラムと接続された円筒部材であり、往復運動によってローリングダイアフラムを変位させるピストンと、ヘッドからピストンまでの距離が許容下限に達するまでピストンが移動した場合に生じるヘッドの側壁の内面とローリングダイアフラムとの隙間の中を、吸入口および吐出口の少なくとも一方から伸びている管とを備えている。 A rolling diaphragm pump in one aspect of the present invention comprises a head including an inlet and a outlet, a cylinder closed at one end by the head, a partition between the head and the cylinder and in the head, the inlet and the outlet. A displaceable member defining a pumping chamber in communication with an outlet and capable of reciprocating movement within a rolling diaphragm and cylinder whose displacement causes fluid to move from the inlet to the pumping chamber or from the pumping chamber to the outlet. A cylindrical member connected to the rolling diaphragm in the piston that displaces the rolling diaphragm by reciprocating motion, and the inner surface of the side wall of the head and the rolling diaphragm that occurs when the piston moves until the distance from the head to the piston reaches the lower allowable limit. and a tube extending from at least one of the inlet and outlet through the gap between the inlet and outlet.

管はヘッドと一体に成形されていてもよい。ヘッドは、吸入口および吐出口に設けられた管継手を含んでいてもよい。これらの管継手はヘッドと一体に成形されていてもよい。 The tube may be integrally molded with the head. The head may include fittings provided at the inlet and outlet. These fittings may be molded integrally with the head.

本発明による上記のローリングダイアフラムポンプでは、ヘッドの側壁の内面とローリングダイアフラムとの隙間の中を、吸入口および吐出口の少なくとも一方から管が伸びている。フラッシングではこの管を通して、液溜まりに残留した薬液等が排出される。この管の先端を液溜まりから可能な限り離して設置することは容易である。こうして、このローリングダイアフラムポンプは、フラッシングによって液溜まりから残留液が除去される確実性を高めることができる。その結果、このポンプは、信頼性を高く維持したまま、メンテナンスにかかるユーザの負担を軽減することができる。 In the above rolling diaphragm pump according to the present invention, a tube extends from at least one of the suction port and the discharge port through the gap between the inner surface of the side wall of the head and the rolling diaphragm. During flushing, the chemical liquid remaining in the liquid pool is discharged through this pipe. It is easy to place the tip of this tube as far away from the puddle as possible. Thus, this rolling diaphragm pump can increase the certainty that residual liquid will be removed from the liquid pool by flushing. As a result, this pump can reduce the user's burden of maintenance while maintaining high reliability.

本発明の実施形態によるローリングダイアフラムポンプの外観を示す斜視図である。1 is a perspective view showing the appearance of a rolling diaphragm pump according to an embodiment of the present invention; FIG. 図1の示す直線II-IIに沿った縦断面図である。ヘッドからピストンまでの距離が許容上限である。FIG. 2 is a longitudinal cross-sectional view along line II-II shown in FIG. 1; The distance from the head to the piston is the upper allowable limit. 図1の示す直線II-IIに沿った縦断面図である。ヘッドからピストンまでの距離が許容下限である。FIG. 2 is a longitudinal cross-sectional view along line II-II shown in FIG. 1; The distance from the head to the piston is the lower allowable limit. 図1の示す直線II-IIに沿った縦断面図である。ピストンが最高点に位置している。FIG. 2 is a longitudinal cross-sectional view along line II-II shown in FIG. 1; The piston is at its highest point. 本発明の実施形態の変形例によるローリングダイアフラムポンプの縦断面図である。FIG. 4 is a vertical cross-sectional view of a rolling diaphragm pump according to a modification of the embodiment of the invention;

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
[ローリングダイアフラムポンプの構造]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[Structure of rolling diaphragm pump]

図1は、本発明の実施形態によるローリングダイアフラムポンプ(以下、単に「ポンプ」と略す。)の外観を示す斜視図であり、図2、図3、図4はいずれも、図1の示す直線II-IIに沿った縦断面図である。図2-図4の間では、ピストン300の位置が異なる。このポンプは、図1が示すように、大まかには、上下方向(図ではZ軸方向)を軸とする円柱形状であり、上から順に、天板100、ポンプヘッド110、シリンダ120、および底板130を含む。天板100は正方形状の薄板であり、ステンレス鋼等の金属製である。ポンプヘッド110は、図2-図4が示すように、上端が閉じた円筒であり、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)等のフッ素樹脂による成型品である。天板100はポンプヘッド110の上に同軸に重ねられている。シリンダ120は金属製の円筒であり、たとえばアルミダイキャストである。シリンダ120はポンプヘッド110の下に同軸に配置されている。シリンダ120の内径と外径とはそれぞれ、ポンプヘッド110の内径と外径とよりも小さい。シリンダ120の上端からは径方向へ、周が正方形状のフランジ121が張り出している。フランジ121は天板100と同形、同サイズであり、互いに平行に、かつ同じ向きに配置されている。天板100とフランジ121とは、対応する四隅のそれぞれがボルト122で締結されており、ポンプヘッド110を間に挟んで固定している。底板130は金属製の円板であり、たとえばアルミダイキャストである。底板130はシリンダ120の下に同軸に配置され、シリンダ120の下端を閉じている。
-ポンプヘッド-
FIG. 1 is a perspective view showing the appearance of a rolling diaphragm pump (hereinafter simply referred to as "pump") according to an embodiment of the present invention, and FIGS. FIG. 2 is a longitudinal sectional view along II-II; The position of the piston 300 differs between FIGS. 2-4. As shown in FIG. 1, this pump has a roughly columnar shape with an axis extending in the vertical direction (the Z-axis direction in the drawing), and includes, from top to bottom, a top plate 100, a pump head 110, a cylinder 120, and a bottom plate. 130 included. The top plate 100 is a square thin plate made of metal such as stainless steel. As shown in FIGS. 2 to 4, the pump head 110 is a cylinder with a closed upper end, and is a molded product made of fluororesin such as polytetrafluoroethylene (PTFE). The top plate 100 is coaxially overlaid on the pump head 110 . Cylinder 120 is a metal cylinder, for example, aluminum die-cast. Cylinder 120 is coaxially positioned below pump head 110 . The inner and outer diameters of cylinder 120 are smaller than the inner and outer diameters of pump head 110, respectively. A square-shaped flange 121 projects radially from the upper end of the cylinder 120 . The flanges 121 have the same shape and size as the top plate 100, and are arranged in parallel and in the same direction. The top plate 100 and the flange 121 are fastened with bolts 122 at corresponding four corners, and are fixed with the pump head 110 interposed therebetween. The bottom plate 130 is a disk made of metal, such as die-cast aluminum. A bottom plate 130 is coaxially arranged under the cylinder 120 and closes the lower end of the cylinder 120 .
-Pump head-

ポンプヘッド110の上面には、1本の吸入口111、2本の吐出口112、および1本の排気口113が設けられており、いずれもポンプヘッド110の内部空間PMVと連通している。吸入口111、吐出口112、通気口113のいずれにも、PTFE等のフッ素樹脂製の管継手(コネクタ)611、612、613が取り付けられている。図2が示すように、ポンプヘッド110の内部空間PMVの中では吐出管115が吐出口112のそれぞれから真下へ伸びており、先端がポンプヘッド110の下端とローリングダイヤフラムのつば部420(後述参照。)との間の境界付近まで達している。図1、図2は示していないが、吸入口111には、外部からポンプヘッド110内へ向かう流れのみを許す逆止弁が接続され、吐出口112には、ポンプヘッド110内から外部へ向かう流れのみを許す逆止弁が接続されている。
-シリンダ-
The upper surface of the pump head 110 is provided with one suction port 111, two discharge ports 112, and one exhaust port 113, all of which communicate with the internal space PMV of the pump head 110. Pipe joints (connectors) 611 , 612 , 613 made of fluororesin such as PTFE are attached to all of the suction port 111 , the discharge port 112 and the vent port 113 . As shown in FIG. 2, in the internal space PMV of the pump head 110, the discharge pipes 115 extend directly downward from each of the discharge ports 112, and their ends are connected to the lower end of the pump head 110 and the flange portion 420 of the rolling diaphragm (see later). ) reaches near the boundary between Although not shown in FIGS. 1 and 2, the suction port 111 is connected to a check valve that allows only a flow from the outside to the inside of the pump head 110, and the discharge port 112 is connected to the flow from inside the pump head 110 to the outside. A check valve is connected that allows only flow.
-Cylinder-

シリンダ120の内部空間RPV、OPVの中にはピストン300が収容されている。ピストン300は、ポリプロピレン(PP)等の樹脂製の円柱である。ピストン300は外径がシリンダ120の内径よりもわずかに小さいので、シリンダ120の内部空間RPV、OPVを軸方向(Z軸方向)に移動可能である。ピストン300の駆動方式はたとえば空気駆動である(後述参照)。ピストン300の下端部310は他の部分よりも外径が大きく、外周面に円環形状の溝311を含む。この溝311には、PTFE等のフッ素樹脂製のOリング312が装着され、その径方向における外側には摺動リング314が装着されている。Oリング312の弾性力により、シリンダ120の内周面と摺動リング314との間がシールされる。摺動リング314の外径はシリンダ120の内径よりもわずかに大きいので、摺動リング314の外周面はシリンダ120の内周面に押し付けられながら、その内周面に沿って摺動する。これにより、シリンダ120の内部空間のうち、ピストン300の下端部310よりも上側の領域RPVは下側の領域OPVから気密に封じられる。一方、シリンダ120の内周面からは円環形状の突起123が径方向へ突出している。この突起123は、内径がピストン300の下端部310の外径よりも小さいので、その下端部310の上昇を阻む。シリンダ120の突起123のうち周方向の1箇所には横穴124が開けられ、ピストン300の下端部310よりも上側の領域RPVを外部と連通させている。この横穴124は、上側の領域RPVの気圧を下げるのに利用される(後述参照)。以下、上側の領域RPVを「減圧室」と呼び、下側の領域OPVを「作動室」と呼ぶ。
-ローリングダイアフラム-
A piston 300 is housed in the internal space RPV, OPV of the cylinder 120 . Piston 300 is a cylinder made of resin such as polypropylene (PP). Since the outer diameter of the piston 300 is slightly smaller than the inner diameter of the cylinder 120, the piston 300 can move in the inner space RPV, OPV of the cylinder 120 in the axial direction (Z-axis direction). The driving method of the piston 300 is, for example, air driving (see below). A lower end portion 310 of the piston 300 has a larger outer diameter than the other portions and includes an annular groove 311 on its outer peripheral surface. An O-ring 312 made of fluororesin such as PTFE is attached to the groove 311, and a slide ring 314 is attached to the outer side in the radial direction thereof. The elastic force of the O-ring 312 seals between the inner peripheral surface of the cylinder 120 and the sliding ring 314 . Since the outer diameter of sliding ring 314 is slightly larger than the inner diameter of cylinder 120, the outer peripheral surface of sliding ring 314 slides along the inner peripheral surface of cylinder 120 while being pressed against the inner peripheral surface. As a result, the region RPV above the lower end portion 310 of the piston 300 in the internal space of the cylinder 120 is hermetically sealed from the region OPV below. On the other hand, an annular protrusion 123 protrudes radially from the inner peripheral surface of the cylinder 120 . Since this protrusion 123 has an inner diameter smaller than the outer diameter of the lower end portion 310 of the piston 300, it prevents the lower end portion 310 from rising. A lateral hole 124 is formed in one of the protrusions 123 of the cylinder 120 in the circumferential direction to allow the region RPV above the lower end portion 310 of the piston 300 to communicate with the outside. This lateral hole 124 is used to lower the air pressure in the upper region RPV (see below). Hereinafter, the upper region RPV will be referred to as the "decompression chamber" and the lower region OPV will be referred to as the "operating chamber."
-Rolling Diaphragm-

ローリングダイアフラム400は、ポンプヘッド110とシリンダ120との間に位置し、両方の内部空間PMV、RPVを液密に仕切っている。ローリングダイアフラム400はPTFE等のフッ素樹脂から成る。ポンプヘッド110とローリングダイアフラム400とで囲まれた空間PMVは吸入口111および吐出口112と連通しており、ポンプ室として利用される。 A rolling diaphragm 400 is located between the pump head 110 and the cylinder 120 and fluidly separates both internal spaces PMV, RPV. The rolling diaphragm 400 is made of fluororesin such as PTFE. A space PMV surrounded by pump head 110 and rolling diaphragm 400 communicates with suction port 111 and discharge port 112 and is used as a pump chamber.

ローリングダイアフラム400は中央に円盤部410を含み、その周りに円環形状のつば部420を含む。円盤部410とつば部420との間は円環形状の薄膜部430で接続されている。円盤部410の直径はピストン300の外径とほぼ等しい。円盤部410は底面の中央部に、下方へ膨出した凸部411を含む。この凸部411は、ピストン300が上面の中央部に含む凹部301に嵌められている。この状態で、ピストン300を上下方向に貫くボルト302が円盤部410の凸部411にねじ込まれる。これにより、円盤部410の底面がピストン300の上面に密着する。つば部420の外径はポンプヘッド110の外径と等しい。つば部420はポンプヘッド110とシリンダ120のフランジ121との間に挟まれて固定されている。つば部420は上面に円環形状の溝421を含む。その溝421には、ポンプヘッド110の下端面から下方へ突出した円環形状の突起116が嵌められている(刺さり込み)。これにより、つば部420の上面とポンプヘッド110の下端面との隙間が液密に封じられる。薄膜部430は円盤部410とつば部420とのいずれと比べてもかなり薄いので、弾性が特に高い。ピストン300の周囲からシリンダ120の横穴124を通して空気が減圧されると、薄膜部430はシリンダ120の内周面とピストン300の外周面との隙間に入り込む。この隙間の中で薄膜部430は、ピストン300の移動に伴って折り返される。これにより、円盤部410はピストン300と共に、つば部420に対して軸方向(Z軸方向)に変位する。
-高さセンサ-
Rolling diaphragm 400 includes a central disc 410 with an annular collar 420 therearound. The disk portion 410 and the flange portion 420 are connected by an annular thin film portion 430 . The diameter of disk portion 410 is substantially equal to the outer diameter of piston 300 . The disc portion 410 includes a convex portion 411 that bulges downward at the center portion of the bottom surface. This convex portion 411 is fitted into a concave portion 301 included in the central portion of the upper surface of the piston 300 . In this state, a bolt 302 penetrating vertically through the piston 300 is screwed into the convex portion 411 of the disk portion 410 . As a result, the bottom surface of disk portion 410 is brought into close contact with the top surface of piston 300 . The outer diameter of the collar portion 420 is equal to the outer diameter of the pump head 110 . The flange portion 420 is sandwiched and fixed between the pump head 110 and the flange 121 of the cylinder 120 . Collar portion 420 includes an annular groove 421 on its upper surface. An annular protrusion 116 protruding downward from the lower end surface of the pump head 110 is fitted (stabbed) into the groove 421 . As a result, the gap between the upper surface of the flange portion 420 and the lower end surface of the pump head 110 is liquid-tightly sealed. Since the thin film portion 430 is considerably thinner than either the disk portion 410 or the flange portion 420, its elasticity is particularly high. When the air around piston 300 is decompressed through lateral hole 124 of cylinder 120 , thin film portion 430 enters the gap between the inner peripheral surface of cylinder 120 and the outer peripheral surface of piston 300 . In this gap, the thin film portion 430 is folded back as the piston 300 moves. As a result, the disk portion 410 is displaced in the axial direction (Z-axis direction) with respect to the flange portion 420 together with the piston 300 .
-Height sensor-

シリンダ120の外周面には3基の高さセンサ501、502、503が設置されている。これらのセンサはシリンダ120の周方向では同じ位置にあり、軸方向では異なる高さにある。いずれのセンサ501-503も磁気センサであり、ピストン300の下端部310の上面に固定された円環状の永久磁石313をその磁場の強さから検出する。3基の高さセンサのうち位置が最も低い第1高さセンサ501は、ポンプヘッド110からピストン300までの距離が許容上限である際に永久磁石313を検出する。次に低い第2高さセンサ502は、ポンプヘッド110からピストン300までの距離が許容下限に達した際に永久磁石313を検出する。位置が最も高い第3高さセンサ503は、ポンプヘッド110からピストン300までの距離が許容下限を下回り、最小値よりも所定の余裕長だけ大きい値に達した際に永久磁石313を検出する。ポンプヘッド110からの距離が許容上限であるピストン300は図2に示され、その距離が許容下限であるピストン300は図3に示され、その距離が最小値であるピストン300は図4に示されている。図4の示す位置、すなわち最高点では、ピストン300の永久磁石313がシリンダ120の内周面の突起123と接触するので、ピストン300は最高点を超えて上昇することができない。吐出管115は、ピストン300が最高点に達した場合に生じるポンプヘッド110の内周面114とローリングダイアフラム400の薄膜部430との隙間の中を伸びているので、ピストン300の位置にかかわらず、ローリングダイアフラム400と接触することはない。
-底板-
Three height sensors 501 , 502 and 503 are installed on the outer peripheral surface of the cylinder 120 . These sensors are at the same position in the circumferential direction of the cylinder 120 and at different heights in the axial direction. All of the sensors 501-503 are magnetic sensors, and detect the annular permanent magnet 313 fixed to the upper surface of the lower end portion 310 of the piston 300 from the strength of the magnetic field. The first height sensor 501, which is the lowest among the three height sensors, detects the permanent magnet 313 when the distance from the pump head 110 to the piston 300 is at the allowable upper limit. The next lowest second height sensor 502 detects the permanent magnet 313 when the distance from the pump head 110 to the piston 300 reaches the lower allowable limit. The highest third height sensor 503 detects the permanent magnet 313 when the distance from the pump head 110 to the piston 300 falls below the allowable lower limit and reaches a value larger than the minimum value by a predetermined margin. The piston 300 with the upper acceptable distance from the pump head 110 is shown in FIG. 2, the piston 300 with the lower acceptable distance is shown in FIG. 3, and the piston 300 with the minimum distance is shown in FIG. It is At the position shown in FIG. 4, that is, at the highest point, the permanent magnet 313 of the piston 300 contacts the protrusion 123 on the inner peripheral surface of the cylinder 120, so the piston 300 cannot rise beyond the highest point. Since the discharge pipe 115 extends through the gap between the inner peripheral surface 114 of the pump head 110 and the thin film portion 430 of the rolling diaphragm 400 that occurs when the piston 300 reaches its highest point, the discharge pipe 115 can be , does not contact the rolling diaphragm 400 .
-Bottom plate-

底板130はシリンダ120内の作動室OPVの底を閉じている。底板130の上面には円環状の溝131が形成されており、その中にOリング132が設置されている。溝131の内径は作動室OPVの直径よりも大きいので、Oリング132は作動室OPVの底部を外部から気密に封じている。底板130の内部では外周面から上面の中央部までを換気口133が貫通している。この換気口133を通して外部と作動室OPVとの間で空気が給排される。
[ローリングダイアフラムポンプの動作]
A bottom plate 130 closes the bottom of the working chamber OPV within the cylinder 120 . An annular groove 131 is formed in the upper surface of the bottom plate 130, and an O-ring 132 is installed therein. Since the inner diameter of the groove 131 is larger than the diameter of the operating chamber OPV, the O-ring 132 hermetically seals the bottom of the operating chamber OPV from the outside. Inside the bottom plate 130, a ventilation port 133 penetrates from the outer peripheral surface to the central portion of the upper surface. Air is supplied and exhausted between the outside and the operating chamber OPV through this ventilation port 133 .
[Operation of rolling diaphragm pump]

空気駆動方式では、作動室OPV内の気圧が制御されることにより、ピストン300がシリンダ120内を上下動する。外部の駆動系統(図は示していない。)は、高さセンサ501-503からの信号に基づいてピストン300の高さを監視し、換気口133を通して作動室OPVへ送り込むべき圧縮空気の流量、または作動室OPVから吸い出すべき空気の流量を調節する。 In the air drive system, the piston 300 moves up and down inside the cylinder 120 by controlling the air pressure inside the working chamber OPV. An external driveline (not shown) monitors the height of piston 300 based on signals from height sensors 501-503, the flow rate of compressed air to be pumped into working chamber OPV through vent 133, Or adjust the flow rate of the air to be sucked out of the working chamber OPV.

ポンプの起動時、駆動系統は通気口113を開いた状態で作動室OPV内の気圧を調節して、ピストン300を所定の距離だけ降下させる。これに伴ってポンプ室PMV内には通気口113を通して外部から一定量の窒素ガスまたは不活性ガスが導入される。その後は通気口113が閉じられるので、ポンプが停止するまでガスはポンプ室PMV内に維持される。 When the pump is started, the drive system adjusts the air pressure in the working chamber OPV with the vent 113 open to lower the piston 300 by a predetermined distance. Along with this, a certain amount of nitrogen gas or inert gas is introduced into the pump chamber PMV from the outside through the ventilation port 113 . Since the vent 113 is then closed, gas is maintained in the pump chamber PMV until the pump is stopped.

ポンプの吸入過程では、作動室OPVから空気が吸い出され、ポンプヘッド110からの距離が許容上限に達するまでピストン300が降下する(図2参照)。これにより、ポンプ室PMVの容積が増大するのでポンプ室PMV内の圧力が下がり、吸入口111では逆止弁が開き、吐出口112では逆止弁が閉じる。したがって、吸入口111から流体FLDがポンプ室へ流れ込む。 During the intake process of the pump, air is sucked out of the working chamber OPV and the piston 300 descends until the distance from the pump head 110 reaches the upper allowable limit (see FIG. 2). As a result, the volume of the pump chamber PMV increases, the pressure in the pump chamber PMV decreases, the check valve at the suction port 111 opens, and the check valve at the discharge port 112 closes. Therefore, the fluid FLD flows into the pump chamber from the suction port 111 .

ポンプの吐出過程では、作動室OPVへ圧縮空気が送り込まれてピストン300が上昇し、ポンプヘッド110からピストン300までの距離が許容上限から許容下限まで減少する(図3参照)。これにより、ポンプ室PMVの容積が減少するのでポンプ室PMV内の圧力が上がり、吸入口111では逆止弁が閉じ、吐出口112では逆止弁が開く。したがって、ポンプ室PMVから吐出管115を通して吐出口112へ薬液が流れ出る(図3の示す矢印参照)。 During the discharge process of the pump, compressed air is sent into the working chamber OPV to raise the piston 300, and the distance from the pump head 110 to the piston 300 decreases from the allowable upper limit to the allowable lower limit (see FIG. 3). As a result, the volume of the pump chamber PMV decreases, the pressure in the pump chamber PMV increases, the check valve at the suction port 111 closes, and the check valve at the discharge port 112 opens. Therefore, the chemical liquid flows out from the pump chamber PMV to the discharge port 112 through the discharge pipe 115 (see the arrow shown in FIG. 3).

空気駆動方式によるピストン300の上下動は十分に緩やかであり、かつ吐出管115は十分に長い。したがって、ポンプの起動時にポンプ室PMV内へ導入されたガスは、薬液FLDに混ざることも、吐出管115を通して吐出口112から排気されることもなくポンプ室PMV内に留まる。ガスは特に、ポンプの動作中、ポンプ室PMV内の薬液FLDの液面LLVを常に一定の高さに維持して、吸入口111、吐出口112、および通気口113のいずれからも十分な距離に遠ざけ続ける。それ故、吸入口111のコネクタ611とポンプヘッド110との隙間(図は示していない。)、吐出口112のコネクタ612と吐出管115との隙間、および通気口113のコネクタ613とポンプヘッド110との隙間はいずれも接液しない。その結果、これらの隙間に薬液FLDが入り込んで残留する危険性はない。すなわち、これらの隙間が液溜まりにはならない。
[フラッシング]
The vertical movement of the piston 300 by the air drive system is sufficiently gentle, and the discharge pipe 115 is sufficiently long. Therefore, the gas introduced into the pump chamber PMV when the pump is started stays in the pump chamber PMV without being mixed with the liquid chemical FLD or exhausted from the discharge port 112 through the discharge pipe 115 . In particular, the gas maintains the liquid level LLV of the chemical liquid FLD in the pump chamber PMV at a constant height during operation of the pump, and is at a sufficient distance from any of the suction port 111, the discharge port 112, and the vent port 113. keep away from Therefore, the gap between the connector 611 of the suction port 111 and the pump head 110 (not shown), the gap between the connector 612 of the outlet port 112 and the discharge pipe 115, and the connector 613 of the vent port 113 and the pump head 110 None of the gaps between the As a result, there is no risk that the chemical fluid FLD will enter and remain in these gaps. That is, these gaps do not become liquid pools.
[Flushing]

ポンプは定期的にフラッシングを受ける。フラッシングでは、まず、ポンプヘッド110からの距離が許容上限に達するまでピストン300が降下した状態(図2参照)で、吸入口111からポンプ室PMV内へ洗浄液または純水(以下、「洗浄液等」と略す。)が送り込まれる。これにより、ポンプ室PMV内に残留する薬液FLDがすべて吐出口112から押し流され、ポンプ室PMVの全体が洗浄される。次に、駆動系統がピストン300を最高点まで上昇させる(図4参照)。これにより、ポンプ室PMV内の洗浄液等は、ポンプヘッド110の内周面114とローリングダイアフラム400の薄膜部430との隙間に残留する部分以外、すべて吐出口112から排出される。最後に、通気口113からポンプ室PMV内へ、圧縮された窒素ガスまたは不活性ガスが送り込まれる。これにより、ポンプ室PMV内に残留する洗浄液等がすべて、吐出管115を通して吐出口112から排出され(図4の示す矢印参照)、ポンプ室PMV内が乾燥される。特に、吐出管115の先端が吐出口112と通気口113とのいずれからも十分に離れているので、洗浄液等がガスに押し流されても、吐出口112のコネクタ612と吐出管115との隙間、および通気口113のコネクタ613とポンプヘッド110との隙間へ逃げ込んで残留する危険性はない。すなわち、これらの隙間を含む液溜まりからは洗浄液等が確実に除去される。
[実施形態の利点]
Pumps are periodically flushed. In flushing, first, in a state where the piston 300 is lowered until the distance from the pump head 110 reaches the allowable upper limit (see FIG. 2), cleaning liquid or pure water (hereinafter referred to as "cleaning liquid, etc.") is introduced from the suction port 111 into the pump chamber PMV. ) is sent. As a result, all the chemical liquid FLD remaining in the pump chamber PMV is washed away from the discharge port 112, and the entire pump chamber PMV is washed. The drive train then raises the piston 300 to its highest point (see FIG. 4). As a result, all of the cleaning liquid and the like in the pump chamber PMV is discharged from the discharge port 112 except for the portion remaining in the gap between the inner peripheral surface 114 of the pump head 110 and the thin film portion 430 of the rolling diaphragm 400 . Finally, compressed nitrogen gas or inert gas is sent into the pump chamber PMV through the vent 113 . As a result, all the cleaning liquid remaining in the pump chamber PMV is discharged from the discharge port 112 through the discharge pipe 115 (see the arrow shown in FIG. 4), and the inside of the pump chamber PMV is dried. In particular, since the tip of the discharge pipe 115 is sufficiently separated from both the discharge port 112 and the vent port 113, even if the cleaning liquid or the like is swept away by the gas, the gap between the connector 612 of the discharge port 112 and the discharge pipe 115 is maintained. , and the gap between the connector 613 of the vent 113 and the pump head 110 . That is, the cleaning liquid or the like is reliably removed from the liquid pool including these gaps.
[Advantages of Embodiment]

本発明の上記の実施形態によるローリングダイアフラムポンプでは、ピストン300が最高点に達した場合に生じるポンプヘッド110の内周面114とローリングダイアフラム400の薄膜部430との隙間の中を、吐出口112から吐出管115が伸びている。フラッシングでは吐出管115を通して、液溜まりに残留した洗浄液等が排出される。吐出管115の先端は液溜まり、特に、吸入口111、吐出口112、および通気口113から可能な限り離して(図2-図4では、ポンプヘッド110の下端とローリングダイヤフラムのつば部420との間の境界付近に)設置されている。したがって、洗浄液等がガスに押されても、吐出口112のコネクタ612と吐出管115との隙間、および通気口113のコネクタ613とポンプヘッド110との隙間へ逃げ込んで残留する危険性はない。こうしてこのローリングダイアフラムポンプは、フラッシングにより液溜まりから残留液が除去される確実性を高めることができる。その結果、フラッシングの間隔が延長されても液溜まりでパーティクルが成長する危険性が低い。それ故、このローリングダイアフラムポンプは、信頼性を高く維持したまま、メンテナンスにかかるユーザの負担を軽減することができる。 In the rolling diaphragm pump according to the above embodiment of the present invention, the discharge port 112 is inserted into the gap between the inner peripheral surface 114 of the pump head 110 and the thin film portion 430 of the rolling diaphragm 400 when the piston 300 reaches its highest point. A discharge pipe 115 extends from. During flushing, the cleaning liquid or the like remaining in the liquid pool is discharged through the discharge pipe 115 . The tip of the discharge tube 115 is kept as far away as possible from the reservoir, particularly the suction port 111, the discharge port 112, and the vent port 113 (in FIGS. (near the boundary between Therefore, even if the cleaning liquid or the like is pushed by the gas, there is no danger of it escaping into the gap between the connector 612 of the discharge port 112 and the discharge pipe 115 and the gap between the connector 613 of the vent 113 and the pump head 110 and remaining there. Thus, this rolling diaphragm pump can increase the certainty that residual liquid will be removed from the liquid pool by flushing. As a result, even if the flushing interval is extended, the risk of particles growing in the liquid pool is low. Therefore, this rolling diaphragm pump can reduce the user's burden of maintenance while maintaining high reliability.

このローリングダイアフラムポンプは更に、吐出管115の先端がローリングダイアフラム400の近くに位置するので、ポンプ室PMV内に一定量のガスを留めたままでも、通常の吸込動作と吐出動作とを繰り返すことができる。これらの動作の間、ガスがポンプ室PMVの上部に留まり、薬液FLDの液面LLVを、吸入口111、吐出口112、および通気口113のいずれからも十分に遠ざける。したがって、吸入口111のコネクタ611とポンプヘッド110との隙間、吐出口112のコネクタ612と吐出管115との隙間、および通気口113のコネクタ613とポンプヘッド110との隙間はいずれも接液しない。それ故、これらの隙間に薬液FLDが入り込んで残留する危険性はない。すなわち、これらの隙間が液溜まりにはならない。その結果、ポンプ室PMV内でパーティクルが成長しうる箇所が減るので、フラッシングの間隔が延長されてもポンプ室PMV内でパーティクルが成長する危険性は更に低い。それ故、このローリングダイアフラムポンプは、信頼性を高く維持したまま、メンテナンスにかかるユーザの負担を更に軽減することができる。
[変形例]
Further, since the tip of the discharge pipe 115 is located near the rolling diaphragm 400, this rolling diaphragm pump can repeat normal suction and discharge operations even when a certain amount of gas is retained in the pump chamber PMV. can. During these operations, the gas stays above the pump chamber PMV, keeping the liquid level LLV of the chemical liquid FLD sufficiently away from any of the suction port 111 , the discharge port 112 and the vent port 113 . Therefore, the gap between the connector 611 of the suction port 111 and the pump head 110, the gap between the connector 612 of the discharge port 112 and the discharge pipe 115, and the gap between the connector 613 of the vent port 113 and the pump head 110 do not contact liquid. . Therefore, there is no risk that the chemical fluid FLD will enter and remain in these gaps. That is, these gaps do not become liquid pools. As a result, the number of locations where particles can grow within the pump chamber PMV is reduced, so even if the flushing interval is extended, the risk of particle growth within the pump chamber PMV is further reduced. Therefore, this rolling diaphragm pump can further reduce the user's burden of maintenance while maintaining high reliability.
[Modification]

(1)本発明の上記の実施形態による吸入口111は1本であり、吐出口112は2本である。しかし、これらの本数に制限はなく、自由に変更可能である。 (1) There is one inlet 111 and two outlets 112 according to the above embodiment of the present invention. However, these numbers are not limited and can be freely changed.

(2)本発明の上記の実施形態によるローリングダイアフラムポンプは縦型であり、特にピストン300が上下方向で往復運動を行う。その他に、ローリングダイアフラムポンプが横型であり、ピストンが水平方向に往復運動を行ってもよい。この場合、ポンプ室内では移送対象の液体の液面がピストンの移動空間よりも上に設定され、吸入口および吐出口が液面よりも上に配置されればよい。さらに、吐出管は、ポンプヘッドからピストンまでの距離が許容下限に達するまでピストンが移動した場合に生じるポンプヘッドの側壁の内面とローリングダイアフラムとの隙間の中を伸びていればよい。 (2) The rolling diaphragm pump according to the above embodiment of the present invention is of a vertical type, in particular, the piston 300 reciprocates vertically. Alternatively, the rolling diaphragm pump may be of the horizontal type and the piston may reciprocate horizontally. In this case, in the pump chamber, the liquid level of the liquid to be transferred should be set above the movement space of the piston, and the suction port and the discharge port should be arranged above the liquid level. Furthermore, the discharge tube may extend through the gap between the inner surface of the side wall of the pump head and the rolling diaphragm that occurs when the piston moves to the lower allowable distance from the pump head to the piston.

(3)本発明の上記の実施形態による吐出管115は、吐出口112からポンプ室PMV内へ伸びている。吐出管115に代え、またはそれに加え、別の管が吸入口111から同様に伸びていてもよい。コネクタがポンプヘッド110と一体である場合、吸入口または吐出口の少なくともいずれかが、ポンプヘッドの上面に代えて側面に設置されていてもよい。この場合、側面の開口部からポンプ室内へ伸びている管は屈曲し、先端をローリングダイアフラムの近くまで伸ばしていればよい。 (3) The discharge pipe 115 according to the above embodiment of the invention extends from the discharge port 112 into the pump chamber PMV. Alternatively, or in addition to outlet tube 115 , another tube may similarly extend from inlet 111 . If the connector is integral with the pump head 110, the inlet and/or outlet may be located on the side instead of the top of the pump head. In this case, the tube extending from the opening on the side into the pump chamber should be bent and the tip should be extended close to the rolling diaphragm.

(4)本発明の上記の実施形態によるピストン300の駆動方式は、空気駆動である。その他に、ピストンの駆動方式がモータ駆動であってもよい。 (4) The driving method of the piston 300 according to the above embodiment of the present invention is air driving. Alternatively, the piston may be driven by a motor.

(5)本発明の上記の実施形態では、ピストン300が最高点まで上昇した際に生じるポンプヘッド110の内周面114とローリングダイアフラム400の薄膜部430との隙間は、ポンプ室PMVの周全体で拡げられている。その他に、周方向のうち吐出管115が存在する箇所でのみ、ポンプヘッド110の内周面114とローリングダイアフラム400の薄膜部430との隙間が拡げられていてもよい。 (5) In the above embodiment of the present invention, the gap between the inner peripheral surface 114 of the pump head 110 and the thin film portion 430 of the rolling diaphragm 400 when the piston 300 rises to the highest point is the entire circumference of the pump chamber PMV. is expanded by Alternatively, the gap between the inner peripheral surface 114 of the pump head 110 and the thin film portion 430 of the rolling diaphragm 400 may be widened only at the location where the discharge pipe 115 exists in the circumferential direction.

(6)本発明の上記の実施形態では、吸入口111、吐出口112、および通気口113のそれぞれでコネクタ611-613がポンプヘッド110に挿入され、吐出管115が吐出口112のそれぞれに設置されている。すなわち、これらのコネクタ611-613および吐出管115はポンプヘッド110とは別体である。その他に、これらのコネクタおよび吐出管がポンプヘッドと一体に成型されていてもよい。 (6) In the above embodiment of the present invention, connectors 611-613 are inserted into pump head 110 at each of inlet 111, outlet 112, and vent 113, and outlet tube 115 is installed at each of outlets 112; It is That is, these connectors 611 - 613 and discharge tube 115 are separate from pump head 110 . Alternatively, these connectors and discharge pipes may be molded integrally with the pump head.

図5は、本発明の上記の実施形態の変形例によるポンプの縦断面図である。図4と同様に、ピストン300は最高点まで上昇している。ポンプヘッド110の上面からは4本の円筒形状の突起712、713が上方へ突き出している。1本は吸入口111に位置し、2本712は吐出口112に位置し、残り1本713は通気口113に位置する。各突起712、713は管継手(コネクタ)として利用される。ポンプ室PMV内では、吐出口112のそれぞれからポンプヘッド110の上面が管状に突き出して、吐出管715を形成している。吐出管715の先端は、ポンプヘッド110とシリンダ120との間の境界付近まで達している。ポンプの吐出動作およびフラッシングでは、ポンプ室PMV内の液体FLDが吐出管715の先端から吸い込まれ、吐出口112へと導かれる。 FIG. 5 is a longitudinal section through a pump according to a variant of the above embodiment of the invention. Similar to FIG. 4, piston 300 has risen to its highest point. Four cylindrical protrusions 712 and 713 protrude upward from the upper surface of the pump head 110 . One is located at the inlet 111 , two 712 are located at the outlet 112 and the remaining one 713 is located at the vent 113 . Each projection 712, 713 is used as a pipe joint (connector). In the pump chamber PMV, the upper surface of the pump head 110 protrudes in a tubular shape from each of the discharge ports 112 to form a discharge pipe 715 . The tip of the discharge pipe 715 reaches near the boundary between the pump head 110 and the cylinder 120 . During the pump discharge operation and flushing, the liquid FLD in the pump chamber PMV is sucked from the tip of the discharge pipe 715 and led to the discharge port 112 .

吐出管715の先端は液溜まり、特に、吸入口111、吐出口112、および通気口113から可能な限り離して(図5では、ポンプヘッド110の下端とシリンダ120のフランジ121との間の境界付近に)設置されている。したがって、フラッシングにおいては、洗浄液等がガスに押されても、液溜まりへ逃げ込んで残留する危険性はない。こうしてこのローリングダイアフラムポンプは、フラッシングにより液溜まりから残留液が除去される確実性を高めることができる。その結果、フラッシングの間隔が延長されても液溜まりでパーティクルが成長する危険性が低い。それ故、このローリングダイアフラムポンプは、信頼性を高く維持したまま、メンテナンスにかかるユーザの負担を軽減することができる。 The tip of the discharge tube 715 is kept as far away as possible from the reservoir, in particular the inlet 111, the outlet 112 and the vent 113 (in FIG. near) is installed. Therefore, in flushing, even if the cleaning liquid or the like is pushed by the gas, there is no danger of it escaping into the liquid pool and remaining there. Thus, this rolling diaphragm pump can increase the certainty that residual liquid will be removed from the liquid pool by flushing. As a result, even if the flushing interval is extended, the risk of particles growing in the liquid pool is low. Therefore, this rolling diaphragm pump can reduce the user's burden of maintenance while maintaining high reliability.

コネクタ712、713および吐出管715は上記のとおり、ポンプヘッド110と一体である。この場合、吸入口111、吐出口112、および通気口113のいずれにも、液体が入り込みうる隙間、すなわち、液溜まりが存在しない。したがって、上記の実施形態とは異なり、ポンプ室PMV内にガスを導入して薬液FLDの液面を、吸入口111、吐出口112、および通気口113から遠ざける必要がない。 Connectors 712, 713 and discharge tube 715 are integral with pump head 110 as described above. In this case, none of the suction port 111, the discharge port 112, and the ventilation port 113 has a gap into which the liquid can enter, that is, a liquid pool. Therefore, unlike the above embodiment, it is not necessary to introduce gas into the pump chamber PMV to keep the liquid surface of the chemical liquid FLD away from the suction port 111 , the discharge port 112 and the vent port 113 .

100 天板
110 ポンプヘッド
111 吸入口
112 吐出口
113 通気口
115 吐出管
120 シリンダ
121 フランジ
122 ボルト
123 シリンダの突起
124 シリンダの横穴
130 底板
131 底板の溝
132 Oリング
133 換気口
300 ピストン
301 ピストンの凹部
302 ピストンのボルト
310 ピストンの下端部
311 ピストンの溝
312 Oリング
313 永久磁石
400 ローリングダイアフラム
410 ローリングダイアフラムの円盤部
411 ローリングダイアフラムの凸部
420 ローリングダイアフラムのつば部
430 ローリングダイアフラムの薄膜部
501-503 高さセンサ
611-613 コネクタ
100 top plate
110 pump head
111 suction port
112 outlet
113 Vent
115 discharge pipe
120 cylinder
121 flange
122 volts
123 Cylinder Protrusion
124 Side hole of cylinder
130 bottom plate
131 bottom plate groove
132 O-ring
133 ventilation openings
300 piston
301 piston recess
302 piston bolt
310 lower end of piston
311 Piston groove
312 O-ring
313 permanent magnet
400 rolling diaphragm
410 Rolling Diaphragm Disc
411 Rolling Diaphragm Convex
420 Rolling Diaphragm Collar
430 Rolling Diaphragm Thin Film
501-503 Height sensor
611-613 connector

Claims (4)

一端が閉じられ、他端が開いている円筒部材であり、内部空間に連通する吸入口および吐出口を前記一端、または軸方向において前記一端に近い側に含むヘッドと、
前記ヘッドの下または横に位置し、前記ヘッドで一端が閉じられているシリンダと、
前記ヘッドと前記シリンダとの間を仕切って前記ヘッドの内部空間にポンプ室を形成している変位可能な部材であり、変位により流体を前記吸入口から前記ポンプ室へ、または前記ポンプ室から前記吐出口へ移動させるローリングダイアフラムと、
前記ヘッドの内部空間と前記シリンダの内部空間との中を往復運動可能な円柱部材であり、前記ヘッドに近い方の端で前記ローリングダイアフラムと接続され、往復運動によって前記ローリングダイアフラムを変位させるピストンと、
前記吸入口および前記吐出口の少なくとも一方から前記ポンプ室の中へ伸びている管と
を備えたローリングダイアフラムポンプであって、
前記ヘッドの一端から前記ピストンの前記ヘッドに近い方の端までの距離が許容下限に達するまで前記ピストンが移動した場合、前記ヘッドの内周面と前記ローリングダイアフラムとの間に隙間が生じ、
前記管が前記隙間の中に位置し、前記管の先端が前記ヘッドと前記シリンダとの間の境界付近まで達しており、
フラッシングでは、前記ポンプ室へ送り込まれた流体が、前記管の先端から前記管を通して排出される
ことを特徴とするローリングダイアフラムポンプ
a head, which is a cylindrical member closed at one end and open at the other end, and includes a suction port and a discharge port communicating with an internal space at the one end or a side close to the one end in the axial direction ;
a cylinder positioned below or to the side of said head and closed at one end by said head;
A displaceable member that partitions the head and the cylinder to form a pump chamber in the internal space of the head, and that displaces fluid from the suction port to the pump chamber or from the pump chamber to the pump chamber. a rolling diaphragm that moves to the outlet;
a piston, which is a cylindrical member capable of reciprocating between the inner space of the head and the inner space of the cylinder , connected to the rolling diaphragm at an end closer to the head, and displacing the rolling diaphragm by reciprocating motion; ,
a tube extending into the pump chamber from at least one of the inlet and the outlet, said rolling diaphragm pump comprising :
When the piston moves until the distance from one end of the head to the end of the piston closer to the head reaches an allowable lower limit, a gap is formed between the inner peripheral surface of the head and the rolling diaphragm,
the tube is positioned in the gap and the tip of the tube reaches near the boundary between the head and the cylinder;
In flushing, the fluid pumped into the pump chamber is expelled through the tube from the tip of the tube.
A rolling diaphragm pump characterized by:
前記管は前記ヘッドと一体に成形されていることを特徴とする請求項1に記載のローリングダイアフラムポンプ。 2. A rolling diaphragm pump according to claim 1, wherein said tube is integrally molded with said head. 前記ヘッドは、
前記吸入口および前記吐出口に設けられた管継手
を含む、請求項1または請求項2に記載のローリングダイアフラムポンプ。
The head is
3. A rolling diaphragm pump according to claim 1, comprising pipe joints provided at said suction port and said discharge port.
前記管継手は前記ヘッドと一体に成形されていることを特徴とする請求項3に記載のローリングダイアフラムポンプ。 4. A rolling diaphragm pump according to claim 3, wherein said pipe joint is molded integrally with said head.
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