JP7169560B2 - 共振装置及び共振装置製造方法 - Google Patents
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Description
まず、図1及び図2を参照しつつ、本発明の一実施形態に係る共振装置の概略構成について説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る共振装置1の外観を概略的に示す斜視図である。図2は、図1に示した共振装置1の構造を概略的に示す分解斜視図である。
図14は、図5に示した接合部60の周辺の第1変形例を示す要部拡大断面図である。なお、第1変形例において、図5に示した接合部60の周辺と同一の構成については、同一の符号を付し、その説明を適宜省略する。また、同様の構成による同様の作用効果については、逐次言及しない。
図15は、図5に示した接合部60の周辺の第2変形例を示す要部拡大断面図である。なお、第2変形例において、図5に示した接合部60の周辺と同一の構成については、同一の符号を付し、その説明を適宜省略する。また、同様の構成による同様の作用効果については、逐次言及しない。
図16は、図5に示した接合部60の周辺の第3変形例を示す要部拡大断面図である。図17は、第3変形例におけるMEMS基板50の表面を平面視したときの構成を概略的に示す平面図である。なお、第3変形例において、図5に示した接合部60の周辺と同一の構成については、同一の符号を付し、その説明を適宜省略する。また、同様の構成による同様の作用効果については、逐次言及しない。
Claims (12)
- 共振子を含む第1基板と、
前記第1基板に対向する面に第1酸化膜を含む第2基板と、
前記共振子の振動空間を封止するように、前記第1基板と前記第2基板とを接合する接合部と、を備え、
前記第1酸化膜は、前記第2基板を平面視したときに前記振動空間の周囲の少なくとも一部に形成され、前記面まで貫通する第1貫通孔を含み、
前記第1貫通孔は、第1金属を含み、
前記接合部は、前記第1基板に形成される第2金属と前記第2基板に形成される第3金属との共晶合金を主成分とする共晶層を含み、
前記第1金属の材料は、前記第3金属の材料と同じであり、
前記第1基板は、前記第2基板に対向する面に積層された圧電膜及び第2酸化膜を含み、
前記第2酸化膜は、前記第1基板を平面視したときに前記振動空間の周囲の少なくとも一部に形成され、前記圧電膜まで貫通する第2貫通孔を含み、
前記第2貫通孔は、第4金属を含み、かつ、前記第1基板を平面視したときに環状の形状を有する、
共振装置。 - 前記第2金属は、アルミニウムを主成分とする金属であり、
前記第3金属は、ゲルマニウムである、
請求項1に記載の共振装置。 - 前記第2金属は、ゲルマニウムであり、
前記第3金属は、アルミニウムを主成分とする金属である、
請求項1に記載の共振装置。 - 前記アルミニウムを主成分とする金属は、アルミニウム、アルミニウム-銅合金、又はアルミニウム-シリコン-銅合金である、
請求項2又は3に記載の共振装置。 - 前記第4金属の材料は、前記第2金属の材料と同じである、
請求項1に記載の共振装置。 - 前記第2基板の材料は、シリコンであり、
前記第1酸化膜の材料は、二酸化シリコンである、
請求項1から5のいずれか一項に記載の共振装置。 - 前記接合部は、前記共晶層と前記第2基板との間にチタン層を含む、
請求項6に記載の共振装置。 - 前記第1貫通孔は、前記第2基板を平面視したときに環状の形状を有する、
請求項1から7のいずれか一項に記載の共振装置。 - 前記接合部の端部は、前記第1貫通孔の側面から距離を空けて配置される、
請求項1から8のいずれか一項に記載の共振装置。 - 共振子を含む第1基板と、
前記第1基板に対向する面に第1酸化膜を含む第2基板と、
前記共振子の振動空間を封止するように、前記第1基板と前記第2基板とを接合する接合部と、を備え、
前記第1酸化膜は、前記第2基板を平面視したときに前記振動空間の周囲の少なくとも一部に形成され、前記面まで貫通する第1貫通孔を含み、
前記第1貫通孔は、第1金属を含み、かつ、前記第2基板を平面視したときに環状の形状を有する、
共振装置。 - 共振子を含む第1基板を用意する工程と、
前記第1基板に対向する面に第1酸化膜を含む第2基板を用意する工程と、
前記共振子の振動空間を封止するように、前記第1基板と前記第2基板とを接合する工程と、を含み、
前記第2基板を用意する工程は、
前記第2基板を平面視したときに、前記第1酸化膜における前記振動空間の周囲の少なくとも一部に、前記面まで貫通する第1貫通孔を形成することと、
前記第1貫通孔に第1金属を形成することと、を含み、
前記第1基板と前記第2基板とを接合する工程は、
前記第1基板に形成される第2金属と前記第2基板に形成される第3金属との共晶合金を主成分とする共晶層を含む接合部を形成すること、を含み、 前記第1基板を用意する工程は、
前記第1基板を平面視したときに、第2酸化膜における前記振動空間の周囲の少なくとも一部に、前記第2基板に対向する面に積層された圧電膜まで貫通する第2貫通孔を形成することと、
前記第2貫通孔に第4金属を形成することと、を含み、
前記第1金属の材料は、前記第3金属の材料と同じであり、
前記第2貫通孔は、前記第1基板を平面視したときに環状の形状を有する、
共振装置製造方法。 - 共振子を含む第1基板を用意する工程と、
前記第1基板に対向する面に第1酸化膜を含む第2基板を用意する工程と、
前記共振子の振動空間を封止するように、前記第1基板と前記第2基板とを接合する工程と、を含み、
前記第2基板を用意する工程は、
前記第2基板を平面視したときに、前記第1酸化膜における前記振動空間の周囲の少なくとも一部に、前記面まで貫通する第1貫通孔を形成することと、
前記第1貫通孔に第1金属を形成することと、を含み、
前記第1貫通孔は、前記第2基板を平面視したときに環状の形状を有する、
共振装置製造方法。
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