JP7166438B2 - 450nm以下の波長を制限する白色光源および照明装置 - Google Patents
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Description
Al、Luを基本とするGarnet構造の蛍光体として、
さらに、Al5Lu3O12:Ce++を用いることができる。
Si、O、Nを基本とする酸窒化物系蛍光体として、
さらに、Si6-ZAlZOZN8-Z:Eu++(Z=0.1~0.3)を用いることができる。
Y、Alを基本とするGarnet構造の蛍光体として、
さらに、Y3Al5O12:Ce+++を用いることができる。
SrまたはBaまたはCa、Siを基本とするSilicate系蛍光体として、
さらに、(Sr、Ba、Ca)2SiO4:Eu++を用いることができる。
Si、Al、O、Nを基本とする酸窒化物系蛍光体として、
さらに、CaSiAlON:Eu++を用いることができる。
Ca、Si、Nを基本とする窒化物系蛍光体として、
さらに、CaAlSiN3:Eu++を用いることができる。
SrまたはCa、Si、Nを基本とする窒化物系蛍光体として、
さらに、(Sr、Ca)AlSiN3:Eu++を用いることができる。
C20H14N4V
<1>
露光工程を進行する露光ルームの照明のための白色照明装置であって、
450nm~490nmの発光ピーク波長を有する青色発光ダイオード素子、および
前記青色発光ダイオード素子を封止する封止層
を備える白色光源を含んで構成され、
前記封止層には、
前記青色発光ダイオード素子と共に白色発光を実現する一つ以上の蛍光体と、
露光工程で用いられる波長の光を遮断する遮断剤とが散布され、
450nm~490nmの波長での第1ピーク領域および前記第1ピーク領域と結合して白色発光を形成する第2ピーク領域を形成しつつ、前記露光工程で用いられる波長は制限することを特徴とする、露光工程における照明用の白色照明装置。
<2>
前記遮断剤は、炭素(C)、水素(H)、窒素(N)を基本元素として構成されたポルフィリン(Porphyrin)系、フタロシアニン(Phthalocyanine)系、クマリン(Coumarin)系から選択された化学物質を含んで構成されることを特徴とする、<1>の露光工程における照明用の白色照明装置。
<3>
前記遮断剤は、前記化学物質と共に金属(Metal)物質を含んで構成されることを特徴とする、<2>の露光工程における照明用の白色照明装置。
<4>
前記金属(Metal)物質として、バナジウム(V)、マグネシウム(Mg)、クロム(Cr)、マンガン(Mn)、インジウム(In)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、亜鉛(Zn)、ナトリウム(Na)、リチウム(Li)、アルミニウム(Al)、ケイ素(Si)、銀(Ag)、スズ(Sn)、チタニウム(Ti)のうち1種または2種以上が含まれることを特徴とする、<3>の露光工程における照明用の白色照明装置。
<5>
前記遮断剤は、ポルフィリン-バナジウム(porphyrin-vanadium)から構成されることを特徴とする、<4>の露光工程における照明用の白色照明装置。
<6>
前記遮断剤の重量比は、前記蛍光体および遮断剤の全体重量の1%~10%の範囲内にあることを特徴とする、<5>の露光工程における照明用の白色照明装置。
<7>
前記封止層には、
500~560nmの発光ピーク波長を有する第1蛍光体、および
621~670nmの発光ピーク波長を有する第3蛍光体が含まれることを特徴とする、<1>の露光工程における照明用の白色照明装置。
<8>
前記封止層には、
561~620nmの発光ピーク波長を有する第2蛍光体が含まれることを特徴とする、<1>の露光工程における照明用の白色照明装置。
<9>
前記封止層には、
621~670nmの発光ピーク波長を有する第3蛍光体が含まれることを特徴とする、<1>の露光工程における照明用の白色照明装置。
<10>
前記封止層には、
561~620nmの発光ピーク波長を有する第2蛍光体、および
621~670nmの発光ピーク波長を有する第3蛍光体が含まれることを特徴とする、<1>の露光工程における照明用の白色照明装置。
<11>
前記白色照明装置は、相関色温度(CCT)2700K~7000Kの範囲内にある白色光が発光されることを特徴とする、<1>の露光工程における照明用の白色照明装置。
<12>
前記青色発光ダイオード素子は470nm~490nmの発光ピーク波長を有し、
前記封止層には、
前記遮断剤なしに前記500~560nmの発光ピーク波長を有する第1蛍光体、561~620nmの発光ピーク波長を有する第2蛍光体、または621~670nmの発光ピーク波長を有する第3蛍光体が1種または2種以上散布され、
露光工程で用いられる波長の光を制限しつつ白色発光することを特徴とする、<1>の露光工程における照明用の白色照明装置。
<13>
前記白色光源が取り付けられる基板、
前記基板を内蔵し、前記白色光源から発光される光を透過させる透光部材、および
前記基板と電気的に接続され、前記白色光源を駆動させるための電源を供給する連結部材
をさらに含んで蛍光灯形状または平板形状で実現されることを特徴とする、<1>の露光工程における照明用の白色照明装置。
<14>
露光工程を進行する露光ルームの照明用の白色光源であって、
450nm~490nmの発光ピーク波長を有する青色発光ダイオード素子、および
前記青色発光ダイオード素子を封止する封止層
を含んで構成され、
前記封止層には、
前記青色発光ダイオード素子と共に白色発光を実現する一つ以上の蛍光体と、
露光工程で用いられる波長の光を遮断する遮断剤とが散布され、
450nm~490nmの波長での第1ピーク領域および前記第1ピーク領域と結合して白色発光を形成する第2ピーク領域を形成しつつ、前記露光工程で用いられる波長は制限することを特徴とする、露光工程における照明用の白色光源。
<15>
前記遮断剤は、炭素(C)、水素(H)、窒素(N)を基本元素として構成されたポルフィリン(Porphyrin)系、フタロシアニン(Phthalocyanine)系、クマリン(Coumarin)系から選択された化学物質を含んで構成されることを特徴とする、<14>の露光工程における照明用の白色光源。
<16>
前記遮断剤は、前記化学物質と共に金属(Metal)物質を含んで構成されることを特徴とする、<15>の露光工程における照明用の白色光源。
<17>
前記金属(Metal)物質として、バナジウム(V)、マグネシウム(Mg)、クロム(Cr)、マンガン(Mn)、インジウム(In)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、亜鉛(Zn)、ナトリウム(Na)、リチウム(Li)、アルミニウム(Al)、ケイ素(Si)、銀(Ag)、スズ(Sn)、チタニウム(Ti)のうち1種または2種以上が含まれることを特徴とする、<16>の露光工程における照明用の白色光源。
<18>
前記遮断剤は、ポルフィリン-バナジウム(porphyrin-vanadium)から構成されることを特徴とする、<17>の露光工程における照明用の白色光源。
<19>
前記遮断剤の重量比は、前記蛍光体および遮断剤の全体重量の1%~10%の範囲内にあることを特徴とする、<18>の露光工程における照明用の白色光源。
<20>
前記封止層には、
500~560nmの発光ピーク波長を有する第1蛍光体、および
621~670nmの発光ピーク波長を有する第3蛍光体が含まれることを特徴とする、<14>の露光工程における照明用の白色光源。
<21>
前記封止層には、
561~620nmの発光ピーク波長を有する第2蛍光体が含まれることを特徴とする、<14>の露光工程における照明用の白色光源。
<22>
前記封止層には、
621~670nmの発光ピーク波長を有する第3蛍光体が含まれることを特徴とする、<14>の露光工程における照明用の白色光源。
<23>
前記封止層には、
561~620nmの発光ピーク波長を有する第2蛍光体、および
621~670nmの発光ピーク波長を有する第3蛍光体が含まれることを特徴とする、<14>の露光工程における照明用の白色光源。
<24>
前記白色照明装置は、相関色温度(CCT)2700K~7000Kの範囲内にある白色光が発光されることを特徴とする、<14>の露光工程における照明用の白色光源。
<25>
前記青色発光ダイオード素子は470nm~490nmの発光ピーク波長を有し、
前記封止層には、
前記遮断剤なしに前記500~560nmの発光ピーク波長を有する第1蛍光体、および561~620nmの発光ピーク波長を有する第2蛍光体が散布され、
露光工程で用いられる波長の光を制限しつつ白色発光することを特徴とする、<14>の露光工程における照明用の白色光源。
<26>
前記白色光源が取り付けられる基板、
前記基板を内蔵し、前記白色光源から発光される光を透過させる透光部材、および
前記基板と電気的に接続され、前記白色光源を駆動させるための電源を供給する連結部材
をさらに含んで蛍光灯形状で実現されることを特徴とする、<14>の露光工程における照明用の白色光源。
Claims (26)
- 450nm~490nmの発光ピーク波長を有する青色発光ダイオード素子、および
前記青色発光ダイオード素子を封止する封止層
を備える白色光源を含んで構成され、
前記封止層には、
前記青色発光ダイオード素子と共に白色発光を実現する一つ以上の蛍光体と、
450nm以下の波長の光を遮断する遮断剤とが散布され、
450nm~490nmの波長での第1ピーク領域および前記第1ピーク領域と結合して白色発光を形成する第2ピーク領域を形成しつつ、前記450nm以下の波長は制限することを特徴とする、450nm以下の波長を制限する白色照明装置。 - 前記遮断剤は、炭素(C)、水素(H)、窒素(N)を基本元素として構成されたポルフィリン(Porphyrin)系、フタロシアニン(Phthalocyanine)系、クマリン(Coumarin)系から選択された化学物質を含んで構成されることを特徴とする、請求項1に記載の450nm以下の波長を制限する白色照明装置。
- 前記遮断剤は、前記化学物質と共に金属(Metal)物質を含んで構成されることを特徴とする、請求項2に記載の450nm以下の波長を制限する白色照明装置。
- 前記金属(Metal)物質として、バナジウム(V)、マグネシウム(Mg)、クロム(Cr)、マンガン(Mn)、インジウム(In)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、亜鉛(Zn)、ナトリウム(Na)、リチウム(Li)、アルミニウム(Al)、ケイ素(Si)、銀(Ag)、スズ(Sn)、チタニウム(Ti)のうち1種または2種以上が含まれることを特徴とする、請求項3に記載の450nm以下の波長を制限する白色照明装置。
- 前記遮断剤は、ポルフィリン-バナジウム(porphyrin-vanadium)から構成されることを特徴とする、請求項4に記載の450nm以下の波長を制限する白色照明装置。
- 前記遮断剤の重量比は、前記蛍光体および遮断剤の全体重量の1%~10%の範囲内にあることを特徴とする、請求項5に記載の450nm以下の波長を制限する白色照明装置。
- 前記封止層には、
500~560nmの発光ピーク波長を有する第1蛍光体、および
621~670nmの発光ピーク波長を有する第3蛍光体が含まれることを特徴とする、請求項1に記載の450nm以下の波長を制限する白色照明装置。 - 前記封止層には、
561~620nmの発光ピーク波長を有する第2蛍光体が含まれることを特徴とする、請求項1に記載の450nm以下の波長を制限する白色照明装置。 - 前記封止層には、
621~670nmの発光ピーク波長を有する第3蛍光体が含まれることを特徴とする、請求項1に記載の450nm以下の波長を制限する白色照明装置。 - 前記封止層には、
561~620nmの発光ピーク波長を有する第2蛍光体、および
621~670nmの発光ピーク波長を有する第3蛍光体が含まれることを特徴とする、請求項1に記載の450nm以下の波長を制限する白色照明装置。 - 前記白色照明装置は、相関色温度(CCT)2700K~7000Kの範囲内にある白色光が発光されることを特徴とする、請求項1に記載の450nm以下の波長を制限する白色照明装置。
- 前記青色発光ダイオード素子は470nm~490nmの発光ピーク波長を有し、
前記封止層には、
前記遮断剤なしに前記500~560nmの発光ピーク波長を有する第1蛍光体、561~620nmの発光ピーク波長を有する第2蛍光体、621~670nmの発光ピーク波長を有する第3蛍光体のうちの1種または2種以上散布され、
450nm以下の波長の光を制限しつつ白色発光することを特徴とする、請求項1に記載の450nm以下の波長を制限する白色照明装置。 - 前記白色光源が取り付けられる基板、
前記基板を内蔵し、前記白色光源から発光される光を透過させる透光部材、および
前記基板と電気的に接続され、前記白色光源を駆動させるための電源を供給する連結部材
をさらに含んで蛍光灯形状または平板形状で実現されることを特徴とする、請求項1に記載の450nm以下の波長を制限する白色照明装置。 - 450nm~490nmの発光ピーク波長を有する青色発光ダイオード素子、および
前記青色発光ダイオード素子を封止する封止層
を含んで構成され、
前記封止層には、
前記青色発光ダイオード素子と共に白色発光を実現する一つ以上の蛍光体と、
450nm以下の波長の光を遮断する遮断剤とが散布され、
450nm~490nmの波長での第1ピーク領域および前記第1ピーク領域と結合して白色発光を形成する第2ピーク領域を形成しつつ、前記450nm以下の波長は制限することを特徴とする、450nm以下の波長を制限する白色光源。 - 前記遮断剤は、炭素(C)、水素(H)、窒素(N)を基本元素として構成されたポルフィリン(Porphyrin)系、フタロシアニン(Phthalocyanine)系、クマリン(Coumarin)系から選択された化学物質を含んで構成されることを特徴とする、請求項14に記載の450nm以下の波長を制限する白色光源。
- 前記遮断剤は、前記化学物質と共に金属(Metal)物質を含んで構成されることを特徴とする、請求項15に記載の450nm以下の波長を制限する白色光源。
- 前記金属(Metal)物質として、バナジウム(V)、マグネシウム(Mg)、クロム(Cr)、マンガン(Mn)、インジウム(In)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、亜鉛(Zn)、ナトリウム(Na)、リチウム(Li)、アルミニウム(Al)、ケイ素(Si)、銀(Ag)、スズ(Sn)、チタニウム(Ti)のうち1種または2種以上が含まれることを特徴とする、請求項16に記載の450nm以下の波長を制限する白色光源。
- 前記遮断剤は、ポルフィリン-バナジウム(porphyrin-vanadium)から構成されることを特徴とする、請求項17に記載の450nm以下の波長を制限する白色光源。
- 前記遮断剤の重量比は、前記蛍光体および遮断剤の全体重量の1%~10%の範囲内にあることを特徴とする、請求項18に記載の450nm以下の波長を制限する白色光源。
- 前記封止層には、
500~560nmの発光ピーク波長を有する第1蛍光体、および
621~670nmの発光ピーク波長を有する第3蛍光体が含まれることを特徴とする、請求項14に記載の450nm以下の波長を制限する白色光源。 - 前記封止層には、
561~620nmの発光ピーク波長を有する第2蛍光体が含まれることを特徴とする、請求項14に記載の450nm以下の波長を制限する白色光源。 - 前記封止層には、
621~670nmの発光ピーク波長を有する第3蛍光体が含まれることを特徴とする、請求項14に記載の450nm以下の波長を制限する白色光源。 - 前記封止層には、
561~620nmの発光ピーク波長を有する第2蛍光体、および
621~670nmの発光ピーク波長を有する第3蛍光体が含まれることを特徴とする、請求項14に記載の450nm以下の波長を制限する白色光源。 - 相関色温度(CCT)2700K~7000Kの範囲内にある白色光が発光されることを特徴とする、請求項14に記載の450nm以下の波長を制限する白色光源。
- 前記青色発光ダイオード素子は470nm~490nmの発光ピーク波長を有し、
前記封止層には、
前記遮断剤なしに前記500~560nmの発光ピーク波長を有する第1蛍光体、および561~620nmの発光ピーク波長を有する第2蛍光体、621~670nmの発光ピーク波長を有する第3蛍光体のうちの1種または2種以上散布され、
450nm以下の波長の光を制限しつつ白色発光することを特徴とする、請求項14に記載の450nm以下の波長を制限する白色光源。 - 前記白色光源が取り付けられる基板、
前記基板を内蔵し、前記白色光源から発光される光を透過させる透光部材、および
前記基板と電気的に接続され、前記白色光源を駆動させるための電源を供給する連結部材
をさらに含んで蛍光灯形状で実現されることを特徴とする、請求項14に記載の450nm以下の波長を制限する白色光源。
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