JP7142098B2 - coated tools and cutting tools - Google Patents
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Description
本開示は、切削加工に用いられる被覆工具に関する。 TECHNICAL FIELD The present disclosure relates to coated tools used for cutting.
旋削加工及び転削加工のような切削加工に用いられる被覆工具としては、例えば特許文献1に記載の被覆工具が知られている。特許文献1に記載の切削工具では、超硬合金などで構成された基体の表面に、チタン(Ti)の化合物を含有する層(チタン化合物層)及び酸化アルミニウム(Al2O3)を含有する層(酸化アルミニウム層)を備えた被覆層が形成された被覆工具が記載されている。特許文献1に記載の被覆工具においては、チタン化合物層及び酸化アルミニウム層の界面に複数の空孔が形成されており、これら複数の空孔によって、衝撃緩和効果が得られることが記載されている。As a coated tool used for cutting such as turning and milling, for example, the coated tool described in
特許文献2には、酸化アルミニウム結晶のうちΣ3~Σ29型の全対応粒界長に占める各構成原子共有格子点形態からなる対応粒界の割合が示された対応粒界分布グラフにおいて、Σ3~Σ29型の範囲内ではΣ3型に最高ピークが存在し、かつ、Σ3~Σ29型の範囲内に占める前記Σ3型の分布割合が70%以上であることで、酸化アルミニウム結晶同士の粒界強度を高め、高速断続切削加工において、すぐれた耐剥離性、耐チッピング性を発揮することが記載されている。 In Patent Document 2, in a corresponding grain boundary distribution graph showing the ratio of corresponding grain boundaries composed of each constituent atom shared lattice point form to the total corresponding grain boundary length of Σ3 to Σ29 types in aluminum oxide crystals, Σ3 to Within the range of the Σ29 type, the Σ3 type has the highest peak, and the distribution ratio of the Σ3 type within the range of the Σ3 to Σ29 type is 70% or more, so that the grain boundary strength between the aluminum oxide crystals is increased. It is described that it exhibits excellent peeling resistance and chipping resistance in high-speed interrupted cutting.
これらの特許文献に記載されているように、被覆工具においては、被覆層の耐衝撃性を高くすることが行われている。 As described in these patent documents, in coated tools, the impact resistance of the coating layer is increased.
本開示の被覆工具は、第1面を有する基体と、該基体の少なくとも前記第1面の上に位置する被覆層と、を備える。前記被覆層は、前記第1面の上に位置する、チタン化合物を含有する第1層と、該第1層の上に接して位置する、複数のα-酸化アルミニウム結晶を含有する第2層とを有する。該第2層は、前記第1面に直交する断面において、前記α-酸化アルミニウム結晶の粒界におけるΣ3~Σ29型の各結晶粒界長さの総和に占める各結晶粒界長さのうち、Σ3型の結晶粒界長さが最大である。前記被覆層は、前記第1層に、前記第1層及び前記第2層の境界に沿った方向に並んで位置する複数の空孔を有する。前記境界に沿う方向における前記空孔の幅の平均値が、隣り合う前記空孔の間隔の平均値よりも小さい。 A coated tool of the present disclosure comprises a substrate having a first surface and a coating layer overlying at least the first surface of the substrate. The coating layer includes a first layer containing a titanium compound located on the first surface and a second layer containing a plurality of α-aluminum oxide crystals located on and in contact with the first layer. and In the cross section orthogonal to the first surface, the second layer has a grain boundary length that accounts for the sum of the lengths of the Σ3 to Σ29 grain boundaries in the grain boundaries of the α-aluminum oxide crystal, The Σ3 type has the longest grain boundary length. The coating layer has a plurality of pores arranged in a direction along a boundary between the first layer and the second layer in the first layer. An average width of the pores along the boundary is smaller than an average spacing between adjacent pores.
本開示の切削工具は、第1端から第2端に向かって伸びる棒状であり、前記第1端の側に位置するポケットを有するホルダと、前記ポケット内に位置する、上述の被覆工具とを有する。 A cutting tool of the present disclosure is a rod-shaped holder extending from a first end toward a second end, and includes a holder having a pocket located on the side of the first end, and the above-described coated tool located in the pocket. have.
以下、本開示の被覆工具1について、図面を用いて詳細に説明する。但し、以下で参照する各図は、説明の便宜上、説明する上で必要な主要部材のみを簡略化して示したものである。したがって、被覆工具は、参照する各図に示されていない任意の構成部材を備え得る。また、各図中の部材の寸法は、実際の構成部材の寸法及び各部材の寸法比率等を忠実に表したものではない。
Hereinafter, the coated
<被覆工具>
図1及び図2に示すように、本開示の被覆工具1は、基体3及び被覆層5を備えている。基体3は、第1面7(図2における上面)と、第1面7と隣り合う第2面9(図2における側面)と、第1面7及び第2面9が交わる稜線の少なくとも一部に位置する切刃11とを有している。<Coated tool>
As shown in FIGS. 1 and 2, the coated
図1に示す例における基体3は四角板形状であり、第1面7が四角形である。そのため、第2面9の数は4つとなっている。第1面7の少なくとも一部がすくい面領域であり、第2面9の少なくとも一部が逃げ面領域である。なお、基体3の形状としては、四角板形状に限定されるものではなく、例えば第1面7が、三角形、五角形、六角形又は円形であってもよい。また、基体3は、板形状に限定されるものではなく、例えば柱形状であってもよい。
The
基体3は、例えば、結合相となるコバルトおよびニッケルを含有しており、他にWCや窒化物や炭窒化物からなる硬質相を含有している。これらの硬質相の平均粒径は、硬度を高くする観点から3μm以下、さらに1μm以下であるとよい。
The
被覆層5は、基体3の少なくとも第1面7の上に位置している。被覆層5は、第1面7のみの上に位置していてもよく、また、基体3における第1面7以外の他の面の上に位置していてもよい。第1面7に加えて第2面9の上にも被覆層5が位置している。被覆層5は、切削加工における被覆工具1の耐摩耗性及び耐チッピング性などの特性を向上させるために備えられている。
The covering
基体3は、第1面7及び第1面7の反対側に位置する面を貫通する貫通穴23を有していてもよい。貫通穴23は、被覆工具1をホルダに固定するための固定部材を挿入するために用いることができる。固定部材としては、例えばネジ及びクランプ部材が挙げられる。
The
基体3の大きさは特に限定されるものではないが、例えば、第1面7の一辺の長さが3~20mm程度に設定される。また、第1面7から第1面7の反対側に位置する面までの高さは5~20mm程度に設定される。
Although the size of the
被覆層5は、図3に示すように、第1層13及び第2層15を有している。第1層13は、第1面7の上に位置しており、チタン化合物を含有している。また、第2層15は、第1層13の上に接して位置しており、複数のα-酸化アルミニウム結晶(Al2O3)を含有している。The covering
第1層13に含有されているチタン化合物としては、例えば、チタンの炭化物、窒化物、酸化物、炭窒化物、炭酸化物及び炭窒酸化物が挙げられる。第1層13は、上記の化合物のいずれか1つのみを含有する構成であってもよく、また、上記の化合物のうち複数を含有する構成であってもよい。
Titanium compounds contained in the
また、第1層13は、チタン化合物を含有しているものであれば、単層の構成であってもよく、また、複数の層が積層された構成であってもよい。例えば第1層13は、窒化チタン層17と、炭窒化チタン層19とが積層された構成であってもよい。第1層13が窒化チタン層17を有している場合には、基体3と第1層13との密着力がさらに高い。なお、窒化チタン層17および炭窒化チタン層19は、それぞれ窒化チタンおよび炭窒化チタンが主成分ということであり、他の成分を含有していてもよい。なお、上記の「主成分」とは、他の成分と比較して質量%の値が最も大きい成分であることを意味している。
Further, the
なお、被覆層5は、第1層13及び第2層15のみによって構成されていてもよく、また、これらの層以外の層を有していてもよい。例えば、基体3及び第1層13の間に別の層が存在していてもよく、また、第2層15の上に別の層が存在していてもよい。
The
また、炭窒化チタン層19が、互いに組成の異なる複数の領域が積層された構成であってもよい。例えば、炭窒化チタン層19が、いわゆるMT(moderate temperature)-第1領域19aと、いわゆるHT(high temperature)-第2領域19bとが積層された構成であってもよい。
Alternatively, the
第1層13が第1領域19a及び第2領域19bを有する場合において、第1層13が、第1領域19a及び第2領域19bの間に更に中間領域19cを有していてもよい。なお、上記の層及び領域の境界は、例えば、SEM写真又は透過電子顕微鏡(TEM:Transmission Electron Microscope)写真)を観察することにより、特定することが可能である。その特定は、各層を構成する元素の割合や、結晶の大きさや配向性の差異によって行うことができる。
When the
第2層15に含有されている酸化アルミニウムの結晶構造は、例えば、X線回折(XRD:X-Ray Diffraction)分析を行い、ピーク値の分布を観察することによって評価できる。
The crystal structure of the aluminum oxide contained in the
第1層13におけるチタン化合物の含有比率、及び、第2層15における酸化アルミニウムの含有比率は特定の値に限定されるものではない。一例として、第1層13がチタン化合物を主成分として含有しており、また、第2層15が酸化アルミニウムを主成分として含有している構成が挙げられる。なお、上記の「主成分」とは、上述と同じく、他の成分と比較して質量%の値が最も大きい成分であることを意味している。
The content ratio of the titanium compound in the
第1層13はチタン化合物以外の成分を含有していてもよく、また、第2層15は酸化アルミニウム以外の成分を含有していてもよい。例えば、第1層13が酸化アルミニウムを含有する場合や第2層15がチタン化合物を含有する場合には、第1層13及び第2層15の接合性が向上する。
The
被覆層5は、図4に示すように、第1層13の内部に空孔21を有している。具体的には、基体3の第1面7に直交する断面において、被覆層5が、第1層13に、第1層13及び第2層15の境界16に沿った方向に並んで位置する複数の空孔21を有している。
The
また、第1面7に直交する断面において、第1面7に平行な方向での空孔21の幅w1の平均値が、隣り合う空孔21の間隔、すなわち第1部分Xの幅w2の平均値よりも小さい。このような構成を満たす被覆工具1は、第1部分Xの強度が低下することを抑えつつ、空孔21において高い耐衝撃性を得ることができる。
In the cross section perpendicular to the
そのため、第1層13及び第2層15の接合性の低下を抑えつつ、空孔21によって衝撃を緩和する効果が得られる。
Therefore, it is possible to obtain the effect of mitigating the impact by the
なお、第1面7に平行な方向での空孔21の幅w1の平均値を評価する際に、第1面7に直交する断面に存在する全ての空孔21の幅w1を評価する必要はなく、断面において並んで位置する5~10個程度の空孔21の幅w1の平均値によって評価すればよい。例えば、第1面7に直交する断面において第1層13及び第2層15の境界16を含む10μm四方の領域を抽出し、この領域における空孔21の幅w1を測定すればよい。また、第1部分Xの幅w2の平均値は、断面において並んで位置する5~10個程度の空孔21での間隔の平均値によって評価すればよい。なお、本開示においては、他にも平均値を定める場合がある。これらはいずれも、5~10程度の値の平均値とするとよい。
In addition, when evaluating the average value of the width w1 of the
空孔21は、第1層13に存在していればよい。例えば、図4に示すように第1層13内に位置している構成だけでなく、図5に示すように第1層13内及び第2層15内のそれぞれに位置している構成であってもよい。
The
なお、空孔21が第1層13及び第2層15の境界16に沿って位置しているとは、複数の空孔21の第1層13及び第2層15の境界16までの間隔が、その平均値に対して±20%の範囲に収まっていることをいう。
Note that the fact that the
被覆工具1の耐熱性及び耐久性の観点から、第1層13に含まれるチタン化合物として炭窒化チタンを含有してもよい。このような構成を有すると、複数の空孔21が第1層13内に位置している際には被覆工具1の耐久性がさらに高められる。
From the viewpoint of heat resistance and durability of the
これは、α-酸化アルミニウムと比較して炭窒化チタンの硬度は高いものの耐衝撃性が低いため、空孔21が第1層13内に位置している場合には、第1層13において空孔21による耐衝撃性を高めることができ、被覆工具1の耐久性がさらに高められるからである。
This is because, although titanium carbonitride has higher hardness than α-aluminum oxide, it has lower impact resistance. This is because the impact resistance of the
空孔21の大きさとしては、特に限定されるものではないが、例えば、20~200nmに設定できる。空孔21の大きさが20nm以上である場合には、空孔21による衝撃緩和の効果を高めることができる。また、空孔21の大きさが、200nm以下の場合には、第1層13の強度を維持し易い。なお、空孔21の大きさとは、その空孔21の第1面7に直交する断面における幅w1の最大値を意味する。
Although the size of the
また、空孔21の形状としては、特に限定されるものではないが、第1面7に直交する断面において、第1面7に直交する方向における高さh1よりも第1面7に平行な方向の幅w1が大きい場合、言い換えれば、第1面7に平行な方向での空孔21の幅w1の平均値が、第1面7に直交する方向での空孔21の高さh1の平均値よりも大きい場合には、空孔21の比率を抑えつつ耐衝撃性をさらに高めることができる。これは、以下の理由による。
The shape of the
切削加工物を製造するため被削材を切削加工する際に、被覆層5に対しては第1面7に直交する方向に切削負荷が加わり易い。このとき、空孔21が第1面7に直交する方向の高さh1よりも第1面7に平行な方向の幅w1が大きい形状である場合には、空孔21を必要以上に大きくすることなく、空孔21の広い範囲で切削負荷を吸収することができる。そのため、空孔21の比率を抑えつつ耐衝撃性をさらに高めることができる。なお、空孔21が第1面7に直交する方向の高さh1とは、空孔21が第1面7に直交する方向の高さh1の最大値である。
A cutting load is likely to be applied to the
具体的には、第1面7に平行な方向での空孔21の高さh1の平均値に対する第1面7に直交する方向での空孔21の幅w1の平均値の比率が1.2以上である場合には、空孔21の広い範囲で切削負荷を吸収しやすい。また、上記の比率が2以下である場合には、第1面7に直交する方向での空孔21の変形量が確保され易いので、空孔21において安定して切削負荷を吸収しやすい。また、断面における空孔21の形状が略円状であってもよい。
Specifically, the ratio of the average value of the width w1 of the
第1面7に直交する断面での第1面7及び第2面9の境界の最大高さをRzとした際に、第1面7に直交する方向での空孔21の高さh1の平均値がRzよりも小さい場合には、被覆層5の耐久性の低下を抑え易い。
When the maximum height of the boundary between the
第1層13における隣り合う空孔21間に位置する第1部分X及び複数の空孔21が変形することによって本開示の被覆工具1は高い耐衝撃性を備えている。ここで、第1面7に直交する方向での空孔21の幅の平均値がRzよりも小さい場合には、隣り合う空孔21を結ぶ仮想線が、空孔21の幅よりも大きく折れ曲がったジグザグ形状で示される。
The deformation of the first portion X and the plurality of
仮想線が上記の形状で示される際には、仮に第1部分Xの一つに亀裂が生じた場合であっても、この亀裂が生じた第1部分Xの隣に位置する第1部分Xに亀裂が進展しにくい。そのため、被覆層5の耐久性が低下しにくい。
When the phantom line is shown in the above shape, even if a crack occurs in one of the first portions X, the first portion X located next to the cracked first portion X Cracks do not propagate easily. Therefore, the durability of the
また、第1面7に直交する断面において、空孔21から第1層13及び第2層15の境界16までの距離d1の平均値が、第1部分Xの幅w2の平均値よりも大きい場合にも、被覆層5の耐久性が低下しにくい。なお、空孔21から第1層13及び第2層15の境界16までの距離d1とは、空孔21における、境界16への距離の最小値である。
Further, in the cross section perpendicular to the
これは、上記の場合においては、第1部分Xと比較して空孔21から第1層13及び第2層15の境界16までの距離が十分に確保できるため、仮に第1部分Xの一つに亀裂が生じた場合であっても、この亀裂が第1層13及び第2層15の境界16に達しにくいからである。上記の亀裂が第1層13及び第2層15の境界16に達しにくいため、第1層13及び第2層15の接合性が低下しにくい。
This is because, in the above case, a sufficient distance from the
空孔21は、第1層13に位置しており、第1層13及び第2層15の境界から離れて位置している。ここで、第1面7に直交する断面において、空孔21から第1層13及び第2層15の境界16までの距離d1の平均値が、第1面7に直交する方向での空孔21の高さh1の平均値よりも大きい場合には、被覆層5における耐衝撃性を高めつつ第1層13及び第2層15の接合性が低下しにくい。
The
これは、空孔21の大きさと比較して空孔21から第1層13及び第2層15の境界16までの距離が十分に確保できるため、切削負荷を吸収するため空孔21が変形する場合であっても、第1層13及び第2層15の境界16は変形しない、または、変形量が十分に小さくなるからである。第1層13及び第2層15の境界16が大きく変形しにくいため、第1層13及び第2層15の接合性が低下しにくい。
This is because the distance from the
第1層13の上に位置する第2層15は、複数のα-酸化アルミニウム結晶を含有している。第2層の厚みは、例えば、2~20μmとするとよい。
A
本開示の被覆工具1の第2層15は、基体3の第1面7に直交する断面において、電界放出型走査電子顕微鏡と電子線後方散乱回折装置を用いて、測定範囲内に存在する結晶粒個々に電子線を照射してα-酸化アルミニウム結晶の粒界より対応粒界を測定した場合に、Σ3~Σ29型の各結晶粒界長さの総和に占める各結晶粒界長さのうちΣ3型の結晶粒界長さが最大である。このような構成を有する第2層15は、優れた耐剥離性、耐チッピング性を有する。基体3の断面は、研磨面として観察するとよい。
The
上記の対応粒界は、電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)に電子線後方散乱回折装置(EBSD)を組み合わせた装置で計測することができる。FE-SEMは、例えば、日本電子社製のJSM-7100Fを用いるとよい。 The above-mentioned corresponding grain boundaries can be measured with an apparatus that combines a field emission scanning electron microscope (FE-SEM) with an electron beam backscattering diffractometer (EBSD). For the FE-SEM, for example, JSM-7100F manufactured by JEOL Ltd. may be used.
なお本開示の被覆工具1においては、対応粒界はΣ3型、Σ7型、Σ11型、Σ17型、Σ19型、Σ21型、Σ23型、Σ29型が含まれる。
In the
本開示の被覆工具1は、Σ3~Σ29型の各結晶粒界長さの総和に占めるΣ3型の結晶粒界長さの割合は、60%以上であってもよい。このような構成を有すると、さらに優れた耐衝撃性を有する。
In the
本開示の被覆工具1は、優れた耐衝撃性を有する第1層13および第2層15を備えることから、さらに優れた耐衝撃性を発揮する。
Since the
<切削工具>
次に、本開示の切削工具101について図面を用いて説明する。<Cutting tool>
Next, the
本開示の切削工具101は、図6および図7に示すように、第1端(図6における上)から第2端(図6における下)に向かって延びる棒状体であり、第1端の側に位置するポケット103を有するホルダ105と、ポケット103に位置する上記の被覆工具1とを備えている。本開示の切削工具101においては、稜線における切刃として用いられる部分がホルダ105の先端から突出するように被覆工具1が装着されている。
The
ポケット103は、被覆工具1が装着される部分であり、ホルダ105の下面に対して平行な着座面と、着座面に対して傾斜する拘束側面とを有している。また、ポケット103は、ホルダ105の第1端側において開口している。
The
ポケット103には被覆工具1が位置している。このとき、被覆工具1の下面がポケット103に直接に接していてもよく、また、被覆工具1とポケット103との間にシートを挟んでいてもよい。
A
被覆工具1は、稜線における切刃として用いられる部分がホルダ105から外方に突出するように装着される。被覆工具1は、ネジ107によって、ホルダ105に装着されている。すなわち、被覆工具1の貫通穴23にネジ107を挿入し、このネジ107の先端をポケット103に形成されたネジ孔(不図示)に挿入してネジ部同士を螺合させることによって、被覆工具1がホルダ105に装着されている。
The
ホルダ105としては、鋼、鋳鉄などを用いることができる。特に、これらの部材の中で靱性の高い鋼を用いることが好ましい。
Steel, cast iron, or the like can be used as the
図6、7に示す例では、いわゆる旋削加工に用いられる切削工具を例示している。旋削加工としては、例えば、内径加工、外径加工及び溝入れ加工が挙げられる。なお、切削工具としては旋削加工に用いられるものに限定されない。例えば、転削加工に用いられる切削工具に上記の実施形態の被覆工具1を用いてもよい。
The examples shown in FIGS. 6 and 7 illustrate cutting tools used for so-called lathe turning. Turning includes, for example, inner diameter machining, outer diameter machining, and grooving. The cutting tools are not limited to those used for turning. For example, the
<製造方法>
次に、本開示に係る被覆工具の製造方法の一例を説明する。<Manufacturing method>
Next, an example of a method for manufacturing a coated tool according to the present disclosure will be described.
まず、基体3となる硬質合金を焼成によって形成しうる炭化物、窒化物、炭窒化物及び酸化物などから選択される無機物粉末に、金属粉末、カーボン粉末などを適宜添加及び混合して、混合粉末を作製する。次に、この混合粉末を公知の成形方法を用いて所定の工具形状に成形することによって成形体を作製する。成形方法としては、例えば、プレス成形、鋳込成形、押出成形及び冷間静水圧プレス成形などが挙げられる。上記の成形体を、真空中又は非酸化性雰囲気中にて焼成することによって基体3を作製する。なお、必要に応じて、基体3の表面に研磨加工及びホーニング加工を施してもよい。
First, metal powder, carbon powder, etc. are added and mixed as appropriate to an inorganic powder selected from carbides, nitrides, carbonitrides, oxides, etc. that can form a hard alloy that will be the
なお、必要に応じて、基体3の表面に研磨加工及びホーニング加工を施してもよい。
Incidentally, the surface of the
次に、基体3の表面に化学気相蒸着(CVD)法によって被覆層5を成膜する。
Next, a
まず、第1層13における窒化チタンを含有する層17(下地層)を成膜する。水素(H2)ガスに、0.5~10体積%の四塩化チタンガスと、10~60体積%の窒素ガスとを混合して、反応ガスとして用いられる第1混合ガスを作製する。第1混合ガスを10~20kPaのガス分圧でチャンバ内に導入し、830~870℃の温度域で窒化チタンを含有する層17を成膜する。First, the layer 17 (base layer) containing titanium nitride in the
次に、第1層13における第1領域19aを成膜する。水素ガスに、0.5~10体積%の四塩化チタンガスと、5~60体積%の窒素ガスと、0.1~3体積%のアセトニトリルガスとを混合して、第2混合ガスを作製する。第2混合ガスを6~12kPaのガス分圧でチャンバ内に導入し、830~870℃の温度域でMT-炭窒化チタンを含有する第1領域19aを成膜する。
Next, the
次に、中間領域19cを成膜する。水素ガスに、3体積%~30体積%の四塩化チタンガスと、3体積%~15体積%のメタンガスと、5体積%~10体積%の窒素ガスと、0.5体積%~5体積%の二酸化炭素(CO2)ガスとを混合して、第3混合ガスを作製する。第3混合ガスを6~12kPaのガス分圧でチャンバ内に導入し、900~1050℃の温度域で50~300nm程度の厚みの中間領域19cを成膜する。第3混合ガスが二酸化炭素ガスを含有していることによって、この中間領域19cに空孔21が形成される。上記の条件とすると、第1面7に直交する断面において、第1面7に平行な方向での空孔21の幅w1の平均値が、隣り合う空孔21の間隔w2の平均値よりも小さい被覆工具1を作製できる。Next, the
また、このとき中間領域19cの厚みが50~300nm程度と薄いため、中間領域19cに形成された空孔21を、第1層13及に第2層15の境界16に沿った方向に並んで位置させることが可能となる。
At this time, since the thickness of the
次に、第1層13における第2領域19bを成膜する。水素ガスに、1~4体積%の四塩化チタンガスと、5~20体積%の窒素ガスと、0.1~10体積%のメタンガスと、0体積%~10体積%の二酸化炭素ガスとを混合して、第4混合ガスを作製する。第4混合ガスを5~45kPaのガス分圧でチャンバ内に導入し、950~1050℃の温度域で0.3~3μm程度の厚みのHT-炭窒化チタンを含有する第2領域19bを成膜する。
Next, the
次に、第2層15を成膜する。成膜温度を1020℃~1050℃、ガス圧を3kPa~5kPaとし、反応ガスの組成が、水素ガスに、1.5体積%~10体積%の三塩化アルミニウム(AlCl3)ガスと、1.5体積%~5体積%の塩化水素(HCl)ガスと、5体積%~15体積%の二酸化炭素ガスと、0.05体積%~1.25体積%の硫化水素(H2S)ガスとを混合して、第5混合ガスを作製する。第5混合ガスをチャンバ内に導入し、第2層15を成膜する。Next, the
このような成膜条件を用いると、本開示の構成を有する第2層15を製膜することができる。特に、第5混合ガスの組成として、水素ガスに、1.5体積%~2.5体積%の三塩化アルミニウム(AlCl3)ガスと、1.5体積%~2.5体積%の塩化水素(HCl)ガスと、5体積%~10体積%の二酸化炭素ガスと、0.75体積%~1.25体積%の硫化水素(H2S)ガスとを混合すると、前記第2層15のα-酸化アルミニウム結晶の粒界におけるΣ3~Σ29型の各結晶粒界長さの総和に占めるΣ3型の結晶粒界長さの割合を60%以上にすることができる。Using such deposition conditions, the
その後、必要に応じて、成膜した被覆層5の表面における切刃11が位置する部分を研磨加工する。このような研磨加工を行った場合には、切刃11への被削材の溶着が抑制され易くなるため、さらに耐欠損性に優れた被覆工具1となる。
After that, if necessary, the portion where the
なお、上記の製造方法は、被覆工具1を製造する方法の一例である。したがって、被覆工具1は、上記の製造方法によって作製されたものに限定されないことは言うまでもない。例えば、第2層15の上に別途第3層を成膜してもよい。
In addition, said manufacturing method is an example of the method of manufacturing the
第1面7に直交する断面において、第1面7に平行な方向での空孔21の幅w1の平均値が、第1面7に直交する方向での空孔21の高さh1の平均値よりも大きい被覆工具1を作製するには、中間領域19cの成膜の際に時間調整を行い、中間領域19cを50~150nm程度の厚みに成膜するとよい。
In the cross section perpendicular to the
第1面7に直交する断面において、空孔21から境界16までの距離d1の平均値が、第1面7に直交する方向での空孔21の高さh1の平均値よりも大きい被覆工具1を作製するには、中間領域19cの成膜の際に時間調整を行い、50~150nm程度の厚みに成膜したのち、第1層13における第2領域19bを、0.5~3μm程度の厚みに成膜するとよい。
In a cross section orthogonal to the
第1面に直交する断面において、空孔21から境界16までの距離d1の平均値が、隣り合う空孔21の間隔w2の平均値よりも大きい被覆工具1を作製するには、第1層13における第2領域19bが、隣り合う空孔21の間隔w2の平均値よりも厚くなるように成膜するとよい。
In order to manufacture the
1・・・被覆工具
3・・・基体
5・・・被覆層
7・・・第1面
9・・・第2面
11・・・切刃
13・・・第1層
15・・・第2層
16・・・境界(第1層及び第2層の境界)
17・・・窒化チタン層
19・・・炭窒化チタン層
19a・・第1領域
19b・・第2領域
19c・・中間領域
21・・・空孔
23・・・貫通穴
101・・・切削工具
103・・・ポケット
105・・・ホルダ
107・・・固定ネジDESCRIPTION OF
DESCRIPTION OF
Claims (7)
該基体の少なくとも前記第1面の上に位置する被覆層と、を備えた被覆工具であって、
前記被覆層は、前記第1面の上に位置する、チタン化合物を含有する第1層と、該第1層の上に接して位置する、複数のα-酸化アルミニウム結晶を含有する第2層とを有し、
該第2層は、前記第1面に直交する断面において、前記α-酸化アルミニウム結晶の粒界におけるΣ3~Σ29型の各結晶粒界長さの総和に占める各結晶粒界長さのうち、Σ3型の結晶粒界長さが最大であり、
前記第1層は、MT-炭窒化チタンを含有する第1領域と、該第1領域よりも前記基体から離れて位置してHT-炭窒化チタンを含有する第2領域と、前記第1領域と前記第2領域との間に位置して厚みが50~300nmである中間領域とを有し、
前記被覆層は、前記中間領域に、前記第1層及び前記第2層の境界に沿った方向に並んで位置する複数の空孔を有し、前記境界に沿う方向における前記空孔の幅の平均値が、隣り合う前記空孔の間隔の平均値よりも小さい、被覆工具。 a substrate having a first surface;
a coating layer overlying at least the first surface of the substrate, comprising:
The coating layer includes a first layer containing a titanium compound located on the first surface and a second layer containing a plurality of α-aluminum oxide crystals located on and in contact with the first layer. and
In the cross section orthogonal to the first surface, the second layer has a grain boundary length that accounts for the sum of the lengths of the Σ3 to Σ29 grain boundaries in the grain boundaries of the α-aluminum oxide crystal, The grain boundary length of the Σ3 type is the maximum,
The first layer includes a first region containing MT-titanium carbonitride, a second region located farther from the substrate than the first region and containing HT-titanium carbonitride, and the first region. and an intermediate region having a thickness of 50 to 300 nm located between and the second region,
The coating layer has, in the intermediate region , a plurality of holes arranged side by side in a direction along the boundary between the first layer and the second layer, and the width of the holes in the direction along the boundary is A coated tool, the average value of which is smaller than the average value of the distances between the adjacent pores.
前記ポケット内に位置する、請求項1~6のいずれか1つに記載の被覆工具とを有する切削工具。 a rod-shaped holder extending from a first end toward a second end and having a pocket located on the side of the first end;
A cutting tool comprising a coated tool according to any one of claims 1 to 6 located within said pocket.
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