JP7122338B2

JP7122338B2 - 油圧装置

Info

Publication number: JP7122338B2
Application number: JP2020086515A
Authority: JP
Inventors: 崇志三浦; 健太川崎
Original assignee: Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Current assignee: Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date: 2020-05-18
Filing date: 2020-05-18
Publication date: 2022-08-19
Anticipated expiration: 2035-02-19
Also published as: JP2020122486A

Description

本発明は、油圧装置に関する。

摺動面に、固体潤滑材を配置することが知られている。固体潤滑材は、例えば、１つの金属部材と他の金属部材との間の接触面に配置される。固体潤滑材は、金属同士の直接接触に伴う金属接触面の焼付き現象（すなわち、金属接触面の変質）を抑制する。

関連する技術として、特許文献１には、トルク伝達面に固体潤滑皮膜を配置することが記載されている。また、特許文献２には、回転軸とハウジングとの間に介在されるシールリングに、固体潤滑材を含有させることが記載されている。

特開２０１２－１３７１３７号公報特開平６－２４０２７１号公報

本発明の目的は、大きな軸方向荷重が作用するシール面（または、摺動面）におけるシール特性（または、摺動特性）を維持可能な油圧装置、油圧ポンプ、油圧モータ、油圧装置における摺動構造を提供することにある。

この発明のこれらの目的とそれ以外の目的と利益とは以下の説明と添付図面とによって容易に確認することができる。

以下に、発明を実施するための形態で使用される番号・符号を用いて、課題を解決するための手段を説明する。これらの番号・符号は、特許請求の範囲の記載と発明を実施するための形態との対応関係の一例を示すために、参考として、括弧付きで付加されたものである。よって、括弧付きの記載により、特許請求の範囲は、限定的に解釈されるべきではない。

いくつかの実施形態の油圧装置は、バレル（５０）と弁板（６０）とを具備する。前記バレル（５０）は、ハウジング（４０）内に配置される。前記バレル（５０）は、中心軸（Ｘ軸）まわりに回転可能である。前記バレル（５０）は、前記中心軸（Ｘ軸）に垂直な第１摺動面（７２；５２）を備える。前記弁板（６０）は、前記ハウジング（４０）に固定される。前記弁板（６０）は、前記第１摺動面（７２；５２）に接触する第２摺動面（６２；７２’）を備える。前記第１摺動面（７２；５２）および前記第２摺動面（６２；７２’）は、油シール面である。前記第１摺動面（７２；５２）および前記第２摺動面（６２；７２’）は、前記中心軸（Ｘ軸）に沿う方向に軸方向荷重が作用する面である。前記第１摺動面（７２；５２）と前記第２摺動面（６２；７２’）のうちの少なくとも１つの摺動面（換言すれば、前記第１摺動面と前記第２摺動面のうちのいずれか一方の摺動面、または、両方の摺動面）は、固体潤滑皮膜（７０）の表面である。

上記油圧装置において、前記ハウジング（４０）に固定される斜板（８０）を更に備えていてもよい。前記バレル（５０）は、ピストン（５４２）と、シリンダ室（５４３）と、流出入口（５４４）とを有する油圧シリンダ（５４）を備えていてもよい。前記弁板（６０）は、前記流出入口（５４４）と連通可能な高圧側ポート（６６）と、前記流出入口（５４４）と連通可能な低圧側ポート（６４）とを備えていてもよい。前記固体潤滑皮膜（７０）には、前記中心軸（Ｘ軸）に対して非対称に、前記軸方向荷重が作用してもよい。

上記油圧装置において、前記バレルの前記第１摺動面（７２；５２）には、前記流出入口（５４４）を囲む環状溝（５８）が形成されていてもよい。

上記油圧装置において、前記弁板の前記第２摺動面（６２；７２’）には、前記高圧側ポート（６６）および前記低圧側ポート（６４）を囲む環状溝が形成されていてもよい。

上記油圧装置において、前記バレル（５０）の硬度が前記弁板（６０）の硬度より低い場合には、前記第１摺動面（７２；５２）に前記流出入口（５４４）を囲む環状溝が設けられてもよい。また、前記バレル（５０）の硬度が前記弁板（６０）の硬度より高い場合には、前記第２摺動面（６２；７２’）に前記高圧側ポート（６６）および前記低圧側ポート（６４）を囲む環状溝が設けられてもよい。

上記油圧装置において、前記斜板（８０）における前記ピストン（５４２）との摺動面である斜板摺動面、または、前記ピストン（５４２）における前記斜板（８０）との摺動面であるピストン摺動面の少なくとも一方には、固体潤滑皮膜（５４２６）が配置されてもよい。

上記油圧装置において、前記バレル（５０）とともに回転するリテーナ（９０）と、前記斜板（８０）と前記リテーナ（９０）との間に配置されるワッシャ（１００）とを更に備えていてもよい。前記ワッシャ（１００）の表面、前記ワッシャ（１００）に接触する前記斜板（８０）の表面、または、前記ワッシャ（１００）に接触する前記リテーナ（９０）の表面のうちの少なくとも１つの表面には、固体潤滑皮膜（１０２）が配置されていてもよい。

上記油圧装置において、前記ワッシャ（１００）の表面のうち、前記斜板に接触する表面、および、前記リテーナ（９０）に接触する表面に、前記固体潤滑皮膜（１０２）が配置されていてもよい。

上記油圧装置において、前記バレル（５０）とともに回転する回転シャフト（１１０）と、前記回転シャフト（１１０）に固定され、前記中心軸（Ｘ軸）に垂直な第３摺動面を備える面シール部材（１１４）と、前記ハウジング（４０）に固定され、前記第３摺動面と接触する第４摺動面を備える受け部材（４８）とを更に備えていてもよい。前記第３摺動面および前記第４摺動面は、前記中心軸（Ｘ軸）に沿う方向の軸方向荷重が作用する面であってもよい。前記第３摺動面と前記第４摺動面のうちの少なくとも１つの摺動面は、固体潤滑皮膜（４９）の表面であってもよい。

いくつかの実施形態の油圧ポンプは、上記の段落のいずれかの段落に記載された油圧装置を備える油圧ポンプである。

いくつかの実施形態の油圧モータは、上記の段落のいずれかの段落に記載された油圧装置を備える油圧モータである。

いくつかの実施形態の油圧装置における摺動構造は、第１部材（５０；１００；１１４；５４２）と、第２部材（６０；９０；４８；８０）とを具備する。前記第１部材は、中心軸（Ｘ軸；Ｃｔ）まわりに回転可能であり、前記中心軸（Ｘ軸；Ｃｔ）に垂直な第１摺動面（７２等）を備える。前記第２部材は、前記第１摺動面に接触する第２摺動面（６２等）を備える。前記第１摺動面および前記第２摺動面は、前記中心軸（Ｘ軸；Ｃｔ）に沿う方向に軸方向荷重が作用する面である。前記第１摺動面と前記第２摺動面のうちの少なくとも１つの摺動面は、固体潤滑皮膜（７０；１０２；４９；５４２６）の表面である。

上記油圧装置における摺動構造において、前記第１摺動面、および、前記第２摺動面は、前記中心軸に対して非対称に前記軸方向荷重が作用する面であってもよい。

本発明により、大きな軸方向荷重が作用するシール面（または、摺動面）におけるシール特性（または、摺動特性）を維持可能な油圧装置、油圧ポンプ、油圧モータ、油圧装置における摺動構造が提供できる。

図１Ａは、固定部材および回転部材の側面図であり、発明者によって認識された課題を説明する図である。図１Ｂは、図１ＡのＡ－Ａ矢視断面図である。図２Ａは、固定部材および回転部材の側面図であり、発明者によって認識された課題を説明する図である。図２Ｂは、図２ＡのＢ－Ｂ矢視断面図である。図２Ｃは、固定部材および回転部材の側面図であり、発明者によって認識された課題を説明する図である。図３Ａは、油圧装置の概略側面図である。図３Ｂは、図３ＡのＡ１－Ａ１矢視断面図である。図３Ｃは、図３ＡのＡ１－Ａ１矢視断面図である。図４Ａは、図３ＡのＡ１－Ａ１矢視断面図である。図４Ｂは、図４ＡのＣ－Ｃ矢視断面図である。図４Ｃは、図４ＡのＤ－Ｄ矢視断面図である。図４Ｄは、図４ＡのＥ－Ｅ矢視断面図である。図４Ｅは、図４Ａの領域Ｆの拡大図である。図４Ｆは、図４Ａの領域Ｆの拡大図であり、変形例を示す。図４Ｇは、油圧装置の動作について説明するための図である。図５Ａは、油圧ポンプの一例を示す概略ブロック図である。図５Ｂは、油圧モータの一例を示す概略ブロック図である。図６は、図３ＡのＡ１－Ａ１矢視断面図である。

以下、油圧装置、油圧ポンプ、油圧モータ、油圧装置における摺動構造に関して、添付図面を参照して説明する。

（重要な用語の定義）
本明細書において、「垂直」には、厳密に９０度であることと、約９０度であることが包含される。約９０度には、８５度以上９５度以下の角度が包含される。

（座標系の定義）
回転シャフトの中心軸に沿う方向をＸ軸と定義する。油圧装置が、バレルおよび弁板を備える場合、＋Ｘ方向は、Ｘ軸に沿う方向であって、バレルから弁板に向かう方向と定義する。Ｚ軸は、Ｘ軸に垂直な軸である。Ｙ軸は、Ｘ軸およびＺ軸に垂直な軸である。

（発明者によって認識された課題）
図１Ａおよび図１Ｂは、大きな軸方向荷重が作用する摺動面について説明するための図である。図１Ａは、固定部材１０および回転部材２０の側面図である。図１Ｂは、図１ＡのＡ－Ａ矢視断面図である。

固定部材１０は、例えば、ハウジングに固定されている。固定部材１０は、例えば、固定板１２を備える。回転部材２０は、中心軸（Ｘ軸）まわりに回転する。図１Ａに記載の例では、回転部材２０は、Ｒ方向に回転する。回転部材２０は、例えば、回転板２２を備える。固定部材１０および回転部材２０には、中心軸（Ｘ軸）に沿って、圧縮荷重である軸方向荷重Ｆが作用する。

固定板１２は、回転板２２に接触する摺動面を備える。また、回転板２２は、固定板１２に接触する摺動面を備える。回転板２２の摺動面、および、固定板１２の摺動面には、軸方向荷重が作用する。軸方向荷重が作用する摺動面において、焼付き現象が発生するのを防止するために、摺動面に軟質金属のめっきを施す技術が知られている。

発明者は、大きな軸方向荷重が作用する摺動面に軟質金属のめっきを施した場合、めっきの摩耗が激しいことを見出した。焼付き現象の発生を防止する観点からは、多少のめっきの摩耗は許容される。しかし、大きな軸方向荷重が作用する摺動面が、シール面である場合には、めっきの摩耗によって、シール面からの液漏れが発生する。

発明者は、大きな軸方向荷重が作用する摺動面のうちの少なくとも一方の摺動面を固体潤滑皮膜１４の表面とすることで、シール面の摩耗に伴う、シール面からの液漏れの発生が防止されることを見出した。軸方向荷重が作用する摺動面には、軟質金属のめっきを施すという技術常識を覆すものである。なお、図１Ａにおいて、固体潤滑皮膜１４の表面と、回転板２２の表面との間の隙間が誇張されて記載されている。当該隙間は、実際には、微小隙間である。また、実際には、微小隙間は一様ではなく、固体潤滑皮膜１４の表面と、回転板２２の表面とが互いに接触する領域も存在する。

（発明者によって認識された別の課題）
図２Ａ乃至図２Ｃは、中心軸に対して非対称な軸方向荷重が作用する摺動面について説明するための図である。図２Ａは、固定部材１０および回転部材２０の側面図である。図２Ｂは、図２ＡのＢ－Ｂ矢視断面図である。図２Ｃは、固定部材１０および回転部材２０の側面図である。

図２Ａ乃至図２Ｃについて、図１Ａおよび図１Ｂを用いて説明した部材と同一の機能の部材には、同一の図番を付している。固定板１２の下側部分（－Ｚ方向側の領域Ａｚ（－）に位置する部分）には、軸方向荷重Ｆ１が作用し、回転板２２の下側部分（－Ｚ方向側の領域Ａｚ（－）に位置する部分）には、軸方向荷重Ｆ１が作用する。また、固定板１２の上側部分（＋Ｚ方向側の領域Ａｚ（＋）に位置する部分）には、軸方向荷重Ｆ２が作用し、回転板２２の上側部分（＋Ｚ方向側の領域Ａｚ（＋）に位置する部分）には、軸方向荷重Ｆ２が作用する。軸方向荷重Ｆ２が、軸方向荷重Ｆ１よりも小さい場合を想定する（換言すれば、摺動面に、中心軸（Ｘ軸）に対して非対称な軸方向荷重が作用する場合を想定する。）。

図２Ｃを参照すると、軸方向荷重Ｆ１が作用する固定板１２の下側部分と、軸方向荷重Ｆ１が作用する回転板２２の下側部分との間の距離は、軸方向荷重Ｆ２が作用する固定板１２の上側部分と、軸方向荷重Ｆ２が作用する回転板２２の上側部分との間の距離よりも小さくなることが把握される。

例えば、固定板１２の表面に軟質金属のめっきを施す場合を想定する。軸方向荷重Ｆ１が作用する固定板１２の下側部分に施されためっきは、軸方向荷重Ｆ２が作用する固定板１２の上側部分に施されためっきよりも、激しく摩耗する。換言すれば、めっきの摩耗量は、中心軸（Ｘ軸）に対して、非対称となる。

発明者は、中心軸に対して非対称な軸方向荷重が作用する摺動面が、シール面である場合には、めっきの摩耗量が非対称であることに起因して、シール面からの液漏れが発生することを見出した。

また、発明者は、中心軸に対して非対称な軸方向荷重が作用する摺動面のうちの少なくとも一方の摺動面を固体潤滑皮膜１４の表面とすることで、摩耗量が非対称であることに伴う、シール面からの液漏れの発生が防止されることを見出した。

なお、図１Ａ乃至図２Ｃにおける固定部材１０および回転部材２０は、発明者によって認識された課題を説明するために便宜的に記載されたものである。よって、図１Ａ乃至図２Ｃに記載された固定部材１０および回転部材２０は、本願出願前における公知技術を示すものではない。

（油圧装置の概要）
図３Ａおよび図３Ｂを参照して、油圧装置３０（油圧により動作する装置）の概要について説明する。図３Ａは、油圧装置の概略側面図である。また、図３Ｂは、図３ＡのＡ１－Ａ１矢視断面図である。

油圧装置３０は、ハウジング４０と、バレル５０と、弁板６０とを具備する。

バレル５０は、ハウジング４０内に配置される。バレル５０は、中心軸（Ｘ軸）まわりに回転可能であり、油圧シリンダ５４と、固体潤滑皮膜７０と、中心軸（Ｘ軸）に垂直な第１摺動面７２とを備える。

弁板６０は、ハウジングに直接的にあるいは間接的に固定される。弁板６０は、第１摺動面７２に接触する第２摺動面６２を備える。なお、「接触」には、常に接触していることに加え、時々接触することも包含される。

第１摺動面７２および第２摺動面６２は、油が漏れないようにバレル５０と弁板６０との間をシールする油シール面である。また、第１摺動面７２には、弁板６０または油を介して、中心軸（Ｘ軸）に沿う方向に軸方向荷重（Ｆ１、Ｆ２等）が作用し、第２摺動面６２には、バレル５０または油を介して、中心軸（Ｘ軸）に沿う方向に軸方向荷重（Ｆ１、Ｆ２等）が作用する。軸方向荷重（Ｆ１、Ｆ２等）は、中心軸（Ｘ軸）に対して、非対称な軸方向荷重（例えば、Ｆ１＞Ｆ２）である。

図３Ｂに記載の例において、第１摺動面７２は、固体潤滑皮膜７０の表面である。代替的に、あるいは、付加的に、第２摺動面を固体潤滑皮膜７０の表面としてもよい。固体潤滑皮膜７０は、バレル５０を構成する基材（例えば、金属基材）、および、弁板６０を構成する基材（例えば、金属基材）のうち硬度の低い方の基材上に設けられてもよい。

図３Ｃに、第２摺動面７２’を固体潤滑皮膜７０’の表面とした例を示す。図３Ｃについて、図３Ｂを用いて説明した部材と同一の機能の部材には、同一の図番を付している。

図３Ｃに記載の例では、バレル５０は、中心軸（Ｘ軸）に垂直な第１摺動面５２を備える。弁板６０は、第１摺動面５２に接触する第２摺動面７２’を備える。なお、「接触」には、常に接触していることに加え、時々接触することも包含される。

第１摺動面５２および第２摺動面７２’は、油が漏れないようにバレル５０と弁板６０との間をシールする油シール面である。また、第１摺動面５２には、弁板６０または油を介して、中心軸（Ｘ軸）に沿う方向に軸方向荷重（Ｆ１、Ｆ２等）が作用し、第２摺動面７２’には、バレル５０または油を介して、中心軸（Ｘ軸）に沿う方向に軸方向荷重（Ｆ１、Ｆ２等）が作用する。軸方向荷重（Ｆ１、Ｆ２等）は、中心軸（Ｘ軸）に対して、非対称な軸方向荷重（例えば、Ｆ１＞Ｆ２）である。図３Ｃに記載の例では、第２摺動面７２’は、固体潤滑皮膜７０の表面である。

図３Ｂまたは図３Ｃに記載の例では、第１摺動面または第２摺動面は、固体潤滑皮膜７０の表面である。このため、第１摺動面および第２摺動面に軸方向荷重が作用する場合であっても、第１摺動面と第２摺動面との間のシール特性が維持される。

図３Ｂまたは図３Ｃに記載の例では、第１摺動面または第２摺動面は、固体潤滑皮膜７０の表面である。このため、第１摺動面および第２摺動面に、中心軸（Ｘ軸）に対して非対称な軸方向荷重が作用する場合であっても、第１摺動面と第２摺動面との間のシール特性が維持される。

（油圧装置のより詳細な説明）
図４Ａを参照して、油圧装置３０について、より詳細に説明する。図４Ａは、図３ＡのＡ１－Ａ１矢視断面図である。図４Ａについて、図３Ｂを用いて説明した部材と同一の機能の部材には、同一の図番を付している。

以下、油圧装置３０が、油圧ポンプに含まれる場合について説明するが、油圧装置３０は、油圧モータに含まれていてもよい。

油圧装置３０は、ハウジング４０と、バレル５０と、弁板６０と、斜板８０と、リテーナ９０と、ワッシャ１００と、回転シャフト１１０と、弾性部材１２０と、軸受１３０と、第２軸受１４０とを具備する。

（ハウジング４０）
ハウジング４０は、例えば、側壁４０Ａと、第１端壁４０Ｂと、第２端壁４０Ｃとを備える。第１端壁４０Ｂは、側壁４０Ａの一端に固定され、第２端壁４０Ｃは、側壁４０Ａの他端に固定される。側壁４０Ａは、例えば、円筒形状である。第１端壁４０Ｂは、第１管路１４４と連通する第１油路４４、および、第２管路１４６と連通する第２油路４６を備える。油は、第１管路１４４から油圧装置３０に供給される。また、油は、油圧装置３０から第２管路１４６に排出される。油圧装置３０は、第２管路１４６に油を供給する油圧ポンプの一部として機能する。

（弁板６０）
弁板６０は、ハウジングの第１端壁４０Ｂに固定される。弁板６０は、低圧側ポート６４および高圧側ポート６６（必要であれば、図４ＡのＣ－Ｃ矢視断面図である図４Ｂを参照。）と、第２摺動面６２とを備える。低圧側ポート６４は、ハウジングの第１端壁４０Ｂの第１油路４４と連通する。高圧側ポート６６は、第２油路４６と連通する。

（バレル５０）
バレル５０は、ハウジング４０内に配置される。バレル５０は、中心軸（Ｘ軸）まわりに回転可能であり、第１油圧シリンダ５４－１乃至第９油圧シリンダ５４－９（なお、図４Ａには、第１油圧シリンダ５４－１と、第５油圧シリンダ５４－５のみが図示されている。）と、固体潤滑皮膜７０と、中心軸（Ｘ軸）に垂直な第１摺動面７２とを備える。固体潤滑皮膜７０は、バレル５０の＋Ｘ方向側の端部（すなわち、弁板側の端部）に設けられている。よって、固体潤滑皮膜７０の表面は、第１摺動面７２である。なお、図４Ａおよび図４Ｂに記載の例では、油圧シリンダの数は９個である。しかし、油圧シリンダの数は、９個に限定されない。油圧シリンダの数は、１以上の任意の数（通常は奇数）である。

第１油圧シリンダ５４－１は、第１ピストン５４２－１と、第１シリンダ室５４３－１と、第１流出入口５４４－１とを備える。第１シリンダ室５４３－１は、第１流出入口５４４－１と弁板の低圧側ポート６４とが連通する時、第１管路１４４と、第１油路４４と、低圧側ポート６４と、第１流出入口５４４－１とを介して供給される油を受け取る。第１シリンダ室５４３－１は、第１流出入口５４４－１と弁板の高圧側ポート６６とが連通する時、第１流出入口５４４－１と、高圧側ポート６６と、第２油路４６とを介して、第２管路１４６に油を排出する。図４Ｃは、図４ＡのＤ－Ｄ矢視断面図であり、第１油圧シリンダ５４－１の第１流出入口５４４－１に加えて、第２油圧シリンダ５４－２乃至第９油圧シリンダ５４－９のそれぞれに対応する第２流出入口５４４－２乃至第９流出入口５４４－９が示されている。

第１ピストン５４２－１は、中心軸（Ｘ軸）に沿う方向に、シリンダブロックに対して摺動する。第１ピストン５４２－１が＋Ｘ方向すなわち弁板６０に近づく方向に摺動する時、第１シリンダ室５４３－１の容積は縮小され、第１シリンダ室５４３－１から、第２管路１４６に油が排出される。第１ピストン５４２－１が－Ｘ方向すなわち弁板６０から遠ざかる方向に摺動する時、第１シリンダ室５４３－１の容積は拡大され、第１管路１４４から第１シリンダ室５４３－１に、油が供給される。

第１ピストン５４２－１の遠位端部５４２２－１（弁板６０から遠い側の端部）は、球状部を備える。当該球状部には、第１シュー５４６－１が接続される。第１シュー５４６－１は、球状部に対して、相対回転自在に接続される。第１シュー５４６－１は、斜板８０に接触している。また、第１シュー５４６－１は、リテーナ９０により斜板からの距離が一定の範囲となる様に拘束されている。リテーナ９０の中心軸をＣｔと定義する。第１シュー５４６－１、および、リテーナ９０は、バレル５０の回転に伴い、中心軸Ｃｔのまわりを回転する。第１シュー５４６－１は、バレル５０の回転に伴い、斜板８０の表面上を摺動する。図４Ｄは、図４ＡのＥ－Ｅ矢視断面図であり、第１シュー５４６－１に加えて、第２シュー５４６－２乃至第９シュー５４６－９が示されている。

図４Ａには、第１シュー５４６－１が、弁板６０から最も離れた位置にある状態（すなわち、第１シュー５４６－１が、最も、－Ｘ方向に位置する状態）が示されている。当該状態では、第１ピストン５４２－１は、最も－Ｘ方向に退避した位置にあり、第１シリンダ室５４３－１の容積は最大である。第１シリンダ室５４３－１の容積が大きくなるにつれて、第１シリンダ室５４３－１には、第１流出入口５４４－１および低圧側ポート６４を介して、油が供給される。

バレル５０の回転に伴い、第１シュー５４６－１は、斜板８０の表面上を摺動する。第１シュー５４６－１が斜板８０の表面上を摺動することにより、第１シュー５４６－１が、＋Ｘ方向に移動すると、第１シリンダ室５４３－１の容積は小さくなる。第１シリンダ室５４３－１の容積が小さくなるにつれて、第１シリンダ室５４３－１から第２管路１４６に、第１流出入口５４４－１および高圧側ポート６６を介して、油が供給される。

第２油圧シリンダ５４－２乃至第９油圧シリンダ５４－９の各油圧シリンダの構成は、第１油圧シリンダ５４－１の構成と同一である。また、第２シュー５４６－２乃至第９シュー５４６－９の各シューの構成は、第１シュー５４６－１の構成と同一である。よって、第２油圧シリンダ５４－２乃至第９油圧シリンダ５４－９、第２シュー５４６－２乃至第９シュー５４６－９についての説明は、省略する。

図４Ａにおいて、バレル５０の上側部分（＋Ｚ側の領域Ａｚｚ（＋）に位置する部分）には、第１シリンダ室５４３－１内の油圧等によって、＋Ｘ方向の軸方向荷重が作用している。バレル５０に、弾性部材１２０等の押圧機構による＋Ｘ方向の軸方向荷重を作用させてもよい。バレル５０の上側部分に作用する＋Ｘ方向の軸方向荷重を軸方向荷重Ｆ２と定義する。弁板６０の第２摺動面６２には、バレル５０によって押されることにより、軸方向荷重Ｆ２が作用する。第２摺動面６２に軸方向荷重Ｆ２が作用することの反作用として、バレル５０の第１摺動面７２には、軸方向荷重Ｆ２が作用する。

図４Ａにおいて、バレル５０の下側部分（－Ｚ側の領域Ａｚｚ（－）に位置する部分）には、第５シリンダ室５４３－５内の油圧等によって、＋Ｘ方向の軸方向荷重が作用している。バレル５０に、弾性部材１２０等の押圧機構による＋Ｘ方向の軸方向荷重を作用させてもよい。バレル５０の下側部分に作用する＋Ｘ方向の軸方向荷重を軸方向荷重Ｆ１と定義する。第５シリンダ室５４３－５内の油圧は、第１シリンダ室５４３－１内の油圧よりも大きいため、軸方向荷重Ｆ１は、軸方向荷重Ｆ２よりも大きい。弁板６０の第２摺動面６２には、バレル５０によって押されることにより、軸方向荷重Ｆ１が作用する。第２摺動面６２に軸方向荷重Ｆ１が作用することの反作用として、バレル５０の第１摺動面７２には、軸方向荷重Ｆ１が作用する。

油圧装置において、第１摺動面７２および第２摺動面６２に作用する軸方向荷重による圧力（面圧）は、非常に大きい。例えば、軸方向荷重によって、第１摺動面７２または第２摺動面６２に作用する軸方向圧力（面圧）は、５ＭＰa以上となる場合もある。軸方向荷重による圧力（面圧）の作用下における摺動によって、第１摺動面７２および第２摺動面６２は、摩耗する。実施形態では、第１摺動面７２を、固体潤滑皮膜７０の表面としているため、固体潤滑皮膜７０の高い摺動特性（高い耐焼付き特性）によって、摩耗が緩和される。高い摺動特性とは、摩擦係数が小さく、耐焼付き性に優れる特徴を意味する。固体潤滑皮膜７０は、その結晶構造により、結合力の弱い層間ですべり易く、結合力の強い面で圧縮方向への荷重に耐える。このため、摩擦係数が小さく、耐焼付き性に優れる特徴を有する。

また、実施形態の油圧装置において、第１摺動面７２および第２摺動面６２に作用する軸方向荷重による圧力（面圧）は、Ｚ軸に対して非対称である。非対称な軸方向荷重よる圧力（面圧）によって、第１摺動面７２および第２摺動面６２は、非対称に摩耗する。実施形態では、第１摺動面７２を、固体潤滑皮膜７０の表面としているため、固体潤滑皮膜７０の高い摺動特性によって、非対称な摩耗が緩和される。

（斜板８０、リテーナ９０、ワッシャ１００）
斜板８０は、ハウジング４０に直接的または間接的に固定される。図４Ａにおいて、図面の複雑化を避けるために、斜板８０のハウジング４０に対する固定機構の記載は省略されている。斜板８０は、第１シュー５４６－１乃至第９シュー５４６－９が摺動する摺動面（シュー摺動面）を備える。なお、第１シュー５４６－１乃至第９シュー５４６－９は、省略されてもよい。第１シュー５４６－１乃至第９シュー５４６－９が省略される場合、斜板８０は、第１ピストン５４２－１乃至第９ピストン５４２－９が摺動する摺動面（ピストン摺動面）を備える。

リテーナ９０は、ワッシャ１００を保持する部材である。斜板８０とリテーナ９０との間には、ワッシャ１００が配置される。ワッシャ１００は、リング状の部材である。ワッシャ１００は、リテーナ９０に対して摺動可能であるとともに、斜板８０に対して摺動可能である。ワッシャ１００の表面には、中心軸Ｃｔに沿う方向に軸方向荷重が作用する。軸方向荷重は、中心軸Ｃｔに対して非対称な軸方向荷重である。

図４Ｅは、図４Ａの領域Ｆの拡大図である。図４Ｅを参照すると、ワッシャ１００の表面には、固体潤滑皮膜１０２が設けられている（換言すれば、ワッシャの表面は、固体潤滑皮膜１０２の表面である）。なお、図４Ｅに記載の例では、ワッシャ１００の表面のうちリテーナ９０と接触する側の表面に固体潤滑皮膜１０２が設けられている。代替的に、ワッシャ１００の表面のうち斜板８０と接触する側の表面に固体潤滑皮膜１０２が設けられてもよい。なお、図４Ｅに記載の例では、ワッシャ１００の表面に固体潤滑皮膜１０２が設けられている。代替的に、あるいは、付加的に、ワッシャ１００と接触するリテーナ９０の表面に固体潤滑皮膜１０２が設けられてもよい。代替的に、あるいは、付加的に、ワッシャ１００と接触する斜板８０の表面に固体潤滑皮膜１０２が設けられてもよい。

なお、ワッシャ１００の表面に固体潤滑皮膜１０２を適用する方が、リテーナ９０の表面あるいは斜板８０の表面に固体潤滑皮膜１０２を適用するよりも、皮膜の施工が容易である。なお、ワッシャ１００の両面（すなわち、ワッシャ１００の表面のうちリテーナ９０と接触する表面、および、ワッシャ１００の表面のうち斜板８０と接触する表面の両方）に、固体潤滑皮膜１０２を設けることが好ましい。なぜなら、例えば、ワッシャ１００とリテーナ９０との間の固体潤滑皮膜が摩耗して、ワッシャ１００とリテーナ９０との間に焼付きが生じた場合であっても、ワッシャ１００と斜板８０との間にすべりが生じることにより、過度な焼付きを防止することができるからである。図４Ｆに、ワッシャ１００の両面に固体潤滑皮膜１０２を設けた例を示す。

実施形態では、ワッシャ１００の表面、ワッシャ１００と接触する斜板８０の表面、または、ワッシャ１００と接触するリテーナ９０の表面のうちの少なくとも１つの表面に固体潤滑皮膜１０２が設けられている。このため、軸方向荷重による圧力（面圧）の作用によるワッシャ、斜板、または、リテーナの摩耗が緩和される。さらに、非対称な軸方向荷重による圧力（面圧）の作用によるワッシャ、斜板、または、リテーナの非対称な摩耗が緩和される。

（回転シャフト１１０）
回転シャフト１１０は、駆動装置（図４Ａには、図示されず）からの動力を、バレル５０に伝達する回転部材である。回転シャフト１１０の係合部１１２と、バレル５０の係合部５５とは、Ｘ軸まわりの相対回転を制限または禁止するように、互いに係合している。係合部１１２は、例えば、回転シャフトの外周面に形成された凸部である。係合部５５は、例えば、バレル５０の内周面に形成された凹部である。回転シャフト１１０がＸ軸まわりに回転することにより、バレル５０は、Ｘ軸まわりに回転する。

回転シャフト１１０は、バレルを＋Ｘ方向（すなわち、弁板６０を押圧する方向）に向けて付勢してもよい。図４Ａに記載の例では、回転シャフト１１０は、弾性部材１２０（例えば、コイルスプリング）を介して、バレル５０を弁板６０に向けて付勢している。図４Ａに記載の例では、弾性部材１２０は、回転シャフト１１０の先端と、バレル５０に設けられた受け部５６との間に配置されている。

（軸受１３０、１４０）
軸受１３０は、回転シャフト１１０を回転自在に支持する軸受である。また、第２軸受１４０は、バレル５０をハウジング４０に対して回転可能に支持する軸受である。第２軸受１４０は、バレル５０と、ハウジング４０（具体的には、ハウジング４０の側壁４０Ａ）との間に配置されている。

（環状溝５８）
実施形態では、バレル５０の弁板６０側の端面（すなわち、第１摺動面７２）には、第１流出入口５４４－１乃至第９流出入口５４４－９（換言すれば、複数の流出入口である全ての流出入口）を囲む環状溝５８が設けられている。環状溝５８の深さは、固体潤滑皮膜７０の厚さを超えて、バレル５０の基材に達する深さであってもよい。また、環状溝５８に連通する放射状の溝が設けられてもよい。環状溝および放射状の溝は、第１摺動面７２と第２摺動面６２との間の隙間から漏れた油の圧力勾配をコントロールする。ハウジング内部圧力（ケース圧力）に達するまでの圧力勾配をコントロールすることで、バレル５０の回転バランスを取ることが可能である。

実施形態では、固体潤滑皮膜７０の存在により焼付きが防止される。焼付き防止により、シール機能が保持され、油漏れリスクが低減されるのに加えて、環状溝５８の存在により回転バランスが維持される。すなわち、固体潤滑皮膜７０による焼付き防止、油漏れリスク低減効果と環状溝５８による回転バランス維持効果との相乗効果により、油漏れが効果的に抑制される。

環状溝５８は、互いに接触する２つの表面のうち、少なくとも一方の表面（換言すれば、互いに接触する２つの表面のうちのいずれか一方の表面、または、両方の表面）に設けられてもよい。硬度が低い側の部材の表面に環状溝５８を設けた場合、環状溝５８のエッジにより、他の部材（硬度が高い側の部材）の表面が傷つけられるリスクが低減される。また、硬度が低い側の部材の表面に固体潤滑皮膜を設けることにより、固体潤滑皮膜が摩耗して硬度が低い側の部材が露出した場合に、他の部材（硬度が高い側の部材）の表面が傷つけられるリスクが低減される。

なお、図４Ａに記載の実施形態では、環状溝５８が、バレル側に設けられている。代替的に、あるいは、付加的に、環状溝５８が、弁板６０側（具体的には、第２摺動面６２）に設けられてもよい。環状溝５８が、弁板６０側に設けられる場合、環状溝は、高圧側ポート６６および低圧側ポート６４を囲むように配置される。

（油圧装置の動作）
次に図４Ａおよび図４Ｇを参照して、油圧装置の動作について説明する。図４Ｇは、油圧シリンダの位置および状態を模式的に示す図である。

第１に、駆動装置（図４Ａ、図４Ｇには図示されず）からの動力により、回転シャフト１１０が回転する。回転シャフト１１０の回転は、係合部１１２および係合部５５を介して、バレル５０に伝達される。すなわち、バレル５０は、回転シャフト１１０とともに、Ｘ軸まわりに回転する。

第１の状態において、油圧シリンダ５４（第１油圧シリンダ５４－１乃至第９油圧シリンダ５４－９のうちのいずれか１つの油圧シリンダ）が、最も＋Ｚ方向側の位置、すなわち、図４ＧにおけるＰ１の位置（第１位置）に存在することを想定する。この時、油圧シリンダ５４のシリンダ室５４３の容積Ｖ１は、最大である。第１の状態において、シリンダ室５４３は、流出入口５４４と連通しており、低圧側ポート６４と高圧側ポート６６のうちの少なくとも一方のポートと連通している。代替的に、第１の状態において、シリンダ室５４３は、流出入口５４４と連通しており、低圧側ポート６４と高圧側ポート６６のいずれとも連通しないようにしてもよい。

第２に、バレル５０が、Ｘ軸まわりに、図４Ｇに示されるＲ方向に回転することにより、油圧シリンダ５４は、Ｐ２の位置（第２位置）に移動する（第２の状態）。この時、油圧シリンダ５４のシリンダ室５４３の容積Ｖ２は、容積Ｖ１よりも小さい。第２の状態において、シリンダ室５４３は、流出入口５４４と、高圧側ポート６６と、第２油路４６と、第２管路１４６とに連通している。シリンダ室５４３の容積が縮小することに伴い、第２管路１４６には油が吐出される（すなわち、油圧装置は、油圧ポンプとして機能する。）。

第３に、バレル５０が、Ｘ軸まわりに、図４Ｇに示されるＲ方向に回転することにより、油圧シリンダ５４は、Ｐ３の位置（第３位置）に移動する（第３の状態）。この時、油圧シリンダ５４のシリンダ室５４３の容積Ｖ３は、容積Ｖ２よりも小さい。第３の状態において、シリンダ室５４３は、流出入口５４４と、高圧側ポート６６と、第２油路４６と、第２管路１４６とに連通している。シリンダ室５４３の容積が縮小することに伴い、第２管路１４６には油が吐出される。

第４に、バレル５０が、Ｘ軸まわりに、図４Ｇに示されるＲ方向に回転することにより、油圧シリンダ５４は、Ｐ４の位置（第４位置）に移動する（第４の状態）。

第５に、バレル５０が、Ｘ軸まわりに、図４Ｇに示されるＲ方向に回転することにより、油圧シリンダ５４は、Ｐ５の位置（第５位置）に移動する（第５の状態）。

第４の状態および第５の状態においても、第２の状態および第３の状態と同様に、シリンダ室５４３から第２管路１４６に油が吐出される。なお、第５’の状態において、シリンダ室５４３の容積Ｖ５’は、最小である。

第６に、バレル５０が、Ｘ軸まわりに、図４Ｇに示されるＲ方向に回転することにより、油圧シリンダ５４は、Ｐ６の位置（第６位置）に移動する（第６の状態）。この時、油圧シリンダ５４のシリンダ室５４３の容積Ｖ６は、容積Ｖ５’よりも大きい。第６の状態において、シリンダ室５４３は、流出入口５４４と、低圧側ポート６４と、第１油路４４と、第１管路１４４とに連通している。シリンダ室５４３の容積が拡大することに伴い、第１管路１４４からシリンダ室５４３に油が供給される。

第７に、バレル５０が、Ｘ軸まわりに、図４Ｇに示されるＲ方向に回転することにより、油圧シリンダ５４は、Ｐ７の位置（第７位置）に移動する（第７の状態）。

第８に、バレル５０が、Ｘ軸まわりに、図４Ｇに示されるＲ方向に回転することにより、油圧シリンダ５４は、Ｐ８の位置（第８位置）に移動する（第８の状態）。

第９に、バレル５０が、Ｘ軸まわりに、図４Ｇに示されるＲ方向に回転することにより、油圧シリンダ５４は、Ｐ９の位置（第９位置）に移動する（第９の状態）。

第１０に、バレル５０が、Ｘ軸まわりに、図４Ｇに示されるＲ方向に回転することにより、油圧シリンダ５４は、Ｐ１の位置（第１位置）に移動する（第１の状態に戻る）。

第７の状態、第８の状態、および、第９の状態においても、第６の状態と同様に、第１管路１４４からシリンダ室５４３に油が供給される。

以上のとおり、回転シャフト１１０およびバレル５０の回転に伴い、第１管路１４４から油圧シリンダ５４のシリンダ室５４３に油が供給され、また、油圧シリンダ５４のシリンダ室５４３から第２管路１４６に油が吐出される。

（油圧ポンプ）
図５Ａは、油圧ポンプの一例を示す概略ブロック図である。

図５Ａに記載の例において、油圧ポンプは、油圧装置３０を含む。油圧装置３０は、上述の実施形態で説明された油圧装置３０と同一の構成である。

油圧ポンプは、油圧装置３０と、駆動装置２００と、回転シャフト１１０と、第１管路１４４と、第２管路１４６とを含む。駆動装置２００の駆動力は回転シャフト１１０に伝達される。回転シャフト１１０は、回転軸まわりに回転する。回転シャフト１１０が回転することにより、上述の動作原理により、油圧装置３０には、第１管路１４４から油が供給され、油圧装置３０から第２管路１４６に油が吐出される。第２管路１４６を流れる油は、仕事をして、負荷３００を動作させる。負荷３００を動作させた油は、第１管路１４４を介して、再び、油圧装置３０に供給される。

なお、駆動装置２００が電動モータであり、負荷３００がアクチュエータである時、油圧ポンプは、電動油圧アクチュエータを構成する。

（油圧モータ）
図５Ｂは、油圧モータの一例を示す概略ブロック図である。油圧装置３０は、上述の実施形態で説明された油圧装置３０と同一の構成である。油圧モータは、油圧装置３０と、回転シャフト１１０と、第１管路１４４と、第２管路１４６とを含む。油圧モータにおいては、油圧ポンプ４００が、油を循環させる機能を担う。油圧ポンプ４００によって、第１管路１４４を介して油圧装置３０に供給される油は、仕事をして、バレル５０および回転シャフト１１０を回転させる。仕事をした後の油は、第２管路１４６を介して、油圧ポンプ４００に供給される。

（変形例）
図６に、油圧装置の変形例を示す。図６は、油圧装置の縦断面図である。図６について、図４Ａを用いて説明した部材と同一の機能の部材には、同一の図番を付している。

図６に記載の例では、ピストン５４２の先端にシューが配置されていない点で、図４Ａに記載の例とは異なる。図６に記載の例では、第１ピストン５４２－１の先端部５４２４－１は、斜板８０に直接接触する。同様に、第２ピストン５４２－２乃至第９ピストン５４２－９の先端部は、それぞれ、斜板８０に直接接触する。

第１ピストン５４２－１の先端部に作用するＸ軸方向の軸方向荷重は、第５ピストン５４２－５の先端部に作用するＸ軸方向の軸方向荷重と異なる。すなわち、図６に記載の例では、ピストン５４２の先端部にシューが配置されていないが、ピストンの先端部に作用する軸方向荷重は、図４Ａに記載の例と同じである。

図６に記載の例では、第１ピストン５４２－１の先端部に、固体潤滑皮膜５４２６－１が設けられている。第２ピストン５４２－２乃至第９ピストン５４２－９の先端部にも、それぞれ、固体潤滑皮膜５４２６－２乃至固体潤滑皮膜５４２６－９が設けられている。代替的に、あるいは、付加的に、斜板８０の表面うち、少なくとも、ピストンの先端部に接する部分の表面に、固体潤滑皮膜が設けられてもよい。

図６に記載の例では、ピストン先端部の表面、または、ピストン先端部と接触する斜板８０の表面に固体潤滑皮膜５４２６が設けられている。このため、軸方向荷重の作用によるピストン先端部、または、斜板の摩耗が緩和される。

なお、図６に記載の例では、シューが存在しない。この場合、リテーナ９０は不要である。リテーナを設けない場合、例えば、シリンダ室５４３にバネ（図示せず）を挿入し、ピストン先端部を斜板８０に接触させる（図６においては、図面の複雑化を避けるために、上記機構は、図示されていない）。

なお、図６に記載の例では、回転シャフト１１０には、面シール部材１１４が固定されている。面シール部材１１４と回転シャフト１１０との間には、Ｏリング１１６が配置されている。面シール部材１１４は、回転シャフト１１０とともに、Ｘ軸まわりを回転する。面シール部材１１４の後端面（－Ｘ方向側の端面）は、ハウジング４０に直接的または間接的に固定された受け部材４８の前端面（＋Ｘ方向側の端面）と面接触している。図６に記載の例では、受け部材４８は、ハウジングの第２端壁４０Ｃに固定されている。面シール部材１１４の後端面および受け部材４８の前端面には、中心軸（Ｘ軸）に沿う方向に軸方向荷重が作用する。

図６に記載の例では、受け部材４８の前端面には、固体潤滑皮膜４９が設けられている（換言すれば、受け部材の前端面は、固体潤滑皮膜４９の表面である）。代替的に、あるいは、付加的に、面シール部材１１４の後端面に、固体潤滑皮膜４９が設けられてもよい。

実施形態では、受け部材４８の表面、面シール部材１１４の表面のうちの少なくとも１つの表面に固体潤滑皮膜４９が設けられている。このため、軸方向荷重による圧力（面圧）の作用による受け部材４８、面シール部材１１４の摩耗が緩和される。

なお、図６に記載の例では、受け部材４８は、環状の部材である。同様に、面シール部材１１４は、環状の部材である。また、受け部材４８の前端面、および、面シール部材１１４の後端面は、油の漏れを防ぐシール面である。

（固体潤滑皮膜）
実施形態における固体潤滑皮膜は、固体潤滑作用を有する粉末と、バインダーとしての基材とから構成されてもよい。固体潤滑作用を有する粉末としては、例えば、グラファイト、窒化ホウ素、二硫化モリブデン、二硫化亜鉛、二硫化銅等の無機系材料、あるいは、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）やフッ化黒鉛等の有機系材料を用いることが可能である。無機系の固体潤滑材は、例えば、平板の結晶が層状に並ぶ構造をなし、層状構造における層間の滑りにより潤滑作用を発現するものであってもよい。一方、有機系の固体潤滑材では、フッ素原子に起因する小さな表面エネルギーにより潤滑作用が発現されてもよい。固体潤滑皮膜として、デフリックコート（登録商標）を用いてもよい。

なお、固体潤滑皮膜の厚さは、３μｍ以上２０μｍ以下であることが好ましい。３μｍより小さな厚さでは、軸方向荷重によって、皮膜が破壊されるおそれがある。２０μｍより大きな厚さでは、皮膜の形状（平坦度）が維持されず、液漏れが生じるおそれがある。

固体潤滑皮膜を設ける表面は、互いに接触する表面のうち硬度の低い側の部材の表面であることが好ましい。しかし、固体潤滑皮膜の摩耗によって、固体潤滑皮膜を担持する基材が露出する可能性が低い場合には、硬度の高い側の部材の表面に固体潤滑皮膜を設けてもよい。

実施形態では、軸方向荷重が作用するシール面となっている摺動面（または摺動面）に固体潤滑皮膜を配置することで、シール面（または摺動面）の劣化を抑制することが可能である。シール面（または摺動面）の劣化を抑制することにより、油圧装置の性能が効果的に維持される。実施形態では、シール面（または摺動面）に高い軸方向荷重が作用する場合、あるいは、シール面（または摺動面）に非対称な軸方向荷重が作用する場合であっても、当該シール面（または摺動面）に固体潤滑皮膜を配置することで、シール面（または摺動面）の劣化を抑制することが可能である。実施形態では、油圧装置の運転開始、運転停止、回転シャフトの加減速等によって、シール面（または摺動面）に不規則な荷重が作用する場合であっても、当該シール面（または摺動面）に固体潤滑皮膜を配置することで、シール面（または摺動面）の劣化を抑制することが可能である。

実施形態では、軸方向荷重が作用するシール面（または摺動面）に固体潤滑皮膜を配置することで、吐出圧力（第２管路１４６における油圧）と周速（回転速度（バレルの回転速度）と摺動面直径の積の値）の積の値が１．２×１０^３ＭＰa・ｍ／s以上である超高出力の油圧装置を実現することが可能である。実施形態では、軸方向荷重が作用するバレル側の第１摺動面と、弁板側の第２摺動面のうちの少なくとも１つの摺動面（換言すれば、第１摺動面と第２摺動面のうちのいずれか一方の摺動面、または、両方の摺動面）を、固体潤滑皮膜の表面とすることで、上記吐出圧力と上記周速の積の値が、２．３×１０^３ＭＰａ・ｍ／ｓ以上である超高出力の油圧装置を実現することが可能である。

本発明は上記各実施形態に限定されず、本発明の技術思想の範囲内において、各実施形態は適宜変形又は変更され得ることは明らかである。また、各実施形態又は変形例で用いられる種々の技術は、技術的矛盾が生じない限り、他の実施形態又は変形例にも適用可能である。

１０：固定部材
１２：固定板
１４：固体潤滑皮膜
２０：回転部材
２２：回転板
３０：油圧装置
４０：ハウジング
４０Ａ：側壁
４０Ｂ：第１端壁
４０Ｃ：第２端壁
４４：第１油路
４６：第２油路
４８：受け部材
４９：固体潤滑皮膜
５０：バレル
５２：第１摺動面
５４：油圧シリンダ
５５：係合部
５６：受け部
５８：環状溝
６０：弁板
６２：第２摺動面
６４：低圧側ポート
６６：高圧側ポート
７０：固体潤滑皮膜
７０’ ：固体潤滑皮膜
７２：第１摺動面
７２’ ：第２摺動面
８０：斜板
９０：リテーナ
１００：ワッシャ
１０２：固体潤滑皮膜
１１０：回転シャフト
１１２：係合部
１１４：面シール部材
１１６：Ｏリング
１２０：弾性部材
１３０：軸受
１４０：第２軸受
１４４：第１管路
１４６：第２管路
２００：駆動装置
３００：負荷
４００：油圧ポンプ
５４２：ピストン
５４３：シリンダ室
５４４：流出入口
５４６：シュー
５４２２：遠位端部
５４２６：固体潤滑皮膜

Claims

ハウジング内に配置され、中心軸まわりに回転可能であり、前記中心軸に垂直な第１摺動面を備えるバレルと、
前記ハウジングに固定され、前記第１摺動面に接触する第２摺動面を備える弁板と、
前記ハウジングに固定される斜板と
を具備し、
前記第１摺動面および前記第２摺動面は、油シール面であり、
前記第１摺動面および前記第２摺動面は、前記中心軸に沿う方向に軸方向荷重が作用する面であり、
前記バレルの硬度が前記弁板の硬度より低い場合には、固体潤滑皮膜が、前記第１摺動面に配置され、前記第２摺動面に配置されず、
前記バレルの硬度が前記弁板の硬度より高い場合には、固体潤滑皮膜が、前記第２摺動面に配置され、前記第１摺動面に配置されず、
前記バレルは、ピストンと、シリンダ室と、流出入口とを有する油圧シリンダを備え、
前記弁板は、前記流出入口と連通可能な高圧側ポートと、前記流出入口と連通可能な低圧側ポートとを備え、
前記固体潤滑皮膜には、前記中心軸に対して非対称に、前記軸方向荷重が作用し、
前記固体潤滑皮膜が前記第１摺動面に配置されているとき、前記第２摺動面に前記高圧側ポートおよび前記低圧側ポートを囲む環状溝が設けられ、
前記固体潤滑皮膜が前記第２摺動面に配置されているとき、前記第１摺動面に前記流出入口を囲む環状溝が設けられている
油圧装置。
前記固体潤滑皮膜が前記第２摺動面に設けられ、
前記環状溝が前記第１摺動面に設けられている
請求項１に記載の油圧装置。