JP7105835B2 - Horizontal wet process fixture - Google Patents

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JP7105835B2 JP2020129851A JP2020129851A JP7105835B2 JP 7105835 B2 JP7105835 B2 JP 7105835B2 JP 2020129851 A JP2020129851 A JP 2020129851A JP 2020129851 A JP2020129851 A JP 2020129851A JP 7105835 B2 JP7105835 B2 JP 7105835B2
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Description

本発明は水平式ウェットプロセス治具に関し、特に可とう性フラット基板を治具のアーチ表面基準部に貼り付けて、アーチ表面を形成した後、所望のアーチ状可とう性基板に固定する分野に関する。 Field of the Invention The present invention relates to a horizontal wet processing jig, and more particularly to the field of attaching a flexible flat substrate to an arch surface reference portion of the jig to form an arch surface and then fixing it to a desired arcuate flexible substrate. .

可とう性基板は剛性を持っていないため、曲げ変形や折り曲げによって損傷しやすい。そのため、加工プロセスにおいて、これをクランプ治具に取り付けて、クランプ治具の剛性構造によって、可とう性基板の搬送及びプロセス加工おける曲げ変形や折り曲げによる損傷を保護して置かなければならない。 Since the flexible substrate does not have rigidity, it is easily damaged by bending deformation or bending. Therefore, during the fabrication process, it must be attached to a clamping jig, and the flexible substrate must be protected from bending deformation and bending damage during transport and processing by the rigid structure of the clamping jig.

化学ウェットプロセスにおいて、クランプ治具は平面の治具構造であり、可とう性基板を平面治具に取り付けた後、可とう性基板を平面基板の方式で作業し、平面基板が薬液によって、所望の電気回路パターンが形成される。フラット基板方式の作業では、薬液が可とう性基板の一部区域に滞留され、特に中間区域に水だめ効果を引き起こし、薬液のムラ現象を受けて、プロセスの製品規格管理が難しく、不良率が高止まりとなる。一方、公知技術の平面クランプ治具の機構設計の多くが複雑で、製造コストも高く、保守がこんなんである。これが水だめ効果を解消できない課題になっている。 In the chemical wet process, the clamping jig is a planar jig structure. electric circuit pattern is formed. In the flat substrate type work, the chemical is retained in some areas of the flexible substrate, especially in the middle area, causing a pooling effect, causing unevenness in the chemical, making it difficult to manage the product specifications of the process and increasing the defect rate. It stops high. On the other hand, many of the mechanical designs of known planar clamping fixtures are complicated, costly to manufacture, and difficult to maintain. This is a problem that cannot solve the water sump effect.

本発明の主な目的は、アーチ治具を適用して、可とう性基板をアーチ状可とう性基板の形にしてからウェットプロセスにおいて、自重により薬液を素早くアーチ状可とう性基板の左右両側に流して、薬液を均一にアーチ状可とう性基板の表面に分布させ、基板の一部区域が薬液の滞留に引き起こす水だめ効果を軽減する。 The main purpose of the present invention is to apply an arch jig to shape a flexible substrate into the shape of an arch-shaped flexible substrate, and then, in a wet process, quickly apply a chemical liquid by its own weight to both the left and right sides of the arch-shaped flexible substrate. to evenly distribute the chemical solution over the surface of the arcuate flexible substrate to reduce the sump effect caused by pooling of the chemical solution in some areas of the substrate.

本発明の次の目的は、フラット治具の構造をアーチ状治具に設計することによって、本発明全体の構造設計をより単純化させ、製造コストを低減し、もって、アーチ状治具の保守や整備より簡単、便利にできる。 The next object of the present invention is to design the structure of the flat jig into the arched jig, thereby simplifying the structural design of the whole invention, reducing the manufacturing cost, and thus reducing the maintenance of the arched jig. It is easier and more convenient than maintenance.

前述目的を達成するため、本発明より、水平式ウェットプロセス治具、特に可とう性フラット基板をアーチ状可とう性基板に仕上げる治具を提供する。治具は、アーチ表面を形成する本体と、アーチ表面を形成する本体に連結する固定具とを含む、アーチ表面を形成する本体がアーチ表面基準部を有し、アーチ表面基準部の側面がアーチ状を形成し、アーチ表面基準部が可とう性フラット基板をその上面にぴったり貼り付けて、アーチ状可とう性基板の形成に提供する。固定具がアーチ状可とう性基板をアーチ表面基準部への固定に提供し、アーチ状可とう性基板を所望のアーチ表面に形成する。 To achieve the above objects, the present invention provides a horizontal wet process fixture, particularly a fixture for finishing flexible flat substrates into arch-shaped flexible substrates. The jig includes a body forming an arch surface and a fixture coupled to the body forming the arch surface, the body forming the arch surface having an arch surface reference, the side of the arch surface reference being the arch. The arcuate surface datum affixes the flat flexible substrate to its top surface to provide for the formation of the arcuate flexible substrate. A fixture provides for securing the arcuate flexible substrate to the arch surface datum to form the arcuate flexible substrate to the desired arch surface.

本発明の水平ウェットプロセス治具第1実施例の態様図である。1 is a schematic diagram of a first embodiment of a horizontal wet process jig according to the present invention; FIG. 図1に示す可とう性フラット基板を治具に取り付けた態様図である。FIG. 2 is a diagram showing a state in which the flexible flat substrate shown in FIG. 1 is attached to a jig; 図2が治具にアーチ状可とう性基板を形成した側面図である。FIG. 2 is a side view of a jig formed with an arch-shaped flexible substrate. 本発明の水平ウェットプロセス治具第2実施例の態様図である。FIG. 4 is a schematic diagram of a second embodiment of the horizontal wet process jig of the present invention; 本発明の水平ウェットプロセス治具第3実施例の態様図である。FIG. 10 is a schematic diagram of a third embodiment of the horizontal wet process jig of the present invention; 図5に示す重ね合わせ可能な治具の態様図である。FIG. 6 is a schematic diagram of the stackable fixture shown in FIG. 5; 本発明の水平ウェットプロセス治具第4実施例の態様図である。FIG. 4 is a schematic diagram of a horizontal wet process fixture according to a fourth embodiment of the present invention; 本発明をウェットプロセス製造設備に適用する場合の構造態様図である。FIG. 2 is a structural diagram of a case where the present invention is applied to wet process manufacturing equipment;

図1、本発明の水平ウェットプロセス治具第1実施例の態様図を参照する。 Please refer to FIG. 1, a schematic diagram of a first embodiment of the horizontal wet process fixture of the present invention.

本発明は、可とう性フラット基板をアーチ状可とう性基板に仕上げる治具100に関するものである。治具100は、アーチ表面を形成する本体1と、アーチ表面を形成する本体1に連結する固定具2とを含む。アーチ表面を形成する本体1は、アーチ表面基準部11を有し、アーチ表面基準部11の側面がアーチ状を形成する。アーチ表面基準部11は第1側面111と、中央アーチ表面位置112と、第1側面111と対向する第2側面113とを含む。中央アーチ表面位置112の中心線が最大湾曲位置であり、第1側面111と第2側面113に向かって高さが次第に下げていき、第1側面111と第2側面113がもっとも低い位置となる。 The present invention relates to a jig 100 for finishing a flexible flat substrate into an arch-shaped flexible substrate. The jig 100 includes a body 1 forming an arch surface and a fixture 2 connected to the body 1 forming the arch surface. A main body 1 forming an arch surface has an arch surface reference portion 11, and the side surface of the arch surface reference portion 11 forms an arch shape. Arch surface reference 11 includes a first side 111 , a central arch surface location 112 and a second side 113 opposite first side 111 . The centerline of the central arch surface location 112 is the point of maximum curvature, and the height gradually decreases toward the first side 111 and the second side 113, where the first side 111 and the second side 113 are the lowest. .

前述説明より、治具100がアーチ状治具の態様を形成することがわかる。図2と図3に示す実施例は、固定具2が嵌着部21を有し、嵌着部21がアーチ表面基準部11の側面に連結している。アーチ表面を形成する本体1が中空部12を有し、嵌着部21を中空部12の付近場所に設けられている。アーチ表面を形成する本体1の対向両側が中空部12をまたがって、支持リブ13に連結され、支持リブ13の好適な連結位置は、中央アーチ表面位置112の中心線が最大湾曲位置である。詳しく言えば、可とう性フラット基板3を治具100に取り付けると、図3に示すように、可とう性フラット基板3の周りが自動にアーチ表面基準部11の第1側面111と、中央アーチ表面位置112と、第2側面113に押し当てて、アーチ表面基準部11が可とう性フラット基板3をその上面にぴったり貼り付けて、アーチ状可とう性基板4を形成する。固定具2は、アーチ状可とう性基板4をアーチ表面基準部11への固定に提供し、アーチ状可とう性基板4に所定のアーチ表面を形成する。つまり、アーチ状可とう性基板4を治具100に取り付けた後、アーチ状可とう性基板4がアーチ表面基準部11の第1側面111と、中央アーチ表面位置112と、第2側面113に従って、自動にアーチ状可とう性基板4の中央位置から両側へアーチ状を形成し、可とう性基板4の両側のもっとも低い位置を固定具2の嵌着部21にぴったり貼り付けられる。支持リブ13によって支えを強化するとともに、アーチ状可とう性基板4のアーチ表面成形を固定する。このほか、支持リブ13はその後のウェットプロセスについて、アーチ状可とう性基板4が薬液スプレーの衝撃力でアーチ状可とう性基板4の一部区域が治具100での薬液滞留による水だめ効果を避けられる。 From the foregoing description, it can be seen that jig 100 forms an aspect of an arcuate jig. In the embodiment shown in FIGS. 2 and 3, the fixture 2 has a fitting portion 21 which is connected to the side surface of the arch surface reference portion 11 . A body 1 forming an arched surface has a hollow portion 12 and a fitting portion 21 is provided at a location near the hollow portion 12 . Opposite sides of the body 1 forming the arch surface are connected across the hollow 12 to support ribs 13, the preferred connection position of the support ribs 13 being the maximum curvature at the centerline of the central arch surface position 112. Specifically, when the flexible flat substrate 3 is attached to the jig 100, as shown in FIG. The surface position 112 and the second side surface 113 are pressed against each other so that the arch surface reference part 11 sticks the flexible flat substrate 3 on its upper surface tightly to form the arch-shaped flexible substrate 4 . A fixture 2 provides for securing the arcuate flexible substrate 4 to the arcuate surface reference portion 11 to form a predetermined arcuate surface on the arcuate flexible substrate 4 . That is, after attaching the arch-shaped flexible substrate 4 to the jig 100 , the arch-shaped flexible substrate 4 follows the first side 111 , the central arch surface position 112 and the second side 113 of the arch surface reference portion 11 . , the arc-shaped flexible substrate 4 automatically forms an arch shape from the central position to both sides, and the lowest positions on both sides of the flexible substrate 4 are tightly attached to the fitting portions 21 of the fixture 2 . The support ribs 13 reinforce the support and fix the arcuate surface molding of the arcuate flexible substrate 4 . In addition, in the subsequent wet process, the arch-shaped flexible substrate 4 is affected by the impact force of the chemical solution spray, and a partial area of the arch-shaped flexible substrate 4 becomes a water reservoir effect due to the retention of the chemical solution in the jig 100 . can be avoided.

図4、本発明水平式ウェットプロセス治具第2実施例の態様図を参照する。第2実施例と前述第1実施例と異なる点は、アーチ表面を形成する本体1の周りにアーチ表面を形成する本体1の上下面を貫いた複数の放流穴14を設け、放流穴14の一側が嵌着部21に連絡していて、かつ、放流穴14がアーチ表面基準部11の第1側面111と、中央アーチ表面位置112と、第2側面113の付近場所に位置する。 Please refer to FIG. 4, which is a schematic diagram of the second embodiment of the horizontal wet process jig of the present invention. The difference between the second embodiment and the first embodiment described above is that a plurality of discharge holes 14 are provided around the body 1 forming the arch surface and penetrate the upper and lower surfaces of the body 1 forming the arch surface. One side is connected to the fitting part 21, and the discharge holes 14 are located near the first side 111, the central arch surface position 112 and the second side 113 of the arch surface reference part 11;

図4、本発明水平式ウェットプロセス治具第3実施例の態様図を参照する。第3実施例と前述第2実施例と異なる点は、固定具2にローラー溝22を設けており、アーチ表面を形成する本体1の周りにアーチ表面を形成する本体1の上下面を貫く、複数の放流穴14を形成し、ローラー溝22と複数の放流穴14と互いに連絡されている。ローラー溝22の好適な位置は、アーチ表面基準部11の第1側面111と、第2側面113の位置に設ける。そのうち、アーチ表面を形成する本体1の支持リブ13が間隔置きに複数を設ける。 Please refer to FIG. 4, which is a schematic diagram of the third embodiment of the horizontal wet process jig of the present invention. The difference between the third embodiment and the above-described second embodiment is that the fixture 2 is provided with roller grooves 22 that penetrate the upper and lower surfaces of the main body 1 forming the arch surface around the main body 1 forming the arch surface, A plurality of discharge holes 14 are formed, and the roller groove 22 and the plurality of discharge holes 14 are connected with each other. Preferred locations for the roller grooves 22 are located on the first side 111 and the second side 113 of the arch surface reference portion 11 . Among them, a plurality of supporting ribs 13 of the main body 1 forming the arch surface are provided at intervals.

図6、図5の重ね合わせ可能な治具の概略図を参照する。アーチ表面を形成する本体1が複数の重ね合わせリブ15をさらに含む。複数の重ね合わせリブ15がアーチ表面基準部11の中央アーチ表面位置112の付近場所に位置し、複数の重ね合わせリブ15によって、隣接の治具100を重ね合わせる。そのうち、重ね合わせリブ15は、アーチ表面を形成する本体1の上面が突起体151を形成し、上面位置に対して、下面に溝152が形成されている。溝152の幅が突起体151よりやや広い。一例として、2つの治具100、100'は、上方の治具100に位置する下部溝152が治具100'上面の突起体151を嵌着して、2つの治具100、100'を互いに重ね合わせることができる。このような重ね合わせ方式によって、複数の治具を重ね合わせて、その後の生産プロセスに有利である。 Please refer to the schematic diagrams of the nestable fixture in FIGS. The body 1 forming the arched surface further comprises a plurality of overlapping ribs 15 . A plurality of overlapping ribs 15 are located near the central arch surface location 112 of the arch surface datum 11 and overlap adjacent fixtures 100 by the plurality of overlapping ribs 15 . Among them, the overlapping rib 15 has a protrusion 151 formed on the upper surface of the main body 1 forming the arch surface, and a groove 152 formed on the lower surface with respect to the upper surface position. The width of the groove 152 is slightly wider than that of the protrusion 151 . As an example, the two jigs 100 and 100' are connected to each other by the lower grooves 152 located in the upper jig 100 fitting the projections 151 on the top surface of the jig 100'. can be superimposed. Such a stacking method stacks a plurality of jigs, which is advantageous for the subsequent production process.

図7、本発明の水平式ウェットプロセス治具第4実施例の態様図を参照する。固定具2は、間隔置きに設ける複数の取付具23をさらに含む。複数の取付具23がアーチ表面基準部11の第1側面111と、第2側面113の付近場所に位置している。複数の取付具23をそれぞれアーチ状可とう性基板4の両側に挟み固定しており、つまり、アーチ状可とう性基板4両側のもっとも低い位置に挟み、その後のウェットプロセス作業において、アーチ状可とう性基板4をより安定に治具100を挟み込むことができる。当然ながら、必要に応じて、アーチ表面を形成する本体1に複数の取付具23を間隔置きに設け、アーチ表面基準部11の中央アーチ表面位置112に設けることによって、アーチ状可とう性基板4の周りとも取付具23によって挟み固定させる。 Please refer to FIG. 7, a schematic diagram of a fourth embodiment of the horizontal wet process fixture of the present invention. The fixture 2 further comprises a plurality of spaced fixtures 23 . A plurality of fixtures 23 are located at locations near the first side 111 and the second side 113 of the arch surface datum 11 . A plurality of fixtures 23 are respectively clamped and fixed on both sides of the arch-shaped flexible substrate 4, that is, clamped at the lowest positions on both sides of the arch-shaped flexible substrate 4, and are used for subsequent wet process operations. The jig 100 can sandwich the flexible substrate 4 more stably. Of course, if desired, the arcuate flexible substrate 4 can be provided with a plurality of fixtures 23 spaced apart on the body 1 forming the arch surface and provided at the central arch surface location 112 of the arch surface reference portion 11 . are fixed by sandwiching them with fixtures 23.

図8に示すように、治具100と、治具100に取り付けるアーチ状可とう性基板4をウェットプロセス設備5に搬送し、ウェットプロセス設備5が搬送装置51と、上下方に位置する液体スプレー装置52とを含む。アーチ状可とう性基板4が搬送装置51によって、水平に液体スプレー装置52の作業区域へ搬送される。液体スプレー装置52が薬液をアーチ状可とう性基板4へ垂直にスプレーし、重力により、薬液をアーチ状可とう性基板4中央部の最大湾曲部より両側に向かって、アーチ表面状を形成して、次第に高さを下げて、もっとも低い位置へと素早く放流し、薬液がアーチ表面を形成する本体1の放流穴14を介して外部に流せる。このように、薬液を均一にアーチ状可とう性基板4の表面に分布させ、薬液をアーチ状可とう性基板4の一部区域に滞留することなく、アーチ状可とう性基板4の水だめ効果を有効に解消する。 As shown in FIG. 8, the jig 100 and the arch-shaped flexible substrate 4 attached to the jig 100 are transported to the wet process equipment 5, and the wet process equipment 5 is equipped with a transport device 51 and liquid sprays positioned above and below. device 52; The arc-shaped flexible substrate 4 is transported horizontally to the work area of the liquid spray device 52 by the transport device 51 . The liquid spray device 52 sprays the chemical liquid vertically onto the arch-shaped flexible substrate 4, and gravity causes the chemical liquid to form an arch surface shape toward both sides from the maximum curved portion at the center of the arch-shaped flexible substrate 4. Then, the height is gradually lowered to quickly discharge to the lowest position, and the chemical liquid can be discharged to the outside through the discharge hole 14 of the main body 1 forming the arch surface. In this way, the chemical solution is evenly distributed on the surface of the arch-shaped flexible substrate 4, and the chemical solution does not stay in a part of the arch-shaped flexible substrate 4, and the water reservoir of the arch-shaped flexible substrate 4 is formed. Effectively remove the effect.

前述したとおり、アーチ状可とう性基板4がスプレーの衝撃力によって、治具100の移動または浮きなどの不安定現象を避けるため、ウェットプロセス設備5が位置決め装置53をさらに含む。位置決め装置53が搬送装置51の搬送方向に向かって間隔置きに複数の第1押しあてローラー531と、第2押しあてローラー532とを設け、アーチ状可とう性基板4が作業区域を通過する際、第1押しあてローラー531と、第2押しあてローラー532が固定具2のローラー溝22に沿って、アーチ状可とう性基板4両側の表面に押し当てる。一方、搬送装置51下方のローラーは、アーチ状可とう性基板4がアーチ状治具100の上面に取り付けられているため、アーチ状可とう性基板4に接触されない。よって、アーチ状可とう性基板4が生産プロセスにおける良品率と、製品規格管理が簡単にできる。 As mentioned above, the wet process equipment 5 further includes the positioning device 53 in order to avoid unstable phenomena such as the jig 100 moving or floating due to the impact force of the spray on the arc-shaped flexible substrate 4 . The positioning device 53 is provided with a plurality of first pressing rollers 531 and second pressing rollers 532 spaced apart in the transport direction of the transport device 51 so that when the arch-shaped flexible substrate 4 passes through the work area, , a first pressing roller 531 and a second pressing roller 532 press against both sides of the arch-shaped flexible substrate 4 along the roller grooves 22 of the fixture 2 . On the other hand, since the arch-shaped flexible substrate 4 is attached to the upper surface of the arch-shaped jig 100 , the rollers below the conveying device 51 do not come into contact with the arch-shaped flexible substrate 4 . Therefore, the arch-shaped flexible substrate 4 can easily control the rate of non-defective products in the production process and manage the product specifications.

100、100' 治具
1 アーチ表面を形成する本体
11 アーチ表面基準部
111 第1側面
112 中央アーチ表面位置
113 第2側面
12 中空部
13 支持リブ
14 放流穴
15 重ね合わせリブ
151 突起体
152 溝
2 固定具
21 嵌着部
22 ローラー溝
23 取付具
3 可とう性フラット基板
4 アーチ状可とう性基板
5 ウェットプロセス設備
51 搬送装置
52 液体スプレー装置
53 位置決め装置
531 第1押し当てローラー
532 第2押し当てローラー
100, 100' Jig 1 Main body forming arch surface 11 Arch surface reference portion 111 First side surface 112 Central arch surface position 113 Second side surface 12 Hollow portion 13 Support rib 14 Discharge hole 15 Overlapping rib 151 Projection 152 Groove 2 Fixture 21 Fitting portion 22 Roller groove 23 Fixture 3 Flexible flat substrate 4 Arch-shaped flexible substrate 5 Wet process equipment 51 Transfer device 52 Liquid spray device 53 Positioning device 531 First pressing roller 532 Second pressing roller

Claims (8)

ーチ表面を形成する本体と、
前記アーチ表面を形成する本体に連結する固定具と、を含み、
前記アーチ表面を形成する本体にアーチ表面基準部を有し、
前記アーチ表面基準部の側面がアーチ状を形成し、
前記アーチ表面基準部が可とう性フラット基板をその上面にぴったり貼り付けて、アーチ状可とう性基板を形成し、
前記固定具によって、前記アーチ状可とう性基板を前記アーチ表面基準部への貼り付けに提供し、前記アーチ状可とう性基板に所望のアーチ表面を形成し、
さらに、
前記固定具が嵌着部を有し、前記嵌着部を前記アーチ表面基準部の側面に連結し、
前記アーチ状可とう性基板を前記嵌着部に取り付けて、前記アーチ表面基準部の上面に固定する
ことを特徴とする水平式ウェットプロセス治具。
a body forming an arch surface;
a fixture coupled to the body forming the arch surface;
a body forming the arch surface having an arch surface reference portion;
A side surface of the arch surface reference portion forms an arch shape,
said arcuate surface datum affixing the flexible flat substrate to its upper surface to form an arcuate flexible substrate;
providing the arcuate flexible substrate for attachment to the arcuate surface datum by the fixture to form a desired arcuate surface in the arcuate flexible substrate ;
moreover,
said fixture having a fitting, said fitting connecting said fitting to a side of said arch surface reference;
A horizontal wet process jig, wherein the arch-shaped flexible substrate is attached to the fitting portion and fixed to the upper surface of the arch surface reference portion.
ーチ表面を形成する本体と、
前記アーチ表面を形成する本体に連結する固定具と、を含み、
前記アーチ表面を形成する本体にアーチ表面基準部を有し、
前記アーチ表面基準部の側面がアーチ状を形成し、
前記アーチ表面基準部が可とう性フラット基板をその上面にぴったり貼り付けて、アーチ状可とう性基板を形成し、
前記固定具によって、前記アーチ状可とう性基板を前記アーチ表面基準部への貼り付けに提供し、前記アーチ状可とう性基板に所望のアーチ表面を形成し、
さらに、
前記アーチ表面を形成する本体に中空部を有し、
前記アーチ表面を形成する本体の対向両側が前記中空部をまたがって、支持リブが連結されている
ことを特徴とする水平式ウェットプロセス治具。
a body forming an arch surface;
a fixture coupled to the body forming the arch surface;
a body forming the arch surface having an arch surface reference portion;
A side surface of the arch surface reference portion forms an arch shape,
said arcuate surface datum affixing the flexible flat substrate to its upper surface to form an arcuate flexible substrate;
providing the arcuate flexible substrate for attachment to the arcuate surface datum by the fixture to form a desired arcuate surface in the arcuate flexible substrate ;
moreover,
having a hollow portion in the body forming the arch surface;
A horizontal wet process fixture, wherein opposite sides of a body forming said arcuate surface span said hollow portion and are connected to supporting ribs.
請求項2に記載の水平式ウェットプロセス治具において、
前記アーチ表面を形成する本体の前記支持リブが間隔置きに複数を設けられている
ことを特徴とする水平式ウェットプロセス治具。
In the horizontal wet process jig according to claim 2 ,
A horizontal wet process jig, wherein a plurality of said supporting ribs of said main body forming said arcuate surface are provided at intervals.
ーチ表面を形成する本体と、
前記アーチ表面を形成する本体に連結する固定具と、を含み、
前記アーチ表面を形成する本体にアーチ表面基準部を有し、
前記アーチ表面基準部の側面がアーチ状を形成し、
前記アーチ表面基準部が可とう性フラット基板をその上面にぴったり貼り付けて、アーチ状可とう性基板を形成し、
前記固定具によって、前記アーチ状可とう性基板を前記アーチ表面基準部への貼り付けに提供し、前記アーチ状可とう性基板に所望のアーチ表面を形成し、
さらに、
前記固定具が嵌着部を有し、前記嵌着部を前記アーチ表面基準部の側面に連結し、
前記アーチ表面を形成する本体の周りに、前記アーチ表面を形成する本体の上下面を貫く複数の放流穴を設けていて、前記放流穴の一側が前記嵌着部に連絡する
ことを特徴とする水平式ウェットプロセス治具。
a body forming an arch surface;
a fixture coupled to the body forming the arch surface;
a body forming the arch surface having an arch surface reference portion;
A side surface of the arch surface reference portion forms an arch shape,
said arcuate surface datum affixing the flexible flat substrate to its upper surface to form an arcuate flexible substrate;
providing the arcuate flexible substrate for attachment to the arcuate surface datum by the fixture to form a desired arcuate surface in the arcuate flexible substrate ;
moreover,
said fixture having a fitting portion, said fitting portion being connected to a side surface of said arch surface datum;
A plurality of discharge holes are provided around the main body forming the arch surface and penetrate the upper and lower surfaces of the main body forming the arch surface, and one side of the discharge hole communicates with the fitting portion. Horizontal wet process jig.
ーチ表面を形成する本体と、
前記アーチ表面を形成する本体に連結する固定具と、を含み、
前記アーチ表面を形成する本体にアーチ表面基準部を有し、
前記アーチ表面基準部の側面がアーチ状を形成し、
前記アーチ表面基準部が可とう性フラット基板をその上面にぴったり貼り付けて、アーチ状可とう性基板を形成し、
前記固定具によって、前記アーチ状可とう性基板を前記アーチ表面基準部への貼り付けに提供し、前記アーチ状可とう性基板に所望のアーチ表面を形成し、
さらに、
前記固定具にローラー溝を有し、前記アーチ表面を形成する本体の周りに前記アーチ表面を形成する本体の上下面を貫く複数の放流穴を有し、前記ローラー溝と、前記複数の放流穴が互いに連絡する
ことを特徴とする水平式ウェットプロセス治具。
a body forming an arch surface;
a fixture coupled to the body forming the arch surface;
a body forming the arch surface having an arch surface reference portion;
A side surface of the arch surface reference portion forms an arch shape,
said arcuate surface datum affixing the flexible flat substrate to its upper surface to form an arcuate flexible substrate;
providing the arcuate flexible substrate for attachment to the arcuate surface datum by the fixture to form a desired arcuate surface in the arcuate flexible substrate ;
moreover,
The fixture has a roller groove, and has a plurality of discharge holes through the upper and lower surfaces of the body forming the arch surface around the body forming the arch surface, the roller groove and the plurality of discharge holes. are in communication with each other.
ーチ表面を形成する本体と、
前記アーチ表面を形成する本体に連結する固定具と、を含み、
前記アーチ表面を形成する本体にアーチ表面基準部を有し、
前記アーチ表面基準部の側面がアーチ状を形成し、
前記アーチ表面基準部が可とう性フラット基板をその上面にぴったり貼り付けて、アーチ状可とう性基板を形成し、
前記固定具によって、前記アーチ状可とう性基板を前記アーチ表面基準部への貼り付けに提供し、前記アーチ状可とう性基板に所望のアーチ表面を形成し、
さらに、
前記アーチ表面を形成する本体が複数の重ね合わせリブをさらに含み、
前記複数の重ね合わせリブが前記アーチ表面基準部の付近場所に位置し、
前記複数の重ね合わせリブによって、当該水平式ウェットプロセス治具同士を重ね合わせる
ことを特徴とする水平式ウェットプロセス治具。
a body forming an arch surface;
a fixture coupled to the body forming the arch surface;
a body forming the arch surface having an arch surface reference portion;
A side surface of the arch surface reference portion forms an arch shape,
said arcuate surface datum affixing the flexible flat substrate to its upper surface to form an arcuate flexible substrate;
providing the arcuate flexible substrate for attachment to the arcuate surface datum by the fixture to form a desired arcuate surface in the arcuate flexible substrate ;
moreover,
the body forming the arcuate surface further comprising a plurality of overlapping ribs ;
wherein said plurality of overlapping ribs are positioned near said arch surface datum;
A horizontal wet process jig, wherein the horizontal wet process jigs are overlapped with each other by the plurality of overlapping ribs.
ーチ表面を形成する本体と、
前記アーチ表面を形成する本体に連結する固定具と、を含み、
前記アーチ表面を形成する本体にアーチ表面基準部を有し、
前記アーチ表面基準部の側面がアーチ状を形成し、
前記アーチ表面基準部が可とう性フラット基板をその上面にぴったり貼り付けて、アーチ状可とう性基板を形成し、
前記固定具によって、前記アーチ状可とう性基板を前記アーチ表面基準部への貼り付けに提供し、前記アーチ状可とう性基板に所望のアーチ表面を形成し、
さらに、
前記固定具が複数の間隔置きの取付具をさらに含む
ことを特徴とする水平式ウェットプロセス治具。
a body forming an arch surface;
a fixture coupled to the body forming the arch surface;
a body forming the arch surface having an arch surface reference portion;
A side surface of the arch surface reference portion forms an arch shape,
said arcuate surface datum affixing the flexible flat substrate to its upper surface to form an arcuate flexible substrate;
providing the arcuate flexible substrate for attachment to the arcuate surface datum by the fixture to form a desired arcuate surface in the arcuate flexible substrate ;
moreover,
A horizontal wet process fixture, wherein said fixture further comprises a plurality of spaced apart fixtures.
請求項1から請求項7のいずれかに記載の水平式ウェットプロセス治具において、
前記アーチ表面基準部が第1側面と、中央アーチ表面位置と、第1側面に対向する第2側面とを含み、
前記中央アーチ表面位置の中心線が最大湾曲位置であり、
前記第1側面と、前記第2側面に向かって、次第に高さを下げて、前記第1側面と、前記第2側面がもっとも低い位置であ
ことを特徴とする水平式ウェットプロセス治具。
In the horizontal wet process jig according to any one of claims 1 to 7,
said arch surface reference includes a first side, a central arch surface location, and a second side opposite the first side;
the centerline of the central arch surface location being the location of maximum curvature;
The height is gradually lowered toward the first side and the second side, and the first side and the second side are the lowest positions .
A horizontal wet process jig characterized by:
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2016000628A (en) 2015-07-07 2016-01-07 大日本印刷株式会社 Substrate holding frame body and substrate package
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