JP7105743B2 - Abrasive body manufacturing method - Google Patents
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Description
本発明は研磨体の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing an abrasive body.
特許文献1に従来の研磨体としての研磨シートの製造方法が開示されている。この製造方法では、まず、第1工程において、可撓性のあるシートと、ペーストとを用意する。ペーストは、砥粒と結合剤とを含有している。結合剤は具体的にはバインダ樹脂と溶媒とを含んでいる。また、第2工程において、シート上にスクリーン印刷等の印刷手段によってペーストを規則的に供給し、多数個の未硬化凸部を形成する。この際、特許文献2に開示されているように、シート上に液滴噴射プリンタによってペーストを規則的に供給することも考えられる。そして、第3工程において、各未硬化凸部を硬化し、シート上に形成された多数個の研磨凸部を形成する。
こうして得られた研磨シートは、シートと多数個の研磨凸部とを備えており、フラットパネルディスプレイ等の研磨に供される。 The polishing sheet thus obtained comprises a sheet and a large number of polishing projections, and is used for polishing flat panel displays and the like.
しかし、上記従来の製造方法では、各研磨凸部を高いアスペクト比で形成できない。このため、耐久性及び研磨能力がより高い研磨体が要望されていた。 However, with the above-described conventional manufacturing method, each polishing protrusion cannot be formed with a high aspect ratio. Therefore, there has been a demand for a polishing body having higher durability and polishing ability.
本発明は、上記従来の実情に鑑みてなされたものであって、より耐久性及び研磨能力に優れた研磨体を提供することを解決すべき課題としている。 SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a polishing body having excellent durability and polishing performance.
本発明の研磨体の製造方法は、基材と、砥粒と結合剤と粘性調整剤とを含有するペーストとを用意する第1工程と、
前記基材上にディスペンサによって前記ペーストを規則的に供給し、多数個の未硬化凸部を形成する第2工程と、
各前記未硬化凸部を硬化し、前記基材上に形成された多数個の研磨凸部を形成する第3工程とを備え、
前記結合剤は、バインダ樹脂を含み、
前記粘性調整剤は、平均粒径0.1μmのシリカ微粒子であり、
前記ペーストは粘度が80,000~500,000cpsであり、
前記研磨凸部は、頂面が円又は多角形に形成された錐台形状をなし、
前記研磨凸部における前記基材からの高さ/前記研磨凸部における前記頂面の幅によるアスペクト比を0.22~2.00とすることを特徴とする。
The method for producing a polishing body of the present invention comprises a first step of preparing a base material and a paste containing abrasive grains, a binder, and a viscosity modifier ;
a second step of regularly supplying the paste onto the substrate by a dispenser to form a large number of uncured projections;
a third step of curing each of the uncured protrusions to form a plurality of polishing protrusions formed on the base material ;
The binder comprises a binder resin,
The viscosity modifier is silica fine particles having an average particle size of 0.1 μm,
the paste has a viscosity of 80,000 to 500,000 cps;
The polishing convex portion has a truncated cone shape with a circular or polygonal top surface,
The aspect ratio of the height of the convex polishing portion from the base material/the width of the top surface of the convex polishing portion is set to 0.22 to 2.00 .
本発明の製造方法では、結合剤がバインダ樹脂を含み、粘性調整剤が平均粒径0.1μmのシリカ微粒子であり、粘度が80,000~500,000cpsであるペーストを採用し、第2工程において、ディスペンサを採用しているため、アスペクト比の高い未硬化凸部を形成できる。このため、第3工程で未硬化凸部を硬化することにより、頂面が円又は多角形に形成された錐台形状をなし、基材からの高さ/研磨凸部における頂面の幅によるアスペクト比が0.22~2.00であるアスペクト比の高い研磨凸部を形成できる。 In the production method of the present invention , a paste in which the binder contains a binder resin, the viscosity modifier is silica fine particles having an average particle diameter of 0.1 μm, and the viscosity is 80,000 to 500,000 cps is adopted . In , since a dispenser is employed, an uncured convex portion with a high aspect ratio can be formed. For this reason, by curing the uncured protrusions in the third step, a truncated cone shape with a circular or polygonal top surface is formed, and the height from the substrate / the width of the top surface of the polishing protrusions High aspect ratio polishing protrusions having an aspect ratio of 0.22 to 2.00 can be formed.
したがって、本発明の製造方法では、より優れた耐久性及び研磨能力を発揮できる研磨体を製造することができる。また、この製造方法では、ディスペンサの供給口の奇跡を変更することにより、各研磨凸部の形状を容易に変更でき、使用目的に適宜応じた研磨体を容易に製造することが可能である。 Therefore, the production method of the present invention can produce a polishing body that can exhibit superior durability and polishing performance. In addition, in this manufacturing method, by changing the shape of the supply port of the dispenser, the shape of each polishing projection can be easily changed, and it is possible to easily manufacture a polishing body suitable for the purpose of use.
基材は、可撓性を有するシート、フィルム等の他、剛性を有する基板を採用することが可能である。シートとしては、天然繊維、合成繊維、炭素繊維等の繊維から成る織布又は不織布を採用することができる。フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリプロピレン(PP)、ポリエチレン(PE)、ポリイミド(PI)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、アラミド等の合成樹脂、アルミニウム、銅等の金属からなる単層又は複層のものを採用することができる。基板としては、ガラス基板、セラミックス基板、金属基板等を採用することができる。 As the base material, it is possible to employ a rigid substrate in addition to a flexible sheet, film, or the like. As the sheet, a woven fabric or non-woven fabric made of fibers such as natural fibers, synthetic fibers, and carbon fibers can be used. The film may be a single layer or multiple layers made of synthetic resins such as polyethylene terephthalate (PET), polypropylene (PP), polyethylene (PE), polyimide (PI), polyethylene naphthalate (PEN), aramid, etc., and metals such as aluminum and copper. Layers can be employed. A glass substrate, a ceramic substrate, a metal substrate, or the like can be used as the substrate.
砥粒は、アルミナ(Al2O3)、シリカ(SiO2)、酸化鉄(Fe2O3)、ダイヤモンド、酸化セリウム(CeO2)、炭化珪素(SiC)、炭化ほう素(B4C)、チタニア(TiO2)、炭酸バリウム(BaCO3)、酸化クロム(Cr2O3)、ジルコニア(ZrO2)、立方晶窒化ホウ素(cBN)、窒化珪素(Si3N4)、酸化マンガン(Mn2O3)、硫酸バリウム(BaSO4)等を採用することが可能である。砥粒の粒径は研摩体の使用目的等に応じて適宜選択される。 Abrasive grains are alumina (Al 2 O 3 ), silica (SiO 2 ), iron oxide (Fe 2 O 3 ), diamond, cerium oxide (CeO 2 ), silicon carbide (SiC), boron carbide (B 4 C). , titania ( TiO2 ), barium carbonate ( BaCO3), chromium oxide ( Cr2O3 ), zirconia ( ZrO2), cubic boron nitride (cBN), silicon nitride ( Si3N4 ), manganese oxide (Mn 2 O 3 ), barium sulfate (BaSO 4 ), etc. can be employed. The grain size of the abrasive grains is appropriately selected according to the purpose of use of the abrasive body.
結合剤としては、ポリエステル、ポリ塩化ビニル、ポリ酢酸ビニル、ポリアクリル、ポリビニルアルコール、ポリエチレン、ポリビニルアセタール、ゴム、ポリアミド、フェノール樹脂、塩化ビニル-酢酸ビニル共重合体等のバインダ樹脂を採用することができる。バインダ樹脂は熱硬化性樹脂又は光硬化性樹脂であり得る。バインダ樹脂を結合剤として採用する場合、ペーストには溶媒が含まれ得る。溶媒としては、バインダ樹脂の種類により、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、酢酸エチル、酢酸ブチル、エタノール、イソプロピルアルコール、アノン、ソルベッソ等を採用することができる。ペーストには、粘性調整剤、硬化開始剤、界面活性剤、染料、顔料、可塑剤、湿潤剤等も含み得る。 Binder resins such as polyester, polyvinyl chloride, polyvinyl acetate, polyacryl, polyvinyl alcohol, polyethylene, polyvinyl acetal, rubber, polyamide, phenolic resin, and vinyl chloride-vinyl acetate copolymer should be used as the binder. can be done. The binder resin can be a thermosetting resin or a photocurable resin. If a binder resin is employed as the binder, the paste may contain a solvent. As the solvent, toluene, xylene, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, ethyl acetate, butyl acetate, ethanol, isopropyl alcohol, anone, Solvesso, etc. can be used depending on the type of binder resin. Pastes may also include viscosity modifiers, curing initiators, surfactants, dyes, pigments, plasticizers, wetting agents, and the like.
ペーストは、未硬化凸部に適したチキソトロピー性を付与する粘性調整剤を含有している。粘性調整剤としては、シリカ微粒子を採用する。 The paste contains a viscosity modifier that imparts suitable thixotropic properties to the uncured protrusions . Silica fine particles are used as the viscosity modifier .
発明者らの試験結果によれば、結合剤がバインダ樹脂と溶媒とを含む場合、ペーストは粘度が80,000~500,000cpsである。ペーストの粘度が80,000cps未満では、研磨凸部のアスペクト比が、印刷によって得られる研磨凸部のアスペクト比より高くなり難い。また、ペーストの粘度が80,000cps未満では、研磨凸部における頂面と側面とがなす角度αが、印刷によって得られる研磨凸部の角度αより大きくなり難い。一方、ペーストの粘度が500,000cps超では、ディスペンサによってペーストを供給し難く、基材と研磨凸部との密着性が不十分になり易い。ペーストは粘度が150,000~200,000cpsであることがより好ましい。粘度がこの範囲のペーストであれば、研磨凸部のアスペクト比及び角度αが高く、また研磨凸部と基材との密着力が優れ、研磨能力が高く、かつ高い耐久性及び研磨能力を発揮可能である。 According to the inventors' test results, the paste has a viscosity of 80,000 to 500,000 cps when the binder contains a binder resin and a solvent . If the viscosity of the paste is less than 80,000 cps, it is difficult for the aspect ratio of the polishing protrusions to be higher than that of the polishing protrusions obtained by printing. Further, when the viscosity of the paste is less than 80,000 cps, the angle α formed by the top surface and the side surface of the polishing protrusions is less likely to be larger than the angle α of the polishing protrusions obtained by printing. On the other hand, if the viscosity of the paste exceeds 500,000 cps, it is difficult to supply the paste with a dispenser, and the adhesion between the substrate and the polishing protrusions tends to be insufficient. More preferably, the paste has a viscosity of 150,000-200,000 cps. If the viscosity of the paste is within this range, the aspect ratio and angle α of the polishing projections are high, the adhesion between the polishing projections and the substrate is excellent, the polishing performance is high, and high durability and polishing performance are exhibited. It is possible.
本発明で得られた研磨体は、各研磨凸部が高いアスペクト比を実現できるため、優れた耐久性及び研磨能力を発揮することができる。また、この研磨体は、ディスペンサによって各未硬化凸部が形成されていることから、使用目的に応じて適宜製造され得る。 The polishing body obtained by the present invention can achieve a high aspect ratio of each polishing protrusion, and therefore can exhibit excellent durability and polishing ability. In addition, since each uncured convex portion is formed by a dispenser, this polishing body can be manufactured appropriately according to the purpose of use.
基材は、可撓性を有し、バインダ樹脂を含浸可能なシートからなることが好ましい。この場合、各未硬化凸部のペーストがシートに含浸し、各研磨凸部がシートに噛み込んだ状態で形成されることから、基材と研磨凸部とが高い密着性を発揮する。 The substrate is preferably made of a flexible sheet that can be impregnated with a binder resin. In this case, the sheet is impregnated with the paste of each uncured convex portion, and each polishing convex portion is formed in a state of being bitten into the sheet, so that the substrate and the polishing convex portion exhibit high adhesion.
基材と各研磨凸部との間には基材と各研磨凸部とを密着させる密着層が形成され得る。この密着層はペーストを構成するバインダ樹脂からなることが好ましい。この場合、各未硬化凸部のペーストのバインダ樹脂と密着層のバインダ樹脂とが互いに強固に結合し易いことから、各研磨凸部が密着層に強固に結合し、基材と研磨凸部とが高い密着性を発揮する。 An adhesion layer may be formed between the base material and each polishing convex part to adhere the base material and each polishing convex part. This adhesion layer is preferably made of a binder resin that constitutes a paste. In this case, since the binder resin of the paste of each uncured convex portion and the binder resin of the adhesive layer are likely to be strongly bonded to each other, each polishing convex portion is strongly bonded to the adhesive layer, and the substrate and the polishing convex portion are easily bonded. exhibits high adhesion.
本発明の研磨体の製造方法によれば、より耐久性及び研磨能力に優れた研磨体を製造することが可能である。また、本発明で得られた研磨体は、各研磨凸部が高いアスペクト比を実現できるため、優れた耐久性及び研磨能力を発揮することができる。 According to the method for manufacturing a polishing body of the present invention, it is possible to manufacture a polishing body having excellent durability and polishing ability. In addition, since the polishing body obtained by the present invention can achieve a high aspect ratio of each polishing protrusion, it can exhibit excellent durability and polishing ability.
以下、本発明を研磨体としての研磨シートに具体化し、試験により説明する。まず、第1工程として、基材として、可撓性のあるシート1を用意した。シート1は、ポリエステル繊維と綿との混紡織布(厚み0.2mm)である。
Hereinafter, the present invention will be embodied in a polishing sheet as a polishing body, and will be explained through tests. First, as a first step, a
また、表1に組成を示すペースト1~11を用意した。ペースト1~4はペースト供給手段をスクリーン印刷とするために用意したものであり、ペースト5~11はペースト供給手段をディスペンサとするために用意したものである。
Also, pastes 1 to 11 whose compositions are shown in Table 1 were prepared.
ここで、バインダ樹脂としてはフェノール樹脂を採用した。溶媒としての有機溶剤はプロパノールを採用した。砥粒は、D50=5μmのアルミナ粉末である。また、未硬化凸部に適したチキソトロピー性をペースト1~11に付与するため、粘性調整剤としてのシリカ微粒子(平均粒径0.1μm)と、アマイド系ワックス組成物(楠本化成(株)製ET7020)とを用意した。これらを表1に示される質量部で配合した後、十分に混合し、ペースト1~11とした。ペースト1~11の粘度は表2に示すとおりである。
Here, phenol resin was adopted as the binder resin. Propanol was used as an organic solvent . The abrasive grains are alumina powder with D 50 =5 μm. In addition, in order to impart thixotropic properties suitable for uncured convex portions to
次いで、ペースト1~11を用い、第2工程を行なった。この際、表2に示すように、試験1~4では、シート1を水平にし、そのシート1上にスクリーン印刷によって各ペーストを規則的に供給し、多数個の未硬化凸部を形成した。
A second step was then performed using pastes 1-11. At this time, as shown in Table 2, in
試験5~11では、シート1を水平にし、そのシート1上にディスペンサによって各ペーストを規則的に吐出し、多数個の未硬化凸部を形成した。試験1~11の各未硬化凸部は円錐台形状である。ディスペンサのノズル径及び吐出圧力は粘度によって変更した。
In Tests 5 to 11, the
そして、第3工程として、試験1~11において、各未硬化凸部をシート1とともに80°Cで放置し、各未硬化凸部から溶媒を揮発させ、シート1及び各未硬化凸部を乾燥した。この後、シート1及び各未硬化凸部を120~150°Cで加熱することによりフェノール樹脂を熱硬化させ、各未硬化凸部を硬化した。こうして、図1に示すように、シート1上に多数個の研磨凸部3が形成された研磨シートを製造した。
Then, as the third step, in
(評価1)
試験1~11の研磨シートでは、図2及び表2に示すように、研磨凸部3の高さh(mm)と、幅w(mm)と、高さh/幅wによるアスペクト比とを求めた。また、研磨凸部3における頂面3aと側面3bとがなす角度α(°)を求めた。
(Evaluation 1)
For the polishing sheets of
さらに、シート1と研磨凸部3との密着性として、研磨凸部3の頂面3aから0.1mm下部を治具によって押し、研磨凸部3がシート1から剥がれる際の力(N)を計測するダイシェアテスト(Dage Japan)を行なった。20N未満で研磨凸部3がシート1から剥がれた場合には×、20N以上、40N未満で研磨凸部3がシート1から剥がれた場合には○、40N以上でも研磨凸部3がシート1から剥がれなかった場合には◎を付して評価した。
Furthermore, as the adhesion between the
また、研磨シートの研磨能力を評価するため、ガラス基板上に油性インクによって油膜を形成し、その油膜を研磨シートで除去した。油膜の面積除去率が60%以下であれば×、面積除去率60%が超、80%以下であれば○、面積除去率が80%超であれば◎を付して評価した。 Also, in order to evaluate the polishing ability of the polishing sheet, an oil film was formed on the glass substrate with an oil-based ink, and the oil film was removed with the polishing sheet. If the area removal rate of the oil film was 60% or less, it was evaluated by x;
さらに、研磨シートにおける研磨凸部3の厚みを90%以下に研削した後の研磨能力を耐久後の研磨能力とし、上記と同様、初期の研磨能力と、耐久後の研磨能力とを求めた。初期の面積除去率/耐久後の面積除去率が0.8超であれば耐久性が低く、初期の面積除去率/耐久後の面積除去率が0.8未満であれば耐久性が高いと評価した。これらも表2に示す。
Furthermore, the polishing ability after grinding the thickness of the polishing
表2からわかるように、試験1~4の製造方法では、第2工程において、スクリーン印刷を採用しているため、研磨凸部のアスペクト比がさほど高くない。また、試験1~4の製造方法では、研磨凸部の角度αが50~65°である。試験1、4の製造方法のように、アスペクト比が0.20、0.22の研磨凸部を形成すると、密着力が劣り、耐久性も劣っている。
As can be seen from Table 2, in the manufacturing methods of
これに対し、試験5~11の製造方法では、第2工程において、ディスペンサを採用しているため、アスペクト比が0.22以上の研磨凸部3を形成できる。また、試験5~11の製造方法では、研磨凸部3の角度αも65°以上である。これは、試験5~11の製造方法では、高粘度のペーストを吐出してアスペクト比の高い未硬化凸部を形成できるからである。
On the other hand, in the manufacturing methods of
但し、試験5からわかるように、ペーストの粘度が80,000cpsでは、研磨凸部3のアスペクト比が、スクリーン印刷によって得られる研磨凸部のアスペクト比と同等である。また、ペーストの粘度が80,000cpsでは、研磨凸部3の角度αが、スクリーン印刷によって得られる研磨凸部の角度αと同等である。一方、試験10、11からわかるように、ペーストの粘度が500,000cps超では、シート1と研磨凸部3との密着性が不十分になっている。これはディスペンサによってペーストを供給し難いため、未硬化凸部がシート1に密着し難いからである。
However, as can be seen from
試験7、8からわかるように、ペーストの粘度が150,000~200,000cpsであれば、研磨凸部3のアスペクト比及び角度αが高く、また研磨凸部3とシート1との密着力が優れ、かつ高い耐久性及び研磨能力を発揮可能である。
As can be seen from
したがって、試験5~11、特に試験5~10、より特に試験7、8の研磨シートの製造方法によれば、より耐久性及び研磨能力に優れた研磨シートを製造できることがわかる。また、これらで得られた研磨シートは、各研磨凸部3が高いアスペクト比を実現できるため、優れた耐久性及び研磨能力を発揮することができる。
Therefore, it can be seen that the polishing sheet manufacturing methods of
また、試験7、8で得られた研磨シートは、シート1が可撓性を有し、バインダ樹脂を含浸可能であるため、製造途中で各未硬化凸部のペーストがシート1に含浸し、各研磨凸部3がシート1に噛み込んだ状態で形成されている。このため、これらの研磨シートはシート1と研磨凸部3とが高い密着性を発揮する。
In the polishing sheets obtained in
(評価2)
表3に示すように、ペースト7を用い、試験7及び試験12~14によって種々の形状の研磨凸部を形成した。試験7では、図3に示すように、四角錐台形状の研磨凸部5を形成した(実施例2)。試験12では、図1に示すように、円錐台形状の研磨凸部3を形成した(実施例1)。試験13では、図4に示すように、三角錐台形状の研磨凸部7を形成した(実施例3)。試験14では、図5に示すように、六角錐台形状の研磨凸部9を形成した(実施例4)。試験7及び試験12~14のペースト供給手段、各研磨凸部3、5、7、9のアスペクト比及び角度αは同一である。
(Evaluation 2)
As shown in Table 3,
各研磨シートについて、密着力、研磨能力及び耐久性を評価した。試験7及び試験12~14では、研磨凸部の形状が異なる点を除き、製造方法及び評価の仕方は上記と同一である。結果も表3に示す。
Adhesion, polishing ability and durability were evaluated for each polishing sheet. In
表3に示されるように、各研磨シートは、研磨凸部の形状の差によって特性にさほどの相違を生じない。 As shown in Table 3, there is no significant difference in the properties of the polishing sheets due to the difference in the shape of the polishing projections.
(評価3)
表4に示すように、ペースト8を用い、試験8及び試験15~19を行なった。これらでは、ディスペンサによって未硬化凸部の高さ方向の吐出量を大きくし、アスペクト比を変更した。試験8及び試験15~19のペースト供給手段は同一であり、各研磨凸部の角度αは80°である。
(Evaluation 3)
As shown in Table 4, Paste 8 was used to perform Tests 8 and 15-19. In these cases, the aspect ratio was changed by increasing the discharge amount in the height direction of the uncured protrusions from the dispenser. The paste supply means for Test 8 and Tests 15-19 were the same, and the angle α of each polishing projection was 80°.
各研磨シートについて、アスペクト比、密着力、研磨能力及び耐久性を評価した。試験8及び試験15~19では、アスペクト比が異なる点を除き、製造方法及び評価の仕方は上記と同一である。結果も表4に示す。 Each polishing sheet was evaluated for aspect ratio, adhesion, polishing ability and durability. In Test 8 and Tests 15-19, the manufacturing method and evaluation method were the same as above, except that the aspect ratios were different. The results are also shown in Table 4.
表4に示されるように、粘度が同じペーストでも、ディスペンサによる塗布条件を調整すれば、アスペクト比を制御できることがわかる。このため、本発明の製造方法では、ディスペンサの供給口の奇跡を変更することにより、各研磨凸部の形状を容易に変更でき、使用目的に適宜応じた研磨体を容易に製造することが可能である。 As shown in Table 4, it can be seen that even with pastes having the same viscosity, the aspect ratio can be controlled by adjusting the application conditions using the dispenser. Therefore, in the manufacturing method of the present invention, by changing the supply opening of the dispenser, it is possible to easily change the shape of each polishing projection and easily manufacture a polishing body suitable for the purpose of use. is.
(実施例5)
まず、シート1上にペースト1~11のバインダ樹脂と同じフェノール樹脂を塗布した。この後、試験7、8と同様に第2工程及び第3工程を行い、実施例5の研磨シートを得た。シート1上のフェノール樹脂は密着層11となっている。
(Example 5)
First, the
この研磨シートでは、各未硬化凸部のペーストのバインダ樹脂と密着層11のバインダ樹脂とが同一樹脂として互いに強固に結合するため、図6に示すように、密着層11がシート1に強固に結合し、かつ各研磨凸部3が密着層11に強固に結合する。このため、シート1と各研磨凸部3とが高い密着性を発揮する。
In this polishing sheet, the binder resin of the paste of each uncured convex portion and the binder resin of the
以上において、本発明を試験5~19及び実施例1~5に即して説明したが、本発明は上記試験5~19及び実施例1~5に制限されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更して適用できることはいうまでもない。
In the above, the present invention has been described in accordance with
例えば、上記試験5~19及び実施例1~4では、基材を可撓性のある混紡織布のシート1としたが、他の織布、不織不を基材として採用できる他、基材を剛性のある基板とする研磨ディスクに本発明を具体化することも可能である。
For example, in
また、試験5~19、実施例1~4の砥粒はアルミナ粉末であるが、シリカ、酸化鉄、ダイヤモンド、酸化セリウム等の粉末を採用するいことも可能である。
Further, although the abrasive grains in
また、バインダ樹脂、溶媒等も種々のものを採用することが可能である。 Also, various binder resins, solvents, and the like can be used.
本発明は、フラットパネルディスプレイ等のクリーニング用の研磨シート、研磨ディスク等に利用可能である。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used for abrasive sheets, abrasive discs, and the like for cleaning flat panel displays and the like.
1…基材(シート)
3、5、7、9…研磨凸部
11…密着層
1... Base material (sheet)
3, 5, 7, 9... Polishing
Claims (7)
前記基材上にディスペンサによって前記ペーストを規則的に供給し、多数個の未硬化凸部を形成する第2工程と、
各前記未硬化凸部を硬化し、前記基材上に形成された多数個の研磨凸部を形成する第3工程とを備え、
前記結合剤は、バインダ樹脂を含み、
前記粘性調整剤は、平均粒径0.1μmのシリカ微粒子であり、
前記ペーストは粘度が80,000~500,000cpsであり、
前記研磨凸部は、頂面が円又は多角形に形成された錐台形状をなし、
前記研磨凸部における前記基材からの高さ/前記研磨凸部における前記頂面の幅によるアスペクト比を0.22~2.00とすることを特徴とする研磨体の製造方法。 A first step of preparing a base material and a paste containing abrasive grains, a binder, and a viscosity modifier ;
a second step of regularly supplying the paste onto the substrate by a dispenser to form a large number of uncured projections;
a third step of curing each of the uncured protrusions to form a plurality of polishing protrusions formed on the base material ;
The binder comprises a binder resin,
The viscosity modifier is silica fine particles having an average particle size of 0.1 μm,
the paste has a viscosity of 80,000 to 500,000 cps;
The polishing convex portion has a truncated cone shape with a circular or polygonal top surface,
A method for producing a polishing body, wherein an aspect ratio of the height of the convex polishing portion from the base material/the width of the top surface of the convex polishing portion is set to 0.22 to 2.00 .
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