JP7093951B2 - Particle size display device, particle size display method and particle size display system - Google Patents
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Description
本発明は、粒子径表示装置、粒子径表示方法および粒子径表示システムに関し、特に、粒子径の分析結果をグラフ形式で表示する粒子径表示装置、粒子径表示方法および粒子径表示システムに関する。 The present invention relates to a particle size display device, a particle size display method, and a particle size display system, and more particularly to a particle size display device, a particle size display method, and a particle size display system that display particle size analysis results in a graph format.
近年、工業分野や医療分野、食品分野などにおいて、微小粒子を用いた製品の製造が行われている。微小粒子を用いた製品を製造する際、製造された製品における微小粒子の粒子径などを検査する必要がある。そこで、従来、微小粒子の粒子径を測定する装置が知られている(たとえば、特許文献1および特許文献2参照)。
In recent years, products using fine particles have been manufactured in the industrial field, the medical field, the food field, and the like. When manufacturing a product using fine particles, it is necessary to inspect the particle size of the fine particles in the manufactured product. Therefore, conventionally, an apparatus for measuring the particle size of fine particles is known (see, for example,
上記特許文献1では、画像解析法を用いて、誘電体用セラミック粉末を製造する際のセラミック粉末の粒子径を測定している。画像解析法とは、被測定物の一部を基板などに塗布して画像を撮影し、撮影した画像から、各粒子の粒子径を測定する方法である。上記特許文献1では、走査型電子顕微鏡(以下、SEMという)を用いて被測定物(セラミック粉末)の画像を取得することにより、粒子径を測定している。
In
また、上記特許文献2では、貴金属粒子を用いた排ガス浄化用触媒の製造時において、動的光散乱法(以下、DLSという)を用いて貴金属粒子の粒子径を測定している。DLSとは、溶液中の粒子のブラウン運動に起因する散乱光の揺らぎに基づいて、粒子径を測定する方法である。
Further, in
ここで、上記特許文献1に記載されたようなSEMを用いた粒子径の測定は、被測定物の一部の画像中に写る粒子の粒子径を測定するものであり、得られた粒子径を被測定物全体の粒子径として用いることができるか否かを判断することができない。また、上記特許文献2に記載されたようなDLSを用いた粒子径の測定は、被測定物全体の粒子径を測定することが可能であるが、被測定物が溶液中において凝集している場合には、粒子が凝集した塊の径を測定するために、個々の粒子径を測定することができない。このため、被測定物の正確な粒子径を得るためには、たとえば、上記特許文献1に記載されたようなSEMを用いた粒子径分布測定および上記特許文献2に記載されたようなDLSを用いた粒子径測定などの複数の測定方法を用いて取得した測定結果を分析する必要がある。
Here, the measurement of the particle size using SEM as described in
従来では、上記特許文献1に記載されているようなSEMを用いた粒子径測定装置および特許文献2に記載されているようなDLSを用いた粒子径測定装置を用いて測定された複数の測定方法による測定結果を、表計算ソフトウェアなどを用いて分析を行っていた。具体的には、表計算ソフトウェアなどを用いて、複数の粒子径測定装置によって測定された粒子径結果のグラフを作成することにより、粒子径結果の分析を行っていた。
Conventionally, a plurality of measurements measured using a particle size measuring device using SEM as described in
しかしながら、表計算ソフトウェアなどを用いて作成されたグラフを用いて粒子径結果の分析を行う場合に、複数の粒子径測定装置の組み合わせを変更したい場合に、もう一度グラフを作成し直さなければならないという不都合がある。また、複数の粒子径測定装置の組み合わせを変更したグラフを作成し直した場合、各粒子径結果の分析結果を対比することが容易ではないという不都合がある。そのため、ユーザは、分析したい内容に合わせて様々なグラフを作成する必要があり、粒子径結果の分析の効率が低下するという問題点がある。 However, when analyzing particle size results using a graph created using spreadsheet software, if you want to change the combination of multiple particle size measuring devices, you will have to recreate the graph. There is an inconvenience. Further, when the graph in which the combination of a plurality of particle size measuring devices is changed is recreated, there is an inconvenience that it is not easy to compare the analysis results of the particle size results. Therefore, the user needs to create various graphs according to the content to be analyzed, and there is a problem that the efficiency of analysis of the particle size result is lowered.
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の1つの目的は、粒子径結果の表示の改善により、粒子径結果の分析の効率を向上させることが可能な粒子径表示装置、粒子径表示方法および粒子径表示システムを提供することである。 The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and one object of the present invention is to improve the efficiency of analysis of particle size results by improving the display of particle size results. It is to provide a particle size display device, a particle size display method, and a particle size display system.
上記目的を達成するために、この発明の第1の局面における粒子径表示装置は、粒子径を測定する分析方法により取得された複数の被測定物の粒子径結果を取得する粒子径結果収集部と、複数種類の分析方法を選択可能に表示する選択領域と、選択された複数の分析方法に対応する粒子径結果収集部に収集された複数の粒子径結果を対比可能に表示する第1表示領域とを同一画面上に表示する表示部とを備える。 In order to achieve the above object, the particle size display device according to the first aspect of the present invention is a particle size result collecting unit that acquires particle size results of a plurality of objects to be measured obtained by an analysis method for measuring the particle size. And the first display that displays the multiple particle size results collected in the particle size result collection unit corresponding to the selected multiple analysis methods in comparison with the selection area that displays multiple types of analysis methods in a selectable manner. It is provided with a display unit that displays an area on the same screen.
この発明の第1の局面における粒子径表示装置は、上記のように、複数種類の分析方法を選択可能に表示する選択領域と、選択された複数の分析方法に対応する粒子径結果収集部に収集された複数の粒子径結果を対比可能に表示する第1表示領域とを同一画面上に表示する表示部を備える。これにより、ユーザは、第1表示領域と同一画面上に表示された選択領域において分析方法を選択することにより、表示部に表示される粒子径結果を切り替えることができる。これにより、ユーザの意図に合わせて粒子径結果の表示を切り替えることができる。また、ユーザは、第1表示領域に表示された粒子径結果を確認することにより、複数の粒子径結果を容易に対比することができる。これらの結果、粒子径結果の表示の改善により、粒子径結果の分析の効率を向上させることができる。 As described above, the particle size display device according to the first aspect of the present invention has a selection area for selectively displaying a plurality of types of analysis methods and a particle size result collection unit corresponding to the selected plurality of analysis methods. It is provided with a display unit that displays on the same screen as a first display area that displays a plurality of collected particle size results in a contrastable manner. Thereby, the user can switch the particle size result displayed on the display unit by selecting the analysis method in the selection area displayed on the same screen as the first display area. This makes it possible to switch the display of the particle size result according to the user's intention. Further, the user can easily compare the plurality of particle size results by confirming the particle size results displayed in the first display area. As a result, the efficiency of analysis of the particle size result can be improved by improving the display of the particle size result.
上記第1の局面における粒子径表示装置において、好ましくは、粒子径結果収集部は、粒子径を測定する複数種類の分析方法により測定された複数の粒子径結果または複数の被測定物のそれぞれに対応する複数の粒子径結果を取得するように構成されており、表示部は、複数種類の分析方法および複数の被測定物を選択可能に表示する選択領域と、複数の粒子径結果をグラフ形式で表示する第1表示領域とを同一画面上に表示するように構成されている。このように構成すれば、ユーザは、粒子径結果のグラフを確認することにより、複数の粒子径結果を容易に把握することができる。また、ユーザは、表示する分析方法および被測定物の種類を切り替えることによって、任意の粒子径結果のグラフを表示部に表示させることができる。その結果、ユーザは、任意の分析方法および被測定物の粒子径結果をグラフ形式で表示部に表示させることが可能となるので、粒子径結果の分析の効率を容易に向上させることができる。 In the particle size display device in the first aspect, preferably, the particle size result collecting unit is used for each of a plurality of particle size results or a plurality of objects to be measured measured by a plurality of types of analysis methods for measuring the particle size. It is configured to acquire a plurality of corresponding particle size results, and the display unit displays a selection area for selectively displaying a plurality of types of analysis methods and a plurality of objects to be measured, and a graph format of the plurality of particle size results. It is configured to display the first display area displayed in 1 on the same screen. With this configuration, the user can easily grasp a plurality of particle size results by checking the graph of the particle size results. Further, the user can display a graph of an arbitrary particle size result on the display unit by switching the analysis method to be displayed and the type of the object to be measured. As a result, the user can display the particle size result of an arbitrary analysis method and the object to be measured on the display unit in a graph format, so that the efficiency of analysis of the particle size result can be easily improved.
この場合、好ましくは、粒子径結果収集部は、複数の粒子径結果として、複数の被測定物における粒子径結果の各々の平均粒子径を取得するように構成されており、表示部は、複数の平均粒子径に基づくグラフ形式の粒子径結果を第1表示領域に表示するように構成されている。このように構成すれば、ユーザは、グラフ形式の平均粒子径に基づいて、粒子径結果の分析を行うことができる。その結果、各々の粒子の粒子径としての粒子径結果の数値を用いて分析を行う場合と比較して、粒子径結果を直感的に把握することが可能となるので、粒子径結果の分析を容易に行うことができる。 In this case, preferably, the particle size result collecting unit is configured to acquire the average particle size of each of the particle size results in the plurality of objects to be measured as a result of the plurality of particle sizes, and the display unit is configured to have a plurality of display units. It is configured to display the particle size result in the form of a graph based on the average particle size of the first display area. With this configuration, the user can analyze the particle size result based on the average particle size in graph format. As a result, it is possible to intuitively grasp the particle size result as compared with the case where the analysis is performed using the numerical value of the particle size result as the particle size of each particle. It can be done easily.
上記第1の局面における粒子径表示装置において、好ましくは、粒子径結果収集部は、複数の粒子径結果として、複数の被測定物における複数の粒子径分布を取得するように構成されており、表示部は、第1表示領域に表示された複数の粒子径結果から選択された粒子径結果における粒子径分布を、第1表示領域に表示された複数の粒子径結果と対比可能に表示する第2表示領域をさらに表示するように構成されている。このように構成すれば、ユーザは、複数の粒子径結果を把握することができるとともに、複数の粒子径結果と、複数の粒子径結果から選択された粒子径分布とを対比させて把握することができる。その結果、ユーザは、複数の粒子径結果と、選択された粒子径分布とを一度に把握することが可能となるので、粒子径結果の分析の効率をより向上させることができる。 In the particle size display device in the first aspect, preferably, the particle size result collecting unit is configured to acquire a plurality of particle size distributions in a plurality of objects to be measured as a result of a plurality of particle sizes. The display unit displays the particle size distribution in the particle size result selected from the plurality of particle size results displayed in the first display area in comparison with the plurality of particle size results displayed in the first display area. 2 It is configured to display the display area further. With this configuration, the user can grasp a plurality of particle size results, and at the same time, grasp the plurality of particle size results by comparing them with the particle size distribution selected from the plurality of particle size results. Can be done. As a result, the user can grasp the plurality of particle size results and the selected particle size distribution at one time, so that the efficiency of analysis of the particle size results can be further improved.
この場合、好ましくは、表示部は、第1表示領域に表示された複数の粒子径結果から選択された粒子径結果における複数の粒子径分布を第2表示領域の同一画面上に重ねて表示するように構成されている。このように構成すれば、粒子径結果から複数の粒子径分布を表示する際に、複数の粒子径分布が同一画面上に重ねて表示されるので、ユーザは、複数の粒子径分布を一度に把握することが可能となる。その結果、ユーザは、複数の粒子径分布を容易に比較することが可能となるので、被測定物の粒子径分布の分析を容易に行うことができる。 In this case, preferably, the display unit displays a plurality of particle size distributions in the particle size results selected from the plurality of particle size results displayed in the first display area on the same screen in the second display area. It is configured as follows. With this configuration, when displaying a plurality of particle size distributions from the particle size results, the plurality of particle size distributions are superimposed and displayed on the same screen, so that the user can display the plurality of particle size distributions at once. It becomes possible to grasp. As a result, the user can easily compare a plurality of particle size distributions, so that the particle size distribution of the object to be measured can be easily analyzed.
上記複数の粒子径分布を第2表示領域の同一画面上に重ねて表示する構成において、好ましくは、粒子径結果収集部は、複数の粒子径結果を同一の基準で規格化した粒子径分布規格化結果を取得するように構成されており、表示部は、第1表示領域に表示された複数の粒子径結果から選択された粒子径結果における粒子径分布規格化結果を第2表示領域に表示するように構成されている。このように構成すれば、ユーザは、複数の粒子径測定装置において粒子径分布を測定する際の基準が異なっていた場合でも、同一の基準で規格化された粒子径分布規格化結果を確認することにより、複数の粒子径分布を同一のグラフ上において比較することができる。したがって、ユーザは、様々な分析手法により取得された粒子径分布を用いて被測定物の粒子径分布の分析を行うことができる。その結果、同一の基準で粒子径分布を測定する粒子径測定装置(分析方法)を複数用いる場合と比較して、粒子径測定装置の種類(分析方法の種類)を増加させることが可能となるので、被測定物の粒子径分布の分析の精度を向上させることができる。 In the configuration in which the plurality of particle size distributions are superimposed and displayed on the same screen in the second display region, preferably, the particle size result collecting unit is a particle size distribution standard in which the plurality of particle size results are standardized based on the same standard. The display unit is configured to acquire the conversion result, and the display unit displays the particle size distribution standardization result in the particle size result selected from the plurality of particle size results displayed in the first display area in the second display area. It is configured to do. With this configuration, the user confirms the particle size distribution standardization result standardized by the same standard even if the standards for measuring the particle size distribution in a plurality of particle size measuring devices are different. This makes it possible to compare a plurality of particle size distributions on the same graph. Therefore, the user can analyze the particle size distribution of the object to be measured by using the particle size distribution obtained by various analysis methods. As a result, it is possible to increase the types of particle size measuring devices (types of analysis methods) as compared with the case of using a plurality of particle size measuring devices (analysis methods) that measure the particle size distribution based on the same standard. Therefore, the accuracy of the analysis of the particle size distribution of the object to be measured can be improved.
上記複数の粒子径分布を第2表示領域の同一画面上に重ねて表示する構成において、好ましくは、粒子径結果収集部は、複数の粒子径結果のうちの所定の被測定物の複数の粒子径結果について、複数種類の分析方法のうちの複数の粒子径結果が取得された分析方法ごとに複数の粒子径結果を対比することが可能な第1粒子径分布比較結果を取得するとともに、表示部は、第1表示領域に表示された複数の粒子径結果から選択された粒子径結果における第1粒子径分布比較結果を、第2表示領域に表示するように構成されている。このように構成すれば、ユーザは、選択された第1粒子径分布比較結果を確認することにより、様々な種類の粒子径測定装置によって測定された粒子径分布を一度に把握することができる。その結果、ユーザは、第1粒子径分布比較結果を確認することにより、粒子径測定装置の種類(分析方法の種類)の違いに起因する粒子径分布の相違を把握することが可能となるので、選択された被測定物の粒子径分布の分析を容易に、かつ、精度よく行うことができる。 In the configuration in which the plurality of particle size distributions are superimposed and displayed on the same screen in the second display region, preferably, the particle size result collecting unit is a plurality of particles of a predetermined object to be measured among the plurality of particle size results. Regarding the diameter results, the first particle size distribution comparison result that can compare multiple particle size results for each analysis method for which multiple particle size results of multiple types of analysis methods were acquired is acquired and displayed. The unit is configured to display the first particle size distribution comparison result in the particle size result selected from the plurality of particle size results displayed in the first display area in the second display area. With this configuration, the user can grasp the particle size distribution measured by various types of particle size measuring devices at once by confirming the selected first particle size distribution comparison result. As a result, the user can grasp the difference in the particle size distribution due to the difference in the type of the particle size measuring device (type of the analysis method) by confirming the first particle size distribution comparison result. , The particle size distribution of the selected object to be measured can be easily and accurately analyzed.
上記複数の粒子径分布を第2表示領域の同一画面上に重ねて表示する構成において、好ましくは、粒子径結果収集部は、複数種類の分析方法のうちの所定の分析方法において測定された複数の粒子径結果について、複数の被測定物ごとの複数の粒子径結果を対比することが可能な第2粒子径分布比較結果を取得するように構成されており、表示部は、第1表示領域に表示された複数の粒子径結果から選択された粒子径結果における第2粒子径分布比較結果を、第2表示領域に表示するように構成されている。このように構成すれば、ユーザは、選択された第2粒子径分布比較結果を確認することにより、所定の粒子径測定装置において測定された複数の被測定物それぞれの粒子径分布を対比することができる。その結果、ユーザは、たとえば、複数の粒子径の粒子が混合された被測定物を所定の範囲の大きさの粒子径ごとに分級して測定した場合に、各分画の粒子径分布を一度に把握することが可能となるので、被測定物に含まれていた全粒子の粒子径分布を容易に把握することができる。 In the configuration in which the plurality of particle size distributions are superimposed and displayed on the same screen in the second display region, preferably, the particle size result collecting unit is a plurality of particles measured by a predetermined analysis method among the plurality of types of analysis methods. The particle size result of the above is configured to acquire the second particle size distribution comparison result capable of comparing the plurality of particle size results for each of a plurality of objects to be measured, and the display unit is configured to obtain the first display area. The second particle size distribution comparison result in the particle size result selected from the plurality of particle size results displayed in is displayed in the second display area. With this configuration, the user can compare the particle size distributions of each of the plurality of objects to be measured measured by a predetermined particle size measuring device by confirming the selected second particle size distribution comparison result. Can be done. As a result, for example, when a subject to be measured in which particles having a plurality of particle sizes are mixed is classified and measured for each particle size having a predetermined range, the user once obtains the particle size distribution of each fraction. Since it is possible to grasp the particle size distribution of all the particles contained in the object to be measured, it is possible to easily grasp the particle size distribution.
この発明の第2の局面における粒子径表示方法は、粒子径を測定する分析方法により取得される粒子径結果を取得するステップと、複数種類の分析方法を選択可能に表示する選択領域と、選択された複数の分析方法に対応する収集された粒子径結果とを対比可能に表示する表示領域とを表示部の同一画面上に表示するステップとを備える。 The particle size display method in the second aspect of the present invention includes a step of acquiring a particle size result obtained by an analysis method for measuring the particle size, a selection area for displaying a plurality of types of analysis methods in a selectable manner, and selection. It is provided with a display area for displaying the collected particle size results corresponding to the plurality of analysis methods in comparison with each other, and a step for displaying on the same screen of the display unit.
この発明の第2の局面による粒子径表示方法では、上記のように、複数種類の分析方法を選択可能に表示する選択領域と、選択された複数の分析方法に対応する収集された粒子径結果とを対比可能に表示する表示領域とを表示部の同一画面上に表示するステップを備える。これにより、ユーザは、表示領域と同一画面上に表示された選択領域において分析方法を選択することにより、表示部に表示される粒子径結果を切り替えることができる。これにより、ユーザの意図に合わせて粒子径結果の表示を切り替えることができる。また、ユーザは、表示領域に表示された粒子径結果を確認することにより、複数の粒子径結果を容易に対比することができる。これらの結果、粒子径結果の表示の改善により、粒子径結果の分析の効率を向上させることができる。 In the particle size display method according to the second aspect of the present invention, as described above, a selection area for selectively displaying a plurality of types of analysis methods and a collected particle size result corresponding to the selected plurality of analysis methods are obtained. It is provided with a step of displaying a display area for displaying and on the same screen of the display unit. Thereby, the user can switch the particle size result displayed on the display unit by selecting the analysis method in the selection area displayed on the same screen as the display area. This makes it possible to switch the display of the particle size result according to the user's intention. Further, the user can easily compare a plurality of particle size results by confirming the particle size results displayed in the display area. As a result, the efficiency of analysis of the particle size result can be improved by improving the display of the particle size result.
この発明の第3の局面における粒子径表示システムは、複数の被測定物の粒子径結果を取得する複数の粒子径測定装置と、粒子径を測定する分析方法により取得される粒子径結果を取得する粒子径結果収集部と、複数種類の分析方法を選択可能に表示する選択領域と、選択された複数の分析方法に対応する粒子径結果収集部に収集された粒子径結果とを対比可能に表示する表示領域とを同一画面上に表示する表示部とを備える粒子径表示装置とを含む。 The particle size display system in the third aspect of the present invention acquires the particle size results obtained by a plurality of particle size measuring devices for acquiring the particle size results of a plurality of objects to be measured and an analysis method for measuring the particle size. It is possible to compare the particle size result collection unit, the selection area that displays multiple types of analysis methods in a selectable manner, and the particle size results collected in the particle size result collection unit corresponding to the selected multiple analysis methods. It includes a particle size display device including a display unit that displays a display area to be displayed on the same screen.
この発明の第3の局面による粒子径表示システムでは、上記のように、複数種類の分析方法を選択可能に表示する選択領域と、選択された複数の分析方法に対応する粒子径結果収集部に収集された粒子径結果とを対比可能に表示する表示領域とを同一画面上に表示する表示部とを備える粒子径表示装置を備える。これにより、ユーザは、表示領域と同一画面上に表示された選択領域において分析方法を選択することにより、表示部に表示される粒子径結果を切り替えることができる。これにより、ユーザの意図に合わせて粒子径結果の表示を切り替えることができる。また、ユーザは、表示領域に表示された粒子径結果を確認することにより、複数の粒子径結果を容易に対比することができる。これらの結果、粒子径結果の表示の改善により、粒子径結果の分析の効率を向上させることができる。 In the particle size display system according to the third aspect of the present invention, as described above, a selection area for selectively displaying a plurality of types of analysis methods and a particle size result collection unit corresponding to the selected plurality of analysis methods are provided. A particle size display device including a display area for displaying the collected particle size results in a contrastable manner and a display unit for displaying the collected particle size results on the same screen is provided. Thereby, the user can switch the particle size result displayed on the display unit by selecting the analysis method in the selection area displayed on the same screen as the display area. This makes it possible to switch the display of the particle size result according to the user's intention. Further, the user can easily compare a plurality of particle size results by confirming the particle size results displayed in the display area. As a result, the efficiency of analysis of the particle size result can be improved by improving the display of the particle size result.
本発明によれば、上記のように、粒子径結果の表示の改善により、粒子径結果の分析の効率を向上させることが可能な粒子径表示装置、粒子径表示方法および粒子径表示システムを提供することができる。 According to the present invention, as described above, the present invention provides a particle size display device, a particle size display method, and a particle size display system capable of improving the efficiency of analysis of particle size results by improving the display of particle size results. can do.
以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。 Hereinafter, embodiments embodying the present invention will be described with reference to the drawings.
[第1実施形態]
図1~図5を参照して、本発明の第1実施形態による粒子径表示装置1を備える粒子径表示システム100の構成について説明する。
[First Embodiment]
The configuration of the particle
(粒子径表示システムおよび粒子径表示装置の構成)
図1に示すように、粒子径表示システム100は、粒子径表示装置1と、複数の粒子径測定装置2と、入力部Qとを備えている。
(Configuration of particle size display system and particle size display device)
As shown in FIG. 1, the particle
複数の粒子径測定装置2は、第1粒子径測定装置2aと第2粒子径測定装置2bと第3粒子径測定装置2cと第4粒子径測定装置2dとを含む。第1粒子径測定装置2a~第4粒子径測定装置2dは、それぞれ、複数の被測定物M(図2参照)の粒子径結果4(第1粒子径結果4a、第2粒子径結果4b、第3粒子径結果4cおよび第4粒子径結果4d)を取得するように構成されている。
The plurality of particle
第1粒子径測定装置2aは、被測定物Mの拡大画像を撮影し、撮影された拡大画像に写る被測定物Mの粒子径を測定するように構成されている。第1粒子径測定装置2aは、たとえば、SEM(走査型電子顕微鏡)を含む。第1粒子径測定装置2aは、被測定物Mに電子線を照射する電子線出力部(図示せず)と、電子線を照射された被測定物Mから出力される信号を検出する検出部(図示せず)と、複数のレンズと、被測定物Mに照射する電子線を走査させる電子線操作部(図示せず)と、検出部により検出された信号に基づき画像を生成する画像生成部(図示せず)と、撮影された画像に写る粒子の粒子径を測定し、被測定物Mの粒子径結果4を取得する画像処理部(図示せず)とを備える。
The first particle
第2粒子径測定装置2bは、第1粒子径測定装置2aとは異なる方法で被測定物Mの拡大画像を撮影し、撮影された拡大画像に写る被測定物Mの粒子径を測定するように構成されている。第2粒子径測定装置2bは、たとえば、原子間力顕微鏡(以下、AFMという)を含む。第2粒子径測定装置2bは、被測定物Mの表面を走査する探針(図示せず)と、探針と被測定物Mとの間に働く斥力または引力を変位に変換する変位変換部と、変位を検出する変位検出部(図示せず)と、変位検出部により検出された信号に基づき画像を生成する画像生成部(図示せず)と、撮影された画像に写る粒子の粒子径を測定し、被測定物Mの粒子径結果4を取得する画像処理部(図示せず)とを備える。
The second particle
第3粒子径測定装置2cは、溶液中に拡散させた被測定物Mのブラウン運動に起因する散乱光の揺らぎに基づいて、被測定物Mの粒子径結果4を測定するように構成されている。第3粒子径測定装置2cは、たとえば、DLSにより被測定物Mの粒子径結果4を測定する粒子径測定装置を含む。第3粒子径測定装置2cは、溶液中に拡散させた被測定物Mに光を照射する光源部(図示せず)と、被測定物Mによって拡散された散乱光を検出する検出部(図示せず)と、散乱光の揺らぎに基づいて、被測定物Mの粒子径結果4を取得する粒子径分布取得部(図示せず)とを備える。
The third particle
第4粒子径測定装置2dは、プラズマを用いてイオン化した被測定物Mの粒子径や粒子径結果4を測定するように構成されている。第4粒子径測定装置2dは、たとえば、誘導結合プラズマ質量分析装置(以下、ICP-MSという)を含む。第4粒子径測定装置2dは、被測定物Mに照射するプラズマを発生させるプラズマ発生部(図示せず)と、イオン化した被測定物Mを検出する検出部(図示せず)と、検出部により検出された信号に基づいて被測定物Mの粒子径結果4を取得する粒子径分布取得部(図示せず)とを備える。
The fourth particle
粒子径表示装置1は、複数種類の分析方法を選択可能に表示する選択領域5と、選択された複数の分析方法に対応する粒子径結果収集部7に収集された粒子径結果4を対比可能に表示する第1表示領域6とを表示部3の同一画面上に表示するように構成されている。なお、第1表示領域6は、特許請求の範囲の「表示領域」の一例である。
The particle
図1に示すように、粒子径表示装置1は、表示部3と、粒子径結果収集部7と、制御部8と、記憶部9とを備える。粒子径結果収集部7は、制御部8の制御の下で、被測定物Mの粒子径結果4を複数取得するように構成されている。図1に示す例では、粒子径結果収集部7は、第1粒子径測定装置2a~第4粒子径測定装置2dによって測定された複数の第1粒子径結果4a~第4粒子径結果4dを取得するように構成されている。また、粒子径結果収集部7は、複数の粒子径結果4として、複数の被測定物Mにおける粒子径結果4の各々の平均粒子径10を取得するように構成されている。粒子径結果収集部7は、いわゆる入出力インターフェースとして構成されている。
As shown in FIG. 1, the particle
制御部8は、粒子径結果収集部7を制御して、複数の粒子径測定装置2から複数の粒子径結果4を取得するように構成されている。制御部8は、CPU(Central Processing Unit)やメモリなどから構成されるコンピュータであり、記憶部9に格納された各種プログラムを実行することにより、粒子径表示装置1の制御部8として機能するように構成されている。
The
記憶部9は、制御部8が実行するプログラムや設定情報を格納するとともに、粒子径結果収集部7が複数の粒子径結果4などを記憶するように構成されている。記憶部9は、たとえば、HDD(Hard Disk Drive)や不揮発性のメモリなどを含む。
The
表示部3は、粒子径表示装置1から出力された選択領域5および第1表示領域6を同一画面上に表示するように構成されている。表示部3は、たとえば、液晶モニタなどを含む。
The
入力部Qは、操作者(ユーザ)の入力操作を受け付けるように構成されている。入力部Qは、たとえば、マウスやキーボードなどを含む。 The input unit Q is configured to receive an input operation of an operator (user). The input unit Q includes, for example, a mouse, a keyboard, and the like.
(被測定物)
次に、図2および図3を参照して、複数の粒子径測定装置2が測定する被測定物Mについて説明する。
(Measured object)
Next, the object M to be measured by the plurality of particle
図2は、複数の粒子径測定装置2が測定する被測定物Mの模式図である。図2に示すように、被測定物Mは、様々な粒子径の粒子が含まれている。被測定物Mは、たとえば、金やシリカなどの粒子であり、粒子径が数nmから数十nmの範囲の微小粒子を含む。
FIG. 2 is a schematic diagram of an object M to be measured measured by a plurality of particle
図2に示すように、被測定物Mに様々な粒子径の粒子が含まれている場合、粒子同士の重なりなどに起因して、測定される粒子径結果4の精度が低下する。そこで、第1実施形態では、被測定物Mに含まれる粒子の粒子径に応じて被測定物Mを複数のサンプルに分級して、それぞれのサンプルの粒子径結果4を取得する。具体的には、第1実施形態では、図3に示すように、被測定物Mを第1サンプルM1、第2サンプルM2、第3サンプルM3および第4サンプルM4の4つに分級し、それぞれ粒子径結果4を取得する。図3に示す例では、第1サンプルM1に含まれる粒子の粒子径が一番小さく、第2サンプルM2、第3サンプルM3、第4サンプルM4の順に、含まれる粒子の粒子径が大きくなる例を示している。
As shown in FIG. 2, when the object M contains particles having various particle sizes, the accuracy of the measured
(選択領域および第1表示領域の表示)
次に、図4および図5を参照して、第1実施形態における選択領域5および第1表示領域6が表示部3に表示される構成について説明する。
(Display of selection area and first display area)
Next, with reference to FIGS. 4 and 5, the configuration in which the
第1実施形態では、図4に示すように、粒子径表示装置1は、粒子径を測定する分析方法により取得された複数の被測定物Mの粒子径結果4を取得する粒子径結果収集部7と、複数種類の分析方法を選択可能に表示する選択領域5と選択された複数の分析方法に対応する粒子径結果収集部7に収集された複数の粒子径結果4を対比可能に表示する第1表示領域6とを同一画面上に表示する表示部3とを備える。具体的には、粒子径結果収集部7は、粒子径を測定する複数種類の分析方法により測定された複数の粒子径結果4または複数の被測定物Mのそれぞれに対応する複数の粒子径結果4を取得するように構成されており、表示部3は、複数種類の分析方法および複数の被測定物Mを選択可能に表示する選択領域5と、複数の粒子径結果4をグラフ形式で表示する第1表示領域6とを同一画面上に表示するように構成されている。より具体的には、粒子径結果収集部7は、複数の粒子径結果4として、複数の被測定物Mにおける粒子径結果4の各々の平均粒子径10を取得するように構成されており、表示部3は、平均粒子径10のそれぞれをグラフ形式で第1表示領域6に表示するように構成されている。
In the first embodiment, as shown in FIG. 4, the particle
図4に示す模式図は、第1実施形態による制御部8が、表示部3に表示する選択領域5および第1表示領域6の例である。図4(A)に示すグラフは、第1表示領域6に表示される平均粒子径10のグラフである。平均粒子径10のグラフは、第1サンプルM1の平均粒子径10a、第2サンプルM2の平均粒子径10b、第3サンプルM3の平均粒子径10cおよび第4サンプルM4の平均粒子径10dをそれぞれ表示している。図8(A)に示すグラフの縦軸は、粒子径(nm)であり、横軸は、サンプル番号である。また、図4(B)は、表示部3に表示される選択領域5の模式図である。
The schematic diagram shown in FIG. 4 is an example of the
図4(A)に示す平均粒子径10のグラフでは、便宜上、各サンプルMの平均粒子径10を、粒子径測定装置の凡例L1に示すようなプロットで示している。具体的には、第1粒子径測定装置2a~第4粒子径測定装置2dによって測定された粒子径結果4の平均粒子径10を、それぞれ、丸型のプロットL1a、星形のプロットL1b、三角形のプロットL1cおよび四角形のプロットL1dで表示している。なお、図4(A)に示すように、同じサンプルMを測定した粒子径結果4でも、測定する装置が異なると、分析方法が異なることに起因して得られる平均粒子径10が異なる。したがって、被測定物Mの正確な粒子径結果4を得るためには、複数の粒子径測定装置2によって測定された粒子径結果4を分析する必要がある。
In the graph of the
図4(B)に示す例は、表示部3に表示される選択領域5の例である。第1実施形態では、選択領域5として、分析方法選択部50が表示部3に表示されている例を示している。分析方法選択部50は、各粒子径測定装置2(分析方法)の表示を切り替える第1選択部50aと、各サンプルMの表示を切り替える第2選択部50bとを備える。分析方法選択部50は、第1選択部50aおよび第2選択部50bが操作者によって操作されることにより、粒子径結果4のグラフに表示する各サンプルMおよび各粒子径測定装置2の選択を行うように構成されている。図4(B)に示す例では、第1選択部50aおよび第2選択部50bは、それぞれ、チェックボックス形式で表示されている。
The example shown in FIG. 4B is an example of the
図5は、操作者によって第2サンプルM2、およびDLSを用いた分析方法が選択されたかった場合の例を示している。図5(B)に示すように、操作者が第2サンプルM2およびDLSを用いた分析方法のチェックを外した場合、平均粒子径10のグラフは、図5(A)に示すように表示される。すなわち、平均粒子径10のグラフから、第2サンプルM2およびDLSを用いた分析方法のプロットが非表示となる。このように、操作者は、分析方法選択部50を操作することにより、第1表示領域6に表示された平均粒子径10のグラフに表示される分析方法および被測定物Mを任意に切り替えることができる。
FIG. 5 shows an example when the operator wants to select the analysis method using the second sample M2 and DLS. As shown in FIG. 5 (B), when the operator unchecks the analysis method using the second sample M2 and DLS, the graph of the
次に、図6を参照して、第1実施形態による選択領域5および第1表示領域6の表示処理の一連の流れについて説明する。
Next, with reference to FIG. 6, a series of flow of display processing of the
ステップS1において、粒子径結果収集部7は、被測定物Mの粒子径結果4を複数取得する。その後、ステップS2において、制御部8は、選択領域5および第1表示領域6を対比可能に表示部3に表示させ、処理を終了する。
In step S1, the particle size
上記のように、第1実施形態では、粒子径表示方法は、粒子径を測定する分析方法により取得される粒子径結果4を取得するステップS1と、複数種類の分析方法を選択可能に表示する選択領域5と、選択された複数の分析方法に対応する収集された粒子径結果4を対比可能に表示する第1表示領域6とを表示部3の同一画面上に表示するステップS2とを備える。
As described above, in the first embodiment, the particle size display method displays step S1 for acquiring the
(第1実施形態の効果)
第1実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
(Effect of the first embodiment)
In the first embodiment, the following effects can be obtained.
第1実施形態では、上記のように、粒子径表示装置1は、粒子径を測定する分析方法により取得された複数の被測定物Mの粒子径結果4を取得する粒子径結果収集部7と、複数種類の分析方法を選択可能に表示する選択領域5と、選択された複数の分析方法に対応する粒子径結果収集部7に収集された複数の粒子径結果4を対比可能に表示する第1表示領域6とを同一画面上に表示する表示部3とを備える。これにより、操作者(ユーザ)は、第1表示領域6と同一画面上に表示された選択領域5において分析方法を選択することにより、表示部3に表示される粒子径結果4を切り替えることができる。これにより、操作者の意図に合わせて粒子径結果4の表示を切り替えることができる。また、操作者は、第1表示領域6に表示された粒子径結果4を確認することにより、複数の粒子径結果4を容易に対比することができる。これらの結果、粒子径結果4の表示の改善により、粒子径結果4の分析の効率を向上させることができる。
In the first embodiment, as described above, the particle
また、第1実施形態では、上記のように、粒子径結果収集部7は、粒子径を測定する複数種類の分析方法により測定された複数の粒子径結果4または複数の被測定物Mのそれぞれに対応する複数の粒子径結果4を取得するように構成されており、表示部3は、複数種類の分析方法および複数の被測定物Mを選択可能に表示する選択領域5と、複数の粒子径結果4をグラフ形式で表示する第1表示領域6とを同一画面上に表示するように構成されている。これにより、操作者は、粒子径結果4のグラフを確認することにより、複数の粒子径結果4を容易に把握することができる。また、操作者は、表示する分析方法および被測定物Mの種類を切り替えることによって、任意の粒子径結果4のグラフを表示部3に表示させることができる。その結果、操作者は、任意の分析方法および被測定物Mの粒子径結果4をグラフ形式で表示部3に表示させることが可能となるので、粒子径結果4の分析の効率を容易に向上させることができる。
Further, in the first embodiment, as described above, the particle size
また、第1実施形態では、上記のように、粒子径結果収集部7は、複数の粒子径結果4として、複数の被測定物Mにおける粒子径結果4の各々の平均粒子径10を取得するように構成されており、表示部3は、複数の平均粒子径10に基づくグラフ形式の粒子径結果4を第1表示領域6に表示するように構成されている。これにより、操作者は、グラフ形式の平均粒子径10に基づいて、粒子径結果4の分析を行うことができる。その結果、各々の粒子の粒子径としての粒子径結果4の数値を用いて分析を行う場合と比較して、粒子径結果4を直感的に把握することが可能となるので、粒子径結果4の分析を容易に行うことができる。
Further, in the first embodiment, as described above, the particle size
また、第1実施形態では、上記のように、粒子径表示方法は、粒子径を測定する分析方法により取得される粒子径結果4を取得するステップS1と、複数種類の分析方法を選択可能に表示する選択領域5と、選択された複数の分析方法に対応する収集された粒子径結果4とを対比可能に表示する第1表示領域6とを表示部3の同一画面上に表示するステップS2とを備える。これにより、粒子径結果4の表示の改善によって、粒子径結果4の分析の効率を向上させることが可能な粒子径表示方法を提供することができる。
Further, in the first embodiment, as described above, the particle size display method can be selected from step S1 for acquiring the
また、第1実施形態では、上記のように、粒子径表示システム100は、複数の被測定物Mの粒子径結果4を取得する複数の粒子径測定装置2と、粒子径を測定する分析方法により取得される粒子径結果4を取得する粒子径結果収集部7と、複数種類の分析方法を選択可能に表示する選択領域5と、選択された複数の分析方法に対応する粒子径結果収集部7に収集された粒子径結果4とを対比可能に表示する第1表示領域6とを同一画面上に表示する表示部3とを備える粒子径表示装置1とを含む。これにより、粒子径結果4の表示の改善によって、粒子径結果4の分析の効率を向上させることが可能な粒子径表示システム100を提供することができる。
Further, in the first embodiment, as described above, the particle
[第2実施形態]
次に、図7~図9を参照して、本発明の第2実施形態による粒子径表示装置21(図7参照)を含む粒子径表示システム200(図7参照)について説明する。選択領域5および第1表示領域6を表示部3に表示する第1実施形態とは異なり、第2実施形態では、第1表示領域6を表示部3に表示するとともに、粒子径分布11(図9参照)が表示された第2表示領域12を表示部3に表示するように構成されている。なお、上記第1実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明を省略する。
[Second Embodiment]
Next, the particle size display system 200 (see FIG. 7) including the particle size display device 21 (see FIG. 7) according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 7 to 9. Unlike the first embodiment in which the
第2実施形態では、粒子径結果収集部7は、複数の粒子径結果4として、複数の被測定物Mにおける複数の粒子径分布11を取得するように構成されており、表示部3は、第1表示領域6に表示された複数の粒子径結果4から選択された粒子径結果4における粒子径分布11を、第1表示領域6に表示された複数の粒子径結果4と対比可能に表示する第2表示領域12をさらに表示するように構成されている。図7に示すように、第2実施形態では、粒子径結果収集部7は、粒子径結果4として、第1粒子径測定装置2a~第4粒子径測定装置2dによって測定された第1粒子径分布11a、第2粒子径分布11b、第3粒子径分布11cおおび第4粒子径分布11dを取得するように構成されている。
In the second embodiment, the particle size
(第2表示領域の表示)
次に、図8および図9を参照して、第2実施形態における制御部28が第2表示領域12を表示部3に表示する構成について説明する。なお、制御部28が第1表示領域6を表示部3に表示する処理は、上記第1実施形態における制御部8が行う処理と同様であるため、詳細な説明は省略する。
(Display of the second display area)
Next, with reference to FIGS. 8 and 9, a configuration in which the
第2実施形態では、図8(A)に示すように、制御部28は、操作者が粒子径分布11を表示したいプロットを選択した場合に、図8(B)に示すようなメニュー画面を表示するように構成されている。図8(A)では、操作者が入力部Qを用いて、粒子径結果4を表示したいプロットにカーソルPをあわせ、右クリックを押下した場合にメニュー画面が開く場合の例を示している。
In the second embodiment, as shown in FIG. 8A, the
また、制御部28は、メニュー画面において、「粒子径分布」が選択された場合に、図9に示すような粒子径分布11を第2表示領域12に表示するように構成されている。図8(B)では、制御部28は、操作者がカーソルPを「粒子径分布」にあわせて左クリックを押下した場合に、図9に示すような粒子径分布11を第2表示領域12に表示する例を示している。なお、選択された粒子径分布11は、いわゆるポップアップウィンドウとして、第1表示領域6に表示される粒子径結果4と同一画面上に表示されるのが好ましい。また、複数のプロットを選択することにより、複数の粒子径分布11をポップアップウィンドウとして、粒子径結果4と同一画面上に表示させてもよい。
Further, the
図9に示す粒子径分布11(第4粒子径分布11d)は、第4粒子径測定装置2d(ICP-MS)で測定された第4サンプルM4の粒子径分布11の例である。図9に示す粒子径分布11のグラフは、粒子径と個数との頻度分布を示す柱状グラフ(ヒストグラム)60と、粒子径の累積頻度分布を示す曲線のグラフ61とを含む。粒子径分布11のうち、頻度(個数)を表す縦軸は、柱状グラフ(ヒストグラム)60の軸である。また、粒子径分布11のうち、累積頻度(%)を表す縦軸は、曲線のグラフ61の軸である。
The particle size distribution 11 (fourth particle size distribution 11d) shown in FIG. 9 is an example of the
第1実施形態では、制御部28は、第1表示領域6として、図8(A)に示す平均粒子径10のグラフを表示部3に表示するように構成されている。また、制御部28は、第2表示領域12として、平均粒子径10のグラフに表示されている各プロットのうち、操作者が選択したプロットについて、図9に示す粒子径分布11を表示部3に表示するように構成されている。
In the first embodiment, the
(第1表示領域および第2表示領域の表示処理)
次に、図10を参照して、第2実施形態による制御部28が第1表示領域6および第2表示領域12を表示部3に表示する一連の処理について説明する。なお、ステップS1の処理は、上記第1実施形態と同様の処理であるため、詳細な説明は省略する。なお、図10に示す例では、操作者が行う処理を破線で図示している。
(Display processing of the first display area and the second display area)
Next, with reference to FIG. 10, a series of processes in which the
ステップS1において、粒子径結果収集部7は、複数の粒子径結果4を取得する。その後、ステップS3において、制御部28は、第1表示領域6を表示部3に表示する。その後、処理はステップS4へ進む。
In step S1, the particle size
ステップS4において、操作者は、粒子径分布11を表示したい被測定物Mを選択する。その後、ステップS5において、制御部28は、選択された粒子径分布11を表示する第2表示領域12を表示部3に表示させて、処理を終了する。
In step S4, the operator selects the object M whose
なお、第2実施形態のその他の構成は、上記第1実施形態と同様である。 The other configurations of the second embodiment are the same as those of the first embodiment.
(第2実施形態の効果)
第2実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
(Effect of the second embodiment)
In the second embodiment, the following effects can be obtained.
第2実施形態では、上記のように、粒子径結果収集部7は、複数の粒子径結果4として、複数の被測定物Mにおける複数の粒子径分布11を取得するように構成されており、表示部3は、第1表示領域6に表示された複数の粒子径結果4から選択された粒子径結果4における粒子径分布11を、第1表示領域6に表示された複数の粒子径結果4と対比可能に表示する第2表示領域12をさらに表示するように構成されている。これにより、操作者は、複数の粒子径結果4を把握することができるとともに、複数の粒子径結果4と、複数の粒子径結果4から選択された粒子径分布11とを対比させて把握することができる。その結果、操作者は、複数の粒子径結果4と、選択された粒子径分布11とを一度に把握することが可能となるので、粒子径結果4の分析の効率をより向上させることができる。
In the second embodiment, as described above, the particle size
なお、第2実施形態のその他の効果は、上記第1実施形態と同様である。 The other effects of the second embodiment are the same as those of the first embodiment.
[第3実施形態]
次に、図7、図11および図12を参照して、本発明の第3実施形態による粒子径表示装置31(図7参照)を含む粒子径表示システム300(図7参照)について説明する。粒子径分布11が表示された第2表示領域12を、表示部3に表示する第2実施形態とは異なり、第3実施形態では、制御部38(図7参照)は、グラフ形式で表示された粒子径結果4から選択された複数の粒子径分布11を第2表示領域12の同一画面上に重ねて表示するように構成されている。なお、上記第1および第2実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明を省略する。
[Third Embodiment]
Next, the particle size display system 300 (see FIG. 7) including the particle size display device 31 (see FIG. 7) according to the third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 7, 11 and 12. Unlike the second embodiment in which the
第3実施形態では、表示部3は、第1表示領域6に表示された複数の粒子径結果4から選択された粒子径結果4における複数の粒子径分布11を第2表示領域12の同一画面上に重ねて表示するように構成されている。
In the third embodiment, the
複数の粒子径測定装置2は、装置ごとに体積基準(頻度(%))で粒子径結果4を取得するのか個数基準(頻度(個数))で粒子径結果4を取得するのかが異なっている。したがって、粒子径結果4を取得する基準が異なっている場合には、複数の粒子径結果4を第2表示領域12の同一画面上に重ねて表示する際に、各粒子径結果4の基準を統一する必要がある。そこで、第3実施形態では、粒子径結果収集部7は、複数の粒子径結果4を同一の基準で規格化した粒子径分布規格化結果13(図12参照)を取得するように構成されており、表示部3は、第1表示領域6に表示された複数の粒子径結果4から選択された粒子径結果4における粒子径分布規格化結果13を第2表示領域12に表示するように構成されている。
The plurality of particle
具体的には、第3実施形態では、制御部38は、複数の被測定物Mのうちの所定の被測定物Mの粒子径結果4について、複数の粒子径測定装置2のうちの粒子径結果4を取得した粒子径測定装置2ごとに粒子径結果4を対比することが可能な第1粒子径分布比較結果14(図12参照)を取得するとともに、グラフ形式で表示された粒子径結果4から選択された第1粒子径分布比較結果14を表示部3に表示させるように構成されている。
Specifically, in the third embodiment, the
図11(A)は、制御部38が粒子径結果4として取得する、複数の被測定物Mの粒子径結果4の各々の平均粒子径10のグラフの模式図である。図11(A)に示す平均粒子径10のグラフは、上記第1実施形態における図8(A)に示した平均粒子径10のグラフと同様のグラフであるため、詳細な説明は省略する。また、図11(B)は、操作者が平均粒子径10のグラフのプロットを選択した際に表示部3に表示されるメニュー画面である。図11に示す例は、操作者が第4サンプルM4の粒子径結果4を選択した場合の例である。
FIG. 11A is a schematic diagram of a graph of the
第3実施形態においても、第2実施形態の図8(A)に示す場合と同様に、制御部38は、操作者が第1粒子径分布比較結果14(粒子径分布規格化結果13)を表示したい被測定物Mを選択した場合に、メニュー画面を表示するように構成されている。
In the third embodiment as well, as in the case shown in FIG. 8A of the second embodiment, the
また、制御部38は、メニュー画面において、操作者が「粒子径分布比較(装置間)」を選択した場合に、図12に示すような第1粒子径分布比較結果14が表示された第2表示領域12を表示部3に表示するように構成されている。メニュー画面を表示する処理および第1粒子径分布比較結果14を表示する処理については、上記第2実施形態と同様であるため、詳細な説明は省略する。
Further, the
図12に示すグラフは、第1粒子径分布比較結果14の模式図である。図12に示すグラフの縦軸は頻度(個数)であり、横軸は粒子径(nm)である。
The graph shown in FIG. 12 is a schematic diagram of the first particle size
図12に示すグラフは、個数基準(頻度(個数))によって粒子径結果4を表示している。したがって、体積基準(頻度(%))によって粒子径結果4を取得している場合には、個数基準(頻度(個数))の粒子径結果4に規格化する必要がある。第1粒子径測定装置2a~第4粒子径測定装置2dのうち、第3粒子径測定装置2c(DLS)では、体積基準(頻度(%))によって粒子径結果4を測定しているため、公知の手法により、個数基準(頻度(個数))に規格化した状態でグラフに図示している。すなわち、第1粒子径分布比較結果14は、粒子径分布規格化結果13である。
The graph shown in FIG. 12 displays the
図12に示す第1粒子径分布比較結果14のグラフでは、便宜上、各粒子径結果4を、被測定物の凡例L2に示すようなグラフの線の種類の違いにより示している。具体的には、第1粒子径測定装置2a~第4粒子径測定装置2dによって測定された粒子径結果4の各粒子径結果4を、それぞれ、実線L2a、破線L2b、二点鎖線L2dおよび一点鎖線L2cで表示している。
In the graph of the first particle size
第3実施形態では、制御部38は、粒子径結果4として、図11(A)に示す平均粒子径10のグラフが表示された第1表示領域6を表示部3に表示するように構成されている。また、制御部38は、平均粒子径10のグラフに表示されている各プロットのうち、操作者が選択した被測定物Mについて、図12に示す第1粒子径分布比較結果14のグラフが表示された第2表示領域12を表示部3に表示するように構成されている。
In the third embodiment, the
(第1表示領域および第2表示領域の表示処理)
次に、図13を参照して、第3実施形態による制御部38が第1表示領域6および第2表示領域12を表示部3に表示する一連の処理について説明する。なお、ステップS3の処理は、第1および第2実施形態と同様の処理であるため、詳細な説明は省略する。また、図13に示す例でも、上記第2実施形態における図10に示す例と同様に、操作者が行う処理を破線で図示している。
(Display processing of the first display area and the second display area)
Next, with reference to FIG. 13, a series of processes in which the
ステップS6において、粒子径結果収集部7は、複数の粒子径結果4および粒子径分布規格化結果13を取得する。その後、ステップS3において、制御部38は、第1表示領域6を表示部3に表示する。その後、処理はステップS7へ進む。
In step S6, the particle size
ステップS7において、操作者は、第1粒子径分布比較結果14を表示したい被測定物Mを選択する。その後、ステップS8において、制御部38は、選択された第1粒子径分布比較結果14を表示部3に表示させて、処理を終了する。
In step S7, the operator selects the object M to which the first particle size
なお、第3実施形態のその他の構成は、上記第1および第3実施形態と同様である。 The other configurations of the third embodiment are the same as those of the first and third embodiments.
(第3実施形態の効果)
第3実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
(Effect of the third embodiment)
In the third embodiment, the following effects can be obtained.
第3実施形態では、上記のように、表示部3は、第1表示領域6に表示された複数の粒子径結果4から選択された粒子径結果4における複数の粒子径分布11を第2表示領域12の同一画面上に重ねて表示するように構成されている。これにより、粒子径結果4から複数の粒子径分布11を表示する際に、複数の粒子径分布11が同一画面上に重ねて表示されるので、操作者は、複数の粒子径分布11を一度に把握することが可能となる。その結果、操作者は、複数の粒子径分布11を容易に比較することが可能となるので、被測定物Mの粒子径分布11の分析を容易に行うことができる。
In the third embodiment, as described above, the
また、第3実施形態では、上記のように、粒子径結果収集部7は、複数の粒子径結果4を同一の基準で規格化した粒子径分布規格化結果13を取得するように構成されており、表示部3は、第1表示領域6に表示された複数の粒子径結果4から選択された粒子径結果4における粒子径分布規格化結果13を第2表示領域12に表示するように構成されている。これにより、操作者は、複数の粒子径測定装置2において粒子径分布11を測定する際の基準が異なっていた場合でも、同一の基準で規格化された粒子径分布規格化結果13を確認することにより、複数の粒子径分布11を同一のグラフ上において比較することができる。したがって、操作者は、様々な分析手法により取得された粒子径分布11を用いて被測定物Mの粒子径分布11の分析を行うことができる。その結果、同一の基準で粒子径分布11を測定する粒子径測定装置2(分析方法)を複数用いる場合と比較して、粒子径測定装置2の種類(分析方法の種類)を増加させることが可能となるので、被測定物Mの粒子径分布11の分析の精度を向上させることができる。
Further, in the third embodiment, as described above, the particle size
また、第3実施形態では、上記のように、粒子径結果収集部7は、複数の粒子径結果4のうちの所定の被測定物Mの複数の粒子径結果4について、複数種類の分析方法のうちの複数の粒子径結果4が取得された分析方法ごとに複数の粒子径結果4を対比することが可能な第1粒子径分布比較結果14を取得するとともに、表示部3は、第1表示領域6に表示された複数の粒子径結果4から選択された粒子径結果4における第1粒子径分布比較結果14を、第2表示領域12に表示するように構成されている。これにより、操作者は、選択された第1粒子径分布比較結果14を確認することにより、様々な種類の粒子径測定装置2によって測定された粒子径分布11を一度に把握することができる。その結果、ユーザは、第1粒子径分布比較結果14を確認することにより、粒子径測定装置2の種類(分析方法の種類)の違いに起因する粒子径分布11の相違を把握することが可能となるので、選択された被測定物Mの粒子径分布11の分析を容易に、かつ、精度よく行うことができる。
Further, in the third embodiment, as described above, the particle size
なお、第3実施形態のその他の効果は、上記第1実施形態と同様である。 The other effects of the third embodiment are the same as those of the first embodiment.
[第4実施形態]
次に、図7、図14および図15を参照して、本発明の第4実施形態による粒子径表示装置41(図7参照)を含む粒子径表示システム400(図7参照)について説明する。第1粒子径分布比較結果14が表示された第2表示領域12を表示部3に表示する第2実施形態とは異なり、第4実施形態では、複数の被測定物Mごとの複数の粒子径結果4を対比することが可能な第2粒子径分布比較結果15が表示された第2表示領域12を表示部3に表示するように構成されている。なお、上記第1~第3実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明を省略する。
[Fourth Embodiment]
Next, the particle size display system 400 (see FIG. 7) including the particle size display device 41 (see FIG. 7) according to the fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 7, 14 and 15. Unlike the second embodiment in which the
図14(A)に示すように、制御部48は、操作者が粒子径結果4を表示したい粒子径測定装置2を選択した場合に、図14(B)に示すメニュー画面を表示するように構成されている。また、制御部48は、メニュー画面において、「粒子径分布比較(サンプル間)」が操作者によって選択された場合に、図15に示すような第2粒子径分布比較結果15が表示された第2表示領域12を表示部3に表示するように構成されている。メニュー画面を表示する処理および第2粒子径分布比較結果15を表示する処理については、上記第2実施形態および第3実施形態と同様であるため、詳細な説明は省略する。
As shown in FIG. 14A, the control unit 48 displays the menu screen shown in FIG. 14B when the operator selects the particle
図15に示すグラフは、制御部48が第2表示領域12に表示する第2粒子径分布比較結果15の例である。図15に示すグラフは、横軸が粒子径(nm)であり、縦軸が頻度(個数)である。
The graph shown in FIG. 15 is an example of the second particle size
図15に示す例は、操作者が第1粒子径測定装置2a(SEM)を選択した場合の第2粒子径分布比較結果15の例である。図15に示す第2粒子径分布比較結果15のグラフでは、便宜上、各粒子径結果4を、被測定物の凡例L3に示すようなグラフの線の種類の違いにより示している。具体的には、第1サンプルM1~第4サンプルM4の粒子径結果4を、それぞ、実線L3a、破線L3b、一点鎖線L3cおよび二点鎖線L3dで表示している。
The example shown in FIG. 15 is an example of the second particle size
(第1表示領域および第2表示領域の表示処理)
次に、図16を参照して、第4実施形態による制御部48が第1表示領域6および第2表示領域12を表示部3に表示する一連の処理について説明する。なお、ステップS1およびステップS3の処理は、第2および第3実施形態と同様の処理であるため、詳細な説明は省略する。また、図16に示す例でも、上記第2実施形態における図10および第3実施形態における図13に示す例と同様に、操作者が行う処理は、破線で図示している。
(Display processing of the first display area and the second display area)
Next, with reference to FIG. 16, a series of processes in which the control unit 48 according to the fourth embodiment displays the
ステップS1において、粒子径結果収集部7は、複数の粒子径結果4を取得する。その後、ステップS3において、制御部48は、第1表示領域6を表示部3に表示する。その後、処理はステップS9へ進む。
In step S1, the particle size
ステップS9において、操作者は、第2粒子径分布比較結果15を表示したい粒子径測定装置2を選択する。その後、ステップS10において、制御部48は、選択された第2粒子径分布比較結果15が表示された第2表示領域12を表示部3に表示させて、処理を終了する。
In step S9, the operator selects the particle
なお、第4実施形態のその他の構成は、上記第1~第3実施形態と同様である。 The other configurations of the fourth embodiment are the same as those of the first to third embodiments.
(第4実施形態の効果)
第4実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
(Effect of Fourth Embodiment)
In the fourth embodiment, the following effects can be obtained.
第4実施形態では、上記のように、粒子径結果収集部7は、複数種類の分析方法のうちの所定の分析方法において測定された複数の粒子径結果4について、複数の被測定物Mごとの複数の粒子径結果4を対比することが可能な第2粒子径分布比較結果15を取得するように構成されており、表示部3は、第1表示領域6に表示された複数の粒子径結果4から選択された粒子径結果4における第2粒子径分布比較結果15を、第2表示領域12に表示するように構成されている。これにより、操作者は、選択された第2粒子径分布比較結果15を確認することにより、所定の粒子径測定装置2において測定された複数の被測定物Mそれぞれの粒子径分布11を対比することができる。その結果、操作者は、たとえば、複数の粒子径の粒子が混合された被測定物Mを所定の範囲の大きさの粒子径ごとに分級して測定した場合に、各分画の粒子径分布11を一度に把握することが可能となるので、被測定物Mに含まれていた全粒子の粒子径分布11を容易に把握することができる。
In the fourth embodiment, as described above, the particle size
なお、第4実施形態のその他の効果は、上記第1~第3実施形態と同様である。 The other effects of the fourth embodiment are the same as those of the first to third embodiments.
(変形例)
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく、特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更(変形例)が含まれる。
(Modification example)
It should be noted that the embodiments disclosed this time are exemplary in all respects and are not considered to be restrictive. The scope of the present invention is shown by the scope of claims, not the description of the above-described embodiment, and further includes all modifications (modifications) within the meaning and scope equivalent to the scope of claims.
たとえば、上記第1~第4実施形態では、粒子径表示システム100(200、300、400)が、複数の粒子径測定装置2として、第1粒子径測定装置2a~第4粒子径測定装置2dを備える構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、粒子径表示システム100(200、300、400)は、複数の粒子径測定装置2として、レーザ回折法および透過型電子顕微鏡などの、粒子径測定装置をさらに備えていてもよい。また、粒子径表示システム100(200、300、400)が備える複数の粒子径測定装置2は、4種類以外でもよく、1~3種類または5種類以上であってもよい。
For example, in the first to fourth embodiments, the particle size display system 100 (200, 300, 400) has the first particle
また、上記第1~第4実施形態では、粒子径表示システム100(200、300、400)が、複数の粒子径測定装置2を備える構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、1つの粒子径測定装置2を用いる場合でも、測定条件などが異なれば、得られる粒子径結果4の基準が異なることになり得る。得られる粒子径結果4の基準が異なる場合には、複数の粒子径結果4を同一画面上に表示する際に、粒子径結果4の規格化が必要となる。したがって、粒子径表示システム100(200、300、400)が、1つの粒子径測定装置2を備える構成であっても、本発明を適用することが可能である。
Further, in the first to fourth embodiments, an example of the configuration in which the particle size display system 100 (200, 300, 400) is provided with a plurality of particle
また、上記第2実施形態では、制御部8がグラフ形式で表示された粒子径結果4から選択された粒子径分布11が表示された第2表示領域12を表示部3に表示させる構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、制御部38は、図8(B)などに示すメニュー画面に、「相関図」の項目をさらに設け、図17に示すような平均粒子径10の相関図16が表示された第2表示領域12を表示部3に表示するように構成されていてもよい。図17に示す例は、第1粒子径測定装置2a(SEM)によって取得された粒子径結果4の平均粒子径10と、第3粒子径測定装置2c(DLS)によって取得された粒子径結果4の平均粒子径10との相関図16を示している。図17に示す相関図16の横軸および縦軸は、それぞれ、平均粒子径(nm)である。また、図17に示すように、制御部38は、相関図16に表示する平均粒子径10の組み合わせを変更することが可能な組み合わせ変更部17を表示部3に表示するように構成されていてもよい。組み合わせ変更部17は、複数の変更部17aを含んでおり、操作者の操作によって、相関図16に表示する組み合わせを変更するように構成されている。このように構成すれば、操作者が任意の組み合わせを選択することにより、相関図16に平均粒子径10の組み合わせを変更することができる。その結果、操作者の利便性を向上させることができる。なお、相関図16に表示している線分15aは、第1粒子径測定装置2a(SEM)によって取得された粒子径結果4の平均粒子径10と、第3粒子径測定装置2c(DLS)によって取得された粒子径結果4の平均粒子径10との相関の近似直線である。
Further, in the second embodiment, the
また、制御部38は、図17に示す相関図16の平均粒子径10のプロットを選択した場合に、図8(B)などに示すメニュー画面を表示し、「粒子径分布(相関図)」の項目をさらに設け、平均粒子径10の相関図16から、選択された2つの粒子径結果4を同一画面上に重ねて表示するように構成されていてもよい。具体的には、制御部38は、図17に示すような平均粒子径10の相関図16から、図18に示すような粒子径結果4のグラフが表示された第2表示領域12を表示部3に表示するように構成されていてもよい。このように構成すれば、平均粒子径10の相関図16と相関図16に示した組み合わせの粒子径結果4とを一度に把握することができる。なお、図17に示す例では、便宜上、粒子径測定装置の凡例L4に示すように粒子径結果4を測定した粒子径測定装置2の違いを、グラフの線の種類の違いによって表示している。具体的には、図17に示す例では、第1粒子径測定装置2aおよび、第3粒子径測定装置2cによって測定された粒子径結果4の各粒子径結果4を、それぞれ、実線L4aおよび二点鎖線L4bで表示している。
Further, when the
また、上記第2および第3実施形態では、制御部38が、第3粒子径測定装置2c(DLS)によって測定された粒子径結果4を規格化した粒子径分布規格化結果13が表示された第2表示領域12を表示部3に表示する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、図19(A)に示すように、制御部38は、第1粒子径測定装置2a(SEM)、第2粒子径測定装置2b(AFM)および第4粒子径測定装置2d(ICP-MS)により測定された粒子径結果4を、体積基準(頻度(%))によって規格化した粒子径分布規格化結果19を表示部3に表示するように構成されていてもよい。図18(A)に示す粒子径分布規格化結果19は、横軸が粒子径(nm)であり、縦軸が頻度(%)である。なお、図19(A)では、便宜上、上記第2実施形態において図11(B)で示した第1粒子径分布比較結果14のグラフと同様に、各粒子径結果4を、グラフの線の種類の違いにより示している。具体的には、粒子径測定装置の凡例L5に示すように、第1粒子径測定装置2a~第4粒子径測定装置2dによって測定され粒子径結果4の各粒子径結果4を、それぞれ、実線L5a、破線L5b、二点鎖線L5dおよび一点鎖線L5cで表示している。
Further, in the second and third embodiments, the particle size distribution standardization result 13 in which the
また、粒子径結果4を体積基準(頻度(%))によって規格化する場合、制御部38は、粒子径結果4における各粒子径の粒子の計測個数を、計測された粒子の総数で除算することにより、規格化するように構成すればよい。図19(B)に示す例は、第1粒子径測定装置2a(SEM)によって測定された粒子径結果4を規格化する例である。図19(B)の表20に示すように、制御部38は、各粒子径の粒子の計測個数を、計測された総数(たとえば、93個)で除算することにより、規格化している。
When the
また、上記第1~第4実施形態では、粒子径表示装置1(粒子径表示装置21および粒子径表示装置31)は、被測定物Mを第1サンプルM1~第4サンプルM4に分級して測定された粒子径結果4を表示する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、粒子径表示装置1(粒子径表示装置21および粒子径表示装置31)は、4つ以上に分級したサンプルMの粒子径結果4を表示するように構成されていてもよい。被測定物Mを分級する数は任意の数でよい。また、粒子径表示装置1(粒子径表示装置21および粒子径表示装置31)は、被測定物Mが分級されたものに限られず、複数の被測定物Mを測定して得られた粒子径結果4を表示するように構成されていてもよい。
Further, in the first to fourth embodiments, the particle size display device 1 (particle
また、上記第2~第4実施形態では、制御部28(38、48)が、平均粒子径10のグラフのプロットが操作者によって選択された場合に、メニュー画面を表示する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、制御部38(48、58)は、平均粒子径10のグラフとともに、メニュー画面をあらかじめ表示部3に表示させるように構成されていてもよい。メニュー画面は、どのように表示部3に表示されてもよい。また、メニュー画面に表示する項目についても、任意の項目を表示すればよい。
Further, in the second to fourth embodiments, the control unit 28 (38, 48) shows an example of a configuration in which the menu screen is displayed when the plot of the graph having the
また、上記第1~第4実施形態では、制御部8(28、38、48)が平均粒子径10のグラフに表示するプロットの形状を異ならせることにより、粒子径測定装置2の種類を区別する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、制御部8(28、38、48)は、平均粒子径10のグラフに表示するプロットの形状は同一で、プロットの色を異ならせることにより、粒子径測定装置2の種類を区別するように構成されていてもよい。制御部8(28、38、48)は、平均粒子径10のグラフに表示されるプロットを区別することが可能であれば、平均粒子径10のグラフに表示するプロットをどの様に表示してもよい。
Further, in the first to fourth embodiments, the control unit 8 (28, 38, 48) distinguishes the type of the particle
また、上記第3および第4実施形態では、制御部38(48)が、グラフの線の種類を異ならせることにより、粒子径結果4を区別する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、制御部38(48)は、グラフの線の色を異ならせることにより、粒子径結果4を区別するように構成されていてもよい。制御部38(48)は、粒子径結果4を区別することが可能であれば、粒子径結果4のグラフをどの様に表示してもよい。
Further, in the third and fourth embodiments, the control unit 38 (48) has shown an example of a configuration in which the
また、上記第1~第4実施形態では、粒子径表示システム100(200、300、400)が、粒子径表示装置1と、複数の粒子径測定装置2と、表示部3と、入力部Qとを備える構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、粒子径表示システム100(200、300、400)は、複数の粒子径測定装置2のいずれかに、粒子径表示装置1の機能を持たせた場合には、粒子径表示装置1を供えない構成であってもよい。また、粒子径表示装置1が入力部Qを備える構成の場合には、粒子径表示システム100(200、300、400)は、入力部Qを供えない構成であってもよい。
Further, in the first to fourth embodiments, the particle size display system 100 (200, 300, 400) includes a particle
また、上記第1~第4実施形態では、粒子径結果収集部7が粒子径結果4、平均粒子径10、粒子径分布11、第1粒子径分布規格化結果13、第1粒子径分布比較結果14、および第2粒子径分布比較結果15を取得する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、粒子径結果収集部7は、粒子径結果4だけを取得するように構成されていてもよい。粒子径結果収集部7が粒子径結果4だけを取得する構成の場合、制御部8(28、38、48)が、粒子径結果4を分析することにより、粒子径分布11、第1粒子径分布規格化結果13、第1粒子径分布比較結果14、および第2粒子径分布比較結果15を取得するように構成すればよい。
Further, in the first to fourth embodiments, the particle size
また、上記第1実施形態では、選択領域5として、チェックボックス形式の第1選択部50aおよび第2選択部50bを備える分析方法選択部50を表示部3に表示する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。選択領域5に表示する分析方法選択部50は、どのような形式であってもよい。
Further, in the first embodiment, an example of a configuration in which the analysis
また、上記第2~第4実施形態では、第1表示領域6および第2表示領域12を表示部3に表示する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、選択領域5、第1表示領域6および第2表示領域12を表示部3に表示するように構成されていてもよい。表示部3に表示する領域の組み合わせは任意でよい。
Further, in the second to fourth embodiments, an example of a configuration in which the
また、上記1~第4実施形態では、複数の粒子径測定装置2が、第1サンプルM1、第2サンプルM2、第3サンプルM3、および、第4サンプルM4を、それぞれ分析して得られた粒子径結果4を、第1表示領域6に表示する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、複数の粒子径測定装置2は、短時間で分析が可能な分析方法(たとえば、DLS)によって分析を行う場合には、第1サンプルM1、第2サンプルM2、第3サンプルM3、および、第4サンプルM4の全てを分析し、分析時間がかかる分析方法(たとえば、SEM、AFM、およびICP-MS)によって分析を行う場合には、複数のサンプルMを混合し、まとめて分析するように構成されていてもよい。複数のサンプルMを混合してまとめて分析を行う場合、たとえば、第1サンプルM1と第2サンプルM2を混合した第5サンプルM5と、第3サンプルM3と第4サンプルM4とを混合した第6サンプルM6とをそれぞれ分析すればよい。なお、複数のサンプルMを混合する場合、どの組み合わせでサンプルMを混合してもよい。このように構成することにより、分析時間がかかる分析方法を用いる粒子径測定装置2において、複数のサンプルMをまとめて測定することが可能となるので、分析時間を短縮することができる。
Further, in the first to fourth embodiments, the plurality of particle
また、粒子径測定装置2が複数のサンプルMをまとめて測定する場合、複数のサンプルMを混合してまとめて分析した粒子径結果4と、混合されたサンプルMのうちのどちらかのサンプルMを、分析時間が短い分析方法によって分析された粒子径結果4とを、第1表示領域6において同時に表示可能なように、サンプルMの選択項目および分析方法の選択項目を、分析方法選択部50に表示すればよい。
Further, when the particle
1、21、31、41 粒子径表示装置
2、2a、2b、2c、2d 粒子径測定装置
3 表示部
4、4a、4b、4c、4d 粒子径結果
5 選択領域
6 第1表示領域(表示領域)
7 粒子径結果収集部
10、10a、10b、10c、10d 平均粒子径
11、11a、11b、11c、11d 粒子径分布
12 第2表示領域
13、19 粒子径分布規格化結果
14 第1粒子径分布比較結果
15 第2粒子径分布比較結果
100、200、300、400 粒子径表示システム
M 被測定物
1, 21, 31, 41 Particle
7 Particle size
Claims (10)
複数種類の前記分析方法を選択可能に表示する選択領域と、選択された複数の前記分析方法に対応する前記粒子径結果収集部に収集された複数の前記粒子径結果を対比可能に表示する第1表示領域とを同一画面上に表示する表示部とを備える、粒子径表示装置。 A particle size result collection unit that acquires particle size results of a plurality of objects to be measured obtained by an analysis method that measures the particle size, and a particle size result collection unit.
A selection area for selectively displaying a plurality of types of the analysis methods and a plurality of the particle size results collected in the particle size result collecting unit corresponding to the selected plurality of the analysis methods are displayed in a contrastable manner. A particle size display device including a display unit that displays one display area on the same screen.
前記表示部は、複数種類の前記分析方法および複数のそれぞれに対応する前記被測定物を選択可能に表示する前記選択領域と、複数の前記粒子径結果をグラフ形式で表示する前記第1表示領域とを同一画面上に表示するように構成されている、請求項1に記載の粒子径表示装置。 The particle size result collecting unit is configured to acquire a plurality of the particle size results measured by the plurality of types of analysis methods for measuring the particle size or a plurality of the particle size results of the plurality of objects to be measured. And
The display unit has the selection area for selectively displaying the plurality of types of the analysis method and the object to be measured corresponding to each of the plurality of types, and the first display area for displaying the plurality of particle size results in a graph format. The particle size display device according to claim 1, which is configured to display and on the same screen.
前記表示部は、複数の前記平均粒子径に基づくグラフ形式の前記粒子径結果を前記第1表示領域に表示するように構成されている、請求項2に記載の粒子径表示装置。 The particle size result collecting unit is configured to acquire the average particle size of each of the particle size results in the plurality of objects to be measured as the result of the plurality of particle sizes.
The particle size display device according to claim 2, wherein the display unit is configured to display the particle size results in a graph format based on the plurality of average particle sizes in the first display area.
前記表示部は、前記第1表示領域に表示された複数の前記粒子径結果から選択された前記粒子径結果における前記粒子径分布を、前記第1表示領域に表示された複数の前記粒子径結果と対比可能に表示する第2表示領域をさらに表示するように構成されている、請求項1~3のいずれか1項に記載の粒子径表示装置。 The particle size result collecting unit is configured to acquire a plurality of particle size distributions in a plurality of the objects to be measured as a result of the plurality of particle sizes.
The display unit displays the particle size distribution in the particle size result selected from the plurality of particle size results displayed in the first display area, and the plurality of particle size results displayed in the first display area. The particle size display device according to any one of claims 1 to 3, which is configured to further display a second display area to be displayed in comparison with the above.
前記表示部は、前記第1表示領域に表示された複数の前記粒子径結果から選択された前記粒子径結果における前記粒子径分布規格化結果を前記第2表示領域に表示するように構成されている、請求項5に記載の粒子径表示装置。 The particle size result collecting unit is configured to acquire particle size distribution standardization results obtained by standardizing a plurality of the particle size results based on the same standard.
The display unit is configured to display the particle size distribution standardization result in the particle size result selected from the plurality of particle size results displayed in the first display area in the second display area. The particle size display device according to claim 5.
前記表示部は、前記第1表示領域に表示された複数の前記粒子径結果から選択された前記粒子径結果における前記第1粒子径分布比較結果を、前記第2表示領域に表示するように構成されている、請求項5または6に記載の粒子径表示装置。 The particle size result collecting unit acquires a plurality of the particle size results of the plurality of types of the analysis methods for the plurality of the particle size results of the predetermined object to be measured among the plurality of the particle size results. In addition to acquiring the first particle size distribution comparison result that can compare a plurality of the particle size results for each of the analysis methods.
The display unit is configured to display the first particle size distribution comparison result in the particle size result selected from the plurality of particle size results displayed in the first display area in the second display area. The particle size display device according to claim 5 or 6.
前記表示部は、前記第1表示領域に表示された複数の前記粒子径結果から選択された前記粒子径結果における前記第2粒子径分布比較結果を、前記第2表示領域に表示するように構成されている、請求項5または6に記載の粒子径表示装置。 The particle size result collecting unit compares a plurality of the particle size results for each of the plurality of objects to be measured with respect to the plurality of the particle size results measured by the predetermined analysis method among the plurality of types of the analysis methods. It is configured to obtain the second particle size distribution comparison result that can be obtained.
The display unit is configured to display the second particle size distribution comparison result in the particle size result selected from the plurality of particle size results displayed in the first display area in the second display area. The particle size display device according to claim 5 or 6.
複数種類の前記分析方法を選択可能に表示する選択領域と、選択された複数の前記分析方法に対応する収集された前記粒子径結果とを対比可能に表示する表示領域とを表示部の同一画面上に表示するステップとを備える、粒子径表示方法。 The step of acquiring the particle size result obtained by the analysis method for measuring the particle size, and
The same screen of the display unit displays a selection area for selectively displaying a plurality of types of the analysis methods and a display area for displaying the collected particle size results corresponding to the selected plurality of the analysis methods so as to be comparable. A particle size display method comprising the steps to display above.
粒子径を測定する分析方法により取得される粒子径結果を取得する粒子径結果収集部と、複数種類の前記分析方法を選択可能に表示する選択領域と、選択された複数の前記分析方法に対応する前記粒子径結果収集部に収集された粒子径結果とを対比可能に表示する表示領域とを同一画面上に表示する表示部とを備える粒子径表示装置とを含む、粒子径表示システム。 Multiple particle size measuring devices that acquire the particle size results of multiple objects to be measured, and
Corresponds to the particle size result collecting unit that acquires the particle size result obtained by the analysis method that measures the particle size, the selection area that displays a plurality of types of the analysis methods in a selectable manner, and the plurality of selected analysis methods. A particle size display system including a particle size display device including a display area for displaying a display area for displaying the particle size results collected in the particle size result collection unit in a contrastable manner on the same screen.
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