JP7089170B2 - Manufacturing method of polishing sheet - Google Patents

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Description

本発明は研磨加工用シートの製造方法に関し、より詳しくは、研磨パット又は保持パッドとして用いられる研磨加工用シートの製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a polishing sheet, and more particularly to a method for manufacturing a polishing sheet used as a polishing pad or a holding pad.

従来、半導体ウェハ基板や磁気ディスク基板の仕上げ用途として、湿式成膜されたポリウレタンシートが研磨パッドとして使用されている（特許文献１）。
また、それらの基板や大型、かつ、または薄型の液晶用ガラス基板を片面研磨機で仕上げ研磨する際には、湿式成膜されたポリウレタンシートで基板を吸着保持する保持パッドが使用されている（特許文献２）。
上記研磨パッドや保持パッドとして用いられる研磨加工用シートを製造する湿式成膜法においては、成膜基材フィルムにポリウレタン樹脂溶液（成膜樹脂）を塗布して成膜基材フィルム上に成膜樹脂シートを形成し、次に成膜基材フィルムから成膜樹脂シートを剥離して成膜樹脂シートを洗浄した後ロールに巻き取り、さらにロールから成膜樹脂シートを引き出して成膜樹脂シートにバフ加工を施している。 Conventionally, a wet-deposited polyurethane sheet has been used as a polishing pad for finishing a semiconductor wafer substrate or a magnetic disk substrate (Patent Document 1).
Further, when finishing and polishing these substrates or a large or thin glass substrate for liquid crystal display with a single-sided polishing machine, a holding pad for adsorbing and holding the substrate with a wet-deposited polyurethane sheet is used (). Patent Document 2).
In the wet film-forming method for producing a polishing sheet used as the polishing pad or holding pad, a polyurethane resin solution (deposition resin) is applied to the film-forming base film to form a film on the film-forming base film. A resin sheet is formed, then the film-forming resin sheet is peeled off from the film-forming base film, the film-forming resin sheet is washed, and then wound on a roll, and then the film-forming resin sheet is pulled out from the roll to form a film-forming resin sheet. It is buffed.

特許第５５６７２８０号公報Japanese Patent No. 5567280 特許第５５０１５６１号公報Japanese Patent No. 5501561

上記湿式成膜法による研磨加工用シートにおいては、成膜樹脂に添加された溶媒及び成膜助剤を洗浄するよう、成膜基材フィルムから成膜樹脂シートを剥離した状態で成膜樹脂シートを洗浄するようにしており、したがって成膜樹脂シートは単体でロールに巻き取られている。
このようにバフ加工前、成膜樹脂シートは単体でロールとして保管されているが、特に１００％樹脂モジュラスが１０ＭＰａ以下の柔軟性の高い樹脂シートの場合、単体でロールに捲回すると、いわゆるブロッキング現象が発生しやすくなる。すなわち、捲回され積層状態となった成膜樹脂シートは、軟質で両表面が平坦であるため密着しやすく、粘着性を有するためシート同士が剥がれにくくなってしまうブロッキング現象を生じてしまうことがある。
ブロッキング現象が生じると、バフ加工時に成膜樹脂シートをロールからスムーズに引き出すことができず、軟質なシートの場合にはシートが伸びて厚みムラや密度ムラが生じ研磨加工用シートの品質にばらつきが生じてしまう。添加剤としてカーボンブラックの添加量が少ない場合に、このブロッキング現象がより発生しやすい状況となり、製造工程におけるトラブル発生の原因となっていた。
本発明はそのような事情に鑑み、ブロッキング現象の発生を防止することができる研磨加工用シートの製造方法を提供するものである。 In the polishing processing sheet by the wet film forming method, the film forming resin sheet is peeled off from the film forming base film so as to clean the solvent added to the film forming resin and the film forming aid. Therefore, the film-forming resin sheet is wound on a roll by itself.
In this way, before buffing, the film-forming resin sheet is stored as a single roll, but especially in the case of a highly flexible resin sheet with a 100% resin modulus of 10 MPa or less, when it is wound on a roll by itself, it is so-called blocking. The phenomenon is likely to occur. That is, the film-formed resin sheet that has been wound and laminated may easily adhere to each other because it is soft and both surfaces are flat, and it may cause a blocking phenomenon in which the sheets are difficult to peel off because of their adhesiveness. be.
When the blocking phenomenon occurs, the film-forming resin sheet cannot be smoothly pulled out from the roll during buffing, and in the case of a soft sheet, the sheet stretches and uneven thickness and density occur, resulting in variations in the quality of the polishing sheet. Will occur. When the amount of carbon black added as an additive is small, this blocking phenomenon is more likely to occur, which causes troubles in the manufacturing process.
In view of such circumstances, the present invention provides a method for manufacturing a polishing sheet that can prevent the occurrence of a blocking phenomenon.

請求項１の発明は、成膜基材フィルムに成膜樹脂を塗布して成膜基材フィルム上に成膜樹脂シートを形成し、次に成膜基材フィルムから成膜樹脂シートを剥離して成膜樹脂シートを洗浄後、ロールに巻き取り、さらにロールから成膜樹脂シートを引き出して成膜樹脂シートにバフ加工を施すようにした研磨加工用シートの製造方法において、
上記成膜樹脂シートを洗浄後、洗浄が終了した成膜樹脂シートに付着防止用フィルムを積層させて上記ロールに巻き取り、
さらに上記ロールから成膜樹脂シートと付着防止用フィルムとを引き出したのち、成膜樹脂シートと付着防止用フィルムとを分離させて、成膜樹脂シートにバフ加工を施すことを特徴とするものである。 In the invention of claim 1, the film-forming resin is applied to the film-forming base film to form a film-forming resin sheet on the film-forming base film, and then the film-forming resin sheet is peeled off from the film-forming base film. In the method for manufacturing a polishing sheet, the film-forming resin sheet is washed, then wound on a roll, and the film-forming resin sheet is pulled out from the roll to buff the film-forming resin sheet.
After cleaning the film-forming resin sheet, a film for preventing adhesion is laminated on the film-forming resin sheet that has been washed, and the film is wound on the roll.
Further, the film-forming resin sheet and the adhesion-preventing film are pulled out from the roll, and then the film-forming resin sheet and the adhesion-preventing film are separated and buffed on the film-forming resin sheet . be.

請求項１の発明によれば、成膜基材フィルムから成膜樹脂シートを剥離して成膜樹脂シートを単体で洗浄しているので、該成膜樹脂シートを良好に洗浄することができる。そして洗浄が終了した成膜樹脂シートに付着防止用フィルムを積層させてロールに巻き取っているので、ロールに巻き取った成膜樹脂シート同士の間に付着防止用フィルムが介在されることになり、したがって成膜樹脂シート同士が密着して生じるブロッキング現象の発生を防止してバフ加工時にロールから成膜樹脂シートを円滑に引き出すことができる。 According to the invention of claim 1, since the film-forming resin sheet is peeled off from the film-forming base film and the film-forming resin sheet is washed by itself, the film-forming resin sheet can be washed satisfactorily. Then, since the film-forming resin sheet that has been washed is laminated with the film-forming resin sheet and wound on the roll, the film-forming resin sheet wound on the roll is interposed between the film-forming resin sheets. Therefore, it is possible to prevent the occurrence of the blocking phenomenon that occurs when the film-forming resin sheets are in close contact with each other and smoothly pull out the film-forming resin sheet from the roll during buffing.

成膜樹脂シート４を製造してこれをロール１４に巻き取るまでに用いられる成膜装置の概略構成を示す正面図。The front view which shows the schematic structure of the film-forming apparatus used for manufacturing a film-forming resin sheet 4 and winding it on a roll 14. 図１で上記ロール１４に巻き取った成膜樹脂シート４にバフ加工を施すのに用いられる成膜装置の概略構成を示す正面図。FIG. 1 is a front view showing a schematic configuration of a film forming apparatus used for buffing the film forming resin sheet 4 wound around the roll 14.

以下図示実施例について本発明を説明すると、図１において、成膜基材フィルム１はロール状に巻き取られてロール２として形成されている。上記成膜基材フィルム１はロール２から引き出され、その表面に慣用のコーター３（例えば、ナイフコータ、リバースコータ）により成膜樹脂が塗布されて、成膜基材フィルム１上に成膜樹脂シート４が形成される。
上記成膜基材フィルム１としては、例えばポリエチレンテレフタレート製フィルム（ＰＥＴ）等の可撓性フィルムが用いられる。
また成膜樹脂としては、例えばポリウレタン樹脂が用いられ、該ポリウレタン樹脂としては、１００％モジュラスが２０ＭＰａ以下のポリエステル系、ポリエーテル系、ポリカーボネート系等の樹脂から選択して用いられる。そして該ポリウレタン樹脂は、ポリウレタン樹脂を溶解可能な水混和性の有機溶媒のＮ，Ｎ－ジメチルホルムアミド（以下、ＤＭＦと略記する。）及び添加剤に混合されて、ポリウレタン樹脂が３０％となるように溶解されている。
上記添加剤としては、発泡の大きさや量（個数）を制御するため、カーボンブラック等の顔料、発泡を促進させる親水性活性剤及びポリウレタン樹脂の凝固再生を安定化させる疎水性活性剤等が用いられる。そして得られた溶液を濾過することで凝集塊等を除去した後、真空下で脱泡してポリウレタン樹脂溶液が得られる。 Hereinafter, the present invention will be described with respect to the illustrated examples. In FIG. 1, the film-forming base film 1 is wound into a roll and formed as a roll 2. The film-forming base film 1 is pulled out from the roll 2, and the film-forming resin is applied to the surface thereof by a conventional coater 3 (for example, a knife coater or a reverse coater), and the film-forming resin sheet is applied onto the film-forming base film 1. 4 is formed.
As the film-forming base film 1, for example, a flexible film such as a polyethylene terephthalate film (PET) is used.
As the film-forming resin, for example, a polyurethane resin is used, and the polyurethane resin is selected from polyester-based, polyether-based, polycarbonate-based and the like having a 100% modulus of 20 MPa or less. The polyurethane resin is mixed with N, N-dimethylformamide (hereinafter abbreviated as DMF), which is a water-miscible organic solvent capable of dissolving the polyurethane resin, and an additive so that the polyurethane resin becomes 30%. It is dissolved in.
As the above additives, pigments such as carbon black, hydrophilic activators that promote foaming, hydrophobic activators that stabilize the solidification and regeneration of polyurethane resin, and the like are used in order to control the size and amount (number) of foaming. Be done. Then, after removing agglomerates and the like by filtering the obtained solution, defoaming is performed under vacuum to obtain a polyurethane resin solution.

ポリウレタン樹脂シートの１００％樹脂モジュラスが１０ＭＰａ以下の場合、ブロッキング現象が起きやすい。また、カーボンブラックは、ポリウレタン樹脂溶液中に含まれる全固形分に対して０～１０質量％含まれることが好ましく、０～８質量％含まれることがより好ましく、０～６質量％含まれることがさらにより好ましい。被研磨物に対しスクラッチ等のキズ発生を抑制するためにカーボンブラックの添加量は少ないほど好ましく、０質量％であることが最も好ましいが、上記範囲内で含んでいるとブロッキング現象は発生しやすくなり、カーボンブラックの添加量が少ないほどブロッキング現象により接する面同士の吸着力が増す。 When the 100% resin modulus of the polyurethane resin sheet is 10 MPa or less, the blocking phenomenon is likely to occur. Further, the carbon black is preferably contained in an amount of 0 to 10% by mass, more preferably 0 to 8% by mass, and more preferably 0 to 6% by mass, based on the total solid content contained in the polyurethane resin solution. Is even more preferable. In order to suppress the generation of scratches and the like on the object to be polished, the smaller the amount of carbon black added, the more preferably 0% by mass, but if it is contained within the above range, the blocking phenomenon is likely to occur. Therefore, the smaller the amount of carbon black added, the greater the adsorption force between the surfaces in contact with each other due to the blocking phenomenon.

上記ポリウレタン樹脂溶液は、常温下で上述したコーター３などの塗布装置により成膜基材フィルム１の表面に略均一に塗布される。このとき、コーター３と成膜基材フィルム１との間隙を調整することで、ポリウレタン樹脂溶液の塗布厚みが調整される。
上記成膜基材フィルム１上に塗布された成膜樹脂シート４は、ポリウレタン樹脂に対して貧溶媒である水を主成分とする凝固槽５内の凝固液（水系凝固液）に浸漬される。
凝固液中では、まず、塗布されたポリウレタン樹脂溶液の表面側に厚さ数μｍ程度のスキン層が形成される。その後、ポリウレタン樹脂溶液中のＤＭＦと凝固液との置換の進行によりポリウレタン樹脂が成膜基材フィルム１の表面にシート状に凝固再生され、成膜基材フィルム１上に成膜樹脂シート４が形成される。このとき、ＤＭＦがポリウレタン樹脂溶液から脱溶媒し、ＤＭＦと凝固液とが置換することにより、従来周知のようにスキン層の内側（ポリウレタン樹脂中）に図示しないセルおよび発泡が形成され、セルおよび発泡を網目状に連通する不図示の連通孔が形成される。 The polyurethane resin solution is substantially uniformly applied to the surface of the film-forming base film 1 at room temperature by a coating device such as the coater 3 described above. At this time, the coating thickness of the polyurethane resin solution is adjusted by adjusting the gap between the coater 3 and the film-forming base film 1.
The film-forming resin sheet 4 coated on the film-forming base film 1 is immersed in a coagulating liquid (water-based coagulating liquid) in a coagulation tank 5 containing water, which is a poor solvent for polyurethane resin, as a main component. ..
In the coagulating liquid, first, a skin layer having a thickness of about several μm is formed on the surface side of the applied polyurethane resin solution. After that, as the replacement of the DMF with the coagulating liquid in the polyurethane resin solution progresses, the polyurethane resin is solidified and regenerated on the surface of the film-forming base film 1 in the form of a sheet, and the film-forming resin sheet 4 is formed on the film-forming base film 1. It is formed. At this time, the DMF is desolvated from the polyurethane resin solution, and the DMF is replaced with the coagulating liquid, so that cells and foams (not shown) are formed inside the skin layer (in the polyurethane resin) as is conventionally known, and the cells and the foam are formed. A communication hole (not shown) for communicating the foam in a mesh pattern is formed.

表面に成膜樹脂シート４が形成された成膜基材フィルム１は上記凝固槽５内から引き出され、凝固槽５の上方に配置した一対のマングルローラ６の間を通過される際に、凝固再生後のポリウレタン樹脂が脱水処理される。上記マングルローラ６間を通過した成膜基材フィルム１および成膜樹脂シート４は分離ローラ７によって相互に分離され、成膜基材フィルム１はロール８に巻き取られる。
他方、上記成膜基材フィルム１から分離された成膜樹脂シート４は、洗浄槽１１内に貯溜された水等の洗浄液内に浸漬され、成膜樹脂シート４中に残留するＤＭＦや成膜助剤（界面活性剤）が洗浄液中に溶出される。この際、成膜樹脂シート４は成膜基材フィルム１から分離されて単体で洗浄液内に浸漬されるので、成膜樹脂シート４の表面及び裏面より効率的に洗浄が行われる。
洗浄が終了した成膜樹脂シート４は上記洗浄槽１１内から引き出され、洗浄槽１１の上方に配置した一対のマングルローラ１２の間を通過される際に、洗浄液が脱水処理される。洗浄後、成膜樹脂シート４はシリンダ乾燥機１３で乾燥される。シリンダ乾燥機１３は内部に熱源を有するシリンダを備えており、成膜樹脂シート４がシリンダの周面に沿って通過することで乾燥される。 The film-forming base film 1 on which the film-forming resin sheet 4 is formed on the surface is pulled out from the inside of the coagulation tank 5 and solidifies when passed between a pair of mangle rollers 6 arranged above the coagulation tank 5. The regenerated polyurethane resin is dehydrated. The film-forming base film 1 and the film-forming resin sheet 4 that have passed between the mangle rollers 6 are separated from each other by the separation roller 7, and the film-forming base film 1 is wound on the roll 8.
On the other hand, the film-forming resin sheet 4 separated from the film-forming base film 1 is immersed in a cleaning liquid such as water stored in the cleaning tank 11, and DMF and film forming remain in the film-forming resin sheet 4. Auxiliary agent (surfactant) is eluted in the cleaning solution. At this time, since the film-forming resin sheet 4 is separated from the film-forming base film 1 and immersed alone in the cleaning liquid, the front surface and the back surface of the film-forming resin sheet 4 are efficiently cleaned.
When the film-forming resin sheet 4 that has been washed is pulled out from the inside of the washing tank 11 and passed between the pair of mangle rollers 12 arranged above the washing tank 11, the washing liquid is dehydrated. After cleaning, the film-forming resin sheet 4 is dried by the cylinder dryer 13. The cylinder dryer 13 includes a cylinder having a heat source inside, and the film-forming resin sheet 4 is dried by passing along the peripheral surface of the cylinder.

上記シリンダ乾燥機１３によって乾燥された成膜樹脂シート４はロール１４として巻き取られるが、この際、成膜樹脂シート４の一側表面に付着防止用フィルム１５が積層されるようになり、成膜樹脂シート４と付着防止用フィルム１５とが積層された状態で上記ロール１４として巻き取られる。上記付着防止用フィルム１５はロール１６に巻き取られており、該ロール１６から上記ロール１４に供給されるようになっている。
この状態では、ロール１４として巻き取られた成膜樹脂シート４間に付着防止用フィルム１５が介在されるので、巻き取られた成膜樹脂シート４同士が相互に密着することはなく、次にロール１４から成膜樹脂シート４と付着防止用フィルム１５とを引き出す際に円滑に引き出すことができる。 The film-forming resin sheet 4 dried by the cylinder dryer 13 is wound up as a roll 14, and at this time, the adhesion prevention film 15 is laminated on one side surface of the film-forming resin sheet 4. The film resin sheet 4 and the adhesion prevention film 15 are wound up as the roll 14 in a laminated state. The adhesion-preventing film 15 is wound around a roll 16 and is supplied from the roll 16 to the roll 14.
In this state, since the adhesion prevention film 15 is interposed between the film-forming resin sheets 4 wound as the roll 14, the wound film-forming resin sheets 4 do not adhere to each other, and then The film-forming resin sheet 4 and the adhesion-preventing film 15 can be smoothly pulled out from the roll 14.

上記付着防止用フィルム１５としては、ポリオレフィンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、ポリエステルフィルム、紙から選択することができる。また付着防止用フィルム１５はシリコーン系剥離剤、あるいは非シリコーン系剥離剤で離型処理されていることが望ましく、非シリコーン系剥離剤としては、ポリオレフィン、イソシアネートおよびポリオレフィンポリオールを少なくとも含有する、ポリオレフィン系剥離剤をもちいることが望ましい。
さらに、付着防止用フィルム１５の成膜樹脂シート表面と接する面の表面粗さが５μｍ以下であることが好ましく、また坪量は４０～２００ｇ／ｍ２の範囲であることが好ましい。表面粗さが５μｍ以下であると、成膜樹脂シートの表面粗さを悪化させることなく適度な滑り性が得られるため好ましい。坪量が４０～２００ｇ／ｍ２の範囲であると、バフ処理前のロール体が嵩張らないため好ましい。また、軟質な成膜樹脂シートに余分なテンションやテンション斑を与えることなくバフ機へ送りだすことができるため好ましい。 The adhesion prevention film 15 can be selected from a polyolefin film, a polyvinyl chloride film, a polyester film, and paper. Further, it is desirable that the adhesion prevention film 15 is mold-released with a silicone-based release agent or a non-silicone-based release agent, and the non-silicone-based release agent is a polyolefin-based film containing at least polyolefin, isocyanate and polyolefin polyol. It is desirable to use a release agent.
Further, the surface roughness of the surface of the adhesion prevention film 15 in contact with the surface of the film-forming resin sheet is preferably 5 μm or less, and the basis weight is preferably in the range of 40 to 200 g / m 2 . When the surface roughness is 5 μm or less, appropriate slipperiness can be obtained without deteriorating the surface roughness of the film-formed resin sheet, which is preferable. When the basis weight is in the range of 40 to 200 g / m 2 , the roll body before the buffing treatment is not bulky, which is preferable. Further, it is preferable because it can be sent to the buffing machine without giving extra tension or tension spots to the soft film-forming resin sheet.

図２に示すように、積層された状態で上記ロール１４に巻き取られた成膜樹脂シート４と付着防止用フィルム１５とは、該ロール１４から相互に分離されながら引き出され、付着防止用フィルム１５はロール２１に巻き取られる。この際、上述したように巻き回された成膜樹脂シート４同士は相互に密着しておらず、その間に付着防止用フィルム１５が介在されているので、成膜樹脂シート４に無理な負荷を加えることなく該成膜樹脂シート４を円滑にロール１４から引き出すことができる。
上記ロール１４から引き出された成膜樹脂シート４は、バフ機２２によってバフ加工される。上記バフ機２２は、成膜樹脂シート４のバフ加工する表面とは反対側となる裏面を支持する圧接ローラ２３と、該圧接ローラ２３と対向させて配置した、成膜樹脂シート４の表面側をバフ加工するためのバフローラ２４とを備えており、圧接ローラ２３は図示しない駆動手段によって成膜樹脂シート４の搬送方向に回転駆動され、バフローラ２４は図示しない駆動手段によって成膜樹脂シート４の搬送方向とは逆方向に回転駆動されるようになっている。 As shown in FIG. 2, the film-forming resin sheet 4 and the adhesion-preventing film 15 wound on the roll 14 in a laminated state are pulled out from the roll 14 while being separated from each other, and the adhesion-preventing film 15 is drawn. 15 is wound on the roll 21. At this time, since the film-forming resin sheets 4 wound as described above are not in close contact with each other and the adhesion prevention film 15 is interposed between them, an unreasonable load is applied to the film-forming resin sheet 4. The film-forming resin sheet 4 can be smoothly pulled out from the roll 14 without adding.
The film-forming resin sheet 4 drawn out from the roll 14 is buffed by the buffing machine 22. The buffing machine 22 has a pressure welding roller 23 that supports the back surface of the film forming resin sheet 4 that is opposite to the surface to be buffed, and the front surface side of the film forming resin sheet 4 that is arranged so as to face the pressure welding roller 23. The pressure welding roller 23 is rotationally driven in the transport direction of the film-forming resin sheet 4 by a driving means (not shown), and the baflora 24 is driven by a driving means (not shown) of the film-forming resin sheet 4. It is driven to rotate in the direction opposite to the transport direction.

上記圧接ローラ２３の表層には、ゴム等の弾性材で弾性層２３ａが設けられて、成膜樹脂シート４を略平坦に支持することができるようになっている。またバフローラ２４の表面には、バフシートとしてのサンドペーパー２４ａが貼付されている。
上記サンドペーパー２４ａは、可撓性の基材を有している。基材としては、ＰＥＴ、ポリプロピレン、ポリエチレン、塩化ビニールから選択される１種の樹脂製フィルムや紙、綿布、合成布などを用いることができ、基材の表面には、砥粒がにかわや合成樹脂などの接着剤により固定されている。 An elastic layer 23a is provided on the surface layer of the pressure contact roller 23 with an elastic material such as rubber so that the film-forming resin sheet 4 can be supported substantially flatly. Further, sandpaper 24a as a buff sheet is attached to the surface of the baflora 24.
The sandpaper 24a has a flexible base material. As the base material, one kind of resin film selected from PET, polypropylene, polyethylene, vinyl chloride, paper, cotton cloth, synthetic cloth, etc. can be used, and abrasive grains are glued or synthesized on the surface of the base material. It is fixed with an adhesive such as resin.

上記成膜樹脂シート４の裏面が圧接ローラ２３の弾性層２３ａの表面に圧接され、該成膜樹脂シート４が弾性層２３ｓの表面で略平坦に支持された状態で、表面側にバフローラ２４でバフ加工が施される。
この際、成膜樹脂シート４を研磨パッドとして用いる場合には、成膜樹脂シート４のスキン層側表面がバフ加工され、バフ加工されたスキン層側表面が研磨面として用いられる。他方、成膜樹脂シート４を保持パッドとして用いる場合には、成膜樹脂シート４の裏面側がバフ加工され、スキン層側表面が保持面として用いられる。
バフ加工が施されて厚みのバラツキの低減が図られた成膜樹脂シート４は、上記研磨パット又は保持パッドとして用いられる研磨加工用シート４Ａとしてロール２５に巻き取られる。
この際、圧接ローラ２３からロール２５までの搬送中に、バフ加工で研磨加工用シート４Ａに付着したバフ屑は除去されるようになる。
上記ロール２５に巻き取られた研磨加工用シート４Ａは、研磨加工用シート４Ａ同士が接触するようになるが、その表面にバフ加工が施されているので、次にロール２５から研磨加工用シート４Ａを引き出す際に、研磨加工用シート４Ａ同士が接着することによる引き出しトラブルを発生させることはない。そして研磨加工用シート４Ａは、この後、用途に応じて研磨パットとして、又は保持パッドとして完成される。研磨加工用シート４Ａを研磨パット又は保持パッドとして製造することは従来既に周知であるので、その説明は省略する。 The back surface of the film-forming resin sheet 4 is pressure-welded to the surface of the elastic layer 23a of the pressure-welding roller 23, and the film-forming resin sheet 4 is supported substantially flat on the surface of the elastic layer 23s. Buffed.
At this time, when the film-forming resin sheet 4 is used as a polishing pad, the skin layer-side surface of the film-forming resin sheet 4 is buffed, and the buffed skin layer-side surface is used as the polishing surface. On the other hand, when the film-forming resin sheet 4 is used as a holding pad, the back surface side of the film-forming resin sheet 4 is buffed and the skin layer side surface is used as the holding surface.
The film-forming resin sheet 4 that has been buffed to reduce the variation in thickness is wound around a roll 25 as a polishing sheet 4A used as the polishing pad or holding pad.
At this time, the buff debris adhering to the polishing sheet 4A by the buffing process is removed during the transfer from the pressure welding roller 23 to the roll 25.
The polishing sheet 4A wound around the roll 25 comes into contact with each other, but since the surface thereof is buffed, the polishing sheet is then transferred from the roll 25. When pulling out the 4A, the pulling trouble caused by the polishing sheets 4A sticking to each other does not occur. The polishing sheet 4A is then completed as a polishing pad or a holding pad depending on the application. Since it is already well known that the polishing sheet 4A is manufactured as a polishing pad or a holding pad, the description thereof will be omitted.

なお、上記実施例では成膜樹脂シート４の表面側のみをバフ加工しているが、必要に応じて両面をバフ加工してもよい。
また、上記実施例では成膜樹脂シート４と付着防止用フィルム１５とを分離させているが、両者を一体のまま引き出して、分離させることなく成膜樹脂シート４の表面にバフ加工を施すようにしてもよい。成膜樹脂シート４と付着防止用フィルム１５とを分離させずにバフ加工を行うと、バフ処理をしていない面に対し、バフにより生じる研削屑の付着や、ロール体とした時にバフ処理をしていない面にバフにより生じた開口が接触し開口の跡が転写されてしまうことを防止でき、バフ処理をしていない面を保持面として使用する保持パッドに対し特に有用である。 In the above embodiment, only the surface side of the film-forming resin sheet 4 is buffed, but both sides may be buffed if necessary.
Further, in the above embodiment, the film-forming resin sheet 4 and the adhesion prevention film 15 are separated, but both are pulled out as they are, and the surface of the film-forming resin sheet 4 is buffed without being separated. You may do it. If buffing is performed without separating the film-forming resin sheet 4 and the adhesion prevention film 15, grinding debris generated by the buff adheres to the surface that has not been buffed, and buffing is performed when the roll is formed. It is possible to prevent the opening created by the buff from coming into contact with the unbuffed surface and transferring the trace of the opening, which is particularly useful for a holding pad in which the unbuffed surface is used as the holding surface.

１ 成膜基材フィルム ２、８、１４、１６、２１、２５ ロール
４ 成膜樹脂シート ４Ａ 研磨加工用シート
５ 凝固槽 ７ 分離ローラ
１１ 洗浄槽 １３ シリンダ乾燥機
１５ 付着防止用フィルム ２２ バフ機 1 Film-forming base film 2, 8, 14, 16, 21, 25 rolls 4 Film-forming resin sheet 4A Polishing sheet 5 Coagulation tank 7 Separation roller 11 Cleaning tank 13 Cylinder dryer 15 Adhesion prevention film 22 Buffing machine

Claims (4)

成膜基材フィルムに成膜樹脂を塗布して成膜基材フィルム上に成膜樹脂シートを形成し、次に成膜基材フィルムから成膜樹脂シートを剥離して成膜樹脂シートを洗浄後、ロールに巻き取り、さらにロールから成膜樹脂シートを引き出して成膜樹脂シートにバフ加工を施すようにした研磨加工用シートの製造方法において、
上記成膜樹脂シートを洗浄後、洗浄が終了した成膜樹脂シートに付着防止用フィルムを積層させて上記ロールに巻き取り、
さらに上記ロールから成膜樹脂シートと付着防止用フィルムとを引き出したのち、成膜樹脂シートと付着防止用フィルムとを分離させて、成膜樹脂シートにバフ加工を施すことを特徴とする研磨加工用シートの製造方法。 A film-forming resin is applied to the film-forming base film to form a film-forming resin sheet on the film-forming base film, and then the film-forming resin sheet is peeled off from the film-forming base film to clean the film-forming resin sheet. After that, in a method for manufacturing a polishing sheet, which is wound on a roll and further pulled out from the roll to buff the film-forming resin sheet.
After cleaning the film-forming resin sheet, a film for preventing adhesion is laminated on the film-forming resin sheet that has been washed, and the film is wound on the roll.
Further, after pulling out the film-forming resin sheet and the adhesion-preventing film from the roll, the film-forming resin sheet and the adhesion-preventing film are separated, and the film-forming resin sheet is buffed. Sheet manufacturing method. 上記付着防止用フィルムは、ポリオレフィンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、ポリエステルフィルム、紙から選択されることを特徴とする請求項１に記載の研磨加工用シートの製造方法。 The method for manufacturing a polishing sheet according to claim 1 , wherein the adhesion-preventing film is selected from a polyolefin film, a polyvinyl chloride film, a polyester film, and paper. 付着防止用フィルムは、シリコーン系剥離剤、あるいは非シリコーン系剥離剤で離型処理されており、非シリコーン系剥離剤としては、ポリオレフィン、イソシアネートおよびポリオレフィンポリオールを少なくとも含有する、ポリオレフィン系剥離剤が用いられることを特徴とする請求項１に記載の研磨加工用シートの製造方法。 The adhesion prevention film is mold-released with a silicone-based release agent or a non-silicone-based release agent, and the non-silicone-based release agent is a polyolefin-based release agent containing at least polyolefin, isocyanate, and a polyolefin polyol. The method for manufacturing a polishing sheet according to claim 1 , wherein the sheet is made. 付着防止用フィルムの成膜樹脂シート表面と接する面の表面粗さが５μｍ以下であり、かつ坪量が４０～２００ｇ／ｍ２の範囲であることを特徴とする請求項１に記載の研磨加工用シートの製造方法。 The polishing process according to claim 1 , wherein the surface roughness of the surface of the film-forming resin sheet for adhering prevention film in contact with the surface thereof is 5 μm or less, and the basis weight is in the range of 40 to 200 g / m 2 . Sheet manufacturing method.
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