JP7085421B2 - 反応観察方法及び層状隔壁式封止物品 - Google Patents
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Description
本発明の目的は、複数の試料を異なる層状物質の間にそれぞれ封止し、試料を隔てる層状物質を荷電粒子線により開口させることにより試料間の反応や混合の挙動を直接観察する反応観察方法、及び複数の試料を封止する層状隔壁式封止物品を提供することにある。
1.異なる層状物質からなる隔壁膜と外壁膜との間にそれぞれ封止される複数の試料間の反応又は混合の挙動を観察する方法であって、観察対象とする2つの試料の少なくとも一方は液状であり、前記2つの試料は、前記隔壁膜の一部を隔壁部として共有して該隔壁部を介して隣接するように収容されており、前記隔壁膜を構成する前記層状物質は、前記外壁膜を構成する前記層状物質より荷電粒子線に対する強度が小さく、外部から前記隔壁部に向けて荷電粒子線を照射することにより該隔壁部を開孔させ、該開孔部を通して生じる試料間の反応又は混合の挙動を観察することを特徴とする反応観察方法。
2.前記隔壁膜を構成する前記層状物質は、前記外壁膜を構成する前記層状物質より導電性が低いか、又は構成原子の質量が小さい前記1.記載の反応観察方法。
3.前記隔壁膜及び前記外壁膜を構成する前記層状物質は、それぞれ原子層からなる前記1.又は2.に記載の反応観察方法。
4.前記荷電粒子線は電子線である前記1.乃至3.のいずれかに記載の反応観察方法。
5.第1の層状物質からなる前記隔壁膜を介して第1の試料と第2の試料とが隣り合って収容されており、前記第1の試料を封止する前記外壁膜は第2の層状物質からなり、前記第2の試料を封止する前記外壁膜は第3の層状物質からなり、前記第1の層状物質は、前記第2の層状物質及び第3の層状物質より荷電粒子線に対する強度が小さい前記1.乃至4.のいずれかに記載の反応観察方法。
6.前記第2の層状物質及び前記第3の層状物質は同一物質である前記5.記載の反応観察方法。
7.異なる層状物質からなる隔壁膜と外壁膜との間にそれぞれ試料を封止する複数の収容部を備え、前記試料の少なくとも一つは液状であり、相互に隣接する前記収容部は前記隔壁膜の一部を隔壁部として共有する構造を有し、前記隔壁膜を構成する前記層状物質は、前記外壁膜を構成する前記層状物質より荷電粒子線に対する強度が小さいことを特徴とする層状隔壁式封止物品。
8.前記隔壁膜を構成する前記層状物質は、前記外壁膜を構成する前記層状物質より導電性が低いか、又は構成原子の質量が小さい前記7.記載の層状隔壁式封止物品。
9.前記隔壁膜及び前記外壁膜を構成する前記層状物質は、それぞれ原子層からなる前記7.又は8.に記載の層状隔壁式封止物品。
10.第1の層状物質からなる前記隔壁膜を介して、第1の試料を収容する第1収容部と第2の試料を収容する第2収容部とが隣り合っており、前記第1収容部の前記外壁膜は第2の層状物質からなり、前記第2収容部の前記外壁膜は第3の層状物質からなり、前記第1の層状物質は、前記第2の層状物質及び第3の層状物質より荷電粒子線に対する強度が小さい前記7.乃至9.のいずれかに記載の層状隔壁式封止物品。
11.前記第2の層状物質及び前記第3の層状物質は同一物質である前記10.記載の層状隔壁式封止物品。
また、2種類の試料間の反応に限らず、3以上の試料がそれぞれ層状物質により封止されている場合も、各試料によって生じる反応を順次観察することができる。例えば、第1の試料、第2の試料及び第3の試料が別々に封止されており、第1の試料と第2の試料とが層状物質(隔壁膜)を介して隣接しており、第2の試料と第3の試料とが別の層状物質(隔壁膜)を介して隣接していれば、はじめに、第1の試料と第2の試料との間の層状物質のみを開孔させて反応を観察した後、第2の試料と第3の試料との間の層状物質を開孔させ、第1の試料と第2の試料との混合で得られた反応生成物と、第3の試料との反応を観察するといった多段階の観察を行うことができる。
ここで示される事項は例示的なもの及び本発明の実施形態を例示的に説明するためのものであり、本発明の原理と概念的な特徴とを最も有効に且つ難なく理解できる説明であると思われるものを提供する目的で述べたものである。この点で、本発明の根本的な理解のために必要である程度以上に本発明の構造的な詳細を示すことを意図してはおらず、図面と合わせた説明によって本発明の幾つかの形態が実際にどのように具現化されるかを当業者に明らかにするものである。
反応させる試料の数は2つに限らず、3以上の試料がそれぞれ層状物質の間に封止されるように積層しておくことができる。以下では、簡単のため、試料が2つである場合を例として説明する(図1~3参照)。
そして、外壁膜(12又は13)を通して外側から隔壁部(15)に向けて荷電粒子線を照射することにより、外壁膜(12又は13)を損傷させることなく隔壁部(15)のみを開孔させ、開孔部(60)を通して生じる試料間の反応又は混合の挙動をリアルタイムに観察することができる。
最小の構成例として、2つの収容部を備える場合には、層状隔壁式封止物品(10)は、第1の層状物質からなる隔壁膜(11)を介して、第1の試料(20)を収容する第1収容部と第2の試料(30)を収容する第2収容部とが隣り合っており、第1収容部の外壁膜(12)は第2の層状物質からなり、第2収容部の外壁膜(13)は第3の層状物質からなり、第1の層状物質は、第2の層状物質及び第3の層状物質より荷電粒子線に対する強度が小さいように構成することができる。
図1は、層状隔壁式封止物品(図中、符号10)の一例であり、3層の薄膜(隔壁膜11、外壁膜12、外壁膜13)が積層されて構成されており、その薄膜間に2つの試料(第1の試料20、第2の試料30)が封止されている。第1の試料20は、第1の層状物質からなる隔壁膜11と、荷電粒子線に対する強度が第1の層状物質より大きい第2の層状物質からなる外壁膜12とにより封止されている。即ち、隔壁膜11と外壁膜12との間に第1の試料20を収容する第1収容部(図中、符号無し)が形成されている。また、第2の試料30は、隔壁膜11と、荷電粒子線に対する強度が第1の層状物質より大きい第3の層状物質からなる外壁膜13とにより封止されている。即ち、隔壁膜11と外壁膜13との間に第2の試料30を収容する第2収容部(図中、符号無し)が形成されている。本例においては、第1収容部と第2収容部は1つの隔壁膜11を共有しており、隔壁膜11の一部を隔壁部15として、第1の試料20と第2の試料30とが隔壁部15を介して隣り合うように配置されている。
本実施形態における層状物質としては、グラフェン、六方晶窒化硼素、遷移金属ダイカルコゲナイド(特にMoS2、WS2)が好ましく、グラフェン及び六方晶窒化硼素が特に好ましい。
隔壁膜11、外壁膜12及び外壁膜13の厚さは、層状物質の種類により異なるが、例えば、グラフェン及び六方晶窒化硼素の原子層の厚さは、約0.34nmであり、遷移金属ダイカルコゲナイドの原子層の厚さは、約1.8nmである。
本実施形態の観察方法では、隔壁膜11、外壁膜12及び外壁膜13を備える層状隔壁式封止物品10の外部から、外壁膜12又は13を通して、隔壁膜11の隔壁部15に向けて荷電粒子線を照射する(図2参照)。このとき、外壁膜12及び外壁膜13は隔壁膜11よりも荷電粒子線に対する強度が大きいため、荷電粒子線の照射により外壁膜12及び外壁膜13を破壊することなく、隔壁膜11のみに開孔部60を形成することが可能になる(図3参照)。隔壁膜11のみに開孔を形成するための荷電粒子線の照射条件の設定も容易である。
導電性が互いに異なる層状物質からなる2つの薄膜に、同じ条件の荷電粒子線をそれぞれ照射した場合、導電性が高い層状物質(例えば、グラフェン)ではチャージアップ(電荷が溜まる現象)が発生しにくく、チャージアップに起因するような化学反応が発生しにくくなる。一方、導電性が低い層状物質(例えば、六方晶窒化硼素)では、チャージアップにより開孔の形成が促進される。このため、荷電粒子線の照射により第2の層状物質(外壁膜12)及び第3の層状物質(外壁膜13)を破壊することなく、導電性が低い第1の層状物質(隔壁膜11)のみに開孔を形成することができる。
外壁膜12を構成する第2の層状物質及び外壁膜13を構成する第3の層状物質は、同一であってよいし、異なっていてもよい。第2の層状物質及び第3の層状物質が同一物質である場合には、所定強度の荷電粒子線の照射により、開孔部を隔壁膜11のみに確実に形成することが容易である。
また、層状隔壁式封止物品に3以上の収容部を積層して設ける場合には、相互に隣接する収容部を隔てる隔壁膜を構成するための層状物質、及び各収容部の外壁膜を構成するための層状物質を、荷電粒子線に対する強度に基づいて設定することにより、着目する収容部間の隔壁膜のみを選択して、順次開口させることができる。
電子顕微鏡による観察においては、第1の試料20及び第2の試料30が収容された層状隔壁式封止物品10を電子顕微鏡装置の中に載置し、この電子顕微鏡装置に併設された荷電粒子源から、α線、β線、陽子線、電子線、イオンビーム等の荷電粒子線を層状隔壁式封止物品10の隔壁部15に向けて照射するようにすることができる。これによって、外壁膜12及び外壁膜13を開孔させず、隔壁膜11における隔壁部15のみを開孔させることができる。具体的には、電子顕微鏡装置の内部の所定位置に層状隔壁式封止物品10を載置した後、層状隔壁式封止物品10を構成する隔壁膜11の隔壁部15に焦点を合わせて、外壁膜12及び外壁膜13を透過する条件で、荷電粒子源(図示せず)から荷電粒子線50を照射し、隔壁部15を開孔させることができる。
図3は、隔壁部15において荷電粒子線照射部に開孔部60が形成されることを示す模式図である。開孔部60が形成されると同時に、その開孔部60を通して第1の試料20と第2の試料30とが接触することとなり、例えば、透過型電子顕微鏡により、両者の反応又は混合の挙動を観察することができる。
荷電粒子線50の照射により形成された開孔部60では、第1の試料と第2の試料とが瞬時に接触し、これらが反応又は混合されるので、電子顕微鏡により連続撮影をする等により、これらの挙動を観察することができる。
このような層状隔壁式封止物品100を用いて、はじめに、第1収容部及び第2収容部の間の第1膜11の隔壁部における荷電粒子線照射部のみを開孔させ、第1の試料20と第2の試料30との反応生成物を得ることができる。その後、第2収容部及び第3収容部の間の第3膜13の隔壁部における荷電粒子線照射部を開孔させ、前記反応生成物と第3の試料40との反応を観察するといった2段階(多段階)の観察方法に応用することができる。
はじめに、図6に示すように、容器71に収容された第1の試料20の中に、隔壁膜11となる第1の層状物質を浮かせ、外壁膜12となる第2の層状物質を浸しておく。この状態から、外壁膜12を隔壁膜11に接近させるか、あるいは、隔壁膜11を、第1の試料20の液中に沈めて外壁膜12に接近させ、隔壁膜11と外壁膜12との間に、適量の第1の試料20が封止されるように、周縁を密着させて、図7に示す第1の試料封止体18を作製する。容器71から取り出した第1の試料封止体18は、必要により、隔壁膜11及び外壁膜12の変形、変質等を引き起こさない液状媒体により洗浄する。
次に、図8に示すように、第2の試料30を収容した容器73の中に、外壁膜13となる第3の層状物質を浸しておき、隔壁膜11が第2の試料30の液に面するように、第1の試料封止体18を浮かせる。そして、この状態から、外壁膜13を、第1の試料封止体18の隔壁膜11に接近させるか、あるいは、第1の試料封止体18を、第2の試料30の液中に沈めて外壁膜13に接近させ、隔壁膜11と外壁膜13との間に、適量の第2の試料30が封止されるように、周縁を密着させる。これにより、図1に示した層状隔壁式封止物品10を作製することができる。
尚、図7の第1の試料封止体18は、他の方法で作製することもできる。例えば、第1の試料20を、マイクロシリンジ等を用いて隔壁膜11となる第1の層状物質の表面に滴下し、その後、外壁膜12となる第2の層状物質を用いて、第1の試料20の液滴を封止する方法等を適用することができる。
図9は、基板(TEMグリッド)上にグラフェンを直接転写する方法を示している。先ず、化学蒸着(CVD)により銅基板上に高品質のグラフェンを成長させる。そして、エッチング溶液(FeCl3)を用いて銅基板を除去し、エッチング溶液上に浮遊しているグラフェン膜にTEMグリッド(例えば、径2μmの貫通孔を有するSiN膜フィルム)を載せて直接転写する。銅の残渣は、塩酸溶液により除去することができる。次に、超純水を用いてグラフェンを洗浄する。また、水素プラズマ処理等により更に清浄化することもできる。これにより、TEMグリッド上に高品質且つ大面積のグラフェンを得ることができる。
以上のような直接転写を利用した試料封止体の製造方法によれば、層状隔壁式封止物品に用いる試料封止体を効率的に作製することができる。また、層状隔壁式封止物品を多層に構成する場合も、以上のような作製プロセスを繰り返すだけでよい。
Claims (11)
- 異なる層状物質からなる隔壁膜と外壁膜との間にそれぞれ封止される複数の試料間の反応又は混合の挙動を観察する方法であって、
観察対象とする2つの試料の少なくとも一方は液状であり、
前記2つの試料は、前記隔壁膜の一部を隔壁部として共有して該隔壁部を介して隣接するように収容されており、
前記隔壁膜を構成する前記層状物質は、前記外壁膜を構成する前記層状物質より荷電粒子線に対する強度が小さく、
外部から前記隔壁部に向けて荷電粒子線を照射することにより該隔壁部を開孔させ、該開孔部を通して生じる試料間の反応又は混合の挙動を観察することを特徴とする反応観察方法。 - 前記隔壁膜を構成する前記層状物質は、前記外壁膜を構成する前記層状物質より導電性が低いか、又は構成原子の質量が小さい請求項1に記載の反応観察方法。
- 前記隔壁膜及び前記外壁膜を構成する前記層状物質は、それぞれ原子層からなる請求項1又は2に記載の反応観察方法。
- 前記荷電粒子線は電子線である請求項1乃至3のいずれかに記載の反応観察方法。
- 第1の層状物質からなる前記隔壁膜を介して第1の試料と第2の試料とが隣り合って収容されており、
前記第1の試料を封止する前記外壁膜は第2の層状物質からなり、
前記第2の試料を封止する前記外壁膜は第3の層状物質からなり、
前記第1の層状物質は、前記第2の層状物質及び第3の層状物質より荷電粒子線に対する強度が小さい請求項1乃至4のいずれかに記載の反応観察方法。 - 前記第2の層状物質及び前記第3の層状物質は同一物質である請求項5記載の反応観察方法。
- 異なる層状物質からなる隔壁膜と外壁膜との間にそれぞれ試料を封止する複数の収容部を備え、
前記試料の少なくとも一つは液状であり、
相互に隣接する前記収容部は前記隔壁膜の一部を隔壁部として共有する構造を有し、
前記隔壁膜を構成する前記層状物質は、前記外壁膜を構成する前記層状物質より荷電粒子線に対する強度が小さいことを特徴とする層状隔壁式封止物品。 - 前記隔壁膜を構成する前記層状物質は、前記外壁膜を構成する前記層状物質より導電性が低いか、又は構成原子の質量が小さい請求項7記載の層状隔壁式封止物品。
- 前記隔壁膜及び前記外壁膜を構成する前記層状物質は、それぞれ原子層からなる請求項7又は8に記載の層状隔壁式封止物品。
- 第1の層状物質からなる前記隔壁膜を介して、第1の試料を収容する第1収容部と第2の試料を収容する第2収容部とが隣り合っており、
前記第1収容部の前記外壁膜は第2の層状物質からなり、
前記第2収容部の前記外壁膜は第3の層状物質からなり、
前記第1の層状物質は、前記第2の層状物質及び第3の層状物質より荷電粒子線に対する強度が小さい請求項7乃至9のいずれかに記載の層状隔壁式封止物品。 - 前記第2の層状物質及び前記第3の層状物質は同一物質である請求項10記載の層状隔壁式封止物品。
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