JP7084626B2 - Deteriorated rinse water regenerator and cleaning equipment - Google Patents

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本発明は、例えば各種機械部品等の加工品の洗浄に使用した劣化リンス水を再生するための劣化リンス水再生装置および洗浄装置に関する。 The present invention relates to a deteriorated rinse water regenerating device and a cleaning device for regenerating deteriorated rinse water used for cleaning processed products such as various mechanical parts.

機械部品等の加工には種々の加工油が使用されるため、加工品を洗浄して加工油を除去する必要がある。洗浄工程で使用される洗浄剤は、一般に、水系洗浄剤と、非水系洗浄剤と、準水系洗浄剤とに区分される。このうち、水系洗浄剤は、通常、無機・有機ビルダー、界面活性剤、キレート剤、防錆剤などから構成され、濃縮液や粉末の状態で提供されて、10~100倍程度に水で希釈して使用される。 Since various processing oils are used for processing machine parts and the like, it is necessary to wash the processed products to remove the processing oils. The cleaning agents used in the cleaning step are generally classified into water-based cleaning agents, non-water-based cleaning agents, and quasi-water-based cleaning agents. Of these, water-based detergents are usually composed of inorganic / organic builders, surfactants, chelating agents, rust preventives, etc., and are provided in the form of concentrated liquids or powders, and are diluted with water about 10 to 100 times. Is used.

水系洗浄剤は、引火性や爆発性がない上に、固形物汚れも除去可能であって毒性も極めて少なく、しかも、ランニングコストが安いという利点がある。
また、水系洗浄剤は、超音波洗浄にも相性が良いという利点もある。超音波洗浄は、洗浄槽に超音波振動子を配置して超音波振動を発生させる洗浄方式であり、キャビテーション効果によって加工物の細部も含めて油汚れを剥ぎ取ることができる。
The water-based cleaning agent has the advantages of not being flammable or explosive, being able to remove solid stains, having extremely low toxicity, and having a low running cost.
In addition, the water-based cleaning agent has an advantage that it is compatible with ultrasonic cleaning. Ultrasonic cleaning is a cleaning method in which an ultrasonic vibrator is placed in a cleaning tank to generate ultrasonic vibrations, and oil stains can be stripped off including details of the workpiece by the cavitation effect.

しかし、超音波洗浄では、超音波振動によって加工油の乳化分散を促進するので、乳化状態の加工油の除去が大きな問題となる。特許文献1では、アルカリ洗浄剤または中性洗浄剤を水希釈した洗浄液を使用して洗浄後、使用した洗浄液を中空糸膜に流通させて乳化状態の加工油を除去し、洗浄液を再生する洗浄システムが記載されている。 However, in ultrasonic cleaning, the emulsification and dispersion of the processing oil is promoted by ultrasonic vibration, so that the removal of the emulsified processing oil becomes a big problem. In Patent Document 1, after cleaning using a cleaning liquid obtained by diluting an alkaline cleaning agent or a neutral cleaning agent with water, the used cleaning liquid is circulated through a hollow thread film to remove emulsified processing oil, and the cleaning liquid is regenerated. The system is described.

一方、実際の洗浄装置では、機械部品等の被洗浄物を洗浄液で洗浄後、被洗浄物をすすぐリンス工程と、最終の乾燥工程とがある。リンス工程では、水(リンス水)あるいは防錆水(防錆剤添加リンス水)(以下、これらを「リンス水」と総称する。)で被洗浄物に付着・残存した乳化状態の加工油を除去する。
しかし、リンス後の劣化リンス水中には加工油が乳化状態で含有されているため、同じリンス水を繰り返し使用すると、洗浄品質が低下するおそれがある。また、劣化リンス水をそのまま系外に排出するのは環境面からも好ましくない。そのため、劣化リンス水中の加工油濃度を低減することが、次工程への加工油持ち出しが抑制されるなど、洗浄品質の保持および環境面から要望されている。
On the other hand, in an actual cleaning device, there are a step of rinsing the object to be cleaned after cleaning the object to be cleaned such as machine parts with a cleaning liquid, and a final drying step. In the rinsing process, water (rinse water) or rust-preventive water (rinse water with rust-preventive agent added) (hereinafter collectively referred to as "rinse water") is used to remove the emulsified processed oil that has adhered to and remains on the object to be cleaned. Remove.
However, since the processed oil is contained in the deteriorated rinse water after rinsing in an emulsified state, repeated use of the same rinse water may deteriorate the cleaning quality. Further, it is not preferable from the environmental point of view to discharge the deteriorated rinse water as it is to the outside of the system. Therefore, it is required to reduce the concentration of the processing oil in the deteriorated rinse water from the viewpoint of maintaining the cleaning quality and the environment, such as suppressing the carry-out of the processing oil to the next process.

特許第6298603号公報Japanese Patent No. 6298603

本発明の課題は、劣化リンス水から乳化加工油を高効率で除去して、リンス水を再生することができる劣化リンス水再生装置および洗浄装置を提供することである。 An object of the present invention is to provide a deteriorated rinse water regenerating device and a cleaning device capable of removing emulsified processing oil from deteriorated rinse water with high efficiency and regenerating the rinse water.

上記課題を解決するための本発明の劣化リンス水再生装置は、劣化リンス水を再生するためのセラミック分離膜モジュールと、セラミック分離膜モジュールと循環路によって接続された濃縮タンクと、循環路に接続され、洗浄槽から排出された劣化リンス水を前記循環路に供給する供給路と、劣化リンス水を、循環路を通って前記セラミック分離膜モジュールと濃縮タンクとの間を循環させる送液ポンプと、劣化リンス水を循環させる過程でセラミック分離膜モジュールから分離された再生リンス水を洗浄槽に戻す返送路と、を備えたことを特徴とする。 The deteriorated rinse water regenerator of the present invention for solving the above problems is connected to a circulation path, a ceramic separation membrane module for regenerating deteriorated rinse water, a concentration tank connected to the ceramic separation membrane module by a circulation path, and a circulation path. A supply path for supplying the deteriorated rinse water discharged from the washing tank to the circulation path, and a liquid feed pump for circulating the deteriorated rinse water between the ceramic separation membrane module and the concentration tank through the circulation path. It is characterized by having a return path for returning the regenerated rinse water separated from the ceramic separation membrane module to the washing tank in the process of circulating the deteriorated rinse water.

本発明の洗浄装置は、上記劣化リンス水再生装置を備える。 The cleaning device of the present invention includes the deteriorated rinse water regeneration device.

本発明によれば、劣化リンス水から乳化加工油を高効率で除去して、リンス水を再生することができるので、リンス水を交換することなく繰り返し利用することができ、高い洗浄品質を保持し、かつ環境面でも優れているという効果がある。 According to the present invention, the emulsified processing oil can be removed from the deteriorated rinse water with high efficiency to regenerate the rinse water, so that the rinse water can be repeatedly used without replacement and maintains high cleaning quality. However, it also has the effect of being excellent in terms of the environment.

本発明の一実施形態に係る劣化リンス水再生装置を示す構成図である。It is a block diagram which shows the deteriorated rinse water regeneration apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係る洗浄装置の概要を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the outline of the cleaning apparatus which concerns on one Embodiment of this invention.

本発明の一実施形態に係る劣化リンス水再生装置(以下、単に再生装置ということがある。)を図1に基づいて説明する。図1に示すように、再生装置1は、被洗浄物をリンスするための洗浄槽2から供給路3を経て排出される劣化リンス水を再生するためのセラミック分離膜モジュール4と、該セラミック分離膜モジュール4を通過した劣化リンス水を収容する濃縮タンク5とを備える。 A deteriorated rinse water regenerating device (hereinafter, may be simply referred to as a regenerating device) according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 1, the regenerating device 1 includes a ceramic separation film module 4 for regenerating deteriorated rinse water discharged from a cleaning tank 2 for rinsing an object to be cleaned via a supply path 3, and the ceramic separation. It is provided with a concentration tank 5 for accommodating deteriorated rinse water that has passed through the membrane module 4.

洗浄槽2には、超音波振動子(US)6が設置されており、前工程である洗浄工程にて洗浄液で洗浄された被洗浄物を超音波洗浄にてリンスする。洗浄槽2に収容されるリンス水は、主として水または水に防錆剤、キレート剤等を配合したものが使用され、洗浄工程で被洗浄物に付着した乳化加工油を除去することを目的とする。 An ultrasonic vibrator (US) 6 is installed in the cleaning tank 2, and the object to be cleaned, which has been cleaned with the cleaning liquid in the cleaning step which is the previous step, is rinsed by ultrasonic cleaning. The rinse water contained in the washing tank 2 is mainly water or a mixture of water with a rust preventive, a chelating agent, etc., and the purpose is to remove the emulsified processed oil adhering to the object to be washed in the washing step. do.

洗浄液としては、例えば、アルカリ洗浄剤または中性洗浄剤を含む水系洗浄液が挙げられる。アルカリ洗浄剤は、金属用水系洗浄剤として一般的に使用されているもので、アルカリ金属水酸化物、水溶性アルカリ金属塩などの無機系ビルダーと、界面活性剤、キレート剤などを主成分として含み、通常、10~100倍程度に水で希釈して使用される。 Examples of the cleaning liquid include a water-based cleaning liquid containing an alkaline cleaning agent or a neutral cleaning agent. Alkaline cleaning agents are generally used as water-based cleaning agents for metals, and are mainly composed of inorganic builders such as alkali metal hydroxides and water-soluble alkali metal salts, and surfactants and chelating agents. It contains, and is usually used by diluting it with water about 10 to 100 times.

セラミック分離膜モジュール4は、図示しない筒状のセラミック多孔質膜をケーシング内に収納したものである。セラミック多孔質膜としては、例えばアルミナ、ムライト、チタニア等の多孔質膜が挙げられる。これらのセラミック多孔質膜は精密ろ過膜または限外ろ過膜として機能し、限外ろ過膜であるのが好ましい。また、再生は、被処理液をセラミック多孔質膜の筒内に導入し、膜面に対して平行に流す、いわゆるクロスフロー方式で行われる。 The ceramic separation membrane module 4 contains a cylindrical ceramic porous membrane (not shown) in a casing. Examples of the ceramic porous membrane include porous membranes such as alumina, mullite, and titania. These ceramic porous membranes function as microfiltration membranes or ultrafiltration membranes, and are preferably ultrafiltration membranes. Further, the regeneration is performed by a so-called cross-flow method in which the liquid to be treated is introduced into the cylinder of the ceramic porous membrane and flows in parallel with the membrane surface.

劣化リンス水をろ過して、劣化リンス水に含まれる乳化加工油を除去するためには、使用するセラミック多孔質膜は、孔径が1~200nm、好ましくは5~100nm程度であるのがよい。 In order to filter the deteriorated rinse water and remove the emulsified processing oil contained in the deteriorated rinse water, the ceramic porous membrane to be used has a pore size of 1 to 200 nm, preferably about 5 to 100 nm.

また、セラミック分離膜モジュール4は、複数の筒状セラミック多孔質膜を1つのケーシング内に収容したものであるのがよい。また、複数のセラミック分離膜モジュール4を並列的に配置し、各セラミック分離膜モジュール4の流入口に劣化リンス水が流入するようにしてもよい。 Further, the ceramic separation membrane module 4 preferably accommodates a plurality of tubular ceramic porous membranes in one casing. Further, a plurality of ceramic separation membrane modules 4 may be arranged in parallel so that the deteriorated rinse water flows into the inlet of each ceramic separation membrane module 4.

セラミック分離膜モジュール4と濃縮タンク5とは循環路10a、10bで接続されている。循環路10aは、濃縮タンク5の下流側流出口とセラミック分離膜モジュール4の上流側流入口とを接続している。一方、循環路10bは、セラミック分離膜モジュール4の下流側流出口と濃縮タンク5の上流側流入口とを接続しており、セラミック分離膜モジュール4を通過した劣化リンス水を濃縮タンク5に送る。 The ceramic separation membrane module 4 and the concentration tank 5 are connected by circulation paths 10a and 10b. The circulation path 10a connects the downstream outlet of the concentration tank 5 and the upstream inlet of the ceramic separation membrane module 4. On the other hand, the circulation path 10b connects the downstream outlet of the ceramic separation membrane module 4 and the upstream inlet of the concentration tank 5, and sends the deteriorated rinse water that has passed through the ceramic separation membrane module 4 to the concentration tank 5. ..

濃縮タンク5に収容された劣化リンス水は、循環路10aを通って再びセラミック分離膜モジュール4に送られ、残留する乳化加工油が除去され、リンス水が再生される。セラミック分離膜モジュール4から分離された再生リンス水は、返送路13により洗浄槽2に戻される。一方、濃縮タンク5には、繰り返しの循環により濃縮された乳化加工油を含む劣化リンス水が蓄積されるので、これを廃棄するための排出路14が設けられる。 The deteriorated rinse water contained in the concentration tank 5 is sent to the ceramic separation membrane module 4 again through the circulation path 10a, the residual emulsifying oil is removed, and the rinse water is regenerated. The regenerated rinse water separated from the ceramic separation membrane module 4 is returned to the washing tank 2 by the return passage 13. On the other hand, since the deteriorated rinse water containing the emulsified processed oil concentrated by repeated circulation is accumulated in the concentration tank 5, a discharge path 14 for discarding the deteriorated rinse water is provided.

循環路10aには、送液ポンプ9が配設されている。送液ポンプ9より上流側の循環路10aには、洗浄槽2から排出された劣化リンス水を給送する供給路3が接続される。
供給路3には三方弁11が設けられ、この三方弁11にバイパス路12の一端が接続される。バイパス路12の他端は返送路13に接続される。さらに、供給路3には、異物を除去するためのフィルタ18が設けられている。フィルタ18は三方弁11より下流側に設けられているが、三方弁11の上流側に設けてもよい。
A liquid feeding pump 9 is provided in the circulation path 10a. A supply path 3 for supplying the deteriorated rinse water discharged from the washing tank 2 is connected to the circulation path 10a on the upstream side of the liquid transfer pump 9.
A three-way valve 11 is provided in the supply path 3, and one end of the bypass path 12 is connected to the three-way valve 11. The other end of the bypass path 12 is connected to the return path 13. Further, the supply path 3 is provided with a filter 18 for removing foreign matter. Although the filter 18 is provided on the downstream side of the three-way valve 11, it may be provided on the upstream side of the three-way valve 11.

次に、本実施形態に係る再生装置1を用いた劣化リンス水の再生方法を説明する。
洗浄槽2では、多数の被洗浄物をリンス水でリンスする。長時間使用して劣化したリンス水は、被洗浄物から分離された乳化状態の加工油を含んでいる。このような劣化リンス水は、洗浄槽2に付設したオーバーフロー槽7に排出され、オーバーフロー槽7から供給路3にて再生装置1に送られる。
Next, a method for regenerating the deteriorated rinse water using the regenerating device 1 according to the present embodiment will be described.
In the washing tank 2, a large number of objects to be washed are rinsed with rinse water. Rinse water that has deteriorated after long-term use contains emulsified processing oil separated from the object to be cleaned. Such deteriorated rinse water is discharged to the overflow tank 7 attached to the washing tank 2, and is sent from the overflow tank 7 to the regeneration device 1 through the supply path 3.

再生装置1に送られた劣化リンス水は、セラミック分離膜モジュール4に供給される。セラミック分離膜モジュール4への劣化リンス水の供給は、送液ポンプ9により加圧して行われる。このとき、セラミック分離膜モジュール4の流入口にかかる圧力や供給される液の流量等は、再生効率が最適となるように適宜設定すればよい。 The deteriorated rinse water sent to the regenerating device 1 is supplied to the ceramic separation membrane module 4. The supply of the deteriorated rinse water to the ceramic separation membrane module 4 is performed by pressurizing the liquid feed pump 9. At this time, the pressure applied to the inlet of the ceramic separation membrane module 4, the flow rate of the supplied liquid, and the like may be appropriately set so as to optimize the regeneration efficiency.

セラミック分離膜モジュール4において、クロスフロー方式にて劣化リンス水から再生リンス水を分離した後、排出された劣化リンス水は循環路10bにて濃縮タンク5に送られ、さらに循環路10aからセラミック分離膜モジュール4に送られるようにする。これにより、劣化リンス水は、送液ポンプ9によりセラミック分離膜モジュール4と濃縮タンク5との間を循環し、劣化リンス水から再生リンス水が分離される。
一方、セラミック分離膜モジュール4において劣化リンス水から分離された再生リンス水は、返送路13を通って洗浄槽2に戻される。
In the ceramic separation membrane module 4, after separating the regenerated rinse water from the deteriorated rinse water by the cross flow method, the discharged deteriorated rinse water is sent to the concentration tank 5 through the circulation path 10b, and further separated from the circulation path 10a by the ceramic. It is sent to the membrane module 4. As a result, the deteriorated rinse water is circulated between the ceramic separation membrane module 4 and the concentration tank 5 by the liquid feed pump 9, and the regenerated rinse water is separated from the deteriorated rinse water.
On the other hand, the regenerated rinse water separated from the deteriorated rinse water in the ceramic separation membrane module 4 is returned to the washing tank 2 through the return passage 13.

以上のように、劣化リンス水の再生においては、劣化リンス水をセラミック分離膜モジュール4と濃縮タンク5との間を循環させながら、この循環路10a、10bに洗浄槽2から排出された劣化リンス水が供給路3を経て供給される。
なお、供給路3に設けた三方弁11を切り換えて、洗浄槽2から劣化リンス水の再生装置1への供給を停止させ、その状態でセラミック分離膜モジュール4と濃縮タンク5との間の循環のみを行わせるようにしてもよい。また、これとは逆に、循環10aに図示しない開閉弁を設けて、前記した循環を停止させ、洗浄槽2から劣化リンス水の再生装置1への供給のみを行わせるようにしてもよい。
As described above, in the regeneration of the deteriorated rinse water, the deteriorated rinse water is circulated between the ceramic separation membrane module 4 and the concentration tank 5, and the deteriorated rinse discharged from the washing tank 2 into the circulation paths 10a and 10b. Water is supplied via the supply channel 3.
The three-way valve 11 provided in the supply path 3 is switched to stop the supply of the deteriorated rinse water from the washing tank 2 to the regenerating device 1, and the circulation between the ceramic separation membrane module 4 and the concentration tank 5 in that state. You may want to do only. On the contrary, the circulation 10a may be provided with an on-off valve (not shown) to stop the circulation and supply only the deteriorated rinse water from the washing tank 2 to the regenerating device 1.

セラミック分離膜モジュール4から排出された劣化リンス水を、セラミック分離膜モジュール4と濃縮タンク5との間で循環させることにより、濃縮タンク5内の乳化加工油の濃度は次第に濃縮され高くなるので、所定濃度に達した段階で、濃縮タンク5内の劣化リンス水を排出路14から廃棄する必要がある。また、セラミック分離膜モジュール4内の筒状セラミック多孔質膜を定期的に交換する必要がある。
そのような場合には、洗浄槽2から排出された劣化リンス水を、三方弁11からバイパス路12を経て返送路13より洗浄槽2に戻す循環を行わせる。
By circulating the deteriorated rinse water discharged from the ceramic separation membrane module 4 between the ceramic separation membrane module 4 and the concentration tank 5, the concentration of the emulsifying processing oil in the concentration tank 5 is gradually concentrated and increased. When the predetermined concentration is reached, it is necessary to dispose of the deteriorated rinse water in the concentration tank 5 from the discharge channel 14. In addition, it is necessary to periodically replace the tubular ceramic porous membrane in the ceramic separation membrane module 4.
In such a case, the deteriorated rinse water discharged from the washing tank 2 is circulated from the three-way valve 11 to the washing tank 2 from the return passage 13 via the bypass passage 12.

以上の実施形態では、洗浄槽2から排出された劣化リンス水を、最初にセラミック分離膜モジュール4に供給するようにしたが、本発明はこれに限定されず、上記劣化リンス水を、最初に循環路10aを通って濃縮タンク5に供給し、ついで循環路10bを通ってセラミック分離膜モジュール4に供給するようにしてもよい。その場合、送液ポンプ9は、循環路10bに設けるのがよい。
すなわち、循環路10a、10bを通る劣化リンス水の流れ方向を上記の実施形態とは逆方向にする以外は、上記の実施形態と同様にして劣化リンス水を再生することができる。
In the above embodiment, the deteriorated rinse water discharged from the washing tank 2 is first supplied to the ceramic separation membrane module 4, but the present invention is not limited to this, and the deteriorated rinse water is first supplied. It may be supplied to the concentration tank 5 through the circulation path 10a and then to the ceramic separation membrane module 4 through the circulation path 10b. In that case, the liquid feed pump 9 is preferably provided in the circulation path 10b.
That is, the deteriorated rinse water can be regenerated in the same manner as in the above embodiment except that the flow direction of the deteriorated rinse water passing through the circulation paths 10a and 10b is opposite to that in the above embodiment.

本発明の洗浄装置は、図2に示すように、機械部品等の被洗浄物を、アルカリ洗浄剤を含む洗浄液で洗浄する洗浄槽15と、この洗浄槽15で洗浄した被洗浄物から洗浄剤成分、乳化加工油等を除去するリンスを行う洗浄槽2と、リンスした被洗浄物を乾燥させる乾燥槽16とを備える。洗浄槽2は、前記した劣化リンス水再生装置1を備える。
また、洗浄槽15には、洗浄液再生装置17を設けるのが好ましい。この洗浄液再生装置17としては、例えば、特許文献1に記載のように、中空糸膜を使用した中空糸膜モジュールを備えたものが使用可能である。
As shown in FIG. 2, the cleaning apparatus of the present invention has a cleaning tank 15 for cleaning an object to be cleaned such as a mechanical part with a cleaning solution containing an alkaline cleaning agent, and a cleaning agent from the cleaning object washed in the cleaning tank 15. A washing tank 2 for rinsing to remove components, emulsifying processing oil, and the like, and a drying tank 16 for drying the rinsed object to be washed are provided. The washing tank 2 includes the deteriorated rinse water regeneration device 1 described above.
Further, it is preferable that the cleaning tank 15 is provided with a cleaning liquid regenerating device 17. As the cleaning liquid regenerating device 17, for example, as described in Patent Document 1, a device provided with a hollow fiber membrane module using a hollow fiber membrane can be used.

本発明の再生装置1およびこの再生装置1を備えた洗浄装置は、被洗浄物から分離された乳化加工油を劣化リンス水から分離して再生するので、リンス水を交換することなく繰り返し利用することができる。 Since the regenerating device 1 of the present invention and the cleaning device provided with the regenerating device 1 separate the emulsified processed oil separated from the object to be cleaned from the deteriorated rinse water and regenerate it, the rinse water is repeatedly used without replacement. be able to.

以上、本発明の実施形態に係る再生装置1およびこの再生装置1を備えた洗浄装置について説明したが、本発明の再生装置1および洗浄装置は、上記実施形態に限定されるものではない。 Although the regenerating device 1 according to the embodiment of the present invention and the cleaning device provided with the regenerating device 1 have been described above, the regenerating device 1 and the cleaning device of the present invention are not limited to the above-described embodiment.

1 再生装置
2 洗浄槽
3 供給路
4 セラミック分離膜モジュール
5 濃縮タンク
6 超音波振動子
7 オーバーフロー部
9 送液ポンプ
10a、10b 循環路
11 三方弁
12 バイパス路
13 返送路
14 排出路
15 洗浄槽
16 乾燥槽
17 洗浄液再生装置
18 フィルタ
1 Regeneration device 2 Cleaning tank 3 Supply path 4 Ceramic separation membrane module 5 Concentration tank 6 Ultrasonic oscillator 7 Overflow part 9 Liquid feed pump 10a, 10b Circulation path 11 Three-way valve 12 Bypass path 13 Return path 14 Discharge channel 15 Cleaning tank 16 Drying tank 17 Cleaning liquid regeneration device 18 Filter

Claims (5)

劣化リンス水を再生するためのセラミック分離膜モジュールと、
該セラミック分離膜モジュールと循環路によって接続された濃縮タンクと、
前記循環路に接続され、洗浄槽から排出された前記劣化リンス水を前記循環路に供給する供給路と、
前記劣化リンス水を、前記循環路を通って前記セラミック分離膜モジュールと濃縮タンクとの間を循環させる送液ポンプと、
前記劣化リンス水を循環させる過程で前記セラミック分離膜モジュールから分離された再生リンス水を前記洗浄槽に戻す返送路と、
前記供給路と前記返送路とを接続するバイパス路と、を備え
前記供給路は、前記バイパス路を通る前記返送路への流路と、前記セラミック分離膜モジュールへの流路との間で切り換え可能であることを特徴とする劣化リンス水再生装置。
Ceramic separation membrane module for regenerating degraded rinse water,
A concentration tank connected to the ceramic separation membrane module by a circulation path,
A supply path connected to the circulation path and supplying the deteriorated rinse water discharged from the washing tank to the circulation path,
A liquid feed pump that circulates the deteriorated rinse water between the ceramic separation membrane module and the concentration tank through the circulation path.
A return path for returning the regenerated rinse water separated from the ceramic separation membrane module to the washing tank in the process of circulating the deteriorated rinse water.
A bypass path connecting the supply path and the return path is provided .
The deteriorated rinse water regeneration device , wherein the supply path can be switched between a flow path to the return path passing through the bypass path and a flow path to the ceramic separation membrane module .
前記セラミック分離膜モジュールが、筒状のセラミック多孔質膜を含む膜エレメントをケーシング内に収納したものである請求項1に記載の劣化リンス水再生装置。 The deteriorated rinse water regeneration device according to claim 1, wherein the ceramic separation membrane module contains a membrane element including a tubular ceramic porous membrane in a casing. 前記セラミック多孔質膜が、精密ろ過膜または限外ろ過膜である請求項2に記載の劣化リンス水再生装置。 The deteriorated rinse water regeneration device according to claim 2, wherein the ceramic porous membrane is a microfiltration membrane or an ultrafiltration membrane. 前記セラミック多孔質膜は1~200nmの孔径を有する請求項2または3に記載の劣化リンス水再生装置。 The deteriorated rinse water regenerator according to claim 2 or 3, wherein the ceramic porous membrane has a pore size of 1 to 200 nm. 請求項1~4いずれかに記載の劣化リンス水再生装置を備えた洗浄装置。 A cleaning device provided with the deteriorated rinse water regeneration device according to any one of claims 1 to 4.
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