JP7063614B2 - Black photosensitive resin composition, black matrix for image display device, column spacer and black matrix integrated column spacer manufactured from this. - Google Patents

Black photosensitive resin composition, black matrix for image display device, column spacer and black matrix integrated column spacer manufactured from this. Download PDF

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Description

本発明は黒色感光性樹脂組成物、これから製造された画像表示装置用ブラックマトリックス、カラムスペーサーおよびブラックマトリックス一体型カラムスペーサーに関するものである。 The present invention relates to a black photosensitive resin composition, a black matrix for an image display device, a column spacer, and a black matrix integrated column spacer manufactured from the black matrix.

黒色感光性樹脂組成物は、カラーフィルター、液晶表示材料、有機発光素子、ディスプレイなどの必須材料である。一例として、カラー液晶ディスプレイのカラーフィルターには、レッド(red)、グリーン(green)、ブルー(blue)などの着色層間の境界部分に遮光層を形成することによって、表示コントラストや発色効果を高めることができる。 The black photosensitive resin composition is an essential material for color filters, liquid crystal display materials, organic light emitting elements, displays and the like. As an example, in a color filter of a color liquid crystal display, a light-shielding layer is formed at a boundary between colored layers such as red, green, and blue to enhance display contrast and color development effect. Can be done.

最近では、ディスプレイの内部に使われる一つの素材が多様な役割を同時に遂行するようにする技術が開発されており、これによって黒色感光性樹脂組成物がアレイ基板上にブラックマトリックスおよびセルギャップ維持用スペーサーを形成する役割も要求されており、黒色感光性樹脂組成物の需要が一層増加している。 Recently, techniques have been developed that allow a single material used inside a display to perform a variety of roles at the same time, which allows a black photosensitive resin composition to form a black matrix and cell gap maintenance on an array substrate. The role of forming a spacer is also required, and the demand for a black photosensitive resin composition is further increasing.

大韓民国公開特許第2007-0094460号は黒色感光性組成物に関するもので、光重合性化合物と光重合開始剤と黒色顔料を含有する黒色感光性組成物であって、形状安定剤として有機顔料を含有する黒色感光性組成物に関する内容を開示している。 Republic of Korea Publication No. 2007-0094460 relates to a black photosensitive composition, which is a black photosensitive composition containing a photopolymerizable compound, a photopolymerization initiator and a black pigment, and contains an organic pigment as a shape stabilizer. The contents relating to the black photosensitive composition are disclosed.

また、大韓民国公開特許第2012-0033893号は感光性樹脂組成物に関するもので、(A)バインダー樹脂;(B)多官能性モノマー;(C)光重合開始剤または光増減剤;(D)ブラック顔料;および(E)溶媒を含み、前記ブラック顔料はアニリンブラック、ペリレンブラック、金属酸化物のうち選択される1種以上の感光性樹脂組成物に関する内容を開示している。 In addition, Republic of Korea Publication No. 2012-0033893 relates to a photosensitive resin composition, wherein (A) a binder resin; (B) a polyfunctional monomer; (C) a photopolymerization initiator or a photoreducer; (D) black. Pigments; and (E) the solvent are included, and the black pigment discloses the content relating to one or more photosensitive resin compositions selected from aniline black, perylene black, and metal oxide.

しかし、前記文献の黒色感光性樹脂組成物は、黒色発現による露光透過度の限界と、これによる現像工程への不利などによって、工程上のマージンが低い問題点がある。 However, the black photosensitive resin composition of the above-mentioned document has a problem that the margin in the process is low due to the limit of the exposure transmittance due to the development of black color and the disadvantage to the developing process due to the limitation.

したがって、工程上のマージンを改善することによって製造収率が向上した黒色感光性樹脂組成物の開発が要求されているのが実情である。 Therefore, the actual situation is that the development of a black photosensitive resin composition in which the production yield is improved by improving the margin in the process is required.

大韓民国公開特許第2007-0094460号(2007.02.06.)Republic of Korea Published Patent No. 2007-0094460 (2007.02.06.) 大韓民国公開特許第2012-0033893号(2012.04.09.)Republic of Korea Published Patent No. 2012-0033893 (2012.04.09.)

本発明は前記のような問題点を解決するためのものであり、工程上のマージンを高め得る黒色感光性樹脂組成物を提供することにその目的がある。 The present invention is intended to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a black photosensitive resin composition capable of increasing a process margin.

また、本発明は前述した黒色感光性樹脂組成物を利用して製造されたブラックマトリックス、カラムスペーサーまたはブラックマトリックス一体型カラムスペーサーを提供することにその目的がある。 Another object of the present invention is to provide a black matrix, a column spacer or a black matrix integrated column spacer manufactured by using the above-mentioned black photosensitive resin composition.

前記目的を達成するための本発明に係る黒色感光性樹脂組成物は、5~12の官能基を含み、酸価が10~60mgKOH/gであるモノマー;を含むことを特徴とする。 The black photosensitive resin composition according to the present invention for achieving the above object is characterized by containing a monomer containing 5 to 12 functional groups and an acid value of 10 to 60 mgKOH / g;

また、本発明は前述した黒色感光性樹脂組成物の硬化物を含むブラックマトリックス、カラムスペーサーまたはブラックマトリックス一体型カラムスペーサーを提供する。 The present invention also provides a black matrix, a column spacer, or a black matrix integrated column spacer containing a cured product of the black photosensitive resin composition described above.

本発明に係る黒色感光性樹脂組成物は、特定モノマーを含むことによって現像性、信頼性、または工程性に優れ、工程マージンを向上させ得る利点がある。 The black photosensitive resin composition according to the present invention has an advantage that it is excellent in developability, reliability, or processability by containing a specific monomer, and can improve the process margin.

また、本発明に係る黒色感光性樹脂組成物を利用して製造されたブラックマトリックス、カラムスペーサーまたはブラックマトリックス一体型カラムスペーサーは、信頼性に優れ、製造が容易な利点がある。 Further, the black matrix, the column spacer or the black matrix integrated column spacer manufactured by using the black photosensitive resin composition according to the present invention has an advantage that it is excellent in reliability and easy to manufacture.

以下、本発明についてさらに詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail.

本発明において、ある部材が他の部材「上に」位置しているとする時、これはある部材が他の部材に接している場合だけでなく、二つの部材の間にさらに別の部材が存在する場合も含む。 In the present invention, when one member is located "on" another member, this is not only when one member is in contact with another member, but also another member between the two members. Including the case where it exists.

本発明において、ある部分がある構成要素を「含む」とする時、これは特に反対の記載がない限り、他の構成要素を除外するものではなく他の構成要素をさらに含むことができることを意味する。 In the present invention, when a component is referred to as "contains" a component, this means that the other component may be further included without excluding the other component unless otherwise specified. do.

<黒色感光性樹脂組成物>
本発明に係る黒色感光性樹脂組成物は5~12の官能基を含み、酸価が10~60mgKOH/gであるモノマー;を含むことを特徴とする。
<Black photosensitive resin composition>
The black photosensitive resin composition according to the present invention is characterized by containing 5 to 12 functional groups and a monomer having an acid value of 10 to 60 mgKOH / g;

また、本発明に係る黒色感光性樹脂組成物は、黒色顔料を含む着色剤;結合剤樹脂;光重合開始剤;溶剤および添加剤からなる群から選択される1以上をさらに含むことができる。 Further, the black photosensitive resin composition according to the present invention may further contain one or more selected from the group consisting of a colorant containing a black pigment; a binder resin; a photopolymerization initiator; a solvent and an additive.

本発明の一態様は、5~12の官能基を含み、酸価が10~60mgKOH/gであるモノマー;を含む黒色感光性樹脂組成物に関するものである。 One aspect of the present invention relates to a black photosensitive resin composition containing a monomer containing 5 to 12 functional groups and an acid value of 10 to 60 mgKOH / g;

本発明において、前記「モノマー」は「単量体」と混用され得、「オリゴマー」および「ポリマー」と区別され得る。 In the present invention, the "monomer" can be mixed with a "monomer" and can be distinguished from an "oligomer" and a "polymer".

本発明に係るモノマーは5~12の官能基を含み、好ましくは5~9の官能基を含み、さらに好ましくは6~8の官能基を含むことができ、前記官能基は不飽和基を含むかまたは感光性を有しているものを使うことができる。 The monomer according to the present invention contains 5 to 12 functional groups, preferably 5 to 9 functional groups, more preferably 6 to 8 functional groups, and the functional groups contain unsaturated groups. Alternatively, one having photosensitivity can be used.

本発明に係るモノマーが前記範囲内の官能基を含む場合、より優れた感度を有することができるので、ブラックマトリックス、カラムスペーサーまたはブラックマトリックス一体型カラムスペーサーの製造がより容易となり得る。 When the monomer according to the present invention contains a functional group within the above range, it can have better sensitivity, so that the production of a black matrix, a column spacer or a black matrix integrated column spacer can be facilitated.

本発明の一実施形態において、前記モノマーは水酸基をさらに含むことができる。理論によって拘束されることを望んではいないが、一般のカラーフィルターを製造するための着色感光性樹脂組成物の場合においてモノマーが水酸基を含む場合、現像性には有利であるものの、信頼性および工程マージンに悪影響を及ぼしかねない。しかし、本発明に係る黒色感光性組成物に含まれるモノマー内に水酸基が含まれる場合、現像性、信頼性および工程性に優れたものとなる特徴がある。具体的には、前記モノマー内に水酸基が含まれる場合、後述する光開始剤および結合剤樹脂との架橋反応により架橋度が高くなることによって信頼性に優れたものとなり得る利点がある。 In one embodiment of the invention, the monomer may further contain a hydroxyl group. Although not bound by theory, if the monomer contains a hydroxyl group in the case of a colored photosensitive resin composition for producing a general color filter, it is advantageous for developability, but reliability and process. It can adversely affect the margin. However, when the monomer contained in the black photosensitive composition according to the present invention contains a hydroxyl group, it is characterized by being excellent in developability, reliability and processability. Specifically, when the monomer contains a hydroxyl group, there is an advantage that the degree of cross-linking is increased by the cross-linking reaction with the photoinitiator and the binder resin described later, so that the reliability can be excellent.

本発明に係るモノマーは酸価が10~60mgKOH/g、好ましくは10~50mgKOH/g、さらに好ましくは20~40mgKOH/gであり得る。前記モノマーの酸価が前記範囲内である場合、工程マージンを高めることができる利点がある。前記モノマーの酸価が前記範囲未満の場合、現像性が多少低下する可能性がある問題点があり、前記範囲を超過する場合、モノマー内の酸価が過度に高くなることによって工程上のマージンが減少する恐れがある問題点があるため、前記範囲内で含まれることが好ましい。 The monomer according to the present invention may have an acid value of 10 to 60 mgKOH / g, preferably 10 to 50 mgKOH / g, and more preferably 20 to 40 mgKOH / g. When the acid value of the monomer is within the above range, there is an advantage that the process margin can be increased. If the acid value of the monomer is less than the above range, there is a problem that the developability may be slightly lowered, and if it exceeds the above range, the acid value in the monomer becomes excessively high, so that a margin in the process is obtained. Since there is a problem that there is a possibility that the amount of the substance may decrease, it is preferable that the substance is contained within the above range.

本発明で酸価とは、アクリル系重合体1gの中和に必要な水酸化カリウムの量(mg)で測定される値であり、通常は水酸化カリウム水溶液を使って滴定することによって求めることができる。 In the present invention, the acid value is a value measured by the amount of potassium hydroxide (mg) required for neutralization of 1 g of the acrylic polymer, and is usually determined by titration using an aqueous potassium hydroxide solution. Can be done.

本発明のさらに他の実施形態において、前記官能基はエチレン性不飽和二重結合を含むことができる。前記官能基が前記エチレン性不飽和二重結合を含む場合、後述する光重合アルカリ性樹脂と反応して架橋度が高くなり、工程上扱い易い利点がある。 In yet another embodiment of the invention, the functional group may contain an ethylenically unsaturated double bond. When the functional group contains the ethylenically unsaturated double bond, it reacts with a photopolymerizable alkaline resin described later to increase the degree of cross-linking, which has an advantage of being easy to handle in the process.

本発明のさらに他の実施形態において、前記モノマーは前記黒色感光性樹脂組成物全体100重量部に対して1.7~4.2重量部、好ましくは1.8~4.0重量部、さらに好ましくは2.0~3.8重量部で含まれ得る。 In still another embodiment of the invention, the monomer is 1.7 to 4.2 parts by weight, preferably 1.8 to 4.0 parts by weight, based on 100 parts by weight of the entire black photosensitive resin composition. It may preferably be contained in an amount of 2.0 to 3.8 parts by weight.

前記モノマーが前記範囲内で含まれる場合、現像性、信頼性または工程性に優れたものとなるので、工程マージンに優れた黒色感光性樹脂組成物の提供が可能な利点がある。前記モノマーが前記範囲未満で含まれる場合、現像性が多少低下する可能性があるためパターンの形成が困難であり得、前記範囲を超過する場合、現像性および工程性のマージン値が多少低下する可能性があるため、前記範囲を満足するように含まれることが好ましい。 When the monomer is contained within the above range, it is excellent in developability, reliability or processability, and therefore, there is an advantage that a black photosensitive resin composition having an excellent process margin can be provided. If the monomer is contained in the range below the range, it may be difficult to form a pattern because the developability may be slightly lowered, and if the monomer is contained in the range, the margin values of the developability and the processability are slightly lowered. Since there is a possibility, it is preferable that it is included so as to satisfy the above range.

前記モノマーは直接合成して使ってもよく、市販されているものを購入して使ってもよい。市販されている前記モノマーは例えば、大阪有機化学のViscoat#802-A、Viscoat#802-B、Viscoat#802-C、Viscoat#802-Dなどが挙げられるがこれに限定されず、本発明に係るモノマーを満足するものを使うことができる。 The monomer may be directly synthesized and used, or a commercially available product may be purchased and used. Examples of the commercially available monomers include, but are not limited to, Viscoat # 802-A, Viscoat # 802-B, Viscoat # 802-C, Viscoat # 802-D of Osaka Organic Chemistry, and the present invention. Those satisfying the above-mentioned monomers can be used.

本発明のさらに他の実施形態において、前記黒色感光性樹脂組成物は黒色着色剤;結合剤樹脂;光重合開始剤;溶剤および添加剤からなる群から選択される1以上をさらに含むことができる。 In yet another embodiment of the invention, the black photosensitive resin composition may further comprise one or more selected from the group consisting of black colorants; binder resins; photopolymerization initiators; solvents and additives. ..

本発明に係る黒色感光性樹脂組成物は黒色着色剤を含む。 The black photosensitive resin composition according to the present invention contains a black colorant.

本発明のさらに他の実施形態は、前記着色剤はレッド、ブルーおよびブラック顔料からなる群から選択される一つ以上を含む黒色感光性樹脂組成物に関するものである。 Yet another embodiment of the invention relates to a black photosensitive resin composition comprising one or more of the colorants selected from the group consisting of red, blue and black pigments.

前記ブラック(黒色)顔料は例えば、アニリンブラック、ペリレンブラック、チタンブラック、カーボンブラックであり得、遮光性があるものであれば特に制限なく使うことができる。 The black pigment may be, for example, aniline black, perylene black, titanium black, or carbon black, and can be used without particular limitation as long as it has a light-shielding property.

使用可能なカーボンブラックとしては、御国色素社のCHBK-17;東海カーボン(株)のシースト5HIISAF-HS、シーストKH、シースト3HHAF-HS、シーストNH、シースト3M、シースト300HAF-LS、シースト116HMMAF-HS、シースト116MAF、シーストFMFEF-HS、シーストSOFEF、シーストVGPF、シーストSVHSRF-HS、およびシーストSSRF;三菱化学(株)のダイアグラムブラック、ダイアグラムブラックN339、ダイアグラムブラックSH、ダイアグラムブラックH、ダイアグラムLH、ダイアグラムHA、ダイアグラムSF、ダイアグラムN550M、ダイアグラムM、ダイアグラムE、ダイアグラムG、ダイアグラムR、ダイアグラムN760M、ダイアグラムLR、#2700、#2600、#2400、#2350、#2300、#2200、#1000、#980、#900、MCF88、#52、#50、#47、#45、#45L、#25、#CF9、#95、#3030、#3050、MA7、MA77、MA8、MA11、OIL7B、OIL9B、OIL11B、OIL30B、およびOIL31B;デグサ(株)のPRINTEX-U、PRINTEX-V、PRINTEX-140U、PRINTEX-140V、PRINTEX-95、PRINTEX-85、PRINTEX-75、PRINTEX-55、PRINTEX-45、PRINTEX-300、PRINTEX-35、PRINTEX-25、PRINTEX-200、PRINTEX-40、PRINTEX-30、PRINTEX-3、PRINTEX-A、SPECIAL BLACK-550、SPECIAL BLACK-350、SPECIAL BLACK-250、SPECIAL BLACK-100、およびLAMP BLACK-101;コロンビア カーボン(株)のRAVEN-1100ULTRA、RAVEN-1080ULTRA、RAVEN-1060ULTRA、RAVEN-1040、RAVEN-1035、RAVEN-1020、RAVEN-1000、RAVEN-890H、RAVEN-890、RAVEN-880ULTRA、RAVEN-860ULTRA、RAVEN-850、RAVEN-820、RAVEN-790ULTRA、RAVEN-780ULTRA、RAVEN-760ULTRA、RAVEN-520、RAVEN-500、RAVEN-460、RAVEN-450、RAVEN-430ULTRA、RAVEN-420、RAVEN-410、RAVEN-2500ULTRA、RAVEN-2000、RAVEN-1500、RAVEN-1255、RAVEN-1250、RAVEN-1200、RAVEN-1190ULTRA、およびRAVEN-1170等が挙げられる。 As carbon black that can be used, CHBK-17 of Gokoku Dye Co., Ltd .; Seest 5HIISAF-HS, Seest KH, Seest 3HHAF-HS, Seest NH, Seest 3M, Seest 300HAF-LS, Seest 116HMMAF-HS of Tokai Carbon Co., Ltd. , Seest 116MAF, Seest FMFEF-HS, Seest SOFEF, Seest VGPF, Seest SVHSRF-HS, and Seest SSRF; , Diagram SF, Diagram N550M, Diagram M, Diagram E, Diagram G, Diagram R, Diagram N760M, Diagram LR, # 2700, # 2600, # 2400, # 2350, # 2300, # 2200, # 1000, # 980, # 900, MCF88, # 52, # 50, # 47, # 45, # 45L, # 25, # CF9, # 95, # 3030, # 3050, MA7, MA77, MA8, MA11, OIL7B, OIL9B, OIL11B, OIL30B, And OIL31B; PRINTEX-U, PRINTEX-V, PRINTEX-140U, PRITEX-140V, PRITEX-95, PRITEX-85, PRITEX-75, PRITEX-55, PRITEX-45, PRITEX-300, PRODUCTX- of degusa Co., Ltd. 35, PRITEX-25, PRITEX-200, PRITEX-40, PRITEX-30, PRITEX-3, PRITEX-A, SPECIAL BLACK-550, SPECIAL BLACK-350, SPECIAL BLACK-250, SPECIAL BLACK-100, and LAMP BLACK- 101; RAVEN-1100ULTRA, RAVEN-1080ULTRA, RAVEN-1060ULTRA, RAVEN-1040, RAVEN-1035, RAVEN-1020, RAVEN-1000, RAVEN-890H, RAVEN-890, RAVEN-880ULTRA, RAVEN of Columbia Carbon Co., Ltd. 860ULTRA, RAVEN-850, RAVEN-820, RAVEN-790ULTRA, RAVEN-780ULTRA, RA VEN-760ULTRA, RAVEN-520, RAVEN-500, RAVEN-460, RAVEN-450, RAVEN-430ULTRA, RAVEN-420, RAVEN-410, RAVEN-2500ULTRA, RAVEN-2000, RAVEN-1500, RAVEN-1255, RAVEN- Included are 1250, RAVEN-1200, RAVEN-1190ULTRA, RAVEN-1170 and the like.

前記カーボンブラックは遮光性がある顔料であれば特に限定されず、公知のカーボンブラックを使うことができる。前記黒色顔料であるカーボンブラックとしては、具体的には、チャネルブラック(channel black)、ファーネスブラック(furnace black)、サーマルブラック(thermal black)、ランプブラック(lamp black)などが挙げられる。 The carbon black is not particularly limited as long as it is a pigment having a light-shielding property, and a known carbon black can be used. Specific examples of the carbon black, which is the black pigment, include channel black, furnace black, thermal black, and lamp black.

また、前記黒色顔料であるカーボンブラックは、樹脂が被覆されたカーボンブラックを利用することもできる。前記樹脂が被覆されたカーボンブラックは樹脂が被覆されていないカーボンブラックに比べて導電性が低いので、ブラックマトリックスまたはブラックカラムスペーサーの形成時に優れた電気絶縁性を付与することができる。 Further, as the carbon black which is the black pigment, carbon black coated with a resin can also be used. Since the carbon black coated with the resin has lower conductivity than the carbon black not coated with the resin, excellent electrical insulation can be imparted when the black matrix or the black column spacer is formed.

前記着色剤は有機顔料および染料からなる群から選択される1以上をさらに含むことができる。具体的には、前記着色剤は可視光線に遮光性がある有機顔料および染料を単独または二種以上含むことができる。 The colorant may further include one or more selected from the group consisting of organic pigments and dyes. Specifically, the colorant may contain one or more organic pigments and dyes having a light-shielding property in visible light.

前記有機顔料は、例えば、カラーインデックス(C.I.;The Society of Dyers and Colourists社発行)でピグメントに分類されている化合物、具体的には下記のようなカラーインデックス(C.I.)名が付与されているものを挙げることができるが、これに限定されるものではない。 The organic pigment is, for example, a compound classified as a pigment by a color index (CI; The Society of Dyers and Colorists), specifically, a color index (CI) name as described below. Can be mentioned, but is not limited to this.

具体的には、前記有機顔料は、C.I.顔料黄色1号、C.I.顔料黄色12号、C.I.顔料黄色13号、C.I.顔料黄色14号、C.I.顔料黄色15号、C.I.顔料黄色16号、C.I.顔料黄色17号、C.I.顔料黄色20号、C.I.顔料黄色24号、C.I.顔料黄色31号、C.I.顔料黄色53号、C.I.顔料黄色55号、C.I.顔料黄色83号、C.I.顔料黄色86号、C.I.顔料黄色93号、C.I.顔料黄色94号、C.I.顔料黄色109号、C.I.顔料黄色110号、C.I.顔料黄色117号、C.I.顔料黄色125号、C.I.顔料黄色128号、C.I.顔料黄色137号、C.I.顔料黄色138号、C.I.顔料黄色139号、C.I.顔料黄色147号、C.I.顔料黄色148号、C.I.顔料黄色150号、C.I.顔料黄色153号、C.I.顔料黄色154号、C.I.顔料黄色155号、C.I.顔料黄色166号、C.I.顔料黄色168号、C.I.顔料黄色173号、C.I.顔料黄色180号、C.I.顔料黄色211号;
C.I.顔料オレンジ色5号、C.I.顔料オレンジ色13号、C.I.顔料オレンジ色14号、C.I.顔料オレンジ色24号、C.I.顔料オレンジ色31号、C.I.顔料オレンジ色34号、C.I.顔料オレンジ色36号、C.I.顔料オレンジ色38号、C.I.顔料オレンジ色40号、C.I.顔料オレンジ色42号、C.I.顔料オレンジ色43号、C.I.顔料オレンジ色46号、C.I.顔料オレンジ色49号、C.I.顔料オレンジ色51号、C.I.顔料オレンジ色55号、C.I.顔料オレンジ色59号、C.I.顔料オレンジ色61号、C.I.顔料オレンジ色64号、C.I.顔料オレンジ色65号、C.I.顔料オレンジ色68号、C.I.顔料オレンジ色70号、C.I.顔料オレンジ色71号、C.I.顔料オレンジ色72号、C.I.顔料オレンジ色73号、C.I.顔料オレンジ色74号;
C.I.顔料赤色1号、C.I.顔料赤色2号、C.I.顔料赤色5号、C.I.顔料赤色9号、C.I.顔料赤色17号、C.I.顔料赤色31号、C.I.顔料赤色32号、C.I.顔料赤色41号、C.I.顔料赤色97号、C.I.顔料赤色105号、C.I.顔料赤色122号、C.I.顔料赤色123号、C.I.顔料赤色144号、C.I.顔料赤色149号、C.I.顔料赤色166号、C.I.顔料赤色168号、C.I.顔料赤色170号、C.I.顔料赤色171号、C.I.顔料赤色175号、C.I.顔料赤色176号、C.I.顔料赤色177号、C.I.顔料赤色178号、C.I.顔料赤色179号、C.I.顔料赤色180号、C.I.顔料赤色185号、C.I.顔料赤色192号、C.I.顔料赤色194号、C.I.顔料赤色202号、C.I.顔料赤色206号、C.I.顔料赤色207号、C.I.顔料赤色208号、C.I.顔料赤色209号、C.I.顔料赤色214号、C.I.顔料赤色215号、C.I.顔料赤色216号、C.I.顔料赤色220号、C.I.顔料赤色221号、C.I.顔料赤色224号、C.I.顔料赤色242号、C.I.顔料赤色243号、C.I.顔料赤色254号、C.I.顔料赤色255号、C.I.顔料赤色262号、C.I.顔料赤色264号、C.I.顔料赤色265号、C.I.顔料赤色272号;
C.I.顔料青色15号、C.I.顔料青色15:3号、C.I.顔料青色15:4号、C.I.顔料青色15:6号、C.I.顔料青色16号、C.I.顔料青色60号、C.I.顔料青色80号;
C.I.顔料紫色1号、C.I.顔料紫色19号、C.I.顔料紫色23号、C.I顔料紫色29号、C.I顔料紫色32号、C.I顔料紫色36号、C.I顔料紫色38号;
C.I.顔料緑色7号、C.I.顔料緑色36号、C.I.顔料緑色58号、C.I.顔料緑色59号、C.I.顔料緑色62号、C.I.顔料緑色63号;
C.I.顔料茶色23号、C.I.顔料茶色25号;
C.I.顔料黒色1号、C.I.顔料黒色7号などを使うことができ、場合によってロジン処理、酸性基または塩基性基が導入されている顔料誘導体を利用した表面処理、重合体化合物などを利用した表面グラフト処理、硫酸を利用した微細粒子化処理、または有機溶媒または水を利用した洗浄処理などが遂行されたものであってもよい。
Specifically, the organic pigment is C.I. I. Pigment Yellow No. 1, C.I. I. Pigment Yellow No. 12, C.I. I. Pigment Yellow No. 13, C.I. I. Pigment Yellow No. 14, C.I. I. Pigment Yellow No. 15, C.I. I. Pigment Yellow No. 16, C.I. I. Pigment Yellow No. 17, C.I. I. Pigment Yellow No. 20, C.I. I. Pigment Yellow No. 24, C.I. I. Pigment Yellow No. 31, C.I. I. Pigment Yellow No. 53, C.I. I. Pigment Yellow No. 55, C.I. I. Pigment Yellow No. 83, C.I. I. Pigment Yellow No. 86, C.I. I. Pigment Yellow No. 93, C.I. I. Pigment Yellow No. 94, C.I. I. Pigment Yellow No. 109, C.I. I. Pigment Yellow No. 110, C.I. I. Pigment Yellow No. 117, C.I. I. Pigment Yellow No. 125, C.I. I. Pigment Yellow No. 128, C.I. I. Pigment Yellow No. 137, C.I. I. Pigment Yellow No. 138, C.I. I. Pigment Yellow No. 139, C.I. I. Pigment Yellow No. 147, C.I. I. Pigment Yellow No. 148, C.I. I. Pigment Yellow No. 150, C.I. I. Pigment Yellow No. 153, C.I. I. Pigment Yellow No. 154, C.I. I. Pigment Yellow No. 155, C.I. I. Pigment Yellow No. 166, C.I. I. Pigment Yellow No. 168, C.I. I. Pigment Yellow No. 173, C.I. I. Pigment Yellow No. 180, C.I. I. Pigment Yellow No. 211;
C. I. Pigment Orange No. 5, C.I. I. Pigment Orange No. 13, C.I. I. Pigment Orange No. 14, C.I. I. Pigment Orange No. 24, C.I. I. Pigment Orange No. 31, C.I. I. Pigment Orange No. 34, C.I. I. Pigment Orange No. 36, C.I. I. Pigment Orange No. 38, C.I. I. Pigment Orange No. 40, C.I. I. Pigment Orange No. 42, C.I. I. Pigment Orange No. 43, C.I. I. Pigment Orange No. 46, C.I. I. Pigment Orange No. 49, C.I. I. Pigment Orange No. 51, C.I. I. Pigment Orange No. 55, C.I. I. Pigment Orange No. 59, C.I. I. Pigment Orange No. 61, C.I. I. Pigment Orange No. 64, C.I. I. Pigment Orange No. 65, C.I. I. Pigment Orange No. 68, C.I. I. Pigment Orange No. 70, C.I. I. Pigment Orange No. 71, C.I. I. Pigment Orange No. 72, C.I. I. Pigment Orange No. 73, C.I. I. Pigment orange No. 74;
C. I. Pigment Red No. 1, C.I. I. Pigment Red No. 2, C.I. I. Pigment Red No. 5, C.I. I. Pigment Red No. 9, C.I. I. Pigment Red No. 17, C.I. I. Pigment Red No. 31, C.I. I. Pigment Red No. 32, C.I. I. Pigment Red No. 41, C.I. I. Pigment Red No. 97, C.I. I. Pigment Red No. 105, C.I. I. Pigment Red No. 122, C.I. I. Pigment Red No. 123, C.I. I. Pigment Red No. 144, C.I. I. Pigment Red No. 149, C.I. I. Pigment Red No. 166, C.I. I. Pigment Red No. 168, C.I. I. Pigment Red No. 170, C.I. I. Pigment Red No. 171 and C.I. I. Pigment Red No. 175, C.I. I. Pigment Red No. 176, C.I. I. Pigment Red No. 177, C.I. I. Pigment Red No. 178, C.I. I. Pigment Red No. 179, C.I. I. Pigment Red No. 180, C.I. I. Pigment Red No. 185, C.I. I. Pigment Red No. 192, C.I. I. Pigment Red No. 194, C.I. I. Pigment Red No. 202, C.I. I. Pigment Red No. 206, C.I. I. Pigment Red No. 207, C.I. I. Pigment Red No. 208, C.I. I. Pigment Red No. 209, C.I. I. Pigment Red No. 214, C.I. I. Pigment Red No. 215, C.I. I. Pigment Red No. 216, C.I. I. Pigment Red No. 220, C.I. I. Pigment Red No. 221 and C.I. I. Pigment Red No. 224, C.I. I. Pigment Red No. 242, C.I. I. Pigment Red No. 243, C.I. I. Pigment Red No. 254, C.I. I. Pigment Red 255, C.I. I. Pigment Red No. 262, C.I. I. Pigment Red No. 264, C.I. I. Pigment Red No. 265, C.I. I. Pigment Red No. 272;
C. I. Pigment Blue No. 15, C.I. I. Pigment Blue 15: 3, C.I. I. Pigment Blue 15: 4, C.I. I. Pigment Blue 15: 6, C.I. I. Pigment Blue No. 16, C.I. I. Pigment Blue No. 60, C.I. I. Pigment blue No. 80;
C. I. Pigment Purple No. 1, C.I. I. Pigment Purple No. 19, C.I. I. Pigment Purple No. 23, C.I. I Pigment Purple No. 29, C.I. I Pigment Purple No. 32, C.I. I Pigment Purple No. 36, C.I. I Pigment Purple No. 38;
C. I. Pigment Green No. 7, C.I. I. Pigment Green No. 36, C.I. I. Pigment Green No. 58, C.I. I. Pigment Green No. 59, C.I. I. Pigment Green No. 62, C.I. I. Pigment green No. 63;
C. I. Pigment Brown No. 23, C.I. I. Pigment brown No. 25;
C. I. Pigment Black No. 1, C.I. I. Pigment Black No. 7 or the like can be used, and in some cases, rosin treatment, surface treatment using a pigment derivative having an acidic group or a basic group introduced, surface graft treatment using a polymer compound, etc., and sulfuric acid are used. It may have been subjected to a fine particle treatment, a cleaning treatment using an organic solvent or water, or the like.

これに加えて、印刷インク、インクジェットなどに使われる顔料および水溶性アゾ系、不溶性アゾ系、フタロシアニン系、キナクリドン系、イソインドリノン系、イソインドリン、ペリレン、ペリノン、ジオキシジン、アントラキノン、ジアントラキノニル、アントラピリミジン、アンサントロン、インダントロン、フラバントロン、ピラントロン系の顔料などを使うこともできるが、これに限定されない。 In addition to this, pigments used in printing inks, inkjets, etc. and water-soluble azo-based, insoluble azo-based, phthalocyanine-based, quinacridone-based, isoindolinone-based, isoindoline, perylene, perinone, dioxydine, anthraquinone, dianthraquinonyl, Anthraquinone, anthrantron, indantron, flavantron, pyranthron-based pigments, etc. can also be used, but are not limited to this.

前記染料は例えば、C.I.ソルベント黄色2号、C.I.ソルベント黄色14号、C.I.ソルベント黄色16号、C.I.ソルベント黄色33号、C.I.ソルベント黄色34号、C.I.ソルベント黄色44号、C.I.ソルベント黄色56号、C.I.ソルベント黄色82号、C.I.ソルベント黄色93号、C.I.ソルベント黄色94号、C.I.ソルベント黄色98号、C.I.ソルベント黄色116号、C.I.ソルベント黄色135号;C.I.ソルベントオレンジ色1号、C.I.ソルベントオレンジ色3号、C.I.ソルベントオレンジ色7号、C.I.ソルベントオレンジ色63号;C.I.ソルベント赤色1号、C.I.ソルベント赤色2号、C.I.ソルベント赤色3号、C.I.ソルベント赤色8号、C.I.ソルベント赤色18号、C.I.ソルベント赤色23号、C.I.ソルベント赤色24号、C.I.ソルベント赤色27号、C.I.ソルベント赤色35号、C.I.ソルベント赤色43号、C.I.ソルベント赤色45号、C.I.ソルベント赤色48号、C.I.ソルベント赤色49号、C.I.ソルベント赤色91:1号、C.I.ソルベント赤色119号、C.I.ソルベント赤色135号、C.I.ソルベント赤色140号、C.I.ソルベント赤色196号、C.I.ソルベント赤色197号;C.I.ソルベント紫色8号、C.I.ソルベント紫色9号、C.I.ソルベント紫色13号、C.I.ソルベント紫色26号、C.I.ソルベント紫色28号、C.I.ソルベント紫色31号、C.I.ソルベント紫色59号;C.I.ソルベント青色4号、C.I.ソルベント青色5号、C.I.ソルベント青色25号、C.I.ソルベント青色35号、C.I.ソルベント青色36号、C.I.ソルベント青色38号、C.I.ソルベント青色70号;C.I.ソルベント緑色3号、C.I.ソルベント緑色5号、C.I.ソルベント緑色7号などが挙げられる。 The dye is, for example, C.I. I. Solvent Yellow No. 2, C.I. I. Solvent Yellow No. 14, C.I. I. Solvent Yellow No. 16, C.I. I. Solvent Yellow No. 33, C.I. I. Solvent Yellow No. 34, C.I. I. Solvent Yellow No. 44, C.I. I. Solvent Yellow No. 56, C.I. I. Solvent Yellow No. 82, C.I. I. Solvent Yellow No. 93, C.I. I. Solvent Yellow No. 94, C.I. I. Solvent Yellow No. 98, C.I. I. Solvent Yellow No. 116, C.I. I. Solvent Yellow No. 135; C.I. I. Solvent Orange No. 1, C.I. I. Solvent Orange No. 3, C.I. I. Solvent Orange No. 7, C.I. I. Solvent Orange No. 63; C.I. I. Solvent Red No. 1, C.I. I. Solvent Red No. 2, C.I. I. Solvent Red No. 3, C.I. I. Solvent Red No. 8, C.I. I. Solvent Red No. 18, C.I. I. Solvent Red No. 23, C.I. I. Solvent Red No. 24, C.I. I. Solvent Red No. 27, C.I. I. Solvent Red No. 35, C.I. I. Solvent Red No. 43, C.I. I. Solvent Red No. 45, C.I. I. Solvent Red No. 48, C.I. I. Solvent Red No. 49, C.I. I. Solvent Red 91: 1, C.I. I. Solvent Red No. 119, C.I. I. Solvent Red No. 135, C.I. I. Solvent Red No. 140, C.I. I. Solvent Red No. 196, C.I. I. Solvent Red No. 197; C.I. I. Solvent Purple No. 8, C.I. I. Solvent Purple No. 9, C.I. I. Solvent Purple No. 13, C.I. I. Solvent Purple No. 26, C.I. I. Solvent Purple No. 28, C.I. I. Solvent Purple No. 31, C.I. I. Solvent Purple No. 59; C.I. I. Solvent Blue No. 4, C.I. I. Solvent Blue No. 5, C.I. I. Solvent Blue No. 25, C.I. I. Solvent Blue No. 35, C.I. I. Solvent Blue No. 36, C.I. I. Solvent Blue No. 38, C.I. I. Solvent Blue No. 70; C.I. I. Solvent Green No. 3, C.I. I. Solvent Green No. 5, C.I. I. Solvent green No. 7 and the like can be mentioned.

本発明のさらに他の実施形態において、本発明に係る黒色感光性樹脂組成物は黒色の具現を容易にするために、前述した着色剤のうちレッド、ブルーおよびブラックからなる群から選択される1以上の着色剤を含む。 In still another embodiment of the present invention, the black photosensitive resin composition according to the present invention is selected from the group consisting of red, blue and black among the above-mentioned colorants in order to facilitate the realization of black color1. Contains the above colorants.

本発明のさらに他の実施形態において、前記着色剤は青色顔料を含むことができる。具体的には、本発明において、前記有機顔料は青色顔料であり得る。 In yet another embodiment of the invention, the colorant may include a blue pigment. Specifically, in the present invention, the organic pigment can be a blue pigment.

前記着色剤が青色顔料をさらに含む場合、近赤外線領域の透過率が優秀となるにつれて露光工程上の効果が優秀となり得、有機溶剤に対する耐化学性の向上によって信頼性が優秀となり得る利点がある。 When the colorant further contains a blue pigment, there is an advantage that the effect on the exposure process can be excellent as the transmittance in the near infrared region becomes excellent, and the reliability can be excellent due to the improvement of the chemical resistance to the organic solvent. ..

本発明に係る着色剤は例えば、前記黒色感光性樹脂組成物固形分全体100重量部に対して25~55重量部、好ましくは27~40重量部、さらに好ましくは28~33重量部で含むことができるが、これに限定されない。前記着色剤の含量が前記範囲未満の場合、光学密度(Optical Density、O.D.)が多少低くなり得、前記範囲を超過する場合、比誘電率が多少高くなって表示装置の駆動に問題が多少発生する恐れがあるので、前記範囲内で含まれることが好ましい。 The colorant according to the present invention is contained, for example, in an amount of 25 to 55 parts by weight, preferably 27 to 40 parts by weight, and more preferably 28 to 33 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the total solid content of the black photosensitive resin composition. However, it is not limited to this. If the content of the colorant is less than the above range, the optical density (OD) may be slightly low, and if it exceeds the above range, the relative permittivity may be slightly high, which causes a problem in driving the display device. Is likely to occur to some extent, and therefore, it is preferably contained within the above range.

前記黒色顔料は、例えば、前記着色剤全体100重量部に対して1~17重量部、さらに好ましくは2~17重量部で含まれ得るが、これに限定されない。前記黒色顔料が前記範囲を満足する場合、光学密度が優秀となり得る利点がある。前記黒色顔料が前記範囲未満で含まれる場合、光学密度が多少低下する可能性がある問題点があり得、前記黒色顔料が前記範囲を超過する場合、近赤外線領域での透過率が多少低下する可能性がある問題点があり得るので、前記黒色顔料が前記範囲内で含まれることが好ましい。 The black pigment may be contained, for example, in an amount of 1 to 17 parts by weight, more preferably 2 to 17 parts by weight, based on 100 parts by weight of the entire colorant, but is not limited thereto. When the black pigment satisfies the above range, there is an advantage that the optical density can be excellent. If the black pigment is contained in the range below the range, there may be a problem that the optical density may be slightly lowered, and if the black pigment exceeds the range, the transmittance in the near infrared region is slightly lowered. It is preferable that the black pigment is contained within the above range because there may be a possibility of a problem.

本発明に係る黒色感光性樹脂組成物は結合剤樹脂を含む。前記結合剤樹脂は、通常黒色感光性樹脂組成物を利用して形成された黒色感光性樹脂層の非露光部をアルカリ可溶性にし、顔料に対して分散媒質として作用する。前記結合剤樹脂は本発明で特に限定されず、当該適用技術分野で使われる多様な重合体の中から選択することができる。 The black photosensitive resin composition according to the present invention contains a binder resin. The binder resin makes the non-exposed portion of the black photosensitive resin layer, which is usually formed by using the black photosensitive resin composition, alkaline-soluble, and acts as a dispersion medium for the pigment. The binder resin is not particularly limited in the present invention, and can be selected from various polymers used in the art of application.

前記結合剤樹脂の重量平均分子量は、3000~30000であることが好ましく、5000~20000であることがより好ましく、前記結合剤樹脂の酸価は固形分基準で50~200mgKOH/gの範囲を有することが好ましい。 The weight average molecular weight of the binder resin is preferably 3000 to 30,000, more preferably 5000 to 20000, and the acid value of the binder resin has a range of 50 to 200 mgKOH / g on a solid content basis. Is preferable.

前記酸価が前記範囲を満足する場合、アルカリ現像に対する現像性が優秀であり、残渣の発生が抑制され、パターンの密着性が向上され得るため好ましい。 When the acid value satisfies the above range, the developability for alkaline development is excellent, the generation of residues can be suppressed, and the adhesion of the pattern can be improved, which is preferable.

前記結合剤樹脂は前記黒色感光性樹脂組成物固形分全体100重量部に対して5~85重量部、好ましくは10~80重量部、さらに好ましくは15~75重量部で含まれ得る。前記結合剤樹脂が前記範囲内で含まれる場合、現像液に対する溶解性が充分であるため非画素部分が基板上に残渣の発生が難しく、現像時に露光部の画素部分の膜減少が発生し難いため非画素部分の脱落性が良好である傾向がある。 The binder resin may be contained in an amount of 5 to 85 parts by weight, preferably 10 to 80 parts by weight, more preferably 15 to 75 parts by weight, based on 100 parts by weight of the total solid content of the black photosensitive resin composition. When the binder resin is contained within the above range, the non-pixel portion is difficult to generate a residue on the substrate because the solubility in the developing solution is sufficient, and the film reduction of the pixel portion of the exposed portion is unlikely to occur during development. Therefore, the non-pixel portion tends to have good dropout.

本発明に含まれる光重合開始剤は、感光性樹脂組成物に一般に使われるものを適用することができ、例えば、アセトフェノン系、ベンゾフェノン系、トリアジン系、チオキサントン系、オキシム系、ベンゾイン系、非イミダゾール系化合物などを使うことができる。 As the photopolymerization initiator contained in the present invention, those generally used for photosensitive resin compositions can be applied, for example, acetophenone-based, benzophenone-based, triazine-based, thioxanthone-based, oxime-based, benzoin-based, non-imidazole-based. System compounds can be used.

アセトフェノン系化合物は、ジエトキシアセトフェノン、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニルプロパン-1-オン、ベンジルジメチルケタール、2-ヒドロキシ-1-[4-(2-ヒドロキシエトキシ)フェニル]-2-メチルプロパン-1-オン、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2-メチル-1-(4-メチルチオフェニル)-2-モルホリノプロパン-1-オン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルホリノフェニル)ブタン-1-オン、2-ヒドロキシ-2-メチル[4-(1-メチルビニル)フェニル]プロパン-1-オンのオリゴマーなどが可能であり、これらのうち2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルホリノフェニル)ブタン-1-オンが好ましく使用可能である。 The acetophenone compounds are diethoxyacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, benzyldimethylketal, 2-hydroxy-1- [4- (2-hydroxyethoxy) phenyl] -2-. Methylpropane-1-one, 1-hydroxycyclohexylphenylketone, 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropane-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-) Morphorinophenyl) butane-1-one, 2-hydroxy-2-methyl [4- (1-methylvinyl) phenyl] propan-1-one oligomers, etc. are possible, of which 2-benzyl-2-dimethyl Amino-1- (4-morpholinophenyl) butane-1-one is preferably used.

ベンゾフェノン系化合物としては、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、4-フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、アクリル化ベンゾフェノン、4,4’-ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンなどが可能である。 Examples of benzophenone compounds include benzophenone, benzoylbenzoic acid, methyl benzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, hydroxybenzophenone, acrylicized benzophenone, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone, and 4,4'-bis (diethylamino). Benzophenone etc. are possible.

トリアジン系化合物としては、2,4,6-トリクロロ-s-トリアジン、2-フェニル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(3’,4”-ジメトキシスチリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(4’-メトキシナフチル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(p-メトキシフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(p-トリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-ビフェニル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、ビス(トリクロロメチル)-6-スチリル-s-トリアジン、2-(ナフト1-イル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(4-メトキシナフト1-イル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2,4-トリクロロメチル(ピペロニル)-6-トリアジン、2,4-トリクロロメチル(4’-メトキシスチリル)-6-トリアジンなどが可能である。 Examples of triazine compounds include 2,4,6-trichloro-s-triazine, 2-phenyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (3', 4 "-dimethoxystyryl) -4. , 6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4'-methoxynaphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-methoxyphenyl) -4,6- Bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-tolyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-biphenyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, Bis (trichloromethyl) -6-styryl-s-triazine, 2- (naphtho1-yl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxynaphtho1-yl) -4 , 6-Bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2,4-trichloromethyl (piperonyl) -6-triazine, 2,4-trichloromethyl (4'-methoxystyryl) -6-triazine and the like are possible.

チオキサントン系化合物としては、2-イソプロピルチオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン、2,4-ジクロロチオキサントン、1-クロロ-4-プロポキシチオキサントンなどが可能である。 Examples of the thioxanthone-based compound include 2-isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, and the like.

オキシム系化合物としては、o-エトキシカルボニル-α-オキシイミノ-1-フェニルプロパン-1-オンなどが挙げられ、市販品としてCiba社のOXE-01、OXE-02が代表的である。 Examples of the oxime compound include o-ethoxycarbonyl-α-oxyimino-1-phenylpropane-1-one, and Ciba's OXE-01 and OXE-02 are typical commercially available products.

ベンゾイン系化合物としては、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンジルジメチルケタールなどが使用可能である。 As the benzoin compound, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, benzyl dimethyl ketal and the like can be used.

ビイミダゾール系化合物としては、2,2’-ビス(2-クロロフェニル)-4,4’,5,5”-テトラフェニルビイミダゾール、2,2’-ビス(2、3-ジクロロフェニル)-4,4’,5,5”-テトラフェニルビイミダゾール、2,2’-ビス(2-クロロフェニル)-4,4’,5,5”-テトラ(アルコキシフェニル)ビイミダゾール、2,2’-ビス(2-クロロフェニル)-4,4’,5,5”-テトラ(トリアルコキシフェニル)ビイミダゾール、4,4’,5,5”位置のフェニル基がカルボアルコキシ基によって置換されているイミダゾール化合物などが可能である。 Examples of the biimidazole compound include 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4', 5,5 "-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (2,3-dichlorophenyl) -4, 4', 5,5 "-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4', 5,5" -tetra (alkoxyphenyl) biimidazole, 2,2'-bis (2,2'-bis ( 2-Chlorophenyl) -4,4', 5,5 "-tetra (trialkoxyphenyl) biimidazole, imidazole compounds in which the phenyl group at the 4,4', 5,5" position is replaced by a carboalkoxy group, etc. It is possible.

前記光重合開始剤は、前記黒色感光性樹脂組成物100重量部に対して0.01~10重量部、好ましくは0.01~5重量部で使うことができる。このような含量範囲は、モノマーの光重合速度および最終的に得られる塗膜の物性を考慮したものであって、前記範囲未満であると重合速度が低いため全体の工程時間が長くなり得、反対に前記範囲を超過する場合、過度な反応によって架橋反応が過度に発生して塗膜の物性がかえって低下し得るため、前記範囲内で適切に使うことが好ましい。 The photopolymerization initiator can be used in an amount of 0.01 to 10 parts by weight, preferably 0.01 to 5 parts by weight, based on 100 parts by weight of the black photosensitive resin composition. Such a content range takes into consideration the photopolymerization rate of the monomer and the physical properties of the finally obtained coating film, and if it is less than the above range, the polymerization rate is low and the entire process time may be long. On the contrary, when the above range is exceeded, the cross-linking reaction may be excessively generated due to the excessive reaction and the physical properties of the coating film may be deteriorated. Therefore, it is preferable to use the coating appropriately within the above range.

また、光重合開始剤とともに光重合開始補助剤を使うことができるが、前記光重合開始剤とともに光重合開始補助剤を使う場合、感光性樹脂組成物がさらに高感度になって生産性が向上するため好ましい。前記光重合開始補助剤としては、アミンおよびカルボン酸化合物からなる群から選択される1種以上の化合物が好ましく使われ得る。 Further, a photopolymerization initiator can be used together with the photopolymerization initiator, but when the photopolymerization initiator is used together with the photopolymerization initiator, the photosensitive resin composition becomes more sensitive and the productivity is improved. It is preferable to do so. As the photopolymerization initiation aid, one or more compounds selected from the group consisting of amines and carboxylic acid compounds can be preferably used.

このような光重合開始補助剤は、光重合開始剤1モル当たり通常10モル以下、好ましくは0.01~5モルの範囲内で使うことが好ましい。前記範囲内で光重合開始補助剤を使う場合、重合効率を高めて生産性の向上効果を期待することができる。 Such a photopolymerization initiator is preferably used in an amount of usually 10 mol or less, preferably 0.01 to 5 mol, per mol of the photopolymerization initiator. When a photopolymerization initiation aid is used within the above range, the polymerization efficiency can be increased and the effect of improving productivity can be expected.

前記溶剤は、上述した各構成と相溶性を有するものの、反応しないものであれば限定されずに使うことができる。一般に使われている各種有機溶剤を使うことができ、前記溶剤は塗布性、乾燥性の面で沸点が100℃~200℃である有機溶剤が好ましい。 Although the solvent has compatibility with each of the above-mentioned configurations, it can be used without limitation as long as it does not react. Various commonly used organic solvents can be used, and the solvent is preferably an organic solvent having a boiling point of 100 ° C. to 200 ° C. in terms of coatability and drying property.

例えば、前記溶剤はアルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類、ケトン類、3-エトキシプロピオン酸エチルや、3-メトキシプロピオン酸メチルなどのエステル類が挙げられ、さらに好ましくはプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、3-エトキシプロピオン酸エチル、3-メトキシプロピオン酸メチルなどが挙げられる。これらの溶剤はそれぞれ単独でまたは二種類以上混合して使うことができる。 For example, examples of the solvent include esters such as alkylene glycol alkyl ether acetates, ketones, ethyl 3-ethoxypropionate, and methyl 3-methoxypropionate, and more preferably propylene glycol monomethyl ether acetate and propylene glycol monoethyl. Examples thereof include ether acetate, cyclohexanone, ethyl 3-ethoxypropionate, methyl 3-methoxypropionate and the like. Each of these solvents can be used alone or in admixture of two or more.

本発明の黒色感光性樹脂組成物中の溶剤の含量は、前記黒色感光性樹脂組成物全体100重量部に対して60~90重量部で含まれることが好ましく、65~85重量部で含まれることがより好ましい。前記溶剤の含量が前記範囲以内で含まれる場合には、ロールコーター、スピンコーター、スリットアンドスピンコーター、スリットコーター(ダイコーターともいう)、インクジェットなどの塗布装置で塗布した時に塗布性が良好となり得る。 The content of the solvent in the black photosensitive resin composition of the present invention is preferably 60 to 90 parts by weight, and 65 to 85 parts by weight, based on 100 parts by weight of the entire black photosensitive resin composition. Is more preferable. When the content of the solvent is within the above range, the coatability may be good when applied by a coating device such as a roll coater, a spin coater, a slit and spin coater, a slit coater (also referred to as a die coater), or an inkjet. ..

本発明に係る黒色感光性樹脂組成物は分散性、コーティング性または密着性などを増進させるために当業界で通常使われる添加剤をさらに含むことができる。 The black photosensitive resin composition according to the present invention may further contain additives commonly used in the art for enhancing dispersibility, coating properties, adhesion and the like.

前記分散剤としては、例えば、陽イオン系、陰イオン系、非イオン系などの適切な分散剤が使用できるが、重合体分散剤が好ましい。具体的には、アクリル系共重合体、ポリウレタン、ポリエステル、ポリエチレンイミン、ポリアリルアミンなどが挙げられる。このような分散剤は商業的に入手することができ、例えば、アクリル系共重合体として、DisperBYK-2000、DisperBYK-2001、BYK-LPN6919、BYK-LPN21116(以上、ビックケミー(BYK)社製造)、Solsperse 5000(Lubrizol社製造)、ポリウレタンとして、DisperBYK-161、DisperBYK-162、DisperBYK-163、DisperBYK-165、DisperBYK-167、DisperBYK-170、DisperBYK-182(以上、ビックケミー(BYK)社製造)、Solsperse 76500(Lubrizol社製造)、ポリエチレンイミンとして、Solsperse 24000(Lubrizol社製造)、ポリエステルとして、アジスポPB821、アジスポPB822、アジスポPB880(味の素ファインテクノ株式会社製造)などが挙げられる。 As the dispersant, for example, an appropriate dispersant such as a cationic system, an anionic system, or a nonionic system can be used, but a polymer dispersant is preferable. Specific examples thereof include acrylic copolymers, polyurethanes, polyesters, polyethyleneimines and polyallylamines. Such dispersants are commercially available, for example, as acrylic copolymers such as DisperBYK-2000, DisperBYK-2001, BYK-LPN6919, BYK-LPN21116 (all manufactured by Big Chemie (BYK)). Solsperse 5000 (manufactured by Lubrizol), as polyurethane, DisperBYK-161, DisperBYK-162, DisperBYK-163, DisperBYK-165, DisperBYK-167, DisperBYK-170, DisperBYK-170, DisperBYK-182 (manufactured by SpperBYK-172) Examples thereof include 76500 (manufactured by Lubrizol), Solsperse 24000 (manufactured by Lubrizol) as polyethyleneimin, and Ajispo PB821, Ajispo PB822, and Ajispo PB880 (manufactured by Ajinomoto Fine Techno Co., Ltd.) as polyesters.

また、前記添加剤は例えば、基板との接着性を高めるためにカルボキシ基、メタクリロイル基、イソシアネート基、エポキシ基およびこれらの組み合わせからなる群から選択される反応性置換基を有するシランカップリング剤を含むことができるが、これに限定されない。前記シランカップリング剤は具体的には、トリメトキシシリル安息香酸、γ-メタクリルオキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、γ-イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、β-(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシランなどが挙げられ、これを単独または二種以上組み合わせて使うことができるが、これに限定されない。 Further, the additive is, for example, a silane coupling agent having a carboxy group, a methacryloyl group, an isocyanate group, an epoxy group, and a reactive substituent selected from the group consisting of a combination thereof in order to enhance the adhesiveness to the substrate. Can include, but is not limited to. Specifically, the silane coupling agent is trimethoxysilyl benzoic acid, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, vinyltriacetoxysilane, vinyltrimethoxysilane, γ-isocyanatepropyltriethoxysilane, γ-glycidoxypropyl. Examples thereof include trimethoxysilane and β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, which can be used alone or in combination of two or more, but are not limited thereto.

コーティング性を増進させるためには界面活性剤をさらに追加することができる。例えば、M-1000、BM-1100(BM Chemie社)、フロラードFC-135/FC-170C/FC-430(住友スリーエム(株))などのフッ素系界面活性剤を使うことができるが、これに限定されず、当業界で通常使われる界面活性剤を使うことができる。 Further surfactants can be added to improve the coating property. For example, fluorine-based surfactants such as M-1000, BM-1100 (BM Chemie), and Florard FC-135 / FC-170C / FC-430 (Sumitomo 3M Ltd.) can be used. Without limitation, surfactants commonly used in the industry can be used.

本発明において、前記添加剤の含量は限定されず、本発明の目的を阻害しない範囲で適切に追加して使うことができる。例えば、前記添加剤は前記黒色感光性樹脂組成物全体100重量部に対して0.01~10重量部、好ましくは0.05~5重量部で含まれ得るが、これに限定されない。 In the present invention, the content of the additive is not limited, and it can be appropriately added and used as long as the object of the present invention is not impaired. For example, the additive may be contained in an amount of 0.01 to 10 parts by weight, preferably 0.05 to 5 parts by weight, based on 100 parts by weight of the entire black photosensitive resin composition, but is not limited thereto.

<ブラックマトリックス、カラムスペーサー、ブラックマトリックス一体型カラムスペーサー>
本発明の他の態様は、前述した黒色感光性樹脂組成物の硬化物を含むブラックマトリックス、カラムスペーサーまたはブラックマトリックス一体型カラムスペーサーに関するものである。
<Black matrix, column spacer, black matrix integrated column spacer>
Another aspect of the present invention relates to a black matrix, a column spacer or a black matrix integrated column spacer containing a cured product of the black photosensitive resin composition described above.

本発明に係る黒色感光性樹脂組成物は、現像工程および露光工程のマージンが高まるに伴って、ブラックマトリックス、カラムスペーサーまたはブラックマトリックス一体型カラムスペーサーの製造収率に優れた利点がある。 The black photosensitive resin composition according to the present invention has an excellent advantage in the production yield of a black matrix, a column spacer, or a black matrix integrated column spacer as the margins of the developing step and the exposure step are increased.

本発明において、前記ブラックマトリックス一体型カラムスペーサーとは、ブラックマトリックスとカラムスペーサーをそれぞれ形成するのではなく、一つのパターンでブラックマトリックスとカラムスペーサーの役割をいずれも遂行できるものを意味する。 In the present invention, the black matrix integrated column spacer means one that can perform both the roles of the black matrix and the column spacer in one pattern, instead of forming the black matrix and the column spacer respectively.

前記ブラックマトリックス、カラムスペーサーまたはブラックマトリックス一体型カラムスペーサーの導入は、コーティング後にフォトリソグラフィ方法を通じてパターニングして形成することができるが、これに限定されない。フォトリソグラフィ方法は本発明で特に限定されず、感光性樹脂組成物を利用した公知の方法であればいずれでも適用可能である。一例として次のような段階を含むことができる:
a)基板に黒色感光性樹脂組成物を塗布する段階;
b)溶剤を乾燥させるプリベーク段階;
c)得られた皮膜の上にフォトマスクを当てて活性光線を照射して露光部を硬化させる段階;
d)アルカリ水溶液を利用して未露光部を溶解させて現像工程を遂行する段階;および
e)乾燥およびポストベーク遂行段階
The introduction of the black matrix, column spacer or black matrix integrated column spacer can be formed by patterning through a photolithography method after coating, but is not limited thereto. The photolithography method is not particularly limited in the present invention, and any known method using a photosensitive resin composition can be applied. As an example, the following steps can be included:
a) The stage of applying the black photosensitive resin composition to the substrate;
b) Pre-baking stage to dry the solvent;
c) A step of applying a photomask on the obtained film and irradiating it with active light to cure the exposed part;
d) The step of dissolving the unexposed part using an alkaline aqueous solution to carry out the developing step; and e) the step of carrying out the drying and post-baking.

前記基板はガラス基板やポリマー板が使われる。ガラス基板としては、特にソーダ石灰ガラス、バリウムまたはストロンチウム含有ガラス、鉛ガラス、アルミノケイ酸ガラス、硼珪酸ガラス、バリウム硼珪酸ガラスまたは石英などを好ましく使うことができる。またポリマー板としては、ポリカーボネート、アクリル、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルスルフィドまたはポリスルホンなどが挙げられる。 A glass substrate or a polymer plate is used as the substrate. As the glass substrate, soda-lime glass, barium or strontium-containing glass, lead glass, aluminosilicate glass, borosilicate glass, barium-borosilicate glass, quartz and the like can be preferably used. Examples of the polymer plate include polycarbonate, acrylic, polyethylene terephthalate, polyether sulfide, polysulfone and the like.

この時、塗布は所望の厚さが得られるように、ロールコーター、スピンコーター、スリットアンドスピンコーター、スリットコーター(ダイコーターともいう)、インクジェットなどの塗布装置を利用した湿式コーティング方法によって遂行され得る。 At this time, the coating can be carried out by a wet coating method using a coating device such as a roll coater, a spin coater, a slit and spin coater, a slit coater (also referred to as a die coater), or an inkjet so that a desired thickness can be obtained. ..

前記プリベークは、オーブン、ホットプレートなどによって加熱することによって行われる。この時、プリベークにおける加熱温度および加熱時間は使う溶剤によって適宜選択され、例えば、80~150℃の温度で1~30分間行われる。 The prebaking is performed by heating with an oven, a hot plate, or the like. At this time, the heating temperature and the heating time in the prebake are appropriately selected depending on the solvent used, and are performed at a temperature of 80 to 150 ° C. for 1 to 30 minutes, for example.

また、プリベーク後に行われる露光は、露光機によって行われてフォトマスクを通じて露光することによって、パターンに対応した部分のみを感光させる。この時、照射する光は、例えば、可視光線、紫外線、X線および電子線などが可能である。 Further, the exposure performed after the prebaking is performed by an exposure machine and exposed through a photomask to expose only the portion corresponding to the pattern. At this time, the light to be irradiated can be, for example, visible light, ultraviolet light, X-ray, electron beam, or the like.

露光後のアルカリ現像非露光部分の除去されない部分の感光性樹脂組成物を除去する目的で行われて、この現像によって所望のパターンが形成される。このアルカリ現像に適合した現像液としては、例えば、アルカリ金属やアルカリ土類金属の炭酸塩の水溶液などを使うことができる。 Alkaline development after exposure This is performed for the purpose of removing the photosensitive resin composition of the unexposed portion of the unexposed portion, and the desired pattern is formed by this development. As a developing solution suitable for this alkaline development, for example, an aqueous solution of a carbonate of an alkali metal or an alkaline earth metal can be used.

前記ポストベークは、パターニングされた膜と基板との密着性を高めるために遂行し、80~220℃で10~120分の条件で熱処理を通じて行われる。ポストベークもプリベークと同様に、オーブン、ホットプレートなどを利用して遂行する。 The post-baking is carried out in order to enhance the adhesion between the patterned film and the substrate, and is carried out through heat treatment at 80 to 220 ° C. for 10 to 120 minutes. Like pre-baking, post-baking is also performed using an oven, hot plate, etc.

本発明に係る黒色感光性樹脂組成物を利用して製造されたブラックマトリックス、カラムスペーサー、ブラックマトリックス一体型カラムスペーサーは、液晶ディスプレイ、OLED、フレキシブルディスプレイなどのような多様な画像表示装置に適用可能である。 The black matrix, column spacer, and black matrix integrated column spacer manufactured by using the black photosensitive resin composition according to the present invention can be applied to various image display devices such as liquid crystal displays, OLEDs, and flexible displays. Is.

以下、本明細書を具体的に説明するために実施例を挙げて詳細に説明する。しかし、本明細書に係る実施例は多様な異なる形態に変形され得、本明細書の範囲は下記で詳述される実施例に限定されるものと解釈されない。本明細書の実施例は、当業界で平均的な知識を有する者に対して本明細書をより完全に説明するために提供されるものである。また、以下で含量を表わす「%」および「部」は、特に言及しない限り重量基準である。 Hereinafter, in order to specifically explain the present specification, examples will be given and described in detail. However, the embodiments according to the present specification can be transformed into various different forms, and the scope of the present specification is not construed to be limited to the examples detailed below. The examples herein are provided to provide a more complete description of the specification to those with average knowledge in the art. In addition, "%" and "part" indicating the content below are based on weight unless otherwise specified.

合成例:結合剤樹脂の合成
攪拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を具備したフラスコを準備した。モノマー滴下ロートとして、3,4-エポキシトリシクロデカン-8-イル(メタ)アクリレートと3,4-エポキシトリシクロデカン-9-イル(メタ)アクリレートをモル比50:50で混合した混合物40重量部、メチルメタクリレ-ト50重量部、アクリル酸40重量部、ビニルトルエン70重量部、t-ブチルパーオキシ-2-エチルヘキサノエート4重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)40重量部を添加して攪拌を準備した。連鎖移動剤滴下槽として、n-トデカンチオール6重量部、PGMEA24重量部を添加して攪拌を準備した。その後、フラスコにPGMEA395重量部を添加してフラスコ内の雰囲気を空気から窒素に取り替えた後、攪拌してフラスコの温度を90℃まで昇温させた。その後モノマーおよび連鎖移動剤を滴下ロートから滴下を開始した。滴下は90℃を維持しながら、それぞれ2時間の間進め、1時間後に110℃まで昇温して5時間の間維持して固形分酸価が100mgKOH/gである樹脂を得た。
Synthesis example: Synthesis of binder resin A flask equipped with a stirrer, a thermometer, a reflux condenser, a dropping funnel and a nitrogen introduction tube was prepared. As a monomer dropping funnel, 40 weights of a mixture of 3,4-epoxytricyclodecane-8-yl (meth) acrylate and 3,4-epoxytricyclodecane-9-yl (meth) acrylate in a molar ratio of 50:50. 50 parts by weight of methyl methacrylate, 40 parts by weight of acrylic acid, 70 parts by weight of vinyl toluene, 4 parts by weight of t-butylperoxy-2-ethylhexanoate, 40 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA). Was added to prepare stirring. As a chain transfer agent dropping tank, 6 parts by weight of n-todecanethiol and 24 parts by weight of PGMEA were added to prepare stirring. Then, 395 parts by weight of PGMEA was added to the flask to change the atmosphere in the flask from air to nitrogen, and then the temperature of the flask was raised to 90 ° C. by stirring. Then, the monomer and the chain transfer agent were dropped from the dropping funnel. The dropping was carried out for 2 hours while maintaining 90 ° C., and after 1 hour, the temperature was raised to 110 ° C. and maintained for 5 hours to obtain a resin having a solid acid value of 100 mgKOH / g.

アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)の測定は、GPC法で下記の条件で測定した。 The weight average molecular weight (Mw) and the number average molecular weight (Mn) of the alkali-soluble resin were measured by the GPC method under the following conditions.

HLC-8120GPC(東ソー(株)製造)装置を使った。TSK-GELG4000HXLとTSK-GELG2000HXLカラムを直列連結して使用し、カラムの温度は40℃にした。テトラヒドロフランを移動相の溶媒として使用し、1.0mL/分の流速で流しながら測定した。測定試料の濃度は0.6重量%であり、注入量は50μlであり、RI検出器を使って分析した。較正用標準物質としては、TSK STANDARD POLYSTYRENE F-40、F-4、F-1、A-2500、A-500(東ソー(株)製造)を使用し、前記条件で得られたアルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量と数平均分子量を測定した。 An HLC-8120GPC (manufactured by Tosoh Corporation) equipment was used. A TSK-GELG4000HXL and a TSK-GELG2000HXL column were connected in series and used, and the temperature of the column was set to 40 ° C. Tetrahydrofuran was used as the solvent for the mobile phase, and the measurement was performed while flowing at a flow rate of 1.0 mL / min. The concentration of the measurement sample was 0.6% by weight, the injection volume was 50 μl, and the analysis was performed using an RI detector. As the standard material for calibration, TSK STANDARD POLYSTYRENE F-40, F-4, F-1, A-2500, A-500 (manufactured by Tosoh Corporation) was used, and the alkali-soluble resin obtained under the above conditions was used. The weight average molecular weight and the number average molecular weight were measured.

GPCによって測定したポリスチレン換算の重量平均分子量は17、000であり、分子量分布(Mw/Mn)は2.3であった。 The polystyrene-equivalent weight average molecular weight measured by GPC was 17,000, and the molecular weight distribution (Mw / Mn) was 2.3.

黒色感光性樹脂組成物の製造:実施例1~4および比較例1~4
下記の表1による構成および組成で、実施例および比較例に係る黒色感光性樹脂組成物を製造した。
Production of Black Photosensitive Resin Compositions: Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 4
The black photosensitive resin compositions according to Examples and Comparative Examples were produced with the configurations and compositions shown in Table 1 below.

Figure 0007063614000001
Figure 0007063614000001

実験例Experimental example

(1)パターン基板の製作
5cm×5cmのガラス基板(コーニング社)を中性洗剤および水で洗浄後、乾燥させた。前記ガラス基板上に前記実施例および比較例で製造された黒色感光性樹脂組成物それぞれを最終膜厚が3.0μmとなるようにスピンコーティングし、80~120℃で先焼成して1~2分間乾燥させて溶剤を除去した。その後、露光量40~100 mJ/cmで露光してパターンを形成し、アルカリ水溶液を使って非露光部を除去した。引き続き、200~250℃で10~30分間後焼成してパターン基板を製造した。
(1) Production of Pattern Substrate A 5 cm × 5 cm glass substrate (Corning Inc.) was washed with a neutral detergent and water, and then dried. The black photosensitive resin compositions produced in the Examples and Comparative Examples were spin-coated on the glass substrate so as to have a final film thickness of 3.0 μm, and pre-baked at 80 to 120 ° C. to 1 to 2 The solvent was removed by drying for a minute. Then, it was exposed at an exposure amount of 40 to 100 mJ / cm 2 to form a pattern, and the unexposed portion was removed using an alkaline aqueous solution. Subsequently, the pattern substrate was manufactured by firing at 200 to 250 ° C. for 10 to 30 minutes.

(2)露光マージン
基準露光量から-10mJして基板を製作し、基準露光量から+10mJして基板を製作して三種の基板(基準露光量、基準露光量-10mJ、基準露光量+10mJ)でのマージン結果を表2に示した。前記製作した三種の基板に形成されたパターンの線幅を測定し比較して、工程マージン中の露光マージンに対する結果を確認した。
(2) Exposure Margin A substrate is manufactured by -10 mJ from the standard exposure amount, and a substrate is manufactured by +10 mJ from the standard exposure amount, and three types of substrates (standard exposure amount, standard exposure amount -10 mJ, standard exposure amount + 10 mJ) are used. The margin results of are shown in Table 2. The line widths of the patterns formed on the three types of substrates manufactured above were measured and compared to confirm the results for the exposure margin during the process margin.

線幅はラインパターンマスクを利用して基板の製作後に評価を進めた。評価はSNU社SIS-2000を利用して、パターン測定を進めた。 The line width was evaluated after the substrate was manufactured using a line pattern mask. For the evaluation, pattern measurement was advanced using SIS-2000 manufactured by SNU.

したがって、工程マージンのうち、露光マージンは20mJの露光範囲内の結果上の数値を利用して評価し、評価の結果、範囲は次のとおりである。 Therefore, among the process margins, the exposure margin is evaluated using the numerical value on the result within the exposure range of 20 mJ, and the result of the evaluation, the range is as follows.

優秀◎=±0.5以下、良好○=±1.0以下、不足△=±1.0超過 Excellent ◎ = ± 0.5 or less, good ○ = ± 1.0 or less, insufficient △ = ± 1.0 or more

(3)現像マージン
基準現像時間より10秒短くして基板を製作し、基準現像時間より10秒長くして基板を製作して、合計三種の基板の特性を評価した。
(3) Development Margin A substrate was manufactured 10 seconds shorter than the standard development time, and a substrate was manufactured 10 seconds longer than the standard development time, and the characteristics of a total of three types of substrates were evaluated.

形成されたパターンの線幅を測定して、工程マージン(露光マージン)を測定し、線幅はラインパターンマスクを利用して基板の製作後に評価を進めた。評価はSNU社SIS-2000を利用して、パターン測定を進めた。 The line width of the formed pattern was measured, the process margin (exposure margin) was measured, and the line width was evaluated after the substrate was manufactured using the line pattern mask. For the evaluation, pattern measurement was advanced using SIS-2000 manufactured by SNU.

現像マージンは、20sec現像工程内の結果上の数値を利用して評価し、評価の結果、範囲は次のとおりである。 The development margin is evaluated using the numerical value on the result in the 20 sec development process, and the range as a result of the evaluation is as follows.

優秀◎=±1.0以下、良好○=±1.5以下、不足△=±1.5超過 Excellent ◎ = ± 1.0 or less, good ○ = ± 1.5 or less, insufficient △ = ± 1.5 over

Figure 0007063614000002
Figure 0007063614000002

表2を参照すると、本発明に係る黒色感光性樹脂組成物を利用して形成されたパターン基板は露光マージンまたは現像マージンが優秀であるが、比較例に係る黒色感光性樹脂組成物を利用して形成されたパターン基板は露光マージンおよび現像マージンがすべて優れていないことが分かる。 Referring to Table 2, the pattern substrate formed by using the black photosensitive resin composition according to the present invention has an excellent exposure margin or development margin, but the black photosensitive resin composition according to the comparative example is used. It can be seen that the pattern substrate formed in the above-mentioned manner does not have excellent exposure margin and development margin.

Claims (9)

の官能基を含み、
酸価が10~60mgKOH/gであるモノマー;および、
結合剤樹脂を含み、
前記結合剤樹脂は、3,4-エポキシトリシクロデカン-8-イル(メタ)アクリレートと、3,4-エポキシトリシクロデカン-9-イル(メタ)アクリレート由来との繰り返し単位を含む、黒色感光性樹脂組成物。
Contains 8 functional groups
Monomers with an acid value of 10-60 mgKOH / g; and
Contains binder resin,
The binder resin comprises a repeating unit of 3,4-epoxytricyclodecane-8-yl (meth) acrylate and derived from 3,4-epoxytricyclodecane-9-yl (meth) acrylate , which is black photosensitive. Sex resin composition.
前記モノマーは、水酸基をさらに含むものである、請求項1に記載の黒色感光性樹脂組成物。 The black photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the monomer further contains a hydroxyl group. 前記モノマーは、酸価が20~40mgKOH/gであるものである、請求項1に記載の黒色感光性樹脂組成物。The black photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the monomer has an acid value of 20 to 40 mgKOH / g. 前記官能基は、エチレン性不飽和二重結合を含むものである、請求項1に記載の黒色感光性樹脂組成物。The black photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the functional group contains an ethylenically unsaturated double bond. 前記モノマーは、前記黒色感光性樹脂組成物全体100重量部に対して1.7~4.2重量部で含まれるものである、請求項1に記載の黒色感光性樹脂組成物。The black photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the monomer is contained in an amount of 1.7 to 4.2 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the entire black photosensitive resin composition. 黒色着色剤;光重合開始剤;溶剤および添加剤からなる群から選択される1以上をさらに含むものである、請求項1に記載の黒色感光性樹脂組成物。The black photosensitive resin composition according to claim 1, further comprising one or more selected from the group consisting of a black colorant; a photopolymerization initiator; a solvent and an additive. レッド顔料およびブルー顔料からなる群から選択される1以上をさらに含むものである、請求項6に記載の黒色感光性樹脂組成物。 The black photosensitive resin composition according to claim 6, further comprising one or more selected from the group consisting of a red pigment and a blue pigment. 前記ブルー顔料を含むものである、請求項7に記載の黒色感光性樹脂組成物。The black photosensitive resin composition according to claim 7, which comprises the blue pigment. 請求項1~請求項8のいずれか一項に記載された黒色感光性樹脂組成物の硬化物を含む、ブラックマトリックス、カラムスペーサーまたはブラックマトリックス一体型カラムスペーサー。A black matrix, a column spacer, or a black matrix integrated column spacer containing a cured product of the black photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 8.
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