JP7036157B2 - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents

Description

本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを噴射するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。

液体噴射ヘッドとして、例えば、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室を圧電素子等の圧力発生手段により変形させ、ノズル開口からインク滴を吐出させるヘッド本体と、該ヘッド本体に供給されるインクの流路を構成する流路部材とを備えたインクジェット式記録ヘッドが知られている。

ヘッド本体は流路部材に接続され、流路からのインクがヘッド本体に供給され、又はヘッド本体からのインクが流路に排出されるようになっている。また、流路部材には、厚さ方向に貫通して、フレキシブル配線基板が挿通される開口部が設けられている。フレキシブル配線基板は、当該開口部を挿通してヘッド本体の圧力発生手段にリード電極を介して接続されている。さらに、フレキシブル配線基板は、流路部材のヘッド本体とは反対側に配置された接続基板に接続されている。接続基板は制御部に接続されており、該制御部の制御信号が接続基板、フレキシブル配線基板を介して圧力発生手段に伝達されるようになっている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１２－８１６４４号公報

一方、液体噴射ヘッドは、高解像度とともに小型化が要求されており、流路部材も特に液体噴射面に平行な水平面における大きさを小型化することが要求されている。

しかしながら、流路部材の小型化により、流路部材のうち、フレキシブル配線基板が挿通される開口部を除いた、流路を形成可能な領域が狭くなってしまう。すなわち、前記水平面内でインクが流通するような水平流路を流路部材に設けることが困難となる。また、流路部材の流路を形成可能な領域が狭いと、流路を引き回す自由度が制約されるため、例えば、ヘッド本体の配置などに応じた最適な流路を構成することも困難となる。

なお、このような問題は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置においても同様に存在する。

本発明はこのような事情に鑑み、小型化を図り、かつ、液体流路を配置可能な領域をより大きく確保することができる流路部材を備えた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決する本発明の態様は、噴射方向へ液体を噴射する複数のノズル開口と、前記複数のノズル開口の一部から液体を噴射させるために変形する第１の圧電体層と、前記第１の圧電体層と電気的に接続される第１のフレキシブル配線基板と、前記噴射方向に貫通するとともに前記第１のフレキシブル配線基板が挿入される第１の開口部が設けられた流路部材と、を備え、前記流路部材は、前記複数のノズル開口の一部と連通する第１交差流路と、前記複数のノズル開口の一部と連通する第２交差流路と、前記複数のノズル開口の一部と連通する第３交差流路と、前記複数のノズル開口の一部と連通する第４交差流路とを画定し、前記第１、第２、第３及び第４交差流路の夫々は、前記流路部材の長手方向に延在し、前記第１及び第２交差流路は、前記噴射方向に見て少なくとも一部が重なり、前記第３及び第４交差流路は、前記噴射方向に見て少なくとも一部が重なり、前記第１の開口部は、前記長手方向と直交する方向において、前記第２交差流路と前記第４交差流路との間に配置されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
上記課題を解決する本発明の別の態様は、液体が噴射される液体噴射面を有する複数のヘッド本体と、前記ヘッド本体ごとに接続されたフレキシブル配線基板と、前記ヘッド本体ごとに液体を供給する流路が設けられた流路部材とを備え、前記流路部材は、前記フレキシブル配線基板を挿通する開口部を複数有し、前記フレキシブル配線基板は、前記ヘッド本体に対して前記流路部材側に延設され、かつ、前記ヘッド本体と前記流路部材との間において、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第１面側に傾けられ、前記流路は、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第２面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた部分を有し、前記ヘッド本体には、第１流路と第２流路とが接続されており、前記第１流路は、前記第１面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた第１分岐流路を有し、前記第２流路は、前記第２面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた第２分岐流路を有し、前記第１分岐流路は、前記第２分岐流路よりも前記液体噴射面に直交する方向において前記ヘッド本体に近いことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、フレキシブル配線基板を第１面側に傾斜させたことで、流路部材の開口部も第１面側に移動させることができ、流路部材の流路を形成可能な領域に疎密を設けることができる。流路部材の開口部よりも第１面側の密な領域をＰ、第２面側の疎な領域をＱとする。このように、流路をより広い領域Ｑに配置することができるので、ヘッド本体の配置などに応じた最適な流路を構成することが容易となる。特に、液体噴射面に沿った流路を設ける場合に、流路がフレキシブル配線基板に干渉することを防ぐことができる。また、フレキシブル配線基板との干渉を防ぐために、液体噴射面に沿った流路を第２面側に移動させて流路部材を拡幅する場合と比較すると、液体噴射ヘッドの前記方向の幅を小型化することができる。
さらに、領域Ｑにおいて、液体噴射面に垂直な方向においてヘッド本体に近い第１分岐流路を設ける場合に比べて、第２分岐流路をより高い自由度で流路部材に形成することができる。また、複数の流路を液体噴射面に直交する方向において重ねて配置することができるので、液体噴射面内における液体噴射ヘッドの形状を小型化することができる。
ここで、前記第１流路は、前記第１面側において、前記第１分岐流路と前記ヘッド本体とを接続して前記液体噴射面に垂直な方向に沿う第１垂直流路を有し、前記第２流路は、前記第２面側において、前記第２分岐流路と前記ヘッド本体とを接続して前記液体噴射面に垂直な方向に沿う第２垂直流路を有することが好ましい。これによれば、液体噴射面に垂直な方向から見た平面視において流路部材に占める第１垂直流路及び第２垂直流路の範囲は、第１分岐流路及び第２分岐流路とヘッド本体とをそれぞれ傾斜して接続する流路が占める範囲よりも小さい。すなわち、第１分岐流路及び第２分岐流路とヘッド本体とをそれぞれ第１垂直流路及び第２垂直流路で接続することで、流路部材の前記平面視における大きさを小型化することが可能となる。
また、液体が噴射される液体噴射面を有する複数のヘッド本体と、前記ヘッド本体ごとに接続されたフレキシブル配線基板と、前記ヘッド本体ごとに液体を供給する流路が設けられた流路部材とを備え、前記流路部材は、前記フレキシブル配線基板を挿通する開口部を複数有し、前記フレキシブル配線基板は、前記ヘッド本体に対して前記流路部材側に延設され、かつ、前記ヘッド本体と前記流路部材との間において、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第１面側に傾けられ、前記流路は、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第２面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた部分を有し、前記ヘッド本体には、第１流路と第２流路とが接続されており、前記第１流路は、前記フレキシブル配線基板の前記第１面側において、前記液体噴射面に平行な方向に設けられた第１分岐流路と、複数の前記第１分岐流路と接続された第１交差流路と、を有し、前記第２流路は、前記フレキシブル配線基板の前記第２面側において、前記液体噴射面に平行な方向に設けられた第２分岐流路と、複数の前記第２分岐流路と接続された第２交差流路と、を有し、前記第１交差流路と前記第２交差流路とは、前記フレキシブル配線基板の面方向において、前記フレキシブル配線基板に対して反対側にあることが好ましい。これによれば、領域Ｐにおいて分岐流路を設ける場合に比べて、分岐流路をより高い自由度で流路部材に形成することができる。また、交差流路が、フレキシブル配線基板の面方向において、互いにフレキシブル配線基板に対して反対側にあるので、複数の流路を液体噴射面に直交する方向において重ねずに配置することができ、液体噴射面に直交する方向における液体噴射ヘッドの形状を小型化することができる。
また、前記フレキシブル配線基板は、前記液体噴射面に垂直な方向において前記ヘッド本体に近い一端部、及び前記ヘッド本体から遠い他端部を有し、前記他端部は、前記一端部よりも前記フレキシブル配線基板の面方向の幅が狭く形成され、前記第２流路は、前記他端部の前記面方向の外側の領域を通るように前記流路部材に形成されていることが好ましい。これによれば、フレキシブル配線基板の面方向（面に平行な方向）においてフレキシブル配線基板の外側に第２流路を形成する領域を設けることができる。これにより、より一層、流路部材に第２流路を配置する自由度が向上する。
また、前記フレキシブル配線基板の前記第２面側に駆動回路が設けられていることが好ましい。これによれば、開口部の幅を第１面側に拡幅することで駆動回路が開口部の内面に接触することをより効果的に抑制することができ、駆動回路を保護することができる。そして、開口部の幅を第１面側に拡幅しても、上述した密な領域Ｐ側がさらに狭くなるだけであり、疎な領域Ｑ側が狭くなることを避けることができる。
本発明の他の態様は、上記液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、小型化を図り、かつ、液体流路を配置可能な領域をより大きく確保することができる流路部材を備えた液体噴射装置が提供される。
上記課題を解決する本発明の他の態様は、液体が噴射される液体噴射面を有する複数のヘッド本体と、前記ヘッド本体ごとに接続されたフレキシブル配線基板と、前記ヘッド本体ごとに液体を供給する流路が設けられた流路部材とを備え、前記流路部材は、前記フレキシブル配線基板を挿通する開口部を複数有し、前記フレキシブル配線基板は、前記ヘッド本体に対して前記流路部材側に延設され、かつ、前記ヘッド本体と前記流路部材との間において、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第１面側に傾けられ、前記流路は、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第２面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた部分を有することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、フレキシブル配線基板を第１面側に傾斜させたことで、流路部材の開口部も第１面側に移動させることができ、流路部材の流路を形成可能な領域に疎密を設けることができる。流路部材の開口部よりも第１面側の密な領域をＰ、第２面側の疎な領域をＱとする。このように、流路をより広い領域Ｑに配置することができるので、ヘッド本体の配置などに応じた最適な流路を構成することが容易となる。特に、液体噴射面に沿った流路を設ける場合に、流路がフレキシブル配線基板に干渉することを防ぐことができる。また、フレキシブル配線基板との干渉を防ぐために、液体噴射面に沿った流路を第２面側に移動させて流路部材を拡幅する場合と比較すると、液体噴射ヘッドの前記方向の幅を小型化することができる。

ここで、前記ヘッド本体には、第１流路と第２流路とが接続されており、前記第１流路は、前記第１面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた第１分岐流路を有し、前記第２流路は、前記第２面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた第２分岐流路を有し、前記第１分岐流路は、前記第２分岐流路よりも前記液体噴射面に直交する方向において前記ヘッド本体に近いことが好ましい。これによれば、領域Ｑにおいて、液体噴射面に垂直な方向においてヘッド本体に近い第１分岐流路を設ける場合に比べて、第２分岐流路をより高い自由度で流路部材に形成することができる。また、複数の流路を液体噴射面に直交する方向において重ねて配置することができるので、液体噴射面内における液体噴射ヘッドの形状を小型化することができる。

また、前記第１流路は、前記第１面側において、前記第１分岐流路と前記ヘッド本体とを接続して前記液体噴射面に垂直な方向に沿う第１垂直流路を有し、前記第２流路は、前記第２面側において、前記第２分岐流路と前記ヘッド本体とを接続して前記液体噴射面に垂直な方向に沿う第２垂直流路を有することが好ましい。これによれば、液体噴射面に垂直な方向から見た平面視において流路部材に占める第１垂直流路及び第２垂直流路の範囲は、第１分岐流路及び第２分岐流路とヘッド本体とをそれぞれ傾斜して接続する流路が占める範囲よりも小さい。すなわち、第１分岐流路及び第２分岐流路とヘッド本体とをそれぞれ第１垂直流路及び第２垂直流路で接続することで、流路部材の前記平面視における大きさを小型化することが可能となる。

また、前記ヘッド本体には、第１流路と第２流路とが接続されており、前記第１流路は、前記フレキシブル配線基板の前記第２面側において、前記液体噴射面に平行な方向に設けられた第１分岐流路と、複数の前記第１分岐流路と接続された第１交差流路と、を有し、前記第２流路は、前記フレキシブル配線基板の前記第２面側において、前記液体噴射面に平行な方向に設けられた第２分岐流路と、複数の前記第２分岐流路と接続された第２交差流路と、を有し、前記第１交差流路と前記第２交差流路とは、前記フレキシブル配線基板の面方向において、前記フレキシブル配線基板に対して反対側にあることが好ましい。これによれば、領域Ｐにおいて分岐流路を設ける場合に比べて、分岐流路をより高い自由度で流路部材に形成することができる。また、交差流路が、フレキシブル配線基板の面方向において、互いにフレキシブル配線基板に対して反対側にあるので、複数の流路を液体噴射面に直交する方向において重ねずに配置することができ、液体噴射面に直交する方向における液体噴射ヘッドの形状を小型化することができる。

また、前記フレキシブル配線基板は、前記液体噴射面に垂直な方向において前記ヘッド本体に近い一端部、及び前記ヘッド本体から遠い他端部を有し、前記他端部は、前記一端部よりも前記フレキシブル配線基板の面方向の幅が狭く形成され、前記第２流路は、前記他端部の前記面方向の外側の領域を通るように前記流路部材に形成されていることが好ましい。これによれば、フレキシブル配線基板の面方向（面に平行な方向）においてフレキシブル配線基板の外側に第２流路を形成する領域を設けることができる。これにより、より一層、流路部材に第２流路を配置する自由度が向上する。

また、前記フレキシブル配線基板の前記第２面側に駆動回路が設けられていることが好ましい。これによれば、開口部の幅を第１面側に拡幅することで駆動回路が開口部の内面に接触することをより効果的に抑制することができ、駆動回路を保護することができる。そして、開口部の幅を第１面側に拡幅しても、上述した密な領域Ｐ側がさらに狭くなるだけであり、疎な領域Ｑ側が狭くなることを避けることができる。

本発明の他の態様は、上記液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、小型化を図り、かつ、液体流路を配置可能な領域をより大きく確保することができる流路部材を備えた液体噴射装置が提供される。

本発明の実施形態１に係る記録装置の概略斜視図。 本発明の実施形態１に係るヘッドユニットの分解斜視図。 本発明の実施形態１に係るヘッドユニットの底面図。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの平面図。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの底面図。 図４のＡ－Ａ’線断面図。 本発明の実施形態１に係るヘッド本体の分解斜視図。 本発明の実施形態１に係るヘッド本体の断面図。 本発明の実施形態１のノズル開口の配置を模式的に示した図。 本発明の実施形態１に係る流路部材（第１流路部材）の平面図。 本発明の実施形態１に係る第２流路部材の平面図。 本発明の実施形態１に係る第３流路部材の平面図。 本発明の実施形態１に係る第３流路部材の底面図。 図１１～図１３のＢ－Ｂ’線断面図。 図１１～図１３のＣ－Ｃ’線断面図。 図１１～図１３のＤ－Ｄ’線断面図。 図１１～図１３のＥ－Ｅ’線断面図及び従来のヘッド本体の断面図。 本発明の実施形態１に係るヘッド本体の概略平面図。

〈実施形態１〉
本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。インクジェット式記録ヘッドは液体噴射ヘッドの一例であり、単に記録ヘッドともいう。インクジェット式記録ヘッドユニットは、液体噴射ヘッドユニットの一例であり、単にヘッドユニットともいう。インクジェット式記録装置は、液体噴射装置の一例である。図１は、本実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略構成を示す斜視図である。

図１に示すように、インクジェット式記録装置１は、ヘッドユニット１０１を備え、被噴射媒体である紙などの記録シートＳを搬送することで印刷を行う、所謂ライン式記録装置である。

具体的には、インクジェット式記録装置１は、装置本体２と、複数の記録ヘッド１００を有するヘッドユニット１０１と、記録シートＳを搬送する搬送手段４と、ヘッドユニット１０１と相対向する記録シートＳを支持する支持部材７とを具備する。なお、本実施形態では、記録シートＳの搬送方向をＸ方向とする。また、ヘッドユニット１０１のノズル開口が設けられた液体噴射面内において、Ｘ方向と直交する方向をＹ方向とする。さらに、Ｘ方向及びＹ方向に直交する方向をＺ方向とする。また、Ｘ方向において、記録シートＳを搬送する上流側をＸ１側、下流側をＸ２側とし、Ｙ方向において一方をＹ１側、他方をＹ２側とし、Ｚ方向において液体噴射方向側（記録シートＳ側）をＺ１側、反対側をＺ２側とする。

ヘッドユニット１０１は、複数の記録ヘッド１００と、複数の記録ヘッド１００を保持するヘッド固定基板１０２とを具備する。

複数の記録ヘッド１００は、搬送方向であるＸ方向に交差する方向であるＹ方向に並設されてヘッド固定基板１０２に固定されている。なお、本実施形態では、複数の記録ヘッド１００は、Ｙ方向の直線上に並設されている。すなわち、複数の記録ヘッド１００は、Ｘ方向にずれて配置されていない。これにより、ヘッドユニット１０１のＸ方向の幅を狭くして、ヘッドユニット１０１の小型化を図ることができる。

ヘッド固定基板１０２は、複数の記録ヘッド１００のノズル開口が記録シートＳ側に向くように、複数の記録ヘッド１００を保持するものであり、装置本体２に固定されている。

搬送手段４は、記録シートＳをヘッドユニット１０１に対して、Ｘ方向に搬送する。搬送手段４は、例えば、ヘッドユニット１０１に対して記録シートＳの搬送方向であるＸ方向の両側に設けられた第１の搬送ローラー５と、第２の搬送ローラー６とを具備する。このような第１の搬送ローラー５と第２の搬送ローラー６とによって、記録シートＳをＸ方向に搬送する。なお、記録シートＳを搬送する搬送手段４は、搬送ローラーに限定されず、ベルトやドラム等であってもよい。

支持部材７は、ヘッドユニット１０１に相対向する位置で、搬送手段４によって搬送される記録シートＳを支持する。支持部材７は、例えば、断面が矩形状を有する金属又は樹脂等からなり、第１の搬送ローラー５と第２の搬送ローラー６との間にヘッドユニット１０１に相対向して設けられている。

なお、支持部材７には、搬送された記録シートＳを支持部材７上で吸着する吸着手段が設けられていてもよい。吸着手段としては、例えば、記録シートＳを吸引することで吸引吸着するものや、静電気力で記録シートＳを静電吸着するもの等が挙げられる。また、例えば、搬送手段４がベルトやドラムである場合、支持部材７は、ヘッドユニット１０１に相対向する位置で、ベルト上やドラム上に記録シートＳを支持する。

ヘッドユニット１０１の各記録ヘッド１００には、図示していないが、インクが貯留されたインクタンクやインクカートリッジなどの液体貯留手段がインクを供給可能に接続されている。液体貯留手段は、例えば、ヘッドユニット１０１上に保持されていても、また、装置本体２内のヘッドユニット１０１とは異なる位置に保持されていてもよい。また、液体貯留手段から供給されたインクを記録ヘッド１００に供給するための流路等をヘッド固定基板１０２の内部に設けるようにしてもよく、ヘッド固定基板１０２にインク流路部材を設け、インク流路部材を介して液体貯留手段からのインクを記録ヘッド１００に供給するようにしてもよい。もちろん、液体貯留手段からヘッド固定基板１０２又はヘッド固定基板１０２に固定されたインク流路部材等を介さずに、記録ヘッド１００に直接インクが供給されてもよい。

このようなインクジェット式記録装置１では、第１の搬送ローラー５によって記録シートＳがＸ方向に搬送され、ヘッドユニット１０１によって支持部材７上で支持された記録シートＳに印刷が実行される。印刷された記録シートＳは、第２の搬送ローラー６によってＸ方向に搬送される。

ヘッドユニット１０１について図２及び図３を参照して詳細に説明する。図２は本実施形態に係るヘッドユニットを示す分解斜視図であり、図３はヘッドユニットの液体噴射面側の底面図である。

本実施形態のヘッドユニット１０１は、複数の記録ヘッド１００と、複数の記録ヘッド１００を保持するヘッド固定基板１０２とを具備する。記録ヘッド１００は、ノズル開口２１が設けられた液体噴射面２０ａをＺ方向のＺ１側に有する。各記録ヘッド１００は、ヘッド固定基板１０２の記録シートＳに相対向する面側、すなわち、Ｚ方向の記録シートＳ側であるＺ１側に固定されている。

前述のように、複数の記録ヘッド１００は、搬送方向であるＸ方向に直交するＹ方向に直線上に並設されてヘッド固定基板１０２に固定されている。すなわち、複数の記録ヘッド１００は、Ｘ方向にずれて配置されていない。これにより、ヘッドユニット１０１のＸ方向の幅を狭くして、ヘッドユニット１０１の小型化を図ることができる。もちろん、Ｙ方向に並設された記録ヘッド１００をＸ方向にずらして配置するようにしてもよいが、記録ヘッド１００をＸ方向に大きくずらすと、ヘッド固定基板１０２等のＸ方向の幅が広くなってしまう。このようにヘッドユニット１０１のＸ方向の大きさが大きくなると、インクジェット式記録装置１における第１の搬送ローラー５と第２の搬送ローラー６とのＸ方向の距離が遠くなり、記録シートＳの姿勢の固定が困難になる。また、ヘッドユニット１０１及びインクジェット式記録装置１が大型化してしまう。

なお、本実施形態では、ヘッド固定基板１０２に４個の記録ヘッド１００を固定するようにしたが、記録ヘッド１００の数は２個以上であれば、特にこれに限定されるものではない。

図２、図４～図６を用いて記録ヘッド１００について説明する。図４は記録ヘッドの平面図であり、図５は記録ヘッドの底面図であり、図６は図４のＡ－Ａ’線断面図である。なお、図４は記録ヘッド１００のＺ方向のＺ２側の平面図であり、保持部材１２０の図示を省略している。

記録ヘッド１００は、複数のヘッド本体１１０と、各ヘッド本体１１０に接続されたＣＯＦ基板９８と、各ヘッド本体にインクを供給する流路が設けられた流路部材２００とを備えている。さらに、本実施形態では、記録ヘッド１００は複数のヘッド本体１１０を保持する保持部材１２０と、ヘッド本体１１０の液体噴射面２０ａ側に設けられた固定板１３０と、中継基板１４０とを備えている。

ヘッド本体１１０は、インクの流路が設けられた保持部材１２０及び流路部材２００からインクが供給され、インクジェット式記録装置１に設けられた制御部（図示せず）から中継基板１４０及びＣＯＦ基板９８を介して制御信号が伝達され、該制御信号に基づいてインク滴を吐出するものである。ヘッド本体１１０の詳細な構成は後述する。

各ヘッド本体１１０は、Ｚ方向のＺ１側にノズル開口２１が設けられた液体噴射面２０ａを有する。また、複数のヘッド本体１１０のＺ２側が、流路部材２００のＺ１側の面に接着されている。

流路部材２００は、ヘッド本体１１０に供給されるインクの液体流路が設けられた部材である。流路部材２００の詳細な構成は後述するが、流路部材２００には、Ｚ１側の面に、複数のヘッド本体１１０がＹ方向に並設されて接着されている。また、流路部材２００に設けられた液体流路は、各ヘッド本体１１０の液体流路に連通しており、流路部材２００から各ヘッド本体１１０にインクが供給されるようになっている。

本実施形態では、１つの流路部材２００に６個のヘッド本体１１０が接着されている。もちろん、１つの流路部材２００に固定するヘッド本体１１０の数は上述したものに限定されず、１つの流路部材２００に対してヘッド本体１１０が１個であっても、また、２個以上の複数であってもよい。

また、流路部材２００には、Ｚ方向に貫通した開口部２０１が設けられており、該開口部２０１には、一端がヘッド本体１１０に接続されたＣＯＦ基板９８が挿通している。

ＣＯＦ基板９８は、フレキシブル配線基板の一例である。フレキシブル配線基板は、可撓性を有する基板上に配線が形成されたものである。また、ＣＯＦ基板９８は、ヘッド本体１１０に設けられた圧力発生手段を駆動する駆動回路９７（図７参照）を備えている。

中継基板１４０は、表面に配線、ＩＣ、抵抗等の電装部品が実装された基板であり、保持部材１２０と流路部材２００との間に配置されている。中継基板１４０には、流路部材２００に設けられた開口部２０１と連通した貫通部１４１が形成されている。各貫通部１４１の開口形状は、流路部材２００の開口部２０１よりも大きく形成されている。

ヘッド本体１１０の圧力発生手段に接続されたＣＯＦ基板９８は、開口部２０１及び貫通部１４１を挿通し、中継基板１４０のＺ２側の面に設けられた端子（図示せず）に接続されている。

特に図示しないが、中継基板１４０には、インクジェット式記録装置１の制御部に接続されている。このため、当該制御部から送られる駆動信号等を中継基板１４０を通じてＣＯＦ基板９８の駆動回路９７に伝達され、駆動回路９７によりヘッド本体１１０の圧力発生手段が駆動されるようになっている。これにより、記録ヘッド１００のインクの噴射動作が制御されている。

保持部材１２０は、Ｚ１側に溝状の空間を形成する保持部１２１を有する。保持部１２１は、保持部材１２０のＺ１側の面に、Ｙ方向に亘って連続して設けられることで、Ｙ方向の両側面に開口して設けられている。また、保持部材１２０は、保持部１２１をＸ方向の略中央部に設けることで、当該保持部１２１のＸ方向の両側には、足部１２２が形成されている。すなわち、足部１２２は、保持部材１２０のＺ１側の面に、Ｘ方向の両端部のみに設けられており、Ｙ方向の両端部には設けられていない。なお、本実施形態では保持部材１２０は一部材からなるが、このような態様に限定されず、複数の部材がＺ方向に積層されて構成されていてもよい。

このような保持部１２１内に、中継基板１４０、流路部材２００、複数のヘッド本体１１０が収容されている。具体的には、流路部材２００のＺ１側の面に各ヘッド本体１１０が接着剤等で接合され、流路部材２００のＺ２側の面に中継基板１４０が固定されている。このように一体的に構成された中継基板１４０、流路部材２００及び複数のヘッド本体１１０が保持部１２１内に収容されている。

保持部材１２０と流路部材２００とは、保持部１２１及び流路部材２００のＺ方向で相対向する面同士が接着剤によって接着されている。中継基板１４０は、保持部１２１と流路部材２００とで挟まれた空間に収容されている。なお、接着剤による接着に代わり、ネジなどの固定手段により保持部材１２０と流路部材２００とを一体化してもよい。

また、保持部材１２０には、特に図示しないが、インクが流通する流路や異物等を捕獲するフィルター等が形成されている。これらの保持部材１２０の流路は、流路部材２００の液体流路に連通している。これにより、インクジェット式記録装置１に設けられた液体貯留手段からのインクが保持部材１２０及び流路部材２００を介してヘッド本体１１０に供給されるようになっている。

固定板１３０は、記録ヘッド１００の液体噴射面２０ａ側、すなわち、記録ヘッド１００のＺ方向のＺ１側に設けられ、各記録ヘッド１００を保持する部材である。固定板１３０は、例えば、金属等の板状部材を折り曲げることで形成されたものである。具体的には固定板１３０は、液体噴射面２０ａ側に設けられたベース部１３１と、ベース部１３１のＹ方向の両端部がＺ方向のＺ２側に屈曲して設けられた折り曲げ部１３２とを具備する。

また、ベース部１３１には、各ヘッド本体１１０のノズル開口２１を露出するための開口である露出開口部１３３が設けられている。本実施形態では、露出開口部１３３は、ヘッド本体１１０毎に独立して開口するように設けられている。すなわち、本実施形態の記録ヘッド１００は、６個のヘッド本体１１０を有するため、ベース部１３１には６個の独立した露出開口部１３３が設けられている。もちろん、ヘッド本体１１０の構成等によっては、複数のヘッド本体１１０で構成されるヘッド本体群に対して１つの共通する露出開口部１３３を設けるようにしてもよい。

このようなベース部１３１によって、保持部材１２０の保持部１２１のＺ１側が覆われている。ベース部１３１は、図６に示すように、保持部材１２０のＺ方向のＺ１側の面、すなわち、足部１２２のＺ１側の端面に接着剤を介して接合されている。

また、折り曲げ部１３２は、ベース部１３１のＹ方向の両端部に設けられており、保持部１２１のＹ方向の側面に開口する開口面積を覆う大きさで形成されている。すなわち、折り曲げ部１３２は、ベース部１３１のＹ方向の端部から固定板１３０の縁部までの領域のことである。そして、このような折り曲げ部１３２は、保持部材１２０のＹ方向の側面に接着剤を介して接合されている。これにより、保持部１２１のＹ方向の側面への開口は、折り曲げ部１３２によって覆われて封止されている。

このように、固定板１３０が保持部材１２０に接着剤により接着されることで、保持部材１２０と固定板１３０との間の空間である保持部１２１内にヘッド本体１１０が配置される。

上述したように、本実施形態に係る記録ヘッド１００は、１つの記録ヘッド１００に対して複数のヘッド本体１１０を設けてノズル列の多列化を図ることで、１つの記録ヘッド１００に対して１つのヘッド本体１１０のみにノズル列を複数列設けて多列化する場合に比べて、歩留まりを向上することができる。すなわち、単体のヘッド本体１１０でのノズル列の多列化を行うのは、ヘッド本体１１０の歩留まりが低下すると共に製造コストが高価になってしまう。これに対して、複数のヘッド本体１１０によってノズル列の多列化を行うことで、ヘッド本体１１０の歩留まりを向上して製造コストを低減することができる。

また、保持部材１２０のＹ方向の側面の開口は、固定板１３０の折り曲げ部１３２により封止される。これにより、保持部材１２０のＹ方向の両側（図３に示したハッチ部分）に固定板１３０のベース部１３１と接着するために足部がなくても、保持部１２１のＹ方向の側面に設けられた開口からの水分蒸発を抑制することができる。

したがって、Ｙ方向に記録ヘッド１００を並設したヘッドユニット１０１は、Ｙ方向において隣り合う記録ヘッド１００側に足部１２２が存在しないことから、Ｙ方向で隣り合う記録ヘッド１００の間隔を狭くすることができる。これにより、Ｙ方向で隣り合う記録ヘッド１００のヘッド本体１１０同士を近接して設けることができ、隣り合う記録ヘッド１００の各ヘッド本体１１０に設けられたノズル開口２１をＹ方向で近接させて設けることができる。

なお、本実施形態に係る記録ヘッド１００は、保持部材１２０のＸ方向の両側に足部１２２を設けるようにしたが、足部１２２を設けないようにしてもよい。すなわち、保持部材１２０のＺ１側の面にヘッド本体１１０が接着され、固定板１３０のＸ方向及びＹ方向の両側に折り曲げ部１３２を設けるようにしてもよい。すなわち、固定板１３０には、液体噴射面２０ａの面内方向における全周に亘って折り曲げ部１３２が設けられており、保持部材１２０の側面の全周に亘って固定板１３０が接着されていてもよい。ただし、本実施形態のように保持部材１２０のＸ方向の両側に足部１２２を設けることで、足部１２２のＺ１側の端面を固定板１３０のベース部１３１に接着することにより、インクジェット式記録ヘッド１００のＺ方向の強度を向上することができるとともに、足部１２２からの水分蒸発を抑制することができる。

図７及び図８を用いて、ヘッド本体１１０について説明する。図７は本実施形態に係るヘッド本体の斜視図であり、図８はヘッド本体のＹ方向の断面図である。もちろん、ヘッド本体１１０の構成は以下の構成に限定されない。

本実施形態のヘッド本体１１０は、圧力発生室１２、ノズル開口２１、マニホールド９５、圧力発生手段等を備える。そのために、流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、保護基板３０、コンプライアンス基板４５、ケース４０等の複数の部材が接着剤等によって接合されている。

流路形成基板１０には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２が複数のノズル開口２１の並設方向に沿って並設されている。なお、本実施形態では、この圧力発生室１２の並設方向は、Ｘａ方向と称する。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２がＸａ方向に並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力発生室１２の列が複数列設された列設方向を、以降、Ｙａ方向と称する。なお、本実施形態では、Ｘａ方向及びＹａ方向に直交する方向は、Ｚ方向と一致する。また、本実施形態のヘッド本体１１０は、ノズル開口２１の並設方向であるＸａ方向が、記録シートＳの搬送方向であるＸ方向に対して傾斜した方向となるようにヘッドユニット１０１に搭載される。

また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２のＹａ方向の一端部側に、当該圧力発生室１２よりも開口面積が狭く、圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を付与する供給路等が設けられていてもよい。

流路形成基板１０の一方面側には、連通板１５が接合されている。また、連通板１５には、各圧力発生室１２に連通する複数のノズル開口２１が設けられたノズルプレート２０が接合されている。本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル開口２１が開口するＺ方向のＺ１側が液体噴射面２０ａとなっている。

連通板１５には、圧力発生室１２とノズル開口２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このようにノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることでコストの削減を図ることができる。

また、連通板１５には、マニホールド９５の一部を構成する第１マニホールド１７と、第２マニホールド１８とが設けられている。第１マニホールド１７は、連通板１５をＺ方向に貫通して設けられている。第２マニホールド１８は、連通板１５をＺ方向に貫通することなく、連通板１５のノズルプレート２０側に開口してＺ方向の途中まで設けられている。

さらに、連通板１５には、圧力発生室１２のＹ方向の一端部に連通する供給連通路１９が、圧力発生室１２毎に独立して設けられている。この供給連通路１９は、第２マニホールド１８と圧力発生室１２とを連通する。

ノズルプレート２０には、各圧力発生室１２とノズル連通路１６を介して連通するノズル開口２１が形成されている。複数のノズル開口２１がＸａ方向に並設され、それぞれの並設されたノズル開口２１が２つのノズル列ａ及びノズル列ｂをなし、このノズル列ａ、ノズル列ｂがＹａ方向に並設されている。なお、本実施形態では、詳細は後述するが、ノズル列ａ及びノズル列ｂのそれぞれは、２つに分割して１列で２種類の液体を噴射できるようになっている。

一方、流路形成基板１０の連通板１５とは反対面側には、振動板５０が形成されている。また、振動板５０上には、第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とが順次積層されることで、本実施形態の圧力発生手段である圧電アクチュエーター３００が構成されている。一般的には圧電アクチュエーター３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層を圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。

また、流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００側の面には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター３００を保護するための空間である保持部３１を有する。また、保護基板３０には、Ｚ方向に貫通する貫通孔３２が設けられている。圧電アクチュエーター３００の電極から引き出されたリード電極９０の端部は、この貫通孔３２内に露出するように延設され、リード電極９０とＣＯＦ基板９８とが、貫通孔３２内で電気的に接続されている。

また、保護基板３０及び連通板１５には、複数の圧力発生室１２に連通するマニホールド９５を画成するケース４０が固定されている。ケース４０は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接合されると共に、上述した連通板１５にも接合されている。具体的には、ケース４０は、保護基板３０側に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの凹部４１を有する。この凹部４１は、保護基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部４１に流路形成基板１０等が収容された状態で凹部４１のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止されている。これにより、流路形成基板１０の外周部には、ケース４０と流路形成基板１０及び保護基板３０とによって第３マニホールド４２が画成されている。そして、この第３マニホールド４２と、連通板１５に設けられた第１マニホールド１７及び第２マニホールド１８とによって本実施形態のマニホールド９５が構成されている。なお、上述したように１列のノズル列で２種類の液体を噴射できるようになっているので、マニホールド９５を構成する第１マニホールド１７、第２マニホールド１８及び第３マニホールド４２は、それぞれノズル列方向、すなわち、Ｘａ方向で２つに分割されている。例えば、第１マニホールド１７は、図７に示すように、第１マニホールド１７ａと第１マニホールド１７ｂとからなる。第２マニホールド１８及び第３マニホールド４２も同様に２つに分割され、マニホールド９５全体としてもＸａ方向に２つ分割されている。

本実施形態では、マニホールド９５を構成する第１マニホールド１７、第２マニホールド１８及び第３マニホールド４２は、それぞれノズル列ａ及びノズル列ｂを挟んで対称に配置されている。これによれば、ノズル列ａ及びノズル列ｂ毎に異なる液体を噴射することも可能となる。勿論、マニホールドの配置はこれに限定されるものではない。

また、本実施形態では、後述するように４種の液体を噴射できるように、各ノズル列に対応するマニホールドをＸａ方向で２つに分割して合計４つのマニホールド９５としているが、ノズル列ａ及びノズル列ｂ毎に形成されたマニホールドとしてもよいし、また、ノズル列ａ及びノズル列ｂの２列に対して共通の１つのマニホールドとしてもよい。

また、連通板１５の第１マニホールド１７及び第２マニホールド１８が開口する面には、コンプライアンス基板４５が設けられている。このコンプライアンス基板４５が、第１マニホールド１７と第２マニホールド１８の開口を封止している。

このようなコンプライアンス基板４５は、本実施形態では、封止膜４６と、固定基板４７とを具備する。封止膜４６は、可撓性を有する薄膜（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）やステンレス鋼（ＳＵＳ）等）により形成されている。また、固定基板４７は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定基板４７のマニホールド９５に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４８となっているため、マニホールド９５の一方面は可撓性を有する封止膜４６のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部４９となっている。

また、固定板１３０は、コンプライアンス基板４５の連通板１５とは反対面側に接着される。すなわち、固定板１３０のベース部１３１に設けられた露出開口部１３３は、ノズルプレート２０の面積よりも広い開口面積を有し、露出開口部１３３内でノズルプレート２０の液体噴射面２０ａを露出する。もちろん、固定板１３０は、これに限定されず、例えば、固定板１３０の露出開口部１３３をノズルプレート２０の外形よりも小さな開口面積とし、固定板１３０をノズルプレート２０の液体噴射面２０ａに当接又は接着するようにしてもよい。また、固定板１３０の露出開口部１３３をノズルプレート２０の外形よりも小さな開口面積とした場合であっても、固定板１３０と液体噴射面２０ａとが接しないように設けるようにしてもよい。すなわち、固定板１３０が液体噴射面２０ａ側に設けられているとは、液体噴射面２０ａに接していないものも、また、液体噴射面２０ａに接するものも含むものである。

なお、ケース４０には、マニホールド９５に連通して各マニホールド９５にインクを供給するための導入路４４が設けられている。また、ケース４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通してＣＯＦ基板９８が挿通される接続口４３が設けられている。

このような構成のヘッド本体１１０では、インクを噴射する際に、貯留手段から導入路４４を介してインクを取り込み、マニホールド９５からノズル開口２１に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路９７からの信号に従い、圧力発生室１２に対応する各圧電アクチュエーター３００に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター３００と共に振動板をたわみ変形させる。これにより、圧力発生室１２内の圧力が高まり所定のノズル開口２１からインク滴が噴射される。

ここで、図５及び図９を用いて、ヘッド本体１１０のノズル列を構成するノズル開口２１の並設方向が、記録シートＳの搬送方向であるＸ方向に対して傾斜して設けられている点について詳細に説明する。図９は本実施形態に係るヘッド本体のノズル開口の配置を模式的に示した説明図である。

複数のヘッド本体１１０は、液体噴射面２０ａの面内方向において、記録シートＳの搬送方向であるＸ方向に対してノズル列ａ、ノズル列ｂが傾斜するように固定されている。ここでいうノズル列は複数のノズル開口２１が所定の方向に並設されたものをいう。本実施形態では、液体噴射面２０ａには、所定の方向としてＸａ方向に複数のノズル開口２１が並設された２列のノズル列ａ及びノズル列ｂが液体噴射面２０ａに設けられている。Ｘａ方向は、前記Ｘ方向に対して、０度より大きく９０度未満の角度で交差した方向となっている。ここで、Ｘ方向とＸａ方向とは、０度より大きく４５度未満の角度で交差することが好ましい。これによると、４５度より大きく９０度未満の角度で交差する場合と比較すると、Ｙ方向におけるノズル開口２１同士の間隔Ｄ１をより小さくでき、Ｙ方向に高解像度の記録ヘッド１００を実現することができる。もちろん、Ｘ方向とＸａ方向とを、４５度より大きく９０度未満の角度で交差するようにしてもよい。

なお、Ｘ方向とＸａ方向とが０度より大きく４５度未満の角度で交差するとは、液体噴射面２０ａの面内においてＸ方向と４５度で交差する直線よりも、ノズル列がＸ方向に向けてより傾斜している状態をいう。また、ここでいう間隔Ｄ１は、ノズル列ａ及びノズル列ｂのノズル開口２１を、Ｙ方向の仮想線に対して、Ｘ方向に投影した場合のノズル開口２１同士の間隔である。また、ノズル列ａ及びノズル列ｂのノズル開口２１をＸ方向の仮想線に対して、Ｙ方向に投影した場合のノズル開口２１同士の間隔をＤ２とする。

また、図９に示すように、本実施形態では、１つのノズル列で２種類、２つのノズル列で４種類の液体を噴射できるようになっている。すなわち、４色のインクを使用すると仮定すると、例えば、ノズル列ａでは、ブラックＢｋとマゼンタＭ、ノズル列ｂでは、シアンＣとイエローＹを噴射できるようになっている。また、ノズル列ａとノズル列ｂとは同じ数のノズル開口２１を有し、ノズル列ａのノズル開口２１のＹ方向の位置と、ノズル列ｂのノズル開口２１のＹ方向の位置とは、Ｘ方向で重なっている。

ヘッド本体１１０ａ～１１０ｃは、同様なノズル列ａ、ｂを有しており、ヘッド本体１１０ａ～１１０ｃがＹ方向に近接して設けられることにより、Ｙ方向に隣接するヘッド本体１１０の各ノズル開口２１が、互いにＸ方向で重なるように並設されている。よって、例えばヘッド本体１１０ａのマゼンタＭのノズル列ａとイエローＹのノズル列ｂとが、ヘッド本体１１０ｂのブラックＢｋのノズル列ａとシアンＣのノズル列ｂとにＸ方向で重なることで、Ｘ方向の一列に４色が並ぶようになり、カラーイメージを印刷することができる。また、Ｙ方向に隣接するヘッド本体１１０ｂとヘッド本体１１０ｃについても、同様に、各ノズル開口２１が、互いにＸ方向で重なるように並設されている。

さらに、隣接するヘッド本体１１０が有する同じ色のノズル列のうち少なくとも一部のノズル開口２１が互いにＸ方向で重なるように配置されていることで、ヘッド本体１１０間のつなぎ目の画質を向上することができる。すなわち、例えば、ヘッド本体１１０ａのマゼンタＭのノズル列ａの１つのノズル開口２１とヘッド本体１１０ｂのマゼンタＭのノズル列ａの１つのノズル開口２１とが、互いにＸ方向で重なるように配置されており、この互いに重なる２つのノズル開口２１からの噴射を制御することにより、隣接するヘッド本体１１０間のつなぎ目においてバンディングや筋といった画質の劣化を防ぐことができる。また、図９に示す例では、１つのノズル開口２１のみがＸ方向に重なっているが、２つ以上のノズル開口２１がＸ方向に重なっていてもよい。

このような色の配置は、勿論これに限定されるものではない。例えば、特に図示しないが、１つのノズル列で、ブラックＢｋ、マゼンタＭ、シアンＣ及びイエローＹの４色を噴射できるように配置してもよい。

上述したように、ヘッド本体１１０を複数有する記録ヘッド１００をヘッド固定基板１０２に４個固定してヘッドユニット１０１を構成しているが、図５の直線Ｌに示すように、隣接する記録ヘッド１００同士でノズル列の一部がＸ方向で重なるように配置されている。すなわち、１つの記録ヘッド１００において隣接するヘッド本体１１０の関係と同様に、Ｙ方向に隣接する記録ヘッド１００間において隣接するヘッド本体１１０がＹ方向に近接して設けられることにより、隣接する記録ヘッド１００間において、カラーイメージを印刷できるとともに、隣接する記録ヘッド１００間のつなぎ目の画質を向上することができる。もちろん、隣接する記録ヘッド１００間においてＸ方向に重なるノズル開口２１の数は、１つの記録ヘッド１００におけるヘッド本体１１０間においてＸ方向に重なるノズル開口２１の数と同じである必要はない。

このように、ヘッド本体１１０間のノズル列と、記録ヘッド１００間のノズル列とがＸ方向で一部重なることにより、つなぎ目の画質を向上することができる。

また、各ノズル列のＸａ方向において隣接するノズル開口２１間において、Ｘ方向の間隔Ｄ１とＹ方向の間隔Ｄ２とは整数比となるように、ノズルピッチやＸ方向とＸａ方向の角度を設定するのが好ましい。これによれば、Ｘ方向及びＹ方向にマトリクス状に配置された画素から構成されるイメージデータを印刷する場合に、各ノズルと画素との対応付けが容易となる。なお、もちろん、このような整数比に限定されるものではない。

本実施形態の記録ヘッド１００は、図５に示すように、液体噴射面２０ａ側から平面視した際に、略平行四辺形となる形状を有する。これは、上述したように、各ヘッド本体１１０のノズル列ａ、ノズル列ｂを構成するノズル開口２１の並設方向であるＸａ方向が、記録シートＳの搬送方向であるＸ方向に対して傾斜して設けられており、このノズル列ａ、ノズル列ｂの傾斜する方向であるＸａ方向と同じように記録ヘッド１００の外形、すなわち、固定板１３０を略平行四辺形となるように形成したからである。もちろん、記録ヘッド１００の液体噴射面２０ａ側から平面視した際の形状は、略平行四辺形に限定されず、台形の矩形状や多角形状等であってもよい。

なお、以上説明した実施形態では、１つのヘッド本体に２列のノズル列を設けた例を説明したが、３列以上のノズル列を有するものであっても同様に上述した効果を奏することはいうまでもない。なお、本実施形態のように、１つのヘッド本体１１０に設けられたノズル列が２列であれば、図７のように、それぞれのノズル列に対応した２つのマニホールド９５の間に、それぞれのノズル列のノズル開口２１を配置することができるので、複数のノズル列のノズル開口２１がそれぞれのノズル列に対応したマニホールドに対して同じ側に配置される場合と比較すると、２列のノズル列のＹａ方向の間隔を狭めることができる。ゆえに、２列のノズル列に対して１つのノズルプレート２０に要する面積を小さくすることができる。また、２列のノズル列のそれぞれの圧電アクチュエーター３００とＣＯＦ基板９８との接続も容易になる。

また、本実施形態では、各ノズル列ａ、ｂは、同じ数のノズル開口２１を有している。これによれば、各ノズル列間のＸ方向におけるオーバーラップ数を同じにでき、効率的な液体噴射ができる。しかしながら、各ノズル列のノズル開口の数は、必ずしも同じである必要はない。さらに、ノズル列ａ、ｂが噴射する液体の種類は全て同じであってもよく、例えば全て同じ色のインクを使用してもよい。

また、本実施形態では、ヘッド本体１１０は、２列のノズル列に対して１つのノズルプレート２０を有することが好ましい。これによれば、各ノズル列の配置がさらに高精度に実現できる。もちろん、ノズル列毎に別のノズルプレート２０を設けてもよい。なお、ノズルプレート２０は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）板やシリコン基板などから構成される。

図１０～図１６を用いて、本実施形態に係る流路部材２００について詳細に説明する。図１０は流路部材２００としての第１流路部材の平面図であり、図１１は流路部材２００としての第２流路部材の平面図であり、図１２は流路部材２００としての第３流路部材の平面図であり、図１３は第３流路部材の底面図であり、図１４は図１０～図１３のＢ－Ｂ’線断面図であり、図１５は図１０～図１３のＣ－Ｃ’線断面図であり、図１６は図１０～図１５のＤ－Ｄ’線断面図である。なお、図１０～図１２はＺ２側の平面図であり、図１３はＺ１側の底面図である。

流路部材２００は、インクが流通する流路２４０が設けられた部材である。本実施形態では、Ｚ方向に積層された３つの第１流路部材２１０、第２流路部材２２０及び第３流路部材２３０と、複数の流路２４０とを備えている。Ｚ方向において、保持部材１２０側（図２参照）からヘッド本体１１０側に向かって、第１流路部材２１０、第２流路部材２２０、第３流路部材２３０の順で積層されている。特に図示しないが、接着剤により第１流路部材２１０、第２流路部材２２０及び第３流路部材２３０は接着固定されているが、このような態様に限定されず、例えばネジなどの固定手段により第１流路部材２１０、第２流路部材２２０及び第３流路部材２３０を一体化してもよい。また、特に材料の限定はないが、例えばＳＵＳなどの金属や樹脂により形成することができる。

流路２４０は、上流の部材（本実施形態では保持部材１２０）から供給されるインクが導入される導入流路２８０と、該インクをヘッドに供給する出口となる接続部２９０とを両端とする流路である。本実施形態では、４つの流路２４０が形成されており、各流路２４０は、一つの導入流路２８０にインクが供給され、途中で分岐して複数の接続部２９０からインクがヘッド本体１１０に供給するように構成されている。

４つの流路２４０のうち一部は第１流路２４１、残りは第２流路２４２とされている。本実施形態では、第１流路２４１及び第２流路２４２は２つずつ形成されている。２つの第１流路２４１のそれぞれを第１流路２４１ａ、第１流路２４１ｂとする。以降、第１流路２４１と記載した際には、第１流路２４１ａ及び第１流路２４１ｂの双方を指しているものとする。第２流路２４２についても同様である。

第１流路２４１は、第１導入流路２８１を備えている。第１導入流路２８１は、第１流路２４１のうち、後述する第１交差流路２５１と、流路部材２００よりも上流の流路（本実施形態では保持部材１２０が有する流路）とを接続する流路である。本実施形態では、２つの第１流路２４１ａ及び第１流路２４１ｂは、それぞれ第１導入流路２８１ａ及び第１導入流路２８１ｂを有している。

具体的には、第１導入流路２８１ａは、第１流路部材２１０のＺ２側の表面に設けられた突部２１２の頂面に開口してＺ方向に貫通した貫通孔２１１と、第２流路部材２２０のＺ方向に貫通した貫通孔２２１とが連通したものである。第１導入流路２８１ｂも同様である。以降、第１導入流路２８１と記載した際には、第１導入流路２８１ａ及び第１導入流路２８１ｂを指すものとする。

第２流路２４２は、第２導入流路２８２を備えている。第２導入流路２８２は、第２流路２４２のうち、後述する第２交差流路２５２と、流路部材２００よりも上流の流路（本実施形態では保持部材１２０が有する流路）とを接続する流路である。本実施形態では、２つの第２流路２４２ａ及び第２流路２４２ｂは、それぞれ第２導入流路２８２ａ及び第２導入流路２８２ｂを有している。

具体的には、第２導入流路２８２ａは、第１流路部材２１０のＺ２側の表面に設けられた突部２１３の頂面に開口してＺ方向に貫通した貫通孔である。第２導入流路２８２ｂも同様である。以降、第２導入流路２８２と記載した際には、第２導入流路２８２ａ及び第２導入流路２８２ｂを指すものとする。

さらに、導入流路２８０と記載した際には、上述した４つの導入流路の全てを指しているものとする。

本実施形態では、図１０に示す平面視においては、第１流路部材２１０の左上隅の近傍に第１導入流路２８１ａが配置され、第１流路部材２１０の右下隅の近傍に第１導入流路２８１ｂが配置されている。また、図１０に示す平面視においては、第１流路部材２１０の右上隅の近傍に第２導入流路２８２ａが配置され、第１流路部材２１０の左下隅の近傍に第２導入流路２８２ｂが配置されている。

第１流路２４１は、第２流路部材２２０と第３流路部材２３０とで形成された第１交差流路２５１を含む。第１交差流路２５１は、第１流路２４１のうち、液体噴射面２０ａに平行な方向にインクを流通させる一部分である。本実施形態では、２つの第１流路２４１が形成されているため、第１交差流路２５１も２つ形成されている。２つの第１交差流路２５１のそれぞれを第１交差流路２５１ａ、第１交差流路２５１ｂとする。

第１交差流路２５１ａは、第２流路部材２２０のＺ１側の表面にＹ方向に沿って形成された交差溝部２２６ａと、第３流路部材２３０のＺ２側の表面にＹ方向に沿って形成された交差溝部２３１ａとを合わせて封止することにより形成されている。第１交差流路２５１ｂは、第２流路部材２２０のＺ１側の表面にＹ方向に沿って形成された交差溝部２２６ｂと、第３流路部材２３０のＺ２側の表面にＹ方向に沿って形成された交差溝部２３１ｂとを合わせて封止することにより形成されている。

いずれの第１交差流路２５１ａ、２５１ｂについても、第２流路部材２２０及び第３流路部材２３０に交差溝部２２６ａ、２２６ｂ、２３１ａ、２３１ｂをそれぞれ形成することで、第１交差流路２５１ａ、２５１ｂそれぞれの断面積を広げ、第１交差流路２５１ａ、２５１ｂにおける圧力損失を低減させている。なお、第１交差流路２５１ａ、２５１ｂは、第２流路部材２２０のみに形成された交差溝部２２６ａ、２２６ｂ、により形成されていてもよいし、又は、第３流路部材２３０のみに形成された交差溝部２３１ａ、２３１ｂにより形成されていてもよい。例えば、Ｚ２側にある第２流路部材２２０のみに交差溝部２２６ａ、２２６ｂを形成することで、後述するように、Ｘａ方向の幅がＺ１側からＺ２側に向けて狭くなるＣＯＦ基板９８と、これらの第１交差流路２５１ａ、２５１ｂとの干渉を防ぎつつ、第１流路２４１を配置する自由度を向上させることができる。

第１交差流路２５１ａと第１交差流路２５１ｂとは、ＣＯＦ基板９８が挿通する開口部２０１（第３開口部２３５）のＸ方向における両外側に配置されている。

第２流路２４２は、第１流路部材２１０と第２流路部材２２０とで形成された第２交差流路２５２を含む。第２交差流路２５２は、第２流路２４２のうち、液体噴射面２０ａに平行な方向にインクを流通させる一部分である。本実施形態では、２つの第２流路２４２が形成されているため、第２交差流路２５２も２つ形成されている。２つの第２交差流路２５２のそれぞれを第２交差流路２５２ａ、第２交差流路２５２ｂとする。

第２交差流路２５２ａは、第１流路部材２１０のＺ１側の表面にＹ方向に沿って形成された交差溝部２１３ａと、第２流路部材２２０のＺ２側の表面にＹ方向に沿って形成された交差溝部２２２ａとを合わせて封止することにより形成されている。第２交差流路２５２ｂは、第１流路部材２１０のＺ１側の表面に形成された交差溝部２１３ｂと、第２流路部材２２０のＺ２側の表面にＹ方向に沿って形成された交差溝部２２２ｂとを合わせて封止することにより形成されている。

いずれの第２交差流路２５２ａ、２５２ｂについても、第１流路部材２１０及び第２流路部材２２０に交差溝部２１３ａ、２１３ｂ、２２２ａ、２２２ｂをそれぞれ形成することで、第２交差流路２５２ａ、２５２ｂそれぞれの断面積を広げ、第２交差流路２５２ａ、２５２ｂにおける圧力損失を低減させている。なお、第２交差流路２５２ａ、２５２ｂは、第１流路部材２１０のみに形成された交差溝部２１３ａ、２１３ｂのみにより形成されていてもよいし、又は、第２流路部材２２０のみに形成された交差溝部２２２ａ、２２２ｂにより形成されていてもよい。例えば、Ｚ２側にある第１流路部材２１０のみに交差溝部２２２ａ、２２２ｂを形成することで、上述した第１交差流路２５１ａ、２５１ｂと同様に、ＣＯＦ基板９８との干渉を防ぎつつ、第２流路２４２を配置する自由度を向上させることができる。

第２交差流路２５２ａと第２交差流路２５２ｂとは、ＣＯＦ基板９８が挿通する開口部２０１（第２開口部２２５）のＸ方向における両外側に配置されている。

以降、第１交差流路２５１と記載した際には、第１交差流路２５１ａ及び第１交差流路２５１ｂの双方を指しているものとする。第２交差流路２５２と記載した際には、第２交差流路２５２ａ及び第２交差流路２５２ｂの双方を指しているものとする。また、交差流路２５０と記載した際には、上述した４つの交差流路の全てを指しているものとする。

また、本実施形態では、第１流路２４１は一つの導入流路２８０から複数の接続部２９０に分岐するように構成されている。すなわち、第１交差流路２５１から、複数の第１分岐流路２６１が第１交差流路２５１と同じ平面（第２流路部材２２０と第３流路部材２３０とが接合された境界面）において分岐している。

本実施形態では、液体噴射面２０ａに平行な平面内（第２流路部材２２０と第３流路部材２３０との境界面）において、第１交差流路２５１から６つの第１分岐流路２６１が分岐している。第１交差流路２５１ａから分岐した６つの第１分岐流路２６１のそれぞれを第１分岐流路２６１ａ１～第１分岐流路２６１ａ６とする。以降、第１分岐流路２６１ａと記載した際には、第１分岐流路２６１ａに接続された６つの分岐流路の全てを指しているものとする。

同様に、第１交差流路２５１ｂから分岐した６つの第１分岐流路２６１のそれぞれを第１分岐流路２６１ｂ１～第１分岐流路２６１ｂ６とする。以降、第１分岐流路２６１ｂと記載した際には、第１分岐流路２６１ｂに接続された６つの分岐流路の全てを指しているものとする。さらに、第１分岐流路２６１と記載した際には、第１分岐流路２６１ａ及び第１分岐流路２６１ｂに接続された１２個の分岐流路の全てを指しているものとする。

なお、図ではＹ方向に並んだ６つの第１分岐流路２６１ａ１～第１分岐流路２６１ａ６のうち、第１分岐流路２６１ａ２～第１分岐流路２６１ａ５の符号の図示は省略しているが、Ｙ１側からＹ２側に順番に並んでいるものとする。第１分岐流路２６１ｂ１～第１分岐流路２６１ｂ６についても同様である。

具体的には、第３流路部材２３０のＺ２側の表面には、交差溝部２３１ａに連通して開口部２０１側に向けて延設された複数の分岐溝部２３２ａが設けられている。第２流路部材２２０のＺ１側の表面には、交差溝部２２６ａに連通して開口部２０１側に向けて延設された複数の分岐溝部２２７ａが設けられている。第１分岐流路２６１ａは、分岐溝部２２７ａに分岐溝部２３２ａが互いに相対向して封止されることにより形成されている。

第３流路部材２３０のＺ２側の表面には、交差溝部２３１ｂに連通して開口部２０１側に向けて延設された複数の分岐溝部２３２ｂが設けられている。第２流路部材２２０のＺ１側の表面には、交差溝部２２６ｂに連通して開口部２０１側に向けて延設された複数の分岐溝部２２７ｂが設けられている。第１分岐流路２６１ｂは、分岐溝部２２７ｂに分岐溝部２３２ｂが互いに相対向して封止されることにより形成されている。

いずれの第１分岐流路２６１ａ、２６１ｂについても、第２流路部材２２０及び第３流路部材２３０に分岐溝部２２７ａ、２２７ｂ、２３２ａ、２３２ｂをそれぞれ形成することで、第１分岐流路２６１ａ、２６１ｂそれぞれの断面積を広げ、第１分岐流路２６１ａ、２６１ｂにおける圧力損失を低減させている。なお、第１分岐流路２６１ａ、２６１ｂは、第２流路部材２２０のみに形成された分岐溝部２２７ａ、２２７ｂにより形成されていてもよいし、又は、第３流路部材２３０のみに形成された交差溝部２３２ａ、２３２ｂにより形成されていてもよい。例えば、後述するように、Ｙａ方向に傾斜することでＺ１側からＺ２側に向けてＹａ方向の幅が広がる領域Ｑにおいて、Ｚ２側にある第２流路部材２２０のみに分岐溝部２２７ａ、２２７ｂを形成することで、ＣＯＦ基板９８との干渉を防ぎつつ、第１流路２４１を配置する自由度を向上させることができる。また、Ｚ２側からＺ１側に向けてＹａ方向の幅が広がる領域Ｐにおいて、Ｚ１側にある第３流路部材２３０のみに分岐溝部２３２ａ、２３２ｂを形成することで、ＣＯＦ基板９８との干渉を防ぎつつ、第１流路２４１を配置する自由度を向上させることができる。

また、第２流路２４２は一つの導入流路２８０から複数の接続部２９０に分岐するように構成されている。詳細は後述するが、第２交差流路２５２から、複数の第２分岐流路２６２が第２交差流路２５２と同じ平面（第１流路部材２１０と第２流路部材２２０とが接合された境界面）において分岐している。

本実施形態では、液体噴射面２０ａに平行な平面内（第１流路部材２１０と第２流路部材２２０との境界面）において、第２交差流路２５２から６つの第２分岐流路２６２が分岐している。第２交差流路２５２ａから分岐した６つの第２分岐流路２６２のそれぞれを第２分岐流路２６２ａ１～第２分岐流路２６２ａ６とする。

同様に、第２交差流路２５２ｂから分岐した６つの第２分岐流路２６２のそれぞれを第２分岐流路２６２ｂ１～第２分岐流路２６２ｂ６とする。

以降、第２分岐流路２６２ａと記載した際には、第２分岐流路２６２ａに接続された６つの分岐流路の全てを指しているものとする。第２分岐流路２６２ｂと記載した際には、第２分岐流路２６２ｂに接続された６つの分岐流路の全てを指しているものとする。また、第２分岐流路２６２と記載した際には、第２分岐流路２６２ａ及び第２分岐流路２６２ｂに接続された１２個の分岐流路の全てを指しているものとする。さらに、分岐流路２６０と記載した際には、上述した２４個の分岐流路の全てを指しているものとする。

なお、図ではＹ方向に並んだ６つの第２分岐流路２６２ａ１～第２分岐流路２６２ａ６のうち、第２分岐流路２６２ａ２～第２分岐流路２６２ａ５の符号の図示は省略しているが、Ｙ１側からＹ２側に順番に並んでいるものとする。第２分岐流路２６２ｂ１～第２分岐流路２６２ｂ６についても同様である。

具体的には、第２流路部材２２０のＺ２側の表面には、交差溝部２２２ａに連通して開口部２０１側に向けて延設された複数の分岐溝部２２３ａが設けられている。第１流路部材２１０のＺ１側の表面には、交差溝部２１３ａに連通して開口部２０１側とは反対側に向けて延設された複数の分岐溝部２１４ａが設けられている。第２分岐流路２６２ａは、分岐溝部２２３ａに分岐溝部２１４ａが互いに相対向して封止されることにより形成されている。

第２流路部材２２０のＺ２側の表面には、交差溝部２２２ｂに連通して開口部２０１側に向けて延設された複数の分岐溝部２２３ｂが設けられている。第１流路部材２１０のＺ１側の表面には、交差溝部２１３ｂに連通して開口部２０１側に向けて延設された複数の分岐溝部２１４ｂが設けられている。第２分岐流路２６２ｂは、分岐溝部２２３ｂに分岐溝部２１４ｂが互いに相対向して封止されることにより形成されている。

いずれの第２分岐流路２６２ａ、２６２ｂについても、第１流路部材２１０及び第２流路部材２２０に分岐溝部２１４ａ、２１４ｂ、２２３ａ、２２３ｂをそれぞれ形成することで、第２分岐流路２６２ａ、２６２ｂそれぞれの断面積を広げ、第２分岐流路２６２ａ、２６２ｂにおける圧力損失を低減させている。なお、第２分岐流路２６２ａ、２６２ｂは、第１流路部材２１０のみに形成された分岐溝部２１４ａ、２１４ｂにより形成されていてもよいし、又は、第２流路部材２２０のみに形成された分岐溝部２２３ａ、２２３ｂにより形成されていてもよい。例えば、後述するように、Ｙａ方向に傾斜することでＺ１側からＺ２側に向けてＹａ方向の幅が広がる領域Ｑにおいて、Ｚ２側にある第１流路部材２１０のみに分岐溝部２１４ａ、２１４ｂを形成することで、ＣＯＦ基板９８との干渉を防ぎつつ、第２流路２４２を配置する自由度を向上させることができる。また、Ｚ２側からＺ１側に向けてＹａ方向の幅が広がる領域Ｐにおいて、Ｚ１側にある第２流路部材２２０のみに分岐溝部２２３ａ、２２３ｂを形成することで、ＣＯＦ基板９８との干渉を防ぎつつ、第２流路２４２を配置する自由度を向上させることができる。

第１分岐流路２６１には、第１交差流路２５１とは反対側の端部に第１垂直流路２７１が接続されている。具体的には、第３流路部材２３０をＺ方向に貫通した貫通孔として第１垂直流路２７１が形成されている。

本実施形態では、第１分岐流路２６１ａ１～２６１ａ６、第１分岐流路２６１ｂ１～２６１ｂ６のそれぞれに対して１個ずつ、すなわち全体として１２個の第１垂直流路２７１ａ１～２７１ａ６、第１垂直流路２７１ｂ１～２７１ｂ６が接続されている。

同様に、第２分岐流路２６２には、第２交差流路２５２とは反対側の端部に第２垂直流路２７２が接続されている。具体的には、第２流路部材２２０には、Ｚ方向に貫通した貫通孔２２４が設けられ、第３流路部材２３０にはＺ方向に貫通した貫通孔２３３が設けられている。これらの貫通孔２２４及び貫通孔２３３が連通して第２垂直流路２７２が形成されている。

本実施形態では、第２分岐流路２６２ａ１～２６２ａ６、第２分岐流路２６２ｂ１～２６２ｂ６のそれぞれに対して１個ずつ、すなわち全体として１２個の第２垂直流路２７２ａ１～２７２ａ６、第２垂直流路２７２ｂ１～２７２ｂ６が接続されている。

以降、第１垂直流路２７１ａと記載した際には、第１垂直流路２７１ａ１～２７１ａ６を指し、第１垂直流路２７１ｂと記載した際には、第１垂直流路２７１ｂ１～２７１ｂ６を指し、第１垂直流路２７１と記載した際には、第１垂直流路２７１ａ及び第１垂直流路２７１ｂの全てを指すものとする。

同様に、第２垂直流路２７２ａと記載した際には、第２垂直流路２７２ａ１～２７２ａ６を指し、第２垂直流路２７２ｂと記載した際には、第２垂直流路２７２ｂ１～２７２ｂ６を指し、第２垂直流路２７２と記載した際には、第２垂直流路２７２ａ及び第２垂直流路２７２ｂの全てを指すものとする。

さらに、垂直流路２７０と記載した際には、上述した２４個の垂直流路の全てを指しているものとする。

なお、図ではＹ方向に並んだ６つの第１垂直流路２７１ａ１～第１垂直流路２７１ａ６のうち、第１垂直流路２７１ａ２～第１垂直流路２７１ａ５の符号の図示は省略しているが、Ｙ１側からＹ２側に順番に並んでいるものとする。第１垂直流路２７１ｂ１～第１垂直流路２７１ｂ６、第２垂直流路２７２ａ１～第２垂直流路２７２ｂ６、第２垂直流路２７２ｂ１～第２垂直流路２７２ｂ６についても同様である。

上述した垂直流路２７０は、第３流路部材２３０のＺ１側の開口である接続部２９０を有している。詳細は後述するが、接続部２９０は、ヘッド本体１１０に設けられた導入路４４に連通している。

本実施形態では、第１垂直流路２７１ａ１～２７１ａ６、第１垂直流路２７１ｂ１～２７１ｂ６は、第３流路部材２３０のＺ１側の開口である第１接続部２９１ａ１～２９１ａ６、第１接続部２９１ｂ１～２９１ｂ６をそれぞれ有している。同様に、第２垂直流路２７２ａ１～２７２ａ６、第２垂直流路２７２ｂ１～２７２ｂ６は、第３流路部材２３０のＺ１側の開口である第２接続部２９２ａ１～２９２ａ６、第２接続部２９２ｂ１～２９２ｂ６をそれぞれ有している。

第１接続部２９１ａ１、第１接続部２９１ｂ１、第２接続部２９２ａ１、第２接続部２９２ｂ１は、６つのヘッド本体１１０のうちの一つに接続される。その他、第１接続部２９１ａ２～２９１ａ６、第１接続部２９１ｂ２～２９１ｂ６、第２接続部２９２ａ２～２９２ａ６、第２接続部２９２ｂ２～２９２ｂ６についても同様である。すなわち、一つのヘッド本体１１０に対して、第１流路２４１ａ、第１流路２４１ｂ、第２流路２４２ａ及び第２流路２４２ｂが接続されている。

以降、第１接続部２９１ａと記載した際には、第１接続部２９１ａ１～２９１ａ６を指し、第１接続部２９１ｂと記載した際には、第１接続部２９１ｂ１～２９１ｂ６を指し、第１接続部２９１と記載した際には、第１接続部２９１ａ及び第１接続部２９１ｂの全てを指すものとする。

同様に、第２接続部２９２ａと記載した際には、第２接続部２９２ａ１～２９２ａ６を指し、第２接続部２９２ｂと記載した際には、第２接続部２９２ｂ１～２９２ｂ６を指し、第２接続部２９２と記載した際には、第２接続部２９２ａ及び第２接続部２９２ｂの全てを指すものとする。

さらに、接続部２９０と記載した際には、上述した２４個の接続部の全てを指しているものとする。

上述したように、本実施形態に係る流路部材２００は、４つの流路２４０、すなわち第１流路２４１ａ及び第１流路２４１ｂと、第２流路２４２ａ及び第２流路２４２ｂとを備えている。そして、各流路２４０は、インクの入口となる導入流路２８０から交差流路２５０までが一本の流路として構成され、交差流路２５０から分岐流路２６０に分岐し、垂直流路２７０及び接続部２９０を経由して複数のヘッド本体１１０に接続されている。

本実施形態では、ブラックＢｋ、マゼンタＭ、シアンＣ、イエローＹの４色のインクを用いる。図示しない液体貯留手段から、シアンＣは第１流路２４１ａに、イエローＹは第１流路２４１ｂに、ブラックＢｋは第２流路２４２ａに、マゼンタＭは第２流路２４２ｂに供給される。そして、各色のインクは第１流路２４１ａ、第１流路２４１ｂ、第２流路２４２ａ及び第２流路２４２ｂを流通し、各ヘッド本体１１０に供給される。

また、流路部材２００には、ヘッド本体１１０に設けられたＣＯＦ基板９８が挿通する開口部２０１が設けられている。本実施形態では、第１流路部材２１０には、Ｚ方向に対して傾斜し、かつ貫通した第１開口部２１５が形成されている。第２流路部材２２０には、Ｚ方向に対して傾斜し、かつ貫通した第２開口部２２５が形成されている。第３流路部材２３０には、Ｚ方向に対して傾斜し、かつ貫通した第３開口部２３５が形成されている。

これらの第１開口部２１５、第２開口部２２５及び第３開口部２３５は互いに連通しており、一つの開口部２０１を構成している。開口部２０１は、Ｘａ方向に長尺な開口形状を有しており、６個の開口部２０１がＹ方向に並設されている。

ここで、図１６に示すように、本実施形態に係るＣＯＦ基板９８は、Ｚ方向においてヘッド本体１１０に近い一端部である下側端部９８ｃと、Ｚ方向においてヘッド本体１１０から遠い他端部である上側端部９８ｄとを有している。上側端部９８ｄのＸａ方向の幅は、下側端部９８ｃのＸａ方向の幅よりも狭くなるように形成されている。すなわち、フレキシブル配線基板９８の面方向の幅について、他端部は一端部よりも狭くなるように形成されている。

本実施形態では、ＣＯＦ基板９８の第１開口部２１５及び第３開口部２３５に挿通された部分はＸａ方向の幅は一定の矩形状であり、第２開口部２２５に挿通された部分はＺ１側からＺ２側に向けてＸａ方向の幅が狭くなるように形成された台形状に形成されている。

一方、流路部材２００の開口部２０１は、液体噴射面２０ａに垂直なＺ方向においてヘッド本体１１０に近い第１開口２３６（すなわち、第３開口部２３５のＺ１側の開口）及びヘッド本体１１０から遠い第２開口２１６（すなわち、第１開口部２１５のＺ２側の開口）を有している。

第２開口２１６は、第１開口２３６よりもＸａ方向に狭く形成されている。すなわち、開口部２０１としては、Ｚ方向のＺ１からＺ２に向けてＸａ方向の幅が狭くなっている。具体的には、開口部２０１は、ＣＯＦ基板９８が収容される形状とされており、開口部２０１のＸａ方向の幅がＣＯＦ基板９８のＸａ方向の幅よりも若干広く形成されている。

図１７を用いて、流路部材２００の開口部２０１に挿通したＣＯＦ基板９８の傾斜について説明する。図１７（ａ）は、図１０～図１３のＥ－Ｅ’線断面図であり、本実施形態に係る記録ヘッドのうち一つのヘッド本体をＸａ方向のＸａ２側からＸａ１側をみた概略側面図である。また、図１７（ｂ）は比較例に係るヘッド本体をＸａ方向のＸａ２側からＸａ１側をみた概略側面図である。

図１７（ａ）に示すように、流路部材２００には、第１開口部２１５、第２開口部２２５及び第３開口部２３５が連通して一つの開口部２０１が設けられている。ここで、流路部材２００の開口部２０１のうちヘッド本体１１０側の第１開口２３６と、ヘッド本体１１０とは反対側の第２開口２１６とを通るＣＯＦ基板９８の面を平面Ｂ（ただし、図１７（ａ）には直線として示してある。）とし、第１開口２３６において平面Ｂと交わり、Ｘａ方向に平行であり、かつ液体噴射面２０ａに垂直な平面を平面Ａ（ただし、図１７には直線として示してある。）とすると、ＣＯＦ基板９８の面である平面Ｂは、液体噴射面２０ａに垂直な平面Ａに対して交差している。

具体的には、第２開口２１６と第１開口２３６とは、Ｙａ方向において異なる位置に設けられている。本実施形態では、６個の開口部２０１の各第２開口２１６は、対応する各第１開口２３６よりもＹａ方向のＹａ２側に所定距離だけずれて配置されている。すなわち、開口部２０１は、平面Ｂの第２開口２１６側がＹａ方向のＹａ１側からＹａ２側に向けて平面Ａから遠ざかるように傾斜している。

ＣＯＦ基板９８は、ヘッド本体１１０側に設けられた接続口４３（図８参照）から、流路部材２００に向けて延設されており、ヘッド本体１１０と中継基板１４０（図２参照）との間にある流路部材２００において、ＣＯＦ基板９８の一方面の側に傾斜している。ここで、ＣＯＦ基板９８の両面のうち、この一方面を第１面９８ａ、他方面を第２面９８ｂとする。この場合、ＣＯＦ基板９８の第１面９８ａは、平面Ａと向かい合わない側、すなわちＹａ方向のＹａ２側の面となる。ＣＯＦ基板９８の第２面９８ｂは、平面Ａと向かい合う側、すなわちＹａ方向のＹａ１側の面となる。

また、「ＣＯＦ基板９８がヘッド本体１１０と中継基板１４０との間にある流路部材２００において第１面９８ａ側に傾斜する」とは、ＣＯＦ基板９８のうち、ヘッド本体１１０から流路部材２００の開口部２０１の出口にあたる第２開口２１６に至るまでの部分が第１面９８ａ側に傾斜していることをいう。したがって、第２開口２１６から突出して中継基板１４０の表面に接続される部分についてはどの様な方向に傾斜していても構わない。

開口部２０１のＹａ方向の幅は、傾斜したＣＯＦ基板９８のうち開口部２０１に最も近い部分からの間隔が、Ｙａ１側及びＹａ２側の間でほぼ一定になるようになっている。具体的には、第１流路部材２１０、第２流路部材２２０及び第３流路部材２３０毎に、傾斜したＣＯＦ基板９８からほぼ一定の間隔を取るように、第１開口部２１５、第２開口部２２５及び第３開口部２３５のそれぞれのＹａ方向の幅が決められている。流路部材２００の加工を容易にするために、第１開口部２１５、第２開口部２２５及び第３開口部２３５は、Ｚ方向に沿って貫通した開口となっており、Ｘａ方向から見た開口部２０１の形状は、図１７のように階段形状になっている。もちろんＣＯＦ基板９８の傾斜に沿って、開口部２０１も傾斜させてもよい。開口部２０１に挿通されたＣＯＦ基板９８は、このような開口部２０１に挿通されることで、平面Ａに対して第１面９８ａ側（すなわち、Ｙａ２側）に傾斜している。

なお、図８に示すように、ヘッド本体１１０のＺ２側の表面には、接続口４３の周囲に導入路４４が形成されており、ＣＯＦ基板９８の接続口４３に対して、Ｙａ１側に設けられた導入路４４とＹａ２側に設けられた導入路４４とは、接続口４３とのＹａ方向の間隔が互いにほぼ同じになるように配置されている。対して、ＣＯＦ基板９８は、ＣＯＦ基板９８のＹａ方向において両側からのリード電極９０との電気的な接続を容易に行うため、その接続部分が接続口４３のほぼ中央に来るように配置されている。言い換えると、ＣＯＦ基板９８はＹａ方向において接続口４３の一方側の側面に寄せて配置されており（図８ではＹａ１側）、その結果、ＣＯＦ基板９８はＹａ方向においていずれかの導入路４４に寄せて配置されている。しかし、流路部材２００においては、ＣＯＦ基板９８とのＹａ方向の間隔を、Ｙａ１側及びＹａ２側のいずれにおいてもほぼ一定とすることで、流路部材２００とＣＯＦ基板９８との接触を防ぐとともに、Ｙａ方向の小型化を図っている。

流路部材２００に設けられた第１流路２４１は、上述したように傾斜したＣＯＦ基板９８の第１面９８ａ側の第１分岐流路２６１を介して、対応するヘッド本体１１０に接続され、第２流路２４２は、第２面９８ｂ側の第２分岐流路２６２を介して、対応するヘッド本体１１０に接続されている。

このことを図１７及び図１８を用いて詳細に説明する。図１８は本実施形態に係る記録ヘッドのうち一つのヘッド本体をＺ方向のＺ２側からＺ１側をみた概略平面図である。

図１８に示すように、ヘッド本体１１０のＺ２側の表面には、接続口４３の周囲に４つの導入路４４が形成されている（図７参照）。具体的には、２つの導入路４４ａ、導入路４４ｂが接続口４３よりもＹａ方向のＹａ１側に開口し、かつＸａ方向の位置は接続口４３に包含される位置である。導入路４４ａは導入路４４ｂよりもＸａ方向においてＸａ１側に配置されている。また、残り２つの導入路４４ｃ、導入路４４ｄは接続口４３よりもＹａ方向のＹａ２側に開口し、かつＸａ方向の位置は接続口４３に包含される位置である。導入路４４ｃは導入路４４ｄよりもＸａ方向においてＸａ１側に配置されている。なお、接続口４３は第１開口２３６とほぼ同形状に形成され、接続口４３及び第１開口２３６は連通している。

導入路４４ａは、第２流路２４２ａ、すなわち第２導入流路２８２ａ（図１４参照）、第２交差流路２５２ａ、第２分岐流路２６２ａ、第２垂直流路２７２ａ及び第２接続部２９２ａに接続されている。

導入路４４ｂは、第２流路２４２ｂ、すなわち第２導入流路２８２ｂ（図１５参照）、第２交差流路２５２ｂ、第２分岐流路２６２ｂ、第２垂直流路２７２ｂ及び第２接続部２９２ｂに接続されている。

導入路４４ｃは、第１流路２４１ａ、すなわち第１導入流路２８１ａ（図１４参照）、第１交差流路２５１ａ、第１分岐流路２６１ａ、第１垂直流路２７１ａ及び第１接続部２９１ａに接続されている。

導入路４４ｄは、第１流路２４１ｂ、すなわち第１導入流路２８１ｂ（図１５参照）、第１交差流路２５１ｂ、第１分岐流路２６１ｂ、第１垂直流路２７１ｂ及び第１接続部２９１ｂに接続されている。

これらの導入路４４ａ～導入路４４ｄと、第１流路２４１及び第２流路２４２との関係は６つのヘッド本体１１０について同様である。

このように、第１流路２４１は、ＣＯＦ基板９８の第１面９８ａ側にてヘッド本体１１０に接続されている。また、第２流路２４２は、ＣＯＦ基板９８の第２面９８ｂ側にてヘッド本体１１０に接続されている。

ここで、図１７（ａ）に示すように、ＣＯＦ基板９８は第１面９８ａ側に傾斜しており、また、開口部２０１も第１面９８ａ（Ｙ２側）に傾斜させている。このように開口部２０１が第１面９８ａ側に傾斜すると、流路部材２００の流路２４０を形成可能な領域に疎密を設けることができる。

「流路部材２００の流路２４０を形成可能な領域に疎密が設けられている」とは、流路部材２００のヘッド本体１１０に対向した領域Ｔが、ＣＯＦ基板９８が傾斜するＹａ方向において、ＣＯＦ基板９８が挿通する開口部２０１を挟んで、ＣＯＦ基板９８の第１面９８ａ側の領域Ｐと、第２面９８ｂ側の領域Ｑとに分割され、Ｚ方向の同一平面内においては領域ＱのＹａ方向の幅が領域ＰのＹａ方向の幅よりも広いことをいう。

本実施形態では、流路部材２００を構成する第１流路部材２１０、第２流路部材２２０及び第３流路部材２３０のヘッド本体１１０に対向した領域Ｔのうち、Ｙａ方向において第１面９８ａ側が領域Ｐであり、第２面９８ｂ側が領域Ｑである。図にはこれら領域Ｐ、Ｑを示すハッチを施してある。

本実施形態では、図１７（ａ）に示すように、ＣＯＦ基板９８の傾斜により、上述した同一面の一つである第１流路部材２１０のＺ１側の表面においては、領域ＱはＹａ方向の幅Ｕ１の分だけ広がり、その分、領域ＰはＹａ方向の幅が狭くなっている。同様に、上述した同一面の一つである第２流路部材２２０のＺ２側の表面においては、領域ＱはＹａ方向の幅Ｕ２の分だけ広がり、その分、領域ＰはＹａ方向の幅が狭くなっている。

領域ＱのＹａ方向の幅は、Ｚ方向のＺ１側からＺ２側に向かうほど広くなっている。本実施形態では、第１流路部材２１０の方が第２流路部材２２０よりも領域Ｐ及び領域Ｑの疎密の差は大きい。同様に、第２流路部材２２０の方が第３流路部材２３０よりも領域Ｐ及び領域Ｑの疎密の差は大きい。すなわち、流路部材２００は、ヘッド本体１１０から中継基板１４０へ向かうほど、領域Ｐ及び領域Ｑの疎密の差が大きくなっている。

そして、このように疎な領域Ｑでは、液体噴射面２０ａに平行な平面内に設けられた第２分岐流路２６２が位置する。「疎な領域Ｑで第２流路２４２が液体噴射面２０ａに沿って設けられた部分を有する」とは、少なくとも第２流路２４２を構成する流路の一部が、上述した領域Ｑにおいて、液体噴射面２０ａに平行な平面内に設けられてからヘッド本体１１０の導入路４４に接続されていることをいう。

本実施形態では、第２流路２４２ａのうち第２分岐流路２６２ａが領域Ｑに設けられている。また、第２流路２４２ｂのうち第２分岐流路２６２ｂが領域Ｑに設けられている。

本実施形態に係る記録ヘッド１００では、ＣＯＦ基板９８を第１面９８ａ側に傾斜させたことで、流路部材２００の開口部２０１も第１面９８ａ側に移動させて設けることができ、流路部材２００の流路２４０を形成可能な領域に疎密を設けることができる。これにより、第２流路２４２を構成する第２分岐流路２６２を、領域Ｐよりも広い領域Ｑに配置することができる。すなわち、第２分岐流路２６２をより広い領域Ｑに配置することができるので、ヘッド本体１１０の配置などに応じた最適な第２流路２４２を構成することが容易となる。換言すれば、領域Ｑが広いほど、第２流路２４２の配置の自由度が高い。ここでいう第２流路２４２の配置の自由度とは、領域ＱのＹａ方向の幅に比例する概念であり、自由度が高いほど、第２流路２４２を領域Ｑに形成しやすいことを意味する。なお、本実施形態の第２流路２４２は、本発明の第２面側において、液体噴射面に沿って設けられた部分を有する流路に相当し、本実施形態の第２分岐流路２６２は、液体噴射面に沿って設けられた流路に相当する。

また、本実施形態に係る記録ヘッド１００によれば、ＣＯＦ基板９８を傾斜させることで、Ｙａ方向に幅が拡幅した疎な領域Ｑを形成することができる。このようにＹａ方向の幅が広がったことで、第２流路２４２の一部を構成する第２分岐流路２６２を、Ｙａ方向にＣＯＦ基板９８に干渉することなく形成することができる。

これにより、第２流路部材２２０のＹａ方向において、後述の比較例と比較すると、第２分岐流路２６２と平面Ａとの間隔を狭くすることができるので、第２流路部材２２０、すなわち流路部材２００をＹａ方向に小型化することができ、これにより記録ヘッド１００のＹａ方向の幅を小型化することができる。

さらに、上述したように、本実施形態ではＣＯＦ基板９８が接続口４３のＹａ１側の側面に寄せて配置されており、その結果、接続口４３のＹａ１側にある導入路４４にＣＯＦ基板９８が寄せて配置されている。そして、垂直流路２７０を介して導入路４４と接続される分岐流路２６０が、ＣＯＦ基板９８とＹａ方向に一定の間隔を取るために、ＣＯＦ基板９８のＹａ１側の分岐流路２６０の配置の自由度が狭まっている。しかしながら、ＣＯＦ基板９８をその反対側であるＹａ２側に傾斜させることで、このような場合であっても、ＣＯＦ基板９８のＹａ１側の分岐流路２６０の配置の自由度を高め、流路部材２００のＹａ方向の小型化を図ることができる。

ちなみに、ＣＯＦ基板９８が傾斜していない記録ヘッドでは、上述したような小型化を図ることができない。このことを図１７（ａ）及び図１７（ｂ）を用いて説明する。

図１７（ａ）に示した第２開口部２２５と第２分岐流路２６２ａとのＹａ方向の間隔をＶとする。一方、図１７（ｂ）に、比較例に係る記録ヘッドの概略側面図を示す。比較例に係る記録ヘッド１００’は、ＣＯＦ基板９８の傾斜と、ＣＯＦ基板９８に沿った開口部２０１の配置と、ヘッド本体１１０に対向した領域Ｔの大きさ以外は記録ヘッド１００と同じ構成であるとする。

記録ヘッド１００’において、液体噴射面２０ａに平行な平面内に設けられた第２分岐流路２６２ａ’を、Ｙａ方向においてＣＯＦ基板９８に干渉することなく形成するために、記録ヘッド１００と同じ間隔Ｖを保って形成すると、記録ヘッド１００において拡幅した幅Ｕの分だけ、Ｙａ方向のＹａ１側に第２分岐流路２６２ａ’を設けなければならない。したがって、比較例に係る記録ヘッド１００’においては、流路部材２００のＹａ方向において、第２分岐流路２６２ａ’と平面Ａとの間隔が広くなってしまい、流路部材２００のＹａ方向の小型化を図ることができない。換言すれば、図１７（ａ）に示すように、ＣＯＦ基板９８を第１面９８ａ側に傾斜したために、間隔Ｖを保ちながらも、幅Ｕ１又は幅Ｕ２の分だけ第２垂直流路２７２ａをＣＯＦ基板９８側に近づけることができる。すなわち、流路部材２００のＹａ方向の小型化を図ることができる。

また、本実施形態に係る記録ヘッド１００では、第１流路２４１及び第２流路２４２の第１交差流路２５１ａ及び第２交差流路２５２ａを、また、第１交差流路２５１ｂ及び第２交差流路２５２ｂを、それぞれ液体噴射面２０ａに直交するＺ方向における位置を変えてＺ方向に重ねて配置した。これにより、複数の交差流路を全て同一平面内に形成する場合に比較して、記録ヘッド１００の液体噴射面２０ａの面方向における形状を小型化することができる。

さらに、本実施形態に係る記録ヘッド１００では、第２分岐流路２６２とヘッド本体１１０とを、液体噴射面２０ａに垂直な方向に沿う第２垂直流路２７２により接続している。よって、液体噴射面２０ａに垂直なＺ方向から見た平面視において、第２垂直流路２７２の範囲は、液体噴射面２０ａに垂直な方向に傾斜した流路により第２分岐流路２６２とヘッド本体１１０とを接続する場合において、この傾斜した流路が占める範囲よりも小さい。すなわち、本実施形態のように、第２交差流路２５２とヘッド本体１１０とを第２垂直流路２７２で接続することで、流路部材２００の前記平面視における大きさを小型化することが可能となる。同様に、第１分岐流路２６１とヘッド本体１１０とを、液体噴射面２０ａに垂直な方向に沿う第１垂直流路２７１により接続したので、これによっても、流路部材２００の前記平面視における大きさを小型化することが可能となる。

なお、垂直流路２７０のＹａ方向の幅を、分岐流路２６０のＹａ方向の幅よりも小さくしてもよい。その場合には、そうでない場合よりも、開口部２０１と間隔Ｖを保ちつつ垂直流路２７０や分岐流路２６０の配置の自由度をさらに高めることができる。加えて、垂直流路２７０の断面積を、分岐流路２６０の断面積よりも小さくしてもよい。その場合には、垂直流路２７０における流速を速めることができ、垂直流路２７０における気泡を効率的に排出することが可能となる。

ここで、仮に、領域Ｐに第２流路２４２を形成するとする。この場合、上述したように、流路部材２００は、ヘッド本体１１０からＺ方向に遠いほど、領域ＱのＹａ方向における幅は広くなり、領域ＰのＹａ方向における幅が狭くなる。特に、ＣＯＦ基板９８が接続口４３のＹａ２側の側面に対して寄せて配置されていると仮定すると、ＣＯＦ基板９８とＹａ方向に一定の間隔を取るために、領域ＰのＹａ方向における幅が一層狭くなる。このため、Ｙａ方向において接続口４３の側面にＣＯＦ基板９８が近接する側（例えばＹａ２側）と、Ｙａ方向においてＣＯＦ基板９８が傾斜する側（同様に、例えばＹａ２側）とが一致する場合に、領域Ｐに第２流路２４２を配置する自由度は低く、第２流路２４２の配置が非常に困難となってしまう。しかしながら、本実施形態では、第２分岐流路２６２を領域Ｑに形成することで、第２分岐流路２６２の配置の自由度を高め、流路部材２００のＹａ方向の小型化を図っている。また、Ｙａ方向において接続口４３の側面にＣＯＦ基板９８が近接する側（例えばＹａ１側）と、Ｙａ方向においてＣＯＦ基板９８が傾斜する側（同様に、例えばＹａ２側）とを一致させないことで、Ｙａ方向において接続口４３の側面にＣＯＦ基板９８が近接する側の分岐流路２６０の配置の自由度を高め、流路部材２００のＹａ方向の小型化を図っている。

一方、仮に、領域Ｑに第１流路２４１を形成したとする。この場合、流路部材２００は、ヘッド本体１１０からＺ方向に遠いほど、領域ＱのＹａ方向における幅は広くなるものの、Ｚ方向においてヘッド本体１１０に近い側に第１流路２４１を形成することになるので、Ｙａ方向に拡幅した領域Ｑを十分に活用できない。特に、本実施形態のように、液体噴射面２０ａの面方向における形状を小型化するために、第１交差流路２５１ａ及び第２交差流路２５２ａや、第１交差流路２５１ｂ及び第２交差流路２５２ｂを、Ｚ方向における位置を変えてＺ方向に重ねて配置することを前提とすると、第１分岐流路２６１及び第２分岐流路２６２の両方を領域Ｑに形成する場合は、第２分岐流路２６２を領域Ｑに形成し、かつ、第１分岐流路２６１を領域Ｐに形成する場合に比べて自由度は高くない。しかしながら、本実施形態では、第１分岐流路２６１を領域Ｐに形成することで、第１分岐流路２６１の配置の自由度を高め、流路部材２００のＹａ方向の小型化を図っている。また、Ｚ方向に重ねて配置される第１交差流路２５１及び第２交差流路２５２について、それぞれの第１分岐流路２６１及び第２分岐流路２６２をＺ方向に重ねて配置しないことで、第１分岐流路２６１及び第２分岐流路２６２の配置の自由度を高め、流路部材２００のＹａ方向の小型化を図っている。

また、上述したように、本実施形態に係るＣＯＦ基板９８は、上側端部９８ｄの面方向（Ｘａ方向）の幅が下側端部９８ｃ（図１６参照）の面方向の幅よりも狭い。そして、ＣＯＦ基板９８にあわせて開口部２０１が形成されている。したがって、ＣＯＦ基板９８の上側端部９８ｄが面方向に狭くなっている分、流路部材２００には第２開口２１６の面方向の両外側に第２流路２４２を形成可能な領域Ｗが形成されている。

本実施形態では、第２流路２４２の第２交差流路２５２や第２分岐流路２６２は、第１流路部材２１０と第２流路部材２２０とに形成されている。したがって、第１流路部材２１０と第２流路部材２２０とにおいて、開口部２１５、２２５のＸａ方向の外側部分が領域Ｗとなる（図１６参照）。本実施形態では、第１交差流路２５１と第２交差流路２５２とが、Ｚ方向に重なるように配置されている（図１４，図１５参照）。この場合に、第１交差流路２５１と第２交差流路２５２とをそれぞれＺ方向へ液体噴射面２０ａに射影した場合に、それぞれの像が完全に一致しなくてもよく、互いの像の一部が重なるような配置であってもよく、さらに、第２交差流路２５２の像の少なくとも一部が第１交差流路２５１の像よりも、Ｘ方向において第１交差流路２５１の像の内側にあってもよい。すなわち、第２流路２４２ａの第２交差流路２５２ａが領域Ｗを通るように形成されていてもよい。なお、第２交差流路２５２ａに限らず、第２交差流路２５２ｂや第２分岐流路２６２が領域Ｗを通るように形成してもよい。これらの場合、例えば第２交差流路２５２や第２分岐流路２６２が、Ｚ方向から見た場合に、ＣＯＦ基板９８の一端部である下側端部９８ｃと干渉する位置に設けられていたとしても、Ｚ方向において第２交差流路２５２や第２分岐流路２６２が設けられた位置ではＣＯＦ基板９８との干渉を避けることができる。

このように、下側端部９８ｃよりも上側端部９８ｄが狭いＣＯＦ基板９８を形成し、ＣＯＦ基板９８にあわせて開口部２０１を設けることで、Ｘａ方向においてＣＯＦ基板９８の外側に第２流路２４２ａを形成する領域Ｗを設けることができる。第２流路２４２ｂについても同様である。これにより、より一層、流路部材２００に第２流路２４２を配置する自由度が向上する。

また、図１７（ａ）に示すように、流路部材２００の開口部２０１には、駆動回路９７が設けられたＣＯＦ基板９８が挿通されている。本実施形態では、ＣＯＦ基板９８の第２面９８ｂ側に駆動回路９７が設けられている。

ここで、駆動回路９７が開口部２０１の内面に接触する虞がある。そこで、駆動回路９７と開口部２０１の内面との接触を避けるべく、開口部２０１のＹａ方向の幅は駆動回路９７の厚さの分だけ広くなっている。開口部２０１のＹａ方向の幅を拡幅することにより、駆動回路９７と開口部２０１の内面との接触を効果的に抑制することができる。また、このとき、駆動回路９７は、Ｚ方向において、第２流路部材２２０の第２開口部２２５と、第３流路部材２３０の第３開口部２３５に収容される位置に配置され、第１流路部材２１０の第１開口部２１５に収容される位置に配置されていない。これにより、Ｙａ方向において、第１開口部２１５の幅を、第２開口部２２５の幅や第３開口部２３５の幅よりも小さくすることができる。すなわち、Ｙａ方向においてＣＯＦ基板９８の外側に第２流路２４２を形成する領域を設けることができる。これにより、より一層、流路部材２００に第２流路２４２を配置する自由度が向上する。

なお、仮に、駆動回路９７を第１流路部材２１０の第１開口部２１５に収容される位置に配置すると、第１開口部２１５のＹａ方向の幅を小さくすることができない。そのため、流路部材２００に第２流路２４２を配置する自由度を向上させることができない。

一方、本実施形態に係る記録ヘッド１００では、駆動回路９７を、Ｚ方向において第２開口部２２５と第３開口部２３５とに収容される位置に配置し、第１開口部２１５のＹａ方向の幅を小さくすることで、第２交差流路２５２や第２分岐流路２６２といった第２流路２４２を流路部材２００に配置する自由度を向上させている。

ここで、密な領域Ｐにおいてヘッド本体１１０に接続された第１流路２４１について説明する。密な領域Ｐでは、液体噴射面２０ａに平行な平面内に設けられた第１分岐流路２６１が位置する。「密な領域Ｐで第１流路２４１がヘッド本体１１０に接続されている」とは、少なくとも第１流路２４１を構成する流路の一部が上述した領域Ｐに形成されてヘッド本体１１０の導入路４４に接続されていることをいう。なお、本実施形態の第１分岐流路２６１は、本発明の第１面側において、液体噴射面に沿って設けられた流路に相当する。

密な領域Ｐでは、Ｙａ方向の幅が縮小したため、第１分岐流路２６１を配置するのに十分な幅の領域Ｐが確保できない場合がある。しかしながら、本実施形態では、Ｚ方向において、第１流路２４１を第２流路２４２よりもヘッド本体１１０側に配置している。

これにより、ＣＯＦ基板９８の傾斜により領域ＰのＹａ方向の幅が狭くなったとしても、それに影響されずに、第１流路２４１をヘッド本体１１０に接続することができる。

〈他の実施形態〉
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。

例えば、実施形態１に係る記録ヘッド１００の各ヘッド本体１１０は、ノズル列ａ及びノズル列ｂがＸａ方向に沿い、かつ、ノズル列ａ及びノズル列ｂを搬送方向であるＸ方向に対して傾斜させる場合は、上述したようにＸ方向とＸａ方向とが０度より大きく９０度未満で交差させればよいが、交差させない態様の記録ヘッド１００も本発明に含む。あるいは、搬送方向であるＸ方向に対して、ノズル列の方向であるＸａ方向が垂直になるようにヘッド本体１１０を備えた記録ヘッドを構成してもよい。この場合、Ｘａ方向はＹ方向に一致し、Ｙａ方向はＸ方向に一致することになる。したがって、実施形態１に係る記録ヘッド１００では、Ｙａ方向に小型化されたが、Ｙａ方向をＸ方向に一致させた態様の記録ヘッド１００では、Ｙａ方向に一致するＸ方向、すなわち記録シートＳの搬送方向に小型化できることになる。

他に、実施形態１に係る記録ヘッド１００は、第１流路２４１及び第２流路２４２を有し、それぞれがＺ方向に異なる位置で第１交差流路２５１及び第２交差流路２５２を有していたが、このような態様に限定されない。例えば、液体噴射面２０ａに平行な流路は同一平面にのみ設けられた流路部材を備えた記録ヘッドであってもよい。例えば、上述した実施形態であれば、第１流路部材２１０及び第２流路部材２２０を備えた流路部材に第２流路のみを設けた記録ヘッドであってもよい。このように、第１流路２４１と第２流路２４２とのいずれかを設けない記録ヘッドであれば、記録ヘッド１００をＺ方向に小型化することができる。

また、実施形態１に係る記録ヘッド１００では、第１流路２４１ａ，第１流路２４１ｂ、第２流路２４２ａ、第２流路２４２ｂに対して、それぞれ導入路４４ｃ、４４ｄ、４４ａ、４４ｂが接続されていたが、このような態様に限定されない。例えば、第１流路２４１ａ、第１流路２４１ｂに対して、それぞれ導入路４４ｃ、４４ｂが接続され、第２流路２４２ａ、２４２ｂに対して、それぞれ導入路４４ａ、４４ｄが接続されてもよい。また、この場合に、上述のように第２流路のみを有し、第１流路を有さない記録ヘッドであってもよい。ヘッド本体１１０の配置などに応じた最適な流路を構成することができる。

また、第１流路部材２１０及び第２流路部材２２０を接着して第２流路２４２を形成し、第２流路部材２２０及び第３流路部材２３０を接着して第１流路２４１を形成したが、第１流路２４１及び第２流路２４２を形成する方法はこれらに限られない。例えば、三次元造型が可能な積層造形法により、２つ以上の流路部材を接着することなく一体的に造形してもよい。あるいは、個々の流路部材を三次元造型、金型成形（射出成形等）、切削加工、プレス加工により形成してもよい。

また、流路部材２００には、第１流路２４１として２つの第１流路２４１ａ及び第１流路２４１ｂを有していたが、２つに限定されず、１本又は３本以上であってもよい。第２流路２４２についても同様である。

第１交差流路２５１ａは６つの第１分岐流路２６１ａに分岐していたがこれに限定されず、分岐せずに一つのヘッド本体１１０に接続されていてもよいし、分岐する数も６つに限定されず２つ以上の複数に分岐してもよい。第１交差流路２５１ｂ、第２交差流路２５２ａ及び第２交差流路２５２ｂについても同様である。また、第１面９８ａ側に傾斜させるＣＯＦ基板９８の数も６つに限定されず、一部のＣＯＦ基板９８のみを傾斜させてもよい。

また、第１交差流路２５１ａは、第２流路部材２２０と第３流路部材２３０との間で水平にインクを流通させる流路としたがこのような態様に限定されない。すなわち、Ｚ平面に対して傾斜した流路としてもよい。第１交差流路２５１ｂ、第２交差流路２５２ａ及び第２交差流路２５２ｂについても同様である。

さらに、第１垂直流路２７１ａは液体噴射面２０ａに対して垂直に形成されていたがこのような態様に限定されない。すなわち、液体噴射面２０ａに対して傾斜していてもよい。第１垂直流路２７１ｂ、第２垂直流路２７２ａ及び第２垂直流路２７２ｂについても同様である。

流路部材２００に形成された開口部２０１の第２開口２１６は、第１開口２３６よりもＸａ方向の幅が狭くなっている必要はない。第２開口２１６と第１開口２３６のＸａ方向の幅をほぼ等しくし、長方形状のＣＯＦ基板９８が収容されるような開口部であってもよい。また、逆に、第２開口２１６は、第１開口２３６よりもＸａ方向の幅が広くなっていてもよい。

また、フレキシブル配線基板としてＣＯＦ基板９８を備えていたが、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）であってもよい。また、ＣＯＦ基板９８が接続口４３のＹａ１側の側面に寄せて配置されていなくても、ＣＯＦ基板９８とリード電極９０との電気的な接続が行われていればよい。

また、実施形態１では、保持部材１２０と流路部材２００とを接着剤などにより固定したが、一体化してもよい。すなわち、流路部材２００のＺ１側に保持部１２１と足部１２２とを設けてもよい。これにより、保持部材１２０をＺ方向に積層しない分だけＺ方向に小型化できる。また、保持部１２１が流路部材２００に設けられることにより、流路部材２００が複数のヘッド本体１１０を収容できればよく、中継基板１４０を収容しなくてもよいので、ＸＹ方向にも小型化できる。さらに、複数の部材を一体化することで、部品点数を減らすことができる。なお、流路部材２００を第１流路部材２１０、第２流路部材２２０及び第３流路部材２３０により構成する場合には、第３流路部材２３０のＺ１側に保持部１２１と足部１２２とを設ければよい。

また、実施形態１では、ヘッド本体１１０をＹ方向に併設して、複数のヘッド本体１１０により記録ヘッド１００を構成したが、１つのヘッド本体１１０により記録ヘッド１００を構成してもよい。また、ヘッドユニット１０１に含まれる記録ヘッド１００の個数についても特に限定はなく、２個以上を搭載してあってもよいし、一つの記録ヘッド１００を単体でインクジェット式記録装置１に搭載してもよい。

なお、上述したインクジェット式記録装置１では、ヘッドユニット１０１が固定されて記録シートＳを搬送するだけで印刷を行う、所謂ライン型記録装置であるが、特にこれに限定されず、ヘッドユニット１０１や１つ又は複数の記録ヘッド１００をキャリッジに搭載して、当該ヘッドユニット１０１又は記録ヘッド１００を記録シートＳの搬送方向と交差する主走査方向に移動させると共に、記録シートＳを搬送して印刷を行う所謂シリアル型記録装置にも本発明を適用することができる。

さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッドユニット全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を具備する液体噴射ヘッドユニットにも適用することができる。

また、本発明の配線基板は、液体噴射ヘッドに用いられる場合に限定されず、任意の電子回路等に適用することもできる。

１ インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、４３ 接続口、 ４４ａ、４４ｂ、４４ｃ、４４ｄ 導入路、 ９７ 駆動回路、 ９８ ＣＯＦ基板、 ９８ａ 第１面、 ９８ｂ 第２面、 ９８ｃ 下側端部、 ９８ｄ 上側端部、 １００ 記録ヘッド、 １０１ ヘッドユニット、 １１０ ヘッド本体、 １４０ 中継基板、 ２００ 流路部材、 ２０１ 開口部、 ２１０ 第１流路部材、 ２１６ 第２開口、 ２２０ 第２流路部材、 ２３０ 第３流路部材、 ２３６ 第１開口、 ２４０ 流路、 ２４１ 第１流路、 ２４２ 第２流路、 ２５１ 第１交差流路、 ２５２ 第２交差流路、 ２６１ 第１分岐流路、 ２６２ 第２分岐流路、 ２７１ 第１垂直流路、 ２７２ 第２垂直流路、 ２８１ 第１導入流路、 ２８２ 第２導入流路、 ２９１ 第１接続部、 ２９２ 第２接続部、 ３００ 圧電アクチュエーター

Claims (9)

1. 噴射方向へ液体を噴射する複数のノズル開口を有するノズルプレートと、
   前記複数のノズル開口の一部から液体を噴射させるために変形する第１の圧電体層と、
   前記第１の圧電体層と電気的に接続される第１のフレキシブル配線基板と、
   前記第１のフレキシブル配線基板が挿入される第１の開口部が設けられた流路部材と、
   を備え、
   前記流路部材は、前記複数のノズル開口の一部と連通する第１交差流路と、前記複数のノズル開口の一部と連通する第２交差流路と、前記複数のノズル開口の一部と連通する第３交差流路と、前記複数のノズル開口の一部と連通する第４交差流路とを画定し、
   前記第１、第２、第３及び第４交差流路の夫々は、前記流路部材の長手方向に延在し、
   前記第１及び第２交差流路は、前記噴射方向に見て少なくとも一部が重なり、
   前記第３及び第４交差流路は、前記噴射方向に見て少なくとも一部が重なり、
   前記第１の開口部は、前記長手方向と直交する方向において、前記第２交差流路と前記第４交差流路との間に配置されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記複数のノズル開口の一部から液体を噴射させるために変形する第２の圧電体層と、
   前記第２の圧電体層と電気的に接続される第２のフレキシブル配線基板と、を備え、
   前記流路部材には、前記第２のフレキシブル配線基板が挿入される第２の開口部と、前記噴射方向とは反対方向へ突出する複数の突部と、が設けられ、
   複数の前記突部は、内部に前記第１交差流路と連通する流路を有する第１突部と、内部に前記第２交差流路と連通する流路を有する第２突部と、内部に前記第３交差流路と連通する流路を有する第３突部と、内部に前記第４交差流路と連通する流路を有する第４突部とを含み、
   前記第１及び第２突部は、前記噴射方向に見て、前記第１の開口部および前記第２の開口部に対して、前記第１の開口部と前記第２の開口部とが並ぶ方向に対して直交する方向における一方側に配置され、
   前記第３及び第４突部は、前記噴射方向に見て、前記第１の開口部および前記第２の開口部に対して、前記第１の開口部と前記第２の開口部とが並ぶ方向に対して直交する方向における他方側に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記第１及び第２突部は、前記第１の開口部と前記第２の開口部とが並ぶ方向に沿って並び、
   前記第３及び第４突部は、前記第１の開口部と前記第２の開口部とが並ぶ方向に沿って並ぶことを特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記第１、第２、第３及び第４突部は、前記長手方向における前記流路部材の端部に配置されていることを特徴とする請求項２又は３に記載の液体噴射ヘッド。
5. 前記第１のフレキシブル配線基板は、ＣＯＦ基板であることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
6. 前記流路部材は、互いに積層された第１流路部材と第２流路部材とを含み、
   前記第１流路部材は、前記第１及び第３交差流路を画定し、
   前記第２流路部材は、
   前記第２及び第４交差流路と、
   前記長手方向および前記噴射方向の双方に直交する方向に見て前記第２交差流路と重なり、前記第１交差流路と連通する第１垂直流路と、
   前記長手方向および前記噴射方向の双方に直交する方向に見て前記第４交差流路と重なり、前記第３交差流路と連通する第２垂直流路と、を画定することを特徴とする請求項１乃至５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
7. 前記ノズルプレートおよび前記流路部材は、ステンレス鋼によって構成されることを特徴とする請求項１乃至６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
8. 前記第１の開口部は、前記流路部材の前記噴射方向を向く面に設けられた開口と、前記流路部材の前記噴射方向とは反対方向を向く面に設けられた開口と、が連通する開口部であることを特徴とする請求項１乃至７の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
9. 請求項１乃至８の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。

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