JP7033135B2 - 高速作動するシャッター動作を伴う2軸可変幅質量分解開口 - Google Patents
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Description
本出願は、2016年11月29日に出願された「高速作動するシャッター動作を伴う2軸可変幅質量溶解開口(TWO-AXIS VARIABLE WIDTH MASS RESOLVING APERTURE WITH FAST ACTING SHUTTER MOTION)」というタイトルが付された米国特許出願第15/363,728号の利益を主張し、その内容全体は、参照によって本明細書に組み込まれる。
本発明は、概して、イオン注入システムに関し、より詳細には、イオン注入システムにおけるイオンビームの開口幅を制御するためのシステムおよび方法に関する。
半導体デバイスの製造において、イオン注入は、半導体に不純物またはドーパントをドープ(ドーピング)するために使用される。イオン注入システム(イオン注入装置とも呼ばれる)は、一般に、n型またはp型の外因性材料ドーピングを生成するために、または集積回路の製造中にパッシベーション層を形成するために、シリコンウエハなどの半導体ワークピースをイオンビームで処理するために使用される。半導体をドーピングするために使用されるとき、イオン注入装置は、選択された外因性イオン種を注入して、半導体材料に所望の特性を生成する。アンチモン、ヒ素、またはリンなどの原材料から生成されたイオンを注入すると、「n型」の外因性材料ウエハが得られるが、「p型」の外因性材料ウエハが所望される場合、ホウ素、またはインジウムなどの原材料で生成されたイオンを注入されてもよい。
したがって、本開示は、イオン注入システムにおける質量分解開口の幅を選択的に制御し、イオンビームを選択的に阻止するためのシステムおよび装置を提供する。したがって、以下は、本発明のいくつかの態様の基本的な理解を提供するために、本開示の簡略化された概要を提示する。この概要は、本発明の広い概略ではない。これは、本発明の鍵となるまたは重要な素子を識別するものでも本発明の範囲を詳細に叙述するものでもないことを示す。この目的は、後に述べるより詳細な説明の序文として、本発明のいくつかの概念を単純化した形で示すことにある。
図1は、本開示の一態様に係る実施例のイオン注入システムを示す。
本開示は、概して、イオン注入システムにおける質量分解開口の幅を選択的に制御するためのシステム、装置、および方法に関する。したがって、本発明は、図面を参照して説明され、全体を通して、同様の参照番号は、同様の素子を指すために使用されてもよい。本明細書で提供される説明は、単に例示的なものであり、この詳細な説明は、限定的な意味で解釈されるべきではないことが理解されるであろう。以下の説明では、説明の目的のために、本発明の完全な理解を提供すべく、様々な具体的な細部が記載されている。しかしながら、当業者には、本発明は、これらの具体的な細部のいくつかがなくても実施されてもよいことが明らかであろう。さらに、本発明の範囲は、添付の図面を参照して以下に説明される実施形態または実施例によって限定されることを意図するものではないが、添付の特許請求の範囲およびその実質的な均等物によってのみ限定されることを意図するものである。
Claims (19)
- イオン注入システムであって、
選択された種を有するイオンビームを生成するイオン源と、
選択された電荷対質量比および角度調整に従って磁界を生成し、かつ、イオン源の下流に配置された質量分析器と、
前記質量分析器の下流に配置された分解開口アセンブリと、
コントローラと、を含み、
前記分解開口アセンブリは、
第1のプレートおよび第2のプレートと、
前記第1のプレートおよび前記第2のプレートのうちの1つ以上に動作可能に結合された1つ以上のアクチュエータと、を含み、
前記第1のプレートおよび前記第2のプレートは、それらの間に分解開口を画定し、
前記第2のプレートに対する前記第1のプレートの位置は、前記分解開口の幅を画定し、
前記1つ以上のアクチュエータは、1つ以上の前記第1のプレートおよび前記第2のプレートのそれぞれの位置を互いに対して選択的に変化させることにより、前記分解開口の前記幅を選択的に変化させるように構成されており、
前記コントローラは、
前記1つ以上のアクチュエータを制御することによって前記分解開口の前記幅を制御するように構成されており、
前記分解開口の前記幅の制御は、前記イオンビームの1つ以上の所望の特性に少なくとも部分的に基づいており、
前記1つ以上のアクチュエータは、前記第1のプレートを前記第2のプレートに対して位置決めして、前記分解開口を選択的に閉じ、前記イオンビームが前記分解開口アセンブリの下流に移動することを選択的に防止するようにさらに構成されており、
前記1つ以上のアクチュエータは、
サーボモータと、
前記第1のプレートおよび前記第2のプレートのうちの1つ以上に動作可能に結合された空気圧シリンダと、を含み、
前記サーボモータは、前記分解開口の前記幅を正確に変化させるように構成されており、
前記空気圧シリンダは、前記分解開口を選択的に閉じるように構成されている、イオン注入システム。 - 前記イオンビームの前記1つ以上の所望の特性は、選択されたイオンビームエンベロープと、前記イオンビームの選択された質量分解能と、を含む、請求項1に記載のイオン注入システム。
- 前記1つ以上のアクチュエータは、選択された前記ビームエンベロープおよび選択された前記質量分解能のうちの1つ以上に基づいて、前記分解開口を前記質量分析器の出射ビーム経路内に選択的に位置決めするように、前記第1のプレートおよび前記第2のプレートを選択的に位置決めするようにさらに構成されている、請求項2に記載のイオン注入システム。
- 前記1つ以上のアクチュエータは、1つ以上のリニアアクチュエータを含む、請求項3に記載のイオン注入システム。
- 前記イオンビームに関連する1つ以上の状態を検出するように構成された感知装置をさらに含む、請求項1に記載のイオン注入システム。
- 前記1つ以上の状態は、1つ以上の故障状態に関連し、
前記コントローラは、前記1つ以上の故障状態を検出した場合に、前記空気圧シリンダを制御することによって前記分解開口を選択的に閉じるように構成されている、請求項5に記載のイオン注入システム。 - 前記1つ以上の故障状態は、前記イオンビームの望ましくない電流に関連する、請求項6に記載のイオン注入システム。
- 前記コントローラは、前記感知装置によって感知された前記1つ以上の状態に基づいて、前記1つ以上のアクチュエータを制御することによって、前記第1のプレートおよび前記第2のプレートを選択的に個別に移動させるように構成されている、請求項5に記載のイオン注入システム。
- 前記1つ以上の状態は、望ましくないアイソトープに関連するイオンビーム電流を含む、請求項8に記載のイオン注入システム。
- 前記質量分析器および前記分解開口の下流に配置された集束コンポーネントをさらに含み、
前記集束コンポーネントは、前記イオンビームを集束させるように構成されている、請求項1に記載のイオン注入システム。 - 前記集束コンポーネントは、前記分解開口に近接する位置において前記イオンビームを最小値に集束させるように構成されている、請求項10に記載のイオン注入システム。
- 前記1つ以上のアクチュエータは、
サーボモータと、
前記第1のプレートおよび前記第2のプレートのうちの1つ以上に動作可能に結合された空気圧シリンダと、を含んでいる、請求項1に記載のイオン注入システム。 - 1つ以上のリニアポテンショメータをさらに含み、
前記1つ以上のリニアポテンショメータは、前記第1のプレートおよび前記第2のプレートのうちの1つ以上の位置を、前記コントローラに提供するように構成されている、請求項12に記載のイオン注入システム。 - 前記サーボモータおよび前記空気圧シリンダは、前記第1のプレートおよび前記第2のプレートの位置を互いに対して独立して変化させるように構成されている、請求項12に記載のイオン注入システム。
- 前記イオンビームの経路に沿って前記分解開口の位置を選択的に変化させるように構成された下流位置アクチュエータをさらに含み、
前記コントローラは、前記イオンビームの1つ以上の所望の特性に少なくとも部分的に基づいて、前記イオンビームの前記経路に沿って前記分解開口の前記位置を制御するようにさらに構成されている、請求項1に記載のイオン注入システム。 - イオン注入システムのための分解開口アセンブリであって、
前記分解開口アセンブリは、
第1のプレートと、
第2のプレートと、
前記第1のプレートおよび前記第2のプレートのうちの1つ以上に動作可能に結合された1つ以上のアクチュエータと、を含み、
前記第1のプレートおよび前記第2のプレートは、それらの間に分解開口を画定し、
前記第2のプレートに対する前記第1のプレートの位置は、前記分解開口の幅を画定し、
前記1つ以上のアクチュエータは、前記第1のプレートおよび前記第2のプレートの位置を互いに対して選択的に変化させることにより、前記分解開口の前記幅を選択的に変化させるように構成されており、
前記1つ以上のアクチュエータは、1つ以上のリニアアクチュエータを含み、
前記1つ以上のリニアアクチュエータは、サーボモータおよび空気圧シリンダを含み、
前記サーボモータおよび前記空気圧シリンダは、前記第1のプレートおよび前記第2のプレートの位置を互いに対して独立して変化させるように構成されている、分解開口アセンブリ。 - 1つ以上のリニアポテンショメータをさらに含み、
前記1つ以上のリニアポテンショメータは、前記第1のプレートおよび前記第2のプレートのうちの1つ以上の位置を決定するように構成されている、請求項16に記載の分解開口アセンブリ。 - 前記サーボモータは、前記分解開口の前記幅を正確に変化させるように構成されており、
前記空気圧シリンダは、前記分解開口を選択的に閉じるように構成されている、請求項16に記載の分解開口アセンブリ。 - 前記1つ以上のアクチュエータを制御することによって、前記分解開口の前記幅を選択的に変化させるように構成されたコントローラをさらに含む、請求項16に記載の分解開口アセンブリ。
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