JP7031958B2 - Transmission line cover assembly and processing equipment - Google Patents

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Description

本発明は、チューブ又はリード線からなる複数の伝達線を屈曲可能に収容する伝達線カバーアセンブリ及び該伝達線カバーアセンブリを使用した加工装置に関する。 The present invention relates to a transmission line cover assembly that flexibly accommodates a plurality of transmission lines consisting of tubes or lead wires, and a processing apparatus using the transmission line cover assembly.

産業機械や製造装置等の加工装置では、水やエアーと言った各種の流体を用いるものが多く、これらの流体や加工装置を構成する可動部の動作に必要な電力や信号等は、リード線等の配線や、チューブ、配管を通じて可動部に供給される。 Many processing equipment such as industrial machines and manufacturing equipment use various fluids such as water and air, and the power and signals required for the operation of these fluids and the moving parts that make up the processing equipment are lead wires. It is supplied to the moving parts through wiring such as, tubes, and pipes.

即ち、加工装置には、流体を供給するチューブ、電線コード、電線ケーブル、光ファイバー、光ファイバーケーブル等の各種の伝達線が使用されている。通常、伝達線は、装置の基台やフレーム等に固定されている。また、複数の伝達線を同じ位置に１つの結束バンド等で固定して設置する方法も多く採用されている。 That is, various transmission lines such as tubes for supplying fluid, electric wire cords, electric wire cables, optical fibers, and optical fiber cables are used in the processing apparatus. Normally, the transmission line is fixed to the base of the device, the frame, or the like. In addition, many methods are also adopted in which a plurality of transmission lines are fixed and installed at the same position with one binding band or the like.

装置の改造等に伴い伝達線を変更したりする際は、伝達線を固定する結束バンドを全て外し、複数の伝達線の中から所望の伝達線を選び出して取り外す。そして、再度伝達線を這い回した後、他の伝達線と共に固定し直す必要があり、非常に手間が掛かる。 When changing the transmission line due to modification of the device, remove all the binding bands that fix the transmission line, select the desired transmission line from the plurality of transmission lines, and remove it. Then, after crawling around the transmission line again, it is necessary to fix it together with other transmission lines, which is very troublesome.

また、研削装置、切削装置、レーザー加工装置等の各種加工装置に用いられるチャックテーブルに接続される伝達線は、チャックテーブルの移動／又は回転に追随して屈曲しながら移動するため、配管が擦れやすく磨耗し易い。そのため、流体の漏れや電線の破断を未然に防止するため、定期的に伝達線を交換する必要がある。 Further, the transmission line connected to the chuck table used in various processing devices such as a grinding device, a cutting device, and a laser processing device moves while bending following the movement / or rotation of the chuck table, so that the piping is rubbed. Easy to wear. Therefore, it is necessary to replace the transmission line regularly in order to prevent fluid leakage and breakage of the electric wire.

特開２０１３－３５１１３号公報には、配線配管が可動体と固定体とに固定される場合において、配線配管の中間部分が固定体に接触して擦れが生じないようにした可動配線配管接続装置が開示されている。 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2013-35113 describes a movable wiring / piping connection device in which when a wiring / piping is fixed to a movable body and a fixed body, an intermediate portion of the wiring / piping does not come into contact with the fixed body to cause rubbing. Is disclosed.

特開２０１１－２５１３７５号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2011-251375 特開２０１２－９５４４１号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-95441 特開２０１３－３５１１３号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2013-35113

特許文献３に記載された可動配線配管接続装置によると、フラットな配線配管の中間部分が湾曲して固定体に接触しても擦れを抑制してその破損を十分に防止することができるが、伝達線を屈曲可能に収容してその破損を確実に防止できる構造が要望されている。 According to the movable wiring / piping connection device described in Patent Document 3, even if the intermediate portion of the flat wiring / piping is curved and comes into contact with the fixed body, rubbing can be suppressed and the damage can be sufficiently prevented. There is a demand for a structure that can flexibly accommodate the transmission line and reliably prevent its damage.

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、チューブ又はリード線からなる伝達線を屈曲可能に収容してその破損を防止可能な伝達線カバーアセンブリを提供することである。 The present invention has been made in view of such a point, and an object of the present invention is to provide a transmission line cover assembly capable of flexibly accommodating a transmission line composed of a tube or a lead wire and preventing its breakage. It is to be.

請求項１記載の発明によると、伝達線カバーアセンブリであって、流体を供給するチューブと、ケーブル、光ファイバー、又はリード線と、からなる複数の伝達線と、該各伝達線を収容する開口を長手方向に有し、互いに接着されたまま屈曲可能な複数のアウターチューブと、のみを備え、該各アウターチューブは該伝達線が径方向に移動できる内径を有し、該複数のアウターチューブは所定の方向に一列に配置された状態で互いに接着されており、該各アウターチューブ内に１つの該伝達線のみが収容されることにより、該各伝達線は対応する該各アウターチューブ内において互いに独立して径方向に移動できるとともに、該各伝達線は該各アウターチューブから選択的に引き出して交換できるように該各アウターチューブに収容されていることを特徴とする伝達線カバーアセンブリが提供される。 According to the invention of claim 1, the transmission line cover assembly is provided with a plurality of transmission lines including a tube for supplying a fluid, a cable, an optical fiber, or a lead wire , and an opening for accommodating each transmission line. It comprises only a plurality of outer tubes that are longitudinally held and bendable while being adhered to each other, each of which has an inner diameter through which the transmission line can move radially, and the plurality of outer tubes are predetermined. Each of the transmission lines is independent of each other in the corresponding outer tube by accommodating only one transmission line in each of the outer tubes, arranged in a row in the direction of. Provided is a transmission line cover assembly characterized in that each transmission line can be moved radially and is housed in each outer tube so that the transmission line can be selectively pulled out from each outer tube and replaced. ..

好ましくは、アウターチューブの内周面には、フッ素樹脂が被覆されている。 Preferably , the inner peripheral surface of the outer tube is coated with a fluororesin.

請求項３記載の発明によると、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、該チャックテーブルと該加工ユニットとを相対移動させる移動ユニットと、一端が該チャックテーブル又は該加工ユニットに接続され他端が供給源に接続された複数の伝達線と、を備えた加工装置であって、該複数の伝達線は請求項１又は２記載のアウターチューブ内に収容されていることを特徴とする加工装置が提供される。 According to the third aspect of the present invention, a chuck table for holding a workpiece, a machining unit for machining a workpiece held on the chuck table, and a moving unit for relatively moving the chuck table and the machining unit. A processing apparatus including a plurality of transmission lines having one end connected to the chuck table or the processing unit and the other end connected to a supply source, wherein the plurality of transmission lines are according to claim 1 or 2 . A processing device characterized by being housed in an outer tube of the above is provided.

本発明の伝達線カバーアセンブリによると、所謂チューブインチューブ方式を用いることで伝達線の擦れ等による摩耗を防ぎ、流体の漏れや電線の破断を防止することができる。また、複数のアウターチューブからなる伝達線カバーアセンブリの構成を維持しつつ、選択した伝達線だけを交換することも可能なので、効率的な伝達線のメンテナンスや所望の伝達線の組み合わせに変更することもできる。 According to the transmission line cover assembly of the present invention, by using the so-called tube-in-tube method, it is possible to prevent wear due to rubbing of the transmission line and prevent fluid leakage and breakage of the electric wire. It is also possible to replace only the selected transmission line while maintaining the configuration of the transmission line cover assembly consisting of multiple outer tubes, so efficient maintenance of the transmission line and change to the desired transmission line combination. You can also.

図１（Ａ）は本発明実施形態に掛かる伝達線カバーアセンブリの斜視図、図１（Ｂ）はその断面図である。1 (A) is a perspective view of a transmission line cover assembly according to an embodiment of the present invention, and FIG. 1 (B) is a sectional view thereof. アウターチューブ内から伝達線を引き抜く様子を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the state of pulling out a transmission line from the inside of an outer tube. 実施形態に係る伝達線カバーアセンブリを備えた研削装置のターンテーブル周りの側面図である。It is a side view around the turntable of the grinding apparatus provided with the transmission line cover assembly which concerns on embodiment. 可動伝達線接続装置の断面図である。It is sectional drawing of the movable transmission line connection apparatus. 可動伝達線接続装置の斜視図である。It is a perspective view of the movable transmission line connection device. 図４の状態からターンテーブルが所定角度回転した場合における可動伝達線接続装置の断面図である。It is sectional drawing of the movable transmission line connection apparatus in the case where a turntable is rotated by a predetermined angle from the state of FIG.

以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１（Ａ）を参照すると、本発明実施形態に係る伝達線カバーアセンブリ２の斜視図が示されている。図１（Ｂ）は伝達線カバーアセンブリ２の断面図である。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Referring to FIG. 1A, a perspective view of the transmission line cover assembly 2 according to the embodiment of the present invention is shown. FIG. 1B is a cross-sectional view of the transmission line cover assembly 2.

伝達線カバーアセンブリ２は、可撓性を有する（フレキシブルな）アウターチューブ４を接着剤又は溶着により互いに平行に接着されて構成されている。アウターチューブ４の長手方向全長にわたり接着されるか、或いは間欠的に接着されている。アウターチューブ４は例えば、ポリウレタン等の合成樹脂から形成されている。 The transmission line cover assembly 2 is configured by bonding flexible (flexible) outer tubes 4 in parallel to each other by adhesive or welding. The outer tube 4 is bonded over the entire length in the longitudinal direction, or is bonded intermittently. The outer tube 4 is formed of, for example, a synthetic resin such as polyurethane.

各アウターチューブ４内には、チューブ、電線コード（リード線）、電線ケーブル、光ファイバー、光ファイバーケーブル等からなる伝達線６，６ａが収容されている。各アウターチューブ４は、伝達線６，６ａが径方向に十分移動できる内径を有している。好ましくは、各アウターチューブの内周面には、伝達線６，６ａがアウターチューブ４に接触した際滑りを良くするためのフッ素樹脂が被覆されている。 In each outer tube 4, transmission lines 6 and 6a including a tube, an electric wire cord (lead wire), an electric wire cable, an optical fiber, an optical fiber cable and the like are housed. Each outer tube 4 has an inner diameter that allows the transmission lines 6 and 6a to move sufficiently in the radial direction. Preferably, the inner peripheral surface of each outer tube is coated with a fluororesin for improving the slip when the transmission lines 6 and 6a come into contact with the outer tube 4.

このように構成された伝達線カバーアセンブリ２は、各アウターチューブ４が互いに接着されたまま自由に屈曲可能又は湾曲可能であり、各伝達線６，６ａが固定体と可動体との間に接続される際に、アウターチューブ４内に伝達線６，６ａを収容して可動体の移動につれて自由に屈曲可能である。 In the transmission line cover assembly 2 configured in this way, the outer tubes 4 can be freely bent or bent while being adhered to each other, and the transmission lines 6 and 6a are connected between the fixed body and the movable body. At that time, the transmission lines 6 and 6a are accommodated in the outer tube 4 and can be freely bent as the movable body moves.

各伝達線６，６ａは可撓性を有するアウターチューブ４内に収容されているため、伝達線６，６ａ同士または伝達線が接触する部材との擦れ等による摩耗を防止することができ、流体の漏れや電線の破断等を防止することができる。 Since each of the transmission lines 6 and 6a is housed in the flexible outer tube 4, it is possible to prevent wear due to rubbing between the transmission lines 6 and 6a or the member with which the transmission lines come into contact, and the fluid can be prevented. It is possible to prevent leakage and breakage of electric wires.

図２に示すように、伝達線６，６ａはアウターチューブ４内から矢印Ａ方向に引き出して、伝達線６，６ａを新たな伝達線に交換することができる。このように、伝達線カバーアセンブリ２の構成を維持しつつ、選択した伝達線６，６ａだけを交換することも可能なので、効率的な伝達線のメンテナンスや所望の伝達線６，６ａの組み合わせに変更することができる。 As shown in FIG. 2, the transmission lines 6 and 6a can be pulled out from the outer tube 4 in the direction of arrow A, and the transmission lines 6 and 6a can be replaced with new transmission lines. In this way, it is possible to replace only the selected transmission lines 6 and 6a while maintaining the configuration of the transmission line cover assembly 2, so that efficient maintenance of the transmission lines and a desired combination of transmission lines 6 and 6a can be achieved. Can be changed.

次に、図３乃至図６を参照して、実施形態に係る伝達線カバーアセンブリ２を可動伝達線接続装置に適用した例について説明する。図３を参照すると、研削装置１０に備わったターンテーブル１４の周辺の模式的側面図が示されている。 Next, an example in which the transmission line cover assembly 2 according to the embodiment is applied to the movable transmission line connection device will be described with reference to FIGS. 3 to 6. Referring to FIG. 3, a schematic side view of the periphery of the turntable 14 provided in the grinding apparatus 10 is shown.

ターンテーブル１４上には、複数のチャックテーブル１２が回転可能に支持されている。各チャックテーブル１２は、ウェーハＷを吸引保持する保持部１２ａと、保持部１２ａから垂下する軸部１６とを備えている。 A plurality of chuck tables 12 are rotatably supported on the turntable 14. Each chuck table 12 includes a holding portion 12a that sucks and holds the wafer W, and a shaft portion 16 that hangs down from the holding portion 12a.

ターンテーブル１４は円盤状に形成されており、その中心部から回転軸１８が垂下している。ターンテーブル１４の回転軸１８は、ターンテーブル１４を構成する円筒形状の回転支持部２２によって回転可能に支持されている。 The turntable 14 is formed in a disk shape, and a rotation shaft 18 hangs down from the center thereof. The rotation shaft 18 of the turntable 14 is rotatably supported by a cylindrical rotation support portion 22 constituting the turntable 14.

各チャックテーブル１２の軸部１６は、ターンテーブル１４に設けられた貫通穴１５に挿通され、図示しないベアリングによって回転可能に支持されている。軸部１６には、ベルト２４が巻回されており、ベルト２４がモータ２６によって回転されることによりチャックテーブル１２が自転する構成となっている。 The shaft portion 16 of each chuck table 12 is inserted into a through hole 15 provided in the turntable 14, and is rotatably supported by a bearing (not shown). A belt 24 is wound around the shaft portion 16, and the chuck table 12 rotates on its axis when the belt 24 is rotated by the motor 26.

図４に示す可動伝達線接続装置３０は、図１に示した研削装置２の動作に必要とされる配線や配管を、電圧、吸引力、水等の供給源に接続する装置であり、回転支持部２２の外壁を囲う形で、ターンテーブル１４の回転中心と同じ回転中心を有する円筒形状のケーブル巻き取り回転部３２がターンテーブル１４の下側に設置されている。ケーブ巻き取り回転部３２は、ターンテーブル１４の回転軸１８とともに回転する。 The movable transmission line connecting device 30 shown in FIG. 4 is a device that connects the wiring and piping required for the operation of the grinding device 2 shown in FIG. 1 to a supply source such as voltage, suction force, and water, and rotates. A cylindrical cable winding rotating portion 32 having the same rotation center as the rotation center of the turntable 14 is installed under the turntable 14 so as to surround the outer wall of the support portion 22. The cave take-up rotating portion 32 rotates together with the rotating shaft 18 of the turntable 14.

ケーブル巻き取り回転部３２の外周側には、ターンテーブル１４の回転中心と同じ中心を有し、ターンテーブルベース２０に固定された帯状のケーブル外周ガイド部３４を備えている。ケーブル巻き取り回転部３２とケーブル外周ガイド部３４との間のリング状の空間は、ケーブル格納エリア３６を構成している。 On the outer peripheral side of the cable winding rotating portion 32, a strip-shaped cable outer peripheral guide portion 34 having the same center as the rotation center of the turntable 14 and fixed to the turntable base 20 is provided. The ring-shaped space between the cable winding rotating portion 32 and the cable outer peripheral guide portion 34 constitutes the cable storage area 36.

ケーブル格納エリア３６には、図５に示すように、それぞれ複数のアウターチューブ４が並列に接着された複数の（本実施形態では３個）伝達線カバーアセンブリ２ａ，２ｂ，２ｃが収容されている。 As shown in FIG. 5, the cable storage area 36 accommodates a plurality of transmission line cover assemblies 2a, 2b, 2c in which a plurality of outer tubes 4 are bonded in parallel (three in this embodiment). ..

伝達線カバーアセンブリ２ａ～２ｃの外側端部は、電線群を構成する接続線カバーアセンブリ２ａ、吸引ホース群を構成する伝達線カバーアセンブリ２ｂ及び給水ホース群を構成する伝達線カバーアセンブリ２ｃがスペーサー４２を介在させた状態で、固定金具３８によって束ねられ、ボルト４４によって固定されている。伝達線カバーアセンブリ２ａ～２ｃの外側端部は、ブラケット４０を介してケーブル外周ガイド部３４に固定され、外部の供給源に連結されている。 At the outer ends of the transmission line cover assemblies 2a to 2c, the connection line cover assembly 2a constituting the electric wire group, the transmission line cover assembly 2b constituting the suction hose group, and the transmission line cover assembly 2c constituting the water supply hose group are spacers 42. Is bundled by the fixing bracket 38 and fixed by the bolt 44 with the hose interposed therebetween. The outer ends of the transmission line cover assemblies 2a to 2c are fixed to the cable outer peripheral guide portion 34 via the bracket 40 and connected to an external supply source.

一方、伝達線カバーアセンブリ２ａ～２ｃの内側端部は、スペーサー５０を介在させた状態で、固定金具４６によって束ねられ、ボルト５２によって固定されている。伝達線カバーアセンブリ２ａ～２ｃの内側端部はブラケット４８を介してケーブル巻き取り回転部３２と共に回転する分配部４８に固定され、分配部４８からそれぞれのチャックテーブル１２に伝達線６，６ａが分配され、チャックテーブル１２に対して回転、吸引等の動作に必要な電力や吸引力等を供給している。伝達線カバーアセンブリ２ａ～２ｃは、ターンテーブル１４の上方から見た状態では、Ｕ字形状に湾曲してケーブル格納エリア３６に格納されている。 On the other hand, the inner end portions of the transmission line cover assemblies 2a to 2c are bundled by the fixing bracket 46 and fixed by the bolt 52 with the spacer 50 interposed therebetween. The inner ends of the transmission line cover assemblies 2a to 2c are fixed to the distribution section 48 that rotates together with the cable winding rotation section 32 via the bracket 48, and the transmission lines 6 and 6a are distributed from the distribution section 48 to the respective chuck tables 12. The chuck table 12 is supplied with electric power, suction force, and the like necessary for operations such as rotation and suction. The transmission line cover assemblies 2a to 2c are curved in a U shape and stored in the cable storage area 36 when viewed from above the turntable 14.

ターンテーブル１４が矢印Ａ方向（巻き取り方向）に回転して伝達線カバーアセンブリ２ａ～２ｃが巻き取られていき、伝達線カバーアセンブリ２ａ～２ｃがケーブル巻き取り回転部３２に最も巻き取られた時のターンテーブル１４の位置を図４に示す原点位置とする。 The turntable 14 was rotated in the direction of arrow A (winding direction) to wind the transmission line cover assemblies 2a to 2c, and the transmission line cover assemblies 2a to 2c were most wound around the cable winding rotating portion 32. The position of the turntable 14 at the time is defined as the origin position shown in FIG.

一方、ターンテーブル１４が原点位置から矢印Ｂ方向（反巻き取り方向）に回転すると、伝達線カバーアセンブリ２ａ～２ｃがケーブル巻き取り回転部３２から離間し、図６に示すように、ケーブル外周ガイド部３４に押し付けられるように湾曲する。 On the other hand, when the turntable 14 rotates in the direction of arrow B (counterwind winding direction) from the origin position, the transmission line cover assemblies 2a to 2c are separated from the cable winding rotating portion 32, and as shown in FIG. 6, the cable outer peripheral guide It is curved so as to be pressed against the portion 34.

このようにして、原点位置を基準として反巻き取り方向に所定角度（例えば３００°）ターンテーブル１４が回転した時のターンテーブル１４の位置を、図６に示す回転限界位置という。ターンテーブル１４は、原点位置と回転限界位置との間で往復回転動作可能となっている。 In this way, the position of the turntable 14 when the turntable 14 is rotated by a predetermined angle (for example, 300 °) in the counterwinding direction with respect to the origin position is referred to as a rotation limit position shown in FIG. The turntable 14 is capable of reciprocating rotation between the origin position and the rotation limit position.

図４及び図６に示すように、ケーブル格納エリア３６には、ケーブル巻き取り回転部３２に巻き取られた伝達線カバーアセンブリ２ａ～２ｃの外周側の位置に、ターンテーブル１４が原点位置から反巻き取り方向に回転する際に、伝達線カバーアセンブリ２ａ～２ｃがケーブル巻き取り回転部３２の回転中心から離間して放射方向に押し出される距離を制限するガイド手段５６が配設されている。 As shown in FIGS. 4 and 6, in the cable storage area 36, the turntable 14 is located at a position on the outer peripheral side of the transmission line cover assemblies 2a to 2c wound around the cable winding rotating portion 32 from the origin position. A guide means 56 is provided to limit the distance at which the transmission line cover assemblies 2a to 2c are pushed out in the radial direction away from the rotation center of the cable winding rotation portion 32 when rotating in the winding direction.

ガイド手段５６は、ケーブル巻き取り回転部３２の回転軸と平行な軸方向を回転軸とする円筒形状の垂直ローラ５８がケーブル格納エリア３６に複数配設されて構成されている。垂直ローラ５８は、ケーブル巻き取り回転部３２の外周と同心円の同一円周上に複数配設されている。垂直ローラ５８は、ケーブル巻き取り回転部３２に巻き取られた伝達線カバーアセンブリ２ａ～２ｃと接触しない間隔が確保された状態で２個以上配設されている。 The guide means 56 is configured by disposing a plurality of cylindrical vertical rollers 58 having an axial direction parallel to the rotation axis of the cable winding rotation unit 32 as a rotation axis in the cable storage area 36. A plurality of vertical rollers 58 are arranged on the same circumference as a concentric circle with the outer circumference of the cable winding rotating portion 32. Two or more vertical rollers 58 are arranged in a state where a space is secured so as not to come into contact with the transmission line cover assemblies 2a to 2c wound around the cable winding rotating portion 32.

ケーブル格納エリア３６には更に、伝達線カバーアセンブリ２ａ～２ｃを下側から支えるサポート手段６０が配設されている。サポート手段６０は、ターンテーブル１４が原点位置から回転限界位置までにおける規制された範囲内で回転移動動作を行なう際に、伝達線カバーアセンブリ２ａ～２ｃが自重で垂れ下がる位置に配設されている。伝達線カバーアセンブリ２ａ～２ｃが自重で垂れ下がる位置は、具体的には、伝達線カバーアセンブリ２ａ～２ｃがＵ字状に湾曲した状態で移動する範囲である。 Further, the cable storage area 36 is provided with support means 60 for supporting the transmission line cover assemblies 2a to 2c from below. The support means 60 is arranged at a position where the transmission line cover assemblies 2a to 2c hang down by their own weight when the turntable 14 performs a rotational movement operation within a regulated range from the origin position to the rotation limit position. The position where the transmission line cover assemblies 2a to 2c hang down due to their own weight is specifically a range in which the transmission line cover assemblies 2a to 2c move in a U-shaped curved state.

サポート手段６０は、ターンテーブル１４の回転中心から放射状に伸びる方向を軸とする円筒又は円柱形状の複数の水平ローラ６２により構成されている。本実施形態では、サポート手段６０として３個の水平ローラ６２が配設されているが、水平ローラ６２の数は何個でもよい。 The support means 60 is composed of a plurality of cylindrical or cylindrical horizontal rollers 62 having a direction extending radially from the center of rotation of the turntable 14. In the present embodiment, three horizontal rollers 62 are arranged as the support means 60, but the number of horizontal rollers 62 may be any number.

図３に示した研削装置１０では、ターンテーブル１４が回転してチャックテーブル１２が粗研削位置に位置付けられると、チャックテーブル１２に保持されたウェーハＷに対して粗研削加工が実施され、ターンテーブル１４が更に回転してチャックテーブル１２が仕上げ研削位置に位置付けられると、チャックテーブル１２に保持されたウェーハＷに対して仕上げ研削が実施される。従って、ターンテーブル１４が原点位置から回転限界位置まで回転する。 In the grinding apparatus 10 shown in FIG. 3, when the turntable 14 rotates and the chuck table 12 is positioned at the rough grinding position, the wafer W held on the chuck table 12 is subjected to rough grinding, and the turntable is subjected to rough grinding. When the chuck table 12 is further rotated and the chuck table 12 is positioned at the finish grinding position, finish grinding is performed on the wafer W held by the chuck table 12. Therefore, the turntable 14 rotates from the origin position to the rotation limit position.

然し、ターンテーブル１４の回転に伴い伝達線カバーアセンブリ２ａ～２ｃが外周側に押し出されても、ガイド手段５６によって放射方向に押し出される距離が制限されるため、伝達線カバーアセンブリ２ａ～２ｃがケーブル外周ガイド部３４に接触することがない。 However, even if the transmission line cover assemblies 2a to 2c are extruded to the outer peripheral side due to the rotation of the turntable 14, the distance extruded in the radial direction by the guide means 56 is limited, so that the transmission line cover assemblies 2a to 2c are cables. It does not come into contact with the outer peripheral guide portion 34.

また、伝達線カバーアセンブリ２ａ～２ｃがＵ字状に湾曲しても、湾曲部分はサポート手段６０によって下方から支持されているため、伝達線カバーアセンブリ２ａ～２ｃが垂れ下がってターンテーブルベース２０に接触することがない。 Further, even if the transmission line cover assemblies 2a to 2c are curved in a U shape, since the curved portion is supported from below by the support means 60, the transmission line cover assemblies 2a to 2c hang down and come into contact with the turntable base 20. There is nothing to do.

更に、伝達線カバーアセンブリ２ａ～２ｃでは、図１に示すように、各伝達線６，６ａが長手方向に平行になるように互いに接着されたアウターチューブ４内に収容されているため、アウターチューブ４が湾曲しても、伝達線６，６ａがケーブル巻き取り回転部３２及び／又はケーブル外周ガイド部３４に直接接触することがないため、伝達線６，６ａの破損を未然に防止できる。 Further, in the transmission line cover assemblies 2a to 2c, as shown in FIG. 1, since the transmission lines 6 and 6a are housed in the outer tube 4 bonded to each other so as to be parallel to each other in the longitudinal direction, the outer tube is accommodated. Even if 4 is curved, the transmission lines 6 and 6a do not come into direct contact with the cable winding rotating portion 32 and / or the cable outer peripheral guide portion 34, so that the transmission lines 6 and 6a can be prevented from being damaged.

２，２ａ～２ｃ 伝達線カバーアセンブリ
４ アウターチューブ
６，６ａ 伝達線
１０ 研削装置
１２ チャックテーブル
１４ ターンテーブル
１８ 回転軸
２０ ターンテーブルベース
３２ ケーブル巻き取り回転部
３４ ケーブル外周ガイド部
３６ ケーブル格納エリア 2,2a-2c Transmission line cover assembly 4 Outer tube 6,6a Transmission line 10 Grinding device 12 Chuck table 14 Turntable 18 Rotating shaft 20 Turntable base 32 Cable winding rotating part 34 Cable outer peripheral guide part 36 Cable storage area

Claims (3)

伝達線カバーアセンブリであって、
流体を供給するチューブと、ケーブル、光ファイバー、又はリード線と、からなる複数の伝達線と、
該各伝達線を収容する開口を長手方向に有し、互いに接着されたまま屈曲可能な複数のアウターチューブと、のみを備え、
該各アウターチューブは該伝達線が径方向に移動できる内径を有し、
該複数のアウターチューブは所定の方向に一列に配置された状態で互いに接着されており、
該各アウターチューブ内に１つの該伝達線のみが収容されることにより、該各伝達線は対応する該各アウターチューブ内において互いに独立して径方向に移動できるとともに、該各伝達線は該各アウターチューブから選択的に引き出して交換できるように該各アウターチューブに収容されていることを特徴とする伝達線カバーアセンブリ。 Transmission line cover assembly
Multiple transmission lines consisting of a tube that supplies fluid, a cable, an optical fiber, or a lead wire ,
It has an opening in the longitudinal direction to accommodate each of the transmission lines, and is provided with only a plurality of outer tubes that can be bent while being adhered to each other.
Each outer tube has an inner diameter that allows the transmission line to move radially.
The plurality of outer tubes are bonded to each other in a state of being arranged in a row in a predetermined direction.
By accommodating only one transmission line in each outer tube, the transmission lines can move radially independently of each other in the corresponding outer tubes, and the transmission lines are each. A transmission line cover assembly characterized in that it is housed in each outer tube so that it can be selectively pulled out of the outer tube and replaced. 該各アウターチューブの内周面には、フッ素樹脂が被覆されていることを特徴とする請求項１記載の伝達線カバーアセンブリ。 The transmission line cover assembly according to claim 1, wherein the inner peripheral surface of each outer tube is coated with a fluororesin. 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、該チャックテーブルと該加工ユニットとを相対移動させる移動ユニットと、一端が該チャックテーブル又は該加工ユニットに接続され他端が供給源に接続された複数の伝達線と、を備えた加工装置であって、
該複数の伝達線は請求項１又は２記載のアウターチューブ内に収容されていることを特徴とする加工装置。 A chuck table that holds the workpiece, a machining unit that processes the workpiece held on the chuck table, a moving unit that moves the chuck table and the machining unit relative to each other, and one end of the chuck table or the chuck table. A machining apparatus comprising a plurality of transmission lines connected to a machining unit and the other end connected to a supply source.
The processing apparatus according to claim 1 or 2, wherein the plurality of transmission lines are housed in the outer tube.
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