JP7025683B2 - Light source device - Google Patents

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    • G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor

Description

本発明は、光源装置に関し、特に、複数のＬＥＤ素子を備えた光源装置に関する。 The present invention relates to a light source device, and more particularly to a light source device including a plurality of LED elements.

従来、光を活用した光処理技術が多様な分野で利用されており、例えば、光を用いた微細加工に露光装置が利用されている。近年では、露光技術は種々の分野で展開されており、微細加工の中でも比較的大きなパターンの作製や三次元的な微細加工に利用されている。より具体的には、例えばＬＥＤの電極パターンの作製や、加速度センサーに代表されるＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）の製造工程などに露光技術が利用されている。 Conventionally, light processing technology utilizing light has been used in various fields, and for example, an exposure apparatus has been used for microfabrication using light. In recent years, exposure technology has been developed in various fields, and is used for producing relatively large patterns and three-dimensional microfabrication among microfabrication. More specifically, exposure technology is used, for example, in the production of LED electrode patterns and the manufacturing process of MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) represented by an accelerometer.

これらの光処理技術において、光源としては、以前から輝度の高い放電ランプが用いられていた。しかし、近年の固体光源技術の進歩に伴い、複数のＬＥＤ素子が配置されたものを光源として利用することが検討されている。 In these light processing techniques, a discharge lamp having high brightness has long been used as a light source. However, with the recent progress in solid-state light source technology, it is being considered to use a light source in which a plurality of LED elements are arranged.

下記特許文献１には、複数のＬＥＤ素子から射出された光を平行光にした後、集光し、ロッドインテグレータに入射させた光学系が開示されている。下記特許文献２には、複数のＬＥＤ素子から射出された光をレンズアレイを通すことで、二次光源としての拡大実像を生成した後、当該拡大実像から射出される光を集光レンズを介して被照射面に導く光学系が開示されている。 The following Patent Document 1 discloses an optical system in which light emitted from a plurality of LED elements is converted into parallel light, then condensed, and incident on a rod integrator. In Patent Document 2 below, light emitted from a plurality of LED elements is passed through a lens array to generate a magnified real image as a secondary light source, and then the light emitted from the magnified real image is transmitted through a condenser lens. The optical system leading to the irradiated surface is disclosed.

特開２０１４－２０７３００号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2014-207300 特開２００６－１３３６３５号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2006-133635

ＬＥＤ素子は、半導体層に電流を流すことで光を発する素子であるそして、ＬＥＤ素子の発光面には、輝度の高い領域と輝度の低い領域が存在しやすく、場所に応じた輝度ムラが生じやすい。例えば、ＬＥＤ素子の発光面側に、半導体層に対して電流を供給するための電極を配置する構成の場合、電極形成箇所は非発光領域となるため、電極が形成されている箇所と電極が形成されていない箇所とで輝度の分布が不可避的に発生する。また、ＬＥＤ素子の発光面とは反対側の面に、半導体層に対して電流を供給するための電極を配置する構成の場合であっても、電極が配置されている近傍の領域と、前記領域から離れた領域とで電流密度の差が生じ、これに基づいて輝度の分布が生じる場合がある。更に、ＬＥＤ素子の発光面とは反対側の面に、半導体層に対して電流を供給するための電極を配置する構成の場合において、裏面側の電極がそのまま発光面側に映り込むことで、発光面上に輝度の低い領域を形成することも考えられる。 The LED element is an element that emits light by passing a current through the semiconductor layer, and the light emitting surface of the LED element tends to have a region with high luminance and a region with low luminance, and uneven luminance occurs depending on the location. Cheap. For example, in the case of a configuration in which an electrode for supplying a current to the semiconductor layer is arranged on the light emitting surface side of the LED element, the electrode forming portion is a non-light emitting region, so that the portion where the electrode is formed and the electrode are Luminance distribution inevitably occurs in places where it is not formed. Further, even in the case of the configuration in which the electrode for supplying the current to the semiconductor layer is arranged on the surface opposite to the light emitting surface of the LED element, the region in the vicinity where the electrode is arranged and the above-mentioned region. There may be a difference in current density between the region and the region away from the region, and the brightness distribution may occur based on this difference. Further, in the case of a configuration in which an electrode for supplying a current to the semiconductor layer is arranged on the surface opposite to the light emitting surface of the LED element, the electrode on the back surface side is reflected on the light emitting surface side as it is. It is also conceivable to form a region with low brightness on the light emitting surface.

特許文献１の技術は、各ＬＥＤ素子からの射出光をコリメートした後、集光レンズによって集光し、集光レンズの焦点位置にロッドインテグレータを配置している。このため、ロッドインテグレータの光入射面には、各ＬＥＤ素子からの射出光がほぼ一点に集まるため、高い輝度が実現される。 In the technique of Patent Document 1, after collimating the emitted light from each LED element, the light is condensed by the condenser lens, and the rod integrator is arranged at the focal position of the condenser lens. Therefore, high brightness is realized because the emitted light from each LED element is collected at almost one point on the light incident surface of the rod integrator.

しかしながら、ロッドインテグレータの光入射面には、各ＬＥＤ素子の発光面そのものが像として現れる。このため、当該入射面上には、上述した輝度ムラが存在する。ロッドインテグレータ内では、入射された光が反射を繰り返すことで混ぜ合わされるため、ロッドインテグレータの光射出面では、光入射面と比較して照度ムラが抑制されることが期待される。しかし、この効果を十分に実現するためには、反射回数を十分に確保する必要があるところ、比較的大型のロッドインテグレータを配置する必要がある。 However, the light emitting surface itself of each LED element appears as an image on the light incident surface of the rod integrator. Therefore, the above-mentioned luminance unevenness exists on the incident surface. In the rod integrator, the incident light is mixed by repeating reflection, so that it is expected that the illuminance unevenness is suppressed on the light emitting surface of the rod integrator as compared with the light incident surface. However, in order to fully realize this effect, it is necessary to arrange a relatively large rod integrator where it is necessary to secure a sufficient number of reflections.

特許文献２の技術は、集光レンズの手前に設けられたレンズアレイによって、各ＬＥＤ素子の拡大実像が配置されることで、実質的に二次光源が生成される。この二次光源は、隣接するＬＥＤ素子同士の間隔よりも狭められた状態で配置されることとなるため、隣接するＬＥＤ素子同士の間隔に起因した非発光領域が存在することによる輝度ムラが緩和されている。そして、集光レンズから射出された光は、発散角に応じて異なる位置に集光されるように形成されるため、照射面上において滑らかな照度分布が実現される。これにより、各ＬＥＤ素子の発光面上に存在していた輝度ムラに起因する照度ムラが緩和されている。 In the technique of Patent Document 2, a secondary light source is substantially generated by arranging an enlarged real image of each LED element by a lens array provided in front of a condenser lens. Since this secondary light source is arranged in a state where it is narrower than the distance between the adjacent LED elements, the uneven brightness due to the existence of the non-light emitting region due to the distance between the adjacent LED elements is alleviated. Has been done. Then, the light emitted from the condenser lens is formed so as to be focused at different positions according to the divergence angle, so that a smooth illuminance distribution is realized on the irradiation surface. As a result, the illuminance unevenness caused by the luminance unevenness existing on the light emitting surface of each LED element is alleviated.

しかしながら、照射面上の異なる位置に光が集光される光学系であるため、不可避的に、有効照射領域内での平均輝度が当該照射領域内での最高輝度よりも低下する。特許文献２の方法では、この輝度の低下に対する対策を、複数段のレンズアレイを配置することで講じていると考えられるが、光学系が複雑化し、装置規模の拡大と煩雑な光軸調整を招くという課題がある。 However, since the optical system collects light at different positions on the irradiation surface, the average brightness in the effective irradiation region is inevitably lower than the maximum brightness in the irradiation region. In the method of Patent Document 2, it is considered that measures against this decrease in brightness are taken by arranging a plurality of stages of lens arrays, but the optical system becomes complicated, the scale of the apparatus is expanded, and complicated optical axis adjustment is required. There is the issue of inviting.

本発明は、上記の課題に鑑み、簡易な光学系の構成によって、輝度の低下の抑制と照度ムラの抑制を両立した光源装置を実現することを目的とする。 In view of the above problems, it is an object of the present invention to realize a light source device that suppresses a decrease in luminance and suppresses uneven illuminance by a simple optical system configuration.

本発明に係る光源装置は、
複数のＬＥＤ素子を含む光源部と、
前記光源部から射出される光を、コリメートすることなく発散角を狭める第一光学系と、
前記第一光学系から射出された光を集光する第二光学系と、
入射面が前記第二光学系の焦点位置に配置されたインテグレータ光学系とを備えたことを特徴とする。 The light source device according to the present invention is
A light source unit that includes multiple LED elements,
The first optical system that narrows the divergence angle of the light emitted from the light source unit without collimating it.
A second optical system that collects the light emitted from the first optical system and
The incident surface is provided with an integrator optical system arranged at the focal position of the second optical system.

上記の構成によれば、複数のＬＥＤ素子から射出されて、第二光学系に入射される複数の光線は、非平行である。このため、第二光学系の焦点位置において、これらの複数の光線は一点に集光されず、所定の大きさを有した領域内に集光される。この焦点位置にインテグレータ光学系の入射面が配置されているため、インテグレータ光学系の入射面上には、ＬＥＤ素子の像そのものが明確に現れるのではなく、いわゆる「ピンぼけ」の状態で像が現れる。 According to the above configuration, the plurality of light rays emitted from the plurality of LED elements and incident on the second optical system are non-parallel. Therefore, at the focal position of the second optical system, these plurality of light rays are not focused at one point, but are focused in a region having a predetermined size. Since the incident surface of the integrator optical system is arranged at this focal position, the image of the LED element itself does not appear clearly on the incident surface of the integrator optical system, but the image appears in a so-called "out of focus" state. ..

上記の構成は、このように意図的にピンぼけの状態でインテグレータ光学系の入射面に光を導いている。このとき、発光領域と電極などで構成される非発光領域とがＬＥＤ素子の発光面上に存在することに伴って生じる輝度ムラについても、ぼやけた状態でインテグレータ光学系の入射面に現れる。これにより、ＬＥＤ素子上で電極が存在していた箇所（非発光領域）から射出された光線が導かれる場所に対応する輝度の低い領域の一部と、発光領域から射出された光線が導かれる場所に対応する輝度の高い領域の一部が、インテグレータ光学系の入射面上で重なり合う。この結果、特許文献１の構成と比較して、インテグレータ光学系の入射面上での輝度ムラが低下し、インテグレータ光学系から射出された光の照射面上での照度ムラが低下する。ここでいう「照射面」とは本発明の光源装置から射出される光を利用することが予定されている領域を意味する。 The above configuration guides light to the incident surface of the integrator optical system in such a deliberately out-of-focus state. At this time, the luminance unevenness caused by the presence of the light emitting region and the non-light emitting region composed of the electrodes and the like on the light emitting surface of the LED element also appears on the incident surface of the integrator optical system in a blurred state. As a result, a part of the low-luminance region corresponding to the place where the light beam emitted from the place where the electrode was present (non-light emitting region) on the LED element is guided, and the light ray emitted from the light emitting region are guided. A portion of the bright area corresponding to the location overlaps on the incident surface of the integrator optical system. As a result, as compared with the configuration of Patent Document 1, the luminance unevenness on the incident surface of the integrator optical system is reduced, and the illuminance unevenness on the irradiation surface of the light emitted from the integrator optical system is reduced. The term "irradiated surface" as used herein means a region where the light emitted from the light source device of the present invention is planned to be used.

また、上記の構成によれば、複数のＬＥＤ素子から射出された光を、単にピンぼけの状態でインテグレータ光学系の入射面に導くのみで実現できるため、特許文献２の構成と比較して極めて簡易な光学系で実現できる。更に、インテグレータ光学系の入射面は、第二光学系の焦点位置であるため、インテグレータ光学系の入射面上に入射される光は高い輝度が担保される。そして、この高い輝度の光が、インテグレータ光学系を介して照射面に射出される。つまり、特許文献２の構成と比較して、高い輝度の光を照射面に導くことができる。 Further, according to the above configuration, the light emitted from a plurality of LED elements can be realized by simply guiding the light emitted from the plurality of LED elements to the incident surface of the integrator optical system in a defocused state, which is extremely simple as compared with the configuration of Patent Document 2. It can be realized with a simple optical system. Further, since the incident surface of the integrator optical system is the focal position of the second optical system, high brightness is guaranteed for the light incident on the incident surface of the integrator optical system. Then, this high-luminance light is emitted onto the irradiation surface via the integrator optical system. That is, it is possible to guide high-intensity light to the irradiation surface as compared with the configuration of Patent Document 2.

更に、上記の構成によれば、例えば、第一光学系と第二光学系の距離を調整することで、インテグレータ光学系の入射面に導かれる像のピントを容易に調整することができる。像のピントが合う方向に調整すれば、インテグレータ光学系の入射面上での輝度を高めることができる一方で、前記入射面上での輝度のムラが現れやすくなる。逆に、像のピントがずれる方向に調整すれば、インテグレータ光学系の入射面上での輝度ムラを更に解消させることができる一方で、前記入射面上での輝度が低下する。光源装置から射出される光を利用するアプリケーションの要請に応じて、臨機応変の対応が可能となる。 Further, according to the above configuration, for example, by adjusting the distance between the first optical system and the second optical system, the focus of the image guided to the incident surface of the integrator optical system can be easily adjusted. If the image is adjusted in the focusing direction, the brightness on the incident surface of the integrator optical system can be increased, but the uneven brightness on the incident surface tends to appear. On the contrary, if the image is adjusted in the direction of being out of focus, the uneven brightness on the incident surface of the integrator optical system can be further eliminated, while the brightness on the incident surface is lowered. It is possible to respond flexibly according to the request of the application that uses the light emitted from the light source device.

前記ＬＥＤ素子は、前記第一光学系に対向する側に、発光面と前記発光面を区切るように設けられた線状の電極とを有し、
前記ＬＥＤ素子の中心点から射出された光線の最大放射角をθ1、前記光線が前記第二光学系を射出された後の集光角をθ2、前記電極の幅をｄ1、前記光線が前記第二光学系を射出された後に前記焦点位置を横切るときの光軸に直交する長さをＬ1としたときに、Ｌ1の値が下記（１）式を満たすように、前記第一光学系及び前記第二光学系の位置が調整されているものとしても構わない。
２ｄ１・（θ1／θ2）≦ Ｌ1 ≦５０ｄ1・（θ1／θ2） ‥‥‥（１） The LED element has a light emitting surface and a linear electrode provided so as to separate the light emitting surface on the side facing the first optical system.
The maximum emission angle of the light ray emitted from the center point of the LED element is θ 1 , the focusing angle after the light ray is emitted from the second optical system is θ 2 , the width of the electrode is d 1 , and the light ray is The first is such that the value of L 1 satisfies the following equation (1), where L 1 is the length orthogonal to the optical axis when crossing the focal position after the second optical system is ejected. It may be assumed that the positions of one optical system and the second optical system are adjusted.
2d 1・ (θ 1 / θ 2 ) ≦ L 1 ≦ 50d 1・ (θ 1 / θ 2 ) ‥‥‥ (1)

前記インテグレータ光学系は、複数のレンズがマトリクス状に配置されたフライアイレンズで構成されているものとしても構わない。 The integrator optical system may be composed of a fly-eye lens in which a plurality of lenses are arranged in a matrix.

本発明の光源装置によれば、簡易な光学系によって、輝度の低下の抑制と照度ムラの抑制を両立させることができる。 According to the light source device of the present invention, it is possible to suppress both the decrease in luminance and the unevenness of illuminance by using a simple optical system.

光源装置の光学系の一例を模式的に示す図面である。It is a drawing which shows an example of the optical system of a light source apparatus schematically. ＬＥＤ素子の模式的な平面図である。It is a schematic plan view of the LED element. フライアイレンズに対してＬＥＤ素子のピントが合っている場合の、フライアイレンズの光入射面上の像を模式的に示す図面である。It is a drawing which shows typically the image on the light incident surface of a fly eye lens when the LED element is in focus with respect to a fly eye lens. 図３Ａからフライアイレンズの各領域のみを抜き出して示した図面である。FIG. 3 is a drawing showing only each region of the fly-eye lens extracted from FIG. 3A. フライアイレンズに対してＬＥＤ素子のピントが合っている場合の、照射面上での像を模式的に示す図面である。It is a drawing which shows typically the image on the irradiation surface when the LED element is in focus with respect to a fly eye lens. フライアイレンズに対してＬＥＤ素子のピントがずれている場合の、照射面上での像を模式的に示す図面である。It is a drawing which shows typically the image on the irradiation surface when the LED element is out of focus with respect to a fly eye lens. 一つのＬＥＤ素子から射出された光線を模式的に示す図面である。It is a drawing which shows typically the light ray emitted from one LED element. 別実施形態の光源装置の光学系を模式的に示す図面である。It is a figure which shows typically the optical system of the light source apparatus of another embodiment. 別実施形態の光源装置の光学系を模式的に示す図面である。It is a figure which shows typically the optical system of the light source apparatus of another embodiment.

以下、本発明の光源装置につき、図面を参照して説明する。なお、各図における寸法比は、実際の寸法比と必ずしも一致していない。 Hereinafter, the light source device of the present invention will be described with reference to the drawings. The dimensional ratio in each figure does not always match the actual dimensional ratio.

図１は、光源装置の光学系の一例を模式的に示す図面である。光源装置１は、光源部２と、第一光学系５と、第二光学系７と、インテグレータ光学系８とを備える。 FIG. 1 is a drawing schematically showing an example of an optical system of a light source device. The light source device 1 includes a light source unit 2, a first optical system 5, a second optical system 7, and an integrator optical system 8.

光源部２は、複数のＬＥＤ素子３を含む。本実施形態では、一例として複数のＬＥＤ素子３は、所定の平面上（ここではＸ－Ｙ平面とする。）に配置されている。ただし、本発明において、複数のＬＥＤ素子３の配置態様は、どのようなものであっても構わない。なお、図１において、光軸１１の方向をＺ方向とする。 The light source unit 2 includes a plurality of LED elements 3. In the present embodiment, as an example, the plurality of LED elements 3 are arranged on a predetermined plane (here, the XY plane). However, in the present invention, any arrangement of the plurality of LED elements 3 may be used. In FIG. 1, the direction of the optical axis 11 is the Z direction.

第一光学系５は、複数のＬＥＤ素子３から射出された光をコリメートすることなく発散角を狭める光学系であり、各ＬＥＤ素子３に対応して複数のレンズ６が配置されて構成されている。図１では、各ＬＥＤ素子３に対応して一つのレンズ６が配置される構成が図示されているが、各ＬＥＤ素子３に対応して光軸１１の方向に複数のレンズ６が配置されていても構わない。 The first optical system 5 is an optical system that narrows the divergence angle without collimating the light emitted from the plurality of LED elements 3, and is configured by arranging a plurality of lenses 6 corresponding to each LED element 3. There is. In FIG. 1, a configuration in which one lens 6 is arranged corresponding to each LED element 3 is shown, but a plurality of lenses 6 are arranged in the direction of the optical axis 11 corresponding to each LED element 3. It doesn't matter.

第二光学系７は、第一光学系５から射出された光を、第二光学系７の焦点７ｆに集光する光学系である。 The second optical system 7 is an optical system that focuses the light emitted from the first optical system 5 on the focal point 7f of the second optical system 7.

本実施形態では、インテグレータ光学系８がフライアイレンズ１０によって構成されている。フライアイレンズ１０は、その入射面１０ａが、第二光学系７の焦点７ｆの位置になるように配置されている。ただし、本明細書では、「焦点位置に配置する」とは、完全に焦点の位置に一致する場合の他、焦点距離に対して光軸１１に平行な方向に±１０％の距離だけ移動した位置を含む概念であるものとする。なお、図１における光軸１１とは、インテグレータ光学系８の入射面、すなわちフライアイレンズ１０の入射面１０ａに対して直交する軸としている。 In the present embodiment, the integrator optical system 8 is configured by the fly-eye lens 10. The fly-eye lens 10 is arranged so that its incident surface 10a is at the position of the focal point 7f of the second optical system 7. However, in the present specification, "placed in the focal position" means that the focal length is completely aligned with the focal length, and that the focal length is moved in a direction parallel to the optical axis 11 by ± 10%. It shall be a concept including position. The optical axis 11 in FIG. 1 is an axis orthogonal to the incident surface of the integrator optical system 8, that is, the incident surface 10a of the fly-eye lens 10.

各ＬＥＤ素子３から射出された光は、第一光学系５、及び第二光学系７を通過して、フライアイレンズ１０の入射面１０ａに向かって進行する。第二光学系７は集光光学系であるため、各光線は第二光学系７の焦点７ｆに向かって進行する。しかし、上述したように、第一光学系５から射出された光線はコリメートされていない。このため、フライアイレンズ１０の入射面１０ａに入射された光は、一点には集光されず、幅を有した領域１３内に集められる。 The light emitted from each LED element 3 passes through the first optical system 5 and the second optical system 7 and travels toward the incident surface 10a of the fly-eye lens 10. Since the second optical system 7 is a condensing optical system, each light ray travels toward the focal point 7f of the second optical system 7. However, as described above, the light rays emitted from the first optical system 5 are not collimated. Therefore, the light incident on the incident surface 10a of the fly-eye lens 10 is not focused at one point but is collected in the region 13 having a width.

このとき、フライアイレンズ１０の入射面１０ａ上には、ＬＥＤ素子３の像がぼやけた状態で現れる。すなわち、ピントが合っていない状態で像が表示される。なお、図１において、フライアイレンズ１０が存在しない場合にＬＥＤ素子３の像が結像する位置を符号１５で表示している。 At this time, the image of the LED element 3 appears in a blurred state on the incident surface 10a of the fly-eye lens 10. That is, the image is displayed in a state where it is out of focus. In FIG. 1, the position where the image of the LED element 3 is formed when the fly-eye lens 10 is not present is indicated by the reference numeral 15.

図２は、ＬＥＤ素子３を、光取り出し面側、すなわち第一光学系５側からＺ軸方向に見たときの模式的な平面図である。ＬＥＤ素子３は、半導体層で発生した光が取り出される発光領域２２と、半導体層に対して電流を供給するための線状の電極２１とを有する。なお、図２では、電極２１に対して外側から電流を供給するためのワイヤ１４が連結されている。 FIG. 2 is a schematic plan view of the LED element 3 when viewed from the light extraction surface side, that is, the first optical system 5 side in the Z-axis direction. The LED element 3 has a light emitting region 22 from which light generated in the semiconductor layer is taken out, and a linear electrode 21 for supplying a current to the semiconductor layer. In FIG. 2, a wire 14 for supplying a current from the outside to the electrode 21 is connected.

電極２１は、例えば、Ｎｉ／Ａｌ／Ｎｉ／Ｔｉ／Ａｕ、Ｃｒ／Ａｕ、Ｔｉ／Ｐｔ／Ａｕ、Ｔｉ／Ｐｔ／Ｃｒ／Ａｕ／Ｃｒ／Ｐｔ／Ａｕなどで構成される。すなわち、電極２１は、ＬＥＤ素子３で生成された光を全く又はほとんど透過しない材料で構成されており、非発光領域を構成する。つまり、ＬＥＤ素子３の発光面は、発光領域２２と、電極２１からなる非発光領域を有している。 The electrode 21 is composed of, for example, Ni / Al / Ni / Ti / Au, Cr / Au, Ti / Pt / Au, Ti / Pt / Cr / Au / Cr / Pt / Au, and the like. That is, the electrode 21 is made of a material that hardly or hardly transmits the light generated by the LED element 3, and constitutes a non-light emitting region. That is, the light emitting surface of the LED element 3 has a light emitting region 22 and a non-light emitting region including the electrode 21.

上述したように、本実施形態の構成によれば、フライアイレンズ１０の入射面１０ａ上には、ピンぼけした状態のＬＥＤ素子３の像が現れる。これにより、電極２１からなる非発光領域の像の一部は、発光領域２２の像の一部と重なり合う。この結果、入射面１０ａ上には輝度ムラが緩和された光が入射される。 As described above, according to the configuration of the present embodiment, an image of the LED element 3 in a defocused state appears on the incident surface 10a of the fly-eye lens 10. As a result, a part of the image of the non-light emitting region consisting of the electrodes 21 overlaps with a part of the image of the light emitting region 22. As a result, light with reduced luminance unevenness is incident on the incident surface 10a.

また、フライアイレンズ１０の入射面１０ａは、第二光学系７の焦点位置に配置されている。このため、入射面１０ａには、全てのＬＥＤ素子３から射出された光が、狭い領域１３内に集光され、フライアイレンズ１０に対して高い輝度の光が入射される。これにより、フライアイレンズ１０から射出された光を利用するアプリケーションに対して、高い輝度の光を提供することができる。 Further, the incident surface 10a of the fly-eye lens 10 is arranged at the focal position of the second optical system 7. Therefore, the light emitted from all the LED elements 3 is condensed in the narrow region 13 on the incident surface 10a, and the light having high brightness is incident on the fly-eye lens 10. This makes it possible to provide high-luminance light for an application that utilizes the light emitted from the fly-eye lens 10.

図３Ａ～図３Ｄは、本発明の作用を模式的に示す図面である。図３Ａ～図３Ｃは、フライアイレンズ１０に対してＬＥＤ素子３のピントが合っている場合の、フライアイレンズ１０の光入射面上の像を模式的に示す図面である。フライアイレンズ１０に対してＬＥＤ素子３のピントが合っている場合とは、例えば、図１において、ＬＥＤ素子３から射出された光がコリメートされた後、第二光学系７に入射される場合が対応する。 3A-3D are drawings schematically showing the operation of the present invention. 3A to 3C are drawings schematically showing an image on the light incident surface of the fly-eye lens 10 when the LED element 3 is in focus with respect to the fly-eye lens 10. The case where the LED element 3 is in focus with respect to the fly-eye lens 10 is, for example, in FIG. 1, when the light emitted from the LED element 3 is collimated and then incident on the second optical system 7. Corresponds.

図３Ａは、フライアイレンズ１０の入射面上の像を模式的に示す図面であり、図３Ｂは、図３Ａからフライアイレンズ１０の各領域のみを抜き出した図面である。図３Ａ及び図３Ｂには、電極２１の像２１ｂと発光領域２２の像２２ｂが各フライアイレンズ１０の入射面上に現れている様子が模式的に示されている。 FIG. 3A is a drawing schematically showing an image on an incident surface of the fly-eye lens 10, and FIG. 3B is a drawing in which only each region of the fly-eye lens 10 is extracted from FIG. 3A. 3A and 3B schematically show how the image 21b of the electrode 21 and the image 22b of the light emitting region 22 appear on the incident surface of each fly-eye lens 10.

図３Ａ及び図３Ｂに示すように、フライアイレンズ１０に対してＬＥＤ素子３のピントが合っている場合、フライアイレンズ１０から射出された光の照射面上には、図３Ｃに示すように、各ＬＥＤ素子３の像３ｂが重ね合わされて表示される。この結果、照射面上には、電極２１の像２１ｂが重なり合った領域と、発光領域２２の像２２ｂが重なり合った領域とで、輝度の差が現れやすい。図３Ｃにおいて、フライアイレンズ１０の外周部の像を１０ｂで表記している。 As shown in FIGS. 3A and 3B, when the LED element 3 is in focus with respect to the fly-eye lens 10, the light emitted from the fly-eye lens 10 is on the irradiation surface as shown in FIG. 3C. , The image 3b of each LED element 3 is superimposed and displayed. As a result, on the irradiation surface, a difference in brightness is likely to appear between the region where the images 21b of the electrodes 21 overlap and the region where the images 22b of the light emitting region 22 overlap. In FIG. 3C, the image of the outer peripheral portion of the fly-eye lens 10 is represented by 10b.

これに対し、本実施形態のように、フライアイレンズ１０に対してＬＥＤ素子３のピントがずれている場合、図３Ｄに示すように、フライアイレンズ１０の外周部の像１０ｂがずれるため、電極２１の像２１ｂ、及び発光領域２２の像２２ｂが、それぞれずれて重ね合わせられる。この結果、図３Ｃの状態と比較して、照射面上における輝度の差が緩和される。 On the other hand, when the LED element 3 is out of focus with respect to the fly-eye lens 10 as in the present embodiment, the image 10b on the outer peripheral portion of the fly-eye lens 10 is out of focus as shown in FIG. 3D. The image 21b of the electrode 21 and the image 22b of the light emitting region 22 are offset and superposed. As a result, the difference in brightness on the irradiation surface is alleviated as compared with the state of FIG. 3C.

図４は、一つのＬＥＤ素子３から射出された光線を模式的に示す図面である。図４において、θ1はＬＥＤ素子３の中心点から射出された光線の最大放射角であり、θ2はＬＥＤ素子３の中心点から射出された光線が、第二光学系７から射出された後の集光角である。また、Ｌ1は前記光線が第二光学系７を射出された後、第二光学系７の焦点位置７ｆを横切るときの光軸１１に直交する長さである。 FIG. 4 is a drawing schematically showing a light beam emitted from one LED element 3. In FIG. 4, θ 1 is the maximum emission angle of the light ray emitted from the center point of the LED element 3, and θ 2 is the light ray emitted from the center point of the LED element 3 emitted from the second optical system 7. It is the later focusing angle. Further, L 1 is a length orthogonal to the optical axis 11 when the light beam crosses the focal position 7f of the second optical system 7 after being emitted from the second optical system 7.

図２において、ＬＥＤ素子３が備える電極２１の幅をｄ1とすると、下記（１）式を満たすように、第一光学系５及び第二光学系７の位置が調整されているのが好ましい。
２ｄ１・（θ1／θ2）≦ Ｌ1 ≦５０ｄ1・（θ1／θ2） ‥‥‥（１） In FIG. 2, assuming that the width of the electrode 21 included in the LED element 3 is d 1 , the positions of the first optical system 5 and the second optical system 7 are preferably adjusted so as to satisfy the following equation (1). ..
2d 1・ (θ 1 / θ 2 ) ≦ L 1 ≦ 50d 1・ (θ 1 / θ 2 ) ‥‥‥ (1)

Ｌ1の大きさを小さくし過ぎると、フライアイレンズ１０の入射面１０ａ上における輝度は高くなるものの、ＬＥＤ素子３上の発光領域２２と非発光領域を構成する電極２１とが明確に現れてしまう。この結果、入射面１０ａ上での輝度バラツキが顕在化してしまう。他方、Ｌ1の大きさを大きくし過ぎると、ＬＥＤ素子上３の発光領域２２と電極２１との境界がぼやけることでフライアイレンズ１０の入射面１０ａ上における輝度バラツキが解消するものの、入射面１０ａ上での輝度が低下してしまう。 If the size of L 1 is made too small, the brightness of the fly-eye lens 10 on the incident surface 10a increases, but the light emitting region 22 on the LED element 3 and the electrodes 21 constituting the non-light emitting region clearly appear. It ends up. As a result, the brightness variation on the incident surface 10a becomes apparent. On the other hand, if the size of L 1 is made too large, the boundary between the light emitting region 22 on the LED element 3 and the electrode 21 is blurred, and the brightness variation on the incident surface 10a of the fly-eye lens 10 is eliminated, but the incident surface is eliminated. The brightness on 10a is reduced.

非発光領域の大きさは、電極２１の幅に依存する。このため、電極２１の幅が大きいＬＥＤ素子３においては、入射面１０ａ上における輝度バラツキが現れやすい。このような場合には、入射面１０ａ上でのピンボケの程度を高めることで、輝度バラツキの低下性能を高める。逆に、電極２１の幅が小さいＬＥＤ素子３においては、ピンぼけの程度を低下させ、入射面１０ａ上での輝度を高める。これにより、光を利用するアプリケーションに対して、輝度の低下と照度ムラの双方が抑制された光を提供することができる。 The size of the non-light emitting region depends on the width of the electrode 21. Therefore, in the LED element 3 having a large width of the electrode 21, the brightness variation on the incident surface 10a is likely to appear. In such a case, by increasing the degree of out-of-focus on the incident surface 10a, the performance of reducing the luminance variation is enhanced. On the contrary, in the LED element 3 in which the width of the electrode 21 is small, the degree of defocus is reduced and the brightness on the incident surface 10a is increased. As a result, it is possible to provide an application that uses light with light in which both a decrease in luminance and uneven illuminance are suppressed.

一例として、θ1＝１２０°、θ2＝３°、ｄ1＝１５μｍとすると、１．２ｍｍ≦Ｌ1≦３０ｍｍとなる。取り得る値として、θ1は６０°以上１５０°以下であり、θ2は１°以上５０°以下であり、ｄ1は５μｍ以上１００μｍ以下である。 As an example, if θ 1 = 120 °, θ 2 = 3 °, and d 1 = 15 μm, 1.2 mm ≤ L 1 ≤ 30 mm. As possible values, θ 1 is 60 ° or more and 150 ° or less, θ 2 is 1 ° or more and 50 ° or less, and d 1 is 5 μm or more and 100 μm or less.

［別実施形態］
以下、別実施形態について説明する。 [Another Embodiment]
Hereinafter, another embodiment will be described.

〈１〉上述の実施形態では、ＬＥＤ素子３の像が結像する位置１５が、フライアイレンズ１０の入射面１０ａよりも後段の位置になるように各光学系が配置されているものとして説明した。しかし、図５に示すように、ＬＥＤ素子３の像が結像する位置１５が、フライアイレンズ１０の入射面１０ａよりも前段の位置になるように各光学系が配置されているものとしても構わない。この場合においても、フライアイレンズ１０の入射面１０ａ上の領域１３には、各ＬＥＤ素子３の像がピンぼけの状態で現れる。 <1> In the above-described embodiment, it is assumed that each optical system is arranged so that the position 15 where the image of the LED element 3 is formed is located at a position after the incident surface 10a of the fly-eye lens 10. did. However, as shown in FIG. 5, even if each optical system is arranged so that the position 15 where the image of the LED element 3 is formed is a position before the incident surface 10a of the fly-eye lens 10. I do not care. Even in this case, the image of each LED element 3 appears in the region 13 on the incident surface 10a of the fly-eye lens 10 in a defocused state.

〈２〉上述の実施形態では、インテグレータ光学系８がフライアイレンズ１０で構成されている場合について説明した。しかし、図６に示すように、インテグレータ光学系８がロッドインテグレータ３０で構成されているものとすることもできる。 <2> In the above-described embodiment, the case where the integrator optical system 8 is composed of the fly-eye lens 10 has been described. However, as shown in FIG. 6, it is also possible that the integrator optical system 8 is composed of the rod integrator 30.

ロッドインテグレータ３０は、入射面３０ａに入射された光を、側面で全反射を繰り返させながら射出面３０ｂへと導くことで、射出面３０ｂにおける光の照度分布を均一化する機能を有する導光部材（光ガイド）の一例である。このような導光部材は、例えば、ガラスや樹脂などの光透過性の材料からなる柱状部材、内面が反射鏡で構成された中空部材等で構成される。後者の構成のものは、特にライトトンネルと称されることがある。なお、導光部材は、その内部において、光軸に平行な方向に複数の光路が分割されて構成されていても構わない。 The rod integrator 30 is a light guide member having a function of equalizing the illuminance distribution of light on the injection surface 30b by guiding the light incident on the incident surface 30a to the injection surface 30b while repeating total reflection on the side surface. This is an example of (optical guide). Such a light guide member is composed of, for example, a columnar member made of a light-transmitting material such as glass or resin, a hollow member whose inner surface is made of a reflecting mirror, or the like. The latter configuration is sometimes referred to as a light tunnel in particular. In the light guide member, a plurality of optical paths may be divided in a direction parallel to the optical axis.

ただし、フライアイレンズ１０は、分割された各レンズの像が照射面上で重ね合わせられることで、照度の均一化を図る光学部材であるのに対し、ロッドインテグレータ３０は、発光面からの射出光が、ロッドインテグレータ３０の内部で反射を繰り返すことで照度の均一化を図る光学部材である。このため、ロッドインテグレータ３０と比較してフライアイレンズ１０の方が、ＬＥＤ素子３の発光面上における輝度差の影響を受けやすい。このため、上記実施形態で説明したように、インテグレータ光学系８がフライアイレンズ１０で構成される場合に、輝度ムラを解消する効果をより確保することができる。 However, the fly-eye lens 10 is an optical member that aims to make the illuminance uniform by superimposing the images of the divided lenses on the irradiation surface, whereas the rod integrator 30 emits light from the light emitting surface. It is an optical member that makes the illuminance uniform by repeatedly reflecting light inside the rod integrator 30. Therefore, the fly-eye lens 10 is more susceptible to the difference in brightness on the light emitting surface of the LED element 3 than the rod integrator 30. Therefore, as described in the above embodiment, when the integrator optical system 8 is composed of the fly-eye lens 10, the effect of eliminating the luminance unevenness can be further ensured.

〈３〉本発明は、光源部２と第一光学系５の間に反射光学系を適宜配置して光の進行方向を変更する態様を排除するものではない。また、本発明は、光源部２に含まれる各ＬＥＤ素子３が概ねＸＹ平面上に配置されており、いくつかのＬＥＤ素子３が、Ｚ方向に変位して配置されている態様を排除するものではない。光源部２と第一光学系５の間に反射光学系を適宜配置されており、各ＬＥＤ素子３が概ね配置されている平面がＸＹ平面とは異なる平面である場合についても同様である。 <3> The present invention does not exclude an aspect in which a reflected optical system is appropriately arranged between the light source unit 2 and the first optical system 5 to change the traveling direction of light. Further, the present invention excludes an embodiment in which each LED element 3 included in the light source unit 2 is generally arranged on an XY plane, and some LED elements 3 are arranged so as to be displaced in the Z direction. is not it. The same applies to the case where the reflective optical system is appropriately arranged between the light source unit 2 and the first optical system 5, and the plane on which each LED element 3 is generally arranged is a plane different from the XY plane.

〈４〉上述の実施形態では、ＬＥＤ素子３は、発光領域２２と同じ側の面に電極２１が形成されているものとして説明したが、発光領域２２とは反対側の面に電極が形成されているものとしても構わない。この場合であっても、電極の位置や、電極からの距離に応じて、発光領域２２の面内に輝度の分布が生じ得る。このような輝度の分布は、ＬＥＤ素子３が同一の設計で製造されている限り、各ＬＥＤ素子３に対して同様に発生する。このため、各ＬＥＤ素子３から射出された光をコリメートした後に集光する場合には、同様の課題が発生する。 <4> In the above-described embodiment, the LED element 3 has been described as having the electrode 21 formed on the surface on the same side as the light emitting region 22, but the electrode is formed on the surface on the side opposite to the light emitting region 22. It doesn't matter if it is. Even in this case, the luminance distribution can occur in the plane of the light emitting region 22 depending on the position of the electrode and the distance from the electrode. Such a luminance distribution occurs similarly for each LED element 3 as long as the LED elements 3 are manufactured with the same design. Therefore, when the light emitted from each LED element 3 is collimated and then condensed, the same problem occurs.

従って、光源部２が、発光領域２２とは反対側の面に電極が形成されているようなＬＥＤ素子３を複数有する場合においても、光源部２から射出された光を、第一光学系５によってコリメートすることなく発散角を狭めた後に、第二光学系によって集光し、第二光学系７の焦点７ｆの位置に配置されたインテグレータ光学系８に入射させることで、インテグレータ光学系８の入射面上に、ＬＥＤ素子３の像が「ピンぼけ」の状態で像が現れるため、インテグレータ光学系８の入射面上での輝度ムラを緩和する効果が得られる。 Therefore, even when the light source unit 2 has a plurality of LED elements 3 having electrodes formed on the surface opposite to the light emitting region 22, the light emitted from the light source unit 2 can be collected by the first optical system 5. After narrowing the divergence angle without collimating with the light source, the light is focused by the second optical system and incident on the integrator optical system 8 arranged at the position of the focal point 7f of the second optical system 7 to cause the integrator optical system 8 to be incidental. Since the image of the LED element 3 appears on the incident surface in a “blurred” state, the effect of alleviating the unevenness of brightness on the incident surface of the integrator optical system 8 can be obtained.

１ ： 光源装置
２ ： 光源部
３ ： ＬＥＤ素子
３ａ，３ｂ ： ＬＥＤ素子の像
５ ： 第一光学系
６ ： レンズ
７ ： 第二光学系
７ｆ ： 第二光学系の焦点
８ ： インテグレータ光学系
１０ ： フライアイレンズ
１０ａ ： フライアイレンズの入射面
１０ｂ ： フライアイレンズの外周面の像
１１ ： 光軸
１３ ： 光の入射領域
１４ ： ワイヤ
１５ ： ＬＥＤの像が結像する位置
２１ ： 電極（非発光領域）
２１ｂ ： 電極（非発光領域）の像
２２ ： 発光領域
２２ｂ ： 発光領域の像
３０ ： ロッドインテグレータ
３０ａ ： ロッドインテグレータの入射面
３０ｂ ： ロッドインテグレータの射出面 1: Light source device 2: Light source unit 3: LED element 3a, 3b: Image of LED element 5: First optical system 6: Lens 7: Second optical system 7f: Focus of second optical system 8: Integrator optical system 10: Fly-eye lens 10a: Incident surface of fly-eye lens 10b: Image of outer peripheral surface of fly-eye lens 11: Optical axis 13: Light incident area 14: Wire 15: Position where LED image is imaged 21: Electrode (non-light emission) region)
21b: Image of electrode (non-light emitting region) 22: Light emitting region 22b: Image of light emitting region 30: Rod integrator 30a: Incident surface of rod integrator 30b: Injection surface of rod integrator

Claims (3)

複数のＬＥＤ素子を含む光源部と、
前記光源部から射出される光を、コリメートすることなく発散角を狭める第一光学系と、
前記第一光学系から射出された光を集光する第二光学系と、
入射面が前記第二光学系の焦点位置に配置されたインテグレータ光学系とを備え、
前記複数のＬＥＤ素子の像が結像する位置は、光軸方向に関して、前記インテグレータ光学系の前記入射面よりも前段又は後段にずれた位置であることを特徴とする光源装置。 A light source unit that includes multiple LED elements,
The first optical system that narrows the divergence angle of the light emitted from the light source unit without collimating it.
A second optical system that collects the light emitted from the first optical system and
The incident surface is provided with an integrator optical system arranged at the focal position of the second optical system.
A light source device characterized in that the position where an image of the plurality of LED elements is formed is a position shifted to a position before or after the incident surface of the integrator optical system in the optical axis direction . 前記ＬＥＤ素子は、前記第一光学系に対向する側に、発光面と前記発光面を区切るように設けられた線状の電極とを有し、
前記ＬＥＤ素子の中心点から射出された光線の最大放射角をθ1、前記光線が前記第二光学系を射出された後の集光角をθ2、前記電極の幅をｄ1、前記光線が前記第二光学系を射出された後に前記焦点位置を横切るときの光軸に直交する長さをＬ1としたときに、Ｌ1の値が下記（１）式を満たすように、前記第一光学系及び前記第二光学系の位置が調整されていることを特徴とする請求項１に記載の光源装置。
２ｄ１・（θ1／θ2）≦ Ｌ1 ≦５０ｄ1・（θ1／θ2） ‥‥‥（１） The LED element has a light emitting surface and a linear electrode provided so as to separate the light emitting surface on the side facing the first optical system.
The maximum emission angle of the light ray emitted from the center point of the LED element is θ 1 , the light source after the light source is emitted from the second optical system is θ 2 , the width of the electrode is d 1 , and the light ray is The first is such that the value of L 1 satisfies the following equation (1), where L 1 is the length orthogonal to the optical axis when crossing the focal position after the second optical system is ejected. (1) The light source device according to claim 1, wherein the positions of the optical system and the second optical system are adjusted.
2d 1・ (θ 1 / θ 2 ) ≦ L 1 ≦ 50d 1・ (θ 1 / θ 2 ) ‥‥‥ (1) 前記インテグレータ光学系は、複数のレンズがマトリクス状に配置されたフライアイレンズで構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の光源装置。
The light source device according to claim 1 or 2, wherein the integrator optical system is composed of a fly-eye lens in which a plurality of lenses are arranged in a matrix.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2024038533A1 (en) * 2022-08-18 2024-02-22 株式会社ニコン Light source unit, illumination unit, exposure device, and exposure method

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004039871A (en) 2002-07-03 2004-02-05 Hitachi Ltd Illuminating method, exposure method and equipment for the methods
JP2006133635A (en) 2004-11-09 2006-05-25 Olympus Corp Illumination optical device and optical device
JP2016075799A (en) 2014-10-07 2016-05-12 株式会社リコー Light source device and image projection device including the same
JP2016184126A (en) 2015-03-26 2016-10-20 ウシオ電機株式会社 Light source device and exposure apparatus

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4389543B2 (en) * 2003-10-08 2009-12-24 セイコーエプソン株式会社 projector
KR20070090246A (en) * 2004-12-22 2007-09-05 칼 짜이스 레이저 옵틱스 게엠베하 Optical illumination system for creating a line beam
JP4678493B2 (en) * 2005-05-23 2011-04-27 株式会社ニコン Light source unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method
US7683300B2 (en) * 2006-10-17 2010-03-23 Asml Netherlands B.V. Using an interferometer as a high speed variable attenuator
JP5429475B2 (en) * 2009-11-17 2014-02-26 セイコーエプソン株式会社 Lighting device and projector
JP5962089B2 (en) * 2012-03-15 2016-08-03 岩崎電気株式会社 Light irradiation device
JP2014002212A (en) * 2012-06-15 2014-01-09 Ushio Inc Light irradiation device and exposure device
JP2014003086A (en) * 2012-06-15 2014-01-09 Ushio Inc Light irradiation device and exposure device
JP6057072B2 (en) * 2013-03-22 2017-01-11 ウシオ電機株式会社 Light source device
JP6199591B2 (en) * 2013-04-12 2017-09-20 株式会社オーク製作所 Light source apparatus and exposure apparatus
TWI620889B (en) * 2013-04-15 2018-04-11 Hoya Candeo Optronics Corp Light irradiation device
JP6464865B2 (en) * 2015-03-25 2019-02-06 富士通株式会社 Sensor system, sensor device, and information processing method
TWI592609B (en) * 2015-12-30 2017-07-21 中強光電股份有限公司 Illumination system and projection apparatus

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004039871A (en) 2002-07-03 2004-02-05 Hitachi Ltd Illuminating method, exposure method and equipment for the methods
JP2006133635A (en) 2004-11-09 2006-05-25 Olympus Corp Illumination optical device and optical device
JP2016075799A (en) 2014-10-07 2016-05-12 株式会社リコー Light source device and image projection device including the same
JP2016184126A (en) 2015-03-26 2016-10-20 ウシオ電機株式会社 Light source device and exposure apparatus

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