JP7022924B2 - Blade inspection device and blade inspection method - Google Patents

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Description

本発明は、ブレード検査装置及びブレード検査方法に係り、特に、半導体ウェーハ等のワークに対して切削加工を行うブレードの均質性を検査するブレード検査装置及びブレード検査方法に関する。 The present invention relates to a blade inspection device and a blade inspection method, and more particularly to a blade inspection device and a blade inspection method for inspecting the homogeneity of a blade for cutting a workpiece such as a semiconductor wafer.

ダイシング装置は、半導体装置又は電子部品が形成されたウェーハ等のワークに対して切断又は溝入れ等の切削加工を行う。ダイシング装置は、スピンドルユニットの回転軸に装着されて高速で回転するブレードを有しており、回転するブレードの切刃をワークに接触させて切削加工を行う。 The dicing device performs cutting such as cutting or grooving on a work such as a wafer on which a semiconductor device or an electronic component is formed. The dicing device has a blade that is mounted on the rotating shaft of the spindle unit and rotates at high speed, and the cutting edge of the rotating blade is brought into contact with the work to perform cutting.

ダイシング装置に使用されるブレードとしては、切刃と支持部であるハブとが一体となったハブブレードが知られており、また、特許文献１の如く、ハブを備えていない円環形状の薄刃ブレード（以下、ブレードと称する。）も知られている。 As a blade used in a dicing device, a hub blade in which a cutting blade and a hub as a support portion are integrated is known, and as in Patent Document 1, a ring-shaped thin blade without a hub is known. Blades (hereinafter referred to as blades) are also known.

特許文献１のブレードは、厚さが０．０５ｍｍ～０．５ｍｍ程度の円環形状のメタル基材と、メタル基材の外周縁部に形成された切刃と、を備えている。メタル基材は、例えば、Ｃｕ－Ｓｎにより形成され、このメタル基材にはダイヤモンド砥粒が分散されて配されている。 The blade of Patent Document 1 includes a ring-shaped metal base material having a thickness of about 0.05 mm to 0.5 mm, and a cutting edge formed on the outer peripheral edge portion of the metal base material. The metal base material is formed of, for example, Cu—Sn, and diamond abrasive grains are dispersed and arranged on the metal base material.

特開２０１１－２５１３５１号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2011-251351

特許文献１のような構成のブレードは、軽く力を加えると変形し、力を加えるのをやめると元の形状に戻る。その間のブレードの変形（撓み）は連続的である。 A blade having a configuration as in Patent Document 1 deforms when a light force is applied, and returns to its original shape when the force is stopped. The deformation (deflection) of the blade during that period is continuous.

しかしながら、基材（特許文献１ではメタル基材）の性質又は状態が不均質のブレードの場合には、ブレードの変形は連続的ではなく、その変形の過程で変位点が存在する。そのため、従来から、ブレードの均質性を判定する作業が行われているが、従来の判定方法は、ブレードの端を作業者が手で持ってブレードを軽く振ることにより、その感触の違いによってブレードの均質性を判定していた。つまり、従来の判定方法は、作業者の感覚に依存するものなので、ブレードの均質性を定量的に判定することができないという欠点があった。 However, in the case of a blade in which the properties or states of the base material (metal base material in Patent Document 1) are inhomogeneous, the deformation of the blade is not continuous, and a displacement point exists in the process of the deformation. Therefore, the work of determining the homogeneity of the blade has been conventionally performed, but in the conventional determination method, the operator holds the end of the blade by hand and shakes the blade lightly, and the blade is based on the difference in feel. The homogeneity of was judged. That is, since the conventional determination method depends on the sense of the operator, there is a drawback that the homogeneity of the blade cannot be quantitatively determined.

一方、特願昭６２-２６９８７７号公報には、円盤状物品の測定面の変位を距離センサによって測定することにより、円盤状物品の形状の歪を検査する検査装置が開示されている。 On the other hand, Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-269877 discloses an inspection device for inspecting distortion of the shape of a disk-shaped article by measuring the displacement of the measurement surface of the disk-shaped article with a distance sensor.

しかしながら、ブレードの基材の性質又は状態は、ブレードの形状の違いに表れないため、特願昭６２-２６９８７７号公報の検査装置では、ブレードの均質性を判定することはできなかった。 However, since the properties or state of the base material of the blade do not appear in the difference in the shape of the blade, the inspection device of Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-269877 could not determine the homogeneity of the blade.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ブレードの均質性を定量的に判定することができるブレード検査装置及びブレード検査方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a blade inspection device and a blade inspection method capable of quantitatively determining the homogeneity of a blade.

本発明のブレード検査装置は、本発明の目的を達成するために、第１面と第１面と平行な第２面とを有する円盤状の基材の外周縁部に切刃が形成されたブレードの検査装置であって、ブレードを保持する保持手段と、保持手段に保持されたブレードに荷重を印加して、ブレードを弾性変形させる荷重印加手段と、荷重印加手段によるブレードの弾性変形量に応じた反発荷重であって、荷重印加手段とブレードとの間に作用する反発荷重を検出する荷重検出手段と、を備える。 In the blade inspection apparatus of the present invention, in order to achieve the object of the present invention, a cutting edge is formed on the outer peripheral edge portion of a disk-shaped base material having a first surface and a second surface parallel to the first surface. A blade inspection device for holding means that holds the blade, load applying means that applies a load to the blade held by the holding means to elastically deform the blade, and the amount of elastic deformation of the blade by the load applying means. It is provided with a load detecting means for detecting the repulsive load acting between the load applying means and the blade, which is the corresponding repulsive load.

本発明の一形態は、荷重印加手段は、ブレードの第１面に荷重を印加する第１荷重印加手段と、ブレードの第２面に荷重を印加する第２荷重印加手段と、を備えることが好ましい。 In one embodiment of the present invention, the load applying means includes a first load applying means for applying a load to the first surface of the blade and a second load applying means for applying a load to the second surface of the blade. preferable.

本発明の一形態は、荷重印加手段は、ブレードの第１面と第２面に平行な面内方向に対して直交する方向に荷重を印加することが好ましい。 In one embodiment of the present invention, it is preferable that the load applying means applies a load in a direction orthogonal to the in-plane direction parallel to the first surface and the second surface of the blade.

本発明の一形態は、保持手段は、中心軸を有する円環状の枠と、枠の外周に沿って枠に取り付けられた複数の保持位置調整部であって、枠の中心軸に直交する方向に進退可能に取り付けられた保持位置調整部と、保持位置調整部に取り付けられてブレードを保持する保持部と、を備えることが好ましい。 In one embodiment of the present invention, the holding means is an annular frame having a central axis and a plurality of holding position adjusting portions attached to the frame along the outer circumference of the frame, in a direction orthogonal to the central axis of the frame. It is preferable to include a holding position adjusting portion attached so as to be able to advance and retreat, and a holding portion attached to the holding position adjusting portion to hold the blade.

本発明の一形態は、荷重印加手段は、ブレードの周方向に沿って配置され、ブレードを押圧する複数の押圧部と、ブレードに対する複数の押圧部の押圧位置をブレードの径方向に調整する押圧位置調整部と、を備えることが好ましい。 In one embodiment of the present invention, the load applying means is arranged along the circumferential direction of the blade, and the pressing portion for pressing the blade and the pressing position of the plurality of pressing portions against the blade are adjusted in the radial direction of the blade. It is preferable to provide a position adjusting unit.

本発明のブレード検査方法は、本発明の目的を達成するために、第１面と第１面と平行な第２面とを有する円盤状の基材の外周縁部に切刃が形成されたブレードの検査方法であって、荷重印加手段によってブレードに荷重を印加して、ブレードを弾性変形させる荷重印加工程と、荷重印加工程におけるブレードの弾性変形量に応じた反発荷重であって、荷重印加手段とブレードとの間に作用する反発荷重を荷重検出手段によって検出する荷重検出工程と、を備える。 In the blade inspection method of the present invention, in order to achieve the object of the present invention, a cutting edge is formed on the outer peripheral edge portion of a disk-shaped base material having a first surface and a second surface parallel to the first surface. A method for inspecting a blade, which is a load application step in which a load is applied to the blade by a load application means to elastically deform the blade, and a repulsive load according to the amount of elastic deformation of the blade in the load application step. A load detecting step of detecting a repulsive load acting between the means and the blade by the load detecting means is provided.

本発明の一形態は、荷重印加工程は、ブレードの第１面に荷重を印加する第１荷重印加工程と、ブレードの第２面に荷重を印加する第２荷重印加工程と、を含み、荷重検出工程は、第１荷重印加工程によるブレードの弾性変形量に応じた第１反発荷重であって、荷重印加手段とブレードとの間に作用する第１反発荷重を荷重検出手段によって検出する第１荷重検出工程と、第２荷重印加工程によるブレードの弾性変形量に応じた第２反発荷重であって、荷重印加手段とブレードとの間に作用する第２反発荷重を荷重検出手段によって検出する第２荷重検出工程と、を含むことが好ましい。 In one embodiment of the present invention, the load applying step includes a first load applying step of applying a load to the first surface of the blade and a second load applying step of applying a load to the second surface of the blade. The detection step is a first repulsive load according to the amount of elastic deformation of the blade by the first load application step, and the first repulsive load acting between the load applying means and the blade is detected by the load detecting means. A second repulsive load corresponding to the amount of elastic deformation of the blade due to the load detecting step and the second load applying step, and the second repulsive load acting between the load applying means and the blade is detected by the load detecting means. It is preferable to include two load detection steps.

本発明の一形態は、荷重印加手段は、ブレードの第１面と第２面に平行な面内方向に対して直交する方向に荷重を印加することが好ましい。 In one embodiment of the present invention, it is preferable that the load applying means applies a load in a direction orthogonal to the in-plane direction parallel to the first surface and the second surface of the blade.

本発明によれば、ブレードの均質性を定量的に判定することができる。 According to the present invention, the homogeneity of the blade can be quantitatively determined.

実施形態に係るブレード検査装置の斜視図Perspective view of the blade inspection device according to the embodiment （Ａ）はブレードの斜視図、（Ｂ）はブレードの側面図(A) is a perspective view of the blade, and (B) is a side view of the blade. ブレード保持機構部の全体斜視図Overall perspective view of the blade holding mechanism ブレード保持機構部の要部正面図Front view of the main part of the blade holding mechanism ブレード保持機構部の要部斜視図Perspective view of the main part of the blade holding mechanism 駆動部の概略構成を示すブロック図Block diagram showing the schematic configuration of the drive unit 押圧部の斜視図Perspective view of the pressing part 押圧部の組立斜視図Assembly perspective view of the pressing part 押し治具及び引き治具の平面図Plan view of push jig and pull jig 実施形態に係るブレード検査方法の一例を示したフローチャートA flowchart showing an example of a blade inspection method according to an embodiment. 均質なブレードの検査結果を説明した説明図Explanatory drawing explaining the inspection result of the homogeneous blade 不均質なブレードの検査結果を説明した説明図Explanatory drawing explaining the inspection result of the inhomogeneous blade 不均質なブレードの検査結果を説明した説明図Explanatory drawing explaining the inspection result of the inhomogeneous blade ブレードに対する支えピンと押しピンの配置位置を示した説明図Explanatory drawing showing the arrangement position of the support pin and the push pin with respect to the blade. 検査開始位置の設定を行う手順の一例を示したフローチャートA flowchart showing an example of the procedure for setting the inspection start position. ブレードの検査手順の一例を示したフローチャートFlowchart showing an example of blade inspection procedure 均質なブレードの検査結果を示したグラフGraph showing the inspection results of homogeneous blades 不均質なブレードの検査結果を示したグラフGraph showing inspection results of heterogeneous blades 不均質なブレードの検査結果を示したグラフGraph showing inspection results of heterogeneous blades （Ａ）及び（Ｂ）は閾値を設定してブレードの良否を判定する説明図(A) and (B) are explanatory views which set a threshold value and judge the quality of a blade.

以下、添付図面に従って本発明に係るブレード検査装置及びブレード検査方法の好ましい実施形態について詳説する。 Hereinafter, preferred embodiments of the blade inspection apparatus and the blade inspection method according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

図１は、実施形態のブレード検査装置１０の外観を示す斜視図である。 FIG. 1 is a perspective view showing the appearance of the blade inspection device 10 of the embodiment.

ブレード検査装置１０は、ブレード保持機構部（保持手段に相当）１２と、荷重印加装置（荷重印加手段、第１荷重印加手段及び第２荷重印加手段に相当）１４と、ロードセル（荷重検出手段に相当）１６と、から構成される。ブレード保持機構部１２及び荷重印加装置１４は、テーブル１８の上面１８Ａの所定の位置に固定されている。 The blade inspection device 10 includes a blade holding mechanism unit (corresponding to a holding means) 12, a load applying device (corresponding to a load applying means, a first load applying means, and a second load applying means) 14, and a load cell (corresponding to a load detecting means). Equivalent) 16 and. The blade holding mechanism portion 12 and the load applying device 14 are fixed at predetermined positions on the upper surface 18A of the table 18.

また、ブレード検査装置１０は、荷重印加装置１４及びロードセル１６に接続されたコントローラ２０と、コントローラ２０に接続されたモニタ２２と、を備える。コントローラ２０は、荷重印加装置１４の動作を制御する制御部として構成されるとともに、荷重印加装置１４によるロードセル１６の移動量（ブレードの弾性変形量に相当）と、ロードセル１６によって検出された後述のブレードの反発荷重とを示す信号を処理する信号処理部として構成される。コントローラ２０は、これらの信号が入力されると、ロードセル１６の移動位置と、その移動位置におけるブレードの反発荷重とを対応付けし、その対応付けしたグラフをモニタ２２に表示させる機能も備えている。 Further, the blade inspection device 10 includes a controller 20 connected to the load applying device 14 and the load cell 16, and a monitor 22 connected to the controller 20. The controller 20 is configured as a control unit that controls the operation of the load applying device 14, the amount of movement of the load cell 16 by the load applying device 14 (corresponding to the amount of elastic deformation of the blade), and the amount of elastic deformation of the blade, which will be described later. It is configured as a signal processing unit that processes a signal indicating the repulsive load of the blade. When these signals are input, the controller 20 also has a function of associating the moving position of the load cell 16 with the repulsive load of the blade at the moving position and displaying the associated graph on the monitor 22. ..

図２（Ａ）は、ブレード検査装置１０によって検査されるブレード２４の一例を示す斜視図であり、図２（Ｂ）は、ブレード２４の側面図である。ブレード２４は、基材２６を有し、この基材２６の外周縁部に切刃２８が形成されて構成される。基材２６は、第１面２６Ａと第１面２６Ａと平行な第２面２６Ｂとを有する円盤状で、かつ中央部に円形の開口部２４Ａを有する円環状に形成されている。 FIG. 2A is a perspective view showing an example of the blade 24 inspected by the blade inspection device 10, and FIG. 2B is a side view of the blade 24. The blade 24 has a base material 26, and a cutting edge 28 is formed on the outer peripheral edge portion of the base material 26. The base material 26 is formed in an annular shape having a first surface 26A and a second surface 26B parallel to the first surface 26A, and having a circular opening 24A in the center.

実施形態では、ブレード２４の基材２６として、Ｃｕ－Ｓｎにより形成されたメタル基材を例示するが、基材２６の材質は限定されるものではなく、例えば、樹脂製の基材であってもよい。 In the embodiment, as the base material 26 of the blade 24, a metal base material formed of Cu—Sn is exemplified, but the material of the base material 26 is not limited, and for example, it is a base material made of resin. May be good.

以下の説明において、図１に矢印で示したＸ方向は、水平方向を指し、Ｘ方向のうち（＋）方向を前方、（－）方向を後方と称する。また、Ｘ方向と総称した場合には、Ｘ（＋）、（－）の双方向を含むものとする。図１のＹ方向は、Ｘ方向に直交する水平方向を指し、Ｙ方向のうち（＋）方向を左方、（－）方向を右方と称する。また、Ｙ方向と総称した場合には、Ｙ（＋）、（－）の双方向を含むものとする。図１のＺ方向は、Ｘ方向及びＹ方向に直交する鉛直方向を指し、Ｚ方向のうち（＋）方向を上方、（－）方向を下方と称する。また、Ｚ方向と総称した場合には、Ｚ（＋）、（－）の双方向を含むものとする。後述するように、ロードセル１６は、ブレード保持機構部１２に保持されたブレード２４に対して、Ｙ方向及びＺ方向の位置が調整され、その後、Ｘ方向に移動されることにより前述の反発荷重を検出する。 In the following description, the X direction indicated by the arrow in FIG. 1 refers to the horizontal direction, and the (+) direction of the X direction is referred to as the front and the (−) direction is referred to as the rear. In addition, when collectively referred to as the X direction, both directions of X (+) and (-) are included. The Y direction in FIG. 1 refers to a horizontal direction orthogonal to the X direction, and the (+) direction of the Y direction is referred to as the left, and the (−) direction is referred to as the right. In addition, when collectively referred to as the Y direction, both directions of Y (+) and (-) are included. The Z direction in FIG. 1 refers to a vertical direction orthogonal to the X direction and the Y direction, and the (+) direction in the Z direction is referred to as an upward direction, and the (−) direction is referred to as a downward direction. In addition, when collectively referred to as the Z direction, both directions of Z (+) and (-) are included. As will be described later, the load cell 16 is adjusted in the Y direction and the Z direction with respect to the blade 24 held by the blade holding mechanism portion 12, and then moved in the X direction to apply the above-mentioned repulsive load. To detect.

次に、ブレード保持機構部１２について図３～図５を参照して説明する。図３は、ブレード保持機構部１２の全体斜視図であり、図４は、ブレード保持機構部１２の要部正面図であり、図５は、ブレード保持機構部１２の要部斜視図である。 Next, the blade holding mechanism portion 12 will be described with reference to FIGS. 3 to 5. FIG. 3 is an overall perspective view of the blade holding mechanism unit 12, FIG. 4 is a front view of the main part of the blade holding mechanism unit 12, and FIG. 5 is a perspective view of the main part of the blade holding mechanism unit 12.

図３の如く、ブレード保持機構部１２は、円環状の枠３０と、枠３０を図１のテーブル１８に支持するための枠台３２と、を備える。枠台３２は、Ｙ方向に沿って配置され、枠台３２の上部の中央部には、Ｖ字状の溝３２Ａが形成されている。この溝３２Ａに枠３０の外周面が載置されることにより、枠３０は、枠台３２に対して立てられた状態で支持される。このとき、枠３０は、枠３０の中心軸ＰがＸ方向に沿うように枠台３２に支持される。 As shown in FIG. 3, the blade holding mechanism portion 12 includes an annular frame 30 and a frame base 32 for supporting the frame 30 on the table 18 of FIG. The frame 32 is arranged along the Y direction, and a V-shaped groove 32A is formed in the central portion of the upper part of the frame 32. By placing the outer peripheral surface of the frame 30 in the groove 32A, the frame 30 is supported in an upright state with respect to the frame base 32. At this time, the frame 30 is supported by the frame base 32 so that the central axis P of the frame 30 is along the X direction.

枠台３２の上部のＹ方向の端部には、ポール３４、３４がＺ方向に立設され、ポール３４、３４の上端部には梁３６がＹ方向に架け渡されている。梁３６の中央部には、ネジ孔３８がＺ方向に貫通して形成されており、このネジ孔３８には、ネジ棒４０が螺合されている。ネジ棒４０の下端部には、枠台３２に対向したクランプ４２が設けられ、ネジ棒４０の上端部にはツマミ４４が設けられている。よって、ツマミ４４によってネジ棒４０をネジ孔３８に対してＺ（－）方向に螺入していくと、クランプ４２が枠３０の外周面に押圧され、これによって枠３０が枠台３２に固定される。 Pole 34, 34 is erected in the Z direction at the end of the upper part of the frame 32 in the Y direction, and a beam 36 is bridged over the upper end of the pole 34, 34 in the Y direction. A screw hole 38 is formed in the central portion of the beam 36 so as to penetrate in the Z direction, and a screw rod 40 is screwed into the screw hole 38. A clamp 42 facing the frame base 32 is provided at the lower end of the screw rod 40, and a knob 44 is provided at the upper end of the screw rod 40. Therefore, when the screw rod 40 is screwed into the screw hole 38 in the Z (−) direction by the knob 44, the clamp 42 is pressed against the outer peripheral surface of the frame 30, whereby the frame 30 is fixed to the frame base 32. Will be done.

図４の如く、枠３０には、４本の枠棒（保持位置調整部に相当）４６、４８、５０、５２が、枠３０の外周に沿って９０度の間隔で備えられている。また、これらの枠棒４６～５２は、長手軸Ａを有し、この長手軸Ａが枠３０の中心軸Ｐに直交するように枠３０に備えられている。 As shown in FIG. 4, the frame 30 is provided with four frame bars (corresponding to holding position adjusting portions) 46, 48, 50, 52 at intervals of 90 degrees along the outer circumference of the frame 30. Further, these frame bars 46 to 52 have a longitudinal axis A, and are provided in the frame 30 so that the longitudinal axis A is orthogonal to the central axis P of the frame 30.

また、枠棒４６～５２には、長手軸Ａに沿った長孔４６Ａ、４８Ａ、５０Ａ、５２Ａが形成されており、この長孔４６Ａ～５２Ａには、図５の如く、クランプネジ５４のネジ部（不図示）がそれぞれ挿入されている。 Further, the frame rods 46 to 52 are formed with elongated holes 46A, 48A, 50A, and 52A along the longitudinal axis A, and the elongated holes 46A to 52A are formed with screws of clamp screws 54 as shown in FIG. Parts (not shown) are inserted respectively.

クランプネジ５４は、図４の如く、枠３０の周囲に３０度の間隔で形成された複数のネジ孔５６のうち選択されたネジ孔５６に螺合され、クランプネジ５４をネジ孔５６に締結することにより、枠棒４６～５２が枠３０に固定される。また、クランプネジ５４に対して枠棒４６～５２を、各々の長孔４６Ａ～５２Ａを介してスライドさせることにより、枠棒４６～５２が枠３０の中心軸Ｐに直交する方向に進退可能となる。枠棒４６～５２の進退位置をクランプネジ５４によって調整することにより、枠棒４６～５２によるブレード２４の保持位置が調整される。 As shown in FIG. 4, the clamp screw 54 is screwed into a screw hole 56 selected from a plurality of screw holes 56 formed around the frame 30 at intervals of 30 degrees, and the clamp screw 54 is fastened to the screw hole 56. By doing so, the frame bars 46 to 52 are fixed to the frame 30. Further, by sliding the frame rods 46 to 52 with respect to the clamp screw 54 via the respective elongated holes 46A to 52A, the frame rods 46 to 52 can move forward and backward in the direction orthogonal to the central axis P of the frame 30. Become. By adjusting the advancing / retreating positions of the frame bars 46 to 52 with the clamp screws 54, the holding positions of the blades 24 by the frame bars 46 to 52 are adjusted.

枠３０の中心軸Ｐに対して下方に位置する枠棒４６、４８の上端部には、ピン５８がＸ方向に突設され、このピン５８の外周面には、図５の如く、支え溝５８Ａ（保持部に相当）が形成されている。この支え溝５８Ａにブレード２４の切刃２８が載置される。 Pins 58 are projected in the X direction at the upper ends of the frame bars 46 and 48 located below the central axis P of the frame 30, and support grooves are formed on the outer peripheral surface of the pins 58 as shown in FIG. 58A (corresponding to the holding portion) is formed. The cutting edge 28 of the blade 24 is placed in the support groove 58A.

枠３０の中心軸Ｐに対して上方に位置する枠棒５０、５２は、枠３０をＸ方向において挟持するように、それぞれ一対備えられて構成されている。これらの枠棒５０、５２の下端部には、先端が半球状の支えピン６０（保持部に相当）がＸ方向に対向して突設され、これらの支えピン６０、６０によってブレード２４の基材２６がＸ方向において挟持、又は好ましくは１ｍｍ以下の隙間をもって保持される。 A pair of frame bars 50 and 52 located above the central axis P of the frame 30 are provided so as to sandwich the frame 30 in the X direction. A support pin 60 (corresponding to a holding portion) having a hemispherical tip is projected from the lower ends of the frame bars 50 and 52 so as to face each other in the X direction, and the support pins 60 and 60 support the base of the blade 24. The material 26 is sandwiched in the X direction, or preferably held with a gap of 1 mm or less.

上記の如く、ブレード２４は、切刃２８がピン５８の支え溝５８Ａに載置され、基材２６が支えピン６０、６０によって挟持又は保持されることにより、ブレード保持機構部１２に保持される。また、ブレード２４は、枠棒４６～５２によるブレード２４の保持位置を調整することにより、枠３０の中心軸Ｐにブレード２４の中心軸Ｑを合致させた状態で保持される。 As described above, the blade 24 is held by the blade holding mechanism portion 12 by the cutting blade 28 being placed in the support groove 58A of the pin 58 and the base material 26 being sandwiched or held by the support pins 60, 60. .. Further, the blade 24 is held in a state where the central axis Q of the blade 24 is aligned with the central axis P of the frame 30 by adjusting the holding position of the blade 24 by the frame bars 46 to 52.

以上が、ブレード保持機構部１２の構成である。 The above is the configuration of the blade holding mechanism unit 12.

次に、図１に示した荷重印加装置１４及びロードセル１６について説明する。 Next, the load applying device 14 and the load cell 16 shown in FIG. 1 will be described.

荷重印加装置１４は、上面にステージ６２が形成された箱状の本体６４と、本体６４に格納された図６に示す駆動部６６と、ロードセル１６に連結された図７及び図８に示す荷重印加部６８と、を備える。なお、図６は、駆動部６６の概略構成を示すブロック図であり、図７は、荷重印加部６８の斜視図であり、図８は、荷重印加部６８の組立斜視図である。 The load applying device 14 includes a box-shaped main body 64 having a stage 62 formed on the upper surface thereof, a drive unit 66 housed in the main body 64 and shown in FIG. 6, and a load shown in FIGS. 7 and 8 connected to the load cell 16. The application unit 68 is provided. 6 is a block diagram showing a schematic configuration of the drive unit 66, FIG. 7 is a perspective view of the load application unit 68, and FIG. 8 is an assembly perspective view of the load application unit 68.

図６の如く、駆動部６６は、ボールネジ７０と、ボールネジ７０を駆動するステッピングモータ７２と、を備えている。ボールネジ７０のネジ棒（不図示）はＸ方向に沿って配置され、ボールネジ７０のナット部（不図示）には、後述する位置調整機構部７４を介してロードセル１６が搭載されている。よって、ステッピングモータ７２が駆動されると、ボールネジ７０によってロードセル１６がＸ方向に移動される。また、ステッピングモータ７２は、コントローラ２０によって制御されている。つまり、コントローラ２０は、ステッピングモータ７２を介してＸ方向に移動されるロードセル１６の移動量（ブレードの弾性変形量に相当）と移動速度を制御することができる。 As shown in FIG. 6, the drive unit 66 includes a ball screw 70 and a stepping motor 72 that drives the ball screw 70. The screw rod (not shown) of the ball screw 70 is arranged along the X direction, and the load cell 16 is mounted on the nut portion (not shown) of the ball screw 70 via the position adjusting mechanism portion 74 described later. Therefore, when the stepping motor 72 is driven, the load cell 16 is moved in the X direction by the ball screw 70. Further, the stepping motor 72 is controlled by the controller 20. That is, the controller 20 can control the movement amount (corresponding to the elastic deformation amount of the blade) and the movement speed of the load cell 16 moved in the X direction via the stepping motor 72.

駆動部６６によってロードセル１６がＸ（＋）、（－）方向に順次移動されると、ロードセル１６に備えられた荷重印加部６８が、図１のブレード保持機構部１２に保持されたブレード２４をＸ（＋）、（－）方向に順次押圧する。これにより、荷重印加装置１４は、ブレード保持機構部１２に保持されたブレード２４に荷重を印加して、ブレード２４を弾性変形させることができる。 When the load cell 16 is sequentially moved in the X (+) and (-) directions by the drive unit 66, the load application unit 68 provided in the load cell 16 presses the blade 24 held by the blade holding mechanism unit 12 in FIG. Press sequentially in the X (+) and (-) directions. As a result, the load applying device 14 can elastically deform the blade 24 by applying a load to the blade 24 held by the blade holding mechanism portion 12.

図８の如く荷重印加部６８は、十字状に形成された押し治具７６及び引き治具７８を備える。押し治具７６は、ロードセル１６のロードボタン８２の先端部に固定される。具体的には、ロードボタン８２の先端部には、不図示のネジ部が形成され、押し治具７６の中央部７７にはナット８４が固定されており、このナット８４を前述のネジ部に螺合することにより押し治具７６がロードボタン８２の先端部に固定される。 As shown in FIG. 8, the load applying portion 68 includes a pushing jig 76 and a pulling jig 78 formed in a cross shape. The push jig 76 is fixed to the tip of the load button 82 of the load cell 16. Specifically, a screw portion (not shown) is formed at the tip of the load button 82, and a nut 84 is fixed to the central portion 77 of the push jig 76, and the nut 84 is attached to the above-mentioned screw portion. By screwing, the push jig 76 is fixed to the tip of the load button 82.

ロードセル１６は、ロードボタン８２の中心軸ＲがＸ方向に沿うように位置調整機構部７４（図１参照）に搭載されている。また、押し治具７６は、押し治具７６の中央部７７の中心軸Ｔから放射状に延設された４本のアーム部（押圧位置調整部に相当）７６Ａ、７６Ｂ、７６Ｃ、７６Ｄを備えており、アーム部７６ＡはＹ（＋）方向に、アーム部７６ＢはＹ（－）方向に、アーム部７６ＣはＺ（＋）方向に、アーム部７６ＤはＺ（－）方向にそれぞれ延設されている。 The load cell 16 is mounted on the position adjusting mechanism portion 74 (see FIG. 1) so that the central axis R of the load button 82 is along the X direction. Further, the pushing jig 76 includes four arm portions (corresponding to the pressing position adjusting portion) 76A, 76B, 76C, and 76D extending radially from the central axis T of the central portion 77 of the pushing jig 76. The arm portion 76A is extended in the Y (+) direction, the arm portion 76B is extended in the Y (-) direction, the arm portion 76C is extended in the Z (+) direction, and the arm portion 76D is extended in the Z (-) direction. There is.

引き治具７８は、ロードボタン８２の先端部に連結された連結管８６に固定される。具体的には、連結管８６の先端部にはネジ部８６Ａが形成され、引き治具７８の中央部７９にはナット８８が固定されており、このナット８８をネジ部８６Ａに螺合することにより引き治具７８が連結管８６を介してロードボタン８２の先端部に固定される。 The pulling jig 78 is fixed to a connecting pipe 86 connected to the tip of the load button 82. Specifically, a threaded portion 86A is formed at the tip of the connecting pipe 86, and a nut 88 is fixed to the central portion 79 of the pulling jig 78, and the nut 88 is screwed into the threaded portion 86A. The pulling jig 78 is fixed to the tip of the load button 82 via the connecting pipe 86.

引き治具７８は、押し治具７６と同様に、引き治具７８の中央部７７の中心軸Ｔから放射状に延設された４本のアーム部（押圧位置調整部に相当）７８Ａ、７８Ｂ、７８Ｃ、７８Ｄを備えており、アーム部７８ＡはＹ（＋）方向に、アーム部７８ＢはＹ（－）方向に、アーム部７８ＣはＺ（＋）方向に、アーム部７８ＤはＺ（－）方向にそれぞれ延設されている。 Similar to the pushing jig 76, the pulling jig 78 has four arm portions (corresponding to the pressing position adjusting portion) 78A and 78B extending radially from the central axis T of the central portion 77 of the pulling jig 78. 78C and 78D are provided, the arm portion 78A is in the Y (+) direction, the arm portion 78B is in the Y (-) direction, the arm portion 78C is in the Z (+) direction, and the arm portion 78D is in the Z (-) direction. It is extended to each.

なお、引き治具７８は、ブレード２４の反発荷重を検出する直前に連結管８６に固定される。すなわち、引き治具７８は、ブレード保持機構部１２に保持されたブレード２４の開口部２４Ａ（図３参照）に連結管８６を挿通した後に連結管８６に固定される。これにより、ブレード２４を挟んで押し治具７６がＸ（－）方向側に配置され、引き治具７８がＸ（＋）方向側に配置される。 The pulling jig 78 is fixed to the connecting pipe 86 immediately before detecting the repulsive load of the blade 24. That is, the pulling jig 78 is fixed to the connecting pipe 86 after the connecting pipe 86 is inserted into the opening 24A (see FIG. 3) of the blade 24 held by the blade holding mechanism portion 12. As a result, the pushing jig 76 is arranged on the X (−) direction side with the blade 24 interposed therebetween, and the pulling jig 78 is arranged on the X (+) direction side.

図９は、押し治具７６及び引き治具７８の平面図である。 FIG. 9 is a plan view of the pushing jig 76 and the pulling jig 78.

なお、押し治具７６と引き治具７８とは同一構成なので、ここでは、押し治具７６の構成を説明する。引き治具７８の構成については、押し治具７６と同一の符号を付すことで説明を省略する。 Since the pushing jig 76 and the pulling jig 78 have the same configuration, the configuration of the pushing jig 76 will be described here. The configuration of the pulling jig 78 will be omitted by giving the same reference numerals as those of the pushing jig 76.

押し治具７６のアーム部７６Ａ～７６Ｄには、アーム部７６Ａ～７６Ｄの長手軸Ｂに沿った長孔９０Ａ、９０Ｂ、９０Ｃ、９０Ｄが形成される。これらの長孔９０Ａ～９０Ｄには、図７の如く、先端が円錐形状の押しピン（押圧部に相当）９２が長孔９０Ａ～９０Ｄに摺動自在に取り付けられている。また、アーム部７６Ａ～７６Ｄには、図９の如く、長孔９０Ａ～９０Ｄに沿ってスケール９４がそれぞれ形成されている。このスケール９４の０点は、押し治具７６の中心Ｓ（中心軸Ｔと等価）に設定されている。よって、このように構成された押し治具７６によれば、スケール９４の目盛を見ることで、押し治具７６の中心Ｓに対する押しピン９０の取り付け位置（押圧位置）を確認することができる。すなわち、荷重印加部６８は、ブレード２４の周方向に沿って配置され、ブレード２４を押圧する複数の押しピン９２と、ブレード２４に対する複数の押しピン９２の押圧位置をブレード２４の径方向に調整する押圧位置調整部と、４本のアーム部７６Ａ～７６Ｄを備えている。 The arm portions 76A to 76D of the push jig 76 are formed with elongated holes 90A, 90B, 90C, 90D along the longitudinal axis B of the arm portions 76A to 76D. As shown in FIG. 7, a push pin (corresponding to a pressing portion) 92 having a conical tip is slidably attached to the elongated holes 90A to 90D in the elongated holes 90A to 90D. Further, as shown in FIG. 9, scales 94 are formed on the arm portions 76A to 76D along the elongated holes 90A to 90D, respectively. The 0 point of the scale 94 is set to the center S (equivalent to the central axis T) of the push jig 76. Therefore, according to the push jig 76 configured in this way, the mounting position (pressing position) of the push pin 90 with respect to the center S of the push jig 76 can be confirmed by looking at the scale of the scale 94. That is, the load applying portion 68 is arranged along the circumferential direction of the blade 24, and adjusts the pressing positions of the plurality of push pins 92 that press the blade 24 and the plurality of push pins 92 against the blade 24 in the radial direction of the blade 24. It is provided with a pressing position adjusting portion and four arm portions 76A to 76D.

押し治具７６に取り付けられた４本の押しピン９２は、図７の如くブレード２４の第１面２６Ａに対向され、引き治具に取り付けられた４本の押しピン９２は、ブレード２４の第２面２６Ｂに対向されている。 The four push pins 92 attached to the push jig 76 face the first surface 26A of the blade 24 as shown in FIG. 7, and the four push pins 92 attached to the pull jig are the first of the blade 24. It faces the two sides 26B.

したがって、荷重印加装置１４の駆動部６６（図６参照）によってロードセル１６をＸ（＋）方向に移動させると、押し治具７６に取り付けられた４本の押しピン９２（図７参照）がブレード２４の第１面２６Ａを押圧し、ブレード２４をＸ（＋）方向に弾性変形させる。このときにブレード２４に生じる反発荷重が、すなわち、押し治具７６とブレード２４との間に作用する反発荷重がロードセル１６によって検出される。 Therefore, when the load cell 16 is moved in the X (+) direction by the drive unit 66 (see FIG. 6) of the load applying device 14, the four push pins 92 (see FIG. 7) attached to the push jig 76 are bladed. The first surface 26A of the 24 is pressed to elastically deform the blade 24 in the X (+) direction. The repulsive load generated on the blade 24 at this time, that is, the repulsive load acting between the pushing jig 76 and the blade 24 is detected by the load cell 16.

また、押し治具７６の４本の押しピン９２は、その長手軸がＸ方向に沿って配置されている。よって、押し治具７６の４本の押しピン９２は、ブレード２４の第１面２６Ａと第２面２６Ｂに平行な面内方向に対して直交する方向に前述の荷重を第１面２６Ａに印加することができる。これにより、ブレード２４が効率よく弾性変形される。 Further, the longitudinal axes of the four push pins 92 of the push jig 76 are arranged along the X direction. Therefore, the four push pins 92 of the push jig 76 apply the above-mentioned load to the first surface 26A in a direction orthogonal to the in-plane direction parallel to the first surface 26A and the second surface 26B of the blade 24. can do. As a result, the blade 24 is efficiently elastically deformed.

一方、駆動部６６（図６参照）によってロードセル１６をＸ（－）方向に移動させると、引き治具７８に取り付けられた４本の押しピン９２（図７参照）がブレード２４の第２面２６Ｂを押圧し、ブレード２４をＸ（－）方向に弾性変形させる。このときにブレード２４に生じる反発荷重が、すなわち、引き治具７８とブレード２４との間に作用する反発荷重がロードセル１６によって検出される。 On the other hand, when the load cell 16 is moved in the X (-) direction by the drive unit 66 (see FIG. 6), the four push pins 92 (see FIG. 7) attached to the pulling jig 78 are on the second surface of the blade 24. 26B is pressed to elastically deform the blade 24 in the X (−) direction. The repulsive load generated on the blade 24 at this time, that is, the repulsive load acting between the pulling jig 78 and the blade 24 is detected by the load cell 16.

また、引き治具７８の４本の押しピン９２は、その長手軸がＸ方向に沿って配置されている。よって、引き治具７８の４本の押しピン９２は、ブレード２４の第１面２６Ａと第２面２６Ｂに平行な面内方向に対して直交する方向に前述の荷重を第２面２６Ｂに印加することができる。これにより、ブレード２４が効率よく弾性変形される。 Further, the longitudinal axes of the four push pins 92 of the pulling jig 78 are arranged along the X direction. Therefore, the four push pins 92 of the pulling jig 78 apply the above-mentioned load to the second surface 26B in a direction orthogonal to the in-plane direction parallel to the first surface 26A and the second surface 26B of the blade 24. can do. As a result, the blade 24 is efficiently elastically deformed.

図１に示したロードセル１６は、位置調整機構部７４を介して本体６４のステージ６２に搭載され、図６の駆動部６６によってＸ方向に移動される。 The load cell 16 shown in FIG. 1 is mounted on the stage 62 of the main body 64 via the position adjusting mechanism unit 74, and is moved in the X direction by the drive unit 66 of FIG.

位置調整機構部７４は、ステージ６２に対するロードセル１６のＹ（＋）、（－）方向及びＺ（＋）、（－）方向の位置を調整する既知の機構部であるので、その詳細な説明は省略する。 Since the position adjusting mechanism unit 74 is a known mechanism unit that adjusts the positions of the load cell 16 in the Y (+) and (-) directions and the Z (+) and (-) directions with respect to the stage 62, a detailed description thereof will be given. Omit.

ロードセル１６も既知のものであり、例えば、ロードボタン８２に接続されたコラム型起歪体を有し、コラム起歪体に歪ゲージが貼付されて構成されたものである。 ロードセル１６は、荷重印加部６８とブレード２４との間に作用する反発荷重、つまり、ブレード２４が復元しようとする復元力に相当する反発荷重を、これに比例した電圧に変換することにより、反発荷重を検出する。なお、実施形態では歪みゲージ式のロードセルを例示するが、油圧式、空気圧式のものであってもよい。 The load cell 16 is also known, and has, for example, a column-type strain generating body connected to the load button 82, and is configured by attaching a strain gauge to the column straining body. The load cell 16 repels the repulsive load acting between the load applying portion 68 and the blade 24, that is, the repulsive load corresponding to the restoring force that the blade 24 tries to restore is converted into a voltage proportional to the repulsive load. Detect the load. In the embodiment, a strain gauge type load cell is exemplified, but a hydraulic type or a pneumatic type may be used.

以上が、荷重印加装置１４及びロードセル１６の構成である。 The above is the configuration of the load applying device 14 and the load cell 16.

次に、ブレード検査装置１０によるブレード検査方法の一例について、図１０のフローチャートを参照して説明する。 Next, an example of the blade inspection method by the blade inspection apparatus 10 will be described with reference to the flowchart of FIG.

まず、ブレード保持工程（Ｓ１０）において、ブレード２４をブレード保持機構部１２に保持させる。 First, in the blade holding step (S10), the blade 24 is held by the blade holding mechanism portion 12.

具体的には、図３の如く、枠棒４６～５２によるブレード２４の保持位置を調整した後、ブレード２４の切刃２８を、ピン５８の支え溝５８Ａに載置し、ブレード２４の基材２６を支えピン６０、６０によって挟持又は保持する。これにより、ブレード２４は、ブレード２４の中心軸Ｑが枠３０の中心軸Ｐに合致した状態で、ブレード保持機構部１２に保持される。また、このときの支えピン６０、６０は、基材２６が弾性変形しない程度の小さい力で基材２６を挟持又は保持する。 Specifically, as shown in FIG. 3, after adjusting the holding position of the blade 24 by the frame bars 46 to 52, the cutting blade 28 of the blade 24 is placed in the support groove 58A of the pin 58, and the base material of the blade 24 is placed. 26 is sandwiched or held by support pins 60, 60. As a result, the blade 24 is held by the blade holding mechanism portion 12 in a state where the central axis Q of the blade 24 matches the central axis P of the frame 30. Further, the support pins 60, 60 at this time sandwich or hold the base material 26 with a small force so that the base material 26 is not elastically deformed.

次に、荷重印加工程において、ブレード２４に荷重印加部６８によって荷重を印加して、ブレード２４を弾性変形させる。 Next, in the load application step, a load is applied to the blade 24 by the load application unit 68 to elastically deform the blade 24.

荷重印加工程は、ブレード２４の第１面２６Ａに荷重を印加する第１荷重印加工程（Ｓ２０）と、ブレード２４の第２面２６Ｂに荷重を印加する第２荷重印加工程（Ｓ４０）と、を含んでいる。なお、荷重印加工程は、２回に限定されず１回のみであってもよい。 The load applying step includes a first load applying step (S20) for applying a load to the first surface 26A of the blade 24 and a second load applying step (S40) for applying a load to the second surface 26B of the blade 24. Includes. The load application step is not limited to two times, but may be only once.

第１荷重印加工程（Ｓ２０）は、下記の第１荷重検出工程をその工程中に含んでおり、第２荷重印加工程（Ｓ４０）も同様に、下記の第２荷重検出工程をその工程中に含んでいる。また、荷重検出工程においても、２回に限定されず１回のみであってもよい。 The first load application step (S20) includes the following first load detection step in the process, and the second load application step (S40) also includes the following second load detection step in the process. Includes. Further, in the load detection step, the load detection step is not limited to two times, but may be only once.

まず、第１荷重印加工程（Ｓ２０）では、荷重印加装置１４の駆動部６６（図６参照）によってロードセル１６をＸ（＋）方向に移動させ、押し治具７６に取り付けられた４本の押しピン９２（図７参照）をブレード２４の第１面２６Ａに当接させる。そして、その当接位置をスタート点として、スタート点から更にロードセル１６をＸ（＋）方向に一定距離移動させる。そして、ロードセル１６の移動中における、押し治具７６とブレード２４との間に作用する反発荷重（第１反発荷重）を、ロードセル１６が一定周期で検出する（第１荷重検出工程）。そして、コントローラ２０は、スタート点からのロードセル１６の距離（ブレード２４の弾性変形量）とロードセル１６によって検出されている反発荷重とを関連付けし、その関連付けしたグラフをモニタ２２に表示させる。 First, in the first load application step (S20), the load cell 16 is moved in the X (+) direction by the drive unit 66 (see FIG. 6) of the load application device 14, and four pushers attached to the push jig 76 are pushed. The pin 92 (see FIG. 7) is brought into contact with the first surface 26A of the blade 24. Then, the load cell 16 is further moved in the X (+) direction by a certain distance from the start point with the contact position as the start point. Then, the load cell 16 detects the repulsive load (first repulsive load) acting between the pushing jig 76 and the blade 24 while the load cell 16 is moving (first load detecting step). Then, the controller 20 associates the distance of the load cell 16 from the start point (the amount of elastic deformation of the blade 24) with the repulsive load detected by the load cell 16 and displays the associated graph on the monitor 22.

第１荷重印加工程（Ｓ２０）が終了すると、第１判定工程（Ｓ３０）において、モニタ２２に表示された前述のグラフを作業者が確認し、そのグラフの状況からブレード２４の均質性を判定する。この判定方法については後述する。 When the first load application step (S20) is completed, the operator confirms the above-mentioned graph displayed on the monitor 22 in the first determination step (S30), and determines the homogeneity of the blade 24 from the state of the graph. .. This determination method will be described later.

次に、第２荷重印加工程（Ｓ４０）では、荷重印加装置１４の駆動部６６（図６参照）によってロードセル１６をＸ（－）方向に移動させ、引き治具７８に取り付けられた４本の押しピン９２（図７参照）をブレード２４の第２面２６Ｂに当接させる。そして、その当接位置をスタート点として、スタート点から更にロードセル１６をＸ（－）方向に一定距離移動させる。そして、ロードセル１６の移動中における、引き治具７８とブレード２４との間に作用する反発荷重（第２反発荷重）を、ロードセル１６が一定周期で検出する（第２荷重検出工程）。そして、コントローラ２０は、スタート点からのロードセル１６の距離（ブレード２４の弾性変形量）とロードセル１６によって検出されている反発荷重とを関連付けし、その関連付けしたグラフをモニタ２２に表示させる。 Next, in the second load application step (S40), the load cell 16 is moved in the X (−) direction by the drive unit 66 (see FIG. 6) of the load application device 14, and the four pieces attached to the pulling jig 78 are attached. The push pin 92 (see FIG. 7) is brought into contact with the second surface 26B of the blade 24. Then, the load cell 16 is further moved in the X (−) direction by a certain distance from the start point with the contact position as the start point. Then, the load cell 16 detects the repulsive load (second repulsive load) acting between the pulling jig 78 and the blade 24 while the load cell 16 is moving (second load detection step). Then, the controller 20 associates the distance of the load cell 16 from the start point (the amount of elastic deformation of the blade 24) with the repulsive load detected by the load cell 16 and displays the associated graph on the monitor 22.

第２荷重印加工程（Ｓ４０）が終了すると、第２判定工程（Ｓ５０）において、モニタ２２に表示された前述のグラフを作業者が確認し、そのグラフの状況からブレード２４の均質性を判定する。 When the second load application step (S40) is completed, in the second determination step (S50), the operator confirms the above-mentioned graph displayed on the monitor 22, and determines the homogeneity of the blade 24 from the state of the graph. ..

次に、ブレード２４の均質性の判定方法の一例について、図１１～図１３を参照して説明する。 Next, an example of a method for determining the homogeneity of the blade 24 will be described with reference to FIGS. 11 to 13.

図１１は、均質なブレード２４の検査結果を説明した説明図であり、図１２及び図１３は、不均質なブレード２４の検査結果を説明した説明図である。 11 is an explanatory diagram explaining the inspection result of the homogeneous blade 24, and FIGS. 12 and 13 are explanatory views explaining the inspection result of the homogeneous blade 24.

図１１（Ａ）の如く、第１面２６Ａと第２面２６Ｂとが平坦なブレード２４では、つまり、均質なブレード２４では、図１１（Ｂ）の如く、第１面２６Ａに荷重をＸ（＋）方向に印加して得られた検査結果と、図１１（Ｃ）の如く、第２面２６Ｂに荷重をＸ（－）方向に印加して得られた検査結果が同じ結果となる。つまり、ブレード２４の弾性変形量（ｍｍ）に応じた反発荷重（Ｎ）が等しく、その間のブレード２４の変形（撓み）は連続的となる。この検査結果がモニタ２２に表示される。 In the blade 24 where the first surface 26A and the second surface 26B are flat as shown in FIG. 11A, that is, in the uniform blade 24, a load is applied to the first surface 26A as shown in FIG. 11B. The inspection result obtained by applying the load in the +) direction and the inspection result obtained by applying the load to the second surface 26B in the X (−) direction as shown in FIG. 11C have the same result. That is, the repulsive load (N) corresponding to the elastic deformation amount (mm) of the blade 24 is equal, and the deformation (deflection) of the blade 24 during that time becomes continuous. This inspection result is displayed on the monitor 22.

図１１のブレード２４に対して、図１２のブレード２４は、第２面２６Ｂ側に凸状に変形したものである。図１２のブレード２４では、図１２（Ｂ）の如く、Ｘ（＋）方向の荷重を第１面２６Ａに印加した場合、ブレード２４の変形は連続的となるのに対し、図１２（Ｃ）の如く、Ｘ（－）方向の荷重を第２面２６Ｂに印加した場合には、弾性変形量ａ（ｍｍ）の位置で反発荷重（Ｎ）に変位点が発生する。 The blade 24 of FIG. 12 is deformed in a convex shape toward the second surface 26B with respect to the blade 24 of FIG. In the blade 24 of FIG. 12, when a load in the X (+) direction is applied to the first surface 26A as shown in FIG. 12 (B), the deformation of the blade 24 becomes continuous, whereas the deformation of the blade 24 becomes continuous (C). As described above, when a load in the X (−) direction is applied to the second surface 26B, a displacement point is generated in the repulsive load (N) at the position of the elastic deformation amount a (mm).

一方、図１３のブレード２４は、第１面２６Ａ側に凸状に変形したものである。図１３のブレード２４では、図１３（Ｃ）の如く、Ｘ（－）方向の荷重を第２面２６Ｂに印加した場合、ブレード２４の変形は連続的となるのに対し、図１３（Ｂ）の如く、Ｘ（＋）方向の荷重を第１面２６Ａに印加した場合には、弾性変形量ｂ（ｍｍ）の位置で反発荷重（Ｎ）に変位点が発生する。 On the other hand, the blade 24 in FIG. 13 is deformed in a convex shape toward the first surface 26A. In the blade 24 of FIG. 13, when a load in the X (−) direction is applied to the second surface 26B as shown in FIG. 13 (C), the deformation of the blade 24 becomes continuous, whereas the deformation of the blade 24 becomes continuous (B). As described above, when a load in the X (+) direction is applied to the first surface 26A, a displacement point is generated in the repulsive load (N) at the position of the elastic deformation amount b (mm).

そこで、実施形態の判定方法の一例として、図１２及び図１３に示す変位点が発生したブレード２４を不均質なものと判定する。よって、変位点の有無をモニタ２２にて確認するだけで、ブレード２４の均質性を判定することができる。したがって、実施形態のブレード検査装置１０を使用することにより、ブレード２４の均質性を定量的に判定することができる。 Therefore, as an example of the determination method of the embodiment, the blade 24 in which the displacement points shown in FIGS. 12 and 13 are generated is determined to be inhomogeneous. Therefore, the homogeneity of the blade 24 can be determined only by confirming the presence or absence of the displacement point on the monitor 22. Therefore, by using the blade inspection device 10 of the embodiment, the homogeneity of the blade 24 can be quantitatively determined.

また、図１２及び図１３に示したように、凸状に変形したブレード２４の場合には、２回の荷重印加工程（第１荷重印加工程及び第２荷重印加工程）を経なければ、ブレード２４の均質性を判定することができない。よって、２回の荷重印加工程を検査工程に備えることは有効的である。 Further, as shown in FIGS. 12 and 13, in the case of the blade 24 deformed in a convex shape, the blade must be subjected to two load application steps (first load application step and second load application step). The homogeneity of 24 cannot be determined. Therefore, it is effective to prepare the inspection process with two load application steps.

なお、ブレード２４の均質性の判定は、凸状の変形のみで判定されるものではなく、基材２６の性質又は状態で判定されるものもある。このようなブレード２４であっても、つまり、均質性が形状の違いに表れないブレード２４であっても、実施形態のブレード検査装置１０を使用すれば、ブレード２４の均質性を判定することができる。 The homogeneity of the blade 24 is not determined only by the convex deformation, but may be determined by the property or state of the base material 26. Even with such a blade 24, that is, even with the blade 24 whose homogeneity does not appear in the difference in shape, the homogeneity of the blade 24 can be determined by using the blade inspection device 10 of the embodiment. can.

具体的に説明すると、均質性が形状の違いに表れないブレード２４の場合、ブレード２４の弾性変形量（ｍｍ）に応じた反発荷重（Ｎ）が連続的に増加しない検査結果が得られる。例えば、ブレード２４を弾性変形させていく初期段階では反発荷重が一定で、中期段階から後期段階にかけて反発荷重が急増していく傾向となったり、初期段階では反発荷重が連続的に増加するが、中期段階から後期段階にかけて反発荷重が一定となったりする検査結果が得られる。このようなブレード２４も不均質と判定する。 Specifically, in the case of the blade 24 in which the homogeneity does not appear in the difference in shape, an inspection result can be obtained in which the repulsive load (N) corresponding to the elastic deformation amount (mm) of the blade 24 does not continuously increase. For example, the repulsive load is constant in the initial stage of elastically deforming the blade 24, and the repulsive load tends to increase rapidly from the middle stage to the late stage, or the repulsive load continuously increases in the initial stage. Inspection results can be obtained in which the repulsive load becomes constant from the middle stage to the late stage. Such a blade 24 is also determined to be inhomogeneous.

したがって、均質性が形状の違いに表れないブレード２４の場合であっても、実施形態のブレード検査装置１０を使用することにより、ブレード２４の均質性を定量的に判定することができる。 Therefore, even in the case of the blade 24 whose homogeneity does not appear in the difference in shape, the homogeneity of the blade 24 can be quantitatively determined by using the blade inspection device 10 of the embodiment.

〔実施例〕
外径５８ｍｍ、内径４０ｍｍ、厚さ０．１５ｍｍのブレード２４を使用し、検査を行った。 〔Example〕
The inspection was performed using a blade 24 having an outer diameter of 58 mm, an inner diameter of 40 mm, and a thickness of 0.15 mm.

検査の概略を説明すると、ブレード２４は、ブレード保持機構部１２に立てて固定し、押し治具７６をブレード２４の第１面２６Ａに当接させてブレード２４に荷重を加え、反発荷重をロードセル１６にて検出する。その後、引き治具７８をブレード２４の第２面２６Ｂに当接させてブレード２４に荷重を加え、反発荷重をロードセル１６にて検出する。 To explain the outline of the inspection, the blade 24 is fixed upright on the blade holding mechanism portion 12, the pushing jig 76 is brought into contact with the first surface 26A of the blade 24, a load is applied to the blade 24, and a repulsive load is applied to the load cell. Detect at 16. After that, the pulling jig 78 is brought into contact with the second surface 26B of the blade 24 to apply a load to the blade 24, and the repulsive load is detected by the load cell 16.

コントローラ２０は、ロードセル１６によって検出された荷重とロードセル１６の位置（ブレード２４の弾性変形量）を高速にサンプリングし、検査結果をモニタ２２に表示させる。そして、表示された検査結果に基づいてブレード２４の均質性を作業者が判定する。なお、ロードセル１６のサンプリング周期（データ収集間隔）は、一例として０．５ｍｓｅｃに設定する。また、ロードセル１６の位置を検出するスケールを別途設け、そのスケールの位置をコントローラ２０がサンプリングすることにより、ロードセル１６の位置を取得してもよい。 The controller 20 samples the load detected by the load cell 16 and the position of the load cell 16 (the amount of elastic deformation of the blade 24) at high speed, and displays the inspection result on the monitor 22. Then, the operator determines the homogeneity of the blade 24 based on the displayed inspection result. The sampling cycle (data acquisition interval) of the load cell 16 is set to 0.5 msec as an example. Further, a scale for detecting the position of the load cell 16 may be separately provided, and the position of the scale may be sampled by the controller 20 to acquire the position of the load cell 16.

以下、検査の具体例を説明する。 Hereinafter, specific examples of inspection will be described.

＜検査準備＞
１）ブレード２４のサイズに合わせて、押し治具７６と引き治具７８の押しピン９２の位置を図９の如く調整する。図９の例では、４本の押しピン９２を、押し治具７６及び引き治具７８の中心Ｓから２１ｍｍ離れた位置に設定する。つまり、４本の押しピン９２は、ブレード２４の内径近辺を押圧する位置に設定される。 <Preparation for inspection>
1) The positions of the push jig 76 and the push pin 92 of the pull jig 78 are adjusted according to the size of the blade 24 as shown in FIG. In the example of FIG. 9, the four push pins 92 are set at positions 21 mm away from the center S of the push jig 76 and the pull jig 78. That is, the four push pins 92 are set at positions that press the vicinity of the inner diameter of the blade 24.

２）ブレード２４の寸法に合わせて、ブレード保持機構部１２の支えピン６０の位置を図４及び図５の如く調整する。図４及び図５の例では、４本の支えピン６０を、枠３０の中心軸Ｐから２４．５ｍｍ離れた位置に設定する。つまり、４本の支えピン６０は、ブレード外径と内径の中点近辺を支える位置に設定される。 2) The position of the support pin 60 of the blade holding mechanism portion 12 is adjusted as shown in FIGS. 4 and 5 according to the dimensions of the blade 24. In the examples of FIGS. 4 and 5, the four support pins 60 are set at positions separated from the central axis P of the frame 30 by 24.5 mm. That is, the four support pins 60 are set at positions that support the vicinity of the midpoint between the outer diameter and the inner diameter of the blade.

図１４は、ブレード２４に対する支えピン６０と押しピン９２の配置位置を示した説明図である。 FIG. 14 is an explanatory diagram showing the arrangement positions of the support pin 60 and the push pin 92 with respect to the blade 24.

図１４の例では、４本の押しピン９２がブレード２４の中心軸Ｑを中心とする半径２１ｍｍの円周上に配置され、２本の支えピン６０がブレード２４の中心軸Ｑを中心とする半径２４．５ｍｍの円周上に配置されている。なお、この配置位置は一例である。ブレード２４に対する支えピン６０と押しピン９２の配置位置は、支えピン６０によってブレード２４を安定的に支持し、押えピン９２によってブレード２４を安定的に弾性変形させることが可能な位置であればよい。 In the example of FIG. 14, four push pins 92 are arranged on a circumference having a radius of 21 mm centered on the central axis Q of the blade 24, and two support pins 60 are centered on the central axis Q of the blade 24. It is arranged on the circumference with a radius of 24.5 mm. This arrangement position is an example. The position of the support pin 60 and the push pin 92 with respect to the blade 24 may be any position as long as the blade 24 can be stably supported by the support pin 60 and the blade 24 can be stably elastically deformed by the presser pin 92. ..

３）対向する２本の支えピン６０、６０の間隔を０．２ｍｍに調整し、ブレード２４が変形しない程度の力でブレード２４を対向する２本の支えピン６０、６０で保持する。 3) The distance between the two facing support pins 60, 60 is adjusted to 0.2 mm, and the blade 24 is held by the two facing support pins 60, 60 with a force that does not deform the blade 24.

４）ブレード２４の上側を左右の支えピン６０、６０の間に挿入し、ブレード２４の下側を２本のピン５８の支え溝５８Ａに挿入して、枠３０にブレード２４を立てた状態で保持させる。 4) The upper side of the blade 24 is inserted between the left and right support pins 60, 60, the lower side of the blade 24 is inserted into the support grooves 58A of the two pins 58, and the blade 24 is erected on the frame 30. Hold it.

５）枠３０を図３の如く、枠台３２に固定する。 5) The frame 30 is fixed to the frame base 32 as shown in FIG.

６）押し治具７６をブレード２４の近くまでＸ（＋）方向に移動させ、連結管８６をブレード２４の開口部２４Ａに挿通し、連結管８６に引き治具７８を、図７の如く接続する。 6) The pushing jig 76 is moved to the vicinity of the blade 24 in the X (+) direction, the connecting pipe 86 is inserted into the opening 24A of the blade 24, and the pulling jig 78 is connected to the connecting pipe 86 as shown in FIG. do.

＜検査開始位置の設定＞
図１５は、検査開始位置の設定を行う手順の一例を示したフローチャートである。 <Setting of inspection start position>
FIG. 15 is a flowchart showing an example of a procedure for setting the inspection start position.

まず、コントローラ２０の記憶部（不図示）に記憶されている前回の反発荷重をゼロにリセットし（Ｓ１００）、押し治具７６をＸ（＋）方向に少し押し込みながら（Ｓ１１０）、そのときにロードセル１６にて検出される荷重値を取得する（Ｓ１２０）。 First, the previous repulsive load stored in the storage unit (not shown) of the controller 20 is reset to zero (S100), and the push jig 76 is slightly pushed in the X (+) direction (S110), at that time. The load value detected in the load cell 16 is acquired (S120).

そして、ロードセル１６にて検出される荷重値が０．０８０（Ｎ）に到達するまで、Ｓ１１０、Ｓ１２０の処理を行い、ロードセル１６にて検出される荷重値が０．０８０（Ｎ）に到達したところで押し治具７６のＸ（＋）方向の押し込みを停止する（Ｓ１３０）。 Then, the processes of S110 and S120 are performed until the load value detected in the load cell 16 reaches 0.080 (N), and the load value detected in the load cell 16 reaches 0.080 (N). By the way, the pushing of the pushing jig 76 in the X (+) direction is stopped (S130).

次に、押し治具７６をＸ（－）方向に少し引きながら、（Ｓ１４０）、そのときにロードセル１６にて検出される荷重値を取得する（Ｓ１５０）。 Next, while pulling the push jig 76 slightly in the X (−) direction (S140), the load value detected by the load cell 16 at that time is acquired (S150).

そして、ロードセル１６にて検出される荷重値が、０．０８０（Ｎ）から０．００５（Ｎ）に到達するまで、Ｓ１４０、Ｓ１５０の処理を行い、ロードセル１６にて検出される荷重値が０．００５（Ｎ）に到達したところで押し治具７６のＸ（－）方向の押し込みを停止し（Ｓ１６０）、その位置を検査開始位置としてリセットする（Ｓ１７０）。つまり、その位置を荷重と変位（ブレード２４の弾性変形量）のゼロ点位置としてリセットする。なお、荷重値の０．０８０（Ｎ）と０．００５（Ｎ）の値は、ノイズを考慮した値である。 Then, the processes of S140 and S150 are performed until the load value detected in the load cell 16 reaches 0.005 (N) from 0.080 (N), and the load value detected in the load cell 16 is 0. When it reaches .005 (N), the pushing of the pushing jig 76 in the X (−) direction is stopped (S160), and the position is reset as the inspection start position (S170). That is, the position is reset as the zero point position of the load and the displacement (elastic deformation amount of the blade 24). The load values of 0.080 (N) and 0.005 (N) are values in consideration of noise.

以上で、押し治具７６による検査開始位置の設定が終了する。なお、引き治具７６による検査開始位置の設定も、図１５のＳ１００～Ｓ１７０と同様の手順により設定する。 This completes the setting of the inspection start position by the push jig 76. The inspection start position is also set by the pulling jig 76 by the same procedure as in S100 to S170 of FIG.

<検査手順>
図１６は、ブレード２４の検査手順の一例を示したフローチャートである。 <Inspection procedure>
FIG. 16 is a flowchart showing an example of the inspection procedure of the blade 24.

１）コントローラ２０に設けられたスタートボタン（不図示）を押すと、荷重印加装置１４及びロードセル１６に電源が投入されて、ブレード２４の検査が開始される。 1) When the start button (not shown) provided on the controller 20 is pressed, the power is turned on to the load applying device 14 and the load cell 16, and the inspection of the blade 24 is started.

２）まず、押し治具７６の検査開始位置を設定する（Ｓ２００）。この検査開始位置の設定は、図１５に示したフローチャートに基づいて行う。 2) First, the inspection start position of the push jig 76 is set (S200). The inspection start position is set based on the flowchart shown in FIG.

３）次に、設定された検査開始位置から押し治具７６をＸ（＋）方向に所定の速度で１ｍｍ移動させる。これにより、ブレード２４がＸ（＋）方向に弾性変形されていき、コントローラ２０は、ブレード２４の弾性変形量と、押し治具７６とブレード２４との間に作用する反発荷重とを取得する（Ｓ２１０）。 3) Next, the push jig 76 is moved by 1 mm at a predetermined speed in the X (+) direction from the set inspection start position. As a result, the blade 24 is elastically deformed in the X (+) direction, and the controller 20 acquires the amount of elastic deformation of the blade 24 and the repulsive load acting between the pushing jig 76 and the blade 24 ( S210).

コントローラ２０は、ブレード２４の弾性変形量と反発荷重とを関連付けし、その関連付けしたグラフをモニタ２２に表示させる。作業者は、そのグラフを見てブレード２４の合否、つまり均質性を判定する（Ｓ２２０）。 The controller 20 associates the elastic deformation amount of the blade 24 with the repulsive load, and displays the associated graph on the monitor 22. The operator looks at the graph and determines the pass / fail of the blade 24, that is, the homogeneity (S220).

押し治具７６による検査が終了すると、
４）引き治具７８の検査開始位置を設定する（Ｓ２３０）。この検査開始位置の設定も、図１５に示したフローチャートに基づいて行う。 When the inspection by the push jig 76 is completed,
4) The inspection start position of the pulling jig 78 is set (S230). This inspection start position is also set based on the flowchart shown in FIG.

５）次に、設定された検査開始位置から引き治具７６をＸ（－）方向に所定の速度で１ｍｍ移動させる。これにより、ブレード２４がＸ（－）方向に弾性変形され、コントローラ２０は、ブレード２４の弾性変形量と、押し治具７６とブレード２４との間に作用する反発荷重とを取得する（Ｓ２４０）。 5) Next, the pulling jig 76 is moved by 1 mm at a predetermined speed in the X (−) direction from the set inspection start position. As a result, the blade 24 is elastically deformed in the X (−) direction, and the controller 20 acquires the amount of elastic deformation of the blade 24 and the repulsive load acting between the pushing jig 76 and the blade 24 (S240). ..

コントローラ２０は、ブレード２４の弾性変形量と反発荷重とを関連付けし、その関連付けしたグラフをモニタ２２に表示させる。作業者は、そのグラフを見てブレード２４の合否、つまり均質性を判定する（Ｓ２５０）。 The controller 20 associates the elastic deformation amount of the blade 24 with the repulsive load, and displays the associated graph on the monitor 22. The operator determines the pass / fail of the blade 24, that is, the homogeneity by looking at the graph (S250).

そして最後に、コントローラ２０は、検査結果をコントローラ２０の記憶部に保存する。以上の検査手順により１枚のブレード２４の検査が終了する。 Finally, the controller 20 stores the inspection result in the storage unit of the controller 20. The inspection of one blade 24 is completed by the above inspection procedure.

上記の実施例のような検査を行うと、均質なブレード２４の場合には、図１７に示すような検査結果が示すグラフがモニタ２２に表示される。 When the inspection as in the above embodiment is performed, in the case of the homogeneous blade 24, the graph showing the inspection result as shown in FIG. 17 is displayed on the monitor 22.

図１７に示すグラフは、ブレード２４に対し、第１面２６Ａと第２面２６Ｂに平行な面内方向に対して直交する方向に荷重を印加して、ブレード２４を１ｍｍ弾性変形させたときの反発荷重（Ｎ）の変化を示している。 The graph shown in FIG. 17 shows the case where the blade 24 is elastically deformed by 1 mm by applying a load to the blade 24 in a direction orthogonal to the in-plane direction parallel to the first surface 26A and the second surface 26B. It shows the change of the repulsive load (N).

図１７のグラフによれば、ブレード２４の弾性変形量に対して、反発荷重が徐々に連続的に変化するものなので、均質なブレード２４であると判定することができる。 According to the graph of FIG. 17, since the repulsive load gradually and continuously changes with respect to the amount of elastic deformation of the blade 24, it can be determined that the blade 24 is homogeneous.

一方、不均質なブレード２４の場合には、図１７のグラフと異なる傾向の検査結果を得ることができる。その検査結果を示すグラフが図１８及び図１９に示されている。 On the other hand, in the case of the non-homogeneous blade 24, it is possible to obtain an inspection result having a tendency different from that in the graph of FIG. Graphs showing the inspection results are shown in FIGS. 18 and 19.

不均質なブレード２４では、ブレード２４に荷重を印加すると、図１８のグラフの如く、ある点で形状変化が逆転する現象が生じる。図１８のグラフによれば、ブレード２４の弾性変形量が０～０．１９６ｍｍまでは、反発荷重が連続的に増加していくが、弾性変形量が０．１９６ｍｍを超えた時点で反発荷重が低下し、弾性変形量が０．２３１ｍｍを超えると反発荷重が増加していく。つまり、弾性変形量が０．１９６ｍｍのときに形状変化が逆転している。 In the non-homogeneous blade 24, when a load is applied to the blade 24, a phenomenon that the shape change is reversed at a certain point occurs as shown in the graph of FIG. According to the graph of FIG. 18, the repulsive load continuously increases from 0 to 0.196 mm when the elastic deformation amount of the blade 24 exceeds 0.196 mm, but the repulsive load increases when the elastic deformation amount exceeds 0.196 mm. When it decreases and the elastic deformation amount exceeds 0.231 mm, the repulsive load increases. That is, the shape change is reversed when the elastic deformation amount is 0.196 mm.

図１８のグラフを作業者が見ることにより、作業者の技量に依存することなく、そのブレード２４が不均質なものであることを定量的に判定することができる。 By viewing the graph of FIG. 18 by the operator, it can be quantitatively determined that the blade 24 is inhomogeneous without depending on the skill of the operator.

また、図１９のグラフでは、ブレード２４を弾性変形させていく初期段階（０～０．２６１ｍｍ）では反発荷重が略一定で、中期段階から後期段階にかけて反発荷重が増加している。このブレード２４は、均質性が形状の違いに表れない不均質なものである。 Further, in the graph of FIG. 19, the repulsive load is substantially constant in the initial stage (0 to 0.261 mm) in which the blade 24 is elastically deformed, and the repulsive load increases from the middle stage to the late stage. The blade 24 is inhomogeneous in that the homogeneity does not appear in the difference in shape.

よって、図１９のグラフを作業者が見ることにより、作業者の技量に依存することなく、そのブレード２４が不均質なものであることを定量的に判定することができる。 Therefore, by the operator looking at the graph of FIG. 19, it can be quantitatively determined that the blade 24 is inhomogeneous without depending on the skill of the operator.

前述の判定例は、作業者がグラフを見て作業者が判定する例であるが、コントローラ２０に閾値を設定することにより、その閾値に基づいてブレード検査装置１０が判定を行うようにしてもよい。 The above-mentioned determination example is an example in which the operator makes a judgment by looking at the graph, but even if a threshold value is set in the controller 20, the blade inspection device 10 makes a judgment based on the threshold value. good.

例えば、図２０（Ａ）の検査結果を示すグラフにおいて、反発荷重の極大点ｃと極小点ｄとの差に閾値を設定し、その差が閾値以下の場合には均質なブレード２４であると判定し、閾値を超えた場合には不均質なブレード２４であると判定する。 For example, in the graph showing the inspection result of FIG. 20A, a threshold value is set for the difference between the maximum point c and the minimum point d of the repulsive load, and when the difference is equal to or less than the threshold value, the blade 24 is homogeneous. If it exceeds the threshold value, it is determined that the blade 24 is inhomogeneous.

また、図２０（Ｂ）の検査結果を示すグラフにおいて、反発荷重の増加率、及び反発荷重が増加しない（増加率の小さい）ｅ－ｆ区間の長さに閾値を設定し、その閾値に基づいてブレード２４の良否を判定してもよい。 Further, in the graph showing the inspection result of FIG. 20B, a threshold value is set for the increase rate of the repulsive load and the length of the ef section in which the repulsive load does not increase (the increase rate is small), and based on the threshold value. The quality of the blade 24 may be determined.

具体的には、反発荷重の増加率については、上限値と下限値を閾値として設定し、増加率が上限値と下限値との間の範囲にある場合には、均質なブレード２４であると判定し、増加率が上限値を超えたり、下限値を下回ったりした場合には、不均質なブレード２４であると判定する。 Specifically, regarding the increase rate of the repulsive load, the upper limit value and the lower limit value are set as threshold values, and when the increase rate is in the range between the upper limit value and the lower limit value, the blade 24 is homogeneous. If the increase rate exceeds the upper limit value or falls below the lower limit value, it is determined that the blade 24 is inhomogeneous.

反発荷重が増加しない区間の長さに閾値を設定した場合には、その長さが閾値以下の場合には、均質なブレード２４であると判定し、その長さが閾値を超えた場合には、不均質なブレード２４であると判定する。 When a threshold is set for the length of the section where the repulsive load does not increase, if the length is less than or equal to the threshold, it is determined that the blade 24 is homogeneous, and if the length exceeds the threshold, it is determined. , It is determined that the blade 24 is inhomogeneous.

なお、実施形態では、ブレード２４に荷重を印加する荷重印加手段として、ブレード２４を押しピン９２で押圧する押圧型の荷重印加手段を説明したが、これに限定されるものではなく、例えば、ブレード２４を吸着手段によって吸着してブレード２４に荷重を印加する吸引型の荷重印加手段であっても適用することができる。 In the embodiment, as a load applying means for applying a load to the blade 24, a pressing type load applying means for pressing the blade 24 with a push pin 92 has been described, but the present invention is not limited to this, and for example, the blade. It can also be applied by a suction type load applying means that sucks the 24 by the suction means and applies a load to the blade 24.

１０…ブレード検査装置、１２…ブレード保持機構部、１４…荷重印加装置、１６…ロードセル、１８…テーブル、２０…コントローラ、２２…モニタ、２４…ブレード、２６…基材、２６Ａ…第１面、２６Ｂ…第２面、２８…切刃、３０…枠、３２…枠台、３４…ポール、３６…梁、３８…ネジ孔、４０…ネジ棒、４２…クランプ、４４…ツマミ、４６、４８、５０、５２…枠棒、４６Ａ、４８Ａ、５０Ａ、５２Ａ…長孔、５４…クランプネジ、５６…ネジ孔、５８…ピン、５８Ａ…支え溝、６０…支えピン、６２…ステージ、６４…本体、６６…駆動部、６８…荷重印加部、７０…ボールネジ、７２…ステッピングモータ、７４…位置調整機構部、７６…押し治具、７６Ａ、７６Ｂ、７６Ｃ、７６Ｄ…アーム部、７８…引き治具、７８Ａ、７８Ｂ、７８Ｃ、７８Ｄ…アーム部、８２…ロードボタン、８４…ナット、８６…連結管、８８…ナット、９０Ａ、９０Ｂ、９０Ｃ、９０Ｄ…長孔、９２…押しピン、９４…スケール 10 ... Blade inspection device, 12 ... Blade holding mechanism, 14 ... Load application device, 16 ... Load cell, 18 ... Table, 20 ... Controller, 22 ... Monitor, 24 ... Blade, 26 ... Base material, 26A ... First surface, 26B ... 2nd surface, 28 ... cutting edge, 30 ... frame, 32 ... frame base, 34 ... pole, 36 ... beam, 38 ... screw hole, 40 ... screw rod, 42 ... clamp, 44 ... knob, 46, 48, 50, 52 ... Frame bar, 46A, 48A, 50A, 52A ... Long hole, 54 ... Clamp screw, 56 ... Screw hole, 58 ... Pin, 58A ... Support groove, 60 ... Support pin, 62 ... Stage, 64 ... Main body, 66 ... Drive unit, 68 ... Load application unit, 70 ... Ball screw, 72 ... Stepping motor, 74 ... Position adjustment mechanism unit, 76 ... Push jig, 76A, 76B, 76C, 76D ... Arm part, 78 ... Pull jig, 78A, 78B, 78C, 78D ... Arm part, 82 ... Load button, 84 ... Nut, 86 ... Connecting pipe, 88 ... Nut, 90A, 90B, 90C, 90D ... Long hole, 92 ... Push pin, 94 ... Scale

Claims (4)

第１面と前記第１面と平行な第２面とを有する円盤状の基材の外周縁部に切刃が形成されたブレードの検査装置であって、
前記ブレードを保持する保持手段と、
前記保持手段に保持された前記ブレードに荷重を印加して、前記ブレードを弾性変形させる荷重印加手段と、
前記荷重印加手段による前記ブレードの弾性変形量に応じた反発荷重であって、前記荷重印加手段と前記ブレードとの間に作用する前記反発荷重を検出する荷重検出手段と、
を備え、
前記保持手段は、
中心軸を有する円環状の枠と、
前記枠の外周に沿って前記枠に取り付けられた複数の保持位置調整部であって、前記枠の中心軸に直交する方向に進退可能に取り付けられた保持位置調整部と、
前記保持位置調整部に取り付けられて前記ブレードを保持する保持部と、
を備えるブレード検査装置。 A blade inspection device having a cutting edge formed on the outer peripheral edge of a disk-shaped base material having a first surface and a second surface parallel to the first surface.
A holding means for holding the blade and
A load applying means for elastically deforming the blade by applying a load to the blade held by the holding means.
A load detecting means for detecting the repulsive load acting between the load applying means and the blade, which is a repulsive load corresponding to the amount of elastic deformation of the blade by the load applying means.
Equipped with
The holding means is
An annular frame with a central axis and
A plurality of holding position adjusting portions attached to the frame along the outer circumference of the frame, and holding position adjusting portions attached so as to be able to advance and retreat in a direction orthogonal to the central axis of the frame.
A holding portion attached to the holding position adjusting portion to hold the blade, and a holding portion.
A blade inspection device equipped with. 第１面と前記第１面と平行な第２面とを有する円盤状の基材の外周縁部に切刃が形成されたブレードの検査装置であって、
前記ブレードを保持する保持手段と、
前記保持手段に保持された前記ブレードに荷重を印加して、前記ブレードを弾性変形させる荷重印加手段と、
前記荷重印加手段による前記ブレードの弾性変形量に応じた反発荷重であって、前記荷重印加手段と前記ブレードとの間に作用する前記反発荷重を検出する荷重検出手段と、
を備え、
前記荷重印加手段は、
前記ブレードの周方向に沿って配置され、前記ブレードを押圧する複数の押圧部と、
前記ブレードに対する前記複数の押圧部の押圧位置を前記ブレードの径方向に調整する押圧位置調整部と、
を備えるブレード検査装置。 A blade inspection device having a cutting edge formed on the outer peripheral edge of a disk-shaped base material having a first surface and a second surface parallel to the first surface.
A holding means for holding the blade and
A load applying means for elastically deforming the blade by applying a load to the blade held by the holding means.
A load detecting means for detecting the repulsive load acting between the load applying means and the blade, which is a repulsive load corresponding to the amount of elastic deformation of the blade by the load applying means.
Equipped with
The load applying means is
A plurality of pressing portions arranged along the circumferential direction of the blade and pressing the blade,
A pressing position adjusting portion that adjusts the pressing position of the plurality of pressing portions against the blade in the radial direction of the blade, and a pressing position adjusting portion.
A blade inspection device equipped with. 第１面と前記第１面と平行な第２面とを有する円盤状の基材の外周縁部に切刃が形成されたブレードの検査方法であって、
荷重印加手段によって前記ブレードに荷重を印加して、前記ブレードを弾性変形させる荷重印加工程と、
前記荷重印加工程における前記ブレードの弾性変形量に応じた反発荷重であって、前記荷重印加手段と前記ブレードとの間に作用する前記反発荷重を荷重検出手段によって検出する荷重検出工程と、
を備え、
前記ブレードを保持する保持手段は、
中心軸を有する円環状の枠と、
前記枠の外周に沿って前記枠に取り付けられた複数の保持位置調整部であって、前記枠の中心軸に直交する方向に進退可能に取り付けられた保持位置調整部と、
前記保持位置調整部に取り付けられて前記ブレードを保持する保持部と、
を備えるブレード検査方法。 A method for inspecting a blade having a cutting edge formed on an outer peripheral edge of a disk-shaped base material having a first surface and a second surface parallel to the first surface.
A load application step in which a load is applied to the blade by a load application means to elastically deform the blade.
A load detecting step of detecting the repulsive load acting between the load applying means and the blade by the load detecting means, which is a repulsive load corresponding to the elastic deformation amount of the blade in the load applying step.
Equipped with
The holding means for holding the blade is
An annular frame with a central axis and
A plurality of holding position adjusting portions attached to the frame along the outer circumference of the frame, and holding position adjusting portions attached so as to be able to advance and retreat in a direction orthogonal to the central axis of the frame.
A holding portion attached to the holding position adjusting portion to hold the blade, and a holding portion.
Blade inspection method. 第１面と前記第１面と平行な第２面とを有する円盤状の基材の外周縁部に切刃が形成されたブレードの検査方法であって、
荷重印加手段によって前記ブレードに荷重を印加して、前記ブレードを弾性変形させる
荷重印加工程と、
前記荷重印加工程における前記ブレードの弾性変形量に応じた反発荷重であって、前記荷重印加手段と前記ブレードとの間に作用する前記反発荷重を荷重検出手段によって検出する荷重検出工程と、
を備え、
前記荷重印加手段は、
前記ブレードの周方向に沿って配置され、前記ブレードを押圧する複数の押圧部と、
前記ブレードに対する前記複数の押圧部の押圧位置を前記ブレードの径方向に調整する押圧位置調整部と、
を備えるブレード検査方法。 A method for inspecting a blade having a cutting edge formed on an outer peripheral edge of a disk-shaped base material having a first surface and a second surface parallel to the first surface.
A load application step in which a load is applied to the blade by a load application means to elastically deform the blade.
A load detecting step of detecting the repulsive load acting between the load applying means and the blade by the load detecting means, which is a repulsive load corresponding to the elastic deformation amount of the blade in the load applying step.
Equipped with
The load applying means is
A plurality of pressing portions arranged along the circumferential direction of the blade and pressing the blade,
A pressing position adjusting portion that adjusts the pressing position of the plurality of pressing portions against the blade in the radial direction of the blade, and a pressing position adjusting portion.
Blade inspection method.
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