JP7015715B2 - Suspension board with circuit - Google Patents

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Description

本発明は、回路付サスペンション基板に関する。 The present invention relates to a suspension substrate with a circuit.

従来より、磁気ヘッドを有するスライダを、回路付サスペンション基板に実装することが知られている。 Conventionally, it has been known to mount a slider having a magnetic head on a suspension board with a circuit.

そのようなスライダの製造において、スライダの電気特性および浮上特性を検査し、良品と不良品とに選別することが望まれており、検査用基板を用いてスライダを検査することが検討されている。 In the manufacture of such a slider, it is desired to inspect the electrical characteristics and levitation characteristics of the slider and sort it into a non-defective product and a defective product, and it is considered to inspect the slider using an inspection substrate. ..

例えば、金属支持基板と、複数の端子部を備える導体パターンとを備える検査用基板を準備して、スライダの外部端子と検査用基板の端子部とが対向するように、スライダを配置し、その後、検査用基板を導体パターンが反るように湾曲させ、金属支持基板のばね力により、検査用基板の端子部をスライダの外部端子に当接させて、スライダの浮上試験および電気試験を実施する検査方法が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。 For example, an inspection board having a metal support board and a conductor pattern having a plurality of terminals is prepared, and the slider is arranged so that the external terminal of the slider and the terminal part of the inspection board face each other, and then the slider is arranged. , The inspection board is curved so that the conductor pattern warps, and the terminal part of the inspection board is brought into contact with the external terminal of the slider by the spring force of the metal support board, and the levitation test and the electric test of the slider are carried out. An inspection method has been proposed (see, for example, Patent Document 1).

特開２０１１－１１８９６６号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2011-118966

しかし、特許文献１に記載の検査用基板では、検査において反るように湾曲され、金属支持基板のばね力により、検査用基板の端子部をスライダの外部端子に当接させるので、検査毎に検査用基板の端子部の位置がずれるおそれがあり、検査用基板の端子部の位置精度を確保するには限度がある。 However, the inspection board described in Patent Document 1 is curved so as to warp in the inspection, and the terminal portion of the inspection board is brought into contact with the external terminal of the slider by the spring force of the metal support substrate. The position of the terminal portion of the inspection board may shift, and there is a limit to ensuring the position accuracy of the terminal portion of the inspection board.

そのため、検査用基板の端子部とスライダの外部端子との接続信頼性を十分に確保できず、スライダの検査精度が低下する場合がある。 Therefore, the connection reliability between the terminal portion of the inspection board and the external terminal of the slider cannot be sufficiently ensured, and the inspection accuracy of the slider may be lowered.

本発明は、複数の端子の位置精度の向上を図ることができる回路付サスペンション基板を提供する。 The present invention provides a suspension board with a circuit that can improve the position accuracy of a plurality of terminals.

本発明［１］は、長手方向に延びる金属支持層と、前記金属支持層の厚み方向の一方側に配置される絶縁層と、前記絶縁層の厚み方向の一方側に配置される導体パターンと、を備え、電子部品と電気的に接続されるように構成される回路付サスペンション基板であって、前記導体パターンは、前記厚み方向および前記長手方向の両方向と交差する幅方向に互いに間隔を空けて配置される複数の端子を備え、前記金属支持層は、前記複数の端子に対して前記幅方向の両側に配置され、前記厚み方向の他方側に向かって曲がるように塑性変形される２つの屈曲部を備え、前記複数の端子は、前記２つの屈曲部の間において前記絶縁層に支持され、前記２つの屈曲部の塑性変形に追従するように、弾性変形している、回路付サスペンション基板を含む。 The present invention [1] includes a metal support layer extending in the longitudinal direction, an insulating layer arranged on one side of the metal support layer in the thickness direction, and a conductor pattern arranged on one side of the insulation layer in the thickness direction. , A suspension substrate with a circuit configured to be electrically connected to an electronic component, wherein the conductor patterns are spaced apart from each other in the width direction intersecting both the thickness direction and the longitudinal direction. The metal support layer is arranged on both sides in the width direction with respect to the plurality of terminals, and is plastically deformed so as to bend toward the other side in the thickness direction. A suspension substrate with a circuit provided with a bent portion, the plurality of terminals being supported by the insulating layer between the two bent portions and elastically deformed so as to follow the plastic deformation of the two bent portions. including.

このような構成によれば、２つの屈曲部が、複数の端子に対して幅方向の両側に配置され、厚み方向の他方側に向かって曲がるように塑性変形されており、複数の端子が、２つの屈曲部の間において絶縁層に支持され、２つの屈曲部の塑性変形に追従するように弾性変形されている。 According to such a configuration, the two bent portions are arranged on both sides in the width direction with respect to the plurality of terminals, and are plastically deformed so as to bend toward the other side in the thickness direction, and the plurality of terminals are formed. It is supported by an insulating layer between the two bent portions and elastically deformed to follow the plastic deformation of the two bent portions.

そのため、複数の端子が、ばね性を有するように弾性変形される金属支持層に追従する場合と比較して、回路付サスペンション基板における複数の端子の位置精度の向上を図ることができる。 Therefore, it is possible to improve the positional accuracy of the plurality of terminals in the suspension board with a circuit, as compared with the case where the plurality of terminals follow the metal support layer elastically deformed to have springiness.

また、複数の端子が弾性変形しているので、回路付サスペンション基板が電子部品と電気的に接続されたときに、複数の端子の弾性力により、複数の端子を電子部品に安定して接触させることができる。 In addition, since the plurality of terminals are elastically deformed, when the suspension board with a circuit is electrically connected to the electronic component, the elastic force of the plurality of terminals causes the plurality of terminals to stably contact the electronic component. be able to.

その結果、回路付サスペンション基板における複数の端子の位置精度の向上を図ることができながら、複数の端子と電子部品との接続信頼性を十分に確保することができる。 As a result, the positional accuracy of the plurality of terminals on the suspension board with a circuit can be improved, and the connection reliability between the plurality of terminals and the electronic component can be sufficiently ensured.

本発明［２］は、前記金属支持層は、前記電子部品が前記回路付サスペンション基板に接続された状態において、前記長手方向に投影したときに、前記電子部品と重なる位置決め部を有する、上記［１］に記載の回路付サスペンション基板を含む。 In the present invention [2], the metal support layer has a positioning portion that overlaps with the electronic component when projected in the longitudinal direction in a state where the electronic component is connected to the suspension board with a circuit. 1] The suspension board with a circuit described in 1] is included.

このような構成によれば、電子部品が回路付サスペンション基板に接続された状態において、電子部品は、金属支持層が有する位置決め部により、長手方向において回路付サスペンション基板に位置決めされる。 According to such a configuration, in a state where the electronic component is connected to the suspension board with a circuit, the electronic component is positioned on the suspension board with a circuit in the longitudinal direction by the positioning portion of the metal support layer.

そのため、回路付サスペンション基板に対する電子部品の位置精度の向上を図ることができ、ひいては、複数の端子と電子部品との接続信頼性の向上を確実に図ることができる。 Therefore, it is possible to improve the position accuracy of the electronic component with respect to the suspension board with a circuit, and it is possible to surely improve the connection reliability between the plurality of terminals and the electronic component.

本発明［３］は、前記位置決め部は、前記２つの屈曲部のそれぞれから前記幅方向の内側に向かって突出する突部を有する、上記［２］に記載の回路付サスペンション基板を含む。 The present invention [3] includes the suspension substrate with a circuit according to the above [2], wherein the positioning portion has a protrusion protruding inward in the width direction from each of the two bent portions.

このような構成によれば、突部が、２つの屈曲部のそれぞれから幅方向の内側に向かって突出するので、電子部品を回路付サスペンション基板に対して確実に位置決めできる。 According to such a configuration, since the protrusion protrudes inward in the width direction from each of the two bent portions, the electronic component can be reliably positioned with respect to the suspension board with a circuit.

本発明［４］は、前記突部の前記幅方向の内側端縁は、略円弧形状を有する、上記［３］に記載の回路付サスペンション基板を含む。 The present invention [4] includes the suspension substrate with a circuit according to the above [3], wherein the inner edge of the protrusion in the width direction has a substantially arc shape.

しかるに、突部の幅方向の内側端縁が角部を有する場合、突部が、複数の端子を支持する絶縁層を損傷するおそれがある。とりわけ、回路付サスペンション基板により電子部品の検査が複数回実施される場合、絶縁層が損傷するために、回路付サスペンション基板の耐久性には限度がある。 However, if the widthwise inner edge of the protrusion has a corner, the protrusion may damage the insulating layer that supports the plurality of terminals. In particular, when the electronic component is inspected multiple times by the suspension board with a circuit, the durability of the suspension board with a circuit is limited because the insulating layer is damaged.

一方、上記の構成によれば、突部の幅方向の内側端縁が略円弧形状を有するので、複数の端子を支持する絶縁層が損傷することを抑制でき、回路付サスペンション基板の耐久性の向上を図ることができる。 On the other hand, according to the above configuration, since the inner edge in the width direction of the protrusion has a substantially arc shape, it is possible to suppress damage to the insulating layer supporting a plurality of terminals, and the durability of the suspension board with a circuit can be improved. It can be improved.

本発明［５］は、前記複数の端子のそれぞれは、前記長手方向に沿って延びる第１部分と、前記第１部分と連続し、前記屈曲部の屈曲方向に延びる第２部分と、を備え、前記複数の端子は、前記幅方向において最も外側に位置する２つの第１端子と、前記幅方向において前記２つの第１端子の間に配置される第２端子と、を含み、前記第２端子の前記第２部分の長さは、前記第１端子の前記第２部分の長さよりも短い、上記［１］～［４］のいずれか一項に記載の回路付サスペンション基板を含む。 In the present invention [5], each of the plurality of terminals includes a first portion extending along the longitudinal direction and a second portion continuous with the first portion and extending in the bending direction of the bending portion. The plurality of terminals include two first terminals located on the outermost side in the width direction and a second terminal arranged between the two first terminals in the width direction, and the second terminal. The suspension substrate with a circuit according to any one of the above [1] to [4], wherein the length of the second portion of the terminal is shorter than the length of the second portion of the first terminal.

しかるに、複数の端子を支持する絶縁層は、複数の端子の弾性力により、幅方向の内側に向かうにつれて、屈曲方向と交差する方向に膨出するように湾曲している。 However, the insulating layer supporting the plurality of terminals is curved so as to bulge in the direction intersecting the bending direction toward the inside in the width direction due to the elastic force of the plurality of terminals.

そのため、幅方向において２つの第１端子の間に配置される第２端子は、最も外側に位置する２つの第１端子よりも、膨出方向の下流側に向かって傾倒する。 Therefore, the second terminal arranged between the two first terminals in the width direction is tilted toward the downstream side in the bulging direction with respect to the two outermost first terminals.

その結果、電子部品が複数の端子に対して膨出方向の下流側から接触すると、第２端子は、第１端子よりも電子部品に強く接触する。すると、複数の端子の間において、電子部品に対する接触圧力にばらつきが生じてしまう。 As a result, when the electronic component comes into contact with the plurality of terminals from the downstream side in the bulging direction, the second terminal comes into contact with the electronic component more strongly than the first terminal. Then, the contact pressure with respect to the electronic component varies among the plurality of terminals.

しかるに、端子と電子部品との接続信頼性は、電子部品に対する端子の接触圧力と、電子部品および端子の接触面積とに依存する。 However, the connection reliability between the terminal and the electronic component depends on the contact pressure of the terminal with respect to the electronic component and the contact area of the electronic component and the terminal.

上記の構成によれば、第２端子の第２部分の長さが、第１端子の第２部分の長さよりも短い。そのため、電子部品に対する接触圧力が比較的大きい第２端子と、電子部品との接触面積を、電子部品に対する接触圧力が比較的小さい第１端子と、電子部品との接触面積よりも小さくすることができる。その結果、複数の端子において、電子部品に対する接続信頼性を安定して確保することができる。 According to the above configuration, the length of the second portion of the second terminal is shorter than the length of the second portion of the first terminal. Therefore, the contact area between the second terminal having a relatively large contact pressure with the electronic component and the electronic component can be made smaller than the contact area between the first terminal having a relatively small contact pressure with the electronic component and the electronic component. can. As a result, it is possible to stably secure connection reliability for electronic components at a plurality of terminals.

本発明［６］は、前記金属支持層は、前記厚み方向に投影したときに前記複数の端子の前記第１部分と重なる部分が切り欠かれている、上記［５］に記載の回路付サスペンション基板を含む。 In the present invention [6], the suspension with a circuit according to the above [5], wherein the metal support layer is cut out at a portion overlapping the first portion of the plurality of terminals when projected in the thickness direction. Includes substrate.

このような構成によれば、金属支持層において、厚み方向に投影したときに複数の端子の第１部分と重なる部分が切り欠かれているので、複数の端子に確実に弾性を付与することができる。そのため、複数の端子と電子部品との接続信頼性のさらなる向上を図ることができる。 According to such a configuration, in the metal support layer, a portion overlapping with the first portion of the plurality of terminals when projected in the thickness direction is cut out, so that it is possible to reliably impart elasticity to the plurality of terminals. can. Therefore, it is possible to further improve the connection reliability between the plurality of terminals and the electronic components.

本発明［７］は、前記複数の端子のそれぞれは、前記長手方向に沿って延びる第１部分と、前記第１部分と連続し、前記屈曲部の屈曲方向に延びる第２部分と、を備え、前記複数の端子は、前記幅方向において最も外側に位置する２つの第１端子と、前記幅方向において前記２つの第１端子の間に配置される第２端子と、を含み、前記第１端子の前記第２部分の面積は、前記第２端子の前記第２部分の面積よりも大きい、上記［１］～［６］のいずれか一項に記載の回路付サスペンション基板を含む。 In the present invention [7], each of the plurality of terminals includes a first portion extending along the longitudinal direction and a second portion continuous with the first portion and extending in the bending direction of the bending portion. The plurality of terminals include two first terminals located on the outermost side in the width direction and a second terminal arranged between the two first terminals in the width direction, and the first terminal. The suspension board with a circuit according to any one of [1] to [6] above, wherein the area of the second portion of the terminal is larger than the area of the second portion of the second terminal.

しかるに、複数の端子を支持する絶縁層は、上記のように湾曲しており、第１端子は、幅方向において第２端子よりも屈曲部の近くに位置する。そのため、第１端子は、第２端子と比較して、端子の弾性力に抗して絶縁層に支持されている。その結果、第１端子は、第２端子よりも、絶縁層から剥離するおそれがある。 However, the insulating layer supporting the plurality of terminals is curved as described above, and the first terminal is located closer to the bent portion than the second terminal in the width direction. Therefore, the first terminal is supported by the insulating layer against the elastic force of the terminal as compared with the second terminal. As a result, the first terminal may be peeled from the insulating layer more than the second terminal.

一方、上記の構成によれば、第１端子の第２部分の面積が、第２端子の第２部分の面積よりも大きく確保されている。そのため、第１端子の第２部分と絶縁層との接地面積の向上を図ることができ、第１端子の第２部分と絶縁層との密着力の向上を図ることができる。そのため、第１端子の第２部分が、絶縁層から剥離することを抑制できる。 On the other hand, according to the above configuration, the area of the second portion of the first terminal is secured to be larger than the area of the second portion of the second terminal. Therefore, the ground contact area between the second portion of the first terminal and the insulating layer can be improved, and the adhesion between the second portion of the first terminal and the insulating layer can be improved. Therefore, it is possible to prevent the second portion of the first terminal from peeling off from the insulating layer.

本発明［８］は、前記第１端子の前記第２部分は、前記長手方向に投影したときに、前記金属支持層と重なる、上記［７］に記載の回路付サスペンション基板を含む。 The present invention [8] includes the suspension substrate with a circuit according to the above [7], wherein the second portion of the first terminal overlaps with the metal support layer when projected in the longitudinal direction.

このような構成によれば、第１端子の第２部分が、長手方向に投影したときに金属支持層と重なるように配置されているので、回路付サスペンション基板における第１端子の位置精度の向上を確実に図ることができる。 According to such a configuration, since the second portion of the first terminal is arranged so as to overlap the metal support layer when projected in the longitudinal direction, the positional accuracy of the first terminal in the suspension board with a circuit is improved. Can be surely planned.

また、第１端子の第２部分が、長手方向に投影したときに金属支持層と重なるように配置されていても、第１端子の第２部分と絶縁層との密着力の向上が図られているので、第１端子の第２部分が、絶縁層から剥離することを抑制できる。 Further, even if the second portion of the first terminal is arranged so as to overlap the metal support layer when projected in the longitudinal direction, the adhesion between the second portion of the first terminal and the insulating layer can be improved. Therefore, it is possible to prevent the second portion of the first terminal from peeling off from the insulating layer.

本発明［９］は、前記金属支持層は、前記回路付サスペンション基板に前記電子部品が接続された状態において、前記厚み方向から見て前記電子部品と重なる開口部と、前記開口部に対して前記幅方向の両側に位置するアウトリガーと、をさらに備える、上記［１］～［８］のいずれか一項に記載の回路付サスペンション基板を含む。 In the present invention [9], the metal support layer has an opening that overlaps with the electronic component when viewed from the thickness direction in a state where the electronic component is connected to the suspension substrate with a circuit, and the opening. The suspension board with a circuit according to any one of [1] to [8] above, further comprising outriggers located on both sides in the width direction.

このような構成によれば、金属支持層が、開口部と、アウトリガーとを備えるので、回路付サスペンション基板を電子部品の検査に用いたときに、電子部品の浮上特性を精度よく検査することができる。 According to such a configuration, since the metal support layer includes the opening and the outrigger, when the suspension board with a circuit is used for the inspection of the electronic component, the floating characteristic of the electronic component can be inspected accurately. can.

本発明の回路付サスペンション基板では、複数の端子の位置精度の向上を図ることができる。 In the suspension board with a circuit of the present invention, the position accuracy of a plurality of terminals can be improved.

図１は、本発明の回路付サスペンション基板の第１実施形態の斜視図を示す。FIG. 1 shows a perspective view of a first embodiment of a suspension substrate with a circuit of the present invention. 図２は、図１に示す回路付サスペンション基板の平面図を示す。FIG. 2 shows a plan view of the suspension board with a circuit shown in FIG. 図３は、図２に示す屈曲部および磁気ヘッド端子のＡ－Ａ断面図を示す。FIG. 3 shows a cross-sectional view taken along the line AA of the bent portion and the magnetic head terminal shown in FIG. 図４は、図２に示す回路付サスペンション基板の底面図を示す。FIG. 4 shows a bottom view of the suspension board with a circuit shown in FIG. 図５は、図１に示す端子支持部および磁気ヘッド端子の平面図を示す。FIG. 5 shows a plan view of the terminal support portion and the magnetic head terminal shown in FIG. 図６は、図３に示す回路付サスペンション基板の製造に用いられるプレサスペンション基板の側断面図を示す。FIG. 6 shows a side sectional view of a pre-suspension board used for manufacturing the suspension board with a circuit shown in FIG. 図７は、図３に示す回路付サスペンション基板にスライダが実装された状態の側断面図を示す。FIG. 7 shows a side sectional view in a state where the slider is mounted on the suspension board with a circuit shown in FIG. 図８は、図７に示す回路付サスペンション基板にスライダが実装された状態の斜視図を示す。FIG. 8 shows a perspective view showing a state in which the slider is mounted on the suspension board with a circuit shown in FIG. 7. 図９Ａは、本発明の回路付サスペンション基板の第２実施形態が備える内側端子の側断面図を示す。図９Ｂは、図９Ａに示す回路付サスペンション基板が備える外側端子の側断面図を示す。FIG. 9A shows a side sectional view of an inner terminal included in the second embodiment of the suspension board with a circuit of the present invention. 9B shows a side sectional view of an outer terminal included in the suspension board with a circuit shown in FIG. 9A.

＜第１実施形態＞
１．回路付サスペンション基板
以下、図１～図５を参照して、本発明の回路付サスペンション基板の第１実施形態としての回路付サスペンション基板１について説明する。 <First Embodiment>
1. 1. Suspension board with circuit Hereinafter, the suspension board 1 with a circuit as the first embodiment of the suspension board with a circuit of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 5.

図１に示すように、回路付サスペンション基板１は、電子部品の一例としてのスライダ５（図８参照）と電気的に接続されるように構成されており、所定方向に延びる平帯状を有している。 As shown in FIG. 1, the suspension board 1 with a circuit is configured to be electrically connected to a slider 5 (see FIG. 8) as an example of an electronic component, and has a flat band shape extending in a predetermined direction. ing.

以下の説明において、回路付サスペンション基板１の長手方向を単に長手方向とし、回路付サスペンション基板１の幅方向（長手方向と直交する方向）を単に幅方向とし、回路付サスペンション基板１の厚み方向（長手方向および幅方向の両方向と直交する方向）を単に厚み方向とする。具体的には、方向は、各図に記載の方向矢印従う。 In the following description, the longitudinal direction of the suspension board 1 with a circuit is simply the longitudinal direction, the width direction of the suspension substrate 1 with a circuit (the direction orthogonal to the longitudinal direction) is simply the width direction, and the thickness direction of the suspension substrate 1 with a circuit (the direction orthogonal to the longitudinal direction). The direction orthogonal to both the longitudinal direction and the width direction) is simply defined as the thickness direction. Specifically, the direction follows the direction arrow shown in each figure.

回路付サスペンション基板１は、金属支持層の一例としての金属支持基板２と、ベース絶縁層３と、導体パターン４と、カバー絶縁層６（図３参照）と、を備える。 The suspension substrate 1 with a circuit includes a metal support substrate 2 as an example of a metal support layer, a base insulating layer 3, a conductor pattern 4, and a cover insulating layer 6 (see FIG. 3).

金属支持基板２は、基板本体１５と、２つの屈曲部１３と、位置決め部１４とを一体的に備える。 The metal support substrate 2 integrally includes a substrate main body 15, two bent portions 13, and a positioning portion 14.

基板本体１５は、長手方向に延びる平帯状を有し、開口部１０を有する。 The substrate body 15 has a flat band shape extending in the longitudinal direction and has an opening 10.

開口部１０は、基板本体１５の長手方向の一端部に配置される。開口部１０は、平面視矩形状を有し、基板本体１５を厚み方向に貫通する。 The opening 10 is arranged at one end of the substrate body 15 in the longitudinal direction. The opening 10 has a rectangular shape in a plan view and penetrates the substrate main body 15 in the thickness direction.

また、基板本体１５は、２つのアウトリガー１１と、連結部１２とを備える。 Further, the substrate main body 15 includes two outriggers 11 and a connecting portion 12.

アウトリガー１１は、開口部１０に対して幅方向の両側に位置する。２つのアウトリガー１１は、開口部１０の幅方向の周縁部である。アウトリガー１１は、長手方向に延びる平面視矩形状を有する。アウトリガー１１の幅方向の内側端縁は、開口部１０の幅方向の端縁である。 The outriggers 11 are located on both sides of the opening 10 in the width direction. The two outriggers 11 are peripheral edges of the opening 10 in the width direction. The outrigger 11 has a rectangular shape in a plan view extending in the longitudinal direction. The widthwise inner edge of the outrigger 11 is the widthwise edge of the opening 10.

連結部１２は、開口部１０に対して長手方向一方側に位置する。連結部１２は、開口部１０の長手方向一方側の周縁部である。連結部１２は、幅方向に延びて、２つのアウトリガー１１の長手方向一端部を連結する。連結部１２の長手方向の他端縁は、開口部１０の長手方向の一端縁である。 The connecting portion 12 is located on one side in the longitudinal direction with respect to the opening portion 10. The connecting portion 12 is a peripheral edge portion on one side in the longitudinal direction of the opening portion 10. The connecting portion 12 extends in the width direction and connects one end portion of the two outriggers 11 in the longitudinal direction. The other end edge of the connecting portion 12 in the longitudinal direction is the one end edge of the opening portion 10 in the longitudinal direction.

２つの屈曲部１３は、連結部１２の長手方向の他端縁から連続して設けられ、開口部１０内に配置されている。位置決め部１４は、屈曲部１３に設けられている。屈曲部１３および位置決め部１４の詳細については、後で詳述する。 The two bent portions 13 are continuously provided from the other end edge of the connecting portion 12 in the longitudinal direction and are arranged in the opening portion 10. The positioning portion 14 is provided on the bent portion 13. Details of the bent portion 13 and the positioning portion 14 will be described in detail later.

金属支持基板２の材料として、例えば、ステンレス、４２アロイ、アルミニウム、銅－ベリリウム、りん青銅などの金属材料が挙げられ、好ましくは、ステンレスが挙げられる。金属支持基板２の厚みは、例えば、１０μｍ以上、好ましくは、１５μｍ以上、例えば、８０μｍ以下、好ましくは、４５μｍ以下である。 Examples of the material of the metal support substrate 2 include metal materials such as stainless steel, 42 alloy, aluminum, copper-berylium, and phosphor bronze, and preferably stainless steel. The thickness of the metal support substrate 2 is, for example, 10 μm or more, preferably 15 μm or more, for example, 80 μm or less, preferably 45 μm or less.

図４に示すように、ベース絶縁層３は、ベース本体２０と、端子支持部２１とを備える。なお、図４は、便宜上、回路付サスペンション基板１において、屈曲部１３が屈曲されていない状態を示す。 As shown in FIG. 4, the base insulating layer 3 includes a base main body 20 and a terminal support portion 21. Note that FIG. 4 shows a state in which the bent portion 13 is not bent in the suspension substrate 1 with a circuit for convenience.

ベース本体２０は、基板本体１５の厚み方向の一方側に配置され、詳しくは、基板本体１５の厚み方向の一方面上に配置される。ベース本体２０は、後述する導体パターン４の配線３２に対応する所定のパターンとして設けられる。 The base body 20 is arranged on one side of the substrate body 15 in the thickness direction, and more specifically, is arranged on one surface of the substrate body 15 in the thickness direction. The base body 20 is provided as a predetermined pattern corresponding to the wiring 32 of the conductor pattern 4 described later.

また、ベース本体２０は、ベース開口部２２を有する。ベース開口部２２は、ベース本体２０の長手方向の一端部に配置され、ベース本体２０を厚み方向に貫通する。ベース開口部２２は、開口部１０と厚み方向に連通する。 Further, the base body 20 has a base opening 22. The base opening 22 is arranged at one end in the longitudinal direction of the base body 20 and penetrates the base body 20 in the thickness direction. The base opening 22 communicates with the opening 10 in the thickness direction.

端子支持部２１は、ベース絶縁層３において、複数の磁気ヘッド端子３０（後述）を支持する部分である。端子支持部２１は、ベース本体２０と別体として設けられ、ベース開口部２２内に配置される。端子支持部２１は、ベース開口部２２の長手方向一端縁に対して、長手方向他方側に間隔を空けて配置される。つまり、ベース開口部２２の長手方向一端縁と、端子支持部２１との間には、ベース絶縁層３が形成されていない。言い換えれば、厚み方向に投影したときに、金属支持基板２の切欠部１６（後述）と重なるベース絶縁層３の部分は、切り欠かれている。また、端子支持部２１は、位置決め部１４に支持されている。なお、端子支持部２１の詳細については、後で詳述する。 The terminal support portion 21 is a portion of the base insulating layer 3 that supports a plurality of magnetic head terminals 30 (described later). The terminal support portion 21 is provided as a separate body from the base main body 20, and is arranged in the base opening 22. The terminal support portions 21 are arranged at intervals on the other side in the longitudinal direction with respect to one end edge in the longitudinal direction of the base opening 22. That is, the base insulating layer 3 is not formed between the one end edge in the longitudinal direction of the base opening 22 and the terminal support portion 21. In other words, the portion of the base insulating layer 3 that overlaps with the notch 16 (described later) of the metal support substrate 2 when projected in the thickness direction is notched. Further, the terminal support portion 21 is supported by the positioning portion 14. The details of the terminal support portion 21 will be described in detail later.

ベース絶縁層３の材料として、例えば、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、アクリル樹脂、ポリエーテル樹脂、ニトリル樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂などの合成樹脂が挙げられ、好ましくは、ポリイミド樹脂が挙げられる。ベース絶縁層３の厚みは、例えば、１μｍ以上、好ましくは、３μｍ以上、例えば、２５μｍ以下、好ましくは、１５μｍ以下である。 As the material of the base insulating layer 3, for example, synthetic resins such as polyimide resin, polyamideimide resin, acrylic resin, polyether resin, nitrile resin, polyether sulfone resin, polyethylene terephthalate resin, polyethylene naphthalate resin, and polyvinyl chloride resin can be used. Examples thereof include a polyimide resin. The thickness of the base insulating layer 3 is, for example, 1 μm or more, preferably 3 μm or more, for example, 25 μm or less, preferably 15 μm or less.

導体パターン４は、複数の端子の一例としての複数（８つ）の磁気ヘッド端子３０と、複数（８つ）の外部接続端子３１と、複数（８つ）の配線３２とを備える。 The conductor pattern 4 includes a plurality of (8) magnetic head terminals 30 as an example of a plurality of terminals, a plurality of (8) external connection terminals 31, and a plurality of (8) wirings 32.

複数の磁気ヘッド端子３０は、スライダ５が回路付サスペンション基板１に実装されたときに、スライダ端子５０（後述）と電気的に接続される（図８参照）。複数の磁気ヘッド端子３０は、連結部１２に対して長手方向の他方側に配置されており、厚み方向から見て、開口部１０の前端部と重なるように配置されている。複数の磁気ヘッド端子３０は、幅方向において２つの屈曲部１３の間に配置され、幅方向に互いに間隔を空けて配置されている。なお、磁気ヘッド端子３０の詳細については、後で詳述する。 The plurality of magnetic head terminals 30 are electrically connected to the slider terminals 50 (described later) when the slider 5 is mounted on the suspension board 1 with a circuit (see FIG. 8). The plurality of magnetic head terminals 30 are arranged on the other side in the longitudinal direction with respect to the connecting portion 12, and are arranged so as to overlap the front end portion of the opening 10 when viewed from the thickness direction. The plurality of magnetic head terminals 30 are arranged between the two bent portions 13 in the width direction, and are arranged at intervals from each other in the width direction. The details of the magnetic head terminal 30 will be described in detail later.

外部接続端子３１は、ベース本体２０の厚み方向の一方側に配置され、詳しくは、ベース本体２０の厚み方向の一方面上に配置される。 The external connection terminal 31 is arranged on one side of the base body 20 in the thickness direction, and more specifically, is arranged on one surface of the base body 20 in the thickness direction.

複数の外部接続端子３１は、回路付サスペンション基板１の長手方向の他端部において、ベース本体２０の厚み方向の一方面上に配置される。 The plurality of external connection terminals 31 are arranged on one surface of the base body 20 in the thickness direction at the other end of the suspension board 1 with a circuit in the longitudinal direction.

複数の配線３２は、ベース本体２０上を引き回されて、複数の磁気ヘッド端子３０と複数の外部接続端子３１とを電気的に接続する。 The plurality of wirings 32 are routed on the base body 20 to electrically connect the plurality of magnetic head terminals 30 and the plurality of external connection terminals 31.

導体パターン９の材料として、例えば、銅、ニッケル、金、はんだ、またはこれらの合金などの導体材料が挙げられ、好ましくは、銅が挙げられる。導体パターン９の厚みは、例えば、１μｍ以上、好ましくは、３μｍ以上であり、例えば、２０μｍ以下、好ましくは、１２μｍ以下である。 Examples of the material of the conductor pattern 9 include conductor materials such as copper, nickel, gold, solder, or alloys thereof, and copper is preferable. The thickness of the conductor pattern 9 is, for example, 1 μm or more, preferably 3 μm or more, and for example, 20 μm or less, preferably 12 μm or less.

図３に示すように、カバー絶縁層６は、配線３２を被覆するように、ベース絶縁層３の厚み方向一方面上に配置される。詳しくは、カバー絶縁層６は、厚み方向一方側から見て、磁気ヘッド端子３０および外部接続端子３１を露出し、配線３２を被覆するパターン形状を有している。 As shown in FIG. 3, the cover insulating layer 6 is arranged on one surface of the base insulating layer 3 in the thickness direction so as to cover the wiring 32. Specifically, the cover insulating layer 6 has a pattern shape that exposes the magnetic head terminal 30 and the external connection terminal 31 and covers the wiring 32 when viewed from one side in the thickness direction.

カバー絶縁層６の材料として、例えば、ベース絶縁層３と同じ合成樹脂が挙げられ、好ましくは、ポリイミド樹脂が挙げられる。カバー絶縁層６の厚みは、適宜設定される。 Examples of the material of the cover insulating layer 6 include the same synthetic resin as the base insulating layer 3, preferably a polyimide resin. The thickness of the cover insulating layer 6 is appropriately set.

２．屈曲部および位置決め部
次に、屈曲部１３および位置決め部１４の詳細について説明する。 2. 2. Bending section and positioning section Next, details of the bending section 13 and the positioning section 14 will be described.

図１に示すように、屈曲部１３は、複数の磁気ヘッド端子３０に対して幅方向の両側に位置しており、幅方向に互いに間隔を空けて配置されている。また、２つの屈曲部１３は、アウトリガー１１に対して幅方向の内側に間隔を空けて配置されている。 As shown in FIG. 1, the bent portions 13 are located on both sides in the width direction with respect to the plurality of magnetic head terminals 30, and are arranged so as to be spaced apart from each other in the width direction. Further, the two bent portions 13 are arranged at intervals inside in the width direction with respect to the outrigger 11.

２つの屈曲部１３は、連結部１２に連続して設けられており、厚み方向から見て開口部１０の前端部に配置される。２つの屈曲部１３のそれぞれは、厚み方向の他方側に向かって曲がるように塑性変形されている。つまり、屈曲部１３は、塑性変形により形状が維持されており、側面視Ｌ字形状を有している。屈曲部１３は、第１屈曲部分１３Ａと、第２屈曲部分１３Ｂとを一体的に有する。 The two bent portions 13 are continuously provided in the connecting portion 12 and are arranged at the front end portion of the opening portion 10 when viewed from the thickness direction. Each of the two bent portions 13 is plastically deformed so as to bend toward the other side in the thickness direction. That is, the bent portion 13 has a shape maintained by plastic deformation and has an L-shaped side view. The bent portion 13 integrally has a first bent portion 13A and a second bent portion 13B.

第１屈曲部分１３Ａは、連結部１２の長手方向の他端縁（開口部１０の長手方向の一端縁）から連続して、長手方向の他方側に向かって延びている。また、第１屈曲部分１３Ａは、長手方向に沿っている。 The first bent portion 13A extends continuously from the other end edge in the longitudinal direction of the connecting portion 12 (one end edge in the longitudinal direction of the opening 10) toward the other side in the longitudinal direction. Further, the first bent portion 13A is along the longitudinal direction.

また、金属支持基板２において、２つの第１屈曲部分１３Ａの間の部分は切り欠かれている。２つの第１屈曲部分１３Ａの幅方向内側端縁と、連結部１２の長手方向の他端縁とは、切欠部１６を区画する。切欠部１６は、長手方向の他方側に向かって開放される凹形状を有する。 Further, in the metal support substrate 2, the portion between the two first bent portions 13A is notched. The inner edge in the width direction of the two first bent portions 13A and the other end edge in the longitudinal direction of the connecting portion 12 partition the notch 16. The notch 16 has a concave shape that opens toward the other side in the longitudinal direction.

第２屈曲部分１３Ｂは、第１屈曲部分１３Ａの長手方向の他端部から連続して屈曲するように、厚み方向の他方側に向かって延びている。また、第１実施形態において、第２屈曲部分１３Ｂは、厚み方向に沿っている。つまり、屈曲部１３の屈曲方向は、回路付サスペンション基板１の厚み方向の一方側から他方側に向かう方向である。 The second bent portion 13B extends toward the other side in the thickness direction so as to be continuously bent from the other end in the longitudinal direction of the first bent portion 13A. Further, in the first embodiment, the second bent portion 13B is along the thickness direction. That is, the bending direction of the bending portion 13 is a direction from one side to the other side in the thickness direction of the suspension substrate 1 with a circuit.

図８に示すように、位置決め部１４は、スライダ５が回路付サスペンション基板１に実装されたときに、回路付サスペンション基板１に対してスライダ５を位置決めする。位置決め部１４は、スライダ５が回路付サスペンション基板１に接続された状態において、長手方向に投影したときにスライダ５と重なるように設けられる。 As shown in FIG. 8, the positioning unit 14 positions the slider 5 with respect to the suspension board 1 with a circuit when the slider 5 is mounted on the suspension board 1 with a circuit. The positioning portion 14 is provided so as to overlap the slider 5 when projected in the longitudinal direction in a state where the slider 5 is connected to the suspension board 1 with a circuit.

具体的には、位置決め部１４は、２つの突部１４Ａを有する。２つの突部１４Ａのそれぞれは、２つの屈曲部１３の第２屈曲部分１３Ｂのそれぞれから連続して、幅方向の内側に向かって突出している。突部１４Ａは、幅方向に延びており、回路付サスペンション基板１の長手方向に厚みを有する。２つの突部１４Ａは、幅方向に互いに間隔を空けて位置する。突部１４Ａの幅方向の内側端縁は、略円弧形状を有している。 Specifically, the positioning portion 14 has two protrusions 14A. Each of the two protrusions 14A protrudes inward in the width direction from each of the second bending portions 13B of the two bending portions 13. The protrusion 14A extends in the width direction and has a thickness in the longitudinal direction of the suspension substrate 1 with a circuit. The two protrusions 14A are spaced apart from each other in the width direction. The inner edge of the protrusion 14A in the width direction has a substantially arc shape.

突部１４Ａにおける回路付サスペンション基板１の厚み方向の寸法は、例えば、２０μｍ以上、好ましくは、２５μｍ以上、例えば、２００μｍ以下、好ましくは、１５０μｍ以下である。 The dimension of the suspension substrate 1 with a circuit in the protrusion 14A in the thickness direction is, for example, 20 μm or more, preferably 25 μm or more, for example, 200 μm or less, preferably 150 μm or less.

また、２つの突部１４Ａの幅方向における間の間隔は、例えば、例えば、１００μｍ以上、好ましくは、３００μｍ以上、例えば、１０００μｍ以下、好ましくは、８００μｍ以下である。 The distance between the two protrusions 14A in the width direction is, for example, 100 μm or more, preferably 300 μm or more, for example, 1000 μm or less, preferably 800 μm or less.

３．端子支持部および磁気ヘッド端子
次に、端子支持部２１および磁気ヘッド端子３０の詳細について説明する。 3. 3. Terminal support and magnetic head terminal Next, the details of the terminal support 21 and the magnetic head terminal 30 will be described.

図２に示すように、端子支持部２１は、ベース本体２０と別体であって、２つの突部１４Ａに対して長手方向の他方側（突部１４Ａの厚み方向の一方側）に配置されている。 As shown in FIG. 2, the terminal support portion 21 is separate from the base main body 20 and is arranged on the other side in the longitudinal direction (one side in the thickness direction of the protrusion 14A) with respect to the two protrusions 14A. ing.

端子支持部２１は、２つの突部１４Ａを幅方向に連結するように延び、回路付サスペンション基板１の長手方向に厚みを有する。端子支持部２１の幅方向の端部は、突部１４Ａの長手方向の他端面上に配置されており、突部１４Ａの長手方向の他端面に密着している。つまり、端子支持部２１の幅方向両端部は、突部１４Ａに支持される一方、端子支持部２１の幅方向両端部の間は、金属支持基板２に支持されておらず、端子支持部２１のみが架設されている。 The terminal support portion 21 extends so as to connect the two protrusions 14A in the width direction, and has a thickness in the longitudinal direction of the suspension substrate 1 with a circuit. The widthwise end of the terminal support portion 21 is arranged on the other end surface of the protrusion 14A in the longitudinal direction and is in close contact with the other end surface of the protrusion 14A in the longitudinal direction. That is, while both ends of the terminal support portion 21 in the width direction are supported by the protrusion 14A, the ends of the terminal support portion 21 in the width direction are not supported by the metal support substrate 2 and the terminal support portion 21 is not supported. Only erected.

また、図３に示すように、端子支持部２１の厚み方向の他端面２１Ａ（屈曲部１３の屈曲方向の下流端面）は、突部１４Ａの厚み方向の他端面（屈曲部１３の屈曲方向の下流端面）と面一である。 Further, as shown in FIG. 3, the other end surface 21A in the thickness direction of the terminal support portion 21 (downstream end surface in the bending direction of the bending portion 13) is the other end surface in the thickness direction of the protrusion 14A (in the bending direction of the bending portion 13). It is flush with the downstream end face).

複数の磁気ヘッド端子３０は、２つの屈曲部１３の間において、端子支持部２１に支持されている（図２参照）。 The plurality of magnetic head terminals 30 are supported by the terminal support portion 21 between the two bent portions 13 (see FIG. 2).

複数の磁気ヘッド端子３０は、２つの屈曲部１３の塑性変形に追従するように弾性変形している。詳しくは、複数の磁気ヘッド端子３０のそれぞれは、長手方向に沿う状態から（図６参照）、側面視Ｌ字形状に弾性変形されており、図３に示すように、第１部分の一例としての第１端子部分３０Ａと、第２部分の一例としての第２端子部分３０Ｂとを一体的に有する。 The plurality of magnetic head terminals 30 are elastically deformed so as to follow the plastic deformation of the two bent portions 13. Specifically, each of the plurality of magnetic head terminals 30 is elastically deformed into an L-shaped side view from the state along the longitudinal direction (see FIG. 6), and as shown in FIG. 3, as an example of the first portion. The first terminal portion 30A and the second terminal portion 30B as an example of the second portion are integrally provided.

第１端子部分３０Ａは、第２端子部分３０Ｂと配線３２とを連結する部分であって、カバー絶縁層６から露出されている。第１端子部分３０Ａは、ベース開口部２２の長手方向一端縁から端子支持部２１に向かって、長手方向に沿って延びており、厚み方向から見て、切欠部１６を通過するように延びている（図２参照）。 The first terminal portion 30A is a portion connecting the second terminal portion 30B and the wiring 32, and is exposed from the cover insulating layer 6. The first terminal portion 30A extends from one end edge in the longitudinal direction of the base opening 22 toward the terminal support portion 21 along the longitudinal direction, and extends so as to pass through the notch 16 when viewed from the thickness direction. (See Fig. 2).

つまり、複数の磁気ヘッド端子３０の第１端子部分３０Ａは、厚み方向に投影したときに、金属支持基板２の切欠部１６と重なっており、切欠部１６に一括して含まれる（図２参照）。言い換えれば、金属支持基板２は、厚み方向に投影したときに複数の磁気ヘッド端子３０の第１端子部分３０Ａと重なる部分が切り欠かれている。 That is, the first terminal portion 30A of the plurality of magnetic head terminals 30 overlaps with the notch portion 16 of the metal support substrate 2 when projected in the thickness direction, and is collectively included in the notch portion 16 (see FIG. 2). ). In other words, the metal support substrate 2 is cut out from a portion that overlaps with the first terminal portion 30A of the plurality of magnetic head terminals 30 when projected in the thickness direction.

第２端子部分３０Ｂは、第１端子部分３０Ａと連続して、屈曲部１３の屈曲方向（つまり、第２屈曲部分１３Ｂの延びる方向）に延びる。詳しくは、第２端子部分３０Ｂは、第１端子部分３０Ａの長手方向の他端部から連続して屈曲するように、厚み方向の他方側に向かって延びている。 The second terminal portion 30B extends continuously with the first terminal portion 30A in the bending direction of the bending portion 13 (that is, the extending direction of the second bending portion 13B). Specifically, the second terminal portion 30B extends toward the other side in the thickness direction so as to be continuously bent from the other end portion in the longitudinal direction of the first terminal portion 30A.

第２端子部分３０Ｂは、端子支持部２１に対して位置決め部１４（突部１４Ａ）の反対側に位置し、端子支持部２１に支持されている。第２端子部分３０Ｂは、端子支持部２１の長手方向の他端面上に配置され、端子支持部２１の長手方向の他端面に密着している。また、第１実施形態において、第２端子部分３０Ｂの遊端部は、端子支持部２１から突出しておらず、第２端子部分３０Ｂの遊端面３０Ｃ（屈曲部１３の屈曲方向の下流端面）は、端子支持部２１の厚み方向の他端面２１Ａ（屈曲部１３の屈曲方向の下流端面）よりも、厚み方向の一方側（屈曲部１３の屈曲方向の上流側）に位置する。 The second terminal portion 30B is located on the opposite side of the positioning portion 14 (protrusion portion 14A) with respect to the terminal support portion 21, and is supported by the terminal support portion 21. The second terminal portion 30B is arranged on the other end surface of the terminal support portion 21 in the longitudinal direction and is in close contact with the other end surface of the terminal support portion 21 in the longitudinal direction. Further, in the first embodiment, the free end portion of the second terminal portion 30B does not protrude from the terminal support portion 21, and the free end surface 30C (downstream end surface of the bending portion 13 in the bending direction) of the second terminal portion 30B is. , It is located on one side in the thickness direction (upstream side in the bending direction of the bending portion 13) with respect to the other end surface 21A (downstream end surface in the bending direction of the bending portion 13) of the terminal support portion 21 in the thickness direction.

図４に示すように、このような複数の磁気ヘッド端子３０は、２つの第１端子の一例としの外側端子３３と、第２端子の一例としての複数（６つ）の内側端子３４とを含む。 As shown in FIG. 4, such a plurality of magnetic head terminals 30 include an outer terminal 33 as an example of two first terminals and a plurality (six) inner terminals 34 as an example of a second terminal. include.

２つの外側端子３３は、複数の磁気ヘッド端子３０において、幅方向の最も外側に位置する２つの磁気ヘッド端子３０である。 The two outer terminals 33 are the two outermost magnetic head terminals 30 in the width direction in the plurality of magnetic head terminals 30.

図８に示すように、外側端子３３の第２端子部分３０Ｂは、長手方向に投影したときに、突部１４Ａと重なるように配置される。つまり、図３に示すように、外側端子３３の第２端子部分３０Ｂは、端子支持部２１の幅方向端部に対して突部１４Ａの反対側に配置されており、端子支持部２１の幅方向端部の長手方向他端面上に配置されている。 As shown in FIG. 8, the second terminal portion 30B of the outer terminal 33 is arranged so as to overlap the protrusion 14A when projected in the longitudinal direction. That is, as shown in FIG. 3, the second terminal portion 30B of the outer terminal 33 is arranged on the opposite side of the protrusion 14A with respect to the widthwise end portion of the terminal support portion 21, and the width of the terminal support portion 21. It is arranged on the other end surface in the longitudinal direction of the directional end.

図４に示すように、外側端子３３の第２端子部分３０Ｂの面積は、内側端子３４の第２端子部分３０Ｂの面積よりも大きい。なお、外側端子３３の第１端子部分３０Ａの面積は、内側端子３４の第１端子部分３０Ａの面積と略同じである。 As shown in FIG. 4, the area of the second terminal portion 30B of the outer terminal 33 is larger than the area of the second terminal portion 30B of the inner terminal 34. The area of the first terminal portion 30A of the outer terminal 33 is substantially the same as the area of the first terminal portion 30A of the inner terminal 34.

外側端子３３の第２端子部分３０Ｂの面積は、内側端子３４の第２端子部分３０Ｂの面積に対して、例えば、１．１倍以上、好ましくは、１．２倍以上、例えば、５倍以下、好ましくは、３倍以下である。 The area of the second terminal portion 30B of the outer terminal 33 is, for example, 1.1 times or more, preferably 1.2 times or more, for example, 5 times or less the area of the second terminal portion 30B of the inner terminal 34. , Preferably 3 times or less.

また、外側端子３３の第２端子部分３０Ｂの幅方向の寸法は、内側端子３４の第２端子部分３０Ｂの幅方向の寸法よりも大きく、外側端子３３の第２端子部分３０Ｂの長さ（屈曲部１３の屈曲方向の寸法）は、内側端子３４の第２端子部分３０Ｂの長さ（屈曲部１３の屈曲方向の寸法）と同じである。 Further, the width direction dimension of the second terminal portion 30B of the outer terminal 33 is larger than the width direction dimension of the second terminal portion 30B of the inner terminal 34, and the length (bending) of the second terminal portion 30B of the outer terminal 33 is larger. The length of the second terminal portion 30B of the inner terminal 34 (dimension in the bending direction of the bending portion 13) is the same as the length of the second terminal portion 30B (dimension in the bending direction of the bending portion 13).

外側端子３３の第２端子部分３０Ｂの幅方向の寸法は、内側端子３４の第２端子部分３０Ｂの幅方向の寸法に対して、例えば、１．１倍以上、好ましくは、１．２倍以上、例えば、５倍以下、好ましくは、３倍以下である。 The width direction dimension of the second terminal portion 30B of the outer terminal 33 is, for example, 1.1 times or more, preferably 1.2 times or more, with respect to the width direction dimension of the second terminal portion 30B of the inner terminal 34. For example, it is 5 times or less, preferably 3 times or less.

外側端子３３の第２端子部分３０Ｂの幅方向の寸法は、例えば、２０μｍ以上、好ましくは、２５μｍ以上、例えば、６０μｍ以下、好ましくは、５５μｍ以下である。 The widthwise dimension of the second terminal portion 30B of the outer terminal 33 is, for example, 20 μm or more, preferably 25 μm or more, for example, 60 μm or less, preferably 55 μm or less.

外側端子３３の第２端子部分３０Ｂの長さ（屈曲部１３の屈曲方向の寸法）は、例えば、５０μｍ以上、好ましくは、８０μｍ以上、例えば、３００μｍ以下、好ましくは、２５０μｍ以下である。 The length of the second terminal portion 30B of the outer terminal 33 (dimension in the bending direction of the bent portion 13) is, for example, 50 μm or more, preferably 80 μm or more, for example, 300 μm or less, preferably 250 μm or less.

また、外側端子３３の第１端子部分３０Ａの幅方向の寸法は、外側端子３３の第２端子部分３０Ｂの幅方向の寸法よりも小さい。 Further, the dimension in the width direction of the first terminal portion 30A of the outer terminal 33 is smaller than the dimension in the width direction of the second terminal portion 30B of the outer terminal 33.

具体的には、外側端子３３の第１端子部分３０Ａの幅方向の寸法は、例えば、１５μｍ以上、好ましくは、２０μｍ以上、例えば、６０μｍ以下、好ましくは、５５μｍ以下である。 Specifically, the dimension in the width direction of the first terminal portion 30A of the outer terminal 33 is, for example, 15 μm or more, preferably 20 μm or more, for example, 60 μm or less, preferably 55 μm or less.

また、外側端子３３の第１端子部分３０Ａの長さ（長手方向の寸法）は、例えば、１００μｍ以上、好ましくは、１５０μｍ以上、例えば、５００μｍ以下、好ましくは、３００μｍ以下である。 The length (dimension in the longitudinal direction) of the first terminal portion 30A of the outer terminal 33 is, for example, 100 μm or more, preferably 150 μm or more, for example, 500 μm or less, preferably 300 μm or less.

複数の内側端子３４は、幅方向において２つの外側端子３３の間に配置される複数（６つ）の磁気ヘッド端子３０である。 The plurality of inner terminals 34 are a plurality of (six) magnetic head terminals 30 arranged between the two outer terminals 33 in the width direction.

複数の内側端子３４の第２端子部分３０Ｂは、長手方向に投影したときに、２つの突部１４Ａの間に位置しており、金属支持基板２と重ならないように配置される。 The second terminal portion 30B of the plurality of inner terminals 34 is located between the two protrusions 14A when projected in the longitudinal direction, and is arranged so as not to overlap the metal support substrate 2.

内側端子３４の第２端子部分３０Ｂの幅方向の寸法は、例えば、１５μｍ以上、好ましくは、２０μｍ以上、例えば、６０μｍ以下、好ましくは、５５μｍ以下である。 The widthwise dimension of the second terminal portion 30B of the inner terminal 34 is, for example, 15 μm or more, preferably 20 μm or more, for example, 60 μm or less, preferably 55 μm or less.

また、内側端子３４の第１端子部分３０Ａの幅方向の寸法の範囲は、例えば、上記した外側端子３３の第１端子部分３０Ａの幅方向の寸法の範囲と同じであり、内側端子３４の第１端子部分３０Ａの長さ（長手方向の寸法）の寸法の範囲は、例えば、上記した外側端子３３の第１端子部分３０Ａの長さ（長手方向の寸法）の寸法の範囲と同じである。 Further, the range of dimensions in the width direction of the first terminal portion 30A of the inner terminal 34 is, for example, the same as the range of dimensions in the width direction of the first terminal portion 30A of the outer terminal 33 described above, and the second of the inner terminals 34. The range of the length (longitudinal dimension) of the one terminal portion 30A is, for example, the same as the range of the length (longitudinal dimension) of the first terminal portion 30A of the outer terminal 33 described above.

図５に示すように、このような磁気ヘッド端子３０は、第２端子部分３０Ｂが長手方向の他方側（つまり、端子支持部２１から離れる方向）に向かうように、弾性力を有している。また、磁気ヘッド端子３０の第２端子部分３０Ｂは、磁気ヘッド端子３０の弾性力に抗するように、端子支持部２１に支持されている。 As shown in FIG. 5, such a magnetic head terminal 30 has an elastic force so that the second terminal portion 30B faces the other side in the longitudinal direction (that is, the direction away from the terminal support portion 21). .. Further, the second terminal portion 30B of the magnetic head terminal 30 is supported by the terminal support portion 21 so as to resist the elastic force of the magnetic head terminal 30.

また、端子支持部２１の幅方向両端部は、２つの突部１４Ａに支持され、端子支持部２１における幅方向両端部の間の部分（幅方向中央部分）は、金属支持基板２に支持されていない。 Further, both ends in the width direction of the terminal support portion 21 are supported by the two protrusions 14A, and the portion between both ends in the width direction (central portion in the width direction) of the terminal support portion 21 is supported by the metal support substrate 2. Not.

そのため、端子支持部２１の幅方向中央部分は、複数の磁気ヘッド端子３０の弾性力により、幅方向の内側に向かうにつれて、長手方向の他方側に向かって膨出するように湾曲している。 Therefore, the central portion of the terminal support portion 21 in the width direction is curved so as to bulge toward the other side in the longitudinal direction toward the inside in the width direction due to the elastic force of the plurality of magnetic head terminals 30.

これにより、２つの外側端子３３の第２端子部分３０Ｂは、端子支持部２１の幅方向端部を介して突部１４Ａに支持され、幅方向に沿うように配置され、複数の内側端子３４の第２端子部分３０Ｂは、端子支持部２１の幅方向中央部分に支持されて、端子支持部２１の湾曲形状に沿うように配置される。 As a result, the second terminal portion 30B of the two outer terminals 33 is supported by the protrusion 14A via the widthwise end portion of the terminal support portion 21, and is arranged along the width direction of the plurality of inner terminals 34. The second terminal portion 30B is supported by the central portion in the width direction of the terminal support portion 21 and is arranged so as to follow the curved shape of the terminal support portion 21.

４．回路付サスペンション基板の製造方法
次に、回路付サスペンション基板１の製造方法について説明する。 4. Method for Manufacturing Suspension Board with Circuit Next, a method for manufacturing the suspension board 1 with a circuit will be described.

回路付サスペンション基板１の製造方法では、図６に示すように、まず、プレサスペンション基板８を準備する。 In the method of manufacturing the suspension board 1 with a circuit, as shown in FIG. 6, first, the pre-suspension board 8 is prepared.

プレサスペンション基板８は、２つの屈曲部１３および複数の磁気ヘッド端子３０の形状を除いて、回路付サスペンション基板１と同様の構成を有する。 The pre-suspension board 8 has the same configuration as the suspension board 1 with a circuit except for the shapes of the two bent portions 13 and the plurality of magnetic head terminals 30.

プレサスペンション基板８では、２つの屈曲部１３が塑性変形されておらず、２つの屈曲部１３および複数の磁気ヘッド端子３０が長手方向に沿って延びている。 In the pre-suspension substrate 8, the two bent portions 13 are not plastically deformed, and the two bent portions 13 and the plurality of magnetic head terminals 30 extend in the longitudinal direction.

次いで、図７に示すように、公知の加工方法によって、２つの屈曲部１３のそれぞれを、厚み方向の他方側に向かって曲がるように塑性変形させる。これによって、屈曲部１３は、側面視Ｌ字形状に塑性変形され、その形状が維持される。 Then, as shown in FIG. 7, each of the two bent portions 13 is plastically deformed so as to bend toward the other side in the thickness direction by a known processing method. As a result, the bent portion 13 is plastically deformed into an L-shaped side view, and the shape is maintained.

このとき、複数の磁気ヘッド端子３０が、２つの屈曲部１３の塑性変形に追従するように弾性変形する。これによって、磁気ヘッド端子３０は、側面視Ｌ字形状に弾性変形される。 At this time, the plurality of magnetic head terminals 30 are elastically deformed so as to follow the plastic deformation of the two bent portions 13. As a result, the magnetic head terminal 30 is elastically deformed into an L-shaped side view.

以上によって、回路付サスペンション基板１が製造される。 As described above, the suspension board 1 with a circuit is manufactured.

５．スライダの検査方法
このような回路付サスペンション基板１は、スライダ５の検査に用いられる検査用基板１Ａとして好適に利用される。 5. Slider Inspection Method Such a suspension substrate 1 with a circuit is suitably used as an inspection substrate 1A used for inspection of the slider 5.

検査用基板１Ａを用いてスライダ５を検査するには、まず、検査対象となるスライダ５を準備する。 In order to inspect the slider 5 using the inspection substrate 1A, first, the slider 5 to be inspected is prepared.

図８に示すように、スライダ５は、磁気ヘッド（図示せず）に接続される複数（８つ）のスライダ端子５０を備える。複数のスライダ端子５０は、スライダ５の長手方向一端部に設けられており、幅方向に互いに間隔を空けて配置される。 As shown in FIG. 8, the slider 5 includes a plurality of (eight) slider terminals 50 connected to a magnetic head (not shown). The plurality of slider terminals 50 are provided at one end in the longitudinal direction of the slider 5, and are arranged so as to be spaced apart from each other in the width direction.

また、図７に示すように、検査用基板１Ａにクランパ４０を固定する。 Further, as shown in FIG. 7, the clamper 40 is fixed to the inspection substrate 1A.

クランパ４０は、スライダ５を位置決め部１４に向けて押圧するばね性を有する。クランパ４０は、スライダ５と接触する接触部４０Ａを有する。接触部４０Ａは、クランパ４０の長手方向の他端部に位置する。 The clamper 40 has a spring property of pressing the slider 5 toward the positioning portion 14. The clamper 40 has a contact portion 40A that comes into contact with the slider 5. The contact portion 40A is located at the other end of the clamper 40 in the longitudinal direction.

そして、クランパ４０の長手方向の一端部を金属支持基板２の連結部１２の厚み方向の一端面に固定し、クランパ４０の接触部４０Ａを、複数の磁気ヘッド端子３０の第２端子部分３０Ｂに対して、長手方向の他方側に間隔を空けて配置させる。 Then, one end of the clamper 40 in the longitudinal direction is fixed to one end surface of the connecting portion 12 of the metal support substrate 2 in the thickness direction, and the contact portion 40A of the clamper 40 is attached to the second terminal portion 30B of the plurality of magnetic head terminals 30. On the other hand, they are arranged at intervals on the other side in the longitudinal direction.

次いで、スライダ５を、複数のスライダ端子５０と複数の第２端子部分３０Ｂとが接触するように、接触部４０Ａと複数の第２端子部分３０Ｂとの間に挿入する。 Next, the slider 5 is inserted between the contact portion 40A and the plurality of second terminal portions 30B so that the plurality of slider terminals 50 and the plurality of second terminal portions 30B are in contact with each other.

このとき、スライダ５は、クランパ４０のばね力により、長手方向の一方側に向かって押圧され、位置決め部１４により長手方向において所定の位置に位置決めされる。また、複数の磁気ヘッド端子３０は、弾性力により、複数のスライダ端子５０に安定して接触する。また、スライダ５は、厚み方向から見て開口部１０と重なる。 At this time, the slider 5 is pressed toward one side in the longitudinal direction by the spring force of the clamper 40, and is positioned at a predetermined position in the longitudinal direction by the positioning portion 14. Further, the plurality of magnetic head terminals 30 stably contact the plurality of slider terminals 50 due to elastic force. Further, the slider 5 overlaps with the opening 10 when viewed from the thickness direction.

その後、図示しないが、スライダ５が搭載された検査用基板１Ａを、公知のスライダ検査器に搭載し、スライダ５の浮上試験および電気試験を実施する。 After that, although not shown, the inspection substrate 1A on which the slider 5 is mounted is mounted on a known slider inspection device, and the levitation test and the electric test of the slider 5 are carried out.

以上によって、スライダ５が検査される。 As a result, the slider 5 is inspected.

このような回路付サスペンション基板１では、図１に示すように、２つの屈曲部１３が、複数の磁気ヘッド端子３０に対して幅方向の両側に配置され、厚み方向の他方側に向かって曲がるように塑性変形されており、複数の磁気ヘッド端子３０が、２つの屈曲部１３の間において、ベース絶縁層３の端子支持部２１に支持され、２つの屈曲部１３の塑性変形に追従するように弾性変形されている。 In such a suspension board 1 with a circuit, as shown in FIG. 1, two bent portions 13 are arranged on both sides in the width direction with respect to the plurality of magnetic head terminals 30 and bend toward the other side in the thickness direction. The plurality of magnetic head terminals 30 are plastically deformed so as to be supported by the terminal support portion 21 of the base insulating layer 3 between the two bent portions 13 and follow the plastic deformation of the two bent portions 13. It is elastically deformed.

そのため、複数の磁気ヘッド端子３０が、ばね性を有するように弾性変形される金属支持基板２に追従する場合と比較して、回路付サスペンション基板１における複数の磁気ヘッド端子３０の位置精度の向上を図ることができる。 Therefore, the positional accuracy of the plurality of magnetic head terminals 30 in the suspension substrate 1 with a circuit is improved as compared with the case where the plurality of magnetic head terminals 30 follow the metal support substrate 2 which is elastically deformed so as to have springiness. Can be planned.

また、複数の磁気ヘッド端子３０が弾性変形しているので、スライダ５が回路付サスペンション基板１に搭載されたときに、複数の磁気ヘッド端子３０の弾性力により、複数の磁気ヘッド端子３０をスライダ端子５０に安定して接触させることができる。 Further, since the plurality of magnetic head terminals 30 are elastically deformed, when the slider 5 is mounted on the suspension board 1 with a circuit, the elastic force of the plurality of magnetic head terminals 30 causes the plurality of magnetic head terminals 30 to be slidered. It can be stably contacted with the terminal 50.

その結果、回路付サスペンション基板１における複数の磁気ヘッド端子３０の位置精度の向上を図ることができながら、複数の磁気ヘッド端子３０とスライダ端子５０との接続信頼性を十分に確保することができる。 As a result, it is possible to improve the positional accuracy of the plurality of magnetic head terminals 30 on the suspension board 1 with a circuit, and to sufficiently secure the connection reliability between the plurality of magnetic head terminals 30 and the slider terminal 50. ..

これによって、回路付サスペンション基板１を検査用基板１Ａとして用いれば、スライダ５の検査精度の向上を図ることができる。 As a result, if the suspension board 1 with a circuit is used as the inspection board 1A, the inspection accuracy of the slider 5 can be improved.

また、図８に示すように、スライダ５は、スライダ５が回路付サスペンション基板１に搭載（接続）された状態において、金属支持基板２が有する位置決め部１４により、長手方向において回路付サスペンション基板１に位置決めされる。 Further, as shown in FIG. 8, the slider 5 has a suspension board 1 with a circuit in the longitudinal direction due to the positioning portion 14 of the metal support board 2 in a state where the slider 5 is mounted (connected) to the suspension board 1 with a circuit. Positioned to.

そのため、回路付サスペンション基板１に対するスライダ５の位置精度の向上を図ることができ、ひいては、複数の磁気ヘッド端子３０とスライダ端子５０との接続信頼性の向上を図ることができる。 Therefore, the position accuracy of the slider 5 with respect to the suspension board 1 with a circuit can be improved, and the connection reliability between the plurality of magnetic head terminals 30 and the slider terminal 50 can be improved.

また、金属支持基板２が有する位置決め部１４をスライダ５の位置決めに利用できるので、スライダ５の位置決めのために別部材を用いる場合と比較して、部品点数の低減を図ることができる。 Further, since the positioning portion 14 of the metal support substrate 2 can be used for positioning the slider 5, the number of parts can be reduced as compared with the case where another member is used for positioning the slider 5.

また、位置決め部１４は、幅方向の内側に向かって突出する突部１４Ａを有する。そのため、スライダ５を回路付サスペンション基板１に対して確実に位置決めできる。 Further, the positioning portion 14 has a protrusion 14A protruding inward in the width direction. Therefore, the slider 5 can be reliably positioned with respect to the suspension board 1 with a circuit.

また、突部１４Ａの幅方向の内側端縁は、略円弧形状を有する。そのため、複数の磁気ヘッド端子３０を支持する端子支持部２１が損傷することを抑制でき、回路付サスペンション基板１の耐久性の向上を図ることができる。 Further, the inner edge of the protrusion 14A in the width direction has a substantially arc shape. Therefore, it is possible to suppress damage to the terminal support portion 21 that supports the plurality of magnetic head terminals 30, and it is possible to improve the durability of the suspension substrate 1 with a circuit.

また、図２に示すように、金属支持基板２において、厚み方向に投影したときに複数の磁気ヘッド端子３０の第１端子部分３０Ａと重なる部分が切り欠かれている。そのため、複数の磁気ヘッド端子３０に確実に弾性を付与することができる。その結果、複数の磁気ヘッド端子３０とスライダ５との接続信頼性のさらなる向上を図ることができる。 Further, as shown in FIG. 2, in the metal support substrate 2, a portion overlapping with the first terminal portion 30A of the plurality of magnetic head terminals 30 when projected in the thickness direction is cut out. Therefore, elasticity can be reliably imparted to the plurality of magnetic head terminals 30. As a result, it is possible to further improve the connection reliability between the plurality of magnetic head terminals 30 and the slider 5.

しかるに、端子支持部２１の幅方向両端部は、屈曲部１３に設けられる突部１４Ａに支持され、端子支持部２１における幅方向両端部の間の部分（幅方向中央部分）は、金属支持基板２に支持されていない。 However, both ends in the width direction of the terminal support portion 21 are supported by the protrusions 14A provided on the bent portion 13, and the portion between both ends in the width direction (central portion in the width direction) of the terminal support portion 21 is a metal support substrate. Not supported by 2.

そのため、図５に示すように、端子支持部２１の幅方向中央部分は、複数の磁気ヘッド端子３０の弾性力により、幅方向の内側に向かうにつれて、長手方向の他方側に向かって膨出するように湾曲している。 Therefore, as shown in FIG. 5, the central portion in the width direction of the terminal support portion 21 bulges toward the other side in the longitudinal direction as it goes inward in the width direction due to the elastic force of the plurality of magnetic head terminals 30. It is curved like.

そして、外側端子３３は、幅方向において内側端子３４よりも屈曲部１３に近い。そのため、外側端子３３は、内側端子３４と比較して、磁気ヘッド端子３０の弾性力に抗して端子支持部２１に支持されている。その結果、外側端子３３の第２端子部分３０Ｂは、内側端子３４の第２端子部分３０Ｂよりも、端子支持部２１から剥離するおそれがある。 The outer terminal 33 is closer to the bent portion 13 than the inner terminal 34 in the width direction. Therefore, the outer terminal 33 is supported by the terminal support portion 21 against the elastic force of the magnetic head terminal 30 as compared with the inner terminal 34. As a result, the second terminal portion 30B of the outer terminal 33 may be separated from the terminal support portion 21 more than the second terminal portion 30B of the inner terminal 34.

一方、第１実施形態では、図４に示すように、外側端子３３の第２端子部分３０Ｂの面積が、内側端子３４の第２端子部分３０Ｂの面積よりも大きい。そのため、外側端子３３の第２端子部分３０Ｂと端子支持部２１との接地面積の向上を図ることができ、外側端子３３の第２端子部分３０Ｂと端子支持部２１との密着力の向上を図ることができる。その結果、外側端子３３の第２端子部分３０Ｂが、端子支持部２１から剥離することを抑制できる。 On the other hand, in the first embodiment, as shown in FIG. 4, the area of the second terminal portion 30B of the outer terminal 33 is larger than the area of the second terminal portion 30B of the inner terminal 34. Therefore, it is possible to improve the grounding area between the second terminal portion 30B of the outer terminal 33 and the terminal support portion 21, and improve the adhesion between the second terminal portion 30B of the outer terminal 33 and the terminal support portion 21. be able to. As a result, it is possible to prevent the second terminal portion 30B of the outer terminal 33 from peeling off from the terminal support portion 21.

外側端子３３の第２端子部分３０Ｂは、長手方向に投影したときに突部１４Ａと重なるように配置されている。そのため、回路付サスペンション基板１における外側端子３３の位置精度の向上を確実に図ることができる。 The second terminal portion 30B of the outer terminal 33 is arranged so as to overlap the protrusion 14A when projected in the longitudinal direction. Therefore, it is possible to surely improve the position accuracy of the outer terminal 33 on the suspension board 1 with a circuit.

また、外側端子３３の第２端子部分３０Ｂが、長手方向に投影したときに、突部１４Ａと重なるように配置されていても、外側端子３３の第２端子部分３０Ｂと端子支持部２１との密着力の向上が図られているので、外側端子３３の第２端子部分３０Ｂが、端子支持部２１から剥離することを抑制できる。 Further, even if the second terminal portion 30B of the outer terminal 33 is arranged so as to overlap the protrusion 14A when projected in the longitudinal direction, the second terminal portion 30B of the outer terminal 33 and the terminal support portion 21 Since the adhesion is improved, it is possible to prevent the second terminal portion 30B of the outer terminal 33 from peeling off from the terminal support portion 21.

また、金属支持基板２は、図１に示すように、開口部１０と、アウトリガー１１とを備える。そのため、回路付サスペンション基板１をスライダ５の検査に用いたときに、スライダ５の浮上特性を精度よく検査することができる。 Further, as shown in FIG. 1, the metal support substrate 2 includes an opening 10 and an outrigger 11. Therefore, when the suspension board 1 with a circuit is used for the inspection of the slider 5, the floating characteristic of the slider 5 can be inspected with high accuracy.

また、図７に示すように、上記の回路付サスペンション基板１の製造方法では、金属支持基板２が有する２つの屈曲部１３を、公知の加工方法によって塑性変形させる一方、複数の磁気ヘッド端子３０は、直接加工されることなく、屈曲部１３の塑性変形に追従して弾性変形される。 Further, as shown in FIG. 7, in the method for manufacturing the suspension substrate 1 with a circuit, the two bent portions 13 of the metal support substrate 2 are plastically deformed by a known processing method, while the plurality of magnetic head terminals 30 are formed. Is elastically deformed following the plastic deformation of the bent portion 13 without being directly processed.

そのため、複数の磁気ヘッド端子３０を直接加工する場合と比較して、複数の磁気ヘッド端子３０の破損を抑制できながら、複数の磁気ヘッド端子３０を弾性変形させることができる。 Therefore, as compared with the case where the plurality of magnetic head terminals 30 are directly machined, the plurality of magnetic head terminals 30 can be elastically deformed while suppressing the damage of the plurality of magnetic head terminals 30.

＜第２実施形態＞
次に、図９Ａおよび図９Ｂを参照して、本発明の第２実施形態としての回路付サスペンション基板１を説明する。なお、第２実施形態では、上記した第１実施形態と同様の部材には同様の符号を付し、その説明を省略する。 <Second Embodiment>
Next, the suspension board 1 with a circuit as the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 9A and 9B. In the second embodiment, the same members as those in the first embodiment described above are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

第１実施形態では、図４に示すように、外側端子３３の第２端子部分３０Ｂの長さ（屈曲部１３の屈曲方向の寸法）は、内側端子３４の第２端子部分３０Ｂの長さ（屈曲部１３の屈曲方向の寸法）と同じであるが、本発明はこれに限定されない。 In the first embodiment, as shown in FIG. 4, the length of the second terminal portion 30B of the outer terminal 33 (the dimension in the bending direction of the bent portion 13) is the length of the second terminal portion 30B of the inner terminal 34 (the dimension of the bent portion 13 in the bending direction). It is the same as the dimension of the bent portion 13 in the bending direction), but the present invention is not limited to this.

第２実施形態では、図９Ａおよび図９Ｂに示すように、内側端子３４の第２端子部分３０Ｂの長さＬ１（屈曲部１３の屈曲方向の寸法）は、外側端子３３の第２端子部分３０Ｂの長さＬ２（屈曲部１３の屈曲方向の寸法）よりも短い。 In the second embodiment, as shown in FIGS. 9A and 9B, the length L1 (dimension in the bending direction of the bending portion 13) of the second terminal portion 30B of the inner terminal 34 is the second terminal portion 30B of the outer terminal 33. Is shorter than the length L2 (dimension of the bent portion 13 in the bending direction).

なお、第２端子部分３０Ｂの長さとは、第１端子部分３０Ａ（長手方向）に沿う仮想平面Ａ１と第２端子部分３０Ｂ（屈曲方向）に沿う仮想平面Ａ２との交点Ｐと、磁気ヘッド端子３０の遊端面３０Ｃとの間の距離である。 The length of the second terminal portion 30B is the intersection P of the virtual plane A1 along the first terminal portion 30A (longitudinal direction) and the virtual plane A2 along the second terminal portion 30B (bending direction), and the magnetic head terminal. The distance between the free end surface 30C of 30 and the free end surface 30C.

内側端子３４の第２端子部分３０Ｂの長さＬ１は、例えば、３０μｍ以上、好ましくは、５０μｍ以上、例えば、５００μｍ以下、好ましくは、３００μｍ以下である。 The length L1 of the second terminal portion 30B of the inner terminal 34 is, for example, 30 μm or more, preferably 50 μm or more, for example, 500 μm or less, preferably 300 μm or less.

外側端子３３の第２端子部分３０Ｂの長さＬ２は、例えば、３５μｍ以上、好ましくは、５５μｍ以上、例えば、６００μｍ以下、好ましくは、４００μｍ以下である。 The length L2 of the second terminal portion 30B of the outer terminal 33 is, for example, 35 μm or more, preferably 55 μm or more, for example, 600 μm or less, preferably 400 μm or less.

外側端子３３の第２端子部分３０Ｂの長さＬ２に対する、内側端子３４の第２端子部分３０Ｂの長さＬ１の比（Ｌ１：Ｌ２）は、例えば、１：１．０５以上、好ましくは、１：１．１以上、例えば、１：２以下、好ましくは、１：１．５以下である。 The ratio (L1: L2) of the length L1 of the second terminal portion 30B of the inner terminal 34 to the length L2 of the second terminal portion 30B of the outer terminal 33 is, for example, 1: 1.05 or more, preferably 1. : 1.1 or more, for example 1: 2 or less, preferably 1: 1.5 or less.

図５に示すように、端子支持部２１の幅方向中央部分は、複数の磁気ヘッド端子３０の弾性力により、幅方向の内側に向かうにつれて、屈曲方向と交差する方向に膨出するように湾曲している。 As shown in FIG. 5, the central portion in the width direction of the terminal support portion 21 is curved so as to bulge in a direction intersecting the bending direction toward the inside in the width direction due to the elastic force of the plurality of magnetic head terminals 30. is doing.

そのため、図９Ａに示すように、複数の内側端子３４は、２つの外側端子３３よりも、端子支持部２１の膨出方向の下流側（長手方向の他方側）に向かって傾倒している。 Therefore, as shown in FIG. 9A, the plurality of inner terminals 34 are tilted toward the downstream side (the other side in the longitudinal direction) of the terminal support portion 21 in the bulging direction from the two outer terminals 33.

これによって、内側端子３４において、第１端子部分３０Ａ（長手方向）に沿う仮想平面Ａ１と第２端子部分３０Ｂ（屈曲方向）に沿う仮想平面Ａ２とがなす角θ１の角度は、外側端子３３において、第１端子部分３０Ａ（長手方向）に沿う仮想平面Ａ１と第２端子部分３０Ｂ（屈曲方向）に沿う仮想平面Ａ２とがなす角θ２の角度よりも小さい。 As a result, in the inner terminal 34, the angle θ1 formed by the virtual plane A1 along the first terminal portion 30A (longitudinal direction) and the virtual plane A2 along the second terminal portion 30B (bending direction) is set at the outer terminal 33. , It is smaller than the angle θ2 formed by the virtual plane A1 along the first terminal portion 30A (longitudinal direction) and the virtual plane A2 along the second terminal portion 30B (bending direction).

内側端子３４における角θ１の角度は、例えば、５°以上、好ましくは、１０°以上、例えば、９０°以下、好ましくは、８５°以下である。 The angle of the angle θ1 in the inner terminal 34 is, for example, 5 ° or more, preferably 10 ° or more, for example, 90 ° or less, preferably 85 ° or less.

外側端子３３における角θ２の角度は、例えば、８°以上、好ましくは、１０°以上、例えば、９０°以下、好ましくは、８５°以下である。 The angle of the angle θ2 in the outer terminal 33 is, for example, 8 ° or more, preferably 10 ° or more, for example, 90 ° or less, preferably 85 ° or less.

外側端子３３における角θ２と内側端子３４における角θ１との差は、例えば、２°以上、好ましくは、５°以上、例えば、８０°以下、好ましくは、７５°以下である。 The difference between the angle θ2 at the outer terminal 33 and the angle θ1 at the inner terminal 34 is, for example, 2 ° or more, preferably 5 ° or more, for example, 80 ° or less, preferably 75 ° or less.

そして、複数の内側端子３４が２つの外側端子３３よりも長手方向の他方側に傾倒しているので、スライダ５が複数の第２端子部分３０Ｂに対して長手方向の他方側から接触すると（図７参照）、内側端子３４は、外側端子３３よりもスライダ５に強く接触する。 Then, since the plurality of inner terminals 34 are tilted toward the other side in the longitudinal direction with respect to the two outer terminals 33, when the slider 5 comes into contact with the plurality of second terminal portions 30B from the other side in the longitudinal direction (FIG. FIG. 7), the inner terminal 34 comes into contact with the slider 5 more strongly than the outer terminal 33.

そのため、複数の磁気ヘッド端子３０の間において、スライダ端子５０との接続信頼性にばらつきが生じてしまう場合がある。 Therefore, the connection reliability with the slider terminal 50 may vary among the plurality of magnetic head terminals 30.

しかるに、磁気ヘッド端子３０とスライダ端子５０との接続信頼性は、スライダ５に対する磁気ヘッド端子３０の接触圧力と、スライダ５と磁気ヘッド端子３０との接触面積とに依存する。なお、通常、スライダ端子５０の面積は、磁気ヘッド端子３０の第２端子部分３０Ｂの面積よりも大きい。 However, the connection reliability between the magnetic head terminal 30 and the slider terminal 50 depends on the contact pressure of the magnetic head terminal 30 with respect to the slider 5 and the contact area between the slider 5 and the magnetic head terminal 30. Normally, the area of the slider terminal 50 is larger than the area of the second terminal portion 30B of the magnetic head terminal 30.

ここで、接触圧力は、第１端子部分３０Ａに沿う仮想平面Ａ１と第２端子部分３０Ｂに沿う仮想平面Ａ２とがなす角の角度に比例する。 Here, the contact pressure is proportional to the angle of the angle formed by the virtual plane A1 along the first terminal portion 30A and the virtual plane A2 along the second terminal portion 30B.

そのため、磁気ヘッド端子３０とスライダ端子５０との接続信頼性は、第１端子部分３０Ａに沿う仮想平面Ａ１と第２端子部分３０Ｂに沿う仮想平面Ａ２とがなす角の角度と、各第２端子部分３０Ｂの面積との積により評価することができる。 Therefore, the connection reliability between the magnetic head terminal 30 and the slider terminal 50 is determined by the angle of the angle formed by the virtual plane A1 along the first terminal portion 30A and the virtual plane A2 along the second terminal portion 30B, and each second terminal. It can be evaluated by the product of the area of the portion 30B.

第２実施形態では、内側端子３４の第２端子部分３０Ｂの長さが、外側端子３３の第２端子部分３０Ｂの長さよりも短い。そのため、スライダ５に対する接触圧力が比較的大きい内側端子３４とスライダ５との接触面積を、スライダ５に対する接触圧力が比較的小さい外側端子３３とスライダ５との接触面積よりも小さくすることができる。その結果、複数の磁気ヘッド端子３０の間における、スライダ５に対する接続信頼性のばらつきを低減することができる。 In the second embodiment, the length of the second terminal portion 30B of the inner terminal 34 is shorter than the length of the second terminal portion 30B of the outer terminal 33. Therefore, the contact area between the inner terminal 34 and the slider 5 having a relatively large contact pressure with respect to the slider 5 can be made smaller than the contact area between the outer terminal 33 having a relatively small contact pressure with the slider 5 and the slider 5. As a result, it is possible to reduce variations in connection reliability with respect to the slider 5 among the plurality of magnetic head terminals 30.

より詳しくは、内側端子３４における角の角度θ１および内側端子３４の第２端子部分３０Ｂの面積の積を１００％としたとき、内側端子３４における角の角度θ１および内側端子３４の第２端子部分３０Ｂの面積の積と、外側端子３３における角の角度θ２および外側端子３３の第２端子部分３０Ｂの面積の積との差は、例えば、±３０％以下、好ましくは、±２０％以下である。 More specifically, when the product of the angle of angle θ1 of the inner terminal 34 and the area of the second terminal portion 30B of the inner terminal 34 is 100%, the angle of angle θ1 of the inner terminal 34 and the second terminal portion of the inner terminal 34 The difference between the product of the areas of 30B and the product of the angle θ2 of the angle at the outer terminal 33 and the area of the second terminal portion 30B of the outer terminal 33 is, for example, ± 30% or less, preferably ± 20% or less. ..

このような第２実施形態によっても、第１実施形態と同様の作用効果を奏することができる。また、第１実施形態と第２実施形態とは、互いに組み合わせることができる。
＜変形例＞
第１実施形態では、位置決め部１４が、２つの屈曲部１３に対応して２つ設けられるが、位置決め部１４の個数は、これに限定されない。例えば、位置決め部１４は、２つの屈曲部１３のいずれか一方にのみ設けられていてもよい。 Even with such a second embodiment, the same effects as those of the first embodiment can be obtained. Further, the first embodiment and the second embodiment can be combined with each other.
<Modification example>
In the first embodiment, two positioning portions 14 are provided corresponding to the two bending portions 13, but the number of positioning portions 14 is not limited to this. For example, the positioning portion 14 may be provided on only one of the two bent portions 13.

第１実施形態では、突部１４Ａの幅方向の内側端縁が、略円弧形状を有しているが、突部１４Ａの形状は、これに限定されない。例えば、突部１４Ａは、角部を有する矩形状を有していてもよい。一方、回路付サスペンション基板１の耐久性の観点から、第１実施形態が好ましい。 In the first embodiment, the inner edge of the protrusion 14A in the width direction has a substantially arc shape, but the shape of the protrusion 14A is not limited to this. For example, the protrusion 14A may have a rectangular shape having corners. On the other hand, from the viewpoint of durability of the suspension substrate 1 with a circuit, the first embodiment is preferable.

第１実施形態では、位置決め部１４は、２つの突部１４Ａを有し、２つの突部１４Ａは、幅方向に互いに間隔を空けて位置するが、位置決め部１４の構成は、複数の磁気ヘッド端子３０の弾性力を阻害しない範囲において、特に制限されない。例えば、位置決め部１４は、２つの屈曲部１３の第２屈曲部分１３Ｂを連結する連結部を有してもよい。 In the first embodiment, the positioning portion 14 has two protrusions 14A, and the two protrusions 14A are located at intervals from each other in the width direction, but the configuration of the positioning portion 14 includes a plurality of magnetic heads. It is not particularly limited as long as it does not hinder the elastic force of the terminal 30. For example, the positioning portion 14 may have a connecting portion that connects the second bent portions 13B of the two bent portions 13.

また、位置決め部１４は、金属支持基板２に設けられなくてもよい。 Further, the positioning portion 14 does not have to be provided on the metal support substrate 2.

第１実施形態では、屈曲部１３の第２屈曲部分１３Ｂが厚み方向に沿って延びているが、屈曲部１３の形状は、厚み方向の他方側に向かって曲がるように塑性変形されていれば、特に制限されていない。例えば、第２屈曲部分１３Ｂは、厚み方向の他方側に向かうにつれて、長手方向の他方側に傾斜するように延びていてもよい。 In the first embodiment, the second bent portion 13B of the bent portion 13 extends along the thickness direction, but if the shape of the bent portion 13 is plastically deformed so as to bend toward the other side in the thickness direction. , Not particularly limited. For example, the second bent portion 13B may extend so as to incline to the other side in the longitudinal direction toward the other side in the thickness direction.

第１実施形態では、外側端子３３の第２端子部分３０Ｂが厚み方向に沿って延びているが、第２端子部分３０Ｂの延びる方向は、特に制限されない。 In the first embodiment, the second terminal portion 30B of the outer terminal 33 extends along the thickness direction, but the extending direction of the second terminal portion 30B is not particularly limited.

第１実施形態では、端子支持部２１が、ベース本体２０と別体であって、厚み方向に投影したときに、切欠部１６と重なるベース絶縁層３の部分が切り欠かれているが、ベース絶縁層３の構成は、これに限定されない。端子支持部２１は、ベース本体２０と連続していてもよい。この場合、厚み方向に投影したときに、切欠部１６と重なる部分に、ベース絶縁層３が配置される。 In the first embodiment, the terminal support portion 21 is separate from the base main body 20, and the portion of the base insulating layer 3 that overlaps with the notch portion 16 when projected in the thickness direction is cut out, but the base. The configuration of the insulating layer 3 is not limited to this. The terminal support portion 21 may be continuous with the base main body 20. In this case, the base insulating layer 3 is arranged at a portion overlapping the cutout portion 16 when projected in the thickness direction.

第１実施形態では、第２端子部分３０Ｂの遊端部が、端子支持部２１から突出していないが、第２端子部分３０Ｂの遊端部は、端子支持部２１から突出していてもよい。 In the first embodiment, the free end portion of the second terminal portion 30B does not protrude from the terminal support portion 21, but the free end portion of the second terminal portion 30B may protrude from the terminal support portion 21.

これらによっても、第１実施形態と同様の作用効果を奏することができる。また、第１実施形態、第２実施形態および変形例は、適宜互いに組み合わせることができる。 With these, the same action and effect as those of the first embodiment can be obtained. Further, the first embodiment, the second embodiment and the modified examples can be combined with each other as appropriate.

１ 回路付サスペンション基板
１Ａ 検査用基板
２ 金属支持基板
３ ベース絶縁層
４ 導体パターン
５ スライダ
６ カバー絶縁層
１０ 開口部
１１ アウトリガー
１３ 屈曲部
１４ 位置決め部
１４Ａ 突部
３０ 磁気ヘッド端子
３０Ａ 第１端子部分
３０Ｂ 第２端子部分
３３ 外側端子
３４ 内側端子 1 Suspension board with circuit 1A Inspection board 2 Metal support board 3 Base insulation layer 4 Conductor pattern 5 Slider 6 Cover insulation layer 10 Opening 11 Out trigger 13 Bending part 14 Positioning part 14A Protrusion part 30 Magnetic head terminal 30A First terminal part 30B 2nd terminal part 33 Outer terminal 34 Inner terminal

Claims (9)

長手方向に延びる金属支持層と、前記金属支持層の厚み方向の一方側に配置される絶縁層と、前記絶縁層の厚み方向の一方側に配置される導体パターンと、を備え、電子部品と電気的に接続されるように構成される回路付サスペンション基板であって、
前記導体パターンは、前記厚み方向および前記長手方向の両方向と交差する幅方向に互いに間隔を空けて配置される複数の端子を備え、
前記金属支持層は、前記複数の端子に対して前記幅方向の両側に配置され、前記厚み方向の他方側に向かって曲がるように塑性変形される２つの屈曲部を備え、
前記複数の端子は、
前記２つの屈曲部の間において前記絶縁層に支持され、
前記２つの屈曲部の塑性変形に追従するように、弾性変形していることを特徴とする、回路付サスペンション基板。 An electronic component comprising a metal support layer extending in the longitudinal direction, an insulating layer arranged on one side of the metal support layer in the thickness direction, and a conductor pattern arranged on one side of the insulating layer in the thickness direction. A suspension board with a circuit that is configured to be electrically connected.
The conductor pattern comprises a plurality of terminals spaced apart from each other in the width direction intersecting both the thickness direction and the longitudinal direction.
The metal support layer comprises two bends that are arranged on both sides of the width direction with respect to the plurality of terminals and are plastically deformed so as to bend toward the other side in the thickness direction.
The plurality of terminals are
Supported by the insulating layer between the two bends,
A suspension substrate with a circuit, characterized in that it is elastically deformed so as to follow the plastic deformation of the two bent portions. 前記金属支持層は、前記電子部品が前記回路付サスペンション基板に接続された状態において、前記長手方向に投影したときに、前記電子部品と重なる位置決め部を有することを特徴とする、請求項１に記載の回路付サスペンション基板。 The first aspect of the invention is characterized in that the metal support layer has a positioning portion that overlaps with the electronic component when the electronic component is connected to the suspension substrate with a circuit and projected in the longitudinal direction. Suspension board with circuit described. 前記位置決め部は、前記２つの屈曲部のそれぞれから前記幅方向の内側に向かって突出する突部を有することを特徴とする、請求項２に記載の回路付サスペンション基板。 The suspension substrate with a circuit according to claim 2, wherein the positioning portion has a protrusion protruding inward in the width direction from each of the two bent portions. 前記突部の前記幅方向の内側端縁は、略円弧形状を有することを特徴とする、請求項３に記載の回路付サスペンション基板。 The suspension substrate with a circuit according to claim 3, wherein the inner edge of the protrusion in the width direction has a substantially arc shape. 前記複数の端子のそれぞれは、
前記長手方向に沿って延びる第１部分と、
前記第１部分と連続し、前記屈曲部の屈曲方向に延びる第２部分と、を備え、
前記複数の端子は、
前記幅方向において最も外側に位置する２つの第１端子と、
前記幅方向において前記２つの第１端子の間に配置される第２端子と、を含み、
前記第２端子の前記第２部分の長さは、前記第１端子の前記第２部分の長さよりも短いことを特徴とする、請求項１～４のいずれか一項に記載の回路付サスペンション基板。 Each of the plurality of terminals
The first portion extending along the longitudinal direction and
A second portion continuous with the first portion and extending in the bending direction of the bending portion is provided.
The plurality of terminals are
The two first terminals located on the outermost side in the width direction,
Includes a second terminal located between the two first terminals in the width direction.
The suspension with a circuit according to any one of claims 1 to 4, wherein the length of the second portion of the second terminal is shorter than the length of the second portion of the first terminal. substrate. 前記金属支持層は、前記厚み方向に投影したときに前記複数の端子の前記第１部分と重なる部分が切り欠かれていることを特徴とする、請求項５に記載の回路付サスペンション基板。 The suspension substrate with a circuit according to claim 5, wherein the metal support layer is cut out from a portion of the plurality of terminals that overlaps with the first portion when projected in the thickness direction. 前記複数の端子のそれぞれは、
前記長手方向に沿って延びる第１部分と、
前記第１部分と連続し、前記屈曲部の屈曲方向に延びる第２部分と、を備え、
前記複数の端子は、
前記幅方向において最も外側に位置する２つの第１端子と、
前記幅方向において前記２つの第１端子の間に配置される第２端子と、を含み、
前記第１端子の前記第２部分の面積は、前記第２端子の前記第２部分の面積よりも大きいことを特徴とする、請求項１～６のいずれか一項に記載の回路付サスペンション基板。 Each of the plurality of terminals
The first portion extending along the longitudinal direction and
A second portion continuous with the first portion and extending in the bending direction of the bending portion is provided.
The plurality of terminals are
The two first terminals located on the outermost side in the width direction,
Includes a second terminal located between the two first terminals in the width direction.
The suspension substrate with a circuit according to any one of claims 1 to 6, wherein the area of the second portion of the first terminal is larger than the area of the second portion of the second terminal. .. 前記第１端子の前記第２部分は、前記長手方向に投影したときに、前記金属支持層と重なることを特徴とする、請求項７に記載の回路付サスペンション基板。 The suspension substrate with a circuit according to claim 7, wherein the second portion of the first terminal overlaps with the metal support layer when projected in the longitudinal direction. 前記金属支持層は、
前記回路付サスペンション基板に前記電子部品が接続された状態において、前記厚み方向から見て前記電子部品と重なる開口部と、
前記開口部に対して前記幅方向の両側に位置するアウトリガーと、をさらに備えることを特徴とする、請求項１～８のいずれか一項に記載の回路付サスペンション基板。 The metal support layer is
In a state where the electronic component is connected to the suspension board with a circuit, an opening that overlaps with the electronic component when viewed from the thickness direction, and an opening.
The suspension substrate with a circuit according to any one of claims 1 to 8, further comprising outriggers located on both sides in the width direction with respect to the opening.
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