JP6995020B2 - Physical quantity detector - Google Patents

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Description

本開示は、物理量検出装置に関する。 The present disclosure relates to a physical quantity detection device.

従来から、流量センサによって空気流量を測定する空気流量測定装置に関する発明が知られている(下記特許文献1を参照)。特許文献1に記載された空気流量測定装置は、副流路と、流量センサと、回路部とを備えている(同文献、請求項1等を参照)。 Conventionally, an invention relating to an air flow rate measuring device for measuring an air flow rate with a flow rate sensor has been known (see Patent Document 1 below). The air flow rate measuring device described in Patent Document 1 includes a sub-flow path, a flow rate sensor, and a circuit unit (see the same document, claim 1 and the like).

副流路は、ダクトの内部を流れる空気の一部を取り込む。副副流路は、副流路を流れる空気の一部を取り込む。流量センサは、通電によって発熱する発熱抵抗体を有し、この発熱抵抗体により生じる温度分布を基に副副流路を流れる空気流量を測定する。回路部は、発熱抵抗体への通電電流を制御する働きを有する。この従来の空気流量測定装置は、回路部が副副流路に配設され、副副流路を流れる空気の流れに晒されていることを特徴としている。 The secondary flow path takes in a part of the air flowing inside the duct. The sub-sub-channel takes in a part of the air flowing through the sub-channel. The flow rate sensor has a heat generation resistor that generates heat when energized, and measures the air flow rate flowing through the sub-secondary flow path based on the temperature distribution generated by the heat generation resistor. The circuit unit has a function of controlling the energizing current to the heat generation resistor. This conventional air flow rate measuring device is characterized in that a circuit portion is arranged in a sub-sub-channel and is exposed to the flow of air flowing through the sub-sub-channel.

上記の構成によれば、センサボディの内部に回路部を配設するための専用のスペースを設ける必要がないので、センサボディの体格が大型化することはない。また、センサボディの内部に副副流路を形成するためのスペースが減少することもない。その結果、副副流路の流路損失が増大することもなく、副副流路を流れる空気流量を精度良く測定できる。さらに、副副流路に回路部を配設することにより、副副流路を流れる空気によって回路部を冷却できるため、回路部に対する放熱性が向上する(同文献、第0007段落等を参照)。 According to the above configuration, since it is not necessary to provide a dedicated space for arranging the circuit portion inside the sensor body, the physique of the sensor body does not increase in size. Further, the space for forming the sub-secondary flow path inside the sensor body is not reduced. As a result, the air flow rate flowing through the sub-secondary flow path can be accurately measured without increasing the flow path loss of the sub-secondary flow path. Further, by arranging the circuit unit in the sub-sub-channel, the circuit unit can be cooled by the air flowing through the sub-sub-channel, so that the heat dissipation to the circuit unit is improved (see the same document, paragraph 0007, etc.). ..

特許第4968267号公報Japanese Patent No. 4968267

上記従来の空気流量測定装置は、ダクトの内部を流れる空気の一部が副流路に取り込まれ、副流路を流れる空気の一部が副副流路に取り込まれ、副副流路を流れる空気流量が流量センサによって測定される。しかしながら、副副流路は、センサボディの内部を上下方向、すなわちダクトの内部の空気の流れ方向に直交する方向に延びている(同文献、図1および第0013段落等を参照)。 In the above-mentioned conventional air flow rate measuring device, a part of the air flowing inside the duct is taken into the sub-channel, and a part of the air flowing through the sub-channel is taken into the sub-sub-channel and flows through the sub-sub-channel. The air flow rate is measured by a flow sensor. However, the sub-secondary flow path extends vertically inside the sensor body, that is, in a direction orthogonal to the air flow direction inside the duct (see the same document, FIG. 1 and paragraph 0013, etc.).

そのため、副流路から分岐した副副流路の壁面であって副流路の下流側に位置する壁面に対して副流路を流れる空気が強く押し付けられ、副副流路に流入する空気の流速が増加することで、副副流路へ流入する塵埃が増加するおそれがある。副流路から副副流路へ流入する塵埃が増加すると、回路部や流量センサに対する塵埃の堆積が短期間に進行し、流量センサの測定精度が短期間で低下するおそれがある。 Therefore, the air flowing through the sub-channel is strongly pressed against the wall surface of the sub-subchannel that is branched from the sub-channel and is located on the downstream side of the sub-channel, and the air flowing into the sub-subchannel is pressed. As the flow velocity increases, the amount of dust flowing into the sub-secondary flow path may increase. If the amount of dust flowing from the sub-channel to the sub-subchannel increases, the accumulation of dust on the circuit unit and the flow rate sensor may proceed in a short period of time, and the measurement accuracy of the flow rate sensor may decrease in a short period of time.

本開示は、第1副通路から分岐した第2副通路に流入する塵埃を減少させ、耐汚損性を向上させることが可能な物理量検出装置を提供する。 The present disclosure provides a physical quantity detecting device capable of reducing dust flowing into a second sub-passage branching from a first sub-passage and improving stain resistance.

本開示の一態様は、主通路を流れる気体の物理量を検出する物理量検出装置であって、前記物理量を検出するセンサと、該センサを収容するハウジングと、を備え、前記ハウジングは、前記主通路に固定されるフランジと、前記フランジから前記主通路の中心方向へ延びる計測部と、を有し、前記計測部は、前記フランジと反対側の先端部に設けられ前記主通路の中心軸に沿って延びる第1副通路と、該第1副通路から前記フランジへ向けて分岐して前記センサが配置された第2副通路と、前記先端部の先端に設けられた整流面と、を有し、前記整流面は、前記主通路の上流側から下流側へ向けて前記フランジに近づくように設けられた上流整流面と、該上流整流面よりも前記主通路の下流側に設けられ前記主通路の中心軸に沿って延びる下流整流面と、を有することを特徴とする物理量検出装置である。 One aspect of the present disclosure is a physical quantity detecting device for detecting a physical quantity of a gas flowing through a main passage, comprising a sensor for detecting the physical quantity and a housing for accommodating the sensor, and the housing comprises the main passage. It has a flange fixed to and a measuring unit extending from the flange toward the center of the main passage, and the measuring unit is provided at a tip portion opposite to the flange and is provided along the central axis of the main passage. It has a first sub-passage extending from the first sub-passage, a second sub-passage branching from the first sub-passage toward the flange and arranging the sensor, and a rectifying surface provided at the tip of the tip portion. The rectifying surface is provided on the upstream rectifying surface provided so as to approach the flange from the upstream side to the downstream side of the main passage, and on the downstream side of the main passage with respect to the upstream rectifying surface. It is a physical quantity detecting device characterized by having a downstream rectifying surface extending along the central axis of the housing.

上記一態様によれば、第1副通路から分岐した第2副通路に流入する塵埃を減少させ、耐汚損性を向上させることが可能な物理量検出装置を提供することができる。 According to the above aspect, it is possible to provide a physical quantity detecting device capable of reducing the dust flowing into the second sub-passage branching from the first sub-passage and improving the stain resistance.

物理量検出装置を使用した内燃機関制御システムのシステム図。A system diagram of an internal combustion engine control system using a physical quantity detection device. 図1に示す物理量検出装置の正面図。The front view of the physical quantity detection apparatus shown in FIG. 図2に示す物理量検出装置のカバーを取り外した状態を示す正面図。The front view which shows the state which removed the cover of the physical quantity detection apparatus shown in FIG. 図3に示す物理量検出装置の計測部の先端部を拡大した拡大図。An enlarged view of the tip of the measurement unit of the physical quantity detection device shown in FIG. 3. 図4に示す物理量検出装置の変形例を示す拡大図。The enlarged view which shows the modification of the physical quantity detection apparatus shown in FIG. 図4に示す物理量検出装置の変形例を示す拡大図。The enlarged view which shows the modification of the physical quantity detection apparatus shown in FIG. 図4に示す物理量検出装置の変形例を示す拡大図。The enlarged view which shows the modification of the physical quantity detection apparatus shown in FIG.

以下、図面を参照して本開示に係る物理量検出装置の実施形態を説明する。 Hereinafter, embodiments of the physical quantity detection device according to the present disclosure will be described with reference to the drawings.

図1は、本開示の一実施形態に係る物理量検出装置20を使用した電子燃料噴射方式の内燃機関制御システム1のシステム図である。エンジンシリンダ11とエンジンピストン12を備える内燃機関10の動作に基づき、吸入空気が被計測気体2としてエアクリーナ21から吸入され、たとえば主通路22である吸気ボディと、スロットルボディ23と、吸気マニホールド24を介してエンジンシリンダ11の燃焼室に導かれる。燃焼室に導かれる吸入空気である被計測気体2の物理量は、物理量検出装置20で検出され、その検出された物理量に基づいて燃料噴射弁14より燃料が供給され、被計測気体2と共に混合気の状態で燃焼室に導かれる。なお、本実施形態では、燃料噴射弁14は内燃機関の吸気ポートに設けられ、吸気ポートに噴射された燃料が被計測気体2とともに混合気を成形し、吸気弁15を介して燃焼室に導かれ、燃焼して機械エネルギを発生する。 FIG. 1 is a system diagram of an electronic fuel injection type internal combustion engine control system 1 using the physical quantity detection device 20 according to the embodiment of the present disclosure. Based on the operation of the internal combustion engine 10 including the engine cylinder 11 and the engine piston 12, the intake air is sucked from the air cleaner 21 as the measured gas 2, for example, the intake body which is the main passage 22, the throttle body 23, and the intake manifold 24. It is guided to the combustion chamber of the engine cylinder 11 via the engine. The physical amount of the measured gas 2 which is the intake air guided to the combustion chamber is detected by the physical amount detecting device 20, fuel is supplied from the fuel injection valve 14 based on the detected physical amount, and the air-fuel mixture is supplied together with the measured gas 2. It is guided to the combustion chamber in the state of. In the present embodiment, the fuel injection valve 14 is provided in the intake port of the internal combustion engine, and the fuel injected into the intake port forms an air-fuel mixture together with the gas to be measured 2 and is guided to the combustion chamber via the intake valve 15. It burns and generates mechanical energy.

燃焼室に導かれた燃料および空気は、燃料と空気の混合状態を成しており、点火プラグ13の火花着火により、爆発的に燃焼し、機械エネルギを発生する。燃焼後の気体は排気弁16から排気管に導かれ、排気ガス3として排気管から車外に排出される。前記燃焼室に導かれる吸入空気である被計測気体2の流量は、アクセルペダルの操作に基づいてその開度が変化するスロットルバルブ25により制御される。前記燃焼室に導かれる吸入空気の流量に基づいて燃料供給量が制御され、運転者はスロットルバルブ25の開度を制御して前記燃焼室に導かれる吸入空気の流量を制御することにより、内燃機関が発生する機械エネルギを制御することができる。 The fuel and air guided to the combustion chamber are in a mixed state of fuel and air, and are explosively burned by the spark ignition of the spark plug 13 to generate mechanical energy. The gas after combustion is guided to the exhaust pipe from the exhaust valve 16 and is discharged to the outside of the vehicle from the exhaust pipe as exhaust gas 3. The flow rate of the gas to be measured 2 which is the intake air guided to the combustion chamber is controlled by the throttle valve 25 whose opening degree changes based on the operation of the accelerator pedal. The fuel supply amount is controlled based on the flow rate of the intake air guided to the combustion chamber, and the driver controls the opening degree of the throttle valve 25 to control the flow rate of the intake air guided to the combustion chamber, thereby internal combustion. The mechanical energy generated by the engine can be controlled.

エアクリーナ21を介して取り込まれて主通路22を流れる吸入空気である被計測気体2の流量、温度、湿度、圧力などの物理量が物理量検出装置20により検出され、物理量検出装置20から吸入空気の物理量を表す電気信号が制御装置4に入力される。また、スロットルバルブ25の開度を計測するスロットル角度センサ26の出力が制御装置4に入力され、さらに内燃機関のエンジンピストン12や吸気弁15や排気弁16の位置や状態、さらに内燃機関の回転速度を計測するために、回転角度センサ17の出力が、制御装置4に入力される。排気ガス3の状態から燃料量と空気量との混合比の状態を計測するために、酸素センサ28の出力が制御装置4に入力される。 The physical quantity such as the flow rate, temperature, humidity, and pressure of the gas to be measured 2 which is the intake air taken in through the air cleaner 21 and flows through the main passage 22 is detected by the physical quantity detection device 20, and the physical quantity of the intake air is detected by the physical quantity detection device 20. An electric signal representing the above is input to the control device 4. Further, the output of the throttle angle sensor 26 that measures the opening degree of the throttle valve 25 is input to the control device 4, the position and state of the engine piston 12 of the internal combustion engine, the intake valve 15 and the exhaust valve 16, and the rotation of the internal combustion engine. In order to measure the speed, the output of the rotation angle sensor 17 is input to the control device 4. The output of the oxygen sensor 28 is input to the control device 4 in order to measure the state of the mixing ratio of the fuel amount and the air amount from the state of the exhaust gas 3.

制御装置4は、物理量検出装置20の出力である吸入空気の物理量と、回転角度センサ17の出力に基づき計測された内燃機関の回転速度とに基づいて、燃料噴射量や点火時期を演算する。これらの演算結果に基づいて、燃料噴射弁14から供給される燃料量、また点火プラグ13により点火される点火時期が制御される。燃料供給量や点火時期は、実際にはさらに物理量検出装置20で検出される温度やスロットル角度の変化状態、エンジン回転速度の変化状態、酸素センサ28で計測された空燃比の状態に基づいて、きめ細かく制御されている。制御装置4は、さらに内燃機関のアイドル運転状態において、スロットルバルブ25をバイパスする空気量をアイドルエアコントロールバルブ27により制御し、アイドル運転状態での内燃機関の回転速度を制御する。 The control device 4 calculates the fuel injection amount and the ignition timing based on the physical quantity of the intake air which is the output of the physical quantity detection device 20 and the rotation speed of the internal combustion engine measured based on the output of the rotation angle sensor 17. Based on these calculation results, the amount of fuel supplied from the fuel injection valve 14 and the ignition timing ignited by the spark plug 13 are controlled. The fuel supply amount and ignition timing are actually based on the state of change in temperature and throttle angle detected by the physical quantity detection device 20, the state of change in engine rotation speed, and the state of air-fuel ratio measured by the oxygen sensor 28. It is finely controlled. Further, the control device 4 controls the amount of air bypassing the throttle valve 25 by the idle air control valve 27 in the idle operation state of the internal combustion engine, and controls the rotation speed of the internal combustion engine in the idle operation state.

内燃機関の主要な制御量である燃料供給量や点火時期はいずれも物理量検出装置20の出力を主パラメータとして演算される。したがって、物理量検出装置20の検出精度の向上や、経時変化の抑制、信頼性の向上が、車両の制御精度の向上や信頼性の確保に関して重要である。特に近年、車両の省燃費に関する要望が非常に高く、また排気ガス浄化に関する要望が非常に高い。これらの要望に応えるには、物理量検出装置20により検出される被計測気体2である吸入空気の物理量の検出精度の向上が極めて重要である。また、物理量検出装置20が高い信頼性を維持していることも大切である。 The fuel supply amount and ignition timing, which are the main control amounts of the internal combustion engine, are both calculated using the output of the physical quantity detection device 20 as the main parameter. Therefore, it is important to improve the detection accuracy of the physical quantity detecting device 20, suppress the change with time, and improve the reliability in order to improve the control accuracy and the reliability of the vehicle. Especially in recent years, there has been a very high demand for fuel efficiency of vehicles, and a very high demand for exhaust gas purification. In order to meet these demands, it is extremely important to improve the detection accuracy of the physical quantity of the intake air, which is the gas to be measured 2 detected by the physical quantity detection device 20. It is also important that the physical quantity detection device 20 maintains high reliability.

物理量検出装置20が搭載される車両は、温度や湿度の変化が大きい環境で使用される。物理量検出装置20は、その使用環境における温度や湿度の変化への対応や、塵埃や汚染物質などへの対応も、考慮されていることが望ましい。また、物理量検出装置20は、内燃機関からの発熱の影響を受ける吸気管に装着される。このため、内燃機関の発熱が主通路22である吸気管を介して物理量検出装置20に伝わる。物理量検出装置20は、被計測気体と熱伝達を行うことにより被計測気体の流量を検出するので、外部からの熱の影響をできるだけ抑制することが重要である。 The vehicle equipped with the physical quantity detection device 20 is used in an environment where changes in temperature and humidity are large. It is desirable that the physical quantity detection device 20 also considers the response to changes in temperature and humidity in the usage environment and the response to dust and pollutants. Further, the physical quantity detection device 20 is attached to an intake pipe affected by heat generated from the internal combustion engine. Therefore, the heat generated by the internal combustion engine is transmitted to the physical quantity detection device 20 via the intake pipe which is the main passage 22. Since the physical quantity detection device 20 detects the flow rate of the gas to be measured by conducting heat transfer with the gas to be measured, it is important to suppress the influence of heat from the outside as much as possible.

車両に搭載される物理量検出装置20は、以下で説明するように、単に発明が解決しようとする課題の欄に記載された課題を解決し、発明の効果の欄に記載された効果を奏するのみでなく、以下で説明するように、上述した色々な課題を十分に考慮し、製品として求められている色々な課題を解決し、色々な効果を奏している。物理量検出装置20が解決する具体的な課題や奏する具体的な効果は、以下の実施形態に関する記載の中で説明する。 As described below, the physical quantity detecting device 20 mounted on the vehicle simply solves the problem described in the problem column to be solved by the invention and exerts the effect described in the effect column of the invention. Instead, as explained below, the various problems described above are fully considered, the various problems required for the product are solved, and various effects are achieved. Specific problems to be solved by the physical quantity detection device 20 and specific effects to be achieved will be described in the description of the following embodiments.

図2は、図1に示す物理量検出装置20の正面図である。物理量検出装置20は、主通路22の通路壁に設けられた取り付け孔から主通路22の内部に挿入されて利用される。物理量検出装置20は、ハウジング201と、ハウジング201に取り付けられるカバー202とを備えている。ハウジング201は、合成樹脂製材料を射出成形することによって構成されており、カバー202は、たとえばアルミニウム合金などの導電性材料からなる板状部材によって構成されている。カバー202は、薄い板状に形成されて、広い平坦な冷却面を有している。 FIG. 2 is a front view of the physical quantity detection device 20 shown in FIG. The physical quantity detection device 20 is inserted into the main passage 22 through an attachment hole provided in the passage wall of the main passage 22 and used. The physical quantity detection device 20 includes a housing 201 and a cover 202 attached to the housing 201. The housing 201 is formed by injection molding a synthetic resin material, and the cover 202 is made of a plate-shaped member made of a conductive material such as an aluminum alloy. The cover 202 is formed in the shape of a thin plate and has a wide flat cooling surface.

ハウジング201は、主通路22である吸気ボディに固定されるフランジ211と、フランジ211から突出して外部機器との電気的な接続を行うために吸気ボディから外部に露出するコネクタ212と、フランジ211から主通路22の中心に向かって突出するように延びる計測部213を有している。 The housing 201 is provided with a flange 211 fixed to the intake body, which is the main passage 22, a connector 212 protruding from the flange 211 and exposed to the outside from the intake body for electrical connection with an external device, and the flange 211. It has a measuring unit 213 extending so as to project toward the center of the main passage 22.

フランジ211は、たとえば、所定の板厚からなる平面視略矩形状を有しており、角部に貫通孔を有している。フランジ211は、たとえば、角部の貫通孔に固定ネジが挿通されて主通路22のネジ穴に螺入されることにより、主通路22に固定される。 The flange 211 has, for example, a substantially rectangular shape in a plan view having a predetermined plate thickness, and has a through hole at a corner portion. The flange 211 is fixed to the main passage 22 by, for example, a fixing screw being inserted into a through hole at a corner and screwed into a screw hole of the main passage 22.

コネクタ212は、たとえば、その内部に4本の外部端子と、補正用端子とが設けられている。外部端子は、物理量検出装置20の計測結果である流量や温度などの物理量を出力するための端子および物理量検出装置20が動作するための直流電力を供給するための電源端子である。補正用端子は、生産された物理量検出装置20の計測を行い、それぞれの物理量検出装置20に関する補正値を求めて、物理量検出装置20内部のメモリに補正値を記憶するのに使用する端子である。 The connector 212 is provided with, for example, four external terminals and a correction terminal inside the connector 212. The external terminals are terminals for outputting physical quantities such as flow rate and temperature, which are measurement results of the physical quantity detection device 20, and power supply terminals for supplying DC power for operating the physical quantity detection device 20. The correction terminal is a terminal used to measure the produced physical quantity detection device 20, obtain a correction value for each physical quantity detection device 20, and store the correction value in the memory inside the physical quantity detection device 20. ..

計測部213は、フランジ211から主通路22の中心方向に向かって延びる薄くて長い形状を成し、幅広な正面221と背面、および幅狭な一対の側面である上流端面223と下流端面224を有している。計測部213は、たとえば、主通路22に設けられた取り付け孔から内部に挿入され、フランジ211を主通路22に当接させてねじで主通路22に固定することで、フランジ211を介して主通路22に固定される。 The measuring unit 213 has a thin and long shape extending from the flange 211 toward the center of the main passage 22, and has a wide front surface 221 and a back surface, and a pair of narrow side surfaces, an upstream end surface 223 and a downstream end surface 224. Have. The measuring unit 213 is inserted into the inside through a mounting hole provided in the main passage 22, for example, and the flange 211 is brought into contact with the main passage 22 and fixed to the main passage 22 with a screw, whereby the measuring unit 213 is mainly inserted through the flange 211. It is fixed to the passage 22.

計測部213は、物理量検出装置20を主通路22に取り付けた状態で、主通路22の内壁から主通路22の中心軸22aに向かって突出している。そして、正面221と背面が主通路22の中心軸22aに沿って平行に配置され、計測部213の幅狭な上流端面223と下流端面224のうち計測部213の短手方向一方側の上流端面223が主通路22の上流側を向くように配置され、計測部213の短手方向他方側の下流端面224が主通路22の下流側を向くように配置される。 The measuring unit 213 projects from the inner wall of the main passage 22 toward the central axis 22a of the main passage 22 in a state where the physical quantity detection device 20 is attached to the main passage 22. The front surface 221 and the back surface are arranged in parallel along the central axis 22a of the main passage 22, and the upstream end surface of the measurement unit 213 on one side in the lateral direction of the narrow upstream end surface 223 and the downstream end surface 224 of the measurement unit 213. The 223 is arranged so as to face the upstream side of the main passage 22, and the downstream end surface 224 on the other side in the lateral direction of the measuring unit 213 is arranged so as to face the downstream side of the main passage 22.

計測部213の正面221は、短手方向に沿って上流端面223から下流端面224まで平坦である。一方、計測部213の背面は、下流端面224側の角部が面取りされており、かつ、短手方向中間位置から下流端面224まで移行するにしたがって正面に漸次接近する方向に傾斜している。これにより、計測部213の断面形状は、いわゆる流線型になっている。したがって、主通路22の上流から流れてきた被計測気体2を計測部213の正面221および背面に沿って円滑に下流に導くことができ、被計測気体2に対する計測部213の流体抵抗を小さくすることができる。 The front surface 221 of the measuring unit 213 is flat from the upstream end surface 223 to the downstream end surface 224 along the lateral direction. On the other hand, the back surface of the measuring unit 213 is chamfered at the corner portion on the downstream end surface 224 side, and is inclined in a direction gradually approaching the front surface as it shifts from the intermediate position in the lateral direction to the downstream end surface 224. As a result, the cross-sectional shape of the measuring unit 213 is so-called streamlined. Therefore, the gas to be measured 2 flowing from the upstream of the main passage 22 can be smoothly guided downstream along the front surface 221 and the back surface of the measurement unit 213, and the fluid resistance of the measurement unit 213 to the gas to be measured 2 is reduced. be able to.

計測部213は、突出方向の端部が段差状に形成されており、物理量検出装置20を主通路22に取り付けた状態で、主通路22の上流側の下面226と、主通路22の下流側の整流面227とを有している。計測部213は、上流側の下面226よりも下流側の整流面227の方が突出方向に突出し、上流側の下面226と下流側の整流面227との間を結ぶ段差面である上流端面228が主通路22の上流側を向くように配置される。 The measuring unit 213 has a stepped end in the protruding direction, and with the physical quantity detection device 20 attached to the main passage 22, the lower surface 226 on the upstream side of the main passage 22 and the downstream side of the main passage 22. It has a rectifying surface 227 of the above. In the measuring unit 213, the rectifying surface 227 on the downstream side protrudes in the protruding direction from the lower surface 226 on the upstream side, and the upstream end surface 228 is a stepped surface connecting the lower surface 226 on the upstream side and the rectifying surface 227 on the downstream side. Is arranged so as to face the upstream side of the main passage 22.

詳細については後述するが、本実施形態の物理量検出装置20は、次の構成を最大の特徴としている。計測部213は、先端部213aの先端に設けられた整流面227を有している。整流面227は、上流整流面227aと、下流整流面227bと、を有している。上流整流面227aは、主通路22の上流側から下流側へ向けてフランジ211に近づくように設けられている。下流整流面227bは、上流整流面227aよりも主通路22の下流側に設けられ、主通路22の中心軸22aに沿って延びる。 Although the details will be described later, the physical quantity detection device 20 of the present embodiment has the following configuration as the greatest feature. The measuring unit 213 has a rectifying surface 227 provided at the tip of the tip portion 213a. The rectifying surface 227 has an upstream rectifying surface 227a and a downstream rectifying surface 227b. The upstream straightening surface 227a is provided so as to approach the flange 211 from the upstream side to the downstream side of the main passage 22. The downstream rectifying surface 227b is provided on the downstream side of the main passage 22 with respect to the upstream rectifying surface 227a, and extends along the central axis 22a of the main passage 22.

また、計測部213は、フランジ211と反対側で上流側の下面226よりも突出した先端部213aの上流端面228に、吸入空気などの被計測気体2の一部を計測部213内の副通路に取り込むための入口231が開口して設けられている。そして、計測部213の先端部213aの下流端面224には、計測部213内の副通路に取り込んだ被計測気体2を主通路22に戻すための第1出口232および第2出口233が開口して設けられている。 Further, the measuring unit 213 places a part of the gas to be measured 2 such as intake air in the auxiliary passage in the measuring unit 213 on the upstream end surface 228 of the tip portion 213a which is opposite to the flange 211 and protrudes from the lower surface 226 on the upstream side. The entrance 231 for taking in the air is provided as an opening. Then, at the downstream end surface 224 of the tip portion 213a of the measuring unit 213, a first outlet 232 and a second outlet 233 for returning the gas to be measured 2 taken into the sub-passage in the measuring unit 213 to the main passage 22 are opened. It is provided.

つまり、計測部213は、主通路22における被計測気体2の流れ方向の上流側に向けて配置される第1壁部としての上流端面223を有する。また、計測部213は、第1壁部としての上流端面223よりも主通路22における被計測気体2の流れ方向の下流側の位置において被計測気体2の流れ方向の上流側に向けて配置される第2壁部として先端部213aの上流端面228を有する。この先端部213aの段差面である上流端面228に、副通路の入口231が開口している。 That is, the measurement unit 213 has an upstream end surface 223 as a first wall portion arranged toward the upstream side in the flow direction of the gas to be measured 2 in the main passage 22. Further, the measuring unit 213 is arranged toward the upstream side in the flow direction of the measured gas 2 at a position downstream of the upstream end surface 223 as the first wall portion in the main passage 22 in the flow direction of the measured gas 2. The second wall portion has an upstream end surface 228 of the tip portion 213a. The entrance 231 of the sub-passage is opened in the upstream end surface 228, which is the stepped surface of the tip portion 213a.

物理量検出装置20は、副通路の入口231が、フランジ211から主通路22の中心方向に向かって延びる計測部213の先端部213aに設けられているので、主通路22の内壁面近傍ではなく、内壁面から離れた中央部に近い部分の気体を副通路に取り込むことができる。このため、物理量検出装置20は、主通路22の内壁面から離れた部分の気体の流量を測定することができ、熱などの影響による計測精度の低下を抑制できる。 In the physical quantity detecting device 20, since the inlet 231 of the sub-passage is provided at the tip portion 213a of the measuring unit 213 extending from the flange 211 toward the center of the main passage 22, the physical quantity detecting device 20 is not near the inner wall surface of the main passage 22. The gas in the part near the central part away from the inner wall surface can be taken into the sub-passage. Therefore, the physical quantity detection device 20 can measure the flow rate of the gas in the portion away from the inner wall surface of the main passage 22, and can suppress the deterioration of the measurement accuracy due to the influence of heat or the like.

主通路22の内壁面近傍では、主通路22の温度の影響を受け易く、気体の本来の温度に対して被計測気体2の温度が異なる状態となり、主通路22内の主気体の平均的な状態と異なることになる。特に主通路22がエンジンの吸気ボディである場合は、エンジンからの熱の影響を受け、高温に維持されていることが多い。このため主通路22の内壁面近傍の気体は、主通路22の本来の気温に対して高いことが多く、計測精度を低下させる要因となる。また、主通路22の内壁面近傍では流体抵抗が大きく、主通路22の平均的な流速に比べ、流速が低くなる。このため、主通路22の内壁面近傍の気体を被計測気体2として副通路に取り込むと、主通路22の平均的な流速に対する流速の低下が計測誤差につながるおそれがある。 In the vicinity of the inner wall surface of the main passage 22, the temperature of the main passage 22 is easily affected, and the temperature of the gas to be measured 2 is different from the original temperature of the gas. It will be different from the state. In particular, when the main passage 22 is the intake body of the engine, it is often maintained at a high temperature due to the influence of heat from the engine. Therefore, the gas in the vicinity of the inner wall surface of the main passage 22 is often higher than the original temperature of the main passage 22, which causes a decrease in measurement accuracy. Further, the fluid resistance is large in the vicinity of the inner wall surface of the main passage 22, and the flow velocity is lower than the average flow velocity of the main passage 22. Therefore, if the gas near the inner wall surface of the main passage 22 is taken into the sub-passage as the gas to be measured 2, a decrease in the flow velocity with respect to the average flow velocity of the main passage 22 may lead to a measurement error.

物理量検出装置20は、フランジ211から主通路22の中央に向かって延びる薄くて長い計測部213の先端部213aに入口231が設けられているので、主通路22の内壁面近傍の流速低下に関係する計測誤差を低減できる。また、物理量検出装置20は、フランジ211から主通路22の中央に向かって延びる計測部213の先端部213aに入口231が設けられているだけでなく、副通路の第1出口232および第2出口233も計測部213の先端部213aに設けられているので、さらに計測誤差を低減することができる。 Since the physical quantity detection device 20 is provided with the inlet 231 at the tip portion 213a of the thin and long measuring unit 213 extending from the flange 211 toward the center of the main passage 22, it is related to the decrease in the flow velocity near the inner wall surface of the main passage 22. The measurement error to be performed can be reduced. Further, in the physical quantity detecting device 20, not only the inlet 231 is provided at the tip portion 213a of the measuring unit 213 extending from the flange 211 toward the center of the main passage 22, but also the first outlet 232 and the second exit of the sub passage are provided. Since the 233 is also provided at the tip portion 213a of the measurement unit 213, the measurement error can be further reduced.

物理量検出装置20は、計測部213が主通路22の外壁から中央に向かう軸に沿って長く伸びる形状を成しているが、上流端面223および下流端面224の幅は、正面221の幅よりも狭く、計測部213が板状の形状を成している。これにより、物理量検出装置20は、被計測気体2に対しては流体抵抗を小さい値に抑えることができる。 The physical quantity detecting device 20 has a shape in which the measuring unit 213 extends long along the axis from the outer wall of the main passage 22 toward the center, but the width of the upstream end surface 223 and the downstream end surface 224 is larger than the width of the front surface 221. It is narrow and the measuring unit 213 has a plate-like shape. As a result, the physical quantity detection device 20 can suppress the fluid resistance to a small value with respect to the gas to be measured 2.

図3は、図2に示す物理量検出装置20のカバー202を取り外した状態を示す正面図である。なお、図3では、回路基板207を封止する封止材の図示を省略している。 FIG. 3 is a front view showing a state in which the cover 202 of the physical quantity detection device 20 shown in FIG. 2 is removed. Note that FIG. 3 omits the illustration of the sealing material that seals the circuit board 207.

計測部213には、副通路234を形成するための副通路溝250と、回路基板207を収容するための回路室235が設けられている。回路室235と副通路溝250は、計測部213の正面に凹設されており、計測部213の短手方向一方側と他方側に分かれて配置されている。回路室235は、主通路22における被計測気体2の流れ方向の上流側の位置に配置され、副通路234は、回路室235よりも主通路22における被計測気体2の流れ方向の下流側の位置に配置される。なお、主通路22における被計測気体2の流れ方向において、回路室235の上流側の壁部の上流側の面を、計測部213の上流端面223とすることで省スペース化が可能となる。 The measurement unit 213 is provided with a sub-passage groove 250 for forming the sub-passage 234 and a circuit chamber 235 for accommodating the circuit board 207. The circuit chamber 235 and the sub-passage groove 250 are recessed in the front surface of the measuring unit 213, and are arranged separately on one side and the other side in the lateral direction of the measuring unit 213. The circuit chamber 235 is arranged at a position upstream of the flow direction of the measured gas 2 in the main passage 22, and the sub-passage 234 is located downstream of the circuit chamber 235 in the flow direction of the measured gas 2 in the main passage 22. Placed in position. In the flow direction of the gas to be measured 2 in the main passage 22, the surface on the upstream side of the wall portion on the upstream side of the circuit chamber 235 is set to the upstream end surface 223 of the measurement unit 213, so that space can be saved.

副通路溝250は、カバー202との協働により副通路234を形成する。副通路234は、計測部213の突出方向である計測部213の長手方向に沿って延在して設けられている。副通路234を形成する副通路溝250は、第1副通路溝251と、第1副通路溝251の途中で分岐する第2副通路溝252とを有している。 The sub-passage groove 250 forms the sub-passage 234 in cooperation with the cover 202. The sub-passage 234 is provided so as to extend along the longitudinal direction of the measuring unit 213, which is the protruding direction of the measuring unit 213. The sub-passage groove 250 forming the sub-passage 234 has a first sub-passage groove 251 and a second sub-passage groove 252 that branches in the middle of the first sub-passage groove 251.

第1副通路溝251は、計測部213の先端部213aの上流端面228に開口する入口231と、計測部213の先端部213aの下流端面224に開口する第1出口232との間に亘って、計測部213の短手方向に沿って延在するように形成されている。入口231は、主通路22における被計測気体2の流れ方向の上流側を向くように開口されている。第1副通路溝251は、カバー202との間に、入口231から主通路22の中心軸22aに沿って延びて第1出口232に至る第1副通路234aを形成する。 The first sub-passage groove 251 extends between the inlet 231 that opens at the upstream end surface 228 of the tip portion 213a of the measuring unit 213 and the first outlet 232 that opens at the downstream end surface 224 of the tip portion 213a of the measuring unit 213. , Is formed so as to extend along the lateral direction of the measuring unit 213. The inlet 231 is opened so as to face the upstream side in the flow direction of the gas to be measured 2 in the main passage 22. The first sub-passage groove 251 forms a first sub-passage 234a extending from the inlet 231 along the central axis 22a of the main passage 22 to the first exit 232 with the cover 202.

第1副通路234aは、主通路22内を流れる被計測気体2を入口231から取り込み、その取り込んだ被計測気体2を第1出口232から主通路22に戻す。第1副通路234aは、入口231から主通路22内における被計測気体2の流れ方向に沿って延在し、第1出口232に接続されている。 The first sub-passage 234a takes in the measured gas 2 flowing in the main passage 22 from the inlet 231 and returns the taken-in measured gas 2 to the main passage 22 from the first outlet 232. The first sub-passage 234a extends from the inlet 231 along the flow direction of the gas to be measured 2 in the main passage 22, and is connected to the first outlet 232.

第2副通路溝252は、第1副通路溝251の途中位置で計測部213の基端部すなわちフランジ211へ向けて分岐して、計測部213の長手方向すなわち主通路22の中心軸22aに交差する方向、たとえば中心軸22aにおおむね直交する方向に延びている。さらに、第2副通路溝252は、計測部213のフランジ211の近傍で先端部213aへ向けて、たとえばU字状または円弧状に湾曲して折り返し、計測部213の長手方向すなわち主通路22の中心軸22aに交差する方向、たとえば中心軸22aにおおむね直交する方向に延びている。 The second sub-passage groove 252 branches toward the base end portion of the measuring unit 213, that is, the flange 211 at an intermediate position of the first sub-passage groove 251 in the longitudinal direction of the measuring unit 213, that is, in the central axis 22a of the main passage 22. It extends in a direction that intersects, for example, in a direction that is approximately orthogonal to the central axis 22a. Further, the second sub-passage groove 252 bends back toward the tip portion 213a in the vicinity of the flange 211 of the measurement unit 213, for example, in a U-shape or an arc shape, and is folded back in the longitudinal direction of the measurement unit 213, that is, in the main passage 22. It extends in a direction intersecting the central axis 22a, for example, in a direction substantially orthogonal to the central axis 22a.

第2副通路溝252は、最終的に、計測部213の下流端面224へ向けて、たとえば円弧状に湾曲するように曲折し、第2出口233に接続されている。第2出口233は、主通路22における被計測気体2の流れ方向の下流側を向くように開口されている。第2出口233は、第1出口232とほぼ同等または若干大きい開口面積を有しており、第1出口232よりも計測部213の長手方向の基端部側に隣接した位置に形成されている。第2副通路溝252は、カバー202との間に、第1副通路234aからフランジ211へ向けて分岐して第2出口233に至る第2副通路234bを形成する。 The second sub-passage groove 252 is finally bent toward the downstream end surface 224 of the measuring unit 213 so as to be curved in an arc shape, for example, and is connected to the second outlet 233. The second outlet 233 is opened so as to face the downstream side in the flow direction of the gas to be measured 2 in the main passage 22. The second outlet 233 has an opening area substantially equal to or slightly larger than that of the first outlet 232, and is formed at a position adjacent to the proximal end side of the measuring unit 213 in the longitudinal direction of the first outlet 232. .. The second sub-passage groove 252 forms a second sub-passage 234b that branches from the first sub-passage 234a toward the flange 211 and reaches the second outlet 233 with the cover 202.

第2副通路234bは、第1副通路234aから分岐されて流れ込んだ被計測気体2を通過させて第2出口233から主通路22に戻す。第2副通路234bは、計測部213の長手方向に沿って往復する経路を有する。より詳細には、第2副通路234bは、たとえば、直線状の上流部と、円弧状の湾曲部と、直線状の下流部とを有している。 The second sub-passage 234b passes through the gas to be measured 2 branched from the first sub-passage 234a and flows back to the main passage 22 from the second outlet 233. The second sub-passage 234b has a reciprocating path along the longitudinal direction of the measuring unit 213. More specifically, the second sub-passage 234b has, for example, a linear upstream portion, an arc-shaped curved portion, and a linear downstream portion.

第2副通路234bの上流部は、第1副通路234aから分岐して計測部213のフランジ211へ向けてまっすぐに延びている。第2副通路234bの湾曲部は、フランジ211の近傍で上流部に接続され、計測部213の先端部213aへ向けて折り返すように円弧状またはU字状に湾曲している。第2副通路234bの下流部は、フランジ211の近傍で湾曲部に接続され、計測部213の先端部213aへ向けてまっすぐに延び、先端部213aにおいて下流端面224へ向けて湾曲して第2出口233に接続されている。 The upstream portion of the second sub-passage 234b branches from the first sub-passage 234a and extends straight toward the flange 211 of the measurement unit 213. The curved portion of the second sub-passage 234b is connected to the upstream portion in the vicinity of the flange 211, and is curved in an arc shape or a U shape so as to be folded back toward the tip portion 213a of the measurement unit 213. The downstream portion of the second sub-passage 234b is connected to the curved portion in the vicinity of the flange 211, extends straight toward the tip portion 213a of the measuring unit 213, and curves toward the downstream end surface 224 at the tip portion 213a to be the second. It is connected to exit 233.

第2副通路234bは、たとえば上流部に流量センサ205が配置されている。より詳細には、第2副通路234bの上流部において、流量センサ205は、第1副通路234aと湾曲部との間の中間部に配置されている。第2副通路234bは、上記のような湾曲形状を有することで、通路長さをより長く確保することができ、主通路内に脈動が生じた場合に、流量センサ205への影響を小さくすることができる。 In the second sub-passage 234b, for example, a flow rate sensor 205 is arranged in an upstream portion. More specifically, in the upstream portion of the second sub-passage 234b, the flow rate sensor 205 is arranged in the intermediate portion between the first sub-passage 234a and the curved portion. By having the curved shape as described above, the second sub-passage 234b can secure a longer passage length and reduce the influence on the flow rate sensor 205 when pulsation occurs in the main passage. be able to.

上記構成によれば、計測部213の突出方向である長手方向に沿って副通路234を形成することができ、副通路234の長さを十分に長く確保できる。これにより、物理量検出装置20は、十分な長さの副通路234を備えることができる。したがって、物理量検出装置20は、流体抵抗を小さい値に抑えられるとともに高い精度で被計測気体2の物理量を計測することが可能である。 According to the above configuration, the sub-passage 234 can be formed along the longitudinal direction which is the projecting direction of the measurement unit 213, and the length of the sub-passage 234 can be sufficiently long. As a result, the physical quantity detection device 20 can be provided with a sub-passage 234 having a sufficient length. Therefore, the physical quantity detection device 20 can suppress the fluid resistance to a small value and can measure the physical quantity of the gas to be measured 2 with high accuracy.

第1副通路234aは、入口231から計測部213の短手方向すなわち主通路22の中心軸22aに沿って延びて第1出口232に至るので、入口231から第1副通路234a内に侵入した塵埃などの異物をそのまま第1出口232から排出させることができる。これにより、異物が第2副通路234bに侵入するのを抑制し、第2副通路内234bに配置された流量センサ205に影響を与えるのを抑制することができる。 Since the first sub-passage 234a extends from the inlet 231 in the lateral direction of the measuring unit 213, that is, along the central axis 22a of the main passage 22 to reach the first exit 232, the first sub-passage 234a has entered the first sub-passage 234a from the inlet 231. Foreign matter such as dust can be discharged as it is from the first outlet 232. As a result, it is possible to suppress foreign matter from entering the second sub-passage 234b and to suppress the influence on the flow rate sensor 205 arranged in the second sub-passage 234b.

第1副通路234aの入口231と第1出口232は、入口231の方が第1出口232よりも大きな開口面積を有している。入口231の開口面積を第1出口232よりも大きくすることによって、第1副通路234aに流入した被計測気体2を、第1副通路234aの途中で分岐している第2副通路234bにも確実に導くことができる。 The inlet 231 and the first exit 232 of the first sub-passage 234a have a larger opening area at the inlet 231 than at the first outlet 232. By making the opening area of the inlet 231 larger than that of the first outlet 232, the gas to be measured 2 that has flowed into the first sub-passage 234a is also transferred to the second sub-passage 234b that is branched in the middle of the first sub-passage 234a. It can be surely guided.

第1副通路溝251の入口231の近傍には、計測部213の長手方向における入口231の中央位置に突起部253が設けられている。突起部253は、入口231の大きさを計測部213の長手方向に二等分し、二等分された入口231のそれぞれの開口面積を第1出口232および第2出口233の開口面積よりも小さくしている。突起部253は、入口231から第1副通路234aに侵入可能な異物の大きさを第1出口232および第2出口233よりも小さいものだけに規制し、異物によって第1出口232や第2出口233が塞がれるのを防ぐことができる。 In the vicinity of the inlet 231 of the first sub-passage groove 251, a protrusion 253 is provided at the center position of the inlet 231 in the longitudinal direction of the measuring unit 213. The protrusion 253 bisects the size of the inlet 231 in the longitudinal direction of the measuring unit 213, and the opening area of each of the bisected inlets 231 is larger than the opening areas of the first outlet 232 and the second outlet 233. I'm making it smaller. The protrusion 253 limits the size of foreign matter that can enter the first sub-passage 234a from the inlet 231 to those smaller than those smaller than the first outlet 232 and the second outlet 233, and the foreign matter causes the first outlet 232 and the second outlet. It is possible to prevent the 233 from being blocked.

回路基板207は、計測部213の短手方向一方側に設けられた回路室235に収容されている。回路基板207は、計測部213の長手方向に沿って延在する長方形の形状を有しており、その表面には、チップパッケージ208と、圧力センサ204と、温湿度センサ206と、吸気温度センサ203とが実装されている。回路基板207は、すべてのセンサに共通する搭載部を有しており、様々なセンサの実装パターンに対して共通して利用可能である。回路基板207の表面は、たとえば、主通路22を流れる被計測気体2にほぼ平行に配置される。これにより、計測部213の薄型化が可能になり、主通路22を流れる被計測気体2の圧力損失を低減することができる。 The circuit board 207 is housed in a circuit chamber 235 provided on one side of the measuring unit 213 in the lateral direction. The circuit board 207 has a rectangular shape extending along the longitudinal direction of the measuring unit 213, and has a chip package 208, a pressure sensor 204, a temperature / humidity sensor 206, and an intake temperature sensor on the surface thereof. 203 and is implemented. The circuit board 207 has a mounting portion common to all sensors, and can be commonly used for mounting patterns of various sensors. The surface of the circuit board 207 is arranged substantially parallel to the gas to be measured 2 flowing through the main passage 22, for example. This makes it possible to reduce the thickness of the measuring unit 213 and reduce the pressure loss of the gas to be measured 2 flowing through the main passage 22.

チップパッケージ208は、回路基板207に実装されている。チップパッケージ208には、流量センサ205と、流量センサ205を駆動する電子部品であるLSIとが実装され、トランスファーモールドにより封止されている。チップパッケージ208は、第2副通路234b内に流量センサ205が配置されるように、回路基板207の長手方向の中央位置で回路基板207から第2副通路234b内にチップパッケージ208の一部が突出した状態で実装されている。 The chip package 208 is mounted on the circuit board 207. A flow rate sensor 205 and an LSI, which is an electronic component for driving the flow rate sensor 205, are mounted on the chip package 208 and sealed by a transfer mold. The chip package 208 has a part of the chip package 208 from the circuit board 207 to the second sub-passage 234b at the center position in the longitudinal direction of the circuit board 207 so that the flow sensor 205 is arranged in the second sub-passage 234b. It is mounted in a protruding state.

チップパッケージ208は、副通路234と回路室235との間に亘って配置されている。これにより、回路室235と副通路234が分離され、チップパッケージ208に配置された流量センサ205への流れが副通路234の形状によって律速される。そのため、副通路234内に被計測気体2の流れを阻害する障壁物がない構成となり、被計測気体2の安定的な流れを流量センサ205へ供給することができる。したがって、流量センサの流速感度、ノイズ性能や脈動特性を維持しつつ、計測部213を小型化することが可能である。 The chip package 208 is arranged between the sub-passage 234 and the circuit chamber 235. As a result, the circuit chamber 235 and the sub-passage 234 are separated, and the flow to the flow rate sensor 205 arranged in the chip package 208 is rate-controlled by the shape of the sub-passage 234. Therefore, there is no barrier that obstructs the flow of the gas to be measured 2 in the sub-passage 234, and a stable flow of the gas to be measured 2 can be supplied to the flow rate sensor 205. Therefore, it is possible to reduce the size of the measurement unit 213 while maintaining the flow velocity sensitivity, noise performance, and pulsation characteristics of the flow rate sensor.

なお、流量センサ205は、必ずしもチップパッケージ208に設けられている必要はない。たとえば、回路基板207の一部を突出させて流量センサ205を副通路234に配置してもよく、回路基板207に実装された流量センサ205を板状の支持体によって副通路234に配置してもよい。 The flow rate sensor 205 does not necessarily have to be provided in the chip package 208. For example, the flow rate sensor 205 may be arranged in the sub-passage 234 by projecting a part of the circuit board 207, or the flow rate sensor 205 mounted on the circuit board 207 may be arranged in the sub-passage 234 by a plate-shaped support. May be good.

流量センサ205とLSIは同一半導体素子に一体に形成されていても、別の半導体素子として形成されていてもよい。流量センサ205は、表面の流量計測部が少なくとも露出するように樹脂によって封止されている。チップパッケージ208にLSIを設ける構造について説明したが、回路基板207にLSIを搭載する構造としてもよい。チップパッケージ208にLSIを設ける利点としては、回路基板207にLSIを搭載しなくてもよいことから、回路基板207の小型化に寄与する点である。 The flow rate sensor 205 and the LSI may be integrally formed on the same semiconductor element or may be formed as different semiconductor elements. The flow rate sensor 205 is sealed with a resin so that the flow rate measuring portion on the surface is at least exposed. Although the structure in which the LSI is provided in the chip package 208 has been described, the structure in which the LSI is mounted on the circuit board 207 may be used. The advantage of providing the LSI in the chip package 208 is that it is not necessary to mount the LSI on the circuit board 207, which contributes to the miniaturization of the circuit board 207.

チップパッケージ208は、第2副通路234bの上流部における被計測気体2の流れ方向に沿って延びる凹溝を有し、この凹溝の底部に流量センサ205を備えている。チップパッケージ208の凹溝は、第2副通路234bの上流部を流れる被計測気体2の流れ方向における両端部から中央部へ向けて徐々に幅が狭まる絞り形状を有し、最も幅が狭い中央部に流量センサ205が配置されている。この絞り形状により、副通路234を流れる被計測気体2が整流され、ノイズの影響を低減することができる。 The chip package 208 has a concave groove extending along the flow direction of the gas to be measured 2 in the upstream portion of the second sub-passage 234b, and the flow sensor 205 is provided at the bottom of the concave groove. The concave groove of the chip package 208 has a narrowed shape in which the width gradually narrows from both ends to the center in the flow direction of the gas to be measured 2 flowing upstream of the second sub-passage 234b, and the narrowest center. A flow rate sensor 205 is arranged in the section. Due to this throttle shape, the gas to be measured 2 flowing through the sub-passage 234 is rectified, and the influence of noise can be reduced.

圧力センサ204は、チップパッケージ208よりも回路基板207の長手方向基端部側に実装されており、温湿度センサ206は、チップパッケージ208よりも回路基板207の長手方向先端側に実装されている。そして、回路基板207の表面には、吸気温度センサ203のリードが接続されている。吸気温度センサ203は、温湿度センサ206よりも回路基板207の長手方向先端側の位置にリードが接続され、センサ本体203bが回路基板207から長手方向にはみ出して計測部213の外部に露出した位置に配置されるように実装されている。 The pressure sensor 204 is mounted on the longitudinal proximal end side of the circuit board 207 with respect to the chip package 208, and the temperature / humidity sensor 206 is mounted on the longitudinal distal end side of the circuit board 207 with respect to the chip package 208. .. The lead of the intake air temperature sensor 203 is connected to the surface of the circuit board 207. The lead of the intake air temperature sensor 203 is connected to the position on the longitudinal tip side of the circuit board 207 with respect to the temperature / humidity sensor 206, and the sensor body 203b protrudes from the circuit board 207 in the longitudinal direction and is exposed to the outside of the measuring unit 213. It is implemented to be placed in.

吸気温度センサ203は、計測部213のフランジ211側の上流端面223と、先端部213aの上流端面228との間に配置されている。吸気温度センサ203は、回路基板207に実装され、計測部213の外に露出して設けられている。吸気温度センサ203は、円柱状のセンサ本体と、センサ本体の軸方向両端部から互いに離間する方向に向かって突出する一対のリードとを有するアキシャルリード部品によって構成されている。計測部213には、吸気温度センサ203を保護するためのプロテクタ202aが設けられている。 The intake air temperature sensor 203 is arranged between the upstream end surface 223 on the flange 211 side of the measuring unit 213 and the upstream end surface 228 of the tip portion 213a. The intake air temperature sensor 203 is mounted on the circuit board 207 and is provided so as to be exposed to the outside of the measurement unit 213. The intake air temperature sensor 203 is composed of an axial lead component having a columnar sensor body and a pair of leads projecting from both ends in the axial direction of the sensor body in a direction away from each other. The measuring unit 213 is provided with a protector 202a for protecting the intake air temperature sensor 203.

計測部213には、その長手方向に沿って基端部側から先端部側に向かって(計測部213の突出方向に向かって)、(1)圧力センサ204、(2)流量センサ205、(3)温湿度センサ206、(4)吸気温度センサ203が順番に配置されている。圧力センサ204は、被計測気体2の圧力を検出し、流量センサ205は、被計測気体2の流量を検出する。温湿度センサ206は、被計測気体2の湿度を検出し、吸気温度センサは、被計測気体2の温度を検出する。 In the measuring unit 213, (1) the pressure sensor 204, (2) the flow sensor 205, (toward the protruding direction of the measuring unit 213) from the base end side to the tip end side along the longitudinal direction thereof. 3) The temperature / humidity sensor 206 and (4) the intake air temperature sensor 203 are arranged in this order. The pressure sensor 204 detects the pressure of the gas to be measured 2, and the flow rate sensor 205 detects the flow rate of the gas to be measured 2. The temperature / humidity sensor 206 detects the humidity of the gas to be measured 2, and the intake air temperature sensor detects the temperature of the gas 2 to be measured.

図4は、図3に示すカバー202を取り外した物理量検出装置20の計測部213の先端部213aを拡大した拡大図である。以下、本実施形態の物理量検出装置20の特徴部分について、詳細に説明する。 FIG. 4 is an enlarged view of the tip portion 213a of the measurement unit 213 of the physical quantity detection device 20 from which the cover 202 shown in FIG. 3 is removed. Hereinafter, the characteristic portion of the physical quantity detection device 20 of the present embodiment will be described in detail.

前述のように、本実施形態の物理量検出装置20は、次の構成を最大の特徴としている。計測部213は、先端部213aの先端に設けられ上流端面228から下流端面224へ向けてフランジ211に近づくように設けられた整流面227を有している。整流面227は、主通路22を流れる被計測気体2の順流時の流れ方向の上流側よりも下流側の部分がフランジ211に近く、フランジ211が取り付けられた主通路22の内壁面に近くなっている。 As described above, the physical quantity detection device 20 of the present embodiment has the following configuration as the greatest feature. The measuring unit 213 has a rectifying surface 227 provided at the tip of the tip portion 213a and provided so as to approach the flange 211 from the upstream end surface 228 toward the downstream end surface 224. The portion of the rectifying surface 227 on the downstream side of the upstream side in the forward flow direction of the gas to be measured 2 flowing through the main passage 22 is closer to the flange 211 and closer to the inner wall surface of the main passage 22 to which the flange 211 is attached. ing.

整流面227は、たとえば、複数の平面、角、および段差を有してもよいが、主通路22を流れる被計測気体2に対し、上流端面228から下流端面224まで連続する流線形の形状を有していることが好ましい。整流面227は、たとえば、主通路22を流れる被計測気体2の順流時の流れの方向の上流側から下流側へ向けて、接線の傾きが連続的に変化している。図4に示す正面視で、整流面227は、変曲点を持つS字状の滑らかな曲線形状を有している。 The straightening surface 227 may have, for example, a plurality of planes, angles, and steps, but has a streamlined shape continuous from the upstream end surface 228 to the downstream end surface 224 with respect to the gas to be measured 2 flowing through the main passage 22. It is preferable to have it. For example, the slope of the tangent of the rectifying surface 227 continuously changes from the upstream side to the downstream side in the direction of the forward flow of the gas to be measured 2 flowing through the main passage 22. In the front view shown in FIG. 4, the straightening vane 227 has an S-shaped smooth curved shape having an inflection point.

整流面227は、主通路22を流れる被計測気体2の順流時の流れの方向の上流側と下流側に、それぞれ、上流整流面227aと下流整流面227bとを有している。すなわち、上流整流面227aと下流整流面227bは、それぞれ、整流面227の上流側の部分と整流面227の下流側の部分である。ここで、「上流」と「下流」は、主通路22を流れる被計測気体2の順流時の流れの方向を基準とするものである。すなわち、図1に示す例において、相対的にエアクリーナ21に近い方が上流側であり、相対的に内燃機関10に近い方が下流側である。 The rectifying surface 227 has an upstream rectifying surface 227a and a downstream rectifying surface 227b, respectively, on the upstream side and the downstream side in the direction of the forward flow of the gas to be measured 2 flowing through the main passage 22. That is, the upstream rectifying surface 227a and the downstream rectifying surface 227b are a portion on the upstream side of the rectifying surface 227 and a portion on the downstream side of the rectifying surface 227, respectively. Here, "upstream" and "downstream" are based on the direction of the forward flow of the gas to be measured 2 flowing through the main passage 22. That is, in the example shown in FIG. 1, the one relatively close to the air cleaner 21 is the upstream side, and the one relatively close to the internal combustion engine 10 is the downstream side.

上流整流面227aは、計測部213の先端部213aの上流端面228から主通路22の下流側へ向けてフランジ211に近づくように設けられている。より具体的には、上流整流面227aは、主通路22の上流側から下流側へ向けてフランジ211に近づくように主通路22の中心軸22aに対して90度未満の傾斜角度で傾斜した傾斜面227cを有している。 The upstream rectifying surface 227a is provided so as to approach the flange 211 from the upstream end surface 228 of the tip portion 213a of the measuring unit 213 toward the downstream side of the main passage 22. More specifically, the upstream straightening surface 227a is inclined at an inclination angle of less than 90 degrees with respect to the central axis 22a of the main passage 22 so as to approach the flange 211 from the upstream side to the downstream side of the main passage 22. It has a surface 227c.

上流整流面227aの傾斜面227cは、たとえば、計測部213の短手方向における先端部213aの中心を通り、かつ計測部213の長手方向に平行な中心線CLよりも、上流端面228に近い位置から、下流整流面227bまで設けられている。図4に示す正面視で、傾斜面227cの上流側部分は、計測部213の突出方向へ向けて膨出した凸曲面状に設けられ、傾斜面227cの下流整流面227bの近傍の下流側部分は、上流側部分の凸曲面とは反対に凹曲面状に設けられている。 The inclined surface 227c of the upstream straightening surface 227a passes through the center of the tip portion 213a in the lateral direction of the measuring unit 213 and is closer to the upstream end surface 228 than the center line CL parallel to the longitudinal direction of the measuring unit 213, for example. To the downstream rectifying surface 227b. In the front view shown in FIG. 4, the upstream portion of the inclined surface 227c is provided in a convex curved surface shape that bulges toward the protruding direction of the measuring unit 213, and the downstream portion in the vicinity of the downstream straightening surface 227b of the inclined surface 227c. Is provided in the shape of a concave curved surface opposite to the convex curved surface of the upstream portion.

図4に示す傾斜面227cは、図1に示す主通路22の中心軸22aに対する傾斜角度が、たとえば45度以下になっている。図4に示すように、傾斜面227cが曲面である場合、傾斜面227cの傾斜角度は、傾斜面227cの接線の角度である。すなわち、図4に示す傾斜面227cは、主通路22を流れる被計測気体2の流れ方向の全体にわたって、接線の角度が45度以下になっている。 The inclined surface 227c shown in FIG. 4 has an inclined angle of, for example, 45 degrees or less with respect to the central axis 22a of the main passage 22 shown in FIG. As shown in FIG. 4, when the inclined surface 227c is a curved surface, the inclination angle of the inclined surface 227c is the angle of the tangent line of the inclined surface 227c. That is, the inclined surface 227c shown in FIG. 4 has a tangential angle of 45 degrees or less over the entire flow direction of the gas to be measured 2 flowing through the main passage 22.

また、上流整流面227aは、上流端面228から主通路22の下流側へ向けて主通路22の中心軸22aに沿って延びる上流平面部227dを有している。上流平面部227dは、たとえば、主通路22の中心軸22aに平行な平面であり、計測部213の先端部213aの中心線CLよりも、主通路22の上流側に設けられている。 Further, the upstream straightening surface 227a has an upstream flat surface portion 227d extending from the upstream end surface 228 toward the downstream side of the main passage 22 along the central axis 22a of the main passage 22. The upstream plane portion 227d is, for example, a plane parallel to the central axis 22a of the main passage 22, and is provided on the upstream side of the main passage 22 with respect to the center line CL of the tip portion 213a of the measuring unit 213.

下流整流面227bは、上流整流面227aよりも主通路22の下流側に設けられ、下流端面224まで主通路22の中心軸22aに沿って延びている。下流整流面227bは、たとえば、主通路22の中心軸22aにおおむね平行な平面であり、計測部213の先端部213aの中心線CLよりも、主通路22の下流側に設けられている。 The downstream rectifying surface 227b is provided on the downstream side of the main passage 22 with respect to the upstream rectifying surface 227a, and extends to the downstream end surface 224 along the central axis 22a of the main passage 22. The downstream straightening surface 227b is, for example, a plane substantially parallel to the central axis 22a of the main passage 22, and is provided on the downstream side of the main passage 22 with respect to the center line CL of the tip portion 213a of the measuring unit 213.

以下、本実施形態の物理量検出装置20の動作について説明する。 Hereinafter, the operation of the physical quantity detection device 20 of the present embodiment will be described.

図1に示すように、物理量検出装置20は、たとえば、主通路22の通路壁に設けられた取り付け孔から主通路22の内部に挿入され、図2および図3に示すフランジ211が主通路22の通路壁に固定される。内燃機関10の動作に基づき、吸入空気が被計測気体2としてエアクリーナ21から吸入され、被計測気体2が主通路22を流れる。主通路22を流れる被計測気体2は、おおむね中心軸22aに沿って流れ、物理量検出装置20の計測部213に設けられた入口231から、第1副通路234aに取り込まれる。 As shown in FIG. 1, the physical quantity detection device 20 is inserted into the main passage 22 through a mounting hole provided in the passage wall of the main passage 22, and the flange 211 shown in FIGS. 2 and 3 is inserted into the main passage 22. It is fixed to the passage wall of. Based on the operation of the internal combustion engine 10, the intake air is sucked from the air cleaner 21 as the measured gas 2, and the measured gas 2 flows through the main passage 22. The gas to be measured 2 flowing through the main passage 22 flows substantially along the central axis 22a and is taken into the first sub-passage 234a from the inlet 231 provided in the measurement unit 213 of the physical quantity detection device 20.

物理量検出装置20の入口231から計測部213内に取り込まれた被計測気体2の一部は、主通路22の中心軸22aに沿って延びる第1副通路234aを流れ、第1出口232から排出されて主通路22に戻る。また、第1副通路234aを流れる被計測気体2の一部は、第1副通路234aからフランジ211へ向けて分岐する第2副通路234bに流入する。 A part of the gas to be measured 2 taken into the measuring unit 213 from the inlet 231 of the physical quantity detection device 20 flows through the first sub-passage 234a extending along the central axis 22a of the main passage 22, and is discharged from the first outlet 232. It is returned to the main passage 22. Further, a part of the gas to be measured 2 flowing through the first sub-passage 234a flows into the second sub-passage 234b branching from the first sub-passage 234a toward the flange 211.

第2副通路234bに流入した被計測気体2は、図3に示すチップパッケージ208の表面側と裏面側を流れる。このとき、チップパッケージ208に設けられた流量センサ205によって、チップパッケージ208の表面側の凹溝を流れる被計測気体2の流量が検出される。また、吸気温度センサ203によって、計測部213の入口231に取り込まれる前の被計測気体2の温度が検出され、圧力センサ204と温湿度センサ206によって、計測部213の回路室235内の被計測気体2の圧力と湿度が検出される。 The gas to be measured 2 that has flowed into the second sub-passage 234b flows on the front surface side and the back surface side of the chip package 208 shown in FIG. At this time, the flow rate sensor 205 provided in the chip package 208 detects the flow rate of the gas to be measured 2 flowing through the concave groove on the surface side of the chip package 208. Further, the intake air temperature sensor 203 detects the temperature of the gas to be measured 2 before being taken into the inlet 231 of the measuring unit 213, and the pressure sensor 204 and the temperature / humidity sensor 206 measure the measured gas in the circuit chamber 235 of the measuring unit 213. The pressure and humidity of the gas 2 are detected.

第2副通路234bの上流部に流入し、チップパッケージ208を通過した被計測気体2は、円弧状またはU字状の湾曲部で計測部213の先端部213aへ向けて折り返され、第2副通路234bの下流部を通過して第2出口233から排出されて主通路22へ戻る。このような構成の物理量検出装置20において、仮に計測部213の先端部213aに整流面227を有しない場合、次のような問題が生じるおそれがある。 The gas to be measured 2 that has flowed into the upstream portion of the second sub-passage 234b and has passed through the chip package 208 is folded back toward the tip portion 213a of the measuring unit 213 at an arc-shaped or U-shaped curved portion, and is turned back toward the tip portion 213a of the measuring unit 213. It passes through the downstream portion of the passage 234b, is discharged from the second exit 233, and returns to the main passage 22. In the physical quantity detection device 20 having such a configuration, if the tip portion 213a of the measurement unit 213 does not have the rectifying surface 227, the following problems may occur.

物理量検出装置20の入口231から計測部213内に取り込まれ、第1副通路234aを流れる被計測気体2は、第2副通路234bの下流側の壁面252aに強く押し付けられる。すると、第2副通路234bの横断面において、被計測気体2の最大流速が上昇するおそれがある。第1副通路234aから第2副通路234bに流入する塵埃の量は、第2副通路234bの横断面における被計測気体2の最大流速と流量に比例する。そのため、第2副通路234bの横断面における被計測気体2の最大流速が上昇すると、第1副通路234aから第2副通路234bへ流入する塵埃が増加するおそれがある。その結果、チップパッケージ208や流量センサ205に対する塵埃の堆積が短期間に進行し、流量センサ205の測定精度が短期間で低下するおそれがある。 The gas to be measured 2 that is taken into the measuring unit 213 from the inlet 231 of the physical quantity detection device 20 and flows through the first sub-passage 234a is strongly pressed against the wall surface 252a on the downstream side of the second sub-passage 234b. Then, in the cross section of the second sub-passage 234b, the maximum flow velocity of the gas to be measured 2 may increase. The amount of dust flowing from the first sub-passage 234a to the second sub-passage 234b is proportional to the maximum flow velocity and flow rate of the gas to be measured 2 in the cross section of the second sub-passage 234b. Therefore, if the maximum flow velocity of the gas to be measured 2 in the cross section of the second sub-passage 234b increases, the dust flowing from the first sub-passage 234a into the second sub-passage 234b may increase. As a result, the accumulation of dust on the chip package 208 and the flow rate sensor 205 may proceed in a short period of time, and the measurement accuracy of the flow rate sensor 205 may decrease in a short period of time.

これに対し、本実施形態の物理量検出装置20は、主通路22を流れる被計測気体2の物理量を検出する装置であって、以下の構成を特徴としている。 On the other hand, the physical quantity detection device 20 of the present embodiment is a device for detecting the physical quantity of the gas to be measured 2 flowing through the main passage 22, and is characterized by the following configuration.

物理量検出装置20は、主通路22を流れる被計測気体2の物理量を検出する装置である。物理量検出装置20は、物理量を検出するセンサと、そのセンサを収容するハウジング201と、を備えている。ハウジング201は、主通路22に固定されるフランジ211と、そのフランジ211から主通路22の中心方向へ延びる計測部213と、を有している。計測部213は、フランジ211と反対側の先端部213aに設けられて主通路22の中心軸22aに沿って延びる第1副通路234aと、その第1副通路234aからフランジ211へ向けて分岐してセンサが配置された第2副通路234bと、先端部213aの先端に設けられた整流面227と、を有している。そして、整流面227は、主通路22の上流側から下流側へ向けてフランジ211に近づくように設けられた上流整流面227aと、その上流整流面227aよりも主通路22の下流側に設けられ、主通路22の中心軸22aに沿って延びる下流整流面227bと、を有する。 The physical quantity detection device 20 is a device that detects the physical quantity of the gas to be measured 2 flowing through the main passage 22. The physical quantity detecting device 20 includes a sensor for detecting the physical quantity and a housing 201 for accommodating the sensor. The housing 201 has a flange 211 fixed to the main passage 22, and a measuring unit 213 extending from the flange 211 toward the center of the main passage 22. The measuring unit 213 has a first sub-passage 234a provided at the tip portion 213a on the opposite side of the flange 211 and extending along the central axis 22a of the main passage 22, and branches from the first sub-passage 234a toward the flange 211. It has a second sub-passage 234b in which the sensor is arranged, and a rectifying surface 227 provided at the tip of the tip portion 213a. The rectifying surface 227 is provided on the upstream rectifying surface 227a provided so as to approach the flange 211 from the upstream side to the downstream side of the main passage 22 and on the downstream side of the main passage 22 with respect to the upstream rectifying surface 227a. Has a downstream straightening surface 227b extending along the central axis 22a of the main passage 22.

より詳細には、物理量検出装置20は、物理量を検出するセンサが実装された回路基板207と、その回路基板207を収容するハウジング201と、を備えている。ハウジング201は、前述のように、主通路22に固定されるフランジ211と、フランジ211から主通路22の中心方向へ延びる計測部213と、を有している。計測部213は、入口231と、第1出口232と、第2出口233と、第1副通路234aと、第2副通路234bと、整流面227と、を有している。入口231は、フランジ211と反対側の先端部213aの上流端面228に設けられている。第1出口232および第2出口233は、先端部213aの下流端面224に設けられている。第1副通路234aは、入口231から主通路22の中心軸22aに沿って延びて第1出口232に至る。第2副通路234bは、第1副通路234aからフランジ211へ向けて分岐して第2出口233に至る。整流面227は、先端部213aの先端に設けられ、上流整流面227aと、下流整流面227bと、を有している。上流整流面227aは、上流端面228から主通路22の下流側へ向けてフランジ211に近づくように設けられている。下流整流面227bは、上流整流面227aよりも主通路22の下流側に設けられ、下流端面224まで主通路22の中心軸22aに沿って延びている。 More specifically, the physical quantity detecting device 20 includes a circuit board 207 on which a sensor for detecting the physical quantity is mounted, and a housing 201 for accommodating the circuit board 207. As described above, the housing 201 has a flange 211 fixed to the main passage 22 and a measuring unit 213 extending from the flange 211 toward the center of the main passage 22. The measuring unit 213 has an inlet 231, a first outlet 232, a second outlet 233, a first sub-passage 234a, a second sub-passage 234b, and a rectifying surface 227. The inlet 231 is provided on the upstream end surface 228 of the tip portion 213a on the opposite side of the flange 211. The first outlet 232 and the second outlet 233 are provided on the downstream end surface 224 of the tip portion 213a. The first sub-passage 234a extends from the inlet 231 along the central axis 22a of the main passage 22 to reach the first exit 232. The second sub-passage 234b branches from the first sub-passage 234a toward the flange 211 and reaches the second exit 233. The rectifying surface 227 is provided at the tip of the tip portion 213a and has an upstream rectifying surface 227a and a downstream rectifying surface 227b. The upstream straightening surface 227a is provided so as to approach the flange 211 from the upstream end surface 228 toward the downstream side of the main passage 22. The downstream rectifying surface 227b is provided on the downstream side of the main passage 22 with respect to the upstream rectifying surface 227a, and extends to the downstream end surface 224 along the central axis 22a of the main passage 22.

このような構成により、主通路22を流れる被計測気体2は、図4に示すように、整流面227に沿って流れる過程で、上流整流面227aの形状に沿って上流端面228から主通路22の下流側へ向けてフランジ211に近づくように流れ方向が変化する。この被計測気体2の流れ方向の変化、すなわち被計測気体2の偏向は、主通路22の径方向の広い範囲にわたって被計測気体2の流れに影響を及ぼすだけでなく、整流面227の上流側を流れる被計測気体2にも影響を及ぼす。すなわち、主通路22における被計測気体2の流れが全体的にフランジ211に近づくようにシフトする。 With such a configuration, as shown in FIG. 4, the gas to be measured 2 flowing through the main passage 22 flows from the upstream end surface 228 to the main passage 22 along the shape of the upstream rectifying surface 227a in the process of flowing along the rectifying surface 227. The flow direction changes so as to approach the flange 211 toward the downstream side of the. This change in the flow direction of the gas to be measured 2, that is, the deflection of the gas to be measured 2, not only affects the flow of the gas to be measured 2 over a wide radial range of the main passage 22, but also affects the upstream side of the rectifying surface 227. It also affects the gas to be measured 2 flowing through. That is, the flow of the gas to be measured 2 in the main passage 22 shifts so as to approach the flange 211 as a whole.

その結果、第1副通路234aから分岐した第2副通路234bの壁面であって第1副通路234aの下流側に位置する壁面252aに対し、第1副通路234aを流れる被計測気体2を従来よりも緩やかに衝突させることができる。換言すると、第2副通路234bの壁面252aに対し、被計測気体2の流れが押し付けられるのを抑制し、第2副通路234bの横断面内における被計測気体2の最大流速を低下させることができる。これにより、第1副通路234aから第2副通路234bに流入する塵埃の量が減少する。 As a result, the gas to be measured 2 flowing through the first sub-passage 234a is conventionally applied to the wall surface 252a which is the wall surface of the second sub-passage 234b branched from the first sub-passage 234a and is located on the downstream side of the first sub-passage 234a. Can be collided more gently than. In other words, it is possible to suppress the flow of the gas to be measured 2 from being pressed against the wall surface 252a of the second sub-passage 234b and reduce the maximum flow velocity of the gas to be measured 2 in the cross section of the second sub-passage 234b. can. As a result, the amount of dust flowing from the first sub-passage 234a to the second sub-passage 234b is reduced.

また、整流面227は、下流整流面227bを有し、下流整流面227bは、上流整流面227aよりも主通路22の下流側に設けられ、下流端面224まで主通路22の中心軸22aに沿って延びている。この構成により、主通路22を流れる被計測気体2は、上流整流面227aの形状に沿って上流端面228から主通路22の下流側へ向けてフランジ211に近づくように流れ方向が変化し、その後、下流整流面227bに沿って流れる。下流整流面227bに沿って流れた被計測気体2の流れの向きは、主通路22の中心軸に沿う方向に修正される。 Further, the rectifying surface 227 has a downstream rectifying surface 227b, and the downstream rectifying surface 227b is provided on the downstream side of the main passage 22 with respect to the upstream rectifying surface 227a, and is along the central axis 22a of the main passage 22 up to the downstream end surface 224. Is extending. With this configuration, the gas to be measured 2 flowing through the main passage 22 changes its flow direction from the upstream end surface 228 toward the downstream side of the main passage 22 toward the flange 211 along the shape of the upstream rectifying surface 227a, and then changes in the flow direction. , Flows along the downstream straightening surface 227b. The direction of the flow of the gas to be measured 2 flowing along the downstream straightening surface 227b is corrected to be along the central axis of the main passage 22.

その結果、第1副通路234aを流れ、第1出口232から排出されて主通路22に戻る被計測気体2の流れの方向が、主通路22の中心軸22aに沿う方向から、物理量検出装置20のフランジ211に向けて変化するのを抑制することができる。第1出口232から排出される被計測気体2の流れの方向が、主通路22の中心軸22aに沿う方向から変化するのを抑制することで、第2副通路234bの横断面において、被計測気体2の流量の増加が抑制される。これにより、第1副通路234aから第2副通路234bに流入する塵埃の増加が抑制される。 As a result, the physical quantity detection device 20 is directed from the direction in which the gas to be measured 2 flows through the first sub-passage 234a, is discharged from the first outlet 232, and returns to the main passage 22 along the central axis 22a of the main passage 22. It is possible to suppress the change toward the flange 211 of the. By suppressing the direction of the flow of the gas to be measured 2 discharged from the first outlet 232 from changing from the direction along the central axis 22a of the main passage 22, the measured gas is measured in the cross section of the second sub-passage 234b. The increase in the flow rate of the gas 2 is suppressed. As a result, the increase of dust flowing from the first sub-passage 234a to the second sub-passage 234b is suppressed.

したがって、本実施形態によれば、チップパッケージ208や流量センサ205に対する塵埃の堆積が抑制され、流量センサ205の測定精度を長期にわたって高精度に維持することができ、耐汚損性を向上させることが可能な物理量検出装置20を提供することができる。 Therefore, according to the present embodiment, the accumulation of dust on the chip package 208 and the flow rate sensor 205 can be suppressed, the measurement accuracy of the flow rate sensor 205 can be maintained with high accuracy for a long period of time, and the stain resistance can be improved. A possible physical quantity detection device 20 can be provided.

また、本実施形態の物理量検出装置20において、上流整流面227aは、主通路22の上流側から下流側へ向けてフランジ211に近づくように主通路22の中心軸22aに対して90度未満の傾斜角度で傾斜した傾斜面227cを有している。 Further, in the physical quantity detecting device 20 of the present embodiment, the upstream rectifying surface 227a is less than 90 degrees with respect to the central axis 22a of the main passage 22 so as to approach the flange 211 from the upstream side to the downstream side of the main passage 22. It has an inclined surface 227c inclined at an inclined angle.

この構成により、上流整流面227aの形状に沿って上流端面228から主通路22の下流側へ向けてフランジ211に近づくように流れ方向が変化する被計測気体2に剥離が発生するのを抑制することができる。その結果、前述のように、第2副通路234bの横断面において、より確実に被計測気体2の最大流速を低下させるとともに被計測気体2の流量の増加を抑制し、第1副通路234aから第2副通路234bに流入する塵埃の量をより確実に減少させることができる。 With this configuration, it is possible to suppress the occurrence of separation of the gas to be measured 2 whose flow direction changes so as to approach the flange 211 from the upstream end surface 228 toward the downstream side of the main passage 22 along the shape of the upstream rectifying surface 227a. be able to. As a result, as described above, in the cross section of the second sub-passage 234b, the maximum flow velocity of the measured gas 2 is more reliably reduced and the increase in the flow rate of the measured gas 2 is suppressed, and the first sub-passage 234a is used. The amount of dust flowing into the second sub-passage 234b can be reduced more reliably.

また、本実施形態の物理量検出装置20において、主通路22の中心軸22aに対する傾斜面227cの傾斜角度は、45度以下である。 Further, in the physical quantity detection device 20 of the present embodiment, the inclination angle of the inclined surface 227c with respect to the central axis 22a of the main passage 22 is 45 degrees or less.

この構成により、上流整流面227aの形状に沿って上流端面228から主通路22の下流側へ向けてフランジ211に近づくように流れ方向が変化する被計測気体2に剥離が発生するのをより確実に抑制することができる。その結果、前述のように、第2副通路234bの横断面において、被計測気体2の最大流速をさらに確実に低下させるとともに被計測気体2の流量を減少させ、第1副通路234aから第2副通路234bに流入する塵埃の量をさらに確実に減少させることができる。 With this configuration, it is more certain that the gas to be measured 2 whose flow direction changes so as to approach the flange 211 from the upstream end surface 228 toward the downstream side of the main passage 22 along the shape of the upstream rectifying surface 227a is separated. Can be suppressed. As a result, as described above, in the cross section of the second sub-passage 234b, the maximum flow velocity of the measured gas 2 is more reliably reduced and the flow rate of the measured gas 2 is reduced, and the first sub-passage 234a to the second The amount of dust flowing into the sub-passage 234b can be more reliably reduced.

また、本実施形態の物理量検出装置20において、上流整流面227aは、主通路22の上流側を向く計測部213の先端部213aの上流端面228から主通路22の下流側へ向けて主通路22の中心軸22aに沿って延びる上流平面部227dを有している。 Further, in the physical quantity detection device 20 of the present embodiment, the upstream rectifying surface 227a is the main passage 22 from the upstream end surface 228 of the tip portion 213a of the measuring unit 213 facing the upstream side of the main passage 22 toward the downstream side of the main passage 22. It has an upstream plane portion 227d extending along the central axis 22a of the above.

この構成により、主通路22において物理量検出装置20よりも上流側から主通路22の中心軸22aに沿って流れる被計測気体2が、整流面227の上流平面部227dに沿って流れやすくなる。その結果、上流平面部227dに沿って流れたより多くの被計測気体2が、傾斜面227cに沿って流れてフランジ211に近づくように流れ方向が変化する。これにより、第2副通路234bの横断面において、被計測気体2の最大流速をより確実に低下させ、第1副通路234aから第2副通路234bに流入する塵埃の量をさらに確実に減少させることができる。 With this configuration, the gas to be measured 2 that flows from the upstream side of the physical quantity detection device 20 in the main passage 22 along the central axis 22a of the main passage 22 easily flows along the upstream plane portion 227d of the rectifying surface 227. As a result, the flow direction changes so that more gas to be measured 2 flowing along the upstream plane portion 227d flows along the inclined surface 227c and approaches the flange 211. As a result, in the cross section of the second sub-passage 234b, the maximum flow velocity of the gas to be measured 2 is more reliably reduced, and the amount of dust flowing from the first sub-passage 234a to the second sub-passage 234b is further reliably reduced. be able to.

また、本実施形態の物理量検出装置20において、整流面227は、主通路22の上流側を向く計測部213の先端部213aの上流端面228から、主通路22の下流側を向く計測部213の先端部213aの下流端面224まで連続する流線形の形状を有している。 Further, in the physical quantity detecting device 20 of the present embodiment, the rectifying surface 227 is a measuring unit 213 facing the downstream side of the main passage 22 from the upstream end surface 228 of the tip portion 213a of the measuring unit 213 facing the upstream side of the main passage 22. It has a streamlined shape that is continuous up to the downstream end surface 224 of the tip portion 213a.

この構成により、主通路22において物理量検出装置20よりも上流側から主通路22の中心軸22aに沿って流れる被計測気体2が、整流面227に沿って流れやすくなる。その結果、整流面227に沿って流れたより多くの被計測気体2の流れ方向がフランジ211に近づくように変化する。これにより、第2副通路234bの横断面において、被計測気体2の最大流速をより確実に低下させ、第1副通路234aから第2副通路234bに流入する塵埃の量をさらに確実に減少させることができる。 With this configuration, the gas to be measured 2 flowing along the central axis 22a of the main passage 22 from the upstream side of the physical quantity detection device 20 in the main passage 22 easily flows along the rectifying surface 227. As a result, the flow direction of more gas to be measured 2 flowing along the rectifying surface 227 changes so as to approach the flange 211. As a result, in the cross section of the second sub-passage 234b, the maximum flow velocity of the gas to be measured 2 is more reliably reduced, and the amount of dust flowing from the first sub-passage 234a to the second sub-passage 234b is further reliably reduced. be able to.

以上説明したように、本実施形態によれば、第1副通路234aから分岐した第2副通路234bに流入する塵埃を減少させ、耐汚損性を向上させることが可能な物理量検出装置20を提供することができる。なお、本開示に係る物理量検出装置は、前述の実施形態に係る物理量検出装置20の構成に限定されない。以下、前述の実施形態に係る物理量検出装置20のいくつかの変形例について説明する。 As described above, according to the present embodiment, there is provided a physical quantity detecting device 20 capable of reducing the dust flowing into the second sub-passage 234b branched from the first sub-passage 234a and improving the stain resistance. can do. The physical quantity detection device according to the present disclosure is not limited to the configuration of the physical quantity detection device 20 according to the above-described embodiment. Hereinafter, some modifications of the physical quantity detection device 20 according to the above-described embodiment will be described.

図5は、図4に示す物理量検出装置20の変形例を示す拡大図である。図5に示す変形例において、整流面227は、主通路22の上流側を向く計測部213の先端部213aの上流端面228から、主通路22の下流側を向く計測部213の先端部213aの下流端面224まで、連続する複数の平面によって構成されている。より具体的には、整流面227は、平面である上流平面部227dと、平面である傾斜面227cと、平面である下流整流面227bとの三つの連続する平面によって構成されている。なお、平面の数は特に限定されず、四つ以上の連続する平面によって整流面227を構成してもよい。この変形例においても、前述の実施形態に係る物理量検出装置20と同様の効果を奏することができる。 FIG. 5 is an enlarged view showing a modified example of the physical quantity detection device 20 shown in FIG. In the modification shown in FIG. 5, the rectifying surface 227 is the tip portion 213a of the measuring unit 213 facing the downstream side of the main passage 22 from the upstream end surface 228 of the tip portion 213a of the measuring unit 213 facing the upstream side of the main passage 22. It is composed of a plurality of continuous planes up to the downstream end face 224. More specifically, the rectifying surface 227 is composed of three continuous planes, that is, an upstream flat surface portion 227d that is a flat surface, an inclined surface 227c that is a flat surface, and a downstream rectifying surface 227b that is a flat surface. The number of planes is not particularly limited, and the straightening plane 227 may be formed by four or more continuous planes. Also in this modification, the same effect as that of the physical quantity detection device 20 according to the above-described embodiment can be obtained.

図6は、図4に示す物理量検出装置20の別の変形例を示す拡大図である。図6に示す変形例において、整流面227は、計測部213の先端部213aの上流端面228から下流端面224まで連続する二つの平面によって構成されている。より具体的には、整流面227は、平面である傾斜面227cからなる上流整流面227aと、平面である下流整流面227bとの二つの連続する平面によって構成されている。この変形例においても、前述の実施形態に係る物理量検出装置20と同様の効果を奏することができる。 FIG. 6 is an enlarged view showing another modification of the physical quantity detection device 20 shown in FIG. In the modified example shown in FIG. 6, the straightening surface 227 is composed of two continuous planes from the upstream end surface 228 to the downstream end surface 224 of the tip portion 213a of the measuring unit 213. More specifically, the rectifying surface 227 is composed of two continuous planes, an upstream rectifying surface 227a formed of a flat inclined surface 227c and a flat downstream rectifying surface 227b. Also in this modification, the same effect as that of the physical quantity detection device 20 according to the above-described embodiment can be obtained.

図7は、図4に示す物理量検出装置20の別の変形例を示す拡大図である。図7に示す変形例において、整流面227は、曲面である傾斜面227cからなる上流整流面227aと、平面である下流整流面227bとによって構成されている。傾斜面227cは、図7に示す正面視において、曲率が一定の曲面であり、円弧状の部分円筒面である。また、整流面227は、計測部213の先端部213aの上流端面228から下流端面224まで連続する流線形の形状を有している。この変形例においても、前述の実施形態に係る物理量検出装置20と同様の効果を奏することができる。 FIG. 7 is an enlarged view showing another modification of the physical quantity detection device 20 shown in FIG. In the modified example shown in FIG. 7, the rectifying surface 227 is composed of an upstream rectifying surface 227a having an inclined surface 227c which is a curved surface and a downstream rectifying surface 227b which is a flat surface. The inclined surface 227c is a curved surface having a constant curvature in the front view shown in FIG. 7, and is a partially cylindrical surface having an arc shape. Further, the straightening surface 227 has a streamlined shape continuous from the upstream end surface 228 to the downstream end surface 224 of the tip portion 213a of the measuring unit 213. Also in this modification, the same effect as that of the physical quantity detection device 20 according to the above-described embodiment can be obtained.

以上、図面を用いて本開示に係る物理量検出装置の実施形態を詳述してきたが、具体的な構成は前述の実施形態に限定されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲における設計変更等があっても、それらは本開示に含まれるものである。 Although the embodiment of the physical quantity detection device according to the present disclosure has been described in detail with reference to the drawings, the specific configuration is not limited to the above-described embodiment, and the design does not deviate from the gist of the present disclosure. Any changes, etc., are included in this disclosure.

2 被計測気体(気体)
20 物理量検出装置
22 主通路
22a 中心軸
201 ハウジング
203 吸気温度センサ(センサ)
204 圧力センサ(センサ)
205 流量センサ(センサ)
206 温湿度センサ(センサ)
211 フランジ
213 計測部
213a 先端部
224 下流端面
227 整流面
227a 上流整流面
227b 下流整流面
227c 傾斜面
227d 上流平面部
228 上流端面
234a 第1副通路
234b 第2副通路
2 Measured gas (gas)
20 Physical quantity detection device 22 Main passage 22a Central axis 201 Housing 203 Intake air temperature sensor (sensor)
204 Pressure sensor (sensor)
205 Flow sensor (sensor)
206 Temperature / humidity sensor (sensor)
211 Flange 213 Measuring part 213a Tip part 224 Downstream end surface 227 Rectifying surface 227a Upstream rectifying surface 227b Downstream rectifying surface 227c Inclined surface 227d Upstream plane part 228 Upstream end surface 234a First sub-passage 234b Second sub-passage

Claims (6)

主通路を流れる気体の物理量を検出する物理量検出装置であって、
前記物理量を検出するセンサと、該センサを収容するハウジングと、を備え、
前記ハウジングは、前記主通路に固定されるフランジと、前記フランジから前記主通路の中心方向へ延びる計測部と、を有し、
前記計測部は、前記フランジと反対側の先端部に設けられ前記主通路の中心軸に沿って延びる第1副通路と、該第1副通路から前記フランジへ向けて分岐して前記センサが配置された第2副通路と、前記主通路の中心軸に沿って配置される正面および背面と、前記正面および背面よりも幅狭で前記主通路の上流側を向く上流端面と、前記正面および背面よりも幅狭で前記主通路の下流側を向く下流端面と、前記先端部の前記上流端面に設けられた前記第1副通路の入口と、前記先端部の前記下流端面に設けられた前記第1副通路の第1出口と、前記先端部の前記下流端面の前記第1出口の前記フランジ側に隣接して設けられた前記第2副通路の第2出口と、前記先端部の先端に設けられた整流面と、を有し、
前記整流面は、前記主通路の上流側から下流側へ向けて前記フランジに近づくように設けられた上流整流面と、該上流整流面よりも前記主通路の下流側に設けられ前記主通路の中心軸に沿って前記第1出口に隣接する前記下流端面の先端まで延びる下流整流面と、を有することを特徴とする物理量検出装置。
A physical quantity detection device that detects the physical quantity of gas flowing through the main passage.
A sensor for detecting the physical quantity and a housing for accommodating the sensor are provided.
The housing has a flange fixed to the main passage and a measuring unit extending from the flange toward the center of the main passage.
The measuring unit has a first sub-passage provided at the tip on the opposite side of the flange and extends along the central axis of the main passage, and the sensor is arranged by branching from the first sub-passage toward the flange. The second sub-passageway, the front and back surfaces arranged along the central axis of the main passage, the upstream end face that is narrower than the front and back and faces the upstream side of the main passage, and the front and back surfaces. The downstream end surface which is narrower and faces the downstream side of the main passage, the entrance of the first sub-passage provided on the upstream end surface of the tip portion, and the downstream end surface provided on the tip portion. 1 The first outlet of the sub-passage, the second outlet of the second sub-passage provided adjacent to the flange side of the first outlet of the downstream end surface of the tip, and the tip of the tip. With a rectified surface,
The rectifying surface is provided on the upstream rectifying surface provided so as to approach the flange from the upstream side to the downstream side of the main passage, and on the downstream side of the main passage with respect to the upstream rectifying surface. A physical quantity detecting device comprising: a downstream rectifying surface extending along a central axis to the tip of the downstream end surface adjacent to the first outlet .
前記上流整流面は、前記主通路の上流側から下流側へ向けて前記フランジに近づくように前記主通路の中心軸に対して90度未満の傾斜角度で傾斜した傾斜面を有することを特徴とする請求項1に記載の物理量検出装置。 The upstream straightening surface is characterized by having an inclined surface inclined at an inclination angle of less than 90 degrees with respect to the central axis of the main passage so as to approach the flange from the upstream side to the downstream side of the main passage. The physical quantity detection device according to claim 1. 前記傾斜角度は、45度以下であることを特徴とする請求項2に記載の物理量検出装置。 The physical quantity detection device according to claim 2, wherein the inclination angle is 45 degrees or less. 前記上流整流面は、前記主通路の上流側を向く前記先端部の前記上流端面から前記主通路の下流側へ向けて前記主通路の中心軸に沿って延びる上流平面部を有することを特徴とする請求項3に記載の物理量検出装置。 The upstream straightening surface is characterized by having an upstream plane portion extending along the central axis of the main passage from the upstream end surface of the tip portion facing the upstream side of the main passage toward the downstream side of the main passage. The physical quantity detection device according to claim 3. 前記整流面は、前記主通路の上流側を向く前記先端部の前記上流端面から前記主通路の下流側を向く前記先端部の前記下流端面まで連続する流線形の形状を有することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の物理量検出装置。 The straightening surface is characterized by having a streamlined shape continuous from the upstream end surface of the tip portion facing the upstream side of the main passage to the downstream end surface of the tip portion facing the downstream side of the main passage. The physical quantity detecting device according to any one of claims 1 to 4. 前記整流面は、前記主通路の上流側を向く前記先端部の前記上流端面から前記主通路の下流側を向く前記先端部の前記下流端面まで連続する複数の平面によって構成されていることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の物理量検出装置。 The straightening surface is characterized by being composed of a plurality of planes continuous from the upstream end surface of the tip portion facing the upstream side of the main passage to the downstream end surface of the tip portion facing the downstream side of the main passage. The physical quantity detecting device according to any one of claims 1 to 4.
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