JP6994960B2

JP6994960B2 - Liquid level detection device, liquid level detection method, and plating processing device

Info

Publication number: JP6994960B2
Application number: JP2018007285A
Authority: JP
Inventors: 直輝山本; 教宏藤井
Original assignee: 日本カニゼン株式会社
Priority date: 2018-01-19
Filing date: 2018-01-19
Publication date: 2022-01-14
Anticipated expiration: 2038-01-19
Also published as: JP2019124662A

Description

本発明は、液面レベル検出装置、液面レベル検出方法、および、めっき処理装置に関する。 The present invention relates to a liquid level detection device, a liquid level level detection method, and a plating treatment device.

一般に、めっき液を用いて被めっき部にめっき処理を施すめっき処理装置は、めっき液を貯留するための液体容器となるめっき槽と、めっき槽に貯留されためっき液の液面レベルを検出する液面レベル検出装置と、を備えている。また、液面レベル検出装置としては、電極式の液面レベルセンサが広く用いられている。電極式の液面レベルセンサは、導電性を有する液体の液面レベルを検出するもので、長さの異なる複数の電極棒を有する（たとえば、特許文献１を参照）。複数の電極棒の各々は、液面レベルセンサの計測用機器類を収容するセンサ本体から延出するように設けられている。本明細書において、液面レベルは、めっき槽やタンクなどの液体容器に貯留される液体の液面の位置、すなわち液位を意味する。 Generally, a plating treatment apparatus that performs a plating treatment on a portion to be plated using a plating liquid detects a plating tank that is a liquid container for storing the plating liquid and a liquid level of the plating liquid stored in the plating tank. It is equipped with a liquid level level detector. Further, as the liquid level level detecting device, an electrode type liquid level level sensor is widely used. The electrode-type liquid level sensor detects the liquid level of a liquid having conductivity, and has a plurality of electrode rods having different lengths (see, for example, Patent Document 1). Each of the plurality of electrode rods is provided so as to extend from the sensor body that houses the measuring equipment of the liquid level sensor. In the present specification, the liquid level means the position of the liquid level of the liquid stored in a liquid container such as a plating tank or a tank, that is, the liquid level.

特開平６－１８０２４４号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 6-180244

ところで、無電解ニッケルめっきでは、めっき液の温度が９０℃程度の高い温度に維持される。このため、めっき槽の周辺は、高温高湿で、かつ酸雰囲気の環境となる。したがって、電極式の液面レベルセンサを無電解ニッケルめっき用途で用いる場合は、液面レベルセンサを構成する金属製の部品が酸雰囲気で腐食しないよう、該部品を耐食性のあるステンレス等によって構成している。ただし、液面レベルセンサは、めっき槽においてめっき液の近傍に設置される。また、液面レベルセンサには電気配線が接続される。このため、液面レベルセンサにつながる電気配線がすぐに腐食してしまう。また、めっき液から発生する蒸気によって液面レベルセンサが誤動作を起こしやすくなる。 By the way, in electroless nickel plating, the temperature of the plating solution is maintained at a high temperature of about 90 ° C. Therefore, the surroundings of the plating tank have a high temperature and high humidity and an acid atmosphere. Therefore, when an electrode-type liquid level sensor is used for electroless nickel plating, the metal parts that make up the liquid level sensor are made of corrosion-resistant stainless steel or the like so that they do not corrode in an acid atmosphere. ing. However, the liquid level sensor is installed in the vicinity of the plating liquid in the plating tank. In addition, electrical wiring is connected to the liquid level sensor. Therefore, the electrical wiring connected to the liquid level sensor is immediately corroded. In addition, the vapor generated from the plating solution tends to cause the liquid level sensor to malfunction.

一方、めっき用途ではないものの、背圧式の液面レベル検出装置が提供されている。背圧式の液面レベルセンサは、空気が流れるチューブ内の圧力変動を利用して機械式のスイッチを作動させることにより、めっき液の液面レベルを検出するものである。背圧式の液面レベル検出装置では、チューブの先端部をタンク等の内部に配置し、チューブの先端部が液面に触れたときに、チューブ内の圧力が上昇してスイッチが作動する構成になっている。 On the other hand, although it is not used for plating, a back pressure type liquid level detection device is provided. The back pressure type liquid level sensor detects the liquid level of the plating solution by operating a mechanical switch using the pressure fluctuation in the tube through which air flows. In the back pressure type liquid level detection device, the tip of the tube is placed inside the tank, etc., and when the tip of the tube touches the liquid level, the pressure inside the tube rises and the switch operates. It has become.

背圧式の液面レベル検出装置をめっき用途で使用する場合は、めっき液に対して耐食性を有する材料でチューブを構成し、このチューブをめっき槽の外に引き出して計測用機器類に接続することにより、めっき槽から離れた場所に計測用機器類や電気配線類を設置することができる。ただし、背圧式の液面レベル検出装置では、めっき槽から離れた場所に計測用機器類を設置するにも限界があった。その理由は以下のとおりである。 When using a back pressure type liquid level detector for plating applications, configure the tube with a material that is corrosion resistant to the plating solution, and pull this tube out of the plating tank to connect it to measuring equipment. As a result, measuring equipment and electrical wiring can be installed in a place away from the plating tank. However, with the back pressure type liquid level detection device, there is a limit to the installation of measuring equipment in a place away from the plating tank. The reason is as follows.

背圧式の液面レベル検出装置においては、該液面レベル検出装置が備える計測用機器類を使って液面レベルを検出する場合に、計測用機器類につながるチューブ内の圧力を、たとえば、０．０２ＭＰａ程度に低く設定する必要がある。また、めっき槽から計測用機器類をできるだけ離して配置するためにチューブ長を長くすると、その分だけ、チューブ内の管路抵抗やチューブ内を流れる空気の圧力損失が大きくなる。したがって、背圧式の液面レベル検出装置では、計測用機器類につながるチューブ内の圧力が、液面レベルの検出に必要な許容範囲を超えないよう、チューブ長を制限する必要がある。すなわち、背面式の液面レベル検出装置では、めっき槽から離れた場所に計測用機器類を設置するにも限界があり、めっき槽と計測用機器類との間、あるいは、めっき槽と電気配線類との間に十分な離間距離を確保できない場合があった。 In the back pressure type liquid level detection device, when the liquid level is detected by using the measurement equipment provided in the liquid level detection device, the pressure in the tube connected to the measurement equipment is, for example, 0. It is necessary to set it as low as about 0.02 MPa. Further, if the tube length is lengthened in order to arrange the measuring instruments as far away from the plating tank as possible, the pipe line resistance in the tube and the pressure loss of the air flowing in the tube increase accordingly. Therefore, in the back pressure type liquid level detection device, it is necessary to limit the tube length so that the pressure in the tube connected to the measuring equipment does not exceed the allowable range required for the detection of the liquid level. That is, in the rear-type liquid level detection device, there is a limit to installing the measuring equipment in a place away from the plating tank, and there is a limit between the plating tank and the measuring equipment, or between the plating tank and the electrical wiring. In some cases, it was not possible to secure a sufficient separation distance from the class.

また、背圧式の液面レベル検出装置では、０．０２ＭＰａ程度の小さな圧力の空気を使用し、その圧力変化を利用して液面レベルを検出するため、めっき液１７の波打ちの影響を強く受けるという問題もある。なお、本明細書において、計測用機器類は、液面レベルを検出するために液面レベル検出装置が備える電子機器や該電子機器に付属する付属機器などを含む。また、電気配線類は、計測用機器類に接続される電気配線や配線用の端子などを含む。 In addition, the back pressure type liquid level detection device uses air with a small pressure of about 0.02 MPa and detects the liquid level by using the pressure change, so it is strongly affected by the waviness of the plating solution 17. There is also the problem. In addition, in this specification, measurement equipment includes the electronic equipment provided with the liquid level level detection device for detecting the liquid level, and the accessory equipment attached to the electronic equipment. Further, the electrical wiring includes electrical wiring connected to the measuring device, a terminal for wiring, and the like.

本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、その目的は、液体容器から十分に離れた場所に液面レベル検出用の計測用機器類や電気配線類を設置することができる液面レベル検出装置、液面レベル検出方法、およびめっき処理装置を提供することにある。 The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is a liquid capable of installing measuring equipment and electrical wiring for detecting the liquid level at a place sufficiently distant from the liquid container. It is an object of the present invention to provide a surface level detection device, a liquid level level detection method, and a plating processing device.

本発明に係る液面レベル検出装置は、液体容器に貯留された液体の液面レベルを検出する液面レベル検出装置であって、所定の気圧および所定の流量に調整された気流を生成する気流生成部と、前記気流生成部で生成された前記気流を、前記液体容器側に向かう第１の分岐路と、開放側に向かう第２の分岐路とに分岐させる分岐部と、前記第２の分岐路を流れる気体の流量を検出する流量検出部と、を備え、前記第１の分岐路の終端部は、前記液体容器に貯留される液体の液面と対向するように配置され、前記流量検出部は、前記第１の分岐路の終端部が前記液体に接触しているときに前記第２の分岐路を流れる気体の流量と、前記第１の分岐路の終端部が前記液体から離れているときに前記第２の分岐路を流れる気体の流量との違いを感知して、前記液体の液面レベルに対応する検出信号を出力する。 The liquid level detecting device according to the present invention is a liquid level detecting device that detects the liquid level of the liquid stored in the liquid container, and is an air flow that generates an air flow adjusted to a predetermined pressure and a predetermined flow rate. A branching section for branching the generating section and the airflow generated by the airflow generating section into a first branch path toward the liquid container side and a second branch path toward the open side, and the second branch path. A flow rate detecting unit for detecting the flow rate of the gas flowing through the branch path is provided, and the terminal portion of the first branch path is arranged so as to face the liquid level of the liquid stored in the liquid container, and the flow rate is described. In the detection unit, the flow rate of the gas flowing through the second branch path when the end portion of the first branch path is in contact with the liquid and the end portion of the first branch path are separated from the liquid. At this time, the difference from the flow rate of the gas flowing through the second branch path is sensed, and the detection signal corresponding to the liquid level of the liquid is output.

本発明に係る液面レベル検出装置において、前記第１の分岐路の内径と前記第２の分岐路の内径は、少なくとも一部が同一であってもよい。 In the liquid level detection device according to the present invention, the inner diameter of the first branch path and the inner diameter of the second branch path may be at least partially the same.

本発明に係る液面レベル検出装置において、前記第１の分岐路は、第１の内径を有する部分と、前記第１の内径よりも大きい第２の内径を有する部分とを備え、前記第２の分岐路は、第３の内径を有する部分と、前記第３の内径よりも大きい第４の内径を有する部分とを備え、前記第１の内径と前記第３の内径が同一で、かつ、前記第２の内径と前記第４の内径が同一であってもよい。 In the liquid level detection device according to the present invention, the first branch path includes a portion having a first inner diameter and a portion having a second inner diameter larger than the first inner diameter, and the second branch path is provided. The branch path includes a portion having a third inner diameter and a portion having a fourth inner diameter larger than the third inner diameter, and the first inner diameter and the third inner diameter are the same and the third inner diameter is the same. The second inner diameter and the fourth inner diameter may be the same.

本発明に係る液面レベル検出装置において、前記第１の分岐路の終端部は、ポリエチレンまたはポリ四フッ化エチレンからなるチューブで構成されていてもよい。 In the liquid level detection device according to the present invention, the terminal portion of the first branch path may be composed of a tube made of polyethylene or polytetrafluoroethylene.

本発明に係る液面レベル検出方法は、液体容器に貯留された液体の液面レベルを検出する液面レベル検出方法であって、所定の気圧および所定の流量に調整された気流を、前記液体容器側に向かう第１の分岐路と、開放側に向かう第２の分岐路とに分岐させ、前記第１の分岐路の終端部が前記液体に接触しているときに前記第２の分岐路を流れる気体の流量と、前記第１の分岐路の終端部が前記液体から離れているときに前記第２の分岐路を流れる気体の流量との違いによって、前記液体の液面レベルを検出する。 The liquid level detection method according to the present invention is a liquid level detection method for detecting the liquid level of a liquid stored in a liquid container, and a liquid flow adjusted to a predetermined pressure and a predetermined flow rate is used as the liquid. The second branch path is branched into a first branch path toward the container side and a second branch path toward the open side, and when the end portion of the first branch path is in contact with the liquid. The liquid level of the liquid is detected by the difference between the flow rate of the gas flowing through the first branch path and the flow rate of the gas flowing through the second branch path when the end of the first branch path is away from the liquid. ..

本発明に係るめっき処理装置は、めっき液を貯留するためのめっき槽と、前記めっき槽に貯留されためっき液の液面レベルを検出する液面レベル検出装置と、を備えるめっき処理装置であって、前記液面レベル検出装置は、所定の気圧および所定の流量に調整された気流を生成する気流生成部と、前記気流生成部で生成された前記気流を、前記めっき槽側に向かう第１の分岐路と、開放側に向かう第２の分岐路とに分岐させる分岐部と、前記第２の分岐路を流れる気体の流量を検出する流量検出部と、を備え、前記第１の分岐路の終端部は、前記めっき槽に貯留されるめっき液の液面と対向するように配置され、前記流量検出部は、前記第１の分岐路の終端部が前記めっき液に接触しているときに前記第２の分岐路を流れる気体の流量と、前記第１の分岐路の終端部が前記めっき液から離れているときに前記第２の分岐路を流れる気体の流量との違いを感知して、前記めっき液の液面レベルに対応する検出信号を出力する。 The plating processing apparatus according to the present invention is a plating processing apparatus including a plating tank for storing a plating solution and a liquid level level detecting device for detecting the liquid level of the plating solution stored in the plating tank. In the liquid level detection device, the airflow generation unit that generates an airflow adjusted to a predetermined pressure and a predetermined flow rate, and the airflow generated by the airflow generation unit are first directed toward the plating tank side. The first branch path is provided with a branch section for branching into a branch path, a second branch path toward the open side, and a flow rate detection section for detecting the flow rate of gas flowing through the second branch path. The terminal portion of the above is arranged so as to face the liquid surface of the plating solution stored in the plating tank, and the flow rate detection unit is when the terminal portion of the first branch path is in contact with the plating solution. The difference between the flow rate of the gas flowing through the second branch path and the flow rate of the gas flowing through the second branch path when the end portion of the first branch path is away from the plating solution is sensed. Then, a detection signal corresponding to the liquid level of the plating solution is output.

本発明によれば、液体容器から十分に離れた場所に液面レベル検出用の計測用機器類や電気配線類を設置することができる。 According to the present invention, measuring equipment and electrical wiring for detecting the liquid level can be installed at a place sufficiently distant from the liquid container.

発明の実施形態に係る液面レベル検出装置の構成を説明する模式図である。It is a schematic diagram explaining the structure of the liquid level level detection apparatus which concerns on embodiment of an invention. 第１の分岐路の終端部にめっき液が接触している状態を示す側面概略図である。It is a side schematic diagram which shows the state which the plating solution is in contact with the terminal part of the 1st branch path. 第１の分岐路の終端部からめっき液が離れている状態を示す側面概略図である。It is a side schematic diagram which shows the state which the plating | plating liquid is separated from the terminal part of the 1st branch path.

以下、本発明の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、本発明の実施形態においては、めっき処理装置に用いられる液面レベル検出装置を例に挙げて説明する。ただし、本発明に係る液面レベル検出装置および液面レベル検出方法は、めっき処理装置に限らず、液体容器に貯留される液体の液面レベルを検出する際に広く適用することが可能である。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the embodiment of the present invention, the liquid level level detection device used in the plating processing device will be described as an example. However, the liquid level detection device and the liquid level level detection method according to the present invention can be widely applied not only to the plating processing device but also to detect the liquid level of the liquid stored in the liquid container. ..

＜液面レベル検出装置＞
図１は、本発明の実施形態に係る液面レベル検出装置の構成を説明する模式図である。
図１に示すように、液面レベル検出装置１は、気流生成部２と、分岐部３と、第１の分岐路５と、第２の分岐路６と、流量検出部７と、を備えている。気流生成部２は、所定の気圧および所定の流量に調整された気流を生成するもので、圧力調整部１１と、流量調整部１２とを有している。第１の分岐路５には第１の異径継手１４が設けられている。第２の分岐路６には、流量検出部７と共に、第２の異径継手１５が設けられている。以下、各部の構成について詳しく説明する。 <Liquid level detection device>
FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a configuration of a liquid level level detection device according to an embodiment of the present invention.
As shown in FIG. 1, the liquid level detection device 1 includes an air flow generation unit 2, a branch unit 3, a first branch path 5, a second branch path 6, and a flow rate detection unit 7. ing. The airflow generation unit 2 generates an airflow adjusted to a predetermined atmospheric pressure and a predetermined flow rate, and has a pressure adjusting unit 11 and a flow rate adjusting unit 12. The first branch path 5 is provided with a first different diameter joint 14. The second branch path 6 is provided with a second different diameter joint 15 together with the flow rate detecting unit 7. Hereinafter, the configuration of each part will be described in detail.

圧力調整部１１の入口ポートにはチューブ２１の終端部が接続されている。チューブ２１は、図示しないコンプレッサーを用いて生成される、圧縮された気体を圧力調整部１１に導くものである。本実施形態においては、圧縮された気体の一例として圧縮空気Ａｐを想定する。ただし、本発明で取り扱う気体は空気に限らず、たとえば、窒素やアルゴンなどの不活性ガスでもよいし、これ以外のガスでもよい。圧力調整部１１の出口ポートにはチューブ２２の始端部が接続されている。なお、液面レベル検出装置１の構成要素の１つとなるチューブは、エアー配管用のチューブ、すなわちエアーチューブを意味する。チューブの材料として、たとえば、本発明の実施形態に係るめっき処理装置が無電解ニッケルめっき処理に用いられるものであるとすると、めっき液に対して耐食性を有する樹脂、具体的には、ポリエチレンまたはポリ四フッ化エチレンなどを適用することが好ましい。 The end portion of the tube 21 is connected to the inlet port of the pressure adjusting portion 11. The tube 21 guides the compressed gas generated by using a compressor (not shown) to the pressure adjusting unit 11. In the present embodiment, compressed air Ap is assumed as an example of the compressed gas. However, the gas handled in the present invention is not limited to air, and may be, for example, an inert gas such as nitrogen or argon, or any other gas. The start end of the tube 22 is connected to the outlet port of the pressure adjusting unit 11. The tube that is one of the components of the liquid level detection device 1 means a tube for air piping, that is, an air tube. As a material for the tube, for example, assuming that the plating treatment apparatus according to the embodiment of the present invention is used for electroless nickel plating treatment, a resin having corrosion resistance to a plating solution, specifically polyethylene or poly. It is preferable to apply ethylene tetrafluoride or the like.

ここで、チューブの始端部と終端部について説明する。図１においては、液面レベル検出装置１内で気体が流れる方向を破線の矢印で示している。本明細書においては、液面レベル検出装置１内で気体が流れる方向を基準に上流側と下流側を規定する。また、気体の流れを案内するチューブの長さ方向においては、気流の上流側となるチューブの端部を始端部と規定し、気流の下流側となるチューブの端部を終端部と規定する。このため、気体は、チューブが形成する管路に案内されてチューブの始端部から終端部に向かって流れる。 Here, the start end portion and the end portion of the tube will be described. In FIG. 1, the direction in which the gas flows in the liquid level level detection device 1 is indicated by a broken line arrow. In the present specification, the upstream side and the downstream side are defined with reference to the direction in which the gas flows in the liquid level detection device 1. Further, in the length direction of the tube that guides the flow of gas, the end of the tube on the upstream side of the airflow is defined as the start end, and the end of the tube on the downstream side of the airflow is defined as the end. Therefore, the gas is guided by the conduit formed by the tube and flows from the start end to the end of the tube.

チューブ２２の終端部は、流量調整部１２の入口ポートに接続されている。これにより、圧力調整部１１と流量調整部１２は、チューブ２２を介して相互に接続されている。圧力調整部１１は、チューブ２１を通して送り込まれる圧縮空気Ａｐの圧力を減圧、安定するものである。圧力調整部１１は、圧力調整用のハンドル１１ａを有し、このハンドル１１ａを適宜回転操作することにより、圧縮空気Ａｐの圧力を所望の気圧に減圧可能な構成となっている。圧力調整部１１は、たとえば、エアーフィルター付きのレギュレーターを用いて構成することができる。 The end of the tube 22 is connected to the inlet port of the flow rate regulator 12. As a result, the pressure adjusting unit 11 and the flow rate adjusting unit 12 are connected to each other via the tube 22. The pressure adjusting unit 11 reduces and stabilizes the pressure of the compressed air Ap sent through the tube 21. The pressure adjusting unit 11 has a handle 11a for adjusting the pressure, and by appropriately rotating the handle 11a, the pressure of the compressed air Ap can be reduced to a desired atmospheric pressure. The pressure adjusting unit 11 can be configured by using, for example, a regulator with an air filter.

チューブ２２は、圧力調整部１１によって減圧された気体を流量調整部１２に導くものである。流量調整部１２は、圧力調整部１１で減圧される気体の流量を調整するものである。流量調整部１２は、気体を流すための流路を有し、この流路の内径を部分的に小さく絞ることにより、気体の流量を制限する。流量調整部１２は、流量調整用のハンドル１２ａを有し、このハンドル１２ａを適宜回転操作することにより、流路を流れる気体の流量を調整可能な構成となっている。また、流量調整部１２は、圧力調整部１１よりも下流側に配置され、そこで気体の流量を制限することにより、流量調整部１２による圧縮空気Ａｐの減圧、安定を手助けする役目を果たす。流量調整部１２は、たとえば、流量制御弁を有するスピードコントローラーを用いて構成することができる。 The tube 22 guides the gas decompressed by the pressure adjusting unit 11 to the flow rate adjusting unit 12. The flow rate adjusting unit 12 adjusts the flow rate of the gas decompressed by the pressure adjusting unit 11. The flow rate adjusting unit 12 has a flow path for flowing a gas, and limits the flow rate of the gas by partially reducing the inner diameter of the flow path. The flow rate adjusting unit 12 has a handle 12a for adjusting the flow rate, and the flow rate of the gas flowing through the flow path can be adjusted by appropriately rotating the handle 12a. Further, the flow rate adjusting unit 12 is arranged on the downstream side of the pressure adjusting unit 11, and by limiting the flow rate of the gas there, serves to help the flow rate adjusting unit 12 reduce the pressure and stabilize the compressed air Ap. The flow rate adjusting unit 12 can be configured by using, for example, a speed controller having a flow rate control valve.

流量調整部１２の出口ポートには、チューブ２３の始端部が接続されている。チューブ２３の終端部は、分岐部３の入口ポートに接続されている。これにより、流量調整部１２と分岐部３は、チューブ２３を介して相互に接続されている。分岐部３は、流量調整部１２からチューブ２３を通して送り込まれる気流を、第１の分岐路５と第２の分岐路６とに分岐させるものである。分岐部３は、たとえば、Ｔ字形の継手を用いて構成することができる。分岐部３は、１つの入口ポートと、該入口ポートに連通する２つの出口ポートとを有する。分岐部３が有する２つの出口ポートは、互いに連通している。また、分岐部３が有する一方の出口ポートには第１の分岐路５が接続され、同他方の出口ポートには第２の分岐路６が接続されている。このため、第１の分岐路５と第２の分岐路６は、分岐部３で互いに連通している。連通とは、空間的につながっている状態をいう。 The start end of the tube 23 is connected to the outlet port of the flow rate adjusting unit 12. The end of the tube 23 is connected to the inlet port of the branch 3. As a result, the flow rate adjusting unit 12 and the branching unit 3 are connected to each other via the tube 23. The branching portion 3 branches the airflow sent from the flow rate adjusting portion 12 through the tube 23 into the first branching path 5 and the second branching path 6. The branch portion 3 can be configured by using, for example, a T-shaped joint. The branch portion 3 has one inlet port and two exit ports communicating with the inlet port. The two exit ports of the branch 3 communicate with each other. Further, a first branch road 5 is connected to one exit port of the branch portion 3, and a second branch road 6 is connected to the other exit port. Therefore, the first branch road 5 and the second branch road 6 communicate with each other at the branch portion 3. Communication means a state of being spatially connected.

第１の分岐路５は、内径が異なるチューブ２４およびチューブ２５を用いて構成されている。チューブ２４の長さは、チューブ２５の長さに比べて短く設定されている。チューブ２４の長さは短いほうが好ましいが、継手等を外す際の作業性を考慮すると１００ｍｍ以上確保することが好ましい。チューブ２５の内径は、チューブ２４の内径よりも大きく設定されている。たとえば、チューブ２４の内径は４ｍｍ、チューブ２５の内径は９ｍｍに設定されている。一方、チューブ２１、チューブ２２およびチューブ２３の各内径は、いずれも、チューブ２４の内径と同一に設定されている。なお、チューブの内径とは、チューブ内を気体が流れるときの流路の直径を意味する。 The first branch path 5 is configured by using tubes 24 and tubes 25 having different inner diameters. The length of the tube 24 is set shorter than the length of the tube 25. The length of the tube 24 is preferably short, but it is preferable to secure 100 mm or more in consideration of workability when removing the joint or the like. The inner diameter of the tube 25 is set to be larger than the inner diameter of the tube 24. For example, the inner diameter of the tube 24 is set to 4 mm, and the inner diameter of the tube 25 is set to 9 mm. On the other hand, the inner diameters of the tube 21, the tube 22 and the tube 23 are all set to be the same as the inner diameter of the tube 24. The inner diameter of the tube means the diameter of the flow path when the gas flows in the tube.

チューブ２４の始端部は分岐部３の一方の出口ポートに接続され、同終端部は、第１の異径継手１４の入口ポートに接続されている。これにより、分岐部３と第１の異径継手１４は、チューブ２４を介して相互に接続されている。一方、チューブ２５の始端部は、第１の異径継手１４の出口ポートに接続され、同終端部２５ａは、めっき槽１６の内部に配置されている。第１の異径継手１４は、径の異なるチューブ２４，２５同士を接続するものである。第１の異径継手１４の入口ポートのポート径は、チューブ２４の内径および外径に対応し、同出口ポートのポート径は、チューブ２５の内径および外径に対応している。 The start end of the tube 24 is connected to one exit port of the branch portion 3, and the end portion is connected to the inlet port of the first different diameter joint 14. As a result, the branch portion 3 and the first different diameter joint 14 are connected to each other via the tube 24. On the other hand, the start end portion of the tube 25 is connected to the outlet port of the first different diameter joint 14, and the end portion 25a is arranged inside the plating tank 16. The first different diameter joint 14 connects tubes 24 and 25 having different diameters to each other. The port diameter of the inlet port of the first different diameter joint 14 corresponds to the inner diameter and the outer diameter of the tube 24, and the port diameter of the outlet port corresponds to the inner diameter and the outer diameter of the tube 25.

めっき槽１６は、めっき液を貯留するためのものである。めっき槽１６の内部では、チューブ２５の終端部２５ａが、めっき液の液面と対向するように配置されている。具体的には、チューブ２５の終端部２５ａは、めっき液の液面に対して鉛直方向で対向するように、鉛直下向きに配置されている。チューブ２５の終端部２５ａは、第２の分岐路６の終端部に相当する。チューブ２５は、めっき槽１６の内部や周辺に配置されるため、めっき槽１６に貯留されるめっき液の影響を受けやすい。このため、チューブ２５には、めっき液に対して耐食性を有するポリエチレンまたはポリ四フッ化エチレンからなるチューブを用いることが好ましい。 The plating tank 16 is for storing the plating solution. Inside the plating tank 16, the terminal portion 25a of the tube 25 is arranged so as to face the liquid surface of the plating solution. Specifically, the end portion 25a of the tube 25 is arranged vertically downward so as to face the liquid surface of the plating solution in the vertical direction. The end portion 25a of the tube 25 corresponds to the end portion of the second branch path 6. Since the tube 25 is arranged inside or around the plating tank 16, it is easily affected by the plating solution stored in the plating tank 16. Therefore, for the tube 25, it is preferable to use a tube made of polyethylene or polytetrafluoroethylene having corrosion resistance to the plating solution.

第１の分岐路５は、分岐部３からめっき槽１６側に分岐するように形成され、第２の分岐路６は、分岐部３から開放側Ｏｐに分岐するように形成されている。開放側とは、チューブ等を通して気体を大気中に放出するために、大気中に開放される側を意味する。ここで、めっき槽１６に貯留されためっき液の液面レベルを監視している期間を監視期間と定義すると、開放側Ｏｐは、少なくとも監視期間中は、常に大気中に開放される側となる。これに対し、めっき槽１６側は、めっき槽１６に貯留されためっき液がチューブ２５の終端部２５ａから離れたときは一時的に大気中に開放されるものの、めっき液がチューブ２５の終端部２５ａが触れている間は閉塞される。このため、めっき槽１６側は、監視期間中、常に大気中に開放される側とはならない。 The first branch path 5 is formed so as to branch from the branch portion 3 to the plating tank 16 side, and the second branch path 6 is formed so as to branch from the branch portion 3 to the open side Op. The open side means a side that is open to the atmosphere in order to release a gas into the atmosphere through a tube or the like. Here, if the period during which the liquid level of the plating solution stored in the plating tank 16 is monitored is defined as the monitoring period, the open side Op is always open to the atmosphere at least during the monitoring period. .. On the other hand, on the plating tank 16 side, when the plating solution stored in the plating tank 16 is separated from the terminal portion 25a of the tube 25, the plating solution is temporarily released to the atmosphere, but the plating solution is the terminal portion of the tube 25. It is blocked while the 25a is touching. Therefore, the plating tank 16 side is not always open to the atmosphere during the monitoring period.

本実施形態において、めっき槽１６は、液体容器に相当し、めっき液は、液体容器に貯留される液体に相当する。ただし、液体容器は、めっき槽に限らず、たとえば、タンクなどのように液体を貯留できる容器であればよい。また、液体容器に貯留される液体は、めっき液以外の液体でもよいし、固体粒子が液体中に分散したもの、あるいは、固体粒子と液体の混合物などでもよい。 In the present embodiment, the plating tank 16 corresponds to a liquid container, and the plating solution corresponds to the liquid stored in the liquid container. However, the liquid container is not limited to the plating tank, and may be any container such as a tank that can store the liquid. Further, the liquid stored in the liquid container may be a liquid other than the plating liquid, a liquid in which solid particles are dispersed in the liquid, a mixture of the solid particles and the liquid, or the like.

第２の分岐路６は、内径が異なるチューブ２６，２７およびチューブ２８を用いて構成されている。チューブ２６の内径は、チューブ２７の内径と同一に設定されている。チューブ２８の内径は、チューブ２６の内径よりも大きく設定されている。たとえば、チューブ２６およびチューブ２７の各内径は４ｍｍ、チューブ２８の内径は９ｍｍに設定されている。 The second branch path 6 is configured by using tubes 26, 27 and tubes 28 having different inner diameters. The inner diameter of the tube 26 is set to be the same as the inner diameter of the tube 27. The inner diameter of the tube 28 is set to be larger than the inner diameter of the tube 26. For example, the inner diameters of the tube 26 and the tube 27 are set to 4 mm, and the inner diameter of the tube 28 is set to 9 mm.

また、チューブ２６およびチューブ２７の各内径は、チューブ２４の内径と同一に設定されており、チューブ２８の内径は、チューブ２５の内径と同一に設定されている。なお、チューブ２４の内径は第１の内径に相当し、チューブ２５の内径は第２の内径に相当する。また、チューブ２６，２７の内径は第３の内径に相当し、チューブ２８の内径は第４の内径に相当する。 Further, the inner diameters of the tube 26 and the tube 27 are set to be the same as the inner diameter of the tube 24, and the inner diameter of the tube 28 is set to be the same as the inner diameter of the tube 25. The inner diameter of the tube 24 corresponds to the first inner diameter, and the inner diameter of the tube 25 corresponds to the second inner diameter. Further, the inner diameters of the tubes 26 and 27 correspond to the third inner diameter, and the inner diameter of the tube 28 corresponds to the fourth inner diameter.

チューブ２６の始端部は、分岐部３の出口ポートに接続され、同終端部は、流量検出部７の入口ポートに接続されている。これにより、分岐部３と流量検出部７は、チューブ２６を介して相互に接続されている。一方、チューブ２７の始端部は、流量検出部７の出口ポートに接続され、同終端部は、第２の異径継手１５の入口ポートに接続されている。これにより、流量検出部７と第２の異径継手１５は、チューブ２７を介して相互に接続されている。 The start end portion of the tube 26 is connected to the outlet port of the branch portion 3, and the end portion thereof is connected to the inlet port of the flow rate detection unit 7. As a result, the branch portion 3 and the flow rate detection unit 7 are connected to each other via the tube 26. On the other hand, the start end portion of the tube 27 is connected to the outlet port of the flow rate detection unit 7, and the end portion thereof is connected to the inlet port of the second different diameter joint 15. As a result, the flow rate detection unit 7 and the second different diameter joint 15 are connected to each other via the tube 27.

流量検出部７は、第２の分岐路６を流れる気体の流量を検出するものである。流量検出部７は、チューブ２５の終端部２５ａがめっき液に接触しているときに第２の分岐路６を流れる気体の流量と、チューブ２５の終端部２５ａがめっき液から離れているときに第２の分岐路６を流れる気体の流量との違いを感知する。そして、流量検出部７は、第２の分岐路６を流れる気体の流量が予め設定された設定流量以上のときは、第１の検出信号を出力する。また、流量検出部７は、第２の分岐路６を流れる気体の流量が設定流量未満のときは、第１の検出信号とは異なる第２の検出信号を出力する。このように本実施形態においては、流量検出部７が、第２の分岐路６を流れる気体の流量の違いを感知し、この感知結果に基づいて、第１の検出信号または第２の検出信号を出力することにより、めっき液の液面レベルを検出可能な構成になっている。すなわち、流量検出部７が第１の検出信号を出力するときは、めっき液の液面レベルがチューブ２５の終端部２５ａと同じ高さか、それよりも高い位置にあると検出することができる。また、流量検出部７が第２の検出信号を出力するときは、めっき液の液面レベルがチューブ２５の終端部２５ａよりも低い位置にあると検出することができる。 The flow rate detection unit 7 detects the flow rate of the gas flowing through the second branch path 6. The flow rate detecting unit 7 receives the flow rate of the gas flowing through the second branch path 6 when the end portion 25a of the tube 25 is in contact with the plating solution, and when the end portion 25a of the tube 25 is separated from the plating solution. The difference from the flow rate of the gas flowing through the second branch path 6 is sensed. Then, when the flow rate of the gas flowing through the second branch path 6 is equal to or higher than the preset set flow rate, the flow rate detection unit 7 outputs the first detection signal. Further, when the flow rate of the gas flowing through the second branch path 6 is less than the set flow rate, the flow rate detection unit 7 outputs a second detection signal different from the first detection signal. As described above, in the present embodiment, the flow rate detection unit 7 senses the difference in the flow rate of the gas flowing through the second branch path 6, and based on this detection result, the first detection signal or the second detection signal. Is output so that the liquid level of the plating solution can be detected. That is, when the flow rate detection unit 7 outputs the first detection signal, it can be detected that the liquid level of the plating solution is at the same level as or higher than the terminal portion 25a of the tube 25. Further, when the flow rate detection unit 7 outputs the second detection signal, it can be detected that the liquid level of the plating solution is lower than the terminal portion 25a of the tube 25.

流量検出部７は、たとえば、デジタル式のフロースイッチを用いて構成することができる。フロースイッチは、フロースイッチ自身が検出する気体の流量（以下、「検出流量」ともいう。）を数値で表示する表示部を有する。また、フロースイッチは、検出流量が予め設定された設定流量以上になると、オン信号を出力する。設定流量は、たとえば、フロースイッチに設けられたボタンを操作することにより、フロースイッチで任意に設定可能である。ただし、フロースイッチで設定可能な設定流量の範囲には制限があり、この制限範囲内で設定流量を任意に設定可能となっている。本実施形態では、流量検出部７がフロースイッチによって構成されているものとする。また、流量検出部７の検出流量が設定流量以上のときに、流量検出部７がオン信号を出力し、流量検出部７の検出流量が設定流量未満のときに、流量検出部７がオフ信号を出力するものとする。この場合、オン信号は、第１の検出信号に相当し、オフ信号は、第２の検出信号に相当する。 The flow rate detection unit 7 can be configured by using, for example, a digital flow switch. The flow switch has a display unit that numerically displays the flow rate of the gas detected by the flow switch itself (hereinafter, also referred to as “detected flow rate”). Further, the flow switch outputs an on signal when the detected flow rate exceeds the preset set flow rate. The set flow rate can be arbitrarily set by the flow switch, for example, by operating a button provided on the flow switch. However, there is a limit to the range of the set flow rate that can be set by the flow switch, and the set flow rate can be arbitrarily set within this limit range. In the present embodiment, it is assumed that the flow rate detection unit 7 is configured by a flow switch. Further, when the detected flow rate of the flow rate detection unit 7 is equal to or higher than the set flow rate, the flow rate detection unit 7 outputs an on signal, and when the detected flow rate of the flow rate detection unit 7 is less than the set flow rate, the flow rate detection unit 7 gives an off signal. Is to be output. In this case, the on signal corresponds to the first detection signal, and the off signal corresponds to the second detection signal.

チューブ２８の始端部は第２の異径継手１５の出口ポートに接続され、同終端部は直接または他のチューブ等を介して、大気中に開放されている。第２の異径継手１５は、径の異なるチューブ２７，２８同士を接続するものである。第２の異径継手１５の入口ポートのポート径は、チューブ２７の内径および外径に対応し、同出口ポートのポート径は、チューブ２８の内径および外径に対応している。 The start end of the tube 28 is connected to the outlet port of the second different diameter joint 15, and the end portion is open to the atmosphere directly or via another tube or the like. The second different diameter joint 15 connects the tubes 27 and 28 having different diameters to each other. The port diameter of the inlet port of the second different diameter joint 15 corresponds to the inner diameter and the outer diameter of the tube 27, and the port diameter of the outlet port corresponds to the inner diameter and the outer diameter of the tube 28.

＜液面レベル検出方法＞
続いて、本発明の実施形態に係る液面レベル検出方法について説明する。
本実施形態においては、一例として、液面レベル検出装置１の動作とこれに基づく液面レベル検出方法について説明する。 <Liquid level detection method>
Subsequently, the liquid level detection method according to the embodiment of the present invention will be described.
In this embodiment, as an example, the operation of the liquid level detection device 1 and the liquid level level detection method based on the operation will be described.

（準備段階）
まず、準備段階として、液面レベル検出装置１を設置する作業者は、図１に示すように、圧力調整部１１と、流量調整部１２と、分岐部３と、流量検出部７と、第１の異径継手１４と、第２の異径継手１５を、チューブ２２～２８を用いて接続する。このとき、流量調整部１２の流路は閉じておく。 (Preparation stage)
First, as a preparatory step, as shown in FIG. 1, the operator who installs the liquid level level detecting device 1 includes a pressure adjusting unit 11, a flow rate adjusting unit 12, a branching unit 3, a flow rate detecting unit 7, and a second. The different diameter joint 14 of 1 and the second different diameter joint 15 are connected by using tubes 22 to 28. At this time, the flow path of the flow rate adjusting unit 12 is closed.

次に、作業者は、バルブ等を開閉操作することにより、図示しないコンプレッサーによって生成される圧縮空気Ａｐをチューブ２１に流す。準備段階では、たとえば図３に示すように、めっき槽１６にめっき液１７を入れておく。ただし、チューブ２５の終端部２５ａは、めっき液１７の液面１７ａから離しておく。 Next, the operator opens and closes a valve or the like to flow compressed air Ap generated by a compressor (not shown) into the tube 21. In the preparation stage, for example, as shown in FIG. 3, the plating solution 17 is placed in the plating tank 16. However, the end portion 25a of the tube 25 is kept away from the liquid surface 17a of the plating liquid 17.

続いて、作業者は、所定の気圧および所定の流量に調整された気流を気流生成部２が生成するように、圧力調整部１１および流量調整部１２を調整する。気流生成部２で生成された気流はチューブ２３に送られる。所定の気圧は、たとえば、圧縮空気Ａｐの設定圧力が０．８ＭＰａであるとすると、好ましくは、０．３ＭＰａ以上、０．６ＭＰａ以下である。
所定の流量は、第２の分岐路６に流れる気体の流量に依存する。具体的には、第２の分岐路６に流れる気体の流量が、好ましくは、３．０Ｌ／ｍｉｎ以上、７．０Ｌ／ｍｉｎ以下となるように流量調整部１２で調整された気体の流量が、所定の流量に相当する。本実施形態においては、一例として、所定の気圧が０．４ＭＰａ、第２の分岐路６に流れる気体の流量が４．０Ｌ／ｍｉｎに設定されるものとする。 Subsequently, the operator adjusts the pressure adjusting unit 11 and the flow rate adjusting unit 12 so that the airflow generating unit 2 generates an airflow adjusted to a predetermined atmospheric pressure and a predetermined flow rate. The airflow generated by the airflow generation unit 2 is sent to the tube 23. The predetermined atmospheric pressure is preferably 0.3 MPa or more and 0.6 MPa or less, assuming that the set pressure of the compressed air Ap is 0.8 MPa, for example.
The predetermined flow rate depends on the flow rate of the gas flowing through the second branch path 6. Specifically, the flow rate of the gas adjusted by the flow rate adjusting unit 12 so that the flow rate of the gas flowing through the second branch path 6 is preferably 3.0 L / min or more and 7.0 L / min or less is preferable. , Corresponds to a predetermined flow rate. In the present embodiment, as an example, it is assumed that the predetermined atmospheric pressure is set to 0.4 MPa and the flow rate of the gas flowing through the second branch path 6 is set to 4.0 L / min.

そうした場合、作業者は、まず、圧力調整部１１のハンドル１１ａを回転操作することにより、チューブ２１を通して圧力調整部１１に送り込まれる圧縮空気Ａｐの圧力を０．８ＭＰａから０．４ＭＰａに減圧させる。このとき、圧縮空気Ａｐに混入しているゴミ等を、圧力調整部１１が有するエアーフィルターによって除去する。 In such a case, the operator first rotates the handle 11a of the pressure adjusting unit 11 to reduce the pressure of the compressed air Ap sent to the pressure adjusting unit 11 through the tube 21 from 0.8 MPa to 0.4 MPa. At this time, dust and the like mixed in the compressed air Ap are removed by the air filter included in the pressure adjusting unit 11.

次に、作業者は、流量調整部１２のハンドル１２ａを回転操作することにより、流量調整部１２の流路を適量だけ開ける。具体的には、流量検出部７で検出される気体の流量が４．０Ｌ／ｍｉｎとなるよう、作業者は、流量調整部１２の表示部に表示される数値を見ながら、ハンドル１２ａを回転操作する。ただし、流量調整部１２のハンドル１２ａを回転操作するだけでは、流量検出部７を流れる気体の流量を安定させることが難しい。そこで、作業者は、流量調整部１２で流量の調整を終えたら、流量検出部７で検出される気体の流量が４．０Ｌ／ｍｉｎで安定するように、圧力調整部１１で気体の圧力を微調整する。その際、作業者は、流量調整部１２の表示部に表示される数値を見ながら、圧力調整部１１のハンドル１１ａを回転操作する。 Next, the operator rotates the handle 12a of the flow rate adjusting unit 12 to open the flow path of the flow rate adjusting unit 12 by an appropriate amount. Specifically, the operator rotates the handle 12a while observing the numerical value displayed on the display unit of the flow rate adjusting unit 12 so that the flow rate of the gas detected by the flow rate detecting unit 7 is 4.0 L / min. Manipulate. However, it is difficult to stabilize the flow rate of the gas flowing through the flow rate detection unit 7 only by rotating the handle 12a of the flow rate adjustment unit 12. Therefore, after the flow rate adjustment is completed by the flow rate adjusting unit 12, the operator adjusts the gas pressure by the pressure adjusting unit 11 so that the gas flow rate detected by the flow rate detecting unit 7 stabilizes at 4.0 L / min. Make fine adjustments. At that time, the operator rotates the handle 11a of the pressure adjusting unit 11 while observing the numerical value displayed on the display unit of the flow rate adjusting unit 12.

その後、作業者は、流量調整部１２の表示部に表示される数値が４．０Ｌ／ｍｉｎで安定していることを確認したら、チューブ２５の終端部２５ａをめっき液１７に接触させる。これにより、チューブ２５の終端部２５ａがめっき液１７によって塞がれる。このため、チューブ２５の終端部２５ａをめっき液１７に接触させる前に比べて、第１の分岐路５を流れる気体に働く抵抗が大きくなる。その結果、分岐部３において、第１の分岐路５に流れる気体の流量が減少し、その分だけ第２の分岐路６に流れる気体の流量が増える。たとえば、チューブ２５の終端部２５ａをめっき液１７に接触させる前は、流量検出部７の検出流量が４．０Ｌ／ｍｉｎで安定していた場合は、チューブ２５の終端部２５ａがめっき液１７に触れることで、流量検出部７の検出流量が、たとえば４．５Ｌ／ｍｉｎに増える。なお、チューブ２５の終端部２５ａがめっき液１７に接触している状態では、チューブ２５の終端部２５ａから気体が少しずつ放出され続ける。 After that, after confirming that the numerical value displayed on the display unit of the flow rate adjusting unit 12 is stable at 4.0 L / min, the operator brings the end portion 25a of the tube 25 into contact with the plating solution 17. As a result, the end portion 25a of the tube 25 is closed by the plating solution 17. Therefore, the resistance acting on the gas flowing through the first branch path 5 becomes larger than before the terminal portion 25a of the tube 25 is brought into contact with the plating solution 17. As a result, in the branch portion 3, the flow rate of the gas flowing in the first branch path 5 decreases, and the flow rate of the gas flowing in the second branch path 6 increases by that amount. For example, if the detected flow rate of the flow rate detection unit 7 is stable at 4.0 L / min before the end portion 25a of the tube 25 is brought into contact with the plating solution 17, the end portion 25a of the tube 25 becomes the plating solution 17. By touching, the detected flow rate of the flow rate detection unit 7 increases to, for example, 4.5 L / min. In the state where the end portion 25a of the tube 25 is in contact with the plating solution 17, the gas continues to be released little by little from the end portion 25a of the tube 25.

そうした場合、作業者は、流量検出部７での検出流量が４．５Ｌ／ｍｉｎ以上となったときに、流量検出部７がオン信号を出力するように、流量検出部７の設定流量を設定する。このように流量検出部７の設定流量を設定しておけば、流量検出部７での検出流量が４．５Ｌ／ｍｉｎ未満のときに、流量検出部７がオフ信号を出力するようになる。実際の検出段階では、チューブ２５の終端部２５ａに接触していためっき液１７が、液面レベルの低下によってチューブ２５の終端部２５ａから離れたときに、流量検出部７での検出流量が４．０Ｌ／ｍｉｎまたはこれに近い流量まで下がることになる。以上で準備段階が終了となる。 In such a case, the operator sets the set flow rate of the flow rate detection unit 7 so that the flow rate detection unit 7 outputs an on signal when the flow rate detected by the flow rate detection unit 7 becomes 4.5 L / min or more. do. If the set flow rate of the flow rate detection unit 7 is set in this way, the flow rate detection unit 7 outputs an off signal when the flow rate detected by the flow rate detection unit 7 is less than 4.5 L / min. In the actual detection stage, when the plating solution 17 that was in contact with the end portion 25a of the tube 25 is separated from the end portion 25a of the tube 25 due to a decrease in the liquid level, the detected flow rate by the flow rate detection unit 7 is 4. The flow rate will drop to 0.0 L / min or close to this. This completes the preparation stage.

（検出段階）
めっき槽１６にめっき液１７を入れてめっき処理を行う場合は、めっき液１７の液面１７ａが予め決められた液面レベルを維持するように、液面レベル検出装置１を用いてめっき液１７の液面レベルを検出する。以下に、液面レベルの検出原理とこれに基づく水の補給方法について説明する。水の補給は、めっき槽１６に貯留されるめっき液１７の濃度を一定に保つために、めっき槽１６に接続される給水装置（不図示）によって行われる。 (Detection stage)
When the plating liquid 17 is put into the plating tank 16 and the plating process is performed, the plating liquid 17 is used by using the liquid level level detecting device 1 so that the liquid level 17a of the plating liquid 17 maintains a predetermined liquid level. Detects the liquid level of. The principle of detecting the liquid level and the method of replenishing water based on the principle will be described below. Water is replenished by a water supply device (not shown) connected to the plating tank 16 in order to keep the concentration of the plating solution 17 stored in the plating tank 16 constant.

まず、めっき槽１６に貯留されためっき液１７の液面１７ａが図２に示す液面レベルＬ１を維持し、チューブ２５の終端部２５ａにめっき液１７が接触している場合は、流量検出部７の検出流量が設定流量以上となる。この場合、流量検出部７からはオン信号が出力される。流量検出部７がオン信号を出力している間は、めっき槽１６に対して水の補給は行われない。 First, when the liquid level 17a of the plating liquid 17 stored in the plating tank 16 maintains the liquid level L1 shown in FIG. 2 and the plating liquid 17 is in contact with the terminal portion 25a of the tube 25, the flow rate detection unit. The detected flow rate of 7 is equal to or higher than the set flow rate. In this case, an on signal is output from the flow rate detection unit 7. While the flow rate detection unit 7 outputs an ON signal, water is not replenished to the plating tank 16.

これに対し、たとえば、めっき液１７の水分が徐々に蒸発し、めっき液１７の液面１７ａが図３に示す液面レベルＬ２まで下がると、チューブ２５の終端部２５ａからめっき液１７が離れる。そうすると、流量検出部７の検出流量が設定流量未満となるため、流量検出部７の出力信号がオン信号からオフ信号に切り替わる。流量検出部７が出力するオフ信号は、水の補給を指示する信号となる。よって、流量検出部７がオフ信号を出力しているときは、めっき槽１６に対して水の補給が行われる。水の補給は、流量検出部７の出力信号がオフ信号からオン信号に切り替わった段階、すなわち図２に示すようにチューブ２５の終端部２５ａにめっき液１７が接触した段階で止まる。 On the other hand, for example, when the water content of the plating solution 17 gradually evaporates and the liquid level 17a of the plating solution 17 drops to the liquid level L2 shown in FIG. 3, the plating solution 17 separates from the terminal portion 25a of the tube 25. Then, since the detected flow rate of the flow rate detection unit 7 is less than the set flow rate, the output signal of the flow rate detection unit 7 is switched from the on signal to the off signal. The off signal output by the flow rate detection unit 7 is a signal instructing the replenishment of water. Therefore, when the flow rate detection unit 7 outputs an off signal, water is replenished to the plating tank 16. The water supply is stopped when the output signal of the flow rate detection unit 7 is switched from the off signal to the on signal, that is, when the plating solution 17 comes into contact with the terminal portion 25a of the tube 25 as shown in FIG.

このように、液面レベル検出装置１を用いてめっき液１７の液面レベルを検出し、この検出結果に基づいてめっき槽１６への水の補給を制御することにより、めっき液１７の液面１７ａをほぼ一定の液面レベルに維持することができる。 In this way, the liquid level of the plating solution 17 is detected by using the liquid level level detecting device 1, and the liquid level of the plating solution 17 is controlled by controlling the supply of water to the plating tank 16 based on the detection result. 17a can be maintained at a substantially constant liquid level.

なお、図３においては、液面レベル検出装置１による液面レベルの検出原理を容易に理解できるように、チューブ２５の終端部２５ａからめっき液１７の液面１７ａを大きく離して表記している。ただし、実際のめっき処理においては、めっき液１７の液面１７ａをほぼ一定の高さに維持する必要がある。このため、めっき液１７がチューブ２５の終端部２５ａに触れなくなった段階、すなわちめっき液１７の液面１７ａが液面レベルＬ１からわずかに下がった段階で、流量検出部７の出力信号がオン信号からオフ信号に切り替わる。したがって、めっき液１７の液面１７ａは、流量検出部７の出力信号に基づく水の補給によって液面レベルＬ１を維持するように制御される。 In FIG. 3, the liquid level 17a of the plating solution 17 is largely separated from the terminal portion 25a of the tube 25 so that the principle of detecting the liquid level level by the liquid level detection device 1 can be easily understood. .. However, in the actual plating process, it is necessary to maintain the liquid level 17a of the plating liquid 17 at a substantially constant height. Therefore, when the plating solution 17 does not touch the end portion 25a of the tube 25, that is, when the liquid level 17a of the plating solution 17 slightly drops from the liquid level level L1, the output signal of the flow rate detection unit 7 is turned on. Switch to the off signal. Therefore, the liquid level 17a of the plating liquid 17 is controlled to maintain the liquid level L1 by replenishing water based on the output signal of the flow rate detection unit 7.

＜実施形態の効果＞
本発明の実施形態においては、気流生成部２で生成される気流を分岐部３によって第１の分岐路５と第２の分岐路６とに分岐させる。そして、流量検出部７は、チューブ２５の終端部２５ａがめっき液１７に接触しているときに第２の分岐路６を流れる気体の流量と、チューブ２５の終端部２５ａからめっき液１７が離れているときに第２の分岐路６を流れる気体の流量との違いを感知して、めっき液１７の液面レベルに対応する検出信号を出力する。このように、第２の分岐路６を流れる気体の流量の変化を利用してめっき液１７の液面レベルを検出することにより、第１の分岐路５を形成するチューブ２５の長さを十分に長く確保した場合でも、めっき液１７の液面レベルを検出することができる。具体的には、チューブ２５の長さを１０ｍ以上、さらには数十ｍ以上に長く確保した場合でも、めっき液１７の液面レベルを検出することが可能となる。 <Effect of embodiment>
In the embodiment of the present invention, the airflow generated by the airflow generation section 2 is branched into the first branch path 5 and the second branch path 6 by the branch section 3. Then, in the flow rate detecting unit 7, the flow rate of the gas flowing through the second branch path 6 when the end portion 25a of the tube 25 is in contact with the plating solution 17 and the plating solution 17 are separated from the end portion 25a of the tube 25. At this time, the difference from the flow rate of the gas flowing through the second branch path 6 is sensed, and the detection signal corresponding to the liquid level of the plating solution 17 is output. In this way, by detecting the liquid level of the plating solution 17 by utilizing the change in the flow rate of the gas flowing through the second branch path 6, the length of the tube 25 forming the first branch path 5 is sufficient. Even if it is secured for a long time, the liquid level of the plating solution 17 can be detected. Specifically, even when the length of the tube 25 is secured to be 10 m or more, further to several tens of meters or more, it is possible to detect the liquid level of the plating solution 17.

これにより、チューブ２５の始端部よりも上流側に接続される気流生成部２、分岐部３、流量検出部７等の構成部品を、めっき槽１６から十分に離れたところに配置することができる。したがって、たとえば、無電解ニッケルめっき用途で液面レベル検出装置１を使用する場合でも、液面レベルの検出に使用される計測用機器類や電気配線類を、めっき槽１６から十分に離して配置することができる。その結果、計測用機器類や電気配線類の腐食を避けることができる。また、めっき液から発生する蒸気に起因した液面レベル検出装置１の誤動作を避けることができる。また、気体の流量変化を利用して、めっき液の液面レベルを検出する方式であるため、仮に、めっき槽１６に貯留されるめっき液や他の液体が導電性を有しない場合にも、その液体の液面レベルを検出することができる。また、チューブ２５の終端部２５ａから放出される気体は、第１の分岐路５での圧力損失等によって微弱な気体となるため、めっき液１７に悪影響を与えるおそれがない。また、めっき液１７の液面レベルの検出に使用する気体の量も非常に少ないため、環境への負荷を小さく抑えることができる。さらに、流量検出部７をフロースイッチによって構成する場合は、めっき液１７の波打ちを考慮して、フロースイッチの感度を調整することにより、波打ちの影響を小さく抑えることができる。具体的には、チューブ２５の終端部２５ａからめっき液１７が離れた状態が予め設定された時間以上継続したときに、フロースイッチの出力信号がオン信号からオフ信号に切り替わるように、フロースイッチの感度を調整することにより、波打ちの影響を抑えることができる。 As a result, components such as the airflow generation unit 2, the branch unit 3, and the flow rate detection unit 7 connected to the upstream side of the start end portion of the tube 25 can be arranged at a position sufficiently distant from the plating tank 16. .. Therefore, for example, even when the liquid level detection device 1 is used for electroless nickel plating, the measurement equipment and electrical wiring used for detecting the liquid level are arranged sufficiently away from the plating tank 16. can do. As a result, corrosion of measuring equipment and electrical wiring can be avoided. Further, it is possible to avoid a malfunction of the liquid level level detection device 1 due to the vapor generated from the plating solution. Further, since the method is to detect the liquid level of the plating liquid by using the change in the flow rate of the gas, even if the plating liquid or other liquid stored in the plating tank 16 does not have conductivity. The level level of the liquid can be detected. Further, since the gas discharged from the terminal portion 25a of the tube 25 becomes a weak gas due to the pressure loss in the first branch path 5 and the like, there is no possibility of adversely affecting the plating solution 17. Further, since the amount of gas used for detecting the liquid level of the plating solution 17 is very small, the load on the environment can be kept small. Further, when the flow rate detection unit 7 is configured by the flow switch, the influence of the undulation can be suppressed to be small by adjusting the sensitivity of the flow switch in consideration of the undulation of the plating solution 17. Specifically, when the plating solution 17 is separated from the terminal portion 25a of the tube 25 for a preset time or longer, the output signal of the flow switch is switched from the on signal to the off signal of the flow switch. By adjusting the sensitivity, the influence of waviness can be suppressed.

また、本発明の実施形態においては、第１の分岐路５に第１の異径継手１４を設けて、チューブ２４とチューブ２５をつなぐことにより、チューブ２５によって第１の分岐路５の内径寸法を大きく確保している。これにより、第１の分岐路５をチューブ２４だけで形成する場合に比べて、第１の分岐路５の管路抵抗を小さくすることができる。したがって、分岐部３からめっき槽１６までの離間距離を、より長く確保することが可能となる。 Further, in the embodiment of the present invention, by providing the first branch path 5 with the first different diameter joint 14 and connecting the tube 24 and the tube 25, the inner diameter dimension of the first branch path 5 is increased by the tube 25. Is secured greatly. As a result, the pipeline resistance of the first branch path 5 can be reduced as compared with the case where the first branch path 5 is formed only by the tube 24. Therefore, it is possible to secure a longer separation distance from the branch portion 3 to the plating tank 16.

また、本発明の実施形態においては、第２の分岐路６に第２の異径継手１５を設けて、チューブ２７とチューブ２８をつなぐことにより、チューブ２８によって第２の分岐路６の内径寸法を大きく確保している。これにより、第２の分岐路６をチューブ２６，２７だけで形成する場合に比べて、第２の分岐路６の管路抵抗を小さくすることができる。 Further, in the embodiment of the present invention, by providing the second branch path 6 with the second different diameter joint 15 and connecting the tube 27 and the tube 28, the inner diameter dimension of the second branch path 6 is increased by the tube 28. Is secured greatly. As a result, the pipeline resistance of the second branch path 6 can be reduced as compared with the case where the second branch path 6 is formed only by the tubes 26 and 27.

また、本発明の実施形態においては、チューブ２４の内径とチューブ２６，２７の内径を同一の寸法に設定すると共に、チューブ２５の内径とチューブ２８の内径を同一の寸法に設定している。これにより、第１の分岐路５と第２の分岐路６の管路抵抗のバランスを良好に保つことができる。 Further, in the embodiment of the present invention, the inner diameter of the tube 24 and the inner diameters of the tubes 26 and 27 are set to the same dimensions, and the inner diameter of the tube 25 and the inner diameter of the tube 28 are set to the same dimensions. Thereby, the balance of the pipeline resistance of the first branch path 5 and the second branch path 6 can be well maintained.

＜変形例等＞
本発明の技術的範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、発明の構成要件やその組み合わせによって得られる特定の効果を導き出せる範囲において、種々の変更や改良を加えた形態も含む。 <Modification examples, etc.>
The technical scope of the present invention is not limited to the above-described embodiment, and includes various modifications and improvements to the extent that a specific effect obtained by the constituent requirements of the invention and the combination thereof can be derived.

たとえば、上記実施形態においては、第１の分岐路５に第１の異径継手１４を設け、第２の分岐路６に第２の異径継手１５を設けた構成を採用したが、本発明はこれに限らず、第１の異径継手１４と第２の異径継手１５は、必要に応じて設けるようにしてもよい。 For example, in the above embodiment, the configuration in which the first different diameter joint 14 is provided in the first branch path 5 and the second different diameter joint 15 is provided in the second branch path 6 is adopted, but the present invention has been adopted. Is not limited to this, and the first different diameter joint 14 and the second different diameter joint 15 may be provided as needed.

また、上記実施形態においては、流量検出部７の出口ポートにチューブ２７を接続し、さらにチューブ２７の下流側に第２の異径継手１５とチューブ２８を接続した構成を採用したが、本発明はこれに限らない。たとえば、流量検出部７の出口ポートにチューブ等を接続せず、流量検出部７の出口ポートを直接、大気中に開放した構成を採用してもよい。 Further, in the above embodiment, the tube 27 is connected to the outlet port of the flow rate detection unit 7, and the second different diameter joint 15 and the tube 28 are connected to the downstream side of the tube 27. Is not limited to this. For example, a configuration may be adopted in which the outlet port of the flow rate detection unit 7 is directly opened to the atmosphere without connecting a tube or the like to the outlet port of the flow rate detection unit 7.

１液面レベル検出装置、２気流生成部、３分岐部、５第１の分岐路、６第２の分岐路、７流量検出部、１６めっき槽（液体容器）、１７めっき液（液体）、１７ａ液面、２５ａ終端部。 1 Liquid level detector, 2 Air flow generator, 3 Branch, 5 First branch, 6 Second branch, 7 Flow detector, 16 Plating tank (liquid container), 17 Plating liquid (liquid), 17a liquid level, 25a termination.

Claims

A liquid level detection device that detects the liquid level of the liquid stored in the liquid container.
An airflow generator that generates an airflow adjusted to a predetermined atmospheric pressure and a predetermined flow rate,
A branching portion for branching the airflow generated by the airflow generating portion into a first branch path toward the liquid container side and a second branch path toward the open side.
A flow rate detection unit that detects the flow rate of gas flowing through the second branch path, and
Equipped with
The first branch path includes a portion having a first inner diameter and a portion having a second inner diameter larger than the first inner diameter.
The second branch path includes a portion having a third inner diameter and a portion having a fourth inner diameter larger than the third inner diameter.
The first inner diameter and the third inner diameter are the same, and the second inner diameter and the fourth inner diameter are the same.
The end portion of the first branch path is arranged so as to face the liquid level of the liquid stored in the liquid container.
In the flow rate detecting unit, the flow rate of the gas flowing through the second branch path when the end portion of the first branch path is in contact with the liquid, and the end portion of the first branch path is the liquid. A liquid level detection device that senses a difference from the flow rate of a gas flowing through the second branch when it is away from the liquid and outputs a detection signal corresponding to the liquid level of the liquid.

It is a liquid level level detection method that detects the liquid level of the liquid stored in the liquid container.
A first unit having a portion having a first inner diameter and a portion having a second inner diameter larger than the first inner diameter, and having an air flow adjusted to a predetermined atmospheric pressure and a predetermined flow rate, toward the liquid container side. A branch path , a portion having a third inner diameter same as the first inner diameter, and a portion having a fourth inner diameter larger than the third inner diameter and the same as the second inner diameter. Branch to the second branch road toward the open side,
When the flow rate of gas flowing through the second branch when the end of the first branch is in contact with the liquid and when the end of the first branch is away from the liquid. A liquid level detection method for detecting the liquid level of the liquid by the difference from the flow rate of the gas flowing through the second branch path.

A plating processing apparatus including a plating tank for storing a plating solution and a liquid level level detecting device for detecting the liquid level of the plating solution stored in the plating tank.
The liquid level detection device is
An airflow generator that generates an airflow adjusted to a predetermined atmospheric pressure and a predetermined flow rate,
A branching portion for branching the airflow generated by the airflow generating portion into a first branch path toward the plating tank side and a second branch path toward the open side.
A flow rate detection unit that detects the flow rate of gas flowing through the second branch path, and
Equipped with
The first branch path includes a portion having a first inner diameter and a portion having a second inner diameter larger than the first inner diameter.
The second branch path includes a portion having a third inner diameter and a portion having a fourth inner diameter larger than the third inner diameter.
The first inner diameter and the third inner diameter are the same, and the second inner diameter and the fourth inner diameter are the same.
The end portion of the first branch path is arranged so as to face the liquid level of the plating solution stored in the plating tank.
In the flow rate detecting unit, the flow rate of the gas flowing through the second branch path when the end portion of the first branch path is in contact with the plating solution, and the end portion of the first branch path are said. A plating processing apparatus that senses a difference from the flow rate of gas flowing through the second branch path when it is away from the plating solution and outputs a detection signal corresponding to the liquid level of the plating solution.