JP6973768B2 - Inkjet resin composition, electronic components, manufacturing method of electronic components - Google Patents

Inkjet resin composition, electronic components, manufacturing method of electronic components Download PDF

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Description

本発明は、インクジェット用樹脂組成物、当該インクジェット用樹脂組成物の硬化物を有する電子部品、及び電子部品の製造方法に関する。 The present invention relates to an inkjet resin composition, an electronic component having a cured product of the inkjet resin composition, and a method for manufacturing the electronic component.

半導体パッケージ等の電子部品は、例えば、IC、LSI等の半導体チップ(ダイ)と、基板等の支持部材とを接着し、ダイから支持部材へワイヤーボンディングを行った後、モールド剤で封止することにより製造される。この際に用いる接着材料(ダイと支持部材とを接着させる接着材料)として、樹脂を主な原料とするペースト(ダイアタッチペースト)が知られている。ダイと支持部材との接着は、たとえば以下の手順により行われる。まず、支持部材にダイアタッチペーストを塗布し、所定波長の光を照射することで支持部材に対してダイアタッチペーストを仮固定する。そして、仮固定したダイアタッチペーストの上にダイを載置し(ダイアタッチ)、熱を加えることによりダイアタッチペーストを本硬化させ、ダイと支持部材とを接着する。なお、仮固定は、ダイを載置する位置決めのために、ダイアタッチペーストを仮硬化させることをいう。本硬化は、支持部材に対してダイを固定するため、ダイアタッチペースト全体を硬化させることをいう。 For electronic components such as semiconductor packages, for example, semiconductor chips (dies) such as ICs and LSIs are bonded to support members such as substrates, wire bonding is performed from the die to the support members, and then the components are sealed with a molding agent. Manufactured by As an adhesive material (adhesive material for adhering a die and a support member) used at this time, a paste (diatouch paste) using a resin as a main raw material is known. Adhesion between the die and the support member is performed, for example, by the following procedure. First, the die attach paste is applied to the support member, and the die attach paste is temporarily fixed to the support member by irradiating the support member with light having a predetermined wavelength. Then, the die is placed on the temporarily fixed die attach paste (diatouch), and the die attach paste is finally cured by applying heat, and the die and the support member are adhered to each other. Temporary fixing refers to temporarily curing the die attach paste for positioning on which the die is placed. This curing means that the entire die attach paste is cured in order to fix the die to the support member.

ダイアタッチペーストを支持部材に対して効率よく塗布するため、たとえば、インクジェット方式を用いることができる(特許文献1参照)。なお、特許文献1には、ダイアタッチペーストの流動性を向上させるために溶剤を含んでいてもよいことが記載されている。溶剤は、ダイアタッチペーストの粘度調整に用いられるものであるが、硬化時の化学反応には関与しない。 In order to efficiently apply the die attach paste to the support member, for example, an inkjet method can be used (see Patent Document 1). In addition, Patent Document 1 describes that a solvent may be contained in order to improve the fluidity of the die attach paste. The solvent is used to adjust the viscosity of the die attach paste, but does not participate in the chemical reaction during curing.

また、ダイアタッチペーストとしては、銀粉等の導電性フィラーを分散させた導電性のペーストと、シリカ等の絶縁性フィラーを分散させた絶縁性のペーストがある。絶縁性のダイアタッチペーストは、たとえば特許文献2に記載されている。なお、特許文献2のダイアタッチペーストは、反応性希釈剤(揮発性を有するアクリレート)を含む。反応性希釈剤は、溶剤と同様、ペーストの粘度調整のために用いられるものであり、硬化時の化学反応によって樹脂中に組み込まれることにより、ペーストの性能低下を低く抑えることができる。また、特許文献2には、反応性希釈剤がダイアタッチペーストのブリード抑制のために用いられる旨記載されている。また、特許文献2には、この反応性希釈剤が、本硬化時に揮発することで熱を奪い、ダイアタッチペーストの分子運動を低下させ、ブリードの進行を抑制する旨記載されている。 Further, as the die attach paste, there are a conductive paste in which a conductive filler such as silver powder is dispersed and an insulating paste in which an insulating filler such as silica is dispersed. The insulating die attach paste is described in, for example, Patent Document 2. The die attach paste of Patent Document 2 contains a reactive diluent (volatile acrylate). Like the solvent, the reactive diluent is used for adjusting the viscosity of the paste, and by incorporating it into the resin by a chemical reaction during curing, the deterioration of the paste performance can be suppressed to a low level. Further, Patent Document 2 describes that a reactive diluent is used for suppressing bleeding of the die attach paste. Further, Patent Document 2 describes that this reactive diluent takes heat by volatilizing during the main curing, reduces the molecular motion of the die attach paste, and suppresses the progress of bleeding.

特開2015−185807号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2015-185807 特開2002−285104号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2002-285104

ここで、インクジェット方式はインクジェットヘッドの細いノズル(数十μm)からダイアタッチペーストを吐出するため、ダイアタッチペーストの粘度が低いことが望まれる。 Here, since the inkjet method ejects the die attach paste from a thin nozzle (several tens of μm) of the inkjet head, it is desired that the viscosity of the die attach paste is low.

しかし、ダイアタッチペーストの粘度が低い場合、塗布後に支持部材上で広がり易く、塗布時の形状を維持することが困難である。従って、たとえば、同じ支持部材上に複数のダイを実装する場合等にはダイ同士の距離を取る必要があるため、高集積化が難しい。 However, when the viscosity of the die attach paste is low, it easily spreads on the support member after coating, and it is difficult to maintain the shape at the time of coating. Therefore, for example, when mounting a plurality of dies on the same support member, it is necessary to keep a distance between the dies, and it is difficult to achieve high integration.

また、特許文献1のダイアタッチペーストは溶剤を含むため、ダイアタッチペーストを硬化させる際の熱の影響によりボイド(気泡)が生じやすい。 Further, since the die attach paste of Patent Document 1 contains a solvent, voids (bubbles) are likely to be generated due to the influence of heat when the die attach paste is cured.

更に、特許文献2に記載されている絶縁性のダイアタッチペーストは反応性希釈剤を含むが、ペーストの粘度が高くインクジェット方式に用いることは困難である。 Further, although the insulating die attach paste described in Patent Document 2 contains a reactive diluent, the viscosity of the paste is high and it is difficult to use it in an inkjet method.

本発明の目的は、インクジェット方式で塗布可能であり、塗布後の形状を維持することができ、且つ硬化後のボイド発生を低減可能なインクジェット用樹脂組成物、そのインクジェット用樹脂組成物の硬化物を有する電子部品、及び電子部品の製造方法を提供することにある。 An object of the present invention is an inkjet resin composition that can be coated by an inkjet method, can maintain its shape after coating, and can reduce the generation of voids after curing, and a cured product of the inkjet resin composition. It is an object of the present invention to provide an electronic component having the above, and a method for manufacturing the electronic component.

上記目的を達成するための主たる発明は、室温での粘度が3mPa・s未満のモノアクリレートと、最大粒径3μm未満のフィラーと、を含むインクジェット用樹脂組成物である。本発明の他の特徴については、本明細書の記載により明らかにする。 The main invention for achieving the above object is an inkjet resin composition containing a monoacrylate having a viscosity of less than 3 mPa · s at room temperature and a filler having a maximum particle size of less than 3 μm. Other features of the invention will be clarified by the description herein.

本発明のインクジェット用樹脂組成物は、インクジェット方式で塗布可能であり、塗布後の形状を維持することができ、且つ硬化後のボイド発生を低減することが可能となる。 The resin composition for inkjet of the present invention can be applied by an inkjet method, can maintain the shape after application, and can reduce the generation of voids after curing.

==開示の概要==
本明細書の記載により、上記主たる発明の他、少なくとも以下の事項が明らかとなる。
== Outline of Disclosure ==
In addition to the above-mentioned main inventions, at least the following matters will be clarified by the description of the present specification.

すなわち、前記モノアクリレートが、メトキシエチルアクリレート、イソブチルアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、ジメチルアミノエチルアクリレートより選択される少なくとも一つであるインクジェット用樹脂組成物(以下、「樹脂組成物」という場合もありうる)が明らかとなる。これらのモノアクリレートは常温での粘度が低い。従って、これらのモノアクリレートを含む樹脂組成物も粘度が低く、インクジェット方式で塗布可能となる。また、これらのモノアクリレートは揮発性が高いため塗布後に揮発し易い。モノアクリレートが揮発することにより樹脂組成物の粘度が高くなるため、塗布後の形状を維持することができる。 That is, a resin composition for inkjet (hereinafter, may be referred to as "resin composition") in which the monoacrylate is at least one selected from methoxyethyl acrylate, isobutyl acrylate, cyclohexyl acrylate, and dimethylaminoethyl acrylate. It will be clear. These monoacrylates have a low viscosity at room temperature. Therefore, the resin composition containing these monoacrylates also has a low viscosity and can be applied by an inkjet method. Moreover, since these monoacrylates are highly volatile, they tend to volatilize after coating. Since the viscosity of the resin composition increases due to the volatilization of the monoacrylate, the shape after coating can be maintained.

また、前記フィラーの平均粒径が0.1μm〜2μmであるインクジェット用樹脂組成物が明らかとなる。このような樹脂組成物は、インクジェット方式で塗布可能である。 Further, an inkjet resin composition having an average particle size of the filler of 0.1 μm to 2 μm becomes clear. Such a resin composition can be applied by an inkjet method.

また、硬化後の弾性率が4GPa未満であるインクジェット用樹脂組成物が明らかとなる。硬化後の室温の弾性率を4GPa未満とすることにより、はんだリフロー時の高温(たとえば、260℃)から室温に下がった場合であっても、温度低下によって電子部品に生じる応力を緩和することができる。従って、樹脂組成物の硬化物とダイや支持部材との剥離を防止することができる。 Further, it becomes clear that the resin composition for inkjet has an elastic modulus of less than 4 GPa after curing. By setting the elastic modulus at room temperature after curing to less than 4 GPa, it is possible to relieve the stress generated in electronic components due to the temperature drop even when the temperature drops from the high temperature during solder reflow (for example, 260 ° C) to room temperature. can. Therefore, it is possible to prevent the cured product of the resin composition from peeling off from the die or the support member.

また、熱硬化性樹脂を更に含み、前記フィラーを除いたインクジェット用樹脂組成物総量中の前記モノアクリレートの割合が50〜79質量%であるインクジェット用樹脂組成物が明らかとなる。モノアクリレートの割合をこの範囲とすることにより、樹脂組成物は、インクジェット方式で塗布可能であり、塗布後の形状を維持することができ、且つ硬化後のボイド発生を低減することが可能となる。 Further, it becomes clear that the inkjet resin composition further contains a thermosetting resin and the proportion of the monoacrylate in the total amount of the inkjet resin composition excluding the filler is 50 to 79% by mass. By setting the ratio of the monoacrylate in this range, the resin composition can be applied by an inkjet method, the shape after application can be maintained, and the generation of voids after curing can be reduced. ..

更に、上記のインクジェット用樹脂組成物の硬化物を接着層として有し、前記接着層の厚さが10μm以上50μm未満である電子部品が明らかとなる。接着層の厚さをこの範囲とすることにより、支持部材に対して樹脂組成物を仮固定することができ、且つ接着層に生じるボイドを低減することができる。 Further, an electronic component having a cured product of the above-mentioned inkjet resin composition as an adhesive layer and having a thickness of the adhesive layer of 10 μm or more and less than 50 μm becomes clear. By setting the thickness of the adhesive layer within this range, the resin composition can be temporarily fixed to the support member, and voids generated in the adhesive layer can be reduced.

また、上記のインクジェット用樹脂組成物をインクジェット方式で支持部材に塗布する塗布工程と、前記支持部材に塗布されたインクジェット用樹脂組成物に所定波長の光を照射し、前記支持部材に対して前記インクジェット用樹脂組成物を仮固定する光照射工程と、前記支持部材に仮固定されたインクジェット用樹脂組成物上に被接着物を載置し、熱を加えることにより前記インクジェット用樹脂組成物を本硬化させ、接着層を形成する熱硬化工程と、を有する電子部品の製造方法が明らかとなる。この方法では樹脂組成物をインクジェット方式で塗布可能であり、塗布後の樹脂組成物の形状を維持することができる。また、熱硬化工程後の接着層においてボイド発生を低減することが可能となる。 Further, in the coating step of applying the above-mentioned inkjet resin composition to the support member by an inkjet method, the inkjet resin composition coated on the support member is irradiated with light of a predetermined wavelength, and the support member is subjected to the above-mentioned. The inkjet resin composition is subjected to a light irradiation step of temporarily fixing the inkjet resin composition and a heat applied by placing an object to be adhered on the inkjet resin composition temporarily fixed to the support member. A method for manufacturing an electronic component having a thermosetting step of curing and forming an adhesive layer is clarified. In this method, the resin composition can be applied by an inkjet method, and the shape of the resin composition after application can be maintained. In addition, it is possible to reduce the generation of voids in the adhesive layer after the heat curing step.

==実施形態==
[インクジェット用樹脂組成物の組成]
本実施形態に係るインクジェット用樹脂組成物は、基板等の支持部材に対してインクジェット方式で塗布可能である。樹脂用組成物は、少なくともモノアクリレート及びフィラーを含む。本実施形態に係る樹脂組成物は絶縁性である。樹脂組成物は、ダイアタッチペーストとして用いられる。ダイアタッチペーストは、たとえば支持部材に対してICチップ等のダイを接着するための接着剤である。なお、インクジェット方式は、一般的なインクジェットの機構を用いることができるため、詳細な説明を省略する。
== Embodiment ==
[Composition of resin composition for inkjet]
The inkjet resin composition according to the present embodiment can be applied to a support member such as a substrate by an inkjet method. The resin composition comprises at least a monoacrylate and a filler. The resin composition according to this embodiment is insulating. The resin composition is used as a die attach paste. The die attach paste is an adhesive for adhering a die such as an IC chip to a support member, for example. Since a general inkjet mechanism can be used in the inkjet method, detailed description thereof will be omitted.

(モノアクリレート)
本実施形態に係るモノアクリレートは、反応性希釈剤として作用する。反応性希釈剤は、後述の熱硬化性樹脂やラジカル重合開始剤と反応するものであって、且つインクジェット用樹脂組成物の粘度を低下させる。
(Monoacrylate)
The monoacrylate according to this embodiment acts as a reactive diluent. The reactive diluent reacts with the thermosetting resin and the radical polymerization initiator described later, and lowers the viscosity of the resin composition for inkjet.

本実施形態に係るモノアクリレートは、室温での粘度が3mPa・s未満である。「室温」とは20℃±5℃である。モノアクリレートとしては、たとえば、メトキシエチルアクリレート(室温での粘度:1.5mPa・s)、イソブチルアクリレート(室温での粘度:0.8mPa・s)、シクロヘキシルアクリレート(室温での粘度:2.5mPa・s)、ジメチルアミノエチルアクリレート(室温での粘度:1.3mPa・s)より選択される少なくとも一つを用いることができる。反応性希釈剤を複数用いる場合、反応性希釈剤全体の粘度が室温で3mPa・s未満であることが好ましい。 The monoacrylate according to this embodiment has a viscosity at room temperature of less than 3 mPa · s. “Room temperature” is 20 ° C. ± 5 ° C. Examples of the monoacrylate include methoxyethyl acrylate (viscosity at room temperature: 1.5 mPa · s), isobutyl acrylate (viscosity at room temperature: 0.8 mPa · s), cyclohexyl acrylate (viscosity at room temperature: 2.5 mPa · s). s) At least one selected from dimethylaminoethyl acrylate (viscosity at room temperature: 1.3 mPa · s) can be used. When a plurality of reactive diluents are used, it is preferable that the viscosity of the entire reactive diluent is less than 3 mPa · s at room temperature.

モノアクリレートの粘度が3mPa・s以上になると、それを含むインクジェット用樹脂組成物の粘度を十分に下げることができない。たとえば、ヒドロキシエチルアクリレートは室温での粘度が6.0mPa・sである。このように粘度の高いモノアクリレートを含む樹脂組成物は、インクジェット方式に用いることが不向きである。また、反応性希釈剤としては、ビニルエーテル類も存在する。しかし、ビニルエーテル類を含む樹脂組成物は、反応性が低く、硬化時にボイドが発生しやすくなる。 When the viscosity of the monoacrylate becomes 3 mPa · s or more, the viscosity of the ink jet resin composition containing the monoacrylate cannot be sufficiently lowered. For example, hydroxyethyl acrylate has a viscosity of 6.0 mPa · s at room temperature. Such a resin composition containing a highly viscous monoacrylate is not suitable for use in an inkjet method. In addition, vinyl ethers also exist as the reactive diluent. However, the resin composition containing vinyl ethers has low reactivity, and voids are likely to be generated at the time of curing.

一方、本実施形態に係る樹脂組成物は、室温での粘度が3mPa・s未満のモノアクリレートを含むことにより、粘度が低くなる。従って、本実施形態に係る樹脂組成物は、インクジェット方式で塗布が可能となる。また、本実施形態に係るモノアクリレートは揮発性が高いため、塗布後に揮発し易い。よって、塗布された樹脂組成物は粘度が高くなるため、塗布後の形状維持が容易となる。 On the other hand, the resin composition according to the present embodiment has a low viscosity by containing a monoacrylate having a viscosity of less than 3 mPa · s at room temperature. Therefore, the resin composition according to the present embodiment can be applied by an inkjet method. Further, since the monoacrylate according to the present embodiment is highly volatile, it easily volatilizes after coating. Therefore, since the applied resin composition has a high viscosity, it becomes easy to maintain the shape after application.

(フィラー)
本実施形態に係るフィラーは、ワイヤーボンディング時の弾性率を50MPa以上に確保するために添加される。フィラーを含む硬化物の200℃での熱時弾性率が50MPa以上であると、ワイヤーボンディング時のチップシフトを防ぐことができ好ましい。フィラーは、たとえば、シリカ、アルミナ、酸化マグネシウム等の絶縁性のものを用いる。
(Filler)
The filler according to the present embodiment is added in order to secure the elastic modulus at the time of wire bonding at 50 MPa or more. When the elastic modulus of the cured product containing the filler at 200 ° C. is 50 MPa or more, chip shift during wire bonding can be prevented, which is preferable. As the filler, for example, an insulating filler such as silica, alumina, or magnesium oxide is used.

本実施形態に係るフィラーは、最大粒径3μm未満である。最大粒径が3μmを超えると、インクジェットの吐出性が悪くなる、或いはフィラーが沈降しやすくなる。本明細書において、最大粒径は、レーザー回折・散乱法によって測定した、体積基準での粒度分布における最大の粒径である。最大粒径は、例えば、レーザー散乱回析法粒度分布測定装置:LS13320(ベックマンコールター社製、湿式)により測定できる。 The filler according to this embodiment has a maximum particle size of less than 3 μm. If the maximum particle size exceeds 3 μm, the ejection property of the inkjet is deteriorated or the filler is likely to settle. In the present specification, the maximum particle size is the maximum particle size in the particle size distribution on a volume basis measured by a laser diffraction / scattering method. The maximum particle size can be measured by, for example, a laser scattering diffraction method particle size distribution measuring device: LS13320 (manufactured by Beckman Coulter, wet).

また、フィラーの平均粒径は、0.1μm〜2μmであることが好ましい。フィラーの平均粒径が0.1μmより小さいと樹脂組成物の粘度が高くなり、インクジェット方式に使用できない。また、フィラーの平均粒径が2μmよりも大きいと樹脂組成物中でフィラーが沈降し、樹脂組成物を収容するタンク内やインクジェットヘッド内でフィラーと樹脂成分が分離し易くなる。従って、均質な樹脂組成物を塗布することができない。本明細書において、平均粒径は、レーザー回折・散乱法によって測定した、体積基準での粒度分布における積算値50%での粒径である。平均粒径は、例えば、レーザー散乱回析法粒度分布測定装置:LS13320(ベックマンコールター社製、湿式)により測定できる。 The average particle size of the filler is preferably 0.1 μm to 2 μm. If the average particle size of the filler is smaller than 0.1 μm, the viscosity of the resin composition becomes high and it cannot be used in the inkjet method. Further, when the average particle size of the filler is larger than 2 μm, the filler is settled in the resin composition, and the filler and the resin component are easily separated in the tank accommodating the resin composition or in the inkjet head. Therefore, it is not possible to apply a homogeneous resin composition. In the present specification, the average particle size is the particle size at an integrated value of 50% in the particle size distribution on a volume basis, which is measured by a laser diffraction / scattering method. The average particle size can be measured by, for example, a laser scattering diffraction method particle size distribution measuring device: LS13320 (manufactured by Beckman Coulter, wet).

(その他の成分)
インクジェット用樹脂組成物には、モノアクリレート及びフィラーの他、熱硬化性樹脂、硬化剤、硬化促進剤、光開始剤や有機過酸化物等のラジカル重合開始剤、カップリング剤、消泡剤等を添加することができる。
(Other ingredients)
In addition to monoacrylates and fillers, the resin compositions for inkjet include thermosetting resins, curing agents, curing accelerators, radical polymerization initiators such as photoinitiators and organic peroxides, coupling agents, defoaming agents and the like. Can be added.

本明細書において、熱硬化性樹脂とは、1分子中に熱硬化に寄与する官能基を2つ以上有する樹脂である。熱硬化性樹脂としては、モノアクリレートと反応するジ(メタ)アクリレート、トリ(メタ)アクリレートや、接着強度向上のためにエポキシ樹脂を使用することができる。また、必要に応じて、マレイミド類、チオール類、を添加してもよい。 As used herein, the thermosetting resin is a resin having two or more functional groups that contribute to thermosetting in one molecule. As the thermosetting resin, di (meth) acrylate and tri (meth) acrylate that react with monoacrylate, and epoxy resin for improving the adhesive strength can be used. Moreover, maleimides and thiols may be added as needed.

ジ(メタ)アクリレートやトリ(メタ)アクリレートとしては、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジンクジ(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、1,3−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,10−デカンジオールジ(メタ)アクリレート、テトラメチレングリコールジ(メタ)アクリレート、グリセリンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート等が挙げられる。 Examples of the di (meth) acrylate and tri (meth) acrylate include trimethyl propanthry (meth) acrylate, zinc di (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, and 1,4-butane. Didioldi (meth) acrylate, 1,6-hexanedioldi (meth) acrylate, 1,9-nonandiol di (meth) acrylate, 1,3-butanediol di (meth) acrylate, 1,10-decanediol di Examples thereof include (meth) acrylate, tetramethylene glycol di (meth) acrylate, glycerindi (meth) acrylate, trimethylolpropane di (meth) acrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate, and pentaerythritol tri (meth) acrylate.

ジ(メタ)アクリレートの市販品としては、共栄社化学株式会社製メタクリル樹脂(品名:ライトエステルNP)、新中村化学工業社製アクリレート樹脂(品名:A−HD−N)などが挙げられる。トリ(メタ)アクリレートの市販品としては、共栄社化学株式会社製アクリレート樹脂(品名:ライトアクリレートTMP−A)、新中村化学工業社製メタクリレート樹脂(品名:TMPT)などが挙げられる。 Examples of commercially available di (meth) acrylate products include methacrylic resins manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd. (product name: Light Ester NP) and acrylate resins manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. (product name: A-HD-N). Examples of commercially available tri (meth) acrylate products include acrylate resins manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd. (product name: Light Acrylate TMP-A) and methacrylate resins manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. (product name: TMPT).

マレイミド類は、1分子内にマレイミド基を1つ以上含む化合物であり、加熱によりマレイミド基が反応することで3次元的網目構造を形成し、硬化することができる。例えば、N,N’−(4,4’−ジフェニルメタン)ビスマレイミド、ビス(3−エチル−5−メチル−4−マレイミドフェニル)メタン、2,2−ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]プロパン等のビスマレイミド樹脂が挙げられる。より好ましいマレイミド類は、ダイマー酸ジアミンと無水マレイン酸の反応により得られる化合物、マレイミド酢酸、マレイミドカプロン酸といったマレイミド化アミノ酸とポリオールの反応により得られる化合物である。マレイミド化アミノ酸は、無水マレイン酸とアミノ酢酸又はアミノカプロン酸とを反応することで得られ、ポリオールとしては、ポリエーテルポリオール、ポリエステルポリオール、ポリカーボネートポリオール、ポリ(メタ)アクリレートポリオールが好ましく、芳香族環を含まないものが特に好ましい。マレイミド基は、アリル基と反応可能であるのでアリルエステル樹脂との併用も好ましい。アリルエステル樹脂としては、脂肪族のものが好ましく、中でも特に好ましいのはシクロヘキサンジアリルエステルと脂肪族ポリオールのエステル交換により得られる化合物である。 Maleimides are compounds containing one or more maleimide groups in one molecule, and can be cured by forming a three-dimensional network structure by reacting the maleimide groups by heating. For example, N, N'-(4,4'-diphenylmethane) bismaleimide, bis (3-ethyl-5-methyl-4-maleimidephenyl) methane, 2,2-bis [4- (4-maleimidephenoxy) phenyl. ] Examples include bismaleimide resins such as propane. More preferable maleimides are compounds obtained by the reaction of diamine dimerate with maleic anhydride, and compounds obtained by the reaction of maleimided amino acids such as maleimide acetic acid and maleimide caproic acid with polyols. The maleimided amino acid is obtained by reacting maleic anhydride with aminoacetic acid or aminocaproic acid, and the polyol is preferably a polyether polyol, a polyester polyol, a polycarbonate polyol, or a poly (meth) acrylate polyol, and has an aromatic ring. Those that do not contain are particularly preferable. Since the maleimide group can react with the allyl group, it is also preferable to use it in combination with the allyl ester resin. As the allyl ester resin, an aliphatic one is preferable, and a compound obtained by transesterification of cyclohexanedialyl ester and an aliphatic polyol is particularly preferable.

チオール類としては、1分子内にスルファニル基を1つ以上有する化合物であり、エポキシ基やビニル基と反応することで三次元的網目構造を形成し、硬化することができる。例えば、2-エチルヘキシル-3-メルカプトプロピオネート、n-オクチル-3-メルカプトプロピオネート、テトラエチレングリコール ビス(3-メルカプトプロピオネート)、トリメチロールプロパン トリス(3-メルカプトプロピオネート)、トリス-[(3-メルカプトプロピオニルオキシ)-エチル]-イソシアヌレート、ポリサルファイドポリマーが上げられる。より好ましいチオール類としては1,4-ビス(3-メルカプトブチリルオキシ)ブタン、1,3,5-トリス(3-メルカプトブチリルオキシエチル)-1,3,5-トリアジン-2,4,6(1H,3H,5H)-トリオン、トリメチロールプロパン トリス(3-メルカプトブチレート)、トリメチロールエタン トリス(3-メルカプトブチレート)である。 Thiols are compounds having one or more sulfanyl groups in one molecule, and can be cured by reacting with an epoxy group or a vinyl group to form a three-dimensional network structure. For example, 2-ethylhexyl-3-mercaptopropionate, n-octyl-3-mercaptopropionate, tetraethylene glycol bis (3-mercaptopropionate), trimethylolpropane tris (3-mercaptopropionate), Tris-[(3-mercaptopropionyloxy) -ethyl] -isocyanurate, polysulfide polymer can be mentioned. More preferred thiols include 1,4-bis (3-mercaptobutylyloxy) butane, 1,3,5-tris (3-mercaptobutyryloxyethyl) -1,3,5-triazine-2,4, 6 (1H, 3H, 5H)-Trione, trimethylolpropane tris (3-mercaptobutyrate), trimethylolethane ethanetris (3-mercaptobutyrate).

エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、ベンゼン環を多数有した多官能型であるテトラキス(ヒドロキシフェニル)エタン型又はトリス(ヒドロキシフェニル)メタン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、ポリブタジエン型エポキシ樹脂(エポキシ化ポリブタジエン)、ナフタレン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、アミノフェノール型エポキシ樹脂、シリコーンエポキシ樹脂等が挙げられる。ビスフェノールAエチレンオキシド付加物のジグリシジルエーテル、ビスフェノールAプロピレンオキシド付加物のジグリシジルエーテル等のポリグリシジルエステル、p−キシリレングリコールと1−クロロ−2,3−エポキシプロパンの反応生成物等も使用することができる。 Examples of the epoxy resin include a bisphenol A type epoxy resin, a bisphenol F type epoxy resin, a phenol novolac type epoxy resin, an alicyclic epoxy resin, and a polyfunctional tetrakis (hydroxyphenyl) ethane type or tris (hydroxyphenyl) ethane type having a large number of benzene rings. Hydroxyphenyl) methane type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, triphenol methane type epoxy resin, polybutadiene type epoxy resin (epoxidized polybutadiene), naphthalene type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, aminophenol type epoxy resin, silicone epoxy Examples include resin. Diglycidyl ether of bisphenol A ethylene oxide adduct, polyglycidyl ester such as diglycidyl ether of bisphenol A propylene oxide adduct, reaction product of p-xylylene glycol and 1-chloro-2,3-epoxypropane, etc. are also used. be able to.

中でも、低粘度化の観点から、エポキシ樹脂は液状であることが好ましい。市販品としては、DIC製ビスフェノールA型/ビスフェノールF型混合型エポキシ樹脂(品名:EXA835LV)、モメンティブ・パフォーマンス製シロキサン系エポキシ樹脂(品名:TSL9906)、新日鉄住金化学製1,4−シクロヘキサンジメタノールジグリシジルエーテル(品名:ZX1658GS)、ADEKA製エポキシ樹脂(品名:EP−4000S)、ADEKA製ビスフェノールAプロピレンオキシド付加物のジグリシジルエーテル(品名:BPA−PO4000S)等が挙げられる。エポキシ樹脂は、単独でも2種以上を併用してもよい。 Above all, from the viewpoint of reducing the viscosity, the epoxy resin is preferably liquid. Commercially available products include DIC bisphenol A type / bisphenol F type mixed epoxy resin (product name: EXA835LV), momentary performance siloxane resin (product name: TSL9906), and Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation 1,4-cyclohexanedimethanol di. Examples thereof include glycidyl ether (product name: ZX1658GS), ADEKA epoxy resin (product name: EP-4000S), and ADEKA bisphenol A propylene oxide adduct diglycidyl ether (product name: BPA-PO4000S). The epoxy resin may be used alone or in combination of two or more.

硬化剤としては、フェノール系硬化剤、酸無水物系硬化剤、アミン系硬化剤、ヒドラジド化合物、ジシアンジアミド等を使用することができる。樹脂組成物の接着性の観点から、フェノール系硬化剤がより好ましい。 As the curing agent, a phenol-based curing agent, an acid anhydride-based curing agent, an amine-based curing agent, a hydrazide compound, a dicyandiamide, or the like can be used. From the viewpoint of the adhesiveness of the resin composition, a phenolic curing agent is more preferable.

フェノール樹脂系硬化剤としては、エポキシ樹脂の硬化剤として公知のフェノール樹脂を用いることができる。具体例としては、レゾール型又はノボラック型フェノール樹脂、アルキルレゾール型、アルキルノボラック型、アラルキルノボラック型のフェノール樹脂、キシレン樹脂、アリルフェノール樹脂等が挙げられる。フェノール樹脂系硬化剤のOH基当量としては、80〜250g/eqであることが好ましく、80〜200g/eqであることがより好ましい。アルキルレゾール型又はアルキルノボラック型フェノール樹脂の場合、アルキル基としては、炭素数1〜18のものを用いることができ、エチル、プロピル、ブチル、ペンチル、ヘキシル、オクチル、ノニル、デシルのような炭素数2〜10のものが好ましい。フェノール樹脂系硬化剤として市販されているものとしては、明和化成株式会社製フェノール樹脂系硬化剤(品名:MEH8005)等が挙げられる。 As the phenol resin-based curing agent, a known phenol resin can be used as the curing agent for the epoxy resin. Specific examples thereof include a resol type or novolak type phenol resin, an alkyl resol type, an alkyl novolak type, an aralkyl novolak type phenol resin, a xylene resin, an allyl phenol resin and the like. The OH group equivalent of the phenolic resin-based curing agent is preferably 80 to 250 g / eq, and more preferably 80 to 200 g / eq. In the case of an alkylresole type or an alkylnovolac type phenol resin, an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms can be used, and the number of carbon atoms such as ethyl, propyl, butyl, pentyl, hexyl, octyl, nonyl and decyl can be used. 2 to 10 are preferable. Examples of commercially available phenol resin-based curing agents include phenol resin-based curing agents manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd. (product name: MEH8005).

酸無水物系硬化剤としては、エポキシ樹脂の硬化剤として公知の酸無水物を用いることができる。具体例としては、無水フタル酸、無水マレイン酸、ドデセニル無水コハク酸、トリメリット酸無水物、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸等が挙げられる。酸無水物系硬化剤として市販されているものとしては、三菱化学株式会社製酸無水物系硬化剤(品名:YH307)等が挙げられる。 As the acid anhydride-based curing agent, an acid anhydride known as a curing agent for an epoxy resin can be used. Specific examples include phthalic anhydride, maleic anhydride, dodecenyl succinic anhydride, trimellitic anhydride, benzophenone tetracarboxylic acid dianhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride and the like. Examples of commercially available acid anhydride-based curing agents include acid anhydride-based curing agents manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation (product name: YH307).

アミン系硬化剤には、脂肪族アミン、芳香族アミンの他、イミダゾール類も包含される。これらのうちイミダゾール類は、エポキシ樹脂と硬化剤との反応を促進する、硬化促進剤としても用いられる。 The amine-based curing agent includes imidazoles as well as aliphatic amines and aromatic amines. Of these, imidazoles are also used as a curing accelerator that promotes the reaction between the epoxy resin and the curing agent.

脂肪族アミンとしては、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラアミン、テトラエチレンペンタミン、トリメチルヘキサメチレンジアミン、m−キシレンジアミン、2−メチルペンタメチレンジアミン等の脂肪族ポリアミン、イソフォロンジアミン、1,3−ビスアミノメチルシクロヘキサン、ビス(4−アミノシクロヘキシル)メタン、ノルボルネンジアミン、1,2−ジアミノシクロヘキサン等の脂環式ポリアミン、N−アミノエチルピペラジン、1,4−ビス(2−アミノ−2−メチルプロピル)ピペラジン等のピペラジン型のポリアミンが挙げられる。芳香族アミンとしては、ジアミノジフェニルメタン、m−フェニレンジアミン、ジアミノジフェニルスルホン、ジエチルトルエンジアミン、トリメチレンビス(4−アミノベンゾエート)、ポリテトラメチレンオキシド−ジ−p−アミノベンゾエート等の芳香族ポリアミン等が挙げられる。トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール、ベンジルジメチルアミン、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)ウンデンセン−7等の3級アミン等も使用することができる。 Examples of the aliphatic amine include aliphatic polyamines such as diethylenetriamine, triethylenetetraamine, tetraethylenepentamine, trimethylhexamethylenediamine, m-xylenediamine and 2-methylpentamethylenediamine, isophoronediamine and 1,3-bisamino. Alicyclic polyamines such as methylcyclohexane, bis (4-aminocyclohexyl) methane, norbornenediamine, 1,2-diaminocyclohexane, N-aminoethylpiperazine, 1,4-bis (2-amino-2-methylpropyl) piperazine Examples thereof include piperazine-type polyamines such as. Examples of the aromatic amine include aromatic polyamines such as diaminodiphenylmethane, m-phenylenediamine, diaminodiphenylsulfone, diethyltoluenediamine, trimethylenebis (4-aminobenzoate), and polytetramethylene oxide-di-p-aminobenzoate. Can be mentioned. Tris (dimethylaminomethyl) phenol, benzyldimethylamine, tertiary amines such as 1,8-diazabicyclo (5,4,0) undensen-7 can also be used.

また、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾール、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール等のイミダゾール化合物も使用することができる。 In addition, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-methylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 2 Imidazole compounds such as −phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole and 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole can also be used.

更には、変性イミダゾール系硬化剤も使用することができる。具体例としては、エポキシ−イミダゾールアダクト系化合物やアクリレート−イミダゾールアダクト化合物が挙げられる。エポキシ−イミダゾールアダクト系化合物として市販されているものとしては、味の素ファインテクノ社製硬化剤(品名:アミキュアPN−23、アミキュアPN−40)、旭化成イーマテリアルズ社製硬化剤(品名:ノバキュアHX−3721)、富士化成工業社製硬化剤(品名:フジキュアFX−1000)等が挙げられる。また、アクリレート−イミダゾールアダクト系化合物として市販されているものとしては、例えば、ADEKA社製硬化剤(品名:EH2021)等が挙げられる。硬化剤は、これら品名に限定されるものではない。硬化剤は、単独でも2種以上を併用してもよい。 Furthermore, a modified imidazole-based curing agent can also be used. Specific examples include an epoxy-imidazole adduct compound and an acrylate-imidazole adduct compound. Commercially available epoxy-imidazole adduct-based compounds include Ajinomoto Fine-Techno's curing agent (product name: Amicure PN-23, Amicure PN-40) and Asahi Kasei E-Materials' curing agent (product name: NovaCure HX-). 3721), a curing agent manufactured by Fuji Kasei Kogyo Co., Ltd. (product name: Fujicure FX-1000) and the like can be mentioned. Examples of commercially available acrylate-imidazole adduct-based compounds include a curing agent manufactured by ADEKA (product name: EH2021). The curing agent is not limited to these product names. The curing agent may be used alone or in combination of two or more.

硬化剤は、保存安定性、硬化性の観点から、インクジェット用樹脂組成物(溶剤を除く)100質量部に対して、0.1〜10質量部であると好ましい。 From the viewpoint of storage stability and curability, the curing agent is preferably 0.1 to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the ink jet resin composition (excluding the solvent).

ラジカル重合開始剤としては、光重合開始剤や熱重合開始剤が挙げられる。光重合開始剤としてはアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤が好ましく、市販品としてはBASFジャパン株式会社製ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド(品名:IRGACURE 819)があげられる。熱重合開始剤としては有機過酸化物が好ましい。ラジカル重合開始剤の市販品としては、日油株式会社製ラジカル重合開始剤1,1,3,3−テトラメチルブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート(品名:パーオクタO)、t−ブチルパーオキシベンゾエート(品名:パーブチルZ)、が挙げられる。カップリング材の市販品としては、信越化学工業株式会社製3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(品名:KBM−403)、信越化学工業株式会社製3-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン(品名:KBM−503)等が挙げられる。 Examples of the radical polymerization initiator include a photopolymerization initiator and a thermal polymerization initiator. As the photopolymerization initiator, an acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator is preferable, and as a commercially available product, BASF Japan Ltd.'s bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide (product name: IRGACURE 819) is used. can give. Organic peroxides are preferred as the thermal polymerization initiator. Commercially available products of the radical polymerization initiator include NOF Corporation's radical polymerization initiator 1,1,3,3-tetramethylbutylperoxy-2-ethylhexanoate (product name: Perocta O) and t-butylper. Oxybenzoate (product name: perbutyl Z), and the like. Commercially available coupling materials include 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. (product name: KBM-403) and 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. (product name: KBM). -503) and the like.

本実施形態に係るインクジェット用樹脂組成物は、フィラーを抜いた樹脂組成物総量中のモノアクリレートの割合(100×(モノアクリレート)/(樹脂組成物−フィラー))が50〜79質量%であることが好ましい。モノアクリレートの割合が50質量%未満では、室温での粘度が高くなりやすくなり、79質量%を超えると、仮固定の際に未反応のモノアクリレートが樹脂組成物中に残ってしまう。一方、モノアクリレートを50〜79質量%の範囲で含む樹脂組成物は、インクジェット方式で塗布可能であり、塗布後の形状を維持することができ、且つ硬化後のボイド発生を低減することができる。 In the inkjet resin composition according to the present embodiment, the ratio of monoacrylate (100 × (monoacrylate) / (resin composition-filler)) in the total amount of the resin composition without the filler is 50 to 79% by mass. Is preferable. If the proportion of monoacrylate is less than 50% by mass, the viscosity at room temperature tends to be high, and if it exceeds 79% by mass, unreacted monoacrylate remains in the resin composition during temporary fixing. On the other hand, the resin composition containing monoacrylate in the range of 50 to 79% by mass can be applied by an inkjet method, can maintain the shape after application, and can reduce the generation of voids after curing. ..

[インクジェット用樹脂組成物の製造方法]
本実施形態に係る樹脂組成物の製造方法は、モノアクリレート、フィラー、及びその他の添加物を均一に混合することができれば特に限定されない。これらの原料の分散の装置としては、特に限定されるものではないが、撹拌、3本ロールミル、プラネタリーミキサー、ビーズミル等を使用することができる。また、これら装置を適宜組み合わせて使用してもよい。
[Manufacturing method of resin composition for inkjet]
The method for producing the resin composition according to the present embodiment is not particularly limited as long as the monoacrylate, the filler, and other additives can be uniformly mixed. The device for dispersing these raw materials is not particularly limited, but a stirring, three-roll mill, a planetary mixer, a bead mill and the like can be used. Further, these devices may be used in combination as appropriate.

[硬化物]
本実施形態に係るインクジェット用樹脂組成物は、塗布後に所定波長の光を当てることにより仮固定し、その後、熱を加えることにより本硬化させて硬化物とすることができる。仮固定や本硬化の具体的な方法は、特に限定されるものではない。たとえば、仮固定は、樹脂組成物を塗布した後、紫外線帯域の光を照射することにより行うことができる。インクジェット用樹脂組成物中には紫外線硬化性であるモノアクリレートの他、多官能(メタ)アクリレート樹脂等、紫外線硬化性の樹脂が含まれることもある。また、本硬化は、仮硬化をした樹脂組成物の上にダイを載置し、約180℃の熱を与えることにより行うことができる。
[Cursed product]
The inkjet resin composition according to the present embodiment can be temporarily fixed by irradiating it with light having a predetermined wavelength after coating, and then being main-cured by applying heat to obtain a cured product. The specific method of temporary fixing and main curing is not particularly limited. For example, temporary fixing can be performed by applying the resin composition and then irradiating it with light in the ultraviolet band. Inkjet resin compositions may contain UV curable resins such as polyfunctional (meth) acrylate resins, in addition to UV curable monoacrylates. Further, the main curing can be performed by placing a die on the temporarily cured resin composition and applying heat at about 180 ° C.

インクジェット用樹脂組成物は、硬化後の弾性率が4GPa未満であることが好ましい。本実施形態に係るモノアクリレートは、多官能アクリレートに比べ硬化物のガラス転移温度が低い。従って、はんだリフロー時の高温(たとえば、260℃)から室温に下がった場合であっても、温度低下によって電子部品に生じる応力を緩和することができる。そのため、樹脂組成物の硬化物とダイや支持部材との剥離を防止することができる。 The elastic modulus of the ink jet resin composition after curing is preferably less than 4 GPa. The monoacrylate according to the present embodiment has a lower glass transition temperature of the cured product than the polyfunctional acrylate. Therefore, even when the temperature drops from the high temperature (for example, 260 ° C.) during solder reflow to room temperature, the stress generated in the electronic component due to the temperature drop can be relieved. Therefore, it is possible to prevent the cured product of the resin composition from peeling off from the die or the support member.

[電子部品]
電子部品は、IC、LSI等の半導体チップ(ダイ)と、基板等の支持部材とを接着し、ダイから支持部材へワイヤーボンディングを行った後、モールド剤で封止することにより製造される半導体パッケージ等である。このような半導体パッケージはプリント回路基板やマザーボードに搭載することができる。
[Electronic components]
Electronic components are semiconductors manufactured by bonding semiconductor chips (dies) such as ICs and LSIs to support members such as substrates, wire bonding from the dies to the support members, and then sealing them with a molding agent. Package etc. Such a semiconductor package can be mounted on a printed circuit board or a motherboard.

ダイと支持部材との間には、樹脂組成物の硬化物が接着層として形成される。この接着層の厚さ(Bond Line Thickness;BLT)は10μm以上50μm未満であることが好ましい。 A cured product of the resin composition is formed as an adhesive layer between the die and the support member. The thickness (Bondo Line Stickness; BLT) of this adhesive layer is preferably 10 μm or more and less than 50 μm.

[電子部品の製造方法]
本実施形態に係る電子部品は、以下の工程により製造することができる。
[Manufacturing method of electronic parts]
The electronic component according to this embodiment can be manufactured by the following process.

まず、塗布工程において、インクジェット用樹脂組成物をインクジェット方式で支持部材上に10〜100μmの厚さで塗布する。厚さが10μm未満の場合、所定波長の光を照射しても樹脂組成物を仮固定できない可能性がある。一方、厚さを100μm超とした場合、樹脂組成物中のモノアクリレートが塗布後に揮発し難くなり、接着層にボイドが生じる恐れがある。次に、光照射工程において、支持部材に塗布されたインクジェット用樹脂組成物に所定波長の光を照射し、支持部材に対してインクジェット用樹脂組成物を仮固定する。そして、熱硬化工程において、支持部材に仮固定されたインクジェット用樹脂組成物上に被接着物(ダイ)を載置し、熱を加えることによりインクジェット用樹脂組成物を本硬化させ、接着層を形成する。その後、必要に応じてワイヤーボンディングやモールド剤による封止を行うことにより電子部品を得ることができる。 First, in the coating step, the inkjet resin composition is coated on the support member by an inkjet method to a thickness of 10 to 100 μm. If the thickness is less than 10 μm, the resin composition may not be temporarily fixed even if it is irradiated with light having a predetermined wavelength. On the other hand, when the thickness exceeds 100 μm, the monoacrylate in the resin composition is less likely to volatilize after coating, and voids may occur in the adhesive layer. Next, in the light irradiation step, the inkjet resin composition coated on the support member is irradiated with light having a predetermined wavelength, and the inkjet resin composition is temporarily fixed to the support member. Then, in the thermosetting step, the adherend (die) is placed on the inkjet resin composition temporarily fixed to the support member, and heat is applied to mainly cure the inkjet resin composition to form an adhesive layer. Form. After that, electronic components can be obtained by performing wire bonding or sealing with a molding agent, if necessary.

==実施例==
以下の実施例1〜6、及び比較例1〜3で得られたインクジェット用樹脂組成物に対して、粘度、常温弾性率、200℃での熱時弾性率、ボイド発生の有無を測定した。
== Example ==
The viscosity, normal temperature elastic modulus, thermal elastic modulus at 200 ° C., and the presence or absence of void generation were measured with respect to the ink jet resin compositions obtained in Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1 to 3 below.

反応性希釈剤は、以下に示すいずれかを使用した。
・「2−MTA」(メトキシエチルアクリレート。常温での粘度:1.5mP・s。大阪有機化学工業株式会社製)
・「AIB」(イソブチルアクリレート。常温での粘度:0.8mP・s.大阪有機化学工業株式会社製)
・「ライトエステルHOA(N)」(2−ヒドロキシエチルアクリレート。常温での粘度:6.0mP・s。共栄社化学株式会社製)
・「NBVE」(ノルマルブチルビニルエーテル。常温での粘度:0.5mP・s日本カーバイド工業株式会社製)
As the reactive diluent, one of the following was used.
-"2-MTA" (methoxyethyl acrylate. Viscosity at room temperature: 1.5 mP · s. Manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.)
-"AIB" (isobutyl acrylate. Viscosity at room temperature: 0.8 mP · s. Manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.)
-"Light Ester HOA (N)" (2-hydroxyethyl acrylate. Viscosity at room temperature: 6.0 mP · s. Kyoeisha Chemical Co., Ltd.)
-"NBVE" (normal butyl vinyl ether. Viscosity at room temperature: 0.5 mP · s manufactured by Nippon Carbide Industries Co., Ltd.)

フィラーは、以下に示すいずれかを使用した。
・「シーホスターKE−S30」(シリカフィラー。平均粒径0.3μm、最大粒径0.6μm未満。株式会社 日本触媒製)
・「シーホスターKE−S100」(シリカフィラー。平均粒径1.0μm、最大粒径2.0μm未満。株式会社 日本触媒製)
As the filler, one of the following was used.
-"Sea Hoster KE-S30" (Silica filler. Average particle size 0.3 μm, maximum particle size less than 0.6 μm. Made by Nippon Shokubai Co., Ltd.)
-"Sea Hoster KE-S100" (Silica filler. Average particle size 1.0 μm, maximum particle size less than 2.0 μm. Made by Nippon Shokubai Co., Ltd.)

その他の成分として以下の材料を使用した。具体的に、熱硬化性樹脂は、トリアクリレート「ライトアクリレートTMP−A」(共栄社化学株式会社製)及びエポキシ樹脂「EXA835LV」(DIC株式会社製)を使用した。硬化剤は、フェノール樹脂「MEH8005」(昭和化成株式会社製)を使用した。硬化促進剤は、イミダゾール「フジキュア7000」(株式会社 T&K TOKA製)を使用した。ラジカル重合開始剤は、光開始剤(ラジカル重合開始剤)である「IRGACURE 819」(BASFジャパン株式会社製)及び有機過酸化物(ラジカル重合開始剤)である「パーオクタO」(日油株式会社製)を使用した。 The following materials were used as other components. Specifically, as the thermosetting resin, triacrylate "light acrylate TMP-A" (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) and epoxy resin "EXA835LV" (manufactured by DIC Corporation) were used. As the curing agent, a phenol resin "MEH8005" (manufactured by Showa Kasei Co., Ltd.) was used. As the curing accelerator, imidazole "Fujicure 7000" (manufactured by T & K TOKA Co., Ltd.) was used. The radical polymerization initiators are "IRGACURE 819" (manufactured by BASF Japan Co., Ltd.) which is a photoinitiator (radical polymerization initiator) and "Perocta O" (Nichiyu Co., Ltd.) which is an organic peroxide (radical polymerization initiator). Made) was used.

(実施例1)
「シーホスターKE−S30」30質量部(vol.%:16%)、「熱硬化性樹脂(硬化剤、硬化促進剤を含む)」29質量部を3本ロールにて分散した後、「2−MTA」40質量部、ラジカル重合開始剤1質量部(「IRGACURE 819」0.5質量部、及び「パーオクタO」0.5質量部)を加えて撹拌し、樹脂組成物aを作製した。
(Example 1)
After dispersing 30 parts by mass (vol.%: 16%) of "Seahoster KE-S30" and 29 parts by mass of "thermosetting resin (including curing agent and curing accelerator)" with 3 rolls, "2- 40 parts by mass of "MTA" and 1 part by mass of a radical polymerization initiator (0.5 parts by mass of "IRGACURE 819" and 0.5 parts by mass of "Perocta O") were added and stirred to prepare a resin composition a.

(実施例2)実施例1に対し、モノアクリレートの量を減らした例
「シーホスターKE−S30」30質量部(vol.%:16%)、「熱硬化性樹脂(硬化剤、硬化促進剤を含む)」33.9質量部を3本ロールにて分散した後、「2−MTA」35質量部、ラジカル重合開始剤1.2質量部(「IRGACURE 819」0.6質量部、及び「パーオクタO」0.6質量部)を加えて撹拌し、樹脂組成物bを作製した。
(Example 2) An example in which the amount of monoacrylate was reduced with respect to Example 1 30 parts by mass (vol.%: 16%) of "Seahoster KE-S30", "thermosetting resin (curing agent, curing accelerator) (Including) ”33.9 parts by mass with 3 rolls, then 35 parts by mass of“ 2-MTA ”, 1.2 parts by mass of radical polymerization initiator (“IRGACURE 819” 0.6 parts by mass, and “Per Octa”. O "0.6 parts by mass) was added and stirred to prepare a resin composition b.

(実施例3)実施例1に対し、モノアクリレートの量を増やした例

「シーホスターKE−S30」30質量部(vol.%:16%)、「熱硬化性樹脂(硬化剤、硬化促進剤を含む)」14.6質量部を3本ロールにて分散した後、「2−MTA」55質量部、ラジカル重合開始剤0.6質量部(「IRGACURE 819」0.3質量部、及び「パーオクタO」0.3質量部)を加えて撹拌し、樹脂組成物cを作製した。
(Example 3) An example in which the amount of monoacrylate is increased as compared with Example 1.

After dispersing 30 parts by mass (vol.%: 16%) of "Seahoster KE-S30" and 14.6 parts by mass of "thermosetting resin (including curing agent and curing accelerator)" with three rolls, " Add 55 parts by mass of "2-MTA" and 0.6 parts by mass of the radical polymerization initiator (0.3 parts by mass of "IRGACURE 819" and 0.3 parts by mass of "Perocta O") and stir to obtain the resin composition c. Made.

(実施例4)実施例1に対し、フィラーの量を減らした例
「シーホスターKE−S30」20質量部(vol.%:10%)、「熱硬化性樹脂(硬化剤、硬化促進剤を含む)」29質量部を3本ロールにて分散した後、「2−MTA」50質量部、ラジカル重合開始剤1質量部(「IRGACURE 819」0.5質量部、及び「パーオクタO」0.5質量部)を加えて撹拌し、樹脂組成物dを作製した。
(Example 4) Example in which the amount of filler is reduced with respect to Example 1 20 parts by mass (vol.%: 10%) of "Seahoster KE-S30", "thermosetting resin (including curing agent and curing accelerator) ) ”29 parts by mass with 3 rolls, then 50 parts by mass of“ 2-MTA ”, 1 part by mass of radical polymerization initiator (“IRGACURE 819” 0.5 part by mass, and “Per Octa O” 0.5 part. By mass) was added and stirred to prepare a resin composition d.

(実施例5)モノアクリレートの種類を変えた例
「シーホスターKE−S30」30質量部(vol.%:16%)、「熱硬化性樹脂(硬化剤、硬化促進剤を含む)」29質量部を3本ロールにて分散した後、「AIB」40質量部、ラジカル重合開始剤1質量部(「IRGACURE 819」0.5質量部、及び「パーオクタO」0.5質量部)を加えて撹拌し、樹脂組成物eを作製した。
(Example 5) Example of changing the type of monoacrylate "Seahoster KE-S30" 30 parts by mass (vol.%: 16%), "thermosetting resin (including curing agent and curing accelerator)" 29 parts by mass Is dispersed in 3 rolls, 40 parts by mass of "AIB", 1 part by mass of a radical polymerization initiator (0.5 part by mass of "IRGACURE 819", and 0.5 part by mass of "Perocta O") are added and stirred. Then, the resin composition e was prepared.

(実施例6)フィラーの種類を変えた例
「シーホスターKE−S100」30質量部(vol.%:16%)、「熱硬化性樹脂(硬化剤、硬化促進剤を含む)」29質量部を3本ロールにて分散した後、「2−MTA」40質量部、ラジカル重合開始剤1質量部(「IRGACURE 819」0.5質量部、及び「パーオクタO」0.5質量部)を加えて撹拌し、樹脂組成物fを作製した。
(Example 6) Example of changing the type of filler 30 parts by mass (vol.%: 16%) of "Seahoster KE-S100" and 29 parts by mass of "thermosetting resin (including curing agent and curing accelerator)" After dispersing in 3 rolls, 40 parts by mass of "2-MTA" and 1 part by mass of a radical polymerization initiator (0.5 parts by mass of "IRGACURE 819" and 0.5 parts by mass of "Perocta O") are added. The mixture was stirred to prepare a resin composition f.

(比較例1)フィラー無し
「2−MTA」57質量部、「熱硬化性樹脂(硬化剤、硬化促進剤を含む)」41.5質量部、ラジカル重合開始剤1.4質量部(「IRGACURE 819」0.7質量部、及び「パーオクタO」0.7質量部)を混合・攪拌して樹脂組成物gを作製した。
(Comparative Example 1) 57 parts by mass of "2-MTA" without filler, 41.5 parts by mass of "thermosetting resin (including curing agent and curing accelerator)", 1.4 parts by mass of radical polymerization initiator ("IRGACURE") 819 ”0.7 parts by mass and“ Per Octa O ”0.7 parts by mass) were mixed and stirred to prepare a resin composition g.

(比較例2)モノアクリレートの種類を変えた例
「シーホスターKE−S30」30質量部(vol.%:16%)、「熱硬化性樹脂(硬化剤、硬化促進剤を含む)」29質量部を3本ロールにて分散した後、「ライトエステルHOA(N)」40質量部、ラジカル重合開始剤1質量部(「IRGACURE 819」0.5質量部、及び「パーオクタO」0.5質量部)を加えて撹拌し、樹脂組成物hを作製した。
(Comparative Example 2) Example of changing the type of monoacrylate "Seahoster KE-S30" 30 parts by mass (vol.%: 16%), "heat curable resin (including curing agent and curing accelerator)" 29 parts by mass Is dispersed in 3 rolls, then 40 parts by mass of "light ester HOA (N)", 1 part by mass of a radical polymerization initiator (0.5 parts by mass of "IRGACURE 819", and 0.5 parts by mass of "Perocta O". ) Was added and stirred to prepare a resin composition h.

(比較例3)モノアクリレートの種類を変えた例
「シーホスターKE−S30」30質量部(vol.%:16%)、「熱硬化性樹脂(硬化剤、硬化促進剤を含む)」29質量部を3本ロールにて分散した後、「NBVE」40質量部、ラジカル重合開始剤1質量部(「IRGACURE 819」0.5質量部、及び「パーオクタO」0.5質量部)を加えて撹拌し、樹脂組成物iを作製した。
(Comparative Example 3) Example of changing the type of monoacrylate "Seahoster KE-S30" 30 parts by mass (vol.%: 16%), "thermosetting resin (including curing agent and curing accelerator)" 29 parts by mass Is dispersed in 3 rolls, 40 parts by mass of "NBVE", 1 part by mass of a radical polymerization initiator (0.5 part by mass of "IRGACURE 819", and 0.5 part by mass of "Perocta O") are added and stirred. Then, the resin composition i was prepared.

(粘度の測定)
作製したインクジェット用樹脂組成物の粘度を、東機産業株式会社製コーンプレートタイプ粘度計TV−22(コーンプレート:1°34’×R24)を用い、25℃、30rpmで測定した。実施例及び比較例においては、粘度が30mPa・s以下の場合を「○」とし、粘度が30mPa・sより高い場合を「×」とした。
(Measurement of viscosity)
The viscosity of the produced ink jet resin composition was measured at 25 ° C. and 30 rpm using a cone plate type viscometer TV-22 (cone plate: 1 ° 34'× R24) manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd. In Examples and Comparative Examples, the case where the viscosity was 30 mPa · s or less was designated as “◯”, and the case where the viscosity was higher than 30 mPa · s was designated as “x”.

(常温弾性率および200℃での熱時弾性率の測定)
離型剤を塗布し乾燥させた容器内に、膜厚が約300μmとなるように、インクジェット用樹脂組成物を塗布し、175℃×60分でシート状に硬化させた。これを40mm×5mmのサイズに加工しDMA測定用の試験片とした。粘弾性測定装置(セイコーインスツル株式会社製 DMS6100)を用いて、測定モード引張り、昇温速度3℃/分、測定周波数10Hzの条件でDMA測定を行い、室温および200℃での弾性率を求めた。
(Measurement of normal temperature elastic modulus and thermal elastic modulus at 200 ° C)
An inkjet resin composition was applied to a container to which a mold release agent was applied and dried so that the film thickness was about 300 μm, and the mixture was cured into a sheet at 175 ° C. × 60 minutes. This was processed into a size of 40 mm × 5 mm and used as a test piece for DMA measurement. Using a viscoelasticity measuring device (DMS6100 manufactured by Seiko Instruments Inc.), perform DMA measurement under the conditions of tension in measurement mode, temperature rise rate of 3 ° C / min, and measurement frequency of 10 Hz, and obtain elastic modulus at room temperature and 200 ° C. rice field.

実施例及び比較例においては、常温弾性率が4GPa未満の場合を合格の意味である「○」とした。また、200℃での熱時弾性率が50MPa以上の場合を合格の意味である「○」とし、弾性率が50MPaより低い場合を不合格の意味である「×」とした。 In the examples and comparative examples, the case where the normal temperature elastic modulus was less than 4 GPa was designated as “◯”, which means pass. Further, the case where the elastic modulus at heat at 200 ° C. is 50 MPa or more is designated as “◯”, which means “pass”, and the case where the elastic modulus is lower than 50 MPa is designated as “x”, which means reject.

(ボイド発生の有無)
インクジェット用樹脂組成物をスライドガラス上に滴下後、300mW/cm2のUV照射を行いゲル化(形が崩れない程度に増粘)させた。その後、ゲル化した組成物の上に別のスライドガラスを載せ、2枚のスライドガラスで挟み込んだ試験片を25℃から175℃まで30分かけて昇温後、1時間保持して、硬化した試験片のボイドを確認した。
(Presence / absence of voids)
The ink-jet resin composition was dropped onto a slide glass and then irradiated with UV at 300 mW / cm 2 to gelate (thicken to the extent that the shape does not collapse). Then, another slide glass was placed on the gelled composition, and the test piece sandwiched between the two slide glasses was heated from 25 ° C. to 175 ° C. for 30 minutes, held for 1 hour, and cured. The void of the test piece was confirmed.

Figure 0006973768
Figure 0006973768

表1に示したように、実施例のインクジェット用樹脂組成物は、いずれも低粘度であるという結果が得られた。一方、常温での粘度が6.0mPa・sのモノアクリレートを用いた場合(比較例2)、樹脂組成物の粘度が高くなることが明らかとなった。 As shown in Table 1, the results showed that all of the inkjet resin compositions of Examples had low viscosities. On the other hand, when a monoacrylate having a viscosity at room temperature of 6.0 mPa · s was used (Comparative Example 2), it was clarified that the viscosity of the resin composition was high.

また、表1に示したように、実施例のインクジェット用樹脂組成物は、熱時弾性率を高く保つことができるという結果が得られた。一方、フィラーを用いない場合(比較例1)、熱時弾性率が低くなることが明らかとなった。 Further, as shown in Table 1, it was obtained that the inkjet resin composition of the example was able to maintain a high thermal elastic modulus. On the other hand, it was clarified that when the filler was not used (Comparative Example 1), the elastic modulus at the time was low.

更に、表1に示したように、実施例のインクジェット用樹脂組成物は、硬化後にボイドが発生しないとの結果が得られた。一方、反応性希釈剤としてモノアクリレート以外を用いた場合(比較例3)、硬化後にボイドが発生することが明らかとなった。 Further, as shown in Table 1, the results showed that the inkjet resin composition of the example did not generate voids after curing. On the other hand, when a non-monoacrylate was used as the reactive diluent (Comparative Example 3), it was clarified that voids were generated after curing.

本発明の実施形態及び実施例を説明したが、これらは例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。 Although embodiments and examples of the present invention have been described, they are presented as examples and are not intended to limit the scope of the invention. The embodiment can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, and changes can be made without departing from the gist of the invention. The embodiments and variations thereof are included in the scope of the invention described in the claims and the equivalent scope thereof, as are included in the scope and gist of the invention.

Claims (6)

室温での粘度が3mPa・s未満のモノアクリレートと、
最大粒径3μm未満のフィラ―と、
熱硬化性樹脂と、
を含むインクジェット用樹脂組成物であって
前記フィラ―を除いた前記インクジェット用樹脂組成物総量中の前記モノアクリレートの割合が50〜79質量%であり、
粘度が30mPa・s以下であるインクジェット用樹脂組成物。
Monoacrylate with a viscosity of less than 3 mPa · s at room temperature,
With a filler with a maximum particle size of less than 3 μm,
Thermosetting resin and
The A including inkjet resin composition,
The proportion of the monoacrylate in the total amount of the inkjet resin composition excluding the filler is 50 to 79% by mass.
A resin composition for inkjet having a viscosity of 30 mPa · s or less.
前記モノアクリレートは、メトキシエチルアクリレート、イソブチルアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、ジメチルアミノエチルアクリレートより選択される少なくとも一つである請求項1記載のインクジェット用樹脂組成物。 The resin composition for inkjet according to claim 1, wherein the monoacrylate is at least one selected from methoxyethyl acrylate, isobutyl acrylate, cyclohexyl acrylate, and dimethylaminoethyl acrylate. 前記フィラ―の平均粒径は、0.1μm〜2μmである請求項1または2記載のインクジェット用樹脂組成物。 The inkjet resin composition according to claim 1 or 2, wherein the average particle size of the filler is 0.1 μm to 2 μm. 硬化後の弾性率が4GPa未満である請求項1〜3のいずれか一つに記載のインクジェット用樹脂組成物。 The inkjet resin composition according to any one of claims 1 to 3, wherein the elastic modulus after curing is less than 4 GPa. 請求項1〜4のいずれか一つに記載のインクジェット用樹脂組成物の硬化物を接着層として有し、The cured product of the inkjet resin composition according to any one of claims 1 to 4 is provided as an adhesive layer.
前記接着層の厚さが10μm以上50μm未満である電子部品。An electronic component having an adhesive layer having a thickness of 10 μm or more and less than 50 μm.
請求項1〜4のいずれか一つに記載のインクジェット用樹脂組成物をインクジェット方式で支持部材に塗布する塗布工程と、A coating step of applying the inkjet resin composition according to any one of claims 1 to 4 to a support member by an inkjet method.
前記支持部材に塗布されたインクジェット用樹脂組成物に所定波長の光を照射し、前記支持部材に対して前記インクジェット用樹脂組成物を仮固定する光照射工程と、A light irradiation step of irradiating the inkjet resin composition coated on the support member with light having a predetermined wavelength and temporarily fixing the inkjet resin composition to the support member.
前記支持部材に仮固定されたインクジェット用樹脂組成物上に被接着物を載置し、熱を加えることにより前記インクジェット用樹脂組成物を本硬化させ、接着層を形成する熱硬化工程と、A thermosetting step of placing an object to be adhered on an inkjet resin composition temporarily fixed to the support member and applying heat to the main curing of the inkjet resin composition to form an adhesive layer.
を有する電子部品の製造方法。A method of manufacturing an electronic component having.
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