JP6973649B2 - A method for manufacturing an adhesive composition, an adhesive film, and a connecting body. - Google Patents

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Description

本開示は、半導体チップとフレキシブルプリント回路基板との接着に用いられる接着剤組成物及びこの接着剤組成物からなる接着剤片を複数備える接着フィルム、並びに接続体の製造方法に関する。 The present disclosure relates to an adhesive composition used for adhering a semiconductor chip and a flexible printed circuit board, an adhesive film having a plurality of adhesive pieces composed of the adhesive composition, and a method for manufacturing a connector.

従来、半導体装置は以下の工程を経て製造される。まず、ダイシング用粘着シートに半導体ウエハを貼り付け、その状態で半導体ウエハを半導体チップに個片化する。その後、ピックアップ工程、マウンティング工程、リフロー工程及びダイボンディング工程等が実施される。特許文献1は、ダイシング工程において半導体ウエハを固定する機能と、ダイボンディング工程において半導体チップを基板と接着させる機能とを併せ持つ粘接着シート(ダイボンドダイシングシート)を開示する。 Conventionally, a semiconductor device is manufactured through the following steps. First, the semiconductor wafer is attached to the adhesive sheet for dicing, and the semiconductor wafer is separated into semiconductor chips in that state. After that, a pickup process, a mounting process, a reflow process, a die bonding process, and the like are carried out. Patent Document 1 discloses an adhesive sheet (die bond dicing sheet) having both a function of fixing a semiconductor wafer in a dicing process and a function of adhering a semiconductor chip to a substrate in a die bonding process.

特開2007−288170号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2007-288170

ところで、近年、スマートフォンに代表される小型デバイス向け半導体装置の進化に伴い、従来の半導体装置の製造プロセスも従来と著しく変化している。例えば、特許文献1に記載の粘接着シート(ダイボンドダイシングシート)を使用したダイシング工程及びダイボンディング工程を実施しないプロセス、あるいは、リフロー工程を実施しないプロセスの実用化が進められている。これに伴い、半導体装置の製造プロセスで使用される接着フィルムも新たな態様のものが求められている。かかる状況に加え、本発明者らは、半導体装置が搭載される小型デバイスの高機能化及び薄型化等に対応すべく、基板の限られた特定の領域に、これに応じた形状の半導体チップを接着するのに使い勝手のよい接着フィルムの開発を進めた。 By the way, in recent years, with the evolution of semiconductor devices for small devices represented by smartphones, the manufacturing process of conventional semiconductor devices has changed remarkably from the conventional ones. For example, a process using a dicing sheet (die bond dicing sheet) described in Patent Document 1 and a process in which the dicing step and the dicing process are not carried out, or a process in which the reflow step is not carried out is being put into practical use. Along with this, there is a demand for a new type of adhesive film used in the manufacturing process of semiconductor devices. In addition to this situation, the present inventors have applied a semiconductor chip having a shape corresponding to a limited specific area of the substrate in order to cope with higher functionality and thinner size of a small device on which a semiconductor device is mounted. We proceeded with the development of an adhesive film that is easy to use for adhering.

本開示の一側面は、半導体チップとフレキシブルプリント回路基板との接着性に優れるとともに、半導体チップとフレキシブルプリント回路基板との接着後に実施されるワイヤボンディングを好適に実施できる接着剤組成物を提供する。本開示の一側面は、この接着剤組成物からなる接着剤片を複数備える接着フィルム、並びに接続体の製造方法を提供する。 One aspect of the present disclosure is to provide an adhesive composition which is excellent in adhesiveness between a semiconductor chip and a flexible printed circuit board and can suitably perform wire bonding carried out after bonding the semiconductor chip and the flexible printed circuit board. .. One aspect of the present disclosure provides an adhesive film comprising a plurality of adhesive pieces made of this adhesive composition, and a method for producing a connector.

本開示の一側面に係る接着剤組成物は、半導体チップとフレキシブルプリント回路基板との接着に用いられるものであり、130℃における溶融粘度が3500〜20000Pa・sである。 The adhesive composition according to one aspect of the present disclosure is used for adhering a semiconductor chip and a flexible printed circuit board, and has a melt viscosity at 130 ° C. of 3500 to 20000 Pa · s.

上記接着剤組成物によれば、130℃における溶融粘度が3500〜20000Pa・sであることで、半導体チップとフレキシブルプリント回路基板(以下、「FPC基板」という。)との接着工程における優れた接着性と、その後の半導体チップとFPC基板とのワイヤボンディング工程における優れたワイヤボンディング性との両方を十分に高水準に達成できる。接着剤組成物の130℃における溶融粘度が20000Pa・s以下であること(接着剤組成物が130℃において適度に軟らかいこと)で、半導体チップとFPC基板との接着工程において優れた密着性を達成できる。他方、接着剤組成物の130℃における溶融粘度が3500Pa・s以上であること(接着剤組成物が130℃において適度に硬いこと)で、接着工程後に実施されるワイヤボンディング工程において接着剤層(半導体チップとFPC基板との間に介在する接着剤組成物)の厚さが変化することを十分に抑制でき、これにより、優れたワイヤボンディング性を達成できる。なお、ワイヤボンディング工程においては、半導体チップ及びFPC基板のそれぞれの接続すべき位置(例えば、高さ位置)が予め設定されるため、接着剤層の厚さが不均一になったり、過剰に厚くなったりすると(図8(b)参照)、ワイヤボンディングを好適に実施することができない。 According to the above-mentioned adhesive composition, the melt viscosity at 130 ° C. is 3500 to 20000 Pa · s, so that the semiconductor chip and the flexible printed circuit board (hereinafter referred to as “FPC substrate”) are excellently bonded in the bonding process. Both the property and the excellent wire bonding property in the subsequent wire bonding process between the semiconductor chip and the FPC substrate can be achieved to a sufficiently high level. When the melt viscosity of the adhesive composition at 130 ° C. is 20000 Pa · s or less (the adhesive composition is moderately soft at 130 ° C.), excellent adhesion is achieved in the bonding process between the semiconductor chip and the FPC substrate. can. On the other hand, when the melt viscosity of the adhesive composition at 130 ° C. is 3500 Pa · s or more (the adhesive composition is moderately hard at 130 ° C.), the adhesive layer (adhesive layer) is used in the wire bonding step performed after the bonding step. It is possible to sufficiently suppress the change in the thickness of the adhesive composition (adhesive composition interposed between the semiconductor chip and the FPC substrate), thereby achieving excellent wire bonding properties. In the wire bonding step, the positions (for example, height positions) to be connected to the semiconductor chip and the FPC substrate are set in advance, so that the thickness of the adhesive layer becomes uneven or excessively thick. If this happens (see FIG. 8B), wire bonding cannot be suitably performed.

上記接着剤組成物は、熱可塑性樹脂と、熱硬化性樹脂とを少なくとも含み、熱可塑性樹脂の含有量を100質量部とすると、熱硬化性樹脂の含有量は70〜240質量部であることが好ましい。熱硬化性樹脂の含有量が上記範囲であることで、優れた接着性及びワイヤボンディング性を両立しやすい。接着剤組成物の130℃における溶融粘度(硬さ)を調整する等の観点から、接着剤組成物はフィラーを更に含んでもよく、熱可塑性樹脂の含有量を100質量部とすると、フィラーの含有量は10〜450質量部であることが好ましい。 The adhesive composition contains at least a thermoplastic resin and a thermosetting resin, and when the content of the thermoplastic resin is 100 parts by mass, the content of the thermosetting resin is 70 to 240 parts by mass. Is preferable. When the content of the thermosetting resin is in the above range, it is easy to achieve both excellent adhesiveness and wire bonding property. From the viewpoint of adjusting the melt viscosity (hardness) of the adhesive composition at 130 ° C., the adhesive composition may further contain a filler, and if the content of the thermoplastic resin is 100 parts by mass, the filler is contained. The amount is preferably 10 to 450 parts by mass.

本開示の一側面に係る接着フィルムは、幅100mm以下の帯状のキャリアフィルムと、キャリアフィルム上にキャリアフィルムの長手方向に並ぶように配置されている複数の接着剤片とを備え、これらの接着剤片は上記接着剤組成物からなる。 The adhesive film according to one aspect of the present disclosure includes a strip-shaped carrier film having a width of 100 mm or less, and a plurality of adhesive pieces arranged so as to be arranged in the longitudinal direction of the carrier film on the carrier film, and these are adhered to each other. The agent piece comprises the above adhesive composition.

この接着フィルムによれば、キャリアフィルム上に並ぶように配置された複数の接着剤片を順次ピックアップし、その後、各接着剤片を被着体(半導体チップ又はFPC基板)の所定の領域に配置することができ、半導体チップとFPC基板との接着工程を効率的に実施できる。例えば、帯状の接着フィルムをリールに巻いた態様とすれば、ロールtoロール方式によって、より一層効率的に接着工程を実施できる。接着剤片の形状は、半導体チップが接着されるべきFPC基板の領域の形状、又は、半導体チップの形状に応じて適宜、設定すればよい。 According to this adhesive film, a plurality of adhesive pieces arranged side by side on the carrier film are sequentially picked up, and then each adhesive piece is placed in a predetermined region of an adherend (semiconductor chip or FPC substrate). This makes it possible to efficiently carry out the bonding process between the semiconductor chip and the FPC substrate. For example, if a strip-shaped adhesive film is wound on a reel, the adhesive process can be carried out more efficiently by the roll-to-roll method. The shape of the adhesive piece may be appropriately set according to the shape of the region of the FPC substrate to which the semiconductor chip is to be bonded or the shape of the semiconductor chip.

キャリアフィルム上に配置される接着剤片のサイズ及び個数等は、製造する接続体の設計に応じて適宜設定すればよい。例えば、一つの接着剤片の面積は10〜200mmの範囲とすることができる。なお、キャリアフィルム上には、一つ又は複数の、上記複数の接着剤片からなる列が形成されていてもよい。複数の接着剤片は、例えば、キャリアフィルムの表面を覆うように形成された接着剤層を型抜きすることによって形成することができる。The size, number, and the like of the adhesive pieces arranged on the carrier film may be appropriately set according to the design of the connecting body to be manufactured. For example, the area of one adhesive piece can be in the range of 10 to 200 mm 2. In addition, one or a plurality of rows composed of the plurality of adhesive pieces may be formed on the carrier film. The plurality of adhesive pieces can be formed, for example, by punching out an adhesive layer formed so as to cover the surface of the carrier film.

本開示に係る接着フィルムは、接着剤片のキャリアフィルム側の第一面と反対側の第二面を覆っており、接着剤片と同じ形状を有する保護部材を更に備えてもよい。接着剤片を保護部材で覆った状態とすることで、使用するときまで埃等が接着剤片に付着することを防止できる。接着剤片及び保護部材は、キャリアフィルムの表面を覆うように形成された接着剤層と、接着剤層を覆うように配置された保護フィルムとを型抜きすることによって形成することができる。 The adhesive film according to the present disclosure covers the first surface of the adhesive piece on the carrier film side and the second surface on the opposite side, and may further include a protective member having the same shape as the adhesive piece. By covering the adhesive piece with a protective member, it is possible to prevent dust and the like from adhering to the adhesive piece until it is used. The adhesive piece and the protective member can be formed by punching out an adhesive layer formed so as to cover the surface of the carrier film and a protective film arranged so as to cover the adhesive layer.

本開示の一側面によれば、半導体チップとFPC基板との接着性に優れるとともに、半導体チップとFPC基板との接着後に実施されるワイヤボンディングを好適に実施できる接着剤組成物が提供される。本開示の一側面によれば、この接着剤組成物からなる接着剤片を複数備える接着フィルム、並びに接続体の製造方法が提供される。 According to one aspect of the present disclosure, there is provided an adhesive composition which is excellent in adhesiveness between a semiconductor chip and an FPC substrate and can suitably perform wire bonding performed after bonding the semiconductor chip and the FPC substrate. According to one aspect of the present disclosure, there is provided an adhesive film comprising a plurality of adhesive pieces made of this adhesive composition, and a method for producing a connector.

図1は本開示に係る接着フィルムの一実施形態を模式的に示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view schematically showing an embodiment of the adhesive film according to the present disclosure. 図2は図1に示すII−II線における断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II shown in FIG. 図3はキャリアフィルム、接着剤層及び保護フィルムがこの順序で積層された積層体を模式的に示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view schematically showing a laminate in which a carrier film, an adhesive layer, and a protective film are laminated in this order. 図4は型抜きによってキャリアフィルム上に複数の接着剤片が形成される様子を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing how a plurality of adhesive pieces are formed on the carrier film by die cutting. 図5はキャリアフィルムから接着剤片及びこれを覆う保護部材がピックアップされる様子を模式的に示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view schematically showing how the adhesive piece and the protective member covering the adhesive piece are picked up from the carrier film. 図6(a)及び図6(b)は半導体チップに対するFPC基板の先端部の接着工程が実施される前の接着剤片の状態を模式的に示す断面図である。6 (a) and 6 (b) are cross-sectional views schematically showing the state of the adhesive piece before the step of adhering the tip of the FPC substrate to the semiconductor chip is performed. 図7はFPC基板に対して上方に力を加えることでFPC基板を保持しながら、FPC基板の先端部と半導体チップとの間の接着剤片の硬化処理を実施している様子を模式的に示す断面図である。FIG. 7 schematically shows a state in which the adhesive piece between the tip of the FPC substrate and the semiconductor chip is cured while holding the FPC substrate by applying an upward force to the FPC substrate. It is sectional drawing which shows. 図8(a)は半導体チップに対してFPC基板の先端部を好適に接着することができたモジュールを模式的に示す断面図であり、図8(b)は半導体チップに対してFPC基板の先端部を好適に接着することができなかったモジュールを模式的に示す断面図である。FIG. 8A is a cross-sectional view schematically showing a module in which the tip end portion of the FPC substrate can be suitably bonded to the semiconductor chip, and FIG. 8B is a cross-sectional view of the FPC substrate to the semiconductor chip. It is sectional drawing which shows typically the module which could not bond the tip part appropriately.

以下、図面を適宜参照しながら、本開示の実施形態について説明する。なお、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。本明細書において、(メタ)アクリルとは、アクリル又はメタクリルを意味する。 Hereinafter, embodiments of the present disclosure will be described with reference to the drawings as appropriate. The present invention is not limited to the following embodiments. As used herein, the term (meth) acrylic means acrylic or methacryl.

<接着フィルム>
図1は本実施形態に係る接着フィルムを模式的に示す斜視図である。図2は図1に示すII−II線における断面図である。これらの図に示す接着フィルム10は、幅100mm以下の帯状のキャリアフィルム1と、キャリアフィルム1上に、その長手方向(図1に示す矢印Xの方向)に並ぶように配置されている複数の接着剤片3pと、接着剤片3pの表面F2を覆っており且つ接着剤片3pと同じ形状を有する保護部材5pとを備える。図2に示すとおり、接着剤片3pの表面F2(第二面)は、接着剤片3pのキャリアフィルム1側の面F1(第一面)と反対側の面である。
<Adhesive film>
FIG. 1 is a perspective view schematically showing an adhesive film according to this embodiment. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II shown in FIG. The adhesive film 10 shown in these figures is a strip-shaped carrier film 1 having a width of 100 mm or less, and a plurality of the adhesive films 10 arranged so as to be arranged in the longitudinal direction (direction of arrow X in FIG. 1) on the carrier film 1. It includes an adhesive piece 3p and a protective member 5p that covers the surface F2 of the adhesive piece 3p and has the same shape as the adhesive piece 3p. As shown in FIG. 2, the surface F2 (second surface) of the adhesive piece 3p is a surface opposite to the surface F1 (first surface) on the carrier film 1 side of the adhesive piece 3p.

接着フィルム10は、半導体チップとFPC基板との接着に適用されるものである。接着フィルム10によれば、キャリアフィルム1上に並ぶように配置された複数の接着剤片3pを順次ピックアップし、その後、各接着剤片3pを基板の所定の領域に配置することができ、半導体チップとFPC基板との接着工程を効率的に実施できる。 The adhesive film 10 is applied to bond a semiconductor chip and an FPC substrate. According to the adhesive film 10, a plurality of adhesive pieces 3p arranged side by side on the carrier film 1 can be sequentially picked up, and then each adhesive piece 3p can be arranged in a predetermined region of the substrate, and the semiconductor can be used. The bonding process between the chip and the FPC substrate can be efficiently performed.

接着剤片3pは、130℃における溶融粘度が3500〜20000Pa・sである接着剤組成物からなる。この接着剤組成物の130℃における溶融粘度は、4000〜19000Pa・sであることが好ましく、4000〜15000Pa・sであることがより好ましく、4000〜13000Pa・sであることが更に好ましい。接着剤組成物の130℃における溶融粘度が3500〜20000Pa・sであることで、半導体チップとFPC基板との接着工程における優れた接着性と、その後の半導体チップとFPC基板とのワイヤボンディング工程における優れたワイヤボンディング性との両方を十分に高水準に達成できる。 The adhesive piece 3p is made of an adhesive composition having a melt viscosity at 130 ° C. of 3500 to 20000 Pa · s. The melt viscosity of this adhesive composition at 130 ° C. is preferably 4000 to 19000 Pa · s, more preferably 4000 to 15000 Pa · s, and even more preferably 4000 to 13000 Pa · s. Since the melt viscosity of the adhesive composition at 130 ° C. is 3500 to 20000 Pa · s, excellent adhesiveness in the bonding process between the semiconductor chip and the FPC substrate and subsequent wire bonding process between the semiconductor chip and the FPC substrate are performed. Both excellent wire bonding properties can be achieved at a sufficiently high level.

具体的には、接着剤組成物の130℃における溶融粘度が20000Pa・s以下であることで、半導体チップとFPC基板との接着工程において優れた密着性を達成できる。他方、接着剤組成物の130℃における溶融粘度が3500Pa・s以上であることで、接着工程後に実施されるワイヤボンディング工程において接着剤層(半導体チップとFPC基板との間に介在する接着剤組成物)の厚さが変化することを十分に抑制でき、これにより、優れたワイヤボンディング性を達成できる。なお、ワイヤボンディング工程においては、半導体チップ及びFPC基板のそれぞれの接続すべき位置(例えば、高さ位置)が予め設定されるため、これに先立って実施される接着工程において、接着剤層の厚さが不均一になったり、過剰に厚くなったりすると(図8(b)参照)、ワイヤボンディングを好適に実施することができない。 Specifically, when the melt viscosity of the adhesive composition at 130 ° C. is 20000 Pa · s or less, excellent adhesion can be achieved in the bonding process between the semiconductor chip and the FPC substrate. On the other hand, when the melt viscosity of the adhesive composition at 130 ° C. is 3500 Pa · s or more, the adhesive composition interposed between the adhesive layer (the semiconductor chip and the FPC substrate) in the wire bonding step carried out after the bonding step. It is possible to sufficiently suppress the change in the thickness of the object), whereby excellent wire bonding property can be achieved. In the wire bonding step, the positions (for example, height positions) to be connected to each of the semiconductor chip and the FPC substrate are set in advance. Therefore, in the bonding step performed prior to this, the thickness of the adhesive layer is set. If the wire bonding becomes non-uniform or excessively thick (see FIG. 8B), wire bonding cannot be preferably performed.

本明細書において、接着剤組成物の130℃における溶融粘度は、次のような方法により測定される値である。まず、厚さ25μmの接着剤片(接着剤層)をテフロン(登録商標)シートに貼り合せ、ロール(温度60℃、線圧0.2MPa、送り速度0.5m/分)で加圧する。その後、PETフィルムをはく離し、接着剤片に、厚さ25μmの別の接着剤層を重ね、加圧しながら積層する。これを繰り返して、厚さが約200μmの接着剤サンプルを得る。得られた接着剤サンプルの溶融粘度を、粘弾性測定装置(レオメトリックス サイエンティフィック エフ イー株式会社製、商品名:ARES)を用いて、直径25mmの平行プレートを測定プレートとして、昇温速度:10℃/分、周波数:1Hzの条件で、20〜200℃の温度範囲で測定する。この測定結果から、130℃における溶融粘度を求める。 In the present specification, the melt viscosity of the adhesive composition at 130 ° C. is a value measured by the following method. First, an adhesive piece (adhesive layer) having a thickness of 25 μm is attached to a Teflon (registered trademark) sheet and pressed with a roll (temperature 60 ° C., linear pressure 0.2 MPa, feeding speed 0.5 m / min). Then, the PET film is peeled off, another adhesive layer having a thickness of 25 μm is laminated on the adhesive piece, and the adhesive layer is laminated while being pressed. This is repeated to obtain an adhesive sample having a thickness of about 200 μm. The melt viscosity of the obtained adhesive sample was measured using a viscoelasticity measuring device (manufactured by Leometrics Scientific FE Co., Ltd., trade name: ARES) using a parallel plate with a diameter of 25 mm as a measuring plate, and the temperature rise rate: Measure in the temperature range of 20 to 200 ° C. under the conditions of 10 ° C./min and frequency: 1 Hz. From this measurement result, the melt viscosity at 130 ° C. is obtained.

本実施形態においては、図1に示すように、太いT字のような形状の接着剤片3pを例示したが、接着剤片の形状は半導体チップが接着されるべきFPC基板の領域の形状、又は、半導体チップの形状に応じて適宜、設定すればよい。また、図1,2には、キャリアフィルム1上に、複数の接着剤片3pからなる列3Aが一列設けられている場合を図示したが、二つ以上の列3Aがキャリアフィルム1上に設けられていてもよい。 In the present embodiment, as shown in FIG. 1, an adhesive piece 3p having a thick T-shaped shape is exemplified, but the shape of the adhesive piece is the shape of the region of the FPC substrate to which the semiconductor chip is to be adhered. Alternatively, it may be appropriately set according to the shape of the semiconductor chip. Further, FIGS. 1 and 2 show a case where one row 3A composed of a plurality of adhesive pieces 3p is provided on the carrier film 1, but two or more rows 3A are provided on the carrier film 1. It may have been.

本実施形態における接着剤片3pは十分にサイズが小さいものを想定しており、一つの接着剤片3pの面積は、例えば、10〜200mmである。キャリアフィルム1の表面であって複数の接着剤片3pによって覆われている領域の割合(接着剤片の面積率)は、キャリアフィルム1の面積を基準として、例えば、10〜60%であり、10〜35%であってもよい。この面積率は、一つの接着剤片3pの面積Aを、キャリアフィルム1上に設けられている接着剤片3pのピッチ(図1におけるピッチP)とキャリアフィルム1の幅(図1における幅W)との積で除すことによって算出してもよい。つまり、この面積率Rは、以下の式で算出される値としてもよい。
面積率R(%)=A/(P×W)×100
The adhesive piece 3p in the present embodiment is assumed to be sufficiently small in size, and the area of one adhesive piece 3p is, for example, 10 to 200 mm 2. The ratio of the region on the surface of the carrier film 1 covered by the plurality of adhesive pieces 3p (area ratio of the adhesive pieces) is, for example, 10 to 60% with respect to the area of the carrier film 1. It may be 10 to 35%. In this area ratio, the area A of one adhesive piece 3p is the pitch of the adhesive piece 3p provided on the carrier film 1 (pitch P in FIG. 1) and the width of the carrier film 1 (width W in FIG. 1). ) May be calculated by dividing by the product. That is, this area ratio R may be a value calculated by the following formula.
Area ratio R (%) = A / (P × W) × 100

以下、接着フィルム10の構成について説明する。
[キャリアフィルム]
キャリアフィルム1は、上述のとおり、帯状であって、100mm以下の幅を有する。キャリアフィルム1の幅は、その上に配置する接着剤片3pのサイズ及び列3Aの数に応じて適宜設定すればよい。例えば、図1に示すように、列3Aの数が一つである場合、キャリアフィルム1の幅は10〜50mmであることが好ましく、10〜30mm又は10〜20mmであってもよい。キャリアフィルム1の幅が10mm以上であることで、ロールtoロール方式を採用した場合、キャリアフィルム1が捻れることに起因する作業性低下を防止しやすい。
Hereinafter, the configuration of the adhesive film 10 will be described.
[Carrier film]
As described above, the carrier film 1 is strip-shaped and has a width of 100 mm or less. The width of the carrier film 1 may be appropriately set according to the size of the adhesive piece 3p arranged on the carrier film 1 and the number of rows 3A. For example, as shown in FIG. 1, when the number of rows 3A is one, the width of the carrier film 1 is preferably 10 to 50 mm, and may be 10 to 30 mm or 10 to 20 mm. Since the width of the carrier film 1 is 10 mm or more, when the roll-to-roll method is adopted, it is easy to prevent a decrease in workability due to twisting of the carrier film 1.

キャリアフィルム1の材質は、接着フィルム10の製造プロセス及び半導体装置の製造プロセスにおいて加わる張力に十分に耐え得るものであれば、特に制限はない。キャリアフィルム1は、その上に配置される接着剤片3p及び/又は保護部材5pの視認性の観点から、透明であることが好ましい。キャリアフィルム1としては、ポリエチレンテレフタレートフィルム等のポリエステル系フィルム、ポリテトラフルオロエチレンフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリビニルアセテートフィルム、ポリ−4−メチルペンテン−1、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−アクリル酸エチル共重合体等の単独共重合体又は共重合体あるいはこれらの混合物等のポリオレフィン系フィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、ポリイミドフィルム等のプラスチックフィルムなどを用いることができる。キャリアフィルム1は単層構造であっても、多層構造であってもよい。 The material of the carrier film 1 is not particularly limited as long as it can sufficiently withstand the tension applied in the manufacturing process of the adhesive film 10 and the manufacturing process of the semiconductor device. The carrier film 1 is preferably transparent from the viewpoint of visibility of the adhesive piece 3p and / or the protective member 5p arranged on the carrier film 1. The carrier film 1 includes polyester films such as polyethylene terephthalate film, polytetrafluoroethylene film, polyethylene film, polypropylene film, polymethylpentene film, polyvinylacetate film, poly-4-methylpentene-1, and ethylene-vinyl acetate. A polymer, a homopolymer such as an ethylene-ethyl acrylate copolymer, a polyolefin film such as a copolymer or a mixture thereof, a plastic film such as a polyvinyl chloride film and a polyimide film, and the like can be used. The carrier film 1 may have a single-layer structure or a multi-layer structure.

キャリアフィルム1の厚さは、作業性を損なわない範囲で適宜選択すればよく、例えば、10〜200μmであり、20〜100μm又は25〜80μmであってもよい。これらの厚さの範囲は、実用的に問題なく、経済的にも有効な範囲である。 The thickness of the carrier film 1 may be appropriately selected within a range that does not impair workability, and may be, for example, 10 to 200 μm, 20 to 100 μm, or 25 to 80 μm. These thickness ranges are practically acceptable and economically effective.

キャリアフィルム1に対する接着剤片3pの密着力を高めるために、キャリアフィルム1の表面に、コロナ処理、クロム酸処理、オゾン暴露、火炎暴露、高圧電撃暴露、イオン化放射線処理等の化学的又は物理的表面処理を施してもよい。キャリアフィルム1として、フッ素樹脂からなる表面エネルギーの低いフィルムを用いることもできる。このようなフィルムとしては、例えば、帝人デュポンフィルム株式会社製のA−63(離型処理剤:変性シリコーン系)、及び、帝人デュポンフィルム株式会社製のA−31(離型処理剤:Pt系シリコーン系)等がある。 In order to enhance the adhesion of the adhesive piece 3p to the carrier film 1, the surface of the carrier film 1 is chemically or physically treated with corona treatment, chromic acid treatment, ozone exposure, flame exposure, high piezoelectric shock exposure, ionizing radiation treatment, etc. Surface treatment may be applied. As the carrier film 1, a film made of a fluororesin and having a low surface energy can also be used. Examples of such films include A-63 (release treatment agent: modified silicone type) manufactured by Teijin DuPont Film Co., Ltd. and A-31 (release treatment agent: Pt type) manufactured by Teijin DuPont Film Co., Ltd. Silicone type) etc.

キャリアフィルム1に対する接着剤片3pの密着力が過度に高くなることを防止するために、キャリアフィルム1の表面に、シリコーン系剥離剤、フッ素系剥離剤、長鎖アルキルアクリレート系剥離剤等の離型剤から構成される離型層を形成してもよい。 In order to prevent the adhesive force of the adhesive piece 3p from becoming excessively high on the carrier film 1, a silicone-based release agent, a fluorine-based release agent, a long-chain alkyl acrylate-based release agent, etc. are released on the surface of the carrier film 1. A mold release layer composed of a mold may be formed.

キャリアフィルム1と接着剤片3pとの間の密着力は0.5〜18N/mであることが好ましく、2〜10N/mであることがより好ましく、2〜6N/m又は2〜4N/mであってもよい。この密着力が0.5N/m以上であることで、接着フィルム10を製造する過程においてキャリアフィルム1から接着剤片3pが不用意に剥離することを防止しやすく、他方、18N/m以下であることで、接着フィルム10の使用時においてキャリアフィルム1から接着剤片3p及びこれを覆う保護部材5pを安定的にピックアップしやすい。なお、キャリアフィルム1に対する接着剤片3pの密着力は、90°ピール強度を意味し、具体的には、キャリアフィルム1上に接着剤片3pと同じ組成からなる幅20mmの接着剤層が形成された試料を準備し、この接着剤層を90°の角度で且つ剥離速度50mm/分でキャリアフィルムから剥離したときに測定されるピール強度を意味する。 The adhesion between the carrier film 1 and the adhesive piece 3p is preferably 0.5 to 18 N / m, more preferably 2 to 10 N / m, and 2 to 6 N / m or 2 to 4 N / m. It may be m. When this adhesive force is 0.5 N / m or more, it is easy to prevent the adhesive piece 3p from being inadvertently peeled from the carrier film 1 in the process of manufacturing the adhesive film 10, and on the other hand, at 18 N / m or less. This makes it easy to stably pick up the adhesive piece 3p and the protective member 5p covering the adhesive piece 3p from the carrier film 1 when the adhesive film 10 is used. The adhesive force of the adhesive piece 3p to the carrier film 1 means a 90 ° peel strength, and specifically, an adhesive layer having a width of 20 mm having the same composition as the adhesive piece 3p is formed on the carrier film 1. It means the peel strength measured when the prepared sample is prepared and the adhesive layer is peeled off from the carrier film at an angle of 90 ° and a peeling speed of 50 mm / min.

[接着剤片]
接着剤片3pは、キャリアフィルム1の表面を覆うように形成された接着剤層3と、接着剤層3を覆うように配置された保護フィルム5とを同時に型抜きすることにより、保護部材5pとともに形成されるものである(図4参照)。接着剤片3pの厚さは、作業性を損なわない範囲で適宜選択すればよく、例えば、1〜200μmであり、3〜150μm又は5〜150μmであってもよい。接着剤片3pの厚さが1μm以上又は5μm以上であることで十分な接着性を確保しやすく、他方、200μm以下又は150μm以下であることで接着剤片3pを構成する接着剤組成物が保護部材5pからはみ出ることを抑制しやすい。
[Adhesive piece]
The adhesive piece 3p is a protective member 5p by simultaneously die-cutting an adhesive layer 3 formed so as to cover the surface of the carrier film 1 and a protective film 5 arranged so as to cover the adhesive layer 3. It is formed together with (see FIG. 4). The thickness of the adhesive piece 3p may be appropriately selected within a range that does not impair workability, and may be, for example, 1 to 200 μm, or 3 to 150 μm or 5 to 150 μm. When the thickness of the adhesive piece 3p is 1 μm or more or 5 μm or more, it is easy to secure sufficient adhesiveness, while when it is 200 μm or less or 150 μm or less, the adhesive composition constituting the adhesive piece 3p is protected. It is easy to prevent the member from protruding from the member 5p.

接着剤片3pを構成する接着剤組成物は、130℃において、適度な軟らかさ(密着性)と、過度に伸びない性質とを兼ね備えているものが好ましい。接着剤片3pは、熱可塑性樹脂と、熱硬化性樹脂と、硬化促進剤と、フィラーとを含むことが好ましく、必要に応じ、光反応性モノマー及び光重合開始剤等を含んでもよい。 The adhesive composition constituting the adhesive piece 3p preferably has an appropriate softness (adhesiveness) at 130 ° C. and a property of not excessively stretching. The adhesive piece 3p preferably contains a thermoplastic resin, a thermosetting resin, a curing accelerator, and a filler, and may contain a photoreactive monomer, a photopolymerization initiator, and the like, if necessary.

(熱可塑性樹脂)
熱可塑性樹脂としては、熱可塑性を有する樹脂、又は少なくとも未硬化状態において熱可塑性を有し、加熱後に架橋構造を形成する樹脂を用いることができる。熱可塑性樹脂としては、半導体加工用テープとして、収縮性、耐熱性及び剥離性に優れる観点から、反応性基を有する(メタ)アクリル共重合体(以下、「反応性基含有(メタ)アクリル共重合体」という場合もある)が好ましい。
熱可塑性樹脂として、反応性基含有(メタ)アクリル共重合体を含む場合、接着剤片3pは、熱硬化性樹脂を含まない態様でもよい。すなわち、反応性基含有(メタ)アクリル共重合体と、硬化促進剤と、フィラーとを含む態様でもよい。
熱可塑性樹脂は、一種を単独で又は二種以上を組み合わせて用いることができる。
(Thermoplastic resin)
As the thermoplastic resin, a resin having thermoplasticity, or a resin having at least thermoplasticity in an uncured state and forming a crosslinked structure after heating can be used. As the thermoplastic resin, as a tape for semiconductor processing, a (meth) acrylic copolymer having a reactive group (hereinafter, “reactive group-containing (meth) acrylic” from the viewpoint of excellent shrinkage, heat resistance and peelability. It may also be called "polymer").
When the thermoplastic resin contains a reactive group-containing (meth) acrylic copolymer, the adhesive piece 3p may not contain a thermosetting resin. That is, an embodiment containing a reactive group-containing (meth) acrylic copolymer, a curing accelerator, and a filler may be used.
The thermoplastic resin may be used alone or in combination of two or more.

(メタ)アクリル共重合体としては、アクリルガラス、アクリルゴム等の(メタ)アクリル酸エステル共重合体等が挙げられ、アクリルゴムが好ましい。アクリルゴムは、アクリル酸エステルを主成分とし、(メタ)アクリル酸エステル及びアクリロニトリルから選択されるモノマーの共重合により形成されるものが好ましい。 Examples of the (meth) acrylic copolymer include (meth) acrylic acid ester copolymers such as acrylic glass and acrylic rubber, and acrylic rubber is preferable. The acrylic rubber is preferably formed by copolymerizing an acrylic acid ester as a main component and a monomer selected from (meth) acrylic acid ester and acrylonitrile.

(メタ)アクリル酸エステルとしては、メチルアクリレート、エチルアクリレート、プロピルアクリレート、イソプロピルアクリレート、ブチルアクリレート、イソブチルアクリレート、ヘキシルアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、2−エチルヘキシルアクリレート、ラウリルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、プロピルメタクリレート、イソプロピルアクリレート、ブチルメタクリレート、イソブチルメタクリレート、ヘキシルメタクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、2−エチルヘキシルメタクリレート、ラウリルメタクリレート等が挙げられる。
(メタ)アクリル酸エステル共重合体としては、共重合成分としてブチルアクリレート及びアクリロニトリルを含む共重合体、共重合成分としてエチルアクリレート及びアクリロニトリルを含む共重合体が好ましい。
Examples of the (meth) acrylic acid ester include methyl acrylate, ethyl acrylate, propyl acrylate, isopropyl acrylate, butyl acrylate, isobutyl acrylate, hexyl acrylate, cyclohexyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, lauryl acrylate, methyl methacrylate, ethyl methacrylate, and propyl methacrylate. Examples thereof include isopropyl acrylate, butyl methacrylate, isobutyl methacrylate, hexyl methacrylate, cyclohexyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate and lauryl methacrylate.
As the (meth) acrylic acid ester copolymer, a copolymer containing butyl acrylate and acrylonitrile as a copolymerization component and a copolymer containing ethyl acrylate and acrylonitrile as a copolymerization component are preferable.

反応性基含有(メタ)アクリル共重合体は、反応性基を有する(メタ)アクリルモノマーを共重合成分として含む反応性基含有(メタ)アクリル共重合体であることが好ましい。このような反応性基含有(メタ)アクリル共重合体は、反応性基を有する(メタ)アクリルモノマーと、上記のモノマーとが含まれる単量体組成物を共重合することにより得ることができる。 The reactive group-containing (meth) acrylic copolymer is preferably a reactive group-containing (meth) acrylic copolymer containing a (meth) acrylic monomer having a reactive group as a copolymerization component. Such a reactive group-containing (meth) acrylic copolymer can be obtained by copolymerizing a (meth) acrylic monomer having a reactive group and a monomer composition containing the above-mentioned monomer. ..

反応性基としては、耐熱性向上の観点から、エポキシ基、カルボキシル基、アクリロイル基、メタクリロイル基、水酸基、エピスルフィド基が好ましく、中でも架橋性の点から、エポキシ基及びカルボキシル基がより好ましい。 As the reactive group, an epoxy group, a carboxyl group, an acryloyl group, a methacryloyl group, a hydroxyl group and an episulfide group are preferable from the viewpoint of improving heat resistance, and an epoxy group and a carboxyl group are more preferable from the viewpoint of crosslinkability.

本実施形態において、反応性基含有(メタ)アクリル共重合体は、エポキシ基を有する(メタ)アクリルモノマーを共重合成分として含むエポキシ基含有(メタ)アクリル共重合体であることが好ましい。この場合、エポキシ基を有する(メタ)アクリルモノマーとしては、グリシジルアクリレート、4−ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテル、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート、グリシジルメタクリレート、4−ヒドロキシブチルメタクリレートグリシジルエーテル、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレート等が挙げられる。反応性基を有する(メタ)アクリルモノマーは、耐熱性の観点から、グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレートが好ましい。 In the present embodiment, the reactive group-containing (meth) acrylic copolymer is preferably an epoxy group-containing (meth) acrylic copolymer containing a (meth) acrylic monomer having an epoxy group as a copolymerization component. In this case, examples of the (meth) acrylic monomer having an epoxy group include glycidyl acrylate, 4-hydroxybutyl acrylate glycidyl ether, 3,4-epoxycyclohexylmethyl acrylate, glycidyl methacrylate, 4-hydroxybutyl methacrylate glycidyl ether, and 3,4-. Epoxycyclohexylmethylmethacrylate and the like can be mentioned. As the (meth) acrylic monomer having a reactive group, glycidyl acrylate and glycidyl methacrylate are preferable from the viewpoint of heat resistance.

熱可塑性樹脂のTgは、−50℃〜50℃であることが好ましい。熱可塑性樹脂のTgが50℃以下であると、接着剤片3pの柔軟性を確保しやすい。また、被着体に貼り付ける際に凹凸が存在する場合、追随しやすくなり、適度な接着性を有するようになる。一方、熱可塑性樹脂のTgが−50℃以上であると、接着剤片3pの柔軟性が高くなりすぎることを抑制しやすく、優れた取扱性及び接着性、剥離性を達成できる。 The Tg of the thermoplastic resin is preferably −50 ° C. to 50 ° C. When the Tg of the thermoplastic resin is 50 ° C. or lower, it is easy to secure the flexibility of the adhesive piece 3p. Further, if there are irregularities when the material is attached to the adherend, it becomes easy to follow the surface and has an appropriate adhesiveness. On the other hand, when the Tg of the thermoplastic resin is −50 ° C. or higher, it is easy to prevent the adhesive piece 3p from becoming too flexible, and excellent handleability, adhesiveness, and peelability can be achieved.

熱可塑性樹脂のTgは、示差走査熱量測定(DSC)によって得られる中間点ガラス転移温度値である。熱可塑性樹脂のTgは、具体的には、昇温速度10℃/分、測定温度:−80〜80℃の条件で熱量変化を測定し、JIS K 7121:1987に準拠した方法によって算出した中間点ガラス転移温度である。 The Tg of the thermoplastic resin is an intermediate point glass transition temperature value obtained by differential scanning calorimetry (DSC). Specifically, the Tg of the thermoplastic resin is an intermediate calculated by a method based on JIS K 7121: 1987 by measuring the change in calorific value under the conditions of a heating rate of 10 ° C./min and a measurement temperature of -80 to 80 ° C. The point glass transition temperature.

熱可塑性樹脂の重量平均分子量は、10万以上200万以下であることが好ましい。重量平均分子量が10万以上であると、仮固定の用途で使用する場合、耐熱性を確保しやすくなる。一方、重量平均分子量が200万以下であると、仮固定の用途で使用する場合、フローの低下及び貼付性の低下を抑制しやすい。上述した観点から、熱可塑性樹脂の重量平均分子量は、50万以上200万以下であることがより好ましく、100万以上200万以下であることが更に好ましい。なお、重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法(GPC)で標準ポリスチレンによる検量線を用いたポリスチレン換算値である。 The weight average molecular weight of the thermoplastic resin is preferably 100,000 or more and 2 million or less. When the weight average molecular weight is 100,000 or more, it becomes easy to secure heat resistance when used for temporary fixing. On the other hand, when the weight average molecular weight is 2 million or less, it is easy to suppress a decrease in flow and a decrease in stickability when used for temporary fixing. From the above viewpoint, the weight average molecular weight of the thermoplastic resin is more preferably 500,000 or more and 2 million or less, and further preferably 1 million or more and 2 million or less. The weight average molecular weight is a polystyrene-equivalent value using a calibration curve made of standard polystyrene by gel permeation chromatography (GPC).

反応性基を有する(メタ)アクリル共重合体がグリシジルアクリレート又はグリシジルメタクリレートを共重合成分として含む場合、これらの含有量は合計で、共重合成分全量を基準として、0.1〜20質量%であることが好ましく、0.5〜15質量%であることがより好ましく、1.0〜10質量%であることが更に好ましい。含有量が上記範囲内であると、接着剤片3pの柔軟性、接着性及び剥離性の全てをより高水準に達成しやすい。 When the (meth) acrylic copolymer having a reactive group contains glycidyl acrylate or glycidyl methacrylate as a copolymerization component, the total content thereof is 0.1 to 20% by mass based on the total amount of the copolymerization component. It is preferably 0.5 to 15% by mass, more preferably 1.0 to 10% by mass, and even more preferably 1.0 to 10% by mass. When the content is within the above range, it is easy to achieve all of the flexibility, adhesiveness and peelability of the adhesive piece 3p to a higher level.

上述のような反応性基を有する(メタ)アクリル共重合体としては、パール重合、溶液重合等の重合方法によって得られるものを用いてもよい。または、HTR−860P−3CSP(商品名、ナガセケムテックス(株)製)等の市販品を用いてもよい。 As the (meth) acrylic copolymer having a reactive group as described above, one obtained by a polymerization method such as pearl polymerization or solution polymerization may be used. Alternatively, a commercially available product such as HTR-860P-3CSP (trade name, manufactured by Nagase ChemteX Corporation) may be used.

(熱硬化性樹脂)
熱硬化性樹脂としては、熱により硬化する樹脂であれば特に制限なく用いることができる。熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、熱硬化型ポリイミド樹脂、ポリウレタン樹脂、メラミン樹脂、ユリア樹脂等が挙げられる。これらは、一種を単独で又は二種以上を組み合わせて用いることができる。
(Thermosetting resin)
As the thermosetting resin, any resin that can be cured by heat can be used without particular limitation. Examples of the thermosetting resin include epoxy resin, acrylic resin, silicone resin, phenol resin, thermosetting polyimide resin, polyurethane resin, melamine resin, and urea resin. These can be used alone or in combination of two or more.

エポキシ樹脂は、硬化して耐熱作用を有するものであれば特に限定されない。エポキシ樹脂は、ビスフェノールA型エポキシ等の二官能エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ樹脂などを用いることができる。エポキシ樹脂は、また、多官能エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、複素環含有エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂等、従来公知のものを用いることができる。 The epoxy resin is not particularly limited as long as it is cured and has a heat resistant effect. As the epoxy resin, a bifunctional epoxy resin such as bisphenol A type epoxy, a novolak type epoxy resin such as a phenol novolac type epoxy resin, and a novolak type epoxy resin such as cresol novolac type epoxy resin can be used. As the epoxy resin, conventionally known ones such as a polyfunctional epoxy resin, a glycidylamine type epoxy resin, a heterocyclic-containing epoxy resin, and an alicyclic epoxy resin can be used.

ビスフェノールA型エポキシ樹脂としては、エピコート807、エピコート815、エピコート825、エピコート827、エピコート828、エピコート834、エピコート1001、エピコート1004、エピコート1007、エピコート1009(いずれも三菱ケミカル(株)製)、DER−330、DER−301、DER−361(いずれもダウケミカル社製)、YD8125、YDF8170(いずれも東都化成(株)製)等が挙げられる。
フェノールノボラック型エポキシ樹脂としては、エピコート152、エピコート154(いずれも三菱ケミカル(株)製)、EPPN−201(日本化薬(株)製)、DEN−438(ダウケミカル社製)等が挙げられる。
o−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂としては、YDCN−700−10(新日鉄住金化学(株)製)、EOCN−102S、EOCN−103S、EOCN−104S、EOCN−1012、EOCN−1025、EOCN−1027(いずれも日本化薬(株)製)、YDCN701、YDCN702、YDCN703、YDCN704(いずれも東都化成(株)製)等が挙げられる。
多官能エポキシ樹脂としては、Epon 1031S(三菱ケミカル(株)製)、アラルダイト0163(BASFジャパン社製)、デナコールEX−611、EX−614、EX−614B、EX−622、EX−512、EX−521、EX−421、EX−411、EX−321(いずれもナガセケムテックス(株)製)等が挙げられる。
アミン型エポキシ樹脂としては、エピコート604(三菱ケミカル(株)製)、YH−434(東都化成(株)製)、TETRAD−X、TETRAD−C(いずれも三菱ガス化学(株)製)、ELM−120(住友化学(株)製)等が挙げられる。
複素環含有エポキシ樹脂としては、アラルダイトPT810(BASFジャパン社製)、ERL4234、ERL4299、ERL4221、ERL4206(いずれもユニオンカーバイド社製)等が挙げられる。これらのエポキシ樹脂は、一種を単独で又は二種以上を組み合わせて用いることができる。
Bisphenol A type epoxy resins include Epicoat 807, Epicoat 815, Epicoat 825, Epicoat 827, Epicoat 828, Epicoat 834, Epicoat 1001, Epicoat 1004, Epicoat 1007, Epicoat 1009 (all manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.), DER- 330, DER-301, DER-361 (all manufactured by Dow Chemical Co., Ltd.), YD8125, YDF8170 (all manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.) and the like can be mentioned.
Examples of the phenol novolac type epoxy resin include Epicoat 152, Epicoat 154 (all manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.), EPPN-201 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), DEN-438 (manufactured by Dow Chemical Co., Ltd.) and the like. ..
Examples of the o-cresol novolac type epoxy resin include YDCN-700-10 (manufactured by Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation), EOCN-102S, EOCN-103S, EOCN-104S, EOCN-1012, EOCN-1025, and EOCN-1027 (any of them). (Made by Nippon Kayaku Co., Ltd.), YDCN701, YDCN702, YDCN703, YDCN704 (all manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.) and the like.
Examples of the polyfunctional epoxy resin include Epon 1031S (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), Araldite 0163 (manufactured by BASF Japan), Denacol EX-611, EX-614, EX-614B, EX-622, EX-512, and EX-. 521, EX-421, EX-411, EX-321 (all manufactured by Nagase ChemteX Corporation) and the like can be mentioned.
As the amine type epoxy resin, Epicoat 604 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), YH-434 (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.), TETRAD-X, TETRAD-C (all manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd.), ELM -120 (manufactured by Sumitomo Chemical Corporation) and the like can be mentioned.
Examples of the heterocyclic-containing epoxy resin include Araldite PT810 (manufactured by BASF Japan Ltd.), ERL4234, ERL4299, ERL4221 and ERL4206 (all manufactured by Union Carbide). These epoxy resins can be used alone or in combination of two or more.

熱硬化樹脂成分の一部であるエポキシ樹脂硬化剤としては、通常用いられている公知の樹脂を使用することができる。具体的には、アミン類、ポリアミド、酸無水物、ポリスルフィド、三フッ化ホウ素、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールSのようなフェノール性水酸基を1分子中に二個以上有するビスフェノール類、フェノールノボラック樹脂、ビスフェノールAノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂等のフェノール樹脂などが挙げられる。エポキシ樹脂硬化剤としては、特に、吸湿時の耐電食性に優れるという観点から、フェノールノボラック樹脂、ビスフェノールAノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂等のフェノール樹脂が好ましい。
なお、エポキシ硬化剤は、エポキシ樹脂と同時に用いてもよいし、単独で用いてもよい。
As the epoxy resin curing agent which is a part of the thermosetting resin component, a commonly used known resin can be used. Specifically, bisphenols and phenol novolak resins having two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule, such as amines, polyamides, acid anhydrides, polysulfides, boron trifluoride, bisphenol A, bisphenol F, and bisphenol S. , Bisphenol A novolak resin, phenolic resin such as cresol novolak resin and the like. As the epoxy resin curing agent, phenolic resins such as phenol novolac resin, bisphenol A novolak resin, and cresol novolak resin are particularly preferable from the viewpoint of excellent electrolytic corrosion resistance during moisture absorption.
The epoxy curing agent may be used at the same time as the epoxy resin, or may be used alone.

上記フェノール樹脂硬化剤の中でも、フェノライトLF2882、フェノライトLF2822、フェノライトTD−2090、フェノライトTD−2149、フェノライトVH−4150、フェノライトVH4170(いずれもDIC(株)製、商品名)、H−1(明和化成(株)製、商品名)、エピキュアMP402FPY、エピキュアYL6065、エピキュアYLH129B65、ミレックスXL、ミレックスXLC、ミレックスXLC−LL、ミレックスRN、ミレックスRS、ミレックスVR(いずれも三菱ケミカル(株)製、商品名)を用いることが好ましい。 Among the above phenol resin curing agents, Phenolite LF2882, Phenolite LF2282, Phenolite TD-2090, Phenolite TD-2149, Phenolite VH-4150, Phenolite VH4170 (all manufactured by DIC Co., Ltd., trade names). H-1 (manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd., trade name), Epicure MP402FPY, Epicure YL6065, Epicure YLH129B65, Millex XL, Millex XLC, Millex XLC-LL, Millex RN, Millex RS, Millex VR (all from Mitsubishi Chemical Co., Ltd.) ), It is preferable to use the trade name).

接着剤片3pにおける熱硬化性樹脂の含有量は、熱可塑性樹脂100質量部に対して、70〜240質量部が好ましく、70〜180質量部がより好ましく、70〜120質量部が更に好ましい。熱硬化性樹脂の含有量が上記範囲内であると、接着剤片3pの熱硬化に伴う収縮を抑制できるとともに、熱硬化後の優れた密着性を達成しやすい。 The content of the thermosetting resin in the adhesive piece 3p is preferably 70 to 240 parts by mass, more preferably 70 to 180 parts by mass, still more preferably 70 to 120 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the thermoplastic resin. When the content of the thermosetting resin is within the above range, shrinkage of the adhesive piece 3p due to heat curing can be suppressed, and excellent adhesion after heat curing can be easily achieved.

(硬化促進剤)
硬化促進剤としては、イミダゾール類、ジシアンジアミド誘導体、ジカルボン酸ジヒドラジド、トリフェニルホスフィン、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、2−エチル−4−メチルイミダゾール−テトラフェニルボレート、1,8−ジアザビシクロ[5,4,0]ウンデセン−7−テトラフェニルボレート等が挙げられる。これらは、一種を単独で又は二種以上を組み合わせて用いることができる。
(Hardening accelerator)
Examples of the curing accelerator include imidazoles, dicyandiamide derivatives, dicarboxylic acid dihydrazide, triphenylphosphine, tetraphenylphosphonium tetraphenylborate, 2-ethyl-4-methylimidazole-tetraphenylborate, 1,8-diazabicyclo [5,4. 0] Undecene-7-tetraphenylborate and the like can be mentioned. These can be used alone or in combination of two or more.

接着剤片3pがエポキシ基を有する(メタ)アクリル共重合体を含有する場合、かかるアクリル共重合体に含まれるエポキシ基の硬化を促進する硬化促進剤を含有することが好ましい。エポキシ基の硬化を促進する硬化促進剤としては、フェノール系硬化剤、酸無水物系硬化剤、アミン系硬化剤、イミダゾール系硬化剤、イミダゾリン系硬化剤、トリアジン系硬化剤及びホスフィン系硬化剤が挙げられる。これらの中でも、速硬化性、耐熱性及び剥離性の観点から、工程時間の短縮及び作業性の向上が期待できるイミダゾール系硬化剤であることが好ましい。これらの化合物は、一種を単独で又は二種以上を組み合わせて用いることができる。 When the adhesive piece 3p contains a (meth) acrylic copolymer having an epoxy group, it is preferable to contain a curing accelerator that promotes curing of the epoxy group contained in the acrylic copolymer. Examples of the curing accelerator that promotes the curing of the epoxy group include a phenol-based curing agent, an acid anhydride-based curing agent, an amine-based curing agent, an imidazole-based curing agent, an imidazoline-based curing agent, a triazine-based curing agent, and a phosphine-based curing agent. Can be mentioned. Among these, an imidazole-based curing agent, which can be expected to shorten the process time and improve workability, is preferable from the viewpoint of quick curing property, heat resistance and peelability. These compounds may be used alone or in combination of two or more.

接着剤片3pにおける硬化促進剤の含有量は、熱可塑性樹脂100質量部に対して、0.01〜2.0質量部が好ましく、0.02〜1.5質量部がより好ましく、0.03〜1.0質量部が更に好ましい。硬化促進剤の含有量が上記範囲内であると、接着剤片3pの硬化性を向上させながら保存安定性の低下を十分抑制できる傾向にある。 The content of the curing accelerator in the adhesive piece 3p is preferably 0.01 to 2.0 parts by mass, more preferably 0.02 to 1.5 parts by mass, and 0. 03 to 1.0 parts by mass is more preferable. When the content of the curing accelerator is within the above range, there is a tendency that the deterioration of the storage stability can be sufficiently suppressed while improving the curing property of the adhesive piece 3p.

(無機フィラー)
接着剤片3pは、無機フィラーを含有することが好ましい。無機フィラーとしては、銀粉、金粉、銅粉等の金属フィラー、シリカ、アルミナ、窒化ホウ素、チタニア、ガラス、酸化鉄、セラミック等の非金属無機フィラーなどが挙げられる。無機フィラーは所望する機能に応じて選択することができる。
(Inorganic filler)
The adhesive piece 3p preferably contains an inorganic filler. Examples of the inorganic filler include metal fillers such as silver powder, gold powder and copper powder, and non-metal inorganic fillers such as silica, alumina, boron nitride, titania, glass, iron oxide and ceramics. The inorganic filler can be selected according to the desired function.

上記無機フィラーは表面に有機基を有するものが好ましい。無機フィラーの表面が有機基によって修飾されていることにより、接着剤片3pを形成するためのワニスを調製するときの有機溶剤への分散性、並びに接着剤片3pの熱硬化に伴う収縮を抑制できるとともに、接着剤片3pの高い弾性率及び優れた剥離性を両立しやすい。 The inorganic filler preferably has an organic group on its surface. Since the surface of the inorganic filler is modified with an organic group, the dispersibility in an organic solvent when preparing a varnish for forming the adhesive piece 3p and the shrinkage of the adhesive piece 3p due to thermosetting are suppressed. At the same time, it is easy to achieve both high elastic modulus and excellent peelability of the adhesive piece 3p.

表面に有機基を有する無機フィラーは、例えば、下記式(B−1)で表されるシランカップリング剤と無機フィラーとを混合し、30℃以上の温度で攪拌することにより得ることができる。無機フィラーの表面が有機基によって修飾されたことは、UV測定、IR測定、XPS測定等で確認することが可能である。 The inorganic filler having an organic group on the surface can be obtained, for example, by mixing a silane coupling agent represented by the following formula (B-1) and the inorganic filler and stirring at a temperature of 30 ° C. or higher. It is possible to confirm that the surface of the inorganic filler is modified by an organic group by UV measurement, IR measurement, XPS measurement or the like.

Figure 0006973649
Figure 0006973649

式(B−1)中、Xは、フェニル基、グリシドキシ基、アクリロイル基、メタクリロイル基、メルカプト基、アミノ基、ビニル基、イソシアネート基及びメタクリロキシ基からなる群より選択される有機基を示し、sは0又は1〜10の整数を示し、R11、R12及びR13は各々独立に、炭素数1〜10のアルキル基を示す。
炭素数1〜10のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、イソプロピル基、イソブチル基等が挙げられる。
炭素数1〜10のアルキル基は、入手が容易であるという観点から、メチル基、エチル基及びペンチル基が好ましい。Xは、耐熱性の観点から、アミノ基、グリシドキシ基、メルカプト基及びイソシアネート基が好ましく、グリシドキシ基及びメルカプト基がより好ましい。式(B−1)中のsは、高熱時のフィルム流動性を抑制し、耐熱性を向上させる観点から、0〜5が好ましく、0〜4がより好ましい。
In the formula (B-1), X represents an organic group selected from the group consisting of a phenyl group, a glycidoxy group, an acryloyl group, a methacryloyl group, a mercapto group, an amino group, a vinyl group, an isocyanate group and a methacryloxy group, and s Indicates an integer of 0 or 1 to 10, and R 11 , R 12 and R 13 each independently indicate an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms.
Examples of the alkyl group having 1 to 10 carbon atoms include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a pentyl group, a hexyl group, a heptyl group, an octyl group, a nonyl group, a decyl group, an isopropyl group and an isobutyl group. ..
The alkyl group having 1 to 10 carbon atoms is preferably a methyl group, an ethyl group and a pentyl group from the viewpoint of easy availability. From the viewpoint of heat resistance, X is preferably an amino group, a glycidoxy group, a mercapto group and an isocyanate group, and more preferably a glycidoxy group and a mercapto group. The s in the formula (B-1) is preferably 0 to 5, and more preferably 0 to 4 from the viewpoint of suppressing the film fluidity at the time of high heat and improving the heat resistance.

シランカップリング剤としては、トリメトキシフェニルシラン、ジメチルジメトキシフェニルシラン、トリエトキシフェニルシラン、ジメトキシメチルフェニルシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3−ウレイドプロピルトリエトキシシラン、N−(1,3―ジメチルブチリデン)−3−(トリエトキシシリル)−1−プロパンアミン、N,N’―ビス(3−(トリメトキシシリル)プロピル)エチレンジアミン、ポリオキシエチレンプロピルトリアルコキシシラン、ポリエトキシジメチルシロキサン等が挙げられる。
これらの中でも、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシランが好ましく、トリメトキシフェニルシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシランがより好ましい。シランカップリング剤は、一種を単独で又は二種以上を組み合わせて用いることができる。
Examples of the silane coupling agent include trimethoxyphenylsilane, dimethyldimethoxyphenylsilane, triethoxyphenylsilane, dimethoxymethylphenylsilane, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, and N- (2). -Aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-glycid Xipropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-isoxapropyltriethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3- Mercaptopropyltrimethoxysilane, 3-ureidopropyltriethoxysilane, N- (1,3-dimethylbutylidene) -3- (triethoxysilyl) -1-propaneamine, N, N'-bis (3- (tri) Examples thereof include methoxysilyl) propyl) ethylenediamine, polyoxyethylenepropyltrialkoxysilane, and polyethoxydimethylsiloxane.
Among these, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-isoxapropyltriethoxysilane, and 3-mercaptopropyltrimethoxysilane are preferable, and trimethoxyphenylsilane and 3-glycidoxy are preferable. Propyltrimethoxysilane and 3-mercaptopropyltrimethoxysilane are more preferred. The silane coupling agent may be used alone or in combination of two or more.

上記カップリング剤の含有量は、耐熱性と保存安定性とのバランスを図る観点から、熱可塑性樹脂100質量部に対して、0〜10質量部が好ましく、0〜5質量部がより好ましく、保存安定性の観点から、0〜3質量部が更に好ましい。 The content of the coupling agent is preferably 0 to 10 parts by mass, more preferably 0 to 5 parts by mass, based on 100 parts by mass of the thermoplastic resin, from the viewpoint of balancing heat resistance and storage stability. From the viewpoint of storage stability, 0 to 3 parts by mass is more preferable.

接着剤片3pにおける無機フィラーの含有量は、熱可塑性樹脂100質量部に対し、450質量部以下であることが好ましく、400質量部以下であることがより好ましく、350質量部以下であることが更に好ましい。無機フィラーの含有量の下限は特に制限はないが、熱可塑性樹脂100質量部に対し、10質量部以上であることが好ましく、50質量部以上であることがより好ましい。無機フィラーの含有量を上記範囲とすることにより、熱硬化に伴う収縮を抑制できるとともに、接着剤片3pの高い溶融粘度及び優れた剥離性を両立しやすい。 The content of the inorganic filler in the adhesive piece 3p is preferably 450 parts by mass or less, more preferably 400 parts by mass or less, and more preferably 350 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the thermoplastic resin. More preferred. The lower limit of the content of the inorganic filler is not particularly limited, but is preferably 10 parts by mass or more, and more preferably 50 parts by mass or more with respect to 100 parts by mass of the thermoplastic resin. By setting the content of the inorganic filler in the above range, shrinkage due to thermosetting can be suppressed, and it is easy to achieve both high melt viscosity and excellent peelability of the adhesive piece 3p.

(有機フィラー)
接着剤片3pは、有機フィラーを含有してもよい。有機フィラーとしては、カーボン、ゴム系フィラー、シリコーン系微粒子、ポリアミド微粒子、ポリイミド微粒子等が挙げられる。有機フィラーの含有量は、熱可塑性樹脂100質量部に対し、450質量部以下が好ましく、400質量部以下がより好ましく、350質量部以下が更により好ましい。有機フィラーの含有量の下限は特に制限はないが、熱可塑性樹脂100質量部に対し、10質量部以上であることが好ましい。
(Organic filler)
The adhesive piece 3p may contain an organic filler. Examples of the organic filler include carbon, rubber-based filler, silicone-based fine particles, polyamide fine particles, polyimide fine particles, and the like. The content of the organic filler is preferably 450 parts by mass or less, more preferably 400 parts by mass or less, and even more preferably 350 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the thermoplastic resin. The lower limit of the content of the organic filler is not particularly limited, but is preferably 10 parts by mass or more with respect to 100 parts by mass of the thermoplastic resin.

(有機溶剤)
接着剤片3pは、必要に応じて、有機溶剤を用いて希釈してもよい。有機溶剤は特に限定されないが、製膜時の揮発性等を沸点から考慮して決めることができる。具体的には、メタノール、エタノール、2−メトキシエタノール、2−エトキシエタノール、2−ブトキシエタノール、メチルエチルケトン、アセトン、メチルイソブチルケトン、トルエン、キシレン等の比較的低沸点の溶剤が、製膜時にフィルムの硬化が進みにくいという観点から好ましい。また、製膜性を向上させる等の目的では、ジメチルアセトアミド、ジメチルホルムアミド、N−メチルピロリドン、シクロヘキサノン等の比較的高沸点の溶剤を使用することが好ましい。これらの溶剤は、一種を単独で又は二種以上を組み合わせて用いることができる。
(Organic solvent)
The adhesive piece 3p may be diluted with an organic solvent, if necessary. The organic solvent is not particularly limited, but can be determined in consideration of the volatility at the time of film formation and the like from the boiling point. Specifically, a solvent having a relatively low boiling point such as methanol, ethanol, 2-methoxyethanol, 2-ethoxyethanol, 2-butoxyethanol, methylethylketone, acetone, methylisobutylketone, toluene, and xylene is applied to the film during film formation. It is preferable from the viewpoint that curing does not proceed easily. Further, for the purpose of improving the film-forming property, it is preferable to use a solvent having a relatively high boiling point such as dimethylacetamide, dimethylformamide, N-methylpyrrolidone and cyclohexanone. These solvents may be used alone or in combination of two or more.

[保護部材]
保護部材5pは、キャリアフィルム1の表面を覆うように形成された接着剤層3と、接着剤層3を覆うように配置された保護フィルム5とを同時に型抜きすることにより、接着剤片3pとともに形成されるものである(図4参照)。本実施形態に係る保護部材5pは、型抜きによって接着剤片3pと同時に形成されるものであるから、接着剤片3pと実質的に同じ形状である。保護フィルム5としては、接着フィルム10の製造プロセスにおいて打抜き加工が可能であり且つ半導体装置の製造プロセスにおいて接着剤片3pから保護部材5pを容易に剥離し得るものであればよい。
[Protective member]
The protective member 5p is formed by simultaneously die-cutting an adhesive layer 3 formed to cover the surface of the carrier film 1 and a protective film 5 arranged to cover the adhesive layer 3 to form an adhesive piece 3p. It is formed together with (see FIG. 4). Since the protective member 5p according to the present embodiment is formed at the same time as the adhesive piece 3p by die cutting, it has substantially the same shape as the adhesive piece 3p. The protective film 5 may be any as long as it can be punched in the manufacturing process of the adhesive film 10 and the protective member 5p can be easily peeled off from the adhesive piece 3p in the manufacturing process of the semiconductor device.

接着剤片3pと保護部材5pとの間の密着力は16N/m以下であることが好ましく、10N/m以下であることがより好ましく、5N/m以下又は4.5N/m以下であってもよい。特に、接着剤片3pが熱硬化性を有する樹脂組成物からなる場合、90℃で1秒の熱処理後において、接着剤片3pに対する保護部材5pの密着力が上記範囲であることが好ましい。この密着力が16N/m以下であることで、保護部材5pで覆われた状態の接着剤片3pを90℃で1秒の条件で被着体(例えば、基板)に仮圧着させた後、半硬化した接着剤片3pから保護部材5pを粘着テープ等で容易に剥離することができる。なお、接着剤片3pに対する保護部材5pの密着力は、90°ピール強度を意味し、具体的には、接着剤片3pと同じ組成からなる幅20mmの接着剤層上に同じ幅の保護フィルムが配置された試料を準備し、この保護フィルムを90°の角度で且つ剥離速度300mm/分で接着剤層から剥離したときに測定されるピール強度を意味する。 The adhesion between the adhesive piece 3p and the protective member 5p is preferably 16 N / m or less, more preferably 10 N / m or less, and 5 N / m or less or 4.5 N / m or less. May be good. In particular, when the adhesive piece 3p is made of a thermosetting resin composition, it is preferable that the adhesive force of the protective member 5p to the adhesive piece 3p is within the above range after heat treatment at 90 ° C. for 1 second. When this adhesive force is 16 N / m or less, the adhesive piece 3p covered with the protective member 5p is temporarily pressure-bonded to an adherend (for example, a substrate) at 90 ° C. for 1 second. The protective member 5p can be easily peeled off from the semi-cured adhesive piece 3p with an adhesive tape or the like. The adhesive force of the protective member 5p to the adhesive piece 3p means a 90 ° peel strength, and specifically, a protective film having the same width on an adhesive layer having the same composition as the adhesive piece 3p and having a width of 20 mm. It means the peel strength measured when a sample is prepared and the protective film is peeled off from the adhesive layer at an angle of 90 ° and a peeling speed of 300 mm / min.

保護フィルム5としては、ポリエチレンテレフタレートフィルム等のポリエステル系フィルム、ポリテトラフルオロエチレンフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリビニルアセテートフィルム、ポリ−4−メチルペンテン−1、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−アクリル酸エチル共重合体等の単独共重合体又は共重合体あるいはこれらの混合物等のポリオレフィン系フィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、ポリイミドフィルムなどのプラスチックフィルムなどを用いることができる。保護フィルム5は単層構造であっても、多層構造であってもよい。 The protective film 5 includes polyester films such as polyethylene terephthalate film, polytetrafluoroethylene film, polyethylene film, polypropylene film, polymethylpentene film, polyvinylacetate film, poly-4-methylpentene-1, and ethylene-vinyl acetate. A polymer, a homopolymer such as an ethylene-ethyl acrylate copolymer, a polyolefin film such as a copolymer or a mixture thereof, a plastic film such as a polyvinyl chloride film and a polyimide film, and the like can be used. The protective film 5 may have a single-layer structure or a multi-layer structure.

保護フィルム5の厚さは、作業性を損なわない範囲で適宜選択すればよく、例えば、10〜200μmであり、20〜100μm又は25〜80μmであってもよい。これらの厚さの範囲は、実用的に問題なく、経済的にも有効な範囲である。 The thickness of the protective film 5 may be appropriately selected within a range that does not impair workability, and may be, for example, 10 to 200 μm, 20 to 100 μm, or 25 to 80 μm. These thickness ranges are practically acceptable and economically effective.

保護部材5pの光透過率は、キャリアフィルム1の光透過率よりも低いことが好ましい。かかる構成を採用することにより、接着剤片3pの位置及び向き等をカメラ等のデバイスで認識することが可能となり、半導体装置の製造プロセスにおける接着工程を自動化しやすい。例えば、保護部材5pとして、波長500nmの光の透過率が10%未満(より好ましくは7%未満)に着色されたものを使用することが好ましい。 The light transmittance of the protective member 5p is preferably lower than the light transmittance of the carrier film 1. By adopting such a configuration, the position and orientation of the adhesive piece 3p can be recognized by a device such as a camera, and the bonding process in the manufacturing process of the semiconductor device can be easily automated. For example, it is preferable to use a protective member 5p colored so that the transmittance of light having a wavelength of 500 nm is less than 10% (more preferably less than 7%).

<接着フィルムの製造方法>
次に、接着フィルム10の製造方法について説明する。本実施形態の製造方法は以下の工程を含む。
(A)幅100mm以下の帯状のキャリアフィルム1と、キャリアフィルム1の表面を覆うように形成された接着剤層3と、接着剤層3を覆うように配置された保護フィルム5と有する積層体20を準備する工程。
(B)積層体20における接着剤層3及び保護フィルム5を型抜きすることによって、キャリアフィルム1上にキャリアフィルム1の長手方向に並ぶように配置された複数の接着剤片3pを得る工程。
<Manufacturing method of adhesive film>
Next, a method for manufacturing the adhesive film 10 will be described. The manufacturing method of this embodiment includes the following steps.
(A) A laminate having a strip-shaped carrier film 1 having a width of 100 mm or less, an adhesive layer 3 formed so as to cover the surface of the carrier film 1, and a protective film 5 arranged so as to cover the adhesive layer 3. The process of preparing 20.
(B) A step of punching out the adhesive layer 3 and the protective film 5 in the laminated body 20 to obtain a plurality of adhesive pieces 3p arranged so as to be lined up in the longitudinal direction of the carrier film 1 on the carrier film 1.

図3は、(A)工程で準備する積層体20を模式的に示す断面図である。積層体20は以下のようにして作製することができる。まず、接着剤層3の原料樹脂組成物を有機溶剤等の溶媒に溶解させてワニス化した塗工液を準備する。この塗工液をキャリアフィルム1上に塗工した後、溶媒を除去することで接着剤層3を形成する。塗工方法としては、ナイフコート法、ロールコート法、スプレーコート法、グラビアコート法、バーコート法及びカーテンコート法等が挙げられる。次いで、接着剤層3の表面に保護フィルム5を常温〜60℃の条件で貼り合わせる。これにより、積層体20を得ることができる。なお、幅の広いキャリアフィルムに接着剤層3を形成した後、これを覆うように保護フィルム5を貼り合わせることによって積層フィルムを作製し、これを100mm以下の幅に切断(スリット)することによって積層体20を得てもよい。 FIG. 3 is a cross-sectional view schematically showing the laminated body 20 prepared in the step (A). The laminated body 20 can be produced as follows. First, the raw material resin composition of the adhesive layer 3 is dissolved in a solvent such as an organic solvent to prepare a varnished coating liquid. After applying this coating liquid on the carrier film 1, the adhesive layer 3 is formed by removing the solvent. Examples of the coating method include a knife coating method, a roll coating method, a spray coating method, a gravure coating method, a bar coating method, a curtain coating method and the like. Next, the protective film 5 is attached to the surface of the adhesive layer 3 under the conditions of room temperature to 60 ° C. Thereby, the laminated body 20 can be obtained. After forming the adhesive layer 3 on the wide carrier film, a laminated film is produced by laminating the protective film 5 so as to cover the adhesive layer 3, and the laminated film is cut (slit) to a width of 100 mm or less. The laminated body 20 may be obtained.

図4は、(B)工程における型抜きによってキャリアフィルム1上に複数の接着剤片3p及びこれを覆う保護部材5pが形成される様子を示す斜視図である。図4に示すように、型抜きを実施するための複数の刃51cを外周面に有する回転体51と、回転体51と対をなすロール52との間を積層体20が通過することで、刃51cの形状に応じた接着剤片3p及び保護部材5pがキャリアフィルム1上に連続的に形成される。このとき、積層体20は、保護フィルム5側の面が回転体51に向き、キャリアフィルム1側の面がロール52に向いている。回転体51の回転軸51aと、ロール52の回転軸52aとの距離を調整することで、刃51cによって積層体20に形成される切込みの深さを調整することができる。 FIG. 4 is a perspective view showing how a plurality of adhesive pieces 3p and a protective member 5p covering the adhesive pieces 3p are formed on the carrier film 1 by die cutting in the step (B). As shown in FIG. 4, the laminated body 20 passes between the rotating body 51 having a plurality of blades 51c for performing die cutting on the outer peripheral surface and the roll 52 paired with the rotating body 51. An adhesive piece 3p and a protective member 5p corresponding to the shape of the blade 51c are continuously formed on the carrier film 1. At this time, in the laminated body 20, the surface on the protective film 5 side faces the rotating body 51, and the surface on the carrier film 1 side faces the roll 52. By adjusting the distance between the rotating shaft 51a of the rotating body 51 and the rotating shaft 52a of the roll 52, the depth of the cut formed in the laminated body 20 by the blade 51c can be adjusted.

回転体51及びロール52の間を通過した積層体20は、図4に示すように、接着フィルム10と、不要部分30とに分離され、それぞれのリール(不図示)に巻き取られる。不要部分30は、接着剤片3p及び保護部材5pがくり抜かれた接着剤層3と保護フィルム5からなる。 As shown in FIG. 4, the laminated body 20 that has passed between the rotating body 51 and the roll 52 is separated into an adhesive film 10 and an unnecessary portion 30, and is wound on each reel (not shown). The unnecessary portion 30 is composed of an adhesive layer 3 in which an adhesive piece 3p and a protective member 5p are hollowed out, and a protective film 5.

<接着フィルムの使用方法>
次に、接着フィルム10の使用方法について、半導体チップとFPC基板とを含む接続の製造方法を例に挙げて説明する。図5はキャリアフィルム1から接着剤片3p及びこれを覆う保護部材5pをピックアップされる様子を模式的に示す断面図である。接着フィルム10に一定の張力を付与した状態で、くさび状部材60に接着フィルム10のキャリアフィルム1側の面を当接させながら、図5に示す矢印の方向に接着フィルム10を移動させる。これにより、同図に示すように、接着剤片3p及び保護部材5pの前方がキャリアフィルム1から浮いた状態となる。この状態のときに、例えば、吸引力を有するピックアップ装置65で接着剤片3p及び保護部材5pをピックアップする。例えば、ピックアップ装置65として、保護部材5pを視認するカメラ等を備えたものを使用することで、接着剤片3p及び保護部材5pの有無、並びに、向き等の情報を把握することが可能である。これらの情報に基づいて、その後の接着工程を適切に実施することができる。
<How to use the adhesive film>
Next, how to use the adhesive film 10, a method for manufacturing a connector comprising a semiconductor chip and the FPC board will be described as an example. FIG. 5 is a cross-sectional view schematically showing how the adhesive piece 3p and the protective member 5p covering the adhesive piece 3p are picked up from the carrier film 1. With a constant tension applied to the adhesive film 10, the adhesive film 10 is moved in the direction of the arrow shown in FIG. 5 while the surface of the adhesive film 10 on the carrier film 1 side is brought into contact with the wedge-shaped member 60. As a result, as shown in the figure, the front of the adhesive piece 3p and the protective member 5p is in a state of floating from the carrier film 1. In this state, for example, the adhesive piece 3p and the protective member 5p are picked up by the pickup device 65 having a suction force. For example, by using a pickup device 65 equipped with a camera or the like for visually recognizing the protective member 5p, it is possible to grasp information such as the presence / absence of the adhesive piece 3p and the protective member 5p, and the orientation. .. Based on this information, the subsequent bonding step can be appropriately carried out.

次いで、保護部材5pで覆われた状態の接着剤片3pを半導体チップCの表面C1の所定の位置及び向きに配置する(図6(a)参照)。この状態のまま、半導体チップCに対する接着剤片3pの仮圧着を行う。仮圧着は、例えば、温度60〜100℃、押圧力0.1〜0.8MPaの条件で0.1〜10秒にわたって行えばよい。仮圧着によって、接着剤片3pが半硬化することで表面C1に対する接着力が向上する。その後、粘着テープ等を使用して保護部材5pを接着剤片3pから剥離する(図6(b)参照)。 Next, the adhesive piece 3p covered with the protective member 5p is arranged at a predetermined position and orientation on the surface C1 of the semiconductor chip C (see FIG. 6A). In this state, the adhesive piece 3p is temporarily crimped to the semiconductor chip C. Temporary crimping may be performed, for example, under the conditions of a temperature of 60 to 100 ° C. and a pressing force of 0.1 to 0.8 MPa for 0.1 to 10 seconds. By the temporary crimping, the adhesive piece 3p is semi-cured, so that the adhesive force to the surface C1 is improved. Then, the protective member 5p is peeled off from the adhesive piece 3p using an adhesive tape or the like (see FIG. 6B).

半導体チップCに対するFPC基板Sの先端部S1の接着工程は、接着剤片3pを介して半導体チップCとFPC基板Sの先端部S1とを圧着するステップと、その後、接着剤片3pに対して硬化処理を施すステップとを含む。すなわち、まず、保護部材5pの剥離によって露出した接着剤片3pの表面にFPC基板Sの先端部S1を配置した後、半導体チップCに対してFPC基板Sの先端部S1を圧着する。圧着は、例えば、温度90〜150℃、押圧力0.1〜1MPaの条件で0.1〜10秒にわたって行えばよい。次に、図7に示すように、FPC基板Sに対して上方に力Fを加えることでFPC基板Sを保持しながら、FPC基板Sの先端部S1と半導体チップCとの間の接着剤片3pの硬化処理を実施する。硬化処理は、例えば、温度100〜175℃で0.5〜6時間にわたって行えばよい。 The step of adhering the tip portion S1 of the FPC substrate S to the semiconductor chip C is a step of crimping the semiconductor chip C and the tip portion S1 of the FPC substrate S via the adhesive piece 3p, and then to the adhesive piece 3p. Includes a step of applying a curing treatment. That is, first, the tip portion S1 of the FPC substrate S is placed on the surface of the adhesive piece 3p exposed by the peeling of the protective member 5p, and then the tip portion S1 of the FPC substrate S is crimped against the semiconductor chip C. The crimping may be performed for 0.1 to 10 seconds under the conditions of, for example, a temperature of 90 to 150 ° C. and a pressing force of 0.1 to 1 MPa. Next, as shown in FIG. 7, an adhesive piece between the tip portion S1 of the FPC substrate S and the semiconductor chip C while holding the FPC substrate S by applying a force F upward to the FPC substrate S. Carry out a 3p curing process. The curing treatment may be performed, for example, at a temperature of 100 to 175 ° C. for 0.5 to 6 hours.

図8(a)は半導体チップCに対してFPC基板Sの先端部S1を好適に接着することができたモジュール50(接続体)を模式的に示す断面図である。図8(b)は半導体チップCに対してFPC基板Sの先端部S1を好適に接着することができなかったモジュールを模式的に示す断面図である。図8(b)に示すように、接着剤片3pの硬化処理を行う際の力Fに起因して接着剤片3pの一部が伸び、これにより、接着剤片3pの一部が厚くなると、半導体チップCの表面C1からFPC基板Sの上面S2に対してワイヤボンディングをすべき位置がずれてしまって好適にワイヤボンディングを実施することができない。 FIG. 8A is a cross-sectional view schematically showing a module 50 (connector) in which the tip end portion S1 of the FPC substrate S can be suitably adhered to the semiconductor chip C. FIG. 8B is a cross-sectional view schematically showing a module in which the tip portion S1 of the FPC substrate S could not be suitably bonded to the semiconductor chip C. As shown in FIG. 8B, when a part of the adhesive piece 3p is stretched due to the force F when the adhesive piece 3p is cured, a part of the adhesive piece 3p becomes thick. The position where wire bonding should be performed is displaced from the surface C1 of the semiconductor chip C to the upper surface S2 of the FPC substrate S, and wire bonding cannot be suitably performed.

図8(a)に示す好適なモジュール50において、半導体チップCの表面C1からFPC基板Sの上面S2に対してワイヤボンディングをすることにより、半導体チップCとFPC基板Sとが電気的に接続されたモジュール(不図示)が得られる。 In the suitable module 50 shown in FIG. 8A, the semiconductor chip C and the FPC substrate S are electrically connected by wire bonding from the surface C1 of the semiconductor chip C to the upper surface S2 of the FPC substrate S. Module (not shown) is obtained.

以上、本開示の実施形態について詳細に説明したが、本開示は上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態においては、保護部材5pの有無及び向き等をカメラ等で把握できるように、着色された保護フィルム5を使用する場合を例示したが、これの代わりに、保護部材5pの所定の位置にマークを付してもよい。また、接着剤片3pが着色された態様とすれば、保護部材5pは設けなくてもよい。なお、接着剤片3pの向きが問題とならない場合(例えば、接着剤片3pの形状が円形である場合)には、向きを識別する必要はない。 Although the embodiments of the present disclosure have been described in detail above, the present disclosure is not limited to the above embodiments. For example, in the above embodiment, a case where a colored protective film 5 is used so that the presence / absence and orientation of the protective member 5p can be grasped by a camera or the like is illustrated, but instead of this, a predetermined protective member 5p is specified. A mark may be added to the position of. Further, if the adhesive piece 3p is colored, the protective member 5p may not be provided. When the orientation of the adhesive piece 3p does not matter (for example, when the shape of the adhesive piece 3p is circular), it is not necessary to identify the orientation.

また、上記実施形態においては、型抜きによって接着剤組成物からなる接着剤片3pを予め準備する場合を例示したが、接着剤組成物を含む塗液を準備し、これを半導体チップC又はFPC基板Sの所定の領域に塗工することにより、当該領域に接着剤層を形成してもよい。 Further, in the above embodiment, the case where the adhesive piece 3p composed of the adhesive composition is prepared in advance by die cutting is exemplified, but a coating liquid containing the adhesive composition is prepared and used as a semiconductor chip C or FPC. An adhesive layer may be formed in a predetermined region of the substrate S by coating the region.

以下、本開示について実施例に基づいて説明する。本開示は以下の実施例に限定されるものではない。 Hereinafter, the present disclosure will be described based on examples. The present disclosure is not limited to the following examples.

<実施例1>
(接着剤ワニスの調製)
以下の材料を混合するとともに真空脱気することによって接着剤ワニスを得た(表1の実施例1参照)。
・熱可塑性樹脂:HTR−860P−3(商品名、ナガセケムテックス(株)製、グリシジル基含有アクリルゴム、分子量100万、Tg−7℃)100質量部
・熱硬化性樹脂:YDCN−700−10(商品名、新日鉄住金化学(株)製、o−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、エポキシ当量210)30質量部
・熱硬化性樹脂:PSM−4326(商品名、群栄化学工業(株)製、フェノール樹脂、官能基当量105)95質量部
・熱硬化性樹脂:YDF−8170C(商品名、新日鉄住金化学(株)製、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、エポキシ当量157)100質量部
・硬化促進剤:2PZ−CN(商品名、四国化成工業(株)製、イミダゾール化合物)0.3質量部
・表面処理フィラー:SC−2050−HLG(商品名、アドマテックス(株)製)330質量部
・シランカップリング剤:A−189(商品名、(株)NUC製、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン)0.9質量部
・シランカップリング剤:A−1160(商品名、(株)NUC製、γ−ウレイドプロピルトリエトキシシラン)2質量部
<Example 1>
(Preparation of adhesive varnish)
The following materials were mixed and vacuum degassed to obtain an adhesive varnish (see Example 1 in Table 1).
-Thermoplastic resin: HTR-860P-3 (trade name, manufactured by Nagase ChemteX Corporation, glycidyl group-containing acrylic rubber, molecular weight 1 million, Tg-7 ° C) 100 parts by mass-Thermosetting resin: YDCN-700- 10 (trade name, manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., o-cresol novolac type epoxy resin, epoxy equivalent 210) 30 parts by mass, thermosetting resin: PSM-4326 (trade name, manufactured by Gunei Chemical Industry Co., Ltd., Phenol resin, functional group equivalent 105) 95 parts by mass, thermosetting resin: YDF-8170C (trade name, manufactured by Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation, bisphenol F type epoxy resin, epoxy equivalent 157) 100 parts by mass, curing accelerator: 2PZ-CN (trade name, manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd., imidazole compound) 0.3 parts by mass ・ Surface treatment filler: SC-2050-HLG (trade name, manufactured by Admatex Co., Ltd.) 330 parts by mass ・ Silane cup Ring agent: A-189 (trade name, manufactured by NUC Co., Ltd., γ-mercaptopropyltrimethoxysilane) 0.9 parts by mass ・ Silane coupling agent: A-1160 (trade name, manufactured by NUC Co., Ltd., γ- Ureidopropyltriethoxysilane) 2 parts by mass

(接着フィルムの作製)
上記接着剤ワニスを、厚さ50μmの表面離型処理ポリエチレンテレフタレートフィルム(帝人デュポンフィルム(株)製、商品名:テイジンテトロンフィルムA−63)上に塗工した。乾燥工程を経て、上記ポリエチレンテレフタレートフィルム(キャリアフィルム)の一方の面に、厚さ25μmの接着剤層が形成されたフィルムを得た。このフィルムと、着色された厚さ50μmのポリエチレンフィルム(タマポリ(株)製、TDM−1)とを貼り合わせることによって、積層フィルムを得た。この積層フィルムを15mm幅にスリットすることによって、帯状の積層体を得た。
(Making an adhesive film)
The adhesive varnish was applied onto a surface release-treated polyethylene terephthalate film (manufactured by Teijin DuPont Film Co., Ltd., trade name: Teijin Tetron Film A-63) having a thickness of 50 μm. Through the drying step, a film having an adhesive layer having a thickness of 25 μm formed on one surface of the polyethylene terephthalate film (carrier film) was obtained. A laminated film was obtained by laminating this film and a colored polyethylene film having a thickness of 50 μm (TDM-1 manufactured by Tamapoli Co., Ltd.). By slitting this laminated film to a width of 15 mm, a strip-shaped laminated body was obtained.

上記のようにして得た積層体に対して、図4に示す構成の装置を使用して型抜きを行うことで、本実施例に係る接着フィルムを得た。接着剤片の形状は、縦約7mm×横約6mmの矩形の一部の角が欠けた形状(面積:29mm)とした。ピッチPは約9mmとした。接着剤片の面積率Rは23%であった。接着剤片を構成する接着剤組成物の130℃における溶融粘度は3500Pa・sであった。The laminated body obtained as described above was die-cut using the apparatus having the configuration shown in FIG. 4 to obtain an adhesive film according to this embodiment. The shape of the adhesive piece was a shape (area: 29 mm 2 ) in which a part of a rectangle having a length of about 7 mm and a width of about 6 mm was missing. The pitch P was about 9 mm. The area ratio R of the adhesive piece was 23%. The melt viscosity of the adhesive composition constituting the adhesive piece at 130 ° C. was 3500 Pa · s.

(モジュールの作製)
半導体チップ(縦約15mm×横約15mm×厚さ0.4mm)の上面に、3.2mm×3.2mmの接着剤片及びこれを覆う保護部材を配置した(図6(a)参照)。この状態で90℃の温度条件下、接着剤片に10Nの押圧力を0.5秒加えることで、半導体チップに対する接着剤片の仮圧着を行った。その後、保護部材を剥がして接着剤片を露出させた(図6(b)参照)。露出した接着剤片に対してFPC基板の先端部を圧着させた。圧着は、温度130℃、接着剤片に対する15Nの押圧力を1秒加えることで行った。圧着後、図7に示すように、FPC基板に対して上方に250gの力を加えることでFPC基板を保持しながら、温度130℃で1時間にわたって接着剤片の硬化処理を行い、モジュール(接続体)を作製した。これらの工程を繰り返し、計10個のモジュールを作製した。
(Making a module)
On the upper surface of the semiconductor chip (length: about 15 mm × width: about 15 mm × thickness: 0.4 mm), a 3.2 mm × 3.2 mm adhesive piece and a protective member covering the adhesive piece were arranged (see FIG. 6A). In this state, under a temperature condition of 90 ° C., a pressing force of 10 N was applied to the adhesive piece for 0.5 seconds to temporarily press the adhesive piece against the semiconductor chip. Then, the protective member was peeled off to expose the adhesive piece (see FIG. 6 (b)). The tip of the FPC substrate was crimped against the exposed adhesive piece. The crimping was performed by applying a pressing force of 15 N to the adhesive piece at a temperature of 130 ° C. for 1 second. After crimping, as shown in FIG. 7, the adhesive piece was cured at a temperature of 130 ° C. for 1 hour while holding the FPC substrate by applying a force of 250 g upward to the FPC substrate, and the module (connection) was formed. Body) was made. These steps were repeated to produce a total of 10 modules.

<実施例2>
表1の実施例2に示す組成の接着剤ワニスを使用したことの他は、実施例1と同様にして本実施例に係る接着剤片を作製するとともに、これを使用して計10個のモジュールを作製した。接着剤片を構成する接着剤組成物の130℃における溶融粘度は6500Pa・sであった。
<Example 2>
Except for the use of the adhesive varnish having the composition shown in Example 2 of Table 1, an adhesive piece according to this example was prepared in the same manner as in Example 1, and a total of 10 pieces were used. The module was made. The melt viscosity of the adhesive composition constituting the adhesive piece at 130 ° C. was 6500 Pa · s.

<実施例3>
表1の実施例3に示す組成の接着剤ワニスを使用したことの他は、実施例1と同様にして本実施例に係る接着剤片を作製するとともに、これを使用して計10個のモジュールを作製した。接着剤片を構成する接着剤組成物の130℃における溶融粘度は13000Pa・sであった。
<Example 3>
Except for the use of the adhesive varnish having the composition shown in Example 3 of Table 1, an adhesive piece according to this example was prepared in the same manner as in Example 1, and a total of 10 pieces were used. The module was made. The melt viscosity of the adhesive composition constituting the adhesive piece at 130 ° C. was 13000 Pa · s.

<実施例4>
表1の実施例4に示す組成の接着剤ワニスを使用したことの他は、実施例1と同様にして本実施例に係る接着剤片を作製するとともに、これを使用して計10個のモジュールを作製した。接着剤片を構成する接着剤組成物の130℃における溶融粘度は20000Pa・sであった。
<Example 4>
Except for the use of the adhesive varnish having the composition shown in Example 4 of Table 1, an adhesive piece according to this example was prepared in the same manner as in Example 1, and a total of 10 pieces were used. The module was made. The melt viscosity of the adhesive composition constituting the adhesive piece at 130 ° C. was 20000 Pa · s.

<比較例1>
表1の比較例1に示す組成の接着剤ワニスを使用したことの他は、実施例1と同様にして本比較例に係る接着剤片を作製するとともに、これを使用して計10個のモジュールを作製した。接着剤片を構成する接着剤組成物の130℃における溶融粘度は24000Pa・sであった。
<Comparative Example 1>
Except for the use of the adhesive varnish having the composition shown in Comparative Example 1 in Table 1, an adhesive piece according to this Comparative Example was prepared in the same manner as in Example 1, and a total of 10 pieces were used. The module was made. The melt viscosity of the adhesive composition constituting the adhesive piece at 130 ° C. was 24000 Pa · s.

<比較例2>
表1の比較例2に示す組成の接着剤ワニスを使用したことの他は、実施例1と同様にして本比較例に係る接着剤片を作製するとともに、これを使用して計10個のモジュールを作製した。接着剤片を構成する接着剤組成物の130℃における溶融粘度は1700Pa・sであった。
<Comparative Example 2>
Except for the use of the adhesive varnish having the composition shown in Comparative Example 2 in Table 1, an adhesive piece according to this Comparative Example was prepared in the same manner as in Example 1, and a total of 10 pieces were used. The module was made. The melt viscosity of the adhesive composition constituting the adhesive piece at 130 ° C. was 1700 Pa · s.

上記実施例及び比較例に係る接着剤片について以下の項目の評価を行った。表1に結果を示す。 The following items were evaluated for the adhesive pieces according to the above Examples and Comparative Examples. The results are shown in Table 1.

(1)接着剤片の伸び
上記のようにして得た計10個のモジュールの接着性を以下のようにして評価した。すなわち、硬化処理において接着剤片に対して張力が加わっていた側(図7における左側)の厚さを光学顕微鏡画像によって測定した。4個のモジュールについて、それぞれ上記箇所の厚さを測定し、その平均値を算出した。なお、使用前の接着剤片の厚さは25μmであった。
以下の基準で評価した。
A:上記厚さの平均値が30μm未満である。
B:上記厚さの平均値が30〜250μmである。
C:上記厚さの平均値が250μm超である。
D:計4個のモジュールのうち、接着剤片の硬化処理の途中でFPC基板が剥離したモジュールの個数が3個以上である。
(1) Elongation of Adhesive Pieces The adhesiveness of a total of 10 modules obtained as described above was evaluated as follows. That is, the thickness of the side where tension was applied to the adhesive piece in the curing treatment (left side in FIG. 7) was measured by an optical microscope image. For each of the four modules, the thickness of each of the above points was measured, and the average value was calculated. The thickness of the adhesive piece before use was 25 μm.
It was evaluated according to the following criteria.
A: The average value of the above thickness is less than 30 μm.
B: The average value of the thickness is 30 to 250 μm.
C: The average value of the above thickness is more than 250 μm.
D: Of the total of four modules, the number of modules from which the FPC substrate has peeled off during the curing process of the adhesive piece is three or more.

(2)接着剤片の接着性
上記のようにして得た計10個のモジュールの接着性を以下のようにして評価した。すなわち、半導体チップをテーブルの表面に貼り付けることによって固定し、この状態でFPC基板に対して上方に徐々に力を加えていった。FPC基板に0.5Nの力を加えたときに、半導体チップからFPC基板が剥離するか否かを確認した。
以下の基準で評価した。
A:計10個のモジュールのうち、FPC基板が剥離したモジュールの個数が2個以下である。
B:計10個のモジュールのうち、FPC基板が剥離したモジュールの個数が3〜8個である。
C:計10個のモジュールのうち、FPC基板が剥離したモジュールの個数が9個以上である。
D:計10個のモジュールのうち、接着剤片の硬化処理の途中でFPC基板が剥離したモジュールの個数が5個以上である。
(2) Adhesiveness of Adhesive Pieces The adhesiveness of a total of 10 modules obtained as described above was evaluated as follows. That is, the semiconductor chip was fixed by sticking it to the surface of the table, and in this state, a force was gradually applied upward to the FPC substrate. It was confirmed whether or not the FPC substrate was peeled off from the semiconductor chip when a force of 0.5 N was applied to the FPC substrate.
It was evaluated according to the following criteria.
A: Of the total of 10 modules, the number of modules from which the FPC substrate has peeled off is 2 or less.
B: Of the total of 10 modules, the number of modules from which the FPC substrate has been peeled off is 3 to 8.
C: Of the total of 10 modules, the number of modules from which the FPC substrate has been peeled off is 9 or more.
D: Of the total of 10 modules, the number of modules from which the FPC substrate has peeled off during the curing process of the adhesive piece is 5 or more.

(3)接着剤片のボイド
上記のようにして得た計2個のモジュールのボイドを以下のようにして評価した。すなわち、得られたモジュールを超音波映像装置SAT(日立建機製、FS200II)にて検査し、空隙の有無を確認した。空隙有無の評価基準は以下の通りである。
A:ボイドの割合が10%未満。
D:ボイドの割合が10%以上。
(3) Voids of adhesive pieces The voids of a total of two modules obtained as described above were evaluated as follows. That is, the obtained module was inspected with an ultrasonic imaging device SAT (manufactured by Hitachi Construction Machinery, FS200II) to confirm the presence or absence of voids. The evaluation criteria for the presence or absence of voids are as follows.
A: The percentage of voids is less than 10%.
D: Void ratio is 10% or more.

Figure 0006973649
Figure 0006973649

本開示の一側面によれば、半導体チップとFPC基板との接着性に優れるとともに、半導体チップとFPC基板との接着後に実施されるワイヤボンディングを好適に実施できる接着剤組成物が提供される。本開示の一側面によれば、この接着剤組成物からなる接着剤片を複数備える接着フィルム、並びに接続体の製造方法が提供される。 According to one aspect of the present disclosure, there is provided an adhesive composition which is excellent in adhesiveness between a semiconductor chip and an FPC substrate and can suitably perform wire bonding performed after bonding the semiconductor chip and the FPC substrate. According to one aspect of the present disclosure, there is provided an adhesive film comprising a plurality of adhesive pieces made of this adhesive composition, and a method for producing a connector.

1…キャリアフィルム、3…接着剤層、3p…接着剤片(接着剤組成物)、5…保護フィルム、5p…保護部材、10…接着フィルム、50…モジュール(接続体)C…半導体チップ、F1…接着剤片の面(第一面)、F2…接着剤片の面(第二面)、S…フレキシブルプリント回路基板 1 ... Carrier film, 3 ... Adhesive layer, 3p ... Adhesive piece (adhesive composition), 5 ... Protective film, 5p ... Protective member, 10 ... Adhesive film, 50 ... Module (connector) C ... Semiconductor chip, F1 ... Adhesive piece surface (first surface), F2 ... Adhesive piece surface (second surface), S ... Flexible printed circuit board

Claims (14)

半導体チップとフレキシブルプリント回路基板とを含む接続体の製造方法であって、
前記半導体チップと前記フレキシブルプリント回路基板の先端部との間に、130℃における溶融粘度が3500〜20000Pa・sである接着剤組成物からなる接着剤層を介在させ、前記半導体チップと前記フレキシブルプリント回路基板の先端部とを接着する工程と、
100〜175℃で30〜360分にわたって前記接着剤層を加熱する工程と、
前記半導体チップと前記フレキシブルプリント回路基板とをワイヤボンディングする工程と、
をこの順序で含む、接続体の製造方法。
A method for manufacturing a connector including a semiconductor chip and a flexible printed circuit board.
An adhesive layer made of an adhesive composition having a melt viscosity at 130 ° C. of 3500 to 20000 Pa · s is interposed between the semiconductor chip and the tip of the flexible printed circuit board, and the semiconductor chip and the flexible printed circuit board are provided. The process of adhering the tip of the circuit board and
The step of heating the adhesive layer at 100 to 175 ° C. for 30 to 360 minutes, and
The process of wire bonding the semiconductor chip and the flexible printed circuit board,
A method of manufacturing a connector, including in this order.
半導体チップとフレキシブルプリント回路基板とを含む接続体の製造方法であって、
前記半導体チップと前記フレキシブルプリント回路基板の先端部との間に、130℃における溶融粘度が3500〜20000Pa・sである接着剤組成物からなる接着剤片を介在させ、前記半導体チップと前記フレキシブルプリント回路基板の先端部とを接着する工程と、
100〜175℃で30〜360分にわたって前記接着剤片を加熱する工程と、
前記半導体チップと前記フレキシブルプリント回路基板とをワイヤボンディングする工程と、
をこの順序で含む、接続体の製造方法。
A method for manufacturing a connector including a semiconductor chip and a flexible printed circuit board.
An adhesive piece made of an adhesive composition having a melt viscosity at 130 ° C. of 3500 to 20000 Pa · s is interposed between the semiconductor chip and the tip of the flexible printed circuit board, and the semiconductor chip and the flexible printed circuit board are interleaved. The process of adhering the tip of the circuit board and
The step of heating the adhesive piece at 100 to 175 ° C. for 30 to 360 minutes, and
The process of wire bonding the semiconductor chip and the flexible printed circuit board,
A method of manufacturing a connector, including in this order.
前記接着剤片の面積が10〜200mmである、請求項2に記載の接続体の製造方法 The method for manufacturing a connector according to claim 2 , wherein the area of the adhesive piece is 10 to 200 mm 2. 前記接着剤組成物が、熱可塑性樹脂と、熱硬化性樹脂とを少なくとも含み、
前記熱可塑性樹脂の含有量を100質量部とすると、前記熱硬化性樹脂の含有量が70〜240質量部である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の接続体の製造方法
The adhesive composition comprises at least a thermoplastic resin and a thermosetting resin.
The method for producing a connector according to any one of claims 1 to 3, wherein the content of the thermoplastic resin is 100 parts by mass, and the content of the thermosetting resin is 70 to 240 parts by mass.
前記接着剤組成物が、フィラーを更に含み、
前記熱可塑性樹脂の含有量を100質量部とすると、前記フィラーの含有量が10〜450質量部である、請求項に記載の接続体の製造方法
The adhesive composition further comprises a filler and contains
The method for producing a connector according to claim 4 , wherein the content of the filler is 10 to 450 parts by mass, where the content of the thermoplastic resin is 100 parts by mass.
半導体チップとフレキシブルプリント回路基板との接着に用いられる接着剤組成物であって、
130℃における溶融粘度が13000〜20000Pa・sである、接着剤組成物。
An adhesive composition used for adhering a semiconductor chip and a flexible printed circuit board.
An adhesive composition having a melt viscosity at 130 ° C. of 13000 to 20000 Pa · s.
熱可塑性樹脂と、熱硬化性樹脂とを少なくとも含み、
前記熱可塑性樹脂の含有量を100質量部とすると、前記熱硬化性樹脂の含有量が70〜240質量部である、請求項に記載の接着剤組成物。
Contains at least a thermoplastic resin and a thermosetting resin,
The adhesive composition according to claim 6 , wherein the content of the thermoplastic resin is 100 parts by mass, and the content of the thermosetting resin is 70 to 240 parts by mass.
フィラーを更に含み、
前記熱可塑性樹脂の含有量を100質量部とすると、前記フィラーの含有量が10〜450質量部である、請求項に記載の接着剤組成物。
Contains more filler,
The adhesive composition according to claim 7 , wherein the content of the filler is 10 to 450 parts by mass, where the content of the thermoplastic resin is 100 parts by mass.
半導体チップとフレキシブルプリント回路基板の先端部との接着に用いられる、請求項6〜8のいずれか一項に記載の接着剤組成物。The adhesive composition according to any one of claims 6 to 8, which is used for adhering a semiconductor chip and a tip end portion of a flexible printed circuit board. 幅100mm以下の帯状のキャリアフィルムと、
前記キャリアフィルム上に前記キャリアフィルムの長手方向に並ぶように配置されている複数の接着剤片と、
を備え、
前記接着剤片は、請求項6〜9のいずれか一項に記載の接着剤組成物からなる、接着フィルム。
A strip-shaped carrier film with a width of 100 mm or less and
A plurality of adhesive pieces arranged so as to be arranged in the longitudinal direction of the carrier film on the carrier film,
Equipped with
The adhesive piece is an adhesive film comprising the adhesive composition according to any one of claims 6 to 9.
前記接着剤片の面積が10〜200mmである、請求項10に記載の接着フィルム。 The adhesive film according to claim 10 , wherein the adhesive piece has an area of 10 to 200 mm 2. 前記接着剤片は、前記キャリアフィルムの表面を覆うように形成された接着剤層を型抜きすることによって形成されたものである、請求項10又は11に記載の接着フィルム。 The adhesive film according to claim 10 or 11 , wherein the adhesive piece is formed by punching out an adhesive layer formed so as to cover the surface of the carrier film. 前記接着剤片の前記キャリアフィルム側の第一面と反対側の第二面を覆っており、前記接着剤片と同じ形状を有する保護部材を更に備える、請求項1012のいずれか一項に記載の接着フィルム。 Any one of claims 10 to 12 , further comprising a protective member having the same shape as the adhesive piece, covering the first side of the adhesive piece on the carrier film side and the second side opposite to the carrier film side. Adhesive film described in. 前記接着剤片及び前記保護部材は、前記キャリアフィルムの表面を覆うように形成された接着剤層と、前記接着剤層を覆うように配置された保護フィルムとを型抜きすることによって形成されたものである、請求項13に記載の接着フィルム。 The adhesive piece and the protective member were formed by punching out an adhesive layer formed so as to cover the surface of the carrier film and a protective film arranged so as to cover the adhesive layer. The adhesive film according to claim 13.
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