JP6972519B2 - Ion detector - Google Patents

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Description

本発明は、イオン検出装置に係り、更に詳しくは、イオンを選別して検出するイオン検出装置に関する。 The present invention relates to an ion detection device, and more particularly to an ion detection device that selects and detects ions.

気体や気化した化学物質を分析する方法の一つとして、電界非対称波形イオン移動度分光分析(Field Asymmetric Ion Mobility Spectrometry :以下では、「FAIMS」ともいう)と呼ばれる方法がある(例えば、特許文献1〜3参照)。 As one of the methods for analyzing a gas or a vaporized chemical substance, there is a method called field asymmetric waveform ion mobility spectroscopy (hereinafter also referred to as "FAIMS") (for example, Patent Document 1). See ~ 3).

この方法は、イオン化された気体分子や化学物質(以下では、これらを総称して「化学物質等」ともいう)を、イオンフィルタに通して移動度の差によって選別し、検出器で検出することにより、該化学物質等を特定するものである。 In this method, ionized gas molecules and chemical substances (hereinafter collectively referred to as "chemical substances") are passed through an ion filter, sorted according to the difference in mobility, and detected by a detector. The chemical substance or the like is specified by the above method.

近年、FAIMSに用いられる分析装置(以下では、「イオン検出装置」ともいう)に対して、様々な現場で分析できるように小型化や携帯性が要求されるようになった。 In recent years, the analyzer used for FAIMS (hereinafter, also referred to as "ion detector") has been required to be miniaturized and portable so that it can be analyzed at various sites.

しかしながら、従来のイオン検出装置では、装置が大型であり携帯するのは困難であった。 However, in the conventional ion detection device, the device is large and difficult to carry.

本発明は、被測定分子をイオン化するイオン発生器と、前記イオン発生器によりイオン化されたイオンを選別するイオンフィルタと、前記イオンフィルタで選別されたイオンを検出する検出器と、前記検出器の後段に配置され、コロナ放電によりイオン風を生成させることができる気流生成器と、を備えるイオン検出装置である。
The present invention comprises an ion generator that ionizes the molecule to be measured, an ion filter that selects ions ionized by the ion generator, a detector that detects ions selected by the ion filter, and the detector. It is an ion detection device provided with an air flow generator which is arranged in a subsequent stage and can generate an ion wind by corona discharge.

本発明のイオン検出装置によれば、装置の小型化によって容易に携帯することができる。 According to the ion detection device of the present invention, the device can be easily carried due to the miniaturization of the device.

一実施形態に係るイオン検出装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the ion detection apparatus which concerns on one Embodiment. イオンの移動度の電界強度依存性を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the electric field strength dependence of the ion mobility. イオンフィルタ部の電極間における3つのイオン(イオンA、イオンB、イオンC)の移動の軌跡を説明するための図(その1)である。It is a figure (the 1) for demonstrating the locus of movement of three ions (ion A, ion B, ion C) between the electrodes of an ion filter part. 電極Aと電極Bとの間に発生させる電界波形を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the electric field waveform generated between the electrode A and the electrode B. イオンフィルタ部の電極間における3つのイオン(イオンA、イオンB、イオンC)の移動の軌跡を説明するための図(その2)である。It is a figure (the 2) for demonstrating the locus of movement of three ions (ion A, ion B, ion C) between the electrodes of an ion filter part. 実施例1のイオン検出装置を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the ion detection apparatus of Example 1. FIG. 気流生成器の一部を拡大した図である。It is an enlarged view of a part of an airflow generator. コロナ放電によるイオン風の生成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the generation of an ionic wind by a corona discharge. 気流生成器におけるイオン風の生成を説明するための図(その1)である。It is a figure (the 1) for demonstrating the generation of an ionic wind in an airflow generator. 気流生成器におけるイオン風の生成を説明するための図(その2)である。It is a figure (the 2) for demonstrating the generation of an ionic wind in an airflow generator. 実施例2のイオン検出装置を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the ion detection apparatus of Example 2. 実施例3のイオン検出装置を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the ion detection apparatus of Example 3. FIG. 実施例4のイオン検出装置を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the ion detection apparatus of Example 4.

「概要」
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。図1には、一実施形態に係るイオン検出装置10の概略構成が示されている。
"Overview"
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows a schematic configuration of an ion detection device 10 according to an embodiment.

このイオン検出装置10は、イオン発生部100、イオンフィルタ部200、検出部600、及び制御部900などを備えている。なお、ここでは、XYZ3次元直交座標系を用い、被測定分子の進行方向を+Z方向とする。 The ion detection device 10 includes an ion generation unit 100, an ion filter unit 200, a detection unit 600, a control unit 900, and the like. Here, the XYZ three-dimensional Cartesian coordinate system is used, and the traveling direction of the molecule to be measured is the + Z direction.

イオン発生部100は、被測定分子をイオン化する。イオンフィルタ部200は、イオン発生部100からのイオンを選別する。検出部600は、イオンフィルタ部200で選別されたイオンを検出する。制御部900は、装置全体を制御する。 The ion generation unit 100 ionizes the molecule to be measured. The ion filter unit 200 selects ions from the ion generation unit 100. The detection unit 600 detects the ions selected by the ion filter unit 200. The control unit 900 controls the entire device.

イオン検出装置10の基本的な検出原理について説明する。 The basic detection principle of the ion detection device 10 will be described.

イオンフィルタ部200は、対向して配置された2つの電極(電極A、電極B)を有している。 The ion filter unit 200 has two electrodes (electrode A and electrode B) arranged so as to face each other.

イオンは、電界Eの環境下では次の(1)式で示される移動速度Vで移動する。ここで、Kは、該イオンの移動度である。
V=K×E ……(1)
The ions move at the moving speed V represented by the following equation (1) in the environment of the electric field E. Here, K is the mobility of the ion.
V = K × E …… (1)

ところで、イオンの移動度には電界強度依存性がある。そして、この電界強度依存性は、イオンの種類によって異なっている。図2には、一例として、種類が異なる3つのイオン(イオンA、イオンB、イオンC)における移動度の電界強度依存性が示されている。なお、図2では、分かりやすくするため、各イオンの移動度が電界強度0で等しくなるように正規化されている。 By the way, the mobility of ions depends on the electric field strength. And this electric field strength dependence differs depending on the type of ion. FIG. 2 shows, as an example, the electric field strength dependence of the mobility of three different types of ions (ion A, ion B, and ion C). In FIG. 2, the mobility of each ion is normalized so as to be equal at an electric field strength of 0 for the sake of clarity.

3つのイオン(イオンA、イオンB、イオンC)の移動度は、電界強度が9kV/cm以下の低電界強度ではほぼ変化なしである。電界強度が約10kV/cmから増すにつれてイオンの種類固有の特性が移動度に現れる。イオンAの移動度は、電界強度が増加するに従って大きく増加し、Emaxで最大となる。イオンBの移動度は、イオンAよりも緩やかに増加する。イオンCの移動度は、緩やかに減少する。このように三者三様の特性を示している。イオンフィルタ部200は、低電界強度での移動度と高電界強度での移動度との違いを利用してイオンの選別を行う。 The mobilities of the three ions (ion A, ion B, and ion C) are almost unchanged at low electric field strengths of 9 kV / cm or less. As the electric field strength increases from about 10 kV / cm, the ion type-specific characteristics appear in the mobility. The mobility of ion A increases greatly as the electric field strength increases, and becomes maximum at Emax. The mobility of ion B increases more slowly than that of ion A. The mobility of ion C gradually decreases. In this way, the characteristics of the three parties are shown. The ion filter unit 200 selects ions by utilizing the difference between the mobility at low electric field strength and the mobility at high electric field strength.

図3には、イオンフィルタ部200の電極間における3つのイオン(イオンA、イオンB、イオンC)の移動の軌跡が示されている。なお、ここでは、分かりやすくするため、便宜的に、電極A及び電極Bを導電体でできた平行平板としている。 FIG. 3 shows the locus of movement of three ions (ion A, ion B, and ion C) between the electrodes of the ion filter unit 200. Here, for the sake of clarity, the electrodes A and B are made of parallel flat plates made of a conductor for convenience.

電極Aと電極Bとの間に発生する電界の波形を非対称電界波形とすることによって、任意のイオン(図3では、イオンB)のみを検出部600に到達させることができる。 By making the waveform of the electric field generated between the electrode A and the electrode B an asymmetric electric field waveform, only arbitrary ions (ion B in FIG. 3) can reach the detection unit 600.

図4には、電極Aと電極Bとの間に発生させる電界波形の一例が示されている。この電界波形は、正の高電界(Emax)と負の低電界(Emin)を交互に繰り返している。そして、高電界の期間(t1)は低電界の期間(t2)よりも短く、t1とt2の比は1:3〜1:5である。このように電界波形は、上下に関して非対称である。この非対称電界波形は、時間平均電界が零であり、次の(2)式が成り立つように設定されている。
|Emax|×t1=|Emin|×t2 ……(2)
FIG. 4 shows an example of an electric field waveform generated between the electrode A and the electrode B. This electric field waveform alternately repeats a positive high electric field (Emax) and a negative low electric field (Emin). The period of high electric field (t1) is shorter than the period of low electric field (t2), and the ratio of t1 to t2 is 1: 3 to 1: 5. Thus, the electric field waveform is asymmetric with respect to the top and bottom. This asymmetric electric field waveform has a time average electric field of zero, and is set so that the following equation (2) holds.
| Emax | × t1 = | Emin | × t2 …… (2)

すなわち、図4における領域Aの面積と領域Bの面積が一致するように設定されている。 That is, the area of the area A and the area of the area B in FIG. 4 are set to match.

なお、以下では、次の(3)式に示されるように、|Emax|×t1の値、及び|Emin|×t2の値をβとする。
|Emax|×t1=|Emin|×t2=β ……(3)
In the following, as shown in the following equation (3), the value of | Emax | × t1 and the value of | Emin | × t2 are defined as β.
| Emax | × t1 = | Emin | × t2 = β …… (3)

ところで、高電界の期間(t1)に、イオンがY軸方向に関して移動する速度Vupは、次の(4)式で示される。ここで、K(Emax)は、高電界(Emax)のときのイオンの移動度である。
Vup=K(Emax)×|Emax| ……(4)
By the way, the velocity Vup in which the ions move in the Y-axis direction during the period of high electric field (t1) is expressed by the following equation (4). Here, K (Emax) is the mobility of ions at the time of high electric field (Emax).
Vup = K (Emax) × | Emax | …… (4)

例えば、|Emax|が約10kV/cm以上の場合、3つのイオン(イオンA、イオンB、イオンC)では、イオン毎に移動度が異なる(図2参照)ので、3つのイオンの移動速度Vupは三者三様に異なる。すなわち、図5に示されるように、高電界の期間(t1)では、3つのイオンの移動軌跡の傾斜は互いに異なっている。 For example, when | Emax | is about 10 kV / cm or more, the mobility of the three ions (ion A, ion B, ion C) is different for each ion (see FIG. 2), so that the mobility of the three ions is Vup. Is different in three ways. That is, as shown in FIG. 5, in the period of high electric field (t1), the slopes of the movement loci of the three ions are different from each other.

そして、高電界の期間(t1)に、イオンがY軸方向に関して移動した距離である変位yup(図5参照)は、次の(5)式で示される。
yup=Vup×t1 ……(5)
The displacement up (see FIG. 5), which is the distance the ions have traveled in the Y-axis direction during the period of high electric field (t1), is expressed by the following equation (5).
yup = Vup × t1 …… (5)

一方、低電界の期間(t2)に、イオンがY軸方向に関して移動する速度Vdownは、次の(6)式で示される。ここで、K(Emin)は、低電界(Emin)のときのイオンの移動度である。
Vdown=−K(Emin)×|Emin| ……(6)
On the other hand, the velocity Vdown in which the ions move in the Y-axis direction during the period of low electric field (t2) is expressed by the following equation (6). Here, K (Emin) is the mobility of the ion at the time of low electric field (Emin).
Vdown = -K (Emin) × | Emin | …… (6)

例えば、|Emin|が約5kV/cm以下の場合、3つのイオン(イオンA、イオンB、イオンC)では、移動度がほぼ同一である(図2参照)ので、3つのイオンの移動速度Vdownはほぼ同一である。すなわち、図5に示されるように、低電界の期間(t2)では、3つのイオンの移動軌跡の傾斜はほぼ同じである。 For example, when | Emin | is about 5 kV / cm or less, the mobilities of the three ions (ion A, ion B, and ion C) are almost the same (see FIG. 2), so that the mobility of the three ions is Vdown. Are almost the same. That is, as shown in FIG. 5, the slopes of the movement loci of the three ions are almost the same during the low electric field period (t2).

そして、低電界の期間(t2)に、イオンがY軸方向に関して移動した距離である変位ydown(図5参照)は、次の(7)式で示される。
ydown=Vdown×t2 ……(7)
The displacement ydown (see FIG. 5), which is the distance the ions have traveled in the Y-axis direction during the low electric field period (t2), is expressed by the following equation (7).
ydown = Vdown × t2 …… (7)

非対称電界波形の1周期(T)内では、イオンは、+Z方向に移動しつつ、期間t1の間に+Y方向に移動し、期間t2の間に−Y方向に移動する。 Within one cycle (T) of the asymmetric electric field waveform, the ions move in the + Z direction, move in the + Y direction during the period t1, and move in the −Y direction during the period t2.

そこで、図5に示されるように、ジグザグ運動を繰り返しながら電極Aに向かうもの(イオンA)と、ジグザグ運動を繰り返しながら電極Bに向かうもの(イオンC)と、+Y方向の変位と−Y方向の変位とが釣り合い、検出部に向かうもの(イオンB)とに分かれることとなる。 Therefore, as shown in FIG. 5, the one toward the electrode A while repeating the zigzag motion (ion A), the one toward the electrode B while repeating the zigzag motion (ion C), and the displacement in the + Y direction and the −Y direction. Is balanced with the displacement of, and is separated into the one toward the detection unit (ion B).

ところで、非対称電界波形における1周期(T)での、イオンのY軸方向に関する平均変位ΔyRFは、次の(8)式で表される。
ΔyRF=yup+ydown
=K(Emax)×|Emax|×t1−K(Emin)×|Emin|×t2 ……(8)
By the way, the average displacement ΔyRF of the ions in the Y-axis direction in one cycle (T) in the asymmetric electric field waveform is expressed by the following equation (8).
ΔyRF = up + ydown
= K (Emax) × | Emax | × t1-K (Emin) × | Emin | × t2 …… (8)

そして、上記(8)式は、上記(3)式を用いて次の(9)式のように表すことができる。
ΔyRF=β{K(Emax)−K(min)} ……(9)
Then, the above equation (8) can be expressed as the following equation (9) by using the above equation (3).
ΔyRF = β {K (Emax) -K (min)} …… (9)

ここで、K(Emax)−K(min)をΔKとおくと、上記(9)式は次の(10)式のように表される。
ΔyRF=βΔK ……(10)
Here, assuming that K (Emax) −K (min) is ΔK, the above equation (9) is expressed as the following equation (10).
ΔyRF = βΔK …… (10)

βは電極Aと電極Bとの間に印加される非対称電界で決まる定数である。そこで、非対称電界波形の1周期(T)あたりのイオンのY軸方向に関する変位は、低電界(Emin)での移動度と高電界(Emax)での移動度の差分であるΔKに依存する。 β is a constant determined by the asymmetric electric field applied between the electrode A and the electrode B. Therefore, the displacement of the ion in the Y-axis direction per period (T) of the asymmetric electric field waveform depends on ΔK, which is the difference between the mobility in the low electric field (Emin) and the mobility in the high electric field (Emax).

キャリアガスだけがイオンをZ軸方向に移送させると仮定すると、イオンが電極Aと電極Bとの間に滞在しているときの、該イオンのY軸方向に関する変位Yは、次の(11)式となる。ここで、tresは、イオンが電極Aと電極Bとの間に滞在している平均時間(平均イオン滞在時間)である。

Figure 0006972519
Assuming that only the carrier gas transfers the ions in the Z-axis direction, the displacement Y of the ions with respect to the Y-axis direction when the ions stay between the electrode A and the electrode B is as follows (11). It becomes an expression. Here, tres is the average time (average ion stay time) in which ions stay between the electrode A and the electrode B.
Figure 0006972519

平均イオン滞在時間tresは、次の(12)式で表される。ここで、Aはイオンフィルタ部の断面積、LはZ軸方向に関する電極の長さ(電極深さ)(図5参照)、Qはキャリアガスの容積流量である。Vはイオンフィルタ部の容積(=AL)である。

Figure 0006972519
The average ion stay time tres is expressed by the following equation (12). Here, A is the cross-sectional area of the ion filter portion, L is the length of the electrode in the Z-axis direction (electrode depth) (see FIG. 5), and Q is the volumetric flow rate of the carrier gas. V is the volume (= AL) of the ion filter unit.
Figure 0006972519

上記(11)式は、上記(12)式及び上記(3)を用いて、次の(13)式のように表すことができる。ここで、Dは非対称電界波形のデューティであり、D=t1/Tである。

Figure 0006972519
The above equation (11) can be expressed as the following equation (13) by using the above equation (12) and the above equation (3). Here, D is the duty of the asymmetric electric field waveform, and D = t1 / T.
Figure 0006972519

非対称電界波形における高電界Emax、イオンフィルタ部の容積V、非対称電界波形のデューティD、及びキャリアガスの容積流量Qについて、すべてのイオン種に対して同一の値を用いると、上記(13)式から、変位Yは、イオン種固有の低電界(Emin)での移動度と高電界(Emax)での移動度との差分ΔKに比例することがわかる。 When the same values are used for the high electric field Emax in the asymmetric electric field waveform, the volume V of the ion filter unit, the duty D of the asymmetric electric field waveform, and the volumetric flow rate Q of the carrier gas, the above equation (13) is used. From this, it can be seen that the displacement Y is proportional to the difference ΔK between the mobility in the low electric field (Emin) and the mobility in the high electric field (Emax) peculiar to the ion species.

なお、図5ではイオンBのみが、変位Yが最小であり、検出部600に到達することができるが、デューティDを変化させることによってイオンBとは異なるΔKを有するイオンを検出部600に到達させることができる。さらに、デューティDを小刻みに変化させていくことで、ΔKが異なる様々なイオンの有無や量を検出することができる。 In FIG. 5, only the ion B has the minimum displacement Y and can reach the detection unit 600, but by changing the duty D, an ion having a ΔK different from that of the ion B reaches the detection unit 600. Can be made to. Further, by changing the duty D in small steps, it is possible to detect the presence / absence and amount of various ions having different ΔK.

また、イオン検出装置10において、ΔKが異なる様々なイオン種を検出する方法として、非対称電界波形に低強度のDC電界を重畳する方法がある。この方法によると、期間t1及び期間t2でのY軸方向に関する変位量を変化させることができる。そこで、電極A又は電極Bに接触せずに検出部600に到達することができるイオン種を連続的に変えることができる。なお、非対称電界波形に重畳するDC電界は補償電圧(CV:compensasion voltages)と呼ばれている。この方法では、補償電圧を掃引してΔKが異なる様々なイオン種の有無や量を検出する。 Further, as a method of detecting various ion species having different ΔK in the ion detection device 10, there is a method of superimposing a low-intensity DC electric field on the asymmetric electric field waveform. According to this method, the displacement amount in the Y-axis direction in the period t1 and the period t2 can be changed. Therefore, the ion species that can reach the detection unit 600 without contacting the electrode A or the electrode B can be continuously changed. The DC electric field superimposed on the asymmetric electric field waveform is called a compensation voltage (CV). In this method, the compensation voltage is swept to detect the presence or absence and amount of various ion species having different ΔK.

ところで、検出部600に到達する前に電極A又は電極Bに接触したイオンは、中和されてイオンでなくなり検出されない。 By the way, the ions that come into contact with the electrode A or the electrode B before reaching the detection unit 600 are neutralized and become non-ions and are not detected.

なお、制御部900は、従来のイオン検出装置における制御部とほぼ同様であるため、ここでは制御部900の動作についての詳細な説明は省略する。 Since the control unit 900 is almost the same as the control unit in the conventional ion detection device, detailed description of the operation of the control unit 900 will be omitted here.

「詳細」
イオン検出装置は、気体に含まれる微量な分子の種類及び量を検出する装置である。イオン検出装置は、汎用性が高く、試料中の薬物、化学成分などの分析、環境中の有害ガス、生体ガス、においの分析など広範囲で使われているが、装置が比較的大型であり使用環境が限られている。
"detail"
The ion detection device is a device that detects the type and amount of a trace amount of molecules contained in a gas. The ion detector is highly versatile and is widely used for analysis of drugs and chemical components in samples, analysis of harmful gases in the environment, biogas, and odors, but the device is relatively large and used. The environment is limited.

また、従来のイオン検出装置はポンプなどが必要であり、携帯性の高いものはみられなかった。また、特許文献3では、傾斜電位を利用しフローガスを不要とすることで小型化を図っているが、制御回路が複雑であったり、イオン発生手段が放射性同位元素を使っているため、携帯するには不適であった。 In addition, conventional ion detection devices require pumps and the like, and none of them are highly portable. Further, in Patent Document 3, the size is reduced by utilizing the gradient potential and eliminating the need for flow gas, but it is portable because the control circuit is complicated and the ion generating means uses a radioactive isotope. Was unsuitable for.

<実施例1>
実施例1のイオン検出装置10が、図6に示されている。このイオン検出装置10では、検出部600が、検出器610及び気流生成器620を有している。そして、気流生成器620は、検出器610の+Z側に配置されている。
<Example 1>
The ion detection device 10 of the first embodiment is shown in FIG. In the ion detection device 10, the detection unit 600 has a detector 610 and an air flow generator 620. The airflow generator 620 is arranged on the + Z side of the detector 610.

気流生成器620の一部を拡大した図が図7に示されている。気流生成器620は、3種類の電極(電極1、電極2、電極3)を、それぞれ複数有している。電極1は、+Z方向の端部(先端)が尖っている。そして、電極1は、Z軸方向に直交する方向(図7では、Y軸方向)に関して、2つの電極2に挟まれている。電極3は、電極2の+Z側に配置されている。なお、電極3は、絶縁コートされている。また、気流生成器620は、各電極と接続されている単一電源621を有している。 An enlarged view of a part of the airflow generator 620 is shown in FIG. The airflow generator 620 has a plurality of three types of electrodes (electrode 1, electrode 2, electrode 3), respectively. The electrode 1 has a sharp end (tip) in the + Z direction. The electrode 1 is sandwiched between the two electrodes 2 in a direction orthogonal to the Z-axis direction (Y-axis direction in FIG. 7). The electrode 3 is arranged on the + Z side of the electrode 2. The electrode 3 is insulatingly coated. Further, the airflow generator 620 has a single power supply 621 connected to each electrode.

図8は、コロナ放電による基本的な気流の発生メカニズムを説明するための図である。電極1と電極3との間の電圧を上げることで、電極1の先端部を中心に電界が広がり、図8に示されるように電気力線が発生し、電極1の先端付近の電界強度が約4×10Vmを越えると、電極1の先端付近よりイオンが発生し、発生したイオンが電気力線に従い移動をするため、イオンガスが周辺気体を押し出すように気流が発生する。この気流をイオン風あるいは、単に風と呼んでいる。 FIG. 8 is a diagram for explaining a basic airflow generation mechanism due to corona discharge. By increasing the voltage between the electrode 1 and the electrode 3, the electric field spreads around the tip of the electrode 1, an electric line of force is generated as shown in FIG. 8, and the electric field strength near the tip of the electrode 1 is increased. When it exceeds about 4 × 10 7 Vm, ions are generated from the vicinity of the tip of the electrode 1, and the generated ions move according to the lines of electric force, so that an air flow is generated as if the ion gas pushes out the surrounding gas. This airflow is called ionic wind or simply wind.

気流生成器620では、コロナ放電によりイオンが発生し、+イオン同士の反発と電極1と電極2の電界及び電気力線により、電気力線に沿ってイオンが移動する。そして、そのイオンの移動により、周辺の気体も押されるように移動し気流が発生する(図9及び図10参照)。 In the airflow generator 620, ions are generated by the corona discharge, and the ions move along the lines of electric force due to the repulsion between the + ions and the electric and electric lines of force of the electrodes 1 and 2. Then, due to the movement of the ions, the surrounding gas also moves so as to be pushed, and an air flow is generated (see FIGS. 9 and 10).

この場合は、安全にイオン風を生み出すことができる。また、イオンの発生と風の生成とを同時に単一電源621で実現することができる。その結果、携帯に適した小型で安全で制御が簡単なイオン検出装置を実現することができる。 In this case, the ion wind can be safely generated. In addition, the generation of ions and the generation of wind can be realized simultaneously with a single power supply 621. As a result, it is possible to realize a small, safe and easy-to-control ion detection device suitable for carrying.

なお、ここでは、気流生成器620は、検出器610へのイオンの流れを逆流させないために、発生させるイオンの極性をイオン発生部100とは逆の極性とし、あまり電界の影響が及ばない位置に設けられている。 Here, in order to prevent the flow of ions from flowing back to the detector 610, the airflow generator 620 has the polarity of the generated ions opposite to that of the ion generating unit 100, and the position is not so affected by the electric field. It is provided in.

また、本実施例では、気流生成器620は検出部600の一部として構成されている場合について説明したが、これに限定されるものではなく、気流生成器620が、検出部600の機能と隔離して構成されていても良い。さらに、本実施例では、気流生成器620は検出器610の後段に設けられている場合について説明したが、これに限定されるものではなく、本実施例の効果を実現できる構成であれば、気流生成器620の設置位置は問わない。 Further, in the present embodiment, the case where the airflow generator 620 is configured as a part of the detection unit 600 has been described, but the present invention is not limited to this, and the airflow generator 620 has the function of the detection unit 600. It may be configured in isolation. Further, in this embodiment, the case where the airflow generator 620 is provided after the detector 610 has been described, but the present invention is not limited to this, and any configuration can realize the effects of the present embodiment. The installation position of the airflow generator 620 does not matter.

<実施例2>
実施例2のイオン検出装置10が、図11に示されている。このイオン検出装置10は、実施例1のイオン検出装置10に対して、気流生成器620に印加される電圧が可変であることに特徴を有する。この場合は、実施例1のイオン検出装置10と同様な効果が得られるとともに、イオン風の流量を変えることができる。
<Example 2>
The ion detection device 10 of the second embodiment is shown in FIG. The ion detection device 10 is characterized in that the voltage applied to the airflow generator 620 is variable with respect to the ion detection device 10 of the first embodiment. In this case, the same effect as that of the ion detection device 10 of the first embodiment can be obtained, and the flow rate of the ion wind can be changed.

<実施例3>
実施例3のイオン検出装置10が、図12に示されている。このイオン検出装置10は、実施例1のイオン検出装置10に対して、気流生成器620が、イオン発生部100を兼ねていることに特徴を有する。
<Example 3>
The ion detection device 10 of Example 3 is shown in FIG. The ion detection device 10 is characterized in that the airflow generator 620 also serves as the ion generation unit 100 with respect to the ion detection device 10 of the first embodiment.

実施例3のイオン検出装置10では、気流生成器620は、イオンフィルタ部200の−Z側に配置されている。 In the ion detection device 10 of the third embodiment, the airflow generator 620 is arranged on the −Z side of the ion filter unit 200.

この場合は、実施例1のイオン検出装置10と同様な効果が得られるとともに、さらに小型化を図ることができる。 In this case, the same effect as that of the ion detection device 10 of the first embodiment can be obtained, and the size can be further reduced.

ところで、イオン発生部100及び気流生成器620を構成する電極の数、又は印加電圧を調整することにより、イオン検出量を調整することができる。また、イオン発生部100に印加する極性を変化させた場合においても気流生成器620はプラスイオンでもマイナスイオンでも同じ方向にイオン風を発生させることができる。 By the way, the amount of ion detected can be adjusted by adjusting the number of electrodes constituting the ion generating unit 100 and the airflow generator 620 or the applied voltage. Further, even when the polarity applied to the ion generating unit 100 is changed, the airflow generator 620 can generate an ion wind in the same direction regardless of whether it is a positive ion or a negative ion.

<実施例4>
実施例4のイオン検出装置10が、図13に示されている。このイオン検出装置10は、実施例1のイオン検出装置10に対して、Z軸方向に関するイオン発生部100とイオンフィルタ部200との距離が長いことに特徴を有する。
<Example 4>
The ion detection device 10 of the fourth embodiment is shown in FIG. The ion detection device 10 is characterized in that the distance between the ion generation unit 100 and the ion filter unit 200 in the Z-axis direction is longer than that of the ion detection device 10 of the first embodiment.

イオン発生部100で生成されたイオンに含まれる窒素や酸素のイオンが多く、他の分子がイオン化されるのに時間がかかるおそれがある場合には、実施例4のイオン検出装置10のように、イオン発生部100とイオンフィルタ部200との距離を長くして時間を稼ぎ、他の分子が確実にイオン化されるようにすることが好ましい。この場合も、実施例1のイオン検出装置10と同様な効果が得られる。 When there are many ions of nitrogen and oxygen contained in the ions generated by the ion generation unit 100 and there is a possibility that it takes time for other molecules to be ionized, as in the ion detection device 10 of Example 4. It is preferable to increase the distance between the ion generating unit 100 and the ion filter unit 200 to save time and ensure that other molecules are ionized. In this case as well, the same effect as that of the ion detection device 10 of the first embodiment can be obtained.

以上説明したように、本実施形態に係るイオン検出装置10は、イオン発生部100、イオンフィルタ部200、検出部600、及び制御部900などを備えている。 As described above, the ion detection device 10 according to the present embodiment includes an ion generation unit 100, an ion filter unit 200, a detection unit 600, a control unit 900, and the like.

そして、検出部600は、コロナ放電によりイオン風を生成させることができる気流生成器620を有している。気流生成器620は、3種類の電極(電極1、電極2、電極3)を、それぞれ複数有している。また、気流生成器620は、+Z方向に貫通した流路も有している。 The detection unit 600 has an airflow generator 620 capable of generating ionized wind by corona discharge. The airflow generator 620 has a plurality of three types of electrodes (electrode 1, electrode 2, electrode 3), respectively. The airflow generator 620 also has a flow path penetrating in the + Z direction.

このイオン検出装置10は、安全にイオン風を生み出すことができるとともに、イオンの発生と風の生成を同時に単一電源で実現することができる。その結果、携帯に適した小型で安全で制御が簡単なイオン検出装置を実現することができる。 The ion detection device 10 can safely generate ion wind, and can simultaneously generate ions and wind with a single power source. As a result, it is possible to realize a small, safe and easy-to-control ion detection device suitable for carrying.

さらに、実施例2のイオン検出装置10では、気流生成器620におけるコロナ放電の際の電圧が可変である。 Further, in the ion detection device 10 of the second embodiment, the voltage at the time of corona discharge in the airflow generator 620 is variable.

また、実施例3のイオン検出装置10では、気流生成器620が、イオン発生部100を兼ねている。 Further, in the ion detection device 10 of the third embodiment, the airflow generator 620 also serves as the ion generation unit 100.

また、実施例4のイオン検出装置10では、イオン発生部100とイオンフィルタ部200との間に、被測定分子のイオン化を促進するための空間を有している。 Further, in the ion detection device 10 of the fourth embodiment, a space for promoting ionization of the molecule to be measured is provided between the ion generation unit 100 and the ion filter unit 200.

なお、上記実施形態では、イオン発生部100が複数の電極を有する場合について説明したが、これに限定されるものではなく、イオン発生部100が、1個の電極を有していても良い。 In the above embodiment, the case where the ion generating unit 100 has a plurality of electrodes has been described, but the present invention is not limited to this, and the ion generating unit 100 may have one electrode.

10…イオン検出装置、100…イオン発生部(イオン発生器)、200…イオンフィルタ部(イオンフィルタ)、600…検出部、610…検出器、620…気流生成器、621…単一電源、900…制御部。 10 ... ion detector, 100 ... ion generator (ion generator), 200 ... ion filter unit (ion filter), 600 ... detector, 610 ... detector, 620 ... airflow generator, 621 ... single power supply, 900 … Control unit.

米国特許出願公開第2015/0028196号明細書U.S. Patent Application Publication No. 2015/0028196 特許第4063676号公報Japanese Patent No. 4063676 特許第5221954号公報Japanese Patent No. 5221954

Claims (7)

被測定分子をイオン化するイオン発生器と、
前記イオン発生器によりイオン化されたイオンを選別するイオンフィルタと、
前記イオンフィルタで選別されたイオンを検出する検出器と、
前記検出器の後段に配置され、コロナ放電によりイオン風を生成させることができる気流生成器と、
を備えるイオン検出装置。
An ion generator that ionizes the molecule under test and
An ion filter that selects ions ionized by the ion generator, and
A detector that detects the ions selected by the ion filter, and
An airflow generator that is placed after the detector and can generate ionic wind by corona discharge.
Ion detector with.
前記気流生成器は、2つ以上の電極及び貫通した流路を有することを特徴とする請求項1に記載のイオン検出装置。 The ion detection device according to claim 1, wherein the air flow generator has two or more electrodes and a penetrating flow path. 前記気流生成器は、コロナ放電の際の電圧が可変であることを特徴とする請求項1又は2に記載のイオン検出装置。 The ion detection device according to claim 1 or 2, wherein the airflow generator has a variable voltage during corona discharge. 前記気流生成器に印加される電圧と前記イオン発生器に印加される電圧は、それぞれ個別に制御されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のイオン検出装置。 The ion detection device according to any one of claims 1 to 3, wherein the voltage applied to the airflow generator and the voltage applied to the ion generator are individually controlled. 前記気流生成器は、イオンの発生及び風の生成のための単一電源を有していることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のイオン検出装置。 The ion detection device according to any one of claims 1 to 4, wherein the airflow generator has a single power source for generating ions and generating wind. 前記イオン発生器と前記イオンフィルタとの間に、前記被測定分子のイオン化を促進するための空間を有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載のイオン検出装置。 The ion detection device according to any one of claims 1 to 5, wherein a space for promoting ionization of the molecule to be measured is provided between the ion generator and the ion filter. 前記イオン発生器は、1個以上の電極を有していることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載のイオン検出装置。 The ion detection device according to any one of claims 1 to 6, wherein the ion generator has one or more electrodes.
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