JP6949635B2 - Multiplexer - Google Patents

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本発明は、マルチプレクサに関し、例えば複数のフィルタを有するマルチプレクサに関する。 The present invention relates to a multiplexer, for example, a multiplexer having a plurality of filters.

移動体通信端末に代表される携帯電話端末では複数の周波数帯に対応する。このため、クワッドプレクサ等のマルチプレクサが用いられている。基板上に2つのデュプレクサを実装することが知られている(例えば特許文献1)。 Mobile phone terminals represented by mobile communication terminals support a plurality of frequency bands. Therefore, a multiplexer such as a quad plexer is used. It is known that two duplexers are mounted on a substrate (for example, Patent Document 1).

特開2014−158099号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2014-158099

基板上に4つのフィルタを実装してクワッドプレクサを形成する場合、小型化、4つのフィルタの整合および/または4つのフィルタ間の干渉等を考慮して4つのフィルタを配置することになる。 When four filters are mounted on a substrate to form a quad plexer, four filters are arranged in consideration of miniaturization, matching of the four filters and / or interference between the four filters.

本発明は、上記課題に鑑みなされてものであり、4つのフィルタを適切に配置することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to appropriately arrange four filters.

本発明は、基板と、前記基板上に実装され、前記基板を平面視したとき第1辺、第2辺、第3辺および第4辺を有する四角形状である素子と、前記基板上に実装され、共通端子と第1端子との間に電気的に接続された第1フィルタが設けられ、前記基板を平面視したとき前記第1辺と隣接する第5辺を有する四角形状である第1チップと、前記基板上に実装され、前記共通端子と第2端子との間に電気的に接続された第2フィルタが設けられ、前記基板を平面視したとき前記第2辺と隣接する第6辺を有する四角形状である第2チップと、前記基板上に実装され、前記共通端子と第3端子との間に電気的に接続された第3フィルタが設けられ、前記基板を平面視したとき前記第3辺と隣接する第7辺を有する四角形状である第3チップと、前記基板上に実装され、前記共通端子と第4端子との間に電気的に接続された第4フィルタが設けられ、前記基板を平面視したとき前記第4辺と隣接する第8辺を有する四角形状である第4チップと、前記基板内に設けられ、前記第1フィルタと前記素子とを電気的に接続する第1配線と、前記基板内に設けられ、前記第2フィルタと前記素子とを電気的に接続する第2配線と、前記基板内に設けられ、前記第3フィルタと前記素子とを電気的に接続する第3配線と、前記基板内に設けられ、前記第4フィルタと前記素子とを電気的に接続する第4配線と、を備え、前記素子は一端が前記共通端子に電気的に接続され、他端がグランドに電気的に接続されたインダクタであり、前記第1配線は、前記第1フィルタの前記共通端子側の一端と前記素子の前記共通端子側の一端とを電気的に接続し、前記第2配線は、前記第2フィルタの前記共通端子側の一端と前記素子の前記共通端子側の一端とを電気的に接続し、前記第3配線は、前記第3フィルタの前記共通端子側の一端と前記素子の前記共通端子側の一端とを電気的に接続し、前記第4配線は、前記第4フィルタの前記共通端子側の一端と前記素子の前記共通端子側の一端とを電気的に接続するマルチプレクサである。 The present invention is mounted on a substrate, a quadrangular element mounted on the substrate and having a first side, a second side, a third side, and a fourth side when the substrate is viewed in a plan view, and mounted on the substrate. A first filter is provided between the common terminal and the first terminal, which is electrically connected, and has a quadrangular shape having a fifth side adjacent to the first side when the substrate is viewed in a plan view. A sixth filter mounted on the board and electrically connected between the common terminal and the second terminal is provided, and when the board is viewed in a plan view, a sixth side adjacent to the second side is provided. When a second chip having a quadrangular side and a third filter mounted on the substrate and electrically connected between the common terminal and the third terminal are provided and the substrate is viewed in a plan view. A quadrangular third chip having a seventh side adjacent to the third side and a fourth filter mounted on the substrate and electrically connected between the common terminal and the fourth terminal are provided. The fourth chip, which has an eighth side adjacent to the fourth side when the substrate is viewed in a plan view, is provided in the substrate, and the first filter and the element are electrically connected to each other. The first wiring to be provided, the second wiring provided in the substrate to electrically connect the second filter and the element, and the third wiring provided in the substrate to electrically connect the third filter and the element. A third wiring that is provided in the substrate and electrically connects the fourth filter and the element is provided, and one end of the element is electrically connected to the common terminal. The other end of the inductor is electrically connected to the ground, and the first wiring electrically connects one end of the first filter on the common terminal side and one end of the element on the common terminal side. The second wiring electrically connects one end of the second filter on the common terminal side and one end of the element on the common terminal side, and the third wiring is the common of the third filter. One end on the terminal side and one end on the common terminal side of the element are electrically connected, and the fourth wiring is formed on one end on the common terminal side of the fourth filter and one end on the common terminal side of the element. It is a multiplexer that electrically connects the above.

上記構成において、前記第1チップの前記第5辺は前記第2チップと隣接し、前記第2チップの前記第6辺は前記第3チップと隣接し、前記第3チップの前記第7辺は前記第4チップと隣接し、前記第4チップの前記第8辺は前記第1チップと隣接する構成とすることができる。 In the above configuration, the fifth side of the first chip is adjacent to the second chip, the sixth side of the second chip is adjacent to the third chip, and the seventh side of the third chip is adjacent to the third chip. The eighth side of the fourth chip may be adjacent to the fourth chip, and may be adjacent to the first chip.

上記構成において、前記第1チップは、前記基板を平面視したとき最も前記素子に近い第1角に対応する領域に設けられた第1パッドを有し、前記第1フィルタは前記第1パッドを介し前記第1配線と電気的に接続し、前記第2チップは、前記基板を平面視したとき最も前記素子に近い第2角に対応する領域に設けられた第2パッドを有し、前記第2フィルタは前記第2パッドを介し前記第2配線と電気的に接続し、前記第3チップは、前記基板を平面視したとき最も前記素子に近い第3角に対応する領域に設けられた第3パッドを有し、前記第3フィルタは前記第3パッドを介し前記第3配線と電気的に接続し、前記第4チップは、前記基板を平面視したとき最も前記素子に近い第4角に対応する領域に設けられた第4パッドを有し、前記第4フィルタは前記第4パッドを介し前記第4配線と電気的に接続する構成とすることができる。 In the above configuration, the first chip has a first pad provided in a region corresponding to a first angle closest to the element when the substrate is viewed in a plan view, and the first filter has the first pad. Electrically connected to the first wiring via the second chip, the second chip has a second pad provided in a region corresponding to a second corner closest to the element when the substrate is viewed in a plan view, and the first pad is provided. The second filter is electrically connected to the second wiring via the second pad, and the third chip is provided in a region corresponding to the third corner closest to the element when the substrate is viewed in a plan view. It has three pads, the third filter is electrically connected to the third wiring through the third pad, and the fourth chip is at the fourth corner closest to the element when the substrate is viewed in a plan view. It has a fourth pad provided in the corresponding region, and the fourth filter can be configured to be electrically connected to the fourth wiring via the fourth pad.

上記構成において、前記第1チップは、前記基板を平面視したとき前記第1角と対角に位置する第5角に対応する領域に設けられた第5パッドを有し、前記第1フィルタは前記第5パッドを介し前記第1端子に電気的に接続され、前記第2チップは、前記基板を平面視したとき前記第2角と対角に位置する第6角に対応する領域に設けられた第6パッドを有し、前記第2フィルタは前記第6パッドを介し前記第2端子に電気的に接続され、前記第3チップは、前記基板を平面視したとき前記第3角と対角に位置する第7角に対応する領域に設けられた第7パッドを有し、前記第3フィルタは前記第7パッドを介し前記第3端子に電気的に接続され、前記第4チップは、前記基板を平面視したとき前記第4角と対角に位置する第8角に対応する領域に設けられた第8パッドを有し、前記第4フィルタは前記第8パッドを介し前記第4端子に電気的に接続される構成とすることができる。 In the above configuration, the first chip has a fifth pad provided in a region corresponding to a fifth corner located diagonally to the first corner when the substrate is viewed in a plan view, and the first filter has a fifth pad. It is electrically connected to the first terminal via the fifth pad, and the second chip is provided in a region corresponding to a sixth corner located diagonally to the second corner when the substrate is viewed in a plan view. The second filter is electrically connected to the second terminal via the sixth pad, and the third chip is diagonal to the third corner when the substrate is viewed in a plan view. It has a seventh pad provided in a region corresponding to a seventh corner located in, the third filter is electrically connected to the third terminal via the seventh pad, and the fourth chip is said. When the substrate is viewed in a plan view, it has an eighth pad provided in a region corresponding to the eighth corner located diagonally to the fourth corner, and the fourth filter is connected to the fourth terminal via the eighth pad. It can be configured to be electrically connected.

上記構成において、前記基板を平面視したとき、前記素子の前記第1辺と前記第3辺は対辺であり、前記素子の前記第2辺と前記第4辺は対辺であり、前記第1フィルタおよび前記第3フィルタは、第1バンドのそれぞれ受信フィルタおよび送信フィルタであり、前記第2フィルタおよび前記第4フィルタは、第1バンドと異なる第2バンドのそれぞれ受信フィルタおよび送信フィルタである構成とすることができる。 In the above configuration, when the substrate is viewed in a plan view, the first side and the third side of the element are opposite sides, the second side and the fourth side of the element are opposite sides, and the first filter. And the third filter is a reception filter and a transmission filter of the first band, respectively, and the second filter and the fourth filter are a reception filter and a transmission filter of a second band different from the first band, respectively. can do.

上記構成において、前記第1チップ、前記第2チップ、前記第3チップおよび前記第4チップは、前記基板にフリップチップ実装されている構成とすることができる。 In the above configuration, the first chip, the second chip, the third chip, and the fourth chip may be configured to be flip-chip mounted on the substrate.

上記構成において、前記第1チップ、前記第2チップ、前記第3チップおよび前記第4チップ上にリッドが接して設けられ、前記素子と前記リッドとの間には空間が形成されている構成とすることができる。 In the above configuration, a lid is provided in contact with the first chip, the second chip, the third chip, and the fourth chip, and a space is formed between the element and the lid. can do.

上記構成において、前記第1フィルタ、前記第2フィルタ、前記第3フィルタおよび前記第4フィルタは弾性波フィルタである構成とすることができる。 In the above configuration, the first filter, the second filter, the third filter, and the fourth filter may be configured to be an elastic wave filter.

本発明によれば、4つのフィルタを適切に配置することができる。 According to the present invention, the four filters can be arranged appropriately.

図1は、実施例1に係るマルチプレクサの回路図である。FIG. 1 is a circuit diagram of a multiplexer according to the first embodiment. 図2は、実施例1に係るマルチプレクサの断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of the multiplexer according to the first embodiment. 図3は、実施例1に係るマルチプレクサの平面図である。FIG. 3 is a plan view of the multiplexer according to the first embodiment. 図4は、実施例1におけるフィルタの回路図である。FIG. 4 is a circuit diagram of the filter according to the first embodiment. 図5は、実施例1におけるチップの平面図である。FIG. 5 is a plan view of the chip according to the first embodiment. 図6(a)および図6(b)は、弾性波共振器の例を示す図である。6 (a) and 6 (b) are diagrams showing an example of an elastic wave resonator. 図7は、実施例1における絶縁層の平面図である。FIG. 7 is a plan view of the insulating layer according to the first embodiment. 図8(a)および図8(b)は、実施例1における絶縁層の平面図である。8 (a) and 8 (b) are plan views of the insulating layer in the first embodiment. 図9(a)は、比較例1に係るマルチプレクサの平面図、図9(b)は、絶縁層の上面図である。9 (a) is a plan view of the multiplexer according to Comparative Example 1, and FIG. 9 (b) is a top view of the insulating layer. 図10(a)は、比較例2に係るマルチプレクサの平面図、図10(b)は、絶縁層の上面図である。10 (a) is a plan view of the multiplexer according to Comparative Example 2, and FIG. 10 (b) is a top view of the insulating layer. 図11(a)は、比較例3に係るマルチプレクサの平面図、図11(b)は、絶縁層の上面図である。FIG. 11A is a plan view of the multiplexer according to Comparative Example 3, and FIG. 11B is a top view of the insulating layer.

以下、図面を参照し実施例について説明する。 Hereinafter, examples will be described with reference to the drawings.

図1は、実施例1に係るマルチプレクサの回路図である。図1に示すように、共通端子Antと端子T1(第1端子)との間にフィルタ51(第1フィルタ)が電気的に接続されている。共通端子Antと端子T2(第2端子)との間にフィルタ52(第2フィルタ)が電気的に接続されている、共通端子Antと端子T3(第3端子)との間にフィルタ53(第3フィルタ)が電気的に接続されている。共通端子Antと端子T4(第4端子)との間にフィルタ54(第4フィルタ)が電気的に接続されている。フィルタ51と54との間に整合回路55が電気的に接続されている。整合回路55はインダクタLを含む。インダクタLは共通端子とグランドとの間に電気的に接続されている。 FIG. 1 is a circuit diagram of a multiplexer according to the first embodiment. As shown in FIG. 1, a filter 51 (first filter) is electrically connected between the common terminal Ant and the terminal T1 (first terminal). A filter 52 (second filter) is electrically connected between the common terminal Ant and the terminal T2 (second terminal), and a filter 53 (third terminal) is between the common terminal Ant and the terminal T3 (third terminal). 3 filters) are electrically connected. A filter 54 (fourth filter) is electrically connected between the common terminal Ant and the terminal T4 (fourth terminal). A matching circuit 55 is electrically connected between the filters 51 and 54. The matching circuit 55 includes an inductor L. The inductor L is electrically connected between the common terminal and the ground.

フィルタ51から54は互いに通過帯域が異なり、重なっていない。例えば、フィルタ51および53は、バンドB1のそれぞれ送信フィルタおよび受信フィルタである。フィルタ52および54は、バンドB2のそれぞれ送信フィルタおよび受信フィルタである。バンドB1およびバンドB2はLTE(Long Term Evolution)バンド(E−UTRA(Evolved Universal Terrestrial Radio Access) Operating Band)のバンドである。バンドB1およびB2は、例えばLETバンド1およびバンド3の組み合わせ、またはバンド2およびバンド4の組み合わせである。 The filters 51 to 54 have different pass bands and do not overlap each other. For example, the filters 51 and 53 are a band B1 transmit filter and a receive filter, respectively. The filters 52 and 54 are a transmission filter and a reception filter of band B2, respectively. Bands B1 and B2 are LTE (Long Term Evolution) bands (E-UTRA (Evolved Universal Terrestrial Radio Access) Operating Band). Bands B1 and B2 are, for example, a combination of LET band 1 and band 3, or a combination of band 2 and band 4.

フィルタ51は、端子T1に入力した高周波信号のうちバンドB1の送信帯域の信号を共通端子Antに出力し、その他の信号を抑圧する。フィルタ52は、端子T2に入力した高周波信号のうちバンドB2の送信帯域の信号を共通端子Antに出力し、その他の信号を抑圧する。フィルタ53は、共通端子Antに入力した高周波信号のうちバンドB1の受信帯域の信号を端子T3に出力し、その他の信号を抑圧する。フィルタ54は、共通端子Antに入力した高周波信号のうちバンドB2の受信帯域の信号を端子T4に出力し、その他の信号を抑圧する。 The filter 51 outputs a signal in the transmission band of band B1 among the high frequency signals input to the terminal T1 to the common terminal Ant, and suppresses other signals. The filter 52 outputs a signal in the transmission band of band B2 among the high frequency signals input to the terminal T2 to the common terminal Ant, and suppresses other signals. The filter 53 outputs the signal of the reception band of the band B1 among the high frequency signals input to the common terminal Ant to the terminal T3, and suppresses other signals. The filter 54 outputs the signal of the reception band of the band B2 out of the high frequency signals input to the common terminal Ant to the terminal T4, and suppresses other signals.

整合回路55は、共通端子Antから自フィルタ(例えばフィルタ51)をみた自フィルタ(例えばフィルタ51)の通過帯域におけるインピーダンスを標準インピーダンス(例えば50Ω)とし、共通端子Antから自フィルタ(例えばフィルタ51)をみた他のフィルタ(例えばフィルタ52から54)の通過帯域におけるインピーダンスを高くする。 The matching circuit 55 sets the impedance in the pass band of the self-filter (for example, the filter 51) as seen from the common terminal Ant to the self-filter (for example, the filter 51) as a standard impedance (for example, 50Ω), and sets the impedance in the pass band from the common terminal Ant to the self-filter (for example, the filter 51). The impedance in the pass band of other filters (for example, filters 52 to 54) is increased.

図2は、実施例1に係るマルチプレクサの断面図である。図2に示すように、基板10上にチップ20がバンプ24を介しフリップチップ実装されている。基板10は、積層された複数の絶縁層10aおよび10bを備えている。絶縁層10aおよび10bは例えばセラミック層または樹脂層である。絶縁層10bの上面にパッド12および環状電極34が設けられている。絶縁層10aの上面に配線14が設けられている。絶縁層10bの下面に端子16が設けられている。絶縁層10aおよび10bを貫通する貫通電極13および15が設けられている。貫通電極13は、パッド12と配線14とを電気的に接続する。貫通電極15は、配線14と端子16とを電気的に接続する。パッド12、配線14、端子16、貫通電極13および15並びに環状電極34は、例えば銅層、金層またはアルミニウム層等の金属層である。 FIG. 2 is a cross-sectional view of the multiplexer according to the first embodiment. As shown in FIG. 2, the chip 20 is flip-chip mounted on the substrate 10 via the bump 24. The substrate 10 includes a plurality of laminated insulating layers 10a and 10b. The insulating layers 10a and 10b are, for example, a ceramic layer or a resin layer. A pad 12 and an annular electrode 34 are provided on the upper surface of the insulating layer 10b. Wiring 14 is provided on the upper surface of the insulating layer 10a. The terminal 16 is provided on the lower surface of the insulating layer 10b. Through electrodes 13 and 15 that penetrate the insulating layers 10a and 10b are provided. The through silicon via 13 electrically connects the pad 12 and the wiring 14. The through silicon via 15 electrically connects the wiring 14 and the terminal 16. The pad 12, the wiring 14, the terminal 16, the through electrodes 13 and 15, and the annular electrode 34 are metal layers such as, for example, a copper layer, a gold layer, or an aluminum layer.

チップ20の下面にはフィルタ50およびパッド22が形成されている。フィルタ50は、フィルタ51から54に相当し、空隙26を挟み基板10に対向する。パッド22は例えば銅層、金層またはアルミニウム層等の金属層である。バンプ24はパッド12および22と接合されている。バンプ24は、例えば金バンプ、銅バンプまたは半田バンプ等の金属バンプである。パッド12には、素子40が実装されている。素子40の表面には電極42が設けられている。パッド12と電極42とは半田44により接合されている。 A filter 50 and a pad 22 are formed on the lower surface of the chip 20. The filter 50 corresponds to the filters 51 to 54 and faces the substrate 10 with the gap 26 interposed therebetween. The pad 22 is a metal layer such as a copper layer, a gold layer or an aluminum layer. The bump 24 is joined to the pads 12 and 22. The bump 24 is a metal bump such as a gold bump, a copper bump or a solder bump, for example. The element 40 is mounted on the pad 12. An electrode 42 is provided on the surface of the element 40. The pad 12 and the electrode 42 are joined by a solder 44.

チップ20を囲むように封止部30が設けられている。封止部30は、例えば半田等の金属封止部または樹脂等の絶縁体封止部である。封止部30の下面は環状電極34に接合されている。チップ20および封止部30上にリッド32が設けられている。リッド32は、例えばコバール板等の金属板または絶縁体板である。チップ20の上面はリッド32に接している。素子40とリッド32との間には空間が形成されている。チップ20とリッド32との間に封止部30が設けられていてもよい。リッド32は設けられてなくてもよい。封止部30およびリッド32を覆うように保護膜36が設けられている。保護膜36はニッケル膜等の金属膜または絶縁体膜である。 A sealing portion 30 is provided so as to surround the chip 20. The sealing portion 30 is, for example, a metal sealing portion such as solder or an insulator sealing portion such as resin. The lower surface of the sealing portion 30 is joined to the annular electrode 34. A lid 32 is provided on the tip 20 and the sealing portion 30. The lid 32 is a metal plate such as a Kovar plate or an insulator plate. The upper surface of the chip 20 is in contact with the lid 32. A space is formed between the element 40 and the lid 32. A sealing portion 30 may be provided between the tip 20 and the lid 32. The lid 32 may not be provided. A protective film 36 is provided so as to cover the sealing portion 30 and the lid 32. The protective film 36 is a metal film such as a nickel film or an insulator film.

図3は、実施例1に係るマルチプレクサの平面図である。図3は、基板10、チップ20aから20d、素子40を示している。チップ20aから20dは下面を上から透視してフィルタ51から54およびパッド22aから22h並びにバンプ24を図示している。基板10の辺の延伸方向をX方向およびY方向とし、基板10の積層方向をZ方向とする。 FIG. 3 is a plan view of the multiplexer according to the first embodiment. FIG. 3 shows the substrate 10, the chips 20a to 20d, and the element 40. The chips 20a to 20d show the filters 51 to 54, the pads 22a to 22h, and the bumps 24 through the lower surface from above. The stretching directions of the sides of the substrate 10 are the X direction and the Y direction, and the stacking direction of the substrate 10 is the Z direction.

図3に示すように、素子40、チップ20aから20dは、平面形状が四角形状である。チップ20aから20dの下面には、それぞれフィルタ51から54が設けられている。チップ20aの下面の対角位置にパッド22aおよび22eが形成されている。チップ20b、20cおよび20dの下面の対角位置に、パッド22bおよび22f、22cおよび22g、並びに22dおよび22hが配置されている。パッド22aから22hにはバンプ24が接合されている。パッド22aから22dは、共通端子Antに接続するためのパッドであり、パッド22eから22hは端子T1からT4に接続するためのパッドである。高周波信号が入出力するパッド22aおよび22eをチップ20aの対角に設けることで、チップ20aに入力する信号と出力する信号との干渉を抑制する。パッド22aから22dは基板10の中央付近に設けられ、パッド20eから22hは基板10の4つの頂点付近に設けられている。 As shown in FIG. 3, the elements 40 and the chips 20a to 20d have a quadrangular planar shape. Filters 51 to 54 are provided on the lower surfaces of the chips 20a to 20d, respectively. Pads 22a and 22e are formed diagonally on the lower surface of the chip 20a. Pads 22b and 22f, 22c and 22g, and 22d and 22h are arranged diagonally on the lower surfaces of the chips 20b, 20c and 20d. Bumps 24 are joined to the pads 22a to 22h. Pads 22a to 22d are pads for connecting to the common terminal Ant, and pads 22e to 22h are pads for connecting to terminals T1 to T4. By providing the pads 22a and 22e for inputting and outputting high frequency signals diagonally to the chip 20a, interference between the signal input to the chip 20a and the output signal is suppressed. The pads 22a to 22d are provided near the center of the substrate 10, and the pads 20e to 22h are provided near the four vertices of the substrate 10.

素子40は4つの辺41aから41dを有する。チップ20aの+X側の辺21aは、素子40の−X側の辺41aおよびチップ20bの−X側の辺21fに隣接する。チップ20bの−Y側の辺21bは、素子40の+Y側の辺41bおよびチップ20cの+Y側の辺21gに隣接する。チップ20cの−X側の辺21cは、素子40の+X側の辺41cとチップ20dの+X側の辺21hに隣接する。チップ20dの+Y側の辺21dは素子40の−Y側の辺41dおよびチップ20aの−Y側の辺21eに隣接する。ここで、2つの辺が隣接するとは、2つの辺の間に他のチップおよび素子が設けられていないことである。辺21aから21dは、それぞれ辺41aから41dと製造誤差程度に略平行であり、それぞれ辺21fから21hおよび21eと製造誤差程度に略平行である。 The element 40 has four sides 41a to 41d. The + X-side side 21a of the chip 20a is adjacent to the −X-side side 41a of the element 40 and the −X-side side 21f of the chip 20b. The −Y side side 21b of the chip 20b is adjacent to the + Y side side 41b of the element 40 and the + Y side side 21g of the chip 20c. The −X side side 21c of the chip 20c is adjacent to the + X side side 41c of the element 40 and the + X side side 21h of the chip 20d. The + Y-side side 21d of the chip 20d is adjacent to the −Y-side side 41d of the element 40 and the −Y-side side 21e of the chip 20a. Here, when two sides are adjacent to each other, it means that no other chip or element is provided between the two sides. The sides 21a to 21d are substantially parallel to the sides 41a to 41d to the extent of manufacturing error, and the sides 21f to 21h and 21e are substantially parallel to the sides 21f to 21h and 21e to the extent of the manufacturing error, respectively.

チップ20aから20dの平面形状は長方形状であり、チップ20aおよび20cの長辺方向はY方向であり、チップ20bおよび20dの長辺方向はX方向である。チップ20aおよび20bの+Y側の辺はほぼ一つの直線状に位置し、チップ20bおよび20cの+X側の辺はほぼ一つの直線状に位置し、チップ20cおよび20dの−Y側の辺はほぼ一つの直線状に位置し、チップ20dおよび20aの−X側の辺はほぼ一つの直線状に位置する。これにより、チップ20aから20dおよび素子40が設けられた領域の平面形状は長方形状である。 The planar shape of the chips 20a to 20d is rectangular, the long side directions of the chips 20a and 20c are the Y direction, and the long side directions of the chips 20b and 20d are the X direction. The + Y side of the chips 20a and 20b is located in a straight line, the + X side of the chips 20b and 20c is located in a straight line, and the −Y side of the chips 20c and 20d is approximately one. It is located in one straight line, and the sides of the chips 20d and 20a on the −X side are located in substantially one straight line. As a result, the planar shape of the region where the chips 20a to 20d and the element 40 are provided is rectangular.

チップ20aから20dおよびフィルタ51から54について、チップ20aのフィルタ51を例について説明する。図4は、実施例1におけるフィルタの回路図である。図4に示すように、共通端子Antと端子T1との間に、直列に直列共振器S1からS5が接続され、並列に並列共振器P1からP4が接続されている。直列共振器S1からS5は、それぞれS1aおよびS1b、S2aおよびS2b、S3aおよびS3b、S4aおよびS4b、並びにS5aおよびS5bに直列に分割されている。 The filter 51 of the chip 20a will be described as an example of the chips 20a to 20d and the filters 51 to 54. FIG. 4 is a circuit diagram of the filter according to the first embodiment. As shown in FIG. 4, the series resonators S1 to S5 are connected in series between the common terminal Ant and the terminal T1, and the parallel resonators P1 to P4 are connected in parallel. The series resonators S1 to S5 are divided in series into S1a and S1b, S2a and S2b, S3a and S3b, S4a and S4b, and S5a and S5b, respectively.

図5は、実施例1におけるチップの平面図である。図5では、チップ20aの下面を上から透視している。図5に示すように、チップ20aの下面には、弾性波共振器80、配線23およびパッド22が設けられている。弾性波共振器80は、IDT(Inter Digital Transducer)81および反射器82を有している。配線23は弾性波共振器80間、または弾性波共振器80とパッド22とを電気的に接続する。パッド22にはバンプ24が接合されている。複数の弾性波共振器80は、直列共振器S1からS5および並列共振器P1からP4を含む。パッド22は、共通パッドPant、信号パッドPt、グランドパッドPgndおよびダミーパッドPdを含む。共通パッドPantはパッド22aに相当し、信号パッドPtはパッド22eに相当する。ダミーパッドPdはチップ20a内では弾性波共振器80に接続されておらず、機械的な強度を確保するためのバンプが接合される。 FIG. 5 is a plan view of the chip according to the first embodiment. In FIG. 5, the lower surface of the chip 20a is seen through from above. As shown in FIG. 5, an elastic wave resonator 80, a wiring 23, and a pad 22 are provided on the lower surface of the chip 20a. The elastic wave resonator 80 has an IDT (Inter Digital Transducer) 81 and a reflector 82. The wiring 23 electrically connects between the elastic wave resonators 80 or the elastic wave resonator 80 and the pad 22. A bump 24 is joined to the pad 22. The plurality of elastic wave resonators 80 include series resonators S1 to S5 and parallel resonators P1 to P4. The pad 22 includes a common pad Pant, a signal pad Pt, a ground pad Pgnd, and a dummy pad Pd. The common pad Pant corresponds to the pad 22a, and the signal pad Pt corresponds to the pad 22e. The dummy pad Pd is not connected to the elastic wave resonator 80 in the chip 20a, and bumps for ensuring mechanical strength are joined.

図6(a)および図6(b)は、弾性波共振器の例を示す図である。図6(a)および図6(b)は、弾性波共振器がそれぞれ弾性表面波共振器および圧電薄膜共振器の例である。 6 (a) and 6 (b) are diagrams showing an example of an elastic wave resonator. 6 (a) and 6 (b) are examples of surface acoustic wave resonators and piezoelectric thin film resonators, respectively.

図6(a)に示すように、基板89上にIDT81と反射器82が形成されている。IDT81は、互いに対向する1対の櫛型電極81aを有する。櫛型電極81aは、複数の電極指81bと複数の電極指81bを接続するバスバー81cとを有する。反射器82は、IDT81の両側に設けられている。IDT81が基板89に弾性表面波を励振する。基板89は、例えばタンタル酸リチウム基板またはニオブ酸リチウム基板等の圧電基板である。IDT81および反射器82は例えばアルミニウム膜または銅膜により形成される。基板89は、サファイア基板、アルミナ基板、スピネル基板、水晶基板またはシリコン基板等の支持基板に接合されていてもよい。IDT81および反射器82を覆う保護膜または温度補償膜が設けられていてもよい。この場合、保護膜または温度補償膜を含め弾性波共振器80として機能する。 As shown in FIG. 6A, the IDT 81 and the reflector 82 are formed on the substrate 89. The IDT 81 has a pair of comb-shaped electrodes 81a facing each other. The comb-shaped electrode 81a has a plurality of electrode fingers 81b and a bus bar 81c for connecting the plurality of electrode fingers 81b. Reflectors 82 are provided on both sides of the IDT 81. IDT81 excites surface acoustic waves on the substrate 89. The substrate 89 is a piezoelectric substrate such as a lithium tantalate substrate or a lithium niobate substrate. The IDT 81 and the reflector 82 are formed of, for example, an aluminum film or a copper film. The substrate 89 may be bonded to a support substrate such as a sapphire substrate, an alumina substrate, a spinel substrate, a crystal substrate, or a silicon substrate. A protective film or a temperature compensation film may be provided to cover the IDT 81 and the reflector 82. In this case, it functions as an elastic wave resonator 80 including a protective film or a temperature compensation film.

図6(b)に示すように、基板89上に圧電膜86が設けられている。圧電膜86を挟むように下部電極84および上部電極88が設けられている。下部電極84と基板89との間に空隙85が形成されている。下部電極84および上部電極88は圧電膜86内に、厚み縦振動モードの弾性波を励振する。下部電極84および上部電極88は例えばルテニウム膜等の金属膜である。圧電膜86は例えば窒化アルミニウム膜である。基板89は例えばシリコン基板もしくは砒化ガリウム等の半導体基板、またはサファイア基板、アルミナ基板、スピネル基板またはガラス基板等の絶縁基板である。図6(a)および図6(b)のように、弾性波共振器80は弾性波を励振する電極を含む。このため、弾性波の振動を制限しないように、弾性波共振器80は空隙26に覆われている。 As shown in FIG. 6B, the piezoelectric film 86 is provided on the substrate 89. The lower electrode 84 and the upper electrode 88 are provided so as to sandwich the piezoelectric film 86. A gap 85 is formed between the lower electrode 84 and the substrate 89. The lower electrode 84 and the upper electrode 88 excite elastic waves in the thickness longitudinal vibration mode in the piezoelectric film 86. The lower electrode 84 and the upper electrode 88 are metal films such as a ruthenium film. The piezoelectric film 86 is, for example, an aluminum nitride film. The substrate 89 is, for example, a silicon substrate, a semiconductor substrate such as gallium arsenide, or an insulating substrate such as a sapphire substrate, an alumina substrate, a spinel substrate, or a glass substrate. As shown in FIGS. 6 (a) and 6 (b), the elastic wave resonator 80 includes an electrode that excites an elastic wave. Therefore, the elastic wave resonator 80 is covered with a gap 26 so as not to limit the vibration of the elastic wave.

図7から図8(b)は、実施例1における絶縁層の平面図である。図7は、絶縁層10bの上面図、図8(a)は、絶縁層10aの上面図、図8(b)は絶縁層10aの下面図である。図7および図8(a)には、チップ20aから20dおよび素子40を破線で示している。 7 to 8 (b) are plan views of the insulating layer according to the first embodiment. 7 is a top view of the insulating layer 10b, FIG. 8A is a top view of the insulating layer 10a, and FIG. 8B is a bottom view of the insulating layer 10a. In FIGS. 7 and 8 (a), the chips 20a to 20d and the element 40 are shown by broken lines.

図7に示すように、絶縁層10bの上面には、パッド12aから12kおよび12が設けられている。絶縁層10bの周縁に環状電極34が環状に設けられている。環状電極34は封止部30が接合する。パッド12aから12hは、バンプ24を介し図3のパッド22aから22hに接合する。パッド12jおよび12kは半田を介し素子40の電極42に接合する。パッド12はグランドパッドであり、チップ20aから20dのグランドパッドPgndおよびダミーパッドPdが接合する。 As shown in FIG. 7, pads 12a to 12k and 12 are provided on the upper surface of the insulating layer 10b. An annular electrode 34 is provided in an annular shape on the peripheral edge of the insulating layer 10b. The sealing portion 30 is joined to the annular electrode 34. The pads 12a to 12h are joined to the pads 22a to 22h in FIG. 3 via the bumps 24. The pads 12j and 12k are joined to the electrode 42 of the element 40 via solder. The pad 12 is a ground pad, and the ground pad Pgnd and the dummy pad Pd of the chips 20a to 20d are joined to each other.

図8(a)に示すように、絶縁層10aの上面に配線14eから14hおよび14zが設けられている。絶縁層10bには貫通電極13aから13hおよび13jが設けられている。絶縁層10aには貫通電極15eから15hおよび15zが設けられている。配線14zは絶縁層10aの上面の中央付近に設けられている。配線14eは絶縁層10aの上面の−X側の辺に沿って延伸している。配線14fは絶縁層10aの上面の+X側の辺に沿って延伸している。 As shown in FIG. 8A, wirings 14e to 14h and 14z are provided on the upper surface of the insulating layer 10a. The insulating layer 10b is provided with through electrodes 13a to 13h and 13j. The insulating layer 10a is provided with through electrodes 15e to 15h and 15z. The wiring 14z is provided near the center of the upper surface of the insulating layer 10a. The wiring 14e extends along the −X side side of the upper surface of the insulating layer 10a. The wiring 14f extends along the + X side of the upper surface of the insulating layer 10a.

配線14eから14hはそれぞれ貫通電極15eから15hを介し図7のパッド12eから12hに電気的に接続されている。配線14zは貫通電極13aから13dおよび13jを介し図7のパッド12aから12dおよび12jに電気的に接続されている。配線14zのうち、貫通電極13aから13dと貫通電極13jとの間の配線をそれぞれ配線14aから14dとする。図7のパッド12(グランドパッド)に接続される配線14、貫通電極13および15の図示は省略している。 The wirings 14e to 14h are electrically connected to the pads 12e to 12h in FIG. 7 via through electrodes 15e to 15h, respectively. The wiring 14z is electrically connected to the pads 12a to 12d and 12j of FIG. 7 via the through electrodes 13a to 13d and 13j. Of the wirings 14z, the wirings between the through electrodes 13a to 13d and the through electrodes 13j are the wirings 14a to 14d, respectively. Wiring 14, through silicon vias 13 and 15 connected to the pad 12 (ground pad) in FIG. 7 are not shown.

図8(b)に示すように、絶縁層10aの下面には端子16として、端子T1からT4、共通端子Antおよびグランド端子Gndが設けられている。端子T1は絶縁層10aの−X側の辺の中央付近に設けられている。端子T2は絶縁層10aの+X側の辺の中央付近に設けられている。端子T3は、絶縁層10aの−Xおよび−Y側の頂点付近に設けられている。端子T4は、絶縁層10aの+Xおよび−Y側の頂点付近に設けられている。端子T1からT4は、図8(a)のそれぞれ貫通電極15eから15hを介し配線14eから14hに電気的に接続されている。共通端子Antは図8(a)の貫通電極15zを介し配線14zに電気的に接続されている。グランド端子Gndは図7のパッド12に電気的に接続されている。 As shown in FIG. 8B, terminals T1 to T4, a common terminal Ant, and a ground terminal Gnd are provided as terminals 16 on the lower surface of the insulating layer 10a. The terminal T1 is provided near the center of the side of the insulating layer 10a on the −X side. The terminal T2 is provided near the center of the + X side of the insulating layer 10a. The terminal T3 is provided near the vertices on the −X and −Y sides of the insulating layer 10a. The terminal T4 is provided near the vertices on the + X and −Y sides of the insulating layer 10a. The terminals T1 to T4 are electrically connected to the wirings 14e to 14h via the through electrodes 15e to 15h shown in FIG. 8A, respectively. The common terminal Ant is electrically connected to the wiring 14z via the through electrode 15z shown in FIG. 8A. The ground terminal Gnd is electrically connected to the pad 12 of FIG.

[比較例1]
実施例1と比較する比較例について説明する。図9(a)は、比較例1に係るマルチプレクサの平面図、図9(b)は、絶縁層10aの上面図である。図9(a)は、基板10、チップ20aから20d、素子40を示している。チップ20aから20dは下面を上から透視してフィルタ51から54およびパッド22aから22h並びにバンプ24を図示している。図9(b)には、チップ20aから20dおよび素子40を破線で示している。以下の図も同様である。
[Comparative Example 1]
A comparative example to be compared with Example 1 will be described. 9 (a) is a plan view of the multiplexer according to Comparative Example 1, and FIG. 9 (b) is a top view of the insulating layer 10a. FIG. 9A shows the substrate 10, the chips 20a to 20d, and the element 40. The chips 20a to 20d show the filters 51 to 54, the pads 22a to 22h, and the bumps 24 through the lower surface from above. In FIG. 9B, the chips 20a to 20d and the element 40 are shown by broken lines. The same applies to the following figure.

図9(a)に示すように、チップ20aから20dは、X方向に配列して設けられている。チップ20dの+Y方向の外側に素子40が設けられている。パッド22aから22dはチップ20aから20d内の+Y側に設けられている。図9(b)に示すように、配線14zは基板10の+Y側の辺に沿ってX方向に延伸する。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。 As shown in FIG. 9A, the chips 20a to 20d are arranged in the X direction. The element 40 is provided on the outside of the chip 20d in the + Y direction. The pads 22a to 22d are provided on the + Y side within the chips 20a to 20d. As shown in FIG. 9B, the wiring 14z extends in the X direction along the + Y side of the substrate 10. Other configurations are the same as those in the first embodiment, and the description thereof will be omitted.

比較例1では、配線14zがX方向に延伸する。このため、貫通電極13aと13jとの間の配線14aの長さ、貫通電極13dと13jとの間の配線14dの長さが実施例1の図8(a)より長くなる。このように、チップ20aから20dと素子40との間の配線の長さがばらついてしまう。このため、素子40によるフィルタ51から54の整合が難しくなる。また、配線14zが基板10の+Y側の辺に沿って延伸するため、配線14zと基板10の+Y側の外部回路とのカップリングが生じやすくなる。 In Comparative Example 1, the wiring 14z extends in the X direction. Therefore, the length of the wiring 14a between the through electrodes 13a and 13j and the length of the wiring 14d between the through electrodes 13d and 13j are longer than those in FIG. 8A of Example 1. In this way, the length of the wiring between the chips 20a to 20d and the element 40 varies. Therefore, it becomes difficult for the element 40 to match the filters 51 to 54. Further, since the wiring 14z extends along the + Y side side of the substrate 10, coupling between the wiring 14z and the external circuit on the + Y side of the substrate 10 is likely to occur.

[比較例2]
図10(a)は、比較例2に係るマルチプレクサの平面図、図10(b)は、絶縁層10aの上面図である。図10(a)に示すように、素子40は、基板10の−Y側の辺の中央付近に設けられている。チップ20cは素子40の+X側に設けられ、チップ20dは素子40の−X側に設けられている。チップ20aおよび20bは、素子40より+Y側に設けられている。図10(b)に示すように、配線14zは基板10の中央よりやや−Y方向の位置付近に設けられている。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。
[Comparative Example 2]
10 (a) is a plan view of the multiplexer according to Comparative Example 2, and FIG. 10 (b) is a top view of the insulating layer 10a. As shown in FIG. 10A, the element 40 is provided near the center of the −Y side side of the substrate 10. The chip 20c is provided on the + X side of the element 40, and the chip 20d is provided on the −X side of the element 40. The chips 20a and 20b are provided on the + Y side of the element 40. As shown in FIG. 10B, the wiring 14z is provided in the vicinity of the position in the −Y direction slightly from the center of the substrate 10. Other configurations are the same as those in the first embodiment, and the description thereof will be omitted.

比較例2では、パッド22aから22dが基板の中央付近に設けられている。このため、図10(b)のように配線14aから14dの長さが小さくなる。これにより、素子40によりフィルタ51から54の整合が容易になる。また、配線14zが基板10の辺に沿って延伸しない。これにより、配線14zが外部回路とカップリングすることを抑制できる。 In Comparative Example 2, pads 22a to 22d are provided near the center of the substrate. Therefore, as shown in FIG. 10B, the lengths of the wirings 14a to 14d are reduced. This facilitates matching of the filters 51 to 54 by the element 40. Further, the wiring 14z does not extend along the side of the substrate 10. As a result, it is possible to prevent the wiring 14z from coupling with the external circuit.

しかしながら、図10(a)のように、チップ20cのパッド22cと22gとの距離60cおよびチップ20dのパッド22dと22hとの距離60dが短くなる。これにより、フィルタ53および54に入力する高周波信号と、フィルタ53および54から出力される信号と、がカップリングしやすくなる。これにより、アイソレレーションが悪化する。 However, as shown in FIG. 10A, the distance 60c between the pads 22c and 22g of the chip 20c and the distance 60d between the pads 22d and 22h of the chip 20d are shortened. This facilitates coupling between the high frequency signal input to the filters 53 and 54 and the signal output from the filters 53 and 54. This results in poor isolation.

[比較例3]
図11(a)は、比較例3に係るマルチプレクサの平面図、図11(b)は、絶縁層10aの上面図である。図11(a)に示すように、素子40は、基板10の中央付近に設けられている。チップ20bおよび20cは、素子40の+X側に設けられ、チップ20aおよび20dは素子40の−X側に設けられている。図11(b)に示すように、配線14zは基板10の中央付近に設けられている。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。
[Comparative Example 3]
FIG. 11A is a plan view of the multiplexer according to Comparative Example 3, and FIG. 11B is a top view of the insulating layer 10a. As shown in FIG. 11A, the element 40 is provided near the center of the substrate 10. The chips 20b and 20c are provided on the + X side of the element 40, and the chips 20a and 20d are provided on the −X side of the element 40. As shown in FIG. 11B, the wiring 14z is provided near the center of the substrate 10. Other configurations are the same as those in the first embodiment, and the description thereof will be omitted.

比較例3では、図11(a)のように、チップ20cのパッド22cと22gとの距離60cおよびチップ20dのパッド22dと22hとの距離60dを長くできる。これにより、アイソレレーションの悪化を抑制できる。 In Comparative Example 3, as shown in FIG. 11A, the distance 60c between the pads 22c and 22g of the chip 20c and the distance 60d between the pads 22d and 22h of the chip 20d can be increased. As a result, deterioration of isolation can be suppressed.

しかしながら、図11(a)のように、チップ20aと20bとの間、およびチップ20cと20dとの間に領域62が形成される。これにより、基板10が大型化し、マルチプレクサが大型化してしまう。 However, as shown in FIG. 11A, a region 62 is formed between the chips 20a and 20b and between the chips 20c and 20d. As a result, the size of the substrate 10 becomes large, and the size of the multiplexer becomes large.

実施例1によれば、図3のように、チップ20a(第1チップ)は、基板10を平面視したとき素子40の辺41a(第1辺)と隣接する辺21a(第5辺)を有する。チップ20b(第2チップ)は、基板10を平面視したとき素子40の辺41b(第2辺)と隣接する辺21b(第6辺)を有する。チップ20c(第3チップ)は、基板10を平面視したとき素子40の辺41c(第3辺)と隣接する辺21c(第7辺)を有する。チップ20d(第4チップ)は、基板10を平面視したとき素子40の辺41d(第4辺)と隣接する辺21d(第8辺)を有する。図8(a)のように、基板10内に、フィルタ51と素子40とを電気的に接続する配線14a(第1配線)と、フィルタ52と素子40とを電気的に接続する配線14b(第2配線)と、フィルタ53と素子40とを電気的に接続する配線14c(第3配線)と、フィルタ54と素子40とを電気的に接続する配線14d(第4配線)と、を備える。 According to the first embodiment, as shown in FIG. 3, the chip 20a (first chip) has a side 21a (fifth side) adjacent to the side 41a (first side) of the element 40 when the substrate 10 is viewed in a plan view. Have. The chip 20b (second chip) has a side 21b (sixth side) adjacent to the side 41b (second side) of the element 40 when the substrate 10 is viewed in a plan view. The chip 20c (third chip) has a side 21c (seventh side) adjacent to the side 41c (third side) of the element 40 when the substrate 10 is viewed in a plan view. The chip 20d (fourth chip) has a side 21d (eighth side) adjacent to the side 41d (fourth side) of the element 40 when the substrate 10 is viewed in a plan view. As shown in FIG. 8A, the wiring 14a (first wiring) that electrically connects the filter 51 and the element 40 and the wiring 14b (the wiring 14b) that electrically connects the filter 52 and the element 40 are included in the substrate 10. The second wiring), the wiring 14c (third wiring) for electrically connecting the filter 53 and the element 40, and the wiring 14d (fourth wiring) for electrically connecting the filter 54 and the element 40 are provided. ..

これにより、配線14aから14dを基板10の中央付近に設けることができる。よって、配線14aから14dの長さを小さくでき、素子40による整合が容易となる。また、配線14aから14dを基板10の辺に沿って設けなくてもよいため外部回路と配線14aから14dとのカップリングを抑制できる。さらに、チップ20cおよび20dを比較例2より大きくできる。よって、アイソレーションの悪化を抑制できる。さらに、比較例3のような領域62が形成されないため、マルチプレクサを小型化でできる。 As a result, the wirings 14a to 14d can be provided near the center of the substrate 10. Therefore, the lengths of the wirings 14a to 14d can be reduced, and the matching by the element 40 becomes easy. Further, since the wirings 14a to 14d do not have to be provided along the side of the substrate 10, the coupling between the external circuit and the wirings 14a to 14d can be suppressed. Further, the chips 20c and 20d can be made larger than in Comparative Example 2. Therefore, deterioration of isolation can be suppressed. Further, since the region 62 as in Comparative Example 3 is not formed, the multiplexer can be miniaturized.

また、チップ20aの辺21aはチップ20bと隣接し、チップ20bの辺21bはチップ20cと隣接し、チップ20cの辺21cはチップ20dと隣接し、チップ20dの辺21dはチップ20aと隣接する。これにより、各チップ20aから20dおよび素子40間の隙間が小さくなり、マルチプレクサを小型化できる。 Further, the side 21a of the chip 20a is adjacent to the chip 20b, the side 21b of the chip 20b is adjacent to the chip 20c, the side 21c of the chip 20c is adjacent to the chip 20d, and the side 21d of the chip 20d is adjacent to the chip 20a. As a result, the gap between each chip 20a to 20d and the element 40 is reduced, and the multiplexer can be miniaturized.

チップ20aは、基板10を平面視したとき最も素子40に近い第1角に対応する領域に設けられたパッド22a(第1パッド)を有し、フィルタ51はパッド22aを介し配線14aと電気的に接続する。チップ20bは、基板10を平面視したとき最も素子40に近い第2角に対応する領域に設けられたパッド22b(第2パッド)を有し、フィルタ52はパッド22bを介し配線14bと電気的に接続する。チップ20cは、基板10を平面視したとき最も素子40に近い第3角に対応する領域に設けられたパッド22c(第3パッド)を有し、フィルタ53はパッド22cを介し配線14cと電気的に接続する。チップ20dは、基板10を平面視したとき最も素子40に近い第4角に対応する領域に設けられたパッド22d(第4パッド)を有し、フィルタ54はパッド22dを介し配線14dと電気的に接続する。これにより、フィルタ51から54と素子40を接続する配線14aから14dの長さをより均一にできる。よって、素子40による整合が容易となる。 The chip 20a has a pad 22a (first pad) provided in a region corresponding to the first corner closest to the element 40 when the substrate 10 is viewed in a plan view, and the filter 51 is electrically connected to the wiring 14a via the pad 22a. Connect to. The chip 20b has a pad 22b (second pad) provided in a region corresponding to the second corner closest to the element 40 when the substrate 10 is viewed in a plan view, and the filter 52 is electrically connected to the wiring 14b via the pad 22b. Connect to. The chip 20c has a pad 22c (third pad) provided in a region corresponding to the third corner closest to the element 40 when the substrate 10 is viewed in a plan view, and the filter 53 is electrically connected to the wiring 14c via the pad 22c. Connect to. The chip 20d has a pad 22d (fourth pad) provided in a region corresponding to the fourth corner closest to the element 40 when the substrate 10 is viewed in a plan view, and the filter 54 is electrically connected to the wiring 14d via the pad 22d. Connect to. As a result, the lengths of the wirings 14a to 14d connecting the filters 51 to 54 and the element 40 can be made more uniform. Therefore, matching by the element 40 becomes easy.

チップ20aは、基板10を平面視したとき第1角と四角形の対角に位置する第5角に対応する領域に設けられたパッド22e(第5パッド)を有し、フィルタ51はパッド22eを介し端子T1に接続されている。チップ20bは、基板10を平面視したとき第2角と対角に位置する第6角に対応する領域に設けられたパッド22f(第6パッド)を有し、フィルタ52はパッド22fを介し端子T1に接続されている。チップ20cは、基板10を平面視したとき第3角と対角に位置する第7角に対応する領域に設けられたパッド22g(第7パッド)を有し、フィルタ53はパッド22gを介し端子T3に接続されている。チップ20dは、基板10を平面視したとき第4角と対角に位置する第8角に対応する領域に設けられたパッド22h(第8パッド)を有し、フィルタ54はパッド22hを介し端子T4に接続されている。これにより、フィルタ51から54の各々について入力信号と出力信号とのカップリングを抑制できる。 The chip 20a has a pad 22e (fifth pad) provided in a region corresponding to a fifth corner located on the diagonal of the first corner and the quadrangle when the substrate 10 is viewed in a plan view, and the filter 51 uses the pad 22e. It is connected to the terminal T1 via. The chip 20b has a pad 22f (sixth pad) provided in a region corresponding to a sixth angle located diagonally to the second angle when the substrate 10 is viewed in a plan view, and the filter 52 has a terminal via the pad 22f. It is connected to T1. The chip 20c has a pad 22g (seventh pad) provided in a region corresponding to a seventh corner located diagonally to the third corner when the substrate 10 is viewed in a plan view, and the filter 53 has a terminal via the pad 22g. It is connected to T3. The chip 20d has a pad 22h (eighth pad) provided in a region corresponding to an eighth angle located diagonally to the fourth angle when the substrate 10 is viewed in a plan view, and the filter 54 has a terminal via the pad 22h. It is connected to T4. Thereby, the coupling between the input signal and the output signal can be suppressed for each of the filters 51 to 54.

素子40としてインダクタLを例に説明したが、素子はキャパシタおよびインダクタの少なくとも一方を含む整合回路55であればよい。素子40は一端が共通端子Antに電気的に接続され、他端がグランドに電気的に接続されたインダクタLを含む。これにより、整合回路55を小型化できる。 Although the inductor L has been described as an example of the element 40, the element may be a matching circuit 55 including at least one of a capacitor and an inductor. The element 40 includes an inductor L whose one end is electrically connected to the common terminal Ant and the other end is electrically connected to the ground. As a result, the matching circuit 55 can be miniaturized.

図3のように、基板10を平面視したときチップ20aと20cは対角状に設けられている。基板10を平面視したときチップ20bと20dは対角状に設けられている。すなわち、素子40の辺41aと41cは対辺であり、素子40の辺41bと41dは対辺である。フィルタ51および53は、バンドB1(第1バンド)のそれぞれ受信フィルタおよび送信フィルタである。フィルタ52およびフィルタ54は、バンドB1と異なるバンドB2(第2バンド)のそれぞれ受信フィルタおよび送信フィルタである。これにより、同じバンドの受信フィルタの受信端子と送信フィルタの送信端子を離すことができる。よって、送信と受信との間のアイソレーションを大きくできる。特に、バンドB1および/またはB2がFDD(Frequency Division Duplex)方式の場合、バンド内で受信帯域と送信帯域とが重なっておらず、送信と受信とのアイソレーションが問題となる。よって、フィルタ51および53をバンドB1の受信フィルタおよび送信フィルタとし、フィルタ52および54をバンドB2の受信フィルタおよび送信フィルタとすることが好ましい。 As shown in FIG. 3, the chips 20a and 20c are provided diagonally when the substrate 10 is viewed in a plan view. When the substrate 10 is viewed in a plan view, the chips 20b and 20d are provided diagonally. That is, the sides 41a and 41c of the element 40 are opposite sides, and the sides 41b and 41d of the element 40 are opposite sides. The filters 51 and 53 are a reception filter and a transmission filter of band B1 (first band), respectively. The filter 52 and the filter 54 are a reception filter and a transmission filter of a band B2 (second band) different from the band B1, respectively. As a result, the receiving terminal of the receiving filter of the same band and the transmitting terminal of the transmitting filter can be separated from each other. Therefore, the isolation between transmission and reception can be increased. In particular, when the bands B1 and / or B2 are in the FDD (Frequency Division Duplex) system, the reception band and the transmission band do not overlap in the band, and isolation between transmission and reception becomes a problem. Therefore, it is preferable that the filters 51 and 53 are the reception filter and the transmission filter of the band B1, and the filters 52 and 54 are the reception filter and the transmission filter of the band B2.

素子40が例えばセラミックス誘電体層を積層した電子部品の場合、リッド32から素子40に応力により破壊されうる。そこで、実施例1では、図2のように、チップ20aから20d上にリッド32が接して設けられ、素子40とリッド32との間には空間が形成されている。これにより、リッド32から素子40に加わる応力を抑制できる。よって、素子40の破壊を抑制できる。 When the element 40 is, for example, an electronic component in which a ceramic dielectric layer is laminated, the lid 32 can be destroyed by stress from the lid 32 to the element 40. Therefore, in the first embodiment, as shown in FIG. 2, the lid 32 is provided in contact with the tip 20a to 20d, and a space is formed between the element 40 and the lid 32. As a result, the stress applied to the element 40 from the lid 32 can be suppressed. Therefore, the destruction of the element 40 can be suppressed.

フィルタ51から54は、弾性表面波共振器または圧電薄膜共振器等の弾性波共振器を含む弾性波フィルタである。 The filters 51 to 54 are elastic wave filters including an elastic wave resonator such as an elastic surface wave resonator or a piezoelectric thin film resonator.

以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明はかかる特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。 Although the examples of the present invention have been described in detail above, the present invention is not limited to such specific examples, and various modifications and modifications are made within the scope of the gist of the present invention described in the claims. It can be changed.

10 基板
12、12a−12h パッド
13、13a−13h、13j 貫通電極
14、14a−14h、14z 配線
15、15e−15h、15z 貫通電極
16 端子
20、20a−20d チップ
21a−21h 辺
22a−22h パッド
24 バンプ
30 封止部
32 リッド
40 素子
41a−41d 辺
42 電極
44 半田
51−54 フィルタ
10 Substrate 12, 12a-12h Pad 13, 13a-13h, 13j Through Electrode 14, 14a-14h, 14z Wiring 15, 15e-15h, 15z Through Electrode 16 Terminal 20, 20a-20d Chip 21a-21h Side 22a-22h Pad 24 Bump 30 Sealing part 32 Lid 40 Element 41a-41d Side 42 Electrode 44 Solder 51-54 Filter

Claims (8)

基板と、
前記基板上に実装され、前記基板を平面視したとき第1辺、第2辺、第3辺および第4辺を有する四角形状である素子と、
前記基板上に実装され、共通端子と第1端子との間に電気的に接続された第1フィルタが設けられ、前記基板を平面視したとき前記第1辺と隣接する第5辺を有する四角形状である第1チップと、
前記基板上に実装され、前記共通端子と第2端子との間に電気的に接続された第2フィルタが設けられ、前記基板を平面視したとき前記第2辺と隣接する第6辺を有する四角形状である第2チップと、
前記基板上に実装され、前記共通端子と第3端子との間に電気的に接続された第3フィルタが設けられ、前記基板を平面視したとき前記第3辺と隣接する第7辺を有する四角形状である第3チップと、
前記基板上に実装され、前記共通端子と第4端子との間に電気的に接続された第4フィルタが設けられ、前記基板を平面視したとき前記第4辺と隣接する第8辺を有する四角形状である第4チップと、
前記基板内に設けられ、前記第1フィルタと前記素子とを電気的に接続する第1配線と、
前記基板内に設けられ、前記第2フィルタと前記素子とを電気的に接続する第2配線と、
前記基板内に設けられ、前記第3フィルタと前記素子とを電気的に接続する第3配線と、
前記基板内に設けられ、前記第4フィルタと前記素子とを電気的に接続する第4配線と、
を備え
前記素子は一端が前記共通端子に電気的に接続され、他端がグランドに電気的に接続されたインダクタであり、
前記第1配線は、前記第1フィルタの前記共通端子側の一端と前記素子の前記共通端子側の一端とを電気的に接続し、
前記第2配線は、前記第2フィルタの前記共通端子側の一端と前記素子の前記共通端子側の一端とを電気的に接続し、
前記第3配線は、前記第3フィルタの前記共通端子側の一端と前記素子の前記共通端子側の一端とを電気的に接続し、
前記第4配線は、前記第4フィルタの前記共通端子側の一端と前記素子の前記共通端子側の一端とを電気的に接続するマルチプレクサ。
With the board
A quadrangular element mounted on the substrate and having a first side, a second side, a third side, and a fourth side when the substrate is viewed in a plan view.
A square mounted on the board, provided with a first filter electrically connected between the common terminal and the first terminal, and having a fifth side adjacent to the first side when the board is viewed in a plan view. The first chip, which is the shape,
A second filter mounted on the board and electrically connected between the common terminal and the second terminal is provided, and has a sixth side adjacent to the second side when the board is viewed in a plan view. The second chip, which is square,
A third filter mounted on the substrate and electrically connected between the common terminal and the third terminal is provided, and has a seventh side adjacent to the third side when the substrate is viewed in a plan view. The third chip, which is square,
A fourth filter mounted on the substrate and electrically connected between the common terminal and the fourth terminal is provided, and has an eighth side adjacent to the fourth side when the substrate is viewed in a plan view. The fourth chip, which is square,
A first wiring provided in the substrate and electrically connecting the first filter and the element,
A second wiring provided in the substrate and electrically connecting the second filter and the element,
A third wiring provided in the substrate and electrically connecting the third filter and the element,
A fourth wiring provided in the substrate and electrically connecting the fourth filter and the element,
Equipped with a,
The element is an inductor in which one end is electrically connected to the common terminal and the other end is electrically connected to the ground.
The first wiring electrically connects one end of the first filter on the common terminal side and one end of the element on the common terminal side.
The second wiring electrically connects one end of the second filter on the common terminal side and one end of the element on the common terminal side.
The third wiring electrically connects one end of the third filter on the common terminal side and one end of the element on the common terminal side.
The fourth wiring is a multiplexer that electrically connects one end of the fourth filter on the common terminal side and one end of the element on the common terminal side.
前記第1チップの前記第5辺は前記第2チップと隣接し、
前記第2チップの前記第6辺は前記第3チップと隣接し、
前記第3チップの前記第7辺は前記第4チップと隣接し、
前記第4チップの前記第8辺は前記第1チップと隣接する請求項1記載のマルチプレクサ。
The fifth side of the first chip is adjacent to the second chip,
The sixth side of the second chip is adjacent to the third chip,
The seventh side of the third chip is adjacent to the fourth chip,
The multiplexer according to claim 1, wherein the eighth side of the fourth chip is adjacent to the first chip.
前記第1チップは、前記基板を平面視したとき最も前記素子に近い第1角に対応する領域に設けられた第1パッドを有し、前記第1フィルタは前記第1パッドを介し前記第1配線と電気的に接続し、
前記第2チップは、前記基板を平面視したとき最も前記素子に近い第2角に対応する領域に設けられた第2パッドを有し、前記第2フィルタは前記第2パッドを介し前記第2配線と電気的に接続し、
前記第3チップは、前記基板を平面視したとき最も前記素子に近い第3角に対応する領域に設けられた第3パッドを有し、前記第3フィルタは前記第3パッドを介し前記第3配線と電気的に接続し、
前記第4チップは、前記基板を平面視したとき最も前記素子に近い第4角に対応する領域に設けられた第4パッドを有し、前記第4フィルタは前記第4パッドを介し前記第4配線と電気的に接続する請求項2記載のマルチプレクサ。
The first chip has a first pad provided in a region corresponding to a first corner closest to the element when the substrate is viewed in a plan view, and the first filter passes through the first pad. Electrically connected to the wiring,
The second chip has a second pad provided in a region corresponding to a second angle closest to the element when the substrate is viewed in a plan view, and the second filter passes through the second pad. Electrically connect to the wiring,
The third chip has a third pad provided in a region corresponding to a third corner closest to the element when the substrate is viewed in a plan view, and the third filter passes through the third pad. Electrically connect to the wiring,
The fourth chip has a fourth pad provided in a region corresponding to a fourth corner closest to the element when the substrate is viewed in a plan view, and the fourth filter passes through the fourth pad to the fourth pad. The multiplexer according to claim 2, which is electrically connected to a wiring.
前記第1チップは、前記基板を平面視したとき前記第1角と対角に位置する第5角に対応する領域に設けられた第5パッドを有し、前記第1フィルタは前記第5パッドを介し前記第1端子に電気的に接続され、
前記第2チップは、前記基板を平面視したとき前記第2角と対角に位置する第6角に対応する領域に設けられた第6パッドを有し、前記第2フィルタは前記第6パッドを介し前記第2端子に電気的に接続され、
前記第3チップは、前記基板を平面視したとき前記第3角と対角に位置する第7角に対応する領域に設けられた第7パッドを有し、前記第3フィルタは前記第7パッドを介し前記第3端子に電気的に接続され、
前記第4チップは、前記基板を平面視したとき前記第4角と対角に位置する第8角に対応する領域に設けられた第8パッドを有し、前記第4フィルタは前記第8パッドを介し前記第4端子に電気的に接続される請求項3記載のマルチプレクサ。
The first chip has a fifth pad provided in a region corresponding to a fifth corner located diagonally to the first corner when the substrate is viewed in a plan view, and the first filter has the fifth pad. Is electrically connected to the first terminal via
The second chip has a sixth pad provided in a region corresponding to a sixth angle located diagonally to the second angle when the substrate is viewed in a plan view, and the second filter has the sixth pad. Is electrically connected to the second terminal via
The third chip has a seventh pad provided in a region corresponding to a seventh corner located diagonally to the third corner when the substrate is viewed in a plan view, and the third filter has the seventh pad. It is electrically connected to the third terminal via
The fourth chip has an eighth pad provided in a region corresponding to an eighth angle located diagonally to the fourth angle when the substrate is viewed in a plan view, and the fourth filter has the eighth pad. The multiplexer according to claim 3, which is electrically connected to the fourth terminal via the above.
前記基板を平面視したとき、前記素子の前記第1辺と前記第3辺は対辺であり、前記素子の前記第2辺と前記第4辺は対辺であり、
前記第1フィルタおよび前記第3フィルタは、第1バンドのそれぞれ受信フィルタおよび送信フィルタであり、
前記第2フィルタおよび前記第4フィルタは、第1バンドと異なる第2バンドのそれぞれ受信フィルタおよび送信フィルタである請求項1からのいずれか一項記載のマルチプレクサ。
When the substrate is viewed in a plan view, the first side and the third side of the element are opposite sides, and the second side and the fourth side of the element are opposite sides.
The first filter and the third filter are a reception filter and a transmission filter of the first band, respectively.
The multiplexer according to any one of claims 1 to 4 , wherein the second filter and the fourth filter are a reception filter and a transmission filter of a second band different from the first band, respectively.
前記第1チップ、前記第2チップ、前記第3チップおよび前記第4チップは、前記基板にフリップチップ実装されている請求項1から5のいずれか一項に記載のマルチプレクサ。 The multiplexer according to any one of claims 1 to 5, wherein the first chip, the second chip, the third chip, and the fourth chip are flip-chip mounted on the substrate. 前記第1チップ、前記第2チップ、前記第3チップおよび前記第4チップ上にリッドが接して設けられ、前記素子と前記リッドとの間には空間が形成されている請求項1から6のいずれか一項記載のマルチプレクサ。 Claims 1 to 6 wherein a lid is provided in contact with the first chip, the second chip, the third chip, and the fourth chip, and a space is formed between the element and the lid. The multiplexer according to any one of the above. 前記第1フィルタ、前記第2フィルタ、前記第3フィルタおよび前記第4フィルタは弾性波フィルタである請求項1からのいずれか一項記載のマルチプレクサ。 The multiplexer according to any one of claims 1 to 7 , wherein the first filter, the second filter, the third filter, and the fourth filter are elastic wave filters.
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