JP6947242B1 - ラジアルフォイル軸受 - Google Patents

Abstract

【課題】フォイルの摩擦による減衰効果の向上を目的とする。【解決手段】ラジアルフォイル軸受３は、挿通孔１２ａを有する軸受ハウジング１２と、挿通孔１２ａの内側に配置されたトップフォイル９と、トップフォイル９と軸受ハウジング１２との間に介在するフォイル構造体（中間フォイル１０、バックフォイル１１）と、を備え、中間フォイル１０は、挿通孔１２ａの径方向の外側に向かって曲げられ、且つ、挿通孔１２ａの周方向において離隔した一対の折り曲げ部１７を有し、一対の折り曲げ部１７が、挿通孔１２ａが延びる軸方向における軸受ハウジング１２の端面１２ｂに形成された嵌合溝１５の周方向の両側面に当接している。【選択図】図２

Description

本開示は、ラジアルフォイル軸受に関するものである。

従来、高速回転体用の軸受として、回転軸に外挿されて用いられるラジアル軸受が知られている。このようなラジアル軸受としては、軸受面を形成する薄板状のトップフォイルと、このトップフォイルを弾性的に支持するバックフォイルと、前記トップフォイル及び前記バックフォイルを収容する円筒状の軸受ハウジングと、を備えたラジアルフォイル軸受がよく知られている。ラジアルフォイル軸受のバックフォイルとしては、薄板を波板状に成形したバンプフォイルが主として用いられている。

下記特許文献１に記載のラジアルフォイル軸受は、軸受ハウジングからのバックフォイルの脱落を抑制するために、軸受ハウジングの両側面に、それぞれ該軸受ハウジングの内周縁から外周縁に向かって延びる係合切欠を形成し、バックフォイルには、前記軸受ハウジングの周方向における一方の側の両側端部に、それぞれ前記係合切欠に係合する係合突片を設けている。

特開２０１３−８７７８９号公報

ところで、このようなラジアルフォイル軸受では、フォイルの摩擦（フォイル間の摩擦や、フォイルと軸受ハウジング間の摩擦）などによってエネルギー散逸を引き起こすことで、流体潤滑膜の膜厚変動を減衰させ、回転軸の軸振動（自励振動）を抑制し、該軸振動を収まり易くすることができる。

本開示は、上述したフォイルの摩擦による減衰効果の向上を目的とする。

上記の課題を解決するために、本開示のラジアルフォイル軸受は、挿通孔を有する軸受ハウジングと、前記挿通孔の内側に配置されたトップフォイルと、前記トップフォイルと前記軸受ハウジングとの間に介在するフォイル構造体と、を備え、前記フォイル構造体は、前記挿通孔の径方向の外側に向かって曲げられ、且つ、前記挿通孔の周方向において離隔した一対の折り曲げ部を有し、前記一対の折り曲げ部が、前記挿通孔が延びる軸方向における前記軸受ハウジングの端面に形成された嵌合溝の前記周方向の両側面に押し付けられている。

また、本開示においては、前記フォイル構造体は、前記軸方向の両側の端縁に、それぞれ前記一対の折り曲げ部を有してもよい。

また、本開示においては、前記フォイル構造体は、前記挿通孔の内周面に沿って配置されたバックフォイルと、前記バックフォイルに支持され、前記トップフォイルと接する中間フォイルと、を備え、前記中間フォイルが、前記一対の折り曲げ部を有し、前記バックフォイルには、前記一対の折り曲げ部が通過する切欠が形成されていてもよい。

また、本開示においては、前記バックフォイルは、前記周方向において谷部と山部とを交互に有し、前記切欠は、前記バックフォイルのいずれか一つの前記山部の両側に配置された一対の前記谷部に形成されていてもよい。

また、本開示においては、前記フォイル構造体は、前記フォイル構造体の前記軸方向の一方の端縁から他方の端縁に向かうに従って前記周方向の一方側に向かって斜めに延伸する第１スリットと、前記第１スリットから前記周方向の他方側に向かって前記フォイル構造体の端縁と平行に延伸する第２スリットと、を有し、前記第１スリット及び前記第２スリットによって、前記フォイル構造体に前記一対の折り曲げ部が形成されていてもよい。

本開示によれば、フォイルの摩擦による減衰効果の向上を図ることができる。

本開示のラジアルフォイル軸受が適用されるターボ機械の一例を示す側面図である。 本開示の第１実施形態に係るラジアルフォイル軸受を示す正面図である。 本開示の第１実施形態に係るトップフォイルを展開した平面図である。 本開示の第１実施形態に係るラジアルフォイル軸受の要部の拡大斜視図である。 本開示の第１実施形態の一変形例に係るラジアルフォイル軸受の要部の拡大斜視図である。 本開示の第２実施形態に係るラジアルフォイル軸受の要部を平坦化して軸方向から視た正面図である。 本開示の第２実施形態に係る中間フォイル片を平坦化して径方向から視た平面図である。 本開示の第２実施形態に係るバックフォイル片を平坦化して径方向から視た平面図である。 本開示の第２実施形態の一変形例に係る中間フォイル片を平坦化して径方向から視た平面図である。 本開示の第３実施形態に係るラジアルフォイル軸受の要部を平坦化して軸方向から視た正面図である。 本開示の第３実施形態に係るラジアルフォイル軸受の要部を平坦化して径方向から視た平面図である。 本開示の第３実施形態の一変形例に係るラジアルフォイル軸受の要部を平坦化して軸方向から視た正面図である。 本開示の第３実施形態の一変形例に係るラジアルフォイル軸受の要部を平坦化して径方向から視た平面図である。 本開示の第４実施形態に係るラジアルフォイル軸受の要部を平坦化して（ａ）径方向から視た平面図、（ｂ）軸方向から視た正面図である。 図１４（ａ）に示す要部の矢視Ａ−Ａ断面図である。 本開示の第４実施形態の一変形例に係るラジアルフォイル軸受の要部を平坦化して（ａ）径方向から視た平面図、（ｂ）軸方向から視た正面図である。 図１６（ａ）に示す要部の矢視Ｂ−Ｂ断面図である。

以下、図面を参照して本開示のラジアルフォイル軸受を詳しく説明する。

図１は、本開示のラジアルフォイル軸受が適用されるターボ機械の一例を示す側面図である。
図１中、符号１は回転軸（シャフト）、符号２は回転軸の軸方向の一方側の先端に設けられたインペラ、符号３は本開示に係るラジアルフォイル軸受である。なお、図１では省略してラジアルフォイル軸受を一つしか記載していないが、通常は回転軸１の軸方向にラジアルフォイル軸受が二つ設けられている。したがって、本開示においてもラジアルフォイル軸受３が二つ設けられている。

回転軸１には、ラジアルフォイル軸受３が外挿（挿通）されている。回転軸１のインペラ２とラジアルフォイル軸受３との間には、スラストカラー４が設けられている。このスラストカラー４の軸方向両側には、スラスト軸受５が配置（挿通）されている。インペラ２は、静止側となるハウジング６内に配置されており、ハウジング６との間にチップクリアランス７を有している。

（第１実施形態）
図２は、本開示の第１実施形態に係るラジアルフォイル軸受３を示す正面図である。
ラジアルフォイル軸受３は、回転軸１に外挿されて、該回転軸１を支持する軸受である。ラジアルフォイル軸受３は、トップフォイル９と、中間フォイル１０（フォイル構造体）と、バックフォイル１１（フォイル構造体）と、軸受ハウジング１２と、を備える。軸受ハウジング１２は、回転軸１が挿通される挿通孔１２ａを有する。

なお、以下の説明においては、挿通孔１２ａを基準に各部材の位置関係を説明することがある。具体的に、「軸方向」とは、挿通孔１２ａが延びる方向（回転軸１が挿通される方向）を言う。また、「径方向」とは、挿通孔１２ａの径方向を言う。また、「周方向」とは、挿通孔１２ａの内周面に沿った周方向を言う。

軸受ハウジング１２は、径方向におけるラジアルフォイル軸受３の最外部を構成する円筒状の部材である。軸受ハウジング１２には、挿通孔１２ａが形成されている。挿通孔１２ａには、バックフォイル１１、中間フォイル１０、トップフォイル９が収容されている。具体的に、バックフォイル１１は挿通孔１２ａの内周面に支持され、中間フォイル１０はバックフォイル１１に支持され、トップフォイル９は中間フォイル１０に支持されている。つまり、中間フォイル１０及びバックフォイル１１は、トップフォイル９と軸受ハウジング１２との間に介在するフォイル構造体と言える。なお、本開示の軸受ハウジング１２は、挿通孔１２ａを備える円筒状の部材である。しかし、挿通孔１２ａを有すれば、軸受ハウジング１２は、円筒状以外の部材（例えば角柱状の部材）であってもよい。

図３は、本開示の第１実施形態に係るトップフォイル９を展開した平面図である。
トップフォイル９は、図３に示すように、周方向を長辺とし、軸方向を短辺とする矩形状の金属箔である。このトップフォイル９は、図２に示すように、円筒状に巻かれて、回転軸１の周面に対向して配置されている。

トップフォイル９の長辺方向における一方の短辺（端部，第１端）には、図３に示すように、長辺方向の一方側に突出する一つの凸部２１ａと、凸部２１ａの短辺方向両側に形成された二つの凹部２２ａとを有してなる第１の凹凸部２３ａが形成されている。すなわち、トップフォイル９の長辺方向における一方の短辺は、長辺方向の一方側に突出する一つの凸部２１ａと、凸部２１ａの短辺方向両側に延接する段差とを備える。

また、トップフォイル９の当該一方の短辺と反対の他方の短辺（長辺方向における他方側に位置する短辺（端部，第２端））には、短辺方向において離隔する二つの凸部２１ｂと、当該二つの凸部２１ｂの間に位置する一つの凹部２２ｂと、を有してなる第２の凹凸部２３ｂが形成されている。あるいは、トップフォイル９の長辺方向の他方側に位置する短辺には、長辺方向の一方側に窪む凹部２２ｂと、凹部２２ｂの短辺方向両側に位置する段差とを備える。

第２の凹凸部２３ｂの凹部２２ｂは、第１の凹凸部２３ａの凸部２１ａに対応して形成されている。また、第１の凹凸部２３ａの凹部２２ａは、第２の凹凸部２３ｂの凸部２１ｂに対応して形成されている。つまり、凹部２２ｂの短辺方向の間隔の最少が、凸部２１ａの短辺方向の幅の最大より大きい。本開示の凹部２２ｂの長辺方向の間隔と、凸部２１ａの長辺方向の間隔は、長辺方向において一定である。

第２の凹凸部２３ｂの凹部２２ｂは、第１の凹凸部２３ａと第２の凹凸部２３ｂとが重なるようにトップフォイル９を円筒状に巻いた際、凹部２２ｂ内を凸部２１ａが通り抜けるように形成されている。同様に、第１の凹凸部２３ａの凹部２２ａは、トップフォイル９を円筒状に巻いた際、該凹部２２ａ内を凸部２１ｂがそれぞれ通り抜けるように形成されている。つまり、トップフォイル９は、第１端（一方の短辺）から周方向一方側に延伸する部位（凸部２１ａ）と、第２端（他方の短辺）から周方向他方側に延伸する部位（凸部２１ｂ）が、軸方向に交差している。

凹部２２ｂ、２２ａを通り抜けた凸部２１ａ、２１ｂ（トップフォイル９の両端）は、図２に示すように、それぞれ軸受ハウジング１２側に引き出される。すなわち、挿通孔１２ａの内周側に配されたトップフォイル９を軸方向から見ると、凸部２１ａと凸部２１ｂが交差している。また、トップフォイル９の凸部２１ａは、軸方向において、２つの凸部２１ｂの間に位置する。軸受ハウジング１２には、挿通孔１２ａの内周面に、凸部２１ａ、２１ｂが挿入される通し溝１４が形成されている。通し溝１４は、軸受ハウジング１２の軸方向の一方の端面１２ｂから他方の端面１２ｂまで軸方向に沿って形成されている。

バックフォイル１１は、軸受ハウジング１２と中間フォイル１０との間に配置されている。バックフォイル１１は、中間フォイル１０及びトップフォイル９を弾性的に支持するフォイル（薄板）である。このようなバックフォイル１１としては、例えばバンプフォイルや、特開２００６−５７６５２号公報や特開２００４−２７０９０４号公報などに記載されているスプリングフォイル、特開２００９−２９９７４８号公報などに記載されているバックフォイルなどが用いられる。本実施形態では、バックフォイル１１としてバンプフォイルを用いている。

本開示のバックフォイル１１は、挿通孔１２ａの内周面に沿って配置された３つ（複数）のバックフォイル片１１ａによって構成されている。バックフォイル片１１ａは、フォイル（薄板）が周方向に波板状になっている。３つのバックフォイル片１１ａは、軸方向から見たとき、全体として略円筒状になるよう湾曲している。つまり、バックフォイル片１１ａは、挿通孔１２ａの内周面に沿って配置される。本開示では、バックフォイル片１１ａの３つが全て同じ形状・寸法に形成されている。したがって、これらバックフォイル片１１ａは、挿通孔１２ａの内周面を周方向において略３分割して配置されている。

バックフォイル片１１ａは、径方向内側に突出する山部１１ｃと、山部１１ｃから見て径方向外側に突出する谷部１１ｂと、が周方向において交互に形成されている。つまり、バックフォイル片１１ａ（バックフォイル１１）は、挿通孔１２ａの径方向に凹凸を有する。谷部１１ｂの挿通孔１２ａと対向する平坦部は、軸受ハウジング１２に当接可能である。また、山部１１ｃは、中間フォイル１０（中間フォイル片１０ａ）に当接可能である。このように、バックフォイル片１１ａは、山部１１ｃにより、中間フォイル片１０ａを介してトップフォイル９を弾性的に支持している。なお、バックフォイル片１１ａの周方向両端は、いずれも谷部１１ｂとなっている。

中間フォイル１０は、トップフォイル９とバックフォイル１１との間に配置されている。中間フォイル１０は、本開示では、挿通孔１２ａの内周面に沿って配置された３つの中間フォイル片１０ａによって構成されている。３つの中間フォイル片１０ａは、展開形状が略矩形状であり、軸方向から見たとき、図２に示すように、全体として略円筒状になるよう湾曲している。本開示では、中間フォイル片１０ａの３つが全て同じ形状・寸法に形成されている。したがって、これら中間フォイル片１０ａは、挿通孔１２ａの内周面を周方向において略３分割して配置されている。

中間フォイル片１０ａの厚みは、バックフォイル片１１ａよりも薄い。中間フォイル片１０ａの外形は、バックフォイル片１１ａの外形と略等しい大きさを有する。この中間フォイル片１０ａは、バックフォイル１１の山部１１ｃの頂部に接している。中間フォイル片１０ａは、径方向の外側に向かって曲げられた一対の折り曲げ部１７を有する。すなわち、この一対の折り曲げ部１７は、トップフォイル９から離隔している。一対の折り曲げ部１７は、中間フォイル片１０ａの周方向両端の間の周方向位置（本開示では周方向における中間フォイル片１０ａの中央位置）に形成されている。

軸受ハウジング１２の軸方向両側の端面１２ｂには、図２に示すようにそれぞれ、挿通孔１２ａの内周縁から径方向外側に向かって延びる一対の嵌合溝１５が形成されている。
本開示の嵌合溝１５は、軸受ハウジング１２の端面１２ｂを、その周方向にほぼ３分割する位置に、それぞれ形成されている。そして、これら嵌合溝１５には、上述した中間フォイル片１０ａの一対の折り曲げ部１７が嵌合している。

本開示では、３つの嵌合溝１５のうちの２つの嵌合溝１５の間に、通し溝１４が配置されている。また、嵌合溝１５の一つは、通し溝１４と径方向において対向している。嵌合溝１５を形成するには、エンドミルによる切削加工等が適宜選択できる。また、嵌合溝１５は、軸受ハウジング１２の内周縁から外周縁まで貫通して形成されていなくてもよい。

図４は、本開示の第１実施形態に係るラジアルフォイル軸受３の要部の拡大斜視図である。
図４に示すように、バックフォイル片１１ａには、それぞれの周方向両端の間の周方向位置（挿通孔１２ａの周方向に沿う方向の中央部）の両側周縁部に、切欠１６が形成されている。つまり、バックフォイル片１１ａの周方向に沿った縁部の周方向両端の間の周方向位置には、軸方向に凹みが存在する。

切欠１６は、バックフォイル片１１ａの谷部１１ｂに形成されている。本開示の切欠１６は、谷部１１ｂ及びこの谷部１１ｂを挟んで隣り合う山部１１ｃ、１１ｃの根元部を含む領域が、軸受ハウジング１２の軸方向中心部に向かって切り欠かれて形成されたものである。つまり、切欠１６は、谷部１１ｂを含む周方向位置に亘り形成されている。切欠１６は、軸受ハウジング１２の嵌合溝１５に対応する位置、すなわち嵌合溝１５と径方向において重なる位置に形成されている。また、切欠１６の幅が嵌合溝１５の幅と同じに形成されている。

中間フォイル片１０ａには、それぞれの周方向両端の間の周方向位置（挿通孔１２ａの周方向に沿う方向の中央部）の両側周縁部に、一対の折り曲げ部１７が形成されている。つまり、中間フォイル片１０ａは、軸方向において対向する位置に、２つの一対の折り曲げ部１７を有している。あるいは、中間フォイル片１０ａは、軸方向の両側の端縁に、それぞれ一対の折り曲げ部１７を有している。

中間フォイル片１０ａには、一対の折り曲げ部１７を径方向外側に向かって切り起こすための切込み１０ｄが形成されている。つまり、中間フォイル片１０ａの周方向に沿った縁部の周方向両端の間の周方向位置には、軸方向に凹みが存在する。一対の折り曲げ部１７は、周方向において離隔している。一対の折り曲げ部１７は、軸方向における幅が一定の矩形板状に形成されている。また、一対の折り曲げ部１７は、中間フォイル片１０ａの平坦部に対して径方向外側に向かって略９０°に曲げられている。

一対の折り曲げ部１７は、バックフォイル片１１ａの切欠１６を径方向に通過し、軸受ハウジング１２の嵌合溝１５に嵌合している。つまり、一対の折り曲げ部１７は、バックフォイル片１１ａの切欠１６、軸受ハウジング１２の嵌合溝１５に対応する位置、すなわち切欠１６、嵌合溝１５と重なる位置に形成されている。図２に示すように、中間フォイル片１０ａが挿通孔１２ａの装着によって湾曲すると、一対の折り曲げ部１７は、周方向両側に広がり、嵌合溝１５の周方向の両側面に当接する。これにより、一対の折り曲げ部１７と嵌合溝１５との間に摩擦力が発現し、中間フォイル片１０ａが軸受ハウジング１２に保持される。

次に、このような構成からなるラジアルフォイル軸受３の作用について説明する。
回転軸１が停止した状態では、トップフォイル９はバックフォイル１１（３つのバックフォイル片１１ａ）によって中間フォイル１０（３つの中間フォイル片１０ａ）を介して回転軸１側に付勢されることで回転軸１に密着している。

そして、回転軸１を図２中の矢印Ｐ方向に始動させると、最初は低速で回転を始め、その後徐々に加速して高速で回転する。すると、図２中矢印Ｑで示すように、トップフォイル９、中間フォイル１０、バックフォイル１１のそれぞれの一端側から周囲流体が引き入れられ、トップフォイル９と回転軸１との間に流入する。これにより、トップフォイル９と回転軸１との間に流体潤滑膜が形成される。

この流体潤滑膜の膜圧は、トップフォイル９に作用し、該トップフォイル９に接する中間フォイル１０を介してバックフォイル片１１ａの個々の山部１１ｃを押圧する。すると、バックフォイル片１１ａは中間フォイル１０に押圧されることにより、その山部１１ｃが押し広げられ、これによってバックフォイル片１１ａは軸受ハウジング１２上をその周方向に動こうとする。すなわち、バックフォイル片１１ａ（バックフォイル１１）は、中間フォイル１０を介してトップフォイル９を弾性的に支持するため、トップフォイル９から荷重を受けた際にはその周方向に変形することで、トップフォイル９や中間フォイル１０の撓みを許容し、これを支持する。

ここで、図４に示すように、バックフォイル片１１ａには、軸方向の端縁に形成された切欠１６に、中間フォイル片１０ａの一対の折り曲げ部１７が挿通されている。一対の折り曲げ部１７は、軸受ハウジング１２の端面１２ｂに形成された嵌合溝１５に嵌合しており、この一対の折り曲げ部１７が切欠１６に挿通されることで、周方向におけるバックフォイル片１１ａの回転が抑制される。したがって、バックフォイル片１１ａの個々の山部１１ｃは、一対の折り曲げ部１７が挿通されている切欠１６を挟み周方向に変形する（動く）。

一対の折り曲げ部１７は、軸方向において対向する位置に２つ設けられ、軸受ハウジング１２と軸方向において対向すると共に、バックフォイル片１１ａとも軸方向において対向している。つまり、一対の折り曲げ部１７は、軸受ハウジング１２に対する中間フォイル片１０ａの軸方向の移動を抑制すると共に、バックフォイル片１１ａの軸方向の移動も抑制している。よって、軸受ハウジング１２からの中間フォイル片１０ａ及びバックフォイル片１１ａの脱落が抑制される。

中間フォイル片１０ａは、トップフォイル９からバックフォイル片１１ａへ荷重を伝える際、トップフォイル９およびバックフォイル片１１ａと共に撓むが、このとき中間フォイル片１０ａとトップフォイル９やバックフォイル片１１ａ、軸受ハウジング１２との間で「滑り」が生じる。すなわち、回転軸１の軸振動により流体潤滑膜に圧力変動が生じると、トップフォイル９に圧力変動が伝達し、当該「滑り」が生じる。この「滑り」が摩擦によるエネルギー散逸を引き起こし、膜圧変動を減衰させるので、回転軸１の軸振動が抑制される。

回転軸１の軸振動による変動荷重（負荷と除荷の繰り返し）がバックフォイル片１１ａに作用し、例えば荷重が除荷側になったとき、バックフォイル片１１ａは、軸受ハウジング１２の挿通孔１２ａの内周面から僅かに浮き上がる。このとき、中間フォイル片１０ａは、バックフォイル片１１ａと一緒に持ち上げられる。ここで、中間フォイル片１０ａの一対の折り曲げ部１７は、軸受ハウジング１２の嵌合溝１５の周方向の両側面に当接しているため、一対の折り曲げ部１７と嵌合溝１５との間で「滑り」が生じ、これが摩擦によるエネルギー散逸を引き起こし、減衰として寄与する。図２に示すように、中間フォイル片１０ａが挿通孔１２ａへの装着によって湾曲し、一対の折り曲げ部１７が周方向両側に広がり、嵌合溝１５の周方向の両側面に押し付けられているので、一対の折り曲げ部１７の嵌合溝１５の周方向の両側面への接触力が弱まることが無く、確実に摩擦減衰効果が発揮される。なお、荷重が負荷側になったときも同様である。

このように、上述のラジアルフォイル軸受３によれば、挿通孔１２ａを有する軸受ハウジング１２と、挿通孔１２ａの内側に配置されたトップフォイル９と、トップフォイル９と軸受ハウジング１２との間に介在するフォイル構造体（中間フォイル１０、バックフォイル１１）と、を備え、中間フォイル１０は、挿通孔１２ａの径方向の外側に向かって曲げられ、且つ、挿通孔１２ａの周方向において離隔した一対の折り曲げ部１７を有し、一対の折り曲げ部１７が、挿通孔１２ａが延びる軸方向における軸受ハウジング１２の端面１２ｂに形成された嵌合溝１５の周方向の両側面に当接している、という構成を採用することによって、フォイルの摩擦による減衰効果の向上を図ることができる。

上記第１実施形態のラジアルフォイル軸受３は、下記図５に示すような構成を採用してもよい。

図５は、本開示の第１実施形態の一変形例に係るラジアルフォイル軸受３の要部の拡大斜視図である。
図５に示す中間フォイル片１０ａには、周方向において離隔した２つの切込み１０ｄから、それぞれ径方向外側に向かって切り起こされた一対の折り曲げ部１７が形成されている。つまり、中間フォイル片１０ａの周方向に沿った縁部の周方向両端の間の周方向位置には、軸方向に２つ凹みが存在する。

２つの凹み（切込み１０ｄ）の間には、凸部１８が形成されている。一対の折り曲げ部１７は、凸部１８の周方向両側に接続されている。つまり、一対の折り曲げ部１７は、凸部１８から周方向両側に延伸した部分を、径方向外側に折り曲げて形成されている。このような構成によれば、図４に示すように一対の折り曲げ部１７の長さが、その間の切込み１０ｄの周方向における寸法に制限されることがない。また、図５に示す構成によれば、一対の折り曲げ部１７の周方向において離隔する寸法を広げることなく、一対の折り曲げ部１７を長く形成できる。これにより、嵌合溝１５を周方向に大きくすることなく、また、一対の折り曲げ部１７を長くし嵌合溝１５に嵌合させ易くすることができる。

（第２実施形態）
次に、本開示の第２実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。

図６は、本開示の第２実施形態に係るラジアルフォイル軸受３の要部を平坦化して軸方向から視た正面図である。図７は、本開示の第２実施形態に係る中間フォイル片１０ａを平坦化して径方向から視た平面図である。図８は、本開示の第２実施形態に係るバックフォイル片１１ａを平坦化して径方向から視た平面図である。
これらの図に示すように、第２実施形態のラジアルフォイル軸受３は、バックフォイル片１１ａの谷部１１ｂにスリット状の切欠１６が形成されている点で、上記実施形態と異なる。

図８に示すように、バックフォイル片１１ａは、周方向（図８の紙面左右方向）において谷部１１ｂと山部１１ｃとを交互に有している。切欠１６は、バックフォイル１１のいずれか一つの山部１１ｃの両側に配置された一対の谷部１１ｂに形成されている。図８に示すバックフォイル片１１ａには、それぞれの周方向両端の間の周方向位置（挿通孔１２ａの周方向に沿う方向の中央部）の山部１１ｃに対し、その周方向両側に配置された一対の谷部１１ｂに切欠１６が形成されている。

切欠１６の周方向の寸法は、谷部１１ｂの軸受ハウジング１２と接する平坦部の寸法以下である。つまり、バックフォイル片１１ａは、山部１１ｃにまで広がらないスリット状の切欠１６を備えている。図６に示すバックフォイル片１１ａは、奇数個の山部１１ｃを備えている。つまり、バックフォイル片１１ａは、中間フォイル片１０ａの周方向中央部を山部１１ｃの頂部で支持しており、その山部１１ｃの周方向両側の谷部１１ｂに切欠１６が形成されている。

上記構成の第２実施形態によれば、上述した第１実施形態の作用効果に加えて、切欠１６が形成された谷部１１ｂと周方向で隣り合う山部１１ｃの根本部を含む領域を、図４に示すように切り欠くことなく、一対の折り曲げ部１７を径方向に通過させることができる。これにより、山部１１ｃの剛性を弱めることなく、バックフォイル片１１ａがトップフォイル９を安定して支持できるため、トップフォイル９と回転軸１との間に良好な流体潤滑膜が形成される。

また、上記第２実施形態のラジアルフォイル軸受３は、さらに、下記図９に示すような構成を採用してもよい。

図９は、本開示の第２実施形態の一変形例に係る中間フォイル片１０ａを平坦化して径方向から視た平面図である。なお、図９の紙面上側では、一対の折り曲げ部１７を折り曲げる前の中間フォイル片１０ａを図示しており、図９の紙面下側では、一対の折り曲げ部１７を折り曲げた後の中間フォイル片１０ａを図示している。
図９に示すように、中間フォイル片１０ａには、第１スリット１９ａ及び第２スリット１９ｂによって、直角三角形状の一対の折り曲げ部１７が形成されている。

第１スリット１９ａは、中間フォイル片１０ａの軸方向の一方の端縁から他方の端縁に向かうに従って周方向の一方側（図９の紙面左側）に向かって斜めに延伸している。また、第２スリット１９ｂは、第１スリット１９ａの端部から周方向の他方側（図９の紙面右側）に向かって中間フォイル片１０ａの端縁と平行に延伸している。つまり、中間フォイル片１０ａの周方向に沿った縁部の周方向両端の間の周方向位置には、平面視Ｚ字状（具体的には∠字状）のスリット（切込み）が存在する。

中間フォイル片１０ａのＺ字状のスリットによって離隔した部分を、径方向外側に折り曲げることで、一対の折り曲げ部１７を形成することができる。このように形成された一対の折り曲げ部１７は、それぞれが直角三角形状を有し、切込み１０ｄの周方向における寸法と同等の長さを有することができる。つまり、一対の折り曲げ部１７の周方向において離隔する寸法を広げることなく、一対の折り曲げ部１７を長く形成できる。また、一対の折り曲げ部１７は、軸方向における幅が径方向内側に向かうに従って大きくなる（根本が太くなる）ので、一対の折り曲げ部１７の剛性も確保できる。

（第３実施形態）
次に、本開示の第３実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。

図１０は、本開示の第３実施形態に係るラジアルフォイル軸受３の要部を平坦化して軸方向から視た正面図である。図１１は、本開示の第３実施形態に係るラジアルフォイル軸受３の要部を平坦化して径方向から視た平面図である。なお、図１１の紙面上側では、視認性の向上のため、バックフォイル片１１ａ上の中間フォイル片１０ａを図示していない。
これらの図に示すように、中間フォイル片１０ａには、バックフォイル片１１ａに向かって径方向外側に突出する溝部１０ｅが形成されている。

溝部１０ｅは、図１０に示すように、軸方向から視て略Ｖ字状に形成されている。溝部１０ｅは、バックフォイル片１１ａの波板状のうち、いずれか一つの山部１１ｃの頂部と、該山部１１ｃと隣接する山部１１ｃの頂部の間の周方向位置に配置されている。溝部１０ｅは、山部１１ｃの頂部以外の場所（側面）に接するように、斜めに形成されている。つまり、山部１１ｃの側面は、曲面であり、この側面と接触する溝部１０ｅの接触面は、斜面である。すなわち、山部１１ｃの側面と溝部１０ｅは、１点で接触し、その他の場所で離間しており、その接触点における摩擦によるエネルギー散逸が発生し易くなっている。

上記構成によれば、中間フォイル片１０ａに、山部１１ｃの頂部に接する第１の接触点の他に、溝部１０ｅにおいてバックフォイル片１１ａの山部１１ｃの頂部以外の場所に接する第２の接触点が形成されている。このため、中間フォイル片１０ａとバックフォイル片１１ａとの接触面積が増え、中間フォイル片１０ａとバックフォイル片１１ａとの摩擦による減衰効果が高くなり、高速で回転する回転軸１を支持したときの安定性をより高めることができる。

また、上記第３実施形態のラジアルフォイル軸受３は、さらに、下記図１２及び図１３に示すような構成を採用してもよい。

図１２は、本開示の第３実施形態の一変形例に係るラジアルフォイル軸受３の要部を平坦化して軸方向から視た正面図である。図１３は、本開示の第３実施形態の一変形例に係るラジアルフォイル軸受３の要部を平坦化して径方向から視た平面図である。なお、図１３の紙面上側では、視認性の向上のため、バックフォイル片１１ａ上の中間フォイル片１０ａを図示していない。
これらの図に示すように、バックフォイル片１１ａには、軸受ハウジング１２の挿通孔１２ａの内周面に接する平坦部１１ｅ２が形成されている。

バックフォイル片１１ａは、切欠１６を挟んで隣り合う山部１１ｃ、１１ｃが、周方向に延伸するスリット１１ｄによって、山形状の支持部１１ｅ１と、平坦部１１ｅ２に分離している。そのため、軸方向にスリット１１ｄを挟み、軸方向に対向した、支持部１１ｅ１は、平坦部ｅ２と独立して変形することが可能である。図１２に示すスリット１１ｄは、少なくとも支持部１１ｅ１に隣接する、谷部１１ｂまで形成されている。

スリット１１ｄは、バックフォイル片１１ａの軸方向中央部に向かう切欠１６の端部から周方向両側に延伸している。つまり、バックフォイル片１１ａの周方向に沿った縁部の周方向両端の間の周方向位置には、軸方向にＴ字状の凹みが存在する。支持部１１ｅ１は、スリット１１ｄよりも軸方向内側に位置し、平坦部１１ｅ２は、スリット１１ｄよりも軸方向外側に位置する。平坦部１１ｅ２は、谷部１１ｂと接続され、軸受ハウジング１２の挿通孔１２ａの内周面に当接している。

上記構成によれば、バックフォイル片１１ａに、谷部１１ｂの他に、平坦部１１ｅ２において軸受ハウジング１２の挿通孔１２ａの内周面に接する第２の接触点が形成されている。このため、バックフォイル片１１ａと軸受ハウジング１２との接触面積が増え、バックフォイル片１１ａと軸受ハウジング１２との摩擦による減衰効果が高くなり、高速で回転する回転軸１を支持したときの安定性をより高めることができる。

（第４実施形態）
次に、本開示の第４実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。

図１４は、本開示の第４実施形態に係るラジアルフォイル軸受３の要部を平坦化して（ａ）径方向から視た平面図、（ｂ）軸方向から視た正面図である。図１５は、図１４（ａ）に示す要部の矢視Ａ−Ａ断面図である。
第４実施形態では、中間フォイル片１０ａは、バックフォイル１１の山部１１ｃの頂部に接する平面部１０ｂと、平面部１０ｂよりも径方向外側に窪む（突出する）溝部１０ｃと、を有する。溝部１０ｃには、上述した一対の折り曲げ部１７が形成されている。中間フォイル１０（中間フォイル片１０ａ）には、平面部１０ｂから分岐した分岐片４０（突出部）が設けられている。すなわち、中間フォイル片１０ａの径方向外側の面に対し、径方向外側に突出する部位が延設されている。

分岐片４０は、図１４（ａ）に示すように、平面部１０ｂにスリット４１を形成し、スリット４１によって囲まれた部分を、径方向外側に突出するように張り出した（切り起こした）ものである。本開示では、スリット４１が周方向に平行な２本の切込みと、当該２本の切込みの端部をつなぐ軸方向に平行な切込みにより形成されている。このスリット４１によって囲まれた矩形状の分岐片４０が、径方向外側に突出するように斜めに張り出している。すなわち、平行な２本の切込の、軸方向に平行な切込みと接続しない端部から、分岐片４０が延伸している。分岐片４０は軸方向に平行な切込みと接続しない端部から周方向に離隔するとともに、径方向外側に離隔している。あるいは、軸方向に平行な切込みと接続しない端部から周方向に離隔するとともに、径方向位置が径方向外側に単調増加するともいえる。この分岐片４０は、バックフォイル片１１ａの波板状のうち、少なくともいずれか一つの山部１１ｃの頂部と、該山部１１ｃと隣接する山部２２ｃの頂部との間の周方向位置において、バックフォイル片１１ａ側に突出している。

また、図１５に示すように、分岐片４０は、バックフォイル片１１ａの山部１１ｃを挟むように対で設けられている。すなわち、スリット４１は、バックフォイル片１１ａの山部１１ｃに対応する位置の両側に形成され、これらスリット４１から切り起こされた分岐片４０の組は互いに離反するように延伸している。つまり、周方向に離隔した周方向に平行な２つの切込みが、それぞれ１の山部１１ｃの周方向位置と重なるように設けられている。そして、周方向に平行な２つの切込みのうち、互いに離隔する側の端部から、軸方向に平行な切込みが延伸している。この構成により、山部を挟み、周方向両端が径方向外側に突出し、その間が径方向内側に位置するように、２つの分岐片４０が構成される。周方向においてバックフォイル片１１ａの山部１１ｃを挟み設けられた２つの分岐片４０（一組の分岐片）は、バックフォイル片１１ａの山部１１ｃを周方向両側から挟むように、山部１１ｃと接触する。本開示では、図１４（ａ）に示すように、平面部１０ｂにスリット４１が２列で設けられており、１つの山部１１ｃに対して４つの分岐片４０が接するようになっている。なお、スリット４１（分岐片４０）は、単列であっても、３列以上で設けてもよい。

また、中間フォイル１０の平面部１０ｂ（分岐を含まず、周方向に取り囲んだ略円形の閉曲線を、中間フォイル１０の軸方向幅にトレースして得られる平面上に位置する部分）には、バックフォイル１１の周方向において隣り合う第１の山部１１ｃ（図１５に示す左側の山部１１ｃ）の頂部と第２の山部１１ｃ（図１５に示す右側の山部１１ｃ）の頂部との間に、分岐片４０が分岐する分岐位置４３が設けられている。また、本開示においては、平面部１０ｂには、第１の山部１１ｃの頂部と第２の山部１１ｃの頂部との間に、分岐位置４３（図１５に示す左側の分岐位置４３）と異なる位置に第２の分岐位置４３（図１５に示す右側の分岐位置４３）が設けられている。すなわち、バックフォイル１１の周方向において隣り合う第１の山部１１ｃの頂部と第２の山部１１ｃの頂部との間に、２つの分岐片４０が形成される。あるいは、周方向に隣接する谷部１１ｂの間には、周方向に２つの分岐位置４３があるともいえる。本開示のラジアルフォイル軸受３は、挿通された回転軸１が回転していない状態では、分岐位置４３の径方向位置において、中間フォイル片１０ａとバックフォイル片１１ａが径方向に離隔している。

山部１１ｃの頂部を挟んだ周方向両側の位置（側面１１ｃ１）には、互いに離間する方向に開く一対の分岐片４０がそれぞれ接している。すなわち、中間フォイル片１０ａには、平面部１０ｂにおいてバックフォイル片１１ａの山部１１ｃの頂部に接する接触点Ｐ１の他に、分岐片４０においてバックフォイル片１１ａの山部１１ｃの頂部以外の場所に接する接触点Ｐ３が形成されている。
ここで、挿通された回転軸１が回転していない状態では、山部１１ｃの頂部を挟んだ２つの接触点Ｐ３の間に、接触点が構成されていない場合もありうる。その場合でも、挿通された回転軸１が回転することで、山部１１ｃの頂部を挟んだ２つの接触点Ｐ３の間に接触点Ｐ１が生じる。また、分岐片４０の径方向外側の面は、山部１１ｃの頂部側から当該山部１１ｃに隣接する谷部１１ｂに向かい、接触点Ｐ３を越えて延伸している。ただし、当該山部１１ｃに隣接する谷部１１ｂの径方向位置までは達していない。
山部１１ｃの側面１１ｃ１は、曲面であり、この側面１１ｃ１と接触する分岐片４０は、平面状である。すなわち、山部１１ｃの側面１１ｃ１と分岐片４０は、接触点Ｐ３の１点で接触し、その他の場所で離間しており、接触点Ｐ３におけるすべりが発生し易くなっている。

上記構成の第４実施形態によれば、バックフォイル１１の周方向において隣り合う第１の山部１１ｃの頂部と第２の山部１１ｃの頂部との間に、平面部１０ｂから分岐片４０が分岐する分岐位置４３及び第２の分岐位置４３が設けられ、図１５に示すように、分岐片４０が、バックフォイル１１の山部１１ｃの頂部以外の場所に接している。したがって、中間フォイル１０とバックフォイル１１とが、平面部１０ｂだけでなく、平面部１０ｂから分岐した分岐片４０においても接触することとなり、両者の接触位置が増えるため、中間フォイル１０とバックフォイル１１との摩擦による減衰効果が高くなる。すなわち、１つの山部１１ｃ当たり、２箇所の接触点Ｐ３が形成される。

また、分岐片４０は、バックフォイル１１の山部１１ｃを挟むように対で設けられているため、バックフォイル１１が周方向に伸長あるいは収縮するように変形するいずれの場合であっても、常に山部１１ｃとの接触状態を保つことができ、中間フォイル１０とバックフォイル１１との摩擦による減衰効果を高めることができる。

上記第４実施形態のラジアルフォイル軸受３は、下記図１６及び図１７に示すような構成を採用してもよい。

図１６は、本開示の第４実施形態の一変形例に係るラジアルフォイル軸受３の要部を平坦化して（ａ）径方向から視た平面図、（ｂ）軸方向から視た正面図である。図１７は、図１６（ａ）に示す要部の矢視Ｂ−Ｂ断面図である。
図１６及び図１７に示す中間フォイル１０は、上述した分岐片４０と形状の異なる分岐片４０Ｂを備えている。

分岐片４０Ｂは、図１６（ａ）に示すように、平面部１０ｂにスリット４１Ｂを形成し、スリット４１Ｂによって囲まれた部分を、径方向外側に突出するように張り出したものである。すなわち、本開示の分岐片４０Ｂは、周方向に沿って平面部１０ｂから径方向外側に突出し、突出のピークを越え径方向内側に延伸している。本開示では、スリット４１ＢがＨ字状に形成されており、このスリット４１Ｂによって形成された２つの分岐片４０Ｂが、径方向外側に突出するように曲面状に張り出して波板形状となっている。つまり、周方向に見た場合、矩形状に切欠かれた切欠きの、周方向両端の辺からそれぞれ分岐片４０Ｂが、他方側の端辺に向かって延伸しているといえる。そして、この２つの分岐片４０Ｂの先端は、周方向に離隔している。

図１７に示すように、分岐片４０Ｂは、バックフォイル片１１ａの谷部１１ｂに対応する位置に配置されている。すなわち、分岐片４０Ｂは、谷部１１ｂの径方向位置を含み、谷部１１ｂの周方向両側に隣接する山部１１ｃにまで延伸している。ただし、分岐片４０Ｂの先端は、山部１１ｃの頂点より谷部１１ｂ側に位置する。よって、分岐片４０Ｂは、１つの山部１１ｃを含み隣接する山部１１ｃの周方向位置まで延伸している。図１６（ａ）に示すように、スリット４１Ｂの中央部には、径方向からみてバックフォイル１１が露出している領域がある。当該露出している領域からは、バックフォイル片１１ａの山部１１ｃの頂部に対応する位置が露出される。このスリット４１Ｂから切り起こされた分岐片４０Ｂの組は互いに離反するように曲面状に変形し、図１７に示すように、当該スリット４１Ｂの中央部に対応する位置に配置された山部１１ｃの両側に配置された山部１１ｃ、１１ｃと接触する。すなわち、分岐片４０Ｂによって周方向両側から挟まれる山部１１ｃと、分岐片４０Ｂによって周方向両側から挟まれない山部１１ｃとが、交互に配置される。あるいは、バックフォイル片１１ａの山部１１ｃの頂部と、分岐片４０Ｂのピークが周方向に交互に現れるともいえる。あるいは、山部１１ｃの頂部と隣接する山部１１ｃの頂部の間に、１つの分岐片４０Ｂのピークが存在するともいえる。なお、ここで言うピークとは、径方向位置のピークである。

平面部１０ｂには、バックフォイル１１の周方向において隣り合う第１の山部１１ｃの頂部と第２の山部１１ｃの頂部との間に、分岐片４０Ｂが分岐する分岐位置４３Ｂが設けられている。すなわち、バックフォイル１１の周方向において隣り合う第１の山部１１ｃの頂部と第２の山部１１ｃの頂部との間に、１つの分岐片４０Ｂが形成される。分岐片４０Ｂは、平面部１０ｂから径方向外側に離隔する離隔部４０Ｂ１と、離隔部４０Ｂ１から延伸し平面部１０ｂに向かって径方向内側に近接する近接部４０Ｂ２と、近接部４０Ｂ２から延伸し平面部１０ｂに沿って延在する先端部４０Ｂ３と、を備える。離隔部４０Ｂ１と近接部４０Ｂ２は、同一の曲率半径で滑らかな曲面形状となっている。なお、離隔部４０Ｂ１と近接部４０Ｂ２は、直線形状と直線形状の組み合わせであってもよいし、直線形状と曲線形状を組み合わせたものであってもよい。

山部１１ｃの側面１１ｃ１には、分岐片４０Ｂの離隔部４０Ｂ１が接している。すなわち、中間フォイル片１０ａには、平面部１０ｂにおいてバックフォイル片１１ａの山部１１ｃの頂部に接する接触点Ｐ１の他に、分岐片４０Ｂの離隔部４０Ｂ１においてバックフォイル片１１ａの山部１１ｃの頂部以外の場所に接する接触点Ｐ４が形成されている。山部１１ｃの側面１１ｃ１は、曲面であり、この側面１１ｃ１と接触する分岐片４０Ｂの離隔部４０Ｂ１は、互いに凸となる曲面である。すなわち、山部１１ｃの側面１１ｃ１と分岐片４０Ｂの離隔部４０Ｂ１は、接触点Ｐ４の１点で接触し、その他の場所で離間しており、接触点Ｐ４におけるすべりが発生し易くなっている。つまり、本開示においては、１つの山部１１ｃの頂部を挟み２つの分岐片４０Ｂによる接触点Ｐ４が構成される。他方、当該山部１１ｃと隣接する山部１１ｃは、分岐片４０Ｂとの接触点を備えない構成となっている。また、分岐片４０Ｂの分岐位置４３Ｂと接触点Ｐ４の間の長さと比べ、接触点Ｐ４から分岐片４０Ｂの先端までの長さが長くなっている。つまり、本開示においては、接触点Ｐ４から分岐片４０Ｂの先端までの長さは、接触点Ｐ４に挟まれた山部１１ｃの頂部から接触点Ｐ４までの長さと比べ長くなっている。

上記構成によれば、バックフォイル１１の周方向において隣り合う第１の山部１１ｃの頂部と第２の山部１１ｃの頂部との間に、平面部１０ｂから分岐片４０Ｂが分岐する分岐位置４３Ｂが設けられ、図１７に示すように、分岐片４０Ｂが、バックフォイル１１の山部１１ｃの頂部以外の場所に接している。したがって、中間フォイル１０とバックフォイル１１とが、平面部１０ｂだけでなく、平面部１０ｂから分岐した分岐片４０Ｂにおいても接触することとなり、両者の接触位置が増えるため、中間フォイル１０とバックフォイル１１との摩擦による減衰効果が高くなる。

また、分岐片４０Ｂは、山部１１ｃを挟むように対で設けられているため、バックフォイル１１が周方向に伸長あるいは収縮するように変形するいずれの場合であっても、山部１１ｃと接触することが可能である。また、分岐片４０Ｂは、平面部１０ｂから径方向外側に離隔する離隔部４０Ｂ１と、離隔部４０Ｂ１から延伸し平面部１０ｂに向かって径方向内側に近接する近接部４０Ｂ２と、を備える波板形状となっており、バックフォイル１１が周方向に変形した際に、山部１１ｃに押されて、あたかもバックフォイル１１（バンプフォイル）のように、図１７において符号Ｓで示すように横滑りを起こす。
このとき、分岐片４０Ｂの先端部４０Ｂ３と、トップフォイル９との間においても「滑り」が生じ得るため、摩擦による減衰効果がさらに高くなる。

以上、図面を参照しながら本開示の実施形態について説明したが、本開示は上記実施形態に限定されるものではない。上述した実施形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本開示の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。

例えば、上記各実施形態及び各変形例の構成の置換、組み合わせは適宜行うことができる。例えば、一対の折り曲げ部１７をバックフォイル１１に形成しても構わない。

３ ラジアルフォイル軸受
９ トップフォイル
１０ 中間フォイル（フォイル構造体）
１０ａ 中間フォイル片
１１ バックフォイル（フォイル構造体）
１１ｂ 谷部
１１ｃ 山部
１２ 軸受ハウジング
１２ａ 挿通孔
１２ｂ 端面
１５ 嵌合溝
１６ 切欠
１７ 一対の折り曲げ部
１９ａ 第１スリット
１９ｂ 第２スリット

Claims (5)

1. 挿通孔を有する軸受ハウジングと、
   前記挿通孔の内側に配置されたトップフォイルと、
   前記トップフォイルと前記軸受ハウジングとの間に介在するフォイル構造体と、を備え、
   前記フォイル構造体は、前記挿通孔の径方向の外側に向かって曲げられ、且つ、前記挿通孔の周方向において離隔した一対の折り曲げ部を有し、
   前記一対の折り曲げ部が、前記挿通孔が延びる軸方向における前記軸受ハウジングの端面に形成された嵌合溝の前記周方向の両側面に押し付けられている、ラジアルフォイル軸受。
2. 前記フォイル構造体は、前記軸方向の両側の端縁に、それぞれ前記一対の折り曲げ部を有する、請求項１に記載のラジアルフォイル軸受。
3. 前記フォイル構造体は、
   前記挿通孔の内周面に沿って配置されたバックフォイルと、
   前記バックフォイルに支持され、前記トップフォイルと接する中間フォイルと、を備え、
   前記中間フォイルが、前記一対の折り曲げ部を有し、
   前記バックフォイルには、前記一対の折り曲げ部が通過する切欠が形成されている、請求項１または２に記載のラジアルフォイル軸受。
4. 前記バックフォイルは、前記周方向において谷部と山部とを交互に有し、
   前記切欠は、前記バックフォイルのいずれか一つの前記山部の両側に配置された一対の前記谷部に形成されている、請求項３に記載のラジアルフォイル軸受。
5. 前記フォイル構造体は、
   前記フォイル構造体の前記軸方向の一方の端縁から他方の端縁に向かうに従って前記周方向の一方側に向かって斜めに延伸する第１スリットと、
   前記第１スリットから前記周方向の他方側に向かって前記フォイル構造体の端縁と平行に延伸する第２スリットと、を有し、
   前記第１スリット及び前記第２スリットによって、前記フォイル構造体に前記一対の折り曲げ部が形成されている、請求項１〜４のいずれか一項に記載のラジアルフォイル軸受。

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