JP6938247B2 - Imprint method, imprint device, and article manufacturing method - Google Patents
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Description
インプリント方法、インプリント装置および、物品製造方法に関する。 The present invention relates to an imprint method, an imprint device, and an article manufacturing method.
半導体デバイスや液晶表示装置等の物品を製造するリソグラフィ方法の一つとしてインプリント方法がある。インプリント方法は、基板上に供給された未硬化のインプリント材に型を接触させて微細パターンの形成を行う方法である。基板上に未硬化のインプリント材を供給する方法として、並列に並んだ複数のノズルを用いて均一な厚みの未硬化のインプリント材を基板の複数のターゲット区域(ショット領域)に供給する方法がある(特許文献1)。 There is an imprint method as one of the lithography methods for manufacturing articles such as semiconductor devices and liquid crystal displays. The imprint method is a method of forming a fine pattern by bringing a mold into contact with an uncured imprint material supplied on a substrate. As a method of supplying the uncured imprint material on the substrate, a method of supplying the uncured imprint material of uniform thickness to a plurality of target areas (shot regions) of the substrate by using a plurality of nozzles arranged in parallel. (Patent Document 1).
しかしながら、特許文献1の方法では、複数のショット領域のそれぞれに対して供給する未硬化のインプリント材の複数の液滴の各ショット領域におけるターゲット供給位置、供給量などの自由度が制限されうる。
However, in the method of
本発明は、例えば、インプリント材の供給位置の自由度を向上させるのに有利なインプリント方法を提供することを目的とする。 It is an object of the present invention to provide, for example, an imprinting method that is advantageous for improving the degree of freedom in the supply position of the imprinting material.
上記課題を解決するために、本発明は、基板上の未硬化のインプリント材を型で成形して硬化させ、硬化したインプリント材のパターンを基板上に設けられた複数のショット領域に形成するインプリント方法であって、基板の面に沿う第1方向に基板を移動させながら、基板上の複数のショット領域のうち、ひとつのショット領域に未硬化のインプリント材を複数の吐出口から複数の液滴として供給する第1工程と、基板を基板の面に沿い、かつ、第1方向と直交する第2方向に移動させながら、ひとつのショット領域の第1工程で付与された液滴とは異なる位置に、未硬化のインプリント材を複数の吐出口から複数の液滴として供給する第2工程と、を有することを特徴とする。 In order to solve the above problems, the present invention forms an uncured imprint material on a substrate with a mold and cures the imprint material, and forms a pattern of the cured imprint material in a plurality of shot regions provided on the substrate. This is an imprinting method in which an uncured imprint material is applied to one shot region from a plurality of discharge ports while moving the substrate in the first direction along the surface of the substrate. The droplets imparted in the first step of one shot region while moving the substrate along the surface of the substrate and in the second direction orthogonal to the first direction in the first step of supplying as a plurality of droplets. characterized in different positions, and a second step of supplying an imprint material uncured as a plurality of droplets from a plurality of discharge ports, to have a the.
本発明によれば、例えば、インプリント材の供給位置の自由度を向上させるのに有利なインプリント方法を提供することができる。 According to the present invention, for example, it is possible to provide an imprinting method that is advantageous for improving the degree of freedom in the supply position of the imprinting material.
以下、本発明を実施するための形態について図面などを参照して説明する。なお、各図面において、同一の部材ないし要素については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
〔実施形態〕
Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to drawings and the like. In each drawing, the same members or elements are given the same reference numbers, and duplicate description will be omitted.
[Embodiment]
(インプリント装置)
図1は、本発明の一実施形態に係るインプリント方法を用いるインプリント装置の構成を示す概略図である。ここでは、光硬化法を用いたインプリント装置として、紫外線の照射によって基板上の未硬化のインプリント材を硬化させる紫外線硬化型インプリント装置を使用した。ただし、インプリント材の硬化方法として、他の波長域の光の照射による方法や、他のエネルギー(例えば、熱)による方法を用いてもよい。また、以下の図においては、基板上のインプリント材に対して照射される紫外線の光軸に平行にZ軸を取り、Z軸に垂直な平面内に互いに直交するX軸およびY軸を取っている。
(Imprint device)
FIG. 1 is a schematic view showing a configuration of an imprinting apparatus using the imprinting method according to the embodiment of the present invention. Here, as an imprinting apparatus using the photocuring method, an ultraviolet curable imprinting apparatus that cures an uncured imprint material on a substrate by irradiation with ultraviolet rays was used. However, as a method for curing the imprint material, a method by irradiating light in another wavelength range or a method using other energy (for example, heat) may be used. Further, in the following figure, the Z-axis is taken parallel to the optical axis of the ultraviolet rays radiated to the imprint material on the substrate, and the X-axis and the Y-axis that are orthogonal to each other are taken in a plane perpendicular to the Z-axis. ing.
インプリント装置1は、光照射部2と、型保持部3と、基板ステージ(基板保持部)4と、供給部(ディスペンサ)5と、制御部6とを備える。光照射部2は、インプリント処理の際に、型Mに対して紫外線UVを照射する。この光照射部2は、不図示であるが、光源と、この光源から発せられた紫外線UVをインプリントに適切な光に調整し、型Mに照射する照明光学系とを含む。光源は、水銀ランプなどのランプ類を採用可能であるが、型Mを透過し、かつ後述のインプリント材Rが硬化する波長の光を発する光源であれば、特に限定するものではない。照明光学系は、レンズ、ミラー、アパーチャ、または照射と遮光を切り替えるためのシャッターなどを含み得る。なお、本実施形態では、光硬化法を採用するために光照射部2を設置しているが、例えば、熱硬化法を採用する場合には、この光照射部2に換えて、熱硬化性樹脂を硬化させるための熱源部を設置することとなる。
The
型(モールド)Mは、外周形状が多角形(好適には、矩形または正方形)であり、基板Wに対する面には、例えば回路パターンなどの転写すべき凹凸パターンが3次元状に形成されたパターン部Pを含む。なお、パターンサイズは、製造対象となる物品により様々であるが、微細なものでは十数ナノメートルのパターンも含まれる。また、型Mの材質は、紫外線UVを透過させることが可能で、かつ熱膨張率の低いことが望ましく、例えば石英とし得る。さらに、型Mは、紫外線UVが照射される面に、平面形状が円形で、かつ、ある程度の深さのキャビティを有する場合もある。 The outer peripheral shape of the mold M is polygonal (preferably rectangular or square), and a pattern in which a concavo-convex pattern to be transferred such as a circuit pattern is formed three-dimensionally on the surface with respect to the substrate W. Includes part P. The pattern size varies depending on the article to be manufactured, but a fine pattern of a dozen nanometers is also included. Further, it is desirable that the material of the mold M is capable of transmitting ultraviolet rays and UV rays and has a low coefficient of thermal expansion, and may be quartz, for example. Further, the mold M may have a cavity having a circular planar shape and a certain depth on the surface irradiated with ultraviolet rays and UV rays.
型保持部3は、型Mを保持するモールドチャック31と、このモールドチャック31を移動自在に保持するモールド駆動部32と、不図示であるが、型M(パターン部P)の形状を補正する倍率補正機構とを有する。モールドチャック31は、型Mにおける紫外線UVの照射面の外周領域を真空吸着力や静電力により引き付けることで型Mを保持し得る。モールドチャック31は、例えば、真空吸着力により型Mを保持する場合、外部に設置された不図示の真空ポンプに接続され、この真空ポンプの排気により吸着圧を適宜調整することで、型Mに対する吸着力(保持力)を調整し得る。
The mold holding portion 3 corrects the shape of the mold M (pattern portion P), although not shown, the mold chuck 31 for holding the mold M and the
モールド駆動部32は、型Mと基板W上のインプリント材Rとの押し付け、または引き離しを選択的に行うように型Mを各軸方向に移動させる。このモールド駆動部32に採用可能な動力源としては、例えば、リニアモータまたはエアシリンダがある。また、モールド駆動部32は、型Mの高精度な位置決めに対応するために、粗動駆動系や微動駆動系などの複数の駆動系から構成され得る。さらに、モールド駆動部32は、Z軸方向だけでなく、X軸方向やY軸方向またはθ(Z軸周りの回転)方向の位置調整機能や、型Mの傾きを補正するためのチルト機能などを有する構成もあり得る。
The
なお、インプリント装置1における押し付けおよび引き離しの各動作は、型MをZ軸方向に移動させることで実現してもよいが、基板ステージ4をZ軸方向に移動させることで実現してもよく、または、その双方を相対的に移動させてもよい。また、モールド駆動部32の駆動時における型Mの位置は、不図示であるが、型Mと基板Wとの間の距離を計測する光学式変位計などの位置計測部により計測可能である。倍率補正機構は、モールドチャック31における型Mの保持側に設置され、型Mの側面に対して外力または変位を機械的に与えることにより型M(パターン部P)の形状を補正する。
The pressing and pulling operations of the
さらに、モールドチャック31およびモールド駆動部32は、平面方向の中心部(内側)に、光照射部2から照射された紫外線UVが基板Wに向かい通過可能とする開口領域33を有する。
Further, the
基板(ウエハ)Wは、例えば、単結晶シリコン基板やSOI(Silicon on Insulator)基板、またはガラス基板である。この基板W上の複数のパターン形成領域(インプリント装置1に搬入される前に、前工程にて既にパターン(以下「基板側パターン」という)が形成されている)には、パターン部Pによりインプリント材Rのパターン(パターンを含む層)が成形される。 The substrate (wafer) W is, for example, a single crystal silicon substrate, an SOI (Silicon on Insulator) substrate, or a glass substrate. A pattern portion P is used to cover a plurality of pattern forming regions on the substrate W (a pattern (hereinafter referred to as "board side pattern") is already formed in a previous step before being carried into the imprinting apparatus 1). A pattern (layer containing the pattern) of the imprint material R is formed.
基板ステージ4は、基板Wを移動可能に保持し、例えば、型Mと基板W上のインプリント材Rとの押し付けの際のパターン部Pと基板側パターンとの位置合わせなどを実施する。この基板ステージ4は、基板Wを吸着力により保持するウエハチャック41と、基板Wの外周を取り囲むように設置される補助部材42と、ウエハチャック41を機械的に保持し、各軸方向に移動可能とするステージ駆動部43とを有する。
The substrate stage 4 holds the substrate W movably, and for example, aligns the pattern portion P with the substrate side pattern when the mold M and the imprint material R on the substrate W are pressed against each other. The substrate stage 4 mechanically holds the
ウエハチャック41は、例えば、高さの揃った複数のピンで基板Wを支持し、ピン以外の部分を真空排気により減圧することで基板Wを保持する。補助部材42は、ウエハチャック41に載置された基板Wと同等の表面高さを有し、基板Wの外周端部における樹脂パターンの厚さの均一化を図るなどのために用いられる。
The
ステージ駆動部43は、駆動中および静止中の振動が少ない動力源であり、採用可能な動力源としては、例えば、リニアモータまたは平面モータなどがある。このステージ駆動部43も、X軸およびY軸の各方向に対して、粗動駆動系や微動駆動系などの複数の駆動系から構成し得る。さらに、Z軸方向の位置調整のための駆動系や、基板Wのθ方向の位置調整機能、または基板Wの傾きを補正するためのチルト機能などを有する構成もあり得る。
The
また、基板ステージ4は、その側面に、X、Y、Z、ωx、ωy、ωzの各方向に対応した複数の参照ミラー44を備える。これに対して、インプリント装置1は、これらの参照ミラー44にそれぞれヘリウムネオンなどのビームを照射することで基板ステージ4の位置を測定する複数のレーザー干渉計(計測部)7を備える。なお、図1では、参照ミラー44とレーザー干渉計7との1つの組のみを図示している。レーザー干渉計7は、基板ステージ4の位置を実時間で計測し、後述する制御部6は、このときの計測値に基づいて基板W(基板ステージ4)の位置決め制御を実行する。なお、計測部としては、上記のような干渉計測長器の他にも半導体レーザーを用いたエンコーダなどが採用可能である。
Further, the substrate stage 4 is provided with a plurality of
供給部5は、型保持部3の近傍に設置され、基板W上に設けられたパターン形成領域としてのショット(基板側パターン)上に、インプリント材Rを供給する。インプリント材Rは、紫外線UVを受光することにより硬化する性質を有する紫外線硬化樹脂(光硬化性樹脂)であり、半導体デバイス製造工程などの各種条件により適宜選択される。この供給部5は、インクジェット方式でインプリント材Rを基板W上に供給する。供給部5は、未硬化のインプリント材Rを収容する容器51と、吐出部52とを含む。
The
容器51は、インプリント材Rが硬化反応を起こさないように管理する。容器51の内部は、例えば、若干の酸素を含む雰囲気とする。容器51の材質は、インプリント材Rにパーティクルや化学的な不純物を混入させないようなものとすることが望ましい。
The
吐出部52は、例えば、複数の吐出口(供給口)を含むピエゾタイプの吐出機構(インクジェットヘッド)を有する。インプリント材Rの塗布量(吐出量)は、0.1〜10pL/滴の範囲で調整可能であり、通常、約1pL/滴で使用する場合が多い。なお、インプリント材Rの全塗布量は、パターン部Pの密度、および所望の残膜厚により決定される。供給部5は、制御部6からの動作指令に基づいて、インプリント材Rを液滴としてショット上に分散させて塗布させ、塗布位置や塗布量などを制御する。
The
制御部6は、インプリント装置1の各構成要素の動作および調整などを制御し得る。制御部6は、例えばコンピュータなどで構成され、インプリント装置1の各構成要素に回線を介して接続され、プログラムなどにしたがって各構成要素の制御を実行し得る。本実施形態の制御部6は、少なくとも、供給部5、および基板ステージ4と後述する回転機構などの動作を制御する。なお、制御部6は、インプリント装置1の他の部分と一体で(共通の筐体内に)構成してもよいし、インプリント装置1の他の部分とは別体で(別の筐体内に)構成してもよい。
The control unit 6 can control the operation and adjustment of each component of the
また、インプリント装置1は、基板W上に形成されているアライメントマークを計測するアライメント計測系9を備える。また、インプリント装置1は、基板ステージ4を載置し基準平面を形成する定盤81と、型保持部3を固定するブリッジ定盤82と、定盤81から延設され、床面からの振動を除去する除振器83を介してブリッジ定盤82を支持する支柱84とを備える。さらに、インプリント装置1は、共に不図示であるが、型Mを装置外部と型保持部3との間で搬入出させるモールド搬送機構や、基板Wを装置外部と基板ステージ4との間で搬入出させる基板搬送機構などを含み得る。
Further, the
(インプリント方法)
次に、インプリント装置1によるインプリント方法(インプリント処理)について説明する。まず、制御部6は、基板搬送装置を制御して、基板ステージ4に基板Wを載置および固定する。次に、制御部6は、ステージ駆動部43を駆動させて、基板Wの位置を適宜変更させつつ、アライメント計測系9により基板W上のアライメントマークを順次計測させ、基板Wの位置を高精度に検出する。そして、制御部6は、その検出結果から各転写座標を演算し、この演算結果に基づいて所定のショットごとに逐次パターンを形成させる(ステップ・アンド・リピート方式)。
(Imprint method)
Next, the imprint method (imprint process) by the
ある1つのショットに対するパターン形成の流れとして、制御部6は、まず、ステージ駆動部43により、吐出部52の吐出口の下に基板W上の塗布位置(ショット上の特定の位置)を位置決めさせる。その後、供給部5は、基板W上のショットにインプリント材Rを塗布する(塗布工程)。
As a flow of pattern formation for a certain shot, the control unit 6 first positions the coating position (a specific position on the shot) on the substrate W under the discharge port of the
塗布後、制御部6は、ステージ駆動部43により、パターン部P直下の押し付け位置にショットが位置するように基板Wを移動させ、位置決めさせる。位置決め後、制御部6は、パターン部Pとショット上の基板側パターンとの位置合わせや倍率補正機構によるパターン部Pの倍率補正などを実施した後、モールド駆動部32を駆動させ、ショット上のインプリント材Rにパターン部Pを押し付ける(押型工程)。この押し付けにより、インプリント材Rは、パターン部Pの凹凸パターンに充填される。なお、制御部6は、押し付け完了の判断を型保持部3の内部に設置された不図示の荷重センサにより行う。
After coating, the control unit 6 moves and positions the substrate W by the
インプリント材Rにパターン部Pを押し付けた状態で、光照射部2は、硬化工程として型Mの背面(上面)から紫外線UVを所定時間照射し、型Mを透過した紫外線UVによりインプリント材Rを硬化させる。そして、インプリント材Rが硬化した後、制御部6は、モールド駆動部32を再駆動させ、パターン部Pを基板Wから引き離す(離型工程)。これにより、基板W上のショットの表面には、パターン部Pの凹凸パターンに倣った3次元形状の樹脂パターン(層)が形成される。このような一連のインプリント動作を基板ステージ4の駆動によりショットを変更しつつ複数回実施することで、インプリント装置1は、1枚の基板W上に複数の樹脂パターンを形成することができる。なお、押型および離型時に、上記のように型Mを移動させるのではなく、基板Wの方を移動させてもよい。
With the pattern portion P pressed against the imprint material R, the
(インプリント材の塗布方法)
まず、従来の塗布方法における問題を説明する。図2および図3は、基板W上の複数のショット領域のうち、ひとつのショット領域に供給されたインプリント材Rの配置を示している。インプリント材Rは、基板Wを移動させながら、複数の吐出口521を有する吐出部52から基板W上のショット領域に供給される。ここで、基板Wの移動方向をX方向とする。複数の吐出口521は、Y方向に等間隔に配列している。したがって、インプリント材Rの液滴もショット領域においてY方向に等間隔に配置される。基板WをX方向に移動させながらインプリント材Rを供給することで、インプリント材Rの液滴のY方向に沿ったラインは、基板Wの移動速度や吐出部52のインプリント材Rの滴下周期で決まる間隔をもって並ぶ。
(How to apply imprint material)
First, problems in the conventional coating method will be described. 2 and 3 show the arrangement of the imprint material R supplied to one shot region among the plurality of shot regions on the substrate W. The imprint material R is supplied to the shot region on the substrate W from the
ショット領域には、残膜厚、型M端部からのインプリント材Rのはみ出しなどを考慮してインプリント材Rを過不足なく供給することが必要となる。Y方向にインプリント材Rを過不足なくショット領域に配置したときの液滴とショット領域の端部との間の距離をaとする。図2は、インプリント材Rを想定よりも多く供給、つまり、インプリント材Rが型Mの端部からはみ出してしまった様子を示している。インプリント材Rが型Mの端部からはみ出さず、未充填にもならない距離をaとすると、距離aよりも小さい距離bとなっている。 It is necessary to supply the imprint material R to the shot region in just proportion in consideration of the residual film thickness, the protrusion of the imprint material R from the end of the mold M, and the like. Let a be the distance between the droplet and the edge of the shot region when the imprint material R is arranged in the shot region in the Y direction without excess or deficiency. FIG. 2 shows that the imprint material R is supplied in a larger amount than expected, that is, the imprint material R protrudes from the end portion of the mold M. Assuming that the distance a is such that the imprint material R does not protrude from the end of the mold M and is not unfilled, the distance b is smaller than the distance a.
図3は、距離bにインプリント材Rを供給する吐出口521によるインプリント材Rの吐出を止めた場合を示している。この場合、インプリント材RのY方向に沿ったラインの下端とショット領域の端部との距離が距離aよりも大きい距離cとなる。すなわち、ショット領域に供給するインプリント材Rが不足し未充填となる。
FIG. 3 shows a case where the discharge of the imprint material R is stopped by the
Y方向のインプリント材Rの液滴の配置は、吐出口521の間隔によって決まる。したがって、X方向の配置と異なり、Y方向のインプリント材Rの液滴の配置に自由度はない。すなわち、従来の塗布方法では、例えば、型Mの端部からインプリント材Rのはみ出しと未充填の課題を両立することが困難となりうる。
The arrangement of the droplets of the imprint material R in the Y direction is determined by the distance between the
本実施形態では、吐出部52は、X方向に並ぶインプリント材Rの液滴のラインを吐出する第1吐出部52xおよびY方向に並ぶインプリント材Rの液滴のラインを吐出する第2吐出部52yを有する。第1吐出部52xは、X方向に等間隔に配置された吐出口53を有する。第2吐出部52yは、Y方向に等間隔に配置された吐出口54を有する。各吐出部で吐出口の数や間隔は一致させてもよいし、異ならせてもよい。
In the present embodiment, the
図4は、第2吐出部52yのみを用いてショット領域にインプリント材Rを供給した様子を示す。X方向にインプリント材Rを過不足なくショット領域に配置したときの液滴とショット領域の端部との間の距離を距離dとする。図4に示すように、基板WのX方向の移動速度等を制御することにより、第2吐出部52yのみを用いて、インプリント材RがX方向において過不足なく供給されている。第2吐出部52yによるインプリント材Rの供給を第1工程という。
FIG. 4 shows a state in which the imprint material R is supplied to the shot region using only the
図5は、第1吐出部52xのみを用いてショット領域にインプリント材Rを供給した(第2工程)様子を示す。Y方向にインプリント材Rを過不足なくショット領域に配置したときの液滴とショット領域の端部との間の距離を距離aとする。第1吐出部52x(第2工程)により配置されたインプリント材Rの液滴を黒塗りの丸、第2吐出部52y(第1工程)により配置されたインプリント材Rの液滴を白抜きの丸としている。図5に示すように、基板WのY方向の移動速度等を制御することにより、第1吐出部52xを用いて、第2吐出部52yだけでは配置できない位置にインプリント材Rの液滴が配置できている。
FIG. 5 shows a state in which the imprint material R is supplied to the shot region using only the
第1工程と第2工程とは、交互に繰り返してもよい。また、第1工程と第2工程との間で、基板Wの移動速度、供給部5によるインプリント材Rの供給周期を変化させてもよい(第3工程)。当該変化は、第1工程または第2工程の最中に行なってもよい。また、上記実施形態では、第1工程と第2工程とで吐出口を変更する(第4工程)必要があるが、下記の変形例の吐出部によれば、この工程は不要となる。以上の供給方法によれば、インプリント材の供給位置を上下、左右に対称とする上記実施形態に限らず、非対称の供給位置にも対応できる。
The first step and the second step may be repeated alternately. Further, the moving speed of the substrate W and the supply cycle of the imprint material R by the
本実施形態のインプリント材の供給方法によれば、ショット領域へのインプリント材の供給位置の自由度を向上させて、ショット領域へ過不足なくインプリント材を供給することができる。
〔吐出部の変形例〕
According to the method of supplying the imprint material of the present embodiment, the degree of freedom of the supply position of the imprint material to the shot area can be improved, and the imprint material can be supplied to the shot area without excess or deficiency.
[Modification example of discharge part]
図6〜図8は、吐出部が有する吐出口の配置の変形例を示す。図6は、X方向およびY方向に所定の間隔で並ぶ吐出口621のグループを有する吐出部62を示す。図7は、L字に並んだ吐出口721を有する吐出部72を示す。図8は、X方向およびY方向と交差するように斜めに吐出口821が配置された吐出部82を示す。いずれの吐出部によっても、上記実施形態と同様の効果を得られる。例えば、吐出部62によれば、吐出口621のうち、Y方向に並んだ吐出口621を用いて、X方向に基板Wを移動させてX方向に過不足なくインプリント材Rを供給することができる。そして、Y方向については、X方向に並んだ吐出口621を用いて、Y方向に基板Wを移動させて過不足なくインプリント材Rを供給することができる。また、吐出部82によれば、X方向に基板Wを移動させてX方向にインプリント材Rを供給する時と、Y方向に基板Wを移動させてY方向にインプリント材Rを供給する時の吐出口821の傾斜角度を変えることができる。吐出口821を傾けることで、インプリント材Rを自由に配置することができる。
6 to 8 show a modified example of the arrangement of the discharge port included in the discharge portion. FIG. 6 shows a
(物品製造方法に係る実施形態)
物品としてのデバイス(半導体集積回路素子、液晶表示素子等)の製造方法は、上述した方法を用いたインプリント装置により、基板(ウエハ、ガラスプレート、フィルム状基板)にパターンを形成する工程を含む。さらに、該製造方法は、パターンを形成された基板をエッチングする工程を含みうる。なお、パターンドメディア(記録媒体)や光学素子などの他の物品を製造する場合には、該製造方法は、エッチングの代わりにパターンを形成された基板を加工する他の処理を含みうる。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
(Embodiment relating to article manufacturing method)
A method for manufacturing a device as an article (semiconductor integrated circuit element, liquid crystal display element, etc.) includes a step of forming a pattern on a substrate (wafer, glass plate, film-like substrate) by an imprinting apparatus using the above-mentioned method. .. Further, the manufacturing method may include a step of etching the patterned substrate. When manufacturing other articles such as patterned media (recording media) and optical elements, the manufacturing method may include other processing of processing a patterned substrate instead of etching. The method for producing an article of the present embodiment is advantageous in at least one of the performance, quality, productivity, and production cost of the article as compared with the conventional method.
(その他の実施形態)
以上、本発明の実施の形態を説明してきたが、本発明はこれらの実施の形態に限定されず、その要旨の範囲内において様々な変更が可能である。
(Other embodiments)
Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to these embodiments, and various modifications can be made within the scope of the gist thereof.
1 インプリント装置
5 供給部
52x 第1吐出部
52y 第2吐出部
R インプリント材
W 基板
1
Claims (11)
前記基板の面に沿う第1方向に前記基板を移動させながら、前記基板上の複数のショット領域のうち、ひとつのショット領域に前記未硬化のインプリント材を複数の吐出口から複数の液滴として供給する第1工程と、
前記基板を前記基板の面に沿い、かつ、前記第1方向と直交する第2方向に移動させながら、前記ひとつのショット領域の前記第1工程で付与された液滴とは異なる位置に、前記未硬化のインプリント材を複数の吐出口から複数の液滴として供給する第2工程と、
を有することを特徴とするインプリント方法。 An imprint method in which an uncured imprint material on a substrate is molded with a mold and cured to form a pattern of the cured imprint material in a plurality of shot regions provided on the substrate.
While moving the substrate in the first direction along the surface of the substrate, a plurality of droplets of the uncured imprint material from a plurality of ejection ports in one shot region among the plurality of shot regions on the substrate. The first step to supply as
While moving the substrate along the surface of the substrate and in the second direction orthogonal to the first direction, the substrate is placed at a position different from the droplets applied in the first step in the one shot region. The second step of supplying the uncured imprint material as multiple droplets from multiple ejection ports, and
An imprinting method characterized by having.
前記基板を保持して移動する基板保持部と、
前記基板上に前記未硬化のインプリント材の液滴を供給するための複数の供給口を有するディスペンサと、を有し、
前記基板保持部は、前記基板の面に沿う第1方向、または前記第1方向に直交する第2方向に前記基板を移動させ、
前記ディスペンサは、前記移動している前記基板上の複数のショット領域のうち、ひとつのショット領域に前記未硬化のインプリント材を供給するものであり、
前記第1方向に前記基板を移動させながら、前記ひとつのショット領域に前記未硬化のインプリント材を前記複数の供給口から複数の液滴として供給し、
前記第2方向に前記基板を移動させながら、前記ひとつのショット領域の前記第1方向に前記基板を移動させながら供給した液滴とは異なる位置に、前記未硬化のインプリント材を前記複数の供給口から複数の液滴として供給する、
ことを特徴とするインプリント装置。 An imprinting apparatus in which an uncured imprint material on a substrate is molded by a mold and cured to form a pattern of the cured imprint material in a plurality of shot regions provided on the substrate.
A substrate holding portion that holds and moves the substrate,
A dispenser having a plurality of supply ports for supplying droplets of the uncured imprint material on the substrate.
The substrate holding portion moves the substrate in a first direction along the surface of the substrate or in a second direction orthogonal to the first direction.
The dispenser of the plurality of shot areas on the substrate that the mobile is intended for supplying the uncured imprint material to one shot area,
While moving the substrate in the first direction, the uncured imprint material is supplied to the one shot region as a plurality of droplets from the plurality of supply ports.
The plurality of uncured imprint materials are placed at positions different from the droplets supplied while moving the substrate in the second direction and moving the substrate in the first direction in the one shot region. Supply as multiple droplets from the supply port,
An imprinting device characterized by this.
ことを特徴とする請求項8に記載のインプリント装置。 Before SL plurality of supply ports includes a group which is arranged in a direction along the first direction, and groups that are arranged in a direction along the second direction, and
The imprinting apparatus according to claim 8.
ことを特徴とする請求項8に記載のインプリント装置。 Before SL plurality of supply ports are arranged in a direction intersecting the first direction and the second direction,
The imprinting apparatus according to claim 8.
前記工程で前記パターン形成を行われた前記基板を加工する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。 A step of forming a pattern on a substrate using the imprinting apparatus according to any one of claims 8 to 10.
A step of processing the substrate on which the pattern was formed in the step and a step of processing the substrate.
A method of manufacturing an article, which comprises.
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