JP6933287B1 - 光導波路素子、光変調器、光変調モジュール、及び光送信装置 - Google Patents
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Abstract
Description
光導波路素子である。
本発明の他の態様によると、前記中間層の上面は、前記中間層の端部に最も近い前記凸部の上部の位置から当該端部までの範囲が略平坦に構成されている。
本発明の他の態様によると、前記中間層は、前記凸部の上面から測った厚さが、前記凸部の前記基板の面からの高さの値より大きい。
本発明の他の態様によると、前記中間層は、複数の層で構成されている。
本発明の他の態様によると、前記中間層を構成する前記複数の層は、一の層と、当該一の層の上方に配された他の層と、を含み、前記他の層は、前記基板への塗布時の粘性が前記一の層を構成する一の樹脂より高い他の樹脂により構成される。
本発明の他の態様によると、前記光導波路は、それぞれ互いに隣接する複数の前記光導波路で構成される2つの導波路グループを含み、前記電極は、相異なる2つの前記導波路グループの前記光導波路のそれぞれと前記交差部を構成し、前記2つの導波路グループのそれぞれにおいて、前記電極に沿って隣接する前記交差部に前記中間層を有し、前記2つの導波路グループの前記中間層は、前記電極に沿って前記2つの導波路グループの間にまで延在する平面視が帯状の一つながりの共通の層の一部として構成されている。
本発明の他の態様によると、前記中間層と前記電極との間に無機材料で構成されるバッファ層を有する。
本発明の他の態様によると、前記凸部の上面と前記中間層との間に無機材料で構成されるバッファ層を有する。
本発明の他の態様は、光の変調を行う光変調素子である上記いずれかの光導波路素子と、前記光導波路素子を収容する筐体と、前記光導波路素子に光を入力する光ファイバと、前記光導波路素子が出力する光を前記筐体の外部へ導く光ファイバと、を備える光変調器である。
本発明の他の態様は、光の変調を行う光変調素子である上記いずれかの光導波路素子と、前記光導波路素子を駆動する駆動回路と、を備える光変調モジュールである。
本発明の更に他の態様は、上記光変調器または上記光変調モジュールと、前記光導波路素子に変調動作を行わせるための電気信号を生成する電子回路と、を備える光送信装置である。
[1.第1の実施形態]
図1は、本発明の第1の実施形態に係る光導波路素子である光変調素子を用いた光変調器100の構成を示す図である。光変調器100は、筐体102と、当該筐体102内に収容された光変調素子104と、中継基板106と、を有する。光変調素子104は、例えば、DP−QPSK変調器構成である。筐体102は、最終的にはその開口部に板体であるカバー(不図示)が固定されて、その内部が気密封止される。
以下、図3に示された交差部分であるB部およびC部を例にとり、これら交差部分における構成について説明する。ここで、図3に示すように、マッハツェンダ型光導波路244aは、2本の並行導波路244a−1及び244a−2を含み、マッハツェンダ型光導波路246aは、2本の並行導波路246a−1及び246a−2を含む。また、マッハツェンダ型光導波路244bは、2本の並行導波路244b−1及び244b−2を含み、マッハツェンダ型光導波路246bは、2本の並行導波路246b−1及び246b−2を含む。なお、並行導波路244a−1、244a−2、246a−1、246a−2、244b−1、244b−2、246b−1、及び246b−2も、凸状光導波路として構成されている。
まず、交差部分の第1の構成例としての、図3に示すB部の構成について説明する。図4および図5は、高周波信号電極252bが並行導波路244b−1、244b−2、246b−1、及び246b−2の上を交差するB部の構成を示す部分詳細図である。ここに、図4は、B部の平面図、図5は、図4に示すB部のV−V断面矢視図である。
[1−1−1.B部の構成の第1の変形例]
まず、B部における構成の第1の変形例について説明する。図6は、第1の変形例に係るB部の構成を示す図であり、図4におけるV−V断面図を示した図5に相当する図である。なお、図6において、図5に示す構成要素と同じ構成要素については、図5における符号と同一の符号を用いるものとし、上述した図5についての説明を援用するものとする。
次に、B部における構成の第2の変形例について説明する。図7は、第2の変形例に係るB部の構成を示す図であり、図4におけるV−V断面図を示した図5に相当する図である。なお、図7において、図5に示す構成要素と同じ構成要素については、図5における符号と同一の符号を用いるものとし、上述した図5についての説明を援用するものとする。
次に、B部における構成の第3の変形例について説明する。図8は、第3の変形例に係るB部の構成を示す図であり、図4におけるV−V断面図を示した図5に相当する図である。なお、図8において、図5に示す構成要素と同じ構成要素については、図5における符号と同一の符号を用いるものとし、上述した図5についての説明を援用するものとする。
次に、B部における構成の第4の変形例について説明する。図9は、第4の変形例に係るB部の構成を示す図であり、図4におけるV−V断面図を示した図5に相当する図である。なお、図9において、図5および図6に示す構成要素と同じ構成要素については、図5および図6における符号と同一の符号を用いるものとし、上述した図5および図6についての説明を援用するものとする。
次に、交差部分の第2の構成例としての、図3に示すC部の構成について説明する。図10は、C部の平面図であり、図11は、図10におけるXI−XI断面矢視図である。C部には、光導波路232等として、互いに隣接する4つの並行導波路244a−1、244a−2、246a−1、246a−2で構成される導波路グループ700aと、互いに隣接する4つの並行導波路244b−1、244b−2、246b−1、246b−2で構成される導波路グループ700bと、が形成されている。
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。本実施形態は、第1の実施形態に係る光変調器100が備える光変調素子104を用いた光変調モジュール1000である。図12は、本実施形態に係る光変調モジュール1000の構成を示す図である。図12において、図1に示す第1の実施形態に係る光変調器100と同一の構成要素については、図1に示す符号と同じ符号を用いて示すものとし、上述した図1についての説明を援用する。
次に、本発明の第3の実施形態について説明する。本実施形態は、第1の実施形態に係る光変調器100を搭載した光送信装置1100である。図13は、本実施形態に係る光送信装置1100の構成を示す図である。この光送信装置1100は、光変調器100と、光変調器100に光を入射する光源1104と、変調器駆動部1106と、変調信号生成部1108と、を有する。なお、光変調器100及び変調器駆動部1106に代えて、上述した光変調モジュール1000を用いることもできる。
Claims (11)
- 光導波路が形成された基板と、
前記基板上に形成された、前記光導波路の上を交差する交差部を有する電極と、
を有する光導波路素子であって、
前記光導波路は、前記基板上に延在する凸部により構成され、
前記交差部には、前記光導波路と、前記光導波路の上を交差する電極との間に中間層を有し、
前記中間層は、前記電極に沿って、隣接する前記交差部の間に延在して、前記電極の下において隣接する前記凸部の間を埋め、かつ、
前記電極の下にある前記中間層は、平面視が前記電極の延在方向に沿って帯状である、
光導波路素子。 - 前記中間層の上面は、前記中間層の端部に最も近い前記凸部の上部の位置から当該端部までの範囲が略平坦に構成されている、
請求項1に記載の光導波路素子。 - 前記中間層は、前記凸部の上面から測った厚さが、前記凸部の前記基板の面からの高さの値より大きい、
請求項2に記載の光導波路素子。 - 前記中間層は、複数の層で構成されている、
請求項1ないし3のいずれか一項に記載の光導波路素子。 - 前記中間層を構成する前記複数の層は、一の層と、当該一の層の上方に配された他の層と、を含み、
前記他の層は、前記基板への塗布時の粘性が前記一の層を構成する一の樹脂より高い他の樹脂により構成される、
請求項4に記載の光導波路素子。 - 前記光導波路は、それぞれ互いに隣接する複数の前記光導波路で構成される2つの導波路グループを含み、
前記電極は、相異なる2つの前記導波路グループの前記光導波路のそれぞれと前記交差部を構成し、
前記2つの導波路グループのそれぞれにおいて、前記電極に沿って隣接する前記交差部に前記中間層を有し、
前記2つの導波路グループの前記中間層は、前記電極に沿って前記2つの導波路グループの間にまで延在する平面視が帯状の一つながりの共通の層の一部として構成されている、
請求項1ないし5のいずれか一項に記載の光導波路素子。 - 前記中間層と前記電極との間に無機材料で構成されるバッファ層を有する、
請求項1ないし6のいずれか一項に記載の光導波路素子。 - 前記凸部の上面と前記中間層との間に無機材料で構成されるバッファ層を有する、
請求項1ないし6のいずれか一項に記載の光導波路素子。 - 光の変調を行う光変調素子である請求項1ないし8のいずれか一項に記載の光導波路素子と、
前記光導波路素子を収容する筐体と、
前記光導波路素子に光を入力する光ファイバと、
前記光導波路素子が出力する光を前記筐体の外部へ導く光ファイバと、
を備える光変調器。 - 光の変調を行う光変調素子である請求項1ないし8のいずれか一項に記載の光導波路素子と、前記光導波路素子を駆動する駆動回路と、を備える光変調モジュール。
- 請求項9に記載の光変調器または請求項10に記載の光変調モジュールと、
前記光導波路素子に変調動作を行わせるための電気信号を生成する電子回路と、
を備える光送信装置。
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