以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。
Hereinafter, examples of the present invention will be described in detail as embodiments for carrying out the present invention with reference to the drawings.
＜電子部品装着装置の構成＞図１に、電子部品装着装置（以下、「装着装置」と略す場合がある）１０を示す。装着装置１０は、１つのシステムベース１２と、そのシステムベース１２の上に隣接された２台の電子部品装着機（以下、「装着機」と略す場合がある）１４とを有している。なお、装着機１４の並ぶ方向をＸ軸方向と称し、その方向に直角な水平の方向をＹ軸方向と称する。
<Structure of Electronic Component Mounting Device> FIG. 1 shows an electronic component mounting device (hereinafter, may be abbreviated as “mounting device”) 10. The mounting device 10 has one system base 12 and two electronic component mounting machines (hereinafter, may be abbreviated as “mounting machine”) 14 adjacent to the system base 12. The direction in which the mounting machines 14 are lined up is referred to as the X-axis direction, and the horizontal direction perpendicular to that direction is referred to as the Y-axis direction.
各装着機１４は、主に、装着機本体２０、搬送装置２２、装着ヘッド移動装置（以下、「移動装置」と略す場合がある）２４、装着ヘッド２６、供給装置２８、ノズルステーション３０を備えている。装着機本体２０は、フレーム部３２と、そのフレーム部３２に上架されたビーム部３４とによって構成されている。
Each mounting machine 14 mainly includes a mounting machine main body 20, a transport device 22, a mounting head moving device (hereinafter, may be abbreviated as “moving device”) 24, a mounting head 26, a supply device 28, and a nozzle station 30. ing. The mounting machine main body 20 is composed of a frame portion 32 and a beam portion 34 mounted on the frame portion 32.
搬送装置２２は、２つのコンベア装置４０，４２を備えている。それら２つのコンベア装置４０，４２は、互いに平行、かつ、Ｘ軸方向に延びるようにフレーム部３２に配設されている。２つのコンベア装置４０，４２の各々は、電磁モータ（図示省略）によって各コンベア装置４０，４２に支持される回路基板をＸ軸方向に搬送する。また、回路基板は、所定の位置において、基板保持装置（図示省略）によって固定的に保持される。
The conveyor device 22 includes two conveyor devices 40 and 42. The two conveyor devices 40 and 42 are arranged in the frame portion 32 so as to be parallel to each other and extend in the X-axis direction. Each of the two conveyor devices 40, 42 conveys the circuit board supported by the respective conveyor devices 40, 42 by an electromagnetic motor (not shown) in the X-axis direction. Further, the circuit board is fixedly held by a board holding device (not shown) at a predetermined position.
移動装置２４は、ＸＹロボット型の移動装置である。移動装置２４は、スライダ５０をＸ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）と、Ｙ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）とを備えている。スライダ５０には、装着ヘッド２６が取り付けられており、その装着ヘッド２６は、２つの電磁モータ５２，５４の作動によって、フレーム部３２上の任意の位置に移動させられる。
The mobile device 24 is an XY robot type mobile device. The moving device 24 includes an electromagnetic motor that slides the slider 50 in the X-axis direction (not shown) and an electromagnetic motor that slides the slider 50 in the Y-axis direction (not shown). A mounting head 26 is attached to the slider 50, and the mounting head 26 is moved to an arbitrary position on the frame portion 32 by the operation of the two electromagnetic motors 52 and 54.
装着ヘッド２６は、回路基板に対して電子部品を装着するものである。装着ヘッド２６は、図２に示すように、棒状の装着ユニット６０を複数有しており、それら複数の装着ユニット６０の各々の下端部には、吸着ノズル６２が装着されている。吸着ノズル６２は、図３に示すように、胴体筒６４とフランジ部６６と吸着管６８と掛止ピン７０とによって構成されている。胴体筒６４は、円筒状をなし、フランジ部６６は、胴体筒６４の外周面に張り出すようにして固定されている。吸着管６８は、細いパイプ状をなし、胴体筒６４の下端部から下方に向かって延び出した状態で、胴体筒６４に軸線方向に移動可能に保持されている。なお、吸着ノズル６２には、吸着管６８に弾性力が付与されているものと、付与されていないものがある。
The mounting head 26 mounts electronic components on the circuit board. As shown in FIG. 2, the mounting head 26 has a plurality of rod-shaped mounting units 60, and suction nozzles 62 are mounted on the lower ends of each of the plurality of mounting units 60. As shown in FIG. 3, the suction nozzle 62 is composed of a body cylinder 64, a flange portion 66, a suction pipe 68, and a hook pin 70. The body cylinder 64 has a cylindrical shape, and the flange portion 66 is fixed so as to project over the outer peripheral surface of the body cylinder 64. The suction pipe 68 has a thin pipe shape, and is held in the body cylinder 64 so as to be movable in the axial direction in a state of extending downward from the lower end portion of the body cylinder 64. The suction nozzle 62 includes a suction tube 68 to which an elastic force is applied and a suction nozzle 62 to which an elastic force is not applied.
詳しくは、吸着管６８に弾性力が付与されている吸着ノズル６２には、吸着管６８と胴体筒６４との間に、バネ（図示省略）が圧縮された状態で配設されており、吸着管６８は、バネの弾性力によって、胴体筒６４の下端部から下方に延び出す方向に付勢されている。つまり、吸着管６８の先端に、バネの弾性力に抗した力が加えられることで、吸着管６８は、胴体筒６４の内部に向かって後退する。一方、吸着管６８に弾性力が付与されない吸着ノズル６２には、吸着管６８と胴体筒６４との間に、バネが配設されていない。ただし、吸着管６８と胴体筒６４との間にバネが配設されていない吸着ノズル６２は、バネ（図示省略）が内蔵されている装着ユニット６０の先端部に装着される。装着ユニット６０に内蔵されているバネは、装着ユニット６０に装着される吸着ノズル６２の吸着管６８に、弾性力を付与する。これにより、その吸着管６８は、装着ユニット６０のバネの弾性力によって、胴体筒６４の下端部から下方に延び出す方向に付勢されている。つまり、吸着管６８と胴体筒６４との間にバネが配設されていない吸着ノズル６２においても、バネが内蔵された装着ユニット６０に装着されることで、吸着管６８の先端に、バネの弾性力に抗した力が加えられることで、吸着管６８は、胴体筒６４の内部に向かって後退する。
Specifically, in the suction nozzle 62 in which elastic force is applied to the suction pipe 68, a spring (not shown) is arranged between the suction pipe 68 and the body cylinder 64 in a compressed state, and suction is performed. The tube 68 is urged by the elastic force of the spring in a direction extending downward from the lower end of the body cylinder 64. That is, when a force resisting the elastic force of the spring is applied to the tip of the suction pipe 68, the suction pipe 68 retracts toward the inside of the body cylinder 64. On the other hand, in the suction nozzle 62 in which elastic force is not applied to the suction pipe 68, a spring is not arranged between the suction pipe 68 and the body cylinder 64. However, the suction nozzle 62 in which the spring is not arranged between the suction tube 68 and the body cylinder 64 is mounted on the tip of the mounting unit 60 in which the spring (not shown) is built. The spring built in the mounting unit 60 applies an elastic force to the suction pipe 68 of the suction nozzle 62 mounted on the mounting unit 60. As a result, the suction pipe 68 is urged by the elastic force of the spring of the mounting unit 60 in a direction extending downward from the lower end of the body cylinder 64. That is, even in the suction nozzle 62 in which the spring is not arranged between the suction pipe 68 and the body cylinder 64, the spring is attached to the tip of the suction pipe 68 by being mounted on the mounting unit 60 in which the spring is built. By applying a force that opposes the elastic force, the suction pipe 68 retracts toward the inside of the body cylinder 64.
また、吸着ノズル６２の掛止ピン７０は、胴体筒６４の径方向に延びるように、胴体筒６４の上端部に設けられている。吸着ノズル６２は、掛止ピン７０を利用して、装着ユニット６０の下端部にワンタッチで着脱可能に取り付けられる。掛止ピン７０を利用した吸着ノズル６２の装着ユニット６０への取り付けは、公知の手法であることから、説明は省略する。また、フランジ部６６の外縁には、切欠部７２が形成されており、フランジ部６６の上面には、２Ｄコード７４が記されている。
Further, the hook pin 70 of the suction nozzle 62 is provided at the upper end portion of the body cylinder 64 so as to extend in the radial direction of the body cylinder 64. The suction nozzle 62 is detachably attached to the lower end of the mounting unit 60 with a single touch using the hook pin 70. Since the attachment of the suction nozzle 62 to the mounting unit 60 using the hook pin 70 is a known method, the description thereof will be omitted. A notch 72 is formed on the outer edge of the flange 66, and a 2D code 74 is written on the upper surface of the flange 66.
吸着ノズル６２の吸着管６８は、負圧エア，正圧エア通路を介して、正負圧供給装置（図示省略）に通じている。このため、吸着ノズル６２の吸着管６８は、先端部において、負圧によって電子部品を吸着保持し、保持した電子部品を正圧によって離脱する。棒状の装着ユニット６０は、図２に示すように、ユニット保持体７６の外周部に、等角度ピッチで、軸方向が垂直となる状態に保持されている。そして、各吸着ノズル６２が、ユニット保持体７６の下面から下方に向かって延び出している。
The suction pipe 68 of the suction nozzle 62 communicates with a positive / negative pressure supply device (not shown) via a negative pressure air and a positive pressure air passage. Therefore, the suction tube 68 of the suction nozzle 62 sucks and holds the electronic component by a negative pressure at the tip portion, and releases the held electronic component by a positive pressure. As shown in FIG. 2, the rod-shaped mounting unit 60 is held on the outer peripheral portion of the unit holding body 76 in a state where the axial direction is vertical at an equal angle pitch. Then, each suction nozzle 62 extends downward from the lower surface of the unit holding body 76.
また、ユニット保持体７６は、保持体回転装置７８によって、装着ユニット６０の配設角度ピッチに等しい角度ずつ間欠回転させられる。これにより、装着ユニット６０の１つの停止位置である昇降ステーションに、複数の装着ユニット６０が、順次停止する。昇降ステーションに停止した装着ユニット６０は、ユニット昇降装置８０によって昇降する。また、昇降ステーションに停止した装着ユニット６０は、ユニット自転装置８２によって自転する。
Further, the unit holding body 76 is intermittently rotated by the holding body rotating device 78 by an angle equal to the arrangement angle pitch of the mounting unit 60. As a result, the plurality of mounting units 60 are sequentially stopped at the elevating station, which is one stop position of the mounting unit 60. The mounting unit 60 stopped at the elevating station is elevated by the unit elevating device 80. Further, the mounting unit 60 stopped at the elevating station is rotated by the unit rotation device 82.
供給装置２８は、フィーダ型の供給装置であり、図１に示すように、フレーム部３２の前方側の端部に配設されている。供給装置２８は、テープフィーダ８６を有している。テープフィーダ８６は、テープ化部品を巻回させた状態で収容している。テープ化部品は、電子部品がテーピング化されたものである。そして、テープフィーダ８６は、送出装置（図示省略）によって、テープ化部品を送り出す。これにより、フィーダ型の供給装置２８は、テープ化部品の送り出しによって、電子部品を供給位置において供給する。
The feeder 28 is a feeder type feeder, and is arranged at the front end of the frame portion 32 as shown in FIG. The feeder 28 has a tape feeder 86. The tape feeder 86 houses the taped parts in a wound state. The taped component is a taped electronic component. Then, the tape feeder 86 sends out the taped parts by a sending device (not shown). As a result, the feeder type supply device 28 supplies the electronic components at the supply position by sending out the taped components.
ノズルステーション３０は、複数の吸着ノズル６２を収容するものであり、ノズルトレイ８８を有している。ノズルトレイ８８は、図４に示すように、ベースプレート９０とカバープレート９２とを有しており、カバープレート９２は、ベースプレート９０の上にスライド可能に配設されている。なお、ベースプレート９０とカバープレート９２とは、略同じ寸法とされており、カバープレート９２がベースプレート９０に対してスライドした状態において、ベースプレート９０の端部に記された２Ｄコード９４は露出する。一方、図５に示すように、ベースプレート９０とカバープレート９２とが全体的に重なっている状態では、２Ｄコード９４は、カバープレート９２によって覆われる。
The nozzle station 30 accommodates a plurality of suction nozzles 62 and has a nozzle tray 88. As shown in FIG. 4, the nozzle tray 88 has a base plate 90 and a cover plate 92, and the cover plate 92 is slidably arranged on the base plate 90. The base plate 90 and the cover plate 92 have substantially the same dimensions, and the 2D code 94 marked on the end of the base plate 90 is exposed when the cover plate 92 is slid with respect to the base plate 90. On the other hand, as shown in FIG. 5, the 2D code 94 is covered by the cover plate 92 in a state where the base plate 90 and the cover plate 92 are totally overlapped.
ベースプレート９０には、図４および、ノズルトレイ８８の断面図である図６に示すように、複数の載置穴９６が形成されている。載置穴９６は、段付形状の貫通穴であり、吸着ノズル６２を載置することが可能である。詳しくは、段付形状の載置穴９６の段差面９８の内径は、吸着ノズル６２のフランジ部６６の外径より僅かに大きく、その段差面９８に、図７に示すように、吸着ノズル６２のフランジ部６６が載置される。また、段差面９８には、ピン（図５参照）１００が立設されており、そのピン１００に、フランジ部６６の切欠部７２が係合する。これにより、載置穴９６に載置された吸着ノズル６２の軸回りの回転が禁止される。なお、載置穴９６には、小さな径の載置穴９６ａと大きな径の載置穴９６ｂとがあり、小さな径の載置穴９６ａには、小さなサイズの吸着ノズル６２が載置され、大きな径の載置穴９６ｂには、大きなサイズの吸着ノズル６２が載置される。
As shown in FIG. 4 and FIG. 6, which is a cross-sectional view of the nozzle tray 88, the base plate 90 is formed with a plurality of mounting holes 96. The mounting hole 96 is a stepped through hole on which the suction nozzle 62 can be mounted. Specifically, the inner diameter of the stepped surface 98 of the stepped mounting hole 96 is slightly larger than the outer diameter of the flange portion 66 of the suction nozzle 62, and the stepped surface 98 has the suction nozzle 62 as shown in FIG. The flange portion 66 of the above is placed. A pin (see FIG. 5) 100 is erected on the stepped surface 98, and the notch 72 of the flange portion 66 engages with the pin 100. As a result, the rotation of the suction nozzle 62 mounted in the mounting hole 96 around the axis is prohibited. The mounting hole 96 has a small-diameter mounting hole 96a and a large-diameter mounting hole 96b, and the small-diameter mounting hole 96a is large because a small-sized suction nozzle 62 is mounted. A large-sized suction nozzle 62 is mounted in the mounting hole 96b having a diameter.
また、カバープレート９２にも、ベースプレート９０の複数の載置穴９６に対応して、抜穴１０２が形成されている。抜穴１０２は、円穴部１０４とスロット部１０６とによって構成されている。円穴部１０４は、円形をなし、対応する載置穴９６の段差面９８より僅かに大きな内径である。また、スロット部１０６は、円穴部１０４の縁に切り欠かれた部分であり、吸着ノズル６２の胴体筒６４の外径より僅かに大きな切欠部である。
Further, the cover plate 92 is also formed with a hole 102 corresponding to a plurality of mounting holes 96 of the base plate 90. The punching hole 102 is composed of a circular hole portion 104 and a slot portion 106. The circular hole portion 104 has a circular shape and has an inner diameter slightly larger than the stepped surface 98 of the corresponding mounting hole 96. Further, the slot portion 106 is a portion cut out at the edge of the circular hole portion 104, and is a notch portion slightly larger than the outer diameter of the body cylinder 64 of the suction nozzle 62.
上記構造のノズルトレイ８８では、カバープレート９２をベースプレート９０に対してスライドさせることで、図４に示すように、抜穴１０２を介して載置穴９６の一部が露出する状態（以下、「一部露出状態」という場合がある）と、図５に示すように、抜穴１０２を介して載置穴９６の全体が露出する状態（以下、「全露出状態」という場合がある）とで切換可能である。
In the nozzle tray 88 having the above structure, by sliding the cover plate 92 with respect to the base plate 90, a part of the mounting hole 96 is exposed through the extraction hole 102 as shown in FIG. (Sometimes referred to as "partially exposed state") and, as shown in FIG. 5, the entire mounting hole 96 is exposed through the through hole 102 (hereinafter, may be referred to as "fully exposed state"). It is switchable.
詳しくは、全露出状態では、図５に示すように、載置穴９６の中心と抜穴１０２の円穴部１０４の中心とが一致しており、載置穴９６の段差面９８が完全に露出する。このため、全露出状態において、載置穴９６に吸着ノズル６２を載置すること、若しくは、載置穴９６から吸着ノズル６２を取り出すことが可能である。つまり、全露出状態において、ノズルトレイ８８に吸着ノズル６２を収容すること、若しくは、ノズルトレイ８８から吸着ノズル６２を取り出すことが可能である。
Specifically, in the fully exposed state, as shown in FIG. 5, the center of the mounting hole 96 and the center of the circular hole portion 104 of the punched hole 102 coincide with each other, and the stepped surface 98 of the mounting hole 96 is completely. Be exposed. Therefore, the suction nozzle 62 can be placed in the mounting hole 96 or the suction nozzle 62 can be taken out from the mounting hole 96 in the fully exposed state. That is, it is possible to accommodate the suction nozzle 62 in the nozzle tray 88 or take out the suction nozzle 62 from the nozzle tray 88 in the fully exposed state.
一方、一部露出状態では、図４に示すように、載置穴９６の中心と抜穴１０２の円穴部１０４の中心とは一致しておらず、載置穴９６の段差面９８の一部は、カバープレート９２によって覆われている。このため、一部露出状態では、載置穴９６に吸着ノズル６２を載置すること、若しくは、載置穴９６から吸着ノズル６２を取り出すことができない。つまり、一部露出状態では、ノズルトレイ８８に吸着ノズル６２を収容すること、若しくは、ノズルトレイ８８から吸着ノズル６２を取り出すことができない。ただし、一部露出状態では、載置穴９６の中心と抜穴１０２のスロット部１０６の中心とは一致しており、図７に示すように、載置穴９６に載置された吸着ノズル６２の胴体筒６４は、スロット部１０６からカバープレート９２の上方に延び出している。
On the other hand, in the partially exposed state, as shown in FIG. 4, the center of the mounting hole 96 and the center of the circular hole portion 104 of the punched hole 102 do not match, and one of the stepped surfaces 98 of the mounting hole 96. The portion is covered by a cover plate 92. Therefore, in the partially exposed state, the suction nozzle 62 cannot be placed in the mounting hole 96, or the suction nozzle 62 cannot be taken out from the mounting hole 96. That is, in the partially exposed state, the suction nozzle 62 cannot be accommodated in the nozzle tray 88, or the suction nozzle 62 cannot be taken out from the nozzle tray 88. However, in the partially exposed state, the center of the mounting hole 96 and the center of the slot portion 106 of the extraction hole 102 coincide with each other, and as shown in FIG. 7, the suction nozzle 62 mounted in the mounting hole 96. The body cylinder 64 extends above the cover plate 92 from the slot portion 106.
また、カバープレート９２は、ベースプレート９０に対して、全露出状態と一部露出状態との間でスライド可能であり、スプリング（図示省略）によって、一部露出状態となる方向に付勢されている。つまり、通常は、ノズルトレイ８８への吸着ノズル６２の収容、若しくは、ノズルトレイ８８からの吸着ノズル６２の取出しが禁止されている。ただし、ノズルステーション３０は、カバープレート９２を、スプリングの弾性力に抗して、全露出状態となる方向にスライドさせるプレート移動機構（図示省略）を有しており、そのプレート移動機構の作動によりカバープレート９２がスライドすることで、ノズルトレイ８８への吸着ノズル６２の収容、若しくは、ノズルトレイ８８からの吸着ノズル６２の取出しが可能となる。なお、ノズルトレイ８８は、ノズルステーション３０に着脱可能であり、ノズルステーション３０に収容された吸着ノズル６２の回収，ノズルステーション３０への吸着ノズル６２の補給等を装着機１４の外部において行うことが可能である。
Further, the cover plate 92 is slidable with respect to the base plate 90 between a fully exposed state and a partially exposed state, and is urged in a direction of being partially exposed by a spring (not shown). .. That is, normally, the accommodation of the suction nozzle 62 in the nozzle tray 88 or the removal of the suction nozzle 62 from the nozzle tray 88 is prohibited. However, the nozzle station 30 has a plate moving mechanism (not shown) that slides the cover plate 92 in the direction of being fully exposed against the elastic force of the spring, and the operation of the plate moving mechanism causes the cover plate 92 to slide. By sliding the cover plate 92, the suction nozzle 62 can be accommodated in the nozzle tray 88, or the suction nozzle 62 can be taken out from the nozzle tray 88. The nozzle tray 88 can be attached to and detached from the nozzle station 30, and the suction nozzle 62 housed in the nozzle station 30 can be collected, the suction nozzle 62 can be replenished to the nozzle station 30, and the like can be performed outside the mounting machine 14. It is possible.
＜装着機による装着作業＞装着機１４では、上述した構成によって、搬送装置２２に保持された回路基板に対して、装着ヘッド２６によって装着作業を行うことが可能である。具体的には、装着機１４の制御装置（図示省略）の指令により、回路基板が作業位置まで搬送され、その位置において、基板保持装置によって固定的に保持される。また、テープフィーダ８６は、制御装置の指令により、テープ化部品を送り出し、電子部品を供給位置において供給する。そして、装着ヘッド２６が、電子部品の供給位置の上方に移動し、吸着ノズル６２によって電子部品を吸着保持する。続いて、装着ヘッド２６は、回路基板の上方に移動し、保持している電子部品を回路基板上に装着する。
<Mounting work by the mounting machine> With the above-described configuration, the mounting machine 14 can perform mounting work on the circuit board held by the transport device 22 by the mounting head 26. Specifically, the circuit board is conveyed to a working position by a command of a control device (not shown) of the mounting machine 14, and is fixedly held by the board holding device at that position. Further, the tape feeder 86 sends out the taped component and supplies the electronic component at the supply position according to the command of the control device. Then, the mounting head 26 moves above the supply position of the electronic component, and the suction nozzle 62 sucks and holds the electronic component. Subsequently, the mounting head 26 moves above the circuit board and mounts the held electronic component on the circuit board.
＜ノズルステーションでの吸着ノズルの交換＞装着機１４では、上述したように、テープフィーダ８６によって供給された電子部品を、吸着ノズル６２によって吸着保持し、その電子部品が回路基板上に装着される。このように構成された装着機１４では、電子部品の大きさ，種類等に応じて、吸着ノズル６２が変更される。つまり、例えば、大きな電子部品を吸着保持する際には、径の大きな吸着ノズル６２が用いられ、小さな電子部品を吸着保持する際には、径の小さな吸着ノズル６２が用いられる。このため、製造される回路基板の種類に応じて、種々の吸着ノズル６２を用いる必要が有り、ノズルステーション３０には、製造される回路基板の種類に応じて、種々の吸着ノズル６２が収容されている。そして、装着ヘッド２６の装着ユニット６０に取り付けられている吸着ノズル６２と、ノズルステーション３０の収容されている吸着ノズル６２との交換等が、必要に応じて行われる。なお、装着ユニット６０に取り付けられている吸着ノズル６２と、ノズルステーション３０の収容されている吸着ノズル６２との交換等は、公知の手法であることから、説明は省略する。
<Replacement of suction nozzle at nozzle station> As described above, in the mounting machine 14, the electronic component supplied by the tape feeder 86 is sucked and held by the suction nozzle 62, and the electronic component is mounted on the circuit board. .. In the mounting machine 14 configured in this way, the suction nozzle 62 is changed according to the size, type, and the like of the electronic component. That is, for example, a suction nozzle 62 having a large diameter is used when sucking and holding a large electronic component, and a suction nozzle 62 having a small diameter is used when sucking and holding a small electronic component. Therefore, it is necessary to use various suction nozzles 62 according to the type of the circuit board to be manufactured, and the nozzle station 30 accommodates various suction nozzles 62 according to the type of the circuit board to be manufactured. ing. Then, the suction nozzle 62 mounted on the mounting unit 60 of the mounting head 26 and the suction nozzle 62 housed in the nozzle station 30 are replaced as needed. Since the replacement of the suction nozzle 62 mounted on the mounting unit 60 with the suction nozzle 62 housed in the nozzle station 30 is a known method, the description thereof will be omitted.
上述したように、ノズルステーション３０には、製造される回路基板の種類に応じて、種々の吸着ノズル６２が収容されている。このため、例えば、製造対象の回路基板の種類が変更される場合には、ノズルステーション３０からノズルトレイ８８が取り外され、ノズル管理装置を用いて、ノズルトレイ８８に収容されている吸着ノズル６２が交換される。以下に、ノズル管理装置について、詳しく説明する。
As described above, the nozzle station 30 accommodates various suction nozzles 62 depending on the type of circuit board to be manufactured. Therefore, for example, when the type of the circuit board to be manufactured is changed, the nozzle tray 88 is removed from the nozzle station 30, and the suction nozzle 62 housed in the nozzle tray 88 is removed by using the nozzle management device. Will be exchanged. The nozzle management device will be described in detail below.
＜ノズル管理装置の構成＞ノズル管理装置１１０は、図８に示すように、概して直方体形状をなしており、正面に、ノズルトレイ８８をノズル管理装置１１０内に収納、若しくは、ノズル管理装置１１０からノズルトレイ８８を取り出すための引出１１８が設けられている。その引出１１８の上方には、各種情報を表示するパネル１２０、情報等の入力を行うための操作スイッチ１２２等が配設されている。
<Structure of Nozzle Management Device> As shown in FIG. 8, the nozzle management device 110 has a generally rectangular shape, and the nozzle tray 88 is housed in the nozzle management device 110 or from the nozzle management device 110 in front of the nozzle tray 88. A drawer 118 for taking out the nozzle tray 88 is provided. Above the drawer 118, a panel 120 for displaying various information, an operation switch 122 for inputting information and the like, and the like are arranged.
各ノズル管理装置１１０は、図９および図１０に示すように、パレット収容装置１３０、トレイ収容装置１３２、ノズル移載装置１３４、第１ノズル検査装置１３６、第２ノズル検査装置１３８、ノズル洗浄装置１４０を有している。なお、図９は、ノズル管理装置１１０の右前方からの視点におけるノズル管理装置１１０の内部構造を示す斜視図であり、図１０は、ノズル管理装置１１０の左前方からの視点におけるノズル管理装置１１０の内部構造を示す斜視図である。
As shown in FIGS. 9 and 10, each nozzle management device 110 includes a pallet accommodating device 130, a tray accommodating device 132, a nozzle transfer device 134, a first nozzle inspection device 136, a second nozzle inspection device 138, and a nozzle cleaning device. Has 140. 9 is a perspective view showing the internal structure of the nozzle management device 110 from the viewpoint from the right front of the nozzle management device 110, and FIG. 10 is a perspective view showing the nozzle management device 110 from the left front of the nozzle management device 110. It is a perspective view which shows the internal structure of.
（ａ）パレット収容装置パレット収容装置１３０は、図１１に示すノズルパレット１５２を収容するものである。ノズルパレット１５２は、ノズルトレイ８８と同様に、ベースプレート１５４とカバープレート１５６とを有しており、カバープレート１５６は、ベースプレート１５４の上にスライド可能に配設されている。ベースプレート１５４とカバープレート１５６とは、略同じ寸法とされており、カバープレート１５６がベースプレート１５４に対してスライドした状態において、ベースプレート１５４の端部に記された２Ｄコード１５７は露出する。一方、図１２に示すように、ベースプレート１５４とカバープレート１５６とが全体的に重なっている状態では、２Ｄコード１５７は、カバープレート１５６によって覆われる。
(A) Pallet accommodating device The pallet accommodating device 130 accommodates the nozzle pallet 152 shown in FIG. Like the nozzle tray 88, the nozzle pallet 152 has a base plate 154 and a cover plate 156, and the cover plate 156 is slidably arranged on the base plate 154. The base plate 154 and the cover plate 156 have substantially the same dimensions, and the 2D code 157 marked on the end of the base plate 154 is exposed when the cover plate 156 is slid with respect to the base plate 154. On the other hand, as shown in FIG. 12, the 2D code 157 is covered by the cover plate 156 in a state where the base plate 154 and the cover plate 156 are totally overlapped.
また、ベースプレート１５４の角部には、基準ノズル１７２と基準パイプ１７４とが配置されている。基準ノズル１７２と基準パイプ１７４とは、ベースプレート１５４を貫通しており、基準ノズル１７２と基準パイプ１７４との下端部は、ベースプレート１５４の下方に延び出している。なお、カバープレート１５６の角部には、切欠部１７６が形成されており、ベースプレート１５４とカバープレート１５６とが全体的に重なっている状態であっても、基準ノズル１７２と基準パイプ１７４とは、露出する。
Further, a reference nozzle 172 and a reference pipe 174 are arranged at the corners of the base plate 154. The reference nozzle 172 and the reference pipe 174 penetrate the base plate 154, and the lower ends of the reference nozzle 172 and the reference pipe 174 extend below the base plate 154. A notch 176 is formed at the corner of the cover plate 156, and even when the base plate 154 and the cover plate 156 are totally overlapped with each other, the reference nozzle 172 and the reference pipe 174 are still in contact with each other. Be exposed.
ベースプレート１５４には、複数の載置穴１５８が形成されており、それら複数の載置穴１５８には、小さな径の載置穴１５８ａと大きな径の載置穴１５８ｂとがある。小さな径の載置穴１５８ａは、ノズルトレイ８８の小さな径の載置穴９６ａと同じ形状であり、載置穴９６ａに載置可能な吸着ノズル６２が載置される。一方、大きな径の載置穴１５８ｂは、ノズルトレイ８８の大きな径の載置穴９６ｂと略同じ形状であるが、図１１および、ノズルパレット１５２の断面図である図１３に示すように、２つの段差面１６０，１６２を有する段付形状の穴である。第１の段差面１６０の内径は、ノズルトレイ８８の大きな径の載置穴９６ｂの内径と同じであり、図１３に示すように、載置穴９６ｂに載置可能な吸着ノズル６２が載置される。第２の段差面１６２の内径は、第１の段差面１６０の内径より小さくなっており、図１４に示すように、第１の段差面１６０に載置可能な吸着ノズル６２より小さなサイズの吸着ノズル６２が載置される。なお、各段差面１６０，１６２にも、ピン（図１２参照）１６４が立設されており、吸着ノズル６２のフランジ部６６の切欠部７２と係合する。
A plurality of mounting holes 158 are formed in the base plate 154, and the plurality of mounting holes 158 include a mounting hole 158a having a small diameter and a mounting hole 158b having a large diameter. The small-diameter mounting hole 158a has the same shape as the small-diameter mounting hole 96a of the nozzle tray 88, and the suction nozzle 62 that can be mounted in the mounting hole 96a is mounted. On the other hand, the large-diameter mounting hole 158b has substantially the same shape as the large-diameter mounting hole 96b of the nozzle tray 88, but as shown in FIG. 11 and FIG. 13, which is a cross-sectional view of the nozzle pallet 152, 2 It is a stepped hole having two stepped surfaces 160 and 162. The inner diameter of the first stepped surface 160 is the same as the inner diameter of the large-diameter mounting hole 96b of the nozzle tray 88, and as shown in FIG. 13, the suction nozzle 62 that can be mounted in the mounting hole 96b is mounted. Will be done. The inner diameter of the second step surface 162 is smaller than the inner diameter of the first step surface 160, and as shown in FIG. 14, suction having a size smaller than that of the suction nozzle 62 that can be placed on the first step surface 160. The nozzle 62 is placed. Pins (see FIG. 12) 164 are also erected on the stepped surfaces 160 and 162, and engage with the notch 72 of the flange portion 66 of the suction nozzle 62.
また、カバープレート１５６にも、ベースプレート１５４の複数の載置穴１５８に対応して、抜穴１６６が形成されている。抜穴１６６は、ノズルトレイ８８の抜穴１０２と同形状であり、円穴部１６８とスロット部１７０とによって構成されている。このため、ノズルパレット１５２でも、ノズルトレイ８８と同様に、一部露出状態と、全露出状態とで切換可能である。
Further, the cover plate 156 is also formed with a hole 166 corresponding to a plurality of mounting holes 158 of the base plate 154. The punching hole 166 has the same shape as the punching hole 102 of the nozzle tray 88, and is composed of a circular hole portion 168 and a slot portion 170. Therefore, the nozzle pallet 152 can be switched between a partially exposed state and a fully exposed state as in the nozzle tray 88.
詳しくは、全露出状態では、図１２に示すように、載置穴１５８の段差面１６０等が完全に露出し、載置穴１５８に吸着ノズル６２を載置すること、若しくは、載置穴１５８から吸着ノズル６２を取り出すことが可能である。一方、一部露出状態では、図１１に示すように、載置穴１５８の段差面１６０等の一部は、カバープレート１５６によって覆われており、載置穴１５８に吸着ノズル６２を載置すること、若しくは、載置穴１５８から吸着ノズル６２を取り出すことができない。ただし、一部露出状態では、図１３および、図１４に示すように、載置穴１５８に載置された吸着ノズル６２の胴体筒６４は、スロット部１７０からカバープレート１５６の上方に延び出している。
Specifically, in the fully exposed state, as shown in FIG. 12, the stepped surface 160 and the like of the mounting hole 158 are completely exposed, and the suction nozzle 62 is mounted in the mounting hole 158, or the mounting hole 158 is mounted. It is possible to take out the suction nozzle 62 from. On the other hand, in the partially exposed state, as shown in FIG. 11, a part of the stepped surface 160 and the like of the mounting hole 158 is covered with the cover plate 156, and the suction nozzle 62 is mounted in the mounting hole 158. Or, the suction nozzle 62 cannot be taken out from the mounting hole 158. However, in the partially exposed state, as shown in FIGS. 13 and 14, the body cylinder 64 of the suction nozzle 62 mounted in the mounting hole 158 extends above the cover plate 156 from the slot portion 170. There is.
また、カバープレート１５６は、ベースプレート１５４に対して、全露出状態と一部露出状態との間でスライド可能であり、スプリング（図示省略）によって、一部露出状態となる方向に付勢されている。このため、通常は、ノズルパレット１５２への吸着ノズル６２の収容、若しくは、ノズルパレット１５２からの吸着ノズル６２の取出しが禁止されている。ただし、ノズルトレイ８８と同様に、カバープレート１５６を、スプリングの弾性力に抗して、全露出状態となる方向にスライドさせることで、ノズルパレット１５２への吸着ノズル６２の収容、若しくは、ノズルパレット１５２からの吸着ノズル６２の取出しが可能となる。
Further, the cover plate 156 is slidable with respect to the base plate 154 between the fully exposed state and the partially exposed state, and is urged in the direction of being partially exposed by a spring (not shown). .. Therefore, it is usually prohibited to accommodate the suction nozzle 62 in the nozzle pallet 152 or to take out the suction nozzle 62 from the nozzle pallet 152. However, similarly to the nozzle tray 88, by sliding the cover plate 156 in the direction of fully exposed against the elastic force of the spring, the suction nozzle 62 can be accommodated in the nozzle pallet 152, or the nozzle pallet can be accommodated. The suction nozzle 62 can be taken out from the 152.
パレット収容装置１３０は、上記構造のノズルパレット１５２を収容する装置である。パレット収容装置１３０は、図９および図１０に示すように、複数のパレットキャリア１８０とキャリア循環機構１８２とを有している。パレットキャリア１８０は、チャンネル形状、つまり、断面がコの字型をなす形状であり、チャンネル形状の開口が下方を向いた状態で配設されている。パレットキャリア１８０の内側の側面には、レール１８３が形成されており、そのレール１８３によって、ノズルパレット１５２が保持される。なお、ノズルパレット１５２は、パレットキャリア１８０の前方から挿入されることで、パレットキャリア１８０に保持され、ノズルパレット１５２を前方に引き出すことで、パレットキャリア１８０から取り出される。
The pallet accommodating device 130 is an apparatus for accommodating the nozzle pallet 152 having the above structure. As shown in FIGS. 9 and 10, the pallet accommodating device 130 has a plurality of pallet carriers 180 and a carrier circulation mechanism 182. The pallet carrier 180 has a channel shape, that is, a U-shaped cross section, and is arranged in a state where the channel-shaped opening faces downward. A rail 183 is formed on the inner side surface of the pallet carrier 180, and the nozzle pallet 152 is held by the rail 183. The nozzle pallet 152 is held by the pallet carrier 180 by being inserted from the front of the pallet carrier 180, and is taken out from the pallet carrier 180 by pulling out the nozzle pallet 152 forward.
キャリア循環機構１８２は、１対のスプロケット軸１８４を有しており、１対のスプロケット軸１８４は、前後方向に延びた状態で上下に配設されている。各スプロケット軸１８４の両端には、スプロケット１８６が取り付けられている。１対のスプロケット軸１８４の前端のスプロケット１８６同士が、チェーン１８８によって連結され、１対のスプロケット軸１８４の後端のスプロケット１８６同士が、チェーン１９０によって連結されている。
The carrier circulation mechanism 182 has a pair of sprocket shafts 184, and the pair of sprocket shafts 184 are arranged vertically in a state of extending in the front-rear direction. Sprocket 186 is attached to both ends of each sprocket shaft 184. The sprocket 186s at the front end of the pair of sprockets shaft 184 are connected to each other by the chain 188, and the sprocket 186s at the rear end of the pair of sprockets shaft 184 are connected to each other by the chain 190.
チェーン１８８，１９０には、複数のブラケット１９２が取り付けられており、各ブラケット１９２は、チェーン１８８，１９０と直角な状態で外側に向かって延び出している。チェーン１８８に取り付けられたブラケット１９２と、チェーン１９０に取り付けられたブラケット１９２とは、それぞれの先端部において、パレットキャリア１８０を揺動可能に支持している。そして、電磁モータ（図示省略）の駆動により、スプロケット軸１８４が制御可能に回転する。このような構造により、複数のパレットキャリア１８０、つまり、パレットキャリア１８０に保持されたノズルパレット１５２は、キャリア循環機構１８２によって、ノズル管理装置１１０の内部において上下方向に循環する。なお、パレットキャリア１８０は、循環時において、常に、チャンネル形状の開口が下方を向いた状態が維持されることから、パレットキャリア１８０に保持されたノズルパレット１５２は、常に、水平な状態で循環する。
A plurality of brackets 192 are attached to the chains 188 and 190, and each bracket 192 extends outward at right angles to the chains 188 and 190. The bracket 192 attached to the chain 188 and the bracket 192 attached to the chain 190 swingably support the pallet carrier 180 at their respective tips. Then, the sprocket shaft 184 rotates in a controllable manner by driving an electromagnetic motor (not shown). With such a structure, the plurality of pallet carriers 180, that is, the nozzle pallets 152 held by the pallet carriers 180 are circulated in the vertical direction inside the nozzle management device 110 by the carrier circulation mechanism 182. Since the pallet carrier 180 always maintains a state in which the channel-shaped opening faces downward during circulation, the nozzle pallet 152 held by the pallet carrier 180 always circulates in a horizontal state. ..
（ｂ）トレイ収容装置トレイ収容装置１３２は、ノズルトレイ８８を収容する装置であり、パレット収容装置１３０の前方に配設されている。トレイ収容装置１３２は、複数のトレイキャリア２００とキャリア循環機構２０２とを有している。トレイキャリア２００は、パレットキャリア１８０と同様に、チャンネル形状をなし、チャンネル形状の開口が下方を向いた状態で配設されている。また、トレイキャリア２００は、内側の側面に形成されたレール２０４によって、ノズルトレイ８８を保持する。なお、ノズルトレイ８８は、トレイキャリア２００の前方から挿入されることで、トレイキャリア２００に保持され、ノズルトレイ８８を前方に引き出すことで、トレイキャリア２００から取り出される。
(B) Tray accommodating device The tray accommodating device 132 is an apparatus for accommodating the nozzle tray 88 and is arranged in front of the pallet accommodating device 130. The tray accommodating device 132 has a plurality of tray carriers 200 and a carrier circulation mechanism 202. Like the pallet carrier 180, the tray carrier 200 has a channel shape and is arranged in a state where the channel-shaped opening faces downward. Further, the tray carrier 200 holds the nozzle tray 88 by the rail 204 formed on the inner side surface. The nozzle tray 88 is held in the tray carrier 200 by being inserted from the front of the tray carrier 200, and is taken out from the tray carrier 200 by pulling out the nozzle tray 88 forward.
キャリア循環機構２０２は、キャリア循環機構１８２と同様にスプロケット軸，スプロケット，チェーン，ブラケット（符号省略）等を有しており、キャリア循環機構１８２と同様に作動する。このため、複数のトレイキャリア２００、つまり、トレイキャリア２００に保持されたノズルトレイ８８は、キャリア循環機構２０２によって、ノズル管理装置１１０の内部において上下方向に循環する。なお、トレイキャリア２００は、循環時において、常に、チャンネル形状の開口が下方を向いた状態が維持されることから、トレイキャリア２００に保持されたノズルトレイ８８は、常に、水平な状態で循環する。
The carrier circulation mechanism 202 has a sprocket shaft, a sprocket, a chain, a bracket (reference numeral omitted) and the like like the carrier circulation mechanism 182, and operates in the same manner as the carrier circulation mechanism 182. Therefore, the plurality of tray carriers 200, that is, the nozzle trays 88 held by the tray carriers 200, are circulated in the vertical direction inside the nozzle management device 110 by the carrier circulation mechanism 202. Since the tray carrier 200 always maintains a state in which the channel-shaped opening faces downward during circulation, the nozzle tray 88 held by the tray carrier 200 always circulates in a horizontal state. ..
（ｃ）ノズル移載装置ノズル移載装置１３４は、ノズルトレイ８８とノズルパレット１５２との間で吸着ノズル６２を移載するための装置であり、図１５に示すように、引出１１８内のテーブル２０５上に配設されている。ノズル移載装置１３４は、移載ヘッド２０６とヘッド移動装置２０７とを有している。移載ヘッド２０６の下端面には、下方を向いた状態のカメラ２０８と、吸着ノズル６２を保持するための保持チャック（図９、図１０参照）２０９とが取り付けられている。また、ヘッド移動装置２０７は、移載ヘッド２０６をテーブル２０５の上において前後方向、左右方向、上下方向に移動させるＸＹＺ型の移動装置である。さらに、ヘッド移動装置２０７は、保持チャック２０９をそれの軸線周りに自転させるための自転機構（図示省略）を備えており、保持チャック２０９によって保持された吸着ノズル６２を自転させることが可能である。
(C) Nozzle transfer device The nozzle transfer device 134 is a device for transferring the suction nozzle 62 between the nozzle tray 88 and the nozzle pallet 152, and as shown in FIG. 15, the table in the drawer 118. It is arranged on 205. The nozzle transfer device 134 has a transfer head 206 and a head moving device 207. A camera 208 facing downward and a holding chuck (see FIGS. 9 and 10) 209 for holding the suction nozzle 62 are attached to the lower end surface of the transfer head 206. Further, the head moving device 207 is an XYZ type moving device that moves the transfer head 206 on the table 205 in the front-rear direction, the left-right direction, and the up-down direction. Further, the head moving device 207 includes a rotation mechanism (not shown) for rotating the holding chuck 209 around its axis, and can rotate the suction nozzle 62 held by the holding chuck 209. ..
また、引出１１８内のテーブル２０５には、ノズルトレイ８８をセットするための固定ステージ２１０および、可動ステージ２１２が設けられている。固定ステージ２１０は、テーブル２０５に固定されている。一方、可動ステージ２１２は、ステージ移動機構２１４によって前後方向にスライドする。ステージ移動機構２１４は、前後方向に延びるようにテーブル２０５に配設されたレール２１６を有しており、可動ステージ２１２を、レール２１６に沿って制御可能にスライドさせる。レール２１６の後端部は、キャリア循環機構２０２によって所定の位置に循環したトレイキャリア２００のレール２０４と連結する。このため、可動ステージ２１２のスライドにより、可動ステージ２１２にセットされたノズルトレイ８８をトレイキャリア２００に収納すること、および、トレイキャリア２００に収容されているノズルトレイ８８を可動ステージ２１２上にセットすることが可能である。
Further, the table 205 in the drawer 118 is provided with a fixed stage 210 for setting the nozzle tray 88 and a movable stage 212. The fixed stage 210 is fixed to the table 205. On the other hand, the movable stage 212 slides in the front-rear direction by the stage moving mechanism 214. The stage moving mechanism 214 has rails 216 arranged on the table 205 so as to extend in the front-rear direction, and slides the movable stage 212 controllably along the rails 216. The rear end of the rail 216 is connected to the rail 204 of the tray carrier 200 that has been circulated in place by the carrier circulation mechanism 202. Therefore, the nozzle tray 88 set in the movable stage 212 is stored in the tray carrier 200 by sliding the movable stage 212, and the nozzle tray 88 housed in the tray carrier 200 is set on the movable stage 212. It is possible.
また、固定ステージ２１０および、可動ステージ２１２には、セットされたノズルトレイ８８に対して、カバープレート９２を全露出状態となる方向に移動させるためのプレート移動機構（図示省略）が設けられている。なお、図には、固定ステージ２１０にセットされたノズルトレイ８８が図示されている。
Further, the fixed stage 210 and the movable stage 212 are provided with a plate moving mechanism (not shown) for moving the cover plate 92 in a direction in which the cover plate 92 is fully exposed with respect to the set nozzle tray 88. .. The figure shows a nozzle tray 88 set on the fixed stage 210.
また、引出１１８内のテーブル２０５には、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環されたパレットキャリア１８０と、ノズル移載装置１３４による吸着ノズル６２の移載が可能な位置（以下、「ノズル移載位置」と略す場合がある）との間で、ノズルパレット１５２を移動させる第１パレット移動機構２１８が配設されている。第１パレット移動機構２１８は、前後方向に延びるようにテーブル２０５に配設されたレール２１９を有しており、ノズルパレット１５２を、レール２１９に沿って制御可能にスライドさせる。レール２１９の後端部は、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環したパレットキャリア１８０のレール１８３と連結する。このため、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環されたパレットキャリア１８０と、ノズル移載位置との間で、ノズルパレット１５２を移動させることが可能である。なお、図には、ノズル移載位置に移動したノズルパレット１５２が図示されている。
Further, on the table 205 in the drawer 118, the pallet carrier 180 circulated at a predetermined position by the carrier circulation mechanism 182 and the suction nozzle 62 by the nozzle transfer device 134 can be transferred (hereinafter, “nozzle transfer”). A first pallet moving mechanism 218 for moving the nozzle pallet 152 is arranged between the nozzle pallet 152 and the mounting position (which may be abbreviated as "mounting position"). The first pallet moving mechanism 218 has a rail 219 arranged on the table 205 so as to extend in the front-rear direction, and slides the nozzle pallet 152 along the rail 219 in a controllable manner. The rear end of the rail 219 is connected to the rail 183 of the pallet carrier 180 that has been circulated in a predetermined position by the carrier circulation mechanism 182. Therefore, the nozzle pallet 152 can be moved between the pallet carrier 180 circulated at a predetermined position by the carrier circulation mechanism 182 and the nozzle transfer position. In addition, the nozzle pallet 152 moved to the nozzle transfer position is shown in the figure.
ノズル移載位置に移動したノズルパレット１５２の前方側には、載置プレート２２０が配設されている。載置プレート２２０には、ノズルパレット１５２のベースプレート１５４に形成された載置穴１５８と同形状の載置穴２２１が複数形成されている。複数の載置穴２２１には、載置穴１５８と同様に、大きな径の載置穴２２１と小さな径の載置穴２２１とが有り、種々のサイズの吸着ノズル６２を載置することが可能である。
A mounting plate 220 is arranged on the front side of the nozzle pallet 152 that has been moved to the nozzle transfer position. The mounting plate 220 is formed with a plurality of mounting holes 221 having the same shape as the mounting holes 158 formed in the base plate 154 of the nozzle pallet 152. Similar to the mounting holes 158, the plurality of mounting holes 221 have a mounting hole 221 having a large diameter and a mounting hole 221 having a small diameter, and suction nozzles 62 of various sizes can be mounted. Is.
また、引出１１８内のテーブル２０５の前端部には、廃棄ボックス２２２が配設されている。廃棄ボックス２２２は、４つの空間に仕切られており、正常でないと判断された吸着ノズル６２、つまり、不良ノズルが、それら４つの空間に区別して廃棄される。なお、各廃棄ボックス２２２の底面には、図１６に示すように、緩衝シート２２３が配設されている。緩衝シート２２３は、クッション材により成形されており、廃棄ボックス２２２の底面全体を覆っている。緩衝シート２２３は、第１傾斜部２２４と平面部２２５と第２傾斜部２２６とによって構成されている。第１傾斜部２２４は、図１５に示すように、廃棄ボックス２２２内の引出１１８の内側の端部に位置しており、引出１１８の外側に向かって下降する斜面である。また、第２傾斜部２２６は、図１６に示すように、第１傾斜部２２４の反対側の端部に位置しており、第１傾斜部２２４に向かって下降する斜面である。そして、平面部２２５は、第１傾斜部２２４の下降側の端部と第２傾斜部２２６の下降側の端部とに連続する平面である。
A disposal box 222 is arranged at the front end of the table 205 in the drawer 118. The disposal box 222 is divided into four spaces, and the suction nozzle 62, that is, the defective nozzle, which is determined to be abnormal, is classified into these four spaces and discarded. As shown in FIG. 16, a cushioning sheet 223 is arranged on the bottom surface of each waste box 222. The cushioning sheet 223 is formed of a cushioning material and covers the entire bottom surface of the waste box 222. The cushioning sheet 223 is composed of a first inclined portion 224, a flat surface portion 225, and a second inclined portion 226. As shown in FIG. 15, the first inclined portion 224 is located at the inner end of the drawer 118 in the waste box 222, and is a slope that descends toward the outside of the drawer 118. Further, as shown in FIG. 16, the second inclined portion 226 is located at the opposite end of the first inclined portion 224, and is a slope descending toward the first inclined portion 224. The flat surface portion 225 is a flat surface continuous with the descending end of the first inclined portion 224 and the descending end of the second inclined portion 226.
また、図１５に示すように、ノズル移載位置に移動したノズルパレット１５２の隣には、ブロー装置２２７が配設されている。ブロー装置２２７は、吸着ノズル６２の乾燥を行うものであり、図１７に示すように、筒状の本体部２２８と、本体部２２８の側面に形成されたエア噴出孔２２９と、エア噴出孔２２９に接続されるエア噴出装置（図示省略）とによって構成されている。
Further, as shown in FIG. 15, a blow device 227 is arranged next to the nozzle pallet 152 that has been moved to the nozzle transfer position. The blow device 227 dries the suction nozzle 62, and as shown in FIG. 17, has a tubular main body 228, an air ejection hole 229 formed on the side surface of the main body 228, and an air ejection hole 229. It is composed of an air ejection device (not shown) connected to.
（ｄ）第１ノズル検査装置第１ノズル検査装置１３６は、吸着ノズル６２の先端部、つまり、吸着管６８の状態の検査（以下、「先端部検査」と略す場合がある）と、吸着ノズル６２の先端部を後退させるために必要な力、つまり、吸着管６８を胴体筒６４の内部に向かって後退させるために必要な力の検査（以下、「後退力検査」と略す場合がある）とを実行する装置であり、ノズル移載装置１３４の下方に配設されている。
(D) First Nozzle Inspection Device The first nozzle inspection device 136 includes inspection of the state of the tip of the suction nozzle 62, that is, the suction tube 68 (hereinafter, may be abbreviated as “tip inspection”) and the suction nozzle. Inspection of the force required to retract the tip of 62, that is, the force required to retract the suction pipe 68 toward the inside of the body cylinder 64 (hereinafter, may be abbreviated as "retraction force inspection"). It is a device that executes the above, and is arranged below the nozzle transfer device 134.
第１ノズル検査装置１３６は、図１８に示すように、検査ユニット２３０とユニット移動装置２３２とを有している。検査ユニット２３０は、基台２３４とカメラ装置２３６と荷重測定装置２３８とを有している。カメラ装置２３６は、上方を向いた状態で基台２３４の上に配設されている。荷重測定装置２３８は、ロードセル２４０および押当金具２４２を有しており、ロードセル２４０および押当金具２４２は、基台２３４の上に露出した状態で配設されている。
As shown in FIG. 18, the first nozzle inspection device 136 has an inspection unit 230 and a unit moving device 232. The inspection unit 230 has a base 234, a camera device 236, and a load measuring device 238. The camera device 236 is arranged on the base 234 in a state of facing upward. The load measuring device 238 has a load cell 240 and a pressing metal fitting 242, and the load cell 240 and the pressing metal fitting 242 are arranged in an exposed state on the base 234.
ユニット移動装置２３２は、固定ビーム２５０と可動ビーム２５２と第１スライダ２５４と第２スライダ２５６を有している。固定ビーム２５０は、ノズル管理装置１１０の躯体に、前後方向に延びるように配設されている。可動ビーム２５２は、左右方向に延びるように固定ビーム２５０に支持されており、前後方向にスライド可能である。その可動ビーム２５２は、第１移動機構２５８の作動により、前後方向の任意の位置に移動する。第１スライダ２５４は、可動ビーム２５２に左右方向にスライド可能に支持されており、第２移動機構２６０の作動により、左右方向の任意の位置に移動する。第２スライダ２５６は、第１スライダ２５４に上下方向にスライド可能に支持されており、第３移動機構２６２の作動により、上下方向の任意の位置に移動する。その第２スライダ２５６の上端に、検査ユニット２３０の基台２３４が固定されている。これにより、ユニット移動装置２３２は、検査ユニット２３０を、上下、左右、前後方向の任意の位置に移動させるＸＹＺ型移動装置として機能する。
The unit moving device 232 has a fixed beam 250, a movable beam 252, a first slider 254, and a second slider 256. The fixed beam 250 is arranged on the skeleton of the nozzle management device 110 so as to extend in the front-rear direction. The movable beam 252 is supported by the fixed beam 250 so as to extend in the left-right direction, and can slide in the front-rear direction. The movable beam 252 moves to an arbitrary position in the front-rear direction by the operation of the first moving mechanism 258. The first slider 254 is slidably supported in the left-right direction by the movable beam 252, and is moved to an arbitrary position in the left-right direction by the operation of the second moving mechanism 260. The second slider 256 is slidably supported by the first slider 254 in the vertical direction, and is moved to an arbitrary position in the vertical direction by the operation of the third moving mechanism 262. The base 234 of the inspection unit 230 is fixed to the upper end of the second slider 256. As a result, the unit moving device 232 functions as an XYZ type moving device that moves the inspection unit 230 to an arbitrary position in the up / down, left / right, and front / back directions.
また、第１ノズル検査装置１３６の上方には、第２パレット移動機構２６６が配設されている。第２パレット移動機構２６６は、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環されたパレットキャリア１８０と、第１ノズル検査装置１３６による先端部検査および後退力検査を行うことが可能な位置（以下、「第１検査位置」と略す場合がある）との間で、ノズルパレット１５２を移動させる機構である。詳しくは、第２パレット移動機構２６６は、前後方向に延びるように配設されたレール２６８を有しており、ノズルパレット１５２を、レール２６８に沿って制御可能にスライドさせる。レール２６８の後端部は、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環したパレットキャリア１８０のレール１８３と連結する。このため、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環されたパレットキャリア１８０と、第１検査位置との間で、ノズルパレット１５２を移動させることが可能である。なお、図には、第１検査位置に移動したノズルパレット１５２が図示されている。
Further, a second pallet moving mechanism 266 is arranged above the first nozzle inspection device 136. The second pallet moving mechanism 266 is a position where the pallet carrier 180 circulated at a predetermined position by the carrier circulation mechanism 182 and the tip end portion inspection and the retracting force inspection by the first nozzle inspection device 136 can be performed (hereinafter, "" It is a mechanism for moving the nozzle pallet 152 between and (sometimes abbreviated as "first inspection position"). Specifically, the second pallet moving mechanism 266 has rails 268 arranged so as to extend in the front-rear direction, and slides the nozzle pallet 152 along the rails 268 in a controllable manner. The rear end of the rail 268 is connected to the rail 183 of the pallet carrier 180 that has been circulated in a predetermined position by the carrier circulation mechanism 182. Therefore, the nozzle pallet 152 can be moved between the pallet carrier 180 circulated at a predetermined position by the carrier circulation mechanism 182 and the first inspection position. In addition, the nozzle pallet 152 moved to the first inspection position is shown in the figure.
（ｅ）第２ノズル検査装置第２ノズル検査装置１３８は、吸着ノズル６２内を流れるエアの流量の検査（以下、「エア流量検査」と略す場合がある）と、吸着ノズル６２のフランジ部６６に記された２Ｄコード７４の読み取り検査（以下、「コード読取検査」と略す場合がある）とを実行する装置であり、第１ノズル検査装置１３６の下方に配設されている。
(E) Second Nozzle Inspection Device The second nozzle inspection device 138 inspects the flow rate of air flowing in the suction nozzle 62 (hereinafter, may be abbreviated as “air flow rate inspection”) and the flange portion 66 of the suction nozzle 62. It is a device that executes the reading inspection of the 2D code 74 described in 1 (hereinafter, may be abbreviated as "code reading inspection"), and is arranged below the first nozzle inspection device 136.
第２ノズル検査装置１３８は、図１９に示すように、検査ヘッド２７０とヘッド移動装置２７２とを有している。検査ヘッド２７０は、カメラ２７４とエア供給装置２７６とを有している。カメラ２７４は、下方を向いた状態で検査ヘッド２７０の下端部に取り付けられている。エア供給装置２７６は、エアジョイント２７８と空気圧センサ２８０とジョイント昇降機構２８２とを有している。エアジョイント２７８は、エア流量検査実行時に吸着ノズル６２の胴体筒６４に接続されるものであり、エアジョイント２７８を介して、エア流量検査実行時に吸着ノズル６２にエアが供給される。空気圧センサ２８０は、エアジョイント２７８の上端部に設けられており、吸着ノズル６２に供給されるエア圧を測定する。ジョイント昇降機構２８２は、エアジョイント２７８を、空気圧センサ２８０とともに昇降させる。
As shown in FIG. 19, the second nozzle inspection device 138 has an inspection head 270 and a head moving device 272. The inspection head 270 includes a camera 274 and an air supply device 276. The camera 274 is attached to the lower end of the inspection head 270 with the camera facing downward. The air supply device 276 includes an air joint 278, an air pressure sensor 280, and a joint elevating mechanism 282. The air joint 278 is connected to the fuselage cylinder 64 of the suction nozzle 62 when the air flow rate inspection is executed, and air is supplied to the suction nozzle 62 when the air flow rate inspection is executed via the air joint 278. The air pressure sensor 280 is provided at the upper end of the air joint 278 and measures the air pressure supplied to the suction nozzle 62. The joint elevating mechanism 282 elevates and elevates the air joint 278 together with the air pressure sensor 280.
ヘッド移動装置２７２は、可動ビーム２８４とスライダ２８６とを有している。可動ビーム２８４は、上述した第１ノズル検査装置１３６の固定ビーム２５０によって、左右方向に延びるように支持されており、前後方向にスライド可能である。その可動ビーム２８４は、第１移動機構２８８の作動により、前後方向の任意の位置に移動する。スライダ２８６は、可動ビーム２８４に左右方向にスライド可能に支持されており、第２移動機構２９０の作動により、左右方向の任意の位置に移動する。そのスライダ２８６の側面に、検査ヘッド２７０が固定されている。これにより、ヘッド移動装置２７２は、検査ヘッド２７０を、上下、左右方向の任意の位置に移動させるＸＹ型移動装置として機能する。
The head moving device 272 has a movable beam 284 and a slider 286. The movable beam 284 is supported so as to extend in the left-right direction by the fixed beam 250 of the first nozzle inspection device 136 described above, and is slidable in the front-rear direction. The movable beam 284 moves to an arbitrary position in the front-rear direction by the operation of the first moving mechanism 288. The slider 286 is slidably supported in the left-right direction by the movable beam 284, and moves to an arbitrary position in the left-right direction by the operation of the second moving mechanism 290. An inspection head 270 is fixed to the side surface of the slider 286. As a result, the head moving device 272 functions as an XY type moving device that moves the inspection head 270 to an arbitrary position in the vertical and horizontal directions.
また、第２ノズル検査装置１３８の下方には、第３パレット移動機構２９６が配設されている。第３パレット移動機構２９６は、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環されたパレットキャリア１８０と、第２ノズル検査装置１３８によるエア流量検査およびコード読取検査を行うことが可能な位置（以下、「第２検査位置」と略す場合がある）との間で、ノズルパレット１５２を移動させる機構である。詳しくは、第３パレット移動機構２９６は、前後方向に延びるように配設されたレール２９８を有しており、ノズルパレット１５２を、レール２９８に沿って制御可能にスライドさせる。レール２９８の後端部は、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環したパレットキャリア１８０のレール１８３と連結する。このため、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環されたパレットキャリア１８０と、第２検査位置との間で、ノズルパレット１５２を移動させることが可能である。なお、図には、第２検査位置に移動したノズルパレット１５２が図示されている。
Further, a third pallet moving mechanism 296 is arranged below the second nozzle inspection device 138. The third pallet moving mechanism 296 is a position where the pallet carrier 180 circulated in a predetermined position by the carrier circulation mechanism 182 and the air flow rate inspection and the code reading inspection by the second nozzle inspection device 138 can be performed (hereinafter, "" It is a mechanism for moving the nozzle pallet 152 between and (sometimes abbreviated as "second inspection position"). Specifically, the third pallet moving mechanism 296 has a rail 298 arranged so as to extend in the front-rear direction, and slides the nozzle pallet 152 along the rail 298 in a controllable manner. The rear end of the rail 298 is connected to the rail 183 of the pallet carrier 180 that has been circulated in a predetermined position by the carrier circulation mechanism 182. Therefore, the nozzle pallet 152 can be moved between the pallet carrier 180 circulated at a predetermined position by the carrier circulation mechanism 182 and the second inspection position. In addition, the nozzle pallet 152 moved to the second inspection position is shown in the figure.
（ｆ）ノズル洗浄装置ノズル洗浄装置１４０は、吸着ノズル６２の洗浄および乾燥を行う装置であり、第２ノズル検査装置１３８の下方に配設されている。ノズル洗浄装置１４０は、図２０に示すように、ハウジング３００を有しており、ハウジング３００内で、吸着ノズル６２の洗浄および乾燥が行われる。ノズル洗浄装置１４０の構造を説明するべく、ハウジング３００を除いたノズル洗浄装置１４０を、図２１に示す。
(F) Nozzle Cleaning Device The nozzle cleaning device 140 is a device that cleans and dries the suction nozzle 62, and is arranged below the second nozzle inspection device 138. As shown in FIG. 20, the nozzle cleaning device 140 has a housing 300, and the suction nozzle 62 is cleaned and dried in the housing 300. In order to explain the structure of the nozzle cleaning device 140, FIG. 21 shows the nozzle cleaning device 140 excluding the housing 300.
ノズル洗浄装置１４０は、図２１に示すように、ノズル洗浄機構３０２とノズル乾燥機構３０４とを有している。ノズル洗浄機構３０２は、上部洗浄ユニット３０６と下部洗浄ユニット３０８とによって構成されている。上部洗浄ユニット３０６と下部洗浄ユニット３０８とは、略同じ構造であり、上下方向において、互いに向かい合うように配置されている。各ユニット３０６，３０８は、支持フレーム３１０と噴射ノズル３１２と噴射ノズル移動機構３１４とを有している。
As shown in FIG. 21, the nozzle cleaning device 140 has a nozzle cleaning mechanism 302 and a nozzle drying mechanism 304. The nozzle cleaning mechanism 302 includes an upper cleaning unit 306 and a lower cleaning unit 308. The upper cleaning unit 306 and the lower cleaning unit 308 have substantially the same structure, and are arranged so as to face each other in the vertical direction. Each of the units 306 and 308 has a support frame 310, an injection nozzle 312, and an injection nozzle moving mechanism 314.
上部洗浄ユニット３０６の支持フレーム３１０ａは、ハウジング３００の上面に固定されており、下部洗浄ユニット３０８の支持フレーム３１０ｂは、ハウジング３００内の下面に固定されている。上部洗浄ユニット３０６の噴射ノズル３１２ａは、左右方向に延びるようにハウジング３００内の上端部に配設されており、支持フレーム３１０ａによって、ハウジング３００の上面を介して、前後方向にスライド可能に支持されている。その噴射ノズル３１２ａは、上部洗浄ユニット３０６の噴射ノズル移動機構３１４ａにより、前後方向に制御可能にスライドする。下部洗浄ユニット３０８の噴射ノズル３１２ｂは、左右方向に延びるようにハウジング３００内の下端部に配設されており、支持フレーム３１０ｂによって、ハウジング３００の下面を介して、前後方向にスライド可能に支持されている。その噴射ノズル３１２ｂは、下部洗浄ユニット３０８の噴射ノズル移動機構３１４ｂにより、前後方向に制御可能にスライドする。なお、噴射ノズル３１２ａの下面には、複数の噴射穴（図示省略）が形成されており、噴射ノズル３１２ｂの上面には、複数の噴射穴３１６が形成されている。
The support frame 310a of the upper cleaning unit 306 is fixed to the upper surface of the housing 300, and the support frame 310b of the lower cleaning unit 308 is fixed to the lower surface of the housing 300. The injection nozzle 312a of the upper cleaning unit 306 is arranged at the upper end portion in the housing 300 so as to extend in the left-right direction, and is slidably supported in the front-rear direction by the support frame 310a via the upper surface of the housing 300. ing. The injection nozzle 312a slides in a controllable manner in the front-rear direction by the injection nozzle moving mechanism 314a of the upper cleaning unit 306. The injection nozzle 312b of the lower cleaning unit 308 is arranged at the lower end of the housing 300 so as to extend in the left-right direction, and is slidably supported in the front-rear direction by the support frame 310b via the lower surface of the housing 300. ing. The injection nozzle 312b slides in a controllable manner in the front-rear direction by the injection nozzle moving mechanism 314b of the lower cleaning unit 308. A plurality of injection holes (not shown) are formed on the lower surface of the injection nozzle 312a, and a plurality of injection holes 316 are formed on the upper surface of the injection nozzle 312b.
ノズル乾燥機構３０４は、ノズル洗浄機構３０２の後方に配設されており、複数の送風管３２０を有している。複数の送風管３２０は、ハウジング３００の上面および下面に、左右方向に延びるように配設されている。送風管３２０は、送風装置（図示省略）に加温器（図示省略）を介して接続されており、送風管３２０には、温風が吹き込まれる。また、送風管３２０には、ハウジング３００への取付部に複数の送風穴（図示省略）が形成されており、送風穴に対応して、ハウジング３００の上面および下面には、貫通穴が形成されている。これにより、ハウジング３００には、ノズル乾燥機構３０４によって、温風が吹き込まれる。
The nozzle drying mechanism 304 is arranged behind the nozzle cleaning mechanism 302 and has a plurality of blower pipes 320. The plurality of blower pipes 320 are arranged on the upper surface and the lower surface of the housing 300 so as to extend in the left-right direction. The blower pipe 320 is connected to a blower device (not shown) via a warmer (not shown), and warm air is blown into the blower pipe 320. Further, the blower pipe 320 is formed with a plurality of blower holes (not shown) at the attachment portion to the housing 300, and through holes are formed on the upper surface and the lower surface of the housing 300 corresponding to the blower holes. ing. As a result, warm air is blown into the housing 300 by the nozzle drying mechanism 304.
また、ハウジング３００内には、第４パレット移動機構３３０が配設されている。第４パレット移動機構３３０は、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環されたパレットキャリア１８０と、ノズル洗浄機構３０２による吸着ノズル６２の洗浄を行うことが可能な位置（以下、「洗浄位置」と略す場合がある）との間で、ノズルパレット１５２を移動させる機構である。詳しくは、第４パレット移動機構３３０は、前後方向に延びるようにハウジング３００の内壁面に配設されたレール３３２を有しており、ノズルパレット１５２を、レール３３２に沿って制御可能にスライドさせる。レール３３２の前端部は、上部洗浄ユニット３０６と下部洗浄ユニット３０８との間に位置している。一方、レール３３２の後端部は、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環したパレットキャリア１８０のレール１８３と連結する。このため、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環されたパレットキャリア１８０と、洗浄位置との間で、ノズルパレット１５２を移動させることが可能である。なお、図には、洗浄位置に移動したノズルパレット１５２が図示されている。
Further, a fourth pallet moving mechanism 330 is arranged in the housing 300. The fourth pallet moving mechanism 330 is a position where the pallet carrier 180 circulated at a predetermined position by the carrier circulation mechanism 182 and the suction nozzle 62 by the nozzle cleaning mechanism 302 can be cleaned (hereinafter, "cleaning position"). It is a mechanism for moving the nozzle pallet 152 to and from (may be abbreviated). Specifically, the fourth pallet moving mechanism 330 has a rail 332 arranged on the inner wall surface of the housing 300 so as to extend in the front-rear direction, and slides the nozzle pallet 152 controllably along the rail 332. .. The front end of the rail 332 is located between the upper cleaning unit 306 and the lower cleaning unit 308. On the other hand, the rear end portion of the rail 332 is connected to the rail 183 of the pallet carrier 180 circulated at a predetermined position by the carrier circulation mechanism 182. Therefore, the nozzle pallet 152 can be moved between the pallet carrier 180 circulated at a predetermined position by the carrier circulation mechanism 182 and the cleaning position. The nozzle pallet 152 that has been moved to the cleaning position is shown in the figure.
さらに、ハウジング３００の底面は、貯水タンクとして機能しており、ハウジング３００の底面に貯留された洗浄水が、循環され、上部洗浄ユニット３０６と下部洗浄ユニット３０８の噴射ノズル３１２に供給される。詳しくは、図２２に示すように、ハウジング３００の底面には、洗浄水３３８が貯留されており、その底面には、排水路３４０の一端が開口している。排水路３４０は、下方に向かって延設されており、排水路３４０には、不純物を取り除くためのフィルタ３４２が配設されている。これにより、ハウジング３００の底面に貯留されている洗浄水３３８が、排水路３４０に流れ込み、フィルタ３４２によって、不純物が取り除かれる。この際、洗浄水３３８は、重力によって、流れることから、ハウジング３００の底面から洗浄水を流すためのポンプ等を設ける必要がない。
Further, the bottom surface of the housing 300 functions as a water storage tank, and the cleaning water stored in the bottom surface of the housing 300 is circulated and supplied to the injection nozzles 312 of the upper cleaning unit 306 and the lower cleaning unit 308. Specifically, as shown in FIG. 22, wash water 338 is stored on the bottom surface of the housing 300, and one end of the drainage channel 340 is opened on the bottom surface. The drainage channel 340 extends downward, and the drainage channel 340 is provided with a filter 342 for removing impurities. As a result, the washing water 338 stored in the bottom surface of the housing 300 flows into the drainage channel 340, and impurities are removed by the filter 342. At this time, since the washing water 338 flows due to gravity, it is not necessary to provide a pump or the like for flowing the washing water from the bottom surface of the housing 300.
不純物の取り除かれた洗浄水３３８は、加圧ポンプ３４４に送り込まれ、加圧ポンプ３４４によって、給水路３４６に送り出される。その給水路３４６は、上部洗浄ユニット３０６と下部洗浄ユニット３０８の噴射ノズル３１２に接続されており、噴射ノズル３１２から洗浄水３３８が噴出される。また、下部洗浄ユニット３０８とハウジング３００の底面に貯留されている洗浄水３３８との間には、仕切板３４８が配設されている。仕切板３４８は、傾斜した状態で配設されており、その仕切板３４８の上面には、シート状のスポンジ３５０が固着されている。このため、噴射ノズル３１２から噴出された洗浄水３３８は、仕切板３４８上に落ちる。この際、仕切板３４８上面に配設されたスポンジ３５０によって、洗浄水３３８の跳ね返りが防止される。そして、洗浄水３３８は、傾斜した状態で配設された仕切板３４８上を流れ、ハウジング３００の底面に再貯留される。このように、ノズル洗浄装置１４０では、洗浄水３３８の循環が行われている。なお、下部洗浄ユニット３０８の下方に配設されている仕切板３４８は、ノズル乾燥機構３０４の下方にまで延び出している。
The cleaning water 338 from which impurities have been removed is sent to the pressurizing pump 344, and is sent out to the water supply channel 346 by the pressurizing pump 344. The water supply channel 346 is connected to the injection nozzle 312 of the upper cleaning unit 306 and the lower cleaning unit 308, and the cleaning water 338 is ejected from the injection nozzle 312. Further, a partition plate 348 is arranged between the lower cleaning unit 308 and the cleaning water 338 stored in the bottom surface of the housing 300. The partition plate 348 is arranged in an inclined state, and a sheet-shaped sponge 350 is fixed to the upper surface of the partition plate 348. Therefore, the washing water 338 ejected from the injection nozzle 312 falls on the partition plate 348. At this time, the sponge 350 arranged on the upper surface of the partition plate 348 prevents the washing water 338 from rebounding. Then, the washing water 338 flows on the partition plate 348 arranged in an inclined state, and is re-stored on the bottom surface of the housing 300. In this way, the nozzle cleaning device 140 circulates the cleaning water 338. The partition plate 348 arranged below the lower cleaning unit 308 extends below the nozzle drying mechanism 304.
＜ノズル管理装置による吸着ノズルの管理＞上記構成のノズル管理装置１１０では、ノズルトレイ８８に搭載された吸着ノズル６２のノズル管理装置１１０への収納作業、第１ノズル検査装置１３６による吸着ノズル６２の検査作業、第２ノズル検査装置１３８による吸着ノズル６２の検査作業、吸着ノズル６２の洗浄・乾燥作業、検査作業および洗浄・乾燥作業の完了した吸着ノズル６２のノズルトレイ８８への搭載作業、不良ノズルの廃棄作業が行われる。以下に、各作業実行時におけるノズル管理装置１１０の作動態様について説明する。
<Management of suction nozzles by the nozzle management device> In the nozzle management device 110 having the above configuration, the suction nozzle 62 mounted on the nozzle tray 88 is stored in the nozzle management device 110, and the suction nozzle 62 is stored by the first nozzle inspection device 136. Inspection work, inspection work of suction nozzle 62 by the second nozzle inspection device 138, cleaning / drying work of suction nozzle 62, installation work of suction nozzle 62 on nozzle tray 88 after completion of inspection work and cleaning / drying work, defective nozzle Disposal work is carried out. The operation mode of the nozzle management device 110 at the time of executing each work will be described below.
（ａ）吸着ノズルのノズル管理装置への収納作業吸着ノズル６２のノズル管理装置１１０への収納作業時において、図１５に示すように、作業者は、吸着ノズル６２が搭載されたノズルトレイ８８を、ノズル管理装置１１０の引出１１８内の固定ステージ２１０、若しくは、可動ステージ２１２にセットする。なお、可動ステージ２１２にノズルトレイ８８がセットされる際には、作業者が、ノズルトレイ８８を可動ステージ２１２にセットしてもよく、トレイキャリア２００に収容されているノズルトレイ８８を、ステージ移動機構２１４によって、可動ステージ２１２にセットしてもよい。また、ノズル管理装置１１０では、キャリア循環機構１８２の作動により、吸着ノズル６２を搭載可能なノズルパレット１５２を収容するパレットキャリア１８０が、第１パレット移動機構２１８に対応する位置に移動する。
(A) Storage work of the suction nozzle in the nozzle management device During the storage work of the suction nozzle 62 in the nozzle management device 110, as shown in FIG. 15, the operator holds the nozzle tray 88 on which the suction nozzle 62 is mounted. , Set to the fixed stage 210 or the movable stage 212 in the drawer 118 of the nozzle management device 110. When the nozzle tray 88 is set on the movable stage 212, the operator may set the nozzle tray 88 on the movable stage 212 and move the nozzle tray 88 housed in the tray carrier 200 to the stage. The movable stage 212 may be set by the mechanism 214. Further, in the nozzle management device 110, the pallet carrier 180 accommodating the nozzle pallet 152 on which the suction nozzle 62 can be mounted moves to a position corresponding to the first pallet moving mechanism 218 by the operation of the carrier circulation mechanism 182.
続いて、そのパレットキャリア１８０に収容されているノズルパレット１５２が、第１パレット移動機構２１８の作動により、ノズル移載位置に移動する。次に、ノズル移載位置に移動したノズルパレット１５２および、固定ステージ２１０若しくは、可動ステージ２１２にセットされたノズルトレイ８８が、プレート移動機構により、全露出状態とされる。続いて、移載ヘッド２０６が、ヘッド移動装置２０７の作動により、ノズルトレイ８８および、ノズルパレット１５２の上方に移動し、ノズルトレイ８８，ノズルパレット１５２の各々の２Ｄコード９４，１５７が、カメラ２０８によって撮像される。これにより、ノズルトレイ８８および、ノズルパレット１５２のＩＤナンバー等の固有情報が得られる。
Subsequently, the nozzle pallet 152 housed in the pallet carrier 180 is moved to the nozzle transfer position by the operation of the first pallet moving mechanism 218. Next, the nozzle pallet 152 moved to the nozzle transfer position and the nozzle tray 88 set on the fixed stage 210 or the movable stage 212 are fully exposed by the plate moving mechanism. Subsequently, the transfer head 206 is moved above the nozzle tray 88 and the nozzle pallet 152 by the operation of the head moving device 207, and the 2D codes 94 and 157 of the nozzle tray 88 and the nozzle pallet 152 are respectively moved to the camera 208. Imaged by. As a result, unique information such as the ID numbers of the nozzle tray 88 and the nozzle pallet 152 can be obtained.
続いて、移載ヘッド２０６が、ヘッド移動装置２０７の作動により、ノズルトレイ８８の上方に移動し、移載対象の吸着ノズル６２の２Ｄコード７４が、カメラ２０８によって撮像される。これにより、移載対象の吸着ノズル６２のＩＤナンバー等の固有情報が得られる。そして、移載対象の吸着ノズル６２が、保持チャック２０９によって保持される。
Subsequently, the transfer head 206 is moved above the nozzle tray 88 by the operation of the head moving device 207, and the 2D code 74 of the suction nozzle 62 to be transferred is imaged by the camera 208. As a result, unique information such as the ID number of the suction nozzle 62 to be transferred can be obtained. Then, the suction nozzle 62 to be transferred is held by the holding chuck 209.
移載対象の吸着ノズル６２が保持チャック２０９に保持されると、移載ヘッド２０６が、ヘッド移動装置２０７の作動により、吸着ノズル６２の移載先となるノズルパレット１５２の上方に移動し、保持された吸着ノズル６２が、ノズルパレット１５２の載置穴１５８に載置される。これにより、吸着ノズル６２が、ノズルトレイ８８からノズルパレット１５２に移載される。なお、吸着ノズル６２移載時には、移載先のノズルパレット１５２のＩＤナンバーと、移載された吸着ノズル６２のＩＤナンバーと、移載先のノズルパレット１５２の移載位置とが関連付けて記憶される。
When the suction nozzle 62 to be transferred is held by the holding chuck 209, the transfer head 206 moves above the nozzle pallet 152 to which the suction nozzle 62 is transferred by the operation of the head moving device 207 and holds the suction nozzle 62. The suction nozzle 62 is mounted in the mounting hole 158 of the nozzle pallet 152. As a result, the suction nozzle 62 is transferred from the nozzle tray 88 to the nozzle pallet 152. When the suction nozzle 62 is transferred, the ID number of the transfer destination nozzle pallet 152, the ID number of the transferred suction nozzle 62, and the transfer position of the transfer destination nozzle pallet 152 are stored in association with each other. NS.
また、吸着ノズル６２が移載される際に、移載先のノズルパレット１５２の載置穴１５８に空きが無い場合、つまり、全ての載置穴１５８に吸着ノズル６２が載置されている場合には、吸着ノズル６２を保持した保持チャック２０９が、ヘッド移動装置２０７の作動により、載置プレート２２０の上方に移動し、吸着ノズル６２は、載置プレート２２０の載置穴２２１に仮載置される。
Further, when the suction nozzle 62 is transferred, when there is no space in the mounting holes 158 of the transfer destination nozzle pallet 152, that is, when the suction nozzles 62 are mounted in all the mounting holes 158. The holding chuck 209 holding the suction nozzle 62 moves above the mounting plate 220 by the operation of the head moving device 207, and the suction nozzle 62 is temporarily mounted in the mounting hole 221 of the mounting plate 220. Will be done.
そして、ノズルパレット１５２への吸着ノズル６２の移載が完了すると、そのノズルパレット１５２は、第１パレット移動機構２１８の作動により、パレットキャリア１８０に収容される。これにより、吸着ノズル６２のノズル管理装置１１０への収納作業が終了する。
Then, when the transfer of the suction nozzle 62 to the nozzle pallet 152 is completed, the nozzle pallet 152 is housed in the pallet carrier 180 by the operation of the first pallet moving mechanism 218. As a result, the work of storing the suction nozzle 62 in the nozzle management device 110 is completed.
なお、ノズルパレット１５２への吸着ノズル６２の移載により、空となったノズルトレイ８８は、固定ステージ２１０または可動ステージ２１２から、作業者により回収される。若しくは、ノズルトレイ８８が可動ステージ２１２にセットされている場合には、ノズルパレット１５２への吸着ノズル６２の移載により、空となったノズルトレイ８８を、ステージ移動機構２１４の作動により、トレイキャリア２００に収容することも可能である。
The nozzle tray 88 that has been emptied by the transfer of the suction nozzle 62 to the nozzle pallet 152 is collected by the operator from the fixed stage 210 or the movable stage 212. Alternatively, when the nozzle tray 88 is set on the movable stage 212, the nozzle tray 88 that has been emptied due to the transfer of the suction nozzle 62 to the nozzle pallet 152 is moved to the tray carrier by the operation of the stage moving mechanism 214. It is also possible to accommodate in 200.
（ｂ）第１ノズル検査装置による吸着ノズルの検査作業吸着ノズル６２の検査作業において、第１ノズル検査装置１３６によって、先端部検査が行われる際には、キャリア循環機構１８２の作動により、所定のノズルパレット１５２を収容するパレットキャリア１８０が、図１８に示すように、第２パレット移動機構２６６に対応する位置に移動する。その所定のノズルパレット１５２には、検査対象の吸着ノズル６２が収容されている。
(B) Inspection work of suction nozzle by first nozzle inspection device In the inspection work of suction nozzle 62, when the tip portion is inspected by the first nozzle inspection device 136, the carrier circulation mechanism 182 operates to determine a predetermined value. As shown in FIG. 18, the pallet carrier 180 accommodating the nozzle pallet 152 moves to a position corresponding to the second pallet moving mechanism 266. The predetermined nozzle pallet 152 accommodates the suction nozzle 62 to be inspected.
続いて、そのパレットキャリア１８０に収容されているノズルパレット１５２が、第２パレット移動機構２６６の作動により、第１検査位置に移動する。そして、検査ユニット２３０のカメラ装置２３６が、ユニット移動装置２３２によって、検査対象の吸着ノズル６２の下方に移動し、検査対象の吸着ノズル６２の吸着管６８が、カメラ装置２３６によって撮像される。これにより、吸着ノズル６２の吸着管６８の撮像データが得られ、その撮像データに基づいて、吸着管６８の状態が検査される。撮像データに基づく検査により、吸着管６８の曲がり，先端欠け，先端潰れ等の異常が発見された場合には、第１ノズル検査装置１３６の検定が行われる。
Subsequently, the nozzle pallet 152 housed in the pallet carrier 180 is moved to the first inspection position by the operation of the second pallet moving mechanism 266. Then, the camera device 236 of the inspection unit 230 is moved below the suction nozzle 62 to be inspected by the unit moving device 232, and the suction tube 68 of the suction nozzle 62 to be inspected is imaged by the camera device 236. As a result, the imaging data of the suction pipe 68 of the suction nozzle 62 is obtained, and the state of the suction pipe 68 is inspected based on the imaged data. When an abnormality such as bending of the suction tube 68, chipping of the tip, or crushing of the tip is found by the inspection based on the imaging data, the first nozzle inspection device 136 is verified.
詳しくは、撮像データに基づく検査により吸着管６８の異常が発見された場合には、カメラ装置２３６が、ユニット移動装置２３２によって、ノズルパレット１５２の基準パイプ１７４の下方に移動し、基準パイプ１７４が、カメラ装置２３６によって撮像される。そして、その撮像データに基づいて、基準パイプ１７４の状態が検査される。基準パイプ１７４の下端部には、正常な吸着管６８が取り付けられており、第１ノズル検査装置１３６が正常であれば、当然、基準パイプ１７４の撮像データに基づく検査において、基準パイプ１７４の吸着管６８は、正常であると判断される。このため、検査対象の吸着ノズル６２の撮像データに基づく検査により吸着管６８の異常が発見され、さらに、基準パイプ１７４の撮像データに基づく検査により吸着管６８が正常であると判断された場合に、検査対象の吸着ノズル６２の吸着管６８の異常発生が確定し、検査対象の吸着ノズル６２が不良ノズルと認定される。一方、検査対象の吸着ノズル６２の撮像データに基づく検査により吸着管６８の異常が発見され、さらに、基準パイプ１７４の撮像データに基づく検査により吸着管６８が異常であると判断された場合には、第１ノズル検査装置１３６が正常な検査を行うことができないとみなされ、検査対象の吸着ノズル６２は不良ノズルと認定されない。
Specifically, when an abnormality in the suction pipe 68 is found by the inspection based on the imaging data, the camera device 236 is moved below the reference pipe 174 of the nozzle pallet 152 by the unit moving device 232, and the reference pipe 174 is moved. , Imaged by camera device 236. Then, the state of the reference pipe 174 is inspected based on the imaged data. A normal suction pipe 68 is attached to the lower end of the reference pipe 174, and if the first nozzle inspection device 136 is normal, naturally, in the inspection based on the imaging data of the reference pipe 174, the suction of the reference pipe 174 is performed. Tube 68 is determined to be normal. Therefore, when an abnormality of the suction pipe 68 is found by the inspection based on the imaging data of the suction nozzle 62 to be inspected, and further, when the suction pipe 68 is determined to be normal by the inspection based on the imaging data of the reference pipe 174. , The abnormal occurrence of the suction pipe 68 of the suction nozzle 62 to be inspected is confirmed, and the suction nozzle 62 to be inspected is recognized as a defective nozzle. On the other hand, when an abnormality in the suction pipe 68 is found by an inspection based on the imaging data of the suction nozzle 62 to be inspected, and further, when an inspection based on the imaging data of the reference pipe 174 determines that the suction pipe 68 is abnormal. , It is considered that the first nozzle inspection device 136 cannot perform a normal inspection, and the suction nozzle 62 to be inspected is not recognized as a defective nozzle.
また、第１ノズル検査装置１３６によって、後退力検査が行われる際には、吸着ノズル６２の吸着管６８の先端部をロードセル２４０に接触させ、吸着ノズル６２の吸着管６８が、胴体筒６４の内部に向かって後退するように、ロードセル２４０が移動させられる。この際、ロードセル２４０によって検出される荷重は、胴体筒６４と吸着管６８との相対移動時に生じる荷重であり、吸着管６８の胴体筒６４内への後退力である。この荷重は、比較的小さいため、ロードセル２４０は高感度のものが採用されているが、胴体筒６４と吸着管６８とが相対移動しない場合には、ロードセル２４０が破損する虞がある。
Further, when the retreat force inspection is performed by the first nozzle inspection device 136, the tip of the suction pipe 68 of the suction nozzle 62 is brought into contact with the load cell 240, and the suction pipe 68 of the suction nozzle 62 is attached to the body cylinder 64. The load cell 240 is moved so as to retract inward. At this time, the load detected by the load cell 240 is a load generated when the body cylinder 64 and the suction pipe 68 move relative to each other, and is a retreating force of the suction pipe 68 into the body cylinder 64. Since this load is relatively small, a load cell 240 having high sensitivity is adopted, but if the body cylinder 64 and the suction pipe 68 do not move relative to each other, the load cell 240 may be damaged.
詳しくは、例えば、吸着ノズル６２内に不純物等が侵入し、胴体筒６４と吸着管６８との固着により、胴体筒６４と吸着管６８とが殆ど相対移動しない場合がある。このような吸着ノズル６２が、例えば、測定範囲が０〜１００ｇｆのロードセル２４０に押し当てられると、胴体筒６４と吸着管６８とが殆ど相対移動しないため、ロードセル２４０を移動させる荷重が１００ｇｆ以上である場合には、１００ｇｆ以上の荷重が、ロードセル２４０にかかり、ロードセル２４０が破損する虞がある。このため、ロードセル２４０を１００ｇｆより小さな荷重で移動させる必要がある。しかしながら、ロードセル２４０が配設されている検査ユニット２３０は、比較的大きく、高重量であるため、検査ユニット２３０を移動させる際の慣性力が大きく、検査ユニット２３０を１００ｇｆより小さな荷重で移動させることが困難である。
More specifically, for example, impurities or the like may enter the suction nozzle 62, and the body cylinder 64 and the suction pipe 68 may hardly move relative to each other due to the sticking of the body cylinder 64 and the suction pipe 68. When such a suction nozzle 62 is pressed against a load cell 240 having a measurement range of 0 to 100 gf, for example, the body cylinder 64 and the suction pipe 68 hardly move relative to each other, so that the load for moving the load cell 240 is 100 gf or more. In some cases, a load of 100 gf or more is applied to the load cell 240, and the load cell 240 may be damaged. Therefore, it is necessary to move the load cell 240 with a load smaller than 100 gf. However, since the inspection unit 230 on which the load cell 240 is arranged is relatively large and heavy, the inertial force when moving the inspection unit 230 is large, and the inspection unit 230 is moved with a load smaller than 100 gf. Is difficult.
このようなことに鑑みて、第１ノズル検査装置１３６では、押当金具２４２を用いて、吸着ノズル６２の胴体筒６４と吸着管６８との相対移動の状態が確認され、胴体筒６４と吸着管６８との相対移動の状態が良好な吸着ノズル６２に対して、ロードセル２４０を用いた後退力検査が行われる。具体的には、検査ユニット２３０上に配設された押当金具２４２が、ユニット移動装置２３２によって、検査対象の吸着ノズル６２の下方に移動し、吸着ノズル６２の吸着管６８の下端部に当接するように、検査ユニット２３０が上方に移動する。この際、吸着ノズル６２の吸着管６８が、胴体筒６４の内部に向かって後退するように、検査ユニット２３０は上方に移動する。
In view of this, in the first nozzle inspection device 136, the state of relative movement between the body cylinder 64 of the suction nozzle 62 and the suction pipe 68 is confirmed by using the pressing metal fitting 242, and the body cylinder 64 and the suction pipe 68 are sucked. A retreat force test using the load cell 240 is performed on the suction nozzle 62 in which the relative movement with the pipe 68 is good. Specifically, the pressing metal fitting 242 arranged on the inspection unit 230 is moved below the suction nozzle 62 to be inspected by the unit moving device 232, and hits the lower end of the suction pipe 68 of the suction nozzle 62. The inspection unit 230 moves upward so as to come into contact with each other. At this time, the inspection unit 230 moves upward so that the suction pipe 68 of the suction nozzle 62 retracts toward the inside of the body cylinder 64.
検査ユニット２３０の上方への移動により、吸着管６８が押当金具２４２によって上方に押され、吸着管６８が、胴体筒６４の内部に第１設定量、後退した場合には、胴体筒６４と吸着管６８との相対移動の状態は良好であると判断される。一方、吸着管６８が押当金具２４２によって上方に押されても、吸着管６８が、胴体筒６４の内部に第１設定量、後退しない場合には、胴体筒６４と吸着管６８とが固着しており、それらの相対移動の状態は良好でないと判断される。
By moving the inspection unit 230 upward, the suction pipe 68 is pushed upward by the pressing metal fitting 242, and when the suction pipe 68 is retracted by the first set amount inside the body cylinder 64, it becomes the body cylinder 64. It is judged that the state of relative movement with the suction pipe 68 is good. On the other hand, even if the suction pipe 68 is pushed upward by the pressing metal fitting 242, the body cylinder 64 and the suction pipe 68 are fixed to each other if the suction pipe 68 does not retract inside the body cylinder 64 by the first set amount. It is judged that the state of their relative movement is not good.
なお、吸着ノズル６２の吸着管６８に押し付けられる押当金具２４２は剛体であり、破損し難いため、ある程度大きな荷重で、検査ユニット２３０を上方に移動させることが可能である。ただし、胴体筒６４と吸着管６８とが固着しており、それらが相対移動しない場合の吸着ノズル６２の破損を防止するべく、検査ユニット２３０を上方に移動させる際の荷重は、吸着ノズル６２を軸線方向に押しつけた際に吸着ノズル６２が破損する荷重より小さな値に設定されている。
Since the pressing metal fitting 242 pressed against the suction pipe 68 of the suction nozzle 62 is a rigid body and is not easily damaged, the inspection unit 230 can be moved upward with a large load to some extent. However, in order to prevent damage to the suction nozzle 62 when the body cylinder 64 and the suction pipe 68 are fixed to each other and they do not move relative to each other, the load when moving the inspection unit 230 upward is the suction nozzle 62. The value is set to be smaller than the load at which the suction nozzle 62 is damaged when pressed in the axial direction.
押当金具２４２を用いて、胴体筒６４と吸着管６８との相対移動の状態は良好であると判断された吸着ノズル６２は、ロードセル２４０を用いて後退力が測定される。一方、胴体筒６４と吸着管６８との相対移動の状態は良好でないと判断された吸着ノズル６２は、ロードセル２４０を用いた後退力の測定が実行されない。これにより、ロードセル２４０に測定範囲を超える荷重がかかる虞のある吸着ノズル６２の測定を回避することが可能となり、ロードセル２４０の破損を防止することが可能となる。また、胴体筒６４と吸着管６８とを相対移動させる方向に、吸着ノズル６２に比較的大きな荷重がかけられることから、不純物等により胴体筒６４と吸着管６８とが固着していても、荷重の負荷により不純物が取り除かれる場合がある。つまり、胴体筒６４と吸着管６８とが殆ど相対移動しない吸着ノズル６２が、荷重の負荷により、相対移動可能となり、修復される場合がある。
The suction nozzle 62, which is determined to be in a good state of relative movement between the body cylinder 64 and the suction pipe 68 by using the pressing metal fitting 242, has a retracting force measured by using the load cell 240. On the other hand, the suction nozzle 62, which is determined to be in a poor relative movement state between the body cylinder 64 and the suction pipe 68, does not measure the retreat force using the load cell 240. As a result, it is possible to avoid the measurement of the suction nozzle 62, which may apply a load exceeding the measurement range to the load cell 240, and it is possible to prevent the load cell 240 from being damaged. Further, since a relatively large load is applied to the suction nozzle 62 in the direction of relatively moving the body cylinder 64 and the suction pipe 68, even if the body cylinder 64 and the suction pipe 68 are fixed to each other due to impurities or the like, the load is applied. Impurities may be removed by the load of. That is, the suction nozzle 62 in which the body cylinder 64 and the suction pipe 68 hardly move relative to each other may be repaired because the suction nozzle 62 can move relative to each other due to the load of the load.
次に、胴体筒６４と吸着管６８との相対移動の状態は良好であると判断された場合には、その吸着ノズル６２の下方に、検査ユニット２３０上に配設されたロードセル２４０が、ユニット移動装置２３２によって移動し、吸着ノズル６２の吸着管６８の下端部に当接するように、検査ユニット２３０が上方に移動する。この際、吸着ノズル６２の吸着管６８が、胴体筒６４の内部に向かって後退する際に、吸着管６８の後退力がロードセル２４０によって測定される。ただし、吸着ノズル６２には、上述したように、バネが内蔵された吸着ノズル（以下、「バネ内蔵ノズル」と記載する場合がある）と、バネが内蔵されていない吸着ノズル（以下、「バネ無しノズル」と記載する場合がある）とがあり、バネ内蔵ノズルとバネ無しノズルとは、異なる手法により後退力が測定される。
Next, when it is determined that the state of relative movement between the body cylinder 64 and the suction pipe 68 is good, a load cell 240 arranged on the inspection unit 230 is placed below the suction nozzle 62. The inspection unit 230 moves upward by the moving device 232 so as to come into contact with the lower end of the suction pipe 68 of the suction nozzle 62. At this time, when the suction pipe 68 of the suction nozzle 62 retracts toward the inside of the body cylinder 64, the retracting force of the suction pipe 68 is measured by the load cell 240. However, as described above, the suction nozzle 62 includes a suction nozzle with a built-in spring (hereinafter, may be referred to as a “spring built-in nozzle”) and a suction nozzle without a built-in spring (hereinafter, “spring”). There is a case where it is described as "nozzle without spring"), and the retreat force is measured by a different method between the nozzle with a built-in spring and the nozzle without a spring.
具体的には、例えば、バネ内蔵ノズルの吸着管６８の下端部にロードセル２４０を当接させて、検査ユニット２３０を上方に移動させることで、吸着管６８が胴体筒６４の内部に第１設定量、後退する際のロードセル２４０の測定値、つまり、荷重の変化を図２３に示す。図中の実線で示されるグラフは、異物の混入、破損等により、吸着管６８が胴体筒６４の内部に向かって後退し難くなっている吸着ノズル（以下、「不良ノズル」と記載する場合がある）に対するロードセル２４０の測定値の時間的変化を示している。一方、点線で示されるグラフは、吸着管６８が胴体筒６４の内部に向かって正常に後退する吸着ノズル（以下、「正常ノズル」と記載する場合がある）に対するロードセル２４０の測定値の時間的変化を示している。
Specifically, for example, the load cell 240 is brought into contact with the lower end of the suction pipe 68 of the nozzle with a built-in spring, and the inspection unit 230 is moved upward so that the suction pipe 68 is first set inside the body cylinder 64. FIG. 23 shows the amount, the measured value of the load cell 240 when retreating, that is, the change in the load. The graph shown by the solid line in the figure is a suction nozzle in which the suction pipe 68 is difficult to retract toward the inside of the body cylinder 64 due to foreign matter being mixed in or damaged (hereinafter, may be referred to as a “defective nozzle”). It shows the temporal change of the measured value of the load cell 240 with respect to (is). On the other hand, the graph shown by the dotted line shows the time of the measured value of the load cell 240 with respect to the suction nozzle (hereinafter, may be referred to as “normal nozzle”) in which the suction pipe 68 normally retracts toward the inside of the fuselage cylinder 64. It shows a change.
図から解るように、検査ユニット２３０の上方への移動により、バネ内蔵ノズルの吸着管６８の先端に、ロードセル２４０が接触した際に、ロードセル２４０の測定値は急激に大きくなる。この際のロードセル２４０の測定値は、大幅に上昇した後に減少し、概ね一定の値に収束する。これは、バネ内蔵ノズルの吸着管６８には、弾性力が付与されているため、ロードセル２４０が、吸着管６８に衝突した際に、ロードセル２４０に大きな荷重がかかるためである。このような衝突時の荷重は、吸着管６８が実際に後退する際に生じる荷重より大幅に大きくなるため、判定対象の測定値に含めることは好ましくない。このようなことに鑑みて、バネ内蔵ノズルの吸着管６８の後退力を検査する際には、ロードセル２４０の測定値から吸着管６８のロードセル２４０への衝突時の測定値を除いた値が抽出される。
As can be seen from the figure, when the load cell 240 comes into contact with the tip of the suction tube 68 of the spring built-in nozzle due to the upward movement of the inspection unit 230, the measured value of the load cell 240 suddenly increases. The measured value of the load cell 240 at this time increases significantly and then decreases, and converges to a substantially constant value. This is because elastic force is applied to the suction tube 68 of the nozzle with a built-in spring, so that when the load cell 240 collides with the suction tube 68, a large load is applied to the load cell 240. Since the load at the time of such a collision is significantly larger than the load generated when the suction pipe 68 actually retracts, it is not preferable to include it in the measured value to be determined. In view of this, when inspecting the retreating force of the suction tube 68 of the spring built-in nozzle, the value obtained by subtracting the measured value of the suction tube 68 at the time of collision with the load cell 240 from the measured value of the load cell 240 is extracted. Will be done.
詳しくは、ロードセル２４０の測定値が、予め設定された設定値を超えるタイミングがモニタリングされる。この設定値は、正常ノズルの吸着管６８を胴体筒６４内に後退させるために必要な荷重より小さな値に設定されている。そして、ロードセル２４０の測定値が設定値を超えたタイミング（ｔ１）から所定時間Ｔ経過したタイミング（ｔ２＝ｔ１＋Ｔ）において、測定値の抽出を開始する。具体的には、所定時間継続して測定値の抽出を行う。そして、抽出された荷重から最大荷重と最小荷重とを除いて、平均値を演算する。なお、所定時間継続した測定値の抽出は、吸着管６８が胴体筒６４の内部に第１設定量、後退する迄に、Ｎ回実行される。つまり、抽出された荷重の平均値がＮ個、演算される。そして、Ｎ個の演算値のうちの最大の演算値が、許容値を超えているか否かが判定される。判定の結果、最大の演算値が許容値を超えている場合には、検査対象のバネ内蔵ノズルが不良ノズルであると判定され、最大の演算値が許容値以下である場合には、検査対象のバネ内蔵ノズルが正常ノズルであると判定される。このように、ロードセル２４０の測定値から吸着管６８のロードセル２４０への衝突時の測定値を除いた値を用いることで、バネ内蔵ノズルの吸着管６８の後退力の検査を適切に行うことが可能となる。
Specifically, the timing at which the measured value of the load cell 240 exceeds the preset set value is monitored. This set value is set to a value smaller than the load required for retracting the suction pipe 68 of the normal nozzle into the fuselage cylinder 64. Then, the extraction of the measured value is started at the timing (t2 = t1 + T) when the predetermined time T has elapsed from the timing (t1) when the measured value of the load cell 240 exceeds the set value. Specifically, the measured value is continuously extracted for a predetermined time. Then, the maximum load and the minimum load are removed from the extracted load, and the average value is calculated. The extraction of the measured value continuously for a predetermined time is executed N times until the suction pipe 68 retracts into the body cylinder 64 by the first set amount. That is, N average values of the extracted loads are calculated. Then, it is determined whether or not the maximum calculated value among the N calculated values exceeds the permissible value. As a result of the judgment, if the maximum calculated value exceeds the permissible value, it is determined that the nozzle with a built-in spring to be inspected is a defective nozzle, and if the maximum calculated value is less than the permissible value, the inspection target is inspected. It is determined that the nozzle with a built-in spring is a normal nozzle. In this way, by using the value obtained by subtracting the measured value of the suction pipe 68 at the time of collision with the load cell 240 from the measured value of the load cell 240, it is possible to appropriately inspect the retreating force of the suction pipe 68 of the spring built-in nozzle. It will be possible.
一方、バネ無しノズルの吸着管６８の下端部にロードセル２４０を当接させて、検査ユニット２３０を上方に移動させることで、吸着管６８が胴体筒６４の内部に第１設定量、後退する際のロードセル２４０の測定値、つまり、荷重の変化を図２４に示す。図中の実線で示されるグラフは、不良ノズルに対するロードセル２４０の測定値の時間的変化を示しており、点線で示されるグラフは、正常ノズルに対するロードセル２４０の測定値の時間的変化を示している。
On the other hand, when the load cell 240 is brought into contact with the lower end of the suction pipe 68 of the springless nozzle and the inspection unit 230 is moved upward, the suction pipe 68 is retracted by the first set amount inside the body cylinder 64. The measured value of the load cell 240, that is, the change in load is shown in FIG. The graph shown by the solid line in the figure shows the time change of the measured value of the load cell 240 with respect to the defective nozzle, and the graph shown by the dotted line shows the time change of the measured value of the load cell 240 with respect to the normal nozzle. ..
図から解るように、検査ユニット２３０の上方への移動により、バネ無しノズルの吸着管６８の先端に、ロードセル２４０が接触した際に、ロードセル２４０の測定値は急激に大きくなる。ただし、バネ無しノズルの吸着管６８には、弾性力が付与されていないため、ロードセル２４０が吸着管６８に衝突した際の荷重と、吸着管６８が後退する際の荷重とは、殆ど同じである。このため、バネ無しノズルの吸着管６８の後退力を検査する際には、ロードセル２４０の測定値が設定値を超えたタイミングにおいて、測定値の抽出を開始する。なお、バネ無しノズルにおける測定値の抽出手法は、バネ内蔵ノズルにおける測定値の抽出手法と同じである。そして、抽出された測定値に基づいて、バネ内蔵ノズルと同様に、Ｎ個の荷重の平均値が演算され、Ｎ個の演算値のうちの最大の演算値が、許容値を超えているか否かが判定される。これにより、バネ無しノズルにおいても、適切に吸着管６８の後退力の検査を適切に行うことが可能となる。
As can be seen from the figure, when the load cell 240 comes into contact with the tip of the suction tube 68 of the springless nozzle due to the upward movement of the inspection unit 230, the measured value of the load cell 240 suddenly increases. However, since no elastic force is applied to the suction pipe 68 of the springless nozzle, the load when the load cell 240 collides with the suction pipe 68 and the load when the suction pipe 68 retracts are almost the same. be. Therefore, when inspecting the retreating force of the suction pipe 68 of the springless nozzle, the extraction of the measured value is started at the timing when the measured value of the load cell 240 exceeds the set value. The method for extracting the measured value in the nozzle without a spring is the same as the method for extracting the measured value in the nozzle with a built-in spring. Then, based on the extracted measured values, the average value of N loads is calculated in the same manner as the nozzle with a built-in spring, and whether or not the maximum calculated value among the N calculated values exceeds the permissible value. Is determined. This makes it possible to appropriately inspect the retracting force of the suction pipe 68 even in the springless nozzle.
上述した吸着管６８の先端部検査と後退力検査の作業が完了すると、ノズルパレット１５２は、第２パレット移動機構２６６の作動により、パレットキャリア１８０に収容される。なお、検査作業の結果は、検査対象の吸着ノズル６２のＩＤナンバーと関連付けて記憶される。
When the work of the tip end portion inspection and the retracting force inspection of the suction pipe 68 described above is completed, the nozzle pallet 152 is housed in the pallet carrier 180 by the operation of the second pallet moving mechanism 266. The result of the inspection work is stored in association with the ID number of the suction nozzle 62 to be inspected.
（ｃ）第２ノズル検査装置による吸着ノズルの検査作業吸着ノズル６２の検査作業において、第２ノズル検査装置１３８によって、エア流量検査が行われる際には、キャリア循環機構１８２の作動により、所定のノズルパレット１５２を収容するパレットキャリア１８０が、図１９に示すように、第３パレット移動機構２９６に対応する位置に移動する。その所定のノズルパレット１５２には、検査対象の吸着ノズル６２が収容されている。
(C) Inspection work of suction nozzle by second nozzle inspection device In the inspection work of suction nozzle 62, when air flow rate inspection is performed by the second nozzle inspection device 138, a predetermined value is determined by the operation of the carrier circulation mechanism 182. As shown in FIG. 19, the pallet carrier 180 accommodating the nozzle pallet 152 moves to a position corresponding to the third pallet moving mechanism 296. The predetermined nozzle pallet 152 accommodates the suction nozzle 62 to be inspected.
続いて、そのパレットキャリア１８０に収容されているノズルパレット１５２が、第３パレット移動機構２９６の作動により、第２検査位置に移動する。そして、検査ヘッド２７０のエア供給装置２７６が、ヘッド移動装置２７２によって、検査対象の吸着ノズル６２の上方に移動する。エア供給装置２７６は、ジョイント昇降機構２８２によって、エアジョイント２７８を下降させ、検査対象の吸着ノズル６２の胴体筒６４と接続させる。エアジョイント２７８が胴体筒６４と接続すると、エア供給装置２７６は、接続された胴体筒６４にエアを供給する。そして、エア供給時のエア圧が、空気圧センサ２８０によって測定され、そのエア圧が、第１閾圧より大きいか否かが判断される。正常な吸着ノズル６２にエアが供給される際には、吸着ノズル６２内をエアが通り抜けていくため、空気圧センサ２８０によって測定されるエア圧は、比較的低い。一方、詰まり等の生じた吸着ノズル６２にエアが供給される際には、吸着ノズル６２内をエアが通り抜け難いため、空気圧センサ２８０によって測定されるエア圧は、比較的高くなる。このため、空気圧センサ２８０によって測定されたエア圧が第１閾圧より大きい吸着ノズル６２は、不良ノズルと認定される。
Subsequently, the nozzle pallet 152 housed in the pallet carrier 180 is moved to the second inspection position by the operation of the third pallet moving mechanism 296. Then, the air supply device 276 of the inspection head 270 is moved above the suction nozzle 62 to be inspected by the head moving device 272. The air supply device 276 lowers the air joint 278 by the joint elevating mechanism 282 and connects it to the fuselage cylinder 64 of the suction nozzle 62 to be inspected. When the air joint 278 is connected to the fuselage cylinder 64, the air supply device 276 supplies air to the connected fuselage cylinder 64. Then, the air pressure at the time of air supply is measured by the air pressure sensor 280, and it is determined whether or not the air pressure is larger than the first threshold pressure. When air is supplied to the normal suction nozzle 62, the air passes through the suction nozzle 62, so that the air pressure measured by the air pressure sensor 280 is relatively low. On the other hand, when air is supplied to the suction nozzle 62 in which clogging or the like occurs, it is difficult for the air to pass through the suction nozzle 62, so that the air pressure measured by the air pressure sensor 280 becomes relatively high. Therefore, the suction nozzle 62 whose air pressure measured by the air pressure sensor 280 is larger than the first threshold pressure is recognized as a defective nozzle.
なお、エア流量検査では、不良ノズルの認定だけでなく、不良ノズルとなる可能性の高い吸着ノズル６２、つまり、劣化の進んだ吸着ノズル（以下、「劣化ノズル」と略す場合がある）の認定も行われる。詳しくは、第１閾圧より低い圧力の第２閾圧が設定されている。そして、空気圧センサ２８０によって測定されるエア圧が、第２閾圧より大きいか否かが判断され、そのエア圧が第２閾圧より大きい吸着ノズル６２が、劣化ノズルと認定される。つまり、不良ノズルほどではないが、ある程度、吸着ノズル６２内をエアが通り抜け難い吸着ノズル６２が、劣化ノズルと認定される。
In the air flow rate inspection, not only the certification of defective nozzles, but also the certification of suction nozzles 62, which are highly likely to be defective nozzles, that is, suction nozzles with advanced deterioration (hereinafter, may be abbreviated as "deteriorated nozzles"). Is also done. Specifically, a second threshold pressure lower than the first threshold pressure is set. Then, it is determined whether or not the air pressure measured by the air pressure sensor 280 is larger than the second threshold pressure, and the suction nozzle 62 whose air pressure is larger than the second threshold pressure is recognized as a deteriorated nozzle. That is, the suction nozzle 62, which is difficult for air to pass through the suction nozzle 62 to some extent, although not as bad as the defective nozzle, is recognized as a deteriorated nozzle.
ちなみに、エア流量検査時には、コンプレッサ（図示省略）からエア供給装置２７６に送り出されたエアが吸着ノズル６２に供給されるが、コンプレッサの作動状況に応じて、空気圧センサ２８０によって測定されるエア圧は変化する。このため、エア流量検査が行われる前には、基準パイプ１７４にエアを供給し、その際に空気圧センサ２８０によって測定されるエア圧に基づいて、第１閾圧および第２閾圧の設定が行われる。
By the way, at the time of the air flow rate inspection, the air sent from the compressor (not shown) to the air supply device 276 is supplied to the suction nozzle 62, but the air pressure measured by the air pressure sensor 280 depends on the operating condition of the compressor. Change. Therefore, before the air flow rate inspection is performed, air is supplied to the reference pipe 174, and the first threshold pressure and the second threshold pressure are set based on the air pressure measured by the air pressure sensor 280 at that time. Will be done.
また、コード読取検査が行われる際には、検査ヘッド２７０のカメラ２７４が、ヘッド移動装置２７２によって、検査対象の吸着ノズル６２の上方に移動し、検査対象の吸着ノズル６２のフランジ部６６に記された２Ｄコード７４が、カメラ２７４によって撮像される。これにより、検査対象の吸着ノズル６２の２Ｄコード７４の撮像データが得られ、通常は、その撮像データに基づいて、吸着ノズル６２のＩＤナンバー等の固有情報が得られる。しかし、２Ｄコード７４に汚れ等が付着していると、撮像データに基づいて、吸着ノズル６２の固有情報が得られない場合がある。このため、撮像データに基づいて、吸着ノズル６２の固有情報を取得できない吸着ノズル６２は、不良ノズルと認定されることが好ましい。
Further, when the code reading inspection is performed, the camera 274 of the inspection head 270 is moved above the suction nozzle 62 to be inspected by the head moving device 272, and is marked on the flange portion 66 of the suction nozzle 62 to be inspected. The 2D code 74 is imaged by the camera 274. As a result, the imaging data of the 2D code 74 of the suction nozzle 62 to be inspected is obtained, and usually, unique information such as the ID number of the suction nozzle 62 is obtained based on the imaging data. However, if the 2D code 74 is dirty or the like, the unique information of the suction nozzle 62 may not be obtained based on the imaging data. Therefore, it is preferable that the suction nozzle 62, which cannot acquire the unique information of the suction nozzle 62 based on the imaging data, is recognized as a defective nozzle.
ただし、２Ｄコード７４に汚れ等が付着していなくても、カメラ２７４等に異常が発生している場合にも、撮像データに基づいて、吸着ノズル６２の固有情報を取得できない虞がある。このため、撮像データに基づいて、吸着ノズル６２の固有情報を取得できない場合には、カメラ２７４等の検定が行われる。
However, even if the 2D code 74 is not dirty or the like, even if an abnormality occurs in the camera 274 or the like, there is a possibility that the unique information of the suction nozzle 62 cannot be acquired based on the imaging data. Therefore, if the unique information of the suction nozzle 62 cannot be acquired based on the imaging data, the camera 274 or the like is tested.
詳しくは、カメラ２７４により基準ノズル１７２のフランジ部６６に記された２Ｄコード７４を撮像し、その撮像データに基づいて、基準ノズル１７２の固有情報が取得されるか否かを判定する。基準ノズル１７２の２Ｄコード７４には、汚れ等は付着しておらず、カメラ２７４等に異常が発生していない限り、基準ノズル１７２の２Ｄコード７４の撮像データに基づいて、基準ノズル１７２の固有情報は取得される。このため、検査対象の吸着ノズル６２の２Ｄコード７４の撮像データに基づいて、固有情報を取得できず、さらに、基準ノズル１７２の２Ｄコード７４の撮像データに基づいて、固有情報が取得された場合に、検査対象の吸着ノズル６２が不良ノズルと認定される。一方、検査対象の吸着ノズル６２の２Ｄコード７４の撮像データに基づいて、固有情報を取得できず、さらに、基準ノズル１７２の２Ｄコード７４の撮像データに基づいて、固有情報が取得されない場合には、カメラ２７４等に異常が発生しているとみなされ、検査対象の吸着ノズル６２が不良ノズルと認定されない。
Specifically, the camera 274 images the 2D code 74 written on the flange portion 66 of the reference nozzle 172, and determines whether or not the unique information of the reference nozzle 172 is acquired based on the imaged data. As long as no dirt or the like is attached to the 2D code 74 of the reference nozzle 172 and no abnormality has occurred in the camera 274 or the like, the reference nozzle 172 is unique based on the imaging data of the 2D code 74 of the reference nozzle 172. Information is acquired. Therefore, when the unique information cannot be acquired based on the imaging data of the 2D code 74 of the suction nozzle 62 to be inspected, and further, when the unique information is acquired based on the imaging data of the 2D code 74 of the reference nozzle 172. In addition, the suction nozzle 62 to be inspected is recognized as a defective nozzle. On the other hand, when the unique information cannot be acquired based on the imaging data of the 2D code 74 of the suction nozzle 62 to be inspected, and further, the unique information is not acquired based on the imaging data of the 2D code 74 of the reference nozzle 172. , It is considered that an abnormality has occurred in the camera 274 or the like, and the suction nozzle 62 to be inspected is not recognized as a defective nozzle.
（ｄ）吸着ノズルの洗浄・乾燥作業吸着ノズル６２の洗浄・乾燥作業時には、キャリア循環機構１８２の作動により、所定のノズルパレット１５２を収容するパレットキャリア１８０が、図２０及び図２１に示すように、第４パレット移動機構３３０に対応する位置に移動する。その所定のノズルパレット１５２には、洗浄対象の吸着ノズル６２が収容されている。
(D) Cleaning / Drying Work of Suction Nozzle During the cleaning / drying work of the suction nozzle 62, the pallet carrier 180 accommodating the predetermined nozzle pallet 152 is operated by the carrier circulation mechanism 182 as shown in FIGS. 20 and 21. , Moves to the position corresponding to the fourth pallet moving mechanism 330. The predetermined nozzle pallet 152 accommodates the suction nozzle 62 to be cleaned.
続いて、そのパレットキャリア１８０に収容されているノズルパレット１５２が、第４パレット移動機構３３０の作動により、洗浄位置に移動する。そして、上部洗浄ユニット３０６と下部洗浄ユニット３０８との各々の噴射ノズル３１２に高圧水が供給され、その高圧水が、噴射ノズル３１２の噴射穴３１６から、ノズルパレット１５２に向かって、吹きつけられる。この際、噴射ノズル３１２は、噴射ノズル移動機構３１４によって前後方向、つまり、ノズルパレット１５２に収納されている吸着ノズル６２の軸線に交わる方向に移動する。これにより、ノズルパレット１５２に収容されている全ての吸着ノズル６２に、高圧水が吹きつけられ、吸着ノズル６２の洗浄が行われる。
Subsequently, the nozzle pallet 152 housed in the pallet carrier 180 is moved to the cleaning position by the operation of the fourth pallet moving mechanism 330. Then, high-pressure water is supplied to each of the injection nozzles 312 of the upper cleaning unit 306 and the lower cleaning unit 308, and the high-pressure water is sprayed from the injection hole 316 of the injection nozzle 312 toward the nozzle pallet 152. At this time, the injection nozzle 312 moves in the front-rear direction by the injection nozzle moving mechanism 314, that is, in the direction intersecting the axis of the suction nozzle 62 housed in the nozzle pallet 152. As a result, high-pressure water is sprayed on all the suction nozzles 62 housed in the nozzle pallet 152 to clean the suction nozzles 62.
ただし、吸着ノズル６２の吸着管６８の先端部にはんだ等の粘性流体が付着している場合には、単に高圧水を吸着管６８に向かって噴出するだけでは、粘性流体等の付着物を吸着管６８から除去できない虞がある。特に、吸着管６８の径が先端部に向かうほど大きくなる吸着ノズル６２では、粘性流体等の付着物を吸着管６８から除去し難い。詳しくは、吸着管６８の径が先端部に向かうほど大きくなる吸着ノズル６２では、図２５に示すように、高圧水が、下部洗浄ユニット３０８の噴射ノズル３１２から、ノズルパレット１５２に収納されている吸着ノズル６２の吸着管６８に向かって吹きつけられると、高圧水は、吸着管６８の下端面に直接、当たる。このため、吸着管６８の下端面に付着している付着物３６０は、高圧水により、除去され易い。しかしながら、吸着管６８の先端部の外側の側面の付着物３６０には、高圧水は、直接、当たらない。これは、吸着管６８の径が先端部に向かうほど大きいため、吸着管６８の下端面と外側の側面とのなす角度が鋭角となり、下方から噴射される高圧水が、吸着管６８の先端部の外側の側面に届かないためである。このため、単に高圧水を吸着管６８に向かって噴出するだけでは、吸着管６８の外側の側面の付着物３６０を適切に除去できない虞がある。
However, when a viscous fluid such as solder adheres to the tip of the suction pipe 68 of the suction nozzle 62, simply ejecting high-pressure water toward the suction pipe 68 adsorbs the adhering matter such as the viscous fluid. It may not be removed from the tube 68. In particular, in the suction nozzle 62 in which the diameter of the suction pipe 68 increases toward the tip, it is difficult to remove deposits such as viscous fluid from the suction pipe 68. Specifically, in the suction nozzle 62 in which the diameter of the suction tube 68 increases toward the tip, high-pressure water is stored in the nozzle pallet 152 from the injection nozzle 312 of the lower cleaning unit 308, as shown in FIG. When sprayed toward the suction pipe 68 of the suction nozzle 62, the high-pressure water directly hits the lower end surface of the suction pipe 68. Therefore, the deposit 360 adhering to the lower end surface of the suction pipe 68 is easily removed by the high-pressure water. However, the high-pressure water does not directly hit the deposit 360 on the outer side surface of the tip of the suction pipe 68. This is because the diameter of the suction pipe 68 becomes larger toward the tip, so that the angle between the lower end surface of the suction pipe 68 and the outer side surface becomes an acute angle, and the high-pressure water injected from below is discharged from the tip of the suction pipe 68. This is because it does not reach the outer side of the. Therefore, there is a possibility that the deposit 360 on the outer side surface of the suction pipe 68 cannot be appropriately removed by simply ejecting the high-pressure water toward the suction pipe 68.
このようなことに鑑みて、ノズルパレット１５２の下面には、図２６に示すように、吸着ノズル６２の吸着管洗浄用のソケット３７０が固定されている。詳しくは、ソケット３７０は、概して直方体形状とされており、ソケット３７０には、上下方向に貫通する貫通穴３７１が形成されている。貫通穴３７１の内径は、吸着ノズル６２の吸着管６８の外径より大きくされており、貫通穴３７１内に吸着管６８の先端部が挿入されるように、ソケット３７０がノズルパレット１５２の下面に固定されている。貫通穴３７１の内周面は、第１内周面３７２と第２内周面３７４とによって構成されている。第１内周面３７２は、上下方向において内径の変化しない内周面であり、貫通穴３７１の内周面の下方側に位置している。一方、第２内周面３７４は、上方に向かうほど内径の小さくなるテーパ状の内周面であり、第１内周面３７２の上端から連続している。なお、貫通穴３７１内に挿入されている吸着管６８の先端の側方には、第２内周面３７４が位置している。また、第２内周面３７４の上方には、ソケット３７０の外壁面に延び出す排水路３７６が形成されている。
In view of this, as shown in FIG. 26, a socket 370 for cleaning the suction pipe of the suction nozzle 62 is fixed to the lower surface of the nozzle pallet 152. Specifically, the socket 370 has a generally rectangular parallelepiped shape, and the socket 370 is formed with a through hole 371 penetrating in the vertical direction. The inner diameter of the through hole 371 is larger than the outer diameter of the suction pipe 68 of the suction nozzle 62, and the socket 370 is placed on the lower surface of the nozzle pallet 152 so that the tip of the suction pipe 68 is inserted into the through hole 371. It is fixed. The inner peripheral surface of the through hole 371 is composed of a first inner peripheral surface 372 and a second inner peripheral surface 374. The first inner peripheral surface 372 is an inner peripheral surface whose inner diameter does not change in the vertical direction, and is located below the inner peripheral surface of the through hole 371. On the other hand, the second inner peripheral surface 374 is a tapered inner peripheral surface whose inner diameter becomes smaller toward the upper side, and is continuous from the upper end of the first inner peripheral surface 372. The second inner peripheral surface 374 is located on the side of the tip of the suction pipe 68 inserted in the through hole 371. Further, above the second inner peripheral surface 374, a drainage channel 376 extending to the outer wall surface of the socket 370 is formed.
このような構造のソケット３７０の貫通穴３７１内に挿入された吸着管６８に向かって、下部洗浄ユニット３０８の噴射ノズル３１２から高圧水が噴射されると、図２７に示すように、噴射ノズル３１２から噴出された高圧水は、当然、吸着管６８の下端面に、直接当たる。また、噴射ノズル３１２から噴出された高圧水は、第２内周面３７４に衝突し、吸着ノズル６２の外側の側面に当たる。つまり、噴射ノズル３１２から噴出される高圧水の噴出方向が、第２内周面３７４によって変更され、高圧水が、吸着ノズル６２の外側の側面に当たる。これにより、吸着管６８の下端面だけでなく、外側の側面に付着した付着物３６０を適切に除去することが可能となる。なお、ソケット３７０の貫通穴３７１内に向かって噴射された高圧水は、吸着管６８を洗浄した後に、排水路３７６を経由して、ソケット３７０の外壁面から排出される。
When high-pressure water is injected from the injection nozzle 312 of the lower cleaning unit 308 toward the suction pipe 68 inserted into the through hole 371 of the socket 370 having such a structure, as shown in FIG. 27, the injection nozzle 312 Naturally, the high-pressure water ejected from the suction pipe 68 directly hits the lower end surface of the suction pipe 68. Further, the high-pressure water ejected from the injection nozzle 312 collides with the second inner peripheral surface 374 and hits the outer side surface of the suction nozzle 62. That is, the ejection direction of the high-pressure water ejected from the injection nozzle 312 is changed by the second inner peripheral surface 374, and the high-pressure water hits the outer side surface of the suction nozzle 62. As a result, not only the lower end surface of the suction pipe 68 but also the deposit 360 adhering to the outer side surface can be appropriately removed. The high-pressure water injected into the through hole 371 of the socket 370 is discharged from the outer wall surface of the socket 370 via the drainage channel 376 after cleaning the suction pipe 68.
また、吸着ノズル６２の洗浄時には、上述したように、噴射ノズル３１２は、噴射ノズル移動機構３１４によって前後方向に移動する。これにより、吸着管６８の先端部の全域に高圧水を当てることが可能となり、吸着管６８の先端部から付着物３６０を確実に除去することが可能となる。詳しくは、噴射ノズル３１２の複数の噴射穴３１６は、直線状に配設されており、それら複数の噴射穴３１６から高圧水が、面状に噴射される。そして、面状に噴射される高圧水が、ソケット３７０の貫通穴３７１を径方向に向かって縦断するように、噴射ノズル３１２が噴射ノズル移動機構３１４によって移動する。面状に噴射される高圧水が、ソケット３７０の貫通穴３７１を径方向に向かって縦断する際に、高圧水が、ソケット３７０若しくは吸着ノズル６２の吸着管６８に当たる箇所が変化する様子を、図２８〜図３１に示す。なお、図２８〜図３１は、貫通穴３７１内に吸着管６８を挿入させた状態のソケット３７０を下方からの視点において示す図である。また、図中の実線で示された記号３７７は、噴射ノズル３１２から噴出された高圧水が直接、ソケット３７０、若しくは、吸着管６８に当たる箇所を示す記号であり、点線で示された記号３７８は、第２内周面３７４によって噴出方向が変更した高圧水、つまり、第２内周面３７４によって反射した高圧水が、吸着管６８に当たる箇所を示す記号である。
Further, when cleaning the suction nozzle 62, as described above, the injection nozzle 312 moves in the front-rear direction by the injection nozzle moving mechanism 314. As a result, high-pressure water can be applied to the entire tip of the suction pipe 68, and the deposit 360 can be reliably removed from the tip of the suction pipe 68. Specifically, the plurality of injection holes 316 of the injection nozzle 312 are arranged in a straight line, and high-pressure water is jetted from the plurality of injection holes 316 in a planar manner. Then, the injection nozzle 312 moves by the injection nozzle moving mechanism 314 so that the high-pressure water injected in a plane shape traverses the through hole 371 of the socket 370 in the radial direction. FIG. 5 shows how the location where the high-pressure water hits the socket 370 or the suction pipe 68 of the suction nozzle 62 changes when the high-pressure water jetted in a plane traverses the through hole 371 of the socket 370 in the radial direction. 28 to 31 are shown. It should be noted that FIGS. 28 to 31 are views showing the socket 370 in a state where the suction pipe 68 is inserted into the through hole 371 from the viewpoint from below. Further, the symbol 377 shown by the solid line in the figure is a symbol indicating a place where the high-pressure water ejected from the injection nozzle 312 directly hits the socket 370 or the suction pipe 68, and the symbol 378 shown by the dotted line is , The high-pressure water whose ejection direction is changed by the second inner peripheral surface 374, that is, the high-pressure water reflected by the second inner peripheral surface 374 is a symbol indicating a place where the suction pipe 68 hits.
まず、高圧水が貫通穴３７１の径方向における一端部に向かって噴射されている際には、図２８に示すように、第２内周面３７４によって反射した高圧水は、吸着管６８の径方向における一端部側の外側の側面に当たる。そして、噴射ノズル３１２が、貫通穴３７１の径方向における他端部に向かって移動すると、図２９に示すように、第２内周面３７４によって反射した高圧水は、吸着管６８の図２８とは異なる箇所の外側の側面に当たる。さらに、噴射ノズル３１２が、貫通穴３７１の径方向における他端部に向かって移動すると、図３０に示すように、第２内周面３７４によって反射した高圧水は、吸着管６８の図２９とは異なる箇所の外側の側面に当たる。また、噴射ノズル３１２から噴射された高圧水は、吸着管６８の下端面に当たる。さらに、噴射ノズル３１２が、貫通穴３７１の径方向における他端部に向かって移動すると、図３１に示すように、第２内周面３７４によって反射した高圧水は、吸着管６８の図３０とは異なる箇所の外側の側面に当たる。また、噴射ノズル３１２から噴射された高圧水は、吸着管６８の図３０とは異なる箇所の下端面に当たる。このように、面状に噴射される高圧水が、ソケット３７０の貫通穴３７１を径方向に向かって縦断するように、噴射ノズル３１２を移動させることで、吸着管６８の下端面の全域および、外側の側面の全域に高圧水を当てることが可能となり、吸着管６８の先端部から付着物３６０を確実に除去することが可能となる。
First, when high-pressure water is sprayed toward one end in the radial direction of the through hole 371, as shown in FIG. 28, the high-pressure water reflected by the second inner peripheral surface 374 has the diameter of the suction pipe 68. It corresponds to the outer side surface on the one end side in the direction. Then, when the injection nozzle 312 moves toward the other end in the radial direction of the through hole 371, as shown in FIG. 29, the high-pressure water reflected by the second inner peripheral surface 374 is transferred to FIG. 28 of the suction pipe 68. Corresponds to the outer side of different parts. Further, when the injection nozzle 312 moves toward the other end in the radial direction of the through hole 371, as shown in FIG. 30, the high-pressure water reflected by the second inner peripheral surface 374 is referred to in FIG. 29 of the suction pipe 68. Corresponds to the outer side of different parts. Further, the high-pressure water injected from the injection nozzle 312 hits the lower end surface of the suction pipe 68. Further, when the injection nozzle 312 moves toward the other end in the radial direction of the through hole 371, as shown in FIG. 31, the high-pressure water reflected by the second inner peripheral surface 374 is transferred to FIG. 30 of the suction pipe 68. Corresponds to the outer side of different parts. Further, the high-pressure water injected from the injection nozzle 312 hits the lower end surface of the suction pipe 68 at a position different from that shown in FIG. 30. In this way, by moving the injection nozzle 312 so that the high-pressure water jetted in a plane traverses the through hole 371 of the socket 370 in the radial direction, the entire area of the lower end surface of the suction pipe 68 and the entire area of the lower end surface of the suction pipe 68 and High-pressure water can be applied to the entire outer side surface, and the deposit 360 can be reliably removed from the tip of the suction pipe 68.
次に、吸着ノズル６２の洗浄が終了すると、ノズルパレット１５２は、第４パレット移動機構３３０によって、ノズル乾燥機構３０４の配設位置（以下、「乾燥位置」と略す場合がある）に移動する。そして、送風管３２０に温風が供給され、ノズルパレット１５２に収容されている吸着ノズル６２に温風が吹きつけられる。これにより、高圧水により洗浄された吸着ノズル６２の乾燥が行われる。なお、温風の吹き付けによる吸着ノズル６２の乾燥は、ハウジング３００内で行われるが、ハウジング３００の底面は、上述したように、貯留タンクとして機能しており、ノズル洗浄機構３０２で用いられる洗浄水が貯留されている。このため、温風の吹き付けにより、ハウジング３００の底面に貯留されている洗浄水が巻き上がり、吸着ノズル６２に洗浄水が、再付着する虞がある。しかしながら、乾燥位置に位置しているノズルパレット１５２と、ハウジング３００の底面に貯留されている洗浄水との間には、上述したように、仕切板３４８が配設されており、洗浄水の巻き上げが防止されている。これにより、吸着ノズル６２乾燥時における洗浄水の吸着ノズル６２への再付着を防止することが可能となる。
Next, when the cleaning of the suction nozzle 62 is completed, the nozzle pallet 152 is moved to the arrangement position of the nozzle drying mechanism 304 (hereinafter, may be abbreviated as “drying position”) by the fourth pallet moving mechanism 330. Then, warm air is supplied to the blower pipe 320, and the hot air is blown to the suction nozzle 62 housed in the nozzle pallet 152. As a result, the suction nozzle 62 washed with high-pressure water is dried. The suction nozzle 62 is dried by blowing warm air inside the housing 300, but the bottom surface of the housing 300 functions as a storage tank as described above, and the cleaning water used in the nozzle cleaning mechanism 302 is used. Is stored. Therefore, the cleaning water stored in the bottom surface of the housing 300 may be rolled up by the blowing of warm air, and the cleaning water may reattach to the suction nozzle 62. However, as described above, a partition plate 348 is arranged between the nozzle pallet 152 located at the drying position and the cleaning water stored in the bottom surface of the housing 300, and the cleaning water is wound up. Is prevented. This makes it possible to prevent the washing water from reattaching to the suction nozzle 62 when the suction nozzle 62 is dried.
そして、吸着ノズル６２の乾燥作業が完了すると、ノズルパレット１５２は、第４パレット移動機構３３０の作動により、パレットキャリア１８０に収容される。なお、洗浄・乾燥作業の終了した吸着ノズル６２に関しては、その吸着ノズル６２のＩＤナンバーと、洗浄・乾燥作業が完了している旨の情報とが関連付けて記憶される。
Then, when the drying operation of the suction nozzle 62 is completed, the nozzle pallet 152 is housed in the pallet carrier 180 by the operation of the fourth pallet moving mechanism 330. Regarding the suction nozzle 62 for which the cleaning / drying work has been completed, the ID number of the suction nozzle 62 and the information indicating that the cleaning / drying work has been completed are stored in association with each other.
（ｅ）ノズル管理装置によるノズルトレイへの搭載作業ノズル管理装置１１０に収納されている吸着ノズル６２のノズルトレイ８８への搭載作業時には、図１５に示すように、作業者が、吸着ノズル６２を搭載可能なノズルトレイ８８を、固定ステージ２１０または可動ステージ２１２にセットする。若しくは、吸着ノズル６２を搭載可能なノズルトレイ８８が、ステージ移動機構２１４の作動により、可動ステージ２１２にセットされる。また、ノズル管理装置１１０では、キャリア循環機構１８２の作動により、所定のノズルパレット１５２を収容するパレットキャリア１８０が、第１パレット移動機構２１８に対応する位置に移動する。その所定のノズルパレット１５２には、ノズルトレイ８８への搭載予定の吸着ノズル６２が収容されている。
(E) Mounting work on the nozzle tray by the nozzle management device During mounting work of the suction nozzle 62 housed in the nozzle management device 110 on the nozzle tray 88, as shown in FIG. 15, an operator installs the suction nozzle 62. The mountable nozzle tray 88 is set on the fixed stage 210 or the movable stage 212. Alternatively, the nozzle tray 88 on which the suction nozzle 62 can be mounted is set on the movable stage 212 by the operation of the stage moving mechanism 214. Further, in the nozzle management device 110, the pallet carrier 180 accommodating the predetermined nozzle pallet 152 moves to a position corresponding to the first pallet moving mechanism 218 by the operation of the carrier circulation mechanism 182. The predetermined nozzle pallet 152 accommodates a suction nozzle 62 to be mounted on the nozzle tray 88.
続いて、そのパレットキャリア１８０に収容されているノズルパレット１５２が、第１パレット移動機構２１８の作動により、ノズル移載位置に移動する。そして、ノズルパレット１５２に搭載されている吸着ノズル６２が、ノズル移載装置１３４によって、ノズルトレイ８８に移載される。なお、ノズルパレット１５２に搭載されている吸着ノズル６２のノズルトレイ８８への移載作業は、ノズルトレイ８８に搭載されている吸着ノズル６２のノズルパレット１５２への移載作業と同じである。ただし、ノズルパレット１５２に搭載されている吸着ノズル６２が、ノズルトレイ８８に移載される前に、吸着ノズル６２はブロー装置２２７によって、乾燥される。
Subsequently, the nozzle pallet 152 housed in the pallet carrier 180 is moved to the nozzle transfer position by the operation of the first pallet moving mechanism 218. Then, the suction nozzle 62 mounted on the nozzle pallet 152 is transferred to the nozzle tray 88 by the nozzle transfer device 134. The work of transferring the suction nozzle 62 mounted on the nozzle pallet 152 to the nozzle tray 88 is the same as the work of transferring the suction nozzle 62 mounted on the nozzle tray 88 to the nozzle pallet 152. However, before the suction nozzle 62 mounted on the nozzle pallet 152 is transferred to the nozzle tray 88, the suction nozzle 62 is dried by the blow device 227.
詳しくは、吸着ノズル６２は、上述したように、ノズル洗浄装置１４０によって、ノズルパレット１５２に収納された状態で洗浄され、洗浄後に乾燥されるが、ノズルパレット１５２の構造により、ノズル洗浄装置１４０では、吸着ノズル６２を確実に乾燥させることができない虞がある。具体的には、ノズルパレット１５２に収納された吸着ノズル６２では、図１３および、図１４に示すように、フランジ部６６が、ベースプレート１５４とカバープレート１５６とによって挟まれている。一方、胴体筒６４や吸着管６８は、ノズルパレット１５２から突出している。このため、吸着ノズル６２が、ノズルパレット１５２に収納された状態で洗浄されると、ベースプレート１５４とカバープレート１５６との間に洗浄水が浸入し、フランジ部６６に洗浄水が付着する。そして、ノズル洗浄装置１４０では、吸着ノズル６２の洗浄後に、吸着ノズル６２が、ノズルパレット１５２に収納された状態で温風の吹き付けにより乾燥されるが、ベースプレート１５４とカバープレート１５６との間に入り込んだ洗浄水は、吹き飛ばされない。このため、吸着ノズル６２のフランジ部６６に洗浄水が付着している虞がある。一方、胴体筒６４と吸着管６８に付着した洗浄水は、温風の吹き付けにより吹き飛ばされ、胴体筒６４と吸着管６８とは乾燥する。
Specifically, as described above, the suction nozzle 62 is cleaned by the nozzle cleaning device 140 in a state of being housed in the nozzle pallet 152, and is dried after cleaning. However, due to the structure of the nozzle pallet 152, the nozzle cleaning device 140 , There is a risk that the suction nozzle 62 cannot be reliably dried. Specifically, in the suction nozzle 62 housed in the nozzle pallet 152, as shown in FIGS. 13 and 14, the flange portion 66 is sandwiched between the base plate 154 and the cover plate 156. On the other hand, the body cylinder 64 and the suction pipe 68 project from the nozzle pallet 152. Therefore, when the suction nozzle 62 is washed while being housed in the nozzle pallet 152, the washing water enters between the base plate 154 and the cover plate 156, and the washing water adheres to the flange portion 66. Then, in the nozzle cleaning device 140, after cleaning the suction nozzle 62, the suction nozzle 62 is dried by blowing warm air while being housed in the nozzle pallet 152, but enters between the base plate 154 and the cover plate 156. However, the washing water is not blown off. Therefore, there is a possibility that cleaning water adheres to the flange portion 66 of the suction nozzle 62. On the other hand, the washing water adhering to the body cylinder 64 and the suction pipe 68 is blown off by blowing warm air, and the body cylinder 64 and the suction pipe 68 are dried.
このようなことに鑑みて、吸着ノズル６２が、ノズルパレット１５２からノズルトレイ８８に移載される場合には、移載対象の吸着ノズル６２が保持チャック２０９に保持されると、移載ヘッド２０６が、ヘッド移動装置２０７の作動により、ブロー装置２２７の上方に移動する。なお、保持チャック２０９は、吸着ノズル６２の胴体筒６４の上部を保持するが、胴体筒６４の上部は、上述したように乾燥しているため、保持チャック２０９は、吸着ノズル６２の乾燥した箇所を保持することが可能となり、吸着ノズル６２の適切な保持を担保することが可能となる。
In view of this, when the suction nozzle 62 is transferred from the nozzle pallet 152 to the nozzle tray 88, the transfer head 206 is held by the holding chuck 209 when the suction nozzle 62 to be transferred is held by the holding chuck 209. However, due to the operation of the head moving device 207, the head moving device 207 moves above the blow device 227. The holding chuck 209 holds the upper part of the body cylinder 64 of the suction nozzle 62, but since the upper part of the body cylinder 64 is dried as described above, the holding chuck 209 is a dry portion of the suction nozzle 62. Can be held, and proper holding of the suction nozzle 62 can be ensured.
移載ヘッド２０６がブロー装置２２７の上方に移動すると、ヘッド移動装置２０７は、移載ヘッド２０６を下降させ、図１７に示すように、保持チャック２０９によって保持された吸着ノズル６２をブロー装置２２７の本体部２２８内部に挿入する。この際、吸着ノズル６２のフランジ部６６の側方に、エア噴出孔２２９が位置するように、移載ヘッド２０６が下降する。そして、ブロー装置２２７は、エア噴出装置の作動により、エア噴出孔２２９からエアを噴出する。エア噴出孔２２９からエアが噴出されると、保持チャック２０９は、自転機構の作動により、吸着ノズル６２を保持した状態で自転し、吸着ノズル６２のフランジ部６６の全周に、エアが噴出される。これにより、フランジ部６６に付着している洗浄水が吹き飛ばされ、フランジ部６６が適切に乾燥される。そして、フランジ部６６の乾燥が完了すると、移載ヘッド２０６が、ヘッド移動装置２０７の作動により、ノズルトレイ８８の上方に移動し、保持された吸着ノズル６２が、ノズルトレイ８８の載置穴９６に収納される。このように、ノズル管理装置１１０では、確実に乾燥させた吸着ノズル６２が、ノズルトレイ８８に収納される。なお、ノズルトレイ８８への吸着ノズル６２の移載が完了したノズルパレット１５２は、第１パレット移動機構２１８の作動により、パレットキャリア１８０に収容される。
When the transfer head 206 moves above the blow device 227, the head move device 207 lowers the transfer head 206 and, as shown in FIG. 17, pushes the suction nozzle 62 held by the holding chuck 209 to the blow device 227. It is inserted inside the main body 228. At this time, the transfer head 206 is lowered so that the air ejection hole 229 is located on the side of the flange portion 66 of the suction nozzle 62. Then, the blow device 227 ejects air from the air ejection hole 229 by operating the air ejection device. When air is ejected from the air ejection hole 229, the holding chuck 209 rotates while holding the suction nozzle 62 by the operation of the rotation mechanism, and air is ejected to the entire circumference of the flange portion 66 of the suction nozzle 62. NS. As a result, the washing water adhering to the flange portion 66 is blown off, and the flange portion 66 is appropriately dried. Then, when the drying of the flange portion 66 is completed, the transfer head 206 is moved above the nozzle tray 88 by the operation of the head moving device 207, and the holding suction nozzle 62 is moved to the mounting hole 96 of the nozzle tray 88. It is stored in. In this way, in the nozzle management device 110, the suction nozzle 62 that has been reliably dried is stored in the nozzle tray 88. The nozzle pallet 152 for which the suction nozzle 62 has been transferred to the nozzle tray 88 is housed in the pallet carrier 180 by the operation of the first pallet moving mechanism 218.
（ｆ）不良ノズルの廃棄作業不良ノズルの廃棄作業時には、図１５に示すように、キャリア循環機構１８２の作動により、所定のノズルパレット１５２を収容するパレットキャリア１８０が、第１パレット移動機構２１８に対応する位置に移動する。その所定のノズルパレット１５２には、不良ノズルが収容されている。次に、そのパレットキャリア１８０に収容されているノズルパレット１５２が、第１パレット移動機構２１８の作動により、ノズル移載位置に移動する。そして、ノズルパレット１５２に搭載されている不良ノズルが、ノズル移載装置１３４によって、廃棄ボックス２２２内に投入される。なお、ノズルパレット１５２に搭載されている不良ノズルの廃棄ボックス２２２への廃棄作業は、ノズルトレイ８８に搭載されている吸着ノズル６２のノズルパレット１５２への移載作業と略同じである。ただし、不良ノズルは、できる限り破損しないように、廃棄ボックス２２２内に投入される。
(F) Disposal work of defective nozzles At the time of disposal work of defective nozzles, as shown in FIG. 15, the pallet carrier 180 accommodating the predetermined nozzle pallet 152 is moved to the first pallet moving mechanism 218 by the operation of the carrier circulation mechanism 182. Move to the corresponding position. A defective nozzle is housed in the predetermined nozzle pallet 152. Next, the nozzle pallet 152 housed in the pallet carrier 180 is moved to the nozzle transfer position by the operation of the first pallet moving mechanism 218. Then, the defective nozzle mounted on the nozzle pallet 152 is thrown into the waste box 222 by the nozzle transfer device 134. The work of disposing of the defective nozzle mounted on the nozzle pallet 152 to the disposal box 222 is substantially the same as the work of transferring the suction nozzle 62 mounted on the nozzle tray 88 to the nozzle pallet 152. However, the defective nozzle is put into the disposal box 222 so as not to be damaged as much as possible.
詳しくは、不良ノズルの中には、補修等により、正常ノズルに復元することが可能なものがある。このため、不良ノズルが廃棄ボックス２２２内に投入される際に、乱雑に投入されると、ノズル同士の衝突，ノズルの廃棄ボックス２２２内への投入時の衝撃等により、不良ノズルが補修不可能な状態になる虞がある。このようなことに鑑みて、不良ノズルが廃棄ボックス２２２内に投入される際には、保持チャック２０９によって把持された不良ノズルが、廃棄ボックス２２２の第１傾斜部２２４の上方で離脱される。
Specifically, some defective nozzles can be restored to normal nozzles by repair or the like. Therefore, when the defective nozzles are thrown into the waste box 222, if they are thrown randomly, the defective nozzles cannot be repaired due to collisions between the nozzles, impact when the nozzles are thrown into the waste box 222, and the like. There is a risk of a situation. In view of this, when the defective nozzle is put into the waste box 222, the defective nozzle gripped by the holding chuck 209 is separated above the first inclined portion 224 of the waste box 222.
具体的には、廃棄対象の不良ノズルが保持チャック２０９に保持されると、移載ヘッド２０６が、ヘッド移動装置２０７の作動により、図１６に示すように、廃棄ボックス２２２の第１傾斜部２２４の上方に移動する。そして、その位置において、保持チャック２０９による不良ノズルの把持が解除される。つまり、不良ノズルが、第１傾斜部２２４の上方において、離脱される。これにより、不良ノズルは、第１傾斜部２２４に落下する。第１傾斜部２２４は、上述したように、傾斜面であるため、第１傾斜部２２４に落下した不良ノズルは、平面部２２５に転がり落ちる。そして、不良ノズルは、平面部２２５に留まる。また、不良ノズルが第１傾斜部２２４を勢いよく転がり落ちて、平面部２２５を縦断した場合であっても、不良ノズルは、第２傾斜部２２６まで転がり、再度、平面部２２５に戻される。このように、廃棄ボックス２２２内に投入された不良ノズルは、平面部２２５に留まる。
Specifically, when the defective nozzle to be discarded is held by the holding chuck 209, the transfer head 206 is operated by the head moving device 207, and as shown in FIG. 16, the first inclined portion 224 of the disposal box 222 is moved. Move above. Then, at that position, the holding chuck 209 is released from gripping the defective nozzle. That is, the defective nozzle is detached above the first inclined portion 224. As a result, the defective nozzle falls on the first inclined portion 224. Since the first inclined portion 224 is an inclined surface as described above, the defective nozzle that has fallen on the first inclined portion 224 rolls down on the flat surface portion 225. Then, the defective nozzle stays on the flat surface portion 225. Further, even when the defective nozzle rolls down the first inclined portion 224 vigorously and traverses the flat surface portion 225, the defective nozzle rolls to the second inclined portion 226 and is returned to the flat surface portion 225 again. In this way, the defective nozzle thrown into the waste box 222 stays on the flat surface portion 225.
このため、不良ノズルが、順次、廃棄ボックス２２２内に投入された場合であっても、不良ノズルは、第１傾斜部２２４の上方で離脱されるため、落下した不良ノズルが、廃棄ボックス２２２内の不良ノズルに勢いよく衝突することを防止できる。これにより、ノズル同士の衝突によるノズルの破損を好適に防止することが可能となる。また、第１傾斜部２２４と平面部２２５と第２傾斜部２２６とは、クッション材により成形されているため、不良ノズルが落下した際、不良ノズルが第１傾斜部２２４を転がり落ちた際等の衝撃は、比較的小さいため、不良ノズルの破損を好適に防止することが可能となる。
Therefore, even when the defective nozzles are sequentially thrown into the waste box 222, the defective nozzles are separated above the first inclined portion 224, so that the dropped defective nozzles are inside the waste box 222. It is possible to prevent the defective nozzle from colliding vigorously. This makes it possible to preferably prevent the nozzles from being damaged due to the collision between the nozzles. Further, since the first inclined portion 224, the flat surface portion 225, and the second inclined portion 226 are formed of a cushioning material, when a defective nozzle falls, when the defective nozzle rolls down on the first inclined portion 224, etc. Since the impact of the nozzle is relatively small, it is possible to suitably prevent damage to the defective nozzle.
ちなみに、上記実施例において、吸着ノズル６２は、吸着ノズルの一例である。胴体筒６４は、ノズル本体部の一例である。フランジ部６６は、フランジ部の一例である。ノズルトレイ８８は、載置台の一例である。ノズル洗浄装置１４０は、ノズル洗浄装置の一例である。ノズルパレット１５２は、ノズル支持具の一例である。ベースプレート１５４は、支持プレートの一例である。カバープレート１５６は、カバープレートの一例である。ヘッド移動装置２０７は、移動装置の一例である。保持チャック２０９は、保持具の一例である。ブロー装置２２７は、ノズル乾燥装置の一例である。本体部２２８は、本体部の一例である。エア噴出孔２２９は、エア噴出孔の一例である。ハウジング３００は、洗浄ボックスの一例である。噴射ノズル３１２は、水噴出器の一例である。噴射ノズル移動機構３１４は、水噴出器移動装置の一例である。送風管３２０は、エア噴出器の一例である。排水路３４０は、排水路の一例である。フィルタ３４２は、濾過装置の一例である。加圧ポンプ３４４は、ポンプの一例である。仕切板３４８は、仕切板の一例である。ソケット３７０は、噴出方向変更機構および、突出部の一例である。第２内周面３７４は、テーパ面の一例である。排水路３７６は、排水路の一例である。
Incidentally, in the above embodiment, the suction nozzle 62 is an example of a suction nozzle. The body cylinder 64 is an example of a nozzle body. The flange portion 66 is an example of the flange portion. The nozzle tray 88 is an example of a mounting table. The nozzle cleaning device 140 is an example of a nozzle cleaning device. The nozzle pallet 152 is an example of a nozzle support. The base plate 154 is an example of a support plate. The cover plate 156 is an example of the cover plate. The head moving device 207 is an example of the moving device. The holding chuck 209 is an example of a holding tool. The blow device 227 is an example of a nozzle drying device. The main body 228 is an example of the main body. The air ejection hole 229 is an example of an air ejection hole. The housing 300 is an example of a cleaning box. The injection nozzle 312 is an example of a water ejector. The injection nozzle moving mechanism 314 is an example of a water ejector moving device. The blower pipe 320 is an example of an air ejector. The drainage channel 340 is an example of a drainage channel. The filter 342 is an example of a filtration device. The pressurizing pump 344 is an example of a pump. The partition plate 348 is an example of a partition plate. Socket 370 is an example of a ejection direction changing mechanism and a protruding portion. The second inner peripheral surface 374 is an example of a tapered surface. The drainage channel 376 is an example of a drainage channel.
なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施例では、噴射ノズル３１２から噴射された高圧水の噴射方向が、ソケット３７０の第２内周面３７４によって変更されているが、噴射ノズル３１２自体の配設角度を変更することで、高圧水の噴射方向を変更することが可能である。また、吸着ノズル６２の洗浄に用いる水として、ミスト等の水と圧縮空気とを混合してなる二流体を採用することが可能である。
The present invention is not limited to the above examples, and can be carried out in various modes with various modifications and improvements based on the knowledge of those skilled in the art. Specifically, for example, in the above embodiment, the injection direction of the high-pressure water injected from the injection nozzle 312 is changed by the second inner peripheral surface 374 of the socket 370, but the arrangement angle of the injection nozzle 312 itself is changed. It is possible to change the injection direction of high-pressure water by changing. Further, as the water used for cleaning the adsorption nozzle 62, it is possible to adopt a two-fluid obtained by mixing water such as mist and compressed air.
また、上記実施例では、高圧水の噴射方向を変更するためのテーパ面、つまり、第２内周面３７４が、吸着管６８を囲む筒状の本体部２２８に形成されているが、テーパ面を、吸着管６８の側方に延び出す壁面等に形成することも可能である。
Further, in the above embodiment, the tapered surface for changing the injection direction of the high-pressure water, that is, the second inner peripheral surface 374 is formed on the tubular main body portion 228 surrounding the suction pipe 68, but the tapered surface. Can also be formed on a wall surface or the like extending to the side of the suction pipe 68.
また、上記実施例では、フランジ部６６がベースプレート１５４とカバープレート１５６とによって挟まれた状態で、吸着ノズル６２が洗浄されているが、フランジ部６６を挟むことなく、載置プレート等に載置された吸着ノズル６２を洗浄することが可能である。
Further, in the above embodiment, the suction nozzle 62 is cleaned with the flange portion 66 sandwiched between the base plate 154 and the cover plate 156, but the suction nozzle 62 is placed on the mounting plate or the like without sandwiching the flange portion 66. It is possible to clean the suction nozzle 62.
また、上記実施例では、吸着ノズル６２の検査後に、吸着ノズル６２の洗浄が行われているが、吸着ノズル６２の洗浄後に吸着ノズル６２の検査を行うことが可能である。これにより、洗浄後の吸着ノズルを検査することが可能となり、適切な状態の吸着ノズル６２を検査することが可能となる。
Further, in the above embodiment, the suction nozzle 62 is cleaned after the suction nozzle 62 is inspected, but the suction nozzle 62 can be inspected after the suction nozzle 62 is cleaned. This makes it possible to inspect the suction nozzle after cleaning, and it is possible to inspect the suction nozzle 62 in an appropriate state.
以下、本発明の諸態様について列記する。
Hereinafter, various aspects of the present invention will be listed.
（０）洗浄ボックス内において、吸着ノズルの先端部を露出させた状態で前記吸着ノズルを固定的に支持するノズル支持具と、前記ノズル支持具によって支持された前記吸着ノズルに向かって水を噴出する水噴出器とを備え、前記水噴出器から噴出された水により前記吸着ノズルを洗浄するノズル洗浄装置。
(0) In the cleaning box, water is ejected toward the nozzle support that fixedly supports the suction nozzle with the tip of the suction nozzle exposed and the suction nozzle that is supported by the nozzle support. A nozzle cleaning device including a water ejector for cleaning the suction nozzle with water ejected from the water ejector.
本項に記載の態様は、本発明の基本的な構成を列挙した態様である。
The embodiments described in this section are embodiments in which the basic configurations of the present invention are listed.
（１）前記水噴出器が、前記吸着ノズルの先端部に向かって水を噴出し、前記ノズル洗浄装置が、前記水噴出器から噴出される水の噴出方向を変更する噴出方向変更機構を備えることを特徴とする(0)項に記載のノズル洗浄装置。
(1) The water ejector ejects water toward the tip of the suction nozzle, and the nozzle cleaning device includes an ejection direction changing mechanism for changing the ejection direction of water ejected from the water ejector. The nozzle cleaning device according to item (0).
本項に記載の態様によれば、様々な角度で洗浄水を吸着ノズルの先端部に向かって噴出することが可能となり、吸着ノズルの先端部を適切に洗浄することが可能となる。
According to the aspect described in this section, the cleaning water can be ejected toward the tip of the suction nozzle at various angles, and the tip of the suction nozzle can be appropriately washed.
（２）前記噴出方向変更機構が、前記ノズル支持具に支持された前記吸着ノズルの先端部の側方に向かって突出する突出部を有し、前記突出部が、前記吸着ノズルの先端部の側方に位置する箇所に形成されたテーパ面を有し、前記水噴出器から噴出された水が前記テーパ面に当たることで、前記水噴出器から噴出される水の噴出方向を変更することを特徴とする(1)項に記載のノズル洗浄装置。
(2) The ejection direction changing mechanism has a protruding portion that protrudes toward the side of the tip portion of the suction nozzle supported by the nozzle support, and the protruding portion is a tip portion of the suction nozzle. It has a tapered surface formed at a location located on the side, and the water ejected from the water ejector hits the tapered surface to change the ejection direction of the water ejected from the water ejector. The nozzle cleaning device according to the feature (1).
本項に記載の態様によれば、簡素な構造の機構により、洗浄水の噴出方向を変更することが可能となる。
According to the aspect described in this section, it is possible to change the ejection direction of the washing water by a mechanism having a simple structure.
（３）前記突出部が、筒状をなし、前記吸着ノズルの先端部を囲むようにして配設されることを特徴とする(2)項に記載のノズル洗浄装置。
(3) The nozzle cleaning device according to item (2), wherein the protruding portion has a tubular shape and is arranged so as to surround the tip end portion of the suction nozzle.
本項に記載の態様によれば、吸着ノズルの全周に渡って洗浄水を噴出することが可能となる。
According to the aspect described in this section, it is possible to eject the washing water over the entire circumference of the suction nozzle.
（４）前記突出部が、前記吸着ノズルの先端より基端側の部分の側方に位置する箇所に形成された排水路を有することを特徴とする(2)項または(3)項に記載のノズル洗浄装置。
(4) The item (2) or (3), wherein the protruding portion has a drainage channel formed at a position located on the side of a portion on the base end side of the tip of the suction nozzle. Nozzle cleaning device.
本項に記載の態様によれば、突出部内に噴出された洗浄水を突出部の外に排出することが可能となる。
According to the aspect described in this section, the washing water ejected into the protruding portion can be discharged to the outside of the protruding portion.
（５）前記水噴出器が、面状に水を噴出し、前記ノズル洗浄装置が、前記ノズル支持具に支持された前記吸着ノズルの軸線に交わる方向に、前記水噴出器を移動させる水噴出器移動装置を備えることを特徴とする(1)項ないし(4)項のいずれか１つに記載のノズル洗浄装置。
(5) The water ejector ejects water in a planar shape, and the nozzle cleaning device moves the water ejector in a direction intersecting the axis of the suction nozzle supported by the nozzle support. The nozzle cleaning device according to any one of items (1) to (4), which comprises a device moving device.
本項に記載の態様によれば、吸着ノズルの先端部の全域に高圧水を噴出することが可能となる。
According to the aspect described in this section, it is possible to eject high-pressure water over the entire tip portion of the suction nozzle.
（６）前記洗浄ボックスの底部が、前記水噴出器から噴出された水を貯水するための貯水タンクとして機能することを特徴とする(0)項ないし(5)項のいずれか１つに記載のノズル洗浄装置。
(6) The item according to any one of (0) to (5), wherein the bottom of the washing box functions as a water storage tank for storing water ejected from the water ejector. Nozzle cleaning device.
本項に記載の態様によれば、洗浄ボックス外に貯水タンクを設ける必要がないため、構造を簡素にするとともに、コストダウンを図ることが可能となる。
According to the aspect described in this section, since it is not necessary to provide a water storage tank outside the cleaning box, it is possible to simplify the structure and reduce the cost.
（７）前記ノズル洗浄装置が、前記貯水タンクの下端部に開口するとともに、下方に向かって延び出す排水路と、前記排水路に設けられ、前記排水路を流れる水から不純物を取り除くための濾過装置とを備えることを特徴とする(6)項に記載のノズル洗浄装置。
(7) The nozzle cleaning device is provided in a drainage channel that opens at the lower end of the water storage tank and extends downward, and a filtration that is provided in the drainage channel to remove impurities from the water flowing through the drainage channel. The nozzle cleaning apparatus according to item (6), which comprises an apparatus.
本項に記載の態様によれば、貯水タンクに貯留された洗浄水を濾過する際に、洗浄水を、重力によって、濾過することが可能となり、洗浄水を濾過装置に送水するポンプ等を採用する必要がなくなる。
According to the aspect described in this section, when filtering the washing water stored in the water storage tank, the washing water can be filtered by gravity, and a pump or the like for sending the washing water to the filtering device is adopted. You don't have to.
（８）前記ノズル洗浄装置が、前記濾過装置によって不純物が取り除かれた水を前記水噴出器に向かって送り出すポンプを備えることを特徴とする(7)項に記載のノズル洗浄装置。
(8) The nozzle cleaning device according to item (7), wherein the nozzle cleaning device includes a pump that sends water from which impurities have been removed by the filtration device toward the water ejector.
本項に記載の態様によれば、洗浄後の洗浄水を再利用することが可能となり、経済的である。
According to the aspect described in this section, it is possible to reuse the washing water after washing, which is economical.
（９）前記ノズル洗浄装置が、前記ノズル洗浄装置による洗浄が終了した前記吸着ノズルにエアを噴出するエア噴出器と、貯水タンクとして機能する前記洗浄ボックスの底部と前記ノズル支持具との間に配設された仕切り板とを備えることを特徴とする(6)項ないし(8)項のいずれか１つに記載のノズル洗浄装置。
(9) Between the air ejector that the nozzle cleaning device ejects air to the suction nozzle that has been cleaned by the nozzle cleaning device, the bottom of the cleaning box that functions as a water storage tank, and the nozzle support. The nozzle cleaning device according to any one of items (6) to (8), further comprising a partitioned partition plate.
本項に記載の態様によれば、吸着ノズルをエアの噴出により乾燥する際に、洗浄ボックスの底部に貯留されている洗浄水の巻き上げを防止することが可能となる。
According to the aspect described in this section, when the suction nozzle is dried by ejecting air, it is possible to prevent the washing water stored in the bottom of the washing box from being wound up.
（１０）前記仕切り板が、傾斜した状態で配設されることを特徴とする(9) 項に記載のノズル洗浄装置。
(10) The nozzle cleaning device according to item (9), wherein the partition plate is arranged in an inclined state.
本項に記載の態様によれば、仕切板上に落下した洗浄水を効果的に、洗浄ボックスに流すことが可能となる。
According to the aspect described in this section, the cleaning water that has fallen on the partition plate can be effectively flowed to the cleaning box.
（１１）前記仕切り板の上面が、クッション材により成形されていることを特徴とする(9)項または(10)項に記載のノズル洗浄装置。
(11) The nozzle cleaning device according to item (9) or (10), wherein the upper surface of the partition plate is formed of a cushioning material.
本項に記載の態様によれば、仕切板上に落下した洗浄水の吸着ノズルへの跳ね返りを防止することが可能となる。
According to the aspect described in this section, it is possible to prevent the washing water that has fallen on the partition plate from bouncing back to the adsorption nozzle.
（１２）前記ノズル支持具によって支持された状態の前記吸着ノズルが、(0)項ないし(11)項のいずれか１つに記載の前記ノズル洗浄装置によって洗浄された後に、その吸着ノズルを乾燥させるノズル乾燥方法において、前記ノズル乾燥方法が、前記ノズル支持具によって支持された状態の前記吸着ノズルを、保持具によって保持する保持工程と、前記保持具によって保持された前記吸着ノズルを、移動装置によってノズル乾燥装置まで移動させる移動工程と、前記保持具によって保持された前記吸着ノズルを、前記ノズル乾燥装置によって乾燥させる第１乾燥工程とを含むことを特徴とするノズル乾燥方法。
(12) The suction nozzle in a state supported by the nozzle support is cleaned by the nozzle cleaning device according to any one of (0) to (11), and then the suction nozzle is dried. In the nozzle drying method, the nozzle drying method moves a holding step of holding the suction nozzle supported by the nozzle support by the holder and a moving device for the suction nozzle held by the holder. A nozzle drying method comprising a moving step of moving the nozzle to the nozzle drying device and a first drying step of drying the suction nozzle held by the holder by the nozzle drying device.
本項に記載の態様によれば、吸着ノズルに付着している水分を確実に除去することが可能となる。
According to the aspect described in this section, it is possible to reliably remove the water adhering to the suction nozzle.
（１３）前記ノズル支持具が、筒状のノズル本体部と、前記ノズル本体部の外周部から延び出すフランジ部とによって構成される前記吸着ノズルの前記フランジ部を下方から支持する支持プレートと、前記支持プレートによって支持された前記吸着ノズルの前記フランジ部を、前記支持プレートと挟み込むカバープレートと、前記支持プレートと前記カバープレートとを相対移動させる相対移動機構とを有し、前記支持プレートと前記カバープレートとの相対移動により、前記支持プレートによって支持された前記吸着ノズルの前記フランジ部が、前記支持プレートと前記カバープレートとによって挟み込まれた状態と、前記支持プレートと前記カバープレートとによる挟み込みが解除された状態とで切り替え可能であり、前記ノズル乾燥方法が、前記フランジ部が前記支持プレートと前記カバープレートとによって挟み込まれた状態の前記吸着ノズルが、前記ノズル洗浄装置によって洗浄された後に、その吸着ノズルを乾燥させる方法であり、前記保持工程が、前記フランジ部の前記支持プレートと前記カバープレートとによる挟み込みが解除された状態の前記吸着ノズルを、保持具によって保持する工程であることを特徴とする(12)項に記載のノズル乾燥方法。
(13) A support plate for supporting the flange portion of the suction nozzle from below, wherein the nozzle support is composed of a tubular nozzle body portion and a flange portion extending from an outer peripheral portion of the nozzle body portion. It has a cover plate that sandwiches the flange portion of the suction nozzle supported by the support plate with the support plate, and a relative movement mechanism that moves the support plate and the cover plate relative to each other. Due to the relative movement with the cover plate, the flange portion of the suction nozzle supported by the support plate is sandwiched between the support plate and the cover plate, and the sandwiching between the support plate and the cover plate is performed. The nozzle drying method can be switched between the released state and the nozzle drying method, after the suction nozzle in a state where the flange portion is sandwiched between the support plate and the cover plate is cleaned by the nozzle cleaning device. It is a method of drying the suction nozzle, and the holding step is a step of holding the suction nozzle in a state where the sandwiching between the support plate and the cover plate of the flange portion is released by a holder. The nozzle drying method according to item (12).
本項に記載の態様によれば、支持プレートとカバープレートとの間に入り込んだ水分が、吸着ノズルのフランジ部に付着している際に、フランジ部の水分を適切に除去することが可能となる。
According to the aspect described in this section, when the moisture that has entered between the support plate and the cover plate adheres to the flange portion of the suction nozzle, it is possible to appropriately remove the moisture in the flange portion. Become.
（１４）前記ノズル乾燥方法が、前記保持工程において前記吸着ノズルが前記保持具によって保持される前に、前記ノズル支持具によって支持された状態の前記吸着ノズルを、前記ノズル支持具とともに乾燥させる第２乾燥工程を含むことを特徴とする(12)項または(13)項に記載のノズル乾燥方法。
(14) The nozzle drying method dries the suction nozzle in a state of being supported by the nozzle support together with the nozzle support before the suction nozzle is held by the holder in the holding step. 2. The nozzle drying method according to item (12) or (13), which comprises a drying step.
本項に記載の態様によれば、吸着ノズルとともに、ノズル支持具を乾燥させることが可能となり、吸着ノズルを支持するノズル支持具を、乾燥させた状態で移動させることが可能となる。
According to the aspect described in this section, the nozzle support can be dried together with the suction nozzle, and the nozzle support that supports the suction nozzle can be moved in a dried state.
（１５）前記ノズル乾燥方法が、前記第１乾燥工程において乾燥の終了した前記吸着ノズルを保持する前記保持具を、前記移動装置によって、前記吸着ノズルを載置するための載置台に移載する移載工程を含むことを特徴とする(12)項ないし(14)項のいずれか１つに記載のノズル乾燥方法。
(15) In the nozzle drying method, the holder that holds the suction nozzle that has been dried in the first drying step is transferred to a mounting table for mounting the suction nozzle by the moving device. The nozzle drying method according to any one of items (12) to (14), which comprises a transfer step.
本項に記載の態様によれば、確実に乾燥させた吸着ノズルを載置台に収納することが可能となる。
According to the embodiment described in this section, the suction nozzle that has been reliably dried can be stored in the mounting table.
（１６）前記ノズル乾燥装置が、前記吸着ノズルを囲う本体部と、本体部の内部に向かって開口し、エアを噴出するためのエア噴出孔とを有し、前記移動工程が、前記保持具によって保持された前記吸着ノズルを、前記移動装置によって前記本体部の内部まで移動させ、前記第１乾燥工程が、前記保持具によって保持された前記吸着ノズルを、前記エア噴出孔から噴出するエアにより乾燥させることを特徴とする(12)項ないし(15)項のいずれか１つに記載のノズル乾燥方法。
(16) The nozzle drying device has a main body portion that surrounds the suction nozzle and an air ejection hole that opens toward the inside of the main body portion to eject air, and the moving step is the holder. The suction nozzle held by the holder is moved to the inside of the main body by the moving device, and the first drying step uses the air ejected from the air ejection hole to blow the suction nozzle held by the holder. The nozzle drying method according to any one of items (12) to (15), which comprises drying.
本項に記載の態様によれば、簡便な構造のノズル乾燥装置によって、吸着ノズルを乾燥することが可能となる。
According to the aspect described in this section, the suction nozzle can be dried by the nozzle drying device having a simple structure.
（１７）前記保持具が、保持する前記吸着ノズルをそれの軸線周りに自転させる自転機構を有し、前記ノズル乾燥装置が、所定の間隔をおいて配設された１以上の前記エア噴出孔を有し、前記第１乾燥工程が、前記保持具が保持した前記吸着ノズルを、前記自転機構によって自転させた状態で、前記１以上のエア噴出孔から噴出するエアにより乾燥させることを特徴とする(16)項に記載のノズル乾燥方法。
(17) The holder has a rotation mechanism that rotates the suction nozzle to be held around the axis of the suction nozzle, and the nozzle drying device has one or more air ejection holes arranged at predetermined intervals. The first drying step is characterized in that the suction nozzle held by the holder is dried by the air ejected from the one or more air ejection holes in a state of being rotated by the rotation mechanism. Nozzle drying method according to item (16).
本項に記載の態様によれば、少ない数のエア噴出孔が形成されたノズル乾燥装置によって、吸着ノズルを全周に渡って乾燥させることが可能となり、ノズル洗浄装置の構造を簡便にすることが可能となる。
According to the embodiment described in this section, the nozzle drying device in which a small number of air ejection holes are formed makes it possible to dry the suction nozzle over the entire circumference, thereby simplifying the structure of the nozzle cleaning device. Is possible.
（１８）前記移動工程が、前記保持具によって保持された前記吸着ノズルを、その吸着ノズルの前記フランジ部が前記エア噴出孔の側方に位置するように、前記移動装置によって前記本体部の内部まで移動させることを特徴とする(16)項または(17)項に記載のノズル乾燥方法。
(18) In the moving step, the suction nozzle held by the holder is placed inside the main body by the moving device so that the flange portion of the suction nozzle is located on the side of the air ejection hole. The nozzle drying method according to paragraph (16) or (17), which comprises moving to.
本項に記載の態様によれば、フランジ部の水分を確実に除去することが可能となる。
According to the aspect described in this section, it is possible to reliably remove the water content of the flange portion.
