JP6915999B2 - Glass cloth, prepreg, and printed wiring board - Google Patents

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Description

本発明はガラスクロス、プリプレグ、及びプリント配線板に関する。 The present invention relates to glass cloths, prepregs, and printed wiring boards.

現在、スマートフォン等の情報端末の高性能化、高速通信化に伴い、使用されるプリント配線板において、高密度化、極薄化とともに、低誘電率化、低誘電正接化が著しく進行している。 At present, along with the high performance and high-speed communication of information terminals such as smartphones, the printed wiring boards used are becoming denser and ultrathin, and the dielectric constant and the dielectric loss tangent are remarkably progressing. ..

このプリント配線板の絶縁材料としては、ガラスクロスをエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂(以下、「マトリックス樹脂」という。)に含浸させて得られるプリプレグを積層して加熱加圧硬化させた積層板が広く使用されている。上記の高速通信基板に使用されるマトリックス樹脂の誘電率は3程度であるのに対し、一般的なEガラスクロスの誘電率は6.7程度であり、積層板時の高い誘電率の問題が顕在化してきている。なお、信号の伝送ロスは、Edward A. Wolff式 : 伝送損失∝√ε×tanδ、が示すように、誘電率(ε)および誘電正接(tanδ)が小さい材料ほど改善されることが知られている。 As an insulating material for this printed wiring board, a laminated board obtained by impregnating a glass cloth with a thermosetting resin such as an epoxy resin (hereinafter referred to as "matrix resin") and laminating a prepreg is laminated and cured by heating and pressure. Is widely used. While the dielectric constant of the matrix resin used for the above-mentioned high-speed communication board is about 3, the dielectric constant of a general E glass cloth is about 6.7, which causes a problem of high dielectric constant at the time of a laminated plate. It is becoming apparent. The signal transmission loss is described in Edward A. et al. Wolff equation: As shown by the transmission loss ∝√ε × tanδ, it is known that the material having a smaller dielectric constant (ε) and dielectric loss tangent (tanδ) is improved.

そのため、Eガラスとは異なるガラス組成のDガラス、NEガラス、Lガラス等の低誘電率ガラスクロスが提案されている(例えば、特許文献1〜4参照)。 Therefore, low dielectric constant glass cloths such as D glass, NE glass, and L glass having a glass composition different from that of E glass have been proposed (see, for example, Patent Documents 1 to 4).

特開平5−170483Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-170483 特開2009−263569JP-A-2009-263569 特開2009−19150JP 2009-19150 特開2009−263824JP-A-2009-263824

しかしながら、今後の5G通信用途等において、これら低誘電率ガラスクロスでは、十分な伝送速度性能を達成する観点から、なお改善の余地があった。ここで、ガラス組成中のSiO2配合量をほぼ100%とすることにより、更なる低誘電率化及び低誘電正接化を図ることも考えられる。しかしながら、ガラス組成中のSiO2の配合量をほぼ100%に増やすと、一般に低誘電率基板に使用されるメカニカルドリルでの穴加工性が著しく悪くなる。そのため、穴加工時に、樹脂とガラスの界面部が剥がれ易くなり、その後、銅メッキ処理すると銅メッキ液が界面に染込み易くなる。その結果、積層板の穴間の絶縁信頼性が悪くなる課題がある。 However, in future 5G communication applications and the like, there is still room for improvement in these low dielectric constant glass cloths from the viewpoint of achieving sufficient transmission speed performance. Here, it is conceivable to further reduce the dielectric constant and the low dielectric loss tangent by setting the amount of SiO 2 in the glass composition to be approximately 100%. However, if the blending amount of SiO 2 in the glass composition is increased to almost 100%, the hole workability of a mechanical drill generally used for a low dielectric constant substrate is significantly deteriorated. Therefore, the interface between the resin and the glass is likely to be peeled off during hole processing, and then the copper plating solution is likely to permeate the interface. As a result, there is a problem that the insulation reliability between the holes of the laminated board is deteriorated.

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、誘電率が低く、かつ絶縁信頼性に優れた基板(「基板」とは、プリプレグ、プリント配線板、又はこれらの積層板等を含む概念である)を作製することができるガラスクロス、該ガラスクロスを用いたプリプレグ、及びプリント配線板を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and includes a substrate having a low dielectric constant and excellent insulation reliability (the "board" includes a prepreg, a printed wiring board, a laminated plate thereof, and the like. It is an object of the present invention to provide a glass cloth capable of producing (which is a concept), a prepreg using the glass cloth, and a printed wiring board.

本発明者らは、前記課題を解決するために検討した結果、所定のガラスクロスが上記課題を解決できることを見出し、本発明の完成に至った。 As a result of studies for solving the above-mentioned problems, the present inventors have found that a predetermined glass cloth can solve the above-mentioned problems, and have completed the present invention.

すなわち本発明は、以下のとおりである。
〔1〕
複数本のガラスフィラメントからなるガラス糸を経糸及び緯糸として製織してなるガラスクロスであって、
前記経糸及び前記緯糸の一方が、SiO2組成量が98〜100質量%であるガラスフィラメントからなるガラス糸であり、
前記経糸及び前記緯糸の他方が、SiO2組成量が45〜60質量%であり、B23組成量が15〜30質量%であるガラスフィラメントからなるガラス糸であり、
前記経糸及び前記緯糸を構成する前記ガラスフィラメントの平均フィラメント径が、各々独立して、3〜10μmであり、
前記経糸及び前記緯糸のフィラメント数が、各々独立して、20〜300本であり、
前記経糸及び前記緯糸の打ち込み密度が、各々独立して、20〜140本/inchであり、
前記ガラスクロスの厚さが、8〜100μmであり、
前記ガラスクロスの強熱減量値が、0.2質量%以上1.0質量%以下であり、
前記ガラスクロスの誘電率が、3.8超過4.4以下であり、
不飽和二重結合基を有するシランカップリング剤で前記ガラス糸の表面が処理された、
ガラスクロス。
〔2〕
前記ガラスクロスの前記強熱減量値が、0.3質量%以上0.8質量%以下である、
〔1〕に記載のガラスクロス。
〔3〕
分子量が異なる2種類以上の前記シランカップリング剤で前記ガラス糸の表面が処理された、
〔1〕又は〔2〕に記載のガラスクロス。
〔4〕
前記経糸及び前記緯糸の一方が、前記SiO2組成量が98〜99.95質量%であるガラスフィラメントからなるガラス糸である、
〔1〕〜〔3〕のいずれか1項に記載のガラスクロス。
〔5〕
前記経糸及び前記緯糸の他方が、前記SiO2組成量が50〜60質量%であり、前記B23組成量が20〜30質量%であるガラスフィラメントからなるガラス糸である、
〔1〕〜〔4〕のいずれか1項に記載のガラスクロス。
〔6〕
〔1〕〜〔5〕のいずれか1項に記載のガラスクロスと、
該ガラスクロスに含浸されたマトリックス樹脂と、を有する、
プリプレグ。
〔7〕
〔6〕に記載のプリプレグを有する、
プリント配線板。
That is, the present invention is as follows.
[1]
A glass cloth made by weaving glass threads composed of a plurality of glass filaments as warp threads and weft threads.
One of said warp and said weft, a glass yarn SiO 2 composition amount is made of glass filaments is 98 to 100 wt%,
The other of the warp and the weft, a SiO 2 composition weight 45 to 60 wt%, a glass yarn B 2 O 3 composition amount is made of glass filaments is 15 to 30 wt%,
The average filament diameters of the warp threads and the glass filaments constituting the weft threads are independently 3 to 10 μm.
The number of filaments of the warp and the weft is 20 to 300 independently.
The driving densities of the warp and the weft are independently 20 to 140 threads / inch.
The thickness of the glass cloth is 8 to 100 μm.
The ignition loss value of the glass cloth is 0.2% by mass or more and 1.0% by mass or less.
The dielectric constant of the glass cloth is more than 3.8 and 4.4 or less.
The surface of the glass yarn was treated with a silane coupling agent having an unsaturated double bond group.
Glass cloth.
[2]
The ignition loss value of the glass cloth is 0.3% by mass or more and 0.8% by mass or less.
The glass cloth according to [1].
[3]
The surface of the glass yarn was treated with two or more kinds of the silane coupling agents having different molecular weights.
The glass cloth according to [1] or [2].
[4]
One of said warp and said weft, the SiO 2 composition weight of glass strands consisting of glass filaments is 98 to 99.95 wt%,
The glass cloth according to any one of [1] to [3].
[5]
The other of the warp and the weft, the a SiO 2 composition weight 50-60 wt%, the B 2 O 3 composition weight of glass strands consisting of glass filaments is 20 to 30 wt%,
The glass cloth according to any one of [1] to [4].
[6]
The glass cloth according to any one of [1] to [5] and
The glass cloth is impregnated with a matrix resin.
Prepreg.
[7]
Having the prepreg according to [6].
Printed wiring board.

本発明によれば、誘電率が低く、かつ絶縁信頼性に優れた基板を作製することができるガラスクロス、該ガラスクロスを用いたプリプレグ、及びプリント配線板を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a glass cloth capable of producing a substrate having a low dielectric constant and excellent insulation reliability, a prepreg using the glass cloth, and a printed wiring board.

以下、本発明の実施の形態(以下、「本実施形態」という。)について詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。 Hereinafter, embodiments of the present invention (hereinafter referred to as “the present embodiment”) will be described in detail, but the present invention is not limited thereto, and various modifications can be made without departing from the gist thereof. Is.

〔ガラスクロス〕
本実施形態のガラスクロスは、複数本のガラスフィラメントからなるガラス糸を経糸及び緯糸として製織してなるガラスクロスであって、前記経糸及び前記緯糸の一方が、SiO2組成量が98〜100質量%であるガラスフィラメントを含むガラス糸であり、前記経糸及び前記緯糸の他方が、SiO2組成量が45〜60質量%であり、B23組成量が15〜30質量%であるガラスフィラメントを含むガラス糸であり、前記経糸及び前記緯糸を構成する前記ガラスフィラメントの平均フィラメント径が、各々独立して、3〜10μmであり、前記経糸及び前記緯糸のフィラメント数が、各々独立して、20〜300本であり、前記経糸及び前記緯糸の打ち込み密度が、各々独立して、20〜140本/inchであり、前記ガラスクロスの厚さが、8〜100μmであり、前記ガラスクロスの強熱減量値が、0.2質量%以上1.0質量%以下であり、前記ガラスクロスの誘電率が、3.8超過4.4以下であり、不飽和二重結合基を有するシランカップリング剤で前記ガラス糸の表面が処理されたものである。
〔Glass cloth〕
The glass cloth of the present embodiment is a glass cloth obtained by weaving glass threads composed of a plurality of glass filaments as warp threads and weft threads, and one of the warp threads and the weft threads has a SiO 2 composition amount of 98 to 100 mass. A glass filament containing a glass filament of%, and the other of the warp and the weft has a SiO 2 composition of 45 to 60% by mass and a B 2 O 3 composition of 15 to 30% by mass. The average filament diameters of the warp and the glass filaments constituting the weft are independently 3 to 10 μm, and the numbers of filaments of the warp and the weft are independent of each other. The number of threads is 20 to 300, the driving densities of the warp and the weft are independently 20 to 140 threads / inch, the thickness of the glass cloth is 8 to 100 μm, and the strength of the glass cloth is strong. A silane coupling having a heat loss value of 0.2% by mass or more and 1.0% by mass or less, a dielectric constant of the glass cloth of more than 3.8 and 4.4 or less, and an unsaturated double-bonding group. The surface of the glass thread is treated with an agent.

SiO2組成量を98〜100質量%とした場合、誘電率は低下するものの、基板のドリル加工性が劣化する傾向となる。一般的なガラスのビッカース硬度は640kgf/mm2程度であるが、SiO2組成量がほぼ100%のガラスのビッカース硬度は820kgf/mm2程度であり、ドリル加工時においてドリルチップ先端が著しく摩耗する場合がある。そのため、穴内壁が荒れた、形状の汚いドリル穴が生じてしまい、かつ、穴内壁でのガラス/樹脂界面に剥がれ(剥がれ部)が生じやすくなる。銅メッキ処理等を行った場合には、メッキ液が剥がれ部からガラスクロスに染み込みやすくなり、絶縁信頼性が低下する傾向となる。 When the amount of SiO 2 composition is 98 to 100% by mass, the dielectric constant is lowered, but the drilling workability of the substrate tends to be deteriorated. The Vickers hardness of general glass is about 640 kgf / mm 2 , but the Vickers hardness of glass with a SiO 2 composition of almost 100% is about 820 kgf / mm 2 , and the tip of the drill tip is significantly worn during drilling. In some cases. Therefore, the inner wall of the hole is rough and a dirty drill hole is formed, and the glass / resin interface on the inner wall of the hole is likely to be peeled off (peeled portion). When the copper plating treatment or the like is performed, the plating liquid tends to permeate into the glass cloth from the peeled portion, and the insulation reliability tends to decrease.

また、SiO2組成量を98〜100質量%とした場合には、ガラスフィラメントの耐屈曲性が大幅に低下し、ガラスフィラメントが割れたり折れたりする場合がある。割れたり折れたりしたガラスフィラメントは、ガラスクロスの毛羽立ちの一因となる。このような毛羽立ちは、ガラスクロスの整経、製織、開繊工程において生じ得るため、SiO2組成量が98〜100質量%であるガラスフィラメントを用いて、毛羽立ちの少ないガラスクロスを製造することには容易でない。特に、経糸の場合、整経、製織工程において、ガラス糸の状態でロールなどの部材に多く接触するため、毛羽立ちがより生じ易い。また、プリプレグ用途においては、このように耐屈曲性の低いガラスフィラメントは、加工中に毛羽立ちを生じさせてしまう場合があり実用性に劣る傾向となる。毛羽立ちは、積層板を作製する際に、毛羽立ち部が導電層に衝突する確率が高くなり、突起不良や層間絶縁不良が生じる原因ともなる。したがって、SiO2組成量を98〜100質量%としたガラスフィラメントを用いたガラスクロスは実用性の観点から問題があると想定される。 Further, when the SiO 2 composition amount is 98 to 100% by mass, the bending resistance of the glass filament is significantly lowered, and the glass filament may be cracked or broken. Broken or broken glass filaments contribute to the fluffing of the glass cloth. Since such fluffing can occur in the warping, weaving, and fiber-spreading steps of the glass cloth, it was decided to manufacture a glass cloth having less fluffing by using a glass filament having a SiO 2 composition amount of 98 to 100% by mass. Is not easy. In particular, in the case of warp yarns, in the warping and weaving processes, the glass yarns come into contact with many members such as rolls, so that fluffing is more likely to occur. Further, in prepreg applications, such a glass filament having low bending resistance may cause fluffing during processing, which tends to be inferior in practicality. The fluffing increases the probability that the fluffing portion collides with the conductive layer when the laminated board is produced, which also causes poor protrusions and poor interlayer insulation. Therefore, it is assumed that a glass cloth using a glass filament having a SiO 2 composition amount of 98 to 100% by mass has a problem from the viewpoint of practicality.

しかしながら、本実施形態のガラスクロスによれば、経糸及び緯糸の一方を、SiO2組成量が98〜100質量%であるガラスフィラメントを含むガラス糸とし、経糸及び緯糸の他方を、SiO2組成量が45〜60質量%であり、B23組成量が15〜30質量%であるガラスフィラメントを含むガラス糸とし、不飽和二重結合基を有するシランカップリング剤で前記ガラス糸の表面を処理し、ガラスクロスの強熱減量値を0.2質量%以上1.0質量%以下とすることにより、低い誘電率を活かしつつも、ガラスフィラメントの耐屈曲性を向上させることが可能となり、従来よりもより一層誘電率が低く、かつ絶縁信頼性に優れた基板を作製することができるガラスクロスを提供することが可能となる。また、本実施形態のガラスクロスを用いた基板は、より一層の低誘電率化及び低誘電正接化が達成されたものとなり、高速通信化に伴い要求される各性能を達成し得るものとなる。 However, according to the glass cloth of the present embodiment, one of the warp and the weft is a glass thread containing a glass filament having a SiO 2 composition amount of 98 to 100% by mass, and the other of the warp and the weft is a SiO 2 composition amount. A glass yarn containing a glass filament having a B 2 O 3 composition of 15 to 30% by mass, and the surface of the glass yarn is coated with a silane coupling agent having an unsaturated double-bonding group. By treating and setting the strong heat loss value of the glass cloth to 0.2% by mass or more and 1.0% by mass or less, it is possible to improve the bending resistance of the glass filament while taking advantage of the low dielectric constant. It is possible to provide a glass cloth capable of producing a substrate having a lower dielectric constant than the conventional one and having excellent insulation reliability. Further, the substrate using the glass cloth of the present embodiment has achieved further lower dielectric constant and lower dielectric loss tangent, and can achieve each performance required for high-speed communication. ..

〔ガラスフィラメント組成〕
本実施形態においては、経糸及び緯糸の一方が、SiO2組成量が98〜100質量%であるガラスフィラメント(以下、「ガラスフィラメントA」ともいう。)を含むガラス糸であり、経糸及び緯糸の他方が、SiO2組成量が45〜60質量%であり、B23組成量が15〜30質量%であるガラスフィラメント(以下、「ガラスフィラメントB」ともいう。)を含むガラス糸である。当該態様においては、経糸及び緯糸の一方が、ガラスフィラメントAからなるガラス糸であり、経糸及び緯糸の他方が、ガラスフィラメントBからなるガラス糸である態様の他、経糸及び緯糸の一方が、ガラスフィラメントAとガラスフィラメントBとからなるガラス糸であり、経糸及び緯糸の他方が、ガラスフィラメントAからなるガラス糸又はガラスフィラメントBからなるガラス糸である態様、並びに、経糸及び緯糸の両方が、ガラスフィラメントAとガラスフィラメントBとからなるガラス糸である態様も含まれる。
[Glass filament composition]
In the present embodiment, one of the warp and the weft is a glass yarn containing a glass filament having a SiO 2 composition amount of 98 to 100% by mass (hereinafter, also referred to as “glass filament A”), and the warp and the weft On the other hand, it is a glass thread containing a glass filament (hereinafter, also referred to as "glass filament B") having a SiO 2 composition amount of 45 to 60% by mass and a B 2 O 3 composition amount of 15 to 30% by mass. .. In this embodiment, one of the warp and the weft is a glass thread made of glass filament A, the other of the warp and the weft is a glass thread made of glass filament B, and one of the warp and the weft is glass. It is a glass thread composed of a filament A and a glass filament B, and the other of the warp and the weft is a glass thread made of the glass filament A or a glass thread made of the glass filament B, and both the warp and the weft are glass. A mode in which the glass thread is composed of the filament A and the glass filament B is also included.

〔ガラスフィラメントA〕
ガラスフィラメントAのSiO2組成量は、98〜100質量%であり、好ましくは98〜99.95質量%であり、より好ましくは98〜99質量%である。SiO2組成量が98質量%以上であることにより、誘電率や誘電正接がより減少する傾向にある。また、SiO2組成量が98質量%以上であることにより、ガラス溶融紡糸の際の空気の混入が抑制され、中空糸の発生を抑制することができる。中空糸が減少することにより、基板の絶縁信頼性がより向上する傾向にある。また、SiO2組成量が99.95質量%以下であることにより、ガラス糸の耐屈曲性及び耐脆性がより向上する傾向にある。これにより、基板のドリル加工性がより向上し、また、ガラスクロスの処理加工後の開繊時及び水洗時等においてガラス糸切れが発生し難くなり、ガラスクロスの毛羽量が低下する傾向にある。このようなガラスクロスを用いることにより、誘電率がより低下する上、中空糸低減に由来する絶縁信頼性の向上や、基板のドリル加工性の向上に由来する絶縁信頼性の向上、毛羽立ち低減に由来する絶縁信頼性の向上(メッキ染み込み、突起不良、層間絶縁不良等の防止)を達成することができる。SiO2組成量は、ガラスフィラメント作製に用いる原料使用量に応じて調整することができる。
[Glass filament A]
The SiO 2 composition of the glass filament A is 98 to 100% by mass, preferably 98 to 99.95% by mass, and more preferably 98 to 99% by mass. When the SiO 2 composition amount is 98% by mass or more, the dielectric constant and the dielectric loss tangent tend to be further reduced. Further, when the SiO 2 composition amount is 98% by mass or more, air contamination during glass melt spinning can be suppressed, and the generation of hollow fibers can be suppressed. By reducing the number of hollow fibers, the insulation reliability of the substrate tends to be further improved. Further, when the SiO 2 composition amount is 99.95% by mass or less, the bending resistance and brittleness of the glass yarn tend to be further improved. As a result, the drilling workability of the substrate is further improved, and the glass thread breakage is less likely to occur at the time of opening the fiber after processing the glass cloth and at the time of washing with water, and the amount of fluff of the glass cloth tends to decrease. .. By using such a glass cloth, the dielectric constant is further lowered, the insulation reliability is improved due to the reduction of hollow threads, the insulation reliability is improved due to the improvement of the drilling workability of the substrate, and the fluffing is reduced. It is possible to improve the insulation reliability (prevention of plating penetration, protrusion failure, interlayer insulation failure, etc.). The amount of SiO 2 composition can be adjusted according to the amount of raw material used for producing the glass filament.

また、ガラスフィラメントAは、SiO2の他、その他の組成を有していてもよい。その他の組成としては、特に限定されないが、例えば、Al23、CaO、MgO、B23、TiO2、Na2O、K2O、Sr23、Fe23等が挙げられる。 Further, the glass filament A may have other compositions in addition to SiO 2. Other compositions are not particularly limited, and examples thereof include Al 2 O 3 , CaO, MgO, B 2 O 3 , TiO 2 , Na 2 O, K 2 O, Sr 2 O 3 , Fe 2 O 3, and the like. Be done.

〔ガラスフィラメントB〕
ガラスフィラメントBのSiO2組成量は、45〜60質量%であり、好ましくは50〜60質量%であり、より好ましくは51〜56質量%である。また、ガラスフィラメントBのB23組成量は、15〜30質量%であり、好ましくは20〜30質量%であり、より好ましくは21〜25質量%である。SiO2組成量が60%以下、かつB23組成量が15質量%以上であることにより、ガラス溶融粘度が下がり、ガラス糸を引き易くなるため、中空糸の発生を抑制することができ、また、誘電率が低下する。また、SiO2組成量が45%以上、かつB23組成量が30質量%以下であることにより、表面処理を施した場合において、耐吸湿性がより向上する。一方、B23組成量が15質量%未満であると、中空糸数が上昇し、それに伴って絶縁信頼性が低下する。また、B23組成量がさらにEガラス組成量まで減少すると、中空糸数は減少する傾向にあるが、誘電率は増加する。また、B23組成量が30質量%超過であると、毛羽量が増大するとともに吸湿量が増大するため、絶縁信頼性が低下する。B23組成量は、ガラスフィラメント作製に用いる原料使用量に応じて調整することができる。
[Glass filament B]
The SiO 2 composition amount of the glass filament B is 45 to 60% by mass, preferably 50 to 60% by mass, and more preferably 51 to 56% by mass. The B 2 O 3 composition of the glass filament B is 15 to 30% by mass, preferably 20 to 30% by mass, and more preferably 21 to 25% by mass. When the SiO 2 composition amount is 60% or less and the B 2 O 3 composition amount is 15% by mass or more, the glass melt viscosity is lowered and the glass yarn is easily pulled, so that the generation of hollow yarn can be suppressed. Also, the dielectric constant decreases. Further, when the SiO 2 composition amount is 45% or more and the B 2 O 3 composition amount is 30% by mass or less, the moisture absorption resistance is further improved when the surface treatment is applied. On the other hand, when the B 2 O 3 composition amount is less than 15% by mass, the number of hollow threads increases, and the insulation reliability decreases accordingly. Further, when the B 2 O 3 composition amount is further reduced to the E glass composition amount, the number of hollow threads tends to decrease, but the dielectric constant increases. Further, when the B 2 O 3 composition amount exceeds 30% by mass, the amount of fluff increases and the amount of moisture absorption increases, so that the insulation reliability decreases. The amount of B 2 O 3 composition can be adjusted according to the amount of raw material used for producing the glass filament.

また、ガラスフィラメントBは、SiO2及びB23の他、その他の組成を有していてもよい。その他の組成としては、特に限定されないが、例えば、Al23、CaO、MgO、TiO2、Na2O、K2O、Sr23、Fe23等が挙げられる。 Further, the glass filament B may have other compositions in addition to SiO 2 and B 2 O 3. Other compositions are not particularly limited, and examples thereof include Al 2 O 3 , CaO, MgO, TiO 2 , Na 2 O, K 2 O, Sr 2 O 3 , Fe 2 O 3, and the like.

ガラスフィラメントB中、Al23組成量は、好ましくは11〜16質量%であり、より好ましくは12〜16質量%である。Al23組成量が上記範囲内であることにより、糸の生産性がより向上する傾向にある。 The Al 2 O 3 composition amount in the glass filament B is preferably 11 to 16% by mass, more preferably 12 to 16% by mass. When the Al 2 O 3 composition amount is within the above range, the productivity of the yarn tends to be further improved.

ガラスフィラメントB中、CaO組成量は、好ましくは4〜8質量%であり、より好ましくは6〜8質量%である。CaO組成量が上記範囲内であることにより、糸の生産性がより向上する傾向にある。 The CaO composition content in the glass filament B is preferably 4 to 8% by mass, more preferably 6 to 8% by mass. When the CaO composition amount is within the above range, the productivity of the yarn tends to be further improved.

〔ガラスフィラメントの平均フィラメント径〕
経糸及び緯糸を構成するガラスフィラメントの平均フィラメント径は、各々独立して、3〜10μmであり、好ましくは3.5〜9.5μmである。ガラスフィラメントの平均フィラメント径が上記範囲内であることにより、得られる基板を、メカニカルドリルにより加工する際、加工性がより向上する傾向にある。特に、ガラスフィラメントの平均フィラメント径を9.5μm以下とすることは、単位体積当りのマトリックス樹脂とガラスフィラメントの接する面積が増えるため、強熱減量値を0.2質量%以上とすることによる、後述の効果がより大きく発現される傾向にあるため好ましい。なお、経糸又は緯糸が、ガラスフィラメントA又はBからなるガラス糸である場合には、上記平均フィラメント径はガラス糸を構成するガラスフィラメントA又はBの平均フィラメント径であり、経糸又は緯糸が、ガラスフィラメントA及びBからなるガラス糸である場合には、上記平均フィラメント径はガラス糸を構成するガラスフィラメントA及びBの平均フィラメント径である。
[Average filament diameter of glass filament]
The average filament diameter of the glass filaments constituting the warp and weft is independently 3 to 10 μm, preferably 3.5 to 9.5 μm. When the average filament diameter of the glass filament is within the above range, the workability tends to be further improved when the obtained substrate is processed by a mechanical drill. In particular, setting the average filament diameter of the glass filament to 9.5 μm or less means that the area of contact between the matrix resin and the glass filament per unit volume increases, so that the ignition loss value is set to 0.2% by mass or more. This is preferable because the effects described below tend to be more pronounced. When the warp or weft is a glass thread made of glass filament A or B, the average filament diameter is the average filament diameter of the glass filaments A or B constituting the glass thread, and the warp or weft is glass. In the case of a glass thread composed of filaments A and B, the average filament diameter is the average filament diameter of the glass filaments A and B constituting the glass thread.

特に、ガラスフィラメントAの平均フィラメント径は、好ましくは4〜10μmであり、より好ましくは6〜10μmであり、さらに好ましくは7.5〜10μmである。ガラスフィラメントAの平均フィラメント径が4μm以上であることにより、ガラスフィラメントAの糸切れがより抑制され、ガラスクロスの毛羽量が低下し、毛羽立ち低減に由来する絶縁信頼性がより向上する傾向にある。また、ガラスフィラメントAの平均フィラメント径が10μm以下であることにより、単位体積当りのマトリックス樹脂とガラスフィラメントの接する面積が増えるため、強熱減量値を0.2質量%以上とすることによる後述の効果がより大きく発現される傾向にある。 In particular, the average filament diameter of the glass filament A is preferably 4 to 10 μm, more preferably 6 to 10 μm, and even more preferably 7.5 to 10 μm. When the average filament diameter of the glass filament A is 4 μm or more, the thread breakage of the glass filament A is further suppressed, the amount of fluff of the glass cloth is reduced, and the insulation reliability due to the reduction of fluff tends to be further improved. .. Further, since the area of contact between the matrix resin and the glass filament per unit volume increases when the average filament diameter of the glass filament A is 10 μm or less, the ignition loss value is set to 0.2% by mass or more, which will be described later. The effect tends to be more pronounced.

また、ガラスフィラメントBの平均フィラメント径は、好ましくは3〜9μmであり、より好ましくは4〜8μmであり、さらに好ましくは5〜7μmである。ガラスフィラメントBの平均フィラメント径が3μm以上であることにより、得られる基板の加工性がより向上する傾向にある。ガラスフィラメントBの平均フィラメント径が9μm以下であることにより、単位体積当りのマトリックス樹脂とガラスフィラメントの接する面積が増えるため、強熱減量値を0.2質量%以上とすることによる後述の効果がより大きく発現される傾向にある。 The average filament diameter of the glass filament B is preferably 3 to 9 μm, more preferably 4 to 8 μm, and even more preferably 5 to 7 μm. When the average filament diameter of the glass filament B is 3 μm or more, the processability of the obtained substrate tends to be further improved. Since the area of contact between the matrix resin and the glass filament per unit volume increases when the average filament diameter of the glass filament B is 9 μm or less, the effect described later by setting the ignition loss value to 0.2% by mass or more can be obtained. It tends to be expressed more widely.

〔ガラスフィラメントのフィラメント数〕
経糸及び緯糸を構成するガラスフィラメントのフィラメント数は、各々独立して、20〜300本であり、好ましくは20〜200本である。ガラスフィラメントのフィラメント数が上記範囲内であることにより、得られる基板を、メカニカルドリルにより加工する際、加工性がより向上する傾向にある。なお、経糸又は緯糸が、ガラスフィラメントA又はBからなるガラス糸である場合には、上記フィラメント数はガラス糸を構成するガラスフィラメントA又はBの本数であり、経糸又は緯糸が、ガラスフィラメントA及びBからなるガラス糸である場合には、上記フィラメント数はガラス糸を構成するガラスフィラメントA及びBの合計本数である。
[Number of filaments of glass filament]
The number of filaments of the glass filaments constituting the warp and weft are independently 20 to 300, preferably 20 to 200. When the number of filaments of the glass filament is within the above range, the workability tends to be further improved when the obtained substrate is processed by a mechanical drill. When the warp or weft is a glass thread made of glass filaments A or B, the number of filaments is the number of glass filaments A or B constituting the glass thread, and the warp or weft is glass filament A or. In the case of a glass thread made of B, the number of filaments is the total number of glass filaments A and B constituting the glass thread.

特に、経糸又は緯糸がガラスフィラメントAからなるガラス糸である場合には、ガラスフィラメントAのフィラメント数は、好ましくは20〜250本であり、より好ましくは50〜200本であり、さらに好ましくは75〜150本である。ガラスフィラメントAのフィラメント数が20本以上であることにより、ガラスフィラメントAの糸切れがより抑制され、ガラスクロスの毛羽量が低下し、毛羽立ち低減に由来する絶縁信頼性がより向上する傾向にある。また、ガラスフィラメントAのフィラメント数が250本以下であることにより、フィラメント径との兼ね合いにより、毛羽を抑制しつつより細いガラス糸を実現できる傾向にある。 In particular, when the warp or weft is a glass yarn made of glass filament A, the number of filaments of glass filament A is preferably 20 to 250, more preferably 50 to 200, and even more preferably 75. ~ 150 pieces. When the number of filaments of the glass filament A is 20 or more, the yarn breakage of the glass filament A is further suppressed, the amount of fluff of the glass cloth is reduced, and the insulation reliability due to the reduction of fluff tends to be further improved. .. Further, when the number of filaments of the glass filament A is 250 or less, there is a tendency that a finer glass thread can be realized while suppressing fluffing in consideration of the filament diameter.

また、経糸又は緯糸がガラスフィラメントBからなるガラス糸である場合には、ガラスフィラメントBのフィラメント数は、好ましくは50〜300本であり、より好ましくは100〜275本であり、さらに好ましくは150〜250本である。ガラスフィラメントBのフィラメント数が50本以上であることにより、得られる基板の加工性がより向上する傾向にある。ガラスフィラメントBのフィラメント数が300本以下であることにより、フィラメント径との兼ね合いにより、より細いガラス糸を実現できる傾向にある。 When the warp or weft is a glass yarn made of glass filament B, the number of filaments of the glass filament B is preferably 50 to 300, more preferably 100 to 275, and even more preferably 150. ~ 250 pieces. When the number of filaments of the glass filament B is 50 or more, the processability of the obtained substrate tends to be further improved. When the number of filaments of the glass filament B is 300 or less, a finer glass thread tends to be realized in consideration of the filament diameter.

〔打ち込み密度〕
ガラスクロスを構成する経糸及び緯糸の打ち込み密度は、各々独立して、20〜140本/inchであり、好ましくは30〜130本/inchであり、より好ましくは40〜120本/inchである。
[Driving density]
The driving densities of the warp threads and the weft threads constituting the glass cloth are independently 20 to 140 threads / inch, preferably 30 to 130 threads / inch, and more preferably 40 to 120 threads / inch.

〔厚さ〕
ガラスクロスの厚さは、8〜100μmであり、好ましくは15〜90μm、より好ましくは20〜80μmである。
〔thickness〕
The thickness of the glass cloth is 8 to 100 μm, preferably 15 to 90 μm, and more preferably 20 to 80 μm.

〔布重量(目付け)〕
ガラスクロスの布重量(目付け)は、好ましくは6〜100g/m2であり、より好ましくは7〜90g/m2である。
[Cloth weight (Metsuke)]
The cloth weight (basis weight) of the glass cloth is preferably 6 to 100 g / m 2 , and more preferably 7 to 90 g / m 2 .

〔織り構造〕
ガラスクロスの織り構造については、特に限定されないが、例えば、平織り、ななこ織り、朱子織り、綾織り等の織り構造が挙げられる。このなかでも、平織り構造がより好ましい。
[Woven structure]
The woven structure of the glass cloth is not particularly limited, and examples thereof include woven structures such as plain weave, Nanako weave, satin weave, and twill weave. Of these, a plain weave structure is more preferable.

〔表面処理〕
ガラスクロスのガラス糸(ガラスフィラメントを含む)は、不飽和二重結合基を有するシランカップリング剤(以下、単に「シランカップリング剤」ともいう。)により表面処理されたものである。不飽和二重結合基を有するシランカップリング剤を用いることにより、マトリックス樹脂との反応性がより向上し、また、マトリックス樹脂と反応した後に親水性官能基が生じ難く絶縁信頼性がより向上する。
〔surface treatment〕
The glass yarn (including the glass filament) of the glass cloth is surface-treated with a silane coupling agent having an unsaturated double bond group (hereinafter, also simply referred to as “silane coupling agent”). By using a silane coupling agent having an unsaturated double bond group, the reactivity with the matrix resin is further improved, and hydrophilic functional groups are less likely to be generated after the reaction with the matrix resin, and the insulation reliability is further improved. ..

不飽和二重結合基を有するシランカップリング剤としては、特に限定されないが、例えば、下記の一般式(1)で示される化合物が挙げられる。不飽和二重結合基を有するシランカップリング剤を用いることにより、SiO2組成量が98〜100質量%であるガラスクロスのドリル加工後のメッキ液染込み性、絶縁信頼性、及び毛羽立ち品質を改善することができる。
X(R)3-nSiYn ・・・(1)
(式中、Xは、不飽和二重結合基を1つ以上有する有機官能基であり、Yは、各々独立して、アルコキシ基であり、nは1以上3以下の整数であり、Rは、各々独立して、メチル基、エチル基、及びフェニル基からなる群より選ばれる基である。)
The silane coupling agent having an unsaturated double bond group is not particularly limited, and examples thereof include compounds represented by the following general formula (1). By using a silane coupling agent having an unsaturated double bond group, the plating solution penetration property, insulation reliability, and fluffing quality after drilling of glass cloth having a SiO 2 composition amount of 98 to 100% by mass can be improved. Can be improved.
X (R) 3-n SiY n ... (1)
(In the formula, X is an organic functional group having one or more unsaturated double-bonding groups, Y is an alkoxy group independently, n is an integer of 1 or more and 3 or less, and R is. , Each independently selected from the group consisting of a methyl group, an ethyl group, and a phenyl group.)

Xで表される不飽和二重結合基を1つ以上有する有機官能基としては、特に限定されないが、例えば、ビニル基、アリル基、ビニリデン基、アクリロキシ基、メタクリロキシ基が挙げられる。 The organic functional group having one or more unsaturated double bond groups represented by X is not particularly limited, and examples thereof include a vinyl group, an allyl group, a vinylidene group, an acryloxy group, and a methacryloxy group.

上記のアルコキシ基としては、何れの形態も使用できるが、ガラスクロスへの安定処理化のためには、炭素数5以下のアルコキシ基が好ましい。 Any form can be used as the above-mentioned alkoxy group, but an alkoxy group having 5 or less carbon atoms is preferable for stabilizing the glass cloth.

具体的に使用できるシランカップリング剤としては、特に限定されないが、例えば、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン及びその塩酸塩、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン及びその塩酸塩、N−β−(N−ジ(ビニルベンジル)アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン及びその塩酸塩、N−β−(N−ジ(ビニルベンジル)アミノエチル)−N−γ−(N−ビニルベンジル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン及びその塩酸塩、ビニルトリメトキシシラン、メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、メタクリロキシオクチルトリメトキシシラン、アクリロキシプロピルトリメトキシシラン等の公知の物質が挙げられる。上記シランカップリング剤はガラスクロスのガラス糸(ガラスフィラメント)や、基板のマトリックス樹脂、特にラジカル重合系樹脂との反応性に優れる傾向にある。そのため、樹脂とガラスクロスが界面ではがれやすくなることに由来する絶縁信頼性の低下を抑制でき、また、メッキ液がガラスクロスに染み込むことに由来する絶縁信頼性の低下を抑制できる傾向にある。 The silane coupling agent that can be specifically used is not particularly limited, but for example, N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane and its hydrochloride, N-β- (N). -Vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropylmethyldimethoxysilane and its hydrochloride, N-β- (N-di (vinylbenzyl) aminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane and its hydrochloride, N-β -(N-di (vinylbenzyl) aminoethyl) -N-γ- (N-vinylbenzyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane and its hydrochloride, vinyltrimethoxysilane, methacryloxypropyltrimethoxysilane, methacryloxy Known substances such as octyloxypropyltrimethoxysilane and acryloxypropyltrimethoxysilane can be mentioned. The silane coupling agent tends to have excellent reactivity with glass threads (glass filaments) of glass cloth and matrix resins of substrates, particularly radical polymerization resins. Therefore, it tends to be possible to suppress a decrease in insulation reliability due to the resin and the glass cloth being easily peeled off at the interface, and it is possible to suppress a decrease in insulation reliability due to the plating liquid permeating into the glass cloth.

シランカップリング剤の分子量は、好ましくは100〜600であり、より好ましくは150〜500であり、さらに好ましくは200〜450である。このなかでも、分子量が異なる2種類以上の不飽和二重結合基を有するシランカップリング剤を用いることが好ましい。分子量が異なる2種類以上のシランカップリング剤を用いてガラス糸表面を処理することにより、ガラス表面での処理剤密度が高くなり、マトリックス樹脂との反応性がさらに向上する傾向にある。なお、ガラスクロスの表面処理剤による処理量は、以下の強熱減量値で見積もることができる。 The molecular weight of the silane coupling agent is preferably 100 to 600, more preferably 150 to 500, and even more preferably 200 to 450. Among these, it is preferable to use a silane coupling agent having two or more kinds of unsaturated double bond groups having different molecular weights. By treating the surface of the glass yarn with two or more kinds of silane coupling agents having different molecular weights, the density of the treatment agent on the glass surface tends to be increased, and the reactivity with the matrix resin tends to be further improved. The amount of glass cloth treated with the surface treatment agent can be estimated by the following ignition loss value.

〔強熱減量値〕
ガラスクロスの強熱減量値は、0.2質量%以上であり、好ましくは0.3質量%以上であり、より好ましくは0.4質量%以上である。また、ガラスクロスの強熱減量値の上限は、1.0質量%以下であり、好ましくは0.9質量%以下であり、より好ましくは0.8質量%以下である。ガラスクロスの強熱減量値が0.2質量%以上であることにより、ドリル加工後のメッキ液染込み性、絶縁信頼性、及び毛羽立ち品質を改善することができる。さらに、耐吸湿性がより向上し、吸湿に由来する絶縁信頼性の低下をより抑制することができる。また、ガラスクロスの強熱減量値が1.0質量%以下であることにより、ガラスクロスへの樹脂浸透性がより向上し、その結果として絶縁信頼性がより向上する。
[Ignition loss value]
The ignition loss value of the glass cloth is 0.2% by mass or more, preferably 0.3% by mass or more, and more preferably 0.4% by mass or more. The upper limit of the ignition loss value of the glass cloth is 1.0% by mass or less, preferably 0.9% by mass or less, and more preferably 0.8% by mass or less. When the ignition loss value of the glass cloth is 0.2% by mass or more, the plating liquid penetration property, insulation reliability, and fluffing quality after drilling can be improved. Further, the moisture absorption resistance is further improved, and the decrease in insulation reliability due to moisture absorption can be further suppressed. Further, when the ignition loss value of the glass cloth is 1.0% by mass or less, the resin permeability to the glass cloth is further improved, and as a result, the insulation reliability is further improved.

ここで言う「強熱減量値」とは、JISR3420に記載されている方法に従って測定することができる。すなわち、まずガラスクロスを110℃の乾燥機の中に入れ、60分間乾燥する。乾燥後、ガラスクロスをデシケータに移し、20分間置き、室温まで放冷する。放冷後、ガラスクロスを0.1mg以下の単位で量る。次に、ガラスクロスをマッフル炉で625℃、20分間加熱する。マッフル炉で加熱後、ガラスクロスをデシケータに移し、20分間置き、室温まで放冷する。放冷後、ガラスクロスを0.1mg以下の単位で量る。以上の測定方法で求める強熱減量値により、ガラスクロスのシランカップリング剤処理量を定義する。 The "ignition loss value" referred to here can be measured according to the method described in JIS R3420. That is, first, the glass cloth is placed in a dryer at 110 ° C. and dried for 60 minutes. After drying, the glass cloth is transferred to a desiccator, left for 20 minutes, and allowed to cool to room temperature. After allowing to cool, weigh the glass cloth in units of 0.1 mg or less. Next, the glass cloth is heated in a muffle furnace at 625 ° C. for 20 minutes. After heating in a muffle furnace, the glass cloth is transferred to a desiccator, left for 20 minutes, and allowed to cool to room temperature. After allowing to cool, weigh the glass cloth in units of 0.1 mg or less. The amount of glass cloth treated with the silane coupling agent is defined by the ignition loss value obtained by the above measurement method.

〔ガラスクロスの誘電率〕
ガラスクロスの誘電率は、3.8超過4.4以下であり、好ましくは3.8超過4.2以下である。ガラスクロスの誘電率は実施例に記載の方法により測定することができる。
[Dielectric constant of glass cloth]
The dielectric constant of the glass cloth is 3.8 or more and 4.4 or less, preferably 3.8 or more and 4.2 or less. The dielectric constant of the glass cloth can be measured by the method described in Examples.

〔ガラスクロスの製造方法〕
本実施形態のガラスクロスの製造方法は、特に限定されないが、例えば、濃度0.1〜3.0質量%の処理液によってほぼ完全にガラスフィラメントの表面をシランカップリング剤で覆う被覆工程と、加熱乾燥によりシランカップリング剤をガラスフィラメントの表面に固着させる固着工程と、ガラスフィラメントの表面に固着したシランカップリング剤の少なくとも一部を高圧スプレー水等により洗浄することにより、強熱減量値が0.2〜1.0質量%になるように、シランカップリング剤の付着量を調整する調製工程と、を有する方法が挙げられる。
[Manufacturing method of glass cloth]
The method for producing the glass cloth of the present embodiment is not particularly limited, and for example, a coating step of almost completely covering the surface of the glass filament with a silane coupling agent with a treatment liquid having a concentration of 0.1 to 3.0% by mass is used. The strong heat loss value is obtained by the fixing step of fixing the silane coupling agent to the surface of the glass filament by heat drying and washing at least a part of the silane coupling agent fixed to the surface of the glass filament with high-pressure spray water or the like. Examples thereof include a method having a preparation step of adjusting the adhesion amount of the silane coupling agent so as to be 0.2 to 1.0% by mass.

シランカップリング剤を溶解又は分散させる溶媒としては、水、又は有機溶媒の何れも使用できるが、安全性、地球環境保護の観点から、水を主溶媒とすることが好ましい。水を主溶媒とした処理液を得る方法としては、シランカップリング剤を直接水に投入する方法、シランカップリング剤を水溶性有機溶媒に溶解させて有機溶媒溶液とした後に該有機溶媒溶液を水に投入する方法、の何れかの方法が好ましい。シランカップリング剤の処理液中での水分散性、安定性を向上させるために、界面活性剤を併用することも可能である。 As the solvent for dissolving or dispersing the silane coupling agent, either water or an organic solvent can be used, but from the viewpoint of safety and protection of the global environment, it is preferable to use water as the main solvent. As a method of obtaining a treatment liquid using water as a main solvent, a method of directly adding a silane coupling agent to water, a method of dissolving the silane coupling agent in a water-soluble organic solvent to prepare an organic solvent solution, and then using the organic solvent solution. Any method of adding water to water is preferable. It is also possible to use a surfactant in combination in order to improve the water dispersibility and stability of the silane coupling agent in the treatment liquid.

被覆工程、固着工程、及び調製工程は、製織工程後に、ガラスクロスに対して行うことが好ましい。さらに、必要に応じて、製織工程後に、ガラスクロスのガラス糸を開繊する開繊工程を有してもよい。なお、調製工程を製織工程後に行う場合には、調整工程が開繊工程を兼ねるものであってもよい。なお、開繊前後ではガラスクロスの組成は通常変化しない。 The coating step, the fixing step, and the preparation step are preferably performed on the glass cloth after the weaving step. Further, if necessary, a fiber opening step of opening the glass yarn of the glass cloth may be provided after the weaving process. When the preparation step is performed after the weaving step, the adjusting step may also serve as the fiber opening step. The composition of the glass cloth usually does not change before and after opening the fiber.

上記製造方法により、ガラス糸を構成するガラスフィラメント1本1本の表面全体に、ほぼ完全、かつ均一にシランカップリング剤層を形成することができると考えられる。 It is considered that the silane coupling agent layer can be formed almost completely and uniformly on the entire surface of each glass filament constituting the glass thread by the above manufacturing method.

処理液をガラスクロスに塗布する方法としては、(ア)処理液をバスに溜め、ガラスクロスを浸漬、通過させる方法(以下、「浸漬法」という。)、(イ)ロールコーター、ダイコーター、またはグラビアコーター等で処理液をガラスクロスに直接塗布する方法、等が可能である。上記(ア)の浸漬法にて塗布する場合は、ガラスクロスの処理液への浸漬時間を0.5秒以上、1分以下に選定することが好ましい。 The methods for applying the treatment liquid to the glass cloth include (a) a method in which the treatment liquid is stored in a bath and the glass cloth is immersed and passed through (hereinafter referred to as "immersion method"), (b) a roll coater, a die coater, and the like. Alternatively, a method of directly applying the treatment liquid to the glass cloth with a gravure coater or the like is possible. When applying by the dipping method of (a) above, it is preferable to select the immersion time of the glass cloth in the treatment liquid to be 0.5 seconds or more and 1 minute or less.

また、ガラスクロスに処理液を塗布した後、溶媒を加熱乾燥させる方法としては、熱風、電磁波等公知の方法が挙げられる。 Further, as a method of applying the treatment liquid to the glass cloth and then heating and drying the solvent, known methods such as hot air and electromagnetic waves can be mentioned.

加熱乾燥温度は、シランカップリング剤とガラスとの反応が十分に行われるように、90℃以上が好ましく、100℃以上であればより好ましい。また、シランカップリング剤が有する有機官能基の劣化を防ぐために、300℃以下が好ましく、200℃以下であればより好ましい。 The heating and drying temperature is preferably 90 ° C. or higher, more preferably 100 ° C. or higher so that the reaction between the silane coupling agent and the glass is sufficiently carried out. Further, in order to prevent deterioration of the organic functional group of the silane coupling agent, the temperature is preferably 300 ° C. or lower, more preferably 200 ° C. or lower.

また、開繊工程の開繊方法としては、特に限定されないが、例えば、ガラスクロスを、スプレー水(高圧水開繊)、バイブロウォッシャー、超音波水、マングル等で開繊加工する方法が挙げられる。開繊加工において、SiO2組成量が98〜100質量%であるガラスクロスの場合、毛羽立ちが発生し易い。これに対して、本実施形態のガラスクロスの強熱減量値は、0.12質量%以上であることにより、毛羽立ちを抑えることができる。また、開繊加工によるガラスクロスの引張強度の低下を抑えるため、ガラス糸を製織する際の接触部材の低摩擦化や、集束剤の最適化と高付着量化、等の対策を施すことが好ましい。開繊加工時に、ガラスクロスにかける張力を下げることにより、通気度をより小さくすることができる傾向にある。 The method for opening the fiber in the fiber opening step is not particularly limited, and examples thereof include a method for opening the glass cloth with spray water (high pressure water opening), vibro washer, ultrasonic water, mangle, and the like. .. In the fiber-spreading process, in the case of glass cloth having a SiO 2 composition amount of 98 to 100% by mass, fluffing is likely to occur. On the other hand, when the ignition loss value of the glass cloth of the present embodiment is 0.12% by mass or more, fluffing can be suppressed. Further, in order to suppress a decrease in the tensile strength of the glass cloth due to the fiber opening process, it is preferable to take measures such as reducing the friction of the contact member when weaving the glass yarn, optimizing the sizing agent and increasing the amount of adhesion. .. By lowering the tension applied to the glass cloth during the fiber opening process, the air permeability tends to be made smaller.

開繊工程後においても、任意の工程を有していてもよい。任意の工程としては、特に限定されないが、例えば、スリット加工工程が挙げられる。 It may have an arbitrary step even after the fiber opening step. The arbitrary process is not particularly limited, and examples thereof include a slit processing process.

ガラスクロスが表面処理された後、マトリックス樹脂が塗布されて、プリプレグが製造される。ガラスクロスが表面処理されて、マトリックス樹脂が塗布されるまでの間の保管期間は2年間以内であることが好ましい。また、保管温度は10〜40℃とすることが好ましい。保管温度が30℃以下であることにより、ガラスクロス表面のシランカップリング剤の不飽和二重結合基の失活を抑制することができ、マトリックス樹脂との反応性を維持できる傾向にある。また、保管期間が2年間以内であることにより、ガラス表面に付着した水によりシランカップリング剤同士が反応し、ガラスフィラメント束の集束性が高まることを抑制できる傾向にある。これにより、マトリックス樹脂の浸透性を向上できる傾向にある。 After the glass cloth is surface-treated, a matrix resin is applied to produce a prepreg. The storage period between the surface treatment of the glass cloth and the application of the matrix resin is preferably 2 years or less. The storage temperature is preferably 10 to 40 ° C. When the storage temperature is 30 ° C. or lower, the deactivation of the unsaturated double bond group of the silane coupling agent on the surface of the glass cloth can be suppressed, and the reactivity with the matrix resin tends to be maintained. Further, when the storage period is 2 years or less, the silane coupling agents react with each other due to the water adhering to the glass surface, and there is a tendency that it is possible to suppress the increase in the focusing property of the glass filament bundle. This tends to improve the permeability of the matrix resin.

〔プリプレグ〕
本実施形態のプリプレグは、上記ガラスクロスと、該ガラスクロスに含侵されたマトリックス樹脂と、を有する。これにより、薄くて、誘電率が低く、上記各理由に関連する絶縁信頼性の向上と耐吸湿性の向上による絶縁信頼性の向上が図られたプリプレグを提供することができる。
[Prepreg]
The prepreg of the present embodiment has the above glass cloth and a matrix resin impregnated in the glass cloth. As a result, it is possible to provide a prepreg that is thin, has a low dielectric constant, and has improved insulation reliability by improving insulation reliability and moisture absorption resistance related to each of the above reasons.

マトリックス樹脂としては、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂の何れも使用可能である。熱硬化性樹脂としては、特に限定されないが、例えば、a)エポキシ基を有する化合物と、エポキシ基と反応するアミノ基、フェノール基、酸無水物基、ヒドラジド基、イソシアネート基、シアネート基、及び水酸基等の少なくとも1つを有する化合物と、を、無触媒で、又は、イミダゾール化合物、3級アミン化合物、尿素化合物、燐化合物等の反応触媒能を持つ触媒を添加して、反応させて硬化させるエポキシ樹脂;b)アリル基、メタクリル基、及びアクリル基の少なくとも1つを有する化合物を、熱分解型触媒、または光分解型触媒を反応開始剤として使用して、硬化させるラジカル重合型硬化樹脂;c)シアネート基を有する化合物と、マレイミド基を有する化合物と、を反応させて硬化させるマレイミドトリアジン樹脂;d)マレイミド化合物と、アミン化合物と、を反応させて硬化させる熱硬化性ポリイミド樹脂;e)ベンゾオキサジン環を有する化合物を加熱重合により架橋硬化させるベンゾオキサジン樹脂等が例示される。 As the matrix resin, either a thermosetting resin or a thermoplastic resin can be used. The thermosetting resin is not particularly limited, but for example, a) a compound having an epoxy group, an amino group, a phenol group, an acid anhydride group, a hydrazide group, an isocyanate group, a cyanate group, and a hydroxyl group that react with the epoxy group. An epoxy that cures a compound having at least one of the above, etc., without a catalyst, or by adding a catalyst having a reaction catalytic ability such as an imidazole compound, a tertiary amine compound, a urea compound, a phosphorus compound, etc. Resin; b) A radical polymerization type curable resin in which a compound having at least one of an allyl group, a methacryl group, and an acrylic group is cured using a thermosetting catalyst or a photodegradable catalyst as a reaction initiator; c. ) Maleimide triazine resin in which a compound having a cyanate group and a compound having a maleimide group are reacted and cured; d) A thermosetting polyimide resin in which a maleimide compound and an amine compound are reacted and cured; e) Benzo Examples thereof include a benzoxazine resin in which a compound having an oxazine ring is crosslinked and cured by heat polymerization.

また、熱可塑性樹脂としては、特に限定されないが、例えば、ポリフェニレンエーテル、変性ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンサルファイド、ポリスルホン、ポリエーテルスルフォン、ポリアリレート、芳香族ポリアミド、ポリエーテルエーテルケトン、熱可塑性ポリイミド、不溶性ポリイミド、ポリアミドイミド、フッ素樹脂等が例示される。また、熱硬化性樹脂と、熱可塑性樹脂を併用してもよい。 The thermoplastic resin is not particularly limited, but for example, polyphenylene ether, modified polyphenylene ether, polyphenylene sulfide, polysulfone, polyether sulphon, polyarylate, aromatic polyamide, polyether ether ketone, thermoplastic polyimide, insoluble polyimide, etc. Examples thereof include polyamide-imide and fluororesin. Further, the thermosetting resin and the thermoplastic resin may be used in combination.

〔プリント配線板〕
本実施形態のプリント配線板は、上記プリプレグを有する。これにより、誘電率が低く、絶縁信頼性の向上が図られたプリント配線板を提供することができる。
[Printed circuit board]
The printed wiring board of this embodiment has the above-mentioned prepreg. As a result, it is possible to provide a printed wiring board having a low dielectric constant and improved insulation reliability.

次に、本発明を実施例、比較例によって本発明をさらに詳細に説明する。本発明は、以下の実施例によって何ら限定されるものではない。 Next, the present invention will be described in more detail with reference to Examples and Comparative Examples. The present invention is not limited to the following examples.

(実施例1)
SiO2組成量99.9質量%のガラスフィラメントからなる緯糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径9μm、フィラメント数100本、打ち込み密度54本/inch)と、SiO2組成量53質量%及びB23組成量23質量%のガラスフィラメントからなる経糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径6μm、フィラメント数200本、打ち込み密度61本/inch)を用いて、ガラスクロス(厚さ78μm、布重量70g/m2)を製織した。得られたガラスクロスを、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩(東レダウコーニング株式会社製;Z6032)を水に分散させた処理液に浸漬し、加熱乾燥した。次にスプレーで高圧水開繊を実施し、加熱乾燥して製品を得た。ガラスクロスの強熱減量値は0.22質量%であった。
(Example 1)
Weft threads made of glass filaments with a SiO 2 composition of 99.9% by mass (average filament diameter of glass filaments 9 μm, number of filaments 100, driving density 54 / inch), SiO 2 composition of 53% by mass and B 2 O 3 Using a warp yarn (average filament diameter of glass filament 6 μm, number of filaments 200, driving density 61 / inch) composed of glass filaments having a composition amount of 23% by mass, glass cloth (thickness 78 μm, cloth weight 70 g / m 2 ). Was woven. The obtained glass cloth is immersed in a treatment solution in which a hydrochloride of N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane (manufactured by Toray Corning Co., Ltd .; Z6032) is dispersed in water. And dried by heating. Next, high-pressure water defibration was carried out by spraying, and the product was obtained by heating and drying. The ignition loss value of the glass cloth was 0.22% by mass.

(実施例2)
SiO2組成量99.9質量%のガラスフィラメントからなる緯糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径9μm、フィラメント数100本、打ち込み密度54本/inch)と、SiO2組成量53質量%及びB23組成量23質量%のガラスフィラメントからなる経糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径6μm、フィラメント数200本、打ち込み密度61本/inch)を用いて、ガラスクロス(厚さ78μm、布重量70g/m2)を製織した。得られたガラスクロスを、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩(東レダウコーニング株式会社製;Z6032)を水に分散させた処理液に浸漬し、加熱乾燥した。次にスプレーで高圧水開繊を実施し、加熱乾燥して製品を得た。ガラスクロスの強熱減量値は0.32質量%であった。
(Example 2)
Weft threads made of glass filaments with a SiO 2 composition of 99.9% by mass (average filament diameter of glass filaments 9 μm, number of filaments 100, driving density 54 / inch), SiO 2 composition of 53% by mass and B 2 O 3 Using a warp yarn (average filament diameter of glass filament 6 μm, number of filaments 200, driving density 61 / inch) composed of glass filaments having a composition amount of 23% by mass, glass cloth (thickness 78 μm, cloth weight 70 g / m 2 ). Was woven. The obtained glass cloth is immersed in a treatment solution in which a hydrochloride of N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane (manufactured by Toray Corning Co., Ltd .; Z6032) is dispersed in water. And dried by heating. Next, high-pressure water defibration was carried out by spraying, and the product was obtained by heating and drying. The ignition loss value of the glass cloth was 0.32% by mass.

(実施例3)
SiO2組成量99.9質量%のガラスフィラメントからなる緯糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径9μm、フィラメント数100本、打ち込み密度54本/inch)と、SiO2組成量53質量%及びB23組成量23質量%のガラスフィラメントからなる経糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径6μm、フィラメント数200本、打ち込み密度61本/inch)を用いて、ガラスクロス(厚さ78μm、布重量70g/m2)を製織した。得られたガラスクロスを、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩(東レダウコーニング株式会社製;Z6032)を水に分散させた処理液に浸漬し、加熱乾燥した。次にスプレーで高圧水開繊を実施し、加熱乾燥して製品を得た。ガラスクロスの強熱減量値は0.85質量%であった。
(Example 3)
Weft threads made of glass filaments with a SiO 2 composition of 99.9% by mass (average filament diameter of glass filaments 9 μm, number of filaments 100, driving density 54 / inch), SiO 2 composition of 53% by mass and B 2 O 3 Using a warp yarn (average filament diameter of glass filament 6 μm, number of filaments 200, driving density 61 / inch) composed of glass filaments having a composition amount of 23% by mass, glass cloth (thickness 78 μm, cloth weight 70 g / m 2 ). Was woven. The obtained glass cloth is immersed in a treatment solution in which a hydrochloride of N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane (manufactured by Toray Corning Co., Ltd .; Z6032) is dispersed in water. And dried by heating. Next, high-pressure water defibration was carried out by spraying, and the product was obtained by heating and drying. The ignition loss value of the glass cloth was 0.85% by mass.

(実施例4)
SiO2組成量99.9質量%のガラスフィラメントからなる緯糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径9μm、フィラメント数100本、打ち込み密度54本/inch)と、SiO2組成量59質量%及びB23組成量16質量%のガラスフィラメントからなる経糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径6μm、フィラメント数200本、打ち込み密度61本/inch)を用いて、ガラスクロス(厚さ78μm、布重量70g/m2)を製織した。得られたガラスクロスを、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩(東レダウコーニング株式会社製;Z6032)を水に分散させた処理液に浸漬し、加熱乾燥した。次にスプレーで高圧水開繊を実施し、加熱乾燥して製品を得た。ガラスクロスの強熱減量値は0.22質量%であった。
(Example 4)
Weft threads made of glass filaments with a SiO 2 composition of 99.9% by mass (average filament diameter of glass filaments 9 μm, number of filaments 100, driving density 54 / inch), SiO 2 composition of 59% by mass and B 2 O 3 Using a warp yarn (average filament diameter of glass filament 6 μm, number of filaments 200, driving density 61 / inch) composed of glass filaments having a composition amount of 16% by mass, glass cloth (thickness 78 μm, cloth weight 70 g / m 2 ). Was woven. The obtained glass cloth is immersed in a treatment solution in which a hydrochloride of N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane (manufactured by Toray Corning Co., Ltd .; Z6032) is dispersed in water. And dried by heating. Next, high-pressure water defibration was carried out by spraying, and the product was obtained by heating and drying. The ignition loss value of the glass cloth was 0.22% by mass.

(実施例5)
SiO2組成量99.9質量%のガラスフィラメントからなる緯糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径9μm、フィラメント数100本、打ち込み密度54本/inch)と、SiO2組成量53質量%及びB23組成量23質量%のガラスフィラメントからなる経糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径6μm、フィラメント数200本、打ち込み密度61本/inch)を用いて、ガラスクロス(厚さ78μm、布重量70g/m2)を製織した。得られたガラスクロスを、メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン(東レダウコーニング株式会社製;Z6030)を水に分散させた処理液に浸漬し、加熱乾燥した。次にスプレーで高圧水開繊を実施し、加熱乾燥して製品を得た。ガラスクロスの強熱減量値は0.22質量%であった。
(Example 5)
Weft threads made of glass filaments with a SiO 2 composition of 99.9% by mass (average filament diameter of glass filaments 9 μm, number of filaments 100, driving density 54 / inch), SiO 2 composition of 53% by mass and B 2 O 3 Using a warp yarn (average filament diameter of glass filament 6 μm, number of filaments 200, driving density 61 / inch) composed of glass filaments having a composition amount of 23% by mass, glass cloth (thickness 78 μm, cloth weight 70 g / m 2 ). Was woven. The obtained glass cloth was immersed in a treatment liquid in which methacryloxypropyltrimethoxysilane (manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd .; Z6030) was dispersed in water, and dried by heating. Next, high-pressure water defibration was carried out by spraying, and the product was obtained by heating and drying. The ignition loss value of the glass cloth was 0.22% by mass.

(実施例6)
SiO2組成量99.9質量%のガラスフィラメントからなる緯糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径9μm、フィラメント数100本、打ち込み密度54本/inch)と、SiO2組成量53質量%及びB23組成量23質量%のガラスフィラメントからなる経糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径6μm、フィラメント数200本、打ち込み密度61本/inch)を用いて、ガラスクロス(厚さ78μm、布重量70g/m2)を製織した。得られたガラスクロスを、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩(東レダウコーニング株式会社製;Z6032)とメタクリロキシプロピルトリメトキシシラン(東レダウコーニング株式会社製;Z6030)を水に分散させた処理液に浸漬し、加熱乾燥した。次にスプレーで高圧水開繊を実施し、加熱乾燥して製品を得た。ガラスクロスの強熱減量値は0.22質量%であった。
(Example 6)
Weft threads made of glass filaments with a SiO 2 composition of 99.9% by mass (average filament diameter of glass filaments 9 μm, number of filaments 100, driving density 54 / inch), SiO 2 composition of 53% by mass and B 2 O 3 Using a warp yarn (average filament diameter of glass filament 6 μm, number of filaments 200, driving density 61 / inch) composed of glass filaments having a composition amount of 23% by mass, glass cloth (thickness 78 μm, cloth weight 70 g / m 2 ). Was woven. The obtained glass cloth was mixed with a hydrochloride of N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane (manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd .; Z6032) and methacryloxypropyltrimethoxysilane (Toredau). Co., Ltd .; Z6030) was immersed in a treatment liquid dispersed in water and dried by heating. Next, high-pressure water defibration was carried out by spraying, and the product was obtained by heating and drying. The ignition loss value of the glass cloth was 0.22% by mass.

(実施例7)
SiO2組成量98.5質量%のガラスフィラメントからなる緯糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径9μm、フィラメント数100本、打ち込み密度54本/inch)と、SiO2組成量53質量%及びB23組成量23質量%のガラスフィラメントからなる経糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径6μm、フィラメント数200本、打ち込み密度61本/inch)を用いて、ガラスクロス(厚さ78μm、布重量70g/m2)を製織した。得られたガラスクロスを、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩(東レダウコーニング株式会社製;Z6032)を水に分散させた処理液に浸漬し、加熱乾燥した。次にスプレーで高圧水開繊を実施し、加熱乾燥して製品を得た。ガラスクロスの強熱減量値は0.22質量%であった。
(Example 7)
Weft threads made of glass filaments with a SiO 2 composition of 98.5% by mass (average filament diameter of glass filaments 9 μm, number of filaments 100, driving density 54 / inch), SiO 2 composition amount 53% by mass and B 2 O 3 Using a warp yarn (average filament diameter of glass filament 6 μm, number of filaments 200, driving density 61 / inch) composed of glass filaments having a composition amount of 23% by mass, glass cloth (thickness 78 μm, cloth weight 70 g / m 2 ). Was woven. The obtained glass cloth is immersed in a treatment solution in which a hydrochloride of N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane (manufactured by Toray Corning Co., Ltd .; Z6032) is dispersed in water. And dried by heating. Next, high-pressure water defibration was carried out by spraying, and the product was obtained by heating and drying. The ignition loss value of the glass cloth was 0.22% by mass.

(比較例1)
SiO2組成量99.9質量%のガラスフィラメントからなる緯糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径9μm、フィラメント数100本、打ち込み密度54本/inch)と、SiO2組成量53質量%及びB23組成量23質量%のガラスフィラメントからなる経糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径6μm、フィラメント数200本、打ち込み密度61本/inch)を用いて、ガラスクロス(厚さ78μm、布重量70g/m2)を製織した。得られたガラスクロスを、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩(東レダウコーニング株式会社製;Z6032)を水に分散させた処理液に浸漬し、加熱乾燥した。次にスプレーで高圧水開繊を実施し、加熱乾燥して製品を得た。ガラスクロスの強熱減量値は0.19質量%であった。
(Comparative Example 1)
Weft threads made of glass filaments with a SiO 2 composition of 99.9% by mass (average filament diameter of glass filaments 9 μm, number of filaments 100, driving density 54 / inch), SiO 2 composition of 53% by mass and B 2 O 3 Using a warp yarn (average filament diameter of glass filament 6 μm, number of filaments 200, driving density 61 / inch) composed of glass filaments having a composition amount of 23% by mass, glass cloth (thickness 78 μm, cloth weight 70 g / m 2 ). Was woven. The obtained glass cloth is immersed in a treatment solution in which a hydrochloride of N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane (manufactured by Toray Corning Co., Ltd .; Z6032) is dispersed in water. And dried by heating. Next, high-pressure water defibration was carried out by spraying, and the product was obtained by heating and drying. The ignition loss value of the glass cloth was 0.19% by mass.

(比較例2)
SiO2組成量99.9質量%のガラスフィラメントからなる緯糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径9μm、フィラメント数100本、打ち込み密度54本/inch)と、SiO2組成量53質量%及びB23組成量23質量%のガラスフィラメントからなる経糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径6μm、フィラメント数200本、打ち込み密度61本/inch)を用いて、ガラスクロス(厚さ78μm、布重量70g/m2)を製織した。得られたガラスクロスを、N−フェニル−アミノプロピルトリメトキシシラン(信越シリコーン株式会社製;KBM573)を水に分散させた処理液に浸漬し、加熱乾燥した。次にスプレーで高圧水開繊を実施し、加熱乾燥して製品を得た。ガラスクロスの強熱減量値は0.22質量%であった。
(Comparative Example 2)
Weft threads made of glass filaments with a SiO 2 composition of 99.9% by mass (average filament diameter of glass filaments 9 μm, number of filaments 100, driving density 54 / inch), SiO 2 composition of 53% by mass and B 2 O 3 Using a warp yarn (average filament diameter of glass filament 6 μm, number of filaments 200, driving density 61 / inch) composed of glass filaments having a composition amount of 23% by mass, glass cloth (thickness 78 μm, cloth weight 70 g / m 2 ). Was woven. The obtained glass cloth was immersed in a treatment solution in which N-phenyl-aminopropyltrimethoxysilane (manufactured by Shinetsu Silicone Co., Ltd .; KBM573) was dispersed in water, and dried by heating. Next, high-pressure water defibration was carried out by spraying, and the product was obtained by heating and drying. The ignition loss value of the glass cloth was 0.22% by mass.

(比較例3)
SiO2組成量99.9質量%のガラスフィラメントからなる緯糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径9μm、フィラメント数100本、打ち込み密度54本/inch)と、SiO2組成量53質量%及びB23組成量23質量%のガラスフィラメントからなる経糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径6μm、フィラメント数200本、打ち込み密度61本/inch)を用いて、ガラスクロス(厚さ78μm、布重量70g/m2)を製織した。得られたガラスクロスを、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩(東レダウコーニング株式会社製;Z6032)を水に分散させた処理液に浸漬し、加熱乾燥した。次にスプレーで高圧水開繊を実施し、加熱乾燥して製品を得た。ガラスクロスの強熱減量値は1.1質量%であった。
(Comparative Example 3)
Weft threads made of glass filaments with a SiO 2 composition of 99.9% by mass (average filament diameter of glass filaments 9 μm, number of filaments 100, driving density 54 / inch), SiO 2 composition of 53% by mass and B 2 O 3 Using a warp yarn (average filament diameter of glass filament 6 μm, number of filaments 200, driving density 61 / inch) composed of glass filaments having a composition amount of 23% by mass, glass cloth (thickness 78 μm, cloth weight 70 g / m 2 ). Was woven. The obtained glass cloth is immersed in a treatment solution in which a hydrochloride of N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane (manufactured by Toray Corning Co., Ltd .; Z6032) is dispersed in water. And dried by heating. Next, high-pressure water defibration was carried out by spraying, and the product was obtained by heating and drying. The ignition loss value of the glass cloth was 1.1% by mass.

(比較例4)
SiO2組成量99.9質量%のガラスフィラメントからなる緯糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径9μm、フィラメント数100本、打ち込み密度54本/inch)と、SiO2組成量61質量%及びB23組成量14質量%のガラスフィラメントからなる経糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径6μm、フィラメント数200本、打ち込み密度61本/inch)を用いて、ガラスクロス(厚さ78μm、布重量70g/m2)を製織した。得られたガラスクロスを、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩(東レダウコーニング株式会社製;Z6032)を水に分散させた処理液に浸漬し、加熱乾燥した。次にスプレーで高圧水開繊を実施し、加熱乾燥して製品を得た。ガラスクロスの強熱減量値は0.22質量%であった。
(Comparative Example 4)
Weft threads made of glass filaments with a SiO 2 composition of 99.9% by mass (average filament diameter of glass filaments 9 μm, number of filaments 100, driving density 54 / inch), SiO 2 composition amount 61% by mass and B 2 O 3 A glass cloth (thickness 78 μm, cloth weight 70 g / m 2 ) using a warp (average filament diameter of glass filament 6 μm, number of filaments 200, driving density 61 / inch) composed of glass filaments having a composition amount of 14% by mass. Was woven. The obtained glass cloth is immersed in a treatment solution in which a hydrochloride of N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane (manufactured by Toray Corning Co., Ltd .; Z6032) is dispersed in water. And dried by heating. Next, high-pressure water defibration was carried out by spraying, and the product was obtained by heating and drying. The ignition loss value of the glass cloth was 0.22% by mass.

(比較例5)
SiO2組成量99.9質量%のガラスフィラメントからなる緯糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径9μm、フィラメント数100本、打ち込み密度54本/inch)と、SiO2組成量46質量%及びB23組成量31質量%のガラスフィラメントからなる経糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径6μm、フィラメント数200本、打ち込み密度61本/inch)を用いて、ガラスクロス(厚さ78μm、布重量70g/m2)を製織した。得られたガラスクロスを、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩(東レダウコーニング株式会社製;Z6032)を水に分散させた処理液に浸漬し、加熱乾燥した。次にスプレーで高圧水開繊を実施し、加熱乾燥して製品を得た。ガラスクロスの強熱減量値は0.22質量%であった。
(Comparative Example 5)
Weft threads made of glass filaments with a SiO 2 composition of 99.9% by mass (average filament diameter of glass filaments: 9 μm, number of filaments: 100, driving density: 54 / inch), SiO 2 composition of 46% by mass and B 2 O 3 A glass cloth (thickness 78 μm, cloth weight 70 g / m 2 ) using a warp (average filament diameter of glass filament 6 μm, number of filaments 200, driving density 61 / inch) composed of glass filaments having a composition amount of 31% by mass. Was woven. The obtained glass cloth is immersed in a treatment solution in which a hydrochloride of N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane (manufactured by Toray Corning Co., Ltd .; Z6032) is dispersed in water. And dried by heating. Next, high-pressure water defibration was carried out by spraying, and the product was obtained by heating and drying. The ignition loss value of the glass cloth was 0.22% by mass.

<ガラスクロスの強熱減量値の評価方法>
JIS R 3420に記載されている方法に従って強熱減量値を測定した。具体的には、ガラスクロスを105℃±5℃の乾燥機の中に入れ、少なくとも30分間乾燥した。乾燥後、ガラスクロスをデシケータに移し、室温まで放冷した。放冷後、ガラスクロスの重さを0.1mg以下の単位で測定した。次に、ガラスクロスをマッフル炉で、約625℃で20分間加熱した。マッフル炉で加熱後、ガラスクロスをデシケータに移し、室温まで放冷した。放冷後、ガラスクロスの重さを0.1mg以下の単位で測定した。マッフル炉の加熱前後の重量変化を測定して、処理剤付着量として強熱減量値を計算した。
<Evaluation method of ignition loss value of glass cloth>
The ignition loss value was measured according to the method described in JIS R 3420. Specifically, the glass cloth was placed in a dryer at 105 ° C. ± 5 ° C. and dried for at least 30 minutes. After drying, the glass cloth was transferred to a desiccator and allowed to cool to room temperature. After allowing to cool, the weight of the glass cloth was measured in units of 0.1 mg or less. The glass cloth was then heated in a muffle furnace at about 625 ° C. for 20 minutes. After heating in a muffle furnace, the glass cloth was transferred to a desiccator and allowed to cool to room temperature. After allowing to cool, the weight of the glass cloth was measured in units of 0.1 mg or less. The weight change before and after heating of the muffle furnace was measured, and the ignition loss value was calculated as the amount of the treatment agent adhered.

<ガラスクロスの厚さの評価方法>
JIS R 3420の7.10に準じて、マイクロメータを用いて、スピンドルを静かに回転させて測定面に平行に軽く接触させた。ラチェットが3回音をたてた後の目盛を読み取った。
<Evaluation method of glass cloth thickness>
According to JIS R 3420 7.10, the spindle was gently rotated using a micrometer to bring it into light contact parallel to the measurement surface. I read the scale after the ratchet made three sounds.

<プリプレグの毛羽評価(耐屈曲性評価)>
上述の実施例及び比較例で得たガラスクロスに、ポリフェニレンエーテル樹脂ワニス(変性ポリフェニレンエーテル樹脂30質量部、トリアリルイソシアヌレート10質量部、トルエン60質量部、触媒0.1質量部の混合物)を含浸させ、120℃で2分間乾燥後プリプレグを得た。このプリプレグの樹脂含量を50質量%に調製した。次に任意箇所の100mm×100mmの小片サンプルを切り出し、目視にて突起箇所の数を求めた。
<Evaluation of prepreg fluff (evaluation of bending resistance)>
A polyphenylene ether resin varnish (a mixture of 30 parts by mass of a modified polyphenylene ether resin, 10 parts by mass of triallyl isocyanurate, 60 parts by mass of toluene, and 0.1 parts by mass of a catalyst) was added to the glass cloths obtained in the above Examples and Comparative Examples. It was impregnated and dried at 120 ° C. for 2 minutes to obtain a prepreg. The resin content of this prepreg was adjusted to 50% by mass. Next, a small piece sample of 100 mm × 100 mm at an arbitrary location was cut out, and the number of protrusions was visually determined.

<基板の作製方法>
上述の実施例及び比較例で得たガラスクロスに、ポリフェニレンエーテル樹脂ワニス(変性ポリフェニレンエーテル樹脂30質量部、トリアリルイソシアヌレート10質量部、トルエン60質量部、触媒0.1質量部の混合物)を含浸させ、120℃で2分間乾燥後プリプレグを得た。このプリプレグを重ね、さらに上下に厚さ12μmの銅箔を重ね、200℃、40kg/cm2で60分間加熱加圧して基板を得た。
<How to make a substrate>
A polyphenylene ether resin varnish (a mixture of 30 parts by mass of a modified polyphenylene ether resin, 10 parts by mass of triallyl isocyanurate, 60 parts by mass of toluene, and 0.1 parts by mass of a catalyst) was added to the glass cloths obtained in the above Examples and Comparative Examples. It was impregnated and dried at 120 ° C. for 2 minutes to obtain a prepreg. This prepreg was overlaid, and a copper foil having a thickness of 12 μm was further overlaid on top and bottom, and heated and pressed at 200 ° C. and 40 kg / cm 2 for 60 minutes to obtain a substrate.

<基板及びガラスクロスの誘電率の評価方法>
上記のようにしてプリプレグ100質量%あたりの樹脂含量が60質量%となるように基板を作製し、銅箔を除去して誘電率評価のための試料を得た。得られた試料の周波数1GHzにおける誘電率を、インピーダンスアナライザー(Agilent Technologies社製)を用いて測定した。得られた基板誘電率から、ガラスクロスの体積分率、及び樹脂誘電率2.5をもとに、ガラスクロスの誘電率を算出した。
<Evaluation method of dielectric constant of substrate and glass cloth>
As described above, a substrate was prepared so that the resin content per 100% by mass of the prepreg was 60% by mass, and the copper foil was removed to obtain a sample for dielectric constant evaluation. The dielectric constant of the obtained sample at a frequency of 1 GHz was measured using an impedance analyzer (manufactured by Agilent Technologies). From the obtained substrate permittivity, the permittivity of the glass cloth was calculated based on the volume fraction of the glass cloth and the resin permittivity of 2.5.

<基板の絶縁信頼性の評価方法>
上記のようにして厚さ0.4mmとなるように基板を作製し、基板の両面の銅箔上に、0.15mm間隔のスルーホールを配する配線パターンを作製して絶縁信頼性評価の試料を得た。得られた試料に対して温度120℃湿度85%RHの雰囲気下で10Vの電圧をかけ、抵抗値の変化を測定した。この際、試験開始後500時間以内に抵抗が1MΩ未満になった場合を絶縁不良としてカウントした。10枚の試料について同様の測定を行い、10枚中絶縁不良とならなかったサンプルの割合を算出した。
<Evaluation method of insulation reliability of substrate>
As described above, a substrate is prepared so as to have a thickness of 0.4 mm, and a wiring pattern in which through holes are arranged at intervals of 0.15 mm is prepared on the copper foils on both sides of the substrate to prepare a sample for insulation reliability evaluation. Got A voltage of 10 V was applied to the obtained sample in an atmosphere of a temperature of 120 ° C. and a humidity of 85% RH, and the change in resistance value was measured. At this time, when the resistance became less than 1 MΩ within 500 hours after the start of the test, it was counted as an insulation defect. The same measurement was performed on 10 samples, and the ratio of the samples that did not cause insulation failure was calculated.

実施例と比較例で示したガラスクロスの評価結果を表1にまとめた。 Table 1 summarizes the evaluation results of the glass cloths shown in Examples and Comparative Examples.

Figure 0006915999
Figure 0006915999

実施例のガラスクロスを用いて得られた基板は、低誘電率で、絶縁信頼性に非常に優れていることが分かった。 It was found that the substrate obtained by using the glass cloth of the example had a low dielectric constant and was extremely excellent in insulation reliability.

本発明のガラスクロスは、電子・電気分野で使用されるプリント配線板に用いられる基材として産業上の利用可能性を有する。 The glass cloth of the present invention has industrial applicability as a base material used for a printed wiring board used in the electronic and electrical fields.

Claims (7)

複数本のガラスフィラメントからなるガラス糸を経糸及び緯糸として製織してなるガラスクロスであって、
前記経糸及び前記緯糸の一方が、SiO2組成量が98〜100質量%であるガラスフィラメントからなるガラス糸であり、
前記経糸及び前記緯糸の他方が、SiO2組成量が45〜60質量%であり、B23組成量が15〜30質量%であるガラスフィラメントからなるガラス糸であり、
前記経糸及び前記緯糸を構成する前記ガラスフィラメントの平均フィラメント径が、各々独立して、3〜10μmであり、
前記経糸及び前記緯糸のフィラメント数が、各々独立して、20〜300本であり、
前記経糸及び前記緯糸の打ち込み密度が、各々独立して、20〜140本/inchであり、
前記ガラスクロスの厚さが、8〜100μmであり、
前記ガラスクロスの強熱減量値が、0.2質量%以上1.0質量%以下であり、
前記ガラスクロスの誘電率が、3.8超過4.4以下であり、
不飽和二重結合基を有するシランカップリング剤で前記ガラス糸の表面が処理された、
ガラスクロス。
A glass cloth made by weaving glass threads composed of a plurality of glass filaments as warp threads and weft threads.
One of said warp and said weft, a glass yarn SiO 2 composition amount is made of glass filaments is 98 to 100 wt%,
The other of the warp and the weft, a SiO 2 composition weight 45 to 60 wt%, a glass yarn B 2 O 3 composition amount is made of glass filaments is 15 to 30 wt%,
The average filament diameters of the warp threads and the glass filaments constituting the weft threads are independently 3 to 10 μm.
The number of filaments of the warp and the weft is 20 to 300 independently.
The driving densities of the warp and the weft are independently 20 to 140 threads / inch.
The thickness of the glass cloth is 8 to 100 μm.
The ignition loss value of the glass cloth is 0.2% by mass or more and 1.0% by mass or less.
The dielectric constant of the glass cloth is more than 3.8 and 4.4 or less.
The surface of the glass yarn was treated with a silane coupling agent having an unsaturated double bond group.
Glass cloth.
前記ガラスクロスの前記強熱減量値が、0.3質量%以上0.8質量%以下である、
請求項1に記載のガラスクロス。
The ignition loss value of the glass cloth is 0.3% by mass or more and 0.8% by mass or less.
The glass cloth according to claim 1.
分子量が異なる2種類以上の前記シランカップリング剤で前記ガラス糸の表面が処理された、
請求項1又は2に記載のガラスクロス。
The surface of the glass yarn was treated with two or more kinds of the silane coupling agents having different molecular weights.
The glass cloth according to claim 1 or 2.
前記経糸及び前記緯糸の一方が、前記SiO2組成量が98〜99.95質量%であるガラスフィラメントからなるガラス糸である、
請求項1〜3のいずれか1項に記載のガラスクロス。
One of said warp and said weft, the SiO 2 composition weight of glass strands consisting of glass filaments is 98 to 99.95 wt%,
The glass cloth according to any one of claims 1 to 3.
前記経糸及び前記緯糸の他方が、前記SiO2組成量が50〜60質量%であり、前記B23組成量が20〜30質量%であるガラスフィラメントからなるガラス糸である、
請求項1〜4のいずれか1項に記載のガラスクロス。
The other of the warp and the weft, the a SiO 2 composition weight 50-60 wt%, the B 2 O 3 composition weight of glass strands consisting of glass filaments is 20 to 30 wt%,
The glass cloth according to any one of claims 1 to 4.
請求項1〜5のいずれか1項に記載のガラスクロスと、
該ガラスクロスに含浸されたマトリックス樹脂と、を有する、
プリプレグ。
The glass cloth according to any one of claims 1 to 5.
The glass cloth is impregnated with a matrix resin.
Prepreg.
請求項6に記載のプリプレグを有する、
プリント配線板。
Having the prepreg according to claim 6.
Printed wiring board.
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