JP6915493B2 - Manufacturing method of metal sheet for vapor chamber, vapor chamber and vapor chamber - Google Patents

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本発明は、作動液が密封された密封空間を有するベーパーチャンバのためのベーパーチャンバ用金属シート、ベーパーチャンバおよびベーパーチャンバの製造方法に関する。 The present invention relates to a metal sheet for a vapor chamber, a vapor chamber and a method for manufacturing a vapor chamber for a vapor chamber having a sealed space in which a working fluid is sealed.

携帯端末やタブレット端末といったモバイル端末等で使用される中央演算処理装置（ＣＰＵ）等の発熱を伴うデバイスは、ヒートパイプ等の放熱用部材によって冷却されている（例えば、特許文献１参照）。近年では、モバイル端末等の薄型化のために、放熱用部材の薄型化も求められており、ヒートパイプよりも薄型化を図ることができるベーパーチャンバの開発が進められている。ベーパーチャンバは、２枚の金属シートを接合した構造を有しており、２枚の金属シートの間に、作動液が封入された密封空間が形成されている。この作動液がデバイスの熱を吸収して外部に放出することで、デバイスの冷却を行っている。 Devices that generate heat, such as central processing units (CPUs) used in mobile terminals such as mobile terminals and tablet terminals, are cooled by heat-dissipating members such as heat pipes (see, for example, Patent Document 1). In recent years, in order to make mobile terminals and the like thinner, it has been required to make the heat radiating member thinner, and the development of a vapor chamber that can be made thinner than a heat pipe is being promoted. The vapor chamber has a structure in which two metal sheets are joined, and a sealing space in which a working liquid is sealed is formed between the two metal sheets. This working fluid absorbs the heat of the device and releases it to the outside to cool the device.

より具体的には、ベーパーチャンバ内の作動液は、デバイスに近接した部分（蒸発部）でデバイスから熱を受けて蒸発して蒸気になり、その後蒸気が、蒸発部から離れた位置に移動して冷却され、凝縮して液状になる。ベーパーチャンバ内には、毛細管構造（ウィック）としての液流路凹部が設けられており、液状になった作動液は、この液流路凹部を通過して蒸発部に輸送され、再び蒸発部で熱を受けて蒸発する。このようにして、作動液が、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながらベーパーチャンバ内を還流することによりデバイスの熱を移動させ、熱輸送効率を高めている。 More specifically, the working fluid in the vapor chamber receives heat from the device at a part close to the device (evaporation part) and evaporates to vapor, and then the vapor moves to a position away from the evaporation part. Cools and condenses into a liquid. A liquid flow path recess as a capillary structure (wick) is provided in the vapor chamber, and the liquid working liquid passes through the liquid flow path recess and is transported to the evaporation section, where the evaporation section again. It receives heat and evaporates. In this way, the working fluid transfers heat of the device by refluxing in the vapor chamber while repeating phase change, that is, evaporation and condensation, and enhances heat transport efficiency.

このような作動液を密封空間に注入するために、ベーパーチャンバに注入流路が設けられている。注入流路から密封空間に作動液を注入した後、この注入流路は封止される。 In order to inject such a working liquid into the sealed space, an injection flow path is provided in the vapor chamber. After injecting the working fluid from the injection flow path into the sealed space, the injection flow path is sealed.

特許第３８５７７６４号公報Japanese Patent No. 3857764

一般に、ヒートパイプにも同様の注入流路が設けられているが、ヒートパイプの注入流路は、円筒状のパイプによって構成されている。このようなパイプが押圧されると、パイプは広がりながら均等に押し潰されるため、注入流路を十分に封止することができると考えられる。しかしながら、ベーパーチャンバの注入流路は、２枚の平坦状の薄い金属シートのうちの少なくとも一方に形成された凹部によって構成されている。このことにより、金属シートを押圧して押し潰した場合であっても、凹部を均等に封止することが困難になり得る。この場合、作動液の注入流路の封止が不十分になり得る。 Generally, the heat pipe is also provided with a similar injection flow path, but the injection flow path of the heat pipe is composed of a cylindrical pipe. When such a pipe is pressed, the pipe is spread and evenly crushed, so that it is considered that the injection flow path can be sufficiently sealed. However, the injection flow path of the vapor chamber is composed of recesses formed in at least one of two flat thin metal sheets. This can make it difficult to evenly seal the recesses even when the metal sheet is pressed and crushed. In this case, the sealing of the hydraulic fluid injection flow path may be insufficient.

本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、作動液の注入流路の封止性を向上させることができるベーパーチャンバ用金属シート、ベーパーチャンバおよびベーパーチャンバの製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in consideration of such a point, and provides a metal sheet for a vapor chamber, a vapor chamber, and a method for manufacturing a vapor chamber, which can improve the sealing property of an injection flow path of a working liquid. The purpose is.

本発明は、
第１面と、前記第１面の反対側に設けられた第２面と、を有し、作動液が封入された密封空間を有するベーパーチャンバのためのベーパーチャンバ用金属シートであって、
第１シート本体と、
前記第１シート本体の前記第１面に設けられ、前記密封空間を構成する空間凹部と、
平面視において前記第１シート本体の周縁から外側に突出する第１周縁突出部と、
前記第１周縁突出部の前記第１面に設けられた注入流路凹部であって、前記空間凹部に連通し、前記密封空間に前記作動液を注入するための注入流路凹部と、
前記注入流路凹部の底面から突出するとともに、突出部間隙を介して第１方向に配列された複数の注入流路突出部をそれぞれ含む複数の突出部列と、を備え、
前記注入流路突出部は、円形、楕円形または矩形の平面形状を有し、
前記第１方向に直交するとともに前記第１面に沿った第２方向から見たときに、互いに隣り合う一対の前記突出部列のうちの一方の前記突出部列の前記突出部間隙に、他方の前記突出部列の前記注入流路突出部が重なっている、ベーパーチャンバ用金属シート、
を提供する。 The present invention
A metal sheet for a vapor chamber for a vapor chamber having a first surface and a second surface provided on the opposite side of the first surface and having a sealed space in which a working fluid is sealed.
1st sheet body and
A space recess provided on the first surface of the first sheet body and forming the sealed space, and
A first peripheral edge protruding portion protruding outward from the peripheral edge of the first sheet body in a plan view,
An injection flow path recess provided on the first surface of the first peripheral edge protrusion, which communicates with the space recess and injects the working liquid into the sealed space.
A plurality of protrusion rows including a plurality of injection flow path protrusions arranged in the first direction through the protrusion gaps as well as protruding from the bottom surface of the injection flow path recess are provided.
The injection flow path protrusion has a circular, elliptical or rectangular planar shape, and has a planar shape.
When viewed from a second direction orthogonal to the first direction and along the first surface, in the protrusion gap of one of the pair of protrusion rows adjacent to each other, the other. A metal sheet for a vapor chamber, wherein the injection flow path protrusions of the protrusion row of the same overlap.
I will provide a.

なお、上述したベーパーチャンバ用金属シートにおいて、
前記注入流路凹部は、互いに隣り合う一対の前記突出部列の間に設けられた、前記第１方向に延びる注入溝を含んでいる、
ようにしてもよい。 In the above-mentioned metal sheet for vapor chamber,
The injection flow path recess includes an injection groove extending in the first direction provided between a pair of adjacent rows of protrusions.
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバ用金属シートにおいて、
前記第１方向から見たときに、互いに隣り合う一対の前記突出部列のうちの一方の前記突出部列の前記注入流路突出部の一部と、他方の前記突出部列の前記注入流路突出部の一部が、互いに重なっている、
ようにしてもよい。 Further, in the metal sheet for the vapor chamber described above,
When viewed from the first direction, a part of the injection flow path protrusion of one of the protrusion rows of the pair of protrusion rows adjacent to each other and the injection flow of the other protrusion row. Some of the road protrusions overlap each other,
You may do so.

また、本発明は、
上述のベーパーチャンバ用金属シートと、
前記ベーパーチャンバ用金属シートの前記第１面に接合され、前記ベーパーチャンバ用金属シートとの間に前記密封空間を形成する第２の金属シートと、を備え、
前記第２の金属シートは、第２シート本体と、平面視において前記第２シート本体の周縁から外側に突出する第２周縁突出部と、を有し、
前記第１周縁突出部と前記第２周縁突出部とは、互いに重なり合わされ、
前記注入流路凹部のうち前記突出部列が設けられた領域に、前記第１周縁突出部および前記第２周縁突出部を押し潰して前記注入流路凹部を封止する封止部が設けられている、ベーパーチャンバ、
を提供する。 In addition, the present invention
With the metal sheet for the vapor chamber mentioned above,
A second metal sheet, which is joined to the first surface of the vapor chamber metal sheet and forms the sealing space between the vapor chamber metal sheet and the vapor chamber metal sheet, is provided.
The second metal sheet has a second sheet main body and a second peripheral edge protruding portion protruding outward from the peripheral edge of the second sheet main body in a plan view.
The first peripheral edge protrusion and the second peripheral edge protrusion are overlapped with each other.
In the region of the injection flow path recess where the protrusion row is provided, a sealing portion is provided to crush the first peripheral edge protrusion and the second peripheral edge protrusion to seal the injection flow path recess. , Vapor chamber,
I will provide a.

なお、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記第２周縁突出部の厚さは、前記ベーパーチャンバ用金属シートの前記第２面と前記注入流路凹部の前記底面との間の厚さよりも大きい、
ようにしてもよい。 In the above-mentioned vapor chamber,
The thickness of the second peripheral edge protrusion is larger than the thickness between the second surface of the vapor chamber metal sheet and the bottom surface of the injection flow path recess.
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記第２周縁突出部の厚さは、前記注入流路凹部の深さよりも大きい、
ようにしてもよい。 Further, in the above-mentioned vapor chamber,
The thickness of the second peripheral edge protrusion is larger than the depth of the injection flow path recess.
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記第２周縁突出部の前記第１周縁突出部の側の面は、平坦状に形成されている、
ようにしてもよい。 Further, in the above-mentioned vapor chamber,
The surface of the second peripheral edge protrusion on the side of the first peripheral edge protrusion is formed flat.
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記封止部は、前記突出部列が設けられた領域のうち前記第１方向における一部の領域に形成されている、
ようにしてもよい。 Further, in the above-mentioned vapor chamber,
The sealing portion is formed in a part of the region provided with the projecting portion row in the first direction.
You may do so.

また、本発明は、
上述のベーパーチャンバ用金属シートを作製する第１作製工程と、
第２シート本体と、平面視において前記第２シート本体の周縁から外側に突出する第２周縁突出部と、を有する第２の金属シートを作製する第２作製工程と、
前記ベーパーチャンバ用金属シートと前記第２の金属シートとを接合する接合工程であって、前記ベーパーチャンバ用金属シートと前記第２の金属シートとの間に前記密封空間を形成するとともに、前記第１周縁突出部と前記第２周縁突出部とを互いに重なり合わせる、接合工程と、
前記注入流路凹部から前記密封空間に前記作動液を注入する注入工程と、
前記注入流路凹部のうち前記突出部列が設けられた領域に、前記第１周縁突出部および前記第２周縁突出部を押し潰して前記注入流路凹部を封止する封止部を形成する封止工程と、を備えた、ベーパーチャンバの製造方法、
を提供する。 In addition, the present invention
The first manufacturing step for manufacturing the metal sheet for the vapor chamber described above, and
A second manufacturing step of manufacturing a second metal sheet having a second sheet main body and a second peripheral edge protruding portion protruding outward from the peripheral edge of the second sheet main body in a plan view.
In the joining step of joining the vapor chamber metal sheet and the second metal sheet, the sealing space is formed between the vapor chamber metal sheet and the second metal sheet, and the first metal sheet is formed. A joining process in which one peripheral protrusion and the second peripheral protrusion are overlapped with each other.
An injection step of injecting the working fluid from the injection flow path recess into the sealed space,
A sealing portion for sealing the injection flow path recess is formed by crushing the first peripheral edge protrusion and the second peripheral edge protrusion in the region of the injection flow path recess where the protrusion row is provided. A method of manufacturing a vapor chamber, including a sealing process,
I will provide a.

本発明によれば、作動液の注入流路の封止性を向上させることができる。 According to the present invention, the sealing property of the injection flow path of the working liquid can be improved.

図１は、本発明の第１の実施の形態によるベーパーチャンバを示す上面図である。FIG. 1 is a top view showing a vapor chamber according to the first embodiment of the present invention. 図２は、図１のベーパーチャンバを示すＡ−Ａ線断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA showing the vapor chamber of FIG. 図３は、図１の下側金属シートの上面図である。FIG. 3 is a top view of the lower metal sheet of FIG. 図４は、図１の上側金属シートの下面図である。FIG. 4 is a bottom view of the upper metal sheet of FIG. 図５は、図３の液流路凹部を示すＢ部の拡大上面図である。FIG. 5 is an enlarged top view of a portion B showing a recess in the liquid flow path of FIG. 図６は、図２の液流路凹部を示す拡大断面図である。FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view showing the liquid flow path recess of FIG. 2. 図７は、図３の注入流路凹部を示すＣ部の拡大上面図である。FIG. 7 is an enlarged top view of a portion C showing the recessed portion of the injection flow path of FIG. 図８は、図７の突出部列を拡大して示す部分拡大上面図である。FIG. 8 is a partially enlarged top view showing an enlarged row of protrusions of FIG. 7. 図９は、図８のＤ−Ｄ線断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view taken along the line DD of FIG. 図１０は、図７に示す注入流路凹部に形成された封止部を示す上面図である。FIG. 10 is a top view showing a sealing portion formed in the injection flow path recess shown in FIG. 7. 図１１は、図１０の側面図である。FIG. 11 is a side view of FIG. 図１２は、図１のベーパーチャンバの製造方法において、金属材料シートの準備工程を説明するための図である。FIG. 12 is a diagram for explaining a preparation process of the metal material sheet in the method for manufacturing the vapor chamber of FIG. 1. 図１３は、図１のベーパーチャンバの製造方法において、金属材料シートのハーフエッチング工程を説明するための図である。FIG. 13 is a diagram for explaining a half-etching process of a metal material sheet in the method for manufacturing a vapor chamber of FIG. 図１４は、図１のベーパーチャンバの製造方法において、仮止め工程を説明するための図である。FIG. 14 is a diagram for explaining a temporary fixing step in the method for manufacturing the vapor chamber of FIG. 1. 図１５は、図１のベーパーチャンバの製造方法において、接合工程を説明するための図である。FIG. 15 is a diagram for explaining a joining process in the method for manufacturing the vapor chamber of FIG. 1. 図１６は、図１のベーパーチャンバの製造方法において、作動液の注入工程を説明するための図である。FIG. 16 is a diagram for explaining a process of injecting a working liquid in the method for manufacturing a vapor chamber of FIG. 図１７は、図１のベーパーチャンバの製造方法において、注入流路の封止工程を説明するための図であって、第１周縁突出部および第２周縁突出部の変形後の状態を示す図である。FIG. 17 is a diagram for explaining a sealing process of the injection flow path in the method for manufacturing the vapor chamber of FIG. 1, and is a diagram showing a state after deformation of the first peripheral edge protruding portion and the second peripheral edge protruding portion. Is. 図１８は、比較例としてのベーパーチャンバにおいて、下側注入流路凹部を示す部分拡大上面図である。FIG. 18 is a partially enlarged top view showing a lower injection flow path recess in a vapor chamber as a comparative example. 図１９は、図８の下側注入流路凹部を示す部分拡大上面図である。FIG. 19 is a partially enlarged top view showing the lower injection flow path recess of FIG. 図２０は、図８に示す突出部列の変形例を示す部分拡大上面図である。FIG. 20 is a partially enlarged top view showing a modified example of the protruding portion row shown in FIG.

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺及び縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the drawings attached to the present specification, the scale, the aspect ratio, etc. are appropriately changed from those of the actual product and exaggerated for the convenience of illustration and comprehension.

図１〜図２０を用いて、本発明の実施の形態におけるベーパーチャンバ用金属シート、ベーパーチャンバおよびベーパーチャンバの製造方法について説明する。本実施の形態におけるベーパーチャンバ１は、作動液２が封入された密封空間３を有しており、密封空間３内の作動液２が相変化を繰り返すことにより、携帯端末やタブレット端末といったモバイル端末等で使用される中央演算処理装置（ＣＰＵ）等の発熱を伴うデバイスＤ（被冷却装置）を冷却するための装置である。ベーパーチャンバ１は、概略的に薄い平板状に形成されている。 A metal sheet for a vapor chamber, a vapor chamber, and a method for manufacturing the vapor chamber according to the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 20. The vapor chamber 1 in the present embodiment has a sealed space 3 in which the hydraulic fluid 2 is sealed, and the hydraulic fluid 2 in the sealed space 3 repeats phase changes to cause a mobile terminal such as a mobile terminal or a tablet terminal. This is a device for cooling a device D (cooled device) that generates heat, such as a central processing unit (CPU) used in the above. The vapor chamber 1 is formed in a substantially thin flat plate shape.

図１および図２に示すように、ベーパーチャンバ１は、下側金属シート１０（第１金属シート、ベーパーチャンバ用金属シート）と、下側金属シート１０上に設けられた上側金属シート２０（第２の金属シート）と、を備えている。下側金属シート１０は、上面１０ａ（第１面）と、上面１０ａの反対側に設けられた下面１０ｂ（第２面）と、を有している。下面１０ｂ（とりわけ、後述する蒸発部１１の下面）に、冷却対象物であるデバイスＤが取り付けられる。上側金属シート２０は、下面２０ａと、下面２０ａの反対側に設けられた上面２０ｂと、を有している。下面２０ａは、下側金属シート１０の上面１０ａに重ね合わされており、下側金属シート１０と上側金属シート２０とは、後述する拡散接合によって接合されている。 As shown in FIGS. 1 and 2, the vapor chamber 1 includes a lower metal sheet 10 (first metal sheet, metal sheet for vapor chamber) and an upper metal sheet 20 (first metal sheet 20) provided on the lower metal sheet 10. 2 metal sheets) and. The lower metal sheet 10 has an upper surface 10a (first surface) and a lower surface 10b (second surface) provided on the opposite side of the upper surface 10a. The device D, which is the object to be cooled, is attached to the lower surface 10b (particularly, the lower surface of the evaporation portion 11 described later). The upper metal sheet 20 has a lower surface 20a and an upper surface 20b provided on the opposite side of the lower surface 20a. The lower surface 20a is overlapped with the upper surface 10a of the lower metal sheet 10, and the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are joined by diffusion bonding described later.

下側金属シート１０と上側金属シート２０との間には、作動液２が封入された密封空間３が形成されている。作動液２の例としては、純水、エタノール、メタノール、アセトン等が挙げられる。 A sealing space 3 in which the hydraulic fluid 2 is sealed is formed between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20. Examples of the working fluid 2 include pure water, ethanol, methanol, acetone and the like.

図１および図２に示す形態では、下側金属シート１０および上側金属シート２０は、平面視でいずれも矩形状に形成されている例が示されているが、これに限られることはない。ここで平面視とは、ベーパーチャンバ１がデバイスＤから熱を受ける面（下側金属シート１０の下面１０ｂ）、および受けた熱を放出する面（上側金属シート２０の上面２０ｂ）に直交する方向から見た状態であって、例えば、ベーパーチャンバ１を上方から見た状態（図１参照）、または下方から見た状態に相当している。 In the form shown in FIGS. 1 and 2, an example is shown in which the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are both formed in a rectangular shape in a plan view, but the present invention is not limited thereto. Here, the plan view is a direction orthogonal to the surface of the vapor chamber 1 that receives heat from the device D (lower surface 10b of the lower metal sheet 10) and the surface that releases the received heat (upper surface 20b of the upper metal sheet 20). The state viewed from above corresponds to, for example, a state in which the vapor chamber 1 is viewed from above (see FIG. 1) or a state in which the vapor chamber 1 is viewed from below.

なお、ベーパーチャンバ１がモバイル端末内に設置される場合、モバイル端末の姿勢によっては、下側金属シート１０と上側金属シート２０との上下関係が崩れる場合もある。しかしながら、本実施の形態では、デバイスＤから熱を受ける金属シートを下側金属シート１０と称し、受けた熱を放出する金属シートを上側金属シート２０と称して、下側金属シート１０が下側に配置され、上側金属シート２０が上側に配置された状態で説明する。 When the vapor chamber 1 is installed in the mobile terminal, the vertical relationship between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 may be broken depending on the posture of the mobile terminal. However, in the present embodiment, the metal sheet that receives heat from the device D is referred to as the lower metal sheet 10, the metal sheet that releases the received heat is referred to as the upper metal sheet 20, and the lower metal sheet 10 is referred to as the lower side. The state in which the upper metal sheet 20 is arranged on the upper side will be described.

図３に示すように、下側金属シート１０は、作動液２が蒸発して蒸気を生成する蒸発部１１と、後述する下側シート本体５０の上面１０ａに設けられ、平面視で矩形状に形成された下側蒸気流路凹部１２（空間凹部）と、を有している。このうち下側蒸気流路凹部１２は、上述した密封空間３の一部を構成しており、主として、蒸発部１１で生成された蒸気が通るように構成されている。 As shown in FIG. 3, the lower metal sheet 10 is provided on the evaporation unit 11 where the hydraulic fluid 2 evaporates to generate vapor, and the upper surface 10a of the lower sheet body 50, which will be described later, and has a rectangular shape in a plan view. It has a formed lower steam flow path recess 12 (space recess). Of these, the lower steam flow path recess 12 constitutes a part of the sealed space 3 described above, and is mainly configured to allow steam generated by the evaporation unit 11 to pass through.

蒸発部１１は、この下側蒸気流路凹部１２内に配置されており、下側蒸気流路凹部１２内の蒸気は、蒸発部１１から離れる方向に拡散して、蒸気の多くは、比較的温度の低い周縁部に輸送される。なお、蒸発部１１は、下側金属シート１０の下面１０ｂに取り付けられるデバイスＤから熱を受けて、密封空間３内の作動液２が蒸発する部分である。このため、蒸発部１１という用語は、デバイスＤに重なっている部分に限られる概念ではなく、デバイスＤに重なっていなくても作動液２が蒸発可能な部分をも含む概念として用いている。ここで蒸発部１１は、下側金属シート１０の任意の場所に設けることができるが、図１および図３においては、下側金属シート１０の中央部に設けられている例が示されている。この場合、ベーパーチャンバ１が設置されたモバイル端末の姿勢が、ベーパーチャンバ１の動作の安定化に影響を及ぼすことを抑制できる。 The evaporation section 11 is arranged in the lower steam flow path recess 12, and the steam in the lower steam flow path recess 12 diffuses in the direction away from the evaporation section 11, and most of the steam is relatively large. It is transported to the cold peripheral area. The evaporation portion 11 is a portion where the hydraulic fluid 2 in the sealed space 3 evaporates by receiving heat from the device D attached to the lower surface 10b of the lower metal sheet 10. Therefore, the term evaporating unit 11 is used not only as a concept limited to a portion overlapping the device D, but also as a concept including a portion where the working fluid 2 can evaporate even if it does not overlap the device D. Here, the evaporation portion 11 can be provided at an arbitrary position on the lower metal sheet 10, but in FIGS. 1 and 3, an example in which the evaporation portion 11 is provided at the central portion of the lower metal sheet 10 is shown. .. In this case, it is possible to prevent the posture of the mobile terminal on which the vapor chamber 1 is installed from affecting the stabilization of the operation of the vapor chamber 1.

本実施の形態では、図２および図３に示すように、下側金属シート１０の下側蒸気流路凹部１２内に、下側蒸気流路凹部１２の底面１２ａ（後述）から上方（底面１２ａに垂直な方向）に突出する複数の下側流路壁部１３（第１流路壁部）が設けられている。本実施の形態では、下側流路壁部１３は、ベーパーチャンバ１の長手方向（図３にける左右方向）に沿って細長状に延びている例が示されており、後述する上側流路壁部２２の下面２２ａに当接する上面１３ａ（第１当接面、突出端面）を含んでいる。また、各下側流路壁部１３は等間隔に離間して、互いに平行に配置されている。このようにして、各下側流路壁部１３の周囲を作動液２の蒸気が流れて、下側蒸気流路凹部１２の周縁部に蒸気が輸送されるように構成されており、蒸気の流れが妨げられることを抑制している。また、下側流路壁部１３は、上側金属シート２０の対応する上側流路壁部２２（後述）に平面視で重なるように配置されており、ベーパーチャンバ１の機械的強度の向上を図っている。図５に示す下側流路壁部１３の幅ｗ０は、例えば、１００μｍ〜１５００μｍであり、互いに隣り合う下側流路壁部１３同士の間隔ｄ０は、例えば、１００μｍ〜２０００μｍである。ここで、幅ｗ０は、下側流路壁部１３の長手方向に直交する方向における下側流路壁部１３の寸法を意味しており、例えば、図３および図５における上下方向の寸法に相当する。また、下側流路壁部１３の高さ（言い換えると、下側蒸気流路凹部１２の深さ）ｈ０（図２参照）は、例えば、１００μｍ〜３００μｍである。 In the present embodiment, as shown in FIGS. 2 and 3, the lower steam flow path recess 12 of the lower metal sheet 10 is located above the bottom surface 12a (described later) of the lower steam flow path recess 12 (bottom surface 12a). A plurality of lower flow path wall portions 13 (first flow path wall portions) projecting in a direction perpendicular to the above are provided. In the present embodiment, an example is shown in which the lower flow path wall portion 13 extends in an elongated shape along the longitudinal direction (left-right direction in FIG. 3) of the vapor chamber 1, and the upper flow path described later. The upper surface 13a (first contact surface, protruding end surface) that abuts the lower surface 22a of the wall portion 22 is included. Further, the lower flow path wall portions 13 are arranged at equal intervals and parallel to each other. In this way, the vapor of the working liquid 2 flows around each lower flow path wall portion 13, and the vapor is transported to the peripheral portion of the lower steam flow path recess 12 of the vapor. It suppresses the flow from being obstructed. Further, the lower flow path wall portion 13 is arranged so as to overlap the corresponding upper flow path wall portion 22 (described later) of the upper metal sheet 20 in a plan view, thereby improving the mechanical strength of the vapor chamber 1. ing. The width w0 of the lower flow path wall portion 13 shown in FIG. 5 is, for example, 100 μm to 1500 μm, and the distance d0 between the lower flow path wall portions 13 adjacent to each other is, for example, 100 μm to 2000 μm. Here, the width w0 means the dimension of the lower flow path wall portion 13 in the direction orthogonal to the longitudinal direction of the lower flow path wall portion 13, and is, for example, the dimension in the vertical direction in FIGS. 3 and 5. Equivalent to. Further, the height of the lower flow path wall portion 13 (in other words, the depth of the lower steam flow path recess 12) h0 (see FIG. 2) is, for example, 100 μm to 300 μm.

図２および図３に示すように、下側金属シート１０の周縁部には、下側周縁壁１４が設けられている。下側周縁壁１４は、密封空間３、とりわけ下側蒸気流路凹部１２を囲むように形成されており、密封空間３を画定している。また、平面視で下側周縁壁１４の四隅に、下側金属シート１０と上側金属シート２０との位置決めをするための下側アライメント孔１５がそれぞれ設けられている。 As shown in FIGS. 2 and 3, a lower peripheral wall 14 is provided on the peripheral edge of the lower metal sheet 10. The lower peripheral wall 14 is formed so as to surround the sealing space 3, particularly the lower steam flow path recess 12, and defines the sealing space 3. Further, lower alignment holes 15 for positioning the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are provided at the four corners of the lower peripheral wall 14 in a plan view.

本実施の形態では、上側金属シート２０は、後述する液流路凹部が設けられていない点と、後述する上側周縁突出部６１の構成の点とを除けば、下側金属シート１０と略同一の構造を有している。以下に、上側金属シート２０の構成についてより詳細に説明する。 In the present embodiment, the upper metal sheet 20 is substantially the same as the lower metal sheet 10 except that the liquid flow path recess, which will be described later, is not provided and the configuration of the upper peripheral edge protrusion 61, which will be described later. It has the structure of. The configuration of the upper metal sheet 20 will be described in more detail below.

図２および図４に示すように、上側金属シート２０は、下面２０ａに設けられた上側蒸気流路凹部２１を有している。この上側蒸気流路凹部２１は、密封空間３の一部を構成しており、主として、蒸発部１１で生成された蒸気が通り、当該蒸気を冷却するように構成されている。より具体的には、上側蒸気流路凹部２１内の蒸気は、蒸発部１１から離れる方向に拡散して、蒸気の多くは、比較的温度の低い周縁部に輸送される。また、図２に示すように、上側金属シート２０の上面２０ｂには、モバイル端末等のハウジングの一部を構成するハウジング部材Ｈが配置される。このことにより、上側蒸気流路凹部２１内の蒸気は、上側金属シート２０およびハウジング部材Ｈを介して外気によって冷却される。 As shown in FIGS. 2 and 4, the upper metal sheet 20 has an upper steam flow path recess 21 provided on the lower surface 20a. The upper steam flow path recess 21 constitutes a part of the sealed space 3, and is mainly configured to allow steam generated by the evaporation unit 11 to pass through and cool the steam. More specifically, the steam in the upper steam flow path recess 21 diffuses in the direction away from the evaporation portion 11, and most of the steam is transported to the peripheral portion having a relatively low temperature. Further, as shown in FIG. 2, a housing member H forming a part of a housing of a mobile terminal or the like is arranged on the upper surface 20b of the upper metal sheet 20. As a result, the steam in the upper steam flow path recess 21 is cooled by the outside air via the upper metal sheet 20 and the housing member H.

本実施の形態では、図１および図４に示すように、上側金属シート２０の上側蒸気流路凹部２１内に、上側蒸気流路凹部２１の天井面２１ａ（上側金属シート２０を上下反転させた場合には上側蒸気流路凹部２１の底面に相当する）から下方（天井面２１ａに垂直な方向）に突出する複数の上側流路壁部２２（第２流路壁部）が設けられている。本実施の形態では、上側流路壁部２２は、ベーパーチャンバ１の長手方向（図４における左右方向）に沿って細長状に延びている例が示されており、上述した下側流路壁部１３の上面１３ａに当接する下面２２ａ（第２当接面、突出端面）を含んでいる。また、各上側流路壁部２２は、等間隔に離間して、互いに平行に配置されている。このようにして、各上側流路壁部２２の周囲を作動液２の蒸気が流れて、上側蒸気流路凹部２１の周縁部に蒸気が輸送されるように構成されており、蒸気の流れが妨げられることを抑制している。また、上側流路壁部２２は、下側金属シート１０の対応する下側流路壁部１３に平面視で重なるように配置されており、ベーパーチャンバ１の機械的強度の向上を図っている。なお、上側流路壁部２２の幅、高さは、上述した下側流路壁部１３の幅ｗ０、高さｈ０と同一であることが好適である。 In the present embodiment, as shown in FIGS. 1 and 4, the ceiling surface 21a of the upper steam flow path recess 21 (the upper metal sheet 20 is turned upside down) in the upper steam flow path recess 21 of the upper metal sheet 20. In this case, a plurality of upper flow path wall portions 22 (second flow path wall portions) projecting downward (in a direction perpendicular to the ceiling surface 21a) from (corresponding to the bottom surface of the upper steam flow path recess 21) are provided. .. In the present embodiment, an example is shown in which the upper flow path wall portion 22 extends in an elongated shape along the longitudinal direction (left-right direction in FIG. 4) of the vapor chamber 1, and the lower flow path wall described above is described. The lower surface 22a (second contact surface, protruding end surface) that abuts the upper surface 13a of the portion 13 is included. Further, the upper flow path wall portions 22 are arranged at equal intervals and parallel to each other. In this way, the vapor of the working liquid 2 flows around each upper flow path wall portion 22, and the vapor is transported to the peripheral portion of the upper steam flow path recess 21, so that the vapor flow flows. It suppresses being disturbed. Further, the upper flow path wall portion 22 is arranged so as to overlap the lower flow path wall portion 13 corresponding to the lower metal sheet 10 in a plan view, thereby improving the mechanical strength of the vapor chamber 1. .. The width and height of the upper flow path wall portion 22 are preferably the same as the width w0 and height h0 of the lower flow path wall portion 13 described above.

図２および図４に示すように、上側金属シート２０の周縁部には、上側周縁壁２３が設けられている。上側周縁壁２３は、密封空間３、とりわけ上側蒸気流路凹部２１を囲むように形成されており、密封空間３を画定している。また、平面視で上側周縁壁２３の四隅に、下側金属シート１０と上側金属シート２０との位置決めをするための上側アライメント孔２４がそれぞれ設けられている。すなわち、各上側アライメント孔２４は、後述する仮止め時に、上述した各下側アライメント孔１５に重なるように配置され、下側金属シート１０と上側金属シート２０との位置決めが可能に構成されている。 As shown in FIGS. 2 and 4, an upper peripheral wall 23 is provided on the peripheral edge of the upper metal sheet 20. The upper peripheral wall 23 is formed so as to surround the sealed space 3, particularly the upper steam flow path recess 21, and defines the sealed space 3. Further, upper alignment holes 24 for positioning the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are provided at the four corners of the upper peripheral wall 23 in a plan view. That is, each upper alignment hole 24 is arranged so as to overlap each of the above-mentioned lower alignment holes 15 at the time of temporary fixing described later, and is configured to enable positioning of the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20. ..

このような下側金属シート１０と上側金属シート２０とは、好適には拡散接合で、互いに恒久的に接合されている。より具体的には、図２に示すように、下側金属シート１０の下側周縁壁１４の上面１４ａと、上側金属シート２０の上側周縁壁２３の下面２３ａとが当接し、下側周縁壁１４と上側周縁壁２３とが互いに接合されている。このことにより、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間に、作動液２を密封した密封空間３が形成されている。また、下側金属シート１０の下側流路壁部１３の上面１３ａと、上側金属シート２０の上側流路壁部２２の下面２２ａとが当接し、各下側流路壁部１３と対応する上側流路壁部２２とが互いに接合されている。このことにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上させている。本実施の形態による下側流路壁部１３および上側流路壁部２２は等間隔に配置されている場合には、ベーパーチャンバ１の各位置における機械的強度を均等化させることができる。なお、下側金属シート１０と上側金属シート２０とは、拡散接合ではなく、恒久的に接合できれば、ろう付け等の他の方式で接合されていてもよい。 Such a lower metal sheet 10 and an upper metal sheet 20 are preferably diffusively bonded and permanently bonded to each other. More specifically, as shown in FIG. 2, the upper surface 14a of the lower peripheral wall 14 of the lower metal sheet 10 and the lower surface 23a of the upper peripheral wall 23 of the upper metal sheet 20 are in contact with each other, and the lower peripheral wall 14 and the upper peripheral wall 23 are joined to each other. As a result, a sealing space 3 in which the hydraulic fluid 2 is sealed is formed between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20. Further, the upper surface 13a of the lower flow path wall portion 13 of the lower metal sheet 10 and the lower surface 22a of the upper flow path wall portion 22 of the upper metal sheet 20 come into contact with each other and correspond to each lower flow path wall portion 13. The upper flow path wall portion 22 is joined to each other. This improves the mechanical strength of the vapor chamber 1. When the lower flow path wall portion 13 and the upper flow path wall portion 22 according to the present embodiment are arranged at equal intervals, the mechanical strength at each position of the vapor chamber 1 can be equalized. The lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 may be joined by another method such as brazing as long as they can be permanently joined instead of diffusion joining.

図３、図５および図６に示すように、各下側流路壁部１３の上面１３ａに、液状の作動液２が通る下側液流路凹部３０が設けられている。下側液流路凹部３０は、上述した密封空間３の一部を構成しており、上述した下側蒸気流路凹部１２および後述する上側蒸気流路凹部２１に連通している。下側液流路凹部３０は、主として、蒸発部１１で生成された蒸気から凝縮した作動液２を蒸発部１１に輸送するように構成されている。本実施の形態では、下側液流路凹部３０は、下側流路壁部１３の長手方向（図３における左右方向）に沿って、細長状に延びている例が示されており、下側流路壁部１３の長手方向における一端から他端まで延びている。このようにして、下側蒸気流路凹部１２の周縁部および上側蒸気流路凹部２１の周縁部において凝縮した液状の作動液２を、毛細管作用によって蒸発部１１に輸送するようになっている。１つの下側流路壁部１３の上面１３ａには、複数の下側液流路凹部３０が形成されており、各下側液流路凹部３０は、等間隔に離間して、互いに平行に配置されている。 As shown in FIGS. 3, 5 and 6, a lower liquid flow path recess 30 through which the liquid hydraulic fluid 2 passes is provided on the upper surface 13a of each lower flow path wall portion 13. The lower liquid flow path recess 30 constitutes a part of the sealed space 3 described above, and communicates with the lower steam flow path recess 12 described above and the upper steam flow path recess 21 described later. The lower liquid flow path recess 30 is mainly configured to transport the working liquid 2 condensed from the vapor generated in the evaporation unit 11 to the evaporation unit 11. In the present embodiment, an example is shown in which the lower liquid flow path recess 30 extends in an elongated shape along the longitudinal direction (left-right direction in FIG. 3) of the lower flow path wall portion 13, and is shown below. The side flow path wall portion 13 extends from one end to the other end in the longitudinal direction. In this way, the liquid working liquid 2 condensed at the peripheral edge of the lower vapor flow path recess 12 and the peripheral edge of the upper vapor flow path recess 21 is transported to the evaporation section 11 by capillary action. A plurality of lower liquid flow path recesses 30 are formed on the upper surface 13a of one lower flow path wall portion 13, and the lower liquid flow path recesses 30 are spaced apart from each other at equal intervals and are parallel to each other. Have been placed.

なお、図示しないが、各下側液流路凹部３０は、蒸発部１１においても、下側蒸気流路凹部１２に連通している。例えば、下側液流路凹部３０を横切る方向（図３および図５における上下方向）に延びる液流路凹部（図示せず）が設けられて、この液流路凹部が、各下側液流路凹部３０と下側蒸気流路凹部１２とを連通するようにしてもよい。あるいは、蒸発部１１において、上側流路壁部２２の下面２２ａを下側流路壁部１３の上面１３ａから離間させておき、当該上面１３ａと当該下面２２ａとの間の空間を下側蒸気流路凹部１２および上側蒸気流路凹部２１に連通させるようにしてもよい。 Although not shown, each lower liquid flow path recess 30 communicates with the lower steam flow path recess 12 also in the evaporation portion 11. For example, a liquid flow path recess (not shown) extending in a direction (vertical direction in FIGS. 3 and 5) extending across the lower liquid flow path recess 30 is provided, and the liquid flow path recess is formed in each lower liquid flow path. The path recess 30 and the lower steam flow path recess 12 may communicate with each other. Alternatively, in the evaporation unit 11, the lower surface 22a of the upper flow path wall portion 22 is separated from the upper surface 13a of the lower flow path wall portion 13, and the space between the upper surface 13a and the lower surface 22a is separated from the lower surface steam flow. It may be communicated with the path recess 12 and the upper steam flow path recess 21.

図６に示す下側液流路凹部３０の幅ｗ１は、図５に示す下側流路壁部１３の幅ｗ０よりも小さくなっている。このことにより、下側液流路凹部３０は、作動液２の蒸気から凝縮した液状の作動液２で充填されて、充填された液状の作動液２が、毛細管作用によって蒸発部１１に輸送される。一方、下側蒸気流路凹部１２および上側蒸気流路凹部２１は、下側液流路凹部３０の流路断面積よりも大きい流路断面積を有し、主として、蒸発部１１で生成された作動液２の蒸気が通過する。下側液流路凹部３０の幅ｗ１は、下側液流路凹部３０の長手方向に直交する方向における下側液流路凹部３０の寸法を意味しており、例えば、図５における上下方向の寸法、または図６における左右方向の寸法に相当する。幅ｗ１は、例えば、１０μｍ〜１００μｍである。また、下側液流路凹部３０の深さｈ１は、幅ｗ１の大きさにもよるが、例えば、２０μｍ〜１５０μｍである。 The width w1 of the lower liquid flow path recess 30 shown in FIG. 6 is smaller than the width w0 of the lower flow path wall portion 13 shown in FIG. As a result, the lower liquid flow path recess 30 is filled with the liquid working liquid 2 condensed from the vapor of the working liquid 2, and the filled liquid working liquid 2 is transported to the evaporation unit 11 by capillary action. NS. On the other hand, the lower steam flow path recess 12 and the upper steam flow path recess 21 have a flow path cross-sectional area larger than the flow path cross-sectional area of the lower liquid flow path recess 30, and are mainly generated by the evaporation unit 11. The vapor of the working fluid 2 passes through. The width w1 of the lower liquid flow path recess 30 means the dimension of the lower liquid flow path recess 30 in the direction orthogonal to the longitudinal direction of the lower liquid flow path recess 30, for example, in the vertical direction in FIG. Corresponds to the dimension or the dimension in the left-right direction in FIG. The width w1 is, for example, 10 μm to 100 μm. The depth h1 of the lower liquid flow path recess 30 is, for example, 20 μm to 150 μm, although it depends on the size of the width w1.

このような下側液流路凹部３０は、下側金属シート１０の下側流路壁部１３の上面１３ａに形成されている。一方、本実施の形態では、上側金属シート２０の上側流路壁部２２の下面２２ａには、上側液流路凹部は形成されていない。すなわち、当該下面２２ａは、平坦状に形成されており、下側液流路凹部３０に露出されている。このようにして、下側液流路凹部３０の横断面において、下側液流路凹部３０の全体が、上側流路壁部２２の平坦状の下面２２ａで覆われている。 Such a lower liquid flow path recess 30 is formed on the upper surface 13a of the lower flow path wall portion 13 of the lower metal sheet 10. On the other hand, in the present embodiment, the upper liquid flow path recess is not formed on the lower surface 22a of the upper flow path wall portion 22 of the upper metal sheet 20. That is, the lower surface 22a is formed flat and is exposed in the lower liquid flow path recess 30. In this way, in the cross section of the lower liquid flow path recess 30, the entire lower liquid flow path recess 30 is covered with the flat lower surface 22a of the upper flow path wall portion 22.

図３に示すように、下側金属シート１０は、下側シート本体５０（第１シート本体）と、平面視において下側シート本体５０の周縁から外側に突出する下側周縁突出部５１（第１周縁突出部）と、を有している。このうち下側シート本体５０には、上述した下側蒸気流路凹部１２、下側流路壁部１３および下側周縁壁１４が設けられている。同様に、図４に示すように、上側金属シート２０は、上側シート本体６０（第２シート本体）と、平面視において上側シート本体６０の周縁から外側に突出する上側周縁突出部６１（第２周縁突出部）と、を有している。このうち上側シート本体６０は、上述した上側蒸気流路凹部２１、上側流路壁部２２および上側周縁壁２３が設けられている。図１に示すように、下側シート本体５０と上側シート本体６０とが、平面視で互いに重なり合うとともに、下側周縁突出部５１と上側周縁突出部６１とが、平面視で互いに重なり合っている。下側周縁突出部５１と上側周縁突出部６１との間に、後述する下側注入流路凹部７０によって構成される作動液２の注入流路４が形成されている。 As shown in FIG. 3, the lower metal sheet 10 includes a lower sheet main body 50 (first sheet main body) and a lower peripheral edge protruding portion 51 (first sheet main body) that protrudes outward from the peripheral edge of the lower sheet main body 50 in a plan view. 1 peripheral protrusion) and. Of these, the lower seat body 50 is provided with the above-mentioned lower steam flow path recess 12, the lower flow path wall portion 13, and the lower peripheral wall 14. Similarly, as shown in FIG. 4, the upper metal sheet 20 has an upper sheet main body 60 (second sheet main body) and an upper peripheral edge protruding portion 61 (second sheet main body) protruding outward from the peripheral edge of the upper sheet main body 60 in a plan view. Peripheral protrusion) and. Of these, the upper seat body 60 is provided with the above-mentioned upper steam flow path recess 21, upper flow path wall portion 22, and upper peripheral wall 23. As shown in FIG. 1, the lower seat body 50 and the upper seat body 60 overlap each other in a plan view, and the lower peripheral edge protruding portion 51 and the upper peripheral edge protruding portion 61 overlap each other in a plan view. An injection flow path 4 for the hydraulic fluid 2 formed by a lower injection flow path recess 70, which will be described later, is formed between the lower peripheral edge protrusion 51 and the upper peripheral edge protrusion 61.

本実施の形態では、図１、図３および図４に示すように、下側周縁突出部５１および上側周縁突出部６１は、ベーパーチャンバ１の長手方向における一対の端部のうちの一方の端部に配置されている。そして、下側周縁突出部５１の全体および上側周縁突出部６１の全体が、長手方向に延びる中心軸線からずれた位置に配置されている。この場合、金属材料シートから複数の下側金属シート１０を効率良く材料取りすることができ、下側周縁突出部５１によって効率良い材料取りが阻害されることを抑制できる。同様に、金属材料シートから複数の上側金属シート２０を効率良く材料取りすることができ、上側周縁突出部６１によって効率良い材料取りが阻害されることを抑制できる。なお、下側周縁突出部５１の配置および上側周縁突出部６１の配置は、これに限られることはなく、対応するシート本体５０，６０の周縁から外側に突出していれば、任意である。 In the present embodiment, as shown in FIGS. 1, 3 and 4, the lower peripheral edge protrusion 51 and the upper peripheral edge protrusion 61 are one end of a pair of ends in the longitudinal direction of the vapor chamber 1. It is arranged in the department. The entire lower peripheral edge protruding portion 51 and the entire upper peripheral edge protruding portion 61 are arranged at positions deviated from the central axis extending in the longitudinal direction. In this case, a plurality of lower metal sheets 10 can be efficiently removed from the metal material sheet, and it is possible to prevent the lower peripheral edge protrusion 51 from hindering efficient material removal. Similarly, a plurality of upper metal sheets 20 can be efficiently removed from the metal material sheet, and it is possible to prevent the upper peripheral protrusion 61 from hindering efficient material removal. The arrangement of the lower peripheral edge protruding portion 51 and the arrangement of the upper peripheral edge protruding portion 61 are not limited to this, and are arbitrary as long as they project outward from the peripheral edges of the corresponding seat bodies 50 and 60.

図７〜図９に示すように、下側周縁突出部５１における上面５１ａ（図９参照）に、密封空間３に作動液２を注入する注入流路４を構成する下側注入流路凹部７０が設けられている。この下側注入流路凹部７０は、下側蒸気流路凹部１２に連通している。 As shown in FIGS. 7 to 9, the lower injection flow path recess 70 constituting the injection flow path 4 for injecting the hydraulic fluid 2 into the sealed space 3 on the upper surface 51a (see FIG. 9) of the lower peripheral edge protrusion 51. Is provided. The lower injection flow path recess 70 communicates with the lower steam flow path recess 12.

下側注入流路凹部７０には、複数の注入流路突出部７３、７５が設けられている。注入流路突出部７３、７５は、下側注入流路凹部７０の底面７０ａから上方（上側金属シート２０の側）に突出している。図７および図８に示すように、複数の注入流路突出部７３、７５は、複数の第１突出部列７１と、複数の第２突出部列７２と、を構成している。このうち第１突出部列７１の複数の注入流路突出部（第１注入流路突出部７３）は、突出部間隙（第１突出部間隙７４）を介して第１方向Ｘに配列されている。第２突出部列７２の複数の注入流路突出部（第２注入流路突出部７５）は、突出部間隙（第２突出部間隙７６）を介して第１方向Ｘに配列されている。本実施の形態では、第１突出部列７１と第２突出部列７２が、第１方向Ｘに直交するとともに下側金属シート１０の上面１０ａに沿った第２方向Ｙにおいて交互に配置されている。なお、第１突出部間隙７４および第２突出部間隙７６は、下側注入流路凹部７０の一部をそれぞれ構成している。ここで、第１方向Ｘは、図７における左右方向であって、作動液２の注入方向に相当し、第２方向Ｙは、図７における上下方向に相当する。 A plurality of injection flow path protrusions 73, 75 are provided in the lower injection flow path recess 70. The injection flow path protrusions 73 and 75 project upward (on the side of the upper metal sheet 20) from the bottom surface 70a of the lower injection flow path recess 70. As shown in FIGS. 7 and 8, the plurality of injection flow path protrusions 73 and 75 constitute a plurality of first protrusion rows 71 and a plurality of second protrusion rows 72. Of these, the plurality of injection flow path protrusions (first injection flow path protrusion 73) of the first protrusion row 71 are arranged in the first direction X via the protrusion gap (first protrusion gap 74). There is. The plurality of injection flow path protrusions (second injection flow path protrusion 75) of the second protrusion row 72 are arranged in the first direction X via the protrusion gap (second protrusion gap 76). In the present embodiment, the first projecting row 71 and the second projecting row 72 are orthogonal to the first direction X and are alternately arranged in the second direction Y along the upper surface 10a of the lower metal sheet 10. There is. The first protruding portion gap 74 and the second protruding portion gap 76 form a part of the lower injection flow path recess 70, respectively. Here, the first direction X is the left-right direction in FIG. 7, and corresponds to the injection direction of the working fluid 2, and the second direction Y corresponds to the vertical direction in FIG. 7.

本実施の形態では、第１注入流路突出部７３および第２注入流路突出部７５は、矩形の平面形状を有している。ここで矩形とは、厳密な意味での矩形に限定されるものではなく、後述するエッチング加工などによって角部に丸みを帯びたような実質的に矩形とみなすことができる形状をも含む概念を意味しているものとして用いている。図７に示す形態では、多くの注入流路突出部７３、７５が、第１方向Ｘに沿った長手方向を有する長方形形状を有している例が示されているが、後述する高密度領域８０の端部に設けられた一部の注入流路突出部７３、７５は、正方形形状を有している。なお、注入流路突出部７３、７５の平面形状は、矩形であることに限られることはなく、円形または楕円形であってもよい。 In the present embodiment, the first injection flow path protrusion 73 and the second injection flow path protrusion 75 have a rectangular planar shape. Here, the rectangle is not limited to a rectangle in a strict sense, but includes a concept that includes a shape that can be regarded as a substantially rectangle with rounded corners due to etching processing described later. It is used as a meaning. In the form shown in FIG. 7, an example is shown in which many injection flow path protrusions 73, 75 have a rectangular shape having a longitudinal direction along the first direction X, but a high-density region described later will be shown. A part of the injection flow path protrusions 73 and 75 provided at the end of the 80 has a square shape. The planar shape of the injection flow path protrusions 73 and 75 is not limited to a rectangle, and may be a circle or an ellipse.

互いに隣り合う第１突出部列７１および第２突出部列７２のうち第１突出部列７１の第１突出部間隙７４に、第２突出部列７２の第２注入流路突出部７５が、第２方向Ｙから見たときに重なっている。一方、第２突出部列７２の第２突出部間隙７６に、第１突出部列７１の第１注入流路突出部７３が、第２方向Ｙから見たときに重なっている。そして、第１突出部列７１の第１注入流路突出部７３の配列ピッチと、第２突出部列７２の第２注入流路突出部７５の配列ピッチは、同一になっており、第１突出部間隙７４の第１方向Ｘにおける寸法と、第２突出部間隙７６の第１方向Ｘにおける寸法とが同一になっている。そして、この配列ピッチの半分の寸法で、第１突出部列７１の第１注入流路突出部７３と、第２突出部列７２の第２注入流路突出部７５は、第１方向Ｘに互いにずれて配置されている。このような構成により、第１突出部列７１をなす第１注入流路突出部７３と、第２突出部列７２をなす第２注入流路突出部７５とが、第１方向Ｘにおいて千鳥状に配置されている。 Of the first protruding portion row 71 and the second protruding portion row 72 adjacent to each other, the second injection flow path protruding portion 75 of the second protruding portion row 72 is formed in the first protruding portion gap 74 of the first protruding portion row 71. They overlap when viewed from the second direction Y. On the other hand, the first injection flow path protrusion 73 of the first protrusion row 71 overlaps the second protrusion gap 76 of the second protrusion row 72 when viewed from the second direction Y. The arrangement pitch of the first injection flow path protrusion 73 of the first protrusion row 71 and the arrangement pitch of the second injection flow path protrusion 75 of the second protrusion row 72 are the same, and the first The dimensions of the protrusion gap 74 in the first direction X and the dimensions of the second protrusion gap 76 in the first direction X are the same. Then, with half the size of this arrangement pitch, the first injection flow path protrusion 73 of the first protrusion row 71 and the second injection flow path protrusion 75 of the second protrusion row 72 are in the first direction X. They are arranged so that they are offset from each other. With such a configuration, the first injection flow path protrusion 73 forming the first protrusion row 71 and the second injection flow path protrusion 75 forming the second protrusion row 72 are staggered in the first direction X. Is located in.

図７〜図９に示すように、下側注入流路凹部７０は、互いに隣り合う第１突出部列７１と第２突出部列７２との間に設けられた注入溝７７を含んでいる。この注入溝７７は、下側注入流路凹部７０の一部を構成しており、第１方向Ｘに（ここでは直線状に）延びている。図９に示す注入溝７７の幅ｗ２は、図５に示す下側流路壁部１３の幅ｗ０よりも小さくなっているが、図６に示す下側液流路凹部３０の幅ｗ１より大きくなっていてもよい。これは、注入時の作動液２を、毛細管作用ではなく、注入のために作動液２が受けた圧力によって注入溝７７を流すからである。しかしながら、注入溝７７の幅ｗ２は、毛細管作用が発揮される程度の寸法であってもよい。このような注入溝７７の幅ｗ２は、例えば、５０μｍ〜２００μｍである。 As shown in FIGS. 7 to 9, the lower injection flow path recess 70 includes an injection groove 77 provided between the first protrusion row 71 and the second protrusion row 72 adjacent to each other. The injection groove 77 constitutes a part of the lower injection flow path recess 70 and extends in the first direction X (here, in a straight line). The width w2 of the injection groove 77 shown in FIG. 9 is smaller than the width w0 of the lower flow path wall portion 13 shown in FIG. 5, but is larger than the width w1 of the lower liquid flow path recess 30 shown in FIG. It may be. This is because the hydraulic fluid 2 at the time of injection flows through the injection groove 77 not by the capillary action but by the pressure received by the hydraulic fluid 2 for injection. However, the width w2 of the injection groove 77 may be such that the capillary action is exhibited. The width w2 of such an injection groove 77 is, for example, 50 μm to 200 μm.

また、互いに隣り合う注入溝７７同士の間隔ｄ１（注入流路突出部７３、７５の幅）は、注入溝７７の幅ｗ２より大きくてもよい。この場合、注入流路４を塞ぐための注入流路突出部７３、７５の体積を増やすことができ、注入流路４の封止性を向上させることができる。しかしながら、この間隔ｄ１は、注入溝７７の幅ｗ２より大きくなくてもよい。このような注入溝７７同士の間隔ｄ１は、例えば、５０μｍ〜２００μｍである。 Further, the distance d1 (width of the injection flow path protrusions 73, 75) between the injection grooves 77 adjacent to each other may be larger than the width w2 of the injection groove 77. In this case, the volume of the injection flow path protrusions 73 and 75 for closing the injection flow path 4 can be increased, and the sealing property of the injection flow path 4 can be improved. However, this interval d1 does not have to be larger than the width w2 of the injection groove 77. The distance d1 between such injection grooves 77 is, for example, 50 μm to 200 μm.

また、注入溝７７の深さｈ２（下側注入流路凹部７０の深さ、注入流路突出部７３、７５の高さ）は、下側金属シート１０の下面１０ｂと下側注入流路凹部７０の底面７０ａとの間の厚さｔ３よりも大きいことが好適である。この場合、注入流路４を塞ぐための注入流路突出部７３、７５の体積を増やすことができ、注入流路４の封止性を向上させることができる。深さｈ２は、幅ｗ２の大きさにもよるが、例えば、５０μｍ〜２００μｍである。なお、図９においては、下側周縁突出部５１の厚さ（すなわち下側金属シート１０の厚さＴ１）が、上側周縁突出部６１の厚さ（すなわち、上側金属シート２０の厚さＴ２）よりも大きくなっている例が示されている。しかしながら、これに限られることはなく、下側周縁突出部５１の厚さと上側周縁突出部６１の厚さは、等しくてもよい。 Further, the depth h2 of the injection groove 77 (the depth of the lower injection flow path recess 70, the height of the injection flow path protrusions 73 and 75) is the lower surface 10b of the lower metal sheet 10 and the lower injection flow path recess. It is preferably larger than the thickness t3 between the bottom surface 70a of the 70. In this case, the volume of the injection flow path protrusions 73 and 75 for closing the injection flow path 4 can be increased, and the sealing property of the injection flow path 4 can be improved. The depth h2 is, for example, 50 μm to 200 μm, although it depends on the size of the width w2. In FIG. 9, the thickness of the lower peripheral edge protrusion 51 (that is, the thickness T1 of the lower metal sheet 10) is the thickness of the upper peripheral edge protrusion 61 (that is, the thickness T2 of the upper metal sheet 20). An example of being larger than is shown. However, the thickness is not limited to this, and the thickness of the lower peripheral edge protrusion 51 and the thickness of the upper peripheral edge protrusion 61 may be equal.

このような下側注入流路凹部７０は、図９に示すように、下側金属シート１０の下側周縁突出部５１の上面５１ａに形成されている。一方、本実施の形態では、上側金属シート２０の上側周縁突出部６１の下面６１ａ（下側周縁突出部５１の側の面）には、上側注入流路凹部は形成されていない。すなわち、当該下面６１ａは、平坦状に形成されており、下側注入流路凹部７０に露出されている。このようにして、下側注入流路凹部７０の横断面において、下側注入流路凹部７０の全体が、上側周縁突出部６１の平坦状の下面６１ａで覆われている。 As shown in FIG. 9, such a lower injection flow path recess 70 is formed on the upper surface 51a of the lower peripheral edge protruding portion 51 of the lower metal sheet 10. On the other hand, in the present embodiment, the upper injection flow path recess is not formed on the lower surface 61a (the surface on the side of the lower peripheral edge protrusion 51) of the upper peripheral edge protrusion 61 of the upper metal sheet 20. That is, the lower surface 61a is formed flat and is exposed in the lower injection flow path recess 70. In this way, in the cross section of the lower injection flow path recess 70, the entire lower injection flow path recess 70 is covered with the flat lower surface 61a of the upper peripheral protrusion 61.

このような下側周縁突出部５１と上側周縁突出部６１とは、拡散接合で、互いに恒久的に接合されている。より具体的には、下側金属シート１０の下側周縁突出部５１の上面５１ａと、上側金属シート２０の上側周縁突出部６１の下面６１ａとが当接し、下側周縁突出部５１と上側周縁突出部６１とが互いに接合されている。また、下側金属シート１０の第１注入流路突出部７３および第２注入流路突出部７５と、上側金属シート２０の上側周縁突出部６１の下面６１ａとが当接し、注入流路突出部７３、７５と下面６１ａとが互いに接合されている。このことにより、注入流路４の機械的強度を向上させている。 Such a lower peripheral edge protruding portion 51 and an upper peripheral edge protruding portion 61 are permanently joined to each other by diffusion joining. More specifically, the upper surface 51a of the lower peripheral edge protruding portion 51 of the lower metal sheet 10 and the lower surface 61a of the upper peripheral edge protruding portion 61 of the upper metal sheet 20 are in contact with each other, and the lower peripheral edge protruding portion 51 and the upper peripheral edge are in contact with each other. The protrusions 61 are joined to each other. Further, the first injection flow path protrusion 73 and the second injection flow path protrusion 75 of the lower metal sheet 10 and the lower surface 61a of the upper peripheral edge protrusion 61 of the upper metal sheet 20 come into contact with each other, and the injection flow path protrusion 73, 75 and the lower surface 61a are joined to each other. This improves the mechanical strength of the injection flow path 4.

図９に示すように、後述する封止部９０が形成されていない領域において、上側周縁突出部６１の厚さ（すなわち、上側金属シート２０の厚さＴ２）は、下側金属シート１０の下面１０ｂと下側注入流路凹部７０の底面７０ａとの間の厚さｔ３よりも大きくなっている。また、上側周縁突出部６１の厚さは、注入溝７７の深さｈ２よりも大きくなっている。 As shown in FIG. 9, in the region where the sealing portion 90 described later is not formed, the thickness of the upper peripheral protrusion 61 (that is, the thickness T2 of the upper metal sheet 20) is the lower surface of the lower metal sheet 10. It is larger than the thickness t3 between 10b and the bottom surface 70a of the lower injection flow path recess 70. Further, the thickness of the upper peripheral protrusion 61 is larger than the depth h2 of the injection groove 77.

ところで、図７に示すように、下側注入流路凹部７０は、上述した第１突出部列７１および第２突出部列７２が設けられた高密度領域８０と、高密度領域８０よりも注入口７８の側に設けられた低密度領域８１と、を有している。このうち高密度領域８０は、上述した注入流路突出部（第１注入流路突出部７３および第２注入流路突出部７５）が比較的高密度に配置されている領域である。低密度領域８１は、注入流路突出部（第３注入流路突出部８２）が比較的低密度に配置されている領域である。 By the way, as shown in FIG. 7, the lower injection flow path recess 70 is more noteworthy than the high-density region 80 provided with the first protruding portion row 71 and the second protruding portion row 72 described above and the high-density region 80. It has a low density region 81 provided on the side of the inlet 78. Of these, the high-density region 80 is a region in which the above-mentioned injection flow path protrusions (first injection flow path protrusion 73 and second injection flow path protrusion 75) are arranged at a relatively high density. The low density region 81 is a region in which the injection flow path protrusion (third injection flow path protrusion 82) is arranged at a relatively low density.

低密度領域８１における第３注入流路突出部８２は、正方形の平面形状を有している。第１方向Ｘにおいて互いに隣り合う第３注入流路突出部８２の間の間隙は、上述した第１突出部間隙７４よりも大きく、第２突出部間隙７６よりも大きくなっている。そして、第２方向Ｙにおいて互いに隣り合う第３注入流路突出部８２の間の間隙が、上述した注入溝７７の幅ｗ２よりも大きくなっている。低密度領域８１においても、第３注入流路突出部８２は、第１方向Ｘに配列されており、図７においては、第３注入流路突出部８２の列が２つ設けられている例が示されている。低密度領域８１における第３注入流路突出部８２は、上側周縁突出部６１の下面６１ａに接合されており、注入流路４の機械的強度の向上を図っている。 The third injection flow path protrusion 82 in the low density region 81 has a square planar shape. The gap between the third injection flow path protrusions 82 adjacent to each other in the first direction X is larger than the above-mentioned first protrusion gap 74 and larger than the second protrusion gap 76. The gap between the third injection flow path protrusions 82 adjacent to each other in the second direction Y is larger than the width w2 of the injection groove 77 described above. Even in the low density region 81, the third injection flow path protrusions 82 are arranged in the first direction X, and in FIG. 7, an example in which two rows of the third injection flow path protrusions 82 are provided. It is shown. The third injection flow path protrusion 82 in the low density region 81 is joined to the lower surface 61a of the upper peripheral edge protrusion 61 to improve the mechanical strength of the injection flow path 4.

図１０に示すように、下側注入流路凹部７０に、下側注入流路凹部７０、すなわち注入流路４を封止する封止部９０が設けられている。封止部９０は、下側周縁突出部５１と上側周縁突出部６１とが押し潰された形状を有しており、下側周縁突出部５１の材料と上側周縁突出部６１の材料が注入流路４を構成する下側注入流路凹部７０（主流溝、第１突出部間隙７４および第２突出部間隙７６）に入り込んで、注入流路４を塞いでいる。主として、第１注入流路突出部７３および第２注入流路突出部７５が押圧された際に平面方向（下側金属シート１０の上面１０ａに沿った方向）に広がるように押し潰されることで、注入流路４が塞がれている。このことにより、密封空間３に作動液２を注入した後に、密封空間３内の作動液２が、注入流路４から外部に漏れ出たり、大気が密封空間３に流入したりすることを防止している。 As shown in FIG. 10, the lower injection flow path recess 70 is provided with a lower injection flow path recess 70, that is, a sealing portion 90 for sealing the injection flow path 4. The sealing portion 90 has a shape in which the lower peripheral edge protruding portion 51 and the upper peripheral edge protruding portion 61 are crushed, and the material of the lower peripheral edge protruding portion 51 and the material of the upper peripheral edge protruding portion 61 are injected. It enters the lower injection flow path recess 70 (mainstream groove, first protrusion gap 74, and second protrusion gap 76) constituting the path 4 and closes the injection flow path 4. Mainly, when the first injection flow path protrusion 73 and the second injection flow path protrusion 75 are pressed, they are crushed so as to spread in the plane direction (direction along the upper surface 10a of the lower metal sheet 10). , The injection flow path 4 is blocked. This prevents the hydraulic fluid 2 in the sealed space 3 from leaking to the outside from the injection flow path 4 or the air flowing into the sealed space 3 after the hydraulic fluid 2 is injected into the sealed space 3. is doing.

このように下側周縁突出部５１と上側周縁突出部６１とが互いに押し潰されているため、図１１に示すように、封止部９０の厚さは、封止部９０以外のベーパーチャンバ１の厚さよりも小さくなっている。すなわち、封止部９０における下側周縁突出部５１の厚さ と上側周縁突出部６１の厚さの合計値Ｔ０’は、封止部９０が設けられていない位置における下側周縁突出部５１の厚さと上側周縁突出部６１の厚さとの合計値Ｔ０よりも小さくなっている。 Since the lower peripheral edge protruding portion 51 and the upper peripheral edge protruding portion 61 are crushed to each other in this way, as shown in FIG. 11, the thickness of the sealing portion 90 is the vapor chamber 1 other than the sealing portion 90. It is smaller than the thickness of. That is, the total value T0'of the thickness of the lower peripheral edge protruding portion 51 and the thickness of the upper peripheral edge protruding portion 61 in the sealing portion 90 is the lower peripheral edge protruding portion 51 at the position where the sealing portion 90 is not provided. It is smaller than the total value T0 of the thickness and the thickness of the upper peripheral protrusion 61.

図１０に示すように、封止部９０は、高密度領域８０のうち第１方向Ｘにおける一部の領域に形成されている。図１０に示す例では、第１方向Ｘにおける封止部９０の両側には、高密度領域８０の第１突出部列７１をなす第１注入流路突出部７３と、第２突出部列７２をなす第２注入流路突出部７５とが残存している。封止部９０においては、第１注入流路突出部７３と第２注入流路突出部７５とは押し潰すように塑性変形されており、注入溝７７、第１突出部間隙７４および第２突出部間隙７６は残存していない。このようにして、注入流路４が封止されている。 As shown in FIG. 10, the sealing portion 90 is formed in a part of the high-density region 80 in the first direction X. In the example shown in FIG. 10, on both sides of the sealing portion 90 in the first direction X, a first injection flow path protruding portion 73 forming a first protruding portion row 71 of the high-density region 80 and a second protruding portion row 72. The second injection flow path protrusion 75 forming the above remains. In the sealing portion 90, the first injection flow path protrusion 73 and the second injection flow path protrusion 75 are plastically deformed so as to be crushed, and the injection groove 77, the first protrusion gap 74, and the second protrusion are formed. The partial gap 76 does not remain. In this way, the injection flow path 4 is sealed.

ところで、下側金属シート１０および上側金属シート２０に用いる材料は、熱伝導率が良好な材料であれば特に限られることはないが、例えば、下側金属シート１０および上側金属シート２０は、銅または銅合金により形成されていることが好適である。このことにより、下側金属シート１０および上側金属シート２０の熱伝導率を高めることができる。このため、ベーパーチャンバ１の熱輸送効率を高めることができる。また、図２に示すように、ベーパーチャンバ１の厚さＴ０は、０．１ｍｍ〜１．０ｍｍである。下側金属シート１０の厚さＴ１および上側金属シート２０の厚さＴ２が等しい場合を示しているが、これに限られることはなく、下側金属シート１０の厚さＴ１と上側金属シート２０の厚さＴ２は、等しくなくてもよい。 By the way, the material used for the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 is not particularly limited as long as it is a material having good thermal conductivity. For example, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are made of copper. Alternatively, it is preferably formed of a copper alloy. As a result, the thermal conductivity of the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 can be increased. Therefore, the heat transport efficiency of the vapor chamber 1 can be improved. Further, as shown in FIG. 2, the thickness T0 of the vapor chamber 1 is 0.1 mm to 1.0 mm. The case where the thickness T1 of the lower metal sheet 10 and the thickness T2 of the upper metal sheet 20 are equal is shown, but the present invention is not limited to this, and the thickness T1 of the lower metal sheet 10 and the thickness T2 of the upper metal sheet 20 are not limited to this. The thickness T2 does not have to be equal.

次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。ここでは、まず、ベーパーチャンバ１の製造方法について、図１２〜図１７を用いて説明するが、上側金属シート２０のハーフエッチング工程の説明は簡略化する。なお、図１２〜図１６では、図２の断面図と同様の断面を示しており、図１７では、図９の断面と同様の断面を示している。 Next, the operation of the present embodiment having such a configuration will be described. Here, first, the manufacturing method of the vapor chamber 1 will be described with reference to FIGS. 12 to 17, but the description of the half-etching step of the upper metal sheet 20 will be simplified. It should be noted that FIGS. 12 to 16 show a cross section similar to the cross section of FIG. 2, and FIG. 17 shows a cross section similar to the cross section of FIG.

初めに、第１作製工程として、下側金属シート１０を作製する工程について説明する。 First, as the first manufacturing step, a step of manufacturing the lower metal sheet 10 will be described.

まず、図１２に示すように、準備工程として、平板状の金属材料シートＭを準備する。 First, as shown in FIG. 12, as a preparatory step, a flat metal material sheet M is prepared.

準備工程の後、ハーフエッチング工程として、図１３に示すように、金属材料シートＭがハーフエッチングされて、密封空間３の一部を構成する下側蒸気流路凹部１２および下側液流路凹部３０が形成される。 After the preparatory step, as a half-etching step, as shown in FIG. 13, the metal material sheet M is half-etched to form a lower vapor flow path recess 12 and a lower liquid flow path recess 12 forming a part of the sealed space 3. 30 is formed.

この場合、まず、金属材料シートＭの上面Ｍａに、図示しないレジスト膜が形成される。レジスト膜には、電界によって付着可能な電着レジスト材料を好適に使用することができるが、金属材料シートＭにレジスト膜を形成することができれば、液状のレジスト材料など他の材料を用いてもよい。 In this case, first, a resist film (not shown) is formed on the upper surface Ma of the metal material sheet M. An electrodeposited resist material that can be adhered by an electric field can be preferably used for the resist film, but if a resist film can be formed on the metal material sheet M, another material such as a liquid resist material may be used. good.

続いて、レジスト膜が、フォトリソグラフィー技術を用いてパターン化され、レジスト開口（図示せず）が形成される。 Subsequently, the resist film is patterned using photolithography techniques to form resist openings (not shown).

次に、金属材料シートＭの上面Ｍａがハーフエッチングされる。このことにより、当該上面Ｍａのうちレジスト膜のレジスト開口に対応する部分がハーフエッチングされて、下側蒸気流路凹部１２、下側流路壁部１３および下側周縁壁１４が形成される。この際、下側流路壁部１３の上面１３ａに下側液流路凹部３０が形成される。また、図３に示すような外形輪郭形状を有するように金属材料シートＭが上面Ｍａおよび下面Ｍｂからエッチングされて、所定の外形輪郭形状が得られる。これにより、図３に示す下側周縁突出部５１が形成され、下側周縁突出部５１には、図７〜図９に示す下側注入流路凹部７０などが同時に形成される。なお、ハーフエッチングとは、材料を貫通しないような凹部を形成するためのエッチングを意味している。このため、ハーフエッチングにより形成される凹部の深さは、下側金属シート１０の厚さの半分であることには限られない。エッチング液には、例えば、塩化第二鉄水溶液等の塩化鉄系エッチング液、または塩化銅水溶液等の塩化銅系エッチング液を用いることができる。 Next, the upper surface Ma of the metal material sheet M is half-etched. As a result, the portion of the upper surface Ma corresponding to the resist opening of the resist film is half-etched to form the lower vapor flow path recess 12, the lower flow path wall portion 13, and the lower peripheral edge wall 14. At this time, the lower liquid flow path recess 30 is formed on the upper surface 13a of the lower flow path wall portion 13. Further, the metal material sheet M is etched from the upper surface Ma and the lower surface Mb so as to have the outer contour shape as shown in FIG. 3, and a predetermined outer contour shape is obtained. As a result, the lower peripheral edge protruding portion 51 shown in FIG. 3 is formed, and the lower peripheral edge protruding portion 51 is simultaneously formed with the lower injection flow path recess 70 and the like shown in FIGS. 7 to 9. The half etching means etching for forming a recess that does not penetrate the material. Therefore, the depth of the recess formed by half-etching is not limited to half the thickness of the lower metal sheet 10. As the etching solution, for example, an iron chloride-based etching solution such as a ferric chloride aqueous solution or a copper chloride-based etching solution such as a copper chloride aqueous solution can be used.

その後、レジスト膜が除去される。このように、一度のハーフエッチング工程によって、下側蒸気流路凹部１２、下側液流路凹部３０および下側注入流路凹部７０などを形成することにより、ハーフエッチング工程の回数を削減することができ、ベーパーチャンバ１の製造コストの低減を図ることができる。しかしながら、このことに限られることはなく、第１のハーフエッチング工程として、下側蒸気流路凹部１２を形成し、その後の第２のハーフエッチング工程として、下側液流路凹部３０を形成するようにしてもよい。この場合には、下側蒸気流路凹部１２の深さｈ０と、下側液流路凹部３０の深さｈ１とを容易に異ならせることができる。下側注入流路凹部７０は、下側蒸気流路凹部１２と同時に形成してもよく、下側液流路凹部３０と同時に形成してもよく、または、下側蒸気流路凹部１２および下側液流路凹部３０と別の工程で形成するようにしてもよい。 After that, the resist film is removed. In this way, the number of half-etching steps can be reduced by forming the lower steam flow path recess 12, the lower liquid flow path recess 30, the lower injection flow path recess 70, and the like by one half-etching step. Therefore, the manufacturing cost of the vapor chamber 1 can be reduced. However, the present invention is not limited to this, and the lower vapor flow path recess 12 is formed as the first half etching step, and the lower liquid flow path recess 30 is formed as the subsequent second half etching step. You may do so. In this case, the depth h0 of the lower vapor flow path recess 12 and the depth h1 of the lower liquid flow path recess 30 can be easily made different. The lower injection flow path recess 70 may be formed at the same time as the lower steam flow path recess 12 or at the same time as the lower liquid flow path recess 30, or the lower steam flow path recess 12 and the lower side. It may be formed in a process different from that of the side liquid flow path recess 30.

このようにして、本実施の形態による下側金属シート１０が作製される。 In this way, the lower metal sheet 10 according to the present embodiment is produced.

一方、上側金属シート２０を作製する第２作製工程では、下側金属シート１０と同様にして、平板状の金属材料シートが下面２０ａからハーフエッチングされて、上側蒸気流路凹部２１、上側流路壁部２２および上側周縁壁２３が形成される。この際、図４に示すような外側輪郭形状を有するように金属材料シートＭが上面Ｍａおよび下面Ｍｂからエッチングされて、所定の外径輪郭形状が得られる。これにより、図４に示す上側周縁突出部６１が形成されるが、上側周縁突出部６１の下面６１ａは、エッチングされない。このようにして、本実施の形態による上側金属シート２０が得られる。 On the other hand, in the second manufacturing step of manufacturing the upper metal sheet 20, the flat metal material sheet is half-etched from the lower surface 20a in the same manner as the lower metal sheet 10, and the upper steam flow path recess 21 and the upper flow path are formed. The wall portion 22 and the upper peripheral wall 23 are formed. At this time, the metal material sheet M is etched from the upper surface Ma and the lower surface Mb so as to have the outer contour shape as shown in FIG. 4, and a predetermined outer diameter contour shape is obtained. As a result, the upper peripheral protrusion 61 shown in FIG. 4 is formed, but the lower surface 61a of the upper peripheral protrusion 61 is not etched. In this way, the upper metal sheet 20 according to the present embodiment is obtained.

ハーフエッチング工程の後、仮止め工程として、次に、図１４に示すように、下側蒸気流路凹部１２を有する下側金属シート１０と、上側蒸気流路凹部２１を有する上側金属シート２０とが仮止めされる。この場合、まず、下側金属シート１０の下側アライメント孔１５（図１および図３参照）と上側金属シート２０の上側アライメント孔２４（図１および図４参照）とを利用して、下側金属シート１０と上側金属シート２０とが位置決めされる。続いて、下側金属シート１０と上側金属シート２０とが固定される。固定の方法としては、特に限られることはないが、例えば、下側金属シート１０と上側金属シート２０とに対して抵抗溶接を行うことによって下側金属シート１０と上側金属シート２０とを固定してもよい。この場合、図１４に示すように、電極棒４０を用いてスポット的に抵抗溶接を行うことが好適である。抵抗溶接の代わりにレーザ溶接を行ってもよい。あるいは、超音波を照射して下側金属シート１０と上側金属シート２０とを超音波接合して固定してもよい。さらには、接着剤を用いてもよいが、有機成分を有しないか、若しくは有機成分が少ない接着剤を用いることが好適である。このようにして、下側金属シート１０と上側金属シート２０とが、位置決めされた状態で固定される。 After the half-etching step, as a temporary fixing step, then, as shown in FIG. 14, a lower metal sheet 10 having a lower steam flow path recess 12 and an upper metal sheet 20 having an upper steam flow path recess 21 Is temporarily fixed. In this case, first, the lower alignment hole 15 (see FIGS. 1 and 3) of the lower metal sheet 10 and the upper alignment hole 24 (see FIGS. 1 and 4) of the upper metal sheet 20 are used to lower the lower side. The metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are positioned. Subsequently, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are fixed. The fixing method is not particularly limited, but for example, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are fixed by resistance welding to the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20. You may. In this case, as shown in FIG. 14, it is preferable to perform spot resistance welding using the electrode rod 40. Laser welding may be performed instead of resistance welding. Alternatively, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 may be ultrasonically bonded and fixed by irradiating ultrasonic waves. Further, although an adhesive may be used, it is preferable to use an adhesive having no organic component or having a small amount of organic component. In this way, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are fixed in a positioned state.

仮止め工程の後、接合工程として、図１５に示すように、下側金属シート１０と上側金属シート２０とが、拡散接合によって恒久的に接合される。拡散接合とは、接合する下側金属シート１０と上側金属シート２０とを密着させ、真空や不活性ガス中などの制御された雰囲気中で、各金属シート１０、２０を密着させる方向に加圧するとともに加熱して、接合面に生じる原子の拡散を利用して接合する方法である。拡散接合は、下側金属シート１０および上側金属シート２０の材料を融点に近い温度まで加熱するが、融点よりは低いため、各金属シート１０、２０が溶融して変形することを回避できる。より具体的には、下側金属シート１０の下側周縁壁１４の上面１４ａと上側金属シート２０の上側周縁壁２３の下面２３ａとが、接合面となって拡散接合される。このことにより、下側周縁壁１４と上側周縁壁２３とによって、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間に密封空間３が形成される。また、下側金属シート１０の下側流路壁部１３の上面１３ａと、上側金属シート２０の上側流路壁部２２の下面２２ａとが、接合面となって拡散接合され、ベーパーチャンバ１の機械的強度が向上する。下側流路壁部１３の上面１３ａに形成された下側液流路凹部３０は、液状の作動液２の流路として残存する。さらに、下側金属シート１０の下側周縁突出部５１の上面５１ａと、上側金属シート２０の上側周縁突出部６１の下面６１ａとが、接合面となって拡散接合される。このことにより、下側周縁突出部５１と上側周縁突出部６１との間に、下側注入流路凹部７０によって構成される注入流路４が形成される。この場合、第１注入流路突出部７３の上面、第２注入流路突出部７５の上面および第３注入流路突出部８２の上面が、上側周縁突出部６１の下面６１ａに接合される。 After the temporary fixing step, as a joining step, as shown in FIG. 15, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are permanently joined by diffusion joining. Diffusion bonding means that the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 to be joined are brought into close contact with each other, and pressure is applied in a direction in which the metal sheets 10 and 20 are brought into close contact with each other in a controlled atmosphere such as in a vacuum or an inert gas. It is a method of joining by heating together and utilizing the diffusion of atoms generated on the joining surface. Diffusion bonding heats the materials of the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 to a temperature close to the melting point, but since it is lower than the melting point, it is possible to prevent the metal sheets 10 and 20 from melting and deforming. More specifically, the upper surface 14a of the lower peripheral wall 14 of the lower metal sheet 10 and the lower surface 23a of the upper peripheral wall 23 of the upper metal sheet 20 are diffusively joined as a joining surface. As a result, the lower peripheral wall 14 and the upper peripheral wall 23 form a sealing space 3 between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20. Further, the upper surface 13a of the lower flow path wall portion 13 of the lower metal sheet 10 and the lower surface 22a of the upper flow path wall portion 22 of the upper metal sheet 20 are diffusively joined as joint surfaces to form the vapor chamber 1. Mechanical strength is improved. The lower liquid flow path recess 30 formed on the upper surface 13a of the lower flow path wall portion 13 remains as a flow path for the liquid hydraulic fluid 2. Further, the upper surface 51a of the lower peripheral edge protruding portion 51 of the lower metal sheet 10 and the lower surface 61a of the upper peripheral edge protruding portion 61 of the upper metal sheet 20 are diffusively joined as a joining surface. As a result, the injection flow path 4 formed by the lower injection flow path recess 70 is formed between the lower peripheral edge protrusion 51 and the upper peripheral edge protrusion 61. In this case, the upper surface of the first injection flow path protrusion 73, the upper surface of the second injection flow path protrusion 75, and the upper surface of the third injection flow path protrusion 82 are joined to the lower surface 61a of the upper peripheral edge protrusion 61.

接合工程の後、注入工程として、図１６に示すように、下側注入流路凹部７０、すなわち注入流路４から密封空間３に作動液２が注入される。この場合、まず、密封空間３が真空引きされて減圧される。その後、注入流路４から密封空間３に作動液２が注入される。作動液２は、図７に示す注入口７８から注入される。注入された作動液２は、下側注入流路凹部７０のうち、低密度領域８１および高密度領域８０をこの順番で通過する。高密度領域８０においては、作動液２は、主として、第１方向Ｘに延びる注入溝７７（図７参照）を通過し、その後、密封空間３に達する。 After the joining step, as an injection step, as shown in FIG. 16, the working liquid 2 is injected into the sealed space 3 from the lower injection flow path recess 70, that is, the injection flow path 4. In this case, first, the sealed space 3 is evacuated and depressurized. After that, the working liquid 2 is injected from the injection flow path 4 into the sealed space 3. The working fluid 2 is injected from the injection port 78 shown in FIG. 7. The injected hydraulic fluid 2 passes through the low-density region 81 and the high-density region 80 in this order in the lower injection flow path recess 70. In the high density region 80, the working fluid 2 mainly passes through the injection groove 77 (see FIG. 7) extending in the first direction X and then reaches the sealing space 3.

注入工程の後、封止工程として、注入流路４が封止される。この場合、図１０に示すように、高密度領域８０のうち第１方向Ｘにおける一部の領域に、封止部９０が形成される。 After the injection step, the injection flow path 4 is sealed as a sealing step. In this case, as shown in FIG. 10, the sealing portion 90 is formed in a part of the high-density region 80 in the first direction X.

封止工程においては、まず、密封空間３に注入された作動液２の液量が調整される。より具体的には、ベーパーチャンバ１が全体的に加熱され、注入された作動液２を気化して、作動液２の蒸気の一部を密封空間３から排出させる。 In the sealing step, first, the amount of the working liquid 2 injected into the sealing space 3 is adjusted. More specifically, the vapor chamber 1 is heated as a whole, the injected working liquid 2 is vaporized, and a part of the vapor of the working liquid 2 is discharged from the sealed space 3.

続いて、密封空間３に残存する作動液２の液量が所定量まで低減したところで、高密度領域８０のうち第１方向Ｘにおける一部の領域に、プレス機のプレスヘッド１００（図１１参照）が配置される。この場合、プレスヘッド１００が高密度領域８０から外れないように、プレスヘッド１００は、高密度領域８０のうち第１方向Ｘにおける中央付近に配置されることが好ましい。また、プレスヘッド１００は、上側周縁突出部６１の上方に配置される。 Subsequently, when the amount of the hydraulic fluid 2 remaining in the sealed space 3 was reduced to a predetermined amount, the press head 100 of the press machine 100 (see FIG. 11) was placed in a part of the high-density region 80 in the first direction X. ) Is placed. In this case, the press head 100 is preferably arranged near the center of the high-density region 80 in the first direction X so that the press head 100 does not deviate from the high-density region 80. Further, the press head 100 is arranged above the upper peripheral protrusion 61.

次に、図１７に示すように、プレスヘッド１００が上側周縁突出部６１に当接して、下側周縁突出部５１および上側周縁突出部６１を押圧し、下側周縁突出部５１と上側周縁突出部６１とが押し潰される。この場合、ベーパーチャンバ１は、プレス台１０１（図１１参照）上で固定されている。このことにより、図１７に示すように、第１注入流路突出部７３および第２注入流路突出部７５が平面方向に広がるとともに、上側周縁突出部６１が下側注入流路凹部７０内に入り込むように変形し、下側注入流路凹部７０が塞がれる。 Next, as shown in FIG. 17, the press head 100 abuts on the upper peripheral edge protrusion 61, presses the lower peripheral edge protrusion 51 and the upper peripheral edge protrusion 61, and presses the lower peripheral edge protrusion 51 and the upper peripheral edge protrusion 51. The portion 61 is crushed. In this case, the vapor chamber 1 is fixed on the press table 101 (see FIG. 11). As a result, as shown in FIG. 17, the first injection flow path protrusion 73 and the second injection flow path protrusion 75 expand in the plane direction, and the upper peripheral edge protrusion 61 is placed in the lower injection flow path recess 70. It is deformed so as to enter, and the lower injection flow path recess 70 is closed.

ここで、比較例として、図１８に示すように、第１注入流路突出部７３および第２注入流路突出部７５が平面視で格子状に配置されている場合を想定する。この場合、注入溝７７と第１突出部間隙７４と第２突出部間隙７６とがなす十字状の交差部において、第１注入流路突出部７３および第２注入流路突出部７５のいずれからも比較的遠方に位置する遠方領域Ｆ１が形成される。ここで示す遠方領域Ｆ１は、第１注入流路突出部７３の外縁および第２注入流路突出部７５の外縁からの距離が、注入溝７７の幅ｗ２の半分の値よりも大きい領域を一例として示している。 Here, as a comparative example, as shown in FIG. 18, it is assumed that the first injection flow path protrusion 73 and the second injection flow path protrusion 75 are arranged in a grid pattern in a plan view. In this case, at the cross-shaped intersection formed by the injection groove 77, the first protrusion gap 74, and the second protrusion gap 76, from either the first injection flow path protrusion 73 or the second injection flow path protrusion 75. A distant region F1 located relatively far away is formed. An example of the distant region F1 shown here is a region in which the distances from the outer edge of the first injection flow path protrusion 73 and the outer edge of the second injection flow path protrusion 75 are larger than half the value of the width w2 of the injection groove 77. It is shown as.

一方、図１９に示すように、本実施の形態による下側注入流路凹部７０においても、図１８と同様にして遠方領域Ｆ２を示す。しかしながら、図１９に示す遠方領域Ｆ２は、図１８に示す遠方領域Ｆ２よりも小さくなっている。このことは、第１注入流路突出部７３および第２注入流路突出部７５のいずれもから遠い領域を削減することを意味する。このことにより、下側周縁突出部５１および上側周縁突出部６１を押し潰した場合に、下側注入流路凹部７０のうち封止部９０が形成された部分に、潰し残りとなる空隙が形成されることを抑制できる。このため、封止部９０による注入流路４の封止性を高めることができる。 On the other hand, as shown in FIG. 19, the lower injection flow path recess 70 according to the present embodiment also shows the distant region F2 in the same manner as in FIG. However, the distant region F2 shown in FIG. 19 is smaller than the distant region F2 shown in FIG. This means that the region far from both the first injection flow path protrusion 73 and the second injection flow path protrusion 75 is reduced. As a result, when the lower peripheral edge protruding portion 51 and the upper peripheral edge protruding portion 61 are crushed, a gap that remains crushed is formed in the portion of the lower injection flow path recess 70 where the sealing portion 90 is formed. It can be suppressed. Therefore, the sealing performance of the injection flow path 4 by the sealing portion 90 can be improved.

以上のようにして、本実施の形態によるベーパーチャンバ１が得られる。 As described above, the vapor chamber 1 according to the present embodiment is obtained.

次に、ベーパーチャンバ１の作動方法、すなわち、デバイスＤの冷却方法について説明する。 Next, a method of operating the vapor chamber 1, that is, a method of cooling the device D will be described.

上述のようにして得られたベーパーチャンバ１は、モバイル端末等のハウジング内に設置されるとともに、下側金属シート１０の下面１０ｂに、被冷却対象物であるＣＰＵ等のデバイスＤが取り付けられる。密封空間３内に注入された作動液２の量は少ないため、密封空間３内の液状の作動液２は、その表面張力によって、密封空間３の壁面、すなわち、下側蒸気流路凹部１２の壁面、上側蒸気流路凹部２１の壁面に付着する。 The vapor chamber 1 obtained as described above is installed in a housing of a mobile terminal or the like, and a device D such as a CPU, which is an object to be cooled, is attached to the lower surface 10b of the lower metal sheet 10. Since the amount of the hydraulic fluid 2 injected into the sealed space 3 is small, the liquid hydraulic fluid 2 in the sealed space 3 is subjected to the surface tension of the wall surface of the sealed space 3, that is, the lower vapor flow path recess 12. It adheres to the wall surface and the wall surface of the upper steam flow path recess 21.

この状態でデバイスＤが発熱すると、下側蒸気流路凹部１２のうち蒸発部１１に存在する作動液２が、デバイスＤから熱を受ける。受けた熱は潜熱として吸収されて作動液２が蒸発（気化）し、作動液２の蒸気が生成される。生成された蒸気の多くは、密封空間３を構成する下側蒸気流路凹部１２内および上側蒸気流路凹部２１内に拡散する（図３の実線矢印および図４の実線矢印参照）。上側蒸気流路凹部２１内および下側蒸気流路凹部１２内の蒸気は、蒸発部１１から離れ、蒸気の多くは、比較的温度の低い周縁部に輸送される。周縁部に拡散した蒸気は、周縁部において放熱して冷却される。周縁部において下側金属シート１０および上側金属シート２０が蒸気から受けた熱は、ハウジング部材Ｈ（図２参照）を介して外気に伝達される。 When the device D generates heat in this state, the hydraulic fluid 2 existing in the evaporation portion 11 of the lower vapor flow path recess 12 receives heat from the device D. The received heat is absorbed as latent heat, the working liquid 2 evaporates (vaporizes), and the vapor of the working liquid 2 is generated. Most of the generated steam diffuses into the lower steam flow path recess 12 and the upper steam flow path recess 21 constituting the sealed space 3 (see the solid line arrow in FIG. 3 and the solid line arrow in FIG. 4). The steam in the upper steam flow path recess 21 and the lower steam flow path recess 12 is separated from the evaporation portion 11, and most of the steam is transported to the peripheral portion where the temperature is relatively low. The vapor diffused in the peripheral portion dissipates heat in the peripheral portion and is cooled. The heat received from the steam by the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 at the peripheral edge portion is transferred to the outside air via the housing member H (see FIG. 2).

蒸気は、周縁部に放熱することにより、蒸発部１１において吸収した潜熱を失って凝縮する。液状になった作動液２の多くは、下側蒸気流路凹部１２の壁面または上側蒸気流路凹部２１の壁面に付着して、下側液流路凹部３０に達する。ここで、蒸発部１１では作動液２が蒸発し続けているため、下側液流路凹部３０のうち蒸発部１１以外の部分における作動液２は、蒸発部１１に向かって毛細管作用により輸送される（図３の破線矢印参照）。このことにより、下側蒸気流路凹部１２の壁面および上側蒸気流路凹部２１の壁面に付着した液状の作動液２は、下側液流路凹部３０が下側蒸気流路凹部１２または上側蒸気流路凹部２１に向けて開放されている下側液流路凹部３０の長手方向の両端部に向かって移動し、当該両端部から下側液流路凹部３０内に入り込む。このことにより、下側液流路凹部３０に、液状の作動液２が充填され、充填された作動液２は、下側液流路凹部３０の毛細管作用により、蒸発部１１に向かう推進力を得て、蒸発部１１に向かってスムースに輸送される。 By radiating heat to the peripheral portion, the steam loses the latent heat absorbed in the evaporation portion 11 and condenses. Most of the liquid hydraulic fluid 2 adheres to the wall surface of the lower vapor flow path recess 12 or the wall surface of the upper vapor flow path recess 21 and reaches the lower liquid flow path recess 30. Here, since the hydraulic fluid 2 continues to evaporate in the evaporation section 11, the hydraulic fluid 2 in the lower liquid flow path recess 30 other than the evaporation section 11 is transported toward the evaporation section 11 by capillary action. (See the dashed arrow in FIG. 3). As a result, in the liquid working liquid 2 adhering to the wall surface of the lower steam flow path recess 12 and the wall surface of the upper steam flow path recess 21, the lower liquid flow path recess 30 is the lower steam flow path recess 12 or the upper vapor. It moves toward both ends in the longitudinal direction of the lower liquid flow path recess 30 that is open toward the flow path recess 21, and enters the lower liquid flow path recess 30 from both ends. As a result, the lower liquid flow path recess 30 is filled with the liquid hydraulic fluid 2, and the filled hydraulic fluid 2 exerts a propulsive force toward the evaporation portion 11 by the capillary action of the lower liquid flow path recess 30. Then, it is smoothly transported toward the evaporation unit 11.

蒸発部１１に達した作動液２は、デバイスＤから再び熱を受けて蒸発する。このようにして、作動液２が、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながらベーパーチャンバ１内を還流してデバイスＤの熱を移動させて放出する。この結果、デバイスＤが冷却される。 The working liquid 2 that has reached the evaporation unit 11 receives heat again from the device D and evaporates. In this way, the working fluid 2 recirculates in the vapor chamber 1 while repeating phase change, that is, evaporation and condensation, and transfers and releases the heat of the device D. As a result, the device D is cooled.

このように本実施の形態によれば、互いに隣り合う第１突出部列７１および第２突出部列７２のうち第１突出部列７１の第１突出部間隙７４に、第２突出部列７２の第２注入流路突出部７５が、第２方向Ｙから見たときに重なっている。また、第２突出部列７２の第２突出部間隙７６に、第１突出部列７１の第１注入流路突出部７３が、第２方向Ｙから見たときに重なっている。このことにより、注入溝７７において、第１注入流路突出部７３および第２注入流路突出部７５のいずれからも遠い領域を削減することができる。このため、下側周縁突出部５１および上側周縁突出部６１を押し潰して封止部９０を形成した場合、注入溝７７内に潰し残りとなる空隙が形成されることを抑制できる。この結果、作動液２の注入流路４の封止性を向上させることができる。 As described above, according to the present embodiment, the second protruding portion row 72 is formed in the first protruding portion gap 74 of the first protruding portion row 71 among the first protruding portion row 71 and the second protruding portion row 72 adjacent to each other. The second injection flow path protrusion 75 of the above overlaps when viewed from the second direction Y. Further, the first injection flow path protrusion 73 of the first protrusion row 71 overlaps the second protrusion gap 76 of the second protrusion row 72 when viewed from the second direction Y. As a result, in the injection groove 77, the region far from both the first injection flow path protrusion 73 and the second injection flow path protrusion 75 can be reduced. Therefore, when the lower peripheral edge protruding portion 51 and the upper peripheral edge protruding portion 61 are crushed to form the sealing portion 90, it is possible to prevent the formation of voids that remain crushed in the injection groove 77. As a result, the sealing property of the injection flow path 4 of the working liquid 2 can be improved.

また、本実施の形態によれば、注入流路４を封止する封止部９０が、下側周縁突出部５１および上側周縁突出部６１を押し潰すことにより形成されている。このことにより、密封空間３内に注入された作動液２の蒸発や大気の流入を防止し、封止部９０を容易に形成することができる。ここで、ろう付け、はんだ付け、溶接などで注入流路４を封止することも考えられるが、この場合には、封止時に熱が発生し、下側金属シート１０および上側金属シート２０の温度が上昇する。このことにより、密封空間３内に注入された作動液２が蒸発し、密封空間３内の作動液２の注入量が低減するという問題が生じ得る。これに対して、本実施の形態によれば、上述したように下側周縁突出部５１および上側周縁突出部６１を押し潰すことで注入流路４を封止しているため、金属シート１０、２０の温度が上昇することを防止できる。このため、作動液２の蒸発を防止することができる。 Further, according to the present embodiment, the sealing portion 90 for sealing the injection flow path 4 is formed by crushing the lower peripheral edge protruding portion 51 and the upper peripheral edge protruding portion 61. This prevents evaporation of the working liquid 2 injected into the sealing space 3 and inflow of air, and the sealing portion 90 can be easily formed. Here, it is conceivable to seal the injection flow path 4 by brazing, soldering, welding, etc., but in this case, heat is generated at the time of sealing, and the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are sealed. The temperature rises. This may cause a problem that the working liquid 2 injected into the sealed space 3 evaporates and the injection amount of the working liquid 2 in the sealed space 3 is reduced. On the other hand, according to the present embodiment, since the injection flow path 4 is sealed by crushing the lower peripheral edge protruding portion 51 and the upper peripheral edge protruding portion 61 as described above, the metal sheet 10 It is possible to prevent the temperature of 20 from rising. Therefore, it is possible to prevent the working liquid 2 from evaporating.

また、本実施の形態によれば、下側注入流路凹部７０の注入溝７７が、互いに隣り合う第１突出部列７１と第２突出部列７２との間で第１方向Ｘに延びている。このことにより、作動液２の注入抵抗を抑制することができ、作動液２を密封空間３にスムースに注入することができる。 Further, according to the present embodiment, the injection groove 77 of the lower injection flow path recess 70 extends in the first direction X between the first protruding portion row 71 and the second protruding portion row 72 adjacent to each other. There is. As a result, the injection resistance of the working liquid 2 can be suppressed, and the working liquid 2 can be smoothly injected into the sealed space 3.

また、本実施の形態によれば、上側金属シート２０の上側周縁突出部６１の厚さが、下側金属シート１０の下面１０ｂと下側注入流路凹部７０の底面７０ａとの間の厚さよりも大きくなっている。このことにより、プレス機のプレスヘッド１００が当接する上側周縁突出部６１の厚さを厚くすることができる。このため、押し潰された後の上側周縁突出部６１が破断することを防止できる。とりわけ、本実施の形態によれば、上側周縁突出部６１の厚さが、注入溝７７の深さよりも大きくなっているため、上側周縁突出部６１の厚さをより一層厚くすることができ、押し潰された後の上側周縁突出部６１が破断することをより一層防止できる。 Further, according to the present embodiment, the thickness of the upper peripheral edge protruding portion 61 of the upper metal sheet 20 is larger than the thickness between the lower surface 10b of the lower metal sheet 10 and the bottom surface 70a of the lower injection flow path recess 70. Is also getting bigger. As a result, the thickness of the upper peripheral edge protruding portion 61 with which the press head 100 of the press machine comes into contact can be increased. Therefore, it is possible to prevent the upper peripheral protrusion 61 from breaking after being crushed. In particular, according to the present embodiment, since the thickness of the upper peripheral protrusion 61 is larger than the depth of the injection groove 77, the thickness of the upper peripheral protrusion 61 can be further increased. It is possible to further prevent the upper peripheral protrusion 61 from breaking after being crushed.

また、本実施の形態によれば、上側金属シート２０の上側周縁突出部６１の下面６１ａが、平坦状に形成されている。このことにより、プレスヘッド１００が当接する上側周縁突出部６１に凹部が形成されないため、上側周縁突出部６１の厚さを容易に確保することができる。このため、押し潰された後の上側周縁突出部６１が破断することを防止できる。 Further, according to the present embodiment, the lower surface 61a of the upper peripheral edge protruding portion 61 of the upper metal sheet 20 is formed in a flat shape. As a result, since no recess is formed in the upper peripheral edge protruding portion 61 with which the press head 100 abuts, the thickness of the upper peripheral edge protruding portion 61 can be easily secured. Therefore, it is possible to prevent the upper peripheral protrusion 61 from breaking after being crushed.

さらに、本実施の形態によれば、封止部９０が、高密度領域８０のうち第１方向Ｘにおける一部の領域に形成されている。この場合、高密度領域８０を、プレス機のプレスヘッド１００よりも大きい寸法で形成することができ、プレスヘッド１００が位置ずれした場合であっても、高密度領域８０にプレスヘッド１００を押し潰させることができる。このため、高密度領域８０に封止部９０を形成することができ、作動液２の注入流路４の封止性を向上させることができる。 Further, according to the present embodiment, the sealing portion 90 is formed in a part of the high-density region 80 in the first direction X. In this case, the high-density region 80 can be formed with a size larger than that of the press head 100 of the press machine, and even when the press head 100 is displaced, the press head 100 is crushed into the high-density region 80. Can be made to. Therefore, the sealing portion 90 can be formed in the high-density region 80, and the sealing property of the injection flow path 4 of the working liquid 2 can be improved.

なお、上述した本実施の形態においては、互いに隣り合う第１突出部列７１と第２突出部列７２との間に設けられた注入溝７７が、第１方向Ｘに直線状に延びている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、注入溝７７は、第１方向Ｘに直線状に延びていなくてもよい。例えば、図２０に示すように、第１方向Ｘから見たときに、第１突出部列７１の第１注入流路突出部７３の一部と、この第１突出部列７１に隣り合う第２突出部列７２の第２注入流路突出部７５の一部が、互いに重なっていてもよい。このことにより、第１注入流路突出部７３の一部が、第２突出部間隙７６に入り込み、第２注入流路突出部７５の一部が、第１突出部間隙７４に入り込むようになり、注入溝７７は、第１突出部間隙７４および第２突出部間隙７６と一体化されながら、平面視で波形に形成される。この場合、注入溝７７において、第１注入流路突出部７３および第２注入流路突出部７５のいずれからも遠い領域をより一層削減することができる。このため、下側周縁突出部５１および上側周縁突出部６１を押し潰して封止部９０を形成した場合、注入溝７７内に潰し残りとなる空隙が形成されることをより一層抑制でき、作動液２の注入流路４の封止性をより一層向上させることができる。なお、図２０に示す変形例においても、第１突出部列７１の第１突出部間隙７４に、この第１突出部列７１に隣り合う第２突出部列７２の第２注入流路突出部７５が、第２方向Ｙから見たときに重なっているとともに、第２突出部列７２の第２突出部間隙７６に、第１突出部列７１の第１注入流路突出部７３が、第２方向Ｙから見たときに重なっている。また、図２０に示すように注入流路突出部７３、７５を配置するためには、注入流路突出部７３、７５は、円形の平面形状を有していることが好適である。 In the present embodiment described above, the injection groove 77 provided between the first protruding portion row 71 and the second protruding portion row 72 adjacent to each other extends linearly in the first direction X. An example has been described. However, the present invention is not limited to this, and the injection groove 77 does not have to extend linearly in the first direction X. For example, as shown in FIG. 20, when viewed from the first direction X, a part of the first injection flow path protrusion 73 of the first protrusion row 71 and a second adjacent to the first protrusion row 71. Part of the second injection flow path protrusion 75 of the two protrusion rows 72 may overlap each other. As a result, a part of the first injection flow path protrusion 73 enters the second protrusion gap 76, and a part of the second injection flow path protrusion 75 enters the first protrusion gap 74. The injection groove 77 is formed into a corrugated shape in a plan view while being integrated with the first protrusion gap 74 and the second protrusion gap 76. In this case, in the injection groove 77, the region far from both the first injection flow path protrusion 73 and the second injection flow path protrusion 75 can be further reduced. Therefore, when the lower peripheral edge protruding portion 51 and the upper peripheral edge protruding portion 61 are crushed to form the sealing portion 90, it is possible to further suppress the formation of voids remaining crushed in the injection groove 77, and the operation can be performed. The sealing property of the injection flow path 4 of the liquid 2 can be further improved. Also in the modified example shown in FIG. 20, the second injection flow path protruding portion of the second protruding portion row 72 adjacent to the first protruding portion row 71 in the first protruding portion gap 74 of the first protruding portion row 71. The 75s overlap when viewed from the second direction Y, and the first injection flow path protrusion 73 of the first protrusion row 71 is located in the second protrusion gap 76 of the second protrusion row 72. They overlap when viewed from two directions Y. Further, in order to arrange the injection flow path protrusions 73 and 75 as shown in FIG. 20, it is preferable that the injection flow path protrusions 73 and 75 have a circular planar shape.

図２０に示す変形例において、注入流路突出部７３、７５の直径φは、互いに隣り合う注入流路突出部７３、７５同士のＹ方向における間隔ｄ２より大きくてもよい。この場合、注入流路４を塞ぐための注入流路突出部７３、７５の体積を増やすことができ、注入流路４の封止性を向上させることができる。しかしながら、この直径φは、間隔ｄ２より大きくなくてもよい。また、間隔ｄ２は、図５に示す下側流路壁部１３の幅ｗ０よりも小さくなっているが、図６に示す下側液流路凹部３０の幅ｗ１より大きくなっていてもよい。これは、注入時の作動液２を、毛細管作用ではなく、注入のために作動液２が受けた圧力によって注入溝７７を流すからである。しかしながら、間隔ｄ２は、毛細管作用が発揮される程度の寸法であってもよい。このような注入流路突出部７３、７５の直径φは、例えば、５０μｍ〜３００μｍであり、間隔ｄ２は、５０μｍ〜３００μｍである。 In the modified example shown in FIG. 20, the diameter φ of the injection flow path protrusions 73 and 75 may be larger than the distance d2 between the injection flow path protrusions 73 and 75 adjacent to each other in the Y direction. In this case, the volume of the injection flow path protrusions 73 and 75 for closing the injection flow path 4 can be increased, and the sealing property of the injection flow path 4 can be improved. However, this diameter φ does not have to be larger than the interval d2. Further, the interval d2 is smaller than the width w0 of the lower flow path wall portion 13 shown in FIG. 5, but may be larger than the width w1 of the lower liquid flow path recess 30 shown in FIG. This is because the hydraulic fluid 2 at the time of injection flows through the injection groove 77 not by the capillary action but by the pressure received by the hydraulic fluid 2 for injection. However, the interval d2 may be such that the capillary action is exerted. The diameter φ of such injection flow path protrusions 73, 75 is, for example, 50 μm to 300 μm, and the interval d2 is 50 μm to 300 μm.

また、上述した本実施の形態においては、上側金属シート２０の下面２０ａに、上側蒸気流路凹部２１が設けられている例について説明した。しかしながら、上側蒸気流路凹部２１は、設けられていなくてもよい。この場合、上側金属シート２０の下面２０ａは、全体的に平坦状に形成され、下側蒸気流路凹部１２を覆うようになる。 Further, in the above-described embodiment, an example in which the upper steam flow path recess 21 is provided on the lower surface 20a of the upper metal sheet 20 has been described. However, the upper steam flow path recess 21 may not be provided. In this case, the lower surface 20a of the upper metal sheet 20 is formed to be flat as a whole and covers the lower steam flow path recess 12.

本発明は上記実施の形態および変形例そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施の形態および変形例に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。実施の形態および変形例に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。また、上記各実施の形態および変形例では、上側金属シート２０をベーパーチャンバ用金属シートとし、下側金属シート１０の構成と上側金属シート２０の構成とを入れ替えてもよい。 The present invention is not limited to the above-described embodiment and modification as it is, and at the implementation stage, the components can be modified and embodied within a range that does not deviate from the gist thereof. In addition, various inventions can be formed by appropriately combining the plurality of components disclosed in the above-described embodiments and modifications. Some components may be removed from all the components shown in the embodiments and modifications. Further, in each of the above-described embodiments and modifications, the upper metal sheet 20 may be used as the vapor chamber metal sheet, and the structure of the lower metal sheet 10 and the structure of the upper metal sheet 20 may be interchanged.

１ ベーパーチャンバ
２ 作動液
３ 密封空間
１０ 下側金属シート
１２ 下側蒸気流路凹部
１２ａ 底面
２０ 上側金属シート
２１ 上側蒸気流路凹部
２１ａ 天井面
５０ 下側シート本体
５１ 下側周縁突出部
５１ａ 上面
６０ 上側シート本体
６１ 上側周縁突出部
６１ａ 下面
７０ 下側注入流路凹部
７０ａ 底面
７１ 第１突出部列
７２ 第２突出部列
７３ 第１注入流路突出部
７４ 第１突出部間隙
７５ 第２注入流路突出部
７６ 第２突出部間隙
７７ 注入溝
８２ 第３注入流路突出部
９０ 封止部 1 Vapor chamber 2 Working fluid 3 Sealed space 10 Lower metal sheet 12 Lower steam flow path recess 12a Bottom 20 Upper metal sheet 21 Upper steam flow path recess 21a Ceiling surface 50 Lower sheet body 51 Lower peripheral protrusion 51a Upper surface 60 Upper sheet body 61 Upper peripheral protrusion 61a Lower surface 70 Lower injection flow path recess 70a Bottom surface 71 First protrusion row 72 Second protrusion row 73 First injection flow path protrusion 74 First protrusion gap 75 Second injection flow Road protrusion 76 Second protrusion gap 77 Injection groove 82 Third injection flow path protrusion 90 Sealing portion

Claims (9)

第１面と、前記第１面の反対側に設けられた第２面と、を有し、作動液が封入された密封空間を有するベーパーチャンバのためのベーパーチャンバ用金属シートであって、
第１シート本体と、
前記第１シート本体の前記第１面に設けられ、前記密封空間を構成する空間凹部と、
平面視において前記第１シート本体の周縁から外側に突出する第１周縁突出部と、
前記第１周縁突出部の前記第１面に設けられた注入流路凹部であって、前記空間凹部に連通し、前記密封空間に前記作動液を注入するための注入流路凹部と、
前記注入流路凹部の底面から突出するとともに、突出部間隙を介して第１方向に配列された複数の注入流路突出部をそれぞれ含む複数の突出部列と、を備え、
前記注入流路突出部は、円形、楕円形または矩形の平面形状を有し、
前記第１方向に直交するとともに前記第１面に沿った第２方向から見たときに、互いに隣り合う一対の前記突出部列のうちの一方の前記突出部列の前記突出部間隙に、他方の前記突出部列の前記注入流路突出部が重なっている、ベーパーチャンバ用金属シート。 A metal sheet for a vapor chamber for a vapor chamber having a first surface and a second surface provided on the opposite side of the first surface and having a sealed space in which a working fluid is sealed.
1st sheet body and
A space recess provided on the first surface of the first sheet body and forming the sealed space, and
A first peripheral edge protruding portion protruding outward from the peripheral edge of the first sheet body in a plan view,
An injection flow path recess provided on the first surface of the first peripheral edge protrusion, which communicates with the space recess and injects the working liquid into the sealed space.
A plurality of protrusion rows including a plurality of injection flow path protrusions arranged in the first direction through the protrusion gaps as well as protruding from the bottom surface of the injection flow path recess are provided.
The injection flow path protrusion has a circular, elliptical or rectangular planar shape, and has a planar shape.
When viewed from a second direction orthogonal to the first direction and along the first surface, in the protrusion gap of one of the pair of protrusion rows adjacent to each other, the other. A metal sheet for a vapor chamber in which the injection flow path protrusions of the protrusion row of the above overlap. 前記注入流路凹部は、互いに隣り合う一対の前記突出部列の間に設けられた、前記第１方向に延びる注入溝を含んでいる、請求項１に記載のベーパーチャンバ用金属シート。 The metal sheet for a vapor chamber according to claim 1, wherein the injection flow path recess includes an injection groove extending in the first direction provided between a pair of protrusion rows adjacent to each other. 前記第１方向から見たときに、互いに隣り合う一対の前記突出部列のうちの一方の前記突出部列の前記注入流路突出部の一部と、他方の前記突出部列の前記注入流路突出部の一部が、互いに重なっている、請求項１に記載のベーパーチャンバ用金属シート。 When viewed from the first direction, a part of the injection flow path protrusion of one of the protrusion rows of the pair of protrusion rows adjacent to each other and the injection flow of the other protrusion row. The metal sheet for a vapor chamber according to claim 1, wherein a part of the road protrusion overlaps with each other. 請求項１〜３のいずれか一項に記載の前記ベーパーチャンバ用金属シートと、
前記ベーパーチャンバ用金属シートの前記第１面に接合され、前記ベーパーチャンバ用金属シートとの間に前記密封空間を形成する第２の金属シートと、を備え、
前記第２の金属シートは、第２シート本体と、平面視において前記第２シート本体の周縁から外側に突出する第２周縁突出部と、を有し、
前記第１周縁突出部と前記第２周縁突出部とは、互いに重なり合わされ、
前記注入流路凹部のうち前記突出部列が設けられた領域に、前記第１周縁突出部および前記第２周縁突出部を押し潰して前記注入流路凹部を封止する封止部が設けられている、ベーパーチャンバ。 The metal sheet for the vapor chamber according to any one of claims 1 to 3 and the metal sheet for the vapor chamber.
A second metal sheet, which is joined to the first surface of the vapor chamber metal sheet and forms the sealing space between the vapor chamber metal sheet and the vapor chamber metal sheet, is provided.
The second metal sheet has a second sheet main body and a second peripheral edge protruding portion protruding outward from the peripheral edge of the second sheet main body in a plan view.
The first peripheral edge protrusion and the second peripheral edge protrusion are overlapped with each other.
In the region of the injection flow path recess where the protrusion row is provided, a sealing portion is provided to crush the first peripheral edge protrusion and the second peripheral edge protrusion to seal the injection flow path recess. The vapor chamber. 前記第２周縁突出部の厚さは、前記ベーパーチャンバ用金属シートの前記第２面と前記注入流路凹部の前記底面との間の厚さよりも大きい、請求項４に記載のベーパーチャンバ。 The vapor chamber according to claim 4, wherein the thickness of the second peripheral edge protrusion is larger than the thickness between the second surface of the metal sheet for the vapor chamber and the bottom surface of the injection flow path recess. 前記第２周縁突出部の厚さは、前記注入流路凹部の深さよりも大きい、請求項４または５に記載のベーパーチャンバ。 The vapor chamber according to claim 4 or 5, wherein the thickness of the second peripheral edge protrusion is larger than the depth of the injection flow path recess. 前記第２周縁突出部の前記第１周縁突出部の側の面は、平坦状に形成されている、請求項４〜６のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ。 The vapor chamber according to any one of claims 4 to 6, wherein the surface of the second peripheral edge protrusion on the side of the first peripheral edge protrusion is formed flat. 前記封止部は、前記突出部列が設けられた領域のうち前記第１方向における一部の領域に形成されている、請求項４〜７のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ。 The vapor chamber according to any one of claims 4 to 7, wherein the sealing portion is formed in a part of the region provided with the protruding portion row in the first direction. 請求項１〜３のいずれか一項に記載の前記ベーパーチャンバ用金属シートを作製する第１作製工程と、
第２シート本体と、平面視において前記第２シート本体の周縁から外側に突出する第２周縁突出部と、を有する第２の金属シートを作製する第２作製工程と、
前記ベーパーチャンバ用金属シートと前記第２の金属シートとを接合する接合工程であって、前記ベーパーチャンバ用金属シートと前記第２の金属シートとの間に前記密封空間を形成するとともに、前記第１周縁突出部と前記第２周縁突出部とを互いに重なり合わせる、接合工程と、
前記注入流路凹部から前記密封空間に前記作動液を注入する注入工程と、
前記注入流路凹部のうち前記突出部列が設けられた領域に、前記第１周縁突出部および前記第２周縁突出部を押し潰して前記注入流路凹部を封止する封止部を形成する封止工程と、を備えた、ベーパーチャンバの製造方法。 The first manufacturing step for manufacturing the metal sheet for the vapor chamber according to any one of claims 1 to 3.
A second manufacturing step of manufacturing a second metal sheet having a second sheet main body and a second peripheral edge protruding portion protruding outward from the peripheral edge of the second sheet main body in a plan view.
In the joining step of joining the vapor chamber metal sheet and the second metal sheet, the sealing space is formed between the vapor chamber metal sheet and the second metal sheet, and the first metal sheet is formed. A joining process in which one peripheral protrusion and the second peripheral protrusion are overlapped with each other.
An injection step of injecting the working fluid from the injection flow path recess into the sealed space,
A sealing portion for sealing the injection flow path recess is formed by crushing the first peripheral edge protrusion and the second peripheral edge protrusion in the region of the injection flow path recess where the protrusion row is provided. A method for manufacturing a vapor chamber, comprising a sealing step.
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