JP6912695B2 - Composite resin composition and cured composite resin - Google Patents

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Description

本発明は、複合樹脂組成物及び複合樹脂硬化物に関する。 The present invention relates to a composite resin composition and a cured composite resin.

近年、電子機器の高機能化・多様化に伴い、液晶等の表示素子にタッチパネル・タッチセンサ機能を付与した表示装置が急速に普及している。これらの装置内には、接触した位置を正確に認識させるため、絶縁膜や保護膜等の機能層が設けられている。機能層には、透明性や耐光性、耐熱性、基材やその他隣接層への密着性の他、設計の自由度を確保するために成形性や柔軟性といった特性が必要であり、要求特性は年々高まってきている。さらに、この機能層自身にパターニング処理を施す必要がある場合もあり、現像液等に対して良好なパターニング性を示す材料が求められている。また、機能層を形成した後にITO等を用いて透明電極をパターニング形成することもあるため、ITOパターン形成に必要な薬液(レジスト現像液、ITOエッチング液、レジスト剥離液等)に曝されても膜べりしない耐性(耐薬品性)を備えることが好ましい場合もある。さらには、ITOパターンを形成した際、屈折率差が生じてパターンが見えやすくなり、表示画面の視認性が低下するといった不都合が生じるため、機能層は高屈折率な材料とすることが求められている。 In recent years, with the increasing functionality and diversification of electronic devices, display devices in which display elements such as liquid crystals are provided with touch panel / touch sensor functions have rapidly become widespread. In these devices, functional layers such as an insulating film and a protective film are provided in order to accurately recognize the contact position. The functional layer must have characteristics such as transparency, light resistance, heat resistance, adhesion to the base material and other adjacent layers, as well as moldability and flexibility to ensure design freedom. Is increasing year by year. Further, it may be necessary to perform a patterning process on the functional layer itself, and a material exhibiting good patterning property with respect to a developing solution or the like is required. Further, since the transparent electrode may be patterned and formed using ITO or the like after the functional layer is formed, even if it is exposed to a chemical solution (resist developer, ITO etching solution, resist stripping solution, etc.) necessary for forming an ITO pattern. In some cases, it is preferable to have resistance to prevent film slippage (chemical resistance). Further, when the ITO pattern is formed, a difference in refractive index is generated, the pattern becomes easy to see, and the visibility of the display screen is lowered. Therefore, the functional layer is required to be made of a material having a high refractive index. ing.

これらの要求特性に応えるべく、有機材料と無機材料とを複合化した複合樹脂組成物からなる硬化物を機能層に使用することが提案されている。例えば、特許文献1のように、ナノサイズの無機微粒子を均一分散した分散系材料の検討が進んでおり、有機材料に無機微粒子を数十ナノオーダーで微分散させ、均一で且つ安定な分散系を構築するために、分散剤や表面処理剤を配合系に多量に添加した複合樹脂組成物が知られている。 In order to meet these required characteristics, it has been proposed to use a cured product composed of a composite resin composition in which an organic material and an inorganic material are composited as a functional layer. For example, as in Patent Document 1, a dispersion system material in which nano-sized inorganic fine particles are uniformly dispersed is being studied, and an inorganic fine particle is finely dispersed in an organic material on the order of several tens of nano particles to provide a uniform and stable dispersion system. A composite resin composition in which a large amount of a dispersant or a surface treatment agent is added to a compounding system is known in order to construct the above.

しかしながら、分散剤や表面処理剤を多量に配合すると、粒子を均一に分散させることができるものの、分散剤や表面処理剤自体の耐光性や耐熱性の問題から、得られる複合樹脂硬化物の耐光性や耐熱性を低下させてしまうことがある。また、分散剤や表面処理剤と他の配合成分との相溶性が悪い場合には、得られる複合樹脂硬化物が白濁し、透明性が確保できない場合もある。さらには、多量に存在する分散剤や表面処理剤が屈折率の低下を招くことから、表示画面の視認性が低下するといった問題も生じる。 However, when a large amount of dispersant or surface treatment agent is blended, the particles can be uniformly dispersed, but due to the problems of light resistance and heat resistance of the dispersant and surface treatment agent itself, the light resistance of the cured composite resin obtained is obtained. It may reduce the property and heat resistance. Further, when the compatibility between the dispersant or surface treatment agent and other compounding components is poor, the obtained cured composite resin may become cloudy and transparency may not be ensured. Further, since the dispersant and the surface treatment agent present in a large amount cause a decrease in the refractive index, there is a problem that the visibility of the display screen is deteriorated.

一方、特許文献2には、分散剤及び/又は表面処理剤を全く含有せず、高い屈折率を有する複合樹脂組成物が提案されている。しかしながら、特許文献2に記載の複合樹脂組成物から得られた硬化物は、ITO等で電極パターンを形成する際に膜べりする場合があり、耐薬品性が不充分であるといった問題があった。 On the other hand, Patent Document 2 proposes a composite resin composition which does not contain a dispersant and / or a surface treatment agent at all and has a high refractive index. However, the cured product obtained from the composite resin composition described in Patent Document 2 may have a film stickiness when forming an electrode pattern with ITO or the like, and has a problem of insufficient chemical resistance. ..

特開2011−116943号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2011-116943 国際公開第2015/087946号International Publication No. 2015/087946

本発明は、無機微粒子の分散安定性、均一性に優れる複合樹脂組成物であって、光学特性(高屈折率)、現像性、耐薬品性に優れる複合樹脂硬化物を与える複合樹脂組成物を提供することを目的とする。 The present invention provides a composite resin composition having excellent dispersion stability and uniformity of inorganic fine particles, which provides a cured composite resin having excellent optical properties (high refractive index), developability, and chemical resistance. The purpose is to provide.

本発明者は、鋭意検討の結果、特許文献2に記載の複合樹脂組成物にエポキシ基を1つ以上有する化合物を配合することにより、得られる複合樹脂硬化物の耐薬品性が向上することを見出し、本発明を完成した。 As a result of diligent studies, the present inventor has found that the chemical resistance of the obtained cured composite resin is improved by blending the compound having one or more epoxy groups with the composite resin composition described in Patent Document 2. The heading, the present invention was completed.

即ち、本発明の複合樹脂組成物は、
無機微粒子、
溶剤、
インデン、テトラリン、フルオレン、キサンテン、アントラセン、及び、ベンズアントラセンからなる群より選択される少なくとも1種に由来する縮環構造を有する縮環構造含有樹脂、並びに、
エポキシ基を1つ以上有する化合物を含み、
無機微粒子の分散後の平均粒子径は10〜70nmであることを特徴とする。
That is, the composite resin composition of the present invention is
Inorganic particles,
solvent,
A condensed ring structure-containing resin having a condensed ring structure derived from at least one selected from the group consisting of inden, tetralin, fluorene, xanthene, anthracene, and benzanthracene, and
Contains compounds with one or more epoxy groups
The average particle size of the inorganic fine particles after dispersion is 10 to 70 nm.

本発明の複合樹脂組成物は、さらに、分散剤及び/又は表面処理剤を含み、
分散剤及び表面処理剤の合計含有量は、無機微粒子100重量部に対して、有効成分重量で5重量部以下であることが好ましい。
The composite resin composition of the present invention further contains a dispersant and / or a surface treatment agent.
The total content of the dispersant and the surface treatment agent is preferably 5 parts by weight or less in terms of the weight of the active ingredient with respect to 100 parts by weight of the inorganic fine particles.

本発明の複合樹脂組成物において、無機微粒子が、酸化ジルコニウム、酸化チタン及びチタン酸バリウムからなる群より選択される少なくとも1種であることが好ましい。 In the composite resin composition of the present invention, the inorganic fine particles are preferably at least one selected from the group consisting of zirconium oxide, titanium oxide and barium titanate.

本発明の複合樹脂組成物において、縮環構造含有樹脂が、フルオレンに由来する縮環構造、及び、(メタ)アクリロイル基を有することが好ましい。 In the composite resin composition of the present invention, it is preferable that the condensed ring structure-containing resin has a condensed ring structure derived from fluorene and a (meth) acryloyl group.

本発明の複合樹脂組成物において、エポキシ基を1つ以上有する化合物の水溶率が0〜70重量%であることが好ましい。 In the composite resin composition of the present invention, the water content of the compound having one or more epoxy groups is preferably 0 to 70% by weight.

本発明の複合樹脂組成物において、エポキシ基を1つ以上有する化合物のエポキシ当量が100〜1000g/eqであり、かつ、エポキシ基を1つ以上有する化合物の含有量が全固形分中0.1〜45重量%であることが好ましい。 In the composite resin composition of the present invention, the epoxy equivalent of the compound having one or more epoxy groups is 100 to 1000 g / eq, and the content of the compound having one or more epoxy groups is 0.1 in the total solid content. It is preferably ~ 45% by weight.

本発明の複合樹脂組成物は、さらに、脂肪族多官能アクリレートを含むことが好ましい。 The composite resin composition of the present invention preferably further contains an aliphatic polyfunctional acrylate.

本発明の複合樹脂組成物において、無機微粒子の含有量が、全固形分中30〜80重量%であることが好ましい。 In the composite resin composition of the present invention, the content of the inorganic fine particles is preferably 30 to 80% by weight based on the total solid content.

本発明の複合樹脂硬化物は、本発明の複合樹脂組成物を熱硬化及び光硬化させたことを特徴とする。 The cured composite resin of the present invention is characterized by thermosetting and photocuring the composite resin composition of the present invention.

本発明の複合樹脂硬化物は、薄膜又は成形体であることが好ましい。 The cured composite resin product of the present invention is preferably a thin film or a molded product.

本発明の光学フィルムは、本発明の複合樹脂硬化物を備えたことを特徴とする。 The optical film of the present invention is characterized by comprising the cured composite resin of the present invention.

本発明の表示素子は、本発明の複合樹脂硬化物を備えたことを特徴とする。 The display element of the present invention is characterized by comprising the cured composite resin of the present invention.

本発明の複合樹脂組成物は、エポキシ基を1つ以上有する化合物を含有するため、無機微粒子の分散安定性、均一性に優れ、光学特性(高屈折率)、現像性、耐薬品性に優れる複合樹脂硬化物を与えることができる。 Since the composite resin composition of the present invention contains a compound having one or more epoxy groups, it is excellent in dispersion stability and uniformity of inorganic fine particles, and is excellent in optical properties (high refractive index), developability, and chemical resistance. A cured composite resin can be given.

<<複合樹脂組成物>>
本発明の複合樹脂組成物は、
無機微粒子、
溶剤、
インデン、テトラリン、フルオレン、キサンテン、アントラセン、及び、ベンズアントラセンからなる群より選択される少なくとも1種に由来する縮環構造を有する縮環構造含有樹脂、並びに、
エポキシ基を1つ以上有する化合物を含み、
無機微粒子の分散後の平均粒子径は10〜70nmであることを特徴とする。
<< Composite resin composition >>
The composite resin composition of the present invention
Inorganic particles,
solvent,
A condensed ring structure-containing resin having a condensed ring structure derived from at least one selected from the group consisting of inden, tetralin, fluorene, xanthene, anthracene, and benzanthracene, and
Contains compounds with one or more epoxy groups
The average particle size of the inorganic fine particles after dispersion is 10 to 70 nm.

<無機微粒子>
無機微粒子としては、特に限定されないが、例えば、金属酸化物微粒子、窒化物、2種以上の金属元素から構成される複合酸化物、金属酸化物に異種の元素がドープされた化合物等が挙げられる。
<Inorganic fine particles>
The inorganic fine particles are not particularly limited, and examples thereof include metal oxide fine particles, nitrides, composite oxides composed of two or more kinds of metal elements, and compounds in which metal oxides are doped with different elements. ..

金属酸化物微粒子としては、特に限定されないが、例えば、酸化ジルコニウム(ZrO)、酸化チタン(TiO)、酸化ケイ素(SiO)、酸化アルミニウム(Al)、酸化鉄(Fe、FeO、Fe)、酸化銅(CuO、CuO)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化イットリウム(Y)、酸化ニオブ(Nb)、酸化モリブデン(MoO)、酸化インジウム(In、InO)、酸化スズ(SnO)、酸化タンタル(Ta)、酸化タングステン(WO、W)、酸化鉛(PbO、PbO)、酸化ビスマス(Bi)、酸化セリウム(CeO、Ce)、酸化アンチモン(Sb、Sb)、酸化ゲルマニウム(GeO、GeO)等が挙げられる。 The metal oxide fine particles are not particularly limited, but are, for example, zirconium oxide (ZrO 2 ), titanium oxide (TiO 2 ), silicon oxide (SiO 2 ), aluminum oxide (Al 2 O 3 ), iron oxide (Fe 2 O). 3 , FeO, Fe 3 O 4 ), copper oxide (CuO, Cu 2 O), zinc oxide (ZnO), yttrium oxide (Y 2 O 3 ), niobium oxide (Nb 2 O 5 ), molybdenum oxide (MoO 3 ) , Indium oxide (In 2 O 3 , In 2 O), tin oxide (SnO 2 ), tantalum oxide (Ta 2 O 5 ), tungsten oxide (WO 3 , W 2 O 5 ), lead oxide (PbO, PbO 2 ) , Bismus oxide (Bi 2 O 3 ), cerium oxide (CeO 2 , Ce 2 O 3 ), antimony oxide (Sb 2 O 5 , Sb 2 O 5 ), germanium oxide (GeO 2 , GeO) and the like.

金属酸化物微粒子は、予め、各種の溶媒中に分散させたものを使用しても良い。溶媒としては、特に限定されないが、例えば、メタノール、エタノール、2−プロパノール、ブタノール等のアルコール類、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、γ−ブチロラクトン等のエステル類、ジエチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル(メチルセロソルブ)、エチレングリコールモノエチルエーテル(エチルセロソルブ)、エチレングリコールモノブチルエーテル(ブチルセロソルブ)、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル等のエーテル類、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、アセチルアセトン、シクロヘキサノン等のケトン類、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素類、ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン等のアミド類等が挙げられる。これらの溶媒は、単独で用いても良いし、2種以上を併用しても良い。溶媒と金属酸化物微粒子との配合割合は、特に限定されないが、30:70〜90:10が好ましい。 As the metal oxide fine particles, those dispersed in various solvents in advance may be used. The solvent is not particularly limited, and is, for example, alcohols such as methanol, ethanol, 2-propanol and butanol, esters such as ethyl acetate, butyl acetate, ethyl lactate, propylene glycol monomethyl ether acetate and γ-butyrolactone, and diethyl ether. , Ethylene glycol monomethyl ether (methyl cellosolve), ethylene glycol monoethyl ether (ethyl cellosolve), ethylene glycol monobutyl ether (butyl cellosolve), diethylene glycol monomethyl ether, ethers such as diethylene glycol monoethyl ether, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, acetyl acetone. , Ketones such as cyclohexanone, aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene and ethylbenzene, and amides such as dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide and N-methylpyrrolidone. These solvents may be used alone or in combination of two or more. The mixing ratio of the solvent and the metal oxide fine particles is not particularly limited, but is preferably 30:70 to 90:10.

窒化物としては、特に限定されないが、例えば、窒化珪素、窒化ホウ素等が挙げられる。 The nitride is not particularly limited, and examples thereof include silicon nitride and boron nitride.

2種以上の金属元素から構成される複合酸化物としては、特に限定されないが、例えば、チタン酸バリウム等のチタン酸塩、チタン/ケイ素複合酸化物、イットリウム安定化ジルコニア等が挙げられる。このような複合酸化物は、多成分の元素からなる化合物や固溶体だけではなく、核となる金属酸化物微粒子の周囲を他の金属元素で構成される金属酸化物で被覆したコアシェル構造を有するもの、1個の金属酸化物微粒子の中に他の複数の金属酸化物微粒子が分散しているような多成分分散型の構造を有するものを包含する。 The composite oxide composed of two or more kinds of metal elements is not particularly limited, and examples thereof include titanates such as barium titanate, titanium / silicon composite oxides, and yttria-stabilized zirconia. Such a composite oxide has a core-shell structure in which not only a compound or a solid solution composed of a multi-component element but also a metal oxide composed of other metal elements is used to surround the core metal oxide fine particles. It includes one having a multi-component dispersion type structure in which a plurality of other metal oxide fine particles are dispersed in one metal oxide fine particle.

金属酸化物に異種の元素がドープされた化合物としては、特に限定されないが、例えば、タンタルドープ酸化チタンや、ニオブドープ酸化チタン等が挙げられる。 The compound in which a metal oxide is doped with a different element is not particularly limited, and examples thereof include tantalum-doped titanium oxide and niob-doped titanium oxide.

これらの無機微粒子は、単独で用いても良いし、2種以上を併用しても良い。また、無機微粒子の製法も特に限定されない。無機微粒子は、入手の容易さ、屈折率等の光学特性の調整が容易であることからは、酸化ジルコニウム、酸化チタン及びチタン酸バリウムからなる群より選択される少なくとも1種であることが好ましい。 These inorganic fine particles may be used alone or in combination of two or more. Further, the method for producing the inorganic fine particles is not particularly limited. The inorganic fine particles are preferably at least one selected from the group consisting of zirconium oxide, titanium oxide and barium titanate because they are easily available and their optical properties such as refractive index can be easily adjusted.

無機微粒子の一次粒子径は、特に限定されないが、1〜70nmが好ましく、1〜50nmがより好ましい。1nm未満であると、無機微粒子の比表面積が大きく、凝集エネルギーが高いため、分散安定性を保つことが困難となることがある。一方、70nmを超えると、薄膜や成形体中の無機微粒子による光の散乱が激しくなり、透明性を高く維持できないことがある。なお、一次粒子径は、動的光散乱法、レーザー回折法、超遠心沈降法等の装置で測定することができる。 The primary particle size of the inorganic fine particles is not particularly limited, but is preferably 1 to 70 nm, more preferably 1 to 50 nm. If it is less than 1 nm, the specific surface area of the inorganic fine particles is large and the aggregation energy is high, so that it may be difficult to maintain dispersion stability. On the other hand, if it exceeds 70 nm, light is scattered violently by the inorganic fine particles in the thin film or the molded product, and high transparency may not be maintained. The primary particle size can be measured by a device such as a dynamic light scattering method, a laser diffraction method, or an ultracentrifugation method.

無機微粒子の分散後の平均粒子径、すなわち本発明の複合樹脂組成物中における平均粒子径は、10〜70nmである限り特に限定されないが、10〜50nmが好ましい。10nm未満とするには、一次粒子径の小さい粒子を用いる必要があるため、分散が困難となることがある。一方、70nmを超えると、薄膜、成形体等の硬化物にした際に、白濁することがある。 The average particle size after dispersion of the inorganic fine particles, that is, the average particle size in the composite resin composition of the present invention is not particularly limited as long as it is 10 to 70 nm, but is preferably 10 to 50 nm. In order to make it less than 10 nm, it is necessary to use particles having a small primary particle diameter, which may make dispersion difficult. On the other hand, if it exceeds 70 nm, it may become cloudy when it is made into a cured product such as a thin film or a molded product.

本発明の複合樹脂組成物においては、無機微粒子を多量に配合することができる。例えば、後述する縮環構造含有樹脂100重量部に対して、通常では配合が困難であるような200重量部以上、さらには500重量部以上であっても配合することが可能である。無機微粒子の含有量は、特に限定されないが、縮環構造含有樹脂100重量部に対して0.1〜5000重量部が好ましく、1〜2000重量部がより好ましく、5〜1000重量部がさらに好ましい。含有量が0.1重量部未満であると無機微粒子の特性が十分に発揮されず、5000重量部を超えると製膜性が低下する。 In the composite resin composition of the present invention, a large amount of inorganic fine particles can be blended. For example, it can be blended with respect to 100 parts by weight of the condensed ring structure-containing resin, which will be described later, even if it is 200 parts by weight or more, or even 500 parts by weight or more, which is usually difficult to mix. The content of the inorganic fine particles is not particularly limited, but is preferably 0.1 to 5000 parts by weight, more preferably 1 to 2000 parts by weight, still more preferably 5 to 1000 parts by weight, based on 100 parts by weight of the condensed ring structure-containing resin. .. If the content is less than 0.1 parts by weight, the characteristics of the inorganic fine particles are not sufficiently exhibited, and if it exceeds 5000 parts by weight, the film forming property is deteriorated.

本発明の複合樹脂組成物において、無機微粒子の含有量は、特に限定されないが、全固形分中30〜80重量%であることが好ましく、45〜75重量%であることがより好ましい。無機微粒子の含有量が全固形分中30重量%未満であると、表示画面の視認性が悪くなることがあり、80重量%を超えると、製膜性が低下することがある。 In the composite resin composition of the present invention, the content of the inorganic fine particles is not particularly limited, but is preferably 30 to 80% by weight, more preferably 45 to 75% by weight, based on the total solid content. If the content of the inorganic fine particles is less than 30% by weight in the total solid content, the visibility of the display screen may be deteriorated, and if it exceeds 80% by weight, the film forming property may be deteriorated.

<溶剤>
溶剤としては、特に限定されないが、例えば、メタノール、エタノール等のアルコール類;テトラヒドロフラン等のエーテル類;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールメチルエチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル等のエチレングリコールエーテル類;メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート等のエチレングリコールアルキルエーテルアセテート類;ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル等のジエチレングリコールジアルキルエーテル類;ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル等のジエチレングリコールモノアルキルエーテル類;プロピレングリコールモノメチルエーテル等のプロピレングリコールモノアルキルエーテル類;プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、3−メトキシブチル−1−アセテート等のアルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類;トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;メチルエチルケトン、メチルアミルケトン、シクロヘキサノン、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン等のケトン類;2−ヒドロキシプロピオン酸エチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、2−ヒドロキシ−2−メチルブタン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、コハク酸ジメチル、コハク酸ジエチル、アジピン酸ジエチル、マロン酸ジエチル、シュウ酸ジブチル等のエステル類等が挙げられる。これらの中では、エチレングリコールエーテル類、アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、ジエチレングリコールジアルキルエーテル類、ケトン類及びエステル類が好ましく、3−エトキシプロピオン酸エチル、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート及びメチルアミルケトンがより好ましい。これらの溶剤は、単独で用いても良いし、2種以上を併用しても良い。
<Solvent>
The solvent is not particularly limited, but for example, alcohols such as methanol and ethanol; ethers such as tetrahydrofuran; ethylene glycol ethers such as ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol methyl ethyl ether and ethylene glycol monoethyl ether. Classes; ethylene glycol alkyl ether acetates such as methyl cellosolve acetate and ethyl cellosolve acetate; diethylene glycol dialkyl ethers such as diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol dibutyl ether and diethylene glycol ethyl methyl ether; diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether and diethylene glycol. Diethylene glycol monoalkyl ethers such as monobutyl ether; propylene glycol monoalkyl ethers such as propylene glycol monomethyl ether; propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol mono Alkylene glycol monoalkyl ether acetates such as ethyl ether acetate, diethylene glycol monobutyl ether acetate, 3-methoxybutyl-1-acetate; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; methyl ethyl ketone, methyl amyl ketone, cyclohexanone, 4-hydroxy- Ketones such as 4-methyl-2-pentanone; ethyl 2-hydroxypropionate, methyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, ethyl ethoxyacetate, ethyl hydroxyacetate, 2 -Methyl hydroxy-2-methylbutanoate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl acetate, butyl acetate, methyl lactate, ethyl lactate, succinate Examples thereof include esters such as dimethyl acid acid, diethyl succinate, diethyl adipate, diethyl malonate, and dibutyl oxalate. Among these, ethylene glycol ethers, alkylene glycol monoalkyl ether acetates, diethylene glycol dialkyl ethers, ketones and esters are preferable, and ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl lactate, propylene glycol monomethyl ether acetate and diethylene glycol monoethyl are preferable. Ether acetate and methyl amyl ketone are more preferred. These solvents may be used alone or in combination of two or more.

本発明の複合樹脂組成物において、無機微粒子に対する溶剤の含有量は、特に限定されないが、無機微粒子100重量部に対して50〜2000重量部であることが好ましく、80〜2000重量部であることがより好ましい。溶剤の含有量が無機微粒子100重量部に対して50重量部未満であると、無機微粒子の分散安定性が低下することがあり、2000重量部を超えると、厚膜化が困難となることがある。 In the composite resin composition of the present invention, the content of the solvent with respect to the inorganic fine particles is not particularly limited, but is preferably 50 to 2000 parts by weight, preferably 80 to 2000 parts by weight, based on 100 parts by weight of the inorganic fine particles. Is more preferable. If the content of the solvent is less than 50 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the inorganic fine particles, the dispersion stability of the inorganic fine particles may decrease, and if it exceeds 2000 parts by weight, it may be difficult to thicken the film. be.

<縮環構造含有樹脂>
インデン、テトラリン、フルオレン、キサンテン、アントラセン、及び、ベンズアントラセンからなる群より選択される少なくとも1種に由来する縮環構造を有する縮環構造含有樹脂としては、エポキシエステル樹脂(E)、多価カルボン酸樹脂(G)等を用いることができる。
エポキシエステル樹脂(E)は、下記一般式(1)で表されるエポキシ樹脂(A)と単塩基性カルボン酸(B)とを反応させることにより、又は、下記一般式(10)で表されるアルコール化合物(C)とグリシジルエステル化合物(D)とを反応させることにより、得ることができる。エポキシエステル樹脂(E)としては、分散性や耐熱性に優れることから、キサンテン又はフルオレンに由来する縮環構造を有するものが好ましい。
<Resin containing condensed ring structure>
Epoxy ester resin (E) and polyvalent carboxylic acid are examples of the condensed ring structure-containing resin having a condensed ring structure derived from at least one selected from the group consisting of inden, tetraline, fluorene, xanthene, anthracene, and benzanthracene. Acid resin (G) or the like can be used.
The epoxy ester resin (E) is represented by reacting the epoxy resin (A) represented by the following general formula (1) with the monobasic carboxylic acid (B), or by the following general formula (10). It can be obtained by reacting the alcohol compound (C) with the glycidyl ester compound (D). The epoxy ester resin (E) is preferably one having a condensed ring structure derived from xanthene or fluorene because it is excellent in dispersibility and heat resistance.

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一般式(1)中、Y1〜4は、各々独立して下記一般式(2)又は下記一般式(3)で表される基であり、p1〜4は、各々独立して0から4の整数である。 In the general formula (1), Y 1 to 4 are groups independently represented by the following general formula (2) or the following general formula (3), and p 1 to 4 are independently from 0. It is an integer of 4.

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一般式(2)中、Y5〜6は、各々独立して一般式(2)又は下記一般式(3)で表される基であり、p5〜6は、各々独立して0から4の整数である。一般式(1)においてY1〜4が一般式(2)で表される基であり、かつ、一般式(2)においてY5〜6が一般式(2)で表される基である場合、一般式(1)におけるY1〜4は、一般式(2)で表される基を構成単位とするオリゴマーを形成している。 In the general formula (2), Y 5 to 6 are groups represented by the general formula (2) or the following general formula (3) independently, and p 5 to 6 are independently 0 to 4 respectively. Is an integer of. When Y 1 to 4 are the groups represented by the general formula (2) in the general formula (1), and Y 5 to 6 are the groups represented by the general formula (2) in the general formula (2). , Y1 to 4 in the general formula (1) form an oligomer having a group represented by the general formula (2) as a constituent unit.

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一般式(1)、(2)中、Zは、下記式(4)〜(9)に示すような、インデン、テトラリン、フルオレン、キサンテン、アントラセン、及び、ベンズアントラセンからなる群より選択される少なくとも1種に由来する縮環構造を含む二価基であり、R1〜6は、各々独立して、炭素数1から10の直鎖状、分岐状若しくは環状のアルキル基若しくはアルケニル基、炭素数1から5のアルコキシ基、置換基を有していてもよいフェニル基、又は、ハロゲン原子であり、q1〜6は、各々独立して0から4の整数であり、s1〜2は、各々独立して0から10の整数である。また、一般式(1)〜(3)中、R7〜14は、各々独立して水素原子又はメチル基であり、m1〜8は、各々独立して0から10の整数である。ここで、複数個のR1〜14、Y1〜6は同一でも良いし、異なっていても良い。また、一般式(1)は、構造式が左右対称であっても、非対称であっても良い。 In the general formulas (1) and (2), Z is at least selected from the group consisting of inden, tetraline, fluorene, xanthene, anthracene, and benzanthracen as shown in the following formulas (4) to (9). It is a divalent group containing a fused ring structure derived from one kind, and R 1 to 6 are independently linear, branched or cyclic alkyl or alkenyl groups having 1 to 10 carbon atoms, and carbon atoms. It is an alkoxy group of 1 to 5, a phenyl group which may have a substituent, or a halogen atom, q 1 to 6 are each independently an integer of 0 to 4, and s 1 to 2 are Each is an integer from 0 to 10 independently. Further, in the general formulas (1) to (3), R 7 to 14 are independently hydrogen atoms or methyl groups, and m 1 to 8 are independently integers from 0 to 10. Here, a plurality of R 1 to 14 and Y 1 to 6 may be the same or different. Further, in the general formula (1), the structural formula may be symmetrical or asymmetrical.

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一般式(10)中、Zは前記と同じであり、R15〜16は、各々独立して炭素数1から10の直鎖状、分岐状若しくは環状のアルキル基若しくはアルケニル基、炭素数1から5のアルコキシ基、置換基を有していてもよいフェニル基、又は、ハロゲン原子であり、f1〜2は、各々独立して0から4の整数であり、R17〜18は、各々独立して水素原子又はメチル基であり、m9〜10は、各々独立して0から10の整数であり、r1〜2は、各々独立して1から5までの整数である。ここで、複数個のR15〜18は同一でも良いし、異なっていても良い。また、一般式(10)は、構造式が左右対称であっても、非対称であっても良い。 In the general formula (10), Z is the same as described above, and R15 to 16 are independently linear, branched or cyclic alkyl or alkenyl groups having 1 to 10 carbon atoms, and have 1 to 10 carbon atoms. It is an alkoxy group of 5, a phenyl group which may have a substituent, or a halogen atom, f 1 to 2 are each independently an integer of 0 to 4, and R 17 to 18 are independent of each other. Therefore, m 9 to 10 are independently integers from 0 to 10, and r 1 to 2 are independently integers from 1 to 5. Here, the plurality of Rs 15 to 18 may be the same or different. Further, in the general formula (10), the structural formula may be symmetrical or asymmetrical.

単塩基性カルボン酸(B)としては、カルボキシル基を1つ有する化合物であれば特に限定されず、例えば、(メタ)アクリル酸、シクロプロパンカルボン酸、2,2,3,3−テトラメチル−1−シクロプロパンカルボン酸、シクロペンタンカルボン酸、2−シクロペンテニルカルボン酸、2−フランカルボン酸、2−テトラヒドロフランカルボン酸、シクロヘキサンカルボン酸、4−プロピルシクロヘキサンカルボン酸、4−ブチルシクロヘキサンカルボン酸、4−ペンチルシクロヘキサンカルボン酸、4−ヘキシルシクロヘキサンカルボン酸、4−へプチルシクロヘキサンカルボン酸、4−シアノシクロヘキサン−1−カルボン酸、4−ヒドロキシシクロヘキサンカルボン酸、1,3,4,5−テトラヒドロキシシクロヘキサン−1−カルボン酸、2−(1,2−ジヒドロキシ−4−メチルシクロヘキシル)プロピオン酸、シキミ酸、3−ヒドロキシ−3,3−ジフェニルプロピオン酸、3−(2−オキソシクロヘキシル)プロピオン酸、3−シクロヘキセン−1−カルボン酸、4−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸水素アルキル、シクロヘプタンカルボン酸、ノルボルネンカルボン酸、テトラシクロドデセンカルボン酸、1−アダマンタンカルボン酸、(4−トリシクロ[5.2.1.02.6]デカ−4−イル)酢酸、p−メチル安息香酸、p−エチル安息香酸、p−オクチル安息香酸、p−デシル安息香酸、p−ドデシル安息香酸、p−メトキシ安息香酸、p−エトキシ安息香酸、p−プロポキシ安息香酸、p−ブトキシ安息香酸、p−ペンチルオキシ安息香酸、p−ヘキシルオキシ安息香酸、p−フルオロ安息香酸、p−クロロ安息香酸、p−クロロメチル安息香酸、ペンタフルオロ安息香酸、ペンタクロロ安息香酸、4−アセトキシ安息香酸、2,6−ジヒドロキシ安息香酸、3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシ安息香酸、o−ベンゾイル安息香酸、o−ニトロ安息香酸、o−(アセトキシベンゾイルオキシ)安息香酸、テレフタル酸モノメチルエステル、イソフタル酸モノメチルエステル、イソフタル酸モノシクロヘキシルエステル、フェノキシ酢酸、クロロフェノキシ酢酸、フェニルチオ酢酸、フェニル酢酸、2−オキソ−3−フェニルプロピオン酸、o−ブロモフェニル酢酸、o−ヨードフェニル酢酸、メトキシフェニル酢酸、6−フェニルヘキサン酸、ビフェニルカルボン酸、α−ナフトエ酸、β−ナフトエ酸、アントラセンカルボン酸、フェナントレンカルボン酸、アントラキノン−2−カルボン酸、インダンカルボン酸、1,4−ジオキソ−1,4−ジヒドロナフタレン−2−カルボン酸、3,3−ジフェニルプロピオン酸、ニコチン酸、イソニコチン酸、ケイ皮酸、3−メトキシケイ皮酸、4−メトキシケイ皮酸、キノリンカルボン酸等が挙げられる。これらは単独で用いても良く、2種以上を併用しても良い。特に好適な単塩基性カルボン酸(B)としては、放射線重合性官能基を導入できる不飽和基を含有するものが良く、例えば、(メタ)アクリル酸が好ましい。ここで、放射線重合性官能基とは、各種の放射線により重合反応を起こす性質を有する官能基をいう。「放射線」とは、可視光線、紫外線、遠紫外線、X線、電子線、分子線、γ線、シンクロトロン放射線、プロトンビーム線等を包含する。 The monobasic carboxylic acid (B) is not particularly limited as long as it is a compound having one carboxyl group, and for example, (meth) carboxylic acid, cyclopropanecarboxylic acid, 2,2,3,3-tetramethyl-. 1-Cyclopropanecarboxylic acid, cyclopentanecarboxylic acid, 2-cyclopentenylcarboxylic acid, 2-furancarboxylic acid, 2-tetracarboxylic acid, cyclohexanecarboxylic acid, 4-propylcyclohexanecarboxylic acid, 4-butylcyclohexanecarboxylic acid, 4 -Pentylcyclohexanecarboxylic acid, 4-hexylcyclohexanecarboxylic acid, 4-heptylcyclohexanecarboxylic acid, 4-cyanocyclohexane-1-carboxylic acid, 4-hydroxycyclohexanecarboxylic acid, 1,3,4,5-tetrahydroxycyclohexane- 1-Carboxylic acid, 2- (1,2-dihydroxy-4-methylcyclohexyl) propionic acid, shikimic acid, 3-hydroxy-3,3-diphenylpropionic acid, 3- (2-oxocyclohexyl) propionic acid, 3- Cyclohexene-1-carboxylic acid, 4-cyclohexene-1,2-dicarboxylic acid hydrogen alkyl, cycloheptanecarboxylic acid, norbornenecarboxylic acid, tetracyclododecenecarboxylic acid, 1-adamantancarboxylic acid, (4-tricyclo [5.2] .1.0 2.6 ] Carboxylic acid, p-methylbenzoic acid, p-ethyl benzoic acid, p-octyl benzoic acid, p-decyl benzoic acid, p-dodecyl benzoic acid, p-methoxy benzoic acid Acids, p-ethoxybenzoic acid, p-propoxybenzoic acid, p-butoxybenzoic acid, p-pentyloxybenzoic acid, p-hexyloxybenzoic acid, p-fluorobenzoic acid, p-chlorobenzoic acid, p-chloromethyl Benzoic acid, pentafluorobenzoic acid, pentachlorobenzoic acid, 4-acetoxybenzoic acid, 2,6-dihydroxybenzoic acid, 3,5-di-t-butyl-4-hydroxybenzoic acid, o-benzoylbenzoic acid, o- Nitrobenzoic acid, o- (acetoxybenzoyloxy) benzoic acid, terephthalic acid monomethyl ester, isophthalic acid monomethyl ester, isophthalic acid monocyclohexyl ester, phenoxyacetic acid, chlorophenoxyacetic acid, phenylthioacetic acid, phenylacetic acid, 2-oxo-3-phenylpropi Onic acid, o-bromophenylacetic acid, o-iodophenylacetic acid, methoxyphenylacetic acid, 6-phenylhexanoic acid, biphenylcarboxylic acid, α -Naftoeic acid, β-naphthoic acid, anthracenecarboxylic acid, phenanthrenecarboxylic acid, anthraquinone-2-carboxylic acid, indancarboxylic acid, 1,4-dioxo-1,4-dihydronaphthalene-2-carboxylic acid, 3,3- Examples thereof include diphenylpropionic acid, nicotinic acid, isonicotinic acid, silicic acid, 3-methoxysilicic acid, 4-methoxycineric acid, quinolinecarboxylic acid and the like. These may be used alone or in combination of two or more. As a particularly suitable monobasic carboxylic acid (B), one containing an unsaturated group capable of introducing a radiopolymerizable functional group is preferable, and for example, (meth) acrylic acid is preferable. Here, the radiopolymerizable functional group refers to a functional group having a property of causing a polymerization reaction by various types of radiation. "Radiation" includes visible light, ultraviolet rays, far ultraviolet rays, X-rays, electron beams, molecular beams, γ-rays, synchrotron radiation, proton beam rays and the like.

グリシジルエステル化合物(D)としては、特に限定されないが、例えば、(メタ)アクリル酸グリシジル、酢酸グリシジル、酪酸グリシジル、安息香酸グリシジル、p−エチル安息香酸グリシジル、(テレ)フタル酸グリシジル等が挙げられる。これらは単独で用いても良く、2種以上を併用しても良い。これらの中では、単塩基性カルボン酸グリシジルが特に好適であり、中でも放射線重合性官能基を導入できる不飽和基を含有するものが良く、例えば、(メタ)アクリル酸グリシジルが好ましい。 The glycidyl ester compound (D) is not particularly limited, and examples thereof include glycidyl (meth) acrylate, glycidyl acetate, glycidyl butyrate, glycidyl benzoate, glycidyl p-ethylbenzoate, and glycidyl (tere) phthalate. .. These may be used alone or in combination of two or more. Among these, glycidyl monobasic carboxylate is particularly preferable, and among these, those containing an unsaturated group capable of introducing a radiopolymerizable functional group are preferable, and for example, glycidyl (meth) acrylate is preferable.

一般式(1)で表されるエポキシ樹脂(A)と単塩基性カルボン酸(B)との反応、及び、一般式(10)で表されるアルコール化合物(C)とグリシジルエステル化合物(D)との反応は、いずれも必要に応じて適切な溶媒を用いて、50〜120℃の温度範囲において5〜30時間行なわれる。溶媒としては、例えば、メチルセロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、3−メトキシブチル−1−アセテート等のアルキレンモノアルキルエーテルアセテート類;ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル等のアルキレンモノアルキルエーテル類;メチルエチルケトン、メチルアミルケトン等のケトン類;コハク酸ジメチル、コハク酸ジエチル、アジピン酸ジエチル、マロン酸ジエチル、シュウ酸ジブチル等のエステル類等が挙げられる。これらの中では、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及び3−メトキシブチル−1−アセテートが好ましい。さらに、必要に応じて触媒及び重合禁止剤を用いることが出来る。触媒としては、例えば、ホスホニウム塩類、第4級アンモニウム塩類、ホスフィン化合物類、第3級アミン化合物類、イミダゾール化合物類等が挙げられ、その配合量は、特に限定されないが、反応物全体の0.01〜10重量%であることが好ましい。また、重合禁止剤としては、例えば、ハイドロキノン、メチルハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、4−メチルキノリン、フェノチアジン、2,6−ジイソブチルフェノール、2,6−ジ−tert−ブチル−4−メチルフェノール等が挙げられ、その配合量は、通常、反応物全体の5重量%以下である。 The reaction between the epoxy resin (A) represented by the general formula (1) and the monobasic carboxylic acid (B), and the alcohol compound (C) and the glycidyl ester compound (D) represented by the general formula (10). The reaction with is carried out in a temperature range of 50 to 120 ° C. for 5 to 30 hours, using an appropriate solvent as needed. Examples of the solvent include alkylenes such as methyl cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monobutyl ether acetate, and 3-methoxybutyl-1-acetate. Monoalkyl ether acetates; alkylene monoalkyl ethers such as diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol dibutyl ether; ketones such as methyl ethyl ketone and methyl amyl ketone; dimethyl succinate, diethyl succinate, diethyl adipate, malonic acid Examples thereof include esters such as diethyl and dibutyl oxalate. Among these, propylene glycol monomethyl ether acetate and 3-methoxybutyl-1-acetate are preferable. Further, a catalyst and a polymerization inhibitor can be used if necessary. Examples of the catalyst include phosphonium salts, quaternary ammonium salts, phosphine compounds, tertiary amine compounds, imidazole compounds and the like, and the blending amount thereof is not particularly limited, but 0. It is preferably 01 to 10% by weight. Examples of the polymerization inhibitor include hydroquinone, methylhydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, 4-methylquinoline, phenothiazine, 2,6-diisobutylphenol, 2,6-di-tert-butyl-4-methylphenol and the like. The blending amount thereof is usually 5% by weight or less of the total reaction product.

多価カルボン酸樹脂(G)は、エポキシエステル樹脂(E)と、多塩基性カルボン酸又はその無水物(F)とを反応させることにより、得ることができる。 The polyvalent carboxylic acid resin (G) can be obtained by reacting the epoxy ester resin (E) with the polybasic carboxylic acid or its anhydride (F).

多塩基性カルボン酸又はその無水物(F)としては、ジカルボン酸、テトラカルボン酸等の複数のカルボキシル基を有するカルボン酸又はその無水物であれば特に限定されず、例えば、マレイン酸、コハク酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、メチルヘキサヒドロフタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、クロレンド酸、メチルテトラヒドロフタル酸、グルタル酸等のジカルボン酸又はその無水物;トリメリット酸又はその無水物;ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、ビフェニルテトラカルボン酸、ジフェニルエーテルテトラカルボン酸等のテトラカルボン酸又はその二無水物等が挙げられる。 The polybasic carboxylic acid or its anhydride (F) is not particularly limited as long as it is a carboxylic acid having a plurality of carboxyl groups such as dicarboxylic acid and tetracarboxylic acid or an anhydride thereof, and for example, maleic acid and succinic acid. , Itaconic acid, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, methylhexahydrophthalic acid, methylendomethylenetetrahydrophthalic acid, chlorendic acid, methyltetrahydrophthalic acid, glutaric acid and other dicarboxylic acids or anhydrides thereof; Trimerit Acids or anhydrides thereof; tetracarboxylic acids such as pyromellitic acid, benzophenone tetracarboxylic acid, biphenyltetracarboxylic acid, diphenyl ether tetracarboxylic acid and the like, and dianhydrides thereof and the like can be mentioned.

多価カルボン酸樹脂(G)としては、例えば、下記一般式(11)又は下記一般式(12)で表される樹脂が挙げられる。 Examples of the polyvalent carboxylic acid resin (G) include resins represented by the following general formula (11) or the following general formula (12).

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一般式(11)、(12)中、Zは、インデン、テトラリン、フルオレン、キサンテン、アントラセン、及び、ベンズアントラセンからなる群より選択される少なくとも1種に由来する縮環構造を含む二価基であり、A、Aはテトラカルボン酸二無水物の残基、A、Aはジカルボン酸無水物の残基である。また、u、uは平均値であり、0から130である。 In the general formulas (11) and (12), Z is a divalent group containing a fused ring structure derived from at least one selected from the group consisting of inden, tetralin, fluorene, xanthene, anthracene, and benzanthracene. Yes, A 1 and A 3 are residues of tetracarboxylic dianhydride, and A 2 and A 4 are residues of dicarboxylic acid anhydride. Further, u and u 2 are average values, which are 0 to 130.

一般式(11)、(12)において、Zは、キサンテン又はフルオレンに由来する縮環構造を含む二価基であることが好ましい。多価カルボン酸樹脂(G)の屈折率が高く、無機微粒子との屈折率差を小さくできる点で有利なためである。 In the general formulas (11) and (12), Z is preferably a divalent group containing a fused ring structure derived from xanthene or fluorene. This is because the polyvalent carboxylic acid resin (G) has a high refractive index and is advantageous in that the difference in refractive index from the inorganic fine particles can be reduced.

多価カルボン酸樹脂(G)は、エポキシエステル樹脂(E)と多塩基性カルボン酸又はその無水物(F)とを反応させることにより得られる。この反応において、得られる樹脂の耐熱性や耐熱黄変性を向上させるために多価アルコール類を共存させることも出来る。 The polyvalent carboxylic acid resin (G) is obtained by reacting the epoxy ester resin (E) with the polybasic carboxylic acid or its anhydride (F). In this reaction, polyhydric alcohols can coexist in order to improve the heat resistance and heat-resistant yellowing of the obtained resin.

多価アルコール類としては、特に限定されないが、例えば、エチレングリコール、ジエチレングリコール、1,2−プロパンジオール、1,3−プロパンジオール、ジプロピレングリコール、1,3−ブタンジオール、1,4−ブタンジオール、ネオペンチルグリコール、2−メチル−1,3−プロパンジオール、3−メチル−1,5−ペンタンジオール、1,6−ヘキサンジオール、1,6−ノナンジオール、1,9−ノナンジオール等の脂肪族ジオール、1,4−シクロヘキサンジメタノール、トリシクロデカンジメタノール、水添ビスフェノールA等の脂環式ジオール、ビスフェノールAのエチレンオキシド付加体、ビスフェノールAのプロピレンオキシド付加体等の芳香族ジオール、グリセリン、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン、ジトリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ソルビトール、ジペンタエリスリトール等の三価以上のアルコール等が挙げられる。これらは単独で用いても良いし、2種以上を併用しても良い。 The polyhydric alcohols are not particularly limited, but for example, ethylene glycol, diethylene glycol, 1,2-propanediol, 1,3-propanediol, dipropylene glycol, 1,3-butanediol, and 1,4-butanediol. , Neopentyl glycol, 2-methyl-1,3-propanediol, 3-methyl-1,5-pentanediol, 1,6-hexanediol, 1,6-nonanediol, 1,9-nonanediol and other fats Group diols, 1,4-cyclohexanedimethanol, tricyclodecanedimethanol, alicyclic diols such as hydrogenated bisphenol A, aromatic diols such as ethylene oxide adducts of bisphenol A, propylene oxide adducts of bisphenol A, glycerin, Examples thereof include trihydric or higher alcohols such as trimethylolpropane, trimethylolethane, ditrimethylolpropane, pentaerythritol, sorbitol, and dipentaerythritol. These may be used alone or in combination of two or more.

この反応において、エポキシエステル樹脂(E)、多価アルコール類、及び、多塩基性カルボン酸又はその無水物(F)の添加順序は特に問わない。例えば、これらを同時に混合して反応させても良いし、エポキシエステル樹脂(E)と多価アルコールとを混合し、次いで、多塩基性カルボン酸又はその無水物(F)を添加、混合しても良い。また、これらの反応生成物にさらに多塩基性カルボン酸を添加し、反応させてもよい。 In this reaction, the order of addition of the epoxy ester resin (E), the polyhydric alcohols, and the polybasic carboxylic acid or its anhydride (F) is not particularly limited. For example, these may be mixed and reacted at the same time, or the epoxy ester resin (E) and the polyhydric alcohol may be mixed, and then the polybasic carboxylic acid or its anhydride (F) may be added and mixed. Is also good. Further, a polybasic carboxylic acid may be further added to these reaction products to cause a reaction.

多塩基性カルボン酸又はその無水物(F)の種類を適宜選択することによって、構造の異なる種々の縮環構造を有する多価カルボン酸樹脂(G−a)や、多価アルコールを反応させた多価カルボン酸樹脂(G−b)を製造することができる。具体的には、例えば、以下の(G−a−i)〜(G−a−iii)、(G−b−i)〜(G−b−iii)に示す第1〜第6の多価カルボン酸樹脂が調製されるが、これらは例示である。 By appropriately selecting the type of the polybasic carboxylic acid or its anhydride (F), the polyvalent carboxylic acid resin (GA) having various condensed ring structures having different structures and the polyhydric alcohol were reacted. A polyvalent carboxylic acid resin (Gb) can be produced. Specifically, for example, the first to sixth multivalues shown in (G-a-i) to (G-a-iii) and (G-bi) to (G-b-iii) below. Carboxylic acid resins are prepared, which are exemplary.

(G−a−i)第1の多価カルボン酸樹脂:エポキシエステル樹脂(E)と、1種類の多塩基性カルボン酸又はその無水物(F)とを混合し、反応させて得られる樹脂;(G−a−ii)第2の多価カルボン酸樹脂:エポキシエステル樹脂(E)と、2種類以上の多塩基性カルボン酸又はその無水物(F)の混合物(例えば、ジカルボン酸無水物及びテトラカルボン酸二無水物の混合物)とを混合し、反応させて得られる樹脂;及び、(G−a−iii)第3の多価カルボン酸樹脂:エポキシエステル樹脂(E)と、テトラカルボン酸又はその二無水物とを反応させ、得られた反応生成物に、さらにジカルボン酸又はその無水物を反応させて得られる樹脂。 (G-a-i) First Polyvalent Carboxylic Acid Resin: A resin obtained by mixing an epoxy ester resin (E) with one kind of polybasic carboxylic acid or an anhydride thereof (F) and reacting them. (G-a-ii) Second polycarboxylic acid resin: A mixture of an epoxy ester resin (E) and two or more types of polybasic carboxylic acids or anhydrides (F) thereof (for example, dicarboxylic acid anhydride). And a mixture of tetracarboxylic acid dianhydride) and reacting them; and (G-a-iii) third polycarboxylic acid resin: epoxy ester resin (E) and tetracarboxylic acid. A resin obtained by reacting an acid or a dianhydride thereof with a reaction product obtained by further reacting a dicarboxylic acid or an anhydride thereof.

(G−b−i)第4の多価カルボン酸樹脂:エポキシエステル樹脂(E)と、多価アルコールと、1種類の多塩基性カルボン酸又はその無水物(F)とを混合し、反応させて得られる樹脂;(G−b−ii)第5の多価カルボン酸樹脂:エポキシエステル樹脂(E)と、多価アルコールと、2種類以上の多塩基性カルボン酸又はその無水物(F)の混合物(例えば、ジカルボン酸無水物及びテトラカルボン酸二無水物の混合物)とを混合し、反応させて得られる樹脂;及び、(G−b−iii)第6の多価カルボン酸樹脂:エポキシエステル樹脂(E)と、多価アルコールと、テトラカルボン酸又はその二無水物とを反応させ、得られた反応生成物に、さらにジカルボン酸又はその無水物を反応させて得られる樹脂。 (G-bi) Fourth polyvalent carboxylic acid resin: An epoxy ester resin (E), a polyhydric alcohol, and one kind of polybasic carboxylic acid or its anhydride (F) are mixed and reacted. Resin obtained by ) (For example, a mixture of dicarboxylic acid anhydride and tetracarboxylic acid dianhydride) and reacting them; and (G-b-iii) sixth polyvalent carboxylic acid resin: A resin obtained by reacting an epoxy ester resin (E), a polyhydric alcohol, a tetracarboxylic acid or a dianhydride thereof, and further reacting the obtained reaction product with a dicarboxylic acid or an anhydride thereof.

このようにして得られる、構造の異なる種々の縮環構造を有する多価カルボン酸樹脂(G−a)又は(G−b)は、それぞれ、目的の用途に応じて利用される。 The polyvalent carboxylic acid resin (GA) or (Gb) thus obtained having various condensed ring structures having different structures is used depending on the intended use.

なお、「多塩基性カルボン酸又はその無水物(F)」とは、「特定の多塩基性カルボン酸及びそれに対応する無水物のうちの少なくとも一方」という意味であり、例えば、多塩基性カルボン酸がフタル酸であれば、フタル酸及びフタル酸無水物のうちの少なくとも一方を指していう。また、「2種類以上の多塩基性カルボン酸又はその無水物(F)の混合物」とは、少なくとも2種類の多塩基性カルボン酸又はその無水物が同時に存在することをいう。従って、(G−a−ii)及び(G−b−ii)の方法においては、少なくとも2種類の多塩基性カルボン酸又はその無水物(F)が反応に関与する。 The term "multibasic carboxylic acid or its anhydride (F)" means "at least one of a specific polybasic carboxylic acid and its corresponding anhydride", and for example, a polybasic carboxylic acid. If the acid is phthalic acid, it refers to at least one of phthalic acid and phthalic anhydride. Further, "a mixture of two or more kinds of polybasic carboxylic acids or their anhydrides (F)" means that at least two kinds of polybasic carboxylic acids or their anhydrides are present at the same time. Therefore, in the methods (G-a-ii) and (G-b-ii), at least two types of polybasic carboxylic acids or their anhydrides (F) are involved in the reaction.

多価カルボン酸樹脂(G)は、上記いずれの方法においても、エポキシエステル樹脂(E)、多価アルコール、多塩基性カルボン酸又はその無水物(F)を、上記例示の方法(順序)で溶媒に溶解(懸濁)し、加熱して反応させることにより製造される。溶媒としては、例えば、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート等のセロソルブ系溶媒、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート等のアルキレングリコールモノアルキルエーテル類と酢酸とのエステル系溶媒、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶媒等が挙げられる。また、必要に応じて触媒を添加することが出来る。触媒としては、例えば、ホスホニウム塩類、第4級アンモニウム塩類、ホスフィン化合物類、第3級アミン化合物類、イミダゾール化合物類が挙げられ、その配合量は、特に限定されないが、反応物全体の0.01〜10重量%であることが好ましい。 In any of the above methods, the polyvalent carboxylic acid resin (G) uses the epoxy ester resin (E), the polyhydric alcohol, the polybasic carboxylic acid or its anhydride (F) in the above-exemplified method (order). It is produced by dissolving (suspending) in a solvent and heating to react. Examples of the solvent include cellosolve-based solvents such as ethyl cellosolve acetate and butyl cellosolve acetate, ester-based solvents of alkylene glycol monoalkyl ethers such as propylene glycol monomethyl ether acetate and 3-methoxybutyl acetate and acetic acid, methyl ethyl ketone and methyl isobutyl ketone. , Ketone solvent such as cyclohexanone and the like. In addition, a catalyst can be added as needed. Examples of the catalyst include phosphonium salts, quaternary ammonium salts, phosphine compounds, tertiary amine compounds, and imidazole compounds, and the amount thereof is not particularly limited, but 0.01 of the entire reaction product. It is preferably 10% by weight.

上記反応の反応温度は、特に限定されないが、50〜130℃であることが好ましく、70〜120℃であることがより好ましい。反応温度が50℃未満では反応がスムーズに進行せず、未反応の多塩基性カルボン酸又はその無水物(F)が残存することがある。一方、130℃を超えると、カルボキシル基と水酸基の縮合が一部起こり、急激に分子量が増大することがある。 The reaction temperature of the above reaction is not particularly limited, but is preferably 50 to 130 ° C, more preferably 70 to 120 ° C. If the reaction temperature is less than 50 ° C., the reaction does not proceed smoothly, and unreacted polybasic carboxylic acid or its anhydride (F) may remain. On the other hand, if the temperature exceeds 130 ° C., some condensation of the carboxyl group and the hydroxyl group may occur, and the molecular weight may increase rapidly.

多価カルボン酸樹脂(G)の製造において、多価アルコールを使用する場合、エポキシエステル樹脂(E)の水酸基と多価アルコールの水酸基とのモル比(エポキシエステル樹脂(E)の水酸基/多価アルコールの水酸基)は、特に限定されないが、99/1〜50/50であることが好ましく、95/5〜60/40であることがより好ましい。多価アルコールの水酸基のモル比が50を超えると、多価カルボン酸樹脂(G)の分子量が急激に増大し、ゲル化の恐れがある。また、モル比が1未満では、耐熱性や耐熱変色性を向上させにくい傾向がある。 When a polyhydric alcohol is used in the production of the polyvalent carboxylic acid resin (G), the molar ratio of the hydroxyl group of the epoxy ester resin (E) to the hydroxyl group of the polyhydric alcohol (hydroxyl group of the epoxy ester resin (E) / polyhydric). The hydroxyl group of the alcohol) is not particularly limited, but is preferably 99/1 to 50/50, and more preferably 95/5 to 60/40. If the molar ratio of the hydroxyl groups of the polyhydric alcohol exceeds 50, the molecular weight of the polyvalent carboxylic acid resin (G) rapidly increases, and there is a risk of gelation. Further, when the molar ratio is less than 1, it tends to be difficult to improve heat resistance and heat discoloration.

多塩基性カルボン酸又はその無水物(F)の配合量は、特に限定されないが、エポキシエステル樹脂(E)の水酸基(多価アルコールを使用する場合は、多価アルコールの水酸基との合計)1当量(モル)に対して、酸無水物基換算で0.1〜1当量であることが好ましく、0.4〜1当量であることがより好ましい。配合量が0.1当量未満では、多価カルボン酸樹脂(G)の分子量が充分高くならず、多価カルボン酸樹脂(G)を含む複合樹脂組成物の硬化物の耐熱性が不充分となったり、現像後も複合樹脂組成物が基板上に残存する場合がある。一方、配合量が1当量を超える場合には、未反応の多塩基性カルボン酸又はその無水物(F)が残存し、多価カルボン酸樹脂(G)の分子量が低くなり、多価カルボン酸樹脂(G)を含む複合樹脂組成物の現像性が劣る場合がある。なお、酸無水物基換算とは、使用する多塩基性カルボン酸又はその無水物(F)に含まれるカルボキシル基及び酸無水物基を全て酸無水物基に換算したときの量を示す。 The blending amount of the polybasic carboxylic acid or its anhydride (F) is not particularly limited, but the hydroxyl group of the epoxy ester resin (E) (when a polyhydric alcohol is used, the total with the hydroxyl group of the polyhydric alcohol) 1 It is preferably 0.1 to 1 equivalent, more preferably 0.4 to 1 equivalent, relative to the equivalent (molar) in terms of acid anhydride group. If the blending amount is less than 0.1 equivalent, the molecular weight of the polyvalent carboxylic acid resin (G) is not sufficiently high, and the heat resistance of the cured product of the composite resin composition containing the polyvalent carboxylic acid resin (G) is insufficient. In some cases, the composite resin composition may remain on the substrate even after development. On the other hand, when the blending amount exceeds 1 equivalent, the unreacted polybasic carboxylic acid or its anhydride (F) remains, the molecular weight of the polyvalent carboxylic acid resin (G) becomes low, and the polyvalent carboxylic acid The developability of the composite resin composition containing the resin (G) may be inferior. The acid anhydride group conversion indicates the amount when all the carboxyl groups and acid anhydride groups contained in the polybasic carboxylic acid used or its anhydride (F) are converted into acid anhydride groups.

第2、第3、第5、第6の多価カルボン酸樹脂(G)の製造に際しては、2種類以上の多塩基性カルボン酸又はその無水物(F)を用いる。一般的には、ジカルボン酸無水物とテトラカルボン酸二無水物とが用いられる。ジカルボン酸無水物とテトラカルボン酸二無水物との割合(ジカルボン酸無水物/テトラカルボン酸二無水物)は、モル比で1/99〜90/10であることが好ましく、5/95〜80/20であることがより好ましい。ジカルボン酸無水物の割合が1未満では、樹脂粘度が高くなり、作業性が低下するおそれがある。また、多価カルボン酸樹脂(G)の分子量が大きくなりすぎるため、多価カルボン酸樹脂(G)を含む複合樹脂組成物を用いて基板上に塗膜を形成し、露光を行った場合に、露光部が現像液に溶解しにくくなり、目的のパターンが得られにくくなる傾向にある。一方、ジカルボン酸無水物の割合が90を超えると、多価カルボン酸樹脂の分子量が小さくなりすぎるため、多価カルボン酸樹脂を含む複合樹脂組成物を用いて基板上に塗膜を形成した際に、プリベーク後の塗膜にスティッキングが残る等の問題が生じやすくなる。 In the production of the second, third, fifth and sixth polyvalent carboxylic acid resins (G), two or more kinds of polybasic carboxylic acids or their anhydrides (F) are used. Generally, a dicarboxylic acid anhydride and a tetracarboxylic dianhydride are used. The ratio of the dicarboxylic acid anhydride to the tetracarboxylic dianhydride (dicarboxylic acid anhydride / tetracarboxylic dianhydride) is preferably 1/99 to 90/10 in terms of molar ratio, and 5/95 to 80. More preferably, it is / 20. If the proportion of dicarboxylic acid anhydride is less than 1, the resin viscosity may increase and workability may decrease. Further, since the molecular weight of the polyvalent carboxylic acid resin (G) becomes too large, when a coating film is formed on a substrate using a composite resin composition containing the polyvalent carboxylic acid resin (G) and exposure is performed. , The exposed portion tends to be difficult to dissolve in the developing solution, and it tends to be difficult to obtain the desired pattern. On the other hand, if the ratio of the dicarboxylic acid anhydride exceeds 90, the molecular weight of the polyvalent carboxylic acid resin becomes too small. Therefore, when a coating film is formed on the substrate using a composite resin composition containing the polyvalent carboxylic acid resin. In addition, problems such as sticking remaining on the coating film after prebaking are likely to occur.

本発明の複合樹脂組成物において、多価カルボン酸樹脂(G)は、放射線重合性官能基を含有することが好ましく、具体的には、(メタ)アクリロイル基等の不飽和基を含有することが好ましい。多価カルボン酸樹脂(G)が放射線重合性官能基を含有する樹脂である場合、本発明の複合樹脂組成物は光硬化性を有するため、感光性複合樹脂組成物(H)として利用することが出来る。ここで、感光性とは、各種の放射線により化学反応を起す性質を言い、このような放射線としては、波長の長いものから順に、可視光線、紫外線、電子線、X線、α線、β線、及びγ線が挙げられる。これらの中で、経済性及び効率性の点から、実用的には、紫外線が最も好ましい放射線である。紫外線としては、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、アーク灯、キセノンランプ等のランプから発振される紫外光を好適に使用することができる。紫外線よりも波長の短い放射線は、化学反応性が高く、理論的には紫外線より優れているが、経済性の観点から紫外線が実用的である。 In the composite resin composition of the present invention, the polyvalent carboxylic acid resin (G) preferably contains a radiopolymerizable functional group, and specifically, contains an unsaturated group such as a (meth) acryloyl group. Is preferable. When the polyvalent carboxylic acid resin (G) is a resin containing a radiation-polymerizable functional group, the composite resin composition of the present invention has photocurability and is therefore used as a photosensitive composite resin composition (H). Can be done. Here, photosensitivity refers to the property of causing a chemical reaction by various types of radiation, and such radiation includes visible light, ultraviolet rays, electron beams, X-rays, α-rays, and β-rays in order from the one having the longest wavelength. , And γ-rays. Of these, ultraviolet rays are the most preferable radiation in practical terms from the viewpoint of economy and efficiency. As the ultraviolet rays, ultraviolet light oscillated from lamps such as low-pressure mercury lamps, high-pressure mercury lamps, ultra-high-pressure mercury lamps, arc lamps, and xenon lamps can be preferably used. Radiation having a shorter wavelength than ultraviolet rays has high chemical reactivity and is theoretically superior to ultraviolet rays, but ultraviolet rays are practical from the viewpoint of economy.

本発明の複合樹脂組成物において、無機微粒子に対する縮環構造含有樹脂の含有量は、特に限定されないが、無機微粒子100重量部に対して5〜300重量部であることが好ましく、10〜100重量部であることがより好ましい。縮環構造含有樹脂の含有量が無機微粒子100重量部に対して5重量部未満であると、無機微粒子の分散安定性が低下することがあり、300重量部を超えると、硬化物の屈折率が低下することがある。 In the composite resin composition of the present invention, the content of the condensed ring structure-containing resin with respect to the inorganic fine particles is not particularly limited, but is preferably 5 to 300 parts by weight, preferably 10 to 100 parts by weight, based on 100 parts by weight of the inorganic fine particles. It is more preferable that it is a part. If the content of the condensed ring structure-containing resin is less than 5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the inorganic fine particles, the dispersion stability of the inorganic fine particles may decrease, and if it exceeds 300 parts by weight, the refractive index of the cured product May decrease.

本発明の複合樹脂組成物において、耐熱性と分散性の観点からは、縮環構造含有樹脂が、フルオレンに由来する縮環構造を有することが好ましい。また、光硬化性の観点からは、縮環構造含有樹脂が、(メタ)アクリロイル基を有することが好ましい。 In the composite resin composition of the present invention, from the viewpoint of heat resistance and dispersibility, it is preferable that the condensed ring structure-containing resin has a condensed ring structure derived from fluorene. Further, from the viewpoint of photocurability, it is preferable that the condensed ring structure-containing resin has a (meth) acryloyl group.

<エポキシ基を1つ以上有する化合物>
本発明の複合樹脂組成物は、エポキシ基を1つ以上有する化合物を含有する。ネガ型のフォトレジスト樹脂を用いてパターニングを行う際には、溶剤成分を加熱除去(プリベーク)し、紫外線等の放射線を照射後、未露光部を現像液により溶解させて除去する処理を行うが、本発明の複合樹脂組成物を熱硬化させる際に、縮環構造含有樹脂に残存するカルボキシル基が、エポキシ基を1つ以上有する化合物のエポキシ基と反応することで、得られる複合樹脂硬化物の耐薬品性を向上させることができる。
<Compound having one or more epoxy groups>
The composite resin composition of the present invention contains a compound having one or more epoxy groups. When patterning is performed using a negative photoresist resin, the solvent component is heat-removed (prebaked), irradiated with radiation such as ultraviolet rays, and then the unexposed portion is dissolved with a developing solution to remove it. When the composite resin composition of the present invention is thermoset, the carboxyl group remaining in the fused ring structure-containing resin reacts with the epoxy group of the compound having one or more epoxy groups, whereby the cured composite resin obtained. Chemical resistance can be improved.

エポキシ基を1つ以上有する化合物としては、特に限定されないが、例えば、ポリブタジエンジグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、ソルビトールポリグリシジルエーテル、グリセロールポリグリシジルエーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテル等が挙げられる。これらは単独で用いても良いし、2種以上を併用しても良い。 The compound having one or more epoxy groups is not particularly limited, and for example, polybutadiene diglycidyl ether, trimethylolpropane polyglycidyl ether, pentaerythritol polyglycidyl ether, sorbitol polyglycidyl ether, glycerol polyglycidyl ether, polyglycerol polyglycidyl. Examples include ether. These may be used alone or in combination of two or more.

エポキシ基を1つ以上有する化合物の水溶率は、特に限定されないが、0〜70重量%であることが好ましく、0〜60重量%であることがより好ましい。エポキシ基を1つ以上有する化合物の水溶率が70重量%を超えると、レジスト現像液、ITOエッチング液、レジスト剥離液等の薬液に曝される際に膜べりが生じることがある。 The water content of the compound having one or more epoxy groups is not particularly limited, but is preferably 0 to 70% by weight, more preferably 0 to 60% by weight. If the water content of the compound having one or more epoxy groups exceeds 70% by weight, film blistering may occur when exposed to a chemical solution such as a resist developer, an ITO etching solution, or a resist stripping solution.

本明細書において、「水溶率」とは、室温で水90重量部にエポキシ基を1つ以上有する化合物10重量部を溶解したときの溶解率をいう。 As used herein, the term "water-soluble" refers to the dissolution rate when 10 parts by weight of a compound having one or more epoxy groups is dissolved in 90 parts by weight of water at room temperature.

エポキシ基を1つ以上有する化合物のエポキシ当量は、特に限定されないが、100〜1000g/eqであることが好ましく、100〜250g/eqであることがより好ましい。エポキシ当量が100g/eq未満であると、露光部の膜べりが生じることがあり、1000g/eqを超えると、現像時、未露光部に残渣が生じ、現像性が低下することがある。 The epoxy equivalent of the compound having one or more epoxy groups is not particularly limited, but is preferably 100 to 1000 g / eq, and more preferably 100 to 250 g / eq. If the epoxy equivalent is less than 100 g / eq, film burr may occur in the exposed portion, and if it exceeds 1000 g / eq, a residue may be generated in the unexposed portion during development and the developability may be deteriorated.

エポキシ基を1つ以上有する化合物の分子量は、特に限定されないが、100〜3500であることが好ましく、110〜1000であることがより好ましい。分子量が100未満であると、耐薬品性が低下することがあり、3500を超えると、現像時、未露光部に残渣が生じ、現像性が低下することがある。 The molecular weight of the compound having one or more epoxy groups is not particularly limited, but is preferably 100 to 3500, and more preferably 110 to 1000. If the molecular weight is less than 100, the chemical resistance may be lowered, and if it exceeds 3500, a residue may be generated in the unexposed portion during development and the developability may be lowered.

本発明の複合樹脂組成物において、エポキシ基を1つ以上有する化合物の含有量は、特に限定されないが、全固形分中0.1〜45重量%であることが好ましい。 In the composite resin composition of the present invention, the content of the compound having one or more epoxy groups is not particularly limited, but is preferably 0.1 to 45% by weight based on the total solid content.

本発明の複合樹脂組成物において、縮環構造含有樹脂に対するエポキシ基を1つ以上有する化合物の含有量は、特に限定されないが、縮環構造含有樹脂100重量部に対して、0.01〜100重量部であることが好ましく、1〜50重量部であることがより好ましい。エポキシ基を1つ以上有する化合物の含有量が縮環構造含有樹脂100重量部に対して0.01重量部未満であると、耐薬品性が低下することがあり、100重量部を超えると、現像性が低下することがある。 In the composite resin composition of the present invention, the content of the compound having one or more epoxy groups with respect to the condensed ring structure-containing resin is not particularly limited, but is 0.01 to 100 with respect to 100 parts by weight of the condensed ring structure-containing resin. It is preferably parts by weight, more preferably 1 to 50 parts by weight. If the content of the compound having one or more epoxy groups is less than 0.01 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the condensed ring structure-containing resin, the chemical resistance may decrease, and if it exceeds 100 parts by weight, Developability may decrease.

本発明の複合樹脂組成物は、無機微粒子、溶剤、縮環構造含有樹脂、及び、エポキシ基を1つ以上有する化合物に加えて、任意に他の成分を含有していても良い。他の成分としては、例えば、分散剤及び/又は表面処理剤、脂肪族多官能アクリレート、硬化剤、レベリング剤、樹脂成分、熱重合禁止剤、密着助剤、エポキシ基硬化促進剤、界面活性剤、消泡剤等が挙げられる。 The composite resin composition of the present invention may optionally contain other components in addition to the inorganic fine particles, the solvent, the condensed ring structure-containing resin, and the compound having one or more epoxy groups. Other components include, for example, dispersants and / or surface treatment agents, aliphatic polyfunctional acrylates, curing agents, leveling agents, resin components, thermal polymerization inhibitors, adhesion aids, epoxy group curing accelerators, surfactants. , Antifoaming agent and the like.

<分散剤及び/又は表面処理剤>
本発明の複合樹脂組成物は、分散剤及び/又は表面処理剤を全く含まない場合であっても良好な分散性を示すが、分散剤及び/又は表面処理剤を少量含有しても良い。
分散剤としては、特に限定されず、例えば、ポリアクリル酸系分散剤、ポリカルボン酸系分散剤、リン酸系分散剤、シリコン系分散剤等が挙げられる。これらの分散剤は、単独で使用しても良く、2種以上を併用しても良い。
<Dispersant and / or surface treatment agent>
The composite resin composition of the present invention shows good dispersibility even when it does not contain any dispersant and / or surface treatment agent, but may contain a small amount of dispersant and / or surface treatment agent.
The dispersant is not particularly limited, and examples thereof include a polyacrylic acid-based dispersant, a polycarboxylic acid-based dispersant, a phosphoric acid-based dispersant, and a silicon-based dispersant. These dispersants may be used alone or in combination of two or more.

無機微粒子は、表面処理されたものであっても良い。表面処理とは、カップリング剤等、微粒子表面に存在する水酸基と反応し得る化合物を結合させる処理を言う。表面処理は、無機微粒子を溶媒に分散させ、酸性条件下でカップリング剤を混合し、作用させることにより行うことが出来る。表面処理剤としては、特に限定されないが、シランカップリング剤やチタンカップリング剤が挙げられ、例えば、3−(メタ)アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン等の(メタ)アクリロキシシラン類;3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン等のエポキシシラン類;ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(β−メトキシエトキシ)シラン、ジメチルビニルメトキシシラン、ビニルトリクロロシラン、ジメチルビニルクロロシラン等のビニルシラン類;N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン等のアミノシラン類;N−(ビニルベンジル)−2−アミノエチル−3−アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩等の第四級アンモニウム塩類;p−スチリルトリメトキシシラン;フェニルトリメトキシシラン;イソプロピルジメタクリルイソステアロイルチタネート、イソプロピルジアクリルイソステアロイルチタネート等のチタネート類;等が挙げられる。これらの表面処理剤は、単独で使用しても良く、2種以上を併用しても良い。これらの表面処理剤の中では、反応性官能基を有し、縮環構造含有樹脂と共に硬化し、硬化物中に無機微粒子を固定化できることから、エポキシシラン類や(メタ)アクリロキシシラン類が好ましい。 The inorganic fine particles may be surface-treated. The surface treatment refers to a treatment of binding a compound that can react with a hydroxyl group existing on the surface of fine particles, such as a coupling agent. The surface treatment can be carried out by dispersing the inorganic fine particles in a solvent, mixing the coupling agent under acidic conditions, and allowing the coupling agent to act. The surface treatment agent is not particularly limited, and examples thereof include a silane coupling agent and a titanium coupling agent. For example, 3- (meth) acryloxypropyltrimethoxysilane, 3- (meth) acryloxipropylmethyldimethoxysilane and the like. (Meta) acryloxysilanes; 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) Epoxysilanes such as ethyltrimethoxysilane; vinylsilanes such as vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (β-methoxyethoxy) silane, dimethylvinylmethoxysilane, vinyltrichlorosilane, dimethylvinylchlorosilane; N-2- Aminosilanes such as (aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltrimethoxysilane, N-2- (aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane; N- (vinylbenzyl) -2 Tertiary ammonium salts such as the hydrochloride salt of −aminoethyl-3-aminopropyltrimethoxysilane; p-styryltrimethoxysilane; phenyltrimethoxysilane; titanates such as isopropyldimethacrylisostearoyl titanate and isopropyldiacylisostearoyl titanate. Kind; etc. These surface treatment agents may be used alone or in combination of two or more. Among these surface treatment agents, epoxy silanes and (meth) acryloxisilanes have a reactive functional group and can be cured together with a fused ring structure-containing resin to immobilize inorganic fine particles in the cured product. preferable.

本発明の複合樹脂組成物が分散剤及び/又は表面処理剤を含む場合、分散剤及び表面処理剤の合計含有量は、特に限定されないが、無機微粒子100重量部に対して、有効成分重量で5重量部以下であることが好ましく、3重量部以下であることがより好ましい。分散剤及び表面処理剤の合計含有量が5重量部を超えると、複合樹脂組成物の硬化物の屈折率や、耐熱性、耐光性が低下するおそれがある。本発明の複合樹脂組成物が分散剤及び/又は表面処理剤を含む場合、分散剤及び表面処理剤の合計含有量の下限は、特に限定されないが、例えば、無機微粒子100重量部に対し有効成分重量で0.1重量部以上が好ましい。 When the composite resin composition of the present invention contains a dispersant and / or a surface treatment agent, the total content of the dispersant and the surface treatment agent is not particularly limited, but is based on the weight of the active ingredient with respect to 100 parts by weight of the inorganic fine particles. It is preferably 5 parts by weight or less, and more preferably 3 parts by weight or less. If the total content of the dispersant and the surface treatment agent exceeds 5 parts by weight, the refractive index, heat resistance, and light resistance of the cured product of the composite resin composition may decrease. When the composite resin composition of the present invention contains a dispersant and / or a surface treatment agent, the lower limit of the total content of the dispersant and the surface treatment agent is not particularly limited, but for example, the active ingredient is based on 100 parts by weight of the inorganic fine particles. The weight is preferably 0.1 part by weight or more.

<脂肪族多官能アクリレート>
本発明の複合樹脂組成物は、光硬化性の観点から、さらに脂肪族多官能アクリレートを含有することが好ましい。脂肪族多官能アクリレートとしては、特に限定されないが、例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート等の水酸基を有するモノマー類;エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラメチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸エステル類等が挙げられる。これらは単独で用いても良いし、2種以上を併用しても良い。
<Aliphatic polyfunctional acrylate>
From the viewpoint of photocurability, the composite resin composition of the present invention preferably further contains an aliphatic polyfunctional acrylate. The aliphatic polyfunctional acrylate is not particularly limited, but for example, monomers having a hydroxyl group such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, and 3-hydroxypropyl (meth) acrylate; ethylene. Glycoldi (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, tetramethylene glycol di (meth) acrylate, trimethyl propantri (meth) acrylate, Trimethylol ethanetri (meth) acrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate , (Meta) acrylic acid esters such as glycerol (meth) acrylate and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

本発明の複合樹脂組成物が脂肪族多官能アクリレートを含有する場合、その無機微粒子に対する含有量は、特に限定されないが、無機微粒子100重量部に対して0.1〜40重量部であることが好ましく、1〜30重量部であることがより好ましい。含有量が無機微粒子100重量部に対して0.1重量部未満であると、硬化不足となることがあり、40重量部を超えると、現像性が低下することがある。 When the composite resin composition of the present invention contains an aliphatic polyfunctional acrylate, the content thereof with respect to the inorganic fine particles is not particularly limited, but may be 0.1 to 40 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the inorganic fine particles. It is preferably 1 to 30 parts by weight, more preferably 1 to 30 parts by weight. If the content is less than 0.1 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the inorganic fine particles, curing may be insufficient, and if it exceeds 40 parts by weight, the developability may be lowered.

本発明の複合樹脂組成物の製造方法は、特に限定されないが、例えば、無機粒子、溶剤、縮環構造含有樹脂、及び、エポキシ基を1つ以上有する化合物を、ビーズミルを用いて分散させる方法等が挙げられる。ビーズミルを用いた分散完了時に、無機微粒子、溶剤、縮環構造含有樹脂、及び、エポキシ基を1つ以上有する化合物が混合されていることが好ましい。本発明の複合樹脂組成物が分散剤及び/又は表面処理剤を含む場合、ビーズミルを用いた分散完了時に、無機微粒子、溶剤、縮環構造含有樹脂、エポキシ基を1つ以上有する化合物、並びに、分散剤及び/又は表面処理剤が混合されていることが好ましい。ビーズミルを用いた分散完了時に縮環構造含有樹脂が混合されていることを大きな特徴としている。一般的には、無機微粒子をビーズミルで溶媒に分散させた後に、縮環構造含有樹脂等と混合するが、この方法では相当量の分散剤及び/又は表面処理剤を配合する必要がある。一方、ビーズミルを用いた分散完了時に縮環構造含有樹脂が混合されることで、分散剤及び/又は表面処理剤を全く含有しないか、分散剤及び/又は表面処理剤の配合量を極限まで低減することができる。その結果、屈折率の低減を抑制できるとともに、硬化物の耐光性や耐熱性の低下も抑制することができる。 The method for producing the composite resin composition of the present invention is not particularly limited, and for example, a method of dispersing inorganic particles, a solvent, a resin containing a condensed ring structure, and a compound having one or more epoxy groups using a bead mill, etc. Can be mentioned. When the dispersion using the bead mill is completed, it is preferable that the inorganic fine particles, the solvent, the resin containing a condensed ring structure, and the compound having one or more epoxy groups are mixed. When the composite resin composition of the present invention contains a dispersant and / or a surface treatment agent, the inorganic fine particles, the solvent, the resin containing a condensed ring structure, the compound having one or more epoxy groups, and the compound having one or more epoxy groups at the time of completion of the dispersion using the bead mill, and It is preferable that a dispersant and / or a surface treatment agent is mixed. A major feature is that the condensed ring structure-containing resin is mixed when the dispersion using the bead mill is completed. Generally, the inorganic fine particles are dispersed in a solvent with a bead mill and then mixed with a condensed ring structure-containing resin or the like, but in this method, it is necessary to add a considerable amount of a dispersant and / or a surface treatment agent. On the other hand, by mixing the condensed ring structure-containing resin when the dispersion using the bead mill is completed, the dispersant and / or the surface treatment agent is not contained at all, or the blending amount of the dispersant and / or the surface treatment agent is reduced to the utmost limit. can do. As a result, the decrease in the refractive index can be suppressed, and the decrease in the light resistance and the heat resistance of the cured product can also be suppressed.

ビーズミルを用いた分散前における無機微粒子、溶剤、縮環構造含有樹脂、及び、エポキシ基を1つ以上有する化合物の添加順序は限定されず、例えば、全成分を一度に混合しても良いし、各成分を一成分ずつ順に添加し混合しても良い。これは、複合樹脂組成物が分散剤及び/又は表面処理剤を含む場合も同様である。また、複合樹脂組成物が分散剤及び/又は表面処理剤を含む場合であって、連続式のビーズミルを用いる場合には、例えば、あらかじめ無機微粒子、溶剤、縮環構造含有樹脂、及び、エポキシ基を1つ以上有する化合物を混合してからビーズミルを用いた分散を開始し、ビーズミルを用いた分散中に分散剤及び/又は表面処理剤を添加しても良いし、あらかじめ無機微粒子、溶剤、エポキシ基を1つ以上有する化合物、並びに、分散剤及び/又は表面処理剤を混合してからビーズミルを用いた分散を開始し、ビーズミルを用いた分散中に縮環構造含有樹脂を添加しても良い。さらに、ビーズミルを用いた分散完了時に無機微粒子、溶剤、縮環構造含有樹脂、及び、エポキシ基を1つ以上有する化合物が混合されてさえいれば、ビーズミルを用いた分散完了後に溶剤や縮環構造含有樹脂をさらに添加しても良く、これは、複合樹脂組成物が分散剤及び/又は表面処理剤を含む場合も同様である。
硬化剤等の任意成分は、ビーズミルを用いた分散前、分散中、分散完了後のいずれの時点で添加しても良い。
The order of addition of the inorganic fine particles, the solvent, the condensed ring structure-containing resin, and the compound having one or more epoxy groups before dispersion using a bead mill is not limited, and for example, all the components may be mixed at once. Each component may be added one by one in order and mixed. This also applies when the composite resin composition contains a dispersant and / or a surface treatment agent. When the composite resin composition contains a dispersant and / or a surface treatment agent and a continuous bead mill is used, for example, inorganic fine particles, a solvent, a condensed ring structure-containing resin, and an epoxy group are used in advance. After mixing the compounds having one or more of the above, dispersion using a bead mill may be started, and a dispersant and / or a surface treatment agent may be added during the dispersion using the bead mill, or inorganic fine particles, a solvent, and an epoxy may be added in advance. A compound having one or more groups and a dispersant and / or a surface treatment agent may be mixed, and then dispersion using a bead mill may be started, and a condensed ring structure-containing resin may be added during the dispersion using the bead mill. .. Further, as long as the inorganic fine particles, the solvent, the resin containing a condensed ring structure, and the compound having one or more epoxy groups are mixed at the completion of the dispersion using the bead mill, the solvent and the condensed ring structure are completed after the completion of the dispersion using the bead mill. The containing resin may be further added, and this is also the case when the composite resin composition contains a dispersant and / or a surface treatment agent.
Any component such as a curing agent may be added at any time before dispersion using a bead mill, during dispersion, or after the completion of dispersion.

本発明の複合樹脂組成物は、アルカリに可溶であり、かつ放射線照射により硬化可能な縮環構造含有樹脂を含むため、所望の形状に成形し、熱及び放射線により硬化させて、種々の目的に利用される。本発明の複合樹脂組成物は特に、基板上に薄膜を形成し、加熱及び放射線照射を行った後、現像することにより所定のパターンを有する薄膜を形成する目的に利用される。 Since the composite resin composition of the present invention contains a condensed ring structure-containing resin that is soluble in alkali and curable by irradiation, it can be molded into a desired shape and cured by heat and radiation for various purposes. Used for. The composite resin composition of the present invention is particularly used for the purpose of forming a thin film on a substrate, heating and irradiating the substrate, and then developing the thin film to form a thin film having a predetermined pattern.

例えば、上述のように、基板上に薄膜を形成して、熱硬化、放射線硬化及び現像を行う場合には、通常、まず各成分を混合して本発明の複合樹脂組成物を得る。これを例えば、孔径1.0〜0.2μm程度のミリポアフィルター等でろ過して、均一な液状物とするのがより好適である。次いで、本発明の複合樹脂組成物を、基板上に塗布して塗膜を得る。塗布する方法としては、特に限定されず、例えば、ディッピング法、スプレー法、ローラーコート法、スリットコート法、バーコート法、スピンコート法等が挙げられる。これらの方法によって、本発明の複合樹脂組成物を1〜30μm程度の厚さに塗布した後、溶剤を除去すれば薄膜が形成される。通常、溶剤を充分に除去するためプリベーク処理が行われる。 For example, as described above, when a thin film is formed on a substrate and thermosetting, radiation curing and development are performed, usually, each component is first mixed to obtain the composite resin composition of the present invention. It is more preferable to filter this with, for example, a millipore filter having a pore size of about 1.0 to 0.2 μm to obtain a uniform liquid substance. Next, the composite resin composition of the present invention is applied onto a substrate to obtain a coating film. The coating method is not particularly limited, and examples thereof include a dipping method, a spray method, a roller coating method, a slit coating method, a bar coating method, and a spin coating method. By these methods, the composite resin composition of the present invention is applied to a thickness of about 1 to 30 μm, and then the solvent is removed to form a thin film. Usually, a prebaking treatment is performed to sufficiently remove the solvent.

この基板の薄膜上に所望のパターンを有するマスクを載置した後、放射線による照射を行う。 After placing a mask having a desired pattern on the thin film of this substrate, irradiation with radiation is performed.

放射線による照射により、露光部は重合反応により硬化する。未露光部は現像液で現像される。このことにより、未露光部が除去され、所望のパターンを有する薄膜が得られる。現像方法としては、特に限定されず、例えば、液盛り法、ディッピング法、揺動浸漬法等が挙げられる。 By irradiation with radiation, the exposed part is cured by a polymerization reaction. The unexposed area is developed with a developer. As a result, the unexposed portion is removed, and a thin film having a desired pattern is obtained. The developing method is not particularly limited, and examples thereof include a liquid filling method, a dipping method, and a rocking dipping method.

現像液としては、アルカリ性水溶液、該アルカリ性水溶液と水溶性有機溶剤及び/又は界面活性剤との混合液、及び本発明の複合樹脂組成物が溶解し得る有機溶剤が挙げられ、好ましくはアルカリ性水溶液と界面活性剤との混合液である。 Examples of the developing solution include an alkaline aqueous solution, a mixed solution of the alkaline aqueous solution and a water-soluble organic solvent and / or a surfactant, and an organic solvent in which the composite resin composition of the present invention can be dissolved, and an alkaline aqueous solution is preferable. It is a mixed solution with a surfactant.

本発明の複合樹脂組成物を現像するのに適したアルカリ性水溶液の調製に用いられる塩基としては、特に限定されず、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、アンモニア、エチルアミン、n−プロピルアミン、ジエチルアミン、ジエチルアミノエタノール、ジ−n−プロピルアミン、トリエチルアミン、メチルジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ(5.4.0)−7−ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ(4.3.0)−5−ノナン等が挙げられ、好ましくは炭酸ナトリウム、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド等が用いられる。 The base used for preparing an alkaline aqueous solution suitable for developing the composite resin composition of the present invention is not particularly limited, and is, for example, sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium silicate, sodium metasilicate. , Ammonia, ethylamine, n-propylamine, diethylamine, diethylaminoethanol, di-n-propylamine, triethylamine, methyldiethylamine, dimethylethanolamine, triethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, pyrrole, piperidine, Examples thereof include 1,8-diazabicyclo (5.4.0) -7-undecene and 1,5-diazabicyclo (4.3.0) -5-nonane, preferably sodium carbonate, tetramethylammonium hydroxide and the like. Used.

このアルカリ性水溶液には、必要に応じて、メタノール、エタノール、アセトン、プロパノール、エチレングリコール等の水溶性有機溶剤、界面活性剤等が適量添加される。 If necessary, a water-soluble organic solvent such as methanol, ethanol, acetone, propanol, or ethylene glycol, a surfactant, or the like is added to the alkaline aqueous solution in an appropriate amount.

本発明の複合樹脂組成物の現像は、通常10〜50℃、好ましくは20〜40℃の温度で、市販の現像機や超音波洗浄機を用いて行うことができる。現像時間は、現像方法、現像液、温度、塗膜の膜厚等によって適宜調整できる。 The composite resin composition of the present invention can be developed at a temperature of usually 10 to 50 ° C., preferably 20 to 40 ° C., using a commercially available developing machine or ultrasonic cleaner. The developing time can be appropriately adjusted depending on the developing method, the developing solution, the temperature, the film thickness of the coating film, and the like.

アルカリ現像後、耐アルカリ性を向上させるために、加熱して硬化処理を施すことが望ましい(ポストベーク処理)。本発明の複合樹脂組成物においては、加熱処理を行うことにより、銅等の金属あるいはガラスに対する密着性、耐熱性、表面硬度等の諸性質も向上する。また、本発明の複合樹脂組成物からなる複合樹脂硬化物を形成後、ITO等の透明電極をパターニングにより形成することがあり、複合樹脂硬化物はITOパターン形成に必要な薬液(レジスト現像液、ITOエッチング液、レジスト剥離液等)に曝されるが、加熱処理を行うことにより、薬液に曝されても膜べりしない耐性(耐薬品性)が向上する。好ましい加熱温度と加熱時間は、80〜250℃、10〜120分である。このようにして、所望のパターンを有する硬化薄膜を得ることができる。 After alkaline development, it is desirable to heat and cure in order to improve alkali resistance (post-baking treatment). In the composite resin composition of the present invention, various properties such as adhesion to a metal such as copper or glass, heat resistance, and surface hardness are improved by performing the heat treatment. Further, after forming a cured composite resin made of the composite resin composition of the present invention, a transparent electrode such as ITO may be formed by patterning, and the cured composite resin is a chemical solution (resist developer, etc.) necessary for forming an ITO pattern. Although it is exposed to an ITO etching solution, a resist stripping solution, etc.), the heat treatment improves the resistance (chemical resistance) that does not cause film slippage even when exposed to a chemical solution. Preferred heating temperature and heating time are 80 to 250 ° C. and 10 to 120 minutes. In this way, a cured thin film having a desired pattern can be obtained.

透明電極のパターン形成は、特開2008−270458等に記載される常法に基づき行うことができる。例えば、ITOを用いて透明電極をパターン形成する場合、まず、硬化物上に、スッパタリング等によりITO膜を形成する。次に、レジスト組成物を塗布、乾燥させてITO膜上にレジスト膜を形成した後、露光、現像処理を行って所望のパターンを有するレジストパターンを形成する。さらに、レジストパターン等が形成された基板を酸性の薬液に浸し、ITOのエッチングを行う。最後に、アミン系溶剤等のレジスト剥離液に基板を曝すことにより、レジストを除去する。その後、ITO膜をアニール処理することで透明電極を形成することができる。 The pattern formation of the transparent electrode can be performed based on the conventional method described in JP-A-2008-270458 and the like. For example, when forming a transparent electrode pattern using ITO, first, an ITO film is formed on the cured product by spattering or the like. Next, the resist composition is applied and dried to form a resist film on the ITO film, and then exposed and developed to form a resist pattern having a desired pattern. Further, the substrate on which the resist pattern or the like is formed is immersed in an acidic chemical solution, and ITO is etched. Finally, the resist is removed by exposing the substrate to a resist stripping solution such as an amine solvent. After that, the transparent electrode can be formed by annealing the ITO film.

本発明の複合樹脂組成物は、例えば、タッチパネル・タッチセンサ等の表示装置や電子部品の保護膜、層間絶縁膜及び/又は平坦化膜の形成材料;カラーレジスト用バインダー;プリント配線板の製造に用いられるソルダーレジスト;液晶表示素子におけるビーズスペーサーの代替となる柱状スペーサーの形成に好適なアルカリ可溶型の感光性組成物等として好適に用いられる。さらに、本発明の複合樹脂組成物は、各種光学部品(レンズ、LED、プラスチックフィルム、基板、光ディスク等)の材料;該光学部品の保護膜形成用のコーティング剤;光学部品用接着剤(光ファイバー用接着剤等);偏光板製造用のコーティング剤;ホログラム記録用感光性樹脂組成物等としても好適に利用される。 The composite resin composition of the present invention is used, for example, for the production of display devices such as touch panels and touch sensors, protective films for electronic components, interlayer insulating films and / or flattening films, binders for color resists, and printed wiring boards. Solder resist used; It is suitably used as an alkali-soluble photosensitive composition suitable for forming a columnar spacer as a substitute for a bead spacer in a liquid crystal display element. Further, the composite resin composition of the present invention is a material for various optical components (lens, LED, plastic film, substrate, optical disk, etc.); a coating agent for forming a protective film for the optical component; an adhesive for optical components (for optical fiber). Adhesives, etc.); Coating agents for manufacturing polarizing plates; Photosensitive resin compositions for hologram recording, etc. are also suitably used.

<<複合樹脂硬化物>>
本発明の複合樹脂硬化物は、本発明の複合樹脂組成物を熱硬化及び光硬化させたことを特徴とする。
<< Composite resin cured product >>
The cured composite resin of the present invention is characterized by thermosetting and photocuring the composite resin composition of the present invention.

本発明の複合樹脂組成物を熱硬化及び光硬化させる方法は、特に限定されず、熱硬化の後に光硬化を行っても良いし、光硬化の後に熱硬化を行っても良いし、両者を同時に行っても良い。熱硬化の方法は、特に限定されないが、例えば、80〜300℃で5〜60分間加熱処理する方法等が挙げられる。光硬化の方法は、特に限定されないが、例えば、波長100〜600nmにて、光強度1〜900mW/cmの紫外線を、露光量5〜2000mJ/cmとなるように照射する方法等が挙げられる。 The method for thermosetting and photocuring the composite resin composition of the present invention is not particularly limited, and the photocuring may be performed after the heat curing, or the photocuring may be performed after the photocuring. You may go at the same time. The method of thermosetting is not particularly limited, and examples thereof include a method of heat-treating at 80 to 300 ° C. for 5 to 60 minutes. The method of photocuring is not particularly limited, and examples thereof include a method of irradiating ultraviolet rays having a light intensity of 1 to 900 mW / cm 2 at a wavelength of 100 to 600 nm so as to have an exposure amount of 5 to 2000 mJ / cm 2. Be done.

本発明の複合樹脂硬化物は、タッチパネル・タッチセンサ等の表示装置内に設けられる絶縁膜・保護膜として、要求される性能を満足させるため、薄膜又は成形体であることが好ましい。 The cured composite resin of the present invention is preferably a thin film or a molded product in order to satisfy the required performance as an insulating film / protective film provided in a display device such as a touch panel or a touch sensor.

<<光学フィルム>>
本発明の光学フィルムは、本発明の複合樹脂硬化物を備えたことを特徴とする。
<< Optical film >>
The optical film of the present invention is characterized by comprising the cured composite resin of the present invention.

<<表示素子>>
本発明の表示素子は、本発明の複合樹脂硬化物を備えたことを特徴とする。
<< Display element >>
The display element of the present invention is characterized by comprising the cured composite resin of the present invention.

以下に実施例を挙げて本発明を説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるものではない。 The present invention will be described below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

1.使用材料
以下の実施例及び比較例では、下記の材料を使用した。
1−1.無機微粒子
・酸化ジルコニウム(第一稀元素化学工業株式会社製、UEP−50)
・酸化ジルコニウム(第一稀元素化学工業株式会社製、UEP−100)
1−2.溶剤
・シクロヘキサノン(シノペック社製)
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(株式会社ダイセル製、PGMEA)
・プロピレングリコールモノメチルエーテル(日本乳化剤株式会社製、PGME)
1−3.分散剤
・高分子型分散剤(ビックケミー・ジャパン社製、BYK−118)
1−4.硬化剤
・2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン(BASFジャパン株式会社製、IRGACURE 907)
1−5.脂肪族多官能アクリレート
・ペンタエリスリトールトリアクリレート(PETA)(新中村化学株式会社製、A−TMM−3LM−N)
1. 1. Materials used In the following examples and comparative examples, the following materials were used.
1-1. Inorganic fine particles, zirconium oxide (manufactured by Daiichi Rare Element Chemical Industry Co., Ltd., UEP-50)
-Zirconium oxide (UEP-100, manufactured by Daiichi Rare Element Chemical Industry Co., Ltd.)
1-2. Solvent / Cyclohexanone (manufactured by Sinopec)
-Propylene glycol monomethyl ether acetate (manufactured by Daicel Corporation, PGMEA)
-Propylene glycol monomethyl ether (manufactured by Nippon Emulsifier Co., Ltd., PGME)
1-3. Dispersant / Polymer-type dispersant (manufactured by Big Chemie Japan, BYK-118)
1-4. Hardener 2-Methyl-1- (4-Methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one (manufactured by BASF Japan Ltd., IRGACURE 907)
1-5. Aliphatic polyfunctional acrylate, pentaerythritol triacrylate (PETA) (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., A-TMM-3LM-N)

2.合成例
(合成例1)エポキシ化合物Aの合成
撹拌機と冷却管と温度計を備える1000mlの反応器に、ペンタエリスリトール100g、トルエン100g、三フッ化ホウ素エーテル錯体2.2gを仕込み、内温を90〜100℃に調整した。次に、エピクロルヒドリン407gを3時間かけて滴下し、滴下終了後更に3時間撹拌した。ガスクロマトグラフにより、エピクロルヒドリンが完全に消費された事を確認し、内温を50〜60℃に調整した。次に、49%液体苛性ソーダ240gを3時間かけて滴下して、引き続き1時間の熟成を行った。得られた反応液を2000mlの容器に移し、トルエン300gで希釈した後、生成した塩濃度が10%水溶液となるように軟水を加えて撹拌溶解し、トルエン層を分離抽出して、生成塩を除去したのち、軟水で有機層を洗い、エバポレータにより100℃で減圧濃縮を行って有機層からエピクロルヒドリンを除去してエポキシ化合物Aを得た。このエポキシ化合物Aのエポキシ当量は、240g/eqであった。
2. Synthesis Example (Synthesis Example 1) Synthesis of epoxy compound A 100 g of pentaerythritol, 100 g of toluene, and 2.2 g of boron trifluoride ether complex are charged into a 1000 ml reactor equipped with a stirrer, a cooling tube, and a thermometer, and the internal temperature is adjusted. The temperature was adjusted to 90 to 100 ° C. Next, 407 g of epichlorohydrin was added dropwise over 3 hours, and after completion of the addition, the mixture was further stirred for 3 hours. It was confirmed by gas chromatography that epichlorohydrin was completely consumed, and the internal temperature was adjusted to 50 to 60 ° C. Next, 240 g of 49% liquid caustic soda was added dropwise over 3 hours, followed by aging for 1 hour. The obtained reaction solution is transferred to a 2000 ml container, diluted with 300 g of toluene, soft water is added so that the produced salt concentration becomes a 10% aqueous solution, and the mixture is stirred and dissolved, and the toluene layer is separated and extracted to obtain the produced salt. After removal, the organic layer was washed with soft water and concentrated under reduced pressure at 100 ° C. using an evaporator to remove epichlorohydrin from the organic layer to obtain epoxy compound A. The epoxy equivalent of this epoxy compound A was 240 g / eq.

(合成例2)エポキシ化合物Bの合成
ポリブタジエングリコール(日本曹達株式会社製、NISSO−PB G−2000、数平均分子量2500、1,2−ブタジエン骨格/1,4−ブタジエン骨格=90/10)100部、エピクロルヒドリン35部、水酸化ナトリウム16部及びトルエン50部を仕込み、激しく攪拌しながら窒素雰囲気下で50℃、5時間反応させた。反応後、水100部を加え10分攪拌して水洗した。静置後、上層を分液し、濾過後、過剰のエピクロルヒドリンとトルエンを減圧除去し、残渣としてエポキシ化合物Bを得た。このエポキシ化合物Bのエポキシ当量は1520g/eqであった。
(Synthesis Example 2) Synthesis of Epoxy Compound B Polybutadiene glycol (manufactured by Nippon Soda Co., Ltd., NISSO-PB G-2000, number average molecular weight 2500, 1,2-butadiene skeleton / 1,4-butadiene skeleton = 90/10) 100 35 parts of epichlorohydrin, 16 parts of sodium hydroxide and 50 parts of toluene were charged and reacted at 50 ° C. for 5 hours in a nitrogen atmosphere with vigorous stirring. After the reaction, 100 parts of water was added, and the mixture was stirred for 10 minutes and washed with water. After standing, the upper layer was separated, and after filtration, excess epichlorohydrin and toluene were removed under reduced pressure to obtain epoxy compound B as a residue. The epoxy equivalent of this epoxy compound B was 1520 g / eq.

(合成例3)エポキシ化合物Cの合成
撹拌機と冷却管と温度計を備える1000mlの反応器に、トリメチロールプロパン114g及びエピクロルヒドリン700gを加え、さらにテトラメチルアンモニウムクロライドを5.4g加え、減圧下で液温度を55〜65℃に保ち、あわせて水を除去しながら、49%液体苛性ソーダ200gを4時間かけて滴下して、引き続き1時間の熟成を行った。
得られた反応液に対して、生成した塩濃度が10%水溶液となるように軟水を加えて撹拌溶解し、エピクロルヒドリン層を分離抽出して、生成塩を除去したのち、軟水で有機層を洗い、エバポレータにより100℃で減圧濃縮を行って有機層からエピクロルヒドリンを除去してエポキシ化合物Cを得た。このエポキシ化合物Cのエポキシ当量は、150g/eqであった。
(Synthesis Example 3) Synthesis of epoxy compound C 114 g of trimethylolpropane and 700 g of epichlorohydrin are added to a 1000 ml reactor equipped with a stirrer, a cooling tube and a thermometer, and 5.4 g of tetramethylammonium chloride is further added under reduced pressure. While maintaining the liquid temperature at 55 to 65 ° C. and removing water, 200 g of 49% liquid caustic soda was added dropwise over 4 hours, followed by aging for 1 hour.
Soft water is added to the obtained reaction solution so that the produced salt concentration becomes a 10% aqueous solution, and the mixture is stirred and dissolved. The epichlorohydrin layer is separated and extracted to remove the produced salt, and then the organic layer is washed with soft water. , Epichlorohydrin was removed from the organic layer by concentration under reduced pressure at 100 ° C. using an evaporator to obtain epoxy compound C. The epoxy equivalent of this epoxy compound C was 150 g / eq.

(合成例4)エポキシ化合物Dの合成
合成例1の操作において、ペンタエリスリトールをソルビトール100gに変更し、エピクロルヒドリンの量を305g、49%苛性ソーダの量を256g、反応後のトルエンの量を500gとした以外は同様な操作を行い、エポキシ化合物Dを得た。このエポキシ化合物Dのエポキシ当量は、170g/eqであった。
(Synthesis Example 4) Synthesis of Epoxy Compound D In the operation of Synthesis Example 1, pentaerythritol was changed to 100 g of sorbitol, the amount of epichlorohydrin was 305 g, the amount of 49% caustic soda was 256 g, and the amount of toluene after the reaction was 500 g. Epoxy compound D was obtained by carrying out the same operation except for the above. The epoxy equivalent of this epoxy compound D was 170 g / eq.

(合成例5)エポキシ化合物Eの合成
合成例1の操作において、ペンタエリスリトールをグリセリン100gに変更し、エピクロルヒドリンの量を302g、49%苛性ソーダの量を253g、反応後のトルエンの量を500gとした以外は同様な操作を行い、エポキシ化合物Eを得た。このエポキシ化合物Eのエポキシ当量は、142g/eqであった。
(Synthesis Example 5) Synthesis of Epoxy Compound E In the operation of Synthesis Example 1, pentaerythritol was changed to 100 g of glycerin, the amount of epichlorohydrin was 302 g, the amount of 49% caustic soda was 253 g, and the amount of toluene after the reaction was 500 g. Epoxy compound E was obtained in the same manner except for the above. The epoxy equivalent of this epoxy compound E was 142 g / eq.

(合成例6)エポキシ化合物Fの合成
合成例1の操作において、ペンタエリスリトールをソルビトール100gに変更し、エピクロルヒドリンの量を270g、49%苛性ソーダの量を226g、反応後のトルエンの量を500gとした以外は同様な操作を行い、エポキシ化合物Fを得た。このエポキシ化合物Fのエポキシ当量は、175g/eqであった。
(Synthesis Example 6) Synthesis of Epoxy Compound F In the operation of Synthesis Example 1, pentaerythritol was changed to 100 g of sorbitol, the amount of epichlorohydrin was 270 g, the amount of 49% caustic soda was 226 g, and the amount of toluene after the reaction was 500 g. Epoxy compound F was obtained by carrying out the same operation except for the above. The epoxy equivalent of this epoxy compound F was 175 g / eq.

(合成例7)エポキシ化合物Gの合成
合成例1の操作において、ペンタエリスリトールをPolyglycerol 4(ソルベイジャパン株式会社製)100gに変更し、エピクロルヒドリンの量を130g、49%苛性ソーダの量を107g、反応後のトルエンの量を500gとした以外は同様な操作を行い、エポキシ化合物Gを得た。このエポキシ化合物Gのエポキシ当量は、190g/eqであった。
(Synthesis Example 7) Synthesis of Epoxy Compound G In the operation of Synthesis Example 1, pentaerythritol was changed to 100 g of Polyglycerol 4 (manufactured by Solbay Japan Co., Ltd.), the amount of epichlorohydrin was 130 g, the amount of 49% caustic soda was 107 g, and after the reaction. The same operation was carried out except that the amount of toluene was 500 g, to obtain epoxy compound G. The epoxy equivalent of this epoxy compound G was 190 g / eq.

(合成例8)縮環構造含有樹脂Aの合成
300ml四つ口フラスコ中に、ビスフェノールフルオレンジグリシジルエーテル(大阪ガスケミカル株式会社製:オグソールPG)115g(エポキシ当量270g/eq)、触媒としてトリエチルベンジルアンモニウムクロライド600mg、重合禁止剤として2,6−ジイソブチルフェノール30mg、及びアクリル酸36gを仕込み、これに10mL/分の速度で空気を吹き込みながら90〜100℃で加熱溶解した。次に、これを徐々に120℃まで昇温させた。溶液は透明粘稠となったがそのまま攪拌を継続した。この間、酸価を測定し、1.0mgKOH/g未満になるまで加熱攪拌を続け、淡黄色透明で固体状の縮環構造含有エポキシエステル樹脂を得た。酸価が目標に達するまで15時間を要した。この縮環構造含有エポキシエステル樹脂に、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)65gを加えて溶解した後、無水ピロメリット酸(PMDA)27g、テトラヒドロ無水フタル酸(THPA)7.6g及び臭化テトラエチルアンモニウム0.1gを混合し、これを徐々に昇温して110〜115℃で14時間反応させた。このようにして、縮環構造含有樹脂AのPGMEA溶液を得た。酸無水物の消失はIRスペクトルにより確認した。また、この縮環構造含有樹脂Aは、上記多価カルボン酸樹脂(G−a−ii)に相当する。
(Synthesis Example 8) Synthesis of fused ring structure-containing resin A 115 g (epoxy equivalent 270 g / eq) of bisphenol full orange glycidyl ether (manufactured by Osaka Gas Chemical Co., Ltd .: Ogsol PG) in a 300 ml four-necked flask, and triethylbenzyl as a catalyst. 600 mg of ammonium chloride, 30 mg of 2,6-diisobutylphenol as a polymerization inhibitor, and 36 g of acrylic acid were charged and dissolved by heating at 90 to 100 ° C. while blowing air at a rate of 10 mL / min. Next, the temperature was gradually raised to 120 ° C. The solution became transparent and viscous, but stirring was continued as it was. During this period, the acid value was measured, and heating and stirring were continued until the acid value became less than 1.0 mgKOH / g to obtain a pale yellow transparent solid-state condensed ring structure-containing epoxy ester resin. It took 15 hours for the acid value to reach the target. To this fused ring structure-containing epoxy ester resin, 65 g of propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) was added and dissolved, and then 27 g of pyromellitic anhydride (PMDA), 7.6 g of tetrahydrophthalic anhydride (THPA) and tetraethylammonium bromide were added. 0.1 g was mixed, the temperature was gradually raised, and the reaction was carried out at 110 to 115 ° C. for 14 hours. In this way, a PGMEA solution of the fused ring structure-containing resin A was obtained. The disappearance of the acid anhydride was confirmed by IR spectrum. Further, the condensed ring structure-containing resin A corresponds to the above-mentioned multivalent carboxylic acid resin (GA-ii).

(合成例9)縮環構造含有樹脂Bの合成
合成例8と同様にして得られた縮環構造含有エポキシエステル樹脂に、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)65g及び多価アルコールとして、ジトリメチロールプロパン1.5gを加えて溶解した後、無水ピロメリット酸(PMDA)27g及び臭化テトラエチルアンモニウム0.1gを混合し、これを徐々に昇温して110〜115℃で14時間反応させた。さらに、テトラヒドロ無水フタル酸(THPA)7.6gを添加し、10時間反応させ、縮環構造含有樹脂BのPGMEA溶液を得た。酸無水物の消失はIRスペクトルにより確認した。また、この縮環構造含有樹脂Bは、上記多価カルボン酸樹脂(G−b−iii)に相当する。
(Synthesis Example 9) Synthesis of Fused Ring Structure-Containing Resin B In the condensed ring structure-containing epoxy ester resin obtained in the same manner as in Synthesis Example 8, 65 g of propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) and ditrimethylolpropane as a polyhydric alcohol are used. After 1.5 g was added and dissolved, 27 g of pyromellitic anhydride (PMDA) and 0.1 g of tetraethylammonium bromide were mixed, and the temperature was gradually increased and reacted at 110 to 115 ° C. for 14 hours. Further, 7.6 g of tetrahydrophthalic anhydride (THPA) was added and reacted for 10 hours to obtain a PGMEA solution of the fused ring structure-containing resin B. The disappearance of the acid anhydride was confirmed by IR spectrum. Further, the condensed ring structure-containing resin B corresponds to the above-mentioned multivalent carboxylic acid resin (G-b-iii).

(合成例10)縮環構造含有樹脂Cの合成
下記式(13)で表されるエポキシエステル樹脂にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)65gを加えて溶解させた後、ビスフェノールテトラカルボン酸二無水物(BPDA)35g及び臭化テトラエチルアンモニウム0.1gを混合し、これを徐々に昇温して110〜115℃で14時間反応させ、縮環構造含有樹脂CのPGMEA溶液を得た。酸無水物の消失はIRスペクトルにより確認した。また、この縮環構造含有樹脂Cは、上記多価カルボン酸樹脂(G−a−i)に相当する。
なお、下記式(13)で表されるエポキシエステル樹脂は、特開2009−185270にて開示された方法に従い合成した。
(Synthesis Example 10) Synthesis of fused ring structure-containing resin C After adding 65 g of propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) to an epoxy ester resin represented by the following formula (13) and dissolving it, bisphenol tetracarboxylic acid dianhydride 35 g of (BPDA) and 0.1 g of tetraethylammonium bromide were mixed, and the temperature was gradually raised and reacted at 110 to 115 ° C. for 14 hours to obtain a PGMEA solution of the fused ring structure-containing resin C. The disappearance of the acid anhydride was confirmed by IR spectrum. Further, the condensed ring structure-containing resin C corresponds to the above-mentioned multivalent carboxylic acid resin (GAi).
The epoxy ester resin represented by the following formula (13) was synthesized according to the method disclosed in JP-A-2009-185270.

Figure 0006912695
Figure 0006912695

3.実施例
(実施例1〜17、比較例1)
表1に示す重量比で無機微粒子、溶剤、縮環構造含有樹脂、エポキシ基を1つ以上有する化合物、分散剤及び脂肪族多官能アクリレートを混合し、メディア型分散機(ビーズミル)を用いて分散させ、さらに硬化剤を混合することにより複合樹脂組成物を得た。得られた複合樹脂組成物を用いて、後述する方法により無機微粒子の分散後の平均粒子径、屈折率、現像性、残膜率を評価した。結果を表1に示す。
3. 3. Examples (Examples 1 to 17, Comparative Example 1)
Inorganic fine particles, solvent, fused ring structure-containing resin, compound having one or more epoxy groups, dispersant and aliphatic polyfunctional acrylate are mixed in the weight ratio shown in Table 1 and dispersed using a media type disperser (bead mill). The mixture was further mixed with a curing agent to obtain a composite resin composition. Using the obtained composite resin composition, the average particle size, refractive index, developability, and residual film ratio after dispersion of the inorganic fine particles were evaluated by the method described later. The results are shown in Table 1.

4.評価方法
4−1.無機微粒子の分散後の平均粒子径
各実施例及び比較例で得られた複合樹脂組成物について、Malvern社製ゼータサイザーナノZSを用いて、動的光散乱法にて測定した散乱強度分布に基づきZ−平均粒子径を算出した。
4. Evaluation method 4-1. Average particle size after dispersion of inorganic fine particles The composite resin compositions obtained in each Example and Comparative Example were based on the scattering intensity distribution measured by a dynamic light scattering method using a Zetasizer Nano ZS manufactured by Malvern. The Z-average particle size was calculated.

4−2.屈折率
各実施例及び比較例で得られた複合樹脂組成物を、スピンナーを用いてシリコン基板に塗布した後、100℃のホットプレート上で2分間プリベークして厚み約0.1μmの塗膜を形成した。この塗膜を有するシリコン基板の塗膜表面に所定のパターンを有するマスクを置き、窒素雰囲気下で、250Wの高圧水銀ランプを用いて、波長365nmにて光強度18.9mW/cmの紫外線を1000mJ/cmのエネルギー量となるように照射した。次いで、0.5重量%の水酸化カリウム水溶液を用いて23℃で60秒間の現像処理を行い、塗膜の未露光部を除去した。その後、超純水でリンス処理を行った。得られた塗膜を有する基板を200℃のオーブンに入れ、ポストベーク処理を30分間行い、塗膜を加熱硬化させ、複合樹脂硬化物を得た。得られた複合樹脂硬化物について、光干渉式膜質測定機を用いて、550nmにおける屈折率を測定した。
4-2. Refractive index The composite resin compositions obtained in each Example and Comparative Example are applied to a silicon substrate using a spinner, and then prebaked on a hot plate at 100 ° C. for 2 minutes to form a coating film having a thickness of about 0.1 μm. Formed. A mask having a predetermined pattern is placed on the coating film surface of a silicon substrate having this coating film, and an ultraviolet ray having a light intensity of 18.9 mW / cm 2 is emitted at a wavelength of 365 nm using a 250 W high-pressure mercury lamp in a nitrogen atmosphere. Irradiation was performed so that the energy amount was 1000 mJ / cm 2. Next, a development treatment was carried out at 23 ° C. for 60 seconds using a 0.5% by weight potassium hydroxide aqueous solution to remove an unexposed portion of the coating film. Then, it was rinsed with ultrapure water. The substrate having the obtained coating film was placed in an oven at 200 ° C., post-baked for 30 minutes, and the coating film was heat-cured to obtain a cured composite resin. The refractive index of the obtained cured composite resin product at 550 nm was measured using a photo-interference type film quality measuring machine.

4−3.現像性
上記4−2.に記載の現像処理を行った時の、現像後の未露光部について、残渣の有無を目視で確認した。
◎:残渣なし
○:わずかに残渣あり
4-3. Developability 4-2. The presence or absence of residue was visually confirmed in the unexposed portion after development when the development treatment described in the above was performed.
◎: No residue ○: Slight residue

4−4.残膜率
上記4−2.に記載のポストベーク処理後の塗膜を有するシリコン基板を用い、25℃の条件下、下記(i)〜(iv)の工程に従って耐薬品性試験を行い、試験後の残膜率((試験後の膜厚/試験前の膜厚)×100)を求めた。
(i)PGMEA中に基板を180秒間浸した後、150℃のオーブンに入れて塗膜中に残存する溶剤を除去した。
(ii)5重量%の水酸化カリウム水溶液中に180秒間浸した後、超純水でリンス処理を行い、150℃のオーブンに入れて残存する水を除去した。
(iii)3.4重量%のシュウ酸水溶液に180秒間浸した後、(ii)と同様に洗浄・乾燥を行った。
(iv)2.38重量%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH)水溶液に180秒間浸した後、(ii)と同様に洗浄・乾燥を行った。
4-4. Residual film ratio 4-2. Using the silicon substrate having the coating film after the post-baking treatment described in the above, a chemical resistance test is performed under the conditions of 25 ° C. according to the following steps (i) to (iv), and the residual film thickness after the test ((test). Later film thickness / film thickness before test) × 100) was determined.
(I) After immersing the substrate in PGMEA for 180 seconds, the substrate was placed in an oven at 150 ° C. to remove the solvent remaining in the coating film.
(Ii) After immersing in a 5 wt% potassium hydroxide aqueous solution for 180 seconds, the mixture was rinsed with ultrapure water and placed in an oven at 150 ° C. to remove residual water.
(Iii) After immersing in a 3.4% by weight aqueous oxalic acid solution for 180 seconds, washing and drying were carried out in the same manner as in (ii).
(Iv) After immersing in a 2.38 wt% tetramethylammonium hydroxide (TMAH) aqueous solution for 180 seconds, washing and drying were carried out in the same manner as in (ii).

Figure 0006912695
Figure 0006912695

Claims (11)

無機微粒子、
溶剤、
インデン、テトラリン、フルオレン、キサンテン、アントラセン、及び、ベンズアントラセンからなる群より選択される少なくとも1種に由来する縮環構造を有するエポキシエステル樹脂又は多価カルボン酸樹脂、並びに、
エポキシ基を1つ以上有する化合物を含み、
エポキシ基を1つ以上有する化合物は、ポリブタジエンジグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、ソルビトールポリグリシジルエーテル、グリセロールポリグリシジルエーテル、及び、ポリグリセロールポリグリシジルエーテルからなる群より選択される少なくとも1種であり、
無機微粒子の分散後の平均粒子径は10〜70nmであり、
無機微粒子が、酸化ジルコニウム、酸化チタン及びチタン酸バリウムからなる群より選択される少なくとも1種であることを特徴とする複合樹脂組成物。
Inorganic particles,
solvent,
Indene, tetralin, fluorene, xanthene, anthracene, and epoxy ester resins or polycarboxylic acid resins which have a condensed ring structure derived from at least one selected from the group consisting of benzanthracene, and,
Contains compounds with one or more epoxy groups
The compound having one or more epoxy groups is selected from the group consisting of polybutadiene diglycidyl ether, trimethylolpropane polyglycidyl ether, pentaerythritol polyglycidyl ether, sorbitol polyglycidyl ether, glycerol polyglycidyl ether, and polyglycerol polyglycidyl ether. At least one species that is
The average particle size after dispersion of the inorganic fine particles Ri 10~70nm der,
Inorganic fine particles, zirconium oxide, a composite resin composition, wherein the at least one Tanedea Rukoto selected from the group consisting of titanium oxide and barium titanate.
さらに、分散剤及び/又は表面処理剤を含み、
分散剤及び表面処理剤の合計含有量は、無機微粒子100重量部に対して、有効成分重量で5重量部以下である、請求項1に記載の複合樹脂組成物。
In addition, it contains a dispersant and / or a surface treatment agent.
The composite resin composition according to claim 1, wherein the total content of the dispersant and the surface treatment agent is 5 parts by weight or less in terms of the weight of the active ingredient with respect to 100 parts by weight of the inorganic fine particles.
エポキシエステル樹脂又は多価カルボン酸樹脂が、フルオレンに由来する縮環構造、及び、(メタ)アクリロイル基を有する、請求項1又は2に記載の複合樹脂組成物。 The composite resin composition according to claim 1 or 2 , wherein the epoxy ester resin or polyvalent carboxylic acid resin has a fused ring structure derived from fluorene and a (meth) acryloyl group. エポキシ基を1つ以上有する化合物の水溶率が0〜70重量%である、請求項1〜のいずれか1項に記載の複合樹脂組成物。 The composite resin composition according to any one of claims 1 to 3 , wherein the water content of the compound having one or more epoxy groups is 0 to 70% by weight. エポキシ基を1つ以上有する化合物のエポキシ当量が100〜1000g/eqであり、かつ、エポキシ基を1つ以上有する化合物の含有量が全固形分中0.1〜45重量%である、請求項1〜のいずれか1項に記載の複合樹脂組成物。 The claim that the epoxy equivalent of the compound having one or more epoxy groups is 100 to 1000 g / eq, and the content of the compound having one or more epoxy groups is 0.1 to 45% by weight in the total solid content. The composite resin composition according to any one of 1 to 4. さらに、脂肪族多官能アクリレートを含む、請求項1〜のいずれか1項に記載の複合樹脂組成物。 The composite resin composition according to any one of claims 1 to 5 , further comprising an aliphatic polyfunctional acrylate. 無機微粒子の含有量が、全固形分中30〜80重量%である、請求項1〜のいずれか1項に記載の複合樹脂組成物。 The composite resin composition according to any one of claims 1 to 6 , wherein the content of the inorganic fine particles is 30 to 80% by weight based on the total solid content. 請求項1〜のいずれか1項に記載の複合樹脂組成物を熱硬化及び光硬化させたことを特徴とする複合樹脂硬化物。 A cured composite resin obtained by thermosetting and photocuring the composite resin composition according to any one of claims 1 to 7. 薄膜又は成形体である、請求項に記載の複合樹脂硬化物。 The cured composite resin according to claim 8 , which is a thin film or a molded product. 請求項又はに記載の複合樹脂硬化物を備えたことを特徴とする光学フィルム。 An optical film comprising the cured composite resin according to claim 8 or 9. 請求項又はに記載の複合樹脂硬化物を備えたことを特徴とする表示素子。
A display device comprising the cured composite resin according to claim 8 or 9.
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