JP6886895B2 - Suction nozzle assembly - Google Patents
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Description
本開示は、吸着ノズル組立体に関するものである。 The present disclosure relates to a suction nozzle assembly.
従来、半導体素子、コンデンサおよび抵抗器などのチップ状の電子部品の搬送には、電子部品搬送機に装着された吸着ノズル組み立て体が用いられている。この吸着ノズル組み立て体は、吸着ノズルとフランジとが組み合わされたものであり、吸引孔となる貫通孔を備える。 Conventionally, a suction nozzle assembly mounted on an electronic component carrier has been used to transport chip-shaped electronic components such as semiconductor elements, capacitors, and resistors. This suction nozzle assembly is a combination of a suction nozzle and a flange, and includes a through hole that serves as a suction hole.
そして、近年においては、電子部品の吸着の信頼性を上げるべく、電子部品の形状に合わせて吸引孔の形状が、円状ではなく、矩形状やカプセル状のものが用いられている。そのため、吸着ノズルとフランジとは、単に組み合わせるのではなく、所定の向きに合わせる必要があった。 In recent years, in order to improve the reliability of adsorption of electronic components, the shape of the suction hole is not circular but rectangular or capsule-shaped according to the shape of the electronic component. Therefore, it is necessary to align the suction nozzle and the flange in a predetermined direction rather than simply combining them.
本出願人は、吸着ノズルまたはフランジの一方が、吸着ノズルの挿入方向と直行する方向で、他方に向けて突出する突出部を有しているとともに、吸着ノズルまたはフランジの他方が突出部と対応する受け部を有し、突出部と受け部の嵌め合わせにより、所定の向きに合わせることができる構成を提案している。 Applicants have a protrusion in which one of the suction nozzles or the flange projects toward the other in a direction orthogonal to the insertion direction of the suction nozzle, and the other of the suction nozzle or the flange corresponds to the protrusion. We are proposing a configuration that has a receiving portion to be used and can be aligned in a predetermined direction by fitting the protruding portion and the receiving portion.
電子部品の小型化が進むに伴い、吸着ノズルの小型化が進んだ場合、突出部および受け部の形成が困難になるおそれがあるため、より簡易的に吸着ノズルとフランジとを所定の向きに合わせることが可能な構成が求められている。 If the size of the suction nozzle is reduced as the size of the electronic component is reduced, it may be difficult to form the protrusion and the receiving part. Therefore, the suction nozzle and the flange are more easily oriented in a predetermined direction. There is a need for a configuration that can be matched.
本開示の吸着ノズル組み立て体は、セラミックスからなり、第1端から第2端にわたる貫通孔を有する吸着ノズルと、該吸着ノズルの第2端を含んで内包する筒状のフランジとを備える。前記吸着ノズルは、前記第2端から前記第1端に向かうとともに、前記貫通孔に対向して位置する、一つ以上の平らな第1面を有する。また、前記フランジは、内周面の少なくとも一部に前記第1面に対向する第2面を有する。そして、前記第1面および前記第2面が、前記フランジの回り止め部である。 The suction nozzle assembly of the present disclosure is made of ceramics and includes a suction nozzle having a through hole extending from a first end to a second end, and a tubular flange including the second end of the suction nozzle. The suction nozzle has one or more flat first surfaces that are located from the second end to the first end and face the through hole. Further, the flange has a second surface facing the first surface on at least a part of the inner peripheral surface. The first surface and the second surface are detent portions of the flange.
本開示の吸着ノズル組み立て体は、簡易的な構成でありながらも、吸着ノズルとフランジとを所定の向きに合わせることが可能である。 Although the suction nozzle assembly of the present disclosure has a simple structure, the suction nozzle and the flange can be aligned in a predetermined direction.
以下、本開示の吸着ノズル組み立て体の実施形態について説明する。 Hereinafter, embodiments of the suction nozzle assembly of the present disclosure will be described.
図1は、本開示の吸着ノズル組み立て体の一例を示す斜視図である。図2は、図1に示す吸着ノズル組み立て体の縦断面図である。図3は、図1に示す吸着ノズル組み立て体の横断面図である。なお、図2、図3における「縦」および「横」とは、吸着ノズル組み立て体の軸方向に沿った方向が「縦」であり、軸方向に直交する方向が横である。また、図2は、吸着ノズル組み立て体の中心軸を含む縦断面図である。また、図3は、図2において符号Bで示す部分の横断面図であり、吸着ノズルについては断面では無いため、ハッチングを施していない。さらに、図3においては、吸着ノズル組み立て体における、吸着ノズルおよびフランジの構成の理解を容易にするため、吸着ノズルを着色して示している。 FIG. 1 is a perspective view showing an example of the suction nozzle assembly of the present disclosure. FIG. 2 is a vertical cross-sectional view of the suction nozzle assembly shown in FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view of the suction nozzle assembly shown in FIG. The "vertical" and "horizontal" in FIGS. 2 and 3 mean "vertical" in the direction along the axial direction of the suction nozzle assembly and horizontal in the direction orthogonal to the axial direction. Further, FIG. 2 is a vertical cross-sectional view including the central axis of the suction nozzle assembly. Further, FIG. 3 is a cross-sectional view of the portion indicated by reference numeral B in FIG. 2, and since the suction nozzle is not a cross section, it is not hatched. Further, in FIG. 3, the suction nozzles are colored and shown in order to facilitate understanding of the configurations of the suction nozzles and the flanges in the suction nozzle assembly.
図1〜図3に示す吸着ノズル組み立て体10は、吸着ノズル1とフランジ2とを備える。吸着ノズル1は、セラミックスからなり、図2に示すように、第1端Aに位置する吸着面1aと、第1端Aから第2端Bわたって位置する貫通孔1bとを備える。また、フランジ2は、図2に示すように、貫通孔2aと内周面2bとを備え、吸着ノズル1の第2端Bを含んで内包する筒状体である。フランジ2が備える貫通孔2aは、吸着ノズル1が備える貫通孔1bとつながっており、電子部品を吸着するための吸引孔として機能する。
The
また、吸着ノズル1は、図3に示すように、貫通孔1bに対向して位置する、平らな第1面1cを少なくとも一つ有している。ここで、対向とは、貫通孔1bと第1面1cとが互いに向き合っているということであり、例えば、図3において、第1面1cの両端から伸ばした2つの鉛直線に挟まれる場合のことをいう。また、図4の斜視図に示すように、吸着ノズル1における第1面1cは、第2端Bから第1端Aに向かって位置している。なお、図4は第1面1cが段差部まで到達しているが、第1面1cが第2端Bから第1端Aに向かっていればよいものであり、段差部まで到達しないものであってもよい。
Further, as shown in FIG. 3, the
また、フランジ2は、内周面2bの少なくとも一部に第1面1cに対向する第2面2cを有する。なお、第2面2cは、平らな面であってもよいし、第1面1cに向かった凸曲面であってもよい。
Further, the
そして、本開示の吸着ノズル組み立て体10は、第1面1cおよび第2面2cが、吸着ノズル1に対するフランジ2の回り止め部である。このような構成を満たしていることにより、本開示の吸着ノズル組み立て体10は、簡易的な構成でありながらも、吸着ノズル1とフランジ2とを所定の向きに合わせることができる。
In the
なお、吸着ノズル1とフランジ2との組み合わせにおいては、吸着ノズル1の第2端B側をフランジ2に嵌め合わせる方法でもよいが、より強固に固定するという観点から、フランジ2の内周と吸着ノズル1の外周とに、ある程度のクリアランスを設けて接着剤を用いて固定してもよい。
In the combination of the
第2面2cは、第1面1cに平行な面であってもよい。このような構成を満たすときに
は、より回り止めの効果が高まる。また、図3に示すような、軸方向に直交する断面において、第2面2cの長さは、第1面1cの長さに近似していた方が、回り止め効果が高まる。ここで、近似とは、第1面1cの長さに対し、第2面2cの長さが95%以上である場合のことをいう。
The
吸着ノズル1の外周において、第1面1cの周方向における両側は、曲面で繋がれるものであってもよい。このような構成を満たしているときには、第1面1cの周方向における両側に角ばったところが無いため、吸着ノズル1とフランジ2とを組み合わせやすく、かつ組み合わせ時の接触によってカケが生じにくい。
On the outer circumference of the
また、曲面で繋がれているとは、図3に示すような横断面図において、第1面1cと隣接する面の接線との角度が110°以上170°以下で繋がれているとも言い換えることができる。
In addition, being connected by a curved surface can be rephrased as being connected at an angle of 110 ° or more and 170 ° or less between the
図5は、本開示の吸着ノズル組み立て体の他の例を示す、横断面図であり、横断面の切断位置は、図3と同じである。図5に示す例の吸着ノズル組み立て体20は、第1面1cと、フランジ2の内周面2bとの間に隙間3を有する。このような構成を満たしているときには、固定にあたって接着剤を用いたとき、適量を超えた場合であっても、吸着ノズル1とフランジ2との間から流れ出にくくなり、流れ出た接着剤を拭き取る作業が生じにくくなる。
FIG. 5 is a cross-sectional view showing another example of the suction nozzle assembly of the present disclosure, and the cutting position of the cross section is the same as that of FIG. The
図6〜図8は、本開示の吸着ノズル組み立て体の他の例を示す、横断面図であり、横断面の切断位置は、図3と同じである。図6に示す吸着ノズル組み立て体30は、第1面1cを2つ備える例である。図7に示す吸着ノズル組み立て体40は、第1面1cを3つ備える例である。図8に示す吸着ノズル組み立て体50は、第1面1cを4つ備える例である。このように本開示の吸着ノズル組み立て体において第1面1cは、複数であってもよい。
6 to 8 are cross-sectional views showing another example of the suction nozzle assembly of the present disclosure, and the cutting position of the cross section is the same as that of FIG. The
また、図9に示すように、軸方向に直交する方向において、フランジ2および吸着ノズル1の形状と、それぞれの中心とが近似しているときには、フランジ2の肉厚が部位によって近似することとなるため、信頼性が高まる。また、フランジ2が平らな面を有しているときには、この面を電子部品搬送機との組み合わせにおける所定の向きに合わせるための基準面とすることができる。
Further, as shown in FIG. 9, when the shapes of the
以上、本開示の吸着ノズル組み立て体について、複数の例について説明したが、以下の説明においては、上述した吸着ノズル組み立て体に共通する事項であることから、符号100を付して説明する。
Although a plurality of examples of the suction nozzle assembly of the present disclosure have been described above, in the following description, since it is a matter common to the suction nozzle assembly described above,
本開示の吸着ノズル組み立て体100における第1面1cは、粗さ曲線から求められる算術平均粗さRaが0.04μm以上0.18μm以下であってもよい。このような構成を満たすときには、固定にあたって接着剤を用いたとき、組み合わせを含む取り扱い時に吸着ノズル1の表面からの脱粒が少なく、高い接着力を有する。
The
また、本開示の吸着ノズル組み立て体100における第1面1cは、粗さ曲線から求められるスキューネスRskが−1以上1以下であってもよい。粗さ曲線から求められるスキューネスRskが−1以上1以下の面性状とは、尖りすぎていない山が適度に存在するため、固定にあたって接着剤を用いたときに高い接着力を有する。
Further, the
ここで、本開示における粗さ曲線から求められる算術平均粗さRaおよび粗さ曲線から求められるスキューネスRskとは、株式会社東京精密製のSURFCOM 1400D
という接触式の測定器を用いて得られた値である。そして、測定条件としては、触針径が2μmの触針を用い、測定長さを0.25mm、カットオフ波長の値を0.025mm、走査速度を0.06mm/秒、傾斜補正を最小二乗曲線補正に設定したものである。なお、第1面1cにおいて、少なくとも3ヵ所以上測定し、その平均値を算術平均粗さRaおよびスキューネスRskの値とする。
Here, the arithmetic mean roughness Ra obtained from the roughness curve and the skewness Rsk obtained from the roughness curve in the present disclosure are SURFCOM 1400D manufactured by Tokyo Seimitsu Co., Ltd.
It is a value obtained by using a contact type measuring instrument. As the measurement conditions, a stylus having a stylus diameter of 2 μm is used, the measurement length is 0.25 mm, the cutoff wavelength value is 0.025 mm, the scanning speed is 0.06 mm / sec, and the tilt correction is the minimum square. It is set for curve correction. It should be noted that, on the
また、本開示の吸着ノズル組み立て体100における吸着ノズル1は、第1面1cを有している部分にあたる貫通孔1bが、第1面1cを有している部分の外周形状と向きおよび形が同じであってもよい。このような構成を満たしているときには、吸着ノズル1の肉厚は揃うこととなることから、今以上に電子部品の小型化が進んだり、搬送速度を向上させたりするために求められる、吸着ノズル1の薄肉化に応えることができる。
Further, in the
具体的には、吸着ノズル1において、貫通孔1b形状と外周形状が異なったり、外周形状と貫通孔1bの向きが異なったりした場合、貫通孔1bから外周までの距離である厚みが異なることとなるが、上記構成を満たしているときには、吸着ノズル1の肉厚は揃うこととなる(図1および図10を参照)。なお、ここで向きおよび形が同じとは、厳密に合っていなければならないというものではなく、角部形状が異なるなどの近似形状を含む概念である。
Specifically, in the
次に各部材の材質について説明する。まず、フランジ2は、例えば、ステンレス、アルミニウム合金などの金属部材からなる。次に吸着ノズル1は、セラミックスからなり、例えば、ジルコニア質セラミックス、アルミナ質セラミックス、ジルコニア−アルミナ複合質セラミックスおよび炭化珪素質セラミックスなどが挙げられる。ここで、ジルコニア質セラミックスとは、ジルコニアを主成分としたセラミックスのことであり、他も同様である。なお、ここでいう主成分とは、セラミックスを構成する成分を100質量%とした場合、55質量%以上のことである。また、ジルコニア−アルミナ複合質セラミックスとは、ジルコニアおよびアルミナを含み、ジルコニアとアルミナの含有量の合計が55質量%以上であるもののことであり、ジルコニアの含有量が多い場合のみならず、アルミナの含有量が多いものであってもよい。
Next, the material of each member will be described. First, the
そして、吸着ノズル1がジルコニア質セラミックスからなるときには、機械的強度が高いことから、吸着面1bを含む第1端側の部分の径を細くすることができる。
When the
また、ジルコニア質セラミックスが、導電性成分を含むときには、吸着ノズル1が静電気を帯びたとしてもフランジ2を介して除電することができるため、静電気の帯電によって吸着ノズル1に付着した塵埃等により電子部品を汚染したり、並んでいる電子部品の整列を乱して実装位置ずれを起こしたりするおそれを少なくすることができる。ジルコニア質セラミックスからなる吸着ノズル1の具体的な抵抗値は、103Ω以上1011Ω以下で
ある。
Further, when the zirconia ceramics contain a conductive component, even if the
ここで、導電性成分とは、例えば、酸化鉄、酸化クロム、酸化チタン、酸化マンガン、酸化ニッケルなどが挙げられる。そしてこれらの導電性成分を含むときには、ジルコニア質セラミックスは暗色系の色調を呈するものとなる。一般的に、電子部品は色調が、明色系であるものが多いことから、吸着ノズル1が暗色系であるときには、後述する電子部品装着装置が備えるCCDカメラおよび画像解析装置による認識エラーや誤動作を少なくすることができる。
Here, examples of the conductive component include iron oxide, chromium oxide, titanium oxide, manganese oxide, nickel oxide and the like. When these conductive components are contained, the zirconia ceramics have a dark color tone. In general, many electronic components have a light color tone, and therefore, when the
また、接着剤としては、ジビニルベンゼン、ビスフェノールF、ポリグリシジルエーテル、ビニルシクロヘキシンジオキシド、ジシクロペンタジエンオキシド、エポキシ樹脂、ウレタン、シリコン、アクリルなどを含有する接着剤が挙げられる。ジビニルベンゼンを
含有する接着剤を用いたときには、弾力性に富み、200℃程度の温度でも塑性変形しないことから、高温の環境下でも吸着ノズル組み立て体100を使用することができる。
Examples of the adhesive include an adhesive containing divinylbenzene, bisphenol F, polyglycidyl ether, vinylcyclohexine dioxide, dicyclopentadiene oxide, epoxy resin, urethane, silicon, acrylic and the like. When an adhesive containing divinylbenzene is used, it is highly elastic and does not plastically deform even at a temperature of about 200 ° C., so that the
また、接着剤が導電性を有するものであってもよい。例えば、Au、Ag、Cu、Ni、Al、Fe、C、Co、Cr、Mo、Pd、Pt、Pb、Sn、Znの単一もしくは複合物からなるものを接着剤に混合して用いればよい。 Further, the adhesive may have conductivity. For example, a single or composite of Au, Ag, Cu, Ni, Al, Fe, C, Co, Cr, Mo, Pd, Pt, Pb, Sn, and Zn may be mixed with the adhesive and used. ..
次に、本開示の吸着ノズル組み立て体を装着した電子部品搬送機により電子部品を実装する電子部品装着装置について、図11の概略図を用いて説明する。 Next, an electronic component mounting device for mounting electronic components by an electronic component carrier equipped with the suction nozzle assembly of the present disclosure will be described with reference to the schematic view of FIG.
図11に示す電子部品装着装置9は、吸着ノズル組み立て体100を備える電子部品搬送機5と、吸着ノズル組み立て体100に吸着された電子部品4に向けて光を照射するライト6と、電子部品4を映すCCDカメラ7と、CCDカメラ7で撮影した画像を処理するための画像解析装置8とで構成されている。この電子部品装着装置9を用いることにより、トレイ上に並ぶ電子部品4を回路基板の所定位置に実装することができる。
The electronic
次に、本開示の吸着ノズル組み立て体の製造方法を説明する。 Next, a method of manufacturing the suction nozzle assembly of the present disclosure will be described.
まず、吸着ノズルの製造方法の一例について説明する。安定化剤を含むジルコニア粉末(以下、単にジルコニア粉末と記載する。)を用意する、このとき、安定化剤としてはイットリア、セリア、マグネシアなどを用いればよく、これら安定化剤を2〜8モル%程度含んでいれば実用上で強度的に十分なジルコニア質セラミックスとなる。そして、ジルコニア粉末に溶媒を加えてボールミルやビーズミル等を用いて平均粒径が0.2〜0.5μmとなるまで粉砕し、これを第1のスラリーとする。 First, an example of a method for manufacturing a suction nozzle will be described. A zirconia powder containing a stabilizer (hereinafter, simply referred to as zirconia powder) is prepared. At this time, yttria, ceria, magnesia or the like may be used as the stabilizer, and 2 to 8 mol of these stabilizers are used. If it contains about%, it becomes zirconia ceramics having sufficient strength for practical use. Then, a solvent is added to the zirconia powder and pulverized using a ball mill, a bead mill or the like until the average particle size becomes 0.2 to 0.5 μm, and this is used as the first slurry.
次に、酸化鉄、酸化クロムおよび酸化チタンを含む導電性成分粉末に溶媒を加えてボールミルやビーズミル等を用いて平均粒径が0.1〜0.5μmとなるまで粉砕し、これを第2のスラリーとする。なお、導電性成分粉末には、酸化マンガン粉末や酸化ニッケル粉末も用いることができる。ジルコニア粉末と導電性成分粉末との質量比率は、例えば、60:40〜85:15である。 Next, a solvent is added to the conductive component powder containing iron oxide, chromium oxide and titanium oxide, and the powder is pulverized using a ball mill, a bead mill or the like until the average particle size becomes 0.1 to 0.5 μm, and this is seconded. Slurry. Manganese oxide powder and nickel oxide powder can also be used as the conductive component powder. The mass ratio of the zirconia powder to the conductive component powder is, for example, 60:40 to 85:15.
次に、第1のスラリーと第2のスラリーとを混合した後にスプレードライヤーで噴霧乾燥することにより顆粒とする。なお、この混合時に分散剤を加えてもよい。分散剤の添加量としては、例えば、ジルコニア粉末および導電性成分粉末の合計100質量部に対し、0.1〜1.0質量部である。 Next, the first slurry and the second slurry are mixed and then spray-dried with a spray dryer to obtain granules. A dispersant may be added at the time of this mixing. The amount of the dispersant added is, for example, 0.1 to 1.0 parts by mass with respect to 100 parts by mass in total of the zirconia powder and the conductive component powder.
次に、この顆粒と熱可塑性樹脂とワックス等をニーダに投入して加熱しながら混練して坏土を得る。そして、得られた坏土をペレタイザーに投入することにより、インジェクション成形(射出成形)用の原料となるペレットを得る。なお、ニーダに投入する熱可塑性樹脂としては、エチレン酢酸ビニル共重合体、ポリスチレン、アクリル系樹脂などを用いることができ、添加量としては、ジルコニア粉末および導電性成分粉末の合計100質量部に対し、10〜25質量部程度添加すればよい。また、ニーダを用いての混練条件は、加熱温度を100〜170℃、混練時間を0.5〜3時間に設定すればよい。 Next, these granules, a thermoplastic resin, wax and the like are put into a kneader and kneaded while heating to obtain a clay. Then, the obtained clay is put into a pelletizer to obtain pellets as a raw material for injection molding (injection molding). As the thermoplastic resin to be charged into the kneader, ethylene vinyl acetate copolymer, polystyrene, acrylic resin and the like can be used, and the amount of addition is 100 parts by mass in total of the zirconia powder and the conductive component powder. , About 10 to 25 parts by mass may be added. Further, the kneading conditions using the kneader may be set to a heating temperature of 100 to 170 ° C. and a kneading time of 0.5 to 3 hours.
次に、所望形状が得られる金型を備えるインジェクション成形機(射出成形機)にペレットを投入して射出成形して成形体を得る。その後、成形体を脱脂し、大気雰囲気中において、1300〜1500℃の温度で1〜3時間保持して焼成することにより、ジルコニア質セラミックスからなる吸着ノズルを得ることができる。 Next, pellets are put into an injection molding machine (injection molding machine) provided with a mold for obtaining a desired shape, and injection molding is performed to obtain a molded product. After that, the molded product is degreased and fired in an air atmosphere at a temperature of 1300 to 1500 ° C. for 1 to 3 hours to obtain an adsorption nozzle made of zirconia ceramics.
また、焼成後に湿式バレルや乾式バレルを行なうこともできる。さらに、成形体を得た
後に、第1面となる部分を切削加工したり、焼成後に研磨加工により第1面を形成したりしてもよい。
It is also possible to carry out a wet barrel or a dry barrel after firing. Further, after obtaining the molded product, the portion to be the first surface may be cut, or the first surface may be formed by polishing after firing.
また、第1面の表面性状は、上記金型における第1面に相当する部分の表面性状の転写により所望の表面性状にすることができる。また、焼成後に湿式バレルや乾式バレルなどの加工を行なうときには、上記金型における第1面に相当する部分の表面性状を、加工による表面性状の変化を考慮したものとすればよい。 Further, the surface texture of the first surface can be made into a desired surface texture by transferring the surface texture of the portion corresponding to the first surface in the mold. Further, when processing a wet barrel, a dry barrel, or the like after firing, the surface texture of the portion corresponding to the first surface of the mold may be considered to change in the surface texture due to the processing.
次に、金属部材からなる所望形状のフランジを用意して、吸着ノズルとフランジとを組み合わせることにより、本開示の吸着ノズル組み立て体を得ることができる。なお、接着剤を用いる例としては、例えば、ジビニルベンゼンを含有する接着剤を用意し、吸着ノズルにおいてフランジの内周に対向する部分に接着剤を塗布してから、フランジと組み合わせればよい。 Next, by preparing a flange having a desired shape made of a metal member and combining the suction nozzle and the flange, the suction nozzle assembly of the present disclosure can be obtained. As an example of using the adhesive, for example, an adhesive containing divinylbenzene may be prepared, the adhesive may be applied to a portion of the suction nozzle facing the inner circumference of the flange, and then combined with the flange.
1:吸着ノズル
1a:吸着面
1b:貫通孔
1c:第1面
2:フランジ
2a:貫通孔
2b:内周面
2c:第2面
3:隙間
10、20、30、40、50、60、70:吸着ノズル組み立て体
4:電子部品
5:電子部品搬送機
6:ライト
7:CCDカメラ
8:画像解析装置
9:電子部品装着装置
1:
Claims (9)
該吸着ノズルの第2端を含んで内包する筒状のフランジと、を備え、
前記吸着ノズルは、前記第2端から前記第1端に向かうとともに、前記貫通孔に対向して位置する、一つ以上の平らな第1面を有し、
前記フランジは、内周面の少なくとも一部に前記第1面に対向する第2面を有し、
前記第1面および前記第2面が、前記フランジの回り止め部であり、
前記第1面は、粗さ曲線から求められるスキューネスRskが−1以上1以下である、
吸着ノズル組み立て体。 A suction nozzle made of ceramics and having a through hole extending from the first end to the second end,
A tubular flange that includes the second end of the suction nozzle and is included in the suction nozzle.
The suction nozzle has one or more flat first surfaces that are located from the second end to the first end and face the through hole.
The flange has a second surface facing the first surface on at least a part of the inner peripheral surface.
The first surface and the second surface, Ri detent portion der of the flange,
The first surface has a skewness Rsk obtained from the roughness curve of -1 or more and 1 or less.
Suction nozzle assembly.
該吸着ノズルの第2端を含んで内包する筒状のフランジと、を備え、A tubular flange that includes the second end of the suction nozzle and is included in the suction nozzle.
前記吸着ノズルは、前記第2端から前記第1端に向かうとともに、前記貫通孔に対向して位置する、一つ以上の平らな第1面を有し、The suction nozzle has one or more flat first surfaces that are located from the second end to the first end and face the through hole.
前記フランジは、内周面の少なくとも一部に前記第1面に対向する第2面を有し、The flange has a second surface facing the first surface on at least a part of the inner peripheral surface.
前記第1面および前記第2面が、前記フランジの回り止め部であり、The first surface and the second surface are detent portions of the flange.
前記吸着ノズルは、前記第1面を有している部分にあたる前記貫通孔が、前記第1面を有している部分の外周形状と向きおよび形が同じである、In the suction nozzle, the through hole corresponding to the portion having the first surface has the same orientation and shape as the outer peripheral shape of the portion having the first surface.
吸着ノズル組み立て体。Suction nozzle assembly.
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