JP6884901B2 - 粒子分別装置 - Google Patents
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Description
(2)また、本発明のある実施形態は、上記(1)の構成に加え、1組以上の前記分別用電極を一対として分別用電極対を形成し、複数の前記分別用電極対を前記流路にそって複数配置する、粒子分別装置。
(3)また、本発明のある実施形態は、上記(1)または、上記(2)の構成に加え、1組以上の前記分別用電極に対応したスイッチ回路を備え、前記スイッチ回路によって前記分別用電極への交流電圧の印加を制御する、粒子分別装置。
(4)また、本発明のある実施形態は、上記(1)、上記(2)または、上記(3)の構成に加え、前記分別用電極の上面を流れる前記粒子の通過に伴って、前記分別用電極対の直上にあると推定されるときのみ、前記スイッチ回路によって前記分別用電極への交流電圧の印加を与える、粒子分別装置。
(5)また、本発明のある実施形態は、上記(1)、上記(2)、上記(3)または、上記(4)の構成に加え、記複数の粒子を個別に区別するための光を受光する複数のフォトダイオードを備え、前記複数のフォトダイオードの各々の出力信号を参照して、複数の粒子中における第1粒子が上記分別用電極の上を通過するタイミングを特定し、当該タイミングの特定結果に基づいて、上記分別用電極を駆動させる期間を制御する制御部を備えている、粒子分別装置。
(6)また、本発明のある実施形態は、上記(1)、上記(2)、上記(3)、上記(4)または、上記(5)の構成に加え、前記溝の底面が、前記フォトダイオード上の表面まで形成され、かつ同じ高さに形成される、粒子分別装置。
粒子分別装置1の概要について、図1の(a)、図1の(b)および図2を用いて説明する。
粒子分別装置1において粒子にかかる力(誘電泳動力)について図2を用いて説明する。なお、図2では、粒子40が液体41により紙面向かって左から右に移動し、誘電泳動電極18と誘電泳動電極19とにかかる誘電泳動力により粒子40にかかる力について説明する。
本発明の実施形態に係る粒子分別装置1について図1〜図8を用いて説明する。図1は、CMOS集積回路とマイクロ流体システムとで構成される粒子分別装置の模式図である。図2は、粒子分別装置の一面における断面の模式図である。図3は、粒子分別装置の図2とは異なる断面における模式図である。図4は、粒子分別装置におけるパッシベーション層を除去した場合における断面の模式図である。図5〜図7は、粒子分別装置における粒子の分別の様子を示す断面の模式図である。図8は粒子分別装置における粒子の分別方法についてのフロー図である。
粒子分別装置1は、制御装置39、CMOS集積回路(半導体基板)10、およびマイクロ流体システム11を含み、CMOS集積回路10に形成される基板溝12と、マイクロ流体システム11に形成される流路溝13とによりマイクロ流路14が形成される。なお、CMOS集積回路10およびマイクロ流体システム11は、積層するように形成される。粒子分別装置1はCMOS集積回路10を単数含んでもよく、同一の基板上に、CMOS集積回路10と同様の回路を複数含んでもよい。CMOS集積回路10と同様の回路を複数含むことにより、目的となる粒子を一層精度よく分別できる。
制御装置39は、フォトダイオード(第1のセンサ)36およびフォトダイオード(第2のセンサ)37から伝えられる信号を受信し、誘電泳動電極16〜23(誘電泳動電極16、誘電泳動電極17、誘電泳動電極18、誘電泳動電極19、誘電泳動電極20、誘電泳動電極21、誘電泳動電極22、および誘電泳動電極23)と、誘電泳動電極16〜23に接続される信号源38とを接続するスイッチ回路24〜31(スイッチ回路24、スイッチ回路25、スイッチ回路26、スイッチ回路27、スイッチ回路28、スイッチ回路29、スイッチ回路30、およびスイッチ回路31)との接続状態を、開放状態もしくは短絡状態となるように、スイッチ回路24〜31のそれぞれを個別に制御する。制御装置39の機能は、記憶装置(不図示)に格納されたプログラムを、CPU(Central Processing Unit)が実行することで実現されてもよい。また、制御装置39は、例えばCPUから独立して粒子分別装置1に内蔵されていてもよいし、粒子分別装置1の外部の情報処理装置に搭載されていてもよい。制御装置39が外部の情報処理装置に搭載される場合、例えば、第1のセンサ36および第2のセンサ37から伝えられる信号を情報処理装置と制御装置39との間で送受信することにより、誘電泳動電極16〜23と、誘電泳動電極16〜23に接続される信号源38との接続を開放状態もしくは短絡状態に切り換える。
CMOS集積回路10は、フォトダイオード(第1のセンサ)36、フォトダイオード(第2のセンサ)37、誘電泳動電極16〜23、およびスイッチ回路24〜31を有し、マイクロ流体システム11に対向する面側に基板溝12が形成される。そして、CMOS集積回路10の、マイクロ流体システム11に対向する面側に、パッシベーション層15が形成される。フォトダイオード(第1のセンサ)36、フォトダイオード(第2のセンサ)37、誘電泳動電極16〜23、およびスイッチ回路24〜31は、同一のCMOS集積回路10に形成される。
マイクロ流体システム11は、特に限定されず、マイクロ流体システム11に流路溝13を形成できれば、特に限定されない。マイクロ流体システム11を形成する材料は、例えばシリコーンゴムの一種である、ポリジメチルシロキサン(PMDS)であってよい。
マイクロ流路14は、基板溝12および流路溝13から成り、誘電泳動電極16〜23の下流側に前方出口60および後方出口61が形成される。そして、マイクロ流路14では、CMOS集積回路10に形成される誘電泳動電極16〜23から発生する誘電泳動力により粒子40を移動させることにより、粒子40を分別する。
粒子分別装置1による分別の一例を図5〜図8を用いて説明する。
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。
2 レーザ
10 CMOS集積回路
11 マイクロ流体システム
12 基板溝
13 流路溝
14 マイクロ流路
15 パッシベーション層
16、17、18、19、20、21、22、23、32 誘電泳動電極
24、25、26、27、28、29、30、31 スイッチ回路
32、33、34、35 誘電泳動電極対
36 フォトダイオード(第1のセンサ)
37 フォトダイオード(第2のセンサ)
38 信号源
39 制御装置
40 粒子
41 液体
42 絶縁膜
51 目的外粒子
60 前方出口
61 後方出口
62 壁面
50 目的粒子A
51 目的外粒子
52 目的粒子B
Claims (5)
- 流路と、誘電泳動により、前記流路を流れる複数の粒子を分別する分別用電極とを備える粒子分別装置であって、
前記粒子分別装置は、前記分別用電極が埋設された絶縁膜と、パッシベーション層と、がこの順に積層された半導体基板を備え、
前記流路は、前記パッシベーション層を選択的に配置しないことにより前記パッシベーション層に形成された溝であって、前記分別用電極と前記絶縁膜とで構成される底面と前記パッシベーション層で構成される側面とを有する前記溝であり、
前記分別用電極は、前記流路を横断するように枕木状に複数配置され、
2つの前記分別用電極を一対とした分別用電極対が1組以上形成されており、前記分別用電極対は、交流電圧が印加されることにより発生する誘電泳動力により、前記流路を流れる前記複数の粒子を前記底面に対して略垂直方向に分別し、
前記分別用電極は、前記底面において前記分別用電極と前記絶縁膜とが略面一となるように前記絶縁膜に埋設されていることを特徴とする粒子分別装置。 - 前記流路には、前記粒子を含む液体が流れ、
前記分別用電極の上面は、前記底面において上記液体中に露出している
ことを特徴とする請求項1に記載の粒子分別装置。 - 前記粒子分別装置は、
前記分別用電極に対応したスイッチ回路を更に備え、前記スイッチ回路によって前記分別用電極への交流電圧の印加を制御することを特徴とする請求項1または2に記載の粒子分別装置。 - 前記分別用電極の上面を流れる前記粒子の通過に伴って、前記分別用電極対の直上にあると推定されるときのみ、前記スイッチ回路によって前記分別用電極へ交流電圧を印加することを特徴とする請求項3に記載の粒子分別装置。
- 前記粒子分別装置は、
目的粒子にマーカーとして付与した蛍光分子を励起させ、前記複数の粒子から前記目的粒子を区別するための光を前記蛍光分子に発光させる装置と、
前記流路において前記流路を流れる前記複数の粒子が前記分別用電極対よりも先に通過する場所に配置されており、前記蛍光分子から発光された光を受光する複数のフォトダイオードと、
前記複数のフォトダイオードの各々の出力信号を参照して、前記複数の粒子中における前記目的粒子が各前記分別用電極の上を通過するタイミングを特定するタイミング特定結果を出力する制御装置と
を更に備え、
前記制御装置のタイミング特定結果に基づいて、前記推定を行う
ことを特徴とする請求項4に記載の粒子分別装置。
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