JP6863102B2 - Gas sensors, gas alarms, control devices, and control methods - Google Patents

Gas sensors, gas alarms, control devices, and control methods Download PDF

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Description

本発明は、ガスセンサ、ガス警報器、制御装置、及び制御方法に関する。 The present invention relates to a gas sensor, a gas alarm, a control device, and a control method.

従来、予備検知と、予備検知の結果に応じた本検知とを実行するガス検出方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。特許文献1において予備検知と本検知とは異なる温度で実行される。また、関連する技術として、ガスセンサを少なくとも3つの異なる温度に制御して、異なる温度においてガス検知を実行することによって、3種類以上のガスの検知を可能とする技術が知られている(例えば、特許文献2参照)。
[先行技術文献]
[特許文献]
[特許文献1] 特開2010−54213号公報
[特許文献2] 特開2005−134311号公報
Conventionally, a gas detection method that executes preliminary detection and main detection according to the result of preliminary detection is known (see, for example, Patent Document 1). In Patent Document 1, the preliminary detection and the main detection are executed at different temperatures. Further, as a related technique, a technique is known that enables detection of three or more types of gas by controlling a gas sensor to at least three different temperatures and performing gas detection at different temperatures (for example,). See Patent Document 2).
[Prior art literature]
[Patent Document]
[Patent Document 1] Japanese Unexamined Patent Publication No. 2010-54213 [Patent Document 2] Japanese Unexamined Patent Publication No. 2005-134311

ガスセンサにおいては、検出対象ガスが存在しないにもかかわらず、検出対象ガス以外のアルコール等の物質に反応して、検出対象ガスが存在すると判別することを防止することが望ましい。したがって、ガスセンサにおいて、アルコール等の物質に対する検出対象ガスの選択性を高めることが望ましい。 In the gas sensor, it is desirable to prevent the detection target gas from being determined to be present by reacting with a substance such as alcohol other than the detection target gas even though the detection target gas does not exist. Therefore, in the gas sensor, it is desirable to enhance the selectivity of the detection target gas for substances such as alcohol.

本発明の第1の態様においては、ガスセンサを提供する。ガスセンサは、ガス感知層とガス感知層を加熱するためのヒータとを有してよい。ガスセンサは、ヒータにより加熱されたガス感知層の抵抗値に基づいて検出対象ガスを検出してよい。ガスセンサは、測定部、加熱制御部、第1取得部、第2取得部、第3取得部、及び判別部を備えてよい。測定部は、ガス感知層の抵抗値を測定してよい。加熱制御部は、ガス感知層を加熱するようにヒータを制御してよい。第1取得部は、ガス感知層の第1抵抗値を取得してよい。第1抵抗値は、加熱制御部によってガス感知層の温度が第1温度に制御された状態で測定部によって測定されてよい。第2取得部は、第1抵抗値が予め定められた第1閾値以下の場合に、ガス感知層の第2抵抗値を取得してよい。第2抵抗値は、加熱制御部によってガス感知層の温度が第1温度より低い第2温度に制御された状態で測定部によって測定されてよい。第3取得部は、第2抵抗値が予め定められた第2閾値以下の場合に、ガス感知層の第3抵抗値を取得してよい。第3抵抗値は、加熱制御部によってガス感知層の温度が第2温度より高い第3温度に制御された状態で測定部によって測定されてよい。判別部は、第3抵抗値に基づいて、存在するガス種を判別してよい。 In the first aspect of the present invention, a gas sensor is provided. The gas sensor may have a gas sensing layer and a heater for heating the gas sensing layer. The gas sensor may detect the gas to be detected based on the resistance value of the gas sensing layer heated by the heater. The gas sensor may include a measuring unit, a heating control unit, a first acquisition unit, a second acquisition unit, a third acquisition unit, and a discrimination unit. The measuring unit may measure the resistance value of the gas sensing layer. The heating control unit may control the heater so as to heat the gas sensing layer. The first acquisition unit may acquire the first resistance value of the gas sensing layer. The first resistance value may be measured by the measuring unit in a state where the temperature of the gas sensing layer is controlled to the first temperature by the heating control unit. The second acquisition unit may acquire the second resistance value of the gas sensing layer when the first resistance value is equal to or less than a predetermined first threshold value. The second resistance value may be measured by the measuring unit in a state where the temperature of the gas sensing layer is controlled by the heating control unit to a second temperature lower than the first temperature. The third acquisition unit may acquire the third resistance value of the gas sensing layer when the second resistance value is equal to or less than a predetermined second threshold value. The third resistance value may be measured by the measuring unit in a state where the temperature of the gas sensing layer is controlled by the heating control unit to a third temperature higher than the second temperature. The discriminating unit may discriminate the existing gas type based on the third resistance value.

判別部は、比較部を備えてよい。比較部は、第3抵抗値と、予め定められた第3閾値とを比較してよい。判別部は、第3抵抗値と第3閾値との比較結果に基づいて、存在するガス種を判別してよい。 The discrimination unit may include a comparison unit. The comparison unit may compare the third resistance value with a predetermined third threshold value. The discriminating unit may discriminate the existing gas type based on the comparison result between the third resistance value and the third threshold value.

検出対象ガスは、LPガスであってよい。判別部は、第3抵抗値が第3閾値以上である場合には、検出対象ガスが存在すると判別してよい。判別部は、第3抵抗値が第3閾値より小さい場合には、検出対象ガス以外のガスが存在すると判別してよい。 The detection target gas may be LP gas. When the third resistance value is equal to or higher than the third threshold value, the discriminating unit may determine that the detection target gas exists. When the third resistance value is smaller than the third threshold value, the discriminating unit may determine that a gas other than the detection target gas exists.

検出対象ガスは、メタンガスであってよい。判別部は、第3抵抗値が第3閾値以下である場合には、検出対象ガスが存在すると判別してよい。判別部は、第3抵抗値が第3閾値より大きい場合には、検出対象ガス以外のガスが存在すると判別してよい。 The detection target gas may be methane gas. When the third resistance value is equal to or less than the third threshold value, the discriminating unit may determine that the detection target gas exists. When the third resistance value is larger than the third threshold value, the discriminating unit may determine that a gas other than the detection target gas exists.

検出対象ガス以外のガスは、アルコールを含んでよい。 The gas other than the detection target gas may contain alcohol.

判別部は、変化率算出部を備えてよい。変化率算出部は、第3抵抗値の時間変化率を算出してよい。判別部は、第3抵抗値の時間変化率によって、存在するガス種を判別してよい。 The determination unit may include a rate of change calculation unit. The rate of change calculation unit may calculate the rate of change over time of the third resistance value. The discriminating unit may discriminate the existing gas type by the time change rate of the third resistance value.

検出対象ガスは、LPガスであってよい。判別部は、第3抵抗値の時間変化率が、予め定められた変化率閾値以上である場合には、検出対象ガスが存在すると判別してよい。判別部は、第3抵抗値の時間変化率が変化率閾値より小さい場合には、検出対象ガス以外のガスが存在すると判別してよい。 The detection target gas may be LP gas. When the time change rate of the third resistance value is equal to or higher than a predetermined change rate threshold value, the discriminating unit may determine that the detection target gas exists. When the time change rate of the third resistance value is smaller than the change rate threshold value, the discriminating unit may determine that a gas other than the detection target gas exists.

検出対象ガスは、メタンガスであってよい。判別部は、第3抵抗値の時間変化率が、予め定められた変化率閾値以下である場合には、検出対象ガスが存在すると判別してよい。検出対象ガスは、第3抵抗値の時間変化率が変化率閾値より大きい場合には、検出対象ガス以外のガスが存在すると判別してよい。 The detection target gas may be methane gas. When the time change rate of the third resistance value is equal to or less than a predetermined change rate threshold value, the discriminating unit may determine that the detection target gas exists. When the time change rate of the third resistance value is larger than the change rate threshold value, the detection target gas may be determined to have a gas other than the detection target gas.

判別部は、タイミング検出部を備えてよい。タイミング検出部は、第3抵抗値が上がり始めるタイミングを検出してよい。判別部は、第3抵抗値が上がり始めるタイミングによって、存在するガス種を判別してよい。 The determination unit may include a timing detection unit. The timing detection unit may detect the timing at which the third resistance value starts to increase. The discriminating unit may discriminate the existing gas type according to the timing at which the third resistance value starts to increase.

検出対象ガスは、LPガスであってよい。判別部は、予め定められた時間内に、第3抵抗値が上がり始めた場合には、検出対象ガスが存在すると判別してよい。判別部は、予め定められた時間が経過しても第3抵抗値が停滞または低下している場合には、検出対象ガス以外のガスが存在すると判別してよい。 The detection target gas may be LP gas. When the third resistance value starts to increase within a predetermined time, the discriminating unit may determine that the detection target gas exists. If the third resistance value is stagnant or lowered even after the elapse of a predetermined time, the discriminating unit may determine that a gas other than the detection target gas is present.

検出対象ガスは、メタンガスであってよい。判別部は、予め定められた時間が経過しても第3抵抗値が停滞または低下している場合には、検出対象ガスが存在すると判別してよい。判別部は、予め定められた時間内に、第3抵抗値が上がり始めた場合には、検出対象ガス以外のガスが存在すると判別してよい。 The detection target gas may be methane gas. If the third resistance value is stagnant or lowered even after the elapse of a predetermined time, the discriminating unit may determine that the detection target gas is present. When the third resistance value starts to increase within a predetermined time, the discriminating unit may determine that a gas other than the detection target gas exists.

加熱制御部は、第2抵抗値に応じて第3温度を変更してよい。 The heating control unit may change the third temperature according to the second resistance value.

第3取得部は、第2抵抗値に応じて第3抵抗値を取得するタイミングを変更してよい。判別部は、第2抵抗値に応じて第3閾値を変更してよい。 The third acquisition unit may change the timing of acquiring the third resistance value according to the second resistance value. The discriminating unit may change the third threshold value according to the second resistance value.

加熱制御部は、検出対象ガスの種類に応じて第2温度を変更してよい。 The heating control unit may change the second temperature according to the type of the detection target gas.

加熱制御部は、検出対象ガスの種類に応じて第3温度を変更してよい。 The heating control unit may change the third temperature according to the type of the detection target gas.

第3温度は、第1温度より高くてよい。ガス警報器は、ガスセンサを備えてよい。ガス警報器は、警報発生部を備えてよい。警報発生部は、検出対象ガスを検出したときに警報を発生してよい。 The third temperature may be higher than the first temperature. The gas alarm may include a gas sensor. The gas alarm may include an alarm generator. The alarm generating unit may generate an alarm when it detects the detection target gas.

本発明の第2の態様においては、制御装置を提供する。制御装置は、ガスセンサを制御してよい。ガスセンサは、ガス感知層とガス感知層を加熱するためのヒータとを有してよい。ガスセンサは、ヒータにより加熱されたガス感知層の抵抗値に基づいて検出対象ガスを検出してよい。制御装置は、加熱制御部、第1取得部、第2取得部、第3取得部、及び判別部を備えてよい。加熱制御部は、ガス感知層を加熱するようにヒータを制御してよい。第1取得部は、ガス感知層の第1抵抗値を取得してよい。第1抵抗値は、加熱制御部によってガス感知層の温度が第1温度に制御された状態で測定されてよい。第2取得部は、第1抵抗値が予め定められた第1閾値以下の場合に、ガス感知層の第2抵抗値を取得してよい。第2抵抗値は、加熱制御部によってガス感知層の温度が第1温度より低い第2温度に制御された状態で測定されてよい。第3取得部は、第2抵抗値が予め定められた第2閾値以下の場合に、ガス感知層の第3抵抗値を取得してよい。第3抵抗値は、加熱制御部によってガス感知層の温度が第2温度より高い第3温度に制御された状態で測定されてよい。判別部は、第3抵抗値に基づいて、存在するガス種を判別してよい。 In the second aspect of the present invention, a control device is provided. The control device may control the gas sensor. The gas sensor may have a gas sensing layer and a heater for heating the gas sensing layer. The gas sensor may detect the gas to be detected based on the resistance value of the gas sensing layer heated by the heater. The control device may include a heating control unit, a first acquisition unit, a second acquisition unit, a third acquisition unit, and a discrimination unit. The heating control unit may control the heater so as to heat the gas sensing layer. The first acquisition unit may acquire the first resistance value of the gas sensing layer. The first resistance value may be measured in a state where the temperature of the gas sensing layer is controlled to the first temperature by the heating control unit. The second acquisition unit may acquire the second resistance value of the gas sensing layer when the first resistance value is equal to or less than a predetermined first threshold value. The second resistance value may be measured in a state where the temperature of the gas sensing layer is controlled to a second temperature lower than the first temperature by the heating control unit. The third acquisition unit may acquire the third resistance value of the gas sensing layer when the second resistance value is equal to or less than a predetermined second threshold value. The third resistance value may be measured in a state where the temperature of the gas sensing layer is controlled to a third temperature higher than the second temperature by the heating control unit. The discriminating unit may discriminate the existing gas type based on the third resistance value.

本発明の第3の態様においては、制御方法を提供する。制御方法は、ガスセンサの制御方法であってよい。ガスセンサは、ガス感知層とガス感知層を加熱するためのヒータとを有してよい。ガスセンサは、ヒータにより加熱されたガス感知層の抵抗値に基づいて検出対象ガスを検出してよい。制御方法は、第1温度制御段階、第1取得段階、第2温度制御段階、第2取得段階、第3温度制御段階、第3取得段階、及び判別段階を備えてよい。第1温度制御段階においては、ガス感知層の温度が第1温度に制御されてよい。第1取得段階においては、ガス感知層の第1抵抗値が取得されてよい。第1抵抗値は、ガス感知層の温度が第1温度に制御された状態で測定されてよい。第2温度制御段階においては、第1抵抗値が予め定められた第1閾値以下の場合に、ガス感知層の温度が第1温度より低い第2温度に制御されてよい。第2取得段階において、ガス感知層の第2抵抗値が取得されてよい。第2抵抗値は、ガス感知層の温度が第2温度に制御された状態で測定されてよい。第3温度制御段階においては、第2抵抗値が予め定められた第2閾値以下の場合に、ガス感知層の温度が第2温度より高い第3温度に制御されてよい。第3取得段階において、ガス感知層の第3抵抗値が取得されてよい。第3抵抗値は、ガス感知層の温度が第3温度に制御された状態で測定されてよい。判別段階においては、第3取得段階において取得された第3抵抗値に基づいて、存在するガス種が判別されてよい。 In the third aspect of the present invention, a control method is provided. The control method may be a gas sensor control method. The gas sensor may have a gas sensing layer and a heater for heating the gas sensing layer. The gas sensor may detect the gas to be detected based on the resistance value of the gas sensing layer heated by the heater. The control method may include a first temperature control stage, a first acquisition stage, a second temperature control stage, a second acquisition stage, a third temperature control stage, a third acquisition stage, and a discrimination stage. In the first temperature control stage, the temperature of the gas sensing layer may be controlled to the first temperature. In the first acquisition stage, the first resistance value of the gas sensing layer may be acquired. The first resistance value may be measured in a state where the temperature of the gas sensing layer is controlled to the first temperature. In the second temperature control stage, when the first resistance value is equal to or less than a predetermined first threshold value, the temperature of the gas sensing layer may be controlled to a second temperature lower than the first temperature. In the second acquisition step, the second resistance value of the gas sensing layer may be acquired. The second resistance value may be measured in a state where the temperature of the gas sensing layer is controlled to the second temperature. In the third temperature control stage, when the second resistance value is equal to or less than a predetermined second threshold value, the temperature of the gas sensing layer may be controlled to a third temperature higher than the second temperature. In the third acquisition step, the third resistance value of the gas sensing layer may be acquired. The third resistance value may be measured in a state where the temperature of the gas sensing layer is controlled to the third temperature. In the discrimination step, the existing gas type may be discriminated based on the third resistance value acquired in the third acquisition step.

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。 The outline of the above invention does not list all the necessary features of the present invention. Sub-combinations of these feature groups can also be inventions.

本発明の第1実施形態のガスセンサ100の概略を示す図である。It is a figure which shows the outline of the gas sensor 100 of 1st Embodiment of this invention. 検出部10の概略構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the schematic structure of the detection part 10. 第1抵抗値が第1閾値より大きい場合のヒータ駆動パターンの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the heater drive pattern when the 1st resistance value is larger than the 1st threshold value. 第2抵抗値が第2閾値より大きい場合のヒータ駆動パターンの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the heater drive pattern when the 2nd resistance value is larger than the 2nd threshold value. 第2抵抗値が第2閾値以下の場合のヒータ駆動パターンの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the heater drive pattern when the 2nd resistance value is not more than 2nd threshold value. 第2抵抗値が第2閾値以下の場合のヒータ駆動パターンの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the heater drive pattern when the 2nd resistance value is not more than the 2nd threshold value. ヒータ14をHigh状態に駆動した場合におけるガス感知層12の抵抗変化の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the resistance change of a gas sensing layer 12 when the heater 14 is driven to a high state. ヒータ14をLow状態に駆動した場合におけるガス感知層12の抵抗変化の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the resistance change of the gas sensing layer 12 when the heater 14 is driven to the Low state. ヒータ14を200m秒間にわたってHigh状態に駆動した場合におけるガス感知層12の抵抗変化の一例である。This is an example of a resistance change of the gas sensing layer 12 when the heater 14 is driven to a high state for 200 msec. 本発明の第1実施形態のガスセンサ100の処理内容の一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of the processing content of the gas sensor 100 of 1st Embodiment of this invention. 検出対象ガスがLPガスである場合におけるガス種判別処理の一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of the gas type discrimination process when the detection target gas is LP gas. 検出対象ガスがメタンガスである場合におけるガス種判別処理の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the gas type discrimination process when the detection target gas is methane gas. LPガスに対するガス感度とメタンガスに対するガス感度を示す図である。It is a figure which shows the gas sensitivity to LP gas and the gas sensitivity to methane gas. ガスセンサ100の処理内容の一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of the processing content of a gas sensor 100. ガスセンサ100の処理内容の一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of the processing content of a gas sensor 100. 本発明の第2実施形態のガスセンサ100の概略を示す図である。It is a figure which shows the outline of the gas sensor 100 of the 2nd Embodiment of this invention. ヒータ14をHigh状態に駆動した場合におけるガス感知層12の抵抗における時間変化率の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the time change rate in the resistance of a gas sensing layer 12 when the heater 14 is driven to a high state. 検出対象ガスがLPガスである場合におけるガス種判別処理の一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of the gas type discrimination process when the detection target gas is LP gas. 検出対象ガスがメタンガスである場合におけるガス種判別処理の一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of the gas type discrimination process when the detection target gas is methane gas. 本発明の第3実施形態のガスセンサ100の概略を示す図である。It is a figure which shows the outline of the gas sensor 100 of the 3rd Embodiment of this invention. 検出対象ガスがLPガスである場合におけるガス種判別処理の一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of the gas type discrimination process when the detection target gas is LP gas. 検出対象ガスがメタンガスである場合におけるガス種判別処理の一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of the gas type discrimination process when the detection target gas is methane gas.

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。 Hereinafter, the present invention will be described through embodiments of the invention, but the following embodiments do not limit the inventions that fall within the scope of the claims. Also, not all combinations of features described in the embodiments are essential to the means of solving the invention.

図1は、本発明の第1実施形態のガスセンサ100の概略を示す図である。本例のガスセンサ100は、検出対象ガスを検出する。検出対象ガス(「対象ガス」と略記する)は、可燃性ガスであってよい。対象ガスは、プロパン及びブタンを主成分とするLPガスであってよい。あるいは、対象ガスは、メタンガスを主成分とする都市ガスであってもよい。 FIG. 1 is a diagram showing an outline of a gas sensor 100 according to a first embodiment of the present invention. The gas sensor 100 of this example detects the gas to be detected. The detection target gas (abbreviated as “target gas”) may be a flammable gas. The target gas may be an LP gas containing propane and butane as main components. Alternatively, the target gas may be a city gas containing methane gas as a main component.

本例のガスセンサ100は、第1温度T1における検知と、第1温度T1より低い第2温度T2における検知とを実行するのみならず、第2温度T2における検知結果に応じて、さらに、第2温度T2より高い第3温度T3にヒータ14を駆動する。すなわち、本例のガスセンサ100は、検知結果に応じて、ヒータ14を第1温度T1(High)、第2温度T2(Low)、第3温度T3(High)の順に駆動してよい。これによって、対象ガスとアルコール等のガスとが区別される。 The gas sensor 100 of this example not only executes the detection at the first temperature T1 and the detection at the second temperature T2 lower than the first temperature T1, but also further, according to the detection result at the second temperature T2, the second The heater 14 is driven to a third temperature T3, which is higher than the temperature T2. That is, the gas sensor 100 of this example may drive the heater 14 in the order of the first temperature T1 (High), the second temperature T2 (Low), and the third temperature T3 (High) according to the detection result. Thereby, the target gas and the gas such as alcohol are distinguished.

ガスセンサ100は、検出部10と制御装置200とを備える。検出部10は、ガス感知層12及びヒータ14を備える。本例の検出部10は、ヒータ14の温度を測定する温度測定部16を備える。本例と異なり、検出部10は、温度測定部16を備えていなくてもよい。ガス感知層12は、ガスによって抵抗値が変化するセンサ抵抗である。ヒータ14は、ガス感知層12を加熱する。ガスセンサ100は、ヒータ14により加熱されたガス感知層12の抵抗値に基づいて対象ガスを検出する。 The gas sensor 100 includes a detection unit 10 and a control device 200. The detection unit 10 includes a gas sensing layer 12 and a heater 14. The detection unit 10 of this example includes a temperature measurement unit 16 that measures the temperature of the heater 14. Unlike this example, the detection unit 10 does not have to include the temperature measurement unit 16. The gas sensing layer 12 is a sensor resistor whose resistance value changes depending on the gas. The heater 14 heats the gas sensing layer 12. The gas sensor 100 detects the target gas based on the resistance value of the gas sensing layer 12 heated by the heater 14.

制御装置200は、ガスセンサ100を制御する。本例では、検出部10及び制御装置200が共にガスセンサ100に内蔵されている。但し、制御装置200は、ガスセンサ100に外付けされる制御装置であってもよい。制御装置200は、測定部20、加熱制御部30、警報発生部40、第1取得部50、第2取得部60、第3取得部70、判別部80、及び記憶部90を備えてよい。但し、警報発生部40は、制御装置200には、必ずしも必須の構成ではない。ガスセンサ100がガス警報器である場合には、警報発生部40を備えてよい。 The control device 200 controls the gas sensor 100. In this example, both the detection unit 10 and the control device 200 are built in the gas sensor 100. However, the control device 200 may be a control device externally attached to the gas sensor 100. The control device 200 may include a measurement unit 20, a heating control unit 30, an alarm generation unit 40, a first acquisition unit 50, a second acquisition unit 60, a third acquisition unit 70, a discrimination unit 80, and a storage unit 90. However, the alarm generation unit 40 is not necessarily indispensable for the control device 200. When the gas sensor 100 is a gas alarm, an alarm generation unit 40 may be provided.

加熱制御部30、警報発生部40、第1取得部50、第2取得部60、第3取得部70、及び判別部80の少なくとも一部は、マイクロコンピュータの機能として実現されてよい。測定部20は、ガス感知層12の電気抵抗値を測定する。例えば、測定部20は、ガス感知層12に電流を流してガス感知層12の両端の電圧を測定する。ガス感知層12の抵抗値を測定することには、ガス感知層12の抵抗値に対応づけられた電圧または電流などの電気的特性を測定することが含まれてよい。測定された抵抗値を取得することには、抵抗値に対応づけられた電圧または電流などの電気的特性を取得することが含まれてよい。抵抗値を閾値と比較することには、抵抗値に対応づけられた電圧または電流を閾値と比較することが含まれてよい。一例において、ガス感知層12の抵抗値が閾値より大きいことには、ガス感知層12の両端の電圧が閾値より大きいことが含まれてよく、ガス感知層12を流れる電流が閾値より小さいことが含まれてよい。ガス感知層12の抵抗値が閾値より小さいことには、ガス感知層12の両端の電圧が閾値より小さいことが含まれてよく、ガス感知層12を流れる電流が閾値より大きいことが含まれてよい。 At least a part of the heating control unit 30, the alarm generation unit 40, the first acquisition unit 50, the second acquisition unit 60, the third acquisition unit 70, and the discrimination unit 80 may be realized as a function of the microcomputer. The measuring unit 20 measures the electric resistance value of the gas sensing layer 12. For example, the measuring unit 20 passes a current through the gas sensing layer 12 to measure the voltage across the gas sensing layer 12. Measuring the resistance value of the gas sensing layer 12 may include measuring electrical properties such as voltage or current associated with the resistance value of the gas sensing layer 12. Acquiring the measured resistance value may include acquiring electrical properties such as voltage or current associated with the resistance value. Comparing a resistance value to a threshold may include comparing the voltage or current associated with the resistance value to the threshold. In one example, the resistance value of the gas sensing layer 12 being larger than the threshold value may include that the voltage across the gas sensing layer 12 is larger than the threshold value, and the current flowing through the gas sensing layer 12 is smaller than the threshold value. May be included. The fact that the resistance value of the gas sensing layer 12 is smaller than the threshold value may include that the voltage across the gas sensing layer 12 is smaller than the threshold value and that the current flowing through the gas sensing layer 12 is larger than the threshold value. Good.

加熱制御部30は、ヒータ14に印加する電圧を制御する。特に、加熱制御部30は、第1検知処理において、ガス感知層12の温度が第1温度T1になるようにヒータ14を制御する。第1検知処理において、対象ガスが存在する可能性がある場合に、加熱制御部30は、第2検知処理において、ガス感知層12の温度が第1温度T1より低い第2温度T2となるようにヒータ14を制御する。さらに、第2検知処理の結果、対象ガスが存在する可能性がある場合に、加熱制御部30は、アルコール等のガスに対する対象ガスの選択性を高めるために、ガス感知層12の温度が第2温度T2より高い第3温度T3となるようにヒータ14を制御する。 The heating control unit 30 controls the voltage applied to the heater 14. In particular, the heating control unit 30 controls the heater 14 so that the temperature of the gas sensing layer 12 becomes the first temperature T1 in the first detection process. When there is a possibility that the target gas may be present in the first detection process, the heating control unit 30 sets the temperature of the gas sensing layer 12 to be the second temperature T2 lower than the first temperature T1 in the second detection process. Controls the heater 14. Further, when there is a possibility that the target gas may be present as a result of the second detection process, the heating control unit 30 sets the temperature of the gas sensing layer 12 to be higher in order to increase the selectivity of the target gas with respect to the gas such as alcohol. The heater 14 is controlled so that the third temperature T3 is higher than the two temperature T2.

警報発生部40は、対象ガスが検出された場合に警報を発する。第1取得部50は、ガス感知層12の第1抵抗値を取得する。第2取得部60は、ガス感知層12の第2抵抗値を取得する。第3取得部70は、ガス感知層12の第3抵抗値を取得する。 The alarm generation unit 40 issues an alarm when the target gas is detected. The first acquisition unit 50 acquires the first resistance value of the gas sensing layer 12. The second acquisition unit 60 acquires the second resistance value of the gas sensing layer 12. The third acquisition unit 70 acquires the third resistance value of the gas sensing layer 12.

第1抵抗値は、加熱制御部30によってガス感知層12の温度が第1温度T1に制御された状態で測定部20によって測定されたガス感知層12の電気抵抗値である。第2抵抗値は、加熱制御部30によってガス感知層12の温度が第1温度T1より低い第2温度T2に制御された状態で測定部20によって測定されたガス感知層の電気抵抗値である。第3抵抗値は、加熱制御部30によってガス感知層12の温度が第2温度T2より高い第3温度T3に制御された状態で測定部20によって測定されたガス感知層の電気抵抗値である。 The first resistance value is the electric resistance value of the gas sensing layer 12 measured by the measuring unit 20 in a state where the temperature of the gas sensing layer 12 is controlled by the heating control unit 30 to the first temperature T1. The second resistance value is the electric resistance value of the gas sensing layer measured by the measuring unit 20 in a state where the temperature of the gas sensing layer 12 is controlled by the heating control unit 30 to the second temperature T2 which is lower than the first temperature T1. .. The third resistance value is the electric resistance value of the gas sensing layer measured by the measuring unit 20 in a state where the temperature of the gas sensing layer 12 is controlled by the heating control unit 30 to the third temperature T3 higher than the second temperature T2. ..

第1温度T1及び第3温度T3は、第2温度T2に比べて高い温度である。加熱制御部30は、ヒータ14をHigh状態に駆動して、ガス感知層12の温度が第1温度T1または第3温度T3となるように制御する。第1温度T1及び第3温度T3は、好ましくは、400℃以上500℃以下であってよく、より好ましくは、400℃以上450℃以下であってよい。一方、第2温度T2は、第1温度T1及び第3温度T3に比べて低い温度である。加熱制御部30は、ヒータ14をLow状態に駆動して、ガス感知層12の温度が第2温度T2となるように制御する。第2温度T2は、好ましくは、250℃以上350℃以下であってよい。 The first temperature T1 and the third temperature T3 are higher temperatures than the second temperature T2. The heating control unit 30 drives the heater 14 to a high state and controls the temperature of the gas sensing layer 12 to be the first temperature T1 or the third temperature T3. The first temperature T1 and the third temperature T3 may be preferably 400 ° C. or higher and 500 ° C. or lower, and more preferably 400 ° C. or higher and 450 ° C. or lower. On the other hand, the second temperature T2 is lower than the first temperature T1 and the third temperature T3. The heating control unit 30 drives the heater 14 to the Low state and controls the temperature of the gas sensing layer 12 to be the second temperature T2. The second temperature T2 is preferably 250 ° C. or higher and 350 ° C. or lower.

判別部80は、第3抵抗値に基づいて、存在するガス種を判別する。本例における判別部80は、比較部82を備える。比較部82は、第3抵抗値と、予め定められた第3閾値とを比較する。判別部80は、第3抵抗値と第3閾値との比較結果に基づいて、存在するガス種を判別する。記憶部90は、加熱制御部30がヒータ14を制御するために必要な情報またはパラメータを記憶してよい。 The discriminating unit 80 discriminates the existing gas type based on the third resistance value. The discrimination unit 80 in this example includes a comparison unit 82. The comparison unit 82 compares the third resistance value with a predetermined third threshold value. The discriminating unit 80 discriminates the existing gas type based on the comparison result between the third resistance value and the third threshold value. The storage unit 90 may store information or parameters necessary for the heating control unit 30 to control the heater 14.

図2は、検出部10の概略構成を示す断面図である。本例の検出部10は、半導体式薄膜ガスセンサである。本例の検出部10は、シリコン基板2と、熱絶縁支持層3と、ヒータ14として機能するヒータ層と、電気絶縁層4と、ガス検知部5とを備える。シリコン基板2には、貫通孔6が設けられている。貫通孔6は、ダイアフラム構造を構成する。ガス検知部5は、接合層7と、ガス感知層電極8と、ガス感知層12と、選択燃焼層9とを備えている。ガス感知層12は、例えば、SnO、In、WO、ZnO、及びTiO等の金属酸化物を主成分とする感知層として形成される。 FIG. 2 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of the detection unit 10. The detection unit 10 of this example is a semiconductor type thin film gas sensor. The detection unit 10 of this example includes a silicon substrate 2, a heat insulation support layer 3, a heater layer that functions as a heater 14, an electrical insulation layer 4, and a gas detection unit 5. The silicon substrate 2 is provided with a through hole 6. The through hole 6 constitutes a diaphragm structure. The gas detection unit 5 includes a bonding layer 7, a gas sensing layer electrode 8, a gas sensing layer 12, and a selective combustion layer 9. The gas sensing layer 12 is formed as a sensing layer containing metal oxides such as SnO 2 , In 2 O 3 , WO 3 , ZnO, and TiO 2 as main components.

選択燃焼層9は、例えば、Pd、PdO、及びPt等の少なくとも一種の触媒を担持した焼結体である。選択燃焼層9は、触媒層とも呼ばれる。一例において、選択燃焼層9は、触媒担持Al焼結体であり、Cr、Fe、Ni、ZrO、SiO、ゼオライト等の金属酸化物を主成分として形成されてもよい。シリコン基板2はシリコンウェハーから構成される。ヒータ14はガス検知部5を加熱する。検出部10は、ヒータ14によって、ガス感知層12を加熱したときのガス感知層12の抵抗値によって対象ガスを検出する。 The selective combustion layer 9 is a sintered body carrying at least one catalyst such as Pd, PdO, and Pt. The selective combustion layer 9 is also called a catalyst layer. In one example, the selective combustion layer 9 is a catalyst-supported Al 2 O 3 sintered body, and is mainly composed of metal oxides such as Cr 2 O 3 , Fe 2 O 3 , Ni 2 O 3 , ZrO 2 , SiO 2, and zeolite. It may be formed as a component. The silicon substrate 2 is composed of a silicon wafer. The heater 14 heats the gas detection unit 5. The detection unit 10 detects the target gas by the resistance value of the gas sensing layer 12 when the gas sensing layer 12 is heated by the heater 14.

次に、加熱制御部30によるヒータ14の駆動について説明する。図3は、第1抵抗値が第1閾値より大きい場合のヒータ駆動パターンの一例を示す図である。加熱制御部30は、ヒータ14を間欠駆動する。加熱制御部30は、ヒータ14に対してヒータ駆動電圧としてパルス状の電圧を周期的に印加する。加熱制御部30は、30秒以上60秒以下の周期Pでパルス状の電圧をヒータ14に印加してよい。 Next, the driving of the heater 14 by the heating control unit 30 will be described. FIG. 3 is a diagram showing an example of a heater drive pattern when the first resistance value is larger than the first threshold value. The heating control unit 30 intermittently drives the heater 14. The heating control unit 30 periodically applies a pulsed voltage to the heater 14 as a heater drive voltage. The heating control unit 30 may apply a pulsed voltage to the heater 14 at a period P of 30 seconds or more and 60 seconds or less.

加熱制御部30は、ガス感知層12の温度を第1温度T1(High)に制御する。ガス感知層12の温度を第1温度T1とするためにヒータ14に印加すべき電圧が予め設定されていてよい。加熱制御部30は、予め設定された電圧をヒータ14に印加してよい。加熱制御部30は、予め定められた加熱時間にわたって、ガス感知層12の温度を第1温度T1に保持してよい。一例において、第1検知処理における加熱時間は、30m秒から100m秒であり、より好ましくは、40m秒以上90m秒であってよい。 The heating control unit 30 controls the temperature of the gas sensing layer 12 to the first temperature T1 (High). The voltage to be applied to the heater 14 may be preset in order to set the temperature of the gas sensing layer 12 to the first temperature T1. The heating control unit 30 may apply a preset voltage to the heater 14. The heating control unit 30 may maintain the temperature of the gas sensing layer 12 at the first temperature T1 for a predetermined heating time. In one example, the heating time in the first detection process may be 30 msec to 100 msec, more preferably 40 msec or more and 90 msec.

第1取得部50は、加熱制御部30によってガス感知層12の温度が第1温度T1に制御された状態で測定部20によって測定されたガス感知層12の第1抵抗値を取得する。加熱開始されてから、例えば100m秒が経過するまでの何れかの時点で、ガス感知層12の抵抗値が取得される。特に、第1温度T1に加熱開始後40m秒以上90m秒経過した時点で第1抵抗値が取得されてよい。 The first acquisition unit 50 acquires the first resistance value of the gas sensing layer 12 measured by the measuring unit 20 in a state where the temperature of the gas sensing layer 12 is controlled by the heating control unit 30 to the first temperature T1. The resistance value of the gas sensing layer 12 is acquired at any time from the start of heating until, for example, 100 msec elapses. In particular, the first resistance value may be acquired when 40 msec or more and 90 msec elapses from the start of heating to the first temperature T1.

一例において、測定部20がガス感知層12の電気抵抗値を定常的に測定する。第1取得部50が、ガス感知層12の温度が第1温度T1に制御された状態となるタイミングで、測定部20による測定結果をサンプリング及びAD変換(アナログ−デジタル変換)することで、第1抵抗値を取得してよい。第2取得部60も、同様の構成であってよい。 In one example, the measuring unit 20 constantly measures the electrical resistance value of the gas sensing layer 12. The first acquisition unit 50 samples and AD-converts (analog-digital conversion) the measurement result by the measuring unit 20 at the timing when the temperature of the gas sensing layer 12 is controlled to the first temperature T1. 1 The resistance value may be acquired. The second acquisition unit 60 may have the same configuration.

加熱制御部30は、第1判断を実行する。第1判断は、第1抵抗値が予め定められた第1閾値以下であるかについての判断である。但し、第1判断は、加熱制御部30以外の制御部が実行してもよい。第1抵抗値が第1閾値より大きい場合には、対象ガスが検出されなかったとして、加熱制御部30は、図3に示されるとおり、ヒータ14への通電を停止する。したがって、加熱時間を短縮化することができ、省電力を実現することができる。 The heating control unit 30 executes the first determination. The first determination is a determination as to whether or not the first resistance value is equal to or less than a predetermined first threshold value. However, the first determination may be executed by a control unit other than the heating control unit 30. When the first resistance value is larger than the first threshold value, the heating control unit 30 stops energizing the heater 14 as shown in FIG. 3, assuming that the target gas is not detected. Therefore, the heating time can be shortened and power saving can be realized.

図4は、第2抵抗値が第2閾値より大きい場合のヒータ駆動パターンの一例を示す図である。第1抵抗値が第1閾値以下の場合には、加熱制御部30は、図4に示されるとおり、ガス感知層12の温度を第1温度T1より低い第2温度T2(Low)に制御する。加熱制御部30は、予め定められた加熱時間にわたって、ガス感知層12の温度を第2温度T2に保持してよい。一例において、第2検知処理における加熱時間は、160m秒以上200m秒以下であってよい。 FIG. 4 is a diagram showing an example of a heater drive pattern when the second resistance value is larger than the second threshold value. When the first resistance value is equal to or less than the first threshold value, the heating control unit 30 controls the temperature of the gas sensing layer 12 to a second temperature T2 (Low) lower than the first temperature T1 as shown in FIG. .. The heating control unit 30 may maintain the temperature of the gas sensing layer 12 at the second temperature T2 for a predetermined heating time. In one example, the heating time in the second detection process may be 160 msec or more and 200 msec or less.

第2取得部60は、加熱制御部30によってガス感知層12の温度が第2温度T2に制御された状態で測定部20によって測定されたガス感知層12の第2抵抗値を取得する。加熱開始されてから、例えば200m秒までの何れかの時点で、ガス感知層12の抵抗値が取得される。特に、第2温度T2に加熱開始後160m秒以上200m秒経過した時点で第2抵抗値が取得されてよい。 The second acquisition unit 60 acquires the second resistance value of the gas sensing layer 12 measured by the measuring unit 20 in a state where the temperature of the gas sensing layer 12 is controlled by the heating control unit 30 to the second temperature T2. The resistance value of the gas sensing layer 12 is acquired at any time from the start of heating to, for example, 200 msec. In particular, the second resistance value may be acquired when 160 msec or more and 200 msec elapses from the start of heating to the second temperature T2.

加熱制御部30は、第2判断を実行する。第2判断は、第2抵抗値が予め定められた第2閾値以下であるかについての判断である。但し、第2判断は、加熱制御部30以外の制御部が実行してもよい。第2抵抗値が第2閾値より大きい場合には、対象ガスが検出されなかったとして、加熱制御部30は、図4に示されるとおり、ヒータ14への通電を停止する。したがって、加熱時間が短くなり、省電力を実現することができる。 The heating control unit 30 executes the second determination. The second determination is a determination as to whether or not the second resistance value is equal to or less than a predetermined second threshold value. However, the second determination may be executed by a control unit other than the heating control unit 30. When the second resistance value is larger than the second threshold value, the heating control unit 30 stops energizing the heater 14 as shown in FIG. 4, assuming that the target gas is not detected. Therefore, the heating time is shortened, and power saving can be realized.

図5は、第2抵抗値が第2閾値以下の場合のヒータ駆動パターンの一例を示す図である。一般的なHigh状態での予備検知とLow状態での本検知の制御の場合は、第2抵抗値が第2閾値以下であれば、対象ガスが検出されたと判断される。一方、本例のガスセンサ100は、この場合と異なり、対象ガス以外のアルコール等との選択性を向上するための制御を更に実行する。具体的には、加熱制御部30は、第2抵抗値が第2閾値以下の場合には、図5に示されるとおり、ガス感知層12の温度を第2温度T2より高い第3温度T3(High)に制御する。 FIG. 5 is a diagram showing an example of a heater drive pattern when the second resistance value is equal to or less than the second threshold value. In the case of the control of the preliminary detection in the general High state and the main detection in the Low state, if the second resistance value is equal to or less than the second threshold value, it is determined that the target gas has been detected. On the other hand, unlike this case, the gas sensor 100 of this example further executes control for improving the selectivity with alcohol or the like other than the target gas. Specifically, when the second resistance value is equal to or less than the second threshold value, the heating control unit 30 sets the temperature of the gas sensing layer 12 higher than the second temperature T2 at the third temperature T3 (as shown in FIG. 5). High) is controlled.

加熱制御部30は、予め定められた加熱時間にわたって、ガス感知層12の温度を第3温度T3に保持してよい。例えば、加熱時間は、160m秒以上200m秒である。第3取得部70は、加熱制御部30によってガス感知層12の温度が第3温度T3に制御された状態で測定部20によって測定されたガス感知層12の第3抵抗値を取得する。ヒータ14が、再度のHigh状態に駆動開始されて加熱開始されてから、例えば200m秒までの何れかの時点で、ガス感知層12の第3抵抗値が取得される。特に、第3温度T3に加熱開始後160m秒以上200m秒経過した時点で第3抵抗値が取得されてよい。 The heating control unit 30 may maintain the temperature of the gas sensing layer 12 at the third temperature T3 for a predetermined heating time. For example, the heating time is 160 msec or more and 200 msec. The third acquisition unit 70 acquires the third resistance value of the gas sensing layer 12 measured by the measuring unit 20 in a state where the temperature of the gas sensing layer 12 is controlled by the heating control unit 30 to the third temperature T3. The third resistance value of the gas sensing layer 12 is acquired at any time from the start of driving the heater 14 to the high state again and the start of heating, for example, up to 200 msec. In particular, the third resistance value may be acquired when 160 msec or more and 200 msec elapses from the start of heating to the third temperature T3.

判別部80は、第3抵抗値に基づいて、存在するガス種を判別する。本例における判別部80は、比較部82を備える。比較部82は、第3抵抗値と、予め定められた第3閾値とを比較する。判別部80は、第3抵抗値と第3閾値との比較結果に基づいて、存在するガス種を判別する。 The discriminating unit 80 discriminates the existing gas type based on the third resistance value. The discrimination unit 80 in this example includes a comparison unit 82. The comparison unit 82 compares the third resistance value with a predetermined third threshold value. The discriminating unit 80 discriminates the existing gas type based on the comparison result between the third resistance value and the third threshold value.

図5に示される例では、第1温度T1と第3温度T3は同じである。但し、本例のガスセンサ100は、この場合に限られない。図6は、第2抵抗値が第2閾値以下の場合のヒータ駆動パターンの一例を示す図である。図6に示されるとおり、第3温度T3は、第1温度T1より高くてよい。第3温度T3を第1温度T1より高くすることによって、対象ガスとアルコールとの選択性を更に高めることができる。 In the example shown in FIG. 5, the first temperature T1 and the third temperature T3 are the same. However, the gas sensor 100 of this example is not limited to this case. FIG. 6 is a diagram showing an example of a heater drive pattern when the second resistance value is equal to or less than the second threshold value. As shown in FIG. 6, the third temperature T3 may be higher than the first temperature T1. By setting the third temperature T3 higher than the first temperature T1, the selectivity between the target gas and alcohol can be further enhanced.

本例のガスセンサ100は、第1抵抗値及び第2抵抗値の値に応じて、図3、図4、及び図5に示されるようにヒータ駆動パターンを切り替える。したがって、常に、第1温度T1、第2温度T2、及び第3温度T3という温度に制御する場合に比べて、全体の加熱時間を短くすることができる。 The gas sensor 100 of this example switches the heater drive pattern as shown in FIGS. 3, 4, and 5 according to the values of the first resistance value and the second resistance value. Therefore, the overall heating time can be shortened as compared with the case where the temperatures are always controlled to the first temperature T1, the second temperature T2, and the third temperature T3.

図7は、ヒータ14をHigh状態に駆動した場合におけるガス感知層の抵抗変化の一例を示す図である。図7は、ガス感知層12の温度を第1温度T1に保持した場合の測定結果を示している。具体的には、図7は、ガス感知層12の温度を430℃とした場合の測定結果を示す。図7には、ガスセンサ100の検出部10が置かれている雰囲気が、大気(Airと表示)、LPガス(LPと表示。イソブタン等)、水素ガス(H2と表示)、エタノール(ETOHと表示)、及びメタンガス(CH4と表示)の場合が示されている。 FIG. 7 is a diagram showing an example of a change in resistance of the gas sensing layer when the heater 14 is driven to a high state. FIG. 7 shows the measurement results when the temperature of the gas sensing layer 12 is maintained at the first temperature T1. Specifically, FIG. 7 shows the measurement results when the temperature of the gas sensing layer 12 is 430 ° C. In FIG. 7, the atmosphere in which the detection unit 10 of the gas sensor 100 is placed is the atmosphere (displayed as Air), LP gas (displayed as LP. Isobutane, etc.), hydrogen gas (displayed as H2), ethanol (displayed as ETOH). ), And the case of methane gas (denoted as CH4) are shown.

図7に示されるとおり、大気中の場合と比べて、大気以外の何れかのガスが存在する場合には、ガス感知層12の抵抗値が低くなる。大気中では、加熱開始後40m秒程度経過した時点でガス感知層12の抵抗値が安定する。一方、LPガス中及び水素ガス中では、ガス感知層12の抵抗値が大気中の場合と比べて大きく減少した後、40m秒あたりで上昇をはじめて徐々に大気中におけるガス感知層12の抵抗値に近づいていく。エタノール等のアルコール中ではガス感知層12の抵抗値が徐々に減少する。メタンガス中の場合もガス感知層12の抵抗値が徐々に減少する。 As shown in FIG. 7, the resistance value of the gas sensing layer 12 is lower when any gas other than the atmosphere is present as compared with the case of the atmosphere. In the atmosphere, the resistance value of the gas sensing layer 12 stabilizes about 40 msec after the start of heating. On the other hand, in LP gas and hydrogen gas, the resistance value of the gas sensing layer 12 decreases significantly as compared with the case of the atmosphere, and then starts to increase in about 40 ms and gradually increases in the resistance value of the gas sensing layer 12 in the atmosphere. Approaching. In alcohol such as ethanol, the resistance value of the gas sensing layer 12 gradually decreases. Even in methane gas, the resistance value of the gas sensing layer 12 gradually decreases.

したがって、例えば、加熱開始してから30m秒から100m秒の時間範囲においては、大気中におけるガス感知層12の抵抗値と、各ガス中におけるガス感知層12の抵抗値との間に差がある。それゆえ、ガス感知層12の抵抗値に基づいて、ガスの存在の有無を判断することができる。具体的には、大気中の場合と、大気以外の何れかのガスが存在する場合とを区別できる値になるように第1閾値L1が設定される。本例では、40kΩと100kΩとの間に第1閾値L1が設定される。但し、閾値は、検出部10によって異なるので、この場合に限定されない。 Therefore, for example, in the time range of 30 msec to 100 msec after the start of heating, there is a difference between the resistance value of the gas sensing layer 12 in the atmosphere and the resistance value of the gas sensing layer 12 in each gas. .. Therefore, the presence or absence of gas can be determined based on the resistance value of the gas sensing layer 12. Specifically, the first threshold value L1 is set so as to have a value that can distinguish between the case of being in the atmosphere and the case of being present in any gas other than the atmosphere. In this example, the first threshold value L1 is set between 40 kΩ and 100 kΩ. However, since the threshold value differs depending on the detection unit 10, the threshold value is not limited to this case.

加熱制御部30によってガス感知層12の温度が第1温度T1に制御された状態で測定部20によって測定されたガス感知層12の第1抵抗値が第1閾値L1と比較される。第1抵抗値が第1閾値L1より大きい場合には、加熱制御部30は、大気以外の何れかのガスが検出されなかったとして、ヒータ14への通電を停止する。一方、第1抵抗値が第1閾値L1以下である場合には、対象ガスが検出される可能性がある。したがって、対象ガスの濃度によってガス感知層12の抵抗が変化しやすい温度領域になるように加熱制御部30は、ガス感知層12の温度を第1温度T1より低い第2温度T2に制御する。 The first resistance value of the gas sensing layer 12 measured by the measuring unit 20 in a state where the temperature of the gas sensing layer 12 is controlled by the heating control unit 30 to the first temperature T1 is compared with the first threshold value L1. When the first resistance value is larger than the first threshold value L1, the heating control unit 30 stops energizing the heater 14 on the assumption that any gas other than the atmosphere is not detected. On the other hand, when the first resistance value is equal to or less than the first threshold value L1, the target gas may be detected. Therefore, the heating control unit 30 controls the temperature of the gas sensing layer 12 to the second temperature T2, which is lower than the first temperature T1, so that the resistance of the gas sensing layer 12 easily changes depending on the concentration of the target gas.

図8は、ヒータをLow状態に駆動した場合におけるガス感知層の抵抗変化の一例を示す図である。図8は、ガス感知層12の温度を第2温度T2に保持した場合の測定結果を示している。具体的には、図8は、ガス感知層12の温度を330℃とした場合の測定結果を示す。図8に示されているガス種は、図7に示されているガス種と同じである。 FIG. 8 is a diagram showing an example of a change in resistance of the gas sensing layer when the heater is driven to the Low state. FIG. 8 shows the measurement results when the temperature of the gas sensing layer 12 is maintained at the second temperature T2. Specifically, FIG. 8 shows the measurement results when the temperature of the gas sensing layer 12 is 330 ° C. The gas species shown in FIG. 8 are the same as the gas species shown in FIG.

大気中では、加熱開始後60m秒程度経過した時点でガス感知層12の抵抗値が安定する。また、水素ガス中では、ガス感知層12の抵抗値が大気中の場合と比べて大きく減少した後、徐々に大気中の抵抗値に近づいていく。LPガス中の場合、エタノール等のアルコール中の場合、及びメタンガス中の場合では、それぞれガス感知層12の抵抗値が徐々に減少していく。 In the atmosphere, the resistance value of the gas sensing layer 12 stabilizes about 60 msec after the start of heating. Further, in hydrogen gas, the resistance value of the gas sensing layer 12 is significantly reduced as compared with the case in the atmosphere, and then gradually approaches the resistance value in the atmosphere. The resistance value of the gas sensing layer 12 gradually decreases in the case of LP gas, alcohol such as ethanol, and methane gas, respectively.

したがって、例えば、Low状態に加熱開始してから160m秒から200m秒の時間範囲においては、LPガス中の場合及びアルコール中の場合におけるガス感知層12の抵抗値と、水素ガス中におけるガス感知層の抵抗値との間に差がある。したがって、ガス感知層の抵抗値に基づいて、存在するガスが、水素ガスであるかを区別することができる。 Therefore, for example, in the time range of 160 msec to 200 msec after the start of heating in the Low state, the resistance value of the gas sensing layer 12 in the case of LP gas and the case of alcohol and the gas sensing layer in hydrogen gas There is a difference from the resistance value of. Therefore, it is possible to distinguish whether the existing gas is hydrogen gas based on the resistance value of the gas sensing layer.

メタンガス中の場合におけるガス感知層12の抵抗値と水素ガス中の場合におけるガス感知層12の抵抗値との差は、加熱時間が長くなるにつれて大きくなる。したがって、対象ガスがメタンガスである場合は、対象ガスがLPガスである場合と比べて、第2抵抗値を取得するタイミングを遅らせてよい。本例では、30kΩと300kΩとの間に第2閾値L2(L2´)が設定される。図8に示される温度領域では、メタンガス中におけるガス感知層12の抵抗値が、LPガス中におけるガス感知層12の抵抗値より高い。したがって、対象ガスがメタンガスである場合の第2閾値L2´は、対象ガスがLPガスである場合の第2閾値L2より高い値に設定されてよい。 The difference between the resistance value of the gas sensing layer 12 in the case of methane gas and the resistance value of the gas sensing layer 12 in the case of hydrogen gas increases as the heating time increases. Therefore, when the target gas is methane gas, the timing of acquiring the second resistance value may be delayed as compared with the case where the target gas is LP gas. In this example, the second threshold value L2 (L2') is set between 30 kΩ and 300 kΩ. In the temperature range shown in FIG. 8, the resistance value of the gas sensing layer 12 in methane gas is higher than the resistance value of the gas sensing layer 12 in LP gas. Therefore, the second threshold value L2'when the target gas is methane gas may be set to a value higher than the second threshold value L2 when the target gas is LP gas.

ガス感知層12の第2抵抗値が第2閾値L2と比較される。第2抵抗値が第2閾値L2より大きい場合には、存在するガスは水素ガス等の雑ガスであり、対象ガスではない。したがって、加熱制御部30は、ヒータ14への通電を停止する。一方、第2抵抗値が第2閾値L2以下である場合には、対象ガスが存在する可能性がある。本例の加熱制御部30は、対象ガスをメタノール等のアルコールに対して選択して検出するために、ガス感知層12の温度が第2温度T2より高い第3温度T3となるように制御する。 The second resistance value of the gas sensing layer 12 is compared with the second threshold value L2. When the second resistance value is larger than the second threshold value L2, the existing gas is a miscellaneous gas such as hydrogen gas, not a target gas. Therefore, the heating control unit 30 stops energizing the heater 14. On the other hand, when the second resistance value is equal to or less than the second threshold value L2, there is a possibility that the target gas exists. The heating control unit 30 of this example controls the temperature of the gas sensing layer 12 to be a third temperature T3 higher than the second temperature T2 in order to select and detect the target gas with respect to alcohol such as methanol. ..

図9は、ヒータを200m秒間にわたってHigh状態に駆動した場合におけるガス感知層の抵抗変化の一例である。図9は、ガス感知層12の温度を第3温度T3に保持した場合の測定結果を示している。具体的には、図9は、ガス感知層12の温度を430℃とした場合の測定結果を示す。 FIG. 9 is an example of a resistance change of the gas sensing layer when the heater is driven to the high state for 200 msec. FIG. 9 shows the measurement results when the temperature of the gas sensing layer 12 is maintained at the third temperature T3. Specifically, FIG. 9 shows the measurement results when the temperature of the gas sensing layer 12 is 430 ° C.

図7においても説明したとおり、大気中では、加熱開始後40m秒程度経過した時点でガス感知層12の抵抗値が安定する。一方、LPガス(イソブタン等)中の場合及び水素ガス中の場合では、ガス感知層12の抵抗値が大気中の場合と比べて大きく減少した後、40m秒あたりで増加し始めて、徐々に大気中におけるガス感知層12の抵抗値に近づいていく。エタノール等のアルコール中ではガス感知層12の抵抗値が徐々に減少し、加熱開始後100m秒程度から、ガス感知層12の抵抗値が徐々に大きくなる。 As described in FIG. 7, in the atmosphere, the resistance value of the gas sensing layer 12 stabilizes when about 40 msec has elapsed after the start of heating. On the other hand, in the case of LP gas (isobutane or the like) and the case of hydrogen gas, the resistance value of the gas sensing layer 12 decreases significantly as compared with the case of the atmosphere, and then starts to increase around 40 msec and gradually increases to the atmosphere. It approaches the resistance value of the gas sensing layer 12 inside. In alcohol such as ethanol, the resistance value of the gas sensing layer 12 gradually decreases, and the resistance value of the gas sensing layer 12 gradually increases from about 100 msec after the start of heating.

LPガス中の場合は、アルコール中の場合に比べて、加熱時間の経過に伴うガス感知層12の抵抗値の増加率が大きい。増加率の違いに起因して、例えば、加熱開始してから160m秒以上200m秒の時間範囲においては、LPガス中におけるガス感知層12の抵抗値と、アルコール中におけるガス感知層12の抵抗値との間に差が生じる。具体的には、LPガス中のガス感知層12の抵抗値は、アルコール中のガス感知層12の抵抗値より高くなる。LPガス中のガス感知層12の抵抗値と、アルコール中のガス感知層12の抵抗値との間に、第3閾値L3を設定してよい。 In the case of LP gas, the rate of increase in the resistance value of the gas sensing layer 12 with the passage of the heating time is larger than that in the case of alcohol. Due to the difference in the rate of increase, for example, in the time range of 160 msec or more and 200 msec after the start of heating, the resistance value of the gas sensing layer 12 in LP gas and the resistance value of the gas sensing layer 12 in alcohol. There is a difference between and. Specifically, the resistance value of the gas sensing layer 12 in LP gas is higher than the resistance value of the gas sensing layer 12 in alcohol. A third threshold value L3 may be set between the resistance value of the gas sensing layer 12 in LP gas and the resistance value of the gas sensing layer 12 in alcohol.

判別部80は、ガス感知層12の抵抗値に基づいて、存在するガスが、LPガスであるかアルコールであるかを判別することができる。比較部82は、ガス感知層12の第3抵抗値と第3閾値L3とを比較してよい。対象ガスがLPガスである場合、判別部80は、第3抵抗値が第3閾値以上である場合に、対象ガスであるLPガスが存在すると判別してよい。一方、判別部80は、第3抵抗値が第3閾値より小さい場合に、対象ガス以外のガスが存在すると判別してよい。具体的には、判別部80は、第3抵抗値が第3閾値より小さい場合には、アルコールを含むガスが存在すると判別してよい。したがって、対象ガスがLPガスである場合において、対象ガスをアルコール等の雑ガスに対して区別して検出することができる。 The discrimination unit 80 can discriminate whether the existing gas is LP gas or alcohol based on the resistance value of the gas sensing layer 12. The comparison unit 82 may compare the third resistance value of the gas sensing layer 12 with the third threshold value L3. When the target gas is LP gas, the discriminating unit 80 may determine that LP gas, which is the target gas, is present when the third resistance value is equal to or higher than the third threshold value. On the other hand, the discrimination unit 80 may determine that a gas other than the target gas exists when the third resistance value is smaller than the third threshold value. Specifically, when the third resistance value is smaller than the third threshold value, the discriminating unit 80 may determine that a gas containing alcohol is present. Therefore, when the target gas is LP gas, the target gas can be detected separately from miscellaneous gases such as alcohol.

メタンガス中の場合は、ガス感知層12の抵抗値は、加熱開始後40m秒まで減少した後、40m秒から200m秒までの時間範囲において変化しにくい。一方、エタノール等のアルコール中の場合には、加熱開始後100m秒経過時点付近から、ガス感知層12の抵抗値が徐々に大きくなる。したがって、例えば、加熱開始後160m秒経過後の時間範囲では、メタンガス中におけるガス感知層12の抵抗値と、アルコール中におけるガス感知層12の抵抗値との間に差が生じる。具体的には、メタンガス中のガス感知層12の抵抗値は、アルコール中のガス感知層12の抵抗値よりも低くなる。したがって、メタンガスが対象ガスである場合には、メタンガス中におけるガス感知層12の抵抗値と、アルコール中におけるガス感知層12の抵抗値との間に、第3閾値L3´を設定してよい。 In the case of methane gas, the resistance value of the gas sensing layer 12 is unlikely to change in the time range from 40 msec to 200 msec after decreasing to 40 msec after the start of heating. On the other hand, in the case of alcohol such as ethanol, the resistance value of the gas sensing layer 12 gradually increases from around 100 msec after the start of heating. Therefore, for example, in the time range 160 msec after the start of heating, there is a difference between the resistance value of the gas sensing layer 12 in methane gas and the resistance value of the gas sensing layer 12 in alcohol. Specifically, the resistance value of the gas sensing layer 12 in methane gas is lower than the resistance value of the gas sensing layer 12 in alcohol. Therefore, when methane gas is the target gas, a third threshold value L3'may be set between the resistance value of the gas sensing layer 12 in methane gas and the resistance value of the gas sensing layer 12 in alcohol.

判別部80は、ガス感知層12の抵抗値に基づいて、存在するガスが、メタンガスであるかアルコールであるかを判別することができる。比較部82は、ガス感知層12の第3抵抗値と第3閾値L3とを比較してよい。判別部80は、第3抵抗値が第3閾値以下である場合には、対象ガスであるメタンガスが存在すると判別してよい。一方、判別部80は、第3抵抗値が第3閾値より大きい場合には、対象ガス以外のガスが存在すると判別してよい。具体的には、判別部80は、第3抵抗値が第3閾値より大きい場合には、アルコールを含むガスが存在すると判別してよい。したがって、対象ガスがメタンガスである場合において、対象ガスをアルコール等の雑ガスに対して区別して検出することができる。 The discrimination unit 80 can discriminate whether the existing gas is methane gas or alcohol based on the resistance value of the gas sensing layer 12. The comparison unit 82 may compare the third resistance value of the gas sensing layer 12 with the third threshold value L3. When the third resistance value is equal to or less than the third threshold value, the discriminating unit 80 may determine that methane gas, which is the target gas, is present. On the other hand, when the third resistance value is larger than the third threshold value, the discrimination unit 80 may determine that a gas other than the target gas exists. Specifically, when the third resistance value is larger than the third threshold value, the discriminating unit 80 may determine that a gas containing alcohol is present. Therefore, when the target gas is methane gas, the target gas can be detected separately from miscellaneous gases such as alcohol.

アルコールと対象ガスとの判別のためには、第3温度T3において測定された第3抵抗値を用いる一方、対象ガスの濃度を決定するためには、ガス感度を高くするために第2温度T2において測定された第2抵抗値を用いてもよい。例えば、対象ガスがLPガスである場合に、アルコールと対象ガスとの判別には、400℃以上の第3温度において測定された抵抗値を用いることが有利であるが、温度が400℃以上になると対象ガスに対する感度(ガス濃度に対する抵抗値の変化量)は低くなるため、対象ガスの濃度を決定するには不利である。したがって、対象ガスがアルコールではなくLPガスであると判別された場合において、対象ガスの濃度の決定には、ガス感度の高い330℃前後の第2温度において測定された第2抵抗値を用いてよい。これにより、ガスの検出感度を維持しつつ、アルコールに対する選択性を高めることができる。一方、対象ガスがメタンガスである場合には、温度が第2温度の場合より第3温度の場合の方が、ガス感度が高いので、第3温度における測定された第3抵抗値を用いて、アルコールと対象ガスとの判別のみならず、対象ガスの濃度を決定してよい。 The third resistance value measured at the third temperature T3 is used to distinguish the alcohol from the target gas, while the second temperature T2 is used to determine the concentration of the target gas in order to increase the gas sensitivity. The second resistance value measured in may be used. For example, when the target gas is LP gas, it is advantageous to use the resistance value measured at a third temperature of 400 ° C. or higher for distinguishing between alcohol and the target gas, but the temperature is 400 ° C. or higher. In that case, the sensitivity to the target gas (the amount of change in the resistance value with respect to the gas concentration) becomes low, which is disadvantageous for determining the concentration of the target gas. Therefore, when it is determined that the target gas is LP gas instead of alcohol, the concentration of the target gas is determined by using the second resistance value measured at the second temperature of around 330 ° C., which has high gas sensitivity. Good. This makes it possible to increase the selectivity for alcohol while maintaining the detection sensitivity of the gas. On the other hand, when the target gas is methane gas, the gas sensitivity is higher when the temperature is the third temperature than when the temperature is the second temperature. Therefore, the third resistance value measured at the third temperature is used. Not only the alcohol and the target gas may be discriminated, but also the concentration of the target gas may be determined.

図10は、本発明の第1実施形態のガスセンサ100の処理内容の一例を示すフローチャートである。図10は、ガスセンサ100の制御方法の一例を示す。加熱制御部30は、ヒータ14に電圧を印加して、ガス感知層12の温度が第1温度T1になるようにヒータ14を制御する(ステップS101)。ステップS101の処理は、ガス感知層12の温度を第1温度T1に制御する第1温度制御段階に対応する。ステップS101の処理は、ガス感知層12をクリーニングする処理を兼ねてよい。 FIG. 10 is a flowchart showing an example of the processing content of the gas sensor 100 according to the first embodiment of the present invention. FIG. 10 shows an example of a control method of the gas sensor 100. The heating control unit 30 applies a voltage to the heater 14 to control the heater 14 so that the temperature of the gas sensing layer 12 becomes the first temperature T1 (step S101). The process of step S101 corresponds to the first temperature control step of controlling the temperature of the gas sensing layer 12 to the first temperature T1. The process of step S101 may also serve as a process of cleaning the gas sensing layer 12.

第1取得部50は、ガス感知層12の第1抵抗値を取得する(ステップS102)。ステップS102の処理は、ガス感知層12の温度が第1温度T1に制御された状態で測定されたガス感知層12の第1抵抗値を取得する第1取得段階に対応する。 The first acquisition unit 50 acquires the first resistance value of the gas sensing layer 12 (step S102). The process of step S102 corresponds to the first acquisition step of acquiring the first resistance value of the gas sensing layer 12 measured in a state where the temperature of the gas sensing layer 12 is controlled to the first temperature T1.

加熱制御部30は、第1抵抗値が第1閾値L1以下であるかを判断する(ステップS103)。第1抵抗値が第1閾値L1より大きい場合には(ステップS103:NO)、対象ガスが存在しないと考えられるので、加熱制御部30は、ヒータ14への通電を停止して、ヒータ14をオフする(ステップS110)。したがって、第1抵抗値が第1閾値L1より大きく、大気以外のガスが存在しない場合には、直ちに加熱を停止することができる。これにより、消費電力を低減することができる。 The heating control unit 30 determines whether the first resistance value is equal to or less than the first threshold value L1 (step S103). When the first resistance value is larger than the first threshold value L1 (step S103: NO), it is considered that the target gas does not exist, so that the heating control unit 30 stops the energization of the heater 14 and turns the heater 14 on. Turn off (step S110). Therefore, when the first resistance value is larger than the first threshold value L1 and there is no gas other than the atmosphere, the heating can be stopped immediately. As a result, power consumption can be reduced.

第1抵抗値が第1閾値L1以下である場合には(ステップS103:YES)、何らかのガスが存在する蓋然性がある。したがって、加熱制御部30は、ガス感知層12の温度が第2温度T2になるようにヒータ14を制御する(ステップS104)。第2温度T2は、第1温度T1より低い。特に、第2温度T2は、250℃以上350℃以下であってよい。第2温度T2は、対象ガスのガス感度が第1温度T1の場合より高い温度領域に設定してよい。例えば、対象ガスがLPガスである場合、400℃以上500℃以下である第1温度T1の場合よりも250℃以上350℃以下である第2温度T2の方がガス感度が高い。したがって、第2温度T2において抵抗値を測定することによって、対象ガスの濃度を正確に判別することができる。これにより、所定の濃度範囲において確実に対象ガスを検出することができる。また、加熱制御部30は、後述するように、対象ガスの種類に応じて、第2温度T2を変更してもよい。ステップS104の処理は、第1抵抗値が予め定められた第1閾値以下の場合に、ガス感知層12の温度を第1温度T1より低い第2温度T2に制御する第2温度制御段階に対応する。 When the first resistance value is equal to or less than the first threshold value L1 (step S103: YES), there is a possibility that some gas is present. Therefore, the heating control unit 30 controls the heater 14 so that the temperature of the gas sensing layer 12 becomes the second temperature T2 (step S104). The second temperature T2 is lower than the first temperature T1. In particular, the second temperature T2 may be 250 ° C. or higher and 350 ° C. or lower. The second temperature T2 may be set in a temperature region in which the gas sensitivity of the target gas is higher than that in the case of the first temperature T1. For example, when the target gas is LP gas, the gas sensitivity of the second temperature T2 of 250 ° C. or higher and 350 ° C. or lower is higher than that of the first temperature T1 of 400 ° C. or higher and 500 ° C. or lower. Therefore, the concentration of the target gas can be accurately determined by measuring the resistance value at the second temperature T2. As a result, the target gas can be reliably detected in a predetermined concentration range. Further, the heating control unit 30 may change the second temperature T2 according to the type of the target gas, as will be described later. The process of step S104 corresponds to a second temperature control step of controlling the temperature of the gas sensing layer 12 to a second temperature T2 lower than the first temperature T1 when the first resistance value is equal to or less than a predetermined first threshold value. To do.

第2取得部60は、ガス感知層12の第2抵抗値を取得する(ステップS105)。第2取得部60は、例えば、加熱開始後160m秒以上200m秒以下の時間領域において測定されたガス感知層12の抵抗値を第2抵抗値として取得する。ステップS105の処理は、ガス感知層12の温度が第2温度T2に制御された状態で測定されたガス感知層12の第2抵抗値を取得する第2取得段階に対応する。 The second acquisition unit 60 acquires the second resistance value of the gas sensing layer 12 (step S105). The second acquisition unit 60 acquires, for example, the resistance value of the gas sensing layer 12 measured in the time region of 160 msec or more and 200 msec or less after the start of heating as the second resistance value. The process of step S105 corresponds to the second acquisition step of acquiring the second resistance value of the gas sensing layer 12 measured in a state where the temperature of the gas sensing layer 12 is controlled to the second temperature T2.

加熱制御部30は、第2抵抗値が第2閾値L2以下であるかを判断する(ステップS106)。第2抵抗値が第2閾値L2より大きい場合には(ステップS106:NO)、対象ガスが存在しないと考えられる。したがって、加熱制御部30は、ヒータ14への通電を停止して、ヒータ14をオフする(ステップS110)。これにより、第2抵抗値が第2閾値L2より大きく、大気以外のガスが存在しない場合には、加熱が直ちに停止されて、消費電力が低減される。 The heating control unit 30 determines whether the second resistance value is equal to or less than the second threshold value L2 (step S106). When the second resistance value is larger than the second threshold value L2 (step S106: NO), it is considered that the target gas does not exist. Therefore, the heating control unit 30 stops the energization of the heater 14 and turns off the heater 14 (step S110). As a result, when the second resistance value is larger than the second threshold value L2 and there is no gas other than the atmosphere, the heating is immediately stopped and the power consumption is reduced.

第2抵抗値が第2閾値L2以下である場合には(ステップS106:YES)、対象ガスが存在する可能性がある。対象ガスは、LPガスまたはメタンガスであってよい。しかしながら、例えば、LPガスの濃度及びアルコール等の濃度によっては、LPガス中のガス感知層12の抵抗値と、アルコール中のガス感知層12の抵抗値とが近似する。そのため、第2抵抗値に基づいてガス種を判断することが難しい場合がある。 When the second resistance value is equal to or less than the second threshold value L2 (step S106: YES), the target gas may be present. The target gas may be LP gas or methane gas. However, for example, depending on the concentration of LP gas and the concentration of alcohol or the like, the resistance value of the gas sensing layer 12 in LP gas and the resistance value of the gas sensing layer 12 in alcohol are similar. Therefore, it may be difficult to determine the gas type based on the second resistance value.

したがって、本例では、第2抵抗値が第2閾値L2以下である場合には(ステップS106:YES)、加熱制御部30は、ガス感知層12の温度が第3温度T3になるようにヒータ14を制御する(ステップS107)。ステップS107の処理は、第2抵抗値が予め定められた第2閾値以下の場合に、ガス感知層12の温度を第2温度T2より高い第3温度T3に制御する第3温度制御段階に対応する。 Therefore, in this example, when the second resistance value is equal to or less than the second threshold value L2 (step S106: YES), the heating control unit 30 heats the gas sensing layer 12 so that the temperature of the gas sensing layer 12 becomes the third temperature T3. 14 is controlled (step S107). The process of step S107 corresponds to a third temperature control step of controlling the temperature of the gas sensing layer 12 to a third temperature T3 higher than the second temperature T2 when the second resistance value is equal to or less than a predetermined second threshold value. To do.

第3温度T3は、400℃以上500℃以下であってよく、より好ましくは、400℃以上450℃以下であってよい。対象ガスがLPガスである場合、第3温度T3が400℃より低く設定されると、LPガスが脱離しきれずにガス感知層12等にLPガスが残ってしまう。したがって、加熱時間に伴うガス感知層12の抵抗値が低下したままとなり、LPガスとアルコールとの区別が難しくなる。対象ガスがメタンガスである場合、第3温度T3が400℃より低く設定されると、エタノール等のアルコール中における抵抗値が低下したままとなり、メタンガスとアルコールとの区別が困難になる場合がある。一方、第3温度T3を500℃より高くすると、検出部10を劣化させる可能性がある。 The third temperature T3 may be 400 ° C. or higher and 500 ° C. or lower, and more preferably 400 ° C. or higher and 450 ° C. or lower. When the target gas is LP gas, if the third temperature T3 is set lower than 400 ° C., the LP gas cannot be completely desorbed and the LP gas remains in the gas sensing layer 12 or the like. Therefore, the resistance value of the gas sensing layer 12 with the heating time remains low, and it becomes difficult to distinguish between LP gas and alcohol. When the target gas is methane gas, if the third temperature T3 is set lower than 400 ° C., the resistance value in alcohol such as ethanol remains low, and it may be difficult to distinguish between methane gas and alcohol. On the other hand, if the third temperature T3 is higher than 500 ° C., the detection unit 10 may be deteriorated.

第3取得部70は、ガス感知層12の第3抵抗値を取得する(ステップS108)。第3取得部70は、例えば、加熱開始後160m秒以上200m秒以下の時間領域において測定されたガス感知層12の抵抗値を第3抵抗値として取得する。ステップS108の処理は、ガス感知層12の温度が第3温度T3に制御された状態で測定されたガス感知層12の第3抵抗値を取得する第3取得段階に対応する。 The third acquisition unit 70 acquires the third resistance value of the gas sensing layer 12 (step S108). The third acquisition unit 70 acquires, for example, the resistance value of the gas sensing layer 12 measured in the time region of 160 msec or more and 200 msec or less after the start of heating as the third resistance value. The process of step S108 corresponds to the third acquisition step of acquiring the third resistance value of the gas sensing layer 12 measured in a state where the temperature of the gas sensing layer 12 is controlled to the third temperature T3.

判別部80は、第3抵抗値に基づいてガス種を判別するガス種判別処理を実行する(ステップS109)。ステップS109の処理は、第3取得段階(ステップS108)において取得された第3抵抗値に基づいて、存在するガス種を判別する判別段階に対応する。加熱制御部30は、ヒータ14への通電を停止して、ヒータ14をオフする(ステップS110)。加熱制御部30は、例えば、30秒以上60秒以下のヒータ駆動周期Pが経過するのを待って(ステップS111:YES)、再び、ガス感知層12の温度が第1温度T1になるようにヒータ14を制御する(ステップS101)。 The discrimination unit 80 executes a gas type discrimination process for discriminating the gas type based on the third resistance value (step S109). The process of step S109 corresponds to the discrimination step of discriminating the existing gas type based on the third resistance value acquired in the third acquisition step (step S108). The heating control unit 30 stops energizing the heater 14 and turns off the heater 14 (step S110). For example, the heating control unit 30 waits for the heater drive cycle P of 30 seconds or more and 60 seconds or less to elapse (step S111: YES) so that the temperature of the gas sensing layer 12 becomes the first temperature T1 again. The heater 14 is controlled (step S101).

図11は、対象ガスがLPガスである場合におけるガス種判別処理の一例を示すフローチャートである。図11は、図10のステップS109の処理の一例である。比較部82は、第3抵抗値と、予め定められた第3閾値L3とを比較する(ステップS201)。第3抵抗値が第3閾値L3以上である場合には(ステップS201:YES)、図9において説明したとおり、アルコールを含む雑ガスによる影響ではなく、実際に、対象ガスが存在すると考えられる。したがって、判別部80は、LPガスが存在すると判別する(ステップS202)。 FIG. 11 is a flowchart showing an example of gas type discrimination processing when the target gas is LP gas. FIG. 11 is an example of the process of step S109 of FIG. The comparison unit 82 compares the third resistance value with the predetermined third threshold value L3 (step S201). When the third resistance value is equal to or higher than the third threshold value L3 (step S201: YES), it is considered that the target gas actually exists, not the influence of the miscellaneous gas containing alcohol, as described in FIG. Therefore, the discriminating unit 80 determines that LP gas is present (step S202).

一方、第3抵抗値が第3閾値L3より小さい場合には(ステップS201:NO)、アルコールを含むガスが存在すると判断する(ステップS203)。LPガスが存在すると判別された場合には、警報発生部40は、ガス漏れ警報を発報する(ステップS204)。一方、アルコールを含むガスが存在すると判断された場合には、警報発生部40は、ガス漏れ警報を発報せずに、リターンしてよい。 On the other hand, when the third resistance value is smaller than the third threshold value L3 (step S201: NO), it is determined that the gas containing alcohol exists (step S203). When it is determined that LP gas is present, the alarm generation unit 40 issues a gas leak alarm (step S204). On the other hand, when it is determined that the gas containing alcohol is present, the alarm generation unit 40 may return without issuing a gas leak alarm.

図12は、対象ガスがメタンガスである場合におけるガス種判別処理の一例を示すフローチャートである。図12は、図10のステップS109の処理の一例である。比較部82は、第3抵抗値と、予め定められた第3閾値L3´とを比較する(ステップS301)。第3抵抗値が第3閾値L3´以下である場合には(ステップS301:YES)、図9において説明したとおり、アルコールを含む雑ガスによる影響ではなく、実際に、対象ガスが存在すると考えられる。したがって、判別部80は、メタンガスが存在すると判別する(ステップS302)。 FIG. 12 is a flowchart showing an example of the gas type discrimination process when the target gas is methane gas. FIG. 12 is an example of the process of step S109 of FIG. The comparison unit 82 compares the third resistance value with the predetermined third threshold value L3'(step S301). When the third resistance value is equal to or less than the third threshold value L3'(step S301: YES), as described in FIG. 9, it is considered that the target gas actually exists, not the influence of the miscellaneous gas containing alcohol. .. Therefore, the discriminating unit 80 determines that methane gas is present (step S302).

一方、第3抵抗値が第3閾値L3´より大きい場合には(ステップS301:NO)、アルコールを含むガスが存在すると判断する(ステップS303)。メタンガスが存在すると判別された場合には、警報発生部40は、ガス漏れ警報を発報する(ステップS304)。一方、アルコールを含むガスが存在すると判断された場合には、警報発生部40は、ガス漏れ警報を発報せずに、リターンしてよい。 On the other hand, when the third resistance value is larger than the third threshold value L3'(step S301: NO), it is determined that the gas containing alcohol exists (step S303). When it is determined that methane gas is present, the alarm generation unit 40 issues a gas leak alarm (step S304). On the other hand, when it is determined that the gas containing alcohol is present, the alarm generation unit 40 may return without issuing a gas leak alarm.

以上のように、本例の制御方法によれば、第1抵抗値が第1閾値L1以下であり(図10のステップS103:YES)、かつ第2抵抗値が第2閾値L2以下である場合(図10のステップS105:YES)に限って、ガス感知層12の温度を第3温度T3に保持する処理(ステップS107及びステップS108)を実行する。したがって、各周期Pにおいて、ガス感知層12の温度を第3温度T3に比較的長く保持する処理を実行する場合に比べて、消費電力を低減することができる。 As described above, according to the control method of this example, when the first resistance value is equal to or less than the first threshold value L1 (step S103: YES in FIG. 10) and the second resistance value is equal to or less than the second threshold value L2. Only in (step S105: YES in FIG. 10), the process of holding the temperature of the gas sensing layer 12 at the third temperature T3 (step S107 and step S108) is executed. Therefore, in each cycle P, the power consumption can be reduced as compared with the case of executing the process of holding the temperature of the gas sensing layer 12 at the third temperature T3 for a relatively long time.

本例の制御方法によれば、第1抵抗値および第2抵抗値の値に応じて、図3、図4、及び図5に示されるようにヒータ駆動パターンを切り替える。したがって、各周期Pにおいて、常に、第1温度T1、第2温度T2、及び第3温度T3という温度に制御する場合に比べて、全体の加熱時間を短くすることができる。したがって、消費電力を低減することができる。 According to the control method of this example, the heater drive pattern is switched as shown in FIGS. 3, 4, and 5 according to the values of the first resistance value and the second resistance value. Therefore, in each cycle P, the overall heating time can be shortened as compared with the case where the temperatures are always controlled to the first temperature T1, the second temperature T2, and the third temperature T3. Therefore, the power consumption can be reduced.

本例のガスセンサ100は、第2抵抗値が第2閾値L2以下である場合において、直ちに、対象ガスが存在すると結論せずに、さらに、ガスの判別処理を実行する。したがって、アルコール等のガスに対する対象ガスの選択性を高める。それゆえ、対象ガスが存在しないにもかかわらず、警報発生部40が警報を発報する可能性を低減することができる。 When the second resistance value is equal to or less than the second threshold value L2, the gas sensor 100 of this example does not immediately conclude that the target gas exists, and further executes the gas discrimination process. Therefore, the selectivity of the target gas with respect to the gas such as alcohol is enhanced. Therefore, it is possible to reduce the possibility that the alarm generating unit 40 issues an alarm even though the target gas does not exist.

本例のガスセンサ100において、加熱制御部30は、対象ガスの種類に応じて、第2温度T2を変更してよい。また、加熱制御部30は、対象ガスの種類に応じて、第3温度T3を変更してよい。図13は、LPガスに対するガス感度とメタンガスに対するガス感度を示す図である。第2温度T2は、対象ガスのガス感度(検出感度)が第1温度T1の場合に比べて高い温度領域に設定してよい。但し、ガス種によっては、第2温度T2における対象ガスのガス温度が第1温度T1の場合に比べて低くてもよい。メタンガスに対するガス感度のピークは、LPガスの対するガス感度のピークより高温側に位置している。したがって、加熱制御部30は、対象ガスがメタンガスの場合における第2温度T2を、対象ガスがLPガスの場合における第2温度T2より高く設定してよい。例えば、対象ガスがメタンガスの場合における第2温度T2は350℃であってよく、対象ガスがLPガスの場合における第2温度T2は330℃であってよい。 In the gas sensor 100 of this example, the heating control unit 30 may change the second temperature T2 according to the type of the target gas. Further, the heating control unit 30 may change the third temperature T3 according to the type of the target gas. FIG. 13 is a diagram showing the gas sensitivity to LP gas and the gas sensitivity to methane gas. The second temperature T2 may be set in a temperature region in which the gas sensitivity (detection sensitivity) of the target gas is higher than that in the case of the first temperature T1. However, depending on the gas type, the gas temperature of the target gas at the second temperature T2 may be lower than that at the first temperature T1. The peak of gas sensitivity to methane gas is located on the higher temperature side than the peak of gas sensitivity to LP gas. Therefore, the heating control unit 30 may set the second temperature T2 when the target gas is methane gas to be higher than the second temperature T2 when the target gas is LP gas. For example, when the target gas is methane gas, the second temperature T2 may be 350 ° C., and when the target gas is LP gas, the second temperature T2 may be 330 ° C.

また、図9に示されるとおり、LPガス中のガス感知層12の抵抗値とエタノール等のアルコール中のガス感知層12の抵抗値との差は、第3温度T3に保持する加熱時間が長くなるほど小さくなる。一方、メタンガス中のガス感知層12の抵抗値とアルコール中のガス感知層12の抵抗値との差は、第3温度T3に保持する加熱時間が長くなるほど大きくなる。そして、第3温度T3が高くなると、このような傾向が強まる。したがって、対象ガスがメタンガスの場合には、対象ガスがLPガスの場合に比べて高い値に第3温度T3に設定することによって、アルコールとの選択性を高くしてよい。 Further, as shown in FIG. 9, the difference between the resistance value of the gas sensing layer 12 in LP gas and the resistance value of the gas sensing layer 12 in alcohol such as ethanol is such that the heating time held at the third temperature T3 is long. I see, it gets smaller. On the other hand, the difference between the resistance value of the gas sensing layer 12 in methane gas and the resistance value of the gas sensing layer 12 in alcohol increases as the heating time held at the third temperature T3 becomes longer. Then, as the third temperature T3 becomes higher, such a tendency becomes stronger. Therefore, when the target gas is methane gas, the selectivity with alcohol may be increased by setting the third temperature T3 to a higher value than when the target gas is LP gas.

図14は、ガスセンサ100の処理内容の一例を示すフローチャートである。図14のステップS401〜ステップS406は、図10のステップS101〜ステップS106と同じであり、図14のステップSS408〜ステップS412は、図10のステップS107〜ステップS111と同様である。図14に示される処理は、ステップS407が加えられている点で、図10に示される処理と異なる。したがって、図10の処理と同様のステップについては、繰返しの説明を省略する。 FIG. 14 is a flowchart showing an example of the processing content of the gas sensor 100. Steps S401 to S406 of FIG. 14 are the same as steps S101 to S106 of FIG. 10, and steps SS408 to S412 of FIG. 14 are the same as steps S107 to S111 of FIG. The process shown in FIG. 14 differs from the process shown in FIG. 10 in that step S407 is added. Therefore, the repetition of the steps similar to the process of FIG. 10 will be omitted.

ステップS407において、加熱制御部30は、第2抵抗値に応じて第3温度T3を変更してよい。具体的には、第2抵抗値が低くなるほど、ガス感知層12に付着しているガス成分の量が多くなると推定される。ガス感知層12に付着しているガス成分が多い場合には、High駆動してガス感知層12を第3温度T3に加熱してガス成分を脱離させるのに時間がかかる。したがって、第2抵抗値が低いほど、第3温度T3を高くしてよい。 In step S407, the heating control unit 30 may change the third temperature T3 according to the second resistance value. Specifically, it is estimated that the lower the second resistance value, the larger the amount of gas components adhering to the gas sensing layer 12. When there are many gas components adhering to the gas sensing layer 12, it takes time to drive the gas sensing layer 12 to a third temperature T3 to remove the gas components. Therefore, the lower the second resistance value, the higher the third temperature T3 may be.

第2抵抗値が低い場合に加熱制御部30が第3温度T3を高くすることによって、ガス感知層12に付着しているLPガスの脱離が促進される。したがって、LPガス中のガス感知層12の抵抗値とアルコール中でのガス感知層12の抵抗値の差を確保しやすくなる。また、第2抵抗値が低い場合に加熱制御部30が第3温度T3を高くすることによって、ガス感知層12に付着しているアルコールの脱離が促進される。したがって、メタンガス中のガス感知層12の抵抗値とアルコール中でのガス感知層12の抵抗値の差を確保しやすくなる。 When the second resistance value is low, the heating control unit 30 raises the third temperature T3 to promote the desorption of LP gas adhering to the gas sensing layer 12. Therefore, it becomes easy to secure the difference between the resistance value of the gas sensing layer 12 in LP gas and the resistance value of the gas sensing layer 12 in alcohol. Further, when the second resistance value is low, the heating control unit 30 raises the third temperature T3 to promote the desorption of alcohol adhering to the gas sensing layer 12. Therefore, it becomes easy to secure the difference between the resistance value of the gas sensing layer 12 in methane gas and the resistance value of the gas sensing layer 12 in alcohol.

図15は、ガスセンサ100の処理内容の一例を示すフローチャートである。図15のステップS501〜ステップS507は、図10のステップS101〜ステップS107と同じであり、図15のステップSS509〜ステップS512は、図10のステップS108〜ステップS111と同様である。図15に示される処理は、ステップS508が加えられている点で、図10に示される処理と異なる。したがって、図10の処理と同様のステップについては、繰返しの説明を省略する。 FIG. 15 is a flowchart showing an example of the processing content of the gas sensor 100. Steps S501 to S507 of FIG. 15 are the same as steps S101 to S107 of FIG. 10, and steps SS509 to S512 of FIG. 15 are the same as steps S108 to S111 of FIG. The process shown in FIG. 15 differs from the process shown in FIG. 10 in that step S508 is added. Therefore, the repetition of the steps similar to the process of FIG. 10 will be omitted.

ステップS508において、第3取得部70は、第2抵抗値に応じて第3抵抗値を取得するタイミングを変更する。これにともなって、加熱制御部30は、ガス感知層12を第3温度T3に加熱する加熱時間を長くしてよい。加熱時間を長くすることによって、ガス感知層12に付着しているLPガスの脱離が促進される。したがって、LPガス中のガス感知層12の抵抗値とアルコール中でのガス感知層12の抵抗値の差を確保することができる。また、ガス感知層12に付着しているアルコールの脱離が促進される。したがって、メタンガス中のガス感知層12の抵抗値とアルコール中でのガス感知層12の抵抗値の差を確保することができる。また、判別部80は、第2抵抗値に応じて第3温度T3を変更してよい。例えば、判別部80は、第2閾値L2と第2抵抗値との比をみて、第3閾値を決める。例えば、第2抵抗値が低いほど第3閾値も小さくしてよい。 In step S508, the third acquisition unit 70 changes the timing of acquiring the third resistance value according to the second resistance value. Along with this, the heating control unit 30 may lengthen the heating time for heating the gas sensing layer 12 to the third temperature T3. By lengthening the heating time, desorption of LP gas adhering to the gas sensing layer 12 is promoted. Therefore, it is possible to secure the difference between the resistance value of the gas sensing layer 12 in LP gas and the resistance value of the gas sensing layer 12 in alcohol. In addition, the desorption of alcohol adhering to the gas sensing layer 12 is promoted. Therefore, it is possible to secure the difference between the resistance value of the gas sensing layer 12 in methane gas and the resistance value of the gas sensing layer 12 in alcohol. Further, the discriminating unit 80 may change the third temperature T3 according to the second resistance value. For example, the discriminating unit 80 determines the third threshold value by looking at the ratio between the second threshold value L2 and the second resistance value. For example, the lower the second resistance value, the smaller the third threshold value may be.

図16は、本発明の第2実施形態のガスセンサ100の概略を示す図である。第2実施形態のガスセンサ100は、判別部80が変化率算出部84を備えることを除いて、第1実施形態のガスセンサ100の構造と同様である。したがって、繰り返しの説明を省略する。 FIG. 16 is a diagram showing an outline of the gas sensor 100 according to the second embodiment of the present invention. The gas sensor 100 of the second embodiment has the same structure as the gas sensor 100 of the first embodiment, except that the discrimination unit 80 includes the rate of change calculation unit 84. Therefore, the repetitive description will be omitted.

変化率算出部84は、加熱開始からの加熱時間経過に伴う第3抵抗値の時間変化率を算出する。本実施形態においては、複数の時刻において、第3抵抗値が取得されてよい。複数の時刻において取得された複数の第3抵抗値から第3抵抗値の時間変化率が算出される。変化率算出部84は、特定の時刻における第3抵抗値を基準にして第3抵抗値の最大時間変化率(最大比)を算出してよい。 The change rate calculation unit 84 calculates the time change rate of the third resistance value with the lapse of the heating time from the start of heating. In the present embodiment, the third resistance value may be acquired at a plurality of times. The time change rate of the third resistance value is calculated from the plurality of third resistance values acquired at the plurality of times. The change rate calculation unit 84 may calculate the maximum time change rate (maximum ratio) of the third resistance value with reference to the third resistance value at a specific time.

図17は、ヒータ14をHigh状態に駆動した場合におけるガス感知層12の抵抗の時間変化率の一例を示す図である。図17は、ガス感知層12の温度を第3温度T3に保持した場合におけるガス感知層12の抵抗の時間変化率を示している。図17において、縦軸は、所定の時刻におけるガス感知層12の抵抗値を基準とした比率を示す。本例では、加熱開始後200m秒経過時のガス感知層12の抵抗値を基準として比率を示している。具体的には、加熱開始後200m秒経過時のガス感知層12の第3抵抗値をR200とし、任意の時刻Xにおけるガス感知層12の第3抵抗値をRとすると、図17の縦軸に示される変化率はR200/Rの式により算出される。 FIG. 17 is a diagram showing an example of the time change rate of the resistance of the gas sensing layer 12 when the heater 14 is driven to the high state. FIG. 17 shows the time change rate of the resistance of the gas sensing layer 12 when the temperature of the gas sensing layer 12 is held at the third temperature T3. In FIG. 17, the vertical axis shows the ratio based on the resistance value of the gas sensing layer 12 at a predetermined time. In this example, the ratio is shown based on the resistance value of the gas sensing layer 12 when 200 msec has elapsed after the start of heating. Specifically, when the third resistance value of the heating after the start 200m seconds elapse time of the gas sensing layer 12 and R 200, a third resistance value of the gas sensing layer 12 at an arbitrary time X and R X, in FIG. 17 the rate of change shown in the ordinate axis is calculated by the formula of R 200 / R X.

図17に示されるとおり、LPガス中のガス感知層12の抵抗値の時間変化率は、最大で3.2程度である。具体的には、LPガス中においては、加熱開始後40秒経過時におけるガス感知層12の第3抵抗値は、加熱開始後200秒経過時におけるガス感知層12の第3抵抗値の3.2倍となる。一方、エタノール等のアルコール中のガス感知層12の抵抗値の時間変化率は、最大で2.3程度である。具体的には、エタノール中においては、加熱開始後100秒経過時におけるガス感知層12の第3抵抗値は、加熱開始後200秒経過時におけるガス感知層12の第3抵抗値の2.3倍となる。したがって、対象ガスがLPガスの場合は、2.3倍と3.2倍の間に変化率閾値L4が設定されてよい。 As shown in FIG. 17, the time change rate of the resistance value of the gas sensing layer 12 in the LP gas is about 3.2 at the maximum. Specifically, in LP gas, the third resistance value of the gas sensing layer 12 40 seconds after the start of heating is the third resistance value of the gas sensing layer 12 200 seconds after the start of heating. It will be doubled. On the other hand, the time change rate of the resistance value of the gas sensing layer 12 in alcohol such as ethanol is about 2.3 at the maximum. Specifically, in ethanol, the third resistance value of the gas sensing layer 12 100 seconds after the start of heating is 2.3 of the third resistance value of the gas sensing layer 12 200 seconds after the start of heating. Double. Therefore, when the target gas is LP gas, the rate of change threshold L4 may be set between 2.3 times and 3.2 times.

また、メタンガス中のガス感知層12の抵抗値の時間変化率は、最大で1程度である。したがって、対象ガスがメタンガスの場合は、2.3倍と1倍の間に変化率閾値L4´が設定されてよい。以上のように、判別部80は、第3抵抗値の時間変化率によって、存在するガス種を判別する。特に、対象ガスがメタンガスである場合に、対象ガスのアルコール等の物質に対する選択性を高める上で効果的である。以上のような第2実施形態のガスセンサ100の処理内容は、ガス種の判別の処理を除いて、図10、図14、及び図15に示される各処理内容と同様である。 Further, the time change rate of the resistance value of the gas sensing layer 12 in methane gas is about 1 at the maximum. Therefore, when the target gas is methane gas, the rate of change threshold L4'may be set between 2.3 times and 1 time. As described above, the discriminating unit 80 discriminates the existing gas type based on the time change rate of the third resistance value. In particular, when the target gas is methane gas, it is effective in increasing the selectivity of the target gas for substances such as alcohol. The processing content of the gas sensor 100 of the second embodiment as described above is the same as each processing content shown in FIGS. 10, 14, and 15 except for the processing of determining the gas type.

図18は、対象ガスがLPガスである場合におけるガス種判別処理の一例を示すフローチャートである。図18は、図10のステップS109、図14のステップS410、図15のステップS510の処理の一例である。 FIG. 18 is a flowchart showing an example of gas type discrimination processing when the target gas is LP gas. FIG. 18 is an example of the processing of step S109 of FIG. 10, step S410 of FIG. 14, and step S510 of FIG.

変化率算出部84は、加熱開始からの時間経過に伴う第3抵抗値の時間変化率を算出する(ステップS601)。時間変化率は、図17において説明したような第3抵抗値の最大時間変化率(最大比)であってよい。但し、時間変化率は、第3抵抗値の時間的な変化の度合いを示すものであればよく、最大時間変化率に限られない。 The change rate calculation unit 84 calculates the time change rate of the third resistance value with the passage of time from the start of heating (step S601). The time change rate may be the maximum time change rate (maximum ratio) of the third resistance value as described in FIG. However, the time change rate may be any one indicating the degree of time change of the third resistance value, and is not limited to the maximum time change rate.

判別部80は、算出された時間変化率によって、存在するガス種を判別する。具体的には、判別部80は、第3抵抗値の時間変化率が、予め定められた変化率閾値L4以上であるか否かを判断する(ステップS602)。第3抵抗値の時間変化率が、予め定められた変化率閾値L4以上である場合には(ステップS602:YES)、判別部80は、LPガスが存在すると判別する(ステップS603)。一方。第3抵抗値の時間変化率が、変化率閾値L4より小さい場合には(ステップS602:NO)、アルコールを含むガスが存在すると判断する(ステップS604)。LPガスが存在すると判別された場合には、警報発生部40は、ガス漏れ警報を発報してよい(ステップS605)。 The discriminating unit 80 discriminates the existing gas type based on the calculated time change rate. Specifically, the discriminating unit 80 determines whether or not the time change rate of the third resistance value is equal to or higher than the predetermined change rate threshold value L4 (step S602). When the time change rate of the third resistance value is equal to or higher than the predetermined change rate threshold value L4 (step S602: YES), the discriminating unit 80 determines that LP gas is present (step S603). on the other hand. When the time change rate of the third resistance value is smaller than the change rate threshold value L4 (step S602: NO), it is determined that the gas containing alcohol exists (step S604). If it is determined that LP gas is present, the alarm generation unit 40 may issue a gas leak alarm (step S605).

図19は、対象ガスがメタンガスである場合におけるガス種判別処理の一例を示すフローチャートである。図19は、図10のステップS109、図14のステップS410、図15のステップS510の処理の一例である。変化率算出部84は、加熱開始からの時間経過に伴う第3抵抗値の時間変化率を算出する(ステップS701)。 FIG. 19 is a flowchart showing an example of gas type discrimination processing when the target gas is methane gas. FIG. 19 is an example of the processing of step S109 of FIG. 10, step S410 of FIG. 14, and step S510 of FIG. The change rate calculation unit 84 calculates the time change rate of the third resistance value with the passage of time from the start of heating (step S701).

判別部80は、第3抵抗値の時間変化率が、予め定められた変化率閾値L4´以下であるか否かを判断する(ステップS702)。判別部80は、第3抵抗値の時間変化率が、予め定められた変化率閾値L4´以下である場合には(ステップS702:YES)、判別部80は、メタンガスが存在すると判別する(ステップS703)。一方。第3抵抗値の時間変化率が、変化率閾値L4´より大きい場合には(ステップ702:NO)、アルコールを含むガスが存在すると判断する(ステップ704)。メタンガスが存在すると判別された場合には、警報発生部40は、ガス漏れ警報を発報してよい(ステップS705)。 The determination unit 80 determines whether or not the time change rate of the third resistance value is equal to or less than a predetermined change rate threshold value L4'(step S702). When the time change rate of the third resistance value is equal to or less than the predetermined change rate threshold value L4'(step S702: YES), the discrimination unit 80 determines that methane gas is present (step). S703). on the other hand. When the time change rate of the third resistance value is larger than the change rate threshold value L4'(step 702: NO), it is determined that the gas containing alcohol is present (step 704). If it is determined that methane gas is present, the alarm generation unit 40 may issue a gas leak alarm (step S705).

図20は、本発明の第3実施形態のガスセンサ100の概略を示す図である。第3実施形態のガスセンサ100は、判別部80がタイミング検出部86を備えることを除いて、第1または第2実施形態のガスセンサ100の構造と同様である。したがって、繰り返しの説明を省略する。 FIG. 20 is a diagram showing an outline of the gas sensor 100 according to the third embodiment of the present invention. The gas sensor 100 of the third embodiment is the same as the structure of the gas sensor 100 of the first or second embodiment except that the discrimination unit 80 includes the timing detection unit 86. Therefore, the repetitive description will be omitted.

タイミング検出部86は、加熱開始からの加熱時間経過に伴って第3抵抗値が上がり始めるタイミングを検出する。本実施形態においては、複数の時刻において、第3抵抗値が取得される。複数の時刻において取得された複数の第3抵抗値から、第3抵抗値が上がり始めるタイミングを検出してよい。具体的には、加熱開始から、第3抵抗値が上がり始める時までの時間を検出してよい。 The timing detection unit 86 detects the timing at which the third resistance value begins to increase as the heating time elapses from the start of heating. In the present embodiment, the third resistance value is acquired at a plurality of times. From a plurality of third resistance values acquired at a plurality of times, the timing at which the third resistance value begins to rise may be detected. Specifically, the time from the start of heating to the time when the third resistance value starts to increase may be detected.

上述した図9を参照すれば、LPガス中の場合では、ガス感知層12の抵抗値が、加熱開始後40m秒程度経過した時点で極小値を示し、その後にガス感知層12の抵抗値が増加する。したがって、LPガス中では、第3抵抗値が上がり始めるタイミングは、加熱開始後40m秒程度経過時点であってよい。一方、アルコール中では、第3抵抗値が上がり始めるタイミングは、加熱開始後100m秒程度経過時点であってよい。メタンガス中では、加熱開始後200m秒程度経過しても、第3抵抗値が停滞または低下している。したがって、メタンガス中では、第3抵抗値が上がり始めるタイミングは、加熱開始後200m秒程度経過時点以降であってよい。ここで、「停滞」とは、予め定められた数値範囲を維持していることを意味してよい。 With reference to FIG. 9 described above, in the case of LP gas, the resistance value of the gas sensing layer 12 shows a minimum value when about 40 msec has elapsed after the start of heating, and then the resistance value of the gas sensing layer 12 changes. To increase. Therefore, in the LP gas, the timing at which the third resistance value starts to increase may be about 40 msec after the start of heating. On the other hand, in alcohol, the timing at which the third resistance value begins to increase may be about 100 msec after the start of heating. In methane gas, the third resistance value is stagnant or decreased even after about 200 msec has passed since the start of heating. Therefore, in methane gas, the timing at which the third resistance value starts to increase may be after about 200 msec after the start of heating. Here, "stagnation" may mean that a predetermined numerical range is maintained.

以上のような第3実施形態のガスセンサ100の処理内容は、ガス種の判別の処理を除いて、図10、図14、及び図15に示される各処理内容と同様である。図21は、対象ガスがLPガスである場合におけるガス種判別処理の一例を示すフローチャートである。図21は、図10のステップS109、図14のステップS410、図15のステップS510の処理の一例である。 The processing content of the gas sensor 100 of the third embodiment as described above is the same as each processing content shown in FIGS. 10, 14, and 15 except for the processing of determining the gas type. FIG. 21 is a flowchart showing an example of gas type discrimination processing when the target gas is LP gas. FIG. 21 is an example of the processing of step S109 of FIG. 10, step S410 of FIG. 14, and step S510 of FIG.

タイミング検出部86は、加熱開始からの加熱時間経過に伴って第3抵抗値が上がり始めるタイミングを検出する(ステップS801)。第3抵抗値が上がり始めるタイミングは、加熱開始からの加熱時間経過に伴って第3抵抗値が減少から増加に転ずる極小値のタイミングであってよい。あるいは、第3抵抗値が上がり始めるタイミングは、加熱開始からの加熱時間経過に伴って第3抵抗値が極小値から所定値だけ増加したタイミングであってもよい。 The timing detection unit 86 detects the timing at which the third resistance value begins to increase as the heating time elapses from the start of heating (step S801). The timing at which the third resistance value begins to increase may be the timing at which the third resistance value changes from decreasing to increasing as the heating time elapses from the start of heating. Alternatively, the timing at which the third resistance value begins to increase may be the timing at which the third resistance value increases by a predetermined value from the minimum value as the heating time elapses from the start of heating.

判別部80は、第3抵抗値が上がり始めるタイミングによって、存在するガス種を判別する。具体的には、判別部80は、所定時間内に第3抵抗値が上がり始めたか否かを判断する(ステップS802)。所定時間は、LPガス中での第3抵抗値が上がり始める時間より長く、アルコール中での第3抵抗値が上がり始める時間より短い時間に設定されてよい。図9に示される例では、所定時間は、40m秒より長く100m秒より短い時間に設定されてよい。 The discriminating unit 80 discriminates the existing gas type according to the timing at which the third resistance value starts to increase. Specifically, the discriminating unit 80 determines whether or not the third resistance value starts to increase within a predetermined time (step S802). The predetermined time may be set to be longer than the time when the third resistance value in the LP gas starts to rise and shorter than the time when the third resistance value in the alcohol starts to rise. In the example shown in FIG. 9, the predetermined time may be set to a time longer than 40 ms and shorter than 100 ms.

所定時間内に第3抵抗値が上がり始めた場合には(ステップS802:YES)、判別部80は、LPガスが存在すると判別する(ステップS803)。一方、所定時間が経過しても第3抵抗値が停滞または低下している場合には(ステップS802:NO)、判別部80は、対象ガス以外のガスが存在すると判別する。具体的には、判別部80は、アルコールを含むガスが存在すると判断する(ステップS804)。LPガスが存在すると判別された場合には、警報発生部40は、ガス漏れ警報を発報してよい(ステップS805)。なお、所定時間内に第3抵抗値が上がり始めた場合には(ステップS802:YES)、加熱制御部30は、ヒータ14への通電を停止してもよい。 When the third resistance value starts to increase within a predetermined time (step S802: YES), the discriminating unit 80 determines that LP gas is present (step S803). On the other hand, if the third resistance value is stagnant or decreased even after the lapse of a predetermined time (step S802: NO), the discriminating unit 80 determines that a gas other than the target gas is present. Specifically, the discriminating unit 80 determines that a gas containing alcohol is present (step S804). If it is determined that LP gas is present, the alarm generation unit 40 may issue a gas leak alarm (step S805). If the third resistance value starts to increase within a predetermined time (step S802: YES), the heating control unit 30 may stop energizing the heater 14.

図22は、対象ガスがメタンガスである場合におけるガス種判別処理の一例を示すフローチャートである。図22は、図10のステップS109、図14のステップS410、図15のステップS510の処理の一例である。タイミング検出部86は、加熱開始からの加熱時間経過に伴って第3抵抗値が上がり始めるタイミングを検出する(ステップS901)。 FIG. 22 is a flowchart showing an example of the gas type discrimination process when the target gas is methane gas. FIG. 22 is an example of the processing of step S109 of FIG. 10, step S410 of FIG. 14, and step S510 of FIG. The timing detection unit 86 detects the timing at which the third resistance value begins to increase as the heating time elapses from the start of heating (step S901).

判別部80は、所定時間内に第3抵抗値が上がり始めたか否かを判断する(ステップS902)。所定時間は、アルコール中での第3抵抗値が上がり始める時間より長く、メタノール中での第3抵抗値が上がり始める時間より短い時間に設定されてよい。図9に示される例では、所定時間は、100m秒より長く200m秒より短くてよい。 The determination unit 80 determines whether or not the third resistance value has started to increase within a predetermined time (step S902). The predetermined time may be set to be longer than the time when the third resistance value in alcohol starts to rise and shorter than the time when the third resistance value in methanol starts to rise. In the example shown in FIG. 9, the predetermined time may be longer than 100 ms and shorter than 200 ms.

所定時間が経過しても第3抵抗値が停滞または低下している場合には(ステップS902:NO)、判別部80は、メタンガスが存在すると判別する(ステップS903)。一方、所定時間内に第3抵抗値が上がり始めた場合には(ステップS902:YES)、判別部80は、対象ガス以外のガスが存在すると判別する。具体的には、判別部80は、アルコールを含むガスが存在すると判断する(ステップS904)。メタンガスが存在すると判別された場合には、警報発生部40は、ガス漏れ警報を発報してよい(ステップS905)。 If the third resistance value is stagnant or decreased even after the lapse of a predetermined time (step S902: NO), the discriminating unit 80 determines that methane gas is present (step S903). On the other hand, when the third resistance value starts to increase within a predetermined time (step S902: YES), the discriminating unit 80 determines that a gas other than the target gas is present. Specifically, the discriminating unit 80 determines that a gas containing alcohol is present (step S904). If it is determined that methane gas is present, the alarm generation unit 40 may issue a gas leak alarm (step S905).

本例においても、第2抵抗値が第2閾値L2以下である場合において、直ちに、対象ガスが存在すると結論せずに、さらに、ガスの判別処理を実行する。したがって、アルコール等のガスに対する対象ガスの選択性を高める。それゆえ、対象ガスが存在しないにもかかわらず、警報発生部40が警報を発報する可能性を低減することができる。 Also in this example, when the second resistance value is equal to or less than the second threshold value L2, the gas discrimination process is further executed without immediately concluding that the target gas exists. Therefore, the selectivity of the target gas with respect to the gas such as alcohol is enhanced. Therefore, it is possible to reduce the possibility that the alarm generating unit 40 issues an alarm even though the target gas does not exist.

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本明細書における各実施形態は、適宜組み合わせることができる。本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更又は改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。 Although the present invention has been described above using the embodiments, the embodiments in the present specification can be combined as appropriate. The technical scope of the present invention is not limited to the scope described in the above embodiments. It will be apparent to those skilled in the art that various changes or improvements can be made to the above embodiments. It is clear from the description of the claims that such modified or improved forms may also be included in the technical scope of the present invention.

特許請求の範囲、明細書、及び図面中において示した装置、システム、プログラム、及び方法における動作、手順、ステップ、及び段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、及び図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順序で実施することが必須であることを意味するものではない。 The execution order of each process such as operation, procedure, step, and step in the device, system, program, and method shown in the claims, the specification, and the drawing is particularly "before" and "prior to". It should be noted that it can be realized in any order unless the output of the previous process is used in the subsequent process. Even if the scope of claims, the specification, and the operation flow in the drawings are explained using "first", "next", etc. for convenience, it means that it is essential to carry out in this order. It's not a thing.

2・・シリコン基板、3・・熱絶縁支持層、4・・電気絶縁層、5・・ガス検知部、6・・貫通孔、7・・接合層、8・・ガス感知層電極、9・・選択燃焼層、10・・検出部、12・・ガス感知層、14・・ヒータ、16・・温度測定部、20・・測定部、30・・加熱制御部、40・・警報発生部、50・・第1取得部、60・・第2取得部、70・・第3取得部、80・・判別部、82・・比較部、84・・変化率算出部、86・・タイミング検出部、90・・記憶部、100・・ガスセンサ、200・・制御装置 2 ... Silicon substrate, 3 ... Thermal insulation support layer, 4 ... Electrical insulation layer, 5 ... Gas detector, 6 ... Through hole, 7 ... Bonding layer, 8 ... Gas sensing layer electrode, 9 ...・ Selective combustion layer, 10 ・ ・ Detection unit, 12 ・ ・ Gas sensing layer, 14 ・ ・ Heater, 16 ・ ・ Temperature measurement unit, 20 ・ ・ Measurement unit, 30 ・ ・ Heating control unit, 40 ・ ・ Alarm generation unit, 50 ... 1st acquisition unit, 60 ... 2nd acquisition unit, 70 ... 3rd acquisition unit, 80 ... discrimination unit, 82 ... comparison unit, 84 ... change rate calculation unit, 86 ... timing detection unit , 90 ... storage unit, 100 ... gas sensor, 200 ... control device

Claims (19)

ガス感知層と前記ガス感知層を加熱するためのヒータとを有し、前記ヒータにより加熱された前記ガス感知層の抵抗値に基づいて検出対象ガスを検出するガスセンサであって、
前記ガス感知層の抵抗値を測定する測定部と、
前記ガス感知層を加熱するように前記ヒータを制御する加熱制御部と、
前記加熱制御部によって前記ガス感知層の温度が第1温度に制御された状態で前記測定部によって測定された前記ガス感知層の第1抵抗値を取得する第1取得部と、
前記第1抵抗値が予め定められた第1閾値以下の場合に、前記加熱制御部によって前記ガス感知層の温度が前記第1温度より低い第2温度に制御された状態で前記測定部によって測定された前記ガス感知層の第2抵抗値を取得する第2取得部と、
前記第2抵抗値が予め定められた第2閾値以下の場合に、前記加熱制御部によって前記ガス感知層の温度が前記第2温度より高い第3温度に制御された状態で前記測定部によって測定された前記ガス感知層の第3抵抗値を取得する第3取得部と、
前記第3抵抗値に基づいて、存在するガス種を判別する判別部と、
を備える
ガスセンサ。
A gas sensor having a gas sensing layer and a heater for heating the gas sensing layer, and detecting a detection target gas based on a resistance value of the gas sensing layer heated by the heater.
A measuring unit that measures the resistance value of the gas sensing layer,
A heating control unit that controls the heater so as to heat the gas sensing layer,
A first acquisition unit that acquires the first resistance value of the gas sensing layer measured by the measuring unit while the temperature of the gas sensing layer is controlled to the first temperature by the heating control unit.
When the first resistance value is equal to or less than a predetermined first threshold value, the measurement unit measures the temperature of the gas sensing layer controlled by the heating control unit to a second temperature lower than the first temperature. A second acquisition unit that acquires the second resistance value of the gas sensing layer, and
When the second resistance value is equal to or less than a predetermined second threshold value, the measurement unit measures the temperature of the gas sensing layer controlled by the heating control unit to a third temperature higher than the second temperature. A third acquisition unit that acquires the third resistance value of the gas sensing layer, and
A discriminating unit that discriminates an existing gas type based on the third resistance value, and
Gas sensor equipped with.
前記判別部は、前記第3抵抗値と、予め定められた第3閾値とを比較する比較部を備えており、
前記判別部は、前記第3抵抗値と前記第3閾値との比較結果に基づいて、存在するガス種を判別する
請求項1に記載のガスセンサ。
The discrimination unit includes a comparison unit that compares the third resistance value with a predetermined third threshold value.
The gas sensor according to claim 1, wherein the discrimination unit discriminates an existing gas type based on a comparison result between the third resistance value and the third threshold value.
前記検出対象ガスは、LPガスであり、
前記判別部は、前記第3抵抗値が前記第3閾値以上である場合には、前記検出対象ガスが存在すると判別する一方、前記第3抵抗値が前記第3閾値より小さい場合には、前記検出対象ガス以外のガスが存在すると判別する
請求項2に記載のガスセンサ。
The detection target gas is LP gas.
The discriminating unit determines that the detection target gas exists when the third resistance value is equal to or higher than the third threshold value, and when the third resistance value is smaller than the third threshold value, the discrimination unit determines that the detection target gas exists. The gas sensor according to claim 2, wherein it is determined that a gas other than the detection target gas is present.
前記検出対象ガスは、メタンガスであり、
前記判別部は、前記第3抵抗値が前記第3閾値以下である場合には、前記検出対象ガスが存在すると判別する一方、前記第3抵抗値が前記第3閾値より大きい場合には、前記検出対象ガス以外のガスが存在すると判別する
請求項2に記載のガスセンサ。
The detection target gas is methane gas.
The discriminating unit determines that the detection target gas exists when the third resistance value is equal to or less than the third threshold value, and when the third resistance value is larger than the third threshold value, the discrimination unit determines that the detection target gas exists. The gas sensor according to claim 2, wherein it is determined that a gas other than the detection target gas is present.
前記検出対象ガス以外のガスは、アルコールを含む
請求項3または4に記載のガスセンサ。
The gas sensor according to claim 3 or 4, wherein the gas other than the detection target gas contains alcohol.
前記判別部は、前記第3抵抗値の時間変化率を算出する変化率算出部を備えており、
前記判別部は、前記第3抵抗値の時間変化率によって、存在するガス種を判別する
請求項1に記載のガスセンサ。
The discriminating unit includes a change rate calculation unit that calculates the time change rate of the third resistance value.
The gas sensor according to claim 1, wherein the discrimination unit discriminates an existing gas type based on the time change rate of the third resistance value.
前記検出対象ガスは、LPガスであり、
前記判別部は、前記第3抵抗値の前記時間変化率が、予め定められた変化率閾値以上である場合には、前記検出対象ガスが存在すると判別する一方、前記第3抵抗値の前記時間変化率が前記変化率閾値より小さい場合には、前記検出対象ガス以外のガスが存在すると判別する
請求項6に記載のガスセンサ。
The detection target gas is LP gas.
When the time change rate of the third resistance value is equal to or higher than a predetermined change rate threshold value, the discriminating unit determines that the detection target gas exists, while the time of the third resistance value. The gas sensor according to claim 6, wherein when the rate of change is smaller than the rate of change threshold value, it is determined that a gas other than the detection target gas is present.
前記検出対象ガスは、メタンガスであり、
前記判別部は、前記第3抵抗値の前記時間変化率が、予め定められた変化率閾値以下である場合には、前記検出対象ガスが存在すると判別する一方、前記第3抵抗値の前記時間変化率が前記変化率閾値より大きい場合には、前記検出対象ガス以外のガスが存在すると判別する
請求項6に記載のガスセンサ。
The detection target gas is methane gas.
When the time change rate of the third resistance value is equal to or less than a predetermined change rate threshold value, the discriminating unit determines that the detection target gas exists, while the time of the third resistance value. The gas sensor according to claim 6, wherein when the rate of change is larger than the rate of change threshold value, it is determined that a gas other than the detection target gas is present.
前記判別部は、前記第3抵抗値が上がり始めるタイミングを検出するタイミング検出部を備えており、
前記判別部は、前記第3抵抗値が上がり始めるタイミングによって、存在するガス種を判別する
請求項1に記載のガスセンサ。
The discriminating unit includes a timing detecting unit that detects the timing at which the third resistance value starts to increase.
The gas sensor according to claim 1, wherein the discrimination unit discriminates an existing gas type according to a timing at which the third resistance value starts to increase.
前記検出対象ガスは、LPガスであり、
前記判別部は、予め定められた時間内に、前記第3抵抗値が上がり始めた場合には、前記検出対象ガスが存在すると判別する一方、予め定められた前記時間が経過しても前記第3抵抗値が停滞または低下している場合には、前記検出対象ガス以外のガスが存在すると判別する
請求項9に記載のガスセンサ。
The detection target gas is LP gas.
When the third resistance value starts to increase within a predetermined time, the discriminating unit determines that the detection target gas exists, and on the other hand, even if the predetermined time elapses, the first 3. The gas sensor according to claim 9, wherein when the resistance value is stagnant or lowered, it is determined that a gas other than the detection target gas is present.
前記検出対象ガスは、メタンガスであり、
前記判別部は、予め定められた時間が経過しても前記第3抵抗値が停滞または低下している場合には、前記検出対象ガスが存在すると判別する一方、予め定められた前記時間内に、前記第3抵抗値が上がり始めた場合には、前記検出対象ガス以外のガスが存在すると判別する
請求項9に記載のガスセンサ。
The detection target gas is methane gas.
If the third resistance value is stagnant or lowered even after a predetermined time has elapsed, the discriminating unit determines that the detection target gas exists, while within the predetermined time. The gas sensor according to claim 9, wherein when the third resistance value starts to increase, it is determined that a gas other than the detection target gas is present.
前記加熱制御部は、前記第2抵抗値に応じて前記第3温度を変更する
請求項1から11の何れか1項に記載のガスセンサ。
The gas sensor according to any one of claims 1 to 11, wherein the heating control unit changes the third temperature according to the second resistance value.
前記第3取得部は、前記第2抵抗値に応じて前記第3抵抗値を取得するタイミングを変更する
請求項1から11の何れか1項に記載のガスセンサ。
The gas sensor according to any one of claims 1 to 11, wherein the third acquisition unit changes the timing of acquiring the third resistance value according to the second resistance value.
前記判別部は、前記第2抵抗値に応じて前記第3閾値を変更する
請求項2から5の何れか1項に記載のガスセンサ。
The gas sensor according to any one of claims 2 to 5, wherein the discriminating unit changes the third threshold value according to the second resistance value.
前記加熱制御部は、前記検出対象ガスの種類に応じて前記第2温度および/または前記第3温度を変更する
請求項1から14の何れか1項に記載のガスセンサ。
The gas sensor according to any one of claims 1 to 14, wherein the heating control unit changes the second temperature and / or the third temperature according to the type of the detection target gas.
前記第3温度は、前記第1温度より高い
請求項1から15の何れか1項に記載のガスセンサ。
The gas sensor according to any one of claims 1 to 15, wherein the third temperature is higher than the first temperature.
請求項1から16の何れか1項に記載のガスセンサを備え、
前記検出対象ガスを検出したときに警報を発生する警報発生部をさらに備える
ガス警報器。
The gas sensor according to any one of claims 1 to 16 is provided.
A gas alarm further including an alarm generating unit that generates an alarm when the detection target gas is detected.
ガス感知層と前記ガス感知層を加熱するためのヒータとを有し、前記ヒータにより加熱された前記ガス感知層の抵抗値に基づいて検出対象ガスを検出するガスセンサを制御する制御装置であって、
前記ガス感知層を加熱するように前記ヒータを制御する加熱制御部と、
前記加熱制御部によって前記ガス感知層の温度が第1温度に制御された状態で測定された前記ガス感知層の第1抵抗値を取得する第1取得部と、
前記第1抵抗値が予め定められた第1閾値以下の場合に、前記加熱制御部によって前記ガス感知層の温度が前記第1温度より低い第2温度に制御された状態で測定された前記ガス感知層の第2抵抗値を取得する第2取得部と、
前記第2抵抗値が予め定められた第2閾値以下の場合に、前記加熱制御部によって前記ガス感知層の温度が前記第2温度より高い第3温度に制御された状態で測定された前記ガス感知層の第3抵抗値を取得する第3取得部と、
前記第3抵抗値に基づいて、存在するガス種を判別する判別部と、を備える
制御装置。
A control device having a gas sensing layer and a heater for heating the gas sensing layer, and controlling a gas sensor that detects a gas to be detected based on a resistance value of the gas sensing layer heated by the heater. ,
A heating control unit that controls the heater so as to heat the gas sensing layer,
The first acquisition unit that acquires the first resistance value of the gas sensing layer measured in a state where the temperature of the gas sensing layer is controlled to the first temperature by the heating control unit, and
When the first resistance value is equal to or less than a predetermined first threshold value, the gas measured in a state where the temperature of the gas sensing layer is controlled to a second temperature lower than the first temperature by the heating control unit. The second acquisition unit that acquires the second resistance value of the sensing layer, and
When the second resistance value is equal to or less than a predetermined second threshold value, the gas measured in a state where the temperature of the gas sensing layer is controlled to a third temperature higher than the second temperature by the heating control unit. A third acquisition unit that acquires the third resistance value of the sensing layer, and
A control device including a discriminating unit for discriminating existing gas types based on the third resistance value.
ガス感知層と前記ガス感知層を加熱するためのヒータとを有し、前記ヒータにより加熱された前記ガス感知層の抵抗値に基づいて検出対象ガスを検出するガスセンサの制御方法であって、
前記ガス感知層の温度を第1温度に制御する第1温度制御段階と、
前記ガス感知層の温度が前記第1温度に制御された状態で測定された前記ガス感知層の第1抵抗値を取得する第1取得段階と、
前記第1抵抗値が予め定められた第1閾値以下の場合に、前記ガス感知層の温度を前記第1温度より低い第2温度に制御する第2温度制御段階と、
前記ガス感知層の温度が前記第2温度に制御された状態で測定された前記ガス感知層の第2抵抗値を取得する第2取得段階と、
前記第2抵抗値が予め定められた第2閾値以下の場合に、前記ガス感知層の温度を前記第2温度より高い第3温度に制御する第3温度制御段階と、
前記ガス感知層の温度が前記第3温度に制御された状態で測定された前記ガス感知層の第3抵抗値を取得する第3取得段階と、
第3取得段階において取得された第3抵抗値に基づいて、存在するガス種を判別する判別段階と、を備える
制御方法。
It is a control method of a gas sensor having a gas sensing layer and a heater for heating the gas sensing layer, and detecting a gas to be detected based on a resistance value of the gas sensing layer heated by the heater.
A first temperature control step that controls the temperature of the gas sensing layer to the first temperature, and
The first acquisition step of acquiring the first resistance value of the gas sensing layer measured in a state where the temperature of the gas sensing layer is controlled to the first temperature, and
A second temperature control step that controls the temperature of the gas sensing layer to a second temperature lower than the first temperature when the first resistance value is equal to or less than a predetermined first threshold value.
A second acquisition step of acquiring the second resistance value of the gas sensing layer measured in a state where the temperature of the gas sensing layer is controlled to the second temperature, and
When the second resistance value is equal to or less than a predetermined second threshold value, a third temperature control step for controlling the temperature of the gas sensing layer to a third temperature higher than the second temperature, and
A third acquisition step of acquiring the third resistance value of the gas sensing layer measured in a state where the temperature of the gas sensing layer is controlled to the third temperature, and
A control method including a discrimination step of discriminating an existing gas type based on a third resistance value acquired in the third acquisition step.
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