JP6861116B2 - 膜厚測定装置、研磨装置、および研磨方法 - Google Patents
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Description
本発明の好ましい態様は、前記第1受光ファイバーの前記先端は、複数の先端から構成され、前記第1受光ファイバーの前記複数の先端は、前記第2受光ファイバーの前記先端の周りに配列されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記光路切り替え装置は、前記光源に接続された第1接続ファイバーと、前記分光器に接続された第2接続ファイバーと、前記第2受光ファイバーを前記第1接続ファイバーまたは前記第2接続ファイバーに接続する光スイッチを備えることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記光路選択機構は、前記第2受光ファイバーと前記分光器との間に配置されたシャッター機構であることを特徴とする。
本発明の一態様は、上記膜厚測定装置でウェハの膜厚を測定しながら、前記ウェハを研磨ヘッドで研磨パッドに押し付けて前記ウェハを研磨し、前記ウェハの研磨中に、前記処理部は前記光路選択機構を操作して、前記第2受光ファイバーと前記分光器とを光学的に接続または切り離すことを特徴とする研磨方法である。
3 研磨テーブル
5 研磨ヘッド
10 研磨液供給ノズル
12 研磨制御部
16 研磨ヘッドシャフト
19 テーブルモータ
25 光学式膜厚測定器(膜厚測定装置)
26 分光器
27 処理部
30 光源
31 結束具
34 投光ファイバー
35 幹ファイバー
36 投光素線光ファイバー
50A 第1受光ファイバー
50B 第2受光ファイバー
50C 受光ファイバー
51 結束具
56 受光素線光ファイバー
61 光センサ
70 光路選択機構
74A 第1接続光ファイバー
74B 第2接続光ファイバー
74C,74D 接続光ファイバー
78 シャッター
79 アクチュエータ
80 ケーラー光学システム
82 コレクタレンズ
84 コンデンサレンズ
85 視野絞り
88 開口絞り
89 遮光ハウジング
Claims (8)
- 光源と、
ウェハ支持構造体の表面から突出しない所定の位置に配置された先端を有し、前記光源に接続された投光ファイバーと、
ウェハからの反射光を波長に従って分解して各波長での反射光の強度を測定する分光器と、
前記所定の位置に配置された先端を有し、前記分光器に接続された第1受光ファイバーと、
前記所定の位置に配置され、かつ前記第1受光ファイバーの前記先端に隣接した先端を有する第2受光ファイバーと、
前記反射光の強度と波長との関係を示す分光波形に基づいてウェハの膜厚を決定する処理部と、
前記第2受光ファイバーと前記分光器とを光学的に接続および切り離す光路選択機構を備えたことを特徴とする膜厚測定装置。 - 前記第2受光ファイバーの前記先端は、複数の先端から構成され、
前記第2受光ファイバーの前記複数の先端は、前記第1受光ファイバーの前記先端の周りに配列されていることを特徴とする請求項1に記載の膜厚測定装置。 - 前記第1受光ファイバーの前記先端は、複数の先端から構成され、
前記第1受光ファイバーの前記複数の先端は、前記第2受光ファイバーの前記先端の周りに配列されていることを特徴とする請求項1に記載の膜厚測定装置。 - 前記光路選択機構は、前記第2受光ファイバーを前記分光器または前記光源のいずれか一方に選択的に接続する光路切り替え装置であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の膜厚測定装置。
- 前記光路切り替え装置は、
前記光源に接続された第1接続ファイバーと、
前記分光器に接続された第2接続ファイバーと、
前記第2受光ファイバーを前記第1接続ファイバーまたは前記第2接続ファイバーに接続する光スイッチを備えることを特徴とする請求項4に記載の膜厚測定装置。 - 前記光路選択機構は、前記第2受光ファイバーと前記分光器との間に配置されたシャッター機構であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の膜厚測定装置。
- ウェハ支持構造体と、
前記ウェハ支持構造体上の研磨パッドにウェハを押し付けるための研磨ヘッドと、
請求項1乃至6のいずれか一項に記載の膜厚測定装置を備えたことを特徴とする研磨装置。 - 請求項1乃至6のいずれか一項に記載の膜厚測定装置でウェハの膜厚を測定しながら、前記ウェハを研磨ヘッドで研磨パッドに押し付けて前記ウェハを研磨し、
前記ウェハの研磨中に、前記処理部は前記光路選択機構を操作して、前記第2受光ファイバーと前記分光器とを光学的に接続または切り離すことを特徴とする研磨方法。
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