JP6857584B2

JP6857584B2 - Mass spectrometer

Info

Publication number: JP6857584B2
Application number: JP2017185632A
Authority: JP
Inventors: 悠介村上; 義彦三輪; 俊幸加藤; 雅大伊藤
Original assignee: Jeol Ltd
Current assignee: Jeol Ltd
Priority date: 2017-09-27
Filing date: 2017-09-27
Publication date: 2021-04-14
Anticipated expiration: 2037-09-27
Also published as: JP2019061860A

Description

本発明は、試料導入機構を用いて試料が導入されるイオン源を有する質量分析装置に関する。 The present invention relates to a mass spectrometer having an ion source into which a sample is introduced using a sample introduction mechanism.

一般的に、質量分析装置は、試料をイオン化させるイオン源と、イオン化させた試料を分析する質量分析部と、イオン源と質量分析部を収容する真空容器と、試料をイオン源に導入する試料導入機構と、を備えている。試料は、試料導入プローブに保持されて、大気中から真空容器内に導入される。 Generally, a mass spectrometer includes an ion source for ionizing a sample, a mass spectrometer for analyzing the ionized sample, a vacuum vessel for accommodating the ion source and the mass spectrometer, and a sample for introducing the sample into the ion source. It is equipped with an introduction mechanism. The sample is held by the sample introduction probe and introduced from the atmosphere into the vacuum vessel.

従来の質量分析装置では、試料をイオン源に導入する際に、大気圧と、真空容器内の圧力差により、試料導入プローブが使用者の意図に反してイオン源に引き込まれ、試料が高温のイオン源に近づき、試料が変質したり、蒸発したりするおそれがある。また、真空容器における試料が導入される導入口には、バルブが開閉可能に設けられている。そして、バルブが閉じた状態で試料が挿入された場合、試料や、試料を保持する試料導入プローブがバルブに衝突し、試料や試料導入プローブが破損するおそれもあった。 In a conventional mass spectrometer, when a sample is introduced into an ion source, the sample introduction probe is drawn into the ion source against the intention of the user due to the pressure difference between the atmospheric pressure and the vacuum vessel, and the sample becomes hot. The sample may deteriorate or evaporate when approaching the ion source. Further, a valve is provided so as to be openable and closable at the introduction port into which the sample is introduced in the vacuum vessel. When the sample is inserted with the valve closed, the sample or the sample introduction probe holding the sample may collide with the valve, and the sample or the sample introduction probe may be damaged.

さらに、試料の向きがイオン源に対して誤った向きで導入された場合、試料導入プローブの試料保持部がイオン源と干渉したり、イオン源の高電圧部により試料保持部が破損したりする、という問題を有している。 Furthermore, if the sample is introduced in the wrong direction with respect to the ion source, the sample holding part of the sample introduction probe may interfere with the ion source, or the sample holding part may be damaged by the high voltage part of the ion source. , Has a problem.

このような試料を導入する技術としては、例えば、特許文献１に記載されているようなものがある。特許文献１には、試料を導入するプローブと、試料挿入口を遮断するバルブと、バルブの駆動用のスイッチを備えた技術が記載されている。また、特許文献１には、ストッパと平行に設けられたロッドと、このロッドの動きを阻止するストッパを備えることが記載されている。 As a technique for introducing such a sample, for example, there is one described in Patent Document 1. Patent Document 1 describes a technique including a probe for introducing a sample, a valve for shutting off a sample insertion port, and a switch for driving the valve. Further, Patent Document 1 describes that a rod provided in parallel with the stopper and a stopper for blocking the movement of the rod are provided.

実開昭６０−９９７７２号公報Jitsukaisho 60-99772

しかしながら、特許文献１に記載された技術では、ロッドの動きを阻止するストッパと、バルブの開閉を駆動させるスイッチが連動されていなかった。そのため、特許文献１に記載された技術では、バルブが閉じている状態で、ロッドのストッパが解除されると、試料導入プローブを挿入することが可能となり、試料や試料導入プローブがバルブに衝突し、試料や試料導入プローブが破損する、という問題を有していた。 However, in the technique described in Patent Document 1, the stopper that blocks the movement of the rod and the switch that drives the opening and closing of the valve are not interlocked. Therefore, in the technique described in Patent Document 1, when the stopper of the rod is released while the valve is closed, the sample introduction probe can be inserted, and the sample or the sample introduction probe collides with the valve. , There was a problem that the sample and the sample introduction probe were damaged.

さらに、特許文献１に記載された技術では、試料を真空容器内に導入するためには、バルブの開閉動作と、ロッドのストッパの解除動作を別々に行う必要があり、試料の導入作業が大変煩雑なものとなっていた。 Further, in the technique described in Patent Document 1, in order to introduce the sample into the vacuum container, it is necessary to separately perform the valve opening / closing operation and the rod stopper release operation, which makes the sample introduction work difficult. It was complicated.

本目的は、上記の問題点を考慮し、試料を導入する際の誤操作を防止することができると共に試料の導入作業を容易に行うことができる質量分析装置を提供することにある。 In consideration of the above problems, an object of the present invention is to provide a mass spectrometer capable of preventing erroneous operation when introducing a sample and easily performing a sample introduction operation.

上記課題を解決し、本目的を達成するため、質量分析装置は、イオン源が収容される真空容器と、真空容器に設けられて試料導入孔を有する試料導入機構と、試料導入孔から保持した試料をイオン源に導入する試料導入プローブと、を備えている。
試料導入プローブは、試料を保持する試料保持部を有するプローブ本体と、プローブ本体の軸方向とその軸方向が平行に設けられて、プローブ本体と共に軸方向に沿って移動するガイドロッドと、を備えている。
試料導入機構は、試料導入孔を開閉可能に覆うバルブ開閉機構と、ガイドロッドが挿入されるガイドロッド挿入部と、挿入防止板と、を備えている。挿入防止板は、バルブ開閉機構の開閉動作と連動して動作し、バルブ開閉機構が試料導入孔を覆う閉塞時には、ガイドロッド挿入部を覆う。また、挿入防止板には、ガイドロッドが挿通可能なロッド挿通孔が形成されている。そして、バルブ開閉機構が試料導入孔を開放させる開放時に、ロッド挿通孔がガイドロッド挿入部を臨む。 In order to solve the above problems and achieve this object, the mass spectrometer was held from a vacuum container in which an ion source is housed, a sample introduction mechanism provided in the vacuum container having a sample introduction hole, and a sample introduction hole. It is equipped with a sample introduction probe that introduces a sample into an ion source.
The sample introduction probe includes a probe main body having a sample holding portion for holding a sample, and a guide rod provided with the axial direction of the probe main body parallel to the axial direction and moving along the axial direction together with the probe main body. ing.
The sample introduction mechanism includes a valve opening / closing mechanism for opening and closing the sample introduction hole, a guide rod insertion portion into which the guide rod is inserted, and an insertion prevention plate. The insertion prevention plate operates in conjunction with the opening / closing operation of the valve opening / closing mechanism, and covers the guide rod insertion portion when the valve opening / closing mechanism covers the sample introduction hole. Further, the insertion prevention plate is formed with a rod insertion hole through which a guide rod can be inserted. Then, when the valve opening / closing mechanism opens the sample introduction hole, the rod insertion hole faces the guide rod insertion portion.

上記構成の質量分析装置によれば、試料を導入する際の誤操作を防止することができると共に試料の導入作業を容易に行うことができる。 According to the mass spectrometer having the above configuration, it is possible to prevent an erroneous operation when introducing the sample and to easily perform the sample introduction work.

実施の形態例にかかる質量分析装置を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the mass spectrometer which concerns on the Example of Embodiment. 実施の形態例にかかる質量分析装置の試料導入機構におけるバルブ開閉機構を示す正面図である。It is a front view which shows the valve opening and closing mechanism in the sample introduction mechanism of the mass spectrometer which concerns on embodiment. 実施の形態例にかかる質量分析装置の試料導入プローブを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the sample introduction probe of the mass spectrometer which concerns on Example of Embodiment. 実施の形態例にかかる質量分析装置の試料導入プローブにおける第１連結プレートを示す正面図である。It is a front view which shows the 1st connection plate in the sample introduction probe of the mass spectrometer which concerns on embodiment. 実施の形態例にかかる質量分析装置の試料導入プローブにおける第２連結プレートを示す正面図である。It is a front view which shows the 2nd connection plate in the sample introduction probe of the mass spectrometer which concerns on embodiment. 実施の形態例にかかる質量分析装置における試料導入作業を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the sample introduction operation in the mass spectrometer which concerns on Example of Embodiment. 実施の形態例にかかる質量分析装置における試料導入プローブをプローブ接続部に挿入した状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state which inserted the sample introduction probe in the mass spectrometer which concerns on embodiment. 実施の形態例にかかる質量分析装置のバルブ開閉機構が開いた状態を示すバルブ開閉機構の正面図である。It is a front view of the valve opening / closing mechanism which shows the state which the valve opening / closing mechanism of the mass spectrometer which concerns on embodiment is open. 実施の形態例にかかる質量分析装置のバルブ開閉機構が開いた状態を示す試料導入機構の断面図である。It is sectional drawing of the sample introduction mechanism which shows the state which the valve opening and closing mechanism of the mass spectrometer which concerns on embodiment are open. 実施の形態例にかかる質量分析装置における試料導入プローブのガイドロッドを持ち上げた状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state which lifted the guide rod of the sample introduction probe in the mass spectrometer which concerns on embodiment. 実施の形態例にかかる質量分析装置における試料導入プローブのガイドロッドを持ち上げた状態の第１連結プレートを示す正面図である。It is a front view which shows the 1st connection plate in the state which the guide rod of the sample introduction probe in the mass spectrometer which concerns on embodiment is lifted. 実施の形態例にかかる質量分析装置における試料導入プローブのガイドロッドを持ち上げた状態の第２連結プレートを示す正面図である。It is a front view which shows the 2nd connecting plate in the state which the guide rod of the sample introduction probe in the mass spectrometer which concerns on embodiment is lifted. 実施の形態例にかかる質量分析装置における試料導入プローブの試料保持部を真空容器に挿入した状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state in which the sample holding part of the sample introduction probe in the mass spectrometer which concerns on embodiment is inserted into a vacuum container.

以下、質量分析装置の実施の形態例について、図１〜図１３を参照して説明する。なお、各図において共通の部材には、同一の符号を付している。また、説明は以下の順序で行うが、本発明は、必ずしも以下の形態に限定されるものではない。 Hereinafter, examples of embodiments of the mass spectrometer will be described with reference to FIGS. 1 to 13. The common members in each figure are designated by the same reference numerals. Moreover, although the description is given in the following order, the present invention is not necessarily limited to the following forms.

１．質量分析装置の構成
まず、実施の形態例（以下、「本例」という。）にかかる質量分析装置について図１から図５を参照して説明する。
図１は、本例の質量分析装置を示す概略構成図である。 1. 1. Configuration of Mass Spectrometer First, the mass spectrometer according to the embodiment (hereinafter referred to as “this example”) will be described with reference to FIGS. 1 to 5.
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a mass spectrometer of this example.

図１に示す装置は、導入された試料をイオン化させて質量を分析する装置である。図１に示すように、質量分析装置１は、真空容器２と、イオン源３と、質量分析部４と、真空ポンプ５と、試料導入機構６と、備えている。また、図３に示すように、質量分析装置１は、導入する試料を保持する試料導入プローブ１０を備えている。 The device shown in FIG. 1 is a device that ionizes the introduced sample and analyzes the mass. As shown in FIG. 1, the mass spectrometer 1 includes a vacuum vessel 2, an ion source 3, a mass spectrometer 4, a vacuum pump 5, and a sample introduction mechanism 6. Further, as shown in FIG. 3, the mass spectrometer 1 includes a sample introduction probe 10 for holding the sample to be introduced.

図１に戻り示すように、真空容器２は、中空の容器状に形成されている。真空容器２は、一面が開口した開口部２ａと、排気口２ｂが形成されている。真空容器２には、開口部２ａを塞ぐようにして、後述の試料導入機構６が設けられる。 As shown back in FIG. 1, the vacuum container 2 is formed in the shape of a hollow container. The vacuum container 2 is formed with an opening 2a having an open surface and an exhaust port 2b. The vacuum container 2 is provided with a sample introduction mechanism 6 described later so as to close the opening 2a.

また、真空容器２の排気口２ｂは、真空ポンプ５に連通している。そして、真空ポンプ５は、排気口２ｂを介して真空容器２内の気体を吸引し、真空容器２内を略真空にする。真空容器２の内部には、イオン源３と、質量分析部４が収容されている。 Further, the exhaust port 2b of the vacuum container 2 communicates with the vacuum pump 5. Then, the vacuum pump 5 sucks the gas in the vacuum container 2 through the exhaust port 2b to make the inside of the vacuum container 2 substantially vacuum. An ion source 3 and a mass spectrometer 4 are housed inside the vacuum vessel 2.

イオン源３は、導入された試料をイオン化させる。イオン源３によるイオン化法としては、電子イオン化（electron ionization：ＥＩ）法、化学イオン化（chemical ionization：ＣＩ）法、高速原子衝撃（fast atom bombardment：ＦＡＢ）法、エレクトロスプレーイオン化（electrospray ionization：ＥＳＩ）法、大気圧化学イオン化（atmospheric pressure chemical ionization：ＡＰＣＩ）法や、マトリックス支援レーザ脱離イオン化（matrix-assisted laser desorption/ ionization：ＭＡＬＤＩ）法等その他各種のイオン化法が適用されるものである。 The ion source 3 ionizes the introduced sample. Ionization methods using the ion source 3 include electron ionization (EI) method, chemical ionization (CI) method, fast atom bombardment (FAB) method, and electrospray ionization (ESI). Various other ionization methods such as a method, an atmospheric pressure chemical ionization (APCI) method, a matrix-assisted laser desorption / ionization (MALDI) method, and the like are applied.

質量分析部４は、イオン源３で生成されたイオンを質量に応じて分離させると共に、分離したイオンを検出し、導入された試料の質量を分析する。質量分析部４における分離方法としては、磁場型、四重極型、イオントラップ型、フーリエ変換イオンサイクトロン共鳴型、飛行時間型等や、これらを複数組み合わせたもの等その他各種の型の質量分離方法が適用されるものである。 The mass spectrometer 4 separates the ions generated by the ion source 3 according to the mass, detects the separated ions, and analyzes the mass of the introduced sample. As the separation method in the mass spectrometer 4, the mass separation of various types such as magnetic field type, quadrupole type, ion trap type, Fourier transform ion cyclotron resonance type, time-of-flight type, etc., and a combination of a plurality of these types. The method is applied.

［試料導入機構６］
次に、試料導入機構６について図１を参照して説明する。
試料導入機構６は、フランジ部２１と、バルブ開閉機構２２と、プローブ接続部２３と、ガイドロッド挿入部２４と、予備真空ポンプ２５と、予備排気バルブ２６と、予備排気管２７とを備えている。 [Sample introduction mechanism 6]
Next, the sample introduction mechanism 6 will be described with reference to FIG.
The sample introduction mechanism 6 includes a flange portion 21, a valve opening / closing mechanism 22, a probe connecting portion 23, a guide rod insertion portion 24, a spare vacuum pump 25, a spare exhaust valve 26, and a spare exhaust pipe 27. There is.

［フランジ部］
フランジ部２１は、略平板状に形成されている。フランジ部２１は、真空容器２の開口部２ａを覆う大きさに形成されている。フランジ部２１における真空容器２側の一面には、Ｏリング３１が設けられている。フランジ部２１を真空容器２の開口部２ａに取り付けることで、Ｏリング３１によって真空容器２の開口部２ａが密閉される。 [Flange part]
The flange portion 21 is formed in a substantially flat plate shape. The flange portion 21 is formed in a size that covers the opening 2a of the vacuum vessel 2. An O-ring 31 is provided on one surface of the flange portion 21 on the vacuum vessel 2 side. By attaching the flange portion 21 to the opening 2a of the vacuum vessel 2, the opening 2a of the vacuum vessel 2 is sealed by the O-ring 31.

また、フランジ部２１には、試料導入孔２１ａが形成されている。試料導入孔２１ａは、フランジ部２１における真空容器２と対向する一面から反対側の他面にかけて貫通する貫通孔である。試料導入孔２１ａの開口径は、後述する試料導入プローブ１０の試料保持部５２が挿通可能な大きさに設定されている。 Further, a sample introduction hole 21a is formed in the flange portion 21. The sample introduction hole 21a is a through hole in the flange portion 21 that penetrates from one surface facing the vacuum vessel 2 to the other surface on the opposite side. The opening diameter of the sample introduction hole 21a is set to a size that allows the sample holding portion 52 of the sample introduction probe 10 described later to be inserted.

さらに、フランジ部２１には、挿入部取り付け孔２１ｂが形成されている。挿入部取り付け孔２１ｂは、試料導入孔２１ａの鉛直方向の下方に形成されている。挿入部取り付け孔２１ｂは、フランジ部２１における真空容器２と対向する一面から反対側の他面にかけて貫通する貫通孔である。この挿入部取り付け孔２１ｂには、ガイドロッド挿入部２４が取り付けられる。 Further, the flange portion 21 is formed with an insertion portion mounting hole 21b. The insertion portion mounting hole 21b is formed below the sample introduction hole 21a in the vertical direction. The insertion portion mounting hole 21b is a through hole that penetrates from one surface of the flange portion 21 facing the vacuum container 2 to the other surface on the opposite side. A guide rod insertion portion 24 is attached to the insertion portion attachment hole 21b.

［ガイドロッド挿入部］
ガイドロッド挿入部２４は、軸方向の一端部が開口し、軸方向の他端部が閉じられた略円筒状に形成されている。ガイドロッド挿入部２４は、フランジ部２１に取り付けられた際、真空容器２の内部空間に向けて突出する。このとき、ガイドロッド挿入部２４における閉塞している軸方向の他端部が、真空容器２の内部空間に配置される。また、ガイドロッド挿入部２４の筒孔２４ａの内径は、後述する試料導入プローブ１０のガイドロッド５４が挿入可能な大きさに設定されている。 [Guide rod insertion part]
The guide rod insertion portion 24 is formed in a substantially cylindrical shape with one end in the axial direction open and the other end in the axial direction closed. When the guide rod insertion portion 24 is attached to the flange portion 21, the guide rod insertion portion 24 projects toward the internal space of the vacuum vessel 2. At this time, the other end of the guide rod insertion portion 24 in the axial direction that is closed is arranged in the internal space of the vacuum vessel 2. Further, the inner diameter of the tubular hole 24a of the guide rod insertion portion 24 is set to a size that allows the guide rod 54 of the sample introduction probe 10 described later to be inserted.

また、フランジ部２１には、試料導入孔２１ａを覆うようにしてバルブ開閉機構２２が取り付けられる。 Further, a valve opening / closing mechanism 22 is attached to the flange portion 21 so as to cover the sample introduction hole 21a.

［バルブ開閉機構］
次に、図１及び図２を参照してバルブ開閉機構２２の構成について説明する。
図２は、バルブ開閉機構２２を示す正面図である。 [Valve opening / closing mechanism]
Next, the configuration of the valve opening / closing mechanism 22 will be described with reference to FIGS. 1 and 2.
FIG. 2 is a front view showing the valve opening / closing mechanism 22.

図２に示すように、バルブ開閉機構２２は、フランジ部２１の試料導入孔２１ａを開閉可能に塞ぐことで、真空容器２内に気体が流れ込むことを阻止し、真空容器２内を真空に保つ装置である。バルブ開閉機構２２は、バルブプレート４１と、回動部材４２と、密閉ゲート４３と、挿入防止板４４と、開閉レバー４５とを有している。 As shown in FIG. 2, the valve opening / closing mechanism 22 closes the sample introduction hole 21a of the flange portion 21 so as to be openable / closable to prevent gas from flowing into the vacuum container 2 and keep the inside of the vacuum container 2 in a vacuum. It is a device. The valve opening / closing mechanism 22 includes a valve plate 41, a rotating member 42, a sealing gate 43, an insertion prevention plate 44, and an opening / closing lever 45.

図１に戻って示すように、バルブプレート４１は、フランジ部２１における真空容器２と対向する一面とは反対側の他面に配置される。図２に示すように、バルブプレート４１は、略平板状に形成されている。バルブプレート４１には、バルブ側試料導入孔４１ａと、ロッド挿入孔４１ｂと、スライド溝４１ｃが形成されている。 As shown back in FIG. 1, the valve plate 41 is arranged on the other surface of the flange portion 21 opposite to one surface facing the vacuum vessel 2. As shown in FIG. 2, the valve plate 41 is formed in a substantially flat plate shape. The valve plate 41 is formed with a valve-side sample introduction hole 41a, a rod insertion hole 41b, and a slide groove 41c.

バルブ側試料導入孔４１ａ及びロッド挿入孔４１ｂは、バルブプレート４１におけるフランジ部２１と対向する一面から反対側の他面にかけて貫通する貫通孔である。バルブ側試料導入孔４１ａの開口径は、後述する試料導入プローブ１０の試料保持部５２が挿通可能な大きさに設定されている。バルブプレート４１をフランジ部２１に配置した際に、バルブ側試料導入孔４１ａは、フランジ部２１に設けた試料導入孔２１ａに連通する。 The valve-side sample introduction hole 41a and the rod insertion hole 41b are through holes that penetrate from one surface of the valve plate 41 facing the flange portion 21 to the other surface on the opposite side. The opening diameter of the valve-side sample introduction hole 41a is set to a size that allows the sample holding portion 52 of the sample introduction probe 10 described later to be inserted. When the valve plate 41 is arranged in the flange portion 21, the valve-side sample introduction hole 41a communicates with the sample introduction hole 21a provided in the flange portion 21.

バルブプレート４１におけるバルブ側試料導入孔４１ａの鉛直方向の下方には、ロッド挿入孔４１ｂが形成されている。ロッド挿入孔４１ｂの開口径は、後述する試料導入プローブ１０のガイドロッド５４の第１ガイド部５４ａが挿通可能な大きさに設定されている。バルブプレート４１をフランジ部２１に配置した際に、ロッド挿入孔４１ｂは、フランジ部２１に取り付けたガイドロッド挿入部２４の筒孔２４ａと連通する。 A rod insertion hole 41b is formed below the valve-side sample introduction hole 41a in the valve plate 41 in the vertical direction. The opening diameter of the rod insertion hole 41b is set to a size that allows the first guide portion 54a of the guide rod 54 of the sample introduction probe 10 described later to be inserted. When the valve plate 41 is arranged in the flange portion 21, the rod insertion hole 41b communicates with the tubular hole 24a of the guide rod insertion portion 24 attached to the flange portion 21.

スライド溝４１ｃは、バルブプレート４１におけるフランジ部２１と対向する一面とは反対側の他面に形成されている。スライド溝４１ｃは、バルブプレート４１におけるバルブ側試料導入孔４１ａが設けた箇所を通り、鉛直方向と直交する水平方向に沿って延在している。スライド溝４１ｃには、密閉ゲート４３が摺動可能に支持されている。 The slide groove 41c is formed on the other surface of the valve plate 41 opposite to one surface facing the flange portion 21. The slide groove 41c passes through a portion of the valve plate 41 provided with the valve-side sample introduction hole 41a and extends along a horizontal direction orthogonal to the vertical direction. A closed gate 43 is slidably supported in the slide groove 41c.

また、バルブプレート４１におけるフランジ部２１と対向する一面とは反対側の他面には、回動部材４２が回動可能に支持されている。回動部材４２は、バルブプレート４１におけるバルブ側試料導入孔４１ａと対向する位置に配置されている。回動部材４２には、プローブ挿通孔４２ａが形成されている。プローブ挿通孔４２ａは、バルブ側試料導入孔４１ａと対向する。そして、図１及び図２に示す閉塞状態では、バルブ側試料導入孔４１ａとプローブ挿通孔４２ａの間には、後述する密閉ゲート４３が介在される。 Further, the rotating member 42 is rotatably supported on the other surface of the valve plate 41 on the side opposite to the one facing the flange portion 21. The rotating member 42 is arranged at a position facing the valve-side sample introduction hole 41a in the valve plate 41. A probe insertion hole 42a is formed in the rotating member 42. The probe insertion hole 42a faces the valve-side sample introduction hole 41a. Then, in the closed state shown in FIGS. 1 and 2, a closed gate 43, which will be described later, is interposed between the valve-side sample introduction hole 41a and the probe insertion hole 42a.

また、回動部材４２には、挿入防止板４４と、開閉レバー４５が設けられている。挿入防止板４４は、略平板をなす扇状に形成されている。挿入防止板４４は、回動部材４２における鉛直方向の下方に配置されている。挿入防止板４４には、ロッド挿通孔４４ａが形成されている。なお、図１及び図２に示す閉塞状態、すなわち回動部材４２が回動していない状態では、ロッド挿通孔４４ａは、バルブプレート４１におけるロッド挿入孔４１ｂが設けられた位置から外れた位置に配置されている。そのため、ロッド挿入孔４１ｂにおけるガイドロッド挿入部２４と反対側の開口は、挿入防止板４４によって覆われている。すなわち、密閉ゲート４３によってバルブ側試料導入孔４１ａ及び試料導入孔２１ａが覆われている閉塞時には、挿入防止板４４は、ガイドロッド挿入部２４の開口を覆う。 Further, the rotating member 42 is provided with an insertion prevention plate 44 and an opening / closing lever 45. The insertion prevention plate 44 is formed in a fan shape forming a substantially flat plate. The insertion prevention plate 44 is arranged below the rotating member 42 in the vertical direction. A rod insertion hole 44a is formed in the insertion prevention plate 44. In the closed state shown in FIGS. 1 and 2, that is, in the state where the rotating member 42 is not rotating, the rod insertion hole 44a is located at a position deviated from the position where the rod insertion hole 41b is provided in the valve plate 41. Have been placed. Therefore, the opening of the rod insertion hole 41b on the opposite side of the guide rod insertion portion 24 is covered with the insertion prevention plate 44. That is, when the valve-side sample introduction hole 41a and the sample introduction hole 21a are covered by the closed gate 43, the insertion prevention plate 44 covers the opening of the guide rod insertion portion 24.

開閉レバー４５は、回動部材４２における鉛直方向の上方に配置されている。開閉レバー４５は、使用者によって把持される。そして、使用者は、開閉レバー４５を介して回動部材４２を回動操作することができる。 The opening / closing lever 45 is arranged above the rotating member 42 in the vertical direction. The opening / closing lever 45 is gripped by the user. Then, the user can rotate the rotating member 42 via the opening / closing lever 45.

密閉ゲート４３は、略平板状に形成されている。密閉ゲート４３は、スライド溝４１ｃに摺動可能に支持されて、バルブプレート４１と回動部材４２の間に介在される。また、密閉ゲート４３には、ゲート側挿通孔４３ａが形成されている。図１及び図２に示す閉塞状態では、ゲート側挿通孔４３ａは、バルブプレート４１に設けたバルブ側試料導入孔４１ａや回動部材４２のプローブ挿通孔４２ａが設けられた位置とは外れた位置に配置されている。そのため、バルブプレート４１のバルブ側試料導入孔４１ａ及び試料導入孔２１ａは、密閉ゲート４３によって塞がれる。 The closed gate 43 is formed in a substantially flat plate shape. The closed gate 43 is slidably supported by the slide groove 41c and is interposed between the valve plate 41 and the rotating member 42. Further, the closed gate 43 is formed with a gate-side insertion hole 43a. In the closed state shown in FIGS. 1 and 2, the gate-side insertion hole 43a is located at a position different from the position where the valve-side sample introduction hole 41a provided in the valve plate 41 and the probe insertion hole 42a of the rotating member 42 are provided. Is located in. Therefore, the valve-side sample introduction hole 41a and the sample introduction hole 21a of the valve plate 41 are closed by the closed gate 43.

また、密閉ゲート４３は、回動部材４２と不図示のラックとピニオンによって連結されている。そのため、回動部材４２が所定の向きに回動すると、密閉ゲート４３は、スライド溝４１ｃを摺動し、バルブプレート４１の一端部から他端部に移動する。また、回動部材４２が回動することで、回動部材４２に設けた挿入防止板４４も回動部材４２と共に回動する。すなわち、挿入防止板４４と密閉ゲート４３は、連動する。 Further, the closed gate 43 is connected to the rotating member 42 by a rack and a pinion (not shown). Therefore, when the rotating member 42 rotates in a predetermined direction, the closed gate 43 slides in the slide groove 41c and moves from one end to the other end of the valve plate 41. Further, as the rotating member 42 rotates, the insertion prevention plate 44 provided on the rotating member 42 also rotates together with the rotating member 42. That is, the insertion prevention plate 44 and the closed gate 43 are interlocked with each other.

［プローブ接続部］
また、図１に示すように、回動部材４２には、プローブ接続部２３が接続されている。プローブ接続部２３は、回動部材４２におけるバルブプレート４１とは反対側の一面に配置されている。プローブ接続部２３は、軸方向の両端部が開口された略円筒状に形成されている。プローブ接続部２３の筒孔２３ａの内壁には、Ｏリング３２が設けられている。また、プローブ接続部２３の筒孔２３ａの内径は、後述する試料導入プローブ１０の接続部材５３の外径と等しい。 [Probe connection]
Further, as shown in FIG. 1, a probe connecting portion 23 is connected to the rotating member 42. The probe connecting portion 23 is arranged on one surface of the rotating member 42 opposite to the valve plate 41. The probe connecting portion 23 is formed in a substantially cylindrical shape with both ends in the axial direction opened. An O-ring 32 is provided on the inner wall of the tubular hole 23a of the probe connecting portion 23. Further, the inner diameter of the tubular hole 23a of the probe connecting portion 23 is equal to the outer diameter of the connecting member 53 of the sample introduction probe 10 described later.

プローブ接続部２３には、接続側排気孔２３ｂが形成されている。接続側排気孔２３ｂには、予備排気管２７が接続されている。予備排気管２７における接続側排気孔２３ｂと反対側の端部には、予備真空ポンプ２５が接続されている。また、予備排気管２７の中間部には、予備排気バルブ２６が設けられている。予備排気バルブ２６を開き、予備真空ポンプ２５を駆動させると、プローブ接続部２３の筒孔２３ａ内の気体が予備真空ポンプ２５によって吸引される。 A connection-side exhaust hole 23b is formed in the probe connection portion 23. A spare exhaust pipe 27 is connected to the connection side exhaust hole 23b. A spare vacuum pump 25 is connected to the end of the spare exhaust pipe 27 on the opposite side of the connecting side exhaust hole 23b. A spare exhaust valve 26 is provided in the middle of the spare exhaust pipe 27. When the preliminary exhaust valve 26 is opened and the preliminary vacuum pump 25 is driven, the gas in the tubular hole 23a of the probe connecting portion 23 is sucked by the preliminary vacuum pump 25.

このプローブ接続部２３の筒孔２３ａには、試料導入プローブ１０の接続部材５３が挿入される。 The connecting member 53 of the sample introduction probe 10 is inserted into the tubular hole 23a of the probe connecting portion 23.

［試料導入プローブ］
次に、試料導入プローブ１０の構成について図３〜図５を参照して説明する。
図３は、試料導入プローブ１０を示す説明図である。 [Sample introduction probe]
Next, the configuration of the sample introduction probe 10 will be described with reference to FIGS. 3 to 5.
FIG. 3 is an explanatory diagram showing the sample introduction probe 10.

図３に示すように、試料導入プローブ１０は、プローブ本体５１と、試料保持部５２と、接続部材５３と、ガイドロッド５４と、第１連結プレート５５と、第２連結プレート５６と、把持部５７とを備えている。 As shown in FIG. 3, the sample introduction probe 10 includes a probe main body 51, a sample holding portion 52, a connecting member 53, a guide rod 54, a first connecting plate 55, a second connecting plate 56, and a grip portion. It is equipped with 57.

プローブ本体５１は、略棒状の部材により形成されている。プローブ本体５１の軸方向の一端部には、試料保持部５２が設けられており、プローブ本体５１の軸方向の他端部には、把持部５７が設けられている。把持部５７は、使用者によって把持される。 The probe body 51 is formed of a substantially rod-shaped member. A sample holding portion 52 is provided at one end of the probe main body 51 in the axial direction, and a grip portion 57 is provided at the other end of the probe main body 51 in the axial direction. The grip portion 57 is gripped by the user.

また、プローブ本体５１の軸方向の他端部には、二面幅部５１ａ、５１ａが形成されている（図５参照）。二面幅部５１ａ、５１ａは、鉛直方向と直交し、かつプローブ本体５１の軸方向とも直交する水平方向に対向して形成されている。 Further, width across flats 51a and 51a are formed at the other end of the probe main body 51 in the axial direction (see FIG. 5). The width across flats 51a and 51a are formed so as to face each other in the horizontal direction which is orthogonal to the vertical direction and also orthogonal to the axial direction of the probe main body 51.

試料保持部５２は、分析を行う試料を保持する。試料保持部５２で保持される試料の状態としては、固体あるいは液体でもよい。また、試料保持部５２に加熱機構を設けてもよく、あるいは電流を流せるフィラメント線を試料保持部５２に設けてもよい。 The sample holding unit 52 holds the sample to be analyzed. The state of the sample held by the sample holding unit 52 may be solid or liquid. Further, the sample holding portion 52 may be provided with a heating mechanism, or the sample holding portion 52 may be provided with a filament wire through which an electric current can flow.

また、プローブ本体５１の軸方向の一端部は、接続部材５３によって摺動可能に支持されている。接続部材５３は、略円筒状に形成されている。接続部材５３の筒孔５３ａには、プローブ本体５１の一端部に設けた試料保持部５２が収容される。接続部材５３の軸方向の一端部は、その一面が開口している。 Further, one end of the probe main body 51 in the axial direction is slidably supported by the connecting member 53. The connecting member 53 is formed in a substantially cylindrical shape. A sample holding portion 52 provided at one end of the probe main body 51 is housed in the tubular hole 53a of the connecting member 53. One end of the connecting member 53 in the axial direction is open on one side.

また、接続部材５３の軸方向の他端部は、閉塞している。接続部材５３の他端部には、支持孔５３ｂが設けられている。支持孔５３ｂには、プローブ本体５１が摺動可能に挿入されている。また、支持孔５３ｂには、Ｏリング３３が設けられている。Ｏリング３３は、支持孔５３ｂに挿入されたプローブ本体５１に密接する。 Further, the other end of the connecting member 53 in the axial direction is closed. A support hole 53b is provided at the other end of the connecting member 53. The probe main body 51 is slidably inserted into the support hole 53b. Further, the support hole 53b is provided with an O-ring 33. The O-ring 33 comes into close contact with the probe body 51 inserted into the support hole 53b.

そして、接続部材５３は、筒孔５３ａ内に試料保持部５２を配置した状態で、プローブ接続部２３の筒孔２３ａ内に挿入される（図７参照）。このとき、接続部材５３の外周面は、プローブ接続部２３の内壁に設けたＯリング３２に密着される。 Then, the connecting member 53 is inserted into the tubular hole 23a of the probe connecting portion 23 with the sample holding portion 52 arranged in the tubular hole 53a (see FIG. 7). At this time, the outer peripheral surface of the connecting member 53 is brought into close contact with the O-ring 32 provided on the inner wall of the probe connecting portion 23.

また、接続部材５３の軸方向の他端部には、第１連結プレート５５が固定されている。図４は、第１連結プレート５５を示す正面図である。
図４に示すように、第１連結プレート５５は、略平板状に形成されている。第１連結プレート５５には、挿通孔５５ａと、規制孔５５ｂと、解除孔５５ｃと、連通部５５ｄが形成されている。挿通孔５５ａは、接続部材５３の支持孔５３ｂに連通する。そして、挿通孔５５ａには、プローブ本体５１が挿通する。 A first connecting plate 55 is fixed to the other end of the connecting member 53 in the axial direction. FIG. 4 is a front view showing the first connecting plate 55.
As shown in FIG. 4, the first connecting plate 55 is formed in a substantially flat plate shape. The first connecting plate 55 is formed with an insertion hole 55a, a regulation hole 55b, a release hole 55c, and a communication portion 55d. The insertion hole 55a communicates with the support hole 53b of the connecting member 53. Then, the probe main body 51 is inserted into the insertion hole 55a.

規制孔５５ｂは、挿通孔５５ａよりも鉛直方向の下方に形成されている。規制孔５５ｂの開口径は、後述するガイドロッド５４の第１ガイド部５４ａの外径より大きく設定され、ガイドロッド５４の第２ガイド部５４ｂの外径よりは小さく設定されている。そのため、規制孔５５ｂは、第１ガイド部５４ａを挿通させ、第２ガイド部５４ｂの挿通を規制する。 The regulation hole 55b is formed below the insertion hole 55a in the vertical direction. The opening diameter of the regulation hole 55b is set to be larger than the outer diameter of the first guide portion 54a of the guide rod 54, which will be described later, and is set smaller than the outer diameter of the second guide portion 54b of the guide rod 54. Therefore, the regulation hole 55b allows the first guide portion 54a to pass through and restricts the insertion of the second guide portion 54b.

解除孔５５ｃは、挿通孔５５ａと規制孔５５ｂの間に形成されている。解除孔５５ｃの開口径は、後述するガイドロッド５４の第１ガイド部５４ａ及び第２ガイド部５４ｂの外径より大きく設定されている。そのため、解除孔５５ｃは、第２ガイド部５４ｂを挿通可能に開口している。また、解除孔５５ｃは、規制孔５５ｂに連通部５５ｄを介して連通している。 The release hole 55c is formed between the insertion hole 55a and the regulation hole 55b. The opening diameter of the release hole 55c is set to be larger than the outer diameter of the first guide portion 54a and the second guide portion 54b of the guide rod 54, which will be described later. Therefore, the release hole 55c is open so that the second guide portion 54b can be inserted. Further, the release hole 55c communicates with the regulation hole 55b via the communication portion 55d.

連通部５５ｄは、規制孔５５ｂから解除孔５５ｃに向けて延在する長孔である。この連通部５５ｄの間隔、すなわち鉛直方向と直交し、第１連結プレート５５の厚さ方向とも直交する水平方向の長さは、規制孔５５ｂの開口径と等しく設定されている。すなわち、連通部５５ｄの間隔は、後述するガイドロッド５４の第１ガイド部５４ａの外径より大きく設定され、ガイドロッド５４の第２ガイド部５４ｂの外径よりは小さく設定されている。 The communication portion 55d is an elongated hole extending from the regulation hole 55b toward the release hole 55c. The distance between the communication portions 55d, that is, the length in the horizontal direction orthogonal to the vertical direction and also orthogonal to the thickness direction of the first connecting plate 55 is set to be equal to the opening diameter of the regulation hole 55b. That is, the distance between the communication portions 55d is set to be larger than the outer diameter of the first guide portion 54a of the guide rod 54, which will be described later, and smaller than the outer diameter of the second guide portion 54b of the guide rod 54.

図３に示すように、ガイドロッド５４は、略円柱状に形成されている。ガイドロッド５４は、第１ガイド部５４ａと、第２ガイド部５４ｂとを有している。第１ガイド部５４ａは、ガイドロッド５４の軸方向の一端部に形成され、第２ガイド部５４ｂは、ガイドロッド５４の軸方向の他端部に形成されている。 As shown in FIG. 3, the guide rod 54 is formed in a substantially columnar shape. The guide rod 54 has a first guide portion 54a and a second guide portion 54b. The first guide portion 54a is formed at one end in the axial direction of the guide rod 54, and the second guide portion 54b is formed at the other end in the axial direction of the guide rod 54.

第１ガイド部５４ａの外径は、第２ガイド部５４ｂの外径よりも小さく設定されている。また、第１ガイド部５４ａの外径は、ロッド挿通孔４４ａ、ロッド挿入孔４１ｂ及びガイドロッド挿入部２４の筒孔２４ａに挿入可能な大きさに設定されている。 The outer diameter of the first guide portion 54a is set smaller than the outer diameter of the second guide portion 54b. The outer diameter of the first guide portion 54a is set to a size that allows it to be inserted into the rod insertion hole 44a, the rod insertion hole 41b, and the cylinder hole 24a of the guide rod insertion portion 24.

ガイドロッド５４を第１連結プレート５５の規制孔５５ｂに挿入した際、ガイドロッド５４は、その自重により鉛直方向の下方に下がる。そのため、図３及び図４に示す初期状態では、第１ガイド部５４ａは、第１連結プレート５５の規制孔５５ｂに配置される。上述したように、規制孔５５ｂの開口径は、第２ガイド部５４ｂの外径よりも小さく設定されているため、ガイドロッド５４を軸方向の一側に挿入した場合、第２ガイド部５４ｂの端部が規制孔５５ｂに当接する。これにより、規制孔５５ｂは、第２ガイド部５４ｂの挿通を規制する。 When the guide rod 54 is inserted into the regulation hole 55b of the first connecting plate 55, the guide rod 54 is lowered in the vertical direction due to its own weight. Therefore, in the initial state shown in FIGS. 3 and 4, the first guide portion 54a is arranged in the regulation hole 55b of the first connecting plate 55. As described above, the opening diameter of the regulation hole 55b is set to be smaller than the outer diameter of the second guide portion 54b. Therefore, when the guide rod 54 is inserted on one side in the axial direction, the second guide portion 54b The end abuts on the regulation hole 55b. As a result, the regulation hole 55b restricts the insertion of the second guide portion 54b.

さらに、ガイドロッド５４は、プローブ本体５１の鉛直方向の下方において、ガイドロッド５４の軸方向がプローブ本体５１の軸方向と平行をなして配置される。また、プローブ本体５１の軸方向及びガイドロッド５４の軸方向は、プローブ本体５１における真空容器２への挿入方向と平行をなす。 Further, the guide rod 54 is arranged below the probe main body 51 in the vertical direction so that the axial direction of the guide rod 54 is parallel to the axial direction of the probe main body 51. Further, the axial direction of the probe main body 51 and the axial direction of the guide rod 54 are parallel to the insertion direction of the probe main body 51 into the vacuum vessel 2.

ガイドロッド５４は、第１連結プレート５５の規制孔５５ｂ及び連通部５５ｄによって鉛直方向に沿って移動可能に支持される。そのため、ガイドロッド５４は、第１連結プレート５５によってプローブ本体５１に対して接近及び離反可能に支持される。 The guide rod 54 is movably supported along the vertical direction by the regulation hole 55b and the communication portion 55d of the first connecting plate 55. Therefore, the guide rod 54 is supported by the first connecting plate 55 so as to be able to approach and separate from the probe main body 51.

また、ガイドロッド５４の軸方向の他端部、すなわち第２ガイド部５４ｂの他端部には、第２連結プレート５６が固定されている。 Further, the second connecting plate 56 is fixed to the other end of the guide rod 54 in the axial direction, that is, the other end of the second guide portion 54b.

図５は、第２連結プレート５６の正面図である。
図５に示すように、第２連結プレート５６は、略平板状に形成されている。第２連結プレート５６は、摺動孔５６ａと、固定部５６ｂが形成されている。固定部５６ｂには、ガイドロッド５４の他端部が固定される。 FIG. 5 is a front view of the second connecting plate 56.
As shown in FIG. 5, the second connecting plate 56 is formed in a substantially flat plate shape. The second connecting plate 56 is formed with a sliding hole 56a and a fixing portion 56b. The other end of the guide rod 54 is fixed to the fixing portion 56b.

摺動孔５６ａは、固定部５６ｂよりも鉛直方向の上方に配置されている。摺動孔５６ａは、第２連結プレート５６の長手方向、すなわち鉛直方向に沿って延在している。また、摺動孔５６ａの開口の幅、すなわち鉛直方向と直交し、かつ第２連結プレート５６の厚さ方向とも直交する長さは、プローブ本体５１の二面幅部５１ａ、５１ａの間隔と等しく設定されている。 The sliding hole 56a is arranged above the fixing portion 56b in the vertical direction. The sliding hole 56a extends along the longitudinal direction of the second connecting plate 56, that is, the vertical direction. Further, the width of the opening of the sliding hole 56a, that is, the length orthogonal to the vertical direction and also orthogonal to the thickness direction of the second connecting plate 56 is equal to the distance between the width across flats 51a and 51a of the probe main body 51. It is set.

摺動孔５６ａには、プローブ本体５１の二面幅部５１ａ、５１ａが挿入される。二面幅部５１ａ、５１ａが摺動孔５６ａに挿入されることで、プローブ本体５１がその軸心を中心に回転することを防ぐことができる。そして、把持部５７は、第２連結プレート５６よりもプローブ本体５１の軸方向の他端部に配置される。そのため、第２連結プレート５６は、プローブ本体５１における把持部５７と二面幅部５１ａ、５１ａよりも軸方向の一端部の間に介在される。 The width across flats 51a and 51a of the probe body 51 are inserted into the sliding holes 56a. By inserting the width across flats 51a and 51a into the sliding holes 56a, it is possible to prevent the probe main body 51 from rotating about its axis. The grip portion 57 is arranged at the other end of the probe main body 51 in the axial direction rather than the second connecting plate 56. Therefore, the second connecting plate 56 is interposed between the grip portion 57 of the probe main body 51 and one end portion in the axial direction of the width across flat portions 51a and 51a.

また、第２連結プレート５６は、その自重とガイドロッド５４の自重により、鉛直方向の下方に下がる。そのため、図３及び図５に示す初期状態では、プローブ本体５１は、摺動孔５６ａにおける鉛直方向の上端部に配置される。そして、第２連結プレート５６は、摺動孔５６ａが二面幅部５１ａ、５１ａを摺動することで、鉛直方向に沿って移動する。 Further, the second connecting plate 56 is lowered downward in the vertical direction due to its own weight and the own weight of the guide rod 54. Therefore, in the initial state shown in FIGS. 3 and 5, the probe main body 51 is arranged at the upper end portion of the sliding hole 56a in the vertical direction. Then, the second connecting plate 56 moves along the vertical direction as the sliding holes 56a slide on the width across flats 51a and 51a.

また、プローブ本体に設けた把持部５７を介してプローブ本体５１をその軸方向に沿って移動させると、第２連結プレート５６で連結されたガイドロッド５４も、プローブ本体５１と共にその軸方向に沿って移動する。すなわち、プローブ本体５１とガイドロッド５４における軸方向への移動は、互いに連動している。 Further, when the probe main body 51 is moved along the axial direction via the grip portion 57 provided on the probe main body, the guide rod 54 connected by the second connecting plate 56 also follows the axial direction together with the probe main body 51. And move. That is, the axial movements of the probe body 51 and the guide rod 54 are interlocked with each other.

２．試料導入作業例
次に、上述した構成を有する質量分析装置１における試料導入作業の一例について図６〜図１３を参照して説明する。
図６は、試料導入作業を示すフローチャートである。図７〜図１３は、試料導入作業を示す説明図である。 2. Sample Introduction Work Example Next, an example of the sample introduction work in the mass spectrometer 1 having the above-described configuration will be described with reference to FIGS. 6 to 13.
FIG. 6 is a flowchart showing the sample introduction work. 7 to 13 are explanatory views showing a sample introduction operation.

図６に示すように、まず、大気中において、図３に示す試料導入プローブ１０の試料保持部５２へ分析を行う試料を取り付ける（ステップＳ１１）。次に、図７に示すように、試料導入プローブ１０の接続部材５３を試料導入機構６におけるプローブ接続部２３に取り付ける（ステップＳ１２）。すなわち、接続部材５３をプローブ接続部２３の筒孔２３ａ内に挿入する。このとき、試料を保持している試料保持部５２は、接続部材５３の筒孔５３ａ内に収容されている。 As shown in FIG. 6, first, in the atmosphere, a sample to be analyzed is attached to the sample holding portion 52 of the sample introduction probe 10 shown in FIG. 3 (step S11). Next, as shown in FIG. 7, the connecting member 53 of the sample introduction probe 10 is attached to the probe connecting portion 23 of the sample introduction mechanism 6 (step S12). That is, the connecting member 53 is inserted into the tubular hole 23a of the probe connecting portion 23. At this time, the sample holding portion 52 holding the sample is housed in the tubular hole 53a of the connecting member 53.

また、接続部材５３をプローブ接続部２３の筒孔２３ａ内に挿入することで、プローブ接続部２３の内壁に設けたＯリング３２が接続部材５３の外周面に密着する。さらに、バルブ開閉機構２２におけるバルブ側試料導入孔４１ａは、密閉ゲート４３によって塞がれている。そして、プローブ本体５１の外周面には、接続部材５３における支持孔５３ｂに設けたＯリング３３が密着している。そのため、プローブ接続部２３の筒孔２３ａ内は、密閉される。 Further, by inserting the connecting member 53 into the tubular hole 23a of the probe connecting portion 23, the O-ring 32 provided on the inner wall of the probe connecting portion 23 comes into close contact with the outer peripheral surface of the connecting member 53. Further, the valve-side sample introduction hole 41a in the valve opening / closing mechanism 22 is closed by a closed gate 43. An O-ring 33 provided in the support hole 53b of the connecting member 53 is in close contact with the outer peripheral surface of the probe main body 51. Therefore, the inside of the tubular hole 23a of the probe connecting portion 23 is sealed.

次に、予備排気バルブ２６を開く（ステップＳ１３）。なお、予め予備真空ポンプ２５は、駆動している。そのため、予備排気管２７及び接続側排気孔２３ｂを介してプローブ接続部２３の筒孔２３ａ内の気体が予備真空ポンプ２５によって吸引される。これにより、プローブ接続部２３の筒孔２３ａ内が略真空になる。 Next, the spare exhaust valve 26 is opened (step S13). The preliminary vacuum pump 25 is driven in advance. Therefore, the gas in the tubular hole 23a of the probe connecting portion 23 is sucked by the preliminary vacuum pump 25 through the spare exhaust pipe 27 and the connecting side exhaust hole 23b. As a result, the inside of the tubular hole 23a of the probe connecting portion 23 becomes a substantially vacuum.

なお、プローブ接続部２３の筒孔２３ａ内が略真空となることで、接続部材５３の筒孔５３ａ内も略真空になる。そのため、大気と接続部材５３の筒孔５３ａ内との圧力差により、プローブ本体５１には、接続部材５３の筒孔５３ａ内に引き込まれる力が働く。しかしながら、試料導入プローブ１０のガイドロッド５４は、その自重により鉛直方向の下方に配置されている。そして、ガイドロッド５４の第１ガイド部５４ａは、図４に示すように第１連結プレート５５の規制孔５５ｂに配置されている。 Since the inside of the cylinder hole 23a of the probe connecting portion 23 becomes a substantially vacuum, the inside of the cylinder hole 53a of the connecting member 53 also becomes a substantially vacuum. Therefore, due to the pressure difference between the atmosphere and the inside of the cylinder hole 53a of the connecting member 53, a force is applied to the probe main body 51 to be drawn into the cylinder hole 53a of the connecting member 53. However, the guide rod 54 of the sample introduction probe 10 is arranged below in the vertical direction due to its own weight. The first guide portion 54a of the guide rod 54 is arranged in the regulation hole 55b of the first connecting plate 55 as shown in FIG.

また、上述したように規制孔５５ｂの開口径は、第２ガイド部５４ｂの外径より小さく設定されている。そのため、プローブ本体５１が接続部材５３の筒孔５３ａ内に引き込まれたり、使用者が誤ってプローブ本体５１を挿入したりしても、第２ガイド部５４ｂの軸方向の一端部が第１連結プレート５５における規制孔５５ｂの縁部に当接する。また、プローブ本体５１とガイドロッド５４における軸方向への移動は、互いに連動している。 Further, as described above, the opening diameter of the regulation hole 55b is set to be smaller than the outer diameter of the second guide portion 54b. Therefore, even if the probe main body 51 is pulled into the tubular hole 53a of the connecting member 53 or the user mistakenly inserts the probe main body 51, one end of the second guide portion 54b in the axial direction is first connected. It abuts on the edge of the regulation hole 55b in the plate 55. Further, the axial movements of the probe main body 51 and the guide rod 54 are interlocked with each other.

これにより、ガイドロッド５４が第１連結プレート５５によって軸方向への移動が規制されることで、プローブ本体５１における軸方向の一側、すなわち接続部材５３の筒孔５３ａ内に引き込まれる向きへの移動が規制される。その結果、大気と内部の気圧差や、使用者の誤操作によって、プローブ本体５１が接続部材５３の筒孔５３ａ内に引き込まれて、バルブ開閉機構２２の密閉ゲート４３に試料保持部５２が衝突することを防ぐことができる。この第１連結プレート５５の規制孔５５ｂとガイドロッド５４の第２ガイド部５４ｂによって、質量分析装置１の第１ストッパ機構が構成される。その結果、試料を導入する際の誤操作を防止することができる。 As a result, the guide rod 54 is restricted from moving in the axial direction by the first connecting plate 55, so that the guide rod 54 is pulled into one side of the probe main body 51 in the axial direction, that is, into the tubular hole 53a of the connecting member 53. Movement is restricted. As a result, the probe main body 51 is pulled into the tubular hole 53a of the connecting member 53 due to the difference in air pressure between the atmosphere and the inside, or due to an erroneous operation by the user, and the sample holding portion 52 collides with the closed gate 43 of the valve opening / closing mechanism 22. You can prevent that. The regulation hole 55b of the first connecting plate 55 and the second guide portion 54b of the guide rod 54 constitute the first stopper mechanism of the mass spectrometer 1. As a result, it is possible to prevent erroneous operation when introducing the sample.

さらに、上述したように、解除孔５５ｃの開口径は、第２ガイド部５４ｂの外径より大きく設定されている。そのため、使用者が誤って操作し、第２ガイド部５４ｂが第１連結プレート５５の解除孔５５ｃを臨む位置までガイドロッド５４を鉛直方向の上方に引き上げると、第２ガイド部５４ｂは、第１連結プレート５５を挿通可能となる。その結果、プローブ本体５１を軸方向の一側へ挿入させることができるため、バルブ開閉機構２２の密閉ゲート４３に試料保持部５２が衝突するおそれがある。 Further, as described above, the opening diameter of the release hole 55c is set to be larger than the outer diameter of the second guide portion 54b. Therefore, when the user mistakenly operates the guide rod 54 and pulls the guide rod 54 upward to a position where the second guide portion 54b faces the release hole 55c of the first connecting plate 55, the second guide portion 54b becomes the first. The connecting plate 55 can be inserted. As a result, since the probe main body 51 can be inserted to one side in the axial direction, the sample holding portion 52 may collide with the closed gate 43 of the valve opening / closing mechanism 22.

しかしながら、図２及び図７に示すように、ガイドロッド挿入部２４に連通しているロッド挿入孔４１ｂの開口は、挿入防止板４４によって覆われている。そのため、ガイドロッド５４の軸方向の一端部が挿入防止板４４に当接し、バルブ開閉機構２２の密閉ゲート４３に試料保持部５２が衝突することを防ぐことができる。その結果、試料を導入する際の誤操作を防止することができる。この挿入防止板４４によって、質量分析装置１の第２ストッパ機構が構成される。 However, as shown in FIGS. 2 and 7, the opening of the rod insertion hole 41b communicating with the guide rod insertion portion 24 is covered with the insertion prevention plate 44. Therefore, it is possible to prevent one end of the guide rod 54 in the axial direction from coming into contact with the insertion prevention plate 44 and the sample holding portion 52 from colliding with the closed gate 43 of the valve opening / closing mechanism 22. As a result, it is possible to prevent erroneous operation when introducing the sample. The insertion prevention plate 44 constitutes a second stopper mechanism of the mass spectrometer 1.

なお、バルブ開閉機構２２のバルブを開く前に、プローブ接続部２３の筒孔２３ａ内において予備排気をすることで、真空容器２内の気圧が急激に上昇することを防ぐことができる。 By pre-exhausting the inside of the tubular hole 23a of the probe connecting portion 23 before opening the valve of the valve opening / closing mechanism 22, it is possible to prevent the air pressure in the vacuum vessel 2 from suddenly rising.

次に、ステップＳ１３の処理によってプローブ接続部２３の筒孔２３ａ内の気圧が略真空となると、バルブ開閉機構２２のバルブを開く（ステップＳ１４）。具体的には、図８に示すように、使用者又は装置の駆動部によって開閉レバー４５を操作し、回動部材４２を所定の向きに回動させる。これにより、不図示のラックとピニオンによって回動部材４２と連結された密閉ゲート４３がスライド溝４１ｃを摺動し、バルブプレート４１の一端部から他端部に移動する。 Next, when the air pressure in the tubular hole 23a of the probe connecting portion 23 becomes substantially vacuum by the process of step S13, the valve of the valve opening / closing mechanism 22 is opened (step S14). Specifically, as shown in FIG. 8, the opening / closing lever 45 is operated by the user or the driving unit of the device to rotate the rotating member 42 in a predetermined direction. As a result, the closed gate 43 connected to the rotating member 42 by a rack and a pinion (not shown) slides in the slide groove 41c and moves from one end to the other end of the valve plate 41.

そして、ゲート側挿通孔４３ａがバルブプレート４１のバルブ側試料導入孔４１ａと、回動部材４２のプローブ挿通孔４２ａの間に位置する箇所まで密閉ゲート４３が移動する。そのため、図８及び図９に示すように、バルブ側試料導入孔４１ａとプローブ挿通孔４２ａがゲート側挿通孔４３ａを介して連通する。また、バルブ側試料導入孔４１ａとプローブ挿通孔４２ａが連通することで、プローブ挿通孔４２ａは、フランジ部２１の試料導入孔２１ａとも連通する。 Then, the closed gate 43 moves to a position where the gate-side insertion hole 43a is located between the valve-side sample introduction hole 41a of the valve plate 41 and the probe insertion hole 42a of the rotating member 42. Therefore, as shown in FIGS. 8 and 9, the valve-side sample introduction hole 41a and the probe insertion hole 42a communicate with each other via the gate-side insertion hole 43a. Further, by communicating the valve-side sample introduction hole 41a and the probe insertion hole 42a, the probe insertion hole 42a also communicates with the sample introduction hole 21a of the flange portion 21.

さらに、回動部材４２が回動することで、回動部材４２に設けた挿入防止板４４も回動部材４２と共に回動する。そして、密閉ゲート４３のゲート側挿通孔４３ａがバルブ側試料導入孔４１ａとプローブ挿通孔４２ａの間まで移動した際、挿入防止板４４に設けたロッド挿通孔４４ａは、ロッド挿入孔４１ｂを臨む。すなわち、バルブ開閉機構２２が試料導入孔２１ａを開放させる開放時には、ロッド挿通孔４４ａは、ロッド挿入孔４１ｂを介してガイドロッド挿入部２４の開口を臨む。 Further, as the rotating member 42 rotates, the insertion prevention plate 44 provided on the rotating member 42 also rotates together with the rotating member 42. When the gate-side insertion hole 43a of the closed gate 43 moves between the valve-side sample introduction hole 41a and the probe insertion hole 42a, the rod insertion hole 44a provided in the insertion prevention plate 44 faces the rod insertion hole 41b. That is, when the valve opening / closing mechanism 22 opens the sample introduction hole 21a, the rod insertion hole 44a faces the opening of the guide rod insertion portion 24 via the rod insertion hole 41b.

すなわち、本例の質量分析装置１では、バルブ開閉機構２２の開閉動作と、挿入防止板４４におけるガイドロッド挿入部２４に対する開閉動作が連動している。これにより、バルブ開閉機構２２の開放動作と、ガイドロッド５４のストッパ機構となる挿入防止板４４の解除動作を同時に行うことができ、試料の導入作業を容易に行うことができる。 That is, in the mass spectrometer 1 of this example, the opening / closing operation of the valve opening / closing mechanism 22 and the opening / closing operation of the insertion prevention plate 44 with respect to the guide rod insertion portion 24 are linked. As a result, the opening operation of the valve opening / closing mechanism 22 and the release operation of the insertion prevention plate 44 serving as the stopper mechanism of the guide rod 54 can be performed at the same time, and the sample introduction work can be easily performed.

さらに、バルブ側試料導入孔４１ａ、プローブ挿通孔４２ａ及びフランジ部２１の試料導入孔２１ａが連通することで、試料導入プローブ１０の接続部材５３の筒孔５３ａから試料導入孔２１ａまでが連通する。さらに、真空容器２内の気圧は、予め真空ポンプ５により真空に引かれている。 Further, the valve-side sample introduction hole 41a, the probe insertion hole 42a, and the sample introduction hole 21a of the flange portion 21 communicate with each other, so that the tube hole 53a of the connection member 53 of the sample introduction probe 10 communicates with the sample introduction hole 21a. Further, the air pressure in the vacuum vessel 2 is evacuated in advance by the vacuum pump 5.

そのため、大気と真空容器２内の圧力差により、プローブ本体５１が真空容器２内に急激に引き込まれるおそれがある。上述したように、プローブ本体５１における軸方向の一側への移動は、第１ストッパ機構である第１連結プレート５５とガイドロッド５４の第２ガイド部５４ｂによって規制されている。その結果、試料保持部５２や、この試料保持部５２に保持された試料が真空容器２内に収容されたイオン源に衝突し、破損することを防ぐことができる。 Therefore, the probe main body 51 may be suddenly drawn into the vacuum vessel 2 due to the pressure difference between the atmosphere and the vacuum vessel 2. As described above, the movement of the probe body 51 to one side in the axial direction is regulated by the first connecting plate 55, which is the first stopper mechanism, and the second guide portion 54b of the guide rod 54. As a result, it is possible to prevent the sample holding unit 52 and the sample held in the sample holding unit 52 from colliding with the ion source housed in the vacuum vessel 2 and being damaged.

次に、図１０に示すように、ガイドロッド５４を鉛直方向の上方に向けて持ち上げる（ステップＳ１５）。ガイドロッド５４を持ち上げることで、ガイドロッド５４がプローブ本体５１に接近する。そして、図１１に示すように、第１ガイド部５４ａが第１連結プレート５５の連通部５５ｄを通過して、解除孔５５ｃまで移動する。これにより、第２ガイド部５４ｂが解除孔５５ｃを臨む。その結果、プローブ本体５１及びガイドロッド５４における軸方向の一端側への移動が解除される。 Next, as shown in FIG. 10, the guide rod 54 is lifted upward in the vertical direction (step S15). By lifting the guide rod 54, the guide rod 54 approaches the probe main body 51. Then, as shown in FIG. 11, the first guide portion 54a passes through the communication portion 55d of the first connecting plate 55 and moves to the release hole 55c. As a result, the second guide portion 54b faces the release hole 55c. As a result, the movement of the probe main body 51 and the guide rod 54 toward one end in the axial direction is released.

また、ガイドロッド５４に固定された第２連結プレート５６も同様に、図１２に示すように、摺動孔５６ａがプローブ本体５１の二面幅部５１ａ、５１ａを摺動し、鉛直方向の上方に移動する。上述したように、第１連結プレート５５の連通部５５ｄ及び第２連結プレート５６の摺動孔５６ａは、鉛直方向に沿って延在している。そのため、ステップＳ１５のガイドロッド５４を持ち上げる動作は、使用者が、プローブ本体５１とガイドロッド５４の両方を把持し、ガイドロッド５４をプローブ本体５１に向けて握り込むことで容易に行うことができる。 Similarly, as shown in FIG. 12, the second connecting plate 56 fixed to the guide rod 54 also has the sliding holes 56a sliding on the width across flats 51a and 51a of the probe main body 51 and upward in the vertical direction. Move to. As described above, the communication portion 55d of the first connecting plate 55 and the sliding hole 56a of the second connecting plate 56 extend along the vertical direction. Therefore, the operation of lifting the guide rod 54 in step S15 can be easily performed by the user grasping both the probe main body 51 and the guide rod 54 and grasping the guide rod 54 toward the probe main body 51. ..

図１０に示すように、ガイドロッド５４を持ち上げることで、ガイドロッド５４の軸方向の一端部が、挿入防止板４４のロッド挿通孔４４ａ、バルブプレート４１のロッド挿入孔４１ｂ、及びガイドロッド挿入部２４の筒孔２４ａを臨む。そして、試料導入プローブ１０のプローブ本体５１を真空容器２に収容されたイオン源３に向けて挿入する（ステップＳ１６）。 As shown in FIG. 10, by lifting the guide rod 54, one end of the guide rod 54 in the axial direction becomes the rod insertion hole 44a of the insertion prevention plate 44, the rod insertion hole 41b of the valve plate 41, and the guide rod insertion portion. It faces the cylinder hole 24a of 24. Then, the probe body 51 of the sample introduction probe 10 is inserted toward the ion source 3 housed in the vacuum vessel 2 (step S16).

これにより、図１３に示すように、試料保持部５２は、プローブ挿通孔４２ａ、ゲート側挿通孔４３ａ、バルブ側試料導入孔４１ａ及び試料導入孔２１ａを通過して、真空容器２内に挿入される。また、プローブ本体５１が挿入されることで、プローブ本体５１と二面幅部５１ａ、５１ａを介して連結された第２連結プレート５６も、真空容器２に向けて移動する。そのため、第２連結プレート５６に固定されたガイドロッド５４も、プローブ本体５１と共に真空容器２に向けて移動する。 As a result, as shown in FIG. 13, the sample holding portion 52 passes through the probe insertion hole 42a, the gate side insertion hole 43a, the valve side sample introduction hole 41a, and the sample introduction hole 21a, and is inserted into the vacuum vessel 2. To. Further, when the probe main body 51 is inserted, the second connecting plate 56 connected to the probe main body 51 via the width across flat portions 51a and 51a also moves toward the vacuum container 2. Therefore, the guide rod 54 fixed to the second connecting plate 56 also moves toward the vacuum vessel 2 together with the probe main body 51.

そして、ガイドロッド５４の第２ガイド部５４ｂは、第１連結プレート５５の解除孔５５ｃを挿通する。また、第１ガイド部５４ａは、挿入防止板４４のロッド挿通孔４４ａ、バルブプレート４１のロッド挿入孔４１ｂを介してガイドロッド挿入部２４の筒孔２４ａ内に挿入される。 Then, the second guide portion 54b of the guide rod 54 inserts the release hole 55c of the first connecting plate 55. Further, the first guide portion 54a is inserted into the tubular hole 24a of the guide rod insertion portion 24 via the rod insertion hole 44a of the insertion prevention plate 44 and the rod insertion hole 41b of the valve plate 41.

なお、試料保持部５２における軸心周りの回転方向の向きがイオン源３に対して正しくない姿勢で挿入された場合、試料保持部５２がイオン源３と干渉したり、イオン源３の高電圧部により試料保持部５２が破損したり、するおそれがある。しかしながら、本例の質量分析装置１では、試料保持部５２が正しくない姿勢で挿入された場合、ガイドロッド５４がロッド挿通孔４４ａやガイドロッド挿入部２４に挿入されず、ガイドロッド５４が挿入防止板４４やバルブプレート４１等に当接する。 If the sample holding unit 52 is inserted in an incorrect orientation with respect to the ion source 3 in the direction of rotation around the axis, the sample holding unit 52 may interfere with the ion source 3 or the high voltage of the ion source 3 may occur. The sample holding portion 52 may be damaged or damaged depending on the portion. However, in the mass spectrometer 1 of this example, when the sample holding portion 52 is inserted in an incorrect posture, the guide rod 54 is not inserted into the rod insertion hole 44a or the guide rod insertion portion 24, and the guide rod 54 is prevented from being inserted. It comes into contact with the plate 44, the valve plate 41, and the like.

これに対して、試料保持部５２が正しい姿勢で挿入された場合、上述したように、第１ガイド部５４ａは、挿入防止板４４のロッド挿通孔４４ａ、バルブプレート４１のロッド挿入孔４１ｂを介してガイドロッド挿入部２４の筒孔２４ａ内に挿入される。これにより、本例の質量分析装置１によれば、試料保持部５２が誤った姿勢で挿入されることを防ぐことができる。ガイドロッド５４、挿入防止板４４及びガイドロッド挿入部２４により質量分析装置１の第３ストッパ機構が構成される。 On the other hand, when the sample holding portion 52 is inserted in the correct posture, as described above, the first guide portion 54a passes through the rod insertion hole 44a of the insertion prevention plate 44 and the rod insertion hole 41b of the valve plate 41. It is inserted into the tubular hole 24a of the guide rod insertion portion 24. As a result, according to the mass spectrometer 1 of this example, it is possible to prevent the sample holding portion 52 from being inserted in an incorrect posture. The guide rod 54, the insertion prevention plate 44, and the guide rod insertion portion 24 constitute a third stopper mechanism of the mass spectrometer 1.

次に、プローブ本体５１を更に挿入し、試料保持部５２をイオン源３に設置する（ステップＳ１７）。これにより、本例の質量分析装置１を用いた質量導入作業が完了する。 Next, the probe body 51 is further inserted, and the sample holding portion 52 is installed in the ion source 3 (step S17). As a result, the mass introduction work using the mass spectrometer 1 of this example is completed.

本例の質量分析装置１によれば、第１ストッパ機構であるガイドロッド５４と第１連結プレート５５によってプローブ本体５１が使用者の意図に反してプローブ接続部２３の筒孔２３ａ内や真空容器２内に引き込まれることを防ぐことができる。また、第１ストッパ機構が解除されても、バルブ開閉機構２２が閉じている場合には、第２ストッパ機構である挿入防止板４４及びガイドロッド５４によってプローブ本体５１の挿入動作を規制することができる。さらに、第３ストッパ機構であるガイドロッド５４とガイドロッド挿入部２４によって、試料保持部５２を正しい姿勢でイオン源３まで挿入させることができる。 According to the mass spectrometer 1 of this example, the probe main body 51 is placed in the tubular hole 23a of the probe connecting portion 23 or in the vacuum container by the guide rod 54 and the first connecting plate 55, which are the first stopper mechanisms, against the intention of the user. It is possible to prevent being drawn into the 2. Further, even if the first stopper mechanism is released, if the valve opening / closing mechanism 22 is closed, the insertion operation of the probe main body 51 can be regulated by the insertion prevention plate 44 and the guide rod 54, which are the second stopper mechanism. it can. Further, the guide rod 54 and the guide rod insertion portion 24, which are the third stopper mechanisms, allow the sample holding portion 52 to be inserted into the ion source 3 in the correct posture.

このように、使用者の誤操作が、１本のガイドロッド５４の操作に対して３つのストッパ機構によって防止されるため、試料を導入する作業を容易に行うことができる。さらに、第１ストッパ機構、第２ストッパ機構及び第３ストッパ機構を１本のガイドロッド５４に集約されているため、試料導入プローブ１０にそれぞれに対応する部材を設ける必要がなく、試料導入プローブ１０の小型化を図ることもできる。 In this way, since the user's erroneous operation is prevented by the three stopper mechanisms for the operation of one guide rod 54, the work of introducing the sample can be easily performed. Further, since the first stopper mechanism, the second stopper mechanism, and the third stopper mechanism are integrated into one guide rod 54, it is not necessary to provide a member corresponding to each of the sample introduction probe 10, and the sample introduction probe 10 It is also possible to reduce the size of the.

また、第２ストッパ機構の解除動作がバルブ開閉機構２２の開放動作に連動しているため、試料の導入作業を容易に行うことができる。 Further, since the release operation of the second stopper mechanism is linked to the opening operation of the valve opening / closing mechanism 22, the sample introduction work can be easily performed.

なお、本発明は上述しかつ図面に示した実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変形実施が可能である。 The present invention is not limited to the embodiments described above and shown in the drawings, and various modifications can be made without departing from the gist of the invention described in the claims.

なお、上述した実施の形態例では、フランジ部２１とバルブプレート４１とを別部材とした例を説明したが、これに限定されるものではない。例えば、フランジ部２１とバルブプレート４１を一体に構成してもよい。すなわち、フランジ部２１に回動部材４２を回動可能に取り付けると共に、フランジ部２１によって密閉ゲート４３を摺動可能に支持させてもよい。 In the above-described embodiment, an example in which the flange portion 21 and the valve plate 41 are used as separate members has been described, but the present invention is not limited to this. For example, the flange portion 21 and the valve plate 41 may be integrally formed. That is, the rotating member 42 may be rotatably attached to the flange portion 21, and the sealed gate 43 may be slidably supported by the flange portion 21.

さらに、挿入防止板４４を回動部材４２に設けた例を説明したが、これに限定されるものではなく、挿入防止板４４を密閉ゲート４３に設けてもよい。この場合、挿入防止板４４に設けたロッド挿通孔４４ａは、密閉ゲート４３に設けたゲート側挿通孔４３ａの鉛直方向の下方に配置される。 Further, although an example in which the insertion prevention plate 44 is provided on the rotating member 42 has been described, the present invention is not limited to this, and the insertion prevention plate 44 may be provided on the closed gate 43. In this case, the rod insertion hole 44a provided in the insertion prevention plate 44 is arranged below the gate side insertion hole 43a provided in the closed gate 43 in the vertical direction.

また、上述した実施の形態例では、回動部材４２の回動動作によってバルブ開閉機構２２の開閉動作を行った例を説明したが、バルブ開閉機構２２の開閉動作を行う構成は、これに限定されるものではない。例えば、密閉ゲート４３を開閉レバー４５によって直接摺動させるスライド型のバルブ開閉機構や、ロータリー型のバルブ開閉機構を用いてもよい。なお、いずれのバルブ開閉機構においても挿入防止板４４の動作は、バルブの開閉動作と連動するものである。 Further, in the above-described embodiment, an example in which the valve opening / closing mechanism 22 is opened / closed by the rotating operation of the rotating member 42 has been described, but the configuration for opening / closing the valve opening / closing mechanism 22 is limited to this. It is not something that is done. For example, a slide type valve opening / closing mechanism in which the closed gate 43 is directly slid by the opening / closing lever 45, or a rotary type valve opening / closing mechanism may be used. In any of the valve opening / closing mechanisms, the operation of the insertion prevention plate 44 is linked to the valve opening / closing operation.

さらに、上述した実施の形態例では、ガイドロッド５４が挿入されるガイドロッド挿入部２４を試料導入孔２１ａの鉛直方向の下方に配置した例を説明したが、これに限定されるものではない。例えば、ガイドロッド挿入部２４を試料導入孔２１ａの鉛直方向の上方や、水平方向の左右に配置してもよい。 Further, in the above-described embodiment, the guide rod insertion portion 24 into which the guide rod 54 is inserted is arranged below the sample introduction hole 21a in the vertical direction, but the present invention is not limited to this. For example, the guide rod insertion portion 24 may be arranged above the sample introduction hole 21a in the vertical direction or on the left and right in the horizontal direction.

また、ガイドロッド５４が初期状態では、その自重により鉛直方向に沿って下がる例を説明したが、これに限定されるものではない。例えば、コイルばね、板ばねやゴム等の付勢部材によってガイドロッド５４をプローブ本体５１から離反させる方向に付勢させてもよく、あるいはガイドロッド５４をプローブ本体５１に接近する方向に付勢させてもよい。 Further, in the initial state, the guide rod 54 is lowered along the vertical direction due to its own weight, but the present invention is not limited to this. For example, the guide rod 54 may be urged in a direction away from the probe main body 51 by an urging member such as a coil spring, a leaf spring, or rubber, or the guide rod 54 may be urged in a direction approaching the probe main body 51. You may.

なお、本明細書において、「平行」及び「直交」等の単語を使用したが、これらは厳密な「平行」及び「直交」のみを意味するものではなく、「平行」及び「直交」を含み、さらにその機能を発揮し得る範囲にある、「略平行」や「略直交」の状態であってもよい。 Although words such as "parallel" and "orthogonal" have been used in the present specification, these do not mean only strict "parallel" and "orthogonal", but include "parallel" and "orthogonal". Further, it may be in a "substantially parallel" or "substantially orthogonal" state within a range in which the function can be exhibited.

１…質量分析装置、２…真空容器、２ａ…開口部、２ｂ…排気口、３…イオン源、４…質量分析部、５…真空ポンプ、６…試料導入機構、１０…試料導入プローブ、２１…フランジ部、２１ａ…試料導入孔、２１ｂ…挿入部取り付け孔、２２…バルブ開閉機構、２３…プローブ接続部、２３ａ…筒孔、２３ｂ…接続側排気孔、２４…ガイドロッド挿入部、２４ａ…筒孔、２５…予備真空ポンプ、２６…予備排気バルブ、２７…予備排気管、３１、３２、３３…Ｏリング、４１…バルブプレート、４１ａ…バルブ側試料導入孔、４１ｂ…ロッド挿入孔、４１ｃ…スライド溝、４２…回動部材、４２ａ…プローブ挿通孔、４３…密閉ゲート、４３ａ…ゲート側挿通孔、４４…挿入防止板、４４ａ…ロッド挿通孔、４５…開閉レバー、５１…プローブ本体、５１ａ…二面幅部、５２…試料保持部、５３…接続部材、５３ａ…筒孔、５３ｂ…支持孔、５４…ガイドロッド、５４ａ…第１ガイド部、５４ｂ…第２ガイド部、５５…第１連結プレート、５５ａ…挿通孔、５５ｂ…規制孔、５５ｃ…解除孔、５５ｄ…連通部、５６…第２連結プレート、５６ａ…摺動孔、５６ｂ…固定部、５７…把持部 1 ... Mass analyzer, 2 ... Vacuum vessel, 2a ... Opening, 2b ... Exhaust port, 3 ... Ion source, 4 ... Mass analyzer, 5 ... Vacuum pump, 6 ... Sample introduction mechanism, 10 ... Sample introduction probe, 21 ... Flange part, 21a ... Sample introduction hole, 21b ... Insertion part mounting hole, 22 ... Valve opening / closing mechanism, 23 ... Probe connection part, 23a ... Cylinder hole, 23b ... Connection side exhaust hole, 24 ... Guide rod insertion part, 24a ... Cylinder hole, 25 ... Spare vacuum pump, 26 ... Spare exhaust valve, 27 ... Spare exhaust pipe, 31, 32, 33 ... O ring, 41 ... Valve plate, 41a ... Valve side sample introduction hole, 41b ... Rod insertion hole, 41c … Slide groove, 42… Rotating member, 42a… Probe insertion hole, 43… Sealed gate, 43a… Gate side insertion hole, 44… Insertion prevention plate, 44a… Rod insertion hole, 45… Open / close lever, 51… Probe body, 51a ... width across flats, 52 ... sample holding part, 53 ... connecting member, 53a ... cylinder hole, 53b ... support hole, 54 ... guide rod, 54a ... first guide part, 54b ... second guide part, 55 ... second 1 connection plate, 55a ... insertion hole, 55b ... regulation hole, 55c ... release hole, 55d ... communication part, 56 ... second connection plate, 56a ... sliding hole, 56b ... fixing part, 57 ... grip part

Claims

A vacuum container that houses the ion source and
A sample introduction mechanism provided in the vacuum vessel and having a sample introduction hole,
A sample introduction probe for introducing a sample held from the sample introduction hole into the ion source is provided.
The sample introduction probe is
A probe body having a sample holding portion for holding the sample,
A guide rod that is provided in parallel with the axial direction of the probe body and moves along the axial direction together with the probe body is provided.
The sample introduction mechanism is
A valve opening / closing mechanism that covers the sample introduction hole so that it can be opened / closed,
The guide rod insertion part into which the guide rod is inserted and
It operates in conjunction with the opening / closing operation of the valve opening / closing mechanism, and is provided with an insertion prevention plate that covers the guide rod insertion portion when the valve opening / closing mechanism is closed to cover the sample introduction hole.
The insertion prevention plate is formed with a rod insertion hole through which the guide rod can be inserted, and when the valve opening / closing mechanism opens the sample introduction hole, the rod insertion hole faces the guide rod insertion portion. apparatus.

The sample introduction probe is
It has a connecting plate that connects the probe body and the guide rod.
The mass spectrometer according to claim 1, wherein the connecting plate supports the guide rod so as to be able to approach and separate from the probe body.

The guide rod
A first guide portion provided at one end of the probe body in the direction of insertion into the vacuum container, and a first guide portion.
It has a second guide portion that is continuous from the other end of the first guide portion in the insertion direction and has an outer diameter larger than the outer diameter of the first guide portion.
The connecting plate has
An insertion hole through which the probe body is inserted,
A regulation hole through which the first guide portion is inserted and restricting the insertion of the second guide portion,
A release hole through which the second guide portion can be inserted,
The mass spectrometer according to claim 2, further comprising a communication portion for communicating the regulation hole and the release hole.

The sample introduction probe is
A connecting member that accommodates the sample holding portion and slidably supports the probe body is provided.
The sample introduction mechanism is
The mass spectrometer according to any one of claims 1 to 3, further comprising a probe connecting portion into which the connecting member is inserted.

The guide rod is arranged below the probe body in the vertical direction.
The mass spectrometer according to any one of claims 1 to 4, wherein the guide rod insertion portion is arranged below the sample introduction hole in the vertical direction.