JP6829320B2 - Clamp unit - Google Patents

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Description

本明細書で開示される技術は、電子部品が搭載される基板をクランプする技術に関する。 The techniques disclosed herein relate to techniques for clamping a substrate on which electronic components are mounted.

従来から、電子部品に基板を搭載する部品搭載装置が知られている。下記特許文献1には、基板に対して搭載する電子部品を、一対のクランプ爪を用いてクランプする方法が開示されている。 Conventionally, a component mounting device for mounting a substrate on an electronic component has been known. The following Patent Document 1 discloses a method of clamping an electronic component mounted on a substrate by using a pair of clamp claws.

特開2006−269793号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2006-269793

電子部品搭載装置は、クランプ装置によりクランプした基板に対して、電子部品を搭載することがある。基板の位置や向きなどを調整するため、クランプ装置全体が軸方向や回転方向に変位できる場合がある。そのため、クランプ装置を軸方向や回転方向に変位させた場合でも、基板がずれないように、基板を強固にクランプすることが求められていた。 The electronic component mounting device may mount the electronic component on the substrate clamped by the clamping device. In order to adjust the position and orientation of the substrate, the entire clamp device may be displaced in the axial direction or the rotational direction. Therefore, it has been required to firmly clamp the substrate so that the substrate does not shift even when the clamping device is displaced in the axial direction or the rotational direction.

本明細書で開示される技術は、上記の課題に鑑みて創作されたものであって、クランプ装置を軸方向や回転方向に変位させた場合に、基板を強固にクランプすることを課題とする。 The technique disclosed in the present specification has been created in view of the above problems, and an object of the present invention is to firmly clamp a substrate when the clamping device is displaced in the axial direction or the rotational direction. ..

本明細書で開示されるクランプユニットであって、電子部品が搭載される基板を取り付ける冶具と、前記冶具を介して前記基板をクランプするクランプ装置と、を備え、前記冶具は、前記基板を取り付けるベースと、前記ベースの下面に固定されたリング状をなすリング部材と、を備え、前記リング部材は、内面のうち、周方向の少なくとも2等配の位置に溝部を有し、前記クランプ装置は、シリンダ本体と、前記シリンダ本体に供給する流体の圧力により、前記シリンダ本体の径方向に移動して前記溝部に係止する爪部を有するロック部材と、を備え、前記溝部は、前記シリンダ本体の軸線に対して径方向に所定角度、傾斜した形状であり、前記爪部は、前記溝部と同様に前記径方向に前記所定角度、傾斜した形状である。 The clamp unit disclosed in the present specification includes a jig for mounting a substrate on which an electronic component is mounted, and a clamp device for clamping the substrate via the jig, and the jig mounts the substrate. The clamp device includes a base and a ring-shaped ring member fixed to the lower surface of the base, and the ring member has grooves at at least two equidistant positions in the circumferential direction on the inner surface. A cylinder body and a lock member having a claw portion that moves in the radial direction of the cylinder body and locks to the groove portion by the pressure of a fluid supplied to the cylinder body, and the groove portion is the cylinder body. The claw portion has a shape inclined at a predetermined angle in the radial direction with respect to the axis of the above, and the claw portion has a shape inclined at a predetermined angle in the radial direction in the same manner as the groove portion.

本構成では、爪部が溝部に嵌合して係止する構成であることから、クランプ装置に対して冶具が周方向に回転することを抑制できる。また、溝部は、シリンダ本体の軸線に対して傾斜した形状であるから、冶具が軸方向へも抜け難くなる。そのため、基板を強固にクランプすることができる。 In this configuration, since the claw portion is fitted into the groove portion and locked, it is possible to suppress the jig from rotating in the circumferential direction with respect to the clamp device. Further, since the groove portion has a shape inclined with respect to the axis of the cylinder body, it is difficult for the jig to come off in the axial direction. Therefore, the substrate can be firmly clamped.

クランプユニットの一実施形態として、前記溝部の断面形状は、平面形状であることが好ましい。 As one embodiment of the clamp unit, the cross-sectional shape of the groove portion is preferably a planar shape.

クランプユニットの一実施形態として、前記溝部の断面形状は、V字形状であることが好ましい。 As one embodiment of the clamp unit, the cross-sectional shape of the groove is preferably V-shaped.

クランプユニットの一実施形態として、前記溝部の断面形状は、円弧形状であることが好ましい。 As one embodiment of the clamp unit, the cross-sectional shape of the groove is preferably an arc shape.

本明細書で開示される技術によれば、基板を強固にクランプすることができる。 According to the techniques disclosed herein, the substrate can be clamped tightly.

実施形態1における、部品搭載装置の平面図Top view of the component mounting device according to the first embodiment 部品搭載装置の正面図Front view of component mounting device 部品搭載装置の側面図Side view of component mounting device ロボットの斜視図Robot perspective ロボットの一部を拡大した斜視図Enlarged perspective view of a part of the robot ロボットの側面図Side view of the robot 冶具の斜視図Perspective view of jig 冶具を裏返した状態を示す斜視図Perspective view showing the state where the jig is turned inside out 冶具の下面図Bottom view of the jig クランプ装置の平面図Top view of the clamp device 図10のA−A線断面図FIG. 10 is a sectional view taken along line AA. 図10のA−A線断面図FIG. 10 is a sectional view taken along line AA. 図10のA−A線断面図FIG. 10 is a sectional view taken along line AA. リング部材及びロック部材の斜視図Perspective view of ring member and lock member 溝部の断面図(図12のB−B線断面図)Cross-sectional view of the groove (cross-sectional view taken along line BB in FIG. 12) 実施形態2における、リング部材とロック部材の平面図Top view of the ring member and the lock member in the second embodiment リング部材とロック部材の斜視図Perspective view of ring member and lock member 溝部の断面図Cross-sectional view of the groove 他の実施形態における、溝部の断面図Sectional view of the groove in another embodiment カムとロック部材の側面図Side view of cam and lock member ロック部材を図20のC方向から見た図The view which saw the lock member from the C direction of FIG.

<実施形態1>
1.部品搭載装置の説明
図1は部品搭載装置の平面図、図2は部品搭載装置の正面図、図3は部品搭載装置の側面図である。部品搭載装置1は、立体形状をした基板Pに部品5を搭載する装置である。尚、以下の説明において、図1の左右方向(基板Pの搬送方向)をX方向、図1の上下方向(基板の搬送方向に対して直交する方向)をY方向とする。また、図2、3の上下方向をZ方向とする。
<Embodiment 1>
1. 1. Description of the component mounting device FIG. 1 is a plan view of the component mounting device, FIG. 2 is a front view of the component mounting device, and FIG. 3 is a side view of the component mounting device. The component mounting device 1 is a device for mounting the component 5 on a three-dimensionally shaped substrate P. In the following description, the left-right direction of FIG. 1 (the transport direction of the substrate P) is the X direction, and the vertical direction of FIG. 1 (the direction orthogonal to the transport direction of the substrate) is the Y direction. Further, the vertical direction of FIGS. 2 and 3 is defined as the Z direction.

また本明細書において、基板Pとは、「電子部品5が搭載される対象物」を指し、特に形状が板状であることを限定するものではない。 Further, in the present specification, the substrate P refers to an "object on which the electronic component 5 is mounted", and is not particularly limited to having a plate shape.

部品搭載装置1は、基台10と、ロボット20と、基板Pに対して部品5を搭載するヘッドユニット70と、ヘッドユニット70を基台10上において平面方向(XY方向)に移動させる移動装置80と、を含む。 The component mounting device 1 is a moving device that moves the base 10, the robot 20, the head unit 70 that mounts the component 5 on the substrate P, and the head unit 70 in the plane direction (XY direction) on the base 10. 80 and.

ロボット20は、基板Pを保持してハンドリングする装置である。ハンドリングとは、保持した基板Pを移動することである。図1に示すように、ロボット20は、基台10上に配置されている。ロボット20は、ロボット本体30と、ロボット本体30に取り付けられたクランプ装置50とを含む。クランプ装置50は、冶具Uを介して、基板Pをクランプする装置である。 The robot 20 is a device that holds and handles the substrate P. Handling is to move the held substrate P. As shown in FIG. 1, the robot 20 is arranged on the base 10. The robot 20 includes a robot main body 30 and a clamp device 50 attached to the robot main body 30. The clamp device 50 is a device that clamps the substrate P via the jig U.

以下、ロボット本体30の構成を説明する。ロボット本体30は、図4〜図6に示すように、支柱31と、支柱31に沿ってZ方向にスライドするスライド部33と、モータM1を有している。支柱31には、Z方向に沿って、ボールねじ軸Lzが取り付けられている。ボールねじ軸Lzは、スライド部33に取り付けられたナット34と共に、ボールねじ機構を構成している。モータM1は、ボールねじ機構の動力源であり、ベルト35を介してボールねじ軸Lzに連結されている。そのため、モータM1を駆動してボールねじ軸Lzを回転させると、ボールねじ機構の作用により、スライド部33が支柱31に沿ってZ方向にスライドすることが出来る。 Hereinafter, the configuration of the robot main body 30 will be described. As shown in FIGS. 4 to 6, the robot main body 30 has a support column 31, a slide portion 33 that slides in the Z direction along the support column 31, and a motor M1. A ball screw shaft Lz is attached to the support column 31 along the Z direction. The ball screw shaft Lz constitutes a ball screw mechanism together with the nut 34 attached to the slide portion 33. The motor M1 is a power source of the ball screw mechanism and is connected to the ball screw shaft Lz via a belt 35. Therefore, when the motor M1 is driven to rotate the ball screw shaft Lz, the slide portion 33 can slide in the Z direction along the support column 31 by the action of the ball screw mechanism.

また、ロボット本体30は、第1回転軸Ls1と、第1回転軸Ls1の先端に取り付けられた回転板41と、モータM2を有している。第1回転軸Ls1は、軸線が水平方向に沿った水平軸であり、スライド部33に固定されたプレート40に対して、軸受け37を介して回転可能に支持されている。モータM2のモータ軸は、ベルト38を介して第1回転軸Ls1に連結されている。そのため、モータM2を駆動させると、第1回転軸Ls1が回転し、回転板41が第1回転軸Ls1を中心に、S1方向に回転する。S1方向への回転を以下、チルトと呼ぶ。 Further, the robot main body 30 has a first rotating shaft Ls1, a rotating plate 41 attached to the tip of the first rotating shaft Ls1, and a motor M2. The first rotation axis Ls1 is a horizontal axis whose axis is along the horizontal direction, and is rotatably supported by a plate 40 fixed to the slide portion 33 via a bearing 37. The motor shaft of the motor M2 is connected to the first rotation shaft Ls1 via a belt 38. Therefore, when the motor M2 is driven, the first rotating shaft Ls1 rotates, and the rotating plate 41 rotates about the first rotating shaft Ls1 in the S1 direction. The rotation in the S1 direction is hereinafter referred to as tilt.

また、ロボット本体30は、第2回転軸Ls2と、第2回転軸Ls2の先端に取り付けられたクランプ装置50と、モータM3を有している。第2回転軸Ls2は、チルト角がゼロ度の状態で、鉛直な鉛直軸であり、回転板41に対して軸受け43を介して回転可能に支持されている。モータM3のモータ軸はベルト45を介して第2回転軸Ls2に連結されている。そのため、モータM3を駆動させると、第2回転軸Ls2が回転し、クランプ装置50が第2回転軸Ls2を中心にS2方向に回転する。 Further, the robot main body 30 has a second rotation shaft Ls2, a clamp device 50 attached to the tip of the second rotation shaft Ls2, and a motor M3. The second rotating shaft Ls2 is a vertical vertical shaft in a state where the tilt angle is zero degrees, and is rotatably supported by the rotating plate 41 via a bearing 43. The motor shaft of the motor M3 is connected to the second rotating shaft Ls2 via a belt 45. Therefore, when the motor M3 is driven, the second rotation shaft Ls2 rotates, and the clamp device 50 rotates about the second rotation shaft Ls2 in the S2 direction.

上記のように、ロボット本体30は3つの駆動軸Lz、Ls1、Ls2を備えており、Z方向(上下方向)への移動と、S1方向及びS2方向への回転の3つの自由度を有している。そして、各モータM1〜3を駆動させることで、クランプ装置50に対して、以下(1)〜(3)の動きを独立又は複合的に行わせることが出来る。尚、自由度とは、ロボット1の運動の融通性を表す尺度であり、独立して行うことが出来る運動の数を意味する。一般に、駆動軸の数が、自由度の数となる。 As described above, the robot main body 30 is provided with three drive shafts Lz, Ls1 and Ls2, and has three degrees of freedom of movement in the Z direction (vertical direction) and rotation in the S1 direction and the S2 direction. ing. Then, by driving each of the motors M1 to 3, the clamp device 50 can be made to perform the following movements (1) to (3) independently or in combination. The degree of freedom is a measure of the flexibility of the movement of the robot 1, and means the number of movements that can be performed independently. Generally, the number of drive shafts is the number of degrees of freedom.

(1)Z方向への直線移動
(2)S1方向への回転(チルト)
(3)S2方向への回転
(1) Linear movement in the Z direction (2) Rotation (tilt) in the S1 direction
(3) Rotation in the S2 direction

ロボット20は、クランプ装置50によりクランプされた基板Pに対して部品5を搭載する際(搭載前)に、モータM2やモータM3を駆動して回転軸Ls1や回転軸Ls2を中心にクランプ装置50を回転することにより、部品装着面Paが水平になるように、基板Pの向きや角度を調整する。また、モータM1を駆動してZ方向(上下方向)にクランプ装置50を移動することにより、部品装着面PaのZ方向(上下方向)の高さが所定高さとなるように調整する。 When the component 5 is mounted on the substrate P clamped by the clamp device 50 (before mounting), the robot 20 drives the motors M2 and M3 and clamps the clamp device 50 centering on the rotation shaft Ls1 and the rotation shaft Ls2. The orientation and angle of the substrate P are adjusted so that the component mounting surface Pa becomes horizontal by rotating. Further, by driving the motor M1 and moving the clamp device 50 in the Z direction (vertical direction), the height of the component mounting surface Pa in the Z direction (vertical direction) is adjusted to be a predetermined height.

部品搭載装置1は、ヘッドユニット70と、ヘッドユニット70を基台10上において平面方向(XY方向)に移動させる移動装置80と、を含む。 The component mounting device 1 includes a head unit 70 and a moving device 80 that moves the head unit 70 in the plane direction (XY direction) on the base 10.

ヘッドユニット70は、図2に示すように、ユニット本体71と、吸着ヘッド73と、ディスペンサヘッド75とを備えている。吸着ヘッド73は、先端に負圧を生じさせることで部品5を保持することが出来る。ディスペンサヘッド75は、先端に吐出孔を有しており、接着剤等を吐出する。 As shown in FIG. 2, the head unit 70 includes a unit main body 71, a suction head 73, and a dispenser head 75. The suction head 73 can hold the component 5 by generating a negative pressure at the tip. The dispenser head 75 has a discharge hole at the tip thereof, and discharges an adhesive or the like.

吸着ヘッド73とディスペンサヘッド75は、ユニット本体71に対してX方向に並んで取り付けられている。これら吸着ヘッド73とディスペンサヘッド75は、モータM6を駆動させることで、ユニット本体71に対して、Z方向に移動することが出来る。また、ヘッドユニット70には、基板認識カメラ77や変位センサ78が搭載されている。 The suction head 73 and the dispenser head 75 are attached side by side in the X direction with respect to the unit main body 71. The suction head 73 and the dispenser head 75 can move in the Z direction with respect to the unit main body 71 by driving the motor M6. Further, the head unit 70 is equipped with a substrate recognition camera 77 and a displacement sensor 78.

移動装置80は、ヘッドユニット70を基台10上にて、X方向及びY方向に移動させる装置である。移動装置80は、Y方向に沿った一対のYビーム81と、Xビーム85と、第1直線軸83、第2直線軸87、モータM4、モータM5を備えている。 The moving device 80 is a device that moves the head unit 70 in the X direction and the Y direction on the base 10. The moving device 80 includes a pair of Y beams 81 along the Y direction, an X beam 85, a first linear axis 83, a second linear axis 87, a motor M4, and a motor M5.

Xビーム85は、X方向に長い形状であり、Yビーム81に対して、X方向の両端をスライド可能に支持されている。第1直線軸83は、Yビーム81に取り付けられ、Y方向に沿っている。第1直線軸83は、例えば、ボールねじ軸である。第1直線軸83は、Xビーム85に取り付けられたボールナットと共にボールねじ機構を構成している。そのため、モータM4を駆動して、第1直線軸83を回転させると、ボールねじ機構の作用により、Yビーム81に対して、Xビーム85及びヘッドユニット70をY方向に移動させることが出来る。 The X beam 85 has a shape long in the X direction, and is slidably supported at both ends in the X direction with respect to the Y beam 81. The first linear axis 83 is attached to the Y beam 81 and is along the Y direction. The first linear shaft 83 is, for example, a ball screw shaft. The first linear shaft 83 constitutes a ball screw mechanism together with a ball nut attached to the X beam 85. Therefore, when the motor M4 is driven to rotate the first linear shaft 83, the X beam 85 and the head unit 70 can be moved in the Y direction with respect to the Y beam 81 by the action of the ball screw mechanism.

ヘッドユニット70は、Xビーム85に対して、スライド可能に取り付けられている。第2直線軸87は、Xビーム85に取り付けられ、X方向に沿っている。第2直線軸87は、例えば、ボールねじである。第2直線軸87は、ヘッドユニット70に取り付けられたボールナットと共にボールねじ機構を構成している。そのため、モータM5を駆動して、第2直線軸87を回転させると、ボールねじ機構の作用により、Xビーム81に対して、ヘッドユニット70をX方向に移動させることが出来る。 The head unit 70 is slidably attached to the X beam 85. The second linear axis 87 is attached to the X beam 85 and is along the X direction. The second linear axis 87 is, for example, a ball screw. The second linear shaft 87 constitutes a ball screw mechanism together with a ball nut attached to the head unit 70. Therefore, when the motor M5 is driven to rotate the second linear shaft 87, the head unit 70 can be moved in the X direction with respect to the X beam 81 by the action of the ball screw mechanism.

このように移動装置80は、駆動源としてモータM4、モータM5を備えており、モータM4の駆動により、ヘッドユニット70及びXビーム85を基台10上においてY方向に移動することが出来、モータM5の駆動により、ヘッドユニット70を基台10上においてX方向に移動することが出来る。 As described above, the moving device 80 includes the motor M4 and the motor M5 as drive sources, and the head unit 70 and the X beam 85 can be moved in the Y direction on the base 10 by driving the motor M4. By driving the M5, the head unit 70 can be moved in the X direction on the base 10.

以上のことから、基台10上に設置された部品供給部11の上方にヘッドユニット70を移動した後、吸着ヘッド73を所定高さまで下降させつつ、部品5を吸着することで、部品供給部11から部品5を取り出すことができる。 From the above, after moving the head unit 70 above the component supply unit 11 installed on the base 10, the component supply unit is sucked by sucking the component 5 while lowering the suction head 73 to a predetermined height. Part 5 can be taken out from 11.

また、部品の取り出し後、ヘッドユニット70をロボット20に保持された基板Pの上方に移動した後、吸着ヘッド73を所定高さまで下降させつつ、部品5が基板Pの高さに至るタイミングに合わせて負圧による部品の保持を解くことで、ロボット20に保持された基板P上に、部品5を搭載することができる。 Further, after taking out the parts, the head unit 70 is moved above the substrate P held by the robot 20, and then the suction head 73 is lowered to a predetermined height while the component 5 reaches the height of the substrate P in accordance with the timing. By releasing the holding of the component by the negative pressure, the component 5 can be mounted on the substrate P held by the robot 20.

尚、基台10上には、部品認識カメラ90が設置されおり、吸着ヘッド73により保持された部品5を画像認識できるようになっている。 A component recognition camera 90 is installed on the base 10, so that the component 5 held by the suction head 73 can be image-recognized.

2.クランプユニット
クランプユニットUは、図6に示すように、電子部品5が搭載される基板Pを取り付ける冶具100と、冶具100を介して基板Pをクランプ(固定)するクランプ装置50と、とから構成されている。
2. 2. Clamp unit As shown in FIG. 6, the clamp unit U includes a jig 100 for mounting a substrate P on which an electronic component 5 is mounted, and a clamp device 50 for clamping (fixing) the substrate P via the jig 100. Has been done.

図7は冶具の斜視図、図8は冶具を裏返した状態の斜視図、図9は冶具の下面図である。図6〜図9に示すように、冶具100は、金属製のベース110と、リング部材120とを備える。 FIG. 7 is a perspective view of the jig, FIG. 8 is a perspective view of the jig turned inside out, and FIG. 9 is a bottom view of the jig. As shown in FIGS. 6 to 9, the jig 100 includes a metal base 110 and a ring member 120.

ベース110は平板状である。ベース110は、基板Pを位置決めする位置決め孔115を有している。一方、基板Pの底面には、位置決め孔115の相手となる突起Pbが設けられており、突起Pbを位置決め孔115に嵌合させることで、ベース110に対して、基板Pを回り止めしつつ、位置を決めることが出来る。また、ベース110に対する基板Pの固定はボルト締めにより行うことが出来る。尚、図7に示す符号117、118は、基板固定用のナットと、ボルトである。 The base 110 has a flat plate shape. The base 110 has a positioning hole 115 for positioning the substrate P. On the other hand, on the bottom surface of the substrate P, a protrusion Pb which is a partner of the positioning hole 115 is provided, and by fitting the protrusion Pb into the positioning hole 115, the substrate P is prevented from rotating with respect to the base 110. , You can decide the position. Further, the substrate P can be fixed to the base 110 by bolting. Reference numerals 117 and 118 shown in FIG. 7 are nuts and bolts for fixing the substrate.

リング部材120は、ベース110の下面に、溶接等により固定されている。リング部材120は、環状(リング形状)である。リング部材120の内面121には、周方向の3等配の位置(すなわち120°間隔)に、溝部125A、125B、125Cが設けられている。溝部125A、125B、125Cの断面形状は、図15に示すように、平面形状である。具体的には、爪部67に対する当接面となる、溝部125の奥面部分が平面形状である。尚、図15は、溝部125の傾斜に垂直な断面(図12のB−B線断面)である。 The ring member 120 is fixed to the lower surface of the base 110 by welding or the like. The ring member 120 has an annular shape (ring shape). Grooves 125A, 125B, and 125C are provided on the inner surface 121 of the ring member 120 at three equal positions in the circumferential direction (that is, at 120 ° intervals). As shown in FIG. 15, the cross-sectional shapes of the grooves 125A, 125B, and 125C are planar shapes. Specifically, the inner surface portion of the groove portion 125, which is the contact surface with the claw portion 67, has a planar shape. Note that FIG. 15 is a cross section perpendicular to the inclination of the groove portion 125 (cross section taken along line BB in FIG. 12).

図5はクランプ装置50の斜視図、図10はリング部材120をクランプしたクランプ装置の平面図、図11〜図13はクランプ装置50の断面図である。 5 is a perspective view of the clamp device 50, FIG. 10 is a plan view of the clamp device that clamps the ring member 120, and FIGS. 11 to 13 are cross-sectional views of the clamp device 50.

クランプ装置50は、空圧式であり、図5、図11〜13に示すように、筒状をしたシリンダ本体51と、ピストン53と、結合部材54と、カム55と、可動部材61と、ロック部材65とを備える。 The clamp device 50 is a pneumatic type, and as shown in FIGS. 5 and 11 to 13, a cylindrical cylinder body 51, a piston 53, a coupling member 54, a cam 55, a movable member 61, and a lock are provided. A member 65 is provided.

ピストン53は、シリンダ本体51の内部に位置している。シリンダ本体51の内部空間は、ピストン53により、2つの空気室F1、F2に区画されている。シリンダ本体51には、各空気室F1、F2に連通して、エアの供給経路Q1、Q2が設けられている。尚、エアが本発明の「流体」に相当する。 The piston 53 is located inside the cylinder body 51. The internal space of the cylinder body 51 is divided into two air chambers F1 and F2 by a piston 53. The cylinder body 51 is provided with air supply paths Q1 and Q2 communicating with the air chambers F1 and F2. Air corresponds to the "fluid" of the present invention.

カム55は、シリンダ本体51の軸線Lo上に位置している。カム55は、シリンダ本体51の上部壁52を貫通して上方に突出している。カム55は、結合部材54を介してピストン53に固定されている。 The cam 55 is located on the axis Lo of the cylinder body 51. The cam 55 penetrates the upper wall 52 of the cylinder body 51 and projects upward. The cam 55 is fixed to the piston 53 via the coupling member 54.

シリンダ本体51の2つの空気室F1、F2に供給経路Q1、Q2を通じて、エアを交互に供給することで、ピストン53及びカム55を、シリンダ本体51の軸線Loに沿った軸方向Lvに往復移動することが出来る。 By alternately supplying air to the two air chambers F1 and F2 of the cylinder body 51 through the supply paths Q1 and Q2, the piston 53 and the cam 55 are reciprocated in the axial Lv along the axis Lo of the cylinder body 51. Can be done.

カム55は、ピストン53の軸方向Lvの運動を利用して、ロック部材65A〜65Cをシリンダ本体51の径方向Lrに変位させる機能を果たす。径方向Lrとは、シリンダ本体51の中心に接近する方向及び中心から拡がる方向である。 The cam 55 functions to displace the lock members 65A to 65C in the radial direction Lr of the cylinder body 51 by utilizing the movement of the piston 53 in the axial direction Lv. The radial direction Lr is a direction approaching the center of the cylinder body 51 and a direction extending from the center.

可動部材61A〜61Cは、シリンダ本体51の上部であって、周方向の3等配の位置に配置されている。可動部材61は、径方向Lrに長いブロック状であり、シリンダ本体51に設けられたガイド溝59に沿って、シリンダ本体51の径方向Lrに移動可能である。 The movable members 61A to 61C are located above the cylinder body 51 and are arranged at three equal positions in the circumferential direction. The movable member 61 has a block shape long in the radial direction Lr, and can move in the radial direction Lr of the cylinder body 51 along the guide groove 59 provided in the cylinder body 51.

また、周方向の3等配の位置に配置された各可動部材61A、61B、61Cには、その上面に重ねてロック部材65A、65B、65Cが取り付けられている。 Further, lock members 65A, 65B, 65C are attached to the movable members 61A, 61B, 61C arranged at three equal positions in the circumferential direction so as to be superposed on the upper surface thereof.

ロック部材65A、65B、65Cは、リング部材120の溝部125A、125B、125Cと対応している。 The lock members 65A, 65B, 65C correspond to the groove portions 125A, 125B, 125C of the ring member 120.

ロック部材65A、65B、65Cは、L字型に屈曲しており、先端部に爪部67を有している。爪部67の断面形状は、平面形状である。具体的には、溝部125に対する当接面となる、爪部67の外面68が平面形状である。 The lock members 65A, 65B, and 65C are bent in an L shape and have a claw portion 67 at the tip portion. The cross-sectional shape of the claw portion 67 is a planar shape. Specifically, the outer surface 68 of the claw portion 67, which is the contact surface with respect to the groove portion 125, has a planar shape.

ロック部材65A、65B、65Cの爪部67は、リング部材120の各溝部125A、125B、125Cに嵌合可能である。尚、嵌合時における、溝部125A〜125Cに対する爪部67の隙間は、周方向のたつきを抑えるため、小さいことが好ましい。 The claw portion 67 of the lock members 65A, 65B, 65C can be fitted into the groove portions 125A, 125B, 125C of the ring member 120. The gap between the claw portions 67 with respect to the groove portions 125A to 125C at the time of fitting is preferably small in order to suppress the backlash in the circumferential direction.

図11は、クランプ装置50の断面図であり、解放状態を示している。この状態では、ロック部材65Aの爪部67は、リング部材120の内面121よりも中心側(図11の左側)に位置しており、溝部125Aに対して非嵌合である。 FIG. 11 is a cross-sectional view of the clamp device 50 and shows the released state. In this state, the claw portion 67 of the lock member 65A is located on the center side (left side in FIG. 11) of the inner surface 121 of the ring member 120, and is not fitted to the groove portion 125A.

図11の状態から、シリンダ本体51に供給経路Q2よりエアを供給して、カム55を突出方向(図11の上方向)に変位させると、可動部材61Aは、カム55の先端部に形成された作用部56Aの外面57を介して、径方向Lrの外向きに押される(図11の右方向)。これにより、ロック部材65Aは、径方向Lrの外向きに移動する。 When air is supplied to the cylinder body 51 from the state of FIG. 11 from the supply path Q2 and the cam 55 is displaced in the protruding direction (upward direction of FIG. 11), the movable member 61A is formed at the tip of the cam 55. It is pushed outward in the radial direction Lr through the outer surface 57 of the acting portion 56A (right direction in FIG. 11). As a result, the lock member 65A moves outward in the radial direction Lr.

ロック部材65Aが、図11に示す解放位置R1から図12に示すロック位置R2に至ると、爪部67は、リング部材120の内面121に設けられた溝部125Aに対して嵌合して係止する。このとき、溝部125Aに嵌合した爪部67の外面68は、溝部125Aに面当りする。 When the lock member 65A reaches the release position R1 shown in FIG. 11 to the lock position R2 shown in FIG. 12, the claw portion 67 fits and locks with the groove portion 125A provided on the inner surface 121 of the ring member 120. To do. At this time, the outer surface 68 of the claw portion 67 fitted to the groove portion 125A comes into contact with the groove portion 125A.

また同様に、ロック部材65Bの爪部67は、リング部材120の溝部125Bに嵌合して係止し、ロック部材65Cの爪部67は、リング部材120の溝部125Cに嵌合して係止する(図14参照)。 Similarly, the claw portion 67 of the lock member 65B is fitted and locked in the groove portion 125B of the ring member 120, and the claw portion 67 of the lock member 65C is fitted and locked in the groove portion 125C of the ring member 120. (See FIG. 14).

このように、エアの圧力を利用して、ロック部材65A〜65Cが径方向Lrの外側に拡がるように変位し、各ロック部材65A〜65Cの爪部67が、リング部材120の各溝部125A〜125Cに嵌合して係止する。このとき、溝部125A〜125Cに嵌合した各ロック部材65A〜65Cの爪部67の外面68は、溝部125A〜125Cに面当りする。そして、リング部材120は、内面121の3等配の位置を、3つのロック部材65A〜65により、径方向Lrの外向きに押される状態となる。以上により、リング部材120及び冶具100全体を、クランプして保持することが出来る。そして、エアの圧力を保持することで、クランプ状態を保持できる。 In this way, the lock members 65A to 65C are displaced so as to expand outward in the radial direction using the pressure of the air, and the claw portions 67 of the lock members 65A to 65C are displaced from the groove portions 125A to the ring member 120. It fits into 125C and locks. At this time, the outer surface 68 of the claw portion 67 of each of the lock members 65A to 65C fitted in the groove portions 125A to 125C comes into contact with the groove portions 125A to 125C. Then, the ring member 120 is in a state where the three equal positions of the inner surface 121 are pushed outward by the three lock members 65A to 65 in the radial direction Lr. As described above, the ring member 120 and the entire jig 100 can be clamped and held. Then, by holding the air pressure, the clamped state can be held.

また、図13に示すように、リング部材120の溝部125Aの形状は、シリンダ本体51の軸線Loに対して、径方向Lrに所定角度θ1、傾斜した形状である。具体的には、上側(抜け方向の前側)から下側(抜け方向の奥側)に向かって、溝深さDが浅くなっており、リング部材120の抜け方向(図13の上方向)に対して逆テーパーである。また、他の溝部125B、125Cも同形状であり、軸線Loに対して径方向Lrに所定角度θ1、傾斜した形状である。 Further, as shown in FIG. 13, the shape of the groove portion 125A of the ring member 120 is a shape inclined at a predetermined angle θ1 in the radial direction Lr with respect to the axis Lo of the cylinder body 51. Specifically, the groove depth D becomes shallower from the upper side (front side in the pull-out direction) to the lower side (back side in the pull-out direction), and in the pull-out direction of the ring member 120 (upward direction in FIG. 13). On the other hand, it has a reverse taper. Further, the other groove portions 125B and 125C also have the same shape, and are inclined at a predetermined angle θ1 in the radial direction Lr with respect to the axis Lo.

一方、ロック部材65Aの爪部67の外面(溝部への当接面)68は、溝部125Aと同様に、軸線Loに対して径方向Lrに所定角度θ1、傾斜した形状である。すなわち、溝部125Aと同じ方向に、同じ角度、傾斜した形状である。また、他のロック部材65B、65Cの爪部67も同形状であり、軸線Loに対して径方向Lrに所定角度θ1、傾斜した形状である。 On the other hand, the outer surface (contact surface with the groove) 68 of the claw portion 67 of the lock member 65A has a shape inclined at a predetermined angle θ1 in the radial direction Lr with respect to the axis Lo, similarly to the groove portion 125A. That is, the shape is inclined in the same direction as the groove portion 125A and at the same angle. Further, the claw portions 67 of the other lock members 65B and 65C also have the same shape, and are inclined at a predetermined angle θ1 in the radial direction Lr with respect to the axis Lo.

このように、溝部125A〜125Cの形状を、リング部材120の抜け方向(図11〜13の上方向)に対して逆テーパーとなる斜面にしておけば、図11〜図13の上方向に力が加わっても、リング部材120がクランプ装置50から抜け難い構造となる。 In this way, if the shapes of the groove portions 125A to 125C are made into a slope having a reverse taper with respect to the pull-out direction of the ring member 120 (upward direction of FIGS. 11 to 13), a force is applied in the upward direction of FIGS. 11 to 13. The ring member 120 has a structure that does not easily come off from the clamp device 50 even if

次にクランプ装置50による冶具100の保持を解除する場合について説明する。
シリンダ本体51にエアを供給して、カム55を後退方向(図12の下方向)に変位させると、可動部材61A〜61Cは、カム55により、径方向Lrの内向きに引き込まれる(図12の左方向)。これにより、各ロック部材65A〜65Cの爪部67が、リング部材120の各溝部125A〜125Cから離間するので、保持は解除される。
Next, a case where the holding of the jig 100 by the clamp device 50 is released will be described.
When air is supplied to the cylinder body 51 to displace the cam 55 in the backward direction (downward in FIG. 12), the movable members 61A to 61C are pulled inward in the radial direction Lr by the cam 55 (FIG. 12). To the left of). As a result, the claw portions 67 of the lock members 65A to 65C are separated from the groove portions 125A to 125C of the ring member 120, so that the holding is released.

3.効果説明
本構成では、ロック部材65A〜65Cの爪部67がリング部材120の溝部125A〜125Cに嵌合して係止する構成であることから、クランプ装置50に対して冶具100が周方向に回転することを抑制できる。また、溝部125A〜125Cは、シリンダ本体51の軸線Loに対して傾斜した形状であるから、冶具100が軸方向Lvへも抜け難くなる。
3. 3. Explanation of effect In this configuration, since the claw portions 67 of the lock members 65A to 65C are fitted into the groove portions 125A to 125C of the ring member 120 and locked, the jig 100 is circumferentially oriented with respect to the clamp device 50. It is possible to suppress rotation. Further, since the groove portions 125A to 125C have a shape inclined with respect to the axis Lo of the cylinder body 51, it becomes difficult for the jig 100 to come out in the axial direction Lv.

そのため、基板Pを強固にクランプすることができ、ロボット20でハンドリングした時に、基板Pの位置ずれを抑えることが出来る。従って、基板Pに対する部品の搭載精度を高めることが出来る。 Therefore, the substrate P can be firmly clamped, and the displacement of the substrate P can be suppressed when the robot 20 handles the substrate P. Therefore, the mounting accuracy of the component on the substrate P can be improved.

<実施形態2>
実施形態1では、リング部材120に対して、周方向の3等配の位置に、溝部125A〜125Cを設けた構成を例示した。
<Embodiment 2>
In the first embodiment, a configuration in which the groove portions 125A to 125C are provided at three equal positions in the circumferential direction with respect to the ring member 120 is illustrated.

実施形態2では、図16に示すように、リング部材220の内周221に対して、周方向の2等配の位置に溝部225A、225Bを設けている。溝部225A、225Bの断面形状は、図17、図18に示すように、V字形状である。 In the second embodiment, as shown in FIG. 16, groove portions 225A and 225B are provided at positions that are equally distributed in the circumferential direction with respect to the inner circumference 221 of the ring member 220. As shown in FIGS. 17 and 18, the cross-sectional shape of the groove portions 225A and 225B is V-shaped.

また、実施形態2では、図16に示すように、ロック部材65A、65Bの爪部267を円柱状のピンにより構成している。そして、図17、図18に示すように、ピン形状の爪部267を、V字形状の溝部225A、225Bに対して、係止させている。溝部225A、225BをV字形状にした場合、平面形状に比べて、クランプ装置50に対する冶具100の周方向のがたつきを小さくすることが出来る。 Further, in the second embodiment, as shown in FIG. 16, the claw portions 267 of the lock members 65A and 65B are formed of columnar pins. Then, as shown in FIGS. 17 and 18, the pin-shaped claw portion 267 is locked with respect to the V-shaped groove portions 225A and 225B. When the grooves 225A and 225B are V-shaped, the rattling of the jig 100 with respect to the clamp device 50 in the circumferential direction can be reduced as compared with the planar shape.

以上、実施形態について詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、請求の範囲を限定するものではない。請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。 Although the embodiments have been described in detail above, these are merely examples and do not limit the scope of claims. The techniques described in the claims include various modifications and modifications of the specific examples illustrated above.

(1)実施形態1では、ロボット20の一例として、3つの駆動軸Lz、Ls1、Ls2を備え、3つの自由度を持つ装置を例示した。ロボット20の構成は、実施形態1の構成に限定されるものではなく、他の構成、例えば多関節ロボットでもよい。また、自由度も3に限定されるものではない。4以上でもよい。 (1) In the first embodiment, as an example of the robot 20, an apparatus having three drive shafts Lz, Ls1 and Ls2 and having three degrees of freedom is illustrated. The configuration of the robot 20 is not limited to the configuration of the first embodiment, and other configurations such as an articulated robot may be used. Also, the degree of freedom is not limited to 3. It may be 4 or more.

(2)実施形態1では、リング部材120の内面121の3等配の位置に、溝部125A〜125Cを設けた。また、実施形態2では、リング部材220の内周221の2等配の位置に、溝部225A、225Bを設けた。溝部は、リング部材の内面のうち、少なくとも2等配以上の位置に設けられていればよく、4等配や、5等配の位置に設けるようにしてもよい。 (2) In the first embodiment, the groove portions 125A to 125C are provided at the three equal distribution positions of the inner surface 121 of the ring member 120. Further, in the second embodiment, the groove portions 225A and 225B are provided at the quasi-arranged positions of the inner circumference 221 of the ring member 220. The groove may be provided at least at least 2 equal or more positions on the inner surface of the ring member, and may be provided at 4 equal or 5 equal positions.

(3)実施形態2では、リング部材220の内周221に設けた溝部225A、225Bの断面形状をV字形状とした。これ以外にも、図19に示すように、溝部225の断面形状を円弧形状にしてもよい。 (3) In the second embodiment, the cross-sectional shape of the grooves 225A and 225B provided on the inner circumference 221 of the ring member 220 is V-shaped. In addition to this, as shown in FIG. 19, the cross-sectional shape of the groove portion 225 may be an arc shape.

(4)実施形態1では、カム55を後退方向(図12の下方向)に変位させることで、可動部材61A〜61Cを、径方向Lrの内向き(図12の左方向)に引き込んで、ロック部材65A〜65Cの爪部67を、リング部材120の各溝部125A〜125Cから離間させた。溝部125A〜125Cに対する爪部67の係止解除は、カム55を使用する場合に限らず、例えば、ばね等の弾性力を利用して、ロック部材65A〜65Cをロックの解除方向(図12の左方向)に移動させるようにしてもよい。 (4) In the first embodiment, the cam 55 is displaced in the retracting direction (downward in FIG. 12) to pull the movable members 61A to 61C inward in the radial direction Lr (leftward in FIG. 12). The claw portions 67 of the lock members 65A to 65C were separated from the groove portions 125A to 125C of the ring member 120. The unlocking of the claw portion 67 with respect to the groove portions 125A to 125C is not limited to the case where the cam 55 is used, and the locking members 65A to 65C are unlocked in the unlocking direction by using an elastic force such as a spring (FIG. 12). It may be moved to the left).

また、図20は、図21は、カム55によるロック部材65Aの引き込み構造を示した図である。図20、図21に示すように、カム55の先端に設けられた作用部55Aは、断面形状がT字型をしており、ロック部材65Aに設けられた作用溝66Aに対してスライド可能に嵌合する。作用部55Aと作用溝66Aは共に傾斜している。カム55を、図20の下方に移動させると、作用部56Aの内面58を介して、ロック部材65Aが径方向Lrの内向きに、引かれる構成となっている。 Further, FIG. 20 is a diagram showing a retracting structure of the lock member 65A by the cam 55. As shown in FIGS. 20 and 21, the working portion 55A provided at the tip of the cam 55 has a T-shaped cross section and is slidable with respect to the working groove 66A provided in the lock member 65A. Fit. Both the working portion 55A and the working groove 66A are inclined. When the cam 55 is moved downward in FIG. 20, the lock member 65A is pulled inward in the radial direction Lr via the inner surface 58 of the acting portion 56A.

(5)実施形態1では、クランプ装置50を空圧式としたが、油圧式であってもよい。 (5) In the first embodiment, the clamp device 50 is a pneumatic type, but it may be a hydraulic type.

1...部品搭載装置
10...基台
5...部品
20...ロボット
50...クランプ装置
51...シリンダ本体
53...ピストン
55...カム
61A〜61C...可動部材
65A〜65C...ロック部材
67...爪部
100...冶具
110...ベース
120...リング部材
125A〜125C...溝部
P...基板
Lo...軸線
Lv...軸方向
Lr...径方向
U...クランプユニット
θ1...所定角度
1 ... Parts mounting device 10 ... Base 5 ... Parts 20 ... Robot 50 ... Clamp device 51 ... Cylinder body 53 ... Piston 55 ... Cam 61A to 61C .. Movable members 65A to 65C ... Lock members 67 ... Claws 100 ... Jigs 110 ... Base 120 ... Ring members 125A to 125C ... Grooves P ... Substrate Lo ... Axis Lv ... axial direction Lr ... radial direction U ... clamp unit θ1 ... predetermined angle

Claims (4)

クランプユニットであって、
電子部品が搭載される基板を取り付ける冶具と、
前記冶具を介して前記基板をクランプするクランプ装置と、を備え、
前記冶具は、
前記基板を取り付けるベースと、
前記ベースの下面に固定されたリング状をなすリング部材と、を備え、
前記リング部材は、内面のうち、周方向の3等配の位置に3つの溝部を有し、
前記クランプ装置は、
シリンダ本体と、
前記シリンダ本体に供給する流体の圧力により、前記シリンダ本体の径方向に移動して3つの前記溝部にそれぞれ係止する爪部を有する3つのロック部材と、を備え、
3つの前記溝部は、前記リング部材の上面側から下面側に向かって溝深さが浅くなるように、前記シリンダ本体の軸線に対して径方向に所定角度、傾斜した形状であり、
3つの前記ロック部材の3つの前記爪部は、3つの前記溝部と同様に前記径方向に前記所定角度、傾斜した形状である、クランプユニット。
It ’s a clamp unit,
Jigs for mounting boards on which electronic components are mounted,
A clamping device for clamping the substrate via the jig.
The jig is
The base on which the board is mounted and
A ring-shaped ring member fixed to the lower surface of the base is provided.
The ring member has three grooves on the inner surface at three equal positions in the circumferential direction.
The clamp device is
Cylinder body and
It is provided with three lock members having claws that move in the radial direction of the cylinder body and lock to the three grooves by the pressure of the fluid supplied to the cylinder body.
The three groove portions have a shape that is inclined at a predetermined angle in the radial direction with respect to the axis of the cylinder body so that the groove depth becomes shallower from the upper surface side to the lower surface side of the ring member.
A clamp unit having a shape in which the three claws of the three lock members are inclined at the predetermined angle in the radial direction in the same manner as the three grooves.
請求項1に記載のクランプユニットであって、
3つの前記溝部の断面形状は、平面形状である、クランプユニット。
The clamp unit according to claim 1.
A clamp unit in which the cross-sectional shapes of the three grooves are planar.
請求項1に記載のクランプユニットであって、
3つの前記溝部の断面形状は、V字形状である、クランプユニット。
The clamp unit according to claim 1.
A clamp unit having a V-shaped cross-sectional shape of the three grooves.
請求項1に記載のクランプユニットであって、
3つの前記溝部の断面形状は、円弧形状である、クランプユニット。
The clamp unit according to claim 1.
A clamp unit in which the cross-sectional shapes of the three grooves are arcuate.
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