JP6821424B2 - Information processing equipment, information processing methods, and programs - Google Patents

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Description

本発明は、例えばエンジンシリンダ等の内壁の測定に適用可能な情報処理装置、情報処理方法、及びプログラムに関する。
に関する。
The present invention relates to an information processing device, an information processing method, and a program applicable to measurement of an inner wall of, for example, an engine cylinder.
Regarding.

自動車用エンジン等の開発や生産において、シリンダブロックに設けられたシリンダ内壁の観察、検査、解析は非常に重要である。例えば特許文献1には、ピストンとの摩擦を緩和するためにシリンダ内壁に形成された突出部の分布及び体積を算出し、これに基づいてシリンダ内壁を検査する検査方法について開示されている(特許文献1の明細書段落[0018]図1等)。 Observation, inspection, and analysis of the inner wall of the cylinder provided in the cylinder block are very important in the development and production of automobile engines and the like. For example, Patent Document 1 discloses an inspection method for calculating the distribution and volume of protrusions formed on the inner wall of a cylinder in order to reduce friction with a piston, and inspecting the inner wall of the cylinder based on the distribution and volume (Patent). Reference paragraph 1 [0018] FIG. 1 etc.).

また特許文献2に記載のように、シリンダブロックのボア内周面(シリンダ内壁)には、エンジンオイルの溜まり孔として機能するオイルピットが形成される。これによりピストンとの間で油膜を形成することが可能な量のオイルが保持され、シリンダ内壁とピストンとの摺動抵抗を低減することが可能となる(特許文献2の明細書段落[0002][0016]図1等)。 Further, as described in Patent Document 2, an oil pit that functions as a pool hole for engine oil is formed on the bore inner peripheral surface (cylinder inner wall) of the cylinder block. As a result, an amount of oil capable of forming an oil film between the piston and the piston is retained, and the sliding resistance between the cylinder inner wall and the piston can be reduced (Patent Document 2 specification paragraph [0002]. [0016] Fig. 1 etc.).

特開2007−57344号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2007-57344 特開2005−144475号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2005-144475

上記したオイルピット等が形成されたシリンダの内壁面について、表面性状を高精度に測定することを可能とする技術が求められている。 There is a need for a technique capable of measuring the surface texture of the inner wall surface of a cylinder in which the above-mentioned oil pit or the like is formed with high accuracy.

以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、オイルピット等の凹部が形成された被測定面の表面性状を高精度に測定可能とする情報処理装置、情報処理方法、及びプログラムを提供することにある。 In view of the above circumstances, an object of the present invention is to provide an information processing device, an information processing method, and a program capable of measuring the surface texture of a surface to be measured in which a recess such as an oil pit is formed with high accuracy. There is.

上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る情報処理装置は、入力部と、設定部とを具備する。
前記入力部には、複数の凹部を有する被測定面の形状データが入力される。
前記設定部は、前記入力された形状データをもとに前記複数の凹部の各々を検出し、前記検出された前記凹部ごとに、前記凹部を含む除去対象領域を設定する。
In order to achieve the above object, the information processing apparatus according to one embodiment of the present invention includes an input unit and a setting unit.
The shape data of the surface to be measured having a plurality of recesses is input to the input unit.
The setting unit detects each of the plurality of recesses based on the input shape data, and sets a removal target area including the recesses for each of the detected recesses.

この情報処理装置では、複数の凹部の各々が検出され、凹部ごとに除去対象領域が設定される。これにより被測定面の表面性状として、凹部を除いた領域の表面粗さを高精度に測定することが可能となる。 In this information processing device, each of the plurality of recesses is detected, and a removal target area is set for each recess. This makes it possible to measure the surface roughness of the region excluding the recesses with high accuracy as the surface texture of the surface to be measured.

前記設定部は、前記検出された凹部の面積をもとに、前記除去対象領域を設定してもよい。
凹部の面積に応じた除去対象領域を設定することで、凹部を除いた領域の表面粗さを高精度に測定することが可能となる。
The setting unit may set the removal target area based on the area of the detected recess.
By setting the area to be removed according to the area of the concave portion, it is possible to measure the surface roughness of the region excluding the concave portion with high accuracy.

前記設定部は、前記検出された凹部の面積と略等しい面積を有する基準図形を設定し、前記基準図形の寸法を基準として前記除去対象領域を設定してもよい。
これにより除去対象領域として、凹部の大きさを基準とした領域を設定することが可能となり、表面粗さの測定精度を向上させることが可能となる。
The setting unit may set a reference figure having an area substantially equal to the area of the detected recess, and set the removal target area with reference to the dimension of the reference figure.
As a result, it is possible to set a region based on the size of the recess as the region to be removed, and it is possible to improve the measurement accuracy of the surface roughness.

前記設定部は、前記基準図形の寸法と前記基準図形の寸法に所定の拡大率を積算した積算値との差を拡大量として前記凹部を拡大した領域を、前記除去対象領域として設定してもよい。
これにより除去対象領域として、適当な割合で凹部を拡大した領域を設定することが可能となり、表面粗さの測定精度を向上させることが可能となる。
The setting unit may set a region in which the recess is enlarged with the difference between the dimensions of the reference figure and the integrated value obtained by integrating the dimensions of the reference figure with a predetermined enlargement ratio as the enlargement amount as the removal target region. Good.
As a result, it is possible to set a region in which the recess is enlarged at an appropriate ratio as the region to be removed, and it is possible to improve the measurement accuracy of the surface roughness.

前記基準図形は前記検出された凹部の面積と略等しい面積を有する円であり、前記寸法は前記円の径であってもよい。
これにより凹部の大きさを基準とした除去対象領域を簡単に設定することが可能となり、表面粗さの測定精度を向上させることが可能となる。
The reference figure is a circle having an area substantially equal to the area of the detected recess, and the dimension may be the diameter of the circle.
This makes it possible to easily set the area to be removed based on the size of the concave portion, and it is possible to improve the measurement accuracy of the surface roughness.

前記基準図形は前記凹部の幅と略等しい幅を有する矩形であり、前記寸法は前記矩形の幅寸法であってもよい。
これにより凹部の大きさを基準とした除去対象領域を簡単に設定することが可能となり、表面粗さの測定精度を向上させることが可能となる。
The reference figure is a rectangle having a width substantially equal to the width of the recess, and the dimension may be the width dimension of the rectangle.
This makes it possible to easily set the area to be removed based on the size of the concave portion, and it is possible to improve the measurement accuracy of the surface roughness.

前記設定部は、前記検出された凹部の面積に所定の拡大率を積算した積算値と、前記除去対象領域の面積とが略等しくなるように、前記除去対象領域を設定してもよい。
これにより除去対象領域として、凹部を所定の拡大率で拡大した領域を設定することが可能となり、表面粗さの測定精度を向上させることが可能となる。
The setting unit may set the removal target area so that the integrated value obtained by integrating the area of the detected recess with a predetermined enlargement ratio and the area of the removal target area are substantially equal to each other.
As a result, it is possible to set a region in which the concave portion is enlarged at a predetermined enlargement ratio as the region to be removed, and it is possible to improve the measurement accuracy of the surface roughness.

前記設定部は、前記被測定面の形状データに対して基準高さを設定し、前記基準高さよりも所定の閾値以上低い部分を、前記凹部として検出してもよい。
これにより高い精度で凹部を検出することができる。
The setting unit may set a reference height with respect to the shape data of the surface to be measured, and may detect a portion lower than the reference height by a predetermined threshold value or more as the recess.
As a result, the recess can be detected with high accuracy.

前記設定部は、前記入力された形状データを平面に展開し、前記展開された前記形状データに対して前記基準高さを設定し、前記凹部を検出してもよい。
例えば被測定面がシリンダ等の内壁等である場合に、形状データを平面に展開することで、高い精度で凹部を検出することができる。
The setting unit may expand the input shape data on a plane, set the reference height with respect to the expanded shape data, and detect the recess.
For example, when the surface to be measured is an inner wall of a cylinder or the like, the concave portion can be detected with high accuracy by expanding the shape data into a flat surface.

前記基準高さは、前記形状データをもとに算出される前記被測定面の平均高さであってもよい。
これにより平均高さから所定の閾値以上低い部分を、凹部として精度よく検出することが可能となる。
The reference height may be the average height of the surface to be measured calculated based on the shape data.
This makes it possible to accurately detect a portion lower than a predetermined threshold value as a recess from the average height.

前記複数の凹部を有する被測定面は、複数のピットを有するシリンダの内壁面であってもよい。
これによりシリンダの内壁面の複数のピットを除いた領域の表面粗さを高精度に測定することが可能となる。
The surface to be measured having the plurality of recesses may be an inner wall surface of a cylinder having a plurality of pits.
This makes it possible to measure the surface roughness of the region of the inner wall surface of the cylinder excluding the plurality of pits with high accuracy.

前記複数の凹部を有する被測定面は、クロスハッチが形成されたシリンダの内壁面であってもよい。
これによりシリンダの内壁面のクロスハッチを除いた領域の表面粗さを高精度に測定することが可能となる。
The surface to be measured having the plurality of recesses may be an inner wall surface of a cylinder in which a crosshatch is formed.
This makes it possible to measure the surface roughness of the region of the inner wall surface of the cylinder excluding the crosshatch with high accuracy.

前記情報処理装置は、さらに、前記設定された除去対象領域を除く領域の表面粗さを測定する測定部を具備してもよい。
被測定面の表面性状として、凹部を除いた領域の表面粗さを高精度に測定することが可能となる。
The information processing apparatus may further include a measuring unit for measuring the surface roughness of a region other than the set removal target region.
As the surface texture of the surface to be measured, it is possible to measure the surface roughness of the region excluding the recesses with high accuracy.

本発明の一形態に係る情報処理方法は、コンピュータにより実行される情報処理方法であって、複数の凹部を有する被測定面の形状データを取得することを含む。
前記取得された形状データをもとに前記複数の凹部の各々が検出され、前記検出された前記凹部ごとに、前記凹部を含む除去対象領域が設定される。
The information processing method according to one embodiment of the present invention is an information processing method executed by a computer, and includes acquiring shape data of a surface to be measured having a plurality of recesses.
Each of the plurality of recesses is detected based on the acquired shape data, and a removal target area including the recess is set for each of the detected recesses.

本発明の一形態に係るプログラムは、コンピュータに以下のステップを実行させる。
複数の凹部を有する被測定面の形状データを取得するステップ。
前記取得された形状データをもとに前記複数の凹部の各々を検出し、前記検出された前記凹部ごとに、前記凹部を含む除去対象領域を設定するステップ。
A program according to an embodiment of the present invention causes a computer to perform the following steps.
A step of acquiring shape data of a surface to be measured having a plurality of recesses.
A step of detecting each of the plurality of recesses based on the acquired shape data, and setting a removal target area including the recesses for each of the detected recesses.

以上のように、本発明によれば、オイルピット等の凹部が形成された被測定面の表面性状を高精度に測定することが可能となる。なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本開示中に記載されたいずれかの効果であってもよい。 As described above, according to the present invention, it is possible to measure the surface texture of the surface to be measured in which recesses such as oil pits are formed with high accuracy. The effects described here are not necessarily limited, and may be any of the effects described in the present disclosure.

図1は、一実施形態に係る内壁測定装置の外観を模式的に示す図である。FIG. 1 is a diagram schematically showing the appearance of the inner wall measuring device according to the embodiment. 図2は、図1に示すPCのハードウェア構成例を示す概略図である。FIG. 2 is a schematic view showing an example of the hardware configuration of the PC shown in FIG. 図3は、プローブヘッド部の構成例を示す概略図である。FIG. 3 is a schematic view showing a configuration example of the probe head portion. 図4A及びBは、被測定面の形状データの算出例を説明するための模式図である。4A and 4B are schematic views for explaining a calculation example of shape data of the surface to be measured. 図5は、ピット周辺領域の設定及び除去の処理例を示すフローチャートである。FIG. 5 is a flowchart showing an example of processing for setting and removing the pit peripheral area. 図6は、入力される形状データの一例を模式的に示す図である。FIG. 6 is a diagram schematically showing an example of input shape data. 図7A及びBは、内壁面についての平面形状データを模式的に示す図である。7A and 7B are diagrams schematically showing planar shape data for the inner wall surface. 図8A、B及びCは、ピット周辺領域の設定例を説明するための模式的な平面図である。8A, B and C are schematic plan views for explaining a setting example of the pit peripheral region. 図9は、ピット周辺領域の設定例を説明するための模式的な断面図である。FIG. 9 is a schematic cross-sectional view for explaining a setting example of the pit peripheral region. 図10は、ピットの縁部の拡大例を示す模式図である。FIG. 10 is a schematic view showing an enlarged example of the edge of the pit. 図11は、除去対象領域の他の設定例を説明するための模式的な平面図である。FIG. 11 is a schematic plan view for explaining another setting example of the removal target area.

以下、本発明に係る実施形態を、図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described with reference to the drawings.

[内壁測定装置の構成]
図1は、本発明の一実施形態に係る内壁測定装置の外観を模式的に示す図である。図2は、本実施形態に係る情報処理装置として機能するPC(Personal Computer)のハードウェア構成例を示す概略図である。なおPC以外のコンピュータが用いられてもよい。
[Configuration of inner wall measuring device]
FIG. 1 is a diagram schematically showing the appearance of the inner wall measuring device according to the embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic view showing a hardware configuration example of a PC (Personal Computer) that functions as an information processing device according to the present embodiment. A computer other than a PC may be used.

図1に示すように、内壁測定装置500は、3次元座標測定機100と、PC200とを有する。3次元座標測定機100は、基体部10と、3軸移動機構20と、ステージ30と、ヘッドカバー40と、プローブヘッド部50(図3参照)とを有する。基体部10により、3軸移動機構20が支持される。 As shown in FIG. 1, the inner wall measuring device 500 includes a three-dimensional coordinate measuring machine 100 and a PC 200. The three-dimensional coordinate measuring machine 100 includes a base portion 10, a three-axis moving mechanism 20, a stage 30, a head cover 40, and a probe head portion 50 (see FIG. 3). The three-axis moving mechanism 20 is supported by the base portion 10.

3軸移動機構20は、X軸移動機構21と、Y軸移動機構22と、Z軸移動機構23とを有する。X軸移動機構21は、ステージ30をX方向に沿って移動可能に支持する。Y軸移動機構22は、X軸移動機構21を、Y方向に沿って移動可能に支持する。Z軸移動機構23は、ヘッドカバー40及びプローブヘッド部50を、Z軸方向に沿って移動させる。 The 3-axis moving mechanism 20 includes an X-axis moving mechanism 21, a Y-axis moving mechanism 22, and a Z-axis moving mechanism 23. The X-axis moving mechanism 21 supports the stage 30 so as to be movable along the X direction. The Y-axis moving mechanism 22 supports the X-axis moving mechanism 21 so as to be movable along the Y direction. The Z-axis moving mechanism 23 moves the head cover 40 and the probe head portion 50 along the Z-axis direction.

3軸移動機構20がPC200により制御されることで、XYZの3軸で構成される測定座標区間内で、プローブヘッド部50を走査することが可能となる。すなわちステージ30に載置される測定対象物Mに対して、互いに直交するXYZの3軸方向に沿って、プローブヘッド部50を相対的に移動させることが可能となる。 By controlling the 3-axis movement mechanism 20 by the PC 200, it becomes possible to scan the probe head portion 50 within the measurement coordinate section composed of the three axes of XYZ. That is, the probe head portion 50 can be relatively moved along the three-axis directions of the XYZ orthogonal to each other with respect to the measurement object M placed on the stage 30.

XYZの各移動機構21、22及び23の具体的な構成は限定されない。また3軸移動機構20の構成も、XYZの各方向に沿ってプローブヘッド部50を走査可能であるのならば、任意の構成が採用さてよい。 The specific configuration of each of the moving mechanisms 21, 22 and 23 of the XYZ is not limited. Further, as the configuration of the 3-axis moving mechanism 20, any configuration may be adopted as long as the probe head portion 50 can be scanned along each direction of XYZ.

3次元座標測定機100には、XYZの各方向に対して、リニアエンコーダ等の図示しない位置検出機構が設置される。位置検出機構により、測定対象物Mに対するプローブヘッド部50の相対的な変位や位置のデータが、PC200に出力される。 The three-dimensional coordinate measuring machine 100 is provided with a position detection mechanism (not shown) such as a linear encoder in each direction of XYZ. The position detection mechanism outputs data on the relative displacement and position of the probe head portion 50 with respect to the object to be measured M to the PC200.

ステージ30は、水平方向(XY平面方向)に平行な載置面31を有する。載置面31に測定対象物Mが載置される。本実施形態では、測定対象物Mとして、載置面31に自動車等に搭載されるシリンダブロックが載置される。ヘッドカバー40に覆われたプローブヘッド部50を制御することで、シリンダブロックに設けられたシリンダの内壁を測定することが可能である。プローブヘッド部50については、後に詳しく説明する。 The stage 30 has a mounting surface 31 parallel to the horizontal direction (XY plane direction). The object to be measured M is placed on the mounting surface 31. In the present embodiment, a cylinder block mounted on an automobile or the like is mounted on the mounting surface 31 as the measurement object M. By controlling the probe head portion 50 covered with the head cover 40, it is possible to measure the inner wall of the cylinder provided in the cylinder block. The probe head portion 50 will be described in detail later.

図2に示すように、PC200は、CPU(Central Processing Unit)201、ROM(Read Only Memory)202、RAM(Random Access Memory)203、入出力インタフェース205、及びこれらを互いに接続するバス204を備える。入出力インタフェース205には、表示部206、操作部207、記憶部208、通信部209、I/F(インタフェース)部210等が接続される。 As shown in FIG. 2, the PC 200 includes a CPU (Central Processing Unit) 201, a ROM (Read Only Memory) 202, a RAM (Random Access Memory) 203, an input / output interface 205, and a bus 204 that connects them to each other. A display unit 206, an operation unit 207, a storage unit 208, a communication unit 209, an I / F (interface) unit 210, and the like are connected to the input / output interface 205.

表示部206は、例えば液晶、EL(Electro-Luminescence)等を用いた表示デバイスである。操作部207は、例えばキーボード、ポインティングデバイス、タッチパネル(表示部206と一体構造)、その他の操作装置である。記憶部208は、不揮発性の記憶デバイスであり、例えばHDD(Hard Disk Drive)等が用いられる。 The display unit 206 is a display device using, for example, a liquid crystal, EL (Electro-Luminescence), or the like. The operation unit 207 is, for example, a keyboard, a pointing device, a touch panel (integrated structure with the display unit 206), and other operation devices. The storage unit 208 is a non-volatile storage device, and for example, an HDD (Hard Disk Drive) or the like is used.

通信部209は、LAN(Local Area Network)やWAN(Wide Area Network)等のネットワークを介して他のデバイスと通信するための通信モジュールである。Bluetooth(登録商標)等の近距離無線通信用の通信モジュールが備えられてもよい。またモデムやルータ等の通信機器が用いられてもよい。 The communication unit 209 is a communication module for communicating with other devices via a network such as LAN (Local Area Network) or WAN (Wide Area Network). A communication module for short-range wireless communication such as Bluetooth (registered trademark) may be provided. Further, a communication device such as a modem or a router may be used.

I/F部210は、USB(Universal Serial Bus)端子やHDMI(登録商標)(High-Definition Multimedia Interface)端子等の、他のデバイスや種々のケーブルが接続されるインタフェースである。表示部206、操作部207又は通信部209等が、I/F部210を介してPC200に接続されてもよい。 The I / F unit 210 is an interface to which other devices such as a USB (Universal Serial Bus) terminal and an HDMI (registered trademark) (High-Definition Multimedia Interface) terminal and various cables are connected. The display unit 206, the operation unit 207, the communication unit 209, and the like may be connected to the PC 200 via the I / F unit 210.

本実施形態では、通信部209又はI/F部210を介して、有線又は無線により、3次元座標測定機100とPC200とが接続される。従ってこれらのブロックを介して、被測定面の形状データが、3次元座標測定機100からPC200へ入力される。 In the present embodiment, the three-dimensional coordinate measuring machine 100 and the PC 200 are connected by wire or wirelessly via the communication unit 209 or the I / F unit 210. Therefore, the shape data of the surface to be measured is input from the three-dimensional coordinate measuring machine 100 to the PC 200 through these blocks.

PC200による情報処理は、例えばCPU201が、ROM202や記憶部208等に記憶された所定のプログラムを、RAM203にロードして実行することにより実現される。図1に示すように、本実施形態では、CPU201が所定のプログラムを実行することで、駆動制御部211、表面測定部212、及びピット周辺領域設定部213が実現される。各ブロックを実現するために専用のハードウェアが用いられてもよい。 Information processing by the PC 200 is realized, for example, by the CPU 201 loading a predetermined program stored in the ROM 202, the storage unit 208, or the like into the RAM 203 and executing the information processing. As shown in FIG. 1, in the present embodiment, the drive control unit 211, the surface measurement unit 212, and the pit peripheral area setting unit 213 are realized by the CPU 201 executing a predetermined program. Dedicated hardware may be used to implement each block.

駆動制御部211は、3次元座標測定機100内の各機構の駆動を制御する。表面測定部212は、3次元座標測定機100から出力される測定データ等をもとに、測定対象物Mの表面性状等を測定する。本実施形態では、ピット周辺領域設定部213により設定されたピット周辺領域を除く領域の表面粗さが測定される。ピット周辺領域とは、オイルピット及びその周辺を含む領域であり、本実施形態において、除去対象領域に相当する。ピット周辺領域の設定については、後に詳しく説明する。 The drive control unit 211 controls the drive of each mechanism in the three-dimensional coordinate measuring machine 100. The surface measuring unit 212 measures the surface texture and the like of the object to be measured M based on the measurement data and the like output from the three-dimensional coordinate measuring machine 100. In the present embodiment, the surface roughness of the region excluding the pit peripheral region set by the pit peripheral region setting unit 213 is measured. The pit peripheral area is an area including the oil pit and its surroundings, and corresponds to the removal target area in the present embodiment. The setting of the area around the pit will be described in detail later.

プログラムは、例えば種々の記録媒体を介してPC200にインストールされる。あるいは、インターネット等を介してプログラムがPC200にインストールされてもよい。なお本実施形態に係る情報処理装置として、PC以外のコンピュータが用いられてもよい。 The program is installed on the PC 200, for example, via various recording media. Alternatively, the program may be installed on the PC 200 via the Internet or the like. A computer other than a PC may be used as the information processing device according to the present embodiment.

図3は、プローブヘッド部50の構成例を示す概略図である。プローブヘッド部50は、ベース部51と、タッチプローブ52と、画像プローブ53と、プローブ支持機構54とを有する。ベース部51は、Z軸移動機構23に接続され、Z方向に沿って移動される。ベース部51が移動すると、タッチプローブ52、画像プローブ53、及びプローブ支持機構54も一体的に移動する。 FIG. 3 is a schematic view showing a configuration example of the probe head portion 50. The probe head portion 50 includes a base portion 51, a touch probe 52, an image probe 53, and a probe support mechanism 54. The base portion 51 is connected to the Z-axis moving mechanism 23 and is moved along the Z direction. When the base portion 51 moves, the touch probe 52, the image probe 53, and the probe support mechanism 54 also move integrally.

タッチプローブ52は、ベース部51に、先端球55を有するスタイラス56がZ方向に延在するように取付けられる。タッチプローブ52は、測定対象物Mに対して走査され、測定対象物Mと先端球55との接触が検知される際のXYZの座標情報が算出される。その算出結果をもとに、測定対象物Mの形状や高さ等が測定される。タッチプローブ52の具体的な構成は限定されず、任意のタッチプローブが用いられてよい。 The touch probe 52 is attached to the base portion 51 so that the stylus 56 having the tip ball 55 extends in the Z direction. The touch probe 52 is scanned with respect to the measurement object M, and the coordinate information of XYZ when the contact between the measurement object M and the tip sphere 55 is detected is calculated. Based on the calculation result, the shape, height, etc. of the measurement object M are measured. The specific configuration of the touch probe 52 is not limited, and any touch probe may be used.

画像プローブ53は、ベース部51に、プローブ支持機構54を介して取付けられる。本実施形態では、画像プローブ53として、白色光干渉計が用いられる。従って図3に示すように、画像プローブ53内には、光干渉光学系57が構成される。なお画像プローブ53として白色光干渉計以外のプローブが用いられる場合でも、本技術は適用可能である。 The image probe 53 is attached to the base portion 51 via the probe support mechanism 54. In this embodiment, a white light interferometer is used as the image probe 53. Therefore, as shown in FIG. 3, an optical interference optical system 57 is configured in the image probe 53. The present technology can be applied even when a probe other than the white light interferometer is used as the image probe 53.

光干渉光学系57は、測定対象物Mが載置される載置面31に平行な方向(XY平面方向)を撮影方向として、測定対象物Mを撮影可能なように構成されている。すなわち画像プローブ53によりZ方向に平行な垂直面を測定することが可能である。これにより、シリンダ等の内壁の表面性状等を、高精度に測定することが可能となる。 The optical interference optical system 57 is configured so that the measurement object M can be photographed with the direction parallel to the mounting surface 31 on which the measurement object M is placed (XY plane direction) as the imaging direction. That is, it is possible to measure a vertical plane parallel to the Z direction with the image probe 53. This makes it possible to measure the surface texture of the inner wall of a cylinder or the like with high accuracy.

プローブ支持機構54は、回転駆動部60と、直線駆動部61とを有する。回転駆動部60は、例えば図示しない接続部材等を介して、ベース部51に回転可能に配置される。回転駆動部60は、載置面31に垂直な方向であるZ方向に延在するθ軸を回転軸として、画像プローブ53を回転させることが可能である。回転駆動部60の具体的な構成は限定されず、例えばモータ等の駆動源や回転トルクを伝達する回転部材等により構成される。 The probe support mechanism 54 has a rotation drive unit 60 and a linear drive unit 61. The rotation drive unit 60 is rotatably arranged on the base unit 51 via, for example, a connecting member (not shown). The rotation drive unit 60 can rotate the image probe 53 with the θ-axis extending in the Z direction, which is the direction perpendicular to the mounting surface 31, as the rotation axis. The specific configuration of the rotary drive unit 60 is not limited, and is composed of, for example, a drive source such as a motor, a rotary member that transmits rotational torque, and the like.

直線駆動部61は、回転駆動部60に取付けられ、1方向に延在するW軸に沿って、画像プローブ53を移動させることが可能である。直線駆動部61には、画像プローブ53が、撮影光軸の方向がW軸の方向と等しくなるように取付けられる。従って直線駆動部61により、画像プローブ53を撮影方向に沿って移動させることが可能となる。直線駆動部61の具体的な構成は限定されず、任意に設計されてよい。 The linear drive unit 61 is attached to the rotary drive unit 60, and the image probe 53 can be moved along the W axis extending in one direction. The image probe 53 is attached to the linear drive unit 61 so that the direction of the photographing optical axis is equal to the direction of the W axis. Therefore, the linear drive unit 61 makes it possible to move the image probe 53 along the photographing direction. The specific configuration of the linear drive unit 61 is not limited, and may be arbitrarily designed.

図4は、3次元座標測定機100による被測定面の形状データの算出例を説明するための模式図である。以下、測定対象物Mを、シリンダブロックWと記載して説明を行う。被測定面は、シリンダブロックWが有するシリンダ70の内壁面71である。 FIG. 4 is a schematic diagram for explaining a calculation example of shape data of the surface to be measured by the three-dimensional coordinate measuring machine 100. Hereinafter, the measurement object M will be described as a cylinder block W. The surface to be measured is the inner wall surface 71 of the cylinder 70 included in the cylinder block W.

タッチプローブ52によりシリンダブロックWが測定される。これによりシリンダブロックWの上面の高さや各シリンダ70の中心位置C及び内径等が測定される。図4Aに示すように、両プローブのオフセット量をもとに、内壁面71上の所定の測定ポイントUに、画像プローブ53の焦点位置Pが配置されるように、画像プローブ53が移動される。オフセット量は、例えば校正用治具等を用いて予め算出可能である。 The cylinder block W is measured by the touch probe 52. As a result, the height of the upper surface of the cylinder block W, the center position C of each cylinder 70, the inner diameter, and the like are measured. As shown in FIG. 4A, the image probe 53 is moved so that the focal position P of the image probe 53 is arranged at a predetermined measurement point U on the inner wall surface 71 based on the offset amounts of both probes. .. The offset amount can be calculated in advance using, for example, a calibration jig or the like.

具体的な画像プローブ53の移動方法は限定されない。例えばシリンダ70の中心位置Cに画像プローブ53が配置され、測定ポイントUに向けてW軸が延在するように回転駆動部60が回転する。そして測定ポイントUに向けてフォーカスが合うように、直線駆動部61により、W軸上の所定のW座標の位置に画像プローブ53が移動される。 The specific method of moving the image probe 53 is not limited. For example, the image probe 53 is arranged at the center position C of the cylinder 70, and the rotation drive unit 60 rotates so that the W axis extends toward the measurement point U. Then, the linear drive unit 61 moves the image probe 53 to a predetermined W coordinate position on the W axis so that the image probe 53 is in focus toward the measurement point U.

図4Aに示すように、W軸に沿って画像プローブ53がスキャニングされる。また図4Bに示すように、回転駆動部60の回転方向においても、画像プローブ53がスキャニングされる。これにより内壁面71の測定ポイントUを中心とした領域の形状データを算出することが可能となる。例えば測定対象の範囲が予め指定されており、当該指定範囲分の点群データが、形状データとして算出される。 As shown in FIG. 4A, the image probe 53 is scanned along the W axis. Further, as shown in FIG. 4B, the image probe 53 is also scanned in the rotation direction of the rotation drive unit 60. This makes it possible to calculate the shape data of the region centered on the measurement point U of the inner wall surface 71. For example, a range to be measured is specified in advance, and point cloud data for the specified range is calculated as shape data.

本実施形態では、ベース部51に、タッチプローブ52と、XY平面方向で撮影可能な画像プローブ53とが配置される。画像プローブ53は回転駆動部60によりZ方向を軸として回転される。また直線駆動部61により、撮影方向に沿って移動される。これによりシリンダ70等の内壁面71の形状データを高精度に算出することが可能となる。 In the present embodiment, the touch probe 52 and the image probe 53 capable of photographing in the XY plane direction are arranged on the base portion 51. The image probe 53 is rotated about the Z direction by the rotation drive unit 60. Further, the linear drive unit 61 moves the vehicle along the shooting direction. This makes it possible to calculate the shape data of the inner wall surface 71 of the cylinder 70 or the like with high accuracy.

[ピット周辺領域]
シリンダ70の内壁面71には、例えば10μm程度〜数百μmの多孔質状の穴(くぼみ)からなる、複数のオイルピット(以下、単にピットと記載する)が形成されている。内壁面71の表面性状の測定要求として、ピットの数や形状等の測定に加えて、ピットが形成されていない平面領域の表面粗さの測定も挙げられる。内壁面71の全体に対して表面粗さを測定すると、ピットの部分が粗さとして解析されてしまうので、正確なデータが得られない。本実施形態では、以下に説明するように、ピット及びその周辺の領域を含むピット周辺領域が設定され、これが適宜除去される。
[Area around the pit]
On the inner wall surface 71 of the cylinder 70, a plurality of oil pits (hereinafter, simply referred to as pits) are formed, for example, composed of porous holes (dents) of about 10 μm to several hundred μm. As a requirement for measuring the surface texture of the inner wall surface 71, in addition to measuring the number and shape of pits, measurement of the surface roughness of a flat region where pits are not formed can be mentioned. When the surface roughness is measured for the entire inner wall surface 71, the pit portion is analyzed as the roughness, so that accurate data cannot be obtained. In the present embodiment, as described below, a pit peripheral area including a pit and a peripheral area thereof is set, and the pit peripheral area is appropriately removed.

図5は、ピット周辺領域の設定及び除去の処理例を示すフローチャートである。まず複数のピットを有する内壁面71の形状データが入力される(ステップ101)。 FIG. 5 is a flowchart showing an example of processing for setting and removing the pit peripheral area. First, the shape data of the inner wall surface 71 having a plurality of pits is input (step 101).

図6は、入力される形状データの一例を模式的に示す図である。例えば3次元座標測定機100により、内壁面71に設定された測定ポイントUを中心とした、指定範囲分の形状データD1が算出され、PC200に入力される。図6に示すように、指定範囲分の形状データD1が内壁面71の周方向に沿って結合されると、内壁面71の所定の高さにおける1周分の形状データD2となる。 FIG. 6 is a diagram schematically showing an example of input shape data. For example, the three-dimensional coordinate measuring machine 100 calculates the shape data D1 for a specified range centered on the measurement point U set on the inner wall surface 71, and inputs the shape data D1 to the PC200. As shown in FIG. 6, when the shape data D1 for the designated range is combined along the circumferential direction of the inner wall surface 71, the shape data D2 for one circumference at a predetermined height of the inner wall surface 71 is obtained.

図1に示す表面測定部212により、1周分の形状データD2が平面に展開され、平面形状データD3が生成される。生成された平面形状データD3は、ピット周辺領域設定部213に入力され、ピット周辺領域の設定及び除去が実行される。平面形状データD3へ展開することで、高精度にピット周辺領域の設定及び除去を実行することが可能となる。なおピット周辺領域設定部213により、平面形状データD3への展開が実行されてもよい。 The surface measuring unit 212 shown in FIG. 1 expands the shape data D2 for one round into a plane, and the plane shape data D3 is generated. The generated plane shape data D3 is input to the pit peripheral area setting unit 213, and the setting and removal of the pit peripheral area are executed. By expanding to the plane shape data D3, it is possible to set and remove the pit peripheral region with high accuracy. The pit peripheral area setting unit 213 may execute the expansion to the plane shape data D3.

平面形状データD3への展開方法は限定されず、任意の技術が用いられてもよい。例えば内壁面71の内径や曲率等をもとに、平面形状データD3を生成することが可能である。その際には、タッチプローブ52や画像プローブ53により測定された測定値を用いることで、精度よく平面形状データD3を生成することができる。 The method of developing the planar shape data D3 is not limited, and any technique may be used. For example, it is possible to generate the plane shape data D3 based on the inner diameter and curvature of the inner wall surface 71. In that case, by using the measured values measured by the touch probe 52 and the image probe 53, the planar shape data D3 can be generated with high accuracy.

図7は、平面形状データD3を模式的に示す図である。図7Bは、図7AのA−A線における断面図である。図中のZ'方向が、平面形状データD3に対する高さ方向となる。平面形状データD3の各点(測定点)の高さは、図3に示すW方向の測定値に対応する値となる。 FIG. 7 is a diagram schematically showing the planar shape data D3. FIG. 7B is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. 7A. The Z'direction in the figure is the height direction with respect to the plane shape data D3. The height of each point (measurement point) of the plane shape data D3 is a value corresponding to the measurement value in the W direction shown in FIG.

平面形状データD3をもとに、内壁面71上の複数のピット75が検出される(ステップ102)。本実施形態では、基準高さH及び閾値Tが設定され、基準高さHよりも閾値T以上低い部分が、ピット75として検出される。従って基準高さHよりも閾値T低い高さに設定された、X'Y'平面方向に平行な面よりも低い部分がピット75として検出される。これにより高い精度でピット75を検出することが可能となる。 A plurality of pits 75 on the inner wall surface 71 are detected based on the plane shape data D3 (step 102). In the present embodiment, the reference height H and the threshold value T are set, and the portion lower than the reference height H by the threshold value T or more is detected as the pit 75. Therefore, a portion lower than the plane parallel to the XY'plane direction, which is set to a height lower than the reference height H by the threshold value T, is detected as the pit 75. This makes it possible to detect the pit 75 with high accuracy.

基準高さHとしては、例えば平面形状データD3の全体の高さの平均が用いられる。もちろんこれに限定されず、フィルタ処理等が実行された後の平面形状データD3の平均が用いられてもよい。あるいはオペレータ等により、基準高さHが指定されてもよい。その他、任意の方法が採用されてよい。閾値Tの大きさも限定されず、任意に設定されてよい。 As the reference height H, for example, the average height of the entire plane shape data D3 is used. Of course, the present invention is not limited to this, and the average of the plane shape data D3 after the filter processing or the like is executed may be used. Alternatively, the reference height H may be specified by an operator or the like. In addition, any method may be adopted. The magnitude of the threshold value T is not limited and may be set arbitrarily.

検出されたピット75ごとに、ピット周辺領域80が設定される(ステップ103)。図8及び図9は、ピット周辺領域80の設定例を説明するための模式図である。図8はピット75の平面図であり、図9はピット75の断面図である。図9では、説明を分かりやすくするために、ピット75の形状が単純化されている。 A pit peripheral area 80 is set for each of the detected pits 75 (step 103). 8 and 9 are schematic views for explaining a setting example of the pit peripheral region 80. FIG. 8 is a plan view of the pit 75, and FIG. 9 is a cross-sectional view of the pit 75. In FIG. 9, the shape of the pit 75 is simplified for the sake of clarity.

図8Aに示すように、検出されたピット75の面積と略等しい面積を有する基準円O1が設定される。その基準円O1の直径をピット径Lとすると、当該ピット径Lを基準としてピット周辺領域80が設定される。なお図9に示すように実際のピット75の断面の幅とピット径Lとが必ずしも一致する場合に限定されない。 As shown in FIG. 8A, a reference circle O1 having an area substantially equal to the area of the detected pit 75 is set. Assuming that the diameter of the reference circle O1 is the pit diameter L, the pit peripheral region 80 is set with the pit diameter L as a reference. As shown in FIG. 9, the width of the cross section of the actual pit 75 and the pit diameter L are not necessarily limited to the same case.

ピット75の面積は、例えば周知の技術等を用いて算出可能である。例えば平面形状データD3としてX'Y'平面上に等間隔で並ぶ点群データが用いられる場合には、ピット75に含まれる点群の数をカウントすることで、ピット75の面積を算出することができる。その他、任意の技術によりピット75の面積が算出されてよい。 The area of the pit 75 can be calculated using, for example, a well-known technique. For example, when point cloud data arranged at equal intervals on the XY'plane is used as the plane shape data D3, the area of the pit 75 is calculated by counting the number of point clouds included in the pit 75. Can be done. In addition, the area of the pit 75 may be calculated by any technique.

図8Bに示すように、任意の拡大率を周辺除去率Eとして設定し、ピット径Lに周辺除去率Eが積算される。その積算値L×Eは、基準円O1を周辺除去率Eの2乗の値で拡大した拡大円O2の直径に相当する。また図8Bに示す積算値L×Eにピット径Lを引いた値を2で割った値dは、基準円O1の半径と拡大円O2の半径との差に相当する。すなわち値dは、基準円O1の半径と、基準円O1の半径に周辺除去率Eを積算した積算値との差となる。当該値dを、同じ符号を用いて、拡大量dと記載する。 As shown in FIG. 8B, an arbitrary enlargement ratio is set as the peripheral removal rate E, and the peripheral removal rate E is integrated with the pit diameter L. The integrated value L × E corresponds to the diameter of the enlarged circle O2 obtained by expanding the reference circle O1 by the square value of the peripheral removal rate E. Further, the value d obtained by dividing the value obtained by subtracting the pit diameter L from the integrated value L × E shown in FIG. 8B by 2 corresponds to the difference between the radius of the reference circle O1 and the radius of the enlarged circle O2. That is, the value d is the difference between the radius of the reference circle O1 and the integrated value obtained by integrating the peripheral removal rate E with the radius of the reference circle O1. The value d is described as an enlargement amount d using the same reference numerals.

図8Cに示すように、拡大量dを基準として、ピット75の縁部76(基準高さに設定された面との交点)を拡大させることで、ピット周辺領域80が設定される。ピット周辺領域80は、ピット75の全体が含まれるように、典型的には、ピット75の形状に合わせて設定される。 As shown in FIG. 8C, the pit peripheral region 80 is set by enlarging the edge portion 76 (intersection with the surface set to the reference height) of the pit 75 with the enlargement amount d as a reference. The pit peripheral region 80 is typically set according to the shape of the pit 75 so as to include the entire pit 75.

図10は、拡大量dを基準としてピット75の縁部76を拡大する方法の一例を示す模式図である。ピット75の縁部76から主要なポイント76Pが選択される。当該ポイント76Pを拡大量d分だけ拡大させた拡大ポイント80Pが設定される。ピット75の形状に合わせて、拡大ポイント80Pが連結されることで、ピット周辺領域80が設定される。これによりピット周辺領域80を、ピット75の形状に合わせて簡単に設定することが可能となる。 FIG. 10 is a schematic view showing an example of a method of enlarging the edge 76 of the pit 75 with reference to the enlargement amount d. The main point 76P is selected from the edge 76 of the pit 75. An expansion point 80P is set by expanding the point 76P by an expansion amount d. The pit peripheral area 80 is set by connecting the expansion points 80P according to the shape of the pit 75. This makes it possible to easily set the pit peripheral region 80 according to the shape of the pit 75.

ピット75の縁部76を拡大する方法は限定されず、任意の方法が採用されてよい。なおピット75の形状等により拡大円O2にピット75の全体が含まれる場合には、拡大円O2がピット周辺領域80として設定される場合もあり得る(例えば図9参照)。 The method of expanding the edge 76 of the pit 75 is not limited, and any method may be adopted. If the expansion circle O2 includes the entire pit 75 due to the shape of the pit 75 or the like, the expansion circle O2 may be set as the pit peripheral region 80 (see, for example, FIG. 9).

図9に示すように、平面領域85の表面粗さの測定精度を低下させ得るピット75の周りの部分の大きさは、ピット径Lに応じて異なる場合が多い。本実施形態におけるピット周辺領域80の設定方法では、各々のピット径Lに応じて、適当な大きさのピット周辺領域80を設定することが可能である。これにより平面領域85が必要以上に大きく除去されてしまったり、ピット75やピットの周りの部分の一部が平面領域85として残ってしまうこと等を十分に防止することができる。この結果、平面領域85の表面粗さを高精度に測定することが可能となる。 As shown in FIG. 9, the size of the portion around the pit 75 that can reduce the measurement accuracy of the surface roughness of the plane region 85 often differs depending on the pit diameter L. In the method of setting the pit peripheral area 80 in the present embodiment, it is possible to set the pit peripheral area 80 of an appropriate size according to each pit diameter L. As a result, it is possible to sufficiently prevent the flat area 85 from being removed larger than necessary, and the pit 75 and a part of the portion around the pit remaining as the flat area 85. As a result, the surface roughness of the plane region 85 can be measured with high accuracy.

ピット周辺領域80の他の設定方法として、拡大円O2の面積と略等しい面積となるように、ピット周辺領域80が設定されてもよい。すなわちピット75の面積(基準円O1の面積)に所定の拡大率(本実施形態では周辺除去率Eの2乗の値)を積算した積算値と略等しい面積を有するピット周縁領域80が設定されてもよい。これにより各々のピット75の面積(ピット径Lに対応する)に応じて、適当な大きさのピット周辺領域80を設定することが可能である。 As another setting method of the pit peripheral area 80, the pit peripheral area 80 may be set so that the area is substantially equal to the area of the enlarged circle O2. That is, a pit peripheral area 80 having an area substantially equal to the integrated value obtained by multiplying the area of the pit 75 (the area of the reference circle O1) by the predetermined enlargement ratio (the square value of the peripheral removal rate E in the present embodiment) is set. You may. Thereby, it is possible to set a pit peripheral area 80 having an appropriate size according to the area of each pit 75 (corresponding to the pit diameter L).

平面形状データD3からピット周辺領域80が除去される(ステップ104)。例えばピット周辺領域80の点群データが、表面粗さの解析には用いられない無効なデータに設定される。あるいは、ピット周辺領域80の点群データが、平面形状データD3から削除されてもよい。ピット周辺領域80が除去された平面形状データD3は、表面測定部212に出力され、表面粗さが測定される。 The pit peripheral region 80 is removed from the planar shape data D3 (step 104). For example, the point cloud data of the pit peripheral region 80 is set as invalid data that is not used for surface roughness analysis. Alternatively, the point cloud data of the pit peripheral region 80 may be deleted from the plane shape data D3. The plane shape data D3 from which the pit peripheral region 80 is removed is output to the surface measuring unit 212, and the surface roughness is measured.

以上、本実施形態に係る内壁測定装置500では、PC200により、複数のピット75の各々が検出され、ピット75ごとにピット周辺領域80が設定される。これにより内壁面71の表面性状として、ピット75を除いた平面領域85の表面粗さを高精度に測定することが可能となる。また複数のピット75に対して、ピット周辺領域80の設定及び除去を一度に自動的に実行することが可能であるので、表面粗さの測定にかかる時間を大幅に短縮することができる。また上記したように、ピット75の面積をもとに、適宜ピット周辺領域80を設定することが可能であるので、表面粗さの測定精度を十分に向上させることが可能である。 As described above, in the inner wall measuring device 500 according to the present embodiment, each of the plurality of pits 75 is detected by the PC 200, and the pit peripheral area 80 is set for each pit 75. This makes it possible to measure the surface roughness of the plane region 85 excluding the pit 75 with high accuracy as the surface texture of the inner wall surface 71. Further, since it is possible to automatically set and remove the pit peripheral region 80 for the plurality of pits 75 at one time, the time required for measuring the surface roughness can be significantly shortened. Further, as described above, since the pit peripheral region 80 can be appropriately set based on the area of the pit 75, it is possible to sufficiently improve the measurement accuracy of the surface roughness.

<その他の実施形態>
本発明は、以上説明した実施形態に限定されず、他の種々の実施形態を実現することができる。
<Other Embodiments>
The present invention is not limited to the embodiments described above, and various other embodiments can be realized.

上記では、複数の凹部として、複数のピットが形成される場合を例に挙げた。そして除去対象領域(ピット周辺領域)を設定するための基準図形として、基準円が設定された。図8〜図10を参照して説明したように、基準円の径を基準図形の寸法(サイズ)として、これを基準に簡単に除去対象領域を設定することが可能であった。なお除去対象領域を設定するために用いられる基準図形は、円に限定されず、他の任意の図形が用いられてよい。 In the above, the case where a plurality of pits are formed as a plurality of recesses has been given as an example. Then, a reference circle was set as a reference figure for setting the removal target area (the area around the pit). As described with reference to FIGS. 8 to 10, it was possible to easily set the removal target area with the diameter of the reference circle as the dimension (size) of the reference figure. The reference figure used to set the area to be removed is not limited to a circle, and any other figure may be used.

図11は、除去対象領域の他の設定例を説明するための模式的な平面図である。図11に模式的に示すように、シリンダ内壁には、オイルを保持するためにホーニング加工によりクロスハッチ(網状の溝)90が形成されることがある。このようなクロスハッチの溝91を凹部として、本技術を適用することもできる。 FIG. 11 is a schematic plan view for explaining another setting example of the removal target area. As schematically shown in FIG. 11, a crosshatch (net-like groove) 90 may be formed on the inner wall of the cylinder by honing to hold oil. The present technology can also be applied by using the groove 91 of such a crosshatch as a recess.

図11に示す例では、基準図形として、クロスハッチの溝91の延在方向に延在する基準矩形Rが設定される。当該基準矩形Rの幅寸法(延在方向に略直交する短手方向のサイズ)Lを基準図形の寸法として、これを基準に除去対象領域が設定される。 In the example shown in FIG. 11, a reference rectangle R extending in the extending direction of the groove 91 of the crosshatch is set as the reference figure. The width dimension (size in the lateral direction substantially orthogonal to the extending direction) L of the reference rectangle R is set as the dimension of the reference figure, and the removal target area is set based on this.

基準矩形Rは、クロスハッチの溝91の面積と略等しい面積となるように設定される。クロスハッチの溝91は、円形よりも矩形に近い形状を有する。従って、クロスハッチの溝91の長さに略等しい長さを有し、溝91の幅(長さに略直交する方向のサイズ)と略等しい幅寸法Lを有する矩形を、基準矩形Rとして簡単に設定することが可能である。 The reference rectangle R is set to have an area substantially equal to the area of the groove 91 of the crosshatch. The groove 91 of the crosshatch has a shape closer to a rectangle than a circle. Therefore, a rectangle having a length substantially equal to the length of the groove 91 of the crosshatch and having a width dimension L substantially equal to the width of the groove 91 (the size in the direction substantially orthogonal to the length) can be easily used as the reference rectangle R. It is possible to set to.

クロスハッチの溝91の幅としては、例えば長さ方向における各ポイントの幅の最大値が用いられてもよいし、平均値が用いられてもよい。あるいは長さ方向における所定のポイント(中央等)の幅が、クロスハッチの溝91の幅として用いられてもよい。その他、基準矩形Rの設定方法は限定されず、例えばクロスハッチの溝91の面積が算出され、その算出値に基づいて設定されてもよい。 As the width of the groove 91 of the crosshatch, for example, the maximum value of the width of each point in the length direction may be used, or an average value may be used. Alternatively, the width of a predetermined point (center, etc.) in the length direction may be used as the width of the groove 91 of the crosshatch. In addition, the method of setting the reference rectangle R is not limited, and for example, the area of the groove 91 of the crosshatch may be calculated and set based on the calculated value.

除去対象領域は、例えば図11に示す基準矩形Rの幅寸法Lを、図8等に示すピット径Lとして同様の処理にて設定可能である。例えば、基準矩形Rの幅寸法Lに周辺除去率Eを積算した積算値L×Eを幅寸法とする拡大矩形が設定される。当該拡大矩形の幅寸法と、基準矩形Rの幅寸法Lを引いた値を2で割った値を拡大量として、溝91の縁部を拡大する。これにより除去対象領域を、溝91の形状に合わせて簡単に設定することが可能となる。上記したようにクロスハッチの溝91は矩形に近いので、拡大矩形に溝91の全体が含まれることも多い。この場合、拡大矩形を除去対象領域として簡単に設定可能である。その他、基準矩形Rの幅寸法Lを基準とした任意の方法が採用されてよい。 For the removal target area, for example, the width dimension L of the reference rectangle R shown in FIG. 11 can be set as the pit diameter L shown in FIG. 8 or the like by the same processing. For example, an enlarged rectangle is set in which the integrated value L × E obtained by integrating the peripheral removal rate E into the width dimension L of the reference rectangle R is the width dimension. The edge of the groove 91 is enlarged by dividing the width dimension of the enlarged rectangle and the value obtained by subtracting the width dimension L of the reference rectangle R by 2. This makes it possible to easily set the removal target area according to the shape of the groove 91. As described above, since the groove 91 of the crosshatch is close to a rectangle, the enlarged rectangle often includes the entire groove 91. In this case, the enlarged rectangle can be easily set as the removal target area. In addition, any method based on the width dimension L of the reference rectangle R may be adopted.

図1に示す3次元座標測定機100及びPC200が一体的に構成されてもよい。この場合、装置内に備えられた入出力インタフェース等が入力部として機能する。もちろん入力部がソフトウェアブロックにより構成されてもよい。 The three-dimensional coordinate measuring machine 100 and the PC 200 shown in FIG. 1 may be integrally configured. In this case, the input / output interface or the like provided in the device functions as an input unit. Of course, the input unit may be composed of software blocks.

基準高さに代えて、ピットを検出するための閾値となる高さが設定されてもよい。当該閾値となる高さよりも低い部分が、ピットとして検出される。 Instead of the reference height, a height that serves as a threshold value for detecting the pit may be set. A portion lower than the threshold height is detected as a pit.

本技術は、複数のピットやクロスハッチを有する内壁面以外の、被測定面にも適用可能である。すなわち図1に例示した内壁測定装置とは異なる任意の測定装置により測定された、種々の被測定面の形状データに対して、本技術は適用可能である。 This technology can be applied to the surface to be measured other than the inner wall surface having a plurality of pits and cross hatches. That is, this technique can be applied to various shape data of the surface to be measured measured by an arbitrary measuring device different from the inner wall measuring device illustrated in FIG. 1.

例えば所定の目的のために意図的に複数の凹部が形成された被測定面の平面領域、あるいは意図せずにして複数の凹部が形成されている被測定面の平面領域等の表面粗さを、高精度に測定することが可能となる。もちろん平面領域に対して表面粗さの測定以外の処理が実行されてもよい。さらに凹部を含む除去対象領域について所定の測定等が実行されてもよい。 For example, the surface roughness of a surface area to be measured in which a plurality of recesses are intentionally formed for a predetermined purpose, or a surface roughness of a surface to be measured in which a plurality of recesses are unintentionally formed, or the like. , It becomes possible to measure with high accuracy. Of course, a process other than the measurement of the surface roughness may be executed on the flat region. Further, a predetermined measurement or the like may be performed on the area to be removed including the recess.

以上説明した各形態の特徴部分のうち、少なくとも2つの特徴部分を組み合わせることも可能である。また上記で記載した種々の効果は、あくまで例示であって限定されるものではなく、また他の効果が発揮されてもよい。 It is also possible to combine at least two feature parts among the feature parts of each form described above. Further, the various effects described above are merely examples and are not limited, and other effects may be exhibited.

D1、D2、D3…形状データ
E…周辺除去率
H…基準高さ
L…ピット径、幅寸法
M…測定対象物(シリンダブロック)
O1…基準円
O2…拡大円
R…基準矩形
70…シリンダ
71…内壁面
75…ピット
80…ピット周辺領域
85…平面領域
100…3次元座標測定機
209…通信部
210…I/F部
212…表面測定部
213…ピット周辺領域設定部
500…内壁測定装置
D1, D2, D3 ... Shape data E ... Peripheral removal rate H ... Reference height L ... Pit diameter, width dimension M ... Measurement target (cylinder block)
O1 ... Reference circle O2 ... Enlarged circle R ... Reference rectangle 70 ... Cylinder 71 ... Inner wall surface 75 ... Pit 80 ... Pit peripheral area 85 ... Plane area 100 ... Three-dimensional coordinate measuring machine 209 ... Communication unit 210 ... I / F unit 212 ... Surface measurement unit 213 ... Pit peripheral area setting unit 500 ... Inner wall measurement device

Claims (15)

複数の凹部を有する被測定面の形状データが入力される入力部と、
前記入力された形状データをもとに前記複数の凹部の各々を検出し、前記検出された前記凹部ごとに、前記凹部を含む除去対象領域を設定する設定部と
を具備し、
前記設定部は、前記検出された凹部の面積と略等しい面積を有する基準図形を設定し、前記基準図形の寸法を基準として前記除去対象領域を設定する
情報処理装置。
An input unit for inputting shape data of the surface to be measured having a plurality of recesses,
Each of the plurality of recesses is detected based on the input shape data, and each of the detected recesses is provided with a setting unit for setting a removal target area including the recesses .
The setting unit sets a reference figure having an area substantially equal to the area of the detected recess, and sets the removal target area with reference to the dimension of the reference figure.
Information processing device.
請求項に記載の情報処理装置であって、
前記設定部は、前記基準図形の寸法と前記基準図形の寸法に所定の拡大率を積算した積算値との差を拡大量として前記凹部を拡大した領域を、前記除去対象領域として設定する
情報処理装置。
The information processing device according to claim 1 .
The information processing unit sets an area in which the recess is enlarged with the difference between the dimensions of the reference figure and the integrated value obtained by integrating the dimensions of the reference figure with a predetermined enlargement ratio as the enlargement amount as the removal target area. apparatus.
請求項又はに記載の情報処理装置であって、
前記基準図形は前記検出された凹部の面積と略等しい面積を有する円であり、前記寸法は前記円の径である
情報処理装置。
The information processing device according to claim 1 or 2 .
The reference figure is a circle having an area substantially equal to the area of the detected recess, and the dimension is the diameter of the circle.
請求項又はに記載の情報処理装置であって、
前記基準図形は前記凹部の幅と略等しい幅を有する矩形であり、前記寸法は前記矩形の幅寸法である
情報処理装置。
The information processing device according to claim 1 or 2 .
The reference figure is a rectangle having a width substantially equal to the width of the recess, and the dimension is the width dimension of the rectangle.
請求項1からのうちいずれか1項に記載の情報処理装置であって、
前記複数の凹部を有する被測定面は、複数のピットを有するシリンダの内壁面、又はクロスハッチが形成されたシリンダの内壁面である
情報処理装置。
The information processing device according to any one of claims 1 to 4 .
The surface to be measured having the plurality of recesses is an information processing device which is an inner wall surface of a cylinder having a plurality of pits or an inner wall surface of a cylinder in which a crosshatch is formed .
複数の凹部を有する被測定面の形状データが入力される入力部と、
前記入力された形状データをもとに前記複数の凹部の各々を検出し、前記検出された前記凹部ごとに、前記凹部を含む除去対象領域を設定する設定部と
を具備し、
前記複数の凹部を有する被測定面は、複数のピットを有するシリンダの内壁面、又はクロスハッチが形成されたシリンダの内壁面である
情報処理装置。
An input unit for inputting shape data of the surface to be measured having a plurality of recesses,
Each of the plurality of recesses is detected based on the input shape data, and each of the detected recesses is provided with a setting unit for setting a removal target area including the recesses .
The surface to be measured having the plurality of recesses is an inner wall surface of a cylinder having a plurality of pits or an inner wall surface of a cylinder in which a crosshatch is formed.
Information processing device.
請求項に記載の情報処理装置であって、
前記設定部は、前記検出された凹部の面積に所定の拡大率を積算した積算値と、前記除去対象領域の面積とが略等しくなるように、前記除去対象領域を設定する
情報処理装置。
The information processing device according to claim 6 .
The setting unit is an information processing device that sets the removal target area so that the integrated value obtained by integrating the area of the detected recess with a predetermined enlargement ratio and the area of the removal target area are substantially equal to each other.
請求項1から7のうちいずれか1項に記載の情報処理装置であって、
前記設定部は、前記被測定面の形状データに対して基準高さを設定し、前記基準高さよりも所定の閾値以上低い部分を、前記凹部として検出する
情報処理装置。
The information processing device according to any one of claims 1 to 7.
The setting unit is an information processing device that sets a reference height for the shape data of the surface to be measured and detects a portion lower than the reference height by a predetermined threshold value or more as the recess.
請求項8に記載の情報処理装置であって、
前記設定部は、前記入力された形状データを平面に展開し、前記展開された前記形状データに対して前記基準高さを設定し、前記凹部を検出する
情報処理装置。
The information processing apparatus according to claim 8.
The setting unit is an information processing device that expands the input shape data on a plane, sets the reference height with respect to the expanded shape data, and detects the recess.
請求項8又は9に記載の情報処理装置であって、
前記基準高さは、前記形状データをもとに算出される前記被測定面の平均高さである
情報処理装置。
The information processing device according to claim 8 or 9.
The reference height is an information processing device which is an average height of the surface to be measured calculated based on the shape data.
請求項1から10のうちいずれか1項に記載の情報処理装置であって、さらに、
前記設定された除去対象領域を除く領域の表面粗さを測定する測定部を具備する
情報処理装置。
The information processing apparatus according to any one of claims 1 to 10 , further comprising:
An information processing apparatus including a measuring unit for measuring the surface roughness of a region other than the set removal target region.
コンピュータが実行する情報処理方法であって、
複数の凹部を有する被測定面の形状データを取得する取得ステップと、
前記取得された形状データをもとに前記複数の凹部の各々を検出し、前記検出された前記凹部ごとに、前記凹部を含む除去対象領域を設定する設定ステップと
を含み、
前記設定ステップは、前記検出された凹部の面積と略等しい面積を有する基準図形を設定し、前記基準図形の寸法を基準として前記除去対象領域を設定する
情報処理方法。
Information processing method executed by a computer
An acquisition step for acquiring shape data of a surface to be measured having a plurality of recesses, and
A setting step of detecting each of the plurality of recesses based on the acquired shape data and setting a removal target area including the recesses for each of the detected recesses.
Including
In the setting step, a reference figure having an area substantially equal to the area of the detected recess is set, and the removal target area is set with reference to the dimensions of the reference figure.
Information processing method.
コンピュータが実行する情報処理方法であって、
複数の凹部を有する被測定面の形状データを取得する取得ステップと、
前記取得された形状データをもとに前記複数の凹部の各々を検出し、前記検出された前記凹部ごとに、前記凹部を含む除去対象領域を設定する設定ステップと
を含み、
前記取得ステップは、前記複数の凹部を有する被測定面の形状データとして、複数のピットを有するシリンダの内壁面の形状データ、又はクロスハッチが形成されたシリンダの内壁面の形状データを取得する
情報処理方法。
Information processing method executed by a computer
An acquisition step for acquiring shape data of a surface to be measured having a plurality of recesses, and
A setting step of detecting each of the plurality of recesses based on the acquired shape data and setting a removal target area including the recesses for each of the detected recesses.
Including
In the acquisition step, as the shape data of the surface to be measured having the plurality of recesses, the shape data of the inner wall surface of the cylinder having a plurality of pits or the shape data of the inner wall surface of the cylinder in which the crosshatch is formed is acquired.
Information processing method.
コンピュータに情報処理方法を実行させるプログラムであって、
前記情報処理方法は、
複数の凹部を有する被測定面の形状データを取得する取得ステップと、
前記取得された形状データをもとに前記複数の凹部の各々を検出し、前記検出された前記凹部ごとに、前記凹部を含む除去対象領域を設定する設定ステップと
を含み、
前記設定ステップは、前記検出された凹部の面積と略等しい面積を有する基準図形を設定し、前記基準図形の寸法を基準として前記除去対象領域を設定する
プログラム。
A program that causes a computer to execute an information processing method.
The information processing method is
An acquisition step for acquiring shape data of a surface to be measured having a plurality of recesses, and
A setting step of detecting each of the plurality of recesses based on the acquired shape data and setting a removal target area including the recesses for each of the detected recesses.
Including
In the setting step, a reference figure having an area substantially equal to the area of the detected recess is set, and the removal target area is set with reference to the dimensions of the reference figure.
program.
コンピュータに情報処理方法を実行させるプログラムであって、
前記情報処理方法は、
複数の凹部を有する被測定面の形状データを取得する取得ステップと、
前記取得された形状データをもとに前記複数の凹部の各々を検出し、前記検出された前記凹部ごとに、前記凹部を含む除去対象領域を設定する設定ステップと
を含み、
前記取得ステップは、前記複数の凹部を有する被測定面の形状データとして、複数のピットを有するシリンダの内壁面の形状データ、又はクロスハッチが形成されたシリンダの内壁面の形状データを取得する
プログラム。
A program that causes a computer to execute an information processing method.
The information processing method is
An acquisition step for acquiring shape data of a surface to be measured having a plurality of recesses, and
A setting step of detecting each of the plurality of recesses based on the acquired shape data and setting a removal target area including the recesses for each of the detected recesses.
Including
In the acquisition step, as the shape data of the surface to be measured having the plurality of recesses, the shape data of the inner wall surface of the cylinder having a plurality of pits or the shape data of the inner wall surface of the cylinder in which the crosshatch is formed is acquired.
program.
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