JP6819373B2 - Floating device and tension detector - Google Patents
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Description
本発明は、浮上装置及びテンション検出装置に関する。 The present invention relates to a levitation device and a tension detection device.
下記特許文献1には、多数の吐出孔及び背圧検出孔が形成されたフロータを備え、吐出孔から被測定物に向けて空気を噴射することにより当該被測定物をフロータの上面から浮上させると共に、背圧検出孔に流入する空気の圧力を圧力センサで検出することにより被測定物の重量や厚さを測定する非接触流体測定装置が開示されている。また、この特許文献1には、上記フロータに多孔質体を採用することが記載されている。すなわち、特許文献1には、多孔質体が有する無数の連通孔を吐出孔として利用することが開示されている。 The following Patent Document 1 includes a floater in which a large number of discharge holes and back pressure detection holes are formed, and the object to be measured is levitated from the upper surface of the floater by injecting air from the discharge holes toward the object to be measured. At the same time, a non-contact fluid measuring device for measuring the weight and thickness of an object to be measured by detecting the pressure of air flowing into the back pressure detecting hole with a pressure sensor is disclosed. Further, Patent Document 1 describes that a porous body is used for the floater. That is, Patent Document 1 discloses that innumerable communication holes of the porous body are used as discharge holes.
ところで、多孔質体には全体として無数の連通孔が形成されているので、フロータを構成する母材に機械加工等によって多数の吐出孔を形成する必要がなく、よってフロータを比較的安価に製造することが可能である。 By the way, since innumerable communication holes are formed in the porous body as a whole, it is not necessary to form a large number of discharge holes in the base material constituting the floater by machining or the like, and therefore the floater can be manufactured at a relatively low cost. It is possible to do.
しかしながら、多孔質体には連通孔が全体として無数に分散しているので、被測定物に向けて噴射されるべき空気が背圧検出孔(検出孔)に直接流入(つまり、背圧検出孔の延伸方向に対し、側面から流体が流入)することが懸念される。そして、このような現象が発生した場合、検出孔に直接流入する空気は、被測定物の状態を必ずしも反映したものとはならないので、被測定物の重量や厚さ等の測定精度が著しく低下する恐れがある。 However, since the porous body has innumerable communication holes dispersed as a whole, the air to be injected toward the object to be measured directly flows into the back pressure detection hole (detection hole) (that is, the back pressure detection hole). There is a concern that the fluid will flow in from the side surface in the stretching direction of the. When such a phenomenon occurs, the air directly flowing into the detection hole does not necessarily reflect the state of the object to be measured, so that the measurement accuracy of the weight and thickness of the object to be measured is significantly reduced. There is a risk of doing.
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、多孔質体を用いて被測定物に流体を噴射する場合において流体が検出孔に直接流入することを抑制することを目的とするものである。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to prevent the fluid from directly flowing into the detection hole when the fluid is injected onto the object to be measured using a porous body. Is.
上記目的を達成するために、本発明では、浮上装置に係る第1の解決手段として、支持面を備える多孔質体と、前記多孔質体に浮上ガスを供給する,ガス供給装置と、前記支持面に設けられた開口と、前記開口から延伸し、前記多孔質体に形成された貫通孔と、少なくとも一部が前記貫通孔の内周面に包囲され,前記開口の開口面まで延伸する筒状体と、前記筒状体と連通する、圧力センサとを備える、という手段を採用する。 In order to achieve the above object, in the present invention, as a first solution relating to the levitation device, a porous body having a support surface, a gas supply device for supplying levitation gas to the porous body, and the support A cylinder provided on the surface, a through hole extending from the opening and formed in the porous body, and at least a part thereof surrounded by the inner peripheral surface of the through hole and extending to the opening surface of the opening. A means of providing a body and a pressure sensor that communicates with the tubular body is adopted.
本発明では、浮上装置に係る第2の解決手段として、前記筒状体はフランジ面を備え、
前記フランジ面は、前記多孔質体もしくは前記多孔質体に延接された部材に当接している、という手段を採用する。
In the present invention, as a second solution relating to the levitation device, the tubular body is provided with a flange surface.
A means is adopted in which the flange surface is in contact with the porous body or a member extended to the porous body.
本発明では、浮上装置に係る第3の解決手段として、多孔質体の表面から被検出物に向けて噴射した流体を前記多孔質体に形成された検出孔から取り込むことにより前記被検出物の浮上圧を検出し、該浮上圧に基づいて前記流体の噴射量を調節する浮上装置であって、前記検出孔は、周面に前記流体に対する遮蔽壁を備える、という手段を採用する。 In the present invention, as a third solution according to the levitation device, a fluid jetted from the surface of the porous body toward the object to be detected is taken in from the detection holes formed in the porous body to take in the object to be detected. A levitation device that detects a levitation pressure and adjusts the injection amount of the fluid based on the levitation pressure, and adopts a means that the detection hole is provided with a shielding wall against the fluid on the peripheral surface.
本発明では、浮上装置に係る第4の解決手段として、上記第3の解決手段において、前記遮蔽壁は、前記多孔質体の貫通孔に嵌合する管状部材によって形成される、という手段を採用する。 In the present invention, as a fourth solution relating to the levitation device, in the third solution, the shielding wall is formed by a tubular member fitted into a through hole of the porous body. To do.
本発明では、浮上装置に係る第5の解決手段として、上記第4の解決手段において、前記管状部材は、前記多孔質体の背面側に当接するフランジ部を備える、という手段を採用する。 In the present invention, as a fifth solution relating to the levitation device, in the fourth solution, the tubular member is provided with a flange portion that abuts on the back surface side of the porous body.
本発明では、浮上装置に係る第6の解決手段として、上記第4または第5の解決手段において、前記管状部材は、前記多孔質体の背面側に接続チューブの先端が装着される装着部を備える、という手段を採用する。 In the present invention, as a sixth solution relating to the levitation device, in the fourth or fifth solution, the tubular member has a mounting portion on which the tip of the connecting tube is mounted on the back surface side of the porous body. Adopt the means of preparing.
本発明では、浮上装置に係る第7の解決手段として、上記第3の解決手段において、前記遮蔽壁は、前記多孔質体の貫通孔に形成された被膜によって形成される、という手段を採用する。 In the present invention, as a seventh solution relating to the levitation device, in the third solution, the shielding wall is formed by a coating film formed in a through hole of the porous body. ..
本発明では、テンション検出装置に係る解決手段として、上記第1〜第7のいずれかの解決手段に係る浮上装置を備え、前記浮上圧を前記被検出物に作用する張力として検出する、という手段を採用する。 In the present invention, as a solution relating to the tension detection device, a levitation device according to any one of the first to seventh solutions is provided, and the levitation pressure is detected as a tension acting on the object to be detected. Is adopted.
本発明によれば、多孔質体を用いて被測定物に流体を噴射する場合において流体が背圧検出孔に流入することを抑制することが可能である。 According to the present invention, it is possible to prevent the fluid from flowing into the back pressure detection hole when the fluid is injected onto the object to be measured using the porous body.
以下、図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。
本実施形態に係るテンション検出装置は、帯状のシートWをテンション(張力)の被検出物とするものである。例えば図1は、シートWを長手方向に走行させる走行装置の一構成例である。すなわち、このテンション検出装置は、シートWの走行系路上に設けられ、当該シートWはテンション検出装置の支持面Fに、浮上状態で支持されている。テンション検出装置は当該支持面Fに支持されるシートWの背圧を計測する事で、シートWのテンションを検出する。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
The tension detection device according to the present embodiment uses a strip-shaped sheet W as a tension (tension) object to be detected. For example, FIG. 1 is a configuration example of a traveling device for traveling the seat W in the longitudinal direction. That is, this tension detection device is provided on the traveling system road of the seat W, and the seat W is supported by the support surface F of the tension detection device in a floating state. The tension detection device detects the tension of the seat W by measuring the back pressure of the seat W supported by the support surface F.
本実施形態におけるテンション検出装置は、図1(a)に示すように、エアーターンバー2、浮上エアー供給部3及び背圧検出器4を備えている。また、搬送経路上には、シートWをガイドするガイドローラ1A,1Bを備える。ガイドローラ1A,1Bは、同一の回転半径を有し、所定距離を隔てて平行対峙するフリーローラである。これら一対のガイドローラ1A,1Bは、シートWの走行方向(長手方向)に直交する方向(図1(a)の紙面に垂直な方向)を回転軸とすると共に、円筒状の周面(円筒面)がシートWと接触する接触面である。
As shown in FIG. 1A, the tension detection device according to the present embodiment includes an
ガイドローラ1A,1Bには、シートWが所定の巻付角をもって巻き付けられている。
A sheet W is wound around the
エアーターンバー2は、ガイドローラ1A,1Bの中間位置に設けられている。エアーターンバーは、半円柱状の部材であり、シートWの搬送方向と支持面の垂線方向で構成される面による断面において略円弧状となる支持面Fを備える。ただし、支持面は搬送方向を直交する断面において略円弧状であることは必須の構成ではなく、例えば搬送方向に離隔する2つの曲面と、当該二つの曲面をつなぐ平坦な面により支持面を構成することも可能である。このエアーターンバー2は、軸心が一対のガイドローラ1A,1Bの回転軸と同一方向に設定されており、また図1(a)に示すようにシートWが所定の巻付角をもって噴射面F(半円柱面)に巻き付くように一対のガイドローラ1A,1Bに対して位置設定されている。すなわち、ガイドローラ1A,1Bの接平面から支持面突出して配置されている。あるいは、シートWは、搬送方向を直交する断面において、シートWのエアーターンバー2に支持される面から見て、エアーターンバー2側に曲率中心を持ち転向しているともいえる。
The
このエアーターンバー2は、浮上エアー供給部3から供給された浮上エアー(流体)を支持面FからシートWに向けて噴出することでシートWと非接触状態で支持される。また、エアーターンバー2には、図1(b)に示すように、軸心方向(すなわち搬送幅方向)に離隔した3つの検出孔2a,2b,2cが形成されている。これら3つの検出孔2a,2b,2cは、各々に接続チューブ5a,5b,5cを介して浮上圧検出器4に接続されている。浮上圧検出器4は、支持面Fに支持されたシートWと支持面Fの間の背圧を計測する。本開示の各接続チューブ5a,5b,5cは、例えば樹脂チューブのような可撓性を有する素材で形成されているがこれ限られず、金属製のチューブ等を使用することもできる。
The
このような3つの検出孔2a,2b,2cは、図1(b)に示すようにシートWの搬送幅方向における中央近傍及び両端近傍に対応する位置に設けられている。すなわち、3つの検出孔2a,2b,2cのうち、検出孔2aはシートWの幅方向における左端近傍に位置し、検出孔2bはシートWの幅方向における中央近傍に位置し、また検出孔2cはシートWの幅方向における右端近傍に位置する。
As shown in FIG. 1B, such three
浮上圧検出器4は、上記接続チューブ5a,5b,5cを介してエアーターンバー2に接続されており、エアーターンバー2の検出孔2a,2b,2c及び接続チューブ5a,5b,5cを介して流入する浮上エアーの背圧をシートWの浮上圧として検出する。より詳しくは、浮上圧検出器4は、エアーターンバー2の検出孔2a,2b,2cに対応する3つの圧力センサ4a,4b,4cを備えている。これら3つの圧力センサ4a,4b,4cのうち、圧力センサ4aは接続チューブ5aを介して検出孔2aに接続され、圧力センサ4bは接続チューブ5bを介して検出孔2bに接続され、また圧力センサ4cは接続チューブ5cを介して検出孔2cに接続されている。
The
このような圧力センサ4aは、検出孔2aにおけるシートWの背圧、つまり幅方向におけるシートWの左端近傍におけるシートWの浮上圧を検出する。また、圧力センサ4bは、検出孔2bにおけるシートWの浮上圧、つまり幅方向におけるシートWの中央近傍におけるシートWの浮上圧を検出する。さらに、圧力センサ4cは、検出孔2cにおけるシートWの浮上圧、つまり幅方向におけるシートWの右端近傍におけるシートWの浮上圧を検出する。すなわち、搬送幅方向に離隔して支持面Fに設けられた検出孔と、各検出孔と連通するチューブと、各チューブに接続された圧力センサにより、搬送幅方向の異なる位置におけるシートWの背圧の分布を計測することが出来る。
Such a
ここで、上記エアーターンバー2について、さらに詳細を説明する。図2は、上記エアーターンバー2の詳細構成を示すものであり、検出孔2aの近傍部位の構成を示す要部断面図である。このエアーターンバー2は、略半円柱状のエアーチャンバ2dの半円柱面に、当該半円柱面と同形状かつ所定厚を有する半円環状の多孔質体2eが設けられたものである。すなわち、多孔質体2eの露出する面が支持面Fとなっており、その背面がエアチャンバ―に対向する。上記検出孔2aは、多孔質体2eの支持面Fから延伸し、多孔質体2eのエアーチャンバ2dと対向する背面の開口まで延伸する貫通孔Hを備える。また、エアーチャンバ2dには、多孔質体2eの貫通孔の開口と対向して開口が設けられている。また、エアーチャンバ2dの背面2fにも同様に開口か設けられている。本実施形態においては、支持面Fの開口と、多孔質体2eの背面の開口、多孔質体2eの背面の開口と対向するエアーチャンバ2dの開口及び、エアーチャンバ2dの背面2fの開口は一つの直線上に配置されている。すなわち、多孔質体2cの表面の支持面とエアチャンバ―2dの背面2fをつなぎ貫通孔Hが構成されている。
Here, the
この貫通孔Hには、図示するように管状部材6(筒状体)が嵌合されている。管状部材6は、第1管部6a(遮蔽壁)、第2管部6b(装着部)及びフランジ部6cを備えている。つまり、管状部材6のフランジ部のフランジ面から第1管部6aが延伸し、第1管部6aが延伸するフランジ面の背面側から、第2管部6b(装着部)が延伸している。なお、フランジ部には第1管部6a(遮蔽壁)と第2管部6b(装着部)を連通する貫通孔を備える。第1管部6aは、上記貫通孔Hに嵌入される直管部位である。すなわち、エアチャンバ―2dの背面2fの開口面から、支持面Fの開口面まで延伸している。第1管部6aは、上記貫通孔Hの長さと略同一な管長を有する。つまり、この第1管部6aは、検出孔2aの開口面まで延伸している。この第1管部6aは、浮上エアーに対して遮蔽壁として機能する部位である。
As shown in the figure, a tubular member 6 (cylindrical body) is fitted in the through hole H. The tubular member 6 includes a
第2管部6bは、第1管部6aと同軸上かつ反対側に設けられた直管部位であり、接続チューブ5aが嵌合され、シールされる。なお、本実施形態のチューブ5aは、その内周面が第2管部6bの外周面と当接する形で嵌合されている。フランジ部6cは、第1管部6aと第2管部6bとの間に位置し、第1管部6a及び第2管部6bの半径方向に円盤状に突出する円板状突出部である。
The
このような管状部材6は、第1管部6aの先端が多孔質体2eの表面であるエアーターンバー2の支持面Fと面一となるように、エアーチャンバ2d及び多孔質体2eの貫通孔Hに嵌合している。すなわち、第1管部6aを貫通孔Hに嵌入した場合にフランジ部6cの外周部がエアーチャンバ2dの背面2f(多孔質体2eの背面側)に当接することにより、第1管部6aの貫通孔Hに対する嵌入長さが規制される。本実施形態では、多孔質体2eに、フランジ部6cのフランジ面が当接している。しかし、これに限らず、多孔質体2eに延接された部材(つまり、多孔質体と可動部を介さずに、組付けられている一連の部材)であれば、多孔質体2eとの相対的な位置関係の変動はほぼなく、フランジ部6cを取り付けることが可能である。特に、フランジ面が支持面と対向していると、取付け性がよい。
In such a tubular member 6, the through holes of the
エアーチャンバ2dは、図示しない接続具によって浮上エアー供給部3と接続されており、当該浮上エアー供給部3から浮上エアー(圧縮エアー)が供給される。また、このエアーチャンバ2dの表面2gつまり多孔質体2eとの当接面には多数の穴(供給穴)が形成されている。このエアーチャンバ2dは、浮上エアー供給部3から供給された浮上エアーを供給穴を介して多孔質体2eの背面に供給する。
The
多孔質体2eは、無数の連通孔が均一に形成された材料からなる半円環状部材である。すなわち、多孔質体2eは、背面と表面(噴射面F)とを結ぶ無数の連通孔を備える。したがって、エアーチャンバ2dから多孔質体2eの背面に供給された浮上エアーは、多孔質体2eの各連通孔を経由して表面(噴射面F)からシートWに向けて噴出される。
The
このように構成されたテンション検出装置は、多孔質体2eの表面(噴射面F)からシートW(被検出物)に向けて噴射した浮上エアー(流体)を多孔質体2eに形成された3つの検出孔2a,2b,2cから取り込むことによりシートWの浮上圧を検出する。また、このテンション検出装置兼浮上装置は、シートWの浮上圧をシートWに作用するテンションを示すテンション検出信号として外部に出力する。
In the tension detection device configured in this way, the floating air (fluid) injected from the surface (injection surface F) of the
次に、このようなテンション検出装置(浮上装置)の動作について、詳しく説明する。 Next, the operation of such a tension detection device (levitation device) will be described in detail.
このテンション検出装置では、浮上エアー供給部3がエアーターンバー2に浮上エアーを供給することにより、シートWをエアーターンバー2の支持面Fから浮上する。そして、シートWは、この浮上した状態つまり非接触状態でエアーターンバー2を通過し、ガイドローラ1Aからガイドローラ1Bに向けて走行する。
In this tension detection device, the levitation
上記浮上圧検出器4は、シートWの幅方向における3ヶ所つまりシートWの左端近傍、中央近傍及び右端近傍における浮上圧を個別に検出する。
The
上記浮上エアーは、図2に示すようにエアーターンバー2の多孔質体2eの表面である支持面FからシートWの片面に向けて噴射され、支持面FとシートWの片面の間には圧力分布を持った空気の層が形成される。当該空気の層の圧力分布は、シートWに対向する検出孔2a,2b,2cから取り込まれ、各接続チューブ5a,5b,5cを介して各圧力センサ4a,4b,4cによって計測される。これにより、搬送幅方向に異なる位置の圧力の値が計測され、搬送幅方向における背圧の分布を計測することが出来る。
As shown in FIG. 2, the levitation air is injected from the support surface F, which is the surface of the
ここで、3つの検出孔2a,2b,2cは、何れもエアーチャンバ2d及び多孔質体2eに形成された貫通孔Hに管状部材6を嵌合させることによって構成されているので、多孔質体2eから検出孔2a,2b,2c内に浮上エアーが直接流れ込むことがない。これに対して、多孔質体2eの貫通孔Hの表面は多孔質体2eが本来的に有する無数の連通孔が露出したものとなるので、例えば管状部材6を省略した場合に、浮上エアーは、連通孔を介して多孔質体2eの貫通孔H内に直接流れ込むことになる。この貫通孔H内に直接流れ込んだ浮上エアーは、シートWの浮上圧を反映したものではないので、各圧力センサ4a,4b,4cは、正常な浮上圧を検出することができない。
Here, since the three
すなわち、本実施形態に係るテンション検出装置(浮上装置)によれば、各検出孔2a,2b,2cが各々に管状部材6を備えるので、多孔質体2eの貫通孔の周方向側面から流出する浮上エアーが各検出孔2a,2b,2cに直接流れ込むことを抑制することが可能である。そして、本実施形態に係るテンション検出装置(浮上装置)によれば、これによって各圧力センサ4a,4b,4cでより正確な浮上圧を検出することが可能である。
That is, according to the tension detection device (levitation device) according to the present embodiment, since each of the
また、本実施形態における管状部材6は、単純な管状ではなくフランジ部6cを備えているので、エアーチャンバ2d及び多孔質体2eの貫通孔Hに管状部材6を嵌入した場合に第1管部6aの先端が多孔質体2eの噴射面Fと面一となる。すなわち、本実施形態に係るテンション検出装置(浮上装置)によれば、第1管部6aの先端が多孔質体2eの噴射面Fから突出してシートWに接触することを抑制することが可能である。
Further, since the tubular member 6 in the present embodiment includes a
さらに、本実施形態における管状部材6はフランジ部6cを備えているので、各接続チューブ5a,5b,5cを各検出孔2a,2b,2cの第2管部6bに接続する際に、フランジ部6cにおける第2管部6b側の面が平坦な受け面として機能する。したがって、本実施形態に係るテンション検出装置(浮上装置)によれば、各接続チューブ5a,5b,5cを管状部材6に確実に接続することが可能である。
Further, since the tubular member 6 in the present embodiment includes the
このテンション検出装置では、各圧力センサ4a,4b,4cが検出したシートWの浮上圧は、シートWの左端近傍、中央近傍及び右端近傍においてシートWに作用する張力(テンション)の検出値として外部に出力される。すなわち、シートWの浮上圧は、シートWに作用する張力(テンション)に依存して変化する物理量である。本実施形態に係るテンション検出装置(浮上装置)によれば、シートWの左端近傍、中央近傍及び右端近傍においてシートWに作用する張力、つまりシートWの幅方向における張力分布を検出することが可能である。
In this tension detection device, the levitation pressure of the seat W detected by each
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、例えば以下のような変形例が考えられる。
(1)上記実施形態では、貫通孔Hに管状部材6を嵌合させることによって浮上エアーが検出孔2a,2b,2cに直接流れ込むことを抑制したが、本発明はこれに限定されない。例えば管状部材6に代えて、貫通孔Hの表面に遮蔽壁として機能する被膜を形成しても良い。この被膜としては、メッキ等によって貫通孔Hの表面に形成された金属皮膜あるいは塗装等によって貫通孔Hの表面に形成された樹脂被膜が考えられる。
The present invention is not limited to the above embodiment, and for example, the following modifications can be considered.
(1) In the above embodiment, the tubular member 6 is fitted into the through hole H to prevent the levitation air from directly flowing into the
(2)上記実施形態では、本発明に係る浮上装置をテンション検出装置に適用した場合について説明したが、本発明はこれに限定されない。本発明に係る浮上装置は、シートWに作用する張力(テンション)を検出すること以外の各種用途に適用することが可能である。すなわち、上記実施形態における一対のガイドローラ1A,1Bは、必須の構成要件ではなく、必要に応じて設けられる選択的構成要件である。
(2) In the above embodiment, the case where the levitation device according to the present invention is applied to the tension detection device has been described, but the present invention is not limited to this. The levitation device according to the present invention can be applied to various applications other than detecting the tension acting on the seat W. That is, the pair of
(3)上記実施形態では、浮上エアーつまり空気を多孔質体2eの表面(噴射面F)からシートW(被検出物)に向けて噴射する流体として用いたが、本発明はこれに限定されない。空気に換えて所定の不活性ガス、例えば窒素ガスを用いても良い。
(3) In the above embodiment, floating air, that is, air is used as a fluid for injecting air from the surface (injection surface F) of the
1A,1B ガイドローラ
2 エアーターンバー
2a,2b,2c 検出孔
2d エアーチャンバ
2e 多孔質体
2f 背面
2g 表面
3 浮上エアー供給部
4 浮上圧検出器
4a,4b,4c 圧力センサ
5a,5b,5c 接続チューブ
6 管状部材(筒状体)
6a 第1管部(遮蔽壁)
6b 第2管部(装着部)
6c フランジ部
F 支持面(半円柱面)
H 貫通孔
W シート
1A,
6a 1st pipe (shielding wall)
6b 2nd pipe part (mounting part)
6c Flange F Support surface (semi-cylindrical surface)
H through hole W sheet
Claims (6)
前記多孔質体に浮上ガスを供給するガス供給装置と、
前記支持面に設けられた開口と、
前記開口から延伸し、前記多孔質体に形成された貫通孔と、
少なくとも一部が前記貫通孔の内周面に包囲され、前記開口の開口面まで延伸する筒状
体と、
前記筒状体と連通する、圧力センサとを備え、
前記筒状体は、前記多孔質体の背面側に接続チューブの先端が装着される装着部を備える浮上装置。 A porous body with a support surface and
A gas supply device that supplies floating gas to the porous body and
With the opening provided on the support surface,
Through holes extending from the opening and formed in the porous body,
A tubular body that is at least partially surrounded by the inner peripheral surface of the through hole and extends to the opening surface of the opening.
A pressure sensor that communicates with the tubular body is provided .
Said tubular body, said porous body Ru levitation apparatus includes a mounting portion whose tip is mounted in the connection tube to the back side of the.
前記フランジ面は、前記多孔質体もしくは前記多孔質体に延接された部材に当接している請求項1に記載の浮上装置。 The tubular body has a flange surface and
The levitation device according to claim 1, wherein the flange surface is in contact with the porous body or a member extending from the porous body.
前記検出孔は、前記流体に対する遮蔽壁を備え、
前記遮蔽壁は、前記多孔質体の貫通孔に嵌合する管状部材によって形成され、
前記管状部材は、前記多孔質体の背面側に接続チューブの先端が装着される装着部を備える浮上装置。 A levitation device that detects the levitation pressure of the object to be detected by taking in the fluid jetted from the surface of the porous body toward the object to be detected through the detection holes formed in the porous body.
The detection hole comprises a shielding wall against the fluid .
The shielding wall is formed by a tubular member that fits into the through hole of the porous body.
It said tubular member is floating device Ru provided with a mounting portion front end of the connecting tube to the back side of the porous body is mounted.
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