JP6812429B2 - Light extraction film and organic electroluminescence light emitting device - Google Patents
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Description
本発明は、光散乱層を有する光取り出しフィルム、及び、光取り出しフィルムを備える有機エレクトロルミネッセンス発光装置に係わる。 The present invention relates to a light extraction film having a light scattering layer and an organic electroluminescence light emitting device including the light extraction film.
有機材料のエレクトロルミネッセンス(electroluminescence:以下、単にELともいう)を利用した有機エレクトロルミネッセンス素子は、数V〜数十V程度の低電圧で発光が可能な薄膜型の完全固体素子であり、高輝度、高発光効率、薄型、及び軽量といった多くの優れた特徴を有する。このため、各種ディスプレイのバックライト、看板や非常灯等の表示板、照明光源等の面発光体として、特に近年では薄型・軽量な樹脂基材にガスバリア層を有するガスバリア性フィルムを用いた有機EL素子が注目されている。 An organic electroluminescence element using electroluminescence (hereinafter, also simply referred to as EL), which is an organic material, is a thin-film type completely solid element capable of emitting light at a low voltage of several V to several tens V, and has high brightness. It has many excellent features such as high luminous efficiency, thinness, and light weight. For this reason, organic EL using a gas barrier film having a gas barrier layer on a thin and lightweight resin base material as a surface emitter such as a backlight for various displays, a display board for signboards and emergency lights, and an illumination light source, in particular in recent years. The element is attracting attention.
このような有機EL素子において、より発光効率を高めるために、光散乱層とガスバリア層とを有する機能性積層フィルムを、有機EL素子の基材として用いることが提案されている(例えば、特許文献1、特許文献2参照)。しかし、このような基材上に有機層等を作製する際に、光散乱層を構成する粒子が基材搬送中に剥離し、有機EL素子内に異物として混入してダークスポット等の故障が発生する場合がある。 In such an organic EL device, it has been proposed to use a functional laminated film having a light scattering layer and a gas barrier layer as a base material of the organic EL device in order to further improve the luminous efficiency (for example, Patent Documents). 1. See Patent Document 2). However, when an organic layer or the like is formed on such a base material, the particles constituting the light scattering layer are separated during the transportation of the base material and mixed as foreign matter in the organic EL element to cause a failure such as a dark spot. It may occur.
そこで、有機EL素子の信頼性を高めるために、有機EL素子の作製後に、有機EL素子の発光面側に、補助的なバリア性を有するガスバリア性フィルムを貼る技術が提案されている(例えば、特許文献3参照)。また、有機EL素子の発光効率を高めるために、有機EL素子の作製後に、有機EL素子の発光面側に、光取り出しフィルムを貼合して輝度を向上させる技術が提案されている(例えば、特許文献4参照)。 Therefore, in order to improve the reliability of the organic EL element, a technique has been proposed in which a gas barrier film having an auxiliary barrier property is attached to the light emitting surface side of the organic EL element after the organic EL element is manufactured (for example,). See Patent Document 3). Further, in order to increase the luminous efficiency of the organic EL element, a technique has been proposed in which a light extraction film is attached to the light emitting surface side of the organic EL element after the production of the organic EL element to improve the brightness (for example,). See Patent Document 4).
しかしながら、光取り出し効率とガスバリア性との両方の特性を得るために、上述の特許文献3に記載のガスバリア性フィルムと、特許文献4に記載の光取り出しフィルムとの両方を貼合すると、フィルム全体の厚さが増加し、個々のパネルの裁断によって、裁断面のバリア層に割れが発生しやすく、有機EL素子の封止性が低下する。一方で、複数のフィルムを貼り合せる構成では、全体の厚さを抑えるために、各層の厚さを小さくすると、積層フィルムに反り(カール)が発生してしまうため、作業性が低下する。
However, in order to obtain both the light extraction efficiency and the gas barrier property, when both the gas barrier film described in
上述した問題の解決のため、本発明においては、信頼性の低下、及び、作業性の低下を抑制することが可能な光取り出しフィルム、及び、有機エレクトロルミネッセンス発光装置を提供するものである。 In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides an optical extraction film capable of suppressing a decrease in reliability and a decrease in workability, and an organic electroluminescence light emitting device.
本発明の光取り出しフィルムは、基材と、基材の一方の面に形成されたガスバリア層と、基材の他方の面に形成された光散乱層と、ガスバリア層上に形成された粘着剤層とを備え、基材の厚さが10μm以上60μm以下であり、粘着剤層の厚さが、光散乱層の厚さの1倍以上3倍以下である。
また、本発明の有機エレクトロルミネッセンス素子は、上記光取り出しフィルムと有機エレクトロルミネッセンス素子とを備える。The light extraction film of the present invention has a base material, a gas barrier layer formed on one surface of the base material, a light scattering layer formed on the other surface of the base material, and an adhesive formed on the gas barrier layer. With a layer, the thickness of the base material is 10 μm or more and 60 μm or less, and the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer is 1 time or more and 3 times or less the thickness of the light scattering layer.
Further, the organic electroluminescence device of the present invention includes the above-mentioned light extraction film and an organic electroluminescence device.
本発明によれば、信頼性の低下及び作業性の低下を抑制することが可能な光取り出しフィルム、及び、有機エレクトロルミネッセンス発光装置を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a light extraction film capable of suppressing a decrease in reliability and a decrease in workability, and an organic electroluminescence light emitting device.
以下、本発明を実施するための形態の例を説明するが、本発明は以下の例に限定されるものではない。
なお、説明は以下の順序で行う。
1.光取り出しフィルムの形態
2.有機エレクトロルミネッセンス発光装置の実施の形態Hereinafter, examples of embodiments for carrying out the present invention will be described, but the present invention is not limited to the following examples.
The explanation will be given in the following order.
1. 1. Form of light extraction film 2. Embodiment of an organic electroluminescence light emitting device
〈1.光取り出しフィルムの形態〉
以下、光取り出しフィルムの具体的な実施の形態について説明する。
図1に光取り出しフィルムの概略構成を示す。図1に示す光取り出しフィルム10は、基材11の一方の面にガスバリア層12が形成され、他方の面に光散乱層13が形成されている。さらに、ガスバリア層12の表面において、基材11と反対側の面上(以下、ガスバリア層12上)に粘着剤層14が形成されている。<1. Form of light extraction film>
Hereinafter, specific embodiments of the light extraction film will be described.
FIG. 1 shows a schematic configuration of a light extraction film. In the
このような光取り出しフィルム10は、粘着剤層14を用いて、発光素子等の電子機器の光取り出し側の外装体に貼り合わせて用いられる。光取り出しフィルム10を貼り合せることにより、発光素子内部への反射を低減させて、発光素子の光取り出し効率を向上させることができる。
Such a
また、上記構造の光取り出しフィルム10において、基材11の厚さは10μm以上60μm以下であり、粘着剤層14の厚さは光散乱層13の厚さの1倍以上3倍以下である。基材11の厚さは、光取り出しフィルム10の全体の厚さへの影響が大きい。また、粘着剤層14の厚さと光散乱層13の厚さとの関係は、光取り出しフィルム10の反りを抑制する作用に大きく影響を与える。
Further, in the
さらに、光取り出しフィルム10では、基材11を上記範囲の厚さとし、粘着剤層14の厚さと光散乱層13の厚さとを上記関係とすることにより、光取り出しフィルム10の反り(カール)の発生を抑制することができる。上述のように、光取り出しフィルム10が薄すぎると、光取り出しフィルム10に反りが発生し、光取り出しフィルム10の製造工程中や、この光取り出しフィルム10を発光素子等に適用する際に、作業性が低下する。これに対し、光取り出しフィルム10では、各層が上記厚さに設計されることにより、反り(カール)の発生を抑制することができ、光取り出しフィルム10の作製や、光取り出しフィルム10を用いた電子機器等の作製において、作業性の低下を抑制することができる。
Further, in the
特に、上記構造の光取り出しフィルム10においては、光散乱層13の厚さが5μm以上30μm以下であることが好ましい。そして、光取り出しフィルム10は、全体の厚さが25μm以上110μm以下であることが好ましく、40μm以上80μm以下であることがより好ましい。また、粘着剤層14の厚さが10μm以上30μm以下であることが好ましい。光散乱層13の厚さや粘着剤層14の厚さが上記範囲内であると、光取り出しフィルム10の全体の厚さの抑制による信頼性の低下の抑制や、反りの抑制による作業性の向上がより顕著に得られる。
In particular, in the
光取り出しフィルム10では、1層の基材11に、ガスバリア層12、光散乱層13、及び、粘着剤層14が設けられている。このため、従来公知のガスバリア性フィルムと光取り出しフィルムとの2つのフィルムを用いる場合に比べて、光取り出しフィルム10全体の厚さを抑制することができる。
In the
従来構造の具体例としては、基材、ガスバリア層及び粘着剤層からなるガスバリア性フィルムと、基材及び光散乱層からなる光取り出しフィルムとを、粘着剤層によって貼り合せた[光散乱層/基材/粘着剤層/基材/ガスバリア層/粘着剤層]の構成が知られている。これに対し、図1に示す光取り出しフィルム10では、[光散乱層/基材/ガスバリア層/粘着剤層]の構成となるため、全体の厚さを抑制することが可能となる。
As a specific example of the conventional structure, a gas barrier film composed of a base material, a gas barrier layer and an adhesive layer and a light extraction film composed of a base material and a light scattering layer are bonded by an adhesive layer [light scattering layer / The composition of the base material / pressure-sensitive adhesive layer / base material / gas barrier layer / pressure-sensitive adhesive layer] is known. On the other hand, the
光取り出しフィルム10全体の厚さを抑制することにより、光取り出しフィルム10を作製する工程において、長尺の基材11上に形成した個々の光取り出しフィルム10を切り出す際に、裁断によるガスバリア層12に割れ等の損傷をより抑制することができる。このため、光取り出しフィルム10によるガスバリア性の低下をより抑制することができる。
In the step of producing the
なお、光取り出しフィルム10において、[光散乱層/基材/ガスバリア層/粘着剤層]の積層順が変更されなければ、各層の間、及び、光散乱層13の外側(基材11の反対側面)に他の層が形成されていてもよい。他の層が形成されている構成においても、裁断時のガスバリア層12の損傷を抑制するためには、光取り出しフィルム10の全体の厚さが、上記範囲内であることが好ましい。
In the
以下、光取り出しフィルム10の各構成要素について説明する。なお、光取り出しフィルム10において、透明とは、全光線透過率が50%以上であることとする。また、光取り出しフィルム10において、全光線透過率は、70%以上であることが好ましい。全光線透過率は、JIS K7105:1981に記載の方法に準拠し、積分球式光線透過率測定装置を用いて全光線透過率及び散乱光量を測定し、全光線透過率から拡散透過率を引いて算出する方法を用いることができる。
Hereinafter, each component of the
[基材]
基材11は、光取り出しフィルム10の支持体であり、ガスバリア層12及び光散乱層13を保持できれば、特に限定されない。基材11としては、具体的には、ポリエステル樹脂、メタクリル樹脂、メタクリル酸−マレイン酸共重合体、ポリスチレン樹脂、透明フッ素樹脂、ポリイミド、フッ素化ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、セルロースアシレート樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリカーボネート樹脂、脂環式ポリオレフィン樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリスルホン樹脂、シクロオレフィルンコポリマー、フルオレン環変性ポリカーボネート樹脂、脂環変性ポリカーボネート樹脂、フルオレン環変性ポリエステル樹脂、アクリロイル化合物等の熱可塑性樹脂を含む基材が挙げられる。基材11は、単独又は2種以上組み合わせて用いることができる。基材11が2層以上の積層構造である場合、各基材11は同じ種類であってもよいし異なる種類であってもよい。[Base material]
The
基材11は耐熱性を有する材料からなることが好ましい。具体的には、線膨張係数が15ppm/K以上100ppm/K以下で、ガラス転移温度(Tg)が100℃以上300℃以下の材料が好ましい。基材11のTgや線膨張係数は、添加剤等によって調整することができる。
The
光取り出しフィルム10を発光素子等に適用する場合には、基材11が150℃以上の工程に曝されることがある。この場合、光取り出しフィルム10の基材11の線膨張係数が100ppm/K以下であると、上述の工程で基板寸法の安定性がよく、熱膨張及び収縮に伴う、遮断性性能の劣化が生じにくい。或いは、熱工程にも耐えうる。基材11の線膨張係数が15ppm/K以上では、可撓性や柔軟性がよく、ガラスのように割れてしまうという問題が生じにくい。
When the
基材11として用いることができる熱可塑性樹脂において、より好ましい具体例としては、ポリエチレンテレフタレート(PET:70℃)、ポリエチレンナフタレート(PEN:120℃)、ポリカーボネート(PC:140℃)、脂環式ポリオレフィン(例えば日本ゼオン株式会社製、ゼオノア(登録商標)1600:160℃)、ポリアリレート(PAr:210℃)、ポリエーテルスルホン(PES:220℃)、ポリスルホン(PSF:190℃)、シクロオレフィンコポリマー(COC:特開2001−150584号公報に記載の化合物:162℃)、ポリイミド(例えば三菱ガス化学株式会社製、ネオプリム(登録商標):260℃)、フルオレン環変性ポリカーボネート(BCF−PC:特開2000−227603号公報に記載の化合物:225℃)、脂環変性ポリカーボネート(IP−PC:特開2000−227603号公報に記載の化合物:205℃)、アクリロイル化合物(特開2002−80616号公報に記載の化合物:300℃以上)等が挙げられる(括弧内はTgを示す)。基材11は、単層でもよいし2層以上の積層構造であってもよい。
More preferable specific examples of the thermoplastic resin that can be used as the
また、基材11は、未延伸フィルムでもよく、延伸フィルムでもよい。基材11は、従来公知の一般的な方法により製造することが可能である。これらの基材の製造方法については、国際公開第2013/002026号の段落[0051]〜[0055]に記載された構成を採用することもできる。
Further, the
基材11の表面には、密着性向上のための公知の種々の処理、例えばコロナ放電処理、火炎処理、酸化処理、又は、プラズマ処理等を行っていてもよく、必要に応じて上記処理を組み合わせて行っていてもよい。
The surface of the
基材11の厚さ(2層以上の積層構造である場合は総厚)は、10〜60μmであることが好ましく、20〜40μmであることがより好ましい。基材11の厚さが上記範囲であれば、光取り出しフィルム10の総厚を薄くすることができる。また、光取り出しフィルム10の反りが抑制されやすい。
The thickness of the base material 11 (total thickness in the case of a laminated structure of two or more layers) is preferably 10 to 60 μm, and more preferably 20 to 40 μm. When the thickness of the
(ハードコート層)
基材11は、表面(片面又は両面)にハードコート層等の特定の機能を付与するための層を有していてもよい。なお、これらの層は上述の基材11の厚さには含まれない。(Hard coat layer)
The
ハードコート層に含まれる材料の例としては、例えば、熱硬化性樹脂や活性エネルギー線硬化性樹脂が挙げられるが、成形が容易なことから、活性エネルギー線硬化性樹脂が好ましい。このような硬化性樹脂は、単独又は2種以上組み合わせても用いることができる。活性エネルギー線硬化性樹脂とは、紫外線や電子線のような活性エネルギー線照射により架橋反応等を経て硬化する樹脂をいう。活性エネルギー線硬化性樹脂としては、エチレン性不飽和二重結合を有するモノマーを含む材料が好ましく用いられる。この材料を、紫外線や電子線のような活性エネルギー線を照射することによって硬化させて、活性エネルギー線硬化性樹脂の硬化物を含む層、すなわちハードコート層を形成する。活性エネルギー線硬化性樹脂としては紫外線硬化性樹脂や電子線硬化性樹脂等が代表的なものとして挙げられるが、紫外線照射によって硬化する紫外線硬化性樹脂が好ましい。また、予めハードコート層が形成されている市販の基材11を用いてもよい。
Examples of the material contained in the hard coat layer include a thermosetting resin and an active energy ray-curable resin, but an active energy ray-curable resin is preferable because molding is easy. Such curable resins can be used alone or in combination of two or more. The active energy ray-curable resin refers to a resin that is cured through a cross-linking reaction or the like by irradiation with active energy rays such as ultraviolet rays or electron beams. As the active energy ray-curable resin, a material containing a monomer having an ethylenically unsaturated double bond is preferably used. This material is cured by irradiating it with active energy rays such as ultraviolet rays and electron beams to form a layer containing a cured product of an active energy ray-curable resin, that is, a hard coat layer. Typical examples of the active energy ray-curable resin include an ultraviolet curable resin and an electron beam curable resin, but an ultraviolet curable resin that is cured by ultraviolet irradiation is preferable. Further, a commercially
[ガスバリア層]
ガスバリア層12は、ガスバリア性を有する層であれば、特に限定されることなく、従来公知の構成を適用することができる。光取り出しフィルム10において要求されるガスバリア性としては、例えば、JIS−K−7129−1992に準拠した方法で測定された、水蒸気透過度(25±0.5℃、相対湿度90±2%RH)が0.01g/(m2・24時間)以下、JIS−K−7126−1987に準拠した方法で測定された酸素透過度が10−3ml/(m2・24時間・atm)以下である。光取り出しフィルム10において上記ガスバリア性が実現できるように、ガスバリア層12が構成されていればよい。ガスバリア層12は、単層で形成されていてもよく、複数の層からなる積層体であってもよい。[Gas barrier layer]
The
また、光取り出しフィルム10を構成するガスバリア層12は、無機化合物の気相成膜によって形成されたガスバリア層でも、塗布によって形成されたガバリア層でもよいが、ケイ素含有化合物を含有する液状組成物を、塗布及び乾燥することで得られるケイ素含有層であることが好ましい。特に、ケイ素含有層として、ポリシラザン改質層を含むことが好ましい。光取り出しフィルム10は、ガスバリア層12としてケイ素含有層やポリシラザン改質層を含むことにより、高いバリア性を確保することができる。ポリシラザン改質層とは、ポリシラザン化合物がエキシマ光等のエネルギー線によって改質されたポリシラザン改質部を、少なくとも一部に有する層である。一般的には、エネルギー線が照射された層の表面にポリシラザンの改質部が形成される。
Further, the
また、光取り出しフィルム10を構成するガスバリア層12は特に制限はなく、単層であれば蒸着バリア層であってもよいし、ケイ素含有化合物を含有する液状組成部を塗布及び乾燥して得られるケイ素含有層を有する膜であってもよい。さらに、最終的に複数の層で構成されてガスバリア層であってもよい。複数の層でガスバリア層が構成される場合には、蒸着により形成されたガスバリア層を有してもよく、前述のように塗布及び乾燥することで得られるケイ素含有層を有してもよく、両者の混合、すなわち積層構成の中の少なくとも一つのバリア層が、ケイ素含有化合物を含有する液状組成物を塗布及び乾燥することで得られるケイ素含有層を有する膜であってもよい。
The
[気相成膜]
気相成膜バリア層を形成するための気相成膜方法としては、特に限定されない。既存の薄膜堆積技術を利用することができる。例えば、従来公知の蒸着法、反応性蒸着法、スパッタ法、反応性スパッタ法、化学気相成長法等の気相製膜法を用いることができる。これらの気相成膜法は公知の方法で用いることができる。[Vaic phase film formation]
The gas phase film forming method for forming the vapor phase film forming barrier layer is not particularly limited. Existing thin film deposition techniques can be utilized. For example, a vapor phase film forming method such as a conventionally known vapor deposition method, a reactive vapor deposition method, a sputtering method, a reactive sputtering method, or a chemical vapor deposition method can be used. These vapor phase film forming methods can be used by known methods.
蒸着バリア層の膜厚に特に制限はない。蒸着方法は特に限定されず、既存の薄膜堆積技術を利用することができる。例えば、蒸着法、反応性蒸着法、スパッタ法、反応性スパッタ法、化学気相堆積法等を用いることができる。 The film thickness of the vapor deposition barrier layer is not particularly limited. The vapor deposition method is not particularly limited, and existing thin film deposition techniques can be used. For example, a vapor deposition method, a reactive vapor deposition method, a sputtering method, a reactive sputtering method, a chemical vapor deposition method, or the like can be used.
・反応性蒸着法
反応性蒸着法は、真空容器内に反応性ガスを導入し、蒸発源から蒸発した原子・分子を反応させて堆積させる方法であり、反応を促進させるためにプラズマ等の励起源を導入することもできる。代表的な原料として、蒸着源としては、珪素、窒化珪素、酸化珪素、酸窒化珪素等、反応性ガスとしては、窒素、水素、アンモニア、酸素等が用いられる。-Reactive thin-film deposition method The reactive vapor deposition method is a method in which a reactive gas is introduced into a vacuum vessel to react and deposit atoms and molecules evaporated from an evaporation source, and excitation of plasma or the like is performed to promote the reaction. Sources can also be introduced. As a typical raw material, silicon, silicon nitride, silicon oxide, silicon oxynitride and the like are used as the vapor deposition source, and nitrogen, hydrogen, ammonia, oxygen and the like are used as the reactive gas.
・スパッタ法
スパッタ法は、電界加速した高エネルギーイオンをターゲットに入射させ、ターゲットの構成原子を叩き出すスパッタリング現象を利用し、スパッタされたターゲットの構成原子を基材に堆積させる方法である。反応性スパッタ法は、真空容器内に反応性ガスを導入し、スパッタされたターゲットの構成原子と反応性ガスとを反応させて、基材に堆積させる方法である。代表的な原料として、ターゲット材には、珪素、窒化珪素、酸化珪素、酸窒化珪素等、反応性ガスとしては、窒素、水素、アンモニア、酸素等が用いられる。-Sputtering method The sputtering method is a method of depositing sputtered target constituent atoms on a substrate by utilizing a sputtering phenomenon in which high-energy ions that have been accelerated by an electric field are incident on the target and the target constituent atoms are knocked out. The reactive sputtering method is a method in which a reactive gas is introduced into a vacuum vessel, the constituent atoms of the sputtered target are reacted with the reactive gas, and the gas is deposited on a substrate. As a typical raw material, silicon, silicon nitride, silicon oxide, silicon oxynitride and the like are used as the target material, and nitrogen, hydrogen, ammonia, oxygen and the like are used as the reactive gas.
・化学気相堆積法
化学気相堆積法は、真空容器内に膜の構成元素を含む材料ガスを導入し、特定の励起源により材料ガスを励起することで、化学反応により励起種を形成し、基材に堆積させる方法である。代表的な原料として、モノシラン、ヘキサメチルジシラザン、アンモニア、窒素、水素、酸素等が用いられる。化学気相堆積法は、高速製膜が可能であり、スパッタ法等に比べ基材に対する被覆性が良好であることからより有望な手法である。特に、非常に高温の触媒体を励起源とした触媒化学気相堆積(Cat−CVD)法や、プラズマを励起源としたプラズマ化学気相堆積(PECVD)法が好ましい方法である。以下、これらの手法について詳しく説明する。-Chemical gas phase deposition method In the chemical gas phase deposition method, a material gas containing a constituent element of a film is introduced into a vacuum vessel, and the material gas is excited by a specific excitation source to form an excited species by a chemical reaction. , A method of depositing on a substrate. As a typical raw material, monosilane, hexamethyldisilazane, ammonia, nitrogen, hydrogen, oxygen and the like are used. The chemical vapor deposition method is a more promising method because it enables high-speed film formation and has better coverage on the substrate than the sputtering method or the like. In particular, a catalytic chemical vapor deposition (Cat-CVD) method using a very high temperature catalyst as an excitation source and a plasma chemical vapor deposition (PECVD) method using a plasma as an excitation source are preferable methods. Hereinafter, these methods will be described in detail.
(Cat−CVD法)
Cat−CVD法は、タングステン等からなるワイヤを内部に配した真空容器に材料ガスを流入させ、電源により通電加熱されたワイヤで材料ガスを接触分解反応させ、生成された反応種を基材に堆積させる方法である。例えば、窒化シリコンを堆積させる場合、材料ガスとしては、モノシラン、アンモニア、水素が使われる。酸窒化シリコンを堆積させる場合は、上記の材料ガスに加え、酸素を添加する。条件例としては、触媒体であるタングステンワイヤ(例:Φ0.5長さ2.8m)を1800℃に通電加熱させ、材料ガスとして、モノシラン、アンモニア、水素(4/200/200sccm)を流通させ、圧力を10Paに維持して、100℃に温調した基材上に膜を堆積させる。触媒体上での分解反応で生成される反応種のうち、主な堆積種はSiH3 *とNH2 *であり、H*は膜表面での反応補助種である。特に水素を添加する事で、多量のH*を生成でき、堆積速度は減少するものの、膜中のSi−H結合やN−H結合に由来するHを除去する反応を促進すると考えられている。(Cat-CVD method)
In the Cat-CVD method, a material gas is flowed into a vacuum vessel in which a wire made of tungsten or the like is arranged inside, and the material gas is subjected to a catalytic cracking reaction with a wire energized and heated by a power source, and the generated reaction species is used as a base material. It is a method of depositing. For example, when silicon nitride is deposited, monosilane, ammonia, and hydrogen are used as the material gas. When silicon oxynitride is deposited, oxygen is added in addition to the above material gas. As an example of conditions, a tungsten wire (eg, Φ0.5, length 2.8 m), which is a catalyst, is energized and heated to 1800 ° C., and monosilane, ammonia, and hydrogen (4/200/200 sccm) are circulated as material gases. The pressure is maintained at 10 Pa, and the film is deposited on the substrate whose temperature is adjusted to 100 ° C. Among the reaction species produced by the decomposition reaction on the catalyst body, the main deposited species are SiH 3 * and NH 2 * , and H * is a reaction auxiliary species on the membrane surface. In particular, it is thought that the addition of hydrogen can generate a large amount of H * and reduce the deposition rate, but promote the reaction for removing H derived from Si—H bonds and NH bonds in the membrane. ..
(PECVD法)
PECVD法は、プラズマ源を搭載した真空容器に材料ガスを流入させ、電源からプラズマ源に電力供給することで真空容器内に放電プラズマを発生させ、プラズマで材料ガスを分解反応させ、生成された反応種を基材12に堆積させる方法である。プラズマ源の方式としては、平行平板電極を用いた容量結合プラズマ、誘導結合プラズマ、表面波を利用したマイクロ波励起プラズマ等が使われる。(PECVD method)
The PECVD method is generated by inflowing a material gas into a vacuum vessel equipped with a plasma source, supplying power from a power source to the plasma source to generate discharge plasma in the vacuum vessel, and decomposing and reacting the material gas with the plasma. This is a method of depositing the reaction species on the
[塗布法:ケイ素含有層]
ケイ素含有化合物を含有する液状組成物を、塗布及び乾燥することで得られるケイ素含有層は、特定の組成を有することでガスバリア性を発現する。また、気相成膜法で形成される場合とは異なり、ケイ素含有層は、成膜時にパーティクル等の異物混入がほとんどなくなり、欠陥が非常に少ないガスバリア層を形成することが可能となる。[Coating method: Silicon-containing layer]
The silicon-containing layer obtained by applying and drying a liquid composition containing a silicon-containing compound exhibits gas barrier properties by having a specific composition. Further, unlike the case of being formed by the vapor phase film forming method, the silicon-containing layer can form a gas barrier layer having very few defects because foreign substances such as particles are hardly mixed during the film forming.
ガスバリア層12を構成するケイ素含有層の厚さ(2層以上の積層構造である場合は総厚)は、ガスバリア性能の観点から、10〜1000nmであることが好ましく、50〜600nmであることがより好ましく、50〜300nmであることがさらに好ましい。この範囲であれば、ガスバリア性と耐久性とのバランスが良好となる。 The thickness of the silicon-containing layer constituting the gas barrier layer 12 (total thickness in the case of a laminated structure of two or more layers) is preferably 10 to 1000 nm, preferably 50 to 600 nm, from the viewpoint of gas barrier performance. More preferably, it is more preferably 50 to 300 nm. Within this range, the balance between gas barrier property and durability is good.
ケイ素含有層を形成するためのケイ素含有化合物としては、例えば、ポリシロキサン、ポリシルセスキオキサン、ポリシラザン、ポリシロキサザン、ポリシラン、ポリカルボシラン等を挙げることができる。これらの中でも、ケイ素−窒素結合、ケイ素−水素結合、及び、ケイ素−ケイ素結合からなる群より選ばれる少なくとも1種を有することが好ましい。 Examples of the silicon-containing compound for forming the silicon-containing layer include polysiloxane, polysilsesquioxane, polysilazane, polysiloxazan, polysilane, and polycarbosilane. Among these, it is preferable to have at least one selected from the group consisting of a silicon-nitrogen bond, a silicon-hydrogen bond, and a silicon-silicon bond.
ケイ素含有化合物としてより好ましくは、ケイ素−窒素結合とケイ素−水素結合とを有するポリシラザン、ケイ素−窒素結合を有するポリシロキサザン、ケイ素−水素結合を有するポリシロキサン、ケイ素−水素結合を有するポリシルセスキオキサン、ケイ素−ケイ素結合を有するポリシランを用いることができる。ケイ素−窒素結合、ケイ素−水素結合、及び、ケイ素−ケイ素結合のいずれかを有するケイ素含有化合物を用いることが好ましい。 More preferably, the silicon-containing compound is polysilazane having a silicon-nitrogen bond and a silicon-hydrogen bond, polysiloxazan having a silicon-nitrogen bond, polysiloxane having a silicon-hydrogen bond, and polysilsesqui having a silicon-hydrogen bond. Oxane, a polysilane having a silicon-silicon bond can be used. It is preferable to use a silicon-containing compound having any of a silicon-nitrogen bond, a silicon-hydrogen bond, and a silicon-silicon bond.
ポリシロキサン、ポリシルセスキオキサン、及び、ポリシロキサザンの具体例としては、特開2012−116101号公報の段落「0093」〜「0121」に記載の化合物が挙げられる。ポリシロキサンとしては、特に水素化(ハイドロジェン)ポリシロキサンが好ましい。 Specific examples of polysiloxane, polysilsesquioxane, and polysiloxazan include the compounds described in paragraphs "093" to "0121" of JP2012-116101A. As the polysiloxane, hydrogenated (hydrogen) polysiloxane is particularly preferable.
ポリシランの形態は特に制限されず、非環状ポリシラン(直鎖状ポリシラン、分岐鎖状ポリシラン、網目状ポリシラン等)や、環状ポリシラン等の単独重合体であってもよく、また、ランダム共重合体、ブロック共重合体、交互共重合体、くし型共重合体等の共重合体であってもよい。 The form of polysilane is not particularly limited, and may be a homopolymer such as acyclic polysilane (linear polysilane, branched chain polysilane, network polysilane, etc.), cyclic polysilane, etc., or a random copolymer, It may be a copolymer such as a block copolymer, an alternating copolymer, or a comb-type copolymer.
ポリシランが非環状ポリシランである場合は、ポリシランの末端基(末端置換基)は、水素原子であっても、ハロゲン原子(塩素原子等)、アルキル基、ヒドロキシル基、アルコキシ基、シリル基等であってもよい。 When the polysilane is an acyclic polysilane, the terminal group (terminal substituent) of the polysilane is a halogen atom (chlorine atom or the like), an alkyl group, a hydroxyl group, an alkoxy group, a silyl group or the like even if it is a hydrogen atom. You may.
ポリシランの具体例としては、ポリジメチルシラン、ポリ(メチルプロピルシラン)、ポリ(メチルブチルシラン)、ポリ(メチルペンチルシラン)、ポリ(ジブチルシラン)、ポリ(ジヘキシルシラン)等のポリジアルキルシラン、ポリ(ジフェニルシラン)等のポリジアリールシラン、ポリ(メチルフェニルシラン)、ポリ(アルキルアリールシラン)等のホモポリマー、ジメチルシラン−メチルヘキシルシラン共重合体等のジアルキルシランと他のジアルキルシランとの共重合体、フェニルシラン−メチルフェニルシラン共重合体等のアリールシラン−アルキルアリールシラン共重合体、ジメチルシラン−メチルフェニルシラン共重合体、ジメチルシラン−フェニルヘキシルシラン共重合体、ジメチルシラン−メチルナフチルシラン共重合体、メチルプロピルシラン−メチルフェニルシラン共重合体のジアルキルシラン−アルキルアリールシラン共重合体等のコポリマー、等が挙げられる。 Specific examples of polysilanes include polydialkylsilanes such as polydimethylsilane, poly (methylpropylsilane), poly (methylbutylsilane), poly (methylpentylsilane), poly (dibutylsilane), and poly (dihexylsilane), and poly. Polydiarylsilane such as (diphenylsilane), homopolymer such as poly (methylphenylsilane), poly (alkylarylsilane), dialkylsilane such as dimethylsilane-methylhexylsilane copolymer, and co-weight of other dialkylsilane Combined, arylsilane-alkylarylsilane copolymer such as phenylsilane-methylphenylsilane copolymer, dimethylsilane-methylphenylsilane copolymer, dimethylsilane-phenylhexylsilane copolymer, dimethylsilane-methylnaphthylsilane Examples thereof include a polymer, a copolymer of a dialkylsilane-alkylarylsilane copolymer of a methylpropylsilane-methylphenylsilane copolymer, and the like.
ポリカルボシランは、分子内の主鎖に(−Si−C−)結合を有する高分子化合物である。ポリカルボシランとしては、下記式(a)で表される繰り返し単位を含むものが好ましい。 Polycarbosilane is a polymer compound having a (-Si-C-) bond in the main chain in the molecule. As the polycarbosilane, those containing a repeating unit represented by the following formula (a) are preferable.
式中、Rw、Rvは、それぞれ独立して、水素原子、ヒドロキシル基、アルキル基、アリール基、アルケニル基、又は、1価の複素環基を表す。複数のRw、Rvは、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。Rは、アルキレン基、アリーレン基又は2価の複素環基を表す。
式(a)で表される繰り返し単位を有するポリカルボシランの重量平均分子量は、通常400〜12000である。In the formula, Rw and Rv independently represent a hydrogen atom, a hydroxyl group, an alkyl group, an aryl group, an alkenyl group, or a monovalent heterocyclic group. The plurality of Rw and Rv may be the same or different. R represents an alkylene group, an arylene group or a divalent heterocyclic group.
The weight average molecular weight of the polycarbosilane having the repeating unit represented by the formula (a) is usually 400 to 12000.
Rw、Rvの1価の複素環基の複素環としては、炭素原子の他に酸素原子、窒素原子、硫黄原子等のヘテロ原子を少なくとも1つ含む3〜10員の環状化合物であれば特に制約はない。1価の複素環基の具体例としては、2−ピリジル基、3−ピリジル基、4−ピリジル基、2−チエニル基、3−チエニル基、2−フリル基、3−フリル基、3−ピラゾリル基、4−ピラゾリル基、2−イミダゾリル基、4−イミダゾリル基、1,2,4−トリアジン−3−イル基、1,2,4−トリアジン−5−イル基、2−ピリミジル基、4−ピリミジル基、5−ピリミジル基、3−ピリダジル基、4−ピリダジル基、2−ピラジル基、2−(13,5−トリアジル)基、3−(1,2,4−トリアジル)基、6−(1,2,4−トリアジル)基、2−チアゾリル基、5−チアゾリル基、3−イソチアゾリル基、5−イソチアゾリル基、2−(13,4−チアジアゾリル)基、3−(1,2,4−チアジアゾリル)基、2−オキサゾリル基、4−オキサゾリル基、3−イソオキサゾリル基、5−イソオキサゾリル基、2−(13,4−オキサジアゾリル)基、3−(1,2,4−オキサジアゾリル)基、5−(1,2,3−オキサジアゾリル)基等が挙げられる。これらの基は、任意の位置に、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基等の置換基を有していてもよい。 The heterocycle of the monovalent heterocyclic group of Rw and Rv is particularly limited as long as it is a 3- to 10-membered cyclic compound containing at least one heteroatom such as an oxygen atom, a nitrogen atom, and a sulfur atom in addition to the carbon atom. There is no. Specific examples of the monovalent heterocyclic group include 2-pyridyl group, 3-pyridyl group, 4-pyridyl group, 2-thienyl group, 3-thienyl group, 2-furyl group, 3-furyl group and 3-pyrazolyl. Group, 4-pyrazolyl group, 2-imidazolyl group, 4-imidazolyl group, 1,2,4-triazine-3-yl group, 1,2,4-triazine-5-yl group, 2-pyrimidyl group, 4- Pyrimidyl group, 5-pyrimidyl group, 3-pyridadyl group, 4-pyridadyl group, 2-pyrazyl group, 2- (13,5-triazine) group, 3- (1,2,4-triazine) group, 6- ( 1,2,4-triazil) group, 2-thiazolyl group, 5-thiazolyl group, 3-isothiazolyl group, 5-isothiazolyl group, 2- (13,4-thiadiazolyl) group, 3- (1,2,4- Thiasiazolyl) group, 2-oxazolyl group, 4-oxazolyl group, 3-isooxazolyl group, 5-isooxazolyl group, 2- (13,4-oxadiazolyl) group, 3- (1,2,4-oxadiazolyl) group, 5- Examples thereof include a (1,2,3-oxadiazolyl) group. These groups may have substituents such as an alkyl group, an aryl group, an alkoxy group and an aryloxy group at arbitrary positions.
Rのアルキレン基としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、トリメチレン基、テトラメチレン基、ペンタメチレン基、ヘキサメチレン基、オクタメチレン基等の炭素数1〜10のアルキレン基が挙げられる。アリーレン基としては、p−フェニレン基、1,4−ナフチレン基、2,5−ナフチレン基等の炭素数6〜20のアリーレン基が挙げられる。Rのアルキレン基、アリーレン基は、任意の位置に、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、ハロゲン原子等の置換基を有していてもよい。 Examples of the alkylene group of R include an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms such as a methylene group, an ethylene group, a propylene group, a trimethylene group, a tetramethylene group, a pentamethylene group, a hexamethylene group and an octamethylene group. Examples of the arylene group include an arylene group having 6 to 20 carbon atoms such as a p-phenylene group, a 1,4-naphthylene group and a 2,5-naphthylene group. The alkylene group and arylene group of R may have a substituent such as an alkyl group, an aryl group, an alkoxy group or a halogen atom at an arbitrary position.
Rの2価の複素環基としては、炭素原子の他に酸素原子、窒素原子、硫黄原子等のヘテロ原子を少なくとも1つ含む3〜10員の複素環化合物から導かれる2価の基であれば特に制約はない。2価の複素環基の具体例としては、2,5−チオフェンジイル基等のチオフェンジイル基、2,5−フランジイル基等のフランジイル基、2,5−セレノフェンジイル基等のセレノフェンジイル基、2,5−ピロールジイル基等のピロールジイル基、2,5−ピリジンジイル基、2,6−ピリジンジイル基等のピリジンジイル基、2,5−チエノ[3,2−b]チオフェンジイル基、2,5−チエノ[2,3−b]チオフェンジイル基等のチエノチオフェンジイル基、2,6−キノリンジイル基等のキノリンジイル基、1,4−イソキノリンジイル基、1,5−イソキノリンジイル基等のイソキノリンジイル基、5,8−キノキサリンジイル基等のキノキサリンジイル基、4,7−ベンゾ[1,2,5]チアジアゾールジイル基等のベンゾ[1,2,5]チアジアゾールジイル基、4,7−ベンゾチアゾールジイル基等のベンゾチアゾールジイル基、2,7−カルバゾールジイル基、3,6−カルバゾールジイル基等のカルバゾールジイル基、3,7−フェノキサジンジイル基等のフェノキサジンジイル基、3,7−フェノチアジンジイル基等のフェノチアジンジイル基、2,7−ジベンゾシロールジイル基等のジベンゾシロールジイル基、2,6−ベンゾ[1,2−b:4,5−b’]ジチオフェンジイル基、2,6−ベンゾ[1,2−b:5,4−b’]ジチオフェンジイル基、2,6−ベンゾ[2,1−b:3,4−b’]ジチオフェンジイル基、2,6−ベンゾ[1,2−b:3,4−b’]ジチオフェンジイル基等のベンゾジチオフェンジイル基等が挙げられる。Rの2価の複素環基は、任意の位置に、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、ハロゲン原子等の置換基を有していてもよい。 The divalent heterocyclic group of R may be a divalent group derived from a 3- to 10-membered heterocyclic compound containing at least one heteroatom such as an oxygen atom, a nitrogen atom, or a sulfur atom in addition to a carbon atom. There are no particular restrictions. Specific examples of the divalent heterocyclic group include a thiophendiyl group such as a 2,5-thiophendiyl group, a frangyl group such as a 2,5-frangyl group, and a selenophene such as a 2,5-selenofendiyl group. Pyrrole diyl group such as diyl group, 2,5-pyrrole diyl group, pyridine diyl group such as 2,5-pyridinediyl group, 2,6-pyridinediyl group, 2,5-thieno [3,2-b] thiophendiyl group , 2,5-Thieno [2,3-b] Thienothiophenidyl group such as thiophendiyl group, quinolinediyl group such as 2,6-quinolindiyl group, 1,4-isoquinolindiyl group, 1,5-isoquinolindiyl group, etc. Isoquinolindiyl groups, quinoxalindiyl groups such as 5,8-quinoxalindiyl groups, benzo [1,2,5] thiaxazolediyl groups such as 4,7-benzo [1,2,5] thiazazolediyl groups, 4,7 -Benzothiazolediyl group such as benzothiazolediyl group, 2,7-carbazolediyl group, carbazolediyl group such as 3,6-carbazolediyl group, phenoxazinediyl group such as 3,7-phenoxazinediyl group, 3, A phenothiazinediyl group such as a 7-phenothiazinediyl group, a dibenzosiloldiyl group such as a 2,7-dibenzosiloldiyl group, a 2,6-benzo [1,2-b: 4,5-b'] dithiophendiyl group, 2,6-benzo [1,2-b: 5,4-b'] dithiophendiyl group, 2,6-benzo [2,1-b: 3,4-b'] dithiophendiyl group, 2, Examples thereof include a benzodithiophenidyl group such as a 6-benzo [1,2-b: 3,4-b'] dithiophendiyl group. The divalent heterocyclic group of R may have a substituent such as an alkyl group, an aryl group, an alkoxy group, or a halogen atom at an arbitrary position.
これらの中でも、式(a)において、Rw、Rvがそれぞれ独立して、水素原子、アルキル基又はアリール基であり、Rがアルキレン基又はアリーレン基である繰り返し単位を含むポリカルボシランがより好ましい。さらに、Rw、Rvがそれぞれ独立して、水素原子又はアルキル基であり、Rがアルキレン基である繰り返し単位を含むポリカルボシランが好ましい。 Among these, in the formula (a), polycarbosilane containing a repeating unit in which Rw and Rv are independently hydrogen atoms, alkyl groups or aryl groups and R is an alkylene group or an arylene group is more preferable. Further, a polycarbosilane containing a repeating unit in which Rw and Rv are independently hydrogen atoms or alkyl groups and R is an alkylene group is preferable.
ケイ素含有層の形成材料として、ポリシラザンがより好ましい。
ポリシラザンとは、ケイ素−窒素結合を有するポリマーであり、Si−N、Si−H、N−H等の結合を有するSiO2、Si3N4、及び両方の中間固溶体SiOxNy等のセラミック前駆体無機ポリマーである。具体的には、ポリシラザンは、好ましくは下記一般式(I)に示す構造を有する。Polysilazane is more preferable as a material for forming the silicon-containing layer.
Polysilazane is a polymer having a silicon-nitrogen bond, and is a ceramic such as SiO 2 , Si 3 N 4 , and both intermediate solid solutions SiO x N y having a bond of Si—N, Si—H, N—H, etc. It is a precursor inorganic polymer. Specifically, polysilazane preferably has a structure represented by the following general formula (I).
上記一般式(I)において、R1、R2及びR3は、それぞれ独立して、水素原子、置換又は非置換の、アルキル基、アリール基、ビニル基又は(トリアルコキシシリル)アルキル基である。この際、R1、R2及びR3は、それぞれ、同じであっても、異なっていてもよい。また、上記一般式(I)において、nは整数であり、上記一般式(I)で表される構造を有するポリシラザンが150〜150000g/モルの数平均分子量を有するように定められることが好ましい。
上記一般式(I)で表される構造を有する化合物において、好ましい態様の一つは、R1、R2及びR3のすべてが水素原子であるパーヒドロポリシラザンである。In the above general formula (I), R 1 , R 2 and R 3 are independently hydrogen atoms, substituted or unsubstituted alkyl groups, aryl groups, vinyl groups or (trialkoxysilyl) alkyl groups. .. At this time, R 1 , R 2 and R 3 may be the same or different, respectively. Further, in the general formula (I), n is an integer, and it is preferable that polysilazane having a structure represented by the general formula (I) is defined to have a number average molecular weight of 150 to 150,000 g / mol.
In the compound having the structure represented by the general formula (I), one of the preferable embodiments is perhydropolysilazane in which all of R 1 , R 2 and R 3 are hydrogen atoms.
また、ポリシラザンとしては、下記一般式(II)で表される構造を有するものが好ましい。 Further, as the polysilazane, those having a structure represented by the following general formula (II) are preferable.
上記一般式(II)において、R1’、R2’、R3’、R4’、R5’及びR6’は、それぞれ独立して、水素原子、置換又は非置換の、アルキル基、アリール基、ビニル基又は(トリアルコキシシリル)アルキル基である。この際、R1’、R2’、R3’、R4’、R5’及びR6’は、それぞれ、同じであっても、異なっていてもよい。また、上記一般式(II)において、n’及びpは、整数であり、一般式(II)で表される構造を有するポリシラザンが150〜150000g/モルの数平均分子量を有するように定められることが好ましい。なお、n’及びpは、同じであっても、異なっていてもよい。In the general formula (II), R 1 ', R 2', R 3 ', R 4', R 5 ' and R 6' are each independently a hydrogen atom, a substituted or unsubstituted alkyl group, It is an aryl group, a vinyl group, or a (trialkoxysilyl) alkyl group. In this case, R 1 ', R 2' , R 3 ', R 4', R 5 ' and R 6' are each, may be the same or different. Further, in the above general formula (II), n'and p are integers, and polysilazane having a structure represented by the general formula (II) is defined to have a number average molecular weight of 150 to 150,000 g / mol. Is preferable. Note that n'and p may be the same or different.
上記一般式(II)のポリシラザンのうち、R1’、R3’及びR6’が各々水素原子を表し、R2’、R4’及びR5’が各々メチル基を表す化合物、R1’、R3’及びR6’が各々水素原子を表し、R2’、R4’が各々メチル基を表し、R5’がビニル基を表す化合物、又は、R1’、R3’、R4’及びR6’が各々水素原子を表し、R2’及びR5’が各々メチル基を表す化合物が好ましい。Among the polysilazane of the formula (II), R 1 ', R 3' and R 6 'represents each a hydrogen atom, R 2', compounds R 4 'and R 5' are each a methyl group, R 1 ', R 3' and R 6 'are each a hydrogen atom, R 2', R 4 'are each a methyl group, R 5' compound represents a vinyl group, or, R 1 ', R 3' , R 4 'and R 6' are each a hydrogen atom, a compound R 2 'and R 5' represent each a methyl group is preferred.
また、ポリシラザンとしては、下記一般式(III)で表される構造を有するものが好ましい。 Further, as the polysilazane, those having a structure represented by the following general formula (III) are preferable.
上記一般式(III)において、R1”、R2”、R3”、R4”、R5”、R6”、R7”、R8”及びR9”は、それぞれ独立して、水素原子、置換又は非置換の、アルキル基、アリール基、ビニル基又は(トリアルコキシシリル)アルキル基である。この際、R1”、R2”、R3”、R4”、R5”、R6”、R7”、R8”及びR9”は、それぞれ、同じであっても、異なっていてもよい。In the above general formula (III), R 1 " , R 2" , R 3 " , R 4" , R 5 " , R 6" , R 7 " , R 8" and R 9 " are independent of each other. A hydrogen atom, substituted or unsubstituted alkyl group, aryl group, vinyl group or (trialkoxysilyl) alkyl group. In this case, R 1 " , R 2" , R 3 " , R 4" , R 5 " , R 6 " , R 7" , R 8 " and R 9" may be the same or different, respectively.
また、上記一般式(III)において、n”、p”及びqは、整数であり、一般式(III)で表される構造を有するポリシラザンが150〜150000g/モルの数平均分子量を有するように定められることが好ましい。なお、n”、p”及びqは、同じであっても、異なっていてもよい。Further, in the above general formula (III), n ", p" and q are integers so that polysilazane having a structure represented by the general formula (III) has a number average molecular weight of 150 to 150,000 g / mol. It is preferable to be determined. Note that n ", p " and q may be the same or different.
上記一般式(III)のポリシラザンのうち、R1”、R3”及びR6”が各々水素原子を表し、R2”、R4”、R5”及びR8”が各々メチル基を表し、R9”が(トリエトキシシリル)プロピル基を表し、R7”がアルキル基又は水素原子を表す化合物が好ましい。Of the polysilazanes of the above general formula (III), R 1 " , R 3" and R 6 " represent hydrogen atoms, respectively, and R 2" , R 4 " , R 5" and R 8 " represent a methyl group, respectively. , R 9 " represents a (triethoxysilyl) propyl group, and R 7" represents an alkyl group or a hydrogen atom.
一方、Siと結合する水素原子部分の一部がアルキル基等で置換されたオルガノポリシラザンは、メチル基等のアルキル基を有することにより下地である基材との接着性が改善され、かつ硬くてもろいポリシラザンによるセラミック膜に靭性を持たせることができる。このため、ケイ素含有層の厚さ(平均)を厚くした場合でもクラックの発生が抑えられる利点がある。このため、用途に応じて適宜、これらパーヒドロポリシラザンとオルガノポリシラザンとを選択してよく、混合して使用することもできる。 On the other hand, organopolysilazane in which a part of the hydrogen atom portion bonded to Si is substituted with an alkyl group or the like has an alkyl group such as a methyl group, so that the adhesiveness with the base material as a base is improved and is hard. The brittle polysilazane ceramic film can be made tough. Therefore, there is an advantage that the occurrence of cracks can be suppressed even when the thickness (average) of the silicon-containing layer is increased. Therefore, these perhydropolysilazane and organopolysilazane may be appropriately selected depending on the intended use, and may be mixed and used.
パーヒドロポリシラザンは、直鎖構造と6及び8員環を中心とする環構造とが存在する構造と推定されている。分子量は数平均分子量(Mn)で約600〜2000程度(ポリスチレン換算)で、液体又は固体の物質があり、状態は分子量により異なる。 Perhydropolysilazane is presumed to have a linear structure and a ring structure centered on 6- and 8-membered rings. The molecular weight is about 600 to 2000 (in terms of polystyrene) in terms of number average molecular weight (Mn), and there are liquid or solid substances, and the state varies depending on the molecular weight.
ポリシラザンは有機溶媒に溶解した溶液状態で市販されており、市販品をままケイ素含有層を形成するためのケイ素含有液状組成物として使用することができる。ポリシラザン溶液の市販品としては、AZエレクトロニックマテリアルズ株式会社製のNN120、NN120−20、NAX120−20、NN110、NN310、NN320、NL110A、NL120A、NL120−20、NL150A、NP110、NP140、SP140等が挙げられる。これらポリシラザン溶液は、単独又は2種以上組み合わせて用いることもできる。 Polysilazane is commercially available in a solution state dissolved in an organic solvent, and the commercially available product can be used as it is as a silicon-containing liquid composition for forming a silicon-containing layer. Commercially available products of polysilazane solution include NN120, NN120-20, NAX120-20, NN110, NN310, NN320, NL110A, NL120A, NL120-20, NL150A, NP110, NP140, SP140, etc. manufactured by AZ Electronic Materials Co., Ltd. Be done. These polysilazane solutions can also be used alone or in combination of two or more.
ケイ素含有層の形成に用いるポリシラザンの別の例として、以下のポリシラザンを挙げることができる。例えば、上記ポリシラザンにケイ素アルコキシドを反応させて得られるケイ素アルコキシド付加ポリシラザン(特開平5−238827号公報)、グリシドールを反応させて得られるグリシドール付加ポリシラザン(特開平6−122852号公報)、アルコールを反応させて得られるアルコール付加ポリシラザン(特開平6−240208号公報)、金属カルボン酸塩を反応させて得られる金属カルボン酸塩付加ポリシラザン(特開平6−299118号公報)、金属を含むアセチルアセトナート錯体を反応させて得られるアセチルアセトナート錯体付加ポリシラザン(特開平6−306329号公報)、金属微粒子を添加して得られる金属微粒子添加ポリシラザン(特開平7−196986号公報)等の、低温でセラミック化するポリシラザンが挙げられる。 Another example of polysilazane used for forming a silicon-containing layer is the following polysilazane. For example, a silicon alkoxide-added polysilazane obtained by reacting the above polysilazane with a silicon alkoxide (Japanese Patent Laid-Open No. 5-238827), a glycidol-added polysilazane obtained by reacting glycidol (Japanese Patent Laid-Open No. 6-122852), and an alcohol are reacted. Alcohol-added polysilazane (Japanese Patent Laid-Open No. 6-240208), metal carboxylate-added polysilazane (Japanese Patent Laid-Open No. 6-299118) obtained by reacting a metal carboxylate, and an acetylacetonate complex containing a metal. Acetylacetonate complex-added polysilazane (Japanese Patent Laid-Open No. 6-306329) obtained by reacting with, and metal fine particle-added polysilazane (Japanese Patent Laid-Open No. 7-196986) obtained by adding metal fine particles, etc. Polysilazane to be mentioned.
ケイ素含有層の形成にポリシラザンを用いる場合、真空紫外線照射前のケイ素含有層中におけるポリシラザンの含有率は、ケイ素含有層の全質量を100質量%としたとき、100質量%とすることができる。また、真空紫外線照射前のケイ素含有層がポリシラザン以外のものを含む場合には、層中におけるポリシラザンの含有率は、10質量%以上99質量%以下であることが好ましく、40質量%以上95質量%以下であることがより好ましく、特に好ましくは70質量%以上95質量%以下である。 When polysilazane is used for forming the silicon-containing layer, the content of polysilazane in the silicon-containing layer before irradiation with vacuum ultraviolet rays can be 100% by mass when the total mass of the silicon-containing layer is 100% by mass. When the silicon-containing layer before irradiation with vacuum ultraviolet rays contains a layer other than polysilazane, the content of polysilazane in the layer is preferably 10% by mass or more and 99% by mass or less, and 40% by mass or more and 95% by mass or more. It is more preferably 70% by mass or more, and particularly preferably 70% by mass or more and 95% by mass or less.
(ケイ素含有液状組成物)
ケイ素含有層を形成するための液状組成物(ケイ素含有液状組成物)を調製する溶剤としては、ケイ素含有化合物を溶解できるものであれば特に制限されない。溶剤としては、ケイ素含有化合物と容易に反応してしまう水及び反応性基(例えば、ヒドロキシル基、又は、アミン基等)を含まず、ケイ素含有化合物に対して不活性の有機溶剤が好ましく、非プロトン性の有機溶剤がより好ましい。具体的には、溶剤としては、非プロトン性溶剤、例えば、ペンタン、ヘキサン、シクロヘキサン、トルエン、キシレン、ソルベッソ、ターペン等の脂肪族炭化水素、脂環式炭化水素、芳香族炭化水素等の炭化水素溶媒、塩化メチレン、トリクロロエタン等のハロゲン炭化水素溶媒、酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル類、アセトン、メチルエチルケトン等のケトン類、ジブチルエーテル、ジオキサン、テトラヒドロフラン等の脂肪族エーテル、脂環式エーテル等のエーテル類、例えば、テトラヒドロフラン、ジブチルエーテル、モノ−及びポリアルキレングリコールジアルキルエーテル(ジグライム類)等を挙げることができる。上記溶剤は、ポリシラザンの溶解度や溶剤の蒸発速度等の目的にあわせて選択され、単独で使用されても又は2種以上の混合物の形態で使用されてもよい。(Silicon-containing liquid composition)
The solvent for preparing the liquid composition (silicon-containing liquid composition) for forming the silicon-containing layer is not particularly limited as long as it can dissolve the silicon-containing compound. As the solvent, an organic solvent that does not contain water and a reactive group (for example, a hydroxyl group or an amine group) that easily reacts with the silicon-containing compound and is inert to the silicon-containing compound is preferable and is not. Protic organic solvents are more preferred. Specifically, as the solvent, an aproton solvent, for example, an aliphatic hydrocarbon such as pentane, hexane, cyclohexane, toluene, xylene, sorbesso, turpen, an alicyclic hydrocarbon, a hydrocarbon such as an aromatic hydrocarbon, etc. Solvents, halogen hydrocarbon solvents such as methylene chloride and trichloroethane, esters such as ethyl acetate and butyl acetate, ketones such as acetone and methyl ethyl ketone, aliphatic ethers such as dibutyl ether, dioxane and tetrahydrofuran, ethers such as alicyclic ethers. Such as, for example, tetrahydrofuran, dibutyl ether, mono- and polyalkylene glycol dialkyl ether (diglimes) and the like can be mentioned. The solvent is selected according to the purpose such as the solubility of polysilazane and the evaporation rate of the solvent, and may be used alone or in the form of a mixture of two or more kinds.
ケイ素含有液状組成物におけるケイ素含有化合物の濃度は、特に制限されない。ケイ素含有液状組成物におけるケイ素含有化合物の濃度は、層の厚さや液状組成物のポットライフによっても異なるが、好ましくは1〜80質量%、より好ましくは5〜50質量%、さらに好ましくは10〜40質量%である。 The concentration of the silicon-containing compound in the silicon-containing liquid composition is not particularly limited. The concentration of the silicon-containing compound in the silicon-containing liquid composition varies depending on the layer thickness and the pot life of the liquid composition, but is preferably 1 to 80% by mass, more preferably 5 to 50% by mass, and further preferably 10 to 10% by mass. It is 40% by mass.
ケイ素含有層の改質を行う場合には、ケイ素含有液状組成物に改質を促進するための触媒が含有されていることが好ましい。改質を促進するための触媒としては、塩基性触媒が好ましく、特に、N,N−ジエチルエタノールアミン、N,N−ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミン、トリエチルアミン、3−モルホリノプロピルアミン、N,N,N’,N’−テトラメチル−13−ジアミノプロパン、N,N,N’,N’−テトラメチル−1,6−ジアミノヘキサン等のアミン触媒、Ptアセチルアセトナート等のPt化合物、プロピオン酸Pd等のPd化合物、Rhアセチルアセトナート等のRh化合物等の金属触媒、N−複素環式化合物が挙げられる。これらのうち、アミン触媒を用いることが好ましい。この際添加する触媒の濃度としては、ケイ素化合物を基準としたとき、好ましくは0.1〜10質量%、より好ましくは0.5〜7質量%の範囲である。触媒添加量をこの範囲とすることで、反応の急激な進行による過剰なシラノール形成、及び膜密度の低下、膜欠陥の増大等を避けることができる。 When modifying the silicon-containing layer, it is preferable that the silicon-containing liquid composition contains a catalyst for promoting the modification. As the catalyst for accelerating the modification, a basic catalyst is preferable, and in particular, N, N-diethylethanolamine, N, N-dimethylethanolamine, triethanolamine, triethylamine, 3-morpholinopropylamine, N, N , N', N'-tetramethyl-13-diaminopropane, N, N, N', N'-tetramethyl-1,6-diaminohexane and other amine compounds, Pt compounds such as Pt acetylacetonate, propionic acid Examples thereof include Pd compounds such as Pd, metal catalysts such as Rh compounds such as Rh acetylacetonate, and N-heterocyclic compounds. Of these, it is preferable to use an amine catalyst. The concentration of the catalyst added at this time is preferably in the range of 0.1 to 10% by mass, more preferably 0.5 to 7% by mass, based on the silicon compound. By setting the amount of the catalyst added within this range, it is possible to avoid excessive silanol formation due to rapid progress of the reaction, decrease in film density, increase in film defects, and the like.
ケイ素含有液状組成物には、必要に応じて下記に挙げる添加剤を用いることができる。例えば、セルロースエーテル類、エチルセルロース、ニトロセルロース、セルロースアセテート、セルロースアセトブチレート等のセルロースエステル類、ゴム、ロジン樹脂等の天然樹脂、重合樹脂等の合成樹脂、アミノプラスト、特に尿素樹脂、メラミンホルムアルデヒド樹脂、アルキド樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂若しくは変性ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、ポリイソシアネート又はブロック化ポリイソシアネート、ポリシロキサン等の縮合樹脂である。 The following additives can be used in the silicon-containing liquid composition, if necessary. For example, cellulose esters such as cellulose ethers, ethyl cellulose, nitrocellulose, cellulose acetate, cellulose acetobutyrate, natural resins such as rubber and rosin resin, synthetic resins such as polymerized resins, aminoplasts, especially urea resins and melamine formaldehyde resins. , Alkido resin, acrylic resin, polyester resin or modified polyester resin, epoxy resin, polyisocyanate or condensed resin such as blocked polyisocyanate and polysiloxane.
(塗布方法)
ケイ素含有液状組成物を塗布する方法としては、従来公知の適切な湿式塗布方法が採用される。具体例としては、スピンコート法、ロールコート法、フローコート法、インクジェット法、スプレーコート法、プリント法、ディップコート法、流延成膜法、バーコート法、ダイコート法、グラビア印刷法等が挙げられる。
塗布厚さは、好ましい厚さや目的に応じて適切に設定される。(Applying method)
As a method for applying the silicon-containing liquid composition, a conventionally known appropriate wet coating method is adopted. Specific examples include a spin coating method, a roll coating method, a flow coating method, an inkjet method, a spray coating method, a printing method, a dip coating method, a cast film forming method, a bar coating method, a die coating method, and a gravure printing method. Be done.
The coating thickness is appropriately set according to a preferable thickness and purpose.
液状組成物を塗布した後は、塗膜を乾燥させる。塗膜を乾燥させることによって、塗膜中に含有される有機溶媒を除去する。この際、塗膜に含有される有機溶媒は、すべてを乾燥させてもよいが、一部残存させていてもよい。一部の有機溶媒を残存させる場合であっても、好適なケイ素含有層が得られる。なお、残存する溶媒は後に除去される。 After applying the liquid composition, the coating film is dried. The organic solvent contained in the coating film is removed by drying the coating film. At this time, all of the organic solvent contained in the coating film may be dried, or a part of the organic solvent may remain. A suitable silicon-containing layer can be obtained even when a part of the organic solvent remains. The remaining solvent will be removed later.
塗膜の乾燥温度は、適用する基材によっても異なるが、50〜200℃であることが好ましい。例えば、ガラス転移温度(Tg)が70℃のポリエチレンテレフタレートフィルムを基材11として用いる場合には、乾燥温度は、熱による基材11の変形等を考慮して150℃以下に設定することが好ましい。上記温度は、ホットプレート、オーブン、ファーネス等を使用することによって設定される。乾燥時間は短時間に設定することが好ましく、例えば、乾燥温度が150℃である場合には30分以内に設定することが好ましい。また、乾燥雰囲気は、大気雰囲気下、窒素雰囲気下、アルゴン雰囲気下、真空雰囲気下、酸素濃度をコントロールした減圧雰囲気下等のいずれの条件であってもよい。
The drying temperature of the coating film varies depending on the substrate to which it is applied, but is preferably 50 to 200 ° C. For example, when a polyethylene terephthalate film having a glass transition temperature (Tg) of 70 ° C. is used as the
ケイ素含有液状組成物を塗布して得られた塗膜に対し、真空紫外線の照射前又は真空紫外線の照射中に、水分を除去する処理を行なってもよい。水分を除去する方法としては、低湿度環境に、塗膜を保持して除湿する形態が好ましい。低湿度環境における湿度は温度により変化するため、温度と湿度の関係は露点温度の規定により好ましい形態が示される。好ましい露点温度は4℃以下(温度25℃/湿度25%)で、より好ましい露点温度は−5℃以下(温度25℃/湿度10%)である。塗膜を保持維持する時間は適宜設定することが好ましい。具体的には、露点温度は−5℃以下で、維持される時間は1分以上であることが好ましい。なお、露点温度の下限は特に制限されないが、通常、−50℃以上であり、−40℃以上であることが好ましい。改質処理前、又は、改質処理中に水分を除去することによって、シラノールに転化したケイ素含有層の脱水反応が促進される。
The coating film obtained by applying the silicon-containing liquid composition may be subjected to a treatment for removing water before or during irradiation with vacuum ultraviolet rays. As a method for removing water, a form in which the coating film is held and dehumidified in a low humidity environment is preferable. Since the humidity in a low humidity environment changes depending on the temperature, the relationship between the temperature and the humidity is shown in a preferable form by the regulation of the dew point temperature. A preferable dew point temperature is 4 ° C. or lower (
(真空紫外線照射)
上記のようにして形成されたケイ素含有化合物を含む塗膜は、そのままの状態でケイ素含有層としてガスバリア層に適用することができるが、ケイ素含有層の転化反応(改質)を行うことが好ましい。転化反応させるための処理としては、紫外線照射、プラズマ照射や加熱処理等を行なうことができ、中でも真空紫外線を照射してケイ素含有層の転化反応(改質)を行うことが好ましい。特に、ポリシラザンを含むケイ素含有層に対して、真空紫外線を照射し、ポリシラザン改質層を形成することが好ましい。(Vacuum UV irradiation)
The coating film containing the silicon-containing compound formed as described above can be applied to the gas barrier layer as a silicon-containing layer as it is, but it is preferable to carry out a conversion reaction (modification) of the silicon-containing layer. .. As the treatment for the conversion reaction, ultraviolet irradiation, plasma irradiation, heat treatment and the like can be performed, and among them, it is preferable to perform the conversion reaction (modification) of the silicon-containing layer by irradiating with vacuum ultraviolet rays. In particular, it is preferable to irradiate the silicon-containing layer containing polysilazane with vacuum ultraviolet rays to form a polysilazane modified layer.
真空紫外線照射は、バッチ処理にも連続処理にも適合可能であり、使用する基材11の形状によって適宜選定することができる。例えば、バッチ処理の場合には、紫外線発生源を具備した紫外線焼成炉で処理することができる。紫外線焼成炉自体は一般に知られており、例えば、アイグラフィクス株式会社製の紫外線焼成炉を使用することができる。また、対象が長尺フィルム状である場合には、これを搬送させながら紫外線発生源を具備した乾燥ゾーンで連続的に紫外線を照射することができる。紫外線照射に要する時間は、使用する基材やケイ素含有化合物の組成、濃度にもよるが、一般に0.1秒〜10分であり、好ましくは0.5秒〜3分である。
The vacuum ultraviolet irradiation can be applied to both batch processing and continuous processing, and can be appropriately selected depending on the shape of the
真空紫外線照射による改質は、ケイ素含有化合物(特にポリシラザン化合物)内の原子間結合力より大きい100〜200nmの光エネルギーを用いる。好ましくは100〜180nmの波長の光エネルギーを用いる。この真空紫外線照射により、原子の結合を光量子プロセスと呼ばれる光子のみの作用で、直接切断しながら活性酸素やオゾンによる酸化反応を進行させる。これにより、比較的低温(約200℃以下)で、酸窒化ケイ素を含む膜の形成を行うことができる。なお、下記のエキシマ照射処理を行う際は、エキシマ照射処理に熱処理を併用することが好ましい。 Modification by vacuum ultraviolet irradiation uses light energy of 100 to 200 nm, which is larger than the interatomic bonding force in a silicon-containing compound (particularly a polysilazane compound). Preferably, light energy having a wavelength of 100 to 180 nm is used. By this vacuum ultraviolet irradiation, the oxidation reaction by active oxygen and ozone is promoted while directly cutting the atomic bonds by the action of only photons called the photon process. As a result, a film containing silicon nitride can be formed at a relatively low temperature (about 200 ° C. or lower). When performing the following excimer irradiation treatment, it is preferable to use heat treatment in combination with the excimer irradiation treatment.
真空紫外線源は、100〜180nmの波長の光を発生させるものであればよい。好適には、約172nmに最大放射を有するエキシマラジエータ(例えば、Xeエキシマランプ)、約185nmに輝線を有する低圧水銀蒸気ランプ、230nm以下の波長成分を有する中圧及び高圧水銀蒸気ランプ、及び、約222nmに最大放射を有するエキシマランプである。 The vacuum ultraviolet source may be any one that generates light having a wavelength of 100 to 180 nm. Preferably, an excimer radiator with maximum emission at about 172 nm (eg, an Xe excimer lamp), a low pressure mercury vapor lamp with a emission line at about 185 nm, medium and high pressure mercury steam lamps with wavelength components below 230 nm, and about. An excimer lamp having a maximum emission at 222 nm.
このうち、Xeエキシマランプは、波長の短い172nmの紫外線を単一波長で放射することから、発光効率に優れている。この光は、酸素の吸収係数が大きいため、微量な酸素で、ラジカルな酸素原子種やオゾンを高濃度で発生することができる。また、波長の短い172nmの光のエネルギーは、有機物の結合を解離させる能力が高いことが知られている。この活性酸素やオゾンと紫外線放射が持つ高いエネルギーによって、短時間で塗膜の改質を実現できる。 Of these, the Xe excimer lamp has excellent luminous efficiency because it emits ultraviolet rays having a short wavelength of 172 nm at a single wavelength. Since this light has a large oxygen absorption coefficient, it is possible to generate radical oxygen atom species and ozone at a high concentration with a small amount of oxygen. Further, it is known that the energy of light having a short wavelength of 172 nm has a high ability to dissociate the bonds of organic substances. With the high energy of active oxygen, ozone and ultraviolet radiation, it is possible to modify the coating film in a short time.
エキシマランプは光の発生効率が高いため、低い電力の投入で点灯させることが可能である。また、光による温度上昇の要因となる波長の長い光は発せず、紫外線領域の短い波長でエネルギーを照射するため、照射対象物の表面温度の上昇が抑えられる。このため、熱の影響を受けやすいとされるPET等のフレシキブルフィルム材料に適している。 Since the excimer lamp has a high light generation efficiency, it can be turned on with a low power input. Further, since light having a long wavelength that causes the temperature rise due to light is not emitted and energy is irradiated at a short wavelength in the ultraviolet region, the rise in the surface temperature of the object to be irradiated is suppressed. Therefore, it is suitable for flexible film materials such as PET, which are said to be easily affected by heat.
真空紫外線照射による反応では酸素が必要となるが、真空紫外線は酸素による吸収があるため、紫外線照射工程の効率が酸素によって低下しやすい。このため、真空紫外線の照射は、可能な限り酸素濃度及び水蒸気濃度が低い状態で行うことが好ましい。即ち、真空紫外線照射の際の酸素濃度は、10〜20000体積ppm(0.001〜2体積%)とすることが好ましく、50〜10000体積ppm(0.005〜1体積%)とすることがより好ましい。また、真空紫外線照射の際の水蒸気濃度は、好ましくは1000〜4000体積ppmの範囲である。 Oxygen is required for the reaction by vacuum ultraviolet irradiation, but since vacuum ultraviolet is absorbed by oxygen, the efficiency of the ultraviolet irradiation process tends to decrease due to oxygen. Therefore, it is preferable to irradiate the vacuum ultraviolet rays in a state where the oxygen concentration and the water vapor concentration are as low as possible. That is, the oxygen concentration during vacuum ultraviolet irradiation is preferably 10 to 20000 volume ppm (0.001 to 2% by volume), and preferably 50 to 10000 volume ppm (0.005 to 1 volume%). More preferred. The water vapor concentration during vacuum ultraviolet irradiation is preferably in the range of 1000 to 4000 volume ppm.
真空紫外線照射に用いる照射雰囲気を満たすガスは、乾燥不活性ガスであることが好ましく、特にコストの観点から乾燥窒素ガスであることが好ましい。酸素濃度の調整は照射庫内へ導入する酸素ガス及び不活性ガスの流量を計測し、流量比を変えることで調整できる。 The gas satisfying the irradiation atmosphere used for vacuum ultraviolet irradiation is preferably a dry inert gas, and particularly preferably a dry nitrogen gas from the viewpoint of cost. The oxygen concentration can be adjusted by measuring the flow rates of the oxygen gas and the inert gas introduced into the irradiation chamber and changing the flow rate ratio.
真空紫外線照射工程において、塗膜が受ける塗膜面での該真空紫外線の照度は1mW/cm2〜10W/cm2であると好ましく、30mW/cm2〜200mW/cm2であることがより好ましく、50mW/cm2〜160mW/cm2であるとさらに好ましい。1mW/cm2以上であれば、改質効率が向上する。10W/cm2以下であれば、塗膜に生じ得るアブレーションや、基材11へのダメージを低減することができる。In vacuum ultraviolet irradiation step, preferably the intensity of the vacuum ultraviolet rays in the coated surface of the coating film is subjected is a 1mW / cm 2 ~10W / cm 2 , more preferably 30mW / cm 2 ~200mW / cm 2 and further preferably 50mW / cm 2 ~160mW / cm 2 . If it is 1 mW / cm 2 or more, the reforming efficiency is improved. When it is 10 W / cm 2 or less, ablation that may occur in the coating film and damage to the
塗膜の表面への真空紫外線の照射エネルギー量(照射量)は、1〜10J/cm2であることが好ましく、3〜7J/cm2であることがより好ましい。この範囲であれば、過剰改質によるクラックの発生や、基材11の熱変形を抑制することができ、また生産性が向上する。Irradiation energy amount of the vacuum ultraviolet rays to the surface of the coating film (dose) is preferably 1~10J / cm 2, more preferably 3~7J / cm 2. Within this range, it is possible to suppress the generation of cracks due to excessive modification and the thermal deformation of the
塗膜の表面への照射に用いられる真空紫外線は、CO、CO2及びCH4の少なくとも一種を含むガスによって形成されるプラズマから発生させてもよい。さらに、CO、CO2及びCH4の少なくとも一種を含むガス(以下、炭素含有ガスとも称する)は、炭素含有ガスを単独で使用してもよいが、希ガス又はH2を主ガスとして、炭素含有ガスを少量添加することが好ましい。プラズマの生成方式としては容量結合プラズマ等が挙げられる。The vacuum ultraviolet light used to irradiate the surface of the coating film may be generated from a plasma formed by a gas containing at least one of CO, CO 2 and CH 4 . Further, as the gas containing at least one of CO, CO 2 and CH 4 (hereinafter, also referred to as carbon-containing gas), the carbon-containing gas may be used alone, but carbon may be used with the rare gas or H 2 as the main gas. It is preferable to add a small amount of the contained gas. Capacitively coupled plasma and the like can be mentioned as a plasma generation method.
なお、ケイ素含有層を形成する際、真空紫外線照射を行わない場合には、ケイ素含有層は、ケイ素含有化合物を含有する液状組成物を塗布及び乾燥して得られる塗膜を、5〜40℃、相対湿度0〜60%RHの条件下で1〜1000時間保管して形成する。 When the silicon-containing layer is not irradiated with vacuum ultraviolet rays, the silicon-containing layer is a coating film obtained by applying and drying a liquid composition containing a silicon-containing compound at 5 to 40 ° C. It is formed by storing for 1 to 1000 hours under the condition of relative humidity of 0 to 60% RH.
[光散乱層]
光散乱層13は、光取り出しフィルム10を透過する光を散乱させる層であり、光取り出しフィルム10を発光素子等に適用した際に、発光素子から放出される光の外部への取り出し効率(光取り出し効率)を向上させるための層である。光散乱層13は、樹脂材料と光散乱材とから構成されることが好ましい。[Light scattering layer]
The
光散乱層13の厚さは、5μm以上30μm以下であることが好ましい。光散乱層13の厚さが粘着剤層14の厚さの1/3倍以上1倍以下であると、光取り出しフィルム10の全体の厚さを抑制と、さらに、反りを抑制することができる。また、角度依存の色ずれを抑制するためには、光散乱層13の厚さが大きい方が好ましく、正面輝度を向上させるためには、光散乱層13の厚さ小さい方が好ましい。このため、光散乱層13の厚さは、より好ましくは6μm以上20μm以下である。
The thickness of the
光散乱層13としては、回折格子を導入する構成(特開平11−283751号公報)、樹脂材料と光散乱材とを有する光散乱層を設ける構成(特開2004−319331号公報)等が挙げられる。光取り出し効率の観点からは、光散乱層13が樹脂材料(バインダ)と、この樹脂材料に分散された光散乱材とから構成されることが好ましい。
Examples of the
(樹脂材料)
樹脂材料としては、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、紫外線硬化樹脂、電子線硬化樹脂を使用することができる。光散乱層13に硬度、平滑性等が必要なことから、樹脂材料として、紫外線硬化樹脂、電子線硬化樹脂を使用することが好ましく、特に紫外線硬化樹脂を使用することが好ましい。(Resin material)
As the resin material, a thermoplastic resin, a thermosetting resin, an ultraviolet curable resin, or an electron beam curable resin can be used. Since the
紫外線硬化樹脂としては、硬化によって透明な樹脂組成物を形成する物であれば特に制限なく使用でき、例えば、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ビニルエステル樹脂、アクリル系樹脂、アリルエステル系樹脂等が挙げられる。特に好ましくは、硬度、平滑性、透明性の観点からアクリル系樹脂を用いることができる。 The ultraviolet curable resin can be used without particular limitation as long as it forms a transparent resin composition by curing, and examples thereof include silicone resin, epoxy resin, vinyl ester resin, acrylic resin, and allyl ester resin. .. Particularly preferably, an acrylic resin can be used from the viewpoint of hardness, smoothness, and transparency.
アクリル系樹脂組成物としては、ラジカル反応性不飽和化合物を有するアクリレート化合物、アクリレート化合物とチオール基を有するメルカプト化合物、エポキシアクリレート、ウレタンアクリレート、ポリエステルアクリレート、ポリエーテルアクリレート、ポリエチレングリコールアクリレート、及び、グリセロールメタクリレート等の多官能アクリレートモノマーを溶解させた組成物等が挙げられる。また、上記の樹脂を含む任意の混合物を使用することも可能であり、光重合性不飽和結合を分子内に1個以上有する反応性のモノマーを含有している感光性樹脂であれば特に制限はない。 Examples of the acrylic resin composition include an acrylate compound having a radically reactive unsaturated compound, a mercapto compound having an acrylate compound and a thiol group, an epoxy acrylate, a urethane acrylate, a polyester acrylate, a polyether acrylate, a polyethylene glycol acrylate, and a glycerol methacrylate. Examples thereof include compositions in which a polyfunctional acrylate monomer such as the above is dissolved. Further, any mixture containing the above resin can be used, and it is particularly limited as long as it is a photosensitive resin containing a reactive monomer having one or more photopolymerizable unsaturated bonds in the molecule. There is no.
アクリル系樹脂は、硬度、平滑性、透明性の観点から、国際公開第2008/035669号に記載されているような、光重合反応性を有する感光性基が表面に導入された反応性シリカ粒子(以下、単に「反応性シリカ粒子」ともいう)を含むことが好ましい。ここで、光重合性を有する感光性基としては、(メタ)アクリロイルオキシ基に代表される重合性不飽和基等を挙げることができる。また、感光性樹脂は、この反応性シリカ粒子の表面に導入された感光性基と、光重合反応可能な化合物を含むことが好ましい。光重合反応可能な化合物としては、例えば、重合性不飽和基を有する不飽和有機化合物が挙げられる。ここで、反応性シリカ粒子の平均粒子径としては、0.001〜0.1μmの平均粒子径であることが好ましい。平均粒子径をこのような範囲にすることにより、透明性、平滑性、硬度をバランスよく満たすことができる。 From the viewpoint of hardness, smoothness, and transparency, the acrylic resin is a reactive silica particle in which a photosensitive group having photopolymerization reactivity is introduced into the surface as described in International Publication No. 2008/035669. (Hereinafter, also simply referred to as "reactive silica particles") is preferably contained. Here, examples of the photopolymerizable photosensitive group include a polymerizable unsaturated group represented by a (meth) acryloyloxy group. Further, the photosensitive resin preferably contains a photosensitive group introduced into the surface of the reactive silica particles and a compound capable of photopolymerization reaction. Examples of the compound capable of photopolymerization reaction include unsaturated organic compounds having a polymerizable unsaturated group. Here, the average particle size of the reactive silica particles is preferably 0.001 to 0.1 μm. By setting the average particle size in such a range, transparency, smoothness, and hardness can be satisfied in a well-balanced manner.
アクリル系樹脂には、屈折率を調整するできる点で、含フッ素ビニルモノマーを用いることもできる。含フッ素ビニルモノマーとしてはフルオロオレフィン類(例えばフルオロエチレン、ビニリデンフルオライド、テトラフルオロエチレン、ヘキサフルオロプロピレン等)、(メタ)アクリル酸の部分又は完全フッ素化アルキルエステル誘導体類(例えばビスコート6FM(商品名、大阪有機化学製)やR−2020(商品名、ダイキン製)等)、完全又は部分フッ素化ビニルエーテル類等が挙げられる。 A fluorine-containing vinyl monomer can also be used as the acrylic resin in that the refractive index can be adjusted. Fluorin-containing vinyl monomers include fluoroolefins (for example, fluoroethylene, vinylidene fluoride, tetrafluoroethylene, hexafluoropropylene, etc.), (meth) acrylic acid moieties, and fully fluorinated alkyl ester derivatives (for example, Biscort 6FM (trade name)). , Osaka Organic Chemicals), R-2020 (trade name, manufactured by Daikin), etc.), fully or partially fluorinated vinyl ethers, and the like.
(光散乱材)
光散乱材としては、無機系粒子、有機系粒子、いずれも使用することができる。光散乱層13に要求される屈折率によって、粒子が選択される。例えば、光散乱層13の屈折率を高くする場合には、無機系粒子を用いることが好ましく、屈折率を低くする場合には、フッ素含有の有機系粒子を用いることが好ましい。(Light scattering material)
As the light scattering material, either inorganic particles or organic particles can be used. The particles are selected according to the refractive index required for the
無機系粒子としては、例えば、珪素、ジルコニウム、チタン、アルミニウム、インジウム、亜鉛、錫及びアンチモンから選ばれる少なくとも1種の金属の酸化物であることが好ましく、具体例としては、SiO2、ZrO2、TiO2、Al2O3(アルミナ)、In2O3、ZnO、SnO2、Sb2O3、ITO、MgF2等が挙げられる。また、合成マイカ(雲母)、カオリン(Al2Si2O5(OH)4)等も使用することができる。上記の中で好ましくは、反射率等の点から、酸化珪素、酸化亜鉛、酸化チタン、酸化ジルコニウム、アルミナが好ましい。これらの無機系粒子は、表面に光の反射率を向上させる目的で、他の組成を修飾させることもできる。The inorganic particles are preferably oxides of at least one metal selected from, for example, silicon, zirconium, titanium, aluminum, indium, zinc, tin and antimony, and specific examples thereof are SiO 2 , ZrO 2. , TiO 2 , Al 2 O 3 (alumina), In 2 O 3 , ZnO, SnO 2 , Sb 2 O 3 , ITO, MgF 2, and the like. In addition, synthetic mica (mica), kaolin (Al 2 Si 2 O 5 (OH) 4 ) and the like can also be used. Among the above, silicon oxide, zinc oxide, titanium oxide, zirconium oxide, and alumina are preferable from the viewpoint of reflectance and the like. These inorganic particles can also be modified with other compositions for the purpose of improving the reflectance of light on the surface.
粒子は、光散乱性の観点から、粒径が0.1〜5.0μm、好ましくは0.2〜2.0μmであることが好ましい。粒径が0.1μmより小さいと光散乱性が小さくなり好ましくない。また粒径が5.0μmより大きいと、厚さや含有量にもよるが光透過性が劣化し、好ましくない。 From the viewpoint of light scattering, the particles preferably have a particle size of 0.1 to 5.0 μm, preferably 0.2 to 2.0 μm. If the particle size is smaller than 0.1 μm, the light scattering property becomes small, which is not preferable. If the particle size is larger than 5.0 μm, the light transmittance deteriorates depending on the thickness and content, which is not preferable.
粒子は、異方性、すなわち針状や板状の粒子も用いることができる。また、粒子は、1種又は2種以上を適宜に選択して用いることができる。また、粒子として、他の無機系粒子、有機系粒子を混合して使用することもできる。光散乱層13における含有量としては特に制限はないが、透明性、平滑性の点から、0.1〜50質量%、好ましくは1〜20質量%の範囲が好ましい。
As the particles, anisotropic particles, that is, needle-shaped or plate-shaped particles can also be used. Moreover, one kind or two or more kinds of particles can be appropriately selected and used. Further, as the particles, other inorganic particles and organic particles can be mixed and used. The content in the
[粘着剤層]
粘着剤層14は、光取り出しフィルム10を発光素子等の他の機器や部材に貼り合せるために設けられている。粘着剤層14は、光取り出しフィルム10において、貼り合せに要求される粘着力を得ることができれば、特に限定されずに従来公知の材料を用いることができる。[Adhesive layer]
The pressure-
粘着剤層14の厚さは、10μm以上30μm以下であることが好ましい。粘着剤層14の厚さがこの範囲内であって、光散乱層13の厚さの1倍以上3倍以下であると、光取り出しフィルム10の全体の厚さを抑制と、さらに、反りを抑制することができる。
The thickness of the pressure-
(粘着剤)
粘着剤層14に使用する粘着剤としては、感圧粘着剤を用いることが好ましい。感圧粘着剤は、凝集力と弾性を有し、長時間にわたり安定した粘着性を維持できる。また、粘着剤層を形成する際に、熱や有機溶媒等の要件を必要とせず、圧力を加えるだけで光取り出しフィルム10を他の部材に貼り合せることができる。(Adhesive)
As the pressure-sensitive adhesive used for the pressure-
粘着剤層14を形成するための材料としては、透明性に優れる材料が好ましい。粘着剤層14を形成するための粘着剤としては、例えば、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、ゴム系樹脂、ウレタン系樹脂、ビニルエーテル系樹脂、及び、シリコン系樹脂等を含む粘着剤を挙げることができる。特に、粘着性や作業性の観点から、エポキシ系樹脂、及び、アクリル系樹脂の少なくともいずれか一方を含む粘着剤を用いることが好ましい。粘着剤の形態としては、例えば、溶剤型、エマルション型、及び、ホットメルト型等を用いることができる。
As the material for forming the pressure-
また、粘着剤に含まれる上記樹脂類の他に、粘着剤層14の物性向上の観点から、各種添加剤を用いることができる。例えば、ロジン等の天然樹脂、変性ロジン、ロジン及び変性ロジンの誘導体、ポリテルペン系樹脂、テルペン変性体、脂肪族系炭化水素樹脂、シクロペンタジエン系樹脂、芳香族系石油樹脂、フェノール系樹脂、アルキル−フェノール−アセチレン系樹脂、クマロン−インデン系樹脂、ビニルトルエン−α−メチルスチレン共重合体をはじめとする粘着付与剤、老化防止剤、安定剤、及び軟化剤等を必要に応じて用いることができる。これらは必要に応じて2種以上用いることもできる。また、耐光性を上げるために、粘着剤にベンゾフェノン系やベンゾトリアゾール系等の有機系紫外線吸収剤を添加することもできる。
Further, in addition to the above resins contained in the pressure-sensitive adhesive, various additives can be used from the viewpoint of improving the physical properties of the pressure-
粘着剤層14は、ガスバリア層12上に上記粘着剤を含む組成物を塗布した後、塗布膜を乾燥して形成することができる。粘着剤を含む組成物の塗布装置としては、リバースロールコーター、ナイフコーター、バーコーター、スロットダイコーター、エアナイフコーター、リバースグラビアコーター、バリオグラビアコーター等を使用することができる。
The pressure-
また、予めセパレーターフィルム上に粘着剤層が形成された粘着剤フィルムを準備し、この粘着剤フィルムの粘着剤層をガスバリア層12上に転写することで、粘着剤層14を形成してもよい。このとき、粘着剤フィルムをガスバリア層12上に貼り合せる際に加える圧力としては、目的の粘着力が得られれば特に制約はないが、面圧5〜600kPaの範囲内で行うことが好ましく、面圧10〜500kPaで行うことがより好ましい。また、貼り合わせの際に必要に応じて、基材11のTg以下で加熱してもよい。
Further, the pressure-
[光取り出しフィルムの製造方法]
次に、上述の光取り出しフィルム10の製造方法を説明する。
まず、基材11を準備する。そして、基材11の第1主面にガスバリア層12を形成する。ガスバリア層12は、上述の方法でケイ素含有層を形成し、エキシマ照射処理によりポリシラザン改質層を形成することが好ましい。また、基材11上にガスバリア層12が形成された市販のガスバリアフィルムを用いることもできる。[Manufacturing method of light extraction film]
Next, the method for manufacturing the above-mentioned
First, the
次に、基材11の第2主面に光散乱層13を形成する。光散乱層13の形成には、樹脂中に光散乱材が分散された液状組成物を準備し、この組成物を塗布した後に硬化する方法等を適用することができる。
Next, the
次に、粘着剤を含む組成物を準備し、この組成物を離型フィルム上に塗布した後、乾燥させる。そして、ガスバリア層12上に、形成した粘着剤を含む組成物の層を、離型フィルムごと貼り合わせる。これにより、ガスバリア層12上に粘着剤層14を形成して、光取り出しフィルム10を作製することができる。なお、粘着剤層14の形成に用いる離型フィルムは、光取り出しフィルム10の作製後に、必要に応じて剥離してもよく、剥離しなくてもよい。
Next, a composition containing an adhesive is prepared, the composition is applied onto a release film, and then dried. Then, a layer of the composition containing the formed adhesive is bonded onto the
〈2.有機エレクトロルミネッセンス発光装置の実施の形態〉
次に、有機エレクトロルミネッセンス発光装置(有機EL発光装置)について説明する。本実施形態の有機EL発光装置は、有機エレクトロルミネッセンス素子(有機EL素子)の光取り出し面側に、上述の光取り出しフィルムを備える。具体的には、第1電極、発光ユニット、及び、第2電極を有する有機EL素子において、有機EL素子の外装体となる基材や封止部材上に光取り出しフィルムが貼り合わされ、有機EL発光装置が構成される。<2. Embodiment of organic electroluminescence light emitting device>
Next, an organic electroluminescence light emitting device (organic EL light emitting device) will be described. The organic EL light emitting device of the present embodiment includes the above-mentioned light extraction film on the light extraction surface side of the organic electroluminescence element (organic EL element). Specifically, in an organic EL element having a first electrode, a light emitting unit, and a second electrode, a light extraction film is bonded onto a base material or a sealing member which is an exterior body of the organic EL element, and the organic EL emits light. The device is configured.
図2に、有機EL発光装置の概略構成を示す。図2に示す有機EL発光装置20は、有機EL素子25と、光取り出しフィルム10とを備える。光取り出しフィルム10は、上述の図1と同様の構成であり、基材11(以下、第1基材11)上に、ガスバリア層12、光散乱層13、及び、粘着剤層14を備える。有機EL素子25は、第2基材21と、第2基材21の一方の面上に設けられた第1電極22と、第2電極24とを備え、この電極間に有機発光材料を含む発光層を1層以上有する発光ユニット23が設けられている。光取り出しフィルム10は、粘着剤層14によって第2基材21の他方の面上に貼り合わされている。
FIG. 2 shows a schematic configuration of an organic EL light emitting device. The organic EL
以下、有機EL発光装置20の各構成要素について説明する。なお、有機EL発光装置20において、光取り出しフィルム10は、上述の図1と同様の構成である。このため、以下の有機EL発光装置20の説明において、光取り出しフィルム10に係わる重複する説明は省略する。
Hereinafter, each component of the organic EL
[第2基材]
第2基材21は、上述の第1基材11と同様の構成を適用することができる。例えば、従来公知の樹脂フィルム基材を特に制限なく使用できる。第2基材21の厚さは10〜500μmが好ましく、より好ましくは20〜250μmであり、さらに好ましくは30〜150μmである。第2基材21の厚さが10〜500μmの範囲にあることで、安定して有機EL素子25を作製することができる。[Second base material]
The same configuration as that of the
また、第2基材21は、第1電極22側にガスバリア層を有していてもよい。ガスバリア層を有することにより、有機EL素子25の信頼性が向上する。第2基材21上に形成されるガスバリア層としては、上述の光取り出しフィルム10におけるガスバリア層12と同様の構成を適用することができる。
さらに、第2基材21は、必要に応じてその他の機能を付与するための層が設けられていてもよい。Further, the
Further, the
[第1電極・第2電極]
第1電極22及び第2電極24は、有機EL発光装置20において電気を導通させるための導電性材料を含む層である。第1電極22と第2電極24とは、間に発光ユニット23を挟持する状態で設けられ、第1電極22が陽極である場合には第2電極24が陰極として用いられ、第1電極22が陰極である場合には第2電極24が陽極として用いられる。[1st electrode / 2nd electrode]
The first electrode 22 and the
また、有機EL素子25が第2基材21側から光を取出すボトムエミッション型である場合には、第1電極22を透明導電膜で形成し、第2電極24を反射率の高い導電膜で形成する。また、有機EL素子25が両面発光型である場合には、第1電極22と第2電極24とをともに透明導電膜で形成する。
When the
第1電極22及び第2電極24において、透明導電膜としては、例えば、Au、Ag、Pt、Cu、Rh、Pd、Al、Cr等の金属薄膜や、In2O3、CdO、CdIn2O4、Cd2SnO4、TiO2、SnO2、ZnO、ITO(インジウム・錫酸化物)、IZO(インジウム・亜鉛酸化物)、IGO、IWZO、GZO、IGZO、ZTO、ZnO、TiOx、VOx、CuAlO2、CuGaO2、SrCu2O2、RuO等の金属酸化物、TiN、ZrN、HfN、CuI、InN、GaN、LaB62等の無機化合物が挙げられる。また、IDIXO(In2O3−ZnO)等の材料を用いてもよい。透明導電膜としては、これらの導電性材料が1種のみ含まれてもよく、2種以上含まれてもよい。In the first electrode 22 and the
有機EL発光装置20においては、透明性と導電性との観点から、透明導電膜として上述のIZO、IGO、IWZO、GZO、IGZO、ZnO、及び、ZTO、から選ばれる1種類以上の金属酸化物を含むことが好ましい。透明導電膜として、金属酸化物や無機化合物を用いる場合には、使用する材料の体積抵抗にもよるが、厚さを10nm以上500nm以下で形成することが好ましく、さらに100nm以上300nm以下が好ましい。厚さが10nm未満では金属酸化物や無機化合物が連続膜とならず、所望の導電性が得られない。厚さが500nmを超えると、屈曲による割れが発生する場合がある。
In the organic EL
また、透明導電膜として、上述の金属薄膜を用いる場合には、導電性の観点から、銀を主成分とする金属薄膜を用いることが好ましい。銀を主成分とする金属としては、銀の含有比率が60at%(原子%)以上であることをいう。銀の含有比率は、導電性の観点から、好ましくは90at%以上であることが好ましく、より好ましくは95at%以上、さらに銀単体で構成されていることが好ましい。銀を主成分とする合金としては、例えば、銀マグネシウム(AgMg)、銀銅(AgCu)、銀パラジウム(AgPd)、銀パラジウム銅(AgPdCu)、銀インジウム(AgIn)等が挙げられる。 When the above-mentioned metal thin film is used as the transparent conductive film, it is preferable to use a metal thin film containing silver as a main component from the viewpoint of conductivity. As a metal containing silver as a main component, it means that the silver content ratio is 60 at% (atomic%) or more. From the viewpoint of conductivity, the silver content ratio is preferably 90 at% or more, more preferably 95 at% or more, and further preferably composed of silver alone. Examples of the silver-based alloy include silver magnesium (AgMg), silver copper (AgCu), silver palladium (AgPd), silver palladium copper (AgPdCu), and silver indium (AgIn).
さらに、透明導電膜が金属薄膜で構成される場合、透明導電膜の厚さは、5〜20nmの範囲内にあることが好ましい。厚さが20nmより薄い場合には、層の吸収成分、又は、反射成分が少なく、透明導電膜の透過率が大きくなる。また、厚さが5nmより厚い場合には、層の導電性を十分に確保することができる。 Further, when the transparent conductive film is composed of a metal thin film, the thickness of the transparent conductive film is preferably in the range of 5 to 20 nm. When the thickness is thinner than 20 nm, the absorption component or the reflection component of the layer is small, and the transmittance of the transparent conductive film is large. Further, when the thickness is thicker than 5 nm, the conductivity of the layer can be sufficiently ensured.
第1電極22及び第2電極24において、反射率の高い導電膜としては、金属、合金、有機又は無機の導電性化合物、及び、これらの混合物が挙げられる。具体的には、金、アルミニウム、銀、マグネシウム、リチウム、マグネシウム/銅混合物、マグネシウム/銀混合物、マグネシウム/アルミニウム混合物、マグネシウム/インジウム混合物、インジウム、リチウム/アルミニウム混合物、希土類金属、インジウムドープ酸化スズ(ITO)、ZnO、TiO2、SnO2等の酸化物半導体等から、反射特性が良好な材料を選択することが好ましいが挙げられる。反射率の高い導電膜としては、厚さは通常5nm〜5μm、好ましくは5nm〜200nmの範囲で選ばれる。Examples of the conductive conductive film having high reflectance in the first electrode 22 and the
第1電極22及び第2電極24の成膜方法としては、塗布法、インクジェット法、コーティング法、ディップ法等のウェットプロセスを用いる方法や、蒸着法(抵抗加熱、EB法など)、スパッタ法、CVD法等のドライプロセスを用いる方法等が挙げられる。
As the film forming method of the first electrode 22 and the
[発光ユニット]
発光ユニット23は、少なくとも有機材料で構成された発光層を含む層である。発光ユニット23の全体的な層構造は特に限定されず、一般的な層構造を適用することができる。有機EL発光装置20に適用可能な発光ユニット23の一例を以下に示す。[Light emitting unit]
The
(i)正孔注入輸送層/発光層/電子注入輸送層
(ii)正孔注入輸送層/第1発光層/第2発光層/電子注入輸送層
(iii)正孔注入輸送層/第1発光層/中間層/第2発光層/電子注入輸送層
(iv)正孔注入輸送層/発光層/正孔阻止層/電子注入輸送層
(v)正孔注入輸送層/電子阻止層/発光層/正孔阻止層/電子注入輸送層
(vi)正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電子注入層
(vii)正孔注入層/正孔輸送層/発光層/正孔阻止層/電子輸送層/電子注入層
(viii)正孔注入層/正孔輸送層/電子阻止層/発光層/正孔阻止層/電子輸送層/電子注入層(I) Hole injection transport layer / light emitting layer / electron injection transport layer (ii) Hole injection transport layer / first light emitting layer / second light emitting layer / electron injection transport layer (iii) Hole injection transport layer / first Light emitting layer / intermediate layer / second light emitting layer / electron injection transport layer (iv) Hole injection transport layer / light emitting layer / hole blocking layer / electron injection transport layer (v) Hole injection transport layer / electron blocking layer / light emission Layer / hole blocking layer / electron injection transport layer (vi) hole injection layer / hole transport layer / light emitting layer / electron transport layer / electron injection layer (vii) hole injection layer / hole transport layer / light emitting layer / Hole blocking layer / electron transporting layer / electron injection layer (viii) Hole injection layer / hole transporting layer / electron blocking layer / light emitting layer / hole blocking layer / electron transporting layer / electron injection layer
なお、上記(ii)及び(iii)の構成において、第1発光層及び第2発光層は、各波長領域の発光光を発生させる各色発光層であってよい。また上記(iii)の構成において、第1発光層と第2発光層との間に配置された中間層は、非発光性であって良く、正孔阻止層、電子阻止層として機能してもよい。 In the configurations (ii) and (iii) above, the first light emitting layer and the second light emitting layer may be each color light emitting layer that generates light emitted in each wavelength region. Further, in the configuration of (iii) above, the intermediate layer arranged between the first light emitting layer and the second light emitting layer may be non-light emitting and may function as a hole blocking layer and an electron blocking layer. Good.
発光ユニット23は、第1電極22及び第2電極24のうち陽極として用いられる電極側から順に[正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電子注入層]を積層した構成として例示した。以下、各層の詳細を説明する。
The
(発光層)
発光層は、陰極側から注入された電子と、陽極側から注入された正孔とが再結合して発光する層であり、発光する部分は発光層の層内であっても発光層と隣接する層との界面であってもよい。発光層の厚さの総和は1〜100nmの範囲内にあることが好ましく、より低い駆動電圧を得ることができることから1〜40nmの範囲内であることがより好ましい。発光層の厚さの総和とは、発光層間に非発光性の中間層が存在する場合には、当該中間層も含む厚さである。(Light emitting layer)
The light emitting layer is a layer in which electrons injected from the cathode side and holes injected from the anode side recombine to emit light, and the light emitting portion is adjacent to the light emitting layer even within the light emitting layer. It may be an interface with a layer to be formed. The total thickness of the light emitting layer is preferably in the range of 1 to 100 nm, and more preferably in the range of 1 to 40 nm because a lower driving voltage can be obtained. The total thickness of the light emitting layer is the thickness including the non-light emitting intermediate layer when there is a non-light emitting intermediate layer between the light emitting layers.
但し、複数の発光層ユニットを、中間コネクター部を介し積層する、いわゆるタンデム型素子の場合には、ここでいう発光層とは各発光ユニット内の発光層部分を指す。複数の発光層ユニットが積層された構成の場合、個々の発光層の厚さとしては、1〜50nmの範囲内に調整することが好ましく、更に、1〜20nmの範囲内に調整することがより好ましい。積層された複数の発光層が、青、緑、赤のそれぞれの発光色に対応する場合、青、緑、赤の各発光層の厚さの関係については、特に制限はない。 However, in the case of a so-called tandem element in which a plurality of light emitting layer units are laminated via an intermediate connector portion, the light emitting layer referred to here refers to a light emitting layer portion in each light emitting unit. In the case of a configuration in which a plurality of light emitting layer units are laminated, the thickness of each light emitting layer is preferably adjusted within the range of 1 to 50 nm, and further adjusted within the range of 1 to 20 nm. preferable. When the plurality of laminated light emitting layers correspond to the respective light emitting colors of blue, green, and red, there is no particular limitation on the relationship between the thicknesses of the blue, green, and red light emitting layers.
発光層は、ホスト化合物(発光ホスト等ともいう)、発光材料(発光ドーパントともいう)を含有し、発光材料より発光することが好ましい。また、発光材料としてリン光発光化合物が含有されていることが好ましい。なお、発光材料として、蛍光材料が使用されてもよいし、リン光発光化合物と蛍光材料とを併用してもよい。なお、発光層としては、含まれる発光材料が発光要件を満たしていれば、その構成には特に制限はない。また、同一の発光スペクトルや発光極大波長を有する層が複数層あってもよい。この場合、各発光層間には、非発光性の中間層(図示略)を有していることが好ましい。 The light emitting layer contains a host compound (also referred to as a light emitting host or the like) and a light emitting material (also referred to as a light emitting dopant), and preferably emits light from the light emitting material. Further, it is preferable that a phosphorescent compound is contained as a light emitting material. As the light emitting material, a fluorescent material may be used, or a phosphorescent light emitting compound and a fluorescent material may be used in combination. The structure of the light emitting layer is not particularly limited as long as the contained light emitting material satisfies the light emitting requirements. Further, there may be a plurality of layers having the same emission spectrum and emission maximum wavelength. In this case, it is preferable to have a non-luminescent intermediate layer (not shown) between the light emitting layers.
発光ドーパントとしては、例えば、国際公開第2005/076380号、国際公開第2010/032663号、国際公開第第2008/140115号、国際公開第2007/052431号、国際公開第2011/134013号、国際公開第2011/157339号、国際公開第2010/086089号、国際公開第2009/113646号、国際公開第2012/020327号、国際公開第2011/051404号、国際公開第2011/004639号、国際公開第2011/073149号、特開2012−069737号公報、特開2009−114086号公報、特開2003−81988号公報、特開2002−302671号公報、特開2002−363552号公報等に記載の化合物を挙げることができる。 Examples of the luminescent dopant include International Publication No. 2005/076380, International Publication No. 2010/032663, International Publication No. 2008/140115, International Publication No. 2007/052431, International Publication No. 2011/134013, and International Publication No. 2011/157339, International Publication 2010/086089, International Publication No. 2009/1163646, International Publication No. 2012/20327, International Publication No. 2011/051404, International Publication No. 2011/004639, International Publication No. 2011 / 073149, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2012-069737, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-114086, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-81988, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-302671, JP-A-2002-363552, and the like. be able to.
また、ホスト化合物としては、例えば、特開2001−257076号公報、特開2002−308855号公報、特開2001−313179号公報、特開2002−319491号公報、特開2001−357977号公報、特開2002−334786号公報、特開2002−8860号公報、特開2002−334787号公報、特開2002−15871号公報、特開2002−334788号公報、特開2002−43056号公報、特開2002−334789号公報、特開2002−75645号公報、特開2002−338579号公報、特開2002−105445号公報、特開2002−343568号公報、特開2002−141173号公報、特開2002−352957号公報、特開2002−203683号公報、特開2002−363227号公報、特開2002−231453号公報、特開2003−3165号公報、特開2002−234888号公報、特開2003−27048号公報、特開2002−255934号公報、特開2002−260861号公報、特開2002−280183号公報、特開2002−299060号公報、特開2002−302516号公報、特開2002−305083号公報、特開2002−305084号公報、特開2002−308837号公報、米国特許公開第2003/0175553号明細書、米国特許公開第2006/0280965号明細書、米国特許公開第2005/0112407号明細書、米国特許公開第2009/0017330号明細書、米国特許公開第2009/0030202号明細書、米国特許公開第2005/238919号明細書、国際公開第2001/039234号、国際公開第2009/021126号、国際公開第2008/056746号、国際公開第2004/093207号、国際公開第2005/089025号、国際公開第2007/063796号、国際公開第2007/063754号、国際公開第2004/107822号、国際公開第2005/030900号、国際公開第2006/114966号、国際公開第2009/086028号、国際公開第2009/003898号、国際公開第2012/023947号、特開2008−074939号公報、特開2007−254297号公報、EP第2034538号明細書等に記載されている化合物を挙げることができる。 Examples of the host compound include JP-A-2001-257076, JP-A-2002-308855, JP-A-2001-313179, JP-A-2002-319491, and JP-A-2001-357977. Kai 2002-334786, JP-2002-8860, JP-2002-334787, JP-A-2002-15871, JP-A-2002-334788, JP-A-2002-43056, JP-A-2002 -334789, 2002-75645, 2002-338579, 2002-105445, 2002-343568, 2002-141173, 2002-352957 No., JP-A-2002-203683, JP-A-2002-363227, JP-A-2002-231453, JP-A-2003-3165, JP-A-2002-234888, JP-A-2003-27048 , JP-A-2002-255934, JP-A-2002-260861, JP-A-2002-280183, JP-A-2002-299060, JP-A-2002-302516, JP-A-2002-305083, Kai 2002-305084, JP-A-2002-308387, US Patent Publication No. 2003/01755553, US Patent Publication No. 2006/0280965, US Patent Publication No. 2005/0112407, US Patent Publication No. 2009/0017330, US Patent Publication No. 2009/0030202, US Patent Publication No. 2005/238919, International Publication No. 2001/039234, International Publication No. 2009/021126, International Publication No. 2008/056746, International Publication No. 2004/093207, International Publication No. 2005/089025, International Publication No. 2007/0637996, International Publication No. 2007/0637554, International Publication No. 2004/107822, International Publication No. 2005 / 030900, International Publication No. 2006/114966, International Publication No. 2009/086028, International Publication No. 2009/003898, International Publication No. 2012/0293947, JP-A-2008-074939, JP-A-2007-254297 , EP No. 2034538 and the like. To.
発光層は、公知の発光材料やホスト化合物を、例えば、真空蒸着法、スピンコート法、キャスト法、LB法、インクジェット法等の公知の薄膜形成方法により成膜して形成することができる。また、発光層は、複数の発光材料を混合して形成してもよい。 The light emitting layer can be formed by forming a film of a known light emitting material or host compound by a known thin film forming method such as a vacuum deposition method, a spin coating method, a casting method, an LB method, or an inkjet method. Further, the light emitting layer may be formed by mixing a plurality of light emitting materials.
(正孔注入層・電子注入層)
注入層とは、駆動電圧低下や発光輝度向上のために電極と発光層の間に設けられる層であり、「有機EL素子とその工業化最前線(1998年11月30日エヌ・ティー・エス社発行)」の第2編第2章「電極材料」(123〜166頁)に、その詳細が記載されている。(Hole injection layer / electron injection layer)
The injection layer is a layer provided between the electrode and the light emitting layer in order to reduce the driving voltage and improve the light emitting brightness, and is "organic EL element and its forefront of industrialization (November 30, 1998, NTS). (Issue) ”, Volume 2, Chapter 2,“ Electrode Materials ”(pages 123-166), the details of which are described.
注入層には、正孔注入層と電子注入層とがあり、必要に応じてそれぞれ設けることができる。正孔注入層であれば、陽極と発光層、又は、正孔輸送との間、電子注入層であれば陰極と発光層、又は、電子輸送層との間に存在させてもよい。 The injection layer includes a hole injection layer and an electron injection layer, each of which can be provided as needed. If it is a hole injection layer, it may be present between the anode and the light emitting layer or the hole transport, and if it is an electron injection layer, it may be present between the cathode and the light emitting layer or the electron transport layer.
正孔注入層は、特開平9−45479号公報、特開平9−260062号公報、特開平8−288069号公報等にもその詳細が記載され、具体例として、銅フタロシアニンに代表されるフタロシアニン層、酸化バナジウムに代表される酸化物層、アモルファスカーボン層、ポリアニリン(エメラルディン)やポリチオフェン等の導電性高分子を用いた高分子層等が挙げられる。また、特表2003−519432号公報に記載される材料を使用することも好ましい。 The details of the hole injection layer are described in JP-A-9-45479, JP-A-9-2660062, JP-A-8-288609, etc., and as a specific example, a phthalocyanine layer represented by copper phthalocyanine. , Oxide layer typified by vanadium oxide, amorphous carbon layer, polymer layer using conductive polymer such as polyaniline (emeraldine) and polythiophene, and the like. It is also preferable to use the materials described in JP-A-2003-591432.
電子注入層は、特開平6−325871号公報、特開平9−17574号公報、特開平10−74586号公報等にもその詳細が記載されており、具体的にはストロンチウムやアルミニウム等に代表される金属層、フッ化カリウムに代表されるアルカリ金属ハライド層、フッ化マグネシウムに代表されるアルカリ土類金属化合物層、酸化モリブデンに代表される酸化物層等が挙げられる。電子注入層はごく薄い膜であることが望ましく、素材にもよるが、厚さは1nm〜10μmの範囲が好ましい。 The details of the electron injection layer are described in JP-A-6-325871A, JP-A-9-17574, JP-A-10-74586, etc., and specifically, strontium, aluminum, and the like are represented. Examples include a metal layer, an alkali metal halide layer typified by potassium fluoride, an alkaline earth metal compound layer typified by magnesium fluoride, and an oxide layer typified by molybdenum oxide. The electron injection layer is preferably a very thin film, and although it depends on the material, the thickness is preferably in the range of 1 nm to 10 μm.
(正孔輸送層)
正孔輸送層は、正孔を輸送する機能を有する正孔輸送材料からなり、広い意味で正孔注入層、電子阻止層も正孔輸送層に含まれる。正孔輸送層は単層、又は、複数層設けることができる。(Hole transport layer)
The hole transport layer is made of a hole transport material having a function of transporting holes, and in a broad sense, a hole injection layer and an electron blocking layer are also included in the hole transport layer. The hole transport layer may be provided as a single layer or a plurality of layers.
正孔輸送材料としては、正孔の注入、又は、輸送、電子の障壁性のいずれかの特性を有するものであり、有機物、無機物のいずれであってもよい。例えば、トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、シラザン誘導体、アニリン系共重合体、また、導電性高分子オリゴマー、特にチオフェンオリゴマー等が挙げられる。 The hole transporting material has any of the properties of hole injection, transport, and electron barrier property, and may be either an organic substance or an inorganic substance. For example, triazole derivatives, oxadiasol derivatives, imidazole derivatives, polyarylalkane derivatives, pyrazoline derivatives and pyrazolone derivatives, phenylenediamine derivatives, arylamine derivatives, amino-substituted chalcone derivatives, oxazole derivatives, styrylanthracene derivatives, fluorenone derivatives, hydrazone derivatives, Examples thereof include stillben derivatives, silazane derivatives, aniline-based copolymers, and conductive polymer oligomers, especially thiophene oligomers.
正孔輸送材料としては、上記のものを使用することができるが、更に、ポルフィリン化合物、芳香族第3級アミン化合物及びスチリルアミン化合物、特に芳香族第3級アミン化合物を用いることが好ましい。 As the hole transport material, the above-mentioned ones can be used, but it is more preferable to use a porphyrin compound, an aromatic tertiary amine compound and a styrylamine compound, particularly an aromatic tertiary amine compound.
芳香族第3級アミン化合物及びスチリルアミン化合物の代表例としては、例えば、N,N,N′,N′−テトラフェニル−4,4′−ジアミノフェニル、N,N′−ジフェニル−N,N′−ビス(3−メチルフェニル)−〔1,1′−ビフェニル〕−4,4′−ジアミン(略称:TPD)、2,2−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)プロパン、1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)シクロヘキサン、N,N,N′,N′−テトラ−p−トリル−4,4′−ジアミノビフェニル、1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)−4−フェニルシクロヘキサン、ビス(4−ジメチルアミノ−2−メチルフェニル)フェニルメタン、ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)フェニルメタン、N,N′−ジフェニル−N,N′−ジ(4−メトキシフェニル)−4,4′−ジアミノビフェニル、N,N,N′,N′−テトラフェニル−4,4′−ジアミノジフェニルエーテル、4,4′−ビス(ジフェニルアミノ)クオードリフェニル、N,N,N−トリ(p−トリル)アミン、4−(ジ−p−トリルアミノ)−4′−〔4−(ジ−p−トリルアミノ)スチリル〕スチルベン、4−N,N−ジフェニルアミノ−(2−ジフェニルビニル)ベンゼン、3−メトキシ−4′−N,N−ジフェニルアミノスチルベンゼン、N−フェニルカルバゾール、さらには米国特許第5,061,569号明細書に記載されている2個の縮合芳香族環を分子内に有するもの、例えば、4,4′−ビス〔N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ〕ビフェニル(略称:NPD)、特開平4−308688号公報に記載されているトリフェニルアミンユニットが3つスターバースト型に連結された4,4′,4″−トリス〔N−(3−メチルフェニル)−N−フェニルアミノ〕トリフェニルアミン(略称:MTDATA)等が挙げられる。 Representative examples of aromatic tertiary amine compounds and styrylamine compounds include, for example, N, N, N', N'-tetraphenyl-4,4'-diaminophenyl, N, N'-diphenyl-N, N. ′ -Bis (3-methylphenyl)-[1,1′-biphenyl] -4,4 ′-diamine (abbreviation: TPD), 2,2-bis (4-di-p-tolylaminophenyl) propane, 1 , 1-bis (4-di-p-tolylaminophenyl) cyclohexane, N, N, N', N'-tetra-p-tolyl-4,4'-diaminobiphenyl, 1,1-bis (4-di) -P-trilaminophenyl) -4-phenylcyclohexane, bis (4-dimethylamino-2-methylphenyl) phenylmethane, bis (4-di-p-tolylaminophenyl) phenylmethane, N, N'-diphenyl- N, N'-di (4-methoxyphenyl) -4,4'-diaminobiphenyl, N, N, N', N'-tetraphenyl-4,4'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-bis (diphenyl) Amino) Quadriphenyl, N, N, N-tri (p-tolyl) amine, 4- (di-p-tolylamino) -4'-[4- (di-p-tolylamino) styryl] stilben, 4-N , N-diphenylamino- (2-diphenylvinyl) benzene, 3-methoxy-4'-N, N-diphenylaminostillbenzene, N-phenylcarbazole, as described in US Pat. No. 5,061,569. Those having two fused aromatic rings in the molecule, for example, 4,4'-bis [N- (1-naphthyl) -N-phenylamino] biphenyl (abbreviation: NPD), JP-A-4- 4,4', 4 "-tris [N- (3-methylphenyl) -N-phenylamino] triphenylamine in which three triphenylamine units described in JP-A-308688 are linked in a starburst form ( Abbreviation: MTDATA) and the like.
さらにこれらの材料を高分子鎖に導入した、又は、これらの材料を高分子の主鎖とした高分子材料を用いることもできる。また、p型−Si、p型−SiC等の無機化合物も正孔注入材料、正孔輸送材料として使用することができる。 Further, a polymer material in which these materials are introduced into a polymer chain or these materials are used as a polymer main chain can also be used. Inorganic compounds such as p-type-Si and p-type-SiC can also be used as hole injection materials and hole transport materials.
また、特開平11−251067号公報、J.Huang et.al.,Applied Physics Letters,80(2002),p.139に記載されているようないわゆる、p型正孔輸送材料を用いることもできる。より高効率の発光素子が得られることから、これらの材料を用いることが好ましい。 In addition, JP-A-11-251667, J. Am. Hung et. al. , Applied Physics Letters, 80 (2002), p. So-called p-type hole transport materials such as those described in 139 can also be used. It is preferable to use these materials because a light emitting device with higher efficiency can be obtained.
正孔輸送層は、上記正孔輸送材料を、例えば、真空蒸着法、スピンコート法、キャスト法、インクジェット法を含む印刷法、LB法等の公知の方法により、薄膜化することにより形成することができる。正孔輸送層の厚さについては特に制限はないが、通常は5nm〜5μm程度、好ましくは5〜200nmである。この正孔輸送層は、上記材料の1種、又は、2種以上からなる一層構造であってもよい。 The hole transport layer is formed by thinning the hole transport material by a known method such as a vacuum deposition method, a spin coating method, a casting method, a printing method including an inkjet method, or an LB method. Can be done. The thickness of the hole transport layer is not particularly limited, but is usually about 5 nm to 5 μm, preferably 5 to 200 nm. The hole transport layer may have a one-layer structure composed of one type or two or more types of the above materials.
また、正孔輸送層の材料に不純物をドープして輸送性を高くすることもできる。その例としては、特開平4−297076号公報、特開2000−196140号公報、特開2001−102175号公報、J.Appl.Phys.,95,5773(2004)等に記載されたものが挙げられる。 Further, the material of the hole transport layer can be doped with impurities to improve the transportability. Examples thereof include JP-A-4-297076, JP-A-2000-196140, JP-A-2001-102175, J. Mol. Apple. Phys. , 95, 5773 (2004) and the like.
(電子輸送層)
電子輸送層は、電子を輸送する機能を有する材料からなり、広い意味で電子注入層、正孔阻止層も電子輸送層に含まれる。電子輸送層は単層構造、又は、複数層の積層構造として設けることができる。(Electronic transport layer)
The electron transport layer is made of a material having a function of transporting electrons, and in a broad sense, an electron injection layer and a hole blocking layer are also included in the electron transport layer. The electron transport layer can be provided as a single-layer structure or a multi-layer laminated structure.
単層構造の電子輸送層、及び、積層構造の電子輸送層において、発光層に隣接する層部分を構成する電子輸送材料(正孔阻止材料を兼ねる)としては、陰極より注入された電子を発光層に伝達する機能を有していればよい。このような材料としては従来公知の化合物の中から任意のものを選択して用いることができる。例えば、ニトロ置換フルオレン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、チオピランジオキシド誘導体、カルボジイミド、フレオレニリデンメタン誘導体、アントラキノジメタン、アントロン誘導体及びオキサジアゾール誘導体等が挙げられる。さらに、上記オキサジアゾール誘導体において、オキサジアゾール環の酸素原子を硫黄原子に置換したチアジアゾール誘導体、電子吸引基として知られているキノキサリン環を有するキノキサリン誘導体も、電子輸送層の材料として用いることができる。さらにこれらの材料を高分子鎖に導入した、又は、これらの材料を高分子の主鎖とした高分子材料を用いることもできる。 In the single-layer structure electron transport layer and the laminated structure electron transport layer, as an electron transport material (also serving as a hole blocking material) constituting a layer portion adjacent to the light emitting layer, electrons injected from the cathode are emitted. It suffices to have a function of transmitting to the layer. As such a material, any one can be selected and used from conventionally known compounds. Examples thereof include nitro-substituted fluorene derivatives, diphenylquinone derivatives, thiopyrandioxide derivatives, carbodiimides, freolenidene methane derivatives, anthracinodimethane, anthrone derivatives and oxadiazole derivatives. Further, among the above oxadiazole derivatives, a thiadiazole derivative in which the oxygen atom of the oxadiazole ring is replaced with a sulfur atom, and a quinoxaline derivative having a quinoxaline ring known as an electron-withdrawing group can also be used as a material for the electron transport layer. it can. Further, a polymer material in which these materials are introduced into a polymer chain or these materials are used as a polymer main chain can also be used.
また、8−キノリノール誘導体の金属錯体、例えば、トリス(8−キノリノール)アルミニウム(略称:Alq3)、トリス(5,7−ジクロロ−8−キノリノール)アルミニウム、トリス(5,7−ジブロモ−8−キノリノール)アルミニウム、トリス(2−メチル−8−キノリノール)アルミニウム、トリス(5−メチル−8−キノリノール)アルミニウム、ビス(8−キノリノール)亜鉛(略称:Znq)等、及びこれらの金属錯体の中心金属がIn、Mg、Cu、Ca、Sn、Ga、又は、Pbに置き替わった金属錯体も、電子輸送層の材料として用いることができる。 Also, metal complexes of 8-quinolinol derivatives, such as tris (8-quinolinol) aluminum (abbreviation: Alq3), tris (5,7-dichloro-8-quinolinol) aluminum, tris (5,7-dibromo-8-quinolinol). ) Aluminum, tris (2-methyl-8-quinolinol) aluminum, tris (5-methyl-8-quinolinol) aluminum, bis (8-quinolinol) zinc (abbreviation: Znq), etc., and the central metal of these metal complexes A metal complex replaced with In, Mg, Cu, Ca, Sn, Ga, or Pb can also be used as a material for the electron transport layer.
その他、メタルフリー若しくはメタルフタロシアニン、又は、それらの末端がアルキル基やスルホン酸基等で置換されているものも、電子輸送層の材料として好ましく用いることができる。また、発光層の材料としても例示されるジスチリルピラジン誘導体も電子輸送層の材料として用いることができるし、正孔注入層、正孔輸送層と同様にn型−Si、n型−SiC等の無機半導体も電子輸送層の材料として用いることができる。 In addition, metal-free or metal phthalocyanines, or those whose terminals are substituted with an alkyl group, a sulfonic acid group, or the like can also be preferably used as a material for the electron transport layer. Further, a distyrylpyrazine derivative exemplified as a material of a light emitting layer can also be used as a material of an electron transport layer, and like the hole injection layer and the hole transport layer, n-type-Si, n-type-SiC and the like can be used. Inorganic semiconductors can also be used as materials for electron transport layers.
電子輸送層は、上記材料を、例えば、真空蒸着法、スピンコート法、キャスト法、インクジェット法を含む印刷法、LB法等の公知の方法により、薄膜化することにより形成することができる。電子輸送層の厚さについては特に制限はないが、通常は5nm〜5μm程度、好ましくは5〜200nmである。電子輸送層は上記材料の1種、又は、2種以上からなる一層構造であってもよい。 The electron transport layer can be formed by thinning the material by a known method such as a vacuum deposition method, a spin coating method, a casting method, a printing method including an inkjet method, or an LB method. The thickness of the electron transport layer is not particularly limited, but is usually about 5 nm to 5 μm, preferably 5 to 200 nm. The electron transport layer may have a one-layer structure composed of one type or two or more types of the above materials.
また、電子輸送層に不純物をドープし、輸送性を高くすることもできる。その例としては、特開平4−297076号公報、特開平10−270172号公報、特開2000−196140号公報、特開2001−102175号公報、J.Appl.Phys.,95,5773(2004)等に記載されたものが挙げられる。さらに電子輸送層には、カリウムやカリウム化合物などを含有させることが好ましい。カリウム化合物としては、例えば、フッ化カリウム等を用いることができる。このように電子輸送層のn性を高くすると、より低消費電力の素子を作製することができる。 Further, the electron transport layer can be doped with impurities to improve the transportability. Examples thereof include JP-A-4-297076, JP-A-10-270172, JP-A-2000-196140, JP-A-2001-102175, J. Mol. Apple. Phys. , 95, 5773 (2004) and the like. Further, it is preferable that the electron transport layer contains potassium, a potassium compound, or the like. As the potassium compound, for example, potassium fluoride or the like can be used. By increasing the n property of the electron transport layer in this way, a device having lower power consumption can be manufactured.
また電子輸送層の材料(電子輸送性化合物)として、上述した下地層を構成する材料と同様のものを用いてもよい。これは、電子注入層を兼ねた電子輸送層であっても同様であり、上述した下地層を構成する材料と同様のものを用いてもよい。 Further, as the material of the electron transport layer (electron transport compound), the same material as the material constituting the base layer described above may be used. This also applies to an electron transport layer that also serves as an electron injection layer, and the same material as the material constituting the base layer described above may be used.
(阻止層)
阻止層としては正孔阻止層及び電子阻止層が挙げられ、発光ユニット23として、上記各機能層の他に、更に設けられていてもよい。例えば、特開平11−204258号公報、特開平11−204359号公報、及び「有機EL素子とその工業化最前線(1998年11月30日エヌ・ティー・エス社発行)」の237頁等に記載されている正孔阻止(ホールブロック)層がある。(Blocking layer)
Examples of the blocking layer include a hole blocking layer and an electron blocking layer, and the
正孔阻止層とは、広い意味では、電子輸送層の機能を有する。正孔阻止層は、電子を輸送する機能を有しつつ正孔を輸送する能力が著しく小さい正孔阻止材料からなり、電子を輸送しつつ正孔を阻止することで電子と正孔の再結合確率を向上させることができる。また、電子輸送層の構成を必要に応じて、正孔阻止層として用いることができる。正孔阻止層は、発光層に隣接して設けられていることが好ましい。 The hole blocking layer has a function of an electron transporting layer in a broad sense. The hole blocking layer is made of a hole blocking material that has a function of transporting electrons and a significantly small ability to transport holes, and recombines electrons and holes by blocking holes while transporting electrons. The probability can be improved. In addition, the structure of the electron transport layer can be used as a hole blocking layer, if necessary. The hole blocking layer is preferably provided adjacent to the light emitting layer.
一方、電子阻止層とは、広い意味では、正孔輸送層の機能を有する。電子阻止層は、正孔を輸送する機能を有しつつ電子を輸送する能力が著しく小さい材料からなり、正孔を輸送しつつ電子を阻止することで電子と正孔の再結合確率を向上させることができる。また、正孔輸送層の構成を必要に応じて電子阻止層として用いることができる。正孔阻止層の厚さとしては、好ましくは3〜100nmの範囲内であり、さらに好ましくは5〜30nmの範囲内である。 On the other hand, the electron blocking layer has a function of a hole transporting layer in a broad sense. The electron blocking layer is made of a material that has a function of transporting holes and a significantly small ability to transport electrons, and improves the probability of recombination of electrons and holes by blocking electrons while transporting holes. be able to. In addition, the structure of the hole transport layer can be used as an electron blocking layer, if necessary. The thickness of the hole blocking layer is preferably in the range of 3 to 100 nm, and more preferably in the range of 5 to 30 nm.
[封止部材]
有機EL発光装置20において、有機EL素子25は、有機材料等を用いて構成された発光ユニット23の劣化を防止することを目的として、図示しない封止部材で封止されていてもよい。封止部材は、有機EL素子25の上面を覆う板状(フィルム状)の部材であって、接着部によって第2基材21側に固定される。また、封止部材は、封止膜であってもよい。このような封止部材は、有機EL素子25の電極端子部分を露出させ、少なくとも発光ユニット23を覆う状態で設けられている。また、封止部材に電極を設け、有機EL素子25の電極端子部分と、封止部材の電極とを導通させる構成でもよい。[Sealing member]
In the organic EL
板状(フィルム状)の封止部材を構成する材料としては、例えば、ガラス板、ポリマー板/フィルム、金属板/フィルム等が挙げられる。ガラス板としては、特に、ソーダ石灰ガラス、バリウム・ストロンチウム含有ガラス、鉛ガラス、アルミノケイ酸ガラス、ホウケイ酸ガラス、バリウムホウケイ酸ガラス、石英等を挙げることができる。また、ポリマー板としては、ポリカーボネート、アクリル、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルサルファイド、ポリサルフォン等を挙げることができる。金属板としては、ステンレス、鉄、銅、アルミニウム、マグネシウム、ニッケル、亜鉛、クロム、チタン、モリブテン、シリコン、ゲルマニウム及びタンタルからなる群から選ばれる一種以上の金属または合金からなるものが挙げられる。素子を薄膜化できるということから、封止部材として薄型のフィルム状にしたポリマー基板や金属基板を好ましく使用することができる。 Examples of the material constituting the plate-shaped (film-shaped) sealing member include a glass plate, a polymer plate / film, a metal plate / film, and the like. Examples of the glass plate include soda lime glass, barium / strontium-containing glass, lead glass, aluminosilicate glass, borosilicate glass, barium borosilicate glass, and quartz. Examples of the polymer plate include polycarbonate, acrylic, polyethylene terephthalate, polyether sulfide, and polysulfone. Examples of the metal plate include those made of one or more metals or alloys selected from the group consisting of stainless steel, iron, copper, aluminum, magnesium, nickel, zinc, chromium, titanium, molybdenum, silicon, germanium and tantalum. Since the element can be thinned, a thin film-shaped polymer substrate or metal substrate can be preferably used as the sealing member.
更に、封止部材として用いるフィルム状としたポリマー基板は、JIS K 7126−1987に準拠した方法で測定された酸素透過度が1×10−3ml/(m2・24h・atm)以下、JIS K 7129−1992に準拠した方法で測定された水蒸気透過度(25±0.5℃、相対湿度(90±2)%RH)が、1×10-3g/(m2・24h)以下であることが好ましい。Furthermore, the polymer substrate having a film shape is used as a sealing member, the measured oxygen permeability by the method based on JIS K 7126-1987 is 1 × 10-3ml / (m 2 · 24h · atm) or less, JIS K water vapor permeability measured by the method conforming to 7129-1992 (25 ± 0.5 ℃, relative humidity (90 ± 2)% RH) is located at 1 × 10 -3 g / (m 2 · 24h) or less Is preferable.
また、以上のような基板材料は、凹板状に加工して封止部材として用いてもよい。この場合、上述した基板部材に対して、サンドブラスト加工、化学エッチング加工等の加工を行なうことにより、凹板状に加工することができる。 Further, the substrate material as described above may be processed into an intaglio shape and used as a sealing member. In this case, the above-mentioned substrate member can be processed into an intaglio shape by performing processing such as sandblasting and chemical etching.
また、板状の封止部材を第2基材21側に固定するための接着剤は、封止部材と第2基材21との間に挟持された有機EL素子25を封止するためのシール剤として用いられる。このような接着剤は、具体的には、アクリル酸系オリゴマー、メタクリル酸系オリゴマーの反応性ビニル基を有する光硬化及び熱硬化型接着剤、2−シアノアクリル酸エステル等の湿気硬化型等の接着剤を挙げることができる。また、接着剤としては、エポキシ系等の熱及び化学硬化型(二液混合)を挙げることができる。また、ホットメルト型のポリアミド、ポリエステル、ポリオレフィンを挙げることができる。また、カチオン硬化タイプの紫外線硬化型エポキシ樹脂接着剤を挙げることができる。封止部材と第2基材21との接着部分への接着剤の塗布は、市販のディスペンサーを使ってもよいし、スクリーン印刷のように印刷してもよい。
Further, the adhesive for fixing the plate-shaped sealing member to the
なお、有機EL素子25を構成する有機材料は、熱処理により劣化する場合がある。このため、接着剤は、室温から80℃までに接着硬化できるものが好ましい。また、接着剤中に乾燥剤を分散させておいてもよい。
The organic material constituting the
また、板状の封止部材と第2基材21と接着剤との間に隙間が形成される場合、この間隙の気相又は液相には、窒素、アルゴン等の不活性気体や、フッ化炭化水素、シリコンオイルのような不活性液体を注入することが好ましい。また、真空とすることも可能である。また、内部に吸湿性化合物を封入することもできる。
When a gap is formed between the plate-shaped sealing member, the
吸湿性化合物としては、例えば、金属酸化物(例えば、酸化ナトリウム、酸化カリウム、酸化カルシウム、酸化バリウム、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム等)、硫酸塩(例えば、硫酸ナトリウム、硫酸カルシウム、硫酸マグネシウム、硫酸コバルト等)、金属ハロゲン化物(例えば、塩化カルシウム、塩化マグネシウム、フッ化セシウム、フッ化タンタル、臭化セリウム、臭化マグネシウム、ヨウ化バリウム、ヨウ化マグネシウム等)、過塩素酸類(例えば、過塩素酸バリウム、過塩素酸マグネシウム等)等が挙げられ、硫酸塩、金属ハロゲン化物及び過塩素酸類においては無水塩が好適に用いられる。 Examples of the hygroscopic compound include metal oxides (eg, sodium oxide, potassium oxide, calcium oxide, barium oxide, magnesium oxide, aluminum oxide, etc.) and sulfates (eg, sodium sulfate, calcium sulfate, magnesium sulfate, cobalt sulfate, etc.). Etc.), metal halides (eg calcium chloride, magnesium chloride, cesium fluoride, tantalum fluoride, cerium bromide, magnesium bromide, barium iodide, magnesium iodide, etc.), perchlorates (eg, perchloric acid) (Barium, magnesium perchlorate, etc.), etc.), and anhydrous salts are preferably used for sulfates, metal halides, and perchlorates.
一方、封止部材として封止膜を用いる場合、有機EL素子25における発光ユニット23を完全に覆い、かつ有機EL素子25における第1電極22及び第2電極24の端子部分を露出させる状態で、第2基材21上に封止膜が設けられる。
On the other hand, when a sealing film is used as the sealing member, the
このような封止膜は、無機材料や有機材料を用いて構成される。特に、水分や酸素等、有機EL素子25における発光ユニット23の劣化をもたらす物質の浸入を抑制する機能を有する材料で構成される。このような材料として、例えば、酸化ケイ素、二酸化ケイ素、窒化ケイ素等の無機材料が用いられる。更に、封止膜の脆弱性を改良するために、これら無機材料からなる膜とともに、有機材料からなる膜を用いて積層構造としてもよい。
Such a sealing film is constructed by using an inorganic material or an organic material. In particular, it is made of a material having a function of suppressing the infiltration of substances such as water and oxygen that cause deterioration of the
これらの膜の形成方法については、特に限定はなく、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、反応性スパッタリング法、分子線エピタキシー法、クラスターイオンビーム法、イオンプレーティング法、プラズマ重合法、大気圧プラズマ重合法、プラズマCVD法、レーザーCVD法、熱CVD法、コーティング法等を用いることができる。 The method for forming these films is not particularly limited, and for example, vacuum deposition method, sputtering method, reactive sputtering method, molecular beam epitaxy method, cluster ion beam method, ion plating method, plasma polymerization method, atmospheric pressure plasma. A polymerization method, a plasma CVD method, a laser CVD method, a thermal CVD method, a coating method and the like can be used.
[有機EL発光装置の製造方法]
次に、図2に示す有機EL発光装置20の製造方法の一例を説明する。
まず、第2基材21を準備する。そして、第2基材21の第1主面上に、第1電極22を、蒸着法やスパッタ法等の適宜の成膜法によって形成する。そして、第1電極22上に、正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層等を順に成膜し、発光ユニット23を形成する。これらの各層の成膜方法としては、従来公知の各条件を適宜選択することができる。[Manufacturing method of organic EL light emitting device]
Next, an example of the manufacturing method of the organic EL
First, the
発光ユニット23を形成した後、この上部に第2電極24を、蒸着法やスパッタ法等の適宜の成膜法によって形成する。この際、第2電極24は、発光ユニット23によって第1電極22に対して絶縁状態を保ちつつ、発光ユニット23の上方から第2基材21の周縁に端子部分を引き出した形状にパターン形成する。これにより、有機EL素子25を製造する。また、その後には、有機EL素子25における取り出し電極の端子部分を露出させた状態で、少なくとも発光ユニット23を覆う封止部材を設ける。
After forming the
また、上記有機EL素子25の作製とは別に、上述の製造方法により光取り出しフィルム10を作製する。そして、粘着剤層14上の剥離フィルムを剥離し、光取り出しフィルム10の粘着剤層14を、有機EL素子25の第2基材21の第2主面側に貼り合わせる。さらに、必要に応じて、粘着剤層14の粘着剤を硬化するために1000Pa以下の真空雰囲気下で加熱、又は、エネルギー線を照射する。
以上の工程により、有機EL素子25と光取り出しフィルム10とを備える有機EL発光装置20を作製することができる。Further, apart from the production of the
Through the above steps, the organic EL
有機EL発光装置20は、使用する光取り出しフィルム10の厚さが、従来のガスバリア性フィルムと光取り出しフィルムとを貼り合わせた構成よりも小さい。このため、有機EL発光装置20においても、有機EL素子25を切り出す際に、裁断によるガスバリア層12に割れ等の損傷を抑制することができる。このため、ガスバリア性の低下による、有機EL素子25の信頼性の低下を抑制することができる。
The thickness of the
さらに、有機EL発光装置20の作製において、反り(カール)の発生が抑制された構成の光取り出しフィルム10を使用する。このため、有機EL素子25と光取り出しフィルム10とを貼り合わせる際に、作業性の低下が発生しにくく、生産性が向上する。
Further, in the production of the organic EL
なお、上述の有機EL発光装置の実施形態では、有機EL素子の基材側から光を取出すボトムエミッション型の有機EL発光装置について説明したが、その他の形態においても同様に光取り出しフィルムを適用することができる。例えば、トップエミッション型の有機EL発光装置の場合には、第2電極を透明導電膜で構成し、光取り出しフィルムを封止部材上に設けることができる。また、両面発光型の有機EL発光装置の場合には、第1電極と第2電極とをともに透明導電膜で構成し、第2基材と封止部材との両面上に光取り出しフィルムを設けることができる。 In the above-described embodiment of the organic EL light emitting device, the bottom emission type organic EL light emitting device that extracts light from the base material side of the organic EL element has been described, but the light extraction film is similarly applied to other forms. be able to. For example, in the case of a top emission type organic EL light emitting device, the second electrode can be formed of a transparent conductive film, and a light extraction film can be provided on the sealing member. Further, in the case of a double-sided light emitting type organic EL light emitting device, both the first electrode and the second electrode are made of a transparent conductive film, and a light extraction film is provided on both sides of the second base material and the sealing member. be able to.
以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、実施例において「%」の表示を用いるが、特に断りがない限り「質量%」を表す。 Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to Examples, but the present invention is not limited thereto. Although the display of "%" is used in the examples, it represents "mass%" unless otherwise specified.
〈試料101の有機EL発光装置の作製〉
[有機EL素子の作製;ガスバリア層付基材の準備]
厚さ125μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(帝人デュポンフィルム株式会社製、極高透明品PET Type K)を有機EL素子の基材(第2基材)として準備した。そして、大気圧プラズマ製膜装置(サムコ社製プラズマCVD装置Model PD−270STP)を用いて、大気圧プラズマ法により、基材(第2基材)上に、以下の薄膜形成条件で酸化珪素のバリア層(厚さ270nm)を形成した。これにより、ガスバリア層付基材を作製した。<Preparation of organic EL light emitting device for sample 101>
[Manufacturing of organic EL device; preparation of base material with gas barrier layer]
A polyethylene terephthalate film having a thickness of 125 μm (manufactured by Teijin DuPont Film Co., Ltd., PET Type K, an ultra-highly transparent product) was prepared as a base material (second base material) for an organic EL element. Then, using an atmospheric pressure plasma film forming apparatus (Samco plasma CVD apparatus Model PD-270STP), silicon oxide is formed on a base material (second base material) under the following thin film forming conditions by the atmospheric pressure plasma method. A barrier layer (thickness 270 nm) was formed. As a result, a base material with a gas barrier layer was prepared.
(混合ガス組成物)
放電ガス:窒素ガス 94.9体積%
薄膜形成ガス:テトラエトキシシラン 0.1体積%
添加ガス:酸素ガス 5.0体積%(Mixed gas composition)
Discharge gas: Nitrogen gas 94.9% by volume
Thin film forming gas: Tetraethoxysilane 0.1% by volume
Addition gas: Oxygen gas 5.0% by volume
(成膜条件;第1電極側)
電源種類:ハイデン研究所 100kHz(連続モード) PHF−6k
周波数 :100kHz
出力密度:10W/cm2
電極温度:130度
(成膜条件;第2電極側)
電源種類:パール工業 13.56MHz CF−5000−13M
周波数 :13.56MHz
出力密度:10W/cm2
電極温度:100度(Film formation conditions; 1st electrode side)
Power supply type: Haiden Research Institute 100kHz (continuous mode) PHF-6k
Frequency: 100kHz
Output density: 10 W / cm 2
Electrode temperature: 130 degrees (deposition condition; second electrode side)
Power supply type: Pearl Industry 13.56MHz CF-5000-13M
Frequency: 13.56MHz
Output density: 10 W / cm 2
Electrode temperature: 100 degrees
[有機EL素子の作製;下地層〜第2電極の作製]
上記基材をイソプロピルアルコールで超音波洗浄し、乾燥窒素ガスで乾燥し、UVオゾン洗浄を5分間行った後、この基材を市販の真空蒸着装置の基板ホルダーに固定した。真空蒸着装置内の蒸着用るつぼの各々に、各層の構成材料を、各々素子作製に最適量を充填した。蒸着用るつぼはモリブデン製またはタングステン製の抵抗加熱用材料で作製されたものを用いた。[Manufacturing of organic EL element; Fabrication of base layer to second electrode]
The base material was ultrasonically cleaned with isopropyl alcohol, dried with dry nitrogen gas, and UV ozone washed for 5 minutes, and then the base material was fixed to a substrate holder of a commercially available vacuum vapor deposition apparatus. Each of the crucibles for vapor deposition in the vacuum vapor deposition apparatus was filled with the constituent materials of each layer in the optimum amount for manufacturing the device. As the crucible for vapor deposition, a crucible made of molybdenum or tungsten made of a resistance heating material was used.
(下地層の形成)
上記バリア層付基材のバリア層上に、下記化合物R−1を、公知の蒸着法により、厚さ25nmで蒸着して、下地層(不図示)を形成した。(Formation of base layer)
The following compound R-1 was deposited on the barrier layer of the base material with a barrier layer to a thickness of 25 nm by a known vapor deposition method to form an underlayer (not shown).
(第1電極の形成)
次に、下地層上に、蒸着法により銀を15nmの厚さで蒸着し、第1透明電極(陽極:薄銀電極)を形成した。(Formation of the first electrode)
Next, silver was vapor-deposited on the base layer to a thickness of 15 nm by a thin-film deposition method to form a first transparent electrode (anode: thin silver electrode).
(発光ユニットの形成)
真空度1×10−4Paまで減圧した後、化合物M−4の入った蒸着用るつぼに通電して加熱し、蒸着速度0.1nm/秒で透明支持基板に蒸着し、膜厚15nmの正孔注入層を形成した。
次に、化合物M−2を蒸着速度0.1nm/秒で蒸着し、膜厚130nmの正孔輸送層を形成した。
次に、化合物BD−1及び化合物H−1を用い、化合物BD−1が5%の濃度、化合物H−1が95%の濃度になるように蒸着速度0.1nm/秒で共蒸着し、膜厚50nmの青色発光を呈する蛍光発光層(発光層)を形成した。
次に、化合物GD−1、化合物RD−1及び化合物H−2を用い、化合物GD−1が17%の濃度、RD−1が0.8%の濃度、化合物H−2が82.2%の濃度となるように蒸着速度0.1nm/秒で共蒸着し、膜厚85nmの黄色発光を呈するリン光発光層(発光層)を形成した。
その後、化合物E−1を蒸着速度0.1nm/秒で蒸着し、膜厚35nmの電子輸送層を形成した。(Formation of light emitting unit)
After reducing the vacuum to 1 × 10 -4 Pa, the crucible for vapor deposition containing compound M-4 is energized and heated, and the film is deposited on a transparent support substrate at a vapor deposition rate of 0.1 nm / sec to a positive film thickness of 15 nm. A hole injection layer was formed.
Next, compound M-2 was vapor-deposited at a vapor deposition rate of 0.1 nm / sec to form a hole transport layer having a film thickness of 130 nm.
Next, using compound BD-1 and compound H-1, co-deposited at a vapor deposition rate of 0.1 nm / sec so that compound BD-1 has a concentration of 5% and compound H-1 has a concentration of 95%. A fluorescent light emitting layer (light emitting layer) exhibiting blue light emission having a film thickness of 50 nm was formed.
Next, using compound GD-1, compound RD-1 and compound H-2, compound GD-1 has a concentration of 17%, RD-1 has a concentration of 0.8%, and compound H-2 has a concentration of 82.2%. Co-deposited at a vapor deposition rate of 0.1 nm / sec so as to have a concentration of 85 nm, a phosphorescent light emitting layer (light emitting layer) exhibiting yellow light emission having a film thickness of 85 nm was formed.
Then, compound E-1 was vapor-deposited at a vapor deposition rate of 0.1 nm / sec to form an electron transport layer having a film thickness of 35 nm.
(第2電極の形成)
さらに、LiFを膜厚2nmとなるように蒸着して、電子注入層であるLiF層を形成した。
そして、アルミニウム110nmを蒸着して第2電極(陰極)を形成した。(Formation of the second electrode)
Further, LiF was vapor-deposited so as to have a film thickness of 2 nm to form a LiF layer which is an electron injection layer.
Then, 110 nm of aluminum was vapor-deposited to form a second electrode (cathode).
[有機EL素子の作製;封止]
上述のガスバリア層付基材と同様に、厚さ125μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(帝人デュポンフィルム株式会社製、極高透明品PET Type K)上に、上記と同様の条件で、大気圧プラズマ法を用いてガスバリア層を形成して、ガスバリア層付の透明封止基板を得た。[Manufacturing of organic EL element; sealing]
Similar to the above-mentioned base material with a gas barrier layer, the atmospheric pressure plasma method is used on a 125 μm-thick polyethylene terephthalate film (manufactured by Teijin DuPont Film Co., Ltd., ultra-high transparent PET Type K) under the same conditions as above. A gas barrier layer was formed to obtain a transparent sealed substrate with a gas barrier layer.
透明封止基板の接着は、接着剤としてエポキシ系熱硬化型接着剤(巴川製紙所社製エレファンCS)を用い、酸素濃度10ppm以下、水分濃度10ppm以下のグローブボックス内で、80℃、0.04MPa荷重下、減圧(1×10−3MPa以下)吸引を20秒、プレスを20秒の条件で、有機EL素子に向けて、上記透明封止部材が有するガスバリア層が有機EL素子側になるように真空プレスした。
その後、グローブボックス内で、110℃のホットプレート上で30分間加熱して接着層を熱硬化させ、有機EL素子を作製した。The transparent sealing substrate is adhered using an epoxy-based heat-curable adhesive (Elephant CS manufactured by Tomagawa Paper Manufacturing Co., Ltd.) as an adhesive in a glove box having an oxygen concentration of 10 ppm or less and a water concentration of 10 ppm or less at 80 ° C. Under a load of 04 MPa, under the conditions of depressurization (1 × 10 -3 MPa or less) suction for 20 seconds and pressing for 20 seconds, the gas barrier layer of the transparent sealing member becomes the organic EL element side toward the organic EL element. Vacuum pressed.
Then, in the glove box, the adhesive layer was thermoset by heating on a hot plate at 110 ° C. for 30 minutes to prepare an organic EL element.
[光取り出しフィルムの作製;基材]
上述の有機EL素子の作製に用いたガスバリア層付基材と同様に、厚さ5μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(帝人デュポンフィルム株式会社製、極高透明品PET Type K)上に、上記と同様の条件で、大気圧プラズマ法を用いてガスバリア層を形成して、光取り出しフィルムの基材(第1基材)及びガスバリア層を作製した。[Preparation of light extraction film; base material]
Similar to the above-mentioned base material with a gas barrier layer used for manufacturing the organic EL element, the same conditions as above are applied on a polyethylene terephthalate film (manufactured by Teijin DuPont Film Co., Ltd., ultra-high transparent product PET Type K) having a thickness of 5 μm. Then, the gas barrier layer was formed by using the atmospheric pressure plasma method to prepare the base material (first base material) of the light extraction film and the gas barrier layer.
[光取り出しフィルムの作製;光散乱層]
次に、光取り出しフィルムのガスバリア層が形成されていない面に下記の方法で光散乱層を作製した。[Preparation of light extraction film; light scattering layer]
Next, a light scattering layer was prepared by the following method on the surface of the light extraction film on which the gas barrier layer was not formed.
(光散乱層)
屈折率2.4、平均粒径350nmのTiO2粒子(テイカ(株)製 JR600A)と樹脂溶液(ラサ工業社製 230AL(有機無機ハイブリッド樹脂))との固形分比率を50体積%/50体積%とし、2-プロパノール、プロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)、2−メチル−2,4−ペンタンジオール(PD)の溶媒比が、20質量%/40質量%/40質量%である有機溶媒により、固形分濃度が12質量%となるように溶液を調製した。
上記の固形分(有効質量成分)に対し、0.4質量%の添加剤(ビックケミージャパン株式会社製 Disperbyk−2096)を加え、10ml量の比率で処方設計した。(Light scattering layer)
The solid content ratio of TiO 2 particles (JR600A manufactured by Teika Co., Ltd.) having a refractive index of 2.4 and an average particle size of 350 nm and a resin solution (230AL (organic-inorganic hybrid resin) manufactured by Lhasa Industries) is 50% by volume / 50 volumes. With an organic solvent in which the solvent ratio of 2-propanol, propylene glycol monomethyl ether (PGME), and 2-methyl-2,4-pentanediol (PD) is 20% by volume / 40% by volume / 40% by volume. The solution was prepared so that the solid content concentration was 12% by mass.
To the above solid content (effective mass component), 0.4% by mass of an additive (Disperbyk-2096 manufactured by Big Chemie Japan Co., Ltd.) was added, and a formulation was designed in a ratio of 10 ml.
具体的には、上記TiO2粒子と有機溶媒及び添加剤を、TiO2粒子に対し10%の質量比で混合し、常温(25℃)で冷却しながら、超音波分散機(エスエムテー社製 UH−50)に、マイクロチップステップ(エスエムテー社製 MS−3 3mmφ)の標準条件で10分間分散を加え、TiO2分散液を作製した。
次に、TiO2分散液を100rpmで撹拌しながら、樹脂溶液を少量ずつ混合添加し、添加完了後、500rpmまで撹拌速度を上げ、10分間混合した後、疎水性PVDF0.45μmフィルター(ワットマン社製)にて濾過し、目的の光散乱層用塗布液を得た。Specifically, the TiO 2 particles and an organic solvent and additives were mixed with 10% by weight ratio with respect to TiO 2 particles, while cooling at room temperature (25 ° C.), an ultrasonic dispersing machine (manufactured by SMT Co., Ltd. UH -50) was dispersed for 10 minutes under the standard conditions of a microchip step (MS-3 3 mmφ manufactured by SMT) to prepare a TiO 2 dispersion.
Next, while stirring the TiO 2 dispersion at 100 rpm, the resin solution was mixed and added little by little. After the addition was completed, the stirring speed was increased to 500 rpm, and after mixing for 10 minutes, the hydrophobic PVDF 0.45 μm filter (manufactured by Whatman Co., Ltd.) ) Was filtered to obtain the desired coating solution for the light scattering layer.
上記塗布液をインクジェット塗布法にて、樹脂基材上に塗布した後、簡易乾燥(70℃、2分)し、更に、後述する波長制御IRで基材温度80℃未満の出力条件で5分間乾燥処理を実行した。さらに、下記改質処理条件にて硬化反応を促進し、厚さ25μmの光散乱層を作製した。 After applying the above coating liquid on a resin base material by an inkjet coating method, it is simply dried (70 ° C., 2 minutes), and further, it is used for 5 minutes under output conditions where the base material temperature is less than 80 ° C. by wavelength control IR described later. A drying process was performed. Further, the curing reaction was promoted under the following modification treatment conditions to prepare a light scattering layer having a thickness of 25 μm.
(改質処理装置)
装置:株式会社 エム・ディ・コム製エキシマ照射装置MODEL MECL−M−1−200
照射波長:172nm
ランプ封入ガス:Xe(Reform processing equipment)
Equipment: Excimer irradiation device MODEL MECL-M-1-200 manufactured by MD.com Co., Ltd.
Irradiation wavelength: 172 nm
Lamp-filled gas: Xe
(改質処理条件)
エキシマランプ光強度:130mW/cm2(172nm)
試料と光源の距離:2mm
ステージ加熱温度:70℃
照射装置内の酸素濃度:20.0%
照射エネルギー:8J/cm2 (Modification treatment conditions)
Excimer lamp light intensity: 130 mW / cm 2 (172 nm)
Distance between sample and light source: 2 mm
Stage heating temperature: 70 ° C
Oxygen concentration in the irradiator: 20.0%
Irradiation energy: 8J / cm 2
[光取り出しフィルムの作製;粘着剤層の作製及び貼り合わせ]
上記で作製した光取り出しフィルムのガスバリア層上に、綜研化学社製のSKダイン2147を厚さ20μmで塗布し、粘着剤層を形成した。そして、上述の方法で作製した有機EL素子の基材の裏面側に、光取り出しフィルムの粘着剤層を貼り合わせた。この後、有機EL素子と光取り出しフィルムとを、搬送速度3m/min、積層体の張力110N/m、ニップ圧25kPaの条件で貼り合せて、試料101の有機EL発光装置を作製した。[Preparation of light extraction film; preparation and bonding of adhesive layer]
On the gas barrier layer of the light extraction film produced above, SK Dyne 2147 manufactured by Soken Chemical Co., Ltd. was applied to a thickness of 20 μm to form an adhesive layer. Then, the pressure-sensitive adhesive layer of the light extraction film was attached to the back surface side of the base material of the organic EL element produced by the above method. After that, the organic EL element and the light extraction film were bonded together under the conditions of a transport speed of 3 m / min, a tension of the laminate of 110 N / m, and a nip pressure of 25 kPa to prepare an organic EL light emitting device for sample 101.
〈試料102〜121の有機EL発光装置の作製〉
光取り出しフィルムにおける基材の厚さ、光散乱層の厚さ、及び、粘着剤層の厚さと光散乱層との厚さの比[粘着剤層/光散乱層]を、それぞれ下記表1に示すように変更して、上述の試料101の有機EL発光装置と同様の方法で、試料102から試料121の有機EL発光装置を作製した。<Preparation of organic EL light emitting device for samples 102 to 121>
The thickness of the base material, the thickness of the light scattering layer, and the ratio of the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer to the thickness of the light-scattering layer [adhesive layer / light-scattering layer] in the light extraction film are shown in Table 1 below. The organic EL light emitting device of the sample 121 was produced from the sample 102 by the same method as the organic EL light emitting device of the sample 101 described above by changing as shown.
〈評価方法〉
作製した試料101〜121の光取り出しフィルム、及び、有機EL発光装置に対し、下記の評価を行なった。<Evaluation method>
The following evaluations were performed on the light extraction film of the prepared samples 101-121 and the organic EL light emitting device.
[視野角依存性・正面輝度の評価]
作製した有機EL発光装置について、視野角として5°毎に、−80°〜80°の角度範囲内で、定電流5mA/cm2の条件で分光反射輝度計CS−2000(コニカミノルタ社製)を用いて輝度及び発光スペクトルを測定した。次に得られた発光スペクトルをCIE1931表色系で色度座標x,yに変換した。[Evaluation of viewing angle dependence / front brightness]
Regarding the manufactured organic EL light emitting device, the spectroscopic reflection luminance meter CS-2000 (manufactured by Konica Minolta) under the condition of a constant current of 5 mA / cm 2 within an angle range of -80 ° to 80 ° as a viewing angle every 5 °. The brightness and emission spectrum were measured using. Next, the obtained emission spectrum was converted into chromaticity coordinates x and y by the CIE1931 color system.
(視野角依存性)
正面と70°の角度での色度座標の変化長さをΔExyとして表現した。ΔExyが大きい程、色ズレが大きいことになる。評価は試料112の値を100として、それぞれ相対評価した。評価が100を超えた場合は色ズレが大きくなることを表す。また判断基準として評価が110を超えると著しく色ズレが大きいと判断できる。(Viewing angle dependence)
The change length of the chromaticity coordinates at an angle of 70 ° with the front surface was expressed as ΔExy. The larger ΔExy, the larger the color shift. The evaluation was relative evaluation with the value of sample 112 as 100. When the evaluation exceeds 100, it means that the color shift becomes large. Further, as a judgment criterion, when the evaluation exceeds 110, it can be judged that the color deviation is remarkably large.
(正面輝度)
正面の輝度は試料112の値を100として、それぞれ相対評価した。輝度が100を超えた場合は、輝度が明るくなり良化することを表す。(Front brightness)
The brightness of the front surface was relatively evaluated with the value of sample 112 as 100. When the brightness exceeds 100, it means that the brightness becomes brighter and improves.
[端部バリア割れの評価]
作製した光取り出しフィルムを断裁機で個々にカットした後、端面を光学顕微鏡で観察し、バリア割れの深さを下記のように評価した。
A:発生無し
B:わずかに発生(≦10μm)
C:かすかに発生(≦50μm)
D:発生(≧50μm)[Evaluation of edge barrier cracks]
After individually cutting the prepared light extraction film with a cutting machine, the end face was observed with an optical microscope, and the depth of barrier cracking was evaluated as follows.
A: No occurrence B: Slight occurrence (≦ 10 μm)
C: Slightly generated (≤50 μm)
D: Occurrence (≧ 50 μm)
[カールの評価]
作製した光取り出しフィルムを10cmsq.に裁断し、裁断した光取り出しフィルムの凸面側を平板面上に置き、光取り出しフィルムの四隅の平板面からの平均高さを測定し、下記のように評価した。
A:高さ0
B:高さ≦1.0mm
C:1.0≦高さ<2.0mm
D:高さ≧2.0mm[Evaluation of curl]
The prepared light extraction film was subjected to 10 cm sq. The convex side of the cut light extraction film was placed on a flat plate surface, and the average heights from the flat plate surfaces at the four corners of the light extraction film were measured and evaluated as follows.
A: Height 0
B: Height ≤ 1.0 mm
C: 1.0 ≤ height <2.0 mm
D: Height ≥ 2.0 mm
上記試料101〜121の有機EL発光装置の構成、及び、各評価結果を表1に示す。 Table 1 shows the configurations of the organic EL light emitting devices of the samples 101 to 121 and the evaluation results of each.
[評価結果]
表1に示すように、基材の厚さが5μmの試料101〜105の光取り出しフィルムではカールが大きい。また、基材の厚さが65μmの試料118〜121の光取り出しフィルムでは、裁断時のガスバリア層の割れが発生している。さらに、粘着剤層の厚さと光散乱層との厚さの比が0.8の試料106、試料110や、粘着剤層の厚さと光散乱層との厚さの比が4の試料114では、カールが大きい。[Evaluation results]
As shown in Table 1, the light extraction film of the samples 101 to 105 having a base material thickness of 5 μm has a large curl. Further, in the light extraction films of the samples 118 to 121 having a base material thickness of 65 μm, the gas barrier layer is cracked at the time of cutting. Further, in the sample 106 and the sample 110 in which the ratio of the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer to the light scattering layer is 0.8, and in the sample 114 in which the ratio of the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer to the light scattering layer is 4. , The curl is big.
これに対し、基材の厚さが10〜60μmであり、粘着剤層の厚さと光散乱層との厚さの比が1〜3の各試料は、カールの発生、及び、ガスバリア層の割れの評価において、良好な結果が得られている。
従って、光取り出しフィルムの基材の厚さを10μm以上60μm以下とし、粘着剤層の厚さと光散乱層との厚さの比を1〜3とすることにより、光取り出しフィルムの反り(カール)の発生を抑制し、且つ、裁断時のガスバリア層の割れを抑制することが可能な光取り出しフィルムを実現できる。On the other hand, in each sample in which the thickness of the base material is 10 to 60 μm and the ratio of the thickness of the adhesive layer to the thickness of the light scattering layer is 1 to 3, curling occurs and the gas barrier layer is cracked. Good results have been obtained in the evaluation of.
Therefore, by setting the thickness of the base material of the light extraction film to 10 μm or more and 60 μm or less and the ratio of the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer to the thickness of the light scattering layer to 1 to 3, the warp (curl) of the light extraction film is set. It is possible to realize a light extraction film capable of suppressing the occurrence of light and cracking of the gas barrier layer at the time of cutting.
また、光散乱層の厚さが小さくなるほど、有機EL発光装置の視野角依存性評価の値が大きくなり、光散乱層の厚さが大きくなるほど、有機EL発光装置の視野角依存性評価の値が小さくなる傾向が得られた。すなわち、有機EL発光装置においては、光散乱層の厚さを大きくすることにより、角度依存の色ずれを小さくすることができる。 Further, the smaller the thickness of the light scattering layer, the larger the value of the viewing angle dependence evaluation of the organic EL light emitting device, and the larger the thickness of the light scattering layer, the larger the value of the viewing angle dependence evaluation of the organic EL light emitting device. Tended to be smaller. That is, in the organic EL light emitting device, the angle-dependent color shift can be reduced by increasing the thickness of the light scattering layer.
一方、光散乱層の厚さが小さくなるほど、有機EL発光装置の正面輝度が大きくなり、光散乱層の厚さが大きくなるほど、有機EL発光装置の正面輝度が小さくなる傾向が得られた。すなわち、有機EL発光装置においては、光散乱層の厚さを小さくすることにより、正面輝度を大きくすることができる。また、試料114のように、光散乱層の厚さが小さすぎると、光散乱の効果が小さくなり、正面輝度が小さくなる。
従って、光散乱層の厚さは、6μm以上20μm以下とすることが好ましい。On the other hand, the smaller the thickness of the light scattering layer, the larger the front luminance of the organic EL light emitting device, and the larger the thickness of the light scattering layer, the smaller the front luminance of the organic EL light emitting device. That is, in the organic EL light emitting device, the front luminance can be increased by reducing the thickness of the light scattering layer. Further, if the thickness of the light scattering layer is too small as in the sample 114, the effect of light scattering becomes small and the front luminance becomes small.
Therefore, the thickness of the light scattering layer is preferably 6 μm or more and 20 μm or less.
〈試料201〜205の有機EL発光装置の作製〉
光取り出しフィルムにおける基材の厚さ、光散乱層の厚さ、及び、粘着剤層の厚さと光散乱層との厚さの比[粘着剤層/光散乱層]を、それぞれ下記表2に示すように変更して、上述の試料101の有機EL発光装置と同様の方法で、試料201から試料205の有機EL発光装置を作製した。<Preparation of organic EL light emitting device for samples 201 to 205>
Table 2 below shows the thickness of the base material, the thickness of the light scattering layer, and the ratio of the thickness of the adhesive layer to the thickness of the light scattering layer [adhesive layer / light scattering layer] in the light extraction film. By changing as shown, the organic EL light emitting device of the sample 201 to the sample 205 was produced by the same method as the organic EL light emitting device of the sample 101 described above.
〈評価方法〉
作製した試料201〜205の光取り出しフィルム、及び、有機EL発光装置に対して、上記実施例1と同様に、視野角依存性・正面輝度の評価、カールの評価、端部バリア割れの評価を行なった。なお、視野角依存性・正面輝度の評価は、上述の試料112の値を100として、それぞれ相対評価した。<Evaluation method>
The light extraction film of the prepared samples 201 to 205 and the organic EL light emitting device were evaluated for viewing angle dependence / front luminance, curl, and edge barrier cracking in the same manner as in Example 1 above. I did. The evaluation of the viewing angle dependence and the front luminance was made relative to each other with the value of the sample 112 described above as 100.
試料201〜205の有機EL発光装置の構成、及び、各評価結果を表2に示す。なお、表2には、比較のために上述の試料112の有機EL発光装置の構成と評価結果とを合わせて示している。 Table 2 shows the configurations of the organic EL light emitting devices of the samples 201 to 205 and the evaluation results of each. For comparison, Table 2 shows the configuration of the organic EL light emitting device of the sample 112 and the evaluation results together.
表2に示すように、粘着剤層の厚さが35μmと比較的大きい試料201や、粘着剤層の厚さが8μmと比較的小さい試料205の光取り出しフィルムは、カールが僅かに発生している。また、光散乱層の厚さが4μmと比較的小さい試料202から試料204の光取り出しフィルムも、粘着剤層の厚さと光散乱層との厚さの比にかかわらず、カールが僅かに発生している。
この結果から、粘着剤層の厚さが大きすぎる場合や小さすぎる場合、及び、光散乱層の厚さが小さすぎる場合には、カールを粘着剤層の厚さと光散乱層との厚さとの比によって調整しにくくなる。このため、光取り出しフィルムの反り(カール)を抑止しやすくするためには、光散乱層の厚さを5μm以上30μm以下とすることが好ましく、粘着剤層の厚さが10μm以上30μm以下とすることが好ましい。また、上述の実施例1と同様に、光散乱層の厚さが小さくなるほど、視野角依存性評価の値と有機EL発光装置の正面輝度が大きくなり、光散乱層の厚さが大きくなるほど、視野角依存性評価の値と有機EL発光装置の正面輝度が小さくなる。このため、光散乱層の厚さは、6μm以上20μm以下とすることがより好ましい。As shown in Table 2, the light extraction film of sample 201 having a relatively large pressure-sensitive adhesive layer thickness of 35 μm and sample 205 having a relatively small pressure-sensitive adhesive layer thickness of 8 μm has slight curl. There is. Further, the light extraction film of the sample 202 to the sample 204 having a relatively small light scattering layer thickness of 4 μm also causes a slight curl regardless of the ratio of the thickness of the adhesive layer to the thickness of the light scattering layer. ing.
From this result, when the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer is too large or too small, and when the thickness of the light scattering layer is too small, the curl is determined by the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer and the thickness of the light scattering layer. It becomes difficult to adjust depending on the ratio. Therefore, in order to facilitate the suppression of warpage (curl) of the light extraction film, the thickness of the light scattering layer is preferably 5 μm or more and 30 μm or less, and the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer is 10 μm or more and 30 μm or less. Is preferable. Further, as in Example 1 described above, the smaller the thickness of the light scattering layer, the larger the value of the viewing angle dependence evaluation and the front luminance of the organic EL light emitting device, and the larger the thickness of the light scattering layer. The value of the viewing angle dependence evaluation and the front brightness of the organic EL light emitting device become smaller. Therefore, the thickness of the light scattering layer is more preferably 6 μm or more and 20 μm or less.
なお、本発明は上述の実施形態例において説明した構成に限定されるものではなく、その他本発明構成を逸脱しない範囲において種々の変形、変更が可能である。 The present invention is not limited to the configuration described in the above-described embodiment, and various modifications and changes can be made without departing from the configuration of the present invention.
10・・・光取り出しフィルム、11・・・基材(第1基材)、12・・・ガスバリア層、13・・・光散乱層、14・・・粘着剤層、20・・・有機EL発光装置、21・・・第2基材、22・・・第1電極、23・・・発光ユニット、24・・・第2電極、25・・・有機EL素子 10 ... Light extraction film, 11 ... Base material (first base material), 12 ... Gas barrier layer, 13 ... Light scattering layer, 14 ... Adhesive layer, 20 ... Organic EL Light emitting device, 21 ... 2nd base material, 22 ... 1st electrode, 23 ... light emitting unit, 24 ... 2nd electrode, 25 ... organic EL element
Claims (5)
前記基材の一方の面に形成されたガスバリア層と、
前記基材の他方の面に形成された光散乱層と、
前記ガスバリア層上に形成された粘着剤層と、を備え、
前記基材の厚さが10μm以上60μm以下であり、
前記粘着剤層の厚さが、前記光散乱層の厚さの1倍以上3倍以下である
光取り出しフィルム。With the base material
A gas barrier layer formed on one surface of the base material and
A light scattering layer formed on the other surface of the base material and
The pressure-sensitive adhesive layer formed on the gas barrier layer is provided.
The thickness of the base material is 10 μm or more and 60 μm or less.
A light extraction film in which the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer is 1 to 3 times the thickness of the light scattering layer.
前記光取り出しフィルムが、
第1基材と、
前記第1基材の一方の面に形成されたガスバリア層と、
前記第1基材の他方の面に形成された光散乱層と、
前記ガスバリア層上に形成された粘着剤層と、を備え、
前記有機エレクトロルミネッセンス素子が、
第2基材と、
前記第2基材の一方の面に形成された第1電極と、
前記第1電極上に形成された発光ユニットと、
前記発光ユニット上に形成された第2電極と、を備え、
前記光取り出しフィルムが前記粘着剤層によって前記第2基材に貼り合わされ、
前記第1基材の厚さが10μm以上60μm以下であり、
前記粘着剤層の厚さが、前記光散乱層の厚さの1倍以上3倍以下である
有機エレクトロルミネッセンス発光装置。It has an organic electroluminescence element and a light extraction film.
The light extraction film
With the first base material
A gas barrier layer formed on one surface of the first base material and
A light scattering layer formed on the other surface of the first base material and
The pressure-sensitive adhesive layer formed on the gas barrier layer is provided.
The organic electroluminescence element
With the second base material
A first electrode formed on one surface of the second base material and
The light emitting unit formed on the first electrode and
A second electrode formed on the light emitting unit is provided.
The light extraction film is attached to the second base material by the pressure-sensitive adhesive layer,
The thickness of the first base material is 10 μm or more and 60 μm or less.
An organic electroluminescent light emitting device in which the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer is 1 to 3 times the thickness of the light scattering layer.
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