JP6787364B2 - Conductive paste - Google Patents

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Description

この発明は、導電性ペーストに関するもので、特に、チップ型セラミック電子部品における外部電極を形成するために用いられる導電性ペーストに関するものである。 The present invention relates to a conductive paste, and more particularly to a conductive paste used to form an external electrode in a chip-type ceramic electronic component.

たとえば、特開2011−26631号公報(特許文献1)には、積層セラミックコンデンサ等のチップ型セラミック電子部品における外部電極を形成するために適用される、銅粉末を含む導電性ペーストが記載されている。特に、特許文献1では、銅粉末に対して耐酸化性を与えることを課題とし、この課題を解決するため、銅粉末の粒子内部に特定量のBiおよびMgを含有させることが提案されている。 For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2011-26631 (Patent Document 1) describes a conductive paste containing copper powder, which is applied to form an external electrode in a chip-type ceramic electronic component such as a multilayer ceramic capacitor. There is. In particular, Patent Document 1 has an object of imparting oxidation resistance to copper powder, and in order to solve this problem, it has been proposed to contain a specific amount of Bi and Mg inside the particles of the copper powder. ..

特開2011−26631号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2011-26631

チップ型セラミック電子部品の外形寸法の小型化を図るため、チップ型セラミック電子部品の部品本体の外表面上に形成される外部電極の薄膜化を図ることが有効な手段の一つとして考えられる。薄膜化しながら、緻密性の高い、すなわち、欠陥が少なく、ボイドが少ない、外部電極を導電性ペーストの焼付けによって得るには、導電性ペーストに含まれる銅粉末およびガラス粉末を微粒化する必要がある。たとえば、粒子径が1μm以下と微粒化された銅粉末を得るための方法として、液相還元法、または気相法(熱プラズマ法)などの方法が知られている。 In order to reduce the external dimensions of the chip-type ceramic electronic component, it is considered as one of the effective means to reduce the thickness of the external electrode formed on the outer surface of the component body of the chip-type ceramic electronic component. It is necessary to atomize the copper powder and glass powder contained in the conductive paste in order to obtain an external electrode having high density, that is, few defects and few voids, while thinning the film, by baking the conductive paste. .. For example, a method such as a liquid phase reduction method or a gas phase method (thermal plasma method) is known as a method for obtaining a copper powder having a particle size of 1 μm or less.

他方、導電性ペーストに含ませる銅粉末として、粒子径1μm以下の微粒銅粉末を用いると、銅粉末が焼結する際にガスが発生しやすく、そのため、外部電極にブリスタによる不具合がもたらされることがある。ブリスタの原因となるガスとしては、たとえば、銅粉末に不純物として含まれるイオウに由来するSOガス、ガラス粉末に含まれる炭素に由来するCOガスなどがある。 On the other hand, when fine copper powder having a particle diameter of 1 μm or less is used as the copper powder to be contained in the conductive paste, gas is likely to be generated when the copper powder is sintered, which causes a defect due to a blister on the external electrode. There is. Examples of the gas that causes blister include SO 2 gas derived from sulfur contained as an impurity in copper powder and CO 2 gas derived from carbon contained in glass powder.

ブリスタ不具合を抑制するため、微粒の銅粉末の焼結開始を遅らせることが有効であると考えられている。たとえば、ZrOやAlのような酸化物を焼結遅延剤として銅粉末に加えることで、焼結開始を遅らせることができれば、脱脂過程で発生するガスを逃がす経路を確保することができるため、ブリスタ不具合を抑制することができる。 It is considered effective to delay the start of sintering of fine copper powder in order to suppress blister defects. For example, if the start of sintering can be delayed by adding an oxide such as ZrO 2 or Al 2 O 3 to the copper powder as a sintering delay agent, it is possible to secure a path for releasing the gas generated in the degreasing process. Therefore, it is possible to suppress blister defects.

しかしながら、上記のブリスタ抑制技術によれば、チップ型セラミック電子部品の部品本体内部にあって、外部電極と電気的に接続されるべき内部電極に対する、外部電極のコンタクト性能が低下するなど、品質面での課題に遭遇することがある。すなわち、ブリスタ抑制と、外部電極と内部電極とのコンタクト性能確保とは、トレードオフの関係にある。 However, according to the above-mentioned blister suppression technology, the contact performance of the external electrode with respect to the internal electrode that should be electrically connected to the external electrode inside the component body of the chip-type ceramic electronic component is deteriorated, and the quality aspect is improved. You may encounter challenges in. That is, there is a trade-off relationship between suppressing the blister and ensuring the contact performance between the external electrode and the internal electrode.

この発明の目的は、焼結遅延剤に頼ることなく、焼成時にブリスタ不具合を生じにくくすることができる、外部電極形成用の導電性ペーストを提供しようとすることである。 An object of the present invention is to provide a conductive paste for forming an external electrode, which can prevent blister defects during firing without relying on a sintering retarder.

この発明は、チップ型セラミック電子部品における外部電極形成用の導電性ペーストに向けられる。導電性ペーストは、銅粉末とガラス粉末とを含み、上述した技術的課題を解決するため、銅粉末は、粒子径が300nm以下で、粒子径/結晶子径が1.1以上かつ2.0以下であり、銅粉末およびガラス粉末の合計体積に占めるガラス粉末の体積割合が35体積%以下であることを特徴としている。 The present invention is directed to conductive pastes for forming external electrodes in chip-type ceramic electronic components. The conductive paste contains copper powder and glass powder, and in order to solve the above-mentioned technical problems, the copper powder has a particle diameter of 300 nm or less, a particle diameter / crystallite diameter of 1.1 or more and 2.0. It is characterized in that the volume ratio of the glass powder to the total volume of the copper powder and the glass powder is 35% by volume or less.

この発明によれば、導電性ペーストにおいて、粒子径が300nm以下というように微粒でありながらも、粒子径/結晶子径が2.0以下というように結晶性の高い銅粉末を導電成分として含んでいるので、焼結の進行を緩やかにすることができる。したがって、導電性ペーストの焼成工程における脱脂過程で発生するガスを逃がす経路を十分に確保することができるため、ブリスタ不具合を抑制することができる。 According to the present invention, the conductive paste contains as a conductive component a copper powder having a particle size of 300 nm or less, which is fine, but has a particle size / crystallite diameter of 2.0 or less, which is highly crystalline. Therefore, the progress of sintering can be slowed down. Therefore, it is possible to sufficiently secure a path for releasing the gas generated in the degreasing process in the firing process of the conductive paste, so that the blister defect can be suppressed.

また、銅粉末は、粒子径が300nm以下というように微粒であるので、銅粉末の粒子間に形成される隙間を少なくすることができる。その結果、銅粉末の粒子間の隙間に存在するガラス量を、ガラス粉末で35体積%以下と低減することができる。したがって、焼成時に発生し得るガラス粉末由来のガスについても、これを低減することができる。このことも、ブリスタ不具合の抑制に貢献する。 Further, since the copper powder is fine particles having a particle diameter of 300 nm or less, it is possible to reduce the gaps formed between the particles of the copper powder. As a result, the amount of glass existing in the gaps between the particles of the copper powder can be reduced to 35% by volume or less with the glass powder. Therefore, it is possible to reduce the amount of gas derived from glass powder that may be generated during firing. This also contributes to the suppression of blister defects.

また、導電性ペースト中の銅粉末が、粒子径300nm以下と微粒化されるので、外部電極と電気的に接続されるべき内部電極に対する、外部電極のコンタクト性能を向上させることができるとともに、外部電極において、たとえば水分などに対する高い封止性といった高い緻密性を実現することができる。 Further, since the copper powder in the conductive paste is atomized to a particle size of 300 nm or less, the contact performance of the external electrode with respect to the internal electrode to be electrically connected to the external electrode can be improved and the external electrode can be contacted with the external electrode. In the electrode, it is possible to realize high density such as high sealing property against moisture and the like.

この発明の一実施形態による導電性ペーストを用いて外部電極2が形成されたチップ型セラミック電子部品1の一部を模式的に示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view schematically showing a part of a chip-type ceramic electronic component 1 on which an external electrode 2 is formed by using a conductive paste according to an embodiment of the present invention. 図1に示したチップ型セラミック電子部品1に相当する実際の試料を撮影した顕微鏡写真を示す図である。It is a figure which shows the micrograph which took the actual sample corresponding to the chip type ceramic electronic component 1 shown in FIG. 外部電極24の固着性能を評価する方法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the method of evaluating the sticking performance of an external electrode 24.

この発明の一実施形態による導電性ペーストは、チップ型セラミック電子部品における外部電極を形成するために用いられる。導電性ペーストは、銅粉末とガラス粉末とを含み、さらに、ペースト性を与えるため、適量の樹脂および溶剤を含む。 The conductive paste according to one embodiment of the present invention is used to form an external electrode in a chip-type ceramic electronic component. The conductive paste contains copper powder and glass powder, and further contains an appropriate amount of resin and solvent in order to impart paste property.

導電性ペーストに含まれる銅粉末は、粒子径が300nm以下の微粉とされる。粒子径は、銅粉末の表面を走査型電子顕微鏡(SEM)にて撮影し、画像解析ソフトを用いて求められたものである。また、銅粉末の結晶性は高く、銅粉末の粒子径/結晶子径は2.0以下とされる。ここで、結晶子径は、X線回折(XRD)法によって測定されて求められたものである。なお、結晶子径は粒子径より大きくなることはないので、粒子径/結晶子径は1.0を超える数値となる。 The copper powder contained in the conductive paste is a fine powder having a particle size of 300 nm or less. The particle size was determined by photographing the surface of the copper powder with a scanning electron microscope (SEM) and using image analysis software. Further, the crystallinity of the copper powder is high, and the particle size / crystallite diameter of the copper powder is 2.0 or less. Here, the crystallite diameter is measured and obtained by the X-ray diffraction (XRD) method. Since the crystallite diameter does not become larger than the particle diameter, the particle diameter / crystallite diameter is a value exceeding 1.0.

上述の粒子径/結晶子径は、この発明では、1.1以上とされ、かつ上述したように2.0以下とされる。これにより、ブリスタ不具合を生じにくくすることができる。また、銅粉末の結晶子径は50nm以上であることが好ましい。このことも、ブリスタ不具合の抑制効果をより高めることに貢献する。 In the present invention, the above-mentioned particle diameter / crystallite diameter is 1.1 or more , and 2.0 or less as described above . As a result, it is possible to prevent blister defects from occurring . Further, the crystallite diameter of the copper powder is preferably 50 nm or more. This also contributes to further enhancing the effect of suppressing blister defects.

銅粉末は、球形の粉末粒子からなることが好ましい。これによれば、導電性ペーストの乾燥塗膜中のガラス比率を低減することができるので、ガラス含有量を少なくすることができ、その結果、外部電極を緻密化することができる。したがって、たとえば平面寸法が0.2mm×0.1mmといった超小型のチップ型セラミック電子部品においても、チップ型セラミック電子部品における部品本体のセラミック面に対する外部電極の固着性能をそれほど低下させることなく、外部電極と内部電極との間で良好な導通性を実現することができる。 The copper powder preferably consists of spherical powder particles. According to this, since the glass ratio in the dry coating film of the conductive paste can be reduced, the glass content can be reduced, and as a result, the external electrode can be densified. Therefore, even in an ultra-small chip-type ceramic electronic component having a plane dimension of 0.2 mm × 0.1 mm, for example, the external electrode does not significantly deteriorate the adhesion performance of the external electrode to the ceramic surface of the component body in the chip-type ceramic electronic component. Good conductivity can be achieved between the electrodes and the internal electrodes.

なお、銅粉末の粒子径を、たとえば300nmとするより、たとえば100nmというように、より小さくした方が、上述した外部電極と内部電極との間での導通性がより良好になり、また、上述した外部電極の固着性能をより高くすることができる。 It should be noted that when the particle size of the copper powder is made smaller, for example, 100 nm than, for example, 300 nm, the conductivity between the external electrode and the internal electrode described above becomes better, and the above-mentioned It is possible to improve the fixing performance of the external electrode.

銅粉末は、気相法によって製造されることが好ましい。気相法によれば、前述したように、粒子径が300nm以下で、粒子径/結晶子径が2.0以下である、銅粉末を容易に製造することができる。また、気相法によれば、銅粉末の粉末粒子の内部に、不純物を含まないか、ほとんど含まないようにすることができる。特に、不純物として塩素を含む場合には、塩素イオン量として0.01質量%以下しか含まないようにすることができる。なお、この塩素イオン量は燃焼イオンクロマトグラフィー法で測定した値である。また、不純物としてイオウを含む場合には、イオウ量として0.002質量%以下しか含まないようにすることができる。なお、このイオウ量は高周波誘導結合プラズマ発光分光分析法(ICP−AES)で測定した値である。 The copper powder is preferably produced by the vapor phase method. According to the vapor phase method, as described above, a copper powder having a particle diameter of 300 nm or less and a particle diameter / crystallite diameter of 2.0 or less can be easily produced. Further, according to the vapor phase method, impurities can be contained or hardly contained in the powder particles of the copper powder. In particular, when chlorine is contained as an impurity, the amount of chlorine ions can be reduced to 0.01% by mass or less. The amount of chlorine ions is a value measured by a combustion ion chromatography method. When sulfur is contained as an impurity, the amount of sulfur can be limited to 0.002% by mass or less. The amount of sulfur is a value measured by high frequency inductively coupled plasma emission spectroscopy (ICP-AES).

他方、ガラス粉末は、導電性ペーストにおける無機成分の合計体積、すなわち、銅粉末およびガラス粉末の合計体積に占める体積割合が35体積%以下とされ、好ましくは、10体積%以上かつ25体積%以下とされる。ガラス粉末の体積割合がたとえば上限の35体積%とされた場合には、銅粉末の粒子径がたとえば100nm以下であれば問題ないが、銅粉末の粒子径がたとえば300nmとされると、内部電極に対する、外部電極のコンタクト性能が劣化することがある。したがって、上述のように、ガラス粉末の体積割合は、10体積%以上かつ25体積%以下であることが好ましい。 On the other hand, in the glass powder, the total volume of the inorganic components in the conductive paste, that is, the volume ratio to the total volume of the copper powder and the glass powder is 35% by volume or less, preferably 10% by volume or more and 25% by volume or less. It is said that. When the volume ratio of the glass powder is, for example, the upper limit of 35% by volume, there is no problem if the particle size of the copper powder is, for example, 100 nm or less, but when the particle size of the copper powder is, for example, 300 nm, the internal electrode However, the contact performance of the external electrode may deteriorate. Therefore, as described above, the volume ratio of the glass powder is preferably 10% by volume or more and 25% by volume or less.

好ましくは、ガラス粉末の粒子径は1.0μm以下に選ばれる。ガラス粉末の粒子径についても、銅粉末の場合と同様、ガラス粉末の表面をSEMにて撮影し、画像解析ソフトを用いて求められたものである。 Preferably, the particle size of the glass powder is selected to be 1.0 μm or less. The particle size of the glass powder was also obtained by photographing the surface of the glass powder with an SEM and using image analysis software, as in the case of the copper powder.

また、ガラス粉末は、B−Si系ガラスからなることが好ましい。この場合、B−Si系ガラスは、添加元素として、BaまたはSrを含んでいてもよい。 Further, the glass powder is preferably made of B—Si based glass. In this case, the B—Si based glass may contain Ba or Sr as an additive element.

導電性ペーストは、前述したように、適量の樹脂および溶剤をさらに含んでいる。樹脂としては、アクリル樹脂、エチルセルロース樹脂、ブチラール樹脂など、公知の樹脂が用いられる。溶剤としては、好ましくは、ターピネオールなどのアルコール系溶剤が用いられる。溶剤には、分散剤が添加されてもよい。 As mentioned above, the conductive paste further contains an appropriate amount of resin and solvent. As the resin, known resins such as acrylic resin, ethyl cellulose resin, and butyral resin are used. As the solvent, an alcohol solvent such as tarpineol is preferably used. A dispersant may be added to the solvent.

図1は、上述した導電性ペーストを用いて外部電極2が形成されたチップ型セラミック電子部品1の一部を断面図で示している。図1では、チップ型セラミック電子部品1が模式的に図示されている。したがって、図1に示した各要素の形態および各要素間の寸法比率は、実際のもの(図2参照)とは異なる場合がある。 FIG. 1 is a cross-sectional view showing a part of a chip-type ceramic electronic component 1 on which an external electrode 2 is formed by using the above-mentioned conductive paste. In FIG. 1, a chip-type ceramic electronic component 1 is schematically illustrated. Therefore, the form of each element shown in FIG. 1 and the dimensional ratio between each element may differ from the actual one (see FIG. 2).

チップ型セラミック電子部品1は、たとえば積層セラミックコンデンサを構成するもので、複数のセラミック層3が積層されてなる部品本体4を備えている。部品本体4は、互いに対向する第1の主面5および第2の主面6と、それらの間を接続する第1の端面7および、図示しないが、第1の端面7に対向する第2の端面とを有し、さらに、図示しないが、図1紙面に対して平行に延びかつ互いに対向する第1の側面および第2の側面を有する。 The chip-type ceramic electronic component 1 constitutes, for example, a multilayer ceramic capacitor, and includes a component body 4 in which a plurality of ceramic layers 3 are laminated. The component body 4 has a first main surface 5 and a second main surface 6 facing each other, a first end surface 7 connecting between them, and a second surface (not shown) facing the first end surface 7. Further, although not shown, it has a first side surface and a second side surface which extend parallel to the paper surface of FIG. 1 and face each other.

部品本体4の内部には、各々複数の第1の内部電極9および第2の内部電極10が、隣り合うものの間に特定のセラミック層3を介在させながら、セラミック層3の積層方向に沿って交互に配置されている。第1の内部電極9は、図示した第1の端面7にまで引き出されている。他方、第2の内部電極10は、図示しない第2の端面にまで引き出されている。内部電極9および10は、導電成分としてニッケルを含んでいる。 Inside the component body 4, a plurality of first internal electrodes 9 and second internal electrodes 10 are provided along the stacking direction of the ceramic layers 3 while interposing a specific ceramic layer 3 between adjacent objects. They are arranged alternately. The first internal electrode 9 is drawn out to the first end face 7 shown in the figure. On the other hand, the second internal electrode 10 is pulled out to a second end face (not shown). The internal electrodes 9 and 10 contain nickel as a conductive component.

図示した外部電極、すなわち第1の外部電極2は、部品本体4の第1の端面7に形成され、第1の内部電極9と電気的に接続されている。図示しないが、第1の外部電極2に対向するように形成される第2の外部電極は、部品本体4の第2の端面に形成され、第2の内部電極10と電気的に接続されている。第1の外部電極2と第2の外部電極とは実質的に同様の構成を有している。したがって、以下には、第1の外部電極2の構成について詳細に説明し、第2の外部電極の構成については説明を省略する。 The illustrated external electrode, that is, the first external electrode 2, is formed on the first end surface 7 of the component body 4, and is electrically connected to the first internal electrode 9. Although not shown, the second external electrode formed so as to face the first external electrode 2 is formed on the second end face of the component body 4 and is electrically connected to the second internal electrode 10. There is. The first external electrode 2 and the second external electrode have substantially the same configuration. Therefore, the configuration of the first external electrode 2 will be described in detail below, and the configuration of the second external electrode will be omitted.

第1の外部電極2は、第1の端面7からこれに隣接する第1および第2の主面5および6ならびに第1および第2の側面の各一部にまで延びるように形成されている。このような形態の外部電極2を形成するため、前述した導電性ペーストをディップ法などにより部品本体4の所定の部分に付与することによって導電性ペースト膜が形成され、この導電性ペースト膜が焼成される。焼成工程では、たとえば700℃というように、750℃以下の温度が適用される。 The first external electrode 2 is formed so as to extend from the first end surface 7 to the first and second main surfaces 5 and 6 adjacent thereto and each part of the first and second side surfaces. .. In order to form the external electrode 2 in such a form, a conductive paste film is formed by applying the above-mentioned conductive paste to a predetermined portion of the component main body 4 by a dip method or the like, and the conductive paste film is fired. Will be done. In the firing step, a temperature of 750 ° C. or lower is applied, for example 700 ° C.

上述の焼成工程を実施したとき、導電性ペースト膜における、第1の端面7での第1の内部電極9の露出端近傍では、内部電極9に含まれるニッケルと導電性ペーストに含まれる銅とが相互に拡散し、外部電極2中にNi−Cu合金層11が形成される。Ni−Cu合金層11には、空隙はなく、ガラスがほぼ存在しないことが好ましい。Ni−Cu合金層11は、複数の第1の内部電極9を互いに電気的に接続するように機能し、外部電極2と内部電極9とのコンタクト性能の向上に寄与し、また、外部電極2による水分シール性の向上にも寄与する。 When the above-mentioned firing step is carried out, in the vicinity of the exposed end of the first internal electrode 9 on the first end surface 7 of the conductive paste film, nickel contained in the internal electrode 9 and copper contained in the conductive paste are present. Are diffused to each other, and a Ni—Cu alloy layer 11 is formed in the external electrode 2. It is preferable that the Ni—Cu alloy layer 11 has no voids and almost no glass. The Ni—Cu alloy layer 11 functions to electrically connect the plurality of first internal electrodes 9 to each other, contributes to the improvement of the contact performance between the external electrode 2 and the internal electrode 9, and also contributes to the improvement of the contact performance between the external electrode 2 and the external electrode 2. Also contributes to the improvement of moisture sealing property.

また、上記Ni−Cu合金層11が形成された領域以外の領域であって、外部電極2における部品本体4と接する領域では、導電性ペーストに含まれるガラス粉末に由来するガラス層12が形成される。ガラス層12は、図1に示すように、連続した層となっていることが好ましいが、一部において途切れていてもよい。ガラス層12は、部品本体4に対する外部電極2の固着性能の向上に寄与する。 Further, in a region other than the region where the Ni—Cu alloy layer 11 is formed and in contact with the component body 4 in the external electrode 2, a glass layer 12 derived from the glass powder contained in the conductive paste is formed. Ru. As shown in FIG. 1, the glass layer 12 is preferably a continuous layer, but may be partially interrupted. The glass layer 12 contributes to improving the fixing performance of the external electrode 2 to the component body 4.

図2は、図1に示したチップ型セラミック電子部品1に相当する実際の試料を撮影した顕微鏡写真を示している。図2では、図1に示した外部電極2および部品本体4に相当する部分が撮影されている。特に引出し線をもって示すことはしないが、図2において、部品本体4中に第1および第2の内部電極9および10が存在していることが認められる。図2の顕微鏡写真において、外部電極2中の黒っぽい筋または斑点はガラスの存在によるものである。 FIG. 2 shows a photomicrograph of an actual sample corresponding to the chip-type ceramic electronic component 1 shown in FIG. In FIG. 2, a portion corresponding to the external electrode 2 and the component main body 4 shown in FIG. 1 is photographed. Although not particularly shown by a leader line, in FIG. 2, it is recognized that the first and second internal electrodes 9 and 10 are present in the component body 4. In the photomicrograph of FIG. 2, the dark streaks or spots in the external electrode 2 are due to the presence of glass.

外部電極2における、部品本体4での第1の内部電極9の露出端近傍には、Ni−Cu合金層11が形成されている。Ni−Cu合金層11には、空隙はなく、ガラスがほぼ存在しないことが認められる。また、上記Ni−Cu合金層11が形成された領域以外の領域であって、外部電極2における部品本体4と接する領域では、筋状に延びるガラス層12が形成されている。 A Ni—Cu alloy layer 11 is formed in the vicinity of the exposed end of the first internal electrode 9 in the component body 4 of the external electrode 2. It is recognized that the Ni—Cu alloy layer 11 has no voids and almost no glass is present. Further, in a region other than the region where the Ni—Cu alloy layer 11 is formed and in contact with the component main body 4 in the external electrode 2, a glass layer 12 extending in a streak pattern is formed.

さらに、図2に示したチップ型セラミック電子部品1の外部電極2には、ブリスタ不具合を確認することができないことに注目すべきである。 Further, it should be noted that the external electrode 2 of the chip-type ceramic electronic component 1 shown in FIG. 2 cannot be confirmed to have a blister defect.

[実験例]
次に、この明細書において開示された導電性ペーストを用いて実施した実験例について説明する。
[Experimental example]
Next, an experimental example carried out using the conductive paste disclosed in this specification will be described.

導電性ペーストに含まれる銅粉末については、気相法で製造されたものであって、後掲の表に示す所定の粒子径および所定の結晶子径を有する球形の粉末粒子からなるものを製造業者から入手した。銅粉末の粒子径については、銅粉末表面をSEMで撮影し、画像解析ソフトを用いて、粒子径500点の平均値D50を求め、これを粒子径とした。結晶子径については、ブルカー製のX線回折装置「D8 Advance」を用いて結晶性を測定し、この測定値からブルカー製の専用ソフト「TOPAS」により、結晶子径を算出した。 The copper powder contained in the conductive paste is produced by the vapor phase method and is composed of spherical powder particles having a predetermined particle diameter and a predetermined crystallite diameter shown in the table below. Obtained from a vendor. Regarding the particle size of the copper powder, the surface of the copper powder was photographed by SEM, and an average value D50 of 500 points of the particle size was obtained using image analysis software, and this was used as the particle size. Regarding the crystallite diameter, the crystallinity was measured using Bruker's X-ray diffractometer "D8 Advance", and the crystallite diameter was calculated from this measured value by Bruker's dedicated software "TOPAS".

導電性ペーストに含まれるガラス粉末については、粒子径が1.0μm以下であって、B−Si−Ba系ガラスからなるものを用意した。 As the glass powder contained in the conductive paste, a glass powder having a particle size of 1.0 μm or less and made of B—Si—Ba based glass was prepared.

上述した銅粉末およびガラス粉末に、適量のアクリル樹脂およびターピネオールを加え、混合することによって、導電性ペーストを得た。 A conductive paste was obtained by adding an appropriate amount of acrylic resin and tarpineol to the above-mentioned copper powder and glass powder and mixing them.

また、導電性ペーストを、後掲の表に示すように、「ブリスタ」、「コンタクト性能」および「固着性能」の各項目について評価した。 In addition, the conductive paste was evaluated for each item of "blister", "contact performance" and "sticking performance" as shown in the table below.

「ブリスタ」は、ブリスタ不具合の発生の有無を評価したものである。より具体的には、平面寸法が0.6mm×0.3mmの部品本体の両端部に導電性ペーストをディップ法により付与し、720℃の温度で焼成して、外部電極を形成した。ここで、焼成後の外部電極の、部品本体の端面上での厚みが、後述するように、30μmまたは50μmとなるようにした。100個の部品本体について外観観察を行ない、1個でもブリスタ不具合が発生したものがあれば、不良と判定し、後掲の表では「×」で示した。 "Blister" is an evaluation of the presence or absence of a blister defect. More specifically, a conductive paste was applied to both ends of a component body having a plane dimension of 0.6 mm × 0.3 mm by a dip method and fired at a temperature of 720 ° C. to form an external electrode. Here, the thickness of the external electrode after firing on the end face of the component body is set to 30 μm or 50 μm as described later. The appearance of 100 parts was observed, and if any blister defect occurred, it was judged to be defective, and it is indicated by "x" in the table below.

「コンタクト性能」は、外部電極と内部電極とのコンタクト性能を評価したものである。より具体的には、平面寸法が0.2mm×0.1mmの部品本体の両端部に導電性ペーストをディップ法により付与し、720℃の温度で焼成して、外部電極を形成して、静電容量10nFの積層セラミックコンデンサとなる試料を得た。次に、試料となる積層セラミックコンデンサに対して、温度150℃を1時間印加した後、さらに24時間経過後に初期容量を測定した。次いで、試料となる積層セラミックコンデンサを、定格電圧の2倍の印加電圧12.6Vで5秒間充電した後、金属容器の上に静置し、0オーム下で内部にたまった電子を放電した。その後、再度、試料となる積層セラミックコンデンサに対して、温度150℃を1時間印加した後、さらに24時間経過後に容量を測定した。この容量が前述の初期容量に比べて5%以上低下した試料が20個中いくつあるかを数えた。後掲の表において、この数が2個以上であれば「×」と表示し、1個であれば「△」と表示し、0個であれば「○」と表示した。 "Contact performance" is an evaluation of the contact performance between the external electrode and the internal electrode. More specifically, a conductive paste is applied to both ends of a component body having a plane size of 0.2 mm × 0.1 mm by a dip method and fired at a temperature of 720 ° C. to form an external electrode to form a static electrode. A sample to be a multilayer ceramic capacitor having an electric capacity of 10 nF was obtained. Next, the temperature of 150 ° C. was applied to the sample multilayer ceramic capacitor for 1 hour, and then the initial capacitance was measured 24 hours later. Next, the multilayer ceramic capacitor as a sample was charged at an applied voltage of 12.6 V, which was twice the rated voltage, for 5 seconds, and then allowed to stand on a metal container to discharge the electrons accumulated inside under 0 ohm. Then, the temperature of 150 ° C. was applied to the sample multilayer ceramic capacitor again for 1 hour, and the capacitance was measured after another 24 hours. The number of samples in which this volume was reduced by 5% or more from the above-mentioned initial volume was counted. In the table below, if this number is 2 or more, it is displayed as "x", if it is 1, it is displayed as "Δ", and if it is 0, it is displayed as "○".

「固着性能」は、外部電極の部品本体に対する固着性能を評価したものである。より具体的には、平面寸法が0.2mm×0.1mmの部品本体の両端部に導電性ペーストをディップ法により付与し、720℃の温度で焼成して、外部電極を形成した後、さらに外部電極にSnめっきを施し、試料となる積層セラミックコンデンサを作製した。次に、図3に示すように、基板21上に積層セラミックコンデンサ22の部品本体23を立てた状態で配置し、下側の外部電極24にはんだ25を付与することによって、積層セラミックコンデンサ22を基板21に固定した。この状態で、矢印26で示すように、上側の外部電極27を横押しした。この横押しによって生じる破壊モードを、
(1)基板21とはんだ25との界面での剥離、
(2)はんだ25と外部電極24上のめっき膜との界面での剥離、
(3)外部電極24と部品本体23との界面での剥離、および
(4)部品本体23の割れ、
に4つに分類した。試料数10個について、1個でも(3)の破壊モードに遭遇したものがあれば、不良と判定し、後掲の表において「×」と表示した。
The "fixing performance" is an evaluation of the fixing performance of the external electrode to the component body. More specifically, conductive paste is applied to both ends of a component body having a plane size of 0.2 mm × 0.1 mm by a dip method, and the mixture is fired at a temperature of 720 ° C. to form an external electrode, and then further. The external electrode was Sn-plated to prepare a sample multilayer ceramic capacitor. Next, as shown in FIG. 3, the multilayer ceramic capacitor 22 is placed on the substrate 21 in a state where the component main body 23 of the multilayer ceramic capacitor 22 is erected, and the solder 25 is applied to the lower external electrode 24 to form the multilayer ceramic capacitor 22. It was fixed to the substrate 21. In this state, as shown by the arrow 26, the upper external electrode 27 was pushed sideways. The destruction mode caused by this sideways push,
(1) Peeling at the interface between the substrate 21 and the solder 25,
(2) Peeling at the interface between the solder 25 and the plating film on the external electrode 24,
(3) Peeling at the interface between the external electrode 24 and the component body 23, and (4) Cracking of the component body 23,
It was classified into 4 categories. For 10 samples, if even one of them encountered the destruction mode of (3), it was judged to be defective and marked with "x" in the table below.

(実験例1)
実験例1では、表1に示すような「粒子径」、「結晶子径」および「粒子径/結晶子径」を有する銅粉末を含む導電性ペーストを用いて外部電極を形成した。また、導電性ペースト中の銅粉末およびガラス粉末の合計体積に占めるガラス粉末の体積割合は25体積%とした。実験例1では、焼成後の外部電極の、部品本体の端面上での厚みが30μmとなるようにした。
(Experimental Example 1)
In Experimental Example 1, an external electrode was formed using a conductive paste containing copper powder having "particle diameter", "crystallite diameter" and "particle diameter / crystallite diameter" as shown in Table 1. The volume ratio of the glass powder to the total volume of the copper powder and the glass powder in the conductive paste was set to 25% by volume. In Experimental Example 1, the thickness of the external electrode after firing was set to 30 μm on the end face of the component body.

表1において、試料1、2および4が、銅粉末は、「粒子径」が300nm以下で、「粒子径/結晶子径」が1.0を超えかつ3.8以下であるという条件を満たしている「ブリスタ」、「コンタクト性能」および「固着性能」について「○」の評価となっている。 In Table 1, the samples 1, 2 and 4 satisfy the conditions that the copper powder has a "particle diameter" of 300 nm or less and a "particle diameter / crystallite diameter" of more than 1.0 and 3.8 or less. It is . "Blister", "contact performance" and "sticking performance" are evaluated as "○".

これに対して、試料3では、銅粉末の「粒子径/結晶子径」が3.8を超える10.0であるので、「ブリスタ」について「×」の評価となっている。 On the other hand, in Sample 3, since the "particle diameter / crystallite diameter" of the copper powder is 10.0, which exceeds 3.8, the "blister" is evaluated as "x".

また、試料5では、銅粉末の「粒子径/結晶子径」が3.8を超える6.0であるので、「ブリスタ」について「×」の評価となっている。試料5では、銅粉末の「粒子径」が300nmというように、試料2の場合の100nmより大きいため、さらに「固着性能」について「×」の評価となっている。 Further, in Sample 5, since the "particle diameter / crystallite diameter" of the copper powder is 6.0, which exceeds 3.8, the "blister" is evaluated as "x". In sample 5, the "particle diameter" of the copper powder is 300 nm, which is larger than 100 nm in the case of sample 2, so that the "sticking performance" is further evaluated as "x".

また、試料6では、銅粉末の「粒子径」が300nmを超える500nmであり、「粒子径/結晶子径」が3.8を超える5.0であるので、「ブリスタ」、「コンタクト性能」および「固着性能」について「×」の評価となっている。 Further, in sample 6, the "particle diameter" of the copper powder is 500 nm, which exceeds 300 nm, and the "particle diameter / crystallite diameter" is 5.0, which exceeds 3.8. Therefore, "blister" and "contact performance". And "sticking performance" is evaluated as "x".

また、試料7では、銅粉末の「粒子径/結晶子径」が1.0を超えかつ3.8以下であるという条件を満たしているが、「粒子径」が300nmを超える500nmであるので、「ブリスタ」、「コンタクト性能」および「固着性能」について「×」の評価となっている。 Further, in the sample 7, the condition that the "particle diameter / crystallite diameter" of the copper powder exceeds 1.0 and is 3.8 or less is satisfied, but the "particle diameter" is 500 nm, which exceeds 300 nm. , "Blister", "contact performance" and "sticking performance" are evaluated as "x".

(実験例2)
実験例2では、表2に示すような「粒子径」、「結晶子径」および「粒子径/結晶子径」を有する銅粉末を含む導電性ペーストを用いて外部電極を形成した。また、導電性ペースト中の銅粉末およびガラス粉末の合計体積に占めるガラス粉末の体積割合は、実験例1の場合と同様、25体積%とした。実験例2では、焼成後の外部電極の、部品本体の端面上での厚みは、実験例1の場合より厚く、50μmとなるようにした。外部電極の厚みがより厚くなるほど、ブリスタ不具合が発生するリスクがより高まることが推測される。
(Experimental Example 2)
In Experimental Example 2, an external electrode was formed using a conductive paste containing copper powder having "particle diameter", "crystallite diameter" and "particle diameter / crystallite diameter" as shown in Table 2. The volume ratio of the glass powder to the total volume of the copper powder and the glass powder in the conductive paste was set to 25% by volume as in the case of Experimental Example 1. In Experimental Example 2, the thickness of the external electrode after firing on the end face of the component body was set to be 50 μm, which was thicker than that in Experimental Example 1. It is presumed that the thicker the external electrode, the higher the risk of blister failure.

表2において、試料11〜18のすべてが300nm以下の「粒子径」である。また、試料11〜18のうち、試料14を除く試料11〜13および15〜18については、銅粉末は、「粒子径/結晶子径」が1.0を超えかつ3.8以下であるという条件を満たしており、この発明の範囲内にある。 In Table 2, all of the samples 11 to 18 have a "particle diameter" of 300 nm or less. Further, among the samples 11 to 18, for the samples 11 to 13 and 15 to 18 excluding the sample 14, the "particle diameter / crystallite diameter" of the copper powder is said to be more than 1.0 and 3.8 or less. The conditions are satisfied and it is within the scope of the present invention.

しかしながら、この発明の範囲内にある試料11〜13および15〜18のうち、試料11および17については、「ブリスタ」の評価が「×」となっている。これは、銅粉末の「粒子径/結晶子径」が、試料12、13、15、16および18では、1.1以上かつ2.0以下の範囲にあるのに対し、試料11および17では、1.1以上かつ2.0以下の範囲から外れ、それぞれ、3.3および3.0となっているためであると考えられる。 However, among the samples 11 to 13 and 15 to 18 within the scope of the present invention, the evaluation of "blister" is "x" for the samples 11 and 17. This is because the "particle diameter / crystallite diameter" of the copper powder is in the range of 1.1 or more and 2.0 or less in the samples 12, 13, 15, 16 and 18, whereas in the samples 11 and 17. , 1.1 or more and 2.0 or less, which are considered to be 3.3 and 3.0, respectively.

このことから、外部電極の厚みがより厚くなるほど、ブリスタ不具合が発生するリスクがより高まるため、銅粉末の「粒子径/結晶子径」を、1.0を超えかつ3.8以下の範囲より狭めて、1.1以上かつ2.0以下の範囲にすることが望ましいことがわかる。 From this, as the thickness of the external electrode becomes thicker, the risk of blister failure increases. Therefore, the "particle diameter / crystallite diameter" of the copper powder is set to a range of more than 1.0 and 3.8 or less. It can be seen that it is desirable to narrow the range to 1.1 or more and 2.0 or less.

すなわち、銅粉末の「粒子径/結晶子径」を1.1以上かつ2.0以下の範囲に狭めた試料12、13、15、16および18では、外部電極の厚みが50μmと厚くなっても、「ブリスタ」の評価が「○」となっている。 That is, in the samples 12, 13, 15, 16 and 18 in which the "particle diameter / crystallite diameter" of the copper powder was narrowed to the range of 1.1 or more and 2.0 or less, the thickness of the external electrode was as thick as 50 μm. However, the evaluation of "Blister" is "○".

(実験例3)
実験例3では、表3に示すような「粒子径」、「結晶子径」および「粒子径/結晶子径」を有する銅粉末を含む導電性ペーストを用いて外部電極を形成した。また、実験例3では、実験例1の場合と同様、焼成後の外部電極の、部品本体の端面上での厚みが30μmとなるようにした。
(Experimental Example 3)
In Experimental Example 3, an external electrode was formed using a conductive paste containing copper powder having "particle diameter", "crystallite diameter" and "particle diameter / crystallite diameter" as shown in Table 3. Further, in Experimental Example 3, as in the case of Experimental Example 1, the thickness of the external electrode after firing was set to 30 μm on the end face of the component body.

実験例3では、導電性ペースト中の銅粉末およびガラス粉末の合計体積に占めるガラス粉末の体積割合を、表3の「ガラス比率」に示すように、5〜35体積%の範囲で変更した。 In Experimental Example 3, the volume ratio of the glass powder to the total volume of the copper powder and the glass powder in the conductive paste was changed in the range of 5 to 35% by volume as shown in “Glass ratio” in Table 3.

まず、銅粉末の「粒子径」に注目すると、試料29〜31は、300nmを超える500nmである点で、この発明の範囲外である。そのため、「コンタクト性能」および「固着性能」の少なくとも一方の評価が「×」となっている。 First, paying attention to the "particle size" of the copper powder, the samples 29 to 31 are outside the scope of the present invention in that they are 500 nm, which exceeds 300 nm. Therefore, at least one of "contact performance" and "sticking performance" is evaluated as "x".

他方、試料21〜28は、この発明の範囲内にあるもので、銅粉末は、「粒子径」が300nm以下で、「粒子径/結晶子径」が1.1以上かつ2.0以下であるという条件を満たしている。表3では表示していないが、これら試料21〜28では、ブリスタ不具合は生じなかった。 On the other hand, the samples 21 to 28 are within the scope of the present invention, and the copper powder has a "particle diameter" of 300 nm or less and a "particle diameter / crystallite diameter" of 1.1 or more and 2.0 or less. It meets the condition that there is. Although not shown in Table 3, no blister defect occurred in these samples 21 to 28.

しかしながら、試料21〜28の中で、「コンタクト性能」および「固着性能」の各評価がともに「○」となっているのは、試料22〜24、26および27だけである。試料22〜24、26および27における「ガラス比率」に注目すると、「ガラス比率」は10〜25体積%の範囲に入っている。 However, among the samples 21 to 28, only the samples 22 to 24, 26 and 27 have "○" in each evaluation of "contact performance" and "sticking performance". Focusing on the "glass ratio" in Samples 22-24, 26 and 27, the "glass ratio" is in the range of 10-25% by volume.

これに対して、「ガラス比率」が10体積%未満のそれぞれ5体積%および7体積%である試料21および25では、「固着性能」の評価が「×」となっている。「固着性能」の評価が「×」となったのは、「ガラス比率」が比較的低いためであるが、「ガラス比率」が試料21の5体積%より多い7体積%の試料25でも「固着性能」が「×」と評価されたのは、銅粉末の「粒子径」が試料21の100nmより大きい300nmであったためであると推測される。 On the other hand, in the samples 21 and 25 in which the "glass ratio" is less than 10% by volume and is 5% by volume and 7% by volume, respectively, the evaluation of "fixing performance" is "x". The evaluation of "fixing performance" was "x" because the "glass ratio" was relatively low, but even in sample 25 with 7% by volume, where the "glass ratio" was higher than 5% by volume of sample 21, " It is presumed that the "sticking performance" was evaluated as "x" because the "particle size" of the copper powder was 300 nm, which was larger than 100 nm of the sample 21.

また、「ガラス比率」が25体積%を超える35体積%である試料28では、「コンタクト性能」の評価が「△」となっている。他方、「ガラス比率」が同じく35体積%である試料24では、「コンタクト性能」の評価が「○」となっている。これは、「ガラス比率」を比較的多い35体積%としたとき、試料24のように、銅粉末の「粒子径」が100nmと比較的小さければ問題ないが、試料28のように、銅粉末の「粒子径」が300nmと比較的大きくなると「コンタクト性能」が劣化してしまう懸念があることを示している。見方を変えると、「ガラス比率」が比較的多い35体積%であっても、銅粉末の「粒子径」を100nmと比較的小さくすれば、良好なコンタクト性能が得られることを示している。 Further, in the sample 28 in which the "glass ratio" is 35% by volume exceeding 25% by volume, the evaluation of "contact performance" is "Δ". On the other hand, in the sample 24 in which the "glass ratio" is also 35% by volume, the evaluation of "contact performance" is "◯". This is not a problem if the "particle size" of the copper powder is as small as 100 nm as in sample 24 when the "glass ratio" is set to 35% by volume, which is relatively large, but there is no problem as in sample 28. It is shown that there is a concern that the "contact performance" may deteriorate when the "particle size" of the above is relatively large as 300 nm. From a different point of view, it is shown that even if the "glass ratio" is relatively large at 35% by volume, good contact performance can be obtained by reducing the "particle diameter" of the copper powder to 100 nm.

以上、この発明に係る導電性ペーストが外部電極形成に適用されるチップ型セラミック電子部品として、主に積層セラミックコンデンサを例示して説明したが、当該導電性ペーストは、他のチップ型セラミック電子部品の外部電極形成のためにも用いることができる。 As described above, as the chip-type ceramic electronic component to which the conductive paste according to the present invention is applied to form an external electrode, a laminated ceramic capacitor has been mainly exemplified and described, but the conductive paste is another chip-type ceramic electronic component. It can also be used for forming an external electrode.

1 チップ型セラミック電子部品
2 外部電極
4 部品本体
9,10 内部電極
11 Ni−Cu合金層
12 ガラス層
1 Chip-type ceramic electronic component 2 External electrode 4 Component body 9, 10 Internal electrode 11 Ni-Cu alloy layer 12 Glass layer

Claims (7)

チップ型セラミック電子部品における外部電極形成用の導電性ペーストであって、
銅粉末とガラス粉末とを含み、
前記銅粉末は、粒子径が300nm以下で、粒子径/結晶子径が1.1以上かつ2.0以下であり、
前記銅粉末および前記ガラス粉末の合計体積に占める前記ガラス粉末の体積割合が35体積%以下である、
導電性ペースト。
A conductive paste for forming external electrodes in chip-type ceramic electronic components.
Contains copper powder and glass powder
The copper powder has a particle diameter of 300 nm or less, a particle diameter / crystallite diameter of 1.1 or more and 2.0 or less.
The volume ratio of the glass powder to the total volume of the copper powder and the glass powder is 35% by volume or less.
Conductive paste.
前記銅粉末の前記結晶子径が50nm以上である、請求項1に記載の導電性ペースト。 The conductive paste according to claim 1, wherein the crystallite diameter of the copper powder is 50 nm or more. 前記銅粉末の粉末粒子の内部には、不純物を含まないか、塩素を含む場合には、塩素イオン量として0.01質量%以下しか、イオウを含む場合には、イオウ量として0.002質量%以下しか含まない、請求項1または2に記載の導電性ペースト。 The inside of the powder particles of the copper powder does not contain impurities, or when chlorine is contained, the amount of chlorine ions is 0.01% by mass or less, and when sulfur is contained, the amount of sulfur is 0.002% by mass. The conductive paste according to claim 1 or 2 , which contains less than%. 前記銅粉末は、球形の粉末粒子からなる、請求項1ないしのいずれかに記載の導電性ペースト。 The conductive paste according to any one of claims 1 to 3 , wherein the copper powder is composed of spherical powder particles. 前記銅粉末および前記ガラス粉末の合計体積に占める前記ガラス粉末の体積割合が10体積%以上かつ25体積%以下である、請求項1ないしのいずれかに記載の導電性ペースト。 The conductive paste according to any one of claims 1 to 4 , wherein the volume ratio of the glass powder to the total volume of the copper powder and the glass powder is 10% by volume or more and 25% by volume or less. 前記ガラス粉末の粒子径が1.0μm以下である、請求項1ないしのいずれかに記載の導電性ペースト。 The conductive paste according to any one of claims 1 to 5 , wherein the glass powder has a particle size of 1.0 μm or less. 前記ガラス粉末は、B−Si系ガラスからなる、請求項1ないしのいずれかに記載の導電性ペースト。 The conductive paste according to any one of claims 1 to 6 , wherein the glass powder is made of B—Si based glass.
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