JP6783702B2 - X線断層撮影装置 - Google Patents
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Description
(1)空間的な広がりをもつX線を発生するX線発生器。
(2)前記X線の進路に設置される被検査物を、X線の光軸と直交する軸を中心として回転させる試料テーブル。
(3)隣接する他のX線検出器とは所定の間隔を保って配置された複数のX線検出器。
(4)前記複数のX線検出器のそれぞれに設けられた平面状の入力面。
(5)前記複数のX線検出器中の少なくとも一つであって、前記入力面がX線光軸に対して垂直な面内に設けられ、且つ、前記入力面の感度領域の端に近い部分にX線光軸が位置する第一のX線検出器。
(6)前記複数のX線検出器中の少なくとも一つであって、前記入力面が前記被検査物の撮影領域の周辺部の透過X線を捕えるように配置された第二のX線検出器。
(7)前記被検査物の撮影領域と前記試料テーブルの回転角度から構成されるサイノグラムであって、前記複数の入力面の受光データに基づいて複数組の順パス領域と逆パス領域を有するサイノグラムを生成するサイノグラム生成部。
(8)前記サイノグラムにおける前記複数の順パス領域間に形成された非受光部分の順パス領域のデータを、前記複数の逆パス領域のデータを順パス領域のデータに変換することによって補間するデータ補間部。
(1)前記複数のX線検出器が3個以上設けられる。
(2)前記第二のX線検出器はその入力面の法線がX線焦点を向くように配置される。
(3)前記データ補間部が非受光部分の順パス領域のデータを、前記複数の逆パス領域のデータによって補間する場合に、非受光部分の順パス領域のデータと補間する逆パス領域のデータとがその隣接部分でオーバラップする位置に、前記複数のX線検出器が配置される。
(4)前記データ補間部が非受光部分の順パス領域のデータを、前記複数の逆パス領域のデータによって補間する場合に、非受光部分の順パス領域のデータと補間する逆パス領域のデータとがその隣接部分でオーバラップすることなく画素が隣接する位置に、前記複数のX線検出器が配置される。
(1)空間的な広がりをもつX線を発生するX線発生器。
(2)前記X線の進路に設置される被検査物を、X線の光軸と直交する軸を中心として回転させる試料テーブル。
(3)前記被検査物を透過したX線を受光する平面状の入力面を有するX線検出器。
(4)前記入力面がX線光軸に対して垂直な面内に設けられ、且つ、前記入力面の感度領域の端に近い部分にX線光軸が位置する第一の位置と、前記入力面が前記被検査物の撮影領域の周辺部の透過X線を捕えるように配置される第二の位置との間で、前記X線検出器を移動させる機構。
(5)前記被検査物の撮影領域と前記試料テーブルの回転角度とを基準とするサイノグラムであって、前記第一と第二の位置における入力面の受光データに基づいて複数組の順パス領域と逆パス領域を有するサイノグラムを生成するサイノグラム生成部。
(6)前記サイノグラムにおける前記複数の順パス領域間に形成された非受光部分の順パス領域のデータを、前記複数の逆パス領域のデータを順パス領域のデータに変換することによって補間するデータ補間部。
(1)前記X線検出器の移動機構は、前記第一の位置及び第二の位置に加えて、より多くの位置に停止するように前記X線検出器を移動させるものであり、前記サイノグラム生成部とデータ補間部が、前記X線検出器の各停止位置においてサイノグラムの生成とデータ変換を実行する。
(2)前記X線検出器の移動機構は、前記X線検出器の各停止位置において、その入力面の法線がX線焦点を向くように前記X線検出器を移動させる。
(3)前記データ補間部が非受光部分の順パス領域のデータを、前記複数の逆パス領域のデータによって補間する場合に、非受光部分の順パス領域のデータと補間する逆パス領域のデータとがその隣接部分でオーバラップする位置に、前記複数のX線検出器が配置される。
(4)前記データ補間部が非受光部分の順パス領域のデータを、前記複数の逆パス領域のデータによって補間する場合に、非受光部分の順パス領域のデータと補間する逆パス領域のデータとがその隣接部分でオーバラップすることなく画素が隣接する位置に、前記複数のX線検出器が配置される。
(5)複数台の前記X線検出器と、これら複数台のX線検出器を被検査物の撮影領域の復数箇所において停止させるように移動する移動機構を備え、前記サイノグラム生成部とデータ補間部が、前記X線検出器の各停止位置においてサイノグラムの生成とデータ変換を実行する。
(1)前記X線検出器によって得られた順パス領域と補間された非受光部分の順パス領域の接続部分におけるオーバラップする部分のデータを再配置後のサイノグラム上で正しく重なるように位置を合わせ、対応する画素同士の輝度値を平均化するオーバラップ処理部。
(2)前記X線検出器によって得られた順パス領域と補間された非受光部分の順パス領域の接続部分におけるデータの接続状態の適否を検出する検出部。
(3)前記接続状態を検出する検出部によって両領域のデータの接続状態に欠落が検出された場合に、その欠落を補間するデータ補間部。
[1−1.実施形態の構成]
以下、第一実施形態を、図面に従って具体的に説明する。第一実施形態は2台のX線検出器31、32を使用して被検査物Wの全体像の断層像を撮影するものである。
(1) 入力面の位置x=xθ=0、回転角0°
(2) 入力面の位置x=0、回転角180°−θ0
(3) 入力面の位置x=−xθ=0、回転角180°
(4) 入力面の位置x=0、回転角360°−θ0
(5) 入力面の位置x=xθ=0、回転角360°
・Aの逆パスの通過点A’に達するための回転角θA=180°
・Bの逆パスの通過点B’に達するための回転角θB=180°−αF、x・・・θが最小
・Cの逆パスの通過点C’に達するための回転角θC=180°+αF、x・・・θが最大
・Pの逆パスの通過点P’に達するための回転角θP=180°−2α
そして、反対にP’を順パス、Pを逆パスとすると回転角θP’=180°+2αとなる。
本実施形態の作用を図12のフローチャートにより説明する。
まず、断層撮影装置のX線スキャン条件を設定する(ステップ1)。スキャン条件としては、通常設定するX線管、第一のX線検出器31と第二のX線検出器32の固定位置、試料テーブル2の回転に関する条件、および、FCDとFDDなどに加えて、二台のX線検出器31、32のデータ間のオーバラップ量を設定する。撮影領域を最大化するときは、オーバラップ量を0または小さく、最大化を要しないときはオーバラップ量をできるかぎり大きく設定する。
本実施形態は、次のような効果を有する。
(1)第一のX線検出器31と第二のX線検出器32の入力面の合計が全撮影領域の直径の約1/2あれば、全撮影領域について順パスの透過データを得ることができるので、2台の小型のX線検出器を使用してより大きな被検査物Wの撮影領域全体のX線断層画像を得ることができる。
(2)従来技術の小型のX線検出器では、X線検出器を複数箇所に移動させることで大きな被検査物Wの透過データを撮影していたが、移動の都度、被検査物Wを360゜回転させる必要があるため、撮影に時間がかかる不都合があった。本実施形態では、2台のX線検出器31、32は固定したままで被検査物Wを1回転させるだけで全撮影領域のデータを得ることができるので、撮影時間が短縮できる。
図13に示す第二実施形態は、第二のX線検出器32の構成が第一実施形態とは異なるもので、他の構成は第一実施形態と同様である。第一実施形態と同様な構成については、同一の符号を付し、説明を省略する。第二実施形態では、第二のX線検出器32はその入力面の法線がX線焦点を向くように配置される。二台のX線検出器31、32のそれぞれのX線入力面とX線焦点との距離は同じであることを基本とするが、それに限定するものではない。
図14に示す第三実施形態は、全撮影領域に比較してより幅の狭い入力面を有する三台のX線検出器31〜33を配置したもので、他の構成は第一実施形態と同様である。すなわち、間隔を開けて配置された複数のX線検出器によって被検査物Wの全撮影領域のデータを取得するためには、本発明のデータ補間を行ったとしても、全X線検出器の入力面の幅は全撮影領域の直径の1/2以上必要である。そのため、第一実施形態では、被検査物Wの全撮影領域がX線検出器31、32の入力面の幅の合計寸法の2倍を越える場合には欠落領域のデータを逆パスのデータで完全には補間することはできない。第三実施形態では、X線検出器の数を増やすことによって、全ての欠落領域を補間することのできるデータを三台のX線検出器31〜33から取得する。
図15に示す第四実施形態は、第三実施形態の変形例である。第四実施形態では、第二のX線検出器32と第三のX線検出器33はその入力面の法線がX線焦点を向くように配置される。三台のX線検出器31〜33のそれぞれのX線入力面とX線焦点との距離は同じであることを基本とするが、それに限定するものではない。
図16に示す第五実施形態は、一台のX線検出器30と、そのX線検出器30をX線光軸と直交する方向に移動させる移動機構4を有する。他の構成は、第1実施形態と同様である。
図17に示す第六実施形態は第五実施形態の変形例で、一台のX線検出器30を三ヵ所以上移動させて、その都度被検査物Wを360°回転させてデータを収集する。第六実施形態は、一台のX線検出器30とその移動機構4を有し、そのX線検出器30を第三実施形態又は第4実施形態に示す第一のX線検出器31の位置30aに配置して被検査物Wを360°回転する第一のスキャンを行い、続いて、そのX線検出器30を第三実施形態又は第4実施形態に示す第二のX線検出器32の位置30bに移動して被検査物Wを360°回転する第二のスキャンを行い、さらに、第三実施形態又は第4実施形態に示す第三のX線検出器33の位置30cに移動して被検査物Wを360°回転する第三のスキャンを行う。その後、サイノクラム生成部7及びデータ補間部8を用いて欠落部のデータを補間する。
図18に示す第七実施形態は、二台のX線検出器31、32と、そのX線検出器31、32をX線光軸と直交する方向に移動させる移動機構4を有する。他の構成は、第五実施形態と同様である。すなわち、それぞれが独立して移動することができる機構を有する二つのX線検出器31、32のそれぞれが第一の位置31a、32aに互いの感度領域が離れて配置され、その状態で被検査物Wを360°回転する第一のスキャンを行う。続いて、それぞれのX線検出器31、32を移動した位置31b、32bにおいて被検査物Wを360°回転する第二のスキャンを行い、第一、第二のスキャンによって得られるサイノグラムを再配置する。
本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。具体的には、次のような他の実施形態も包含する。
2…試料テーブル
3…X線検出器
4…移動機構
5…制御部
6…入力部
7…サイノグラム生成部
8…データ補間部
9…画像再構成処理部
Claims (14)
- 空間的な広がりをもつX線を発生するX線発生器と、
前記X線の進路に設置される被検査物を、X線の光軸と直交する軸を中心として回転させる試料テーブルと、
隣接する他のX線検出器とは所定の間隔を保って配置された複数のX線検出器と、
前記複数のX線検出器のそれぞれに設けられた平面状の入力面と、
前記複数のX線検出器中の少なくとも一つであって、前記入力面がX線光軸に対して垂直な面内に設けられ、且つ、前記入力面の感度領域の端に近い部分にX線光軸が位置する第一のX線検出器と、
前記複数のX線検出器中の少なくとも一つであって、前記入力面が前記被検査物の撮影領域の周辺部の透過X線を捕えるように配置された第二のX線検出器と、
前記被検査物の撮影領域と前記試料テーブルの回転角度とを基準とするサイノグラムであって、前記複数の入力面の受光データに基づいて複数組の順パス領域と逆パス領域を有するサイノグラムを生成するサイノグラム生成部と、
前記サイノグラムにおける前記複数の順パス領域間に形成された非受光部分の順パス領域のデータを、前記複数の逆パス領域のデータを順パス領域のデータに変換することによって補間するデータ補間部と、
を備えるX線断層撮影装置。 - 前記複数のX線検出器が3個以上設けられる請求項1に記載のX線断層撮影装置。
- 前記第二のX線検出器はその入力面の法線がX線焦点を向くように配置される請求項1に記載のX線断層撮影装置。
- 前記データ補間部が非受光部分の順パス領域のデータを、前記複数の逆パス領域のデータによって補間する場合に、非受光部分の順パス領域のデータと補間する逆パス領域のデータとがその隣接部分でオーバラップする位置に、前記複数のX線検出器が配置される請求項1に記載のX線断層撮影装置。
- 前記データ補間部が非受光部分の順パス領域のデータを、前記複数の逆パス領域のデータによって補間する場合に、非受光部分の順パス領域のデータと補間する逆パス領域のデータとがその隣接部分でオーバラップすることなく画素が隣接する位置に、前記複数のX線検出器が配置される請求項1に記載のX線断層撮影装置。
- 空間的な広がりをもつX線を発生するX線発生器と、
前記X線の進路に設置される被検査物を、X線の光軸と直交する軸を中心として回転させる試料テーブルと、
前記被検査物を透過したX線を受光する平面状の入力面を有するX線検出器と、
前記入力面がX線光軸に対して垂直な面内に設けられ、且つ、前記入力面の感度領域の端に近い部分にX線光軸が位置する第一の位置と、前記入力面が前記被検査物の撮影領域の周辺部の透過X線を捕えるように配置される第二の位置との間で、前記X線検出器を移動させる機構と、
前記被検査物の撮影領域と前記試料テーブルの回転角度とを基準とするサイノグラムであって、前記第一と第二の位置における入力面の受光データに基づいて複数組の順パス領域と逆パス領域を有するサイノグラムを生成するサイノグラム生成部と、
前記サイノグラムにおける前記複数の順パス領域間に形成された非受光部分の順パス領域のデータを、前記複数の逆パス領域のデータを順パス領域のデータに変換することによって補間するデータ補間部と、
を備えるX線断層撮影装置。 - 前記X線検出器の移動機構は、前記第一の位置及び第二の位置に加えて、より多くの位置に停止するように前記X線検出器を移動させるものであり、前記サイノグラム生成部とデータ補間部が、前記X線検出器の各停止位置においてサイノグラムの生成とデータ変換を実行する請求項6に記載のX線断層撮影装置。
- 前記X線検出器の移動機構は、前記X線検出器の各停止位置において、その入力面の法線がX線焦点を向くように前記X線検出器を移動させる請求項6に記載のX線断層撮影装置。
- 前記データ補間部が非受光部分の順パス領域のデータを、前記複数の逆パス領域のデータによって補間する場合に、非受光部分の順パス領域のデータと補間する逆パス領域のデータとがその隣接部分でオーバラップする位置に、前記複数のX線検出器が配置される請求項6に記載のX線断層撮影装置。
- 前記データ補間部が非受光部分の順パス領域のデータを、前記複数の逆パス領域のデータによって補間する場合に、非受光部分の順パス領域のデータと補間する逆パス領域のデータとがその隣接部分でオーバラップすることなく画素が隣接する位置に、前記複数のX線検出器が配置される請求項6に記載のX線断層撮影装置。
- 複数台の前記X線検出器と、これら複数台のX線検出器を被検査物の撮影領域の復数箇所において停止させるように移動する移動機構を備え、前記サイノグラム生成部とデータ補間部が、前記X線検出器の各停止位置においてサイノグラムの生成とデータ変換を実行する請求項6に記載のX線断層撮影装置。
- 前記X線検出器によって得られた順パス領域と補間された非受光部分の順パス領域の接続部分におけるオーバラップする部分のデータを再配置後のサイノグラム上で正しく重なるように位置を合わせし、対応する画素同士の輝度値を平均化するオーバラップ処理部を備える請求項1または請求項6に記載のX線断層撮影装置。
- 前記X線検出器によって得られた順パス領域と補間された非受光部分の順パス領域の接続部分におけるデータの接続状態の適否を検出する検出部を備える請求項1または請求項6に記載のX線断層撮影装置。
- 前記接続状態を検出する検出部によって両領域のデータの接続状態に欠落が検出された場合に、その欠落を補間するデータ補間部を備える請求項1または請求項6に記載のX線断層撮影装置。
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JP2017103774A JP6783702B2 (ja) | 2017-05-25 | 2017-05-25 | X線断層撮影装置 |
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