JP6774895B2 - X-ray inspection equipment - Google Patents

X-ray inspection equipment Download PDF

Info

Publication number
JP6774895B2
JP6774895B2 JP2017045178A JP2017045178A JP6774895B2 JP 6774895 B2 JP6774895 B2 JP 6774895B2 JP 2017045178 A JP2017045178 A JP 2017045178A JP 2017045178 A JP2017045178 A JP 2017045178A JP 6774895 B2 JP6774895 B2 JP 6774895B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ray
conveyor
image
inspection
display
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2017045178A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2018146555A (en
Inventor
俊介 和田
俊介 和田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Anritsu Infivis Co Ltd
Original Assignee
Anritsu Infivis Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Anritsu Infivis Co Ltd filed Critical Anritsu Infivis Co Ltd
Priority to JP2017045178A priority Critical patent/JP6774895B2/en
Publication of JP2018146555A publication Critical patent/JP2018146555A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6774895B2 publication Critical patent/JP6774895B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Description

本発明は、肉、魚、加工食品、医薬品等の被検査物に対してX線発生器で発生したX線を照射し、被検査物を透過したX線をX線検出器により検出することで、被検査物の異物の有無や欠陥等について検査するX線検査装置に関するものである。 The present invention irradiates an object to be inspected such as meat, fish, processed food, and pharmaceuticals with X-rays generated by an X-ray generator, and detects the X-rays transmitted through the object to be inspected by an X-ray detector. The present invention relates to an X-ray inspection apparatus that inspects the presence or absence of foreign matter and defects of the object to be inspected.

例えば食品などの被検査物への異物の混入の有無を検出するために、従来からX線検査装置が用いられている。X線検査装置は、搬送される被検査物にX線を照射し、被検査物を透過したX線の透過量に応じて得られるX線画像から被検査物中の異物の有無や欠陥等について検査している。 For example, an X-ray inspection device has been conventionally used to detect the presence or absence of foreign matter mixed in an object to be inspected such as food. The X-ray inspection device irradiates the transported object with X-rays, and from the X-ray image obtained according to the amount of X-rays transmitted through the object to be inspected, the presence or absence of foreign matter in the object to be inspected, defects, etc. Is inspecting.

従来のこの種のX線検査装置にあっては、特許文献1に記載されたものが知られている。特許文献1に記載のものは、コンベア上の搬送路を幅方向に跨ぐようにX線発生器およびX線検出器を対向して配置し、X線発生器からコンベア上の被検査物に対してX線を横向きに照射している。 As a conventional X-ray inspection apparatus of this type, the one described in Patent Document 1 is known. In the one described in Patent Document 1, the X-ray generator and the X-ray detector are arranged so as to straddle the transport path on the conveyor in the width direction so as to face each other. X-rays are emitted sideways.

特開2001−272357号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2001-272357

ここで、特許文献1に記載されているような横照射型のX線検査装置として、コンベアを自機に備えず、生産設備のコンベアに組み込んで用いられる組み込み型のX線検査装置があり、この組み込み型のX線検査装置が用いられることが多くなっている。 Here, as a lateral irradiation type X-ray inspection device as described in Patent Document 1, there is a built-in type X-ray inspection device that is used by incorporating it into a conveyor of a production facility without having a conveyor in its own machine. This built-in X-ray inspection device is often used.

組み込み型のX線検査装置は、生産設備への設置時に設置作業者によってコンベアに対してX線発生器およびX線検出器が最適位置に調整された上で、製品検査時に検査作業者によって用いられる。X線発生器およびX線検出器の最適位置とは、コンベア上の被検査物にX線を照射して得られるX線画像にコンベアが映り込まず、かつ、被検査物の全体が映るような位置である。X線発生器およびX線検出器を最適位置に配置することで、X線画像にコンベアが映り込まなくなり、誤検出等により検査精度が低下してしまうことが防止される。 The built-in X-ray inspection device is used by the inspection worker during product inspection after the X-ray generator and X-ray detector are adjusted to the optimum positions for the conveyor by the installation worker during installation in the production equipment. Be done. The optimum position of the X-ray generator and X-ray detector is that the conveyor does not appear in the X-ray image obtained by irradiating the object to be inspected on the conveyor with X-rays, and the entire object to be inspected is shown. Position. By arranging the X-ray generator and the X-ray detector at the optimum positions, it is possible to prevent the conveyor from being reflected in the X-ray image and to prevent the inspection accuracy from being lowered due to erroneous detection or the like.

しかしながら、従来のX線検査装置にあっては、X線発生器およびX線検出器を最適位置に配置するためには、X線検出器の各検出素子から得た画素単位で高精度に位置調整を行う必要があり、最適位置に完全に調整したり常に最適位置を保つようにすることは容易ではないため、誤検出要因を完全に排除できず、検査精度を低下させてしまうおそれがあった。 However, in the conventional X-ray inspection apparatus, in order to arrange the X-ray generator and the X-ray detector at the optimum position, the position is highly accurate in units of pixels obtained from each detection element of the X-ray detector. Since it is necessary to make adjustments, and it is not easy to completely adjust to the optimum position or always maintain the optimum position, false detection factors cannot be completely eliminated, and inspection accuracy may be reduced. It was.

したがって、X線発生器およびX線検出器が最適位置から外れている場合であっても、X線画像にコンベアが映り込むことに起因して検査精度が低下しないようにすることが求められていた。 Therefore, even if the X-ray generator and the X-ray detector are out of the optimum position, it is required that the inspection accuracy is not deteriorated due to the reflection of the conveyor in the X-ray image. It was.

そこで、本発明は、前述のような従来の問題を解決するためになされたもので、X線画像にコンベアが映り込むことに起因して検査精度が低下することを防止できるX線検査装置を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and an X-ray inspection apparatus capable of preventing the inspection accuracy from being lowered due to the conveyor being reflected in the X-ray image. The purpose is to provide.

本発明に係るX線検査装置は、X線を発生するX線発生器と、X線を検出するX線検出器と、を備え、被検査物が水平方向に通過する搬送路を形成するコンベアを挟んで、前記X線検出器が前記コンベアの搬送面からの高さ方向を検出するように、前記X線発生器と前記X線検出器とが配置され、前記X線検出器が検出したX線に基づくX線画像に前記被検査物が映る検査領域を処理して前記被検査物を検査するX線検査装置であって、表示部と、前記X線画像に映る前記コンベアの上端側を前記検査領域と非検査領域との境界としてユーザに設定させるための設定操作部と、前記X線画像上の前記コンベアの上端側を強調させた画像情報を前記表示部に表示させ、前記X線検出器の各検出素子に対応する画素の番号により前記非検査領域の境界位置を前記表示部に表示させ、前記設定操作部から指定された画素の番号により前記非検査領域を設定する表示制御部と、を備えたことを特徴とする。 The X-ray inspection apparatus according to the present invention includes an X-ray generator that generates X-rays and an X-ray detector that detects X-rays, and forms a transport path through which the object to be inspected passes in the horizontal direction. The X-ray generator and the X-ray detector are arranged so that the X-ray detector detects the height direction from the transport surface of the conveyor, and the X-ray detector detects the X-ray detector. An X-ray inspection device that inspects the inspected object by processing an inspection area in which the inspected object is reflected in an X-ray image based on an X-ray, and is a display unit and an upper end side of the conveyor reflected in the X-ray image. a setting operation part for setting the user as a boundary between the examination region and non-examination region, the image information of the upper side to emphasize the conveyor on the X-ray image is displayed on the display unit, the X Display control in which the boundary position of the non-inspection region is displayed on the display unit by the pixel number corresponding to each detection element of the line detector, and the non-inspection region is set by the pixel number specified by the setting operation unit. It is characterized by having a part and.

この構成により、ユーザは、表示部においてコンベアの上端側を強調させた画像情報を見ることで、コンベアが映り込んだ領域を非検査領域として精度よく設定できる。この結果、X線画像にコンベアが映り込むことに起因して検査精度が低下することを防止できる。また、この構成により、画素の番号で設定値を把握し、設定値の設定操作を行うことができる。 With this configuration, the user can accurately set the area in which the conveyor is reflected as a non-inspection area by viewing the image information in which the upper end side of the conveyor is emphasized on the display unit. As a result, it is possible to prevent the inspection accuracy from being lowered due to the conveyor being reflected in the X-ray image. Further, with this configuration, the set value can be grasped by the pixel number and the set value can be set.

本発明に係るX線検査装置において、前記表示制御部は、前記コンベアの上端側を強調させた前記画像情報として、前記X線画像上の前記コンベアの上端近傍の拡大画像を前記表示部に表示させることを特徴とする。 In the X-ray inspection apparatus according to the present invention, the display control unit displays an enlarged image of the vicinity of the upper end of the conveyor on the X-ray image on the display unit as the image information emphasizing the upper end side of the conveyor. It is characterized by letting it.

この構成により、ユーザは、表示部においてコンベアの上端近傍の拡大画像を見ることで、非検査領域の検査領域との境界として設定するコンベアの上端部の位置を精度よく把握でき、設定値を精度よく設定することができる。 With this configuration, the user can accurately grasp the position of the upper end of the conveyor set as the boundary with the inspection area of the non-inspection area by viewing the enlarged image near the upper end of the conveyor on the display unit, and the set value is accurate. Can be set well.

本発明に係るX線検査装置において、前記表示制御部は、前記コンベアの上端側を強調させた前記画像情報として、前記X線検出器が検出したX線の検出レベルの一定時間における最大値と最小値を前記X線検出器の複数の検出素子の配列方向に沿って柱状グラフ形式で描画した2次元断面波形画像を前記表示部に表示させることを特徴とする。 In the X-ray inspection apparatus according to the present invention, the display control unit sets the maximum value of the X-ray detection level detected by the X-ray detector as the image information in which the upper end side of the conveyor is emphasized in a certain period of time. It is characterized in that a two-dimensional cross-sectional waveform image in which the minimum value is drawn in a columnar graph format along the arrangement direction of a plurality of detection elements of the X-ray detector is displayed on the display unit.

この構成により、ユーザは、非検査領域の境界として設定するコンベアの上端部の位置を、検出素子の画素ピッチで精度よく把握でき、設定値を精度よく設定することができる。 With this configuration, the user can accurately grasp the position of the upper end portion of the conveyor set as the boundary of the non-inspection region by the pixel pitch of the detection element, and can set the set value accurately.

本発明に係るX線検査装置において、前記表示制御部は、前記コンベアの上端側を強調させた前記画像情報として、前記検査領域および前記非検査領域の両方からなる第1のX線画像と、前記検査領域からなり前記コンベアの上端近傍が拡大されている第2のX線画像とを同時に前記表示部に表示させることを特徴とする。 In the X-ray inspection apparatus according to the present invention, the display control unit includes a first X-ray image including both the inspection region and the non-inspection region as the image information emphasizing the upper end side of the conveyor . It is characterized in that a second X-ray image composed of the inspection area and the vicinity of the upper end of the conveyor is enlarged is simultaneously displayed on the display unit.

この構成により、ユーザは、第2のX線画像においてコンベアの映り込みを確認することで、非検査領域の境界として設定するコンベアの上端部の位置を精度よく把握でき、設定値を精度よく設定することができる。 With this configuration, the user can accurately grasp the position of the upper end of the conveyor set as the boundary of the non-inspection area by confirming the reflection of the conveyor in the second X-ray image, and set the set value accurately. can do.

本発明に係るX線検査装置において、前記表示制御部は、前記第1のX線画像の領域外に前記第2のX線画像を表示させることを特徴とする。 In the X-ray inspection apparatus according to the present invention, the display control unit is characterized in that the second X-ray image is displayed outside the region of the first X-ray image.

この構成により、ユーザは、第1のX線画像と第2のX線画像とを混同することなく、設定値の設定操作を行うことができる。 With this configuration, the user can perform the setting operation of the set value without confusing the first X-ray image and the second X-ray image.

本発明に係るX線検査装置において、前記表示制御部は、前記非検査領域の前記検査領域との境界の位置を示すシンボルを前記表示部に表示させ、前記設定操作部から指定された前記境界の位置により非検査領域を設定することを特徴とする。 In the X-ray inspection apparatus according to the present invention, the display control unit causes the display unit to display a symbol indicating the position of the boundary of the non-inspection area with the inspection area, and the boundary designated by the setting operation unit. It is characterized in that a non-inspection area is set according to the position of .

この構成により、ユーザは、非検査領域の検査領域との境界の位置を表すシンボルを移動することで、視覚的に設定値の設定操作を行うことができる。 With this configuration, the user can visually perform the setting value setting operation by moving the symbol representing the position of the boundary between the non-inspected area and the inspected area .

本発明に係るX線検査装置は、X線を発生するX線発生器と、X線を検出するX線検出器と、を備え、被検査物が水平方向に通過する搬送路を形成するコンベアを挟んで、前記X線検出器が前記コンベアの搬送面からの高さ方向を検出するように、前記X線発生器と前記X線検出器とが配置され、前記X線検出器が検出したX線に基づくX線画像に前記被検査物が映る検査領域を処理して前記被検査物を検査するX線検査装置であって、表示部と、前記X線画像に映る前記コンベアの上端側を前記検査領域と非検査領域との境界としてユーザに設定させるための設定操作部と、前記X線画像上の前記コンベアの上端側を強調させた画像情報として、前記X線検出器が検出したX線の検出レベルの一定時間における最大値と最小値を前記X線検出器の複数の検出素子の配列方向に沿って柱状グラフ形式で描画した2次元断面波形画像を前記表示部に表示させる表示制御部と、を備えたことを特徴とする。 The X-ray inspection apparatus according to the present invention includes an X-ray generator that generates X-rays and an X-ray detector that detects X-rays, and forms a transport path through which the object to be inspected passes in the horizontal direction. The X-ray detector and the X-ray detector are arranged so that the X-ray detector detects the height direction from the transport surface of the conveyor, and the X-ray detector detects the X-ray detector. An X-ray inspection device that inspects the inspected object by processing an inspection area in which the inspected object is reflected in an X-ray image based on an X-ray, and is an X-ray inspection device, which is an X-ray inspection device and has a display unit and an upper end side of the conveyor reflected in the X-ray image. Was detected by the X-ray detector as image information emphasizing the upper end side of the conveyor on the X-ray image and a setting operation unit for causing the user to set the boundary between the inspection area and the non-inspection area. A display in which a two-dimensional cross-sectional waveform image in which the maximum value and the minimum value of the X-ray detection level at a certain time are drawn in a columnar graph format along the arrangement direction of a plurality of detection elements of the X-ray detector is displayed on the display unit. It is characterized by having a control unit .

この構成により、ユーザは、表示部においてコンベアの上端側を強調させた画像情報を見ることで、コンベアが映り込んだ領域を非検査領域として精度よく設定できる。この結果、X線画像にコンベアが映り込むことに起因して検査精度が低下することを防止できる。また、この構成により、ユーザは、非検査領域の境界として設定するコンベアの上端部の位置を、検出素子の画素ピッチで精度よく把握でき、設定値を精度よく設定することができる。 With this configuration, the user can accurately set the area in which the conveyor is reflected as a non-inspection area by viewing the image information in which the upper end side of the conveyor is emphasized on the display unit. As a result, it is possible to prevent the inspection accuracy from being lowered due to the conveyor being reflected in the X-ray image. Further, with this configuration, the user can accurately grasp the position of the upper end portion of the conveyor set as the boundary of the non-inspection region by the pixel pitch of the detection element, and can set the set value accurately.

本発明は、X線画像にコンベアが映り込むことに起因して検査精度が低下することを防止できるX線検査装置を提供することができる。 The present invention can provide an X-ray inspection apparatus capable of preventing a decrease in inspection accuracy due to reflection of a conveyor on an X-ray image.

本発明の第1の実施の形態に係るX線検査装置の斜視図である。It is a perspective view of the X-ray inspection apparatus which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施の形態に係るX線検査装置の搬送方向に直交する断面における断面図である。It is sectional drawing in the cross section orthogonal to the transport direction of the X-ray inspection apparatus which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施の形態に係るX線検査装置の、検査モードにおける動作を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining operation in inspection mode of the X-ray inspection apparatus which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施の形態に係るX線検査装置の、検査モードにおけるX線画像の領域区分を説明する図である。It is a figure explaining the area division of the X-ray image in the inspection mode of the X-ray inspection apparatus which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施の形態に係るX線検査装置の、メンテナンスモードにおける動作を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining operation in maintenance mode of the X-ray inspection apparatus which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施の形態に係るX線検査装置の、メンテナンスモードにおける画像処理前のX線画像を示す図である。It is a figure which shows the X-ray image before image processing in the maintenance mode of the X-ray inspection apparatus which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施の形態に係るX線検査装置の、メンテナンスモードにおける画像処理後のX線画像を示す図である。It is a figure which shows the X-ray image after image processing in maintenance mode of the X-ray inspection apparatus which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施の形態に係るX線検査装置の、メンテナンスモードにおける動作を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining operation in maintenance mode of the X-ray inspection apparatus which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施の形態に係るX線検査装置の、メンテナンスモードにおける画像処理後のX線画像を示す図である。It is a figure which shows the X-ray image after image processing in the maintenance mode of the X-ray inspection apparatus which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施の形態に係るX線検査装置の、メンテナンスモードにおける動作を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining operation in maintenance mode of the X-ray inspection apparatus which concerns on 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施の形態に係るX線検査装置の、メンテナンスモードにおける非検査領域の設定前のX線画像を示す図である。It is a figure which shows the X-ray image before setting of the non-inspection area in maintenance mode of the X-ray inspection apparatus which concerns on 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施の形態に係るX線検査装置の、メンテナンスモードにおける非検査領域の設定中のX線画像を示す図である。It is a figure which shows the X-ray image in the setting of the non-inspection area in the maintenance mode of the X-ray inspection apparatus which concerns on 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施の形態に係るX線検査装置の、メンテナンスモードにおける非検査領域の設定後のX線画像を示す図である。It is a figure which shows the X-ray image after setting of the non-inspection area in maintenance mode of the X-ray inspection apparatus which concerns on 3rd Embodiment of this invention.

以下、本発明の第1の実施の形態について、図面を参照して説明する。まず構成について説明する。 Hereinafter, the first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. First, the configuration will be described.

図1において、X線検査装置1は筐体4を備えている。筐体4は、被検査物Wを搬送するコンベア2に組み込まれている。コンベア2上には、被検査物Wが搬送部材21に載って水平方向に通過する搬送路3が形成されている。本実施の形態は、被検査物Wが飲料ボトルである場合を例示している。 In FIG. 1, the X-ray inspection device 1 includes a housing 4. The housing 4 is incorporated in the conveyor 2 that conveys the object W to be inspected. On the conveyor 2, a transport path 3 is formed in which the object W to be inspected is placed on the transport member 21 and passes in the horizontal direction. This embodiment illustrates the case where the object W to be inspected is a beverage bottle.

コンベア2は、被検査物Wの生産設備の一部であり、X線検査装置1と別体に構成されている。本実施の形態は、コンベア2がトップチェーンコンベアからなる場合を例示している。トップチェーンコンベアは、無端状のチェーンに複数のプレートを設けたものであり、コンベア2の搬送部材21となるプレートの上面で被検査物Wを搬送するようになっている。 The conveyor 2 is a part of the production facility of the object W to be inspected, and is configured separately from the X-ray inspection device 1. This embodiment illustrates the case where the conveyor 2 is composed of a top chain conveyor. The top chain conveyor is an endless chain provided with a plurality of plates, and the object W to be inspected is conveyed on the upper surface of the plates serving as the transfer member 21 of the conveyor 2.

このように、X線検査装置1は、別体のコンベア2に組み込まれる組み込み型のX線検査装置であり、図1で示すようなボトル搬送でよく使用されるトップチェーンコンベアやベルトコンベア等の被検査物Wを水平方向に搬送する既設のコンベアに組み込まれる。なお、ベルトコンベアによる被検査物Wの搬送の場合にはベルトが搬送部材21となる。また、コンベア2は、X線検査装置1と一体に構成されていてもよい。 As described above, the X-ray inspection device 1 is a built-in X-ray inspection device incorporated in a separate conveyor 2, and is a top chain conveyor, a belt conveyor, or the like often used for bottle transportation as shown in FIG. It is incorporated into an existing conveyor that transports the object W to be inspected in the horizontal direction. In the case of transporting the object W to be inspected by the belt conveyor, the belt serves as the transport member 21. Further, the conveyor 2 may be integrally configured with the X-ray inspection device 1.

筐体4には、被検査物Wが搬入される開口部7と、被検査物Wが搬出される開口部8とが形成されている。コンベア2は、開口部7、8を通って筐体4を貫通している。筐体4は、ステンレス等のX線を遮蔽可能な金属からなる遮蔽カバー16を、開口部7、8の周囲に備えており、遮蔽カバー16は、開口部7、8から外部へのX線の漏洩を防止している。 The housing 4 is formed with an opening 7 into which the object W to be inspected is carried in and an opening 8 in which the object W to be inspected is carried out. The conveyor 2 penetrates the housing 4 through the openings 7 and 8. The housing 4 is provided with a shielding cover 16 made of a metal capable of shielding X-rays such as stainless steel around the openings 7 and 8, and the shielding cover 16 is provided with X-rays from the openings 7 and 8 to the outside. Leakage is prevented.

コンベア2の上方にはガイド部材61が設けられており、ガイド部材61は、被検査物Wをコンベア2上の幅方向の中央の位置で搬送されるように案内している。ガイド部材61は、被検査物Wを幅方向で挟むように、左右で一対、合計4本設けられている。 A guide member 61 is provided above the conveyor 2, and the guide member 61 guides the object W to be inspected so as to be conveyed at the center position in the width direction on the conveyor 2. A total of four guide members 61 are provided on the left and right sides so as to sandwich the object W to be inspected in the width direction.

ガイド部材61は、X線発生器9のX線照射野に入り込まないように分断されている。なお、ガイド部材61は、X線透過率の高い材質から構成し、コンベア2と同様に開口部7から開口部8まで貫通するように連続して設けられていてもよい。 The guide member 61 is divided so as not to enter the X-ray irradiation field of the X-ray generator 9. The guide member 61 may be made of a material having a high X-ray transmittance and may be continuously provided so as to penetrate from the opening 7 to the opening 8 like the conveyor 2.

図2において、X線検査装置1は、X線を発生するX線発生器9と、X線を検出するX線検出器10と、総合制御部40とを備えている。これらのX線発生器9、X線検出器10および総合制御部40は筐体4(図1参照)の内部に収納されている。 In FIG. 2, the X-ray inspection device 1 includes an X-ray generator 9 that generates X-rays, an X-ray detector 10 that detects X-rays, and a comprehensive control unit 40. The X-ray generator 9, the X-ray detector 10, and the comprehensive control unit 40 are housed inside the housing 4 (see FIG. 1).

X線発生器9およびX線検出器10は、コンベア2上の被検査物Wが搬送される搬送路3を挟むように、コンベア2の幅方向に対向して配置されている。すなわち、コンベア2を幅方向に挟んで対向するように、X線発生器9とX線検出器10とが配置されている。 The X-ray generator 9 and the X-ray detector 10 are arranged so as to face each other in the width direction of the conveyor 2 so as to sandwich the transport path 3 on which the object W to be inspected on the conveyor 2 is conveyed. That is, the X-ray generator 9 and the X-ray detector 10 are arranged so as to face each other with the conveyor 2 sandwiched in the width direction.

X線発生器9は、その内部に設けられた図示しないX線管の陰極からの電子ビームを陽極のターゲットに照射させてX線を生成し、生成したX線を図示しないスリットにより略三角形状のスクリーン状に成形するようになっている。また、X線発生器9は、スクリーン状のX線照射野に成形したX線を、コンベア2上の搬送路3を幅方向に横切るようにして、X線検出器10に向けて照射するようになっている。 The X-ray generator 9 generates X-rays by irradiating the target of the anode with an electron beam from the cathode of an X-ray tube (not shown) provided inside the X-ray generator 9, and the generated X-rays are formed into a substantially triangular shape by slits (not shown). It is designed to be molded into the shape of a screen. Further, the X-ray generator 9 irradiates the X-rays formed in the screen-shaped X-ray irradiation field toward the X-ray detector 10 so as to cross the transport path 3 on the conveyor 2 in the width direction. It has become.

X線検出器10は、複数の検出素子10Aをライン状に整列したX線ラインセンサからなる。X線検出器10の検出素子10Aは、図示しないフォトダイオードと、このフォトダイオード上に設けられた図示しないシンチレータとからなり、X線をシンチレータにより光に変換し、この光をフォトダイオードにより検出している。 The X-ray detector 10 includes an X-ray line sensor in which a plurality of detection elements 10A are arranged in a line. The detection element 10A of the X-ray detector 10 includes a photodiode (not shown) and a scintillator (not shown) provided on the photodiode. X-rays are converted into light by the scintillator, and this light is detected by the photodiode. ing.

X線検出器10の複数の検出素子10Aは、コンベア2の搬送部材21の上面に対して垂直にn個配置されている。X線検出器10の下端部の検出素子10Aから出力されるデータは、X線画像の下端部の1画素目の画像に対応する。 N of the plurality of detection elements 10A of the X-ray detector 10 are arranged perpendicular to the upper surface of the conveyor member 21 of the conveyor 2. The data output from the detection element 10A at the lower end of the X-ray detector 10 corresponds to the image of the first pixel at the lower end of the X-ray image.

同様に、X線検出器10の下端部からn個目の検出素子10Aから出力されるデータは、X線画像の下端部からn画素目の画像に対応する。なお、図2には、ガイド部材61の位置が破線で示されているが、ガイド部材61はX線発生器9のX線照射野に入り込んでいない。 Similarly, the data output from the nth detection element 10A from the lower end of the X-ray detector 10 corresponds to the nth pixel image from the lower end of the X-ray image. Although the position of the guide member 61 is shown by a broken line in FIG. 2, the guide member 61 does not enter the X-ray irradiation field of the X-ray generator 9.

このように構成されたX線検出器10は、被検査物WがX線検出器10を通過することで、被検査物Wを透過するX線の量(検出レベル)に応じたX線画像を出力する。X線検出器10は、図示しないA/D変換部を備えており、このA/D変換部によりフォトダイオードからの輝度値データをデジタルデータに変換するようになっている。 The X-ray detector 10 configured in this way is an X-ray image corresponding to the amount of X-rays (detection level) transmitted through the X-ray detector W when the X-ray detector W passes through the X-ray detector 10. Is output. The X-ray detector 10 includes an A / D conversion unit (not shown), and the A / D conversion unit converts the luminance value data from the photodiode into digital data.

なお、A/D変換部から出力されるデータは、輝度値により明暗で表されるX線画像(明暗画像)であってもよいし、輝度値を所望の濃度となるように変換した濃度値により濃淡で表されるX線画像(濃淡画像)であってもよい。本実施例では、X線検出器10のA/D変換部から出力されるX線画像は、検出レベルを明暗で表した明暗画像である。 The data output from the A / D conversion unit may be an X-ray image (bright and dark image) represented by light and dark according to the brightness value, or a density value obtained by converting the brightness value to a desired density. It may be an X-ray image (shading image) represented by shading. In this embodiment, the X-ray image output from the A / D conversion unit of the X-ray detector 10 is a light-dark image showing the detection level in light and dark.

本実施の形態において、X線発生器9は、X線照射野がコンベア2の上方となるように、設置作業により予め調整されている。また、X線検出器10の下端部がコンベア2の上面と同じ高さになるように、X線検出器10の位置が設置作業により予め調整されている。 In the present embodiment, the X-ray generator 9 is preliminarily adjusted by the installation work so that the X-ray irradiation field is above the conveyor 2. Further, the position of the X-ray detector 10 is adjusted in advance by the installation work so that the lower end portion of the X-ray detector 10 is at the same height as the upper surface of the conveyor 2.

X線検査装置1は、表示部5、設定操作部45および総合制御部40を備えている。 The X-ray inspection device 1 includes a display unit 5, a setting operation unit 45, and a comprehensive control unit 40.

表示部5は、平面ディスプレイ等から構成されており、ユーザに対する表示出力を行うようになっている。表示部5は、総合制御部40による検査結果等の画像を表示するようになっている。 The display unit 5 is composed of a flat display or the like, and outputs a display to the user. The display unit 5 is designed to display an image such as an inspection result by the comprehensive control unit 40.

また、表示部5は、被検査物Wの良否判定結果を「OK」や「NG」等の文字または記号で表示するようになっている。また、表示部5は、総検査数、良品数、NG総数等の統計値を表示するようになっている。 Further, the display unit 5 displays the quality determination result of the object W to be inspected with characters or symbols such as "OK" and "NG". In addition, the display unit 5 displays statistical values such as the total number of inspections, the number of non-defective products, and the total number of NGs.

表示部5の表示内容および表示態様は、既定設定、または設定操作部45からの所定のキー操作による要求に基づいて決定される。 The display content and display mode of the display unit 5 are determined based on a default setting or a request from the setting operation unit 45 by a predetermined key operation.

設定操作部45は、総合制御部40への各種パラメータ等の設定入力を行うものである。設定操作部45は、ユーザが操作する複数のキーやスイッチ等で構成され、総合制御部40への各種パラメータ等の設定入力や動作モードの選択を行うものである。本実施の形態では、表示部5と設定操作部45とがタッチパネル式表示器として一体化され、筐体4の前面上部に配置されている。X線検査装置1の動作モードには、被検査物Wの検査を行う通常の検査モードと、X線検査装置1の各種の調整や状態確認等のメンテナンスを行うメンテナンスモードとが含まれる。 The setting operation unit 45 inputs settings such as various parameters to the general control unit 40. The setting operation unit 45 is composed of a plurality of keys, switches, and the like operated by the user, and inputs settings such as various parameters to the general control unit 40 and selects an operation mode. In the present embodiment, the display unit 5 and the setting operation unit 45 are integrated as a touch panel type display and are arranged on the upper front surface of the housing 4. The operation mode of the X-ray inspection device 1 includes a normal inspection mode for inspecting the object W to be inspected and a maintenance mode for performing maintenance such as various adjustments and status confirmation of the X-ray inspection device 1.

総合制御部40は、X線画像記憶部42、画像処理部43、判定部44および制御部46を備えている。また、総合制御部40は、X線画像上のコンベア2(図7の透過画像2Xを参照)の上端側を強調させた画像情報を表示部5に表示させる表示制御部47を備えている。 The comprehensive control unit 40 includes an X-ray image storage unit 42, an image processing unit 43, a determination unit 44, and a control unit 46. Further, the comprehensive control unit 40 includes a display control unit 47 for displaying image information emphasizing the upper end side of the conveyor 2 (see the transparent image 2X in FIG. 7) on the X-ray image on the display unit 5.

X線画像記憶部42は、X線検出器10から受け取ったX線画像を一時的に記憶するようになっている。すなわち、X線画像記憶部42は、X線画像のバッファメモリとして機能する。 The X-ray image storage unit 42 temporarily stores the X-ray image received from the X-ray detector 10. That is, the X-ray image storage unit 42 functions as a buffer memory for the X-ray image.

画像処理部43は、X線画像記憶部42から読み出したX線画像に対して各種の画像処理アルゴリズム等を適用して画像処理を施すようになっている。ここで、画像処理アルゴリズムは、複数の画像処理フィルタを組み合わせたものからなる。 The image processing unit 43 applies various image processing algorithms and the like to the X-ray image read from the X-ray image storage unit 42 to perform image processing. Here, the image processing algorithm is composed of a combination of a plurality of image processing filters.

判定部44は、画像処理部43により画像処理されたX線画像に対して、被検査物Wと異物との判別を行って異物の混入の有無を判定する異物判定を行い、また、被検査物Wの形状の良否を判定する形状判定を行うようになっている。 The determination unit 44 determines the X-ray image image-processed by the image processing unit 43 from the object W to be inspected and the foreign matter to determine the presence or absence of foreign matter, and also determines the foreign matter to be inspected. The shape determination for determining the quality of the shape of the object W is performed.

制御部46は、CPUおよび制御プログラムの記憶領域または作業領域としてのメモリなどを有しており、検査モードおよびメンテナンスモードを含む各動作モードにおいて、X線検査装置1の全体を制御するようになっている。 The control unit 46 has a memory as a storage area or a work area for the CPU and the control program, and controls the entire X-ray inspection device 1 in each operation mode including the inspection mode and the maintenance mode. ing.

ここで、コンベア2に対してX線発生器9とX線検出器10とを最適位置に完全に調整したり、完全な最適位置に保つようにすることは容易ではない。このため、X線検出器10から取得したX線画像にコンベア2が映り込んでしまう場合がある。例えば、設置時の位置調整後に、振動等によりコンベア2の上面に沿う平面がX線検出器10の下端部より上方に定常的に変位した場合、X線画像にコンベア2の上側、すなわち、被検査物Wが載る搬送部材21などが映り込んでしまう。特に、本実施の形態のコンベア2は、プレートとしての複数の搬送部材21を無端状のチェーンに設けてなるトップチェーンコンベアであり、搬送部材21のX線透過率がベルトコンベアのベルトよりも低いため、X線画像への搬送部材21の映り込みの影響が大きい。 Here, it is not easy to completely adjust the X-ray generator 9 and the X-ray detector 10 to the optimum positions for the conveyor 2 or to keep them at the perfect optimum positions. Therefore, the conveyor 2 may be reflected in the X-ray image acquired from the X-ray detector 10. For example, when the plane along the upper surface of the conveyor 2 is steadily displaced above the lower end of the X-ray detector 10 after the position adjustment at the time of installation, the upper side of the conveyor 2, that is, the cover is displayed on the X-ray image. The transport member 21 on which the inspection object W is placed is reflected. In particular, the conveyor 2 of the present embodiment is a top chain conveyor in which a plurality of transport members 21 as plates are provided on an endless chain, and the X-ray transmission rate of the transport members 21 is lower than that of the belt of the belt conveyor. Therefore, the influence of the reflection of the transport member 21 on the X-ray image is large.

X線画像にコンベア2の搬送部材21が映り込んでしまうと、その搬送部材21の影響により、判定部44における誤検出が発生して検査精度が低下するおそれがある。一方、X線検出器10を最適位置に再度調整することは、調整作業の時間を確保できない等の理由から容易ではない場合がある。 If the conveyor member 21 of the conveyor 2 is reflected in the X-ray image, erroneous detection may occur in the determination unit 44 due to the influence of the conveyor member 21, and the inspection accuracy may be lowered. On the other hand, it may not be easy to readjust the X-ray detector 10 to the optimum position because the time for the adjustment work cannot be secured.

そこで、本実施の形態では、X線画像におけるコンベア2が映り込んだ領域をメンテナンスモードにおいてユーザが非検査領域として設定しておき、X線検査装置1は、検査モードにおいて非検査領域以外の検査領域を対象に判定部44により被検査物Wを検査するようになっている。 Therefore, in the present embodiment, the user sets the area in which the conveyor 2 is reflected in the X-ray image as a non-inspection area in the maintenance mode, and the X-ray inspection device 1 inspects the area other than the non-inspection area in the inspection mode. The object W to be inspected is inspected by the determination unit 44 in the area.

また、ユーザがX線画像におけるコンベア2の位置を確認しながら非検査領域を設定する際は、コンベア2が全て非検査領域に収まり、かつ、被検査物Wが全て検査領域に収まることが望ましく、そのためには、X線検出器10の検出素子10Aの配列ピッチ(画素ピッチ)で非検査領域を精度良く設定する必要がある。 Further, when the user sets the non-inspection area while confirming the position of the conveyor 2 in the X-ray image, it is desirable that all the conveyors 2 fit in the non-inspection area and all the objects W to be inspected fit in the inspection area. For that purpose, it is necessary to accurately set the non-inspection region with the arrangement pitch (pixel pitch) of the detection element 10A of the X-ray detector 10.

本実施の形態では、非検査領域を精度良く設定できるようにするため、ユーザがX線画像においてコンベア2とそれ以外の部分との境界を明確に判別できるよう、表示制御部47は、X線画像上のコンベア2(透過画像2X)の上端側を強調させた画像情報を表示部5に表示させるようになっている。 In the present embodiment, in order to enable the non-inspection area to be set accurately, the display control unit 47 uses X-rays so that the user can clearly determine the boundary between the conveyor 2 and the other parts in the X-ray image. Image information that emphasizes the upper end side of the conveyor 2 (transparent image 2X) on the image is displayed on the display unit 5.

このようにすることで、ユーザは、表示部5においてコンベア2の上端側を強調させた画像情報を見ることで、コンベア2が映り込んだ領域を非検査領域として容易にかつ精度よく設定できる。このため、X線画像の検査領域にコンベア2が映り込むことによる誤検出を防止でき、検査精度を向上することができる。
次に動作と作用効果を説明する。
By doing so, the user can easily and accurately set the area in which the conveyor 2 is reflected as a non-inspection area by viewing the image information in which the upper end side of the conveyor 2 is emphasized on the display unit 5. Therefore, it is possible to prevent erroneous detection due to the conveyor 2 being reflected in the inspection area of the X-ray image, and it is possible to improve the inspection accuracy.
Next, the operation and the action effect will be described.

まず、図3のフローチャートを参照して検査モードの動作を説明する。検査モードにおいて、X線検査装置1は、X線検出器10からX線画像(透過画像)のデータを取得し(ステップS1)、このX線画像をX線画像記憶部42に一時的に記憶する(ステップS2)。 First, the operation of the inspection mode will be described with reference to the flowchart of FIG. In the inspection mode, the X-ray inspection device 1 acquires X-ray image (transmission image) data from the X-ray detector 10 (step S1), and temporarily stores the X-ray image in the X-ray image storage unit 42. (Step S2).

次いで、X線検査装置1は、メンテナンスモードで予め設定された非検査領域の設定値を読み込む(ステップS3)。非検査領域の設定値は表示制御部47に記憶されている。次いで、X線検査装置1は、設定値によりX線画像を検査領域と非検査領域とに区分する(ステップS4)。 Next, the X-ray inspection device 1 reads the set value of the non-inspection area preset in the maintenance mode (step S3). The set value of the non-inspection area is stored in the display control unit 47. Next, the X-ray inspection apparatus 1 divides the X-ray image into an inspection region and a non-inspection region according to the set value (step S4).

このステップS3では、非検査領域の境界の上下方向の位置または画素の番号が設定値として読み込まれる。そして、X線画像は、図4に示すように、設定値としての境界51Aの位置(図中、Hと記す)または画素の番号に基づいて、コンベア2の透過画像2Xが含まれる非検査領域51と、被検査物Wの透過画像WXが含まれる検査領域52とに精度よく区分される。なお、検査領域52に対しては、次のステップS5における判定動作を精度よく行うために画像処理が施される。 In this step S3, the position in the vertical direction of the boundary of the non-inspection region or the pixel number is read as a set value. Then, as shown in FIG. 4, the X-ray image is a non-inspection region including the transparent image 2X of the conveyor 2 based on the position of the boundary 51A (denoted as H in the figure) or the pixel number as a set value. It is accurately divided into 51 and an inspection area 52 including a transparent image WX of the object W to be inspected. The inspection area 52 is subjected to image processing in order to accurately perform the determination operation in the next step S5.

次いで、X線検査装置1は、画像処理後のX線画像の検査領域を対象として、判定部44により異物の混入の有無や形状不良の有無等について判定を行い(ステップS5)、この判定結果をX線画像等と共に表示部5により表示する(ステップS6)。 Next, the X-ray inspection apparatus 1 targets the inspection area of the X-ray image after image processing, and the determination unit 44 determines whether or not foreign matter is mixed in, whether or not there is a shape defect, and the like (step S5). Is displayed on the display unit 5 together with the X-ray image and the like (step S6).

次に、図5のフローチャートを参照してメンテナンスモードの動作を説明する。メンテナンスモードにおいて、X線検査装置1は、X線検出器10からX線画像(透過画像)のデータを取得し(ステップS11)、このX線画像をX線画像記憶部42に一時的に記憶する(ステップS12)。 Next, the operation of the maintenance mode will be described with reference to the flowchart of FIG. In the maintenance mode, the X-ray inspection device 1 acquires X-ray image (transmission image) data from the X-ray detector 10 (step S11), and temporarily stores the X-ray image in the X-ray image storage unit 42. (Step S12).

次いで、表示制御部47は、X線画像上のコンベア2(透過画像2X)の上端側を強調させた画像情報を生成し(ステップS13)、生成した画像情報を表示部5に表示させる(ステップS14)。 Next, the display control unit 47 generates image information that emphasizes the upper end side of the conveyor 2 (transparent image 2X) on the X-ray image (step S13), and displays the generated image information on the display unit 5 (step). S14).

ここで、ステップS11で取得したX線画像は、図6に示すように、X線検出器10の各検出素子10Aに対応する画素が全て含まれており、表示部5の画面サイズに対するコンベア2の透過画像2Xのサイズが小さい。このため、このX線画像から透過画像2Xの上端位置を特定してこの上端位置を非検査領域の設定値として設定しようとした場合、画素単位で精度よく設定値を設定することは容易ではない。 Here, as shown in FIG. 6, the X-ray image acquired in step S11 includes all the pixels corresponding to each detection element 10A of the X-ray detector 10, and the conveyor 2 with respect to the screen size of the display unit 5. The size of the transparent image 2X is small. Therefore, when the upper end position of the transparent image 2X is specified from this X-ray image and the upper end position is set as the setting value of the non-inspection area, it is not easy to set the setting value accurately for each pixel. ..

一方、ステップS13で表示制御部47により生成されてステップS14で表示部5に表示される画像情報は、図7に示すように、コンベア2の透過画像2Xの上端近傍の拡大画像からなる。すなわち、コンベア2(透過画像2X)の上端近傍を拡大することでその上端側を強調している。また、図7の例では、X線検出器10の各検出素子10Aに対応する画素の番号をX線画像に重畳(オーバーレイ)している。 On the other hand, the image information generated by the display control unit 47 in step S13 and displayed on the display unit 5 in step S14 includes an enlarged image near the upper end of the transparent image 2X of the conveyor 2 as shown in FIG. That is, the upper end side of the conveyor 2 (transparent image 2X) is emphasized by enlarging the vicinity of the upper end. Further, in the example of FIG. 7, the pixel numbers corresponding to each detection element 10A of the X-ray detector 10 are superimposed on the X-ray image.

図7のX線画像において、コンベア2の透過画像2Xの上端部が4画素目に位置し、被検査物Wの透過画像WXの下端部が5画素目に位置していることが、ユーザにより容易に精度よく把握可能である。したがって、図7に示すX線画像をステップS14において表示部5に表示することで、ユーザは、コンベア2の透過画像2Xの上端部の位置が4画素目であることを容易に精度よく把握でき、後述するステップS15において、非検査領域の検査領域との境界の位置を表す設定値として、画素の番号(4画素目)を指定することができる。すなわち、ユーザは、画素の番号で設定値を把握でき、設定値の設定操作を行うことができる。 In the X-ray image of FIG. 7, the user indicates that the upper end of the transparent image 2X of the conveyor 2 is located at the 4th pixel and the lower end of the transparent image WX of the object W to be inspected is located at the 5th pixel. It can be easily and accurately grasped. Therefore, by displaying the X-ray image shown in FIG. 7 on the display unit 5 in step S14, the user can easily and accurately grasp that the position of the upper end portion of the transparent image 2X of the conveyor 2 is the fourth pixel. In step S15, which will be described later, a pixel number (fourth pixel) can be specified as a setting value indicating the position of the boundary of the non-inspection area with the inspection area. That is, the user can grasp the set value by the pixel number and can perform the setting operation of the set value.

ここで、ユーザによる設定値の指定方法は、画素の番号により設定値を指定する方法に限らない。例えば、非検査領域の境界の位置を特定する水平ライン状のシンボルSを表示部5に表示しておき、このシンボルSをユーザがタッチ操作等によりコンベア2の透過画像2Xの上端部の位置に移動する方法であってもよい。シンボルSを移動することで境界の位置を指定する方法によれば、ユーザは、視覚的に設定値の設定操作を行うことができる。 Here, the method of specifying the set value by the user is not limited to the method of specifying the set value by the pixel number. For example, a horizontal line-shaped symbol S that specifies the position of the boundary of the non-inspection area is displayed on the display unit 5, and the symbol S is displayed at the position of the upper end of the transparent image 2X of the conveyor 2 by the user by touch operation or the like. It may be a method of moving. According to the method of designating the position of the boundary by moving the symbol S, the user can visually perform the setting operation of the set value.

X線検査装置1は、ユーザにより入力された設定値を設定操作部45から取得し(ステップS15)、この設定値を表示制御部47に記憶し(ステップS16)、今回の動作を終了する。ステップS16で記憶された設定値は、検査モードにおける画像処理時に検査領域と非検査領域とを区分する際に用いられる。 The X-ray inspection device 1 acquires the set value input by the user from the setting operation unit 45 (step S15), stores the set value in the display control unit 47 (step S16), and ends the current operation. The set value stored in step S16 is used when the inspection area and the non-inspection area are separated during image processing in the inspection mode.

次に、本発明の第2の実施の形態について、図面を参照して説明する。第2の実施の形態は、メンテナンスモードにおけるX線検査装置1の動作において第1の実施の形態と異なる。 Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The second embodiment is different from the first embodiment in the operation of the X-ray inspection apparatus 1 in the maintenance mode.

以下、図8のフローチャートを参照してメンテナンスモードにおけるX線検査装置1の動作と作用効果について説明する。メンテナンスモードにおいて、X線検査装置1は、X線検出器10からX線画像(透過画像)のデータを取得し(ステップS21)、このX線画像をX線画像記憶部42に一時的に記憶する(ステップS22)。 Hereinafter, the operation and operation / effect of the X-ray inspection apparatus 1 in the maintenance mode will be described with reference to the flowchart of FIG. In the maintenance mode, the X-ray inspection device 1 acquires X-ray image (transmission image) data from the X-ray detector 10 (step S21), and temporarily stores the X-ray image in the X-ray image storage unit 42. (Step S22).

次いで、表示制御部47は、X線画像上のコンベア2(透過画像2X)の上端側を強調させた画像情報を生成し(ステップS23)、生成した画像情報を表示部5に表示させる(ステップS24)。 Next, the display control unit 47 generates image information emphasizing the upper end side of the conveyor 2 (transparent image 2X) on the X-ray image (step S23), and displays the generated image information on the display unit 5 (step). S24).

ステップS23では、表示制御部47は、図9に示す2次元断面波形画像50を生成する。この2次元断面波形画像50は、X線検出器10が検出したX線の検出レベルの一定時間における最大値50maxと最小値50minを、X線検出器10の検出素子10Aの配列方向に沿って柱状グラフ形式で描画したX線画像である。 In step S23, the display control unit 47 generates the two-dimensional cross-sectional waveform image 50 shown in FIG. In this two-dimensional cross-sectional waveform image 50, the maximum value 50max and the minimum value 50min of the X-ray detection level detected by the X-ray detector 10 at a fixed time are set along the arrangement direction of the detection element 10A of the X-ray detector 10. It is an X-ray image drawn in a columnar graph format.

図9において、コンベア2の映り込みにより1画素目から4画素目まで検出レベルが小さくなっている。ユーザは、表示部5において2次元断面波形画像50を確認することで、X線画像にコンベア2がどの程度映り込んでいるかを精度よく把握でき、コンベア2の映り込みが最小となるように非検査領域の境界(4画素目)を設定値として設定操作部45から指定することができる。 In FIG. 9, the detection level is reduced from the first pixel to the fourth pixel due to the reflection of the conveyor 2. By confirming the two-dimensional cross-sectional waveform image 50 on the display unit 5, the user can accurately grasp how much the conveyor 2 is reflected in the X-ray image, and the reflection of the conveyor 2 is not minimized. The boundary of the inspection area (fourth pixel) can be designated as a set value from the setting operation unit 45.

X線検査装置1は、ユーザにより入力された設定値を設定操作部45から取得し(ステップS25)、この設定値を表示制御部47に記憶し(ステップS26)、今回の動作を終了する。 The X-ray inspection device 1 acquires the set value input by the user from the setting operation unit 45 (step S25), stores the set value in the display control unit 47 (step S26), and ends the current operation.

次に、本発明の第3の実施の形態について、図面を参照して説明する。第3の実施の形態は、メンテナンスモードにおけるX線検査装置1の動作において第1および第2の実施の形態と異なる。 Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The third embodiment is different from the first and second embodiments in the operation of the X-ray inspection apparatus 1 in the maintenance mode.

以下、図10のフローチャートを参照してメンテナンスモードにおけるX線検査装置1の動作と作用効果について説明する。メンテナンスモードにおいて、X線検査装置1は、X線検出器10からX線画像(透過画像)のデータを取得し(ステップS31)、このX線画像をX線画像記憶部42に一時的に記憶する(ステップS32)。 Hereinafter, the operation and operation / effect of the X-ray inspection apparatus 1 in the maintenance mode will be described with reference to the flowchart of FIG. In the maintenance mode, the X-ray inspection device 1 acquires X-ray image (transmission image) data from the X-ray detector 10 (step S31), and temporarily stores the X-ray image in the X-ray image storage unit 42. (Step S32).

次いで、表示制御部47は、X線画像上のコンベア2(透過画像2X)の上端側を強調させた画像情報を生成し(ステップS33)、生成した画像情報を表示部5に表示させる(ステップS34)。表示部5に表示されるX線画像の詳細については後述する。 Next, the display control unit 47 generates image information that emphasizes the upper end side of the conveyor 2 (transparent image 2X) on the X-ray image (step S33), and displays the generated image information on the display unit 5 (step). S34). The details of the X-ray image displayed on the display unit 5 will be described later.

X線検査装置1は、ユーザにより入力された設定値を設定操作部45から取得し(ステップS35)、設定値が確定しているか否かを判別する(ステップS36)。ここでは、X線検査装置1は、ユーザによる確定操作が行われている場合に設定値が確定していると判定する。 The X-ray inspection device 1 acquires the set value input by the user from the setting operation unit 45 (step S35), and determines whether or not the set value is fixed (step S36). Here, the X-ray inspection apparatus 1 determines that the set value is confirmed when the confirmation operation is performed by the user.

X線検査装置1は、ステップS36で設定値が確定していないと判定した場合はステップS33に戻り、設定値が確定していると判定した場合は、確定した設定値を表示制御部47に記憶し(ステップS37)、今回の動作を終了する。 When the X-ray inspection device 1 determines in step S36 that the set value has not been determined, the X-ray inspection device 1 returns to step S33, and when it determines that the set value has been determined, the X-ray inspection device 1 transmits the determined set value to the display control unit 47. It is memorized (step S37), and the current operation is terminated.

本実施の形態では、ステップS34で表示部5に表示されるX線画像には、図11、図12、図13に示すように、検査領域52および非検査領域51の両方からなる第1のX線画像が表示領域5Aに表示されている。また、表示部5に表示されるX線画像には、検査領域52からなりコンベア2の上端近傍が拡大されている第2のX線画像が表示領域5Bに表示されている。すなわち、表示制御部47は、検査領域52および非検査領域51の両方からなる第1のX線画像と、検査領域52からなりコンベア2の上端近傍が拡大されている第2のX線画像とを同時に表示部5に表示させる。 In the present embodiment, as shown in FIGS. 11, 12, and 13, the X-ray image displayed on the display unit 5 in step S34 is the first one including both the inspection area 52 and the non-inspection area 51. The X-ray image is displayed in the display area 5A. Further, in the X-ray image displayed on the display unit 5, a second X-ray image including the inspection area 52 and the vicinity of the upper end of the conveyor 2 is enlarged is displayed in the display area 5B. That is, the display control unit 47 includes a first X-ray image composed of both the inspection area 52 and the non-inspection area 51, and a second X-ray image composed of the inspection area 52 and in which the vicinity of the upper end of the conveyor 2 is enlarged. Is displayed on the display unit 5 at the same time.

図11、図12、図13のX線画像において、表示領域5Aには、コンベア2の透過画像2Xが実寸サイズで表示されている。また、表示領域5Aには、非検査領域の境界の位置を特定する水平ライン状のシンボルSが表示されている。一方、表示領域5Bには、検査領域52に映り込んだコンベア2の透過画像2Xが、2値化等による塗り潰しおよび縦方向への引き延ばしによる画像処理が実施されて表示されている。 In the X-ray images of FIGS. 11, 12, and 13, the transparent image 2X of the conveyor 2 is displayed in the actual size in the display area 5A. Further, in the display area 5A, a horizontal line-shaped symbol S for specifying the position of the boundary of the non-inspection area is displayed. On the other hand, in the display area 5B, the transparent image 2X of the conveyor 2 reflected in the inspection area 52 is displayed after being filled by binarization or the like and image processing by stretching in the vertical direction.

また、図11、図12、図13において、第1のX線画像の表示領域5Aの外に第2のX線画像の表示領域5Bが配置されている。すなわち、表示制御部47は、第1のX線画像の領域外に第2のX線画像を表示させている。このため、ユーザは、第1のX線画像と第2のX線画像とを混同することなく、設定値の設定操作を行うことができる。 Further, in FIGS. 11, 12, and 13, the display area 5B of the second X-ray image is arranged outside the display area 5A of the first X-ray image. That is, the display control unit 47 displays the second X-ray image outside the region of the first X-ray image. Therefore, the user can perform the setting operation of the set value without confusing the first X-ray image and the second X-ray image.

図11に示す設定値の設定前のX線画像に対してユーザがタッチ操作等によりシンボルSの位置を調整することで、図12に示すように表示領域5Bにおいてコンベア2の透過画像2Xが小さくなる。そして、最終的に図13に示すように表示領域5Bにコンベア2の透過画像2Xが映らなくなるまでユーザは精度よく調整を行うことができる。その後、ユーザは図13の状態を確認してから設定値の確定操作を行うことができる。 When the user adjusts the position of the symbol S by a touch operation or the like with respect to the X-ray image before the setting value shown in FIG. 11, the transparent image 2X of the conveyor 2 becomes smaller in the display area 5B as shown in FIG. Become. Then, as shown in FIG. 13, the user can make accurate adjustments until the transparent image 2X of the conveyor 2 is not displayed in the display area 5B. After that, the user can confirm the state of FIG. 13 and then perform the operation of confirming the set value.

したがって、本実施の形態では、設定値が確定されるまでステップS33からステップS35が繰り返されることで、ユーザは、X線画像へのコンベア2の映り込みの状態を確認しながら、設定値を設定することができる。また、ユーザは、非検査領域51の境界の位置を設定するシンボルSを移動することで、視覚的に設定値の設定操作を行うことができる。 Therefore, in the present embodiment, steps S33 to S35 are repeated until the set value is determined, so that the user sets the set value while checking the state of reflection of the conveyor 2 on the X-ray image. can do. In addition, the user can visually perform the setting value setting operation by moving the symbol S that sets the position of the boundary of the non-inspection area 51.

なお、第1の実施の形態から第3の実施の形態において、画素の番号により設定値を表示および設定する方法と、シンボルSにより設定値を表示および設定する方法の何れか一方または両方を採用してよい。 In the first to third embodiments, one or both of a method of displaying and setting a set value by a pixel number and a method of displaying and setting a set value by a symbol S are adopted. You can do it.

以上のように、本発明に係るX線検査装置は、X線画像にコンベアが映り込むことに起因して検査精度が低下することを防止できるという効果を有し、X線発生器から照射されて被検査物を透過したX線をX線検出器により検出して異物を検出するX線検査装置として有用である。 As described above, the X-ray inspection apparatus according to the present invention has the effect of preventing the inspection accuracy from being lowered due to the reflection of the conveyor in the X-ray image, and is irradiated from the X-ray generator. It is useful as an X-ray inspection device that detects foreign matter by detecting X-rays that have passed through the object to be inspected by an X-ray detector.

1 X線検査装置
2 コンベア
5 表示部
9 X線発生器
10 X線検出器
10A 検出素子
45 設定操作部
47 表示制御部
50 2次元断面波形画像
51 非検査領域
52 検査領域
S シンボル
W 被検査物
1 X-ray inspection device 2 Conveyor 5 Display unit 9 X-ray generator 10 X-ray detector 10A Detection element 45 Setting operation unit 47 Display control unit 50 Two-dimensional cross-sectional waveform image 51 Non-inspection area 52 Inspection area S symbol W Inspected object

Claims (7)

X線を発生するX線発生器(9)と、
X線を検出するX線検出器(10)と、を備え、
被検査物(W)が水平方向に通過する搬送路(3)を形成するコンベア(2)を挟んで、前記X線検出器が前記コンベアの搬送面からの高さ方向を検出するように、前記X線発生器と前記X線検出器とが配置され、
前記X線検出器が検出したX線に基づくX線画像に前記被検査物が映る検査領域(52)を処理して前記被検査物を検査するX線検査装置(1)であって、
表示部(5)と、
前記X線画像に映る前記コンベアの上端側を前記検査領域と非検査領域(51)との境界としてユーザに設定させるための設定操作部(45)と、
前記X線画像上の前記コンベアの上端側を強調させた画像情報を前記表示部に表示させ、前記X線検出器の各検出素子に対応する画素の番号により前記非検査領域の境界位置を前記表示部に表示させ、前記設定操作部から指定された画素の番号により前記非検査領域を設定する表示制御部(47)と、を備えたことを特徴とするX線検査装置。
An X-ray generator (9) that generates X-rays and
Equipped with an X-ray detector (10) for detecting X-rays,
The X-ray detector detects the height direction from the transport surface of the conveyor across the conveyor (2) forming the transport path (3) through which the object to be inspected (W) passes in the horizontal direction. The X-ray generator and the X-ray detector are arranged,
An X-ray inspection apparatus (1) that inspects the inspected object by processing an inspection area (52) in which the inspected object is reflected in an X-ray image based on the X-ray detected by the X-ray detector.
Display (5) and
A setting operation unit (45) for allowing the user to set the upper end side of the conveyor reflected in the X-ray image as a boundary between the inspection area and the non-inspection area (51).
The image information that emphasizes the upper end side of the conveyor on the X-ray image is displayed on the display unit, and the boundary position of the non-inspection region is determined by the pixel number corresponding to each detection element of the X-ray detector. An X-ray inspection apparatus including a display control unit (47) for displaying on a display unit and setting the non-inspection area according to a pixel number designated by the setting operation unit .
前記表示制御部は、前記コンベアの上端側を強調させた前記画像情報として、前記X線画像上の前記コンベアの上端近傍の拡大画像を前記表示部に表示させることを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。 The first aspect of the present invention is characterized in that the display control unit displays an enlarged image of the vicinity of the upper end of the conveyor on the X-ray image on the display unit as the image information that emphasizes the upper end side of the conveyor. The X-ray inspection device described. 前記表示制御部は、前記コンベアの上端側を強調させた前記画像情報として、前記X線検出器が検出したX線の検出レベルの一定時間における最大値(50max)と最小値(50min)を前記X線検出器の複数の検出素子(10A)の配列方向に沿って柱状グラフ形式で描画した2次元断面波形画像(50)を前記表示部に表示させることを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。 The display control unit sets the maximum value (50max) and the minimum value (50min) of the X-ray detection level detected by the X-ray detector in a certain period of time as the image information emphasizing the upper end side of the conveyor. The first aspect of claim 1, wherein a two-dimensional cross-sectional waveform image (50) drawn in a columnar graph format along the arrangement direction of a plurality of detection elements (10A) of the X-ray detector is displayed on the display unit. X-ray inspection device. 前記表示制御部は、前記コンベアの上端側を強調させた前記画像情報として、前記検査領域および前記非検査領域の両方からなる第1のX線画像と、前記検査領域からなり前記コンベアの上端近傍が拡大されている第2のX線画像とを同時に前記表示部に表示させることを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。 The display control unit comprises a first X-ray image including both the inspection region and the non-inspection region and the inspection region near the upper end of the conveyor as the image information emphasizing the upper end side of the conveyor. The X-ray inspection apparatus according to claim 1, wherein a second X-ray image in which is enlarged is displayed on the display unit at the same time. 前記表示制御部は、前記第1のX線画像の領域外に前記第2のX線画像を表示させることを特徴とする請求項4に記載のX線検査装置。 The X-ray inspection apparatus according to claim 4, wherein the display control unit displays the second X-ray image outside the region of the first X-ray image. 前記表示制御部は、前記非検査領域の前記検査領域との境界の位置を示すシンボルを前記表示部に表示させ、前記設定操作部から指定された前記境界の位置により前記非検査領域を設定することを特徴とする請求項1から請求項5の何れか1項に記載のX線検査装置。 The display control unit causes the display unit to display a symbol indicating the position of the boundary of the non-inspection area with the inspection area, and sets the non-inspection area according to the position of the boundary designated by the setting operation unit. The X-ray inspection apparatus according to any one of claims 1 to 5, wherein the X-ray inspection apparatus is characterized. X線を発生するX線発生器(9)と、
X線を検出するX線検出器(10)と、を備え、
被検査物(W)が水平方向に通過する搬送路(3)を形成するコンベア(2)を挟んで、前記X線検出器が前記コンベアの搬送面からの高さ方向を検出するように、前記X線発生器と前記X線検出器とが配置され、
前記X線検出器が検出したX線に基づくX線画像に前記被検査物が映る検査領域(52)を処理して前記被検査物を検査するX線検査装置(1)であって、
表示部(5)と、
前記X線画像に映る前記コンベアの上端側を前記検査領域と非検査領域(51)との境界としてユーザに設定させるための設定操作部(45)と、
前記X線画像上の前記コンベアの上端側を強調させた画像情報として、前記X線検出器が検出したX線の検出レベルの一定時間における最大値(50max)と最小値(50min)を前記X線検出器の複数の検出素子(10A)の配列方向に沿って柱状グラフ形式で描画した2次元断面波形画像(50)を前記表示部に表示させる表示制御部(47)と、を備えたことを特徴とするX線検査装置。
An X-ray generator (9) that generates X-rays and
Equipped with an X-ray detector (10) for detecting X-rays,
The X-ray detector detects the height direction from the transport surface of the conveyor across the conveyor (2) forming the transport path (3) through which the object to be inspected (W) passes in the horizontal direction. The X-ray generator and the X-ray detector are arranged,
An X-ray inspection apparatus (1) that inspects an inspected object by processing an inspection area (52) in which the inspected object is reflected in an X-ray image based on the X-ray detected by the X-ray detector.
Display (5) and
A setting operation unit (45) for allowing the user to set the upper end side of the conveyor reflected in the X-ray image as a boundary between the inspection area and the non-inspection area (51).
As image information that emphasizes the upper end side of the conveyor on the X-ray image, the maximum value (50max) and the minimum value (50min) of the X-ray detection level detected by the X-ray detector in a certain period of time are set to the X. It is provided with a display control unit (47) for displaying a two-dimensional cross-sectional waveform image (50) drawn in a columnar graph format along the arrangement direction of a plurality of detection elements (10A) of the line detector on the display unit. An X-ray inspection device characterized by .
JP2017045178A 2017-03-09 2017-03-09 X-ray inspection equipment Active JP6774895B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017045178A JP6774895B2 (en) 2017-03-09 2017-03-09 X-ray inspection equipment

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017045178A JP6774895B2 (en) 2017-03-09 2017-03-09 X-ray inspection equipment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2018146555A JP2018146555A (en) 2018-09-20
JP6774895B2 true JP6774895B2 (en) 2020-10-28

Family

ID=63591012

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017045178A Active JP6774895B2 (en) 2017-03-09 2017-03-09 X-ray inspection equipment

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6774895B2 (en)

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001272357A (en) * 2000-03-23 2001-10-05 Hitachi Medical Corp X-ray foreign matter inspection apparatus
JP4491602B2 (en) * 2004-06-11 2010-06-30 株式会社イシダ X-ray inspection equipment
EP2818898B1 (en) * 2013-06-27 2016-04-27 Mettler-Toledo Safeline X-Ray Limited Method of operating a radiographic inspection system with a modular conveyor chain
JP6335760B2 (en) * 2014-03-19 2018-05-30 大阪瓦斯株式会社 Gas meter inspection system and gas meter inspection method
JP2016121875A (en) * 2014-12-24 2016-07-07 株式会社島津製作所 X-ray inspection device
WO2016152485A1 (en) * 2015-03-20 2016-09-29 株式会社イシダ Inspection apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JP2018146555A (en) 2018-09-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4444240B2 (en) X-ray foreign object detection device
JP6574797B2 (en) X-ray inspection equipment
JP6546208B2 (en) X-ray inspection device
KR20170127565A (en) Inspection device
US20100246930A1 (en) Inspection apparatus and method using penetrating radiation
JP5864404B2 (en) X-ray inspection equipment
JP5243008B2 (en) X-ray foreign object detection device
JP6774895B2 (en) X-ray inspection equipment
JP6480171B2 (en) X-ray inspection device
JP6483427B2 (en) X-ray inspection equipment
JP5452081B2 (en) X-ray inspection equipment
JP6901294B2 (en) X-ray inspection equipment
JP4180581B2 (en) Item inspection system
JP6678612B2 (en) X-ray inspection equipment
JP2009080030A (en) X-ray inspection device
JP4170366B2 (en) X-ray inspection equipment
JP6861990B2 (en) X-ray inspection equipment
JP7102303B2 (en) X-ray inspection device and X-ray generator height adjustment method
JP3955559B2 (en) X-ray inspection equipment
JP4291123B2 (en) Radiation foreign matter inspection apparatus and radiation foreign matter inspection method
JP2016024096A (en) Inspection device
JP2013152127A (en) Density calculation apparatus
JP2019200048A (en) X-ray inspection apparatus
JP2009080029A (en) X-ray inspection device
JP2018194361A (en) X-ray inspection device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20181010

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20190731

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190820

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190926

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200303

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200417

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20200929

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20201005

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6774895

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250